KR20160103522A - Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet - Google Patents

Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet Download PDF

Info

Publication number
KR20160103522A
KR20160103522A KR1020160019448A KR20160019448A KR20160103522A KR 20160103522 A KR20160103522 A KR 20160103522A KR 1020160019448 A KR1020160019448 A KR 1020160019448A KR 20160019448 A KR20160019448 A KR 20160019448A KR 20160103522 A KR20160103522 A KR 20160103522A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sensitive adhesive
pressure
adhesive layer
meth
weight
Prior art date
Application number
KR1020160019448A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102360457B1 (en
Inventor
다카마사 히라야마
다이스케 시모카와
아키노리 니시오
Original Assignee
닛토덴코 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 닛토덴코 가부시키가이샤 filed Critical 닛토덴코 가부시키가이샤
Publication of KR20160103522A publication Critical patent/KR20160103522A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102360457B1 publication Critical patent/KR102360457B1/en

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/30Adhesives in the form of films or foils characterised by the adhesive composition
    • C09J7/0225
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J133/00Adhesives based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Adhesives based on derivatives of such polymers
    • C09J133/04Homopolymers or copolymers of esters
    • C09J133/06Homopolymers or copolymers of esters of esters containing only carbon, hydrogen and oxygen, the oxygen atom being present only as part of the carboxyl radical
    • C09J133/062Copolymers with monomers not covered by C09J133/06
    • C09J133/066Copolymers with monomers not covered by C09J133/06 containing -OH groups
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J133/00Adhesives based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Adhesives based on derivatives of such polymers
    • C09J133/04Homopolymers or copolymers of esters
    • C09J133/06Homopolymers or copolymers of esters of esters containing only carbon, hydrogen and oxygen, the oxygen atom being present only as part of the carboxyl radical
    • C09J133/08Homopolymers or copolymers of acrylic acid esters
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J133/00Adhesives based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Adhesives based on derivatives of such polymers
    • C09J133/04Homopolymers or copolymers of esters
    • C09J133/06Homopolymers or copolymers of esters of esters containing only carbon, hydrogen and oxygen, the oxygen atom being present only as part of the carboxyl radical
    • C09J133/10Homopolymers or copolymers of methacrylic acid esters
    • C09J7/0217
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/20Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers
    • C09J7/22Plastics; Metallised plastics
    • C09J7/25Plastics; Metallised plastics based on macromolecular compounds obtained otherwise than by reactions involving only carbon-to-carbon unsaturated bonds
    • C09J7/255Polyesters
    • C09J2201/128
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2203/00Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2203/326Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils for bonding electronic components such as wafers, chips or semiconductors
    • C09J2205/11
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2433/00Presence of (meth)acrylic polymer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2467/00Presence of polyester
    • C09J2467/006Presence of polyester in the substrate

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

The present invention relates to a heat-removable adhesive sheet provided with an adhesive layer highly resistant against infiltration of a liquid chemical. The heat-removable adhesive sheet comprises a first adhesive layer, a substrate and a second adhesive layer, successively, wherein the first adhesive layer comprises an acrylic adhesive containing a (meth)acrylic polymer and heat-expansible microspheres, and the (meth)acrylic polymer includes a structural unit derived from an alkyl (meth)acrylate containing an alkyl group having 2 or more carbon atoms and a structural unit derived from an OH-containing (meth)acrylic monomer. In the (meth)acrylic polymer, the molar ratio (C/OH) of carbon (C) to OH groups of the pendant alkyl groups is 40-150.

Description

열 박리형 점착 시트{HEAT-PEELABLE PRESSURE-SENSITIVE ADHESIVE SHEET}HEAT-PEELABLE PRESSURE-SENSITIVE ADHESIVE SHEET [0002]

본 발명은, 열 박리형 점착 시트에 관한 것이다.The present invention relates to a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

종래부터, 전자 장치에 구비되는 기판을 제조할 때, 보호를 위해서 기판 재료에 점착 시트를 부착하는 일이 행하여지고 있다(예를 들어, 특허문헌 1). 예를 들어, 기판 재료로서의 구리박을 에칭할 때, 구리박의 비처리면에의 에칭액의 부착을 방지하기 위해서, 구리박에 점착 시트가 부착된다. 또한, 유리 기판을 불산 등의 산에 의해 표면 연마할 때에도, 비처리면에 점착 시트가 부착된다. 이러한 용도의 점착 시트에 있어서는, 점착 시트의 점착제층, 점착제층과 다른 층의 계면 등에 약액이 침입하면, 침입한 약액이, 약액 처리 후의 후속 공정에서의 아웃 가스의 요인이 되거나, 점착제층 속의 첨가 재료가 변질되는 요인이 된다. 예를 들어, 특허문헌 1에도 기재되어 있는 바와 같은, 재박리성 발현을 위해서 첨가되는 열팽창성 미소구(발포제)를 포함하는 점착제층에 있어서는, 산성 또는 알칼리성의 약액에 의해 상기 발포제가 화학적으로 변질되어 발포 기능이 소실된다는 문제가 발생한다.BACKGROUND ART [0002] Conventionally, when a substrate provided in an electronic device is manufactured, an adhesive sheet is attached to a substrate material for protection (for example, Patent Document 1). For example, when etching a copper foil as a substrate material, an adhesive sheet is attached to the copper foil to prevent the etching solution from adhering to the non-processed surface of the copper foil. Further, even when the glass substrate is surface-polished with an acid such as hydrofluoric acid, the pressure-sensitive adhesive sheet adheres to the non-treated surface. In the case of the pressure-sensitive adhesive sheet for this purpose, when the chemical liquid enters the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive sheet, the pressure-sensitive adhesive layer and the other layer interface, the intruded chemical liquid becomes a cause of outgassing in the subsequent process after the chemical liquid treatment, The material is deteriorated. For example, in a pressure-sensitive adhesive layer containing a thermally expandable microspheres (foaming agent) added for the purpose of re-releasability as described in Patent Document 1, the foaming agent chemically deteriorates by an acidic or alkaline chemical liquid Resulting in a problem that the foaming function is lost.

일본 특허 공개 제2001-019915호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-019915

본 발명은 상기 종래의 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 그 주된 목적은, 약액이 침입하기 어려운 점착제층을 구비하는, 가열 박리형의 점착 시트(열 박리형 점착 시트)를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems, and its main object is to provide a heat peeling type pressure-sensitive adhesive sheet (heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet) comprising a pressure-

본 발명의 열 박리형 점착 시트는, 제1 점착제층과, 기재와, 제2 점착제층을 이 순서대로 구비하고, 상기 제1 점착제층이, (메트)아크릴계 중합체를 포함하는 아크릴계 점착제와 열팽창성 미소구를 포함하고, 상기 (메트)아크릴계 중합체가, 탄소수가 2 이상인 알킬기를 갖는 (메트)아크릴산 알킬에스테르 유래의 구성 단위와, OH기를 갖는 (메트)아크릴계 단량체 유래의 구성 단위를 포함하고, 상기 (메트)아크릴계 중합체에 있어서, 측쇄 알킬기의 탄소(C)와 OH기의 몰비(C/OH)가 40 내지 150이다.The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention comprises a first pressure-sensitive adhesive layer, a substrate, and a second pressure-sensitive adhesive layer in this order, wherein the first pressure-sensitive adhesive layer comprises an acrylic pressure-sensitive adhesive containing a (meth) Wherein the (meth) acryl-based polymer comprises a structural unit derived from a (meth) acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having 2 or more carbon atoms and a structural unit derived from a (meth) acrylic monomer having an OH group, (C / OH) of the carbon (C) and OH groups of the side chain alkyl group in the (meth) acrylic polymer is 40 to 150.

하나의 실시 형태에 있어서는, 상기 제2 점착제층이, 상기 열팽창성 미소구를 포함한다.In one embodiment, the second pressure-sensitive adhesive layer includes the thermally expandable microspheres.

하나의 실시 형태에 있어서는, 상기 제1 점착제층 및/또는 제2 점착제층의 중심선 평균 표면 조도(Ra)가, 1㎛ 이하이다.In one embodiment, the center line average surface roughness (Ra) of the first pressure-sensitive adhesive layer and / or the second pressure-sensitive adhesive layer is 1 占 퐉 or less.

하나의 실시 형태에 있어서는, 상기 제1 점착제층 및/또는 제2 점착제층에 대한 물의 접촉각이, 85° 내지 115°이다.In one embodiment, the contact angle of water with respect to the first pressure-sensitive adhesive layer and / or the second pressure-sensitive adhesive layer is 85 ° to 115 °.

하나의 실시 형태에 있어서는, 상기 제1 점착제층이, 점착 부여제를 포함하고, 상기 점착 부여제의 함유 비율이, 상기 제1 점착제층 100중량부에 대하여 40중량부 이하이다.In one embodiment, the first pressure sensitive adhesive layer contains a tackifier, and the content of the tackifier is 40 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the first pressure sensitive adhesive layer.

하나의 실시 형태에 있어서는, 상기 제2 점착제층이, 점착 부여제를 포함하고, 상기 점착 부여제의 함유 비율이, 상기 제2 점착제층 100중량부에 대하여 40중량부 이하이다.In one embodiment, the second pressure sensitive adhesive layer contains a tackifier, and the content of the tackifier is 40 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the second pressure sensitive adhesive layer.

하나의 실시 형태에 있어서는, 상기 제1 점착제층 및/또는 제2 점착제층의 겔 분율이, 50% 이상이다.In one embodiment, the gel fraction of the first pressure-sensitive adhesive layer and / or the second pressure-sensitive adhesive layer is 50% or more.

하나의 실시 형태에 있어서는, 상기 제1 점착제층측을 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름에 접착했을 때의 23℃에서의 점착력이, 1N/20mm 이상이다.In one embodiment, the adhesive force at 23 캜 when the first pressure-sensitive adhesive layer side is bonded to the polyethylene terephthalate film is 1 N / 20 mm or more.

본 발명의 다른 국면에 따르면, 전자 부품이 제공된다. 이 전자 부품은, 상기 열 박리형 점착 시트를 사용해서 제조된다.According to another aspect of the present invention, an electronic component is provided. The electronic component is manufactured using the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

본 발명에 있어서는, 탄소수가 2 이상인 알킬기를 갖는 (메트)아크릴산 알킬에스테르 유래의 구성 단위와, OH기를 갖는 (메트)아크릴계 단량체 유래의 구성 단위를 포함하는 (메트)아크릴계 중합체를 베이스 중합체로서 포함하는 점착제층을 형성하고, 상기 (메트)아크릴계 중합체에 있어서의, 측쇄 알킬기의 탄소(C)와 OH기의 몰비(C/OH)를 특정 범위로 함으로써, 약액이 침입하기 어렵고, 또한, 점착력이 우수한 점착제층을 구비하는 열 박리형 점착 시트를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명의 점착 시트는, 열팽창성 미소구를 포함하는 점착제층을 구비하므로, 가열에 의해 우수한 박리성을 발현한다. 또한, 본 발명에 있어서는, 상기 점착제층에 약액이 침입하기 어려우므로, 산성 또는 알칼리성의 약액에 노출되는 용도(예를 들어, 에칭 시의 보호 용도)에 있어서도, 열팽창성 미소구의 기능이 손상되지 않아, 점착성과 박리성이 고도로 양립된 열 박리형 점착 시트를 제공할 수 있다.In the present invention, it is preferred to use a (meth) acrylic polymer containing a constituent unit derived from a (meth) acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having 2 or more carbon atoms and a (meth) acrylic monomer having an OH group as a base polymer By forming the pressure-sensitive adhesive layer and setting the molar ratio (C / OH) of the carbon (C) to the OH group (C / OH) of the side chain alkyl group in the (meth) acrylic polymer to a specific range, It is possible to provide a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having a pressure-sensitive adhesive layer. Further, since the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention is provided with the pressure-sensitive adhesive layer containing the thermally expandable microspheres, excellent releasability is exhibited by heating. Further, in the present invention, since the chemical solution is hardly penetrated into the pressure-sensitive adhesive layer, the function of the thermally expandable microspheres is not impaired even in applications where the chemical solution is exposed to an acidic or alkaline chemical solution (for example, , And a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet in which stickiness and peelability are highly compatible can be provided.

도 1은, 본 발명의 하나의 실시 형태에 의한 열 박리형 점착 시트의 개략 단면도이다.
도 2는, 본 발명의 다른 실시 형태에 의한 열 박리형 점착 시트의 개략 단면도이다.
1 is a schematic cross-sectional view of a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet according to one embodiment of the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view of a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet according to another embodiment of the present invention.

A. 열 박리형 점착 시트의 전체 구성A. Overall structure of heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet

도 1은, 본 발명의 하나의 실시 형태에 의한 열 박리형 점착 시트의 개략 단면도이다. 열 박리형 점착 시트(100)는, 제1 점착제층(10)과, 기재(20)와, 제2 점착제층(30)을 이 순서대로 구비한다. 제1 점착제층(10)은, 열팽창성 미소구를 포함한다. 열팽창성 미소구는, 가열에 의해 팽창 또는 발포되므로, 상기 열팽창성 미소구를 포함하는 점착제층은 가열에 의해 점착력이 저하된다. 본 발명의 열 박리형 점착 시트는, 열팽창성 미소구를 포함하는 점착제층을 구비함으로써, 양면에 피착체를 접착한 경우에도, 가열함으로써 상기 피착체를 용이하게 박리할 수 있어, 상기 피착체의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 열팽창성 미소구는, 제2 점착제층에도 포함될 수 있다.1 is a schematic cross-sectional view of a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet according to one embodiment of the present invention. The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet 100 comprises a first pressure-sensitive adhesive layer 10, a substrate 20, and a second pressure-sensitive adhesive layer 30 in this order. The first pressure-sensitive adhesive layer (10) includes thermally expandable microspheres. Since the thermally expandable microspheres are expanded or foamed by heating, the pressure-sensitive adhesive layer containing the heat-expandable microspheres is deteriorated in adhesiveness by heating. The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention has a pressure-sensitive adhesive layer containing thermally expandable microspheres, so that even when an adherend is adhered to both surfaces, the adherend can be easily peeled off by heating, It is possible to prevent breakage. The thermally expandable microspheres may also be included in the second pressure sensitive adhesive layer.

도 2는, 본 발명의 다른 실시 형태에 의한 열 박리형 점착 시트의 개략 단면도이다. 이 열 박리형 점착 시트(200)는, 탄성층(40)을 더 구비한다. 탄성층(40)은, 제1 점착제층(10) 또는 제2 점착제층(30)에 인접해서 설치될 수 있다. 바람직하게는, 탄성층(40)은, 열팽창성 미소구를 포함하는 점착제층에 인접해서 설치된다. 하나의 실시 형태에 있어서는, 도시한 예와 같이 제1 점착제층(10)과 기재(20)의 사이에 설치된다. 탄성층을 구비함으로써, 요철면을 갖는 피착체에 대한 추종성이 향상된다. 또한, 탄성층을, 열팽창성 미소구를 포함하는 점착제층에 인접해서 설치하면, 박리 시에 가열했을 때의 점착제층의 면 방향의 변형(팽창)이 구속되고, 두께 방향의 변형이 우선된다. 그 결과, 박리성이 향상된다.2 is a schematic cross-sectional view of a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet according to another embodiment of the present invention. The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet (200) further comprises an elastic layer (40). The elastic layer 40 may be provided adjacent to the first pressure-sensitive adhesive layer 10 or the second pressure-sensitive adhesive layer 30. Preferably, the elastic layer 40 is provided adjacent to the pressure-sensitive adhesive layer including the thermally expandable microspheres. In one embodiment, it is provided between the first pressure-sensitive adhesive layer 10 and the substrate 20 as shown in the drawing. By providing the elastic layer, the followability to an adherend having an uneven surface is improved. Further, when the elastic layer is provided adjacent to the pressure-sensitive adhesive layer containing the thermally expandable microspheres, deformation (expansion) in the surface direction of the pressure-sensitive adhesive layer upon heating at the time of peeling is restrained, and deformation in the thickness direction is prioritized. As a result, the peelability is improved.

도시되어 있지 않지만, 본 발명의 열 박리형 점착 시트는, 사용에 제공할 때까지의 동안에, 점착면을 보호할 목적으로, 점착제층의 외측에 박리 라이너가 설치되어 있어도 된다.Although not shown, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention may be provided with a release liner outside the pressure-sensitive adhesive layer for the purpose of protecting the pressure-sensitive adhesive surface during use.

본 발명의 열 박리형 점착 시트의 제1 점착제층측을 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름에 접착했을 때의 23℃에서의 점착력은, 바람직하게는 1N/20mm 이상이며, 보다 바람직하게는 3N/20mm 내지 20N/20mm이며, 더욱 바람직하게는 4N/20mm 내지 10N/20mm이다. 이러한 범위라면, 임시 보호용의 점착 시트로서, 유용한 열 박리형 점착 시트를 얻을 수 있다. 본 명세서에서 점착력이란, JIS Z 0237:2000에 준한 방법에 의해 측정한 점착력을 말한다. 구체적인 측정 방법은, 후술한다. 또한, 본 발명의 열 박리형 점착 시트는, 가열에 의해 점착력이 저하되는 점착 시트인데, 상기 「23℃에서의 점착력」이란, 점착력을 저하시키기 전의 점착력을 말한다.When the first pressure sensitive adhesive layer side of the heat peelable pressure sensitive adhesive sheet of the present invention is bonded to a polyethylene terephthalate (PET) film, the adhesive force at 23 캜 is preferably 1 N / 20 mm or more, more preferably 3 N / 20 N / 20 mm, and more preferably 4 N / 20 mm to 10 N / 20 mm. In such a range, a useful heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet can be obtained as a pressure-sensitive adhesive sheet for temporary protection. In this specification, the adhesive force refers to the adhesive force measured by the method according to JIS Z 0237: 2000. A concrete measurement method will be described later. The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention is a pressure-sensitive adhesive sheet in which the adhesive force is lowered by heating. The above-mentioned "adhesive force at 23 ° C" refers to the adhesive force before the adhesive force is lowered.

B. 제1 점착제층B. First adhesive layer

상기 제1 점착제층은, 베이스 중합체로서의 (메트)아크릴계 중합체를 포함하는 아크릴계 점착제 I와 열팽창성 미소구를 포함한다.The first pressure-sensitive adhesive layer includes an acrylic pressure-sensitive adhesive I comprising a (meth) acrylic polymer as a base polymer and thermally expandable microspheres.

B-1. 아크릴계 점착제 IB-1. Acrylic adhesive I

<(메트)아크릴계 중합체><(Meth) Acrylic Polymer>

상기 아크릴계 점착제 I에 포함되는 (메트)아크릴계 중합체로서는, 탄소수가 2 이상인 알킬기를 갖는 (메트)아크릴산 알킬에스테르(a)와, OH기를 갖는 (메트)아크릴계 단량체(b)를 단량체 성분으로 하여 얻어진 중합체가 사용된다.As the (meth) acrylic polymer contained in the acrylic pressure-sensitive adhesive I, a polymer obtained by using, as a monomer component, a (meth) acrylic acid alkyl ester (a) having an alkyl group having 2 or more carbon atoms and (meth) Is used.

상기 (메트)아크릴산 알킬에스테르(a)의 구체예로서는, (메트)아크릴산 에틸, (메트)아크릴산 프로필, (메트)아크릴산 이소프로필, (메트)아크릴산 부틸, (메트)아크릴산 이소부틸, (메트)아크릴산 s-부틸, (메트)아크릴산 t-부틸, (메트)아크릴산 펜틸, (메트)아크릴산 헥실, (메트)아크릴산 헵틸, (메트)아크릴산 옥틸, (메트)아크릴산 2-에틸헥실, (메트)아크릴산 이소옥틸, (메트)아크릴산 노닐, (메트)아크릴산 이소노닐, (메트)아크릴산 데실, (메트)아크릴산 이소데실, (메트)아크릴산 운데실, (메트)아크릴산 도데실, (메트)아크릴산 트리데실, (메트)아크릴산 테트라데실, (메트)아크릴산 펜타데실, (메트)아크릴산 헥사데실, (메트)아크릴산 헵타데실, (메트)아크릴산 옥타데실, (메트)아크릴산 노나데실, (메트)아크릴산 에이코실 등을 들 수 있다. (메트)아크릴산 알킬에스테르(a)는, 단독으로, 또는 2종 이상 조합해서 사용해도 된다.Specific examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester (a) include (meth) acrylic acid ethyl, propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, undecyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, isodecyl (Meth) acrylate, octadecyl (meth) acrylate, octadecyl (meth) acrylate, eicosyl (meth) acrylate, . (Meth) acrylic acid alkyl ester (a) may be used singly or in combination of two or more kinds.

상기 (메트)아크릴산 알킬에스테르(a)가 갖는 알킬기의 탄소수는, 상기한 바와 같이 2 이상이며, 바람직하게는 4 이상이며, 보다 바람직하게는 4 내지 20이며, 더욱 바람직하게는 6 내지 18이다. 이러한 알킬기를 갖는 (메트)아크릴산 알킬에스테르(a)를 사용함으로써, 약액(예를 들어, 산성 또는 알칼리성의 약액)이 침입하기 어려운 점착제층을 형성할 수 있다.The number of carbon atoms of the alkyl group of the (meth) acrylic acid alkyl ester (a) is 2 or more, preferably 4 or more, more preferably 4 to 20, and still more preferably 6 to 18 as described above. By using the (meth) acrylic acid alkyl ester (a) having such an alkyl group, a pressure sensitive adhesive layer hardly penetrating a chemical liquid (for example, an acidic or alkaline chemical liquid) can be formed.

OH기를 갖는 (메트)아크릴계 단량체(b)의 구체예로서는, (메트)아크릴산 히드록시에틸, (메트)아크릴산 히드록시프로필, (메트)아크릴산 히드록시부틸, (메트)아크릴산 히드록시헥실, (메트)아크릴산 히드록시옥틸, (메트)아크릴산 히드록시데실, (메트)아크릴산 히드록시라우릴, (4-히드록시메틸시클로헥실)메틸메타크릴레이트 등을 들 수 있다. (메트)아크릴계 단량체(b)로서, 아크릴산, 메타크릴산, 카르복시에틸아크릴레이트, 카르복시펜틸아크릴레이트, 이타콘산, 말레산, 푸마르산, 크로톤산 등의 카르복실기 함유 (메트)아크릴계 단량체를 사용해도 된다. (메트)아크릴계 단량체(b)는, 단독으로, 또는 2종 이상 조합해서 사용해도 된다.Specific examples of the (meth) acrylic monomer (b) having an OH group include (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, hydroxyhexyl (Meth) acrylate hydroxydecyl, (meth) acrylate hydroxydecyl, (meth) acrylate hydroxylauryl and (4-hydroxymethylcyclohexyl) methyl methacrylate. As the (meth) acrylic monomer (b), a carboxyl group-containing (meth) acrylic monomer such as acrylic acid, methacrylic acid, carboxyethyl acrylate, carboxypentyl acrylate, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid or crotonic acid may be used. The (meth) acrylic monomer (b) may be used singly or in combination of two or more kinds.

상기 아크릴계 점착제 I에 포함되는 (메트)아크릴계 중합체는, 응집력, 내열성, 가교성 등의 개질을 목적으로 하여, 필요에 따라, 상기 (메트)아크릴산 알킬에스테르(a) 및/또는 (메트)아크릴계 단량체(b)와 공중합 가능한 다른 단량체에 대응하는 구성 단위를 포함하고 있어도 된다. 이러한 단량체로서, 예를 들어 (메트)아크릴산 메틸; 무수 말레산, 무수 이타콘산 등의 산 무수물 단량체; 스티렌술폰산, 알릴술폰산, 2-(메트)아크릴아미드-2-메틸프로판술폰산, (메트)아크릴아미도프로판술폰산, 술포프로필(메트)아크릴레이트, (메트)아크릴로일옥시나프탈렌술폰산 등의 술폰산기 함유 단량체; (메트)아크릴아미드, N,N-디메틸(메트)아크릴아미드, N-부틸(메트)아크릴아미드, N-메틸올(메트)아크릴아미드, N-메틸올프로판(메트)아크릴아미드 등의 (N-치환)아미드계 단량체; (메트)아크릴산 아미노에틸, (메트)아크릴산 N,N-디메틸아미노에틸, (메트)아크릴산 t-부틸아미노에틸 등의 (메트)아크릴산 아미노알킬계 단량체; (메트)아크릴산 메톡시에틸, (메트)아크릴산 에톡시에틸 등의 (메트)아크릴산 알콕시알킬계 단량체; N-시클로헥실말레이미드, N-이소프로필말레이미드, N-라우릴말레이미드, N-페닐말레이미드 등의 말레이미드계 단량체; N-메틸이타콘이미드, N-에틸이타콘이미드, N-부틸이타콘이미드, N-옥틸이타콘이미드, N-2-에틸헥실이타콘이미드, N-시클로헥실이타콘이미드, N-라우릴이타콘이미드 등의 이타콘이미드계 단량체; N-(메트)아크릴로일옥시메틸렌숙신이미드, N-(메트)아크릴로일-6-옥시헥사메틸렌숙신이미드, N-(메트)아크릴로일-8-옥시옥타메틸렌숙신이미드 등의 숙신이미드계 단량체; 아세트산 비닐, 프로피온산 비닐, N-비닐피롤리돈, 메틸비닐피롤리돈, 비닐피리딘, 비닐피페리돈, 비닐피리미딘, 비닐피페라진, 비닐피라진, 비닐피롤, 비닐이미다졸, 비닐옥사졸, 비닐모르폴린, N-비닐카르복실산 아미드류, 스티렌, α-메틸스티렌, N-비닐카프로락탐 등의 비닐계 단량체; 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴 등의 시아노아크릴레이트 단량체; (메트)아크릴산 글리시딜 등의 에폭시기 함유 아크릴계 단량체; (메트)아크릴산 폴리에틸렌글리콜, (메트)아크릴산 폴리프로필렌글리콜, (메트)아크릴산 메톡시에틸렌글리콜, (메트)아크릴산 메톡시폴리프로필렌글리콜 등의 글리콜계 아크릴에스테르 단량체; (메트)아크릴산 테트라히드로푸르푸릴, 불소(메트)아크릴레이트, 실리콘(메트)아크릴레이트 등의 복소환, 할로겐 원자, 규소 원자 등을 갖는 아크릴산 에스테르계 단량체; 헥산디올디(메트)아크릴레이트, (폴리)에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, (폴리)프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨디(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 에폭시아크릴레이트, 폴리에스테르아크릴레이트, 우레탄 아크릴레이트 등의 다관능 단량체; 이소프렌, 부타디엔, 이소부틸렌 등의 올레핀계 단량체; 비닐에테르 등의 비닐에테르계 단량체 등을 들 수 있다. 이들 단량체 성분은, 단독으로, 또는 2종 이상 조합해서 사용해도 된다.The (meth) acryl-based polymer contained in the acrylic pressure-sensitive adhesive I may be polymerized with the above-mentioned (meth) acrylic acid alkyl ester (a) and / or the (meth) acrylic monomer may contain a constituent unit corresponding to another monomer copolymerizable with the monomer (b). As such a monomer, for example, (meth) acrylate; Acid anhydride monomers such as maleic anhydride and itaconic anhydride; Sulfonic acid groups such as styrenesulfonic acid, allylsulfonic acid, 2- (meth) acrylamide-2-methylpropanesulfonic acid, (meth) acrylamidopropanesulfonic acid, sulfopropyl (meth) acrylate, and (meth) acryloyloxynaphthalenesulfonic acid Containing monomer; (Meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, N-butyl (meth) acrylamide, N-methylol -Substituted) amide-based monomer; (Meth) acrylic acid aminoalkyl monomers such as aminoethyl (meth) acrylate, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate and t-butylaminoethyl (meth) acrylate; (Meth) acrylic acid alkoxyalkyl monomers such as methoxyethyl (meth) acrylate and ethoxyethyl (meth) acrylate; Maleimide-based monomers such as N-cyclohexylmaleimide, N-isopropylmaleimide, N-laurylmaleimide and N-phenylmaleimide; N-diisopropylethylenediamine, N-methylethylenediamine, N-methylethylenediamine, N-methylethylenediamine, N-methylethylenediamine, N-methylethylenediamine, Itaconimide-based monomers such as N, N-lauryl itaconimide; (Meth) acryloyloxymethylenesuccinimide, N- (meth) acryloyl-6-oxyhexamethylenesuccinimide, N- (meth) acryloyl-8- Succinimide monomer; Vinyl pyrrolidone, vinyl pyrrolidone, vinyl pyridine, vinyl piperidone, vinyl pyrimidine, vinylpiperazine, vinyl pyrazine, vinyl pyrrole, vinyl imidazole, vinyl oxazole, vinyl Vinyl monomers such as morpholine, N-vinylcarboxylic acid amides, styrene,? -Methylstyrene, and N-vinylcaprolactam; Cyanoacrylate monomers such as acrylonitrile and methacrylonitrile; An epoxy group-containing acrylic monomer such as glycidyl (meth) acrylate; Glycol type acrylic ester monomers such as (meth) acrylic acid polyethylene glycol, (meth) acrylic acid polypropylene glycol, (meth) acrylic acid methoxyethylene glycol and (meth) acrylic acid methoxypolypropylene glycol; Acrylate monomer having a heterocycle such as tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, fluorine (meth) acrylate or silicone (meth) acrylate, halogen atoms, silicon atoms and the like; (Meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, (poly) ethylene glycol di (Meth) acrylate, trimethylol propane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, epoxy acrylate, polyester acrylate, and urethane acrylate Monomers; Olefinic monomers such as isoprene, butadiene and isobutylene; And vinyl ether-based monomers such as vinyl ether. These monomer components may be used singly or in combination of two or more kinds.

상기 아크릴계 점착제 I에 포함되는 (메트)아크릴계 중합체는, 탄소수가 2 이상인 알킬기를 갖는 (메트)아크릴산 알킬에스테르(a)와, OH기를 갖는 (메트)아크릴계 단량체(b)와, 필요에 따라서 사용되는 다른 단량체(c)를, 임의의 적절한 중합 방법에 의해, 중합해서 얻어진다. 이와 같이 하여 얻어진 (메트)아크릴계 중합체는, 탄소수가 2 이상(바람직하게는 4 이상, 보다 바람직하게는 4 내지 20, 더욱 바람직하게는 6 내지 18)의 알킬기를 갖는 (메트)아크릴산 알킬에스테르 유래의 구성 단위 A와, OH기를 갖는 (메트)아크릴계 단량체 유래의 구성 단위 B를 포함한다. 즉, 상기 (메트)아크릴계 중합체는, 측쇄에 탄소수가 2 이상인 알킬기를 갖는 구성 단위 A와, OH기를 갖는 구성 단위 B를 포함한다.The (meth) acrylic polymer contained in the acrylic pressure-sensitive adhesive I can be obtained by copolymerizing (meth) acrylic acid alkyl ester (a) having an alkyl group having 2 or more carbon atoms with (meth) acrylic monomer (b) And the other monomer (c) is polymerized by any suitable polymerization method. The (meth) acrylic polymer thus obtained is preferably a (meth) acrylic acid ester derived from a (meth) acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having 2 or more carbon atoms (preferably 4 or more, more preferably 4 to 20, and still more preferably 6 to 18) A structural unit A, and a structural unit B derived from a (meth) acrylic monomer having an OH group. That is, the (meth) acrylic polymer includes a constituent unit A having an alkyl group having 2 or more carbon atoms in its side chain and a constituent unit B having an OH group.

구성 단위 A와 구성 단위 B를 포함하는 (메트)아크릴계 중합체의 함유 비율은, 아크릴계 점착제 I 내의 고형분 100중량부에 대하여, 바람직하게는 50중량부 내지 100중량부이며, 보다 바람직하게는 60중량부 내지 98중량부이며, 더욱 바람직하게는 65중량부 내지 90중량부이다.The content of the (meth) acrylic polymer containing the constituent unit A and the constituent unit B is preferably 50 parts by weight to 100 parts by weight, more preferably 60 parts by weight, per 100 parts by weight of the solid content in the acrylic pressure- To 98 parts by weight, and more preferably 65 parts by weight to 90 parts by weight.

탄소수가 2 이상인 알킬기를 갖는 (메트)아크릴산 알킬에스테르 유래의 구성 단위 A의 함유 비율은, 상기 (메트)아크릴계 중합체 100중량부에 대하여, 바람직하게는 70중량부 내지 98중량부이며, 보다 바람직하게는 80중량부 내지 95중량부이며, 더욱 바람직하게는 85중량부 내지 95중량부이다.The content of the constituent unit A derived from the (meth) acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having 2 or more carbon atoms is preferably 70 to 98 parts by weight based on 100 parts by weight of the (meth) acrylic polymer, Is 80 to 95 parts by weight, and more preferably 85 to 95 parts by weight.

OH기를 갖는 (메트)아크릴계 단량체 유래의 구성 단위 B의 함유 비율은, 상기 (메트)아크릴계 중합체 100중량부에 대하여, 바람직하게는 1중량부 내지 30중량부이며, 보다 바람직하게는 2중량부 내지 20중량부이며, 더욱 바람직하게는 3중량부 내지 10중량부이다.The content of the constituent unit B derived from the (meth) acrylic monomer having an OH group is preferably 1 part by weight to 30 parts by weight, more preferably 2 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the (meth) 20 parts by weight, and more preferably 3 parts by weight to 10 parts by weight.

상기 아크릴계 점착제 I에 포함되는 (메트)아크릴계 중합체에 있어서, 측쇄 알킬기의 탄소(C)와 OH기의 몰비(C/OH)는, 바람직하게는 40 내지 150이며, 보다 바람직하게는 42 내지 120이며, 더욱 바람직하게는 50 내지 100이며, 특히 바람직하게는 55 내지 80이며, 가장 바람직하게는 55 내지 75이다. 또한, 상기 몰비(C/OH)는, 측쇄 알킬기를 갖는 구성 단위를 형성하는 단량체(즉, (메트)아크릴산 알킬에스테르(a), 임의로 사용되는 (메트)아크릴산 메틸)의 배합량, 분자량 및 측쇄 알킬기의 수 및 OH기를 갖는 (메트)아크릴계 단량체(b)의 배합량, 분자량 및 OH기의 수로부터 구해진다. 예를 들어, 측쇄 알킬기를 갖는 구성 단위를 형성하는 단량체로서, 단량체 a1, 단량체 a2 및 단량체 a3을 사용하고, (메트)아크릴계 단량체(b)로서, 단량체 b1, 단량체 b2를 사용한 경우, 상기 몰비(C/OH)는, 하기 식(1)에서 구할 수 있다.In the (meth) acryl-based polymer contained in the acrylic pressure-sensitive adhesive I, the molar ratio (C / OH) of the carbon (C) to the OH group of the side chain alkyl group is preferably 40 to 150, more preferably 42 to 120 , More preferably from 50 to 100, particularly preferably from 55 to 80, and most preferably from 55 to 75. The molar ratio (C / OH) is preferably in the range of from 0.1 to 10 parts by weight, more preferably from 1 to 100 parts by weight, based on the total amount of the monomers constituting the structural unit having a side-chain alkyl group (i.e., (meth) acrylic acid alkyl ester (a) Molecular weight and the number of OH groups of the (meth) acrylic monomer (b) having an OH group. For example, monomer a 1 , monomer a 2 and monomer a 3 are used as the monomer forming the structural unit having a side chain alkyl group, and monomers b 1 and b 2 are used as the (meth) acrylic monomer (b) , The molar ratio (C / OH) can be obtained from the following formula (1).

Figure pat00001
Figure pat00001

본 발명에 있어서는, 베이스 중합체로서의 (메트)아크릴계 중합체에, 탄소수가 2 이상인 알킬기를 소정량 포함시킴으로써, 점착제층의 극성을 저하시켜서, 약액(예를 들어, 산성 또는 알칼리성의 약액)의 침입을 방지할 수 있다. 한편, 점착제층의 극성이 너무 낮으면, 충분한 점착력을 얻을 수 없지만, 본 발명에 있어서는, 상기 (메트)아크릴계 중합체가 OH기를 더 포함하고, 또한, 측쇄 알킬기의 탄소(C)와 OH기의 몰비(C/OH)가 상기 범위임으로써, 점착성을 유지하면서, 점착제층에의 약액의 침입을 방지할 수 있다. 소정량의 OH기를 함유함으로써 우수한 점착성을 발현할 수 있는 상기 점착제층을 구비하는 본 발명의 열 박리형 점착 시트는, 상기 점착 시트와 피착체의 계면에의 약액 침입도 유효하게 방지할 수 있다. 약액 침입을 방지하면, 점착제의 열화를 억제할 수 있으므로, 우수한 점착성을 유지할 수 있다. 또한, 점착제층중의 열팽창성 미소구의 약액에 의한 변질을 억제할 수 있으므로, 산성 또는 알칼리성의 약액중에서 사용된 경우에도, 열 박리성이 손상되지 않는다. 또한, 상기 (메트)아크릴계 중합체로 구성되는 점착제는, 열팽창성 미소구의 팽창 또는 발포를 저해하기 어렵다. 이들 효과를 발휘하는 상기 열 박리형 점착 시트는, 에칭 처리 공정 등의, 산성 또는 알칼리성의 약액을 사용하는 공정에서의 보호 시트로서 적절하게 사용될 수 있다.In the present invention, by including a predetermined amount of an alkyl group having 2 or more carbon atoms in the (meth) acrylic polymer as the base polymer, the polarity of the pressure-sensitive adhesive layer is lowered to prevent the infiltration of a chemical solution (for example, acidic or alkaline chemical solution) can do. On the other hand, if the polarity of the pressure-sensitive adhesive layer is too low, sufficient adhesive force can not be obtained. In the present invention, the (meth) acrylic polymer further contains an OH group, and the molar ratio of the carbon (C) (C / OH) falls within the above-mentioned range, penetration of the chemical liquid into the pressure-sensitive adhesive layer can be prevented while maintaining adhesiveness. The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention comprising the pressure-sensitive adhesive layer capable of exhibiting excellent tackiness by containing a predetermined amount of OH groups can effectively prevent the penetration of the chemical solution into the interface between the pressure-sensitive adhesive sheet and the adherend. By preventing the penetration of the chemical liquid, the deterioration of the pressure-sensitive adhesive can be suppressed, so that excellent tackiness can be maintained. Further, deterioration of the thermally expansible microspheres in the pressure-sensitive adhesive layer by the chemical liquid can be suppressed, so that even when used in an acidic or alkaline chemical liquid, the heat peelability is not impaired. In addition, the pressure-sensitive adhesive composed of the (meth) acrylic polymer is difficult to inhibit expansion or foaming of the thermally expandable microspheres. The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet exhibiting these effects can be suitably used as a protective sheet in a process using an acidic or alkaline chemical liquid, such as an etching treatment process.

상기 (메트)아크릴계 중합체의 중량 평균 분자량(겔 투과 크로마토그래피(용매: THF)에 의해, 표준 폴리스티렌의 검량선을 사용하여 측정한 값)은, 폴리스티렌 환산으로, 바람직하게는 10만 내지 300만이며, 보다 바람직하게는 20만 내지 250만이며, 더욱 바람직하게는 30만 내지 200만이다.The weight average molecular weight of the (meth) acrylic polymer (measured by gel permeation chromatography (solvent: THF) using a calibration curve of standard polystyrene) is preferably 100,000 to 3,000,000 in terms of polystyrene, More preferably from 200,000 to 250,000, and still more preferably from 300,000 to 2,000,000.

<첨가제><Additives>

상기 아크릴계 점착제 I는, 필요에 따라, 임의의 적절한 첨가제를 포함할 수 있다. 상기 첨가제로서는, 예를 들어 가교제, 점착 부여제, 가소제(예를 들어, 트리멜리트산 에스테르계 가소제, 피로멜리트산 에스테르계 가소제), 안료, 염료, 충전제, 노화 방지제, 도전재, 대전 방지제, 자외선 흡수제, 광 안정제, 박리 조정제, 연화제, 계면 활성제, 난연제, 산화 방지제 등을 들 수 있다.The acrylic pressure-sensitive adhesive I may contain any suitable additives, if necessary. Examples of the additives include crosslinking agents, tackifiers, plasticizers (e.g., trimellitic acid ester plasticizers, pyromellitic acid ester plasticizers), pigments, dyes, fillers, antioxidants, conductive materials, antistatic agents, ultraviolet Absorbents, light stabilizers, peel adjusters, softeners, surfactants, flame retardants, and antioxidants.

상기 점착 부여제로서는, 임의의 적절한 점착 부여제가 사용된다. 점착 부여제로서는, 예를 들어 점착 부여 수지가 사용된다. 점착 부여 수지의 구체예로서는, 로진계 점착 부여 수지(예를 들어, 미변성 로진, 변성 로진, 로진 페놀계 수지, 로진 에스테르계 수지 등), 테르펜계 점착 부여 수지(예를 들어, 테르펜계 수지, 테르펜페놀계 수지, 스티렌 변성 테르펜계 수지, 방향족 변성 테르펜계 수지, 수소 첨가 테르펜계 수지), 탄화수소계 점착 부여 수지(예를 들어, 지방족계 탄화수소 수지, 지방족계 환상 탄화수소 수지, 방향족계 탄화수소 수지(예를 들어, 스티렌계 수지, 크실렌계 수지 등), 지방족·방향족계 석유 수지, 지방족·지환족계 석유 수지, 수소 첨가 탄화수소 수지, 쿠마론계 수지, 쿠마론인덴계 수지 등), 페놀계 점착 부여 수지(예를 들어, 알킬페놀계 수지, 크실렌포름알데히드계 수지, 레졸, 노볼락 등), 케톤계 점착 부여 수지, 폴리아미드계 점착 부여 수지, 에폭시계 점착 부여 수지, 엘라스토머계 점착 부여 수지 등을 들 수 있다. 그 중에서도 바람직하게는, 로진계 점착 부여 수지, 테르펜계 점착 부여 수지 또는 탄화수소계 점착 부여 수지(스티렌계 수지 등)이다. 점착 부여제는, 단독으로, 또는 2종 이상 조합해서 사용해도 된다.As the tackifier, any suitable tackifier is used. As the tackifier, for example, a tackifier resin is used. Specific examples of the tackifier resin include rosin-based tackifying resins (for example, unmodified rosin, modified rosin, rosin phenol-based resin, rosin ester-based resin and the like), terpene-based tackifying resins (for example, (For example, aliphatic hydrocarbon resins, aliphatic cyclic hydrocarbon resins, and aromatic hydrocarbon resins (for example, aliphatic hydrocarbon resin, aromatic hydrocarbon resin, or aromatic hydrocarbon resin), a terpene type phenolic resin, a terpene type phenolic resin, a styrene type modified terpene type resin, an aromatic modified terpene type resin, Aliphatic and alicyclic petroleum resins, aliphatic and alicyclic petroleum resins, hydrogenated hydrocarbon resins, coumarone resins, coumarone-indene resins and the like), phenolic tackifier resins (for example, styrene resins and xylene resins) For example, an alkylphenol resin, a xylene formaldehyde resin, a resole, a novolak, etc.), a ketone-based tackifying resin, a polyamide-based tackifying resin, an epoxy- Tackifying resins, and elastomer-based tackifying resins. Among them, rosin-based tackifying resin, terpene-based tackifying resin or hydrocarbon-based tackifying resin (styrene type resin, etc.) are preferable. The tackifiers may be used alone or in combination of two or more.

상기 점착 부여제는 시판품을 사용해도 된다. 시판품의 점착 부여제의 구체예로서는, 야스하라케미컬사제의 상품명 「YS 폴리스타 S145」, 「마이티에이스 K140」, 아라카와가가쿠사제의 상품명 「타마놀 901」 등의 테르펜페놀 수지; 스미토모 베이크라이트사제의 상품명 「스미라이트레진 PR-12603」, 아라카와가가쿠사제의 상품명 「타마놀 361」 등의 로진 페놀 수지; 아라카와가가쿠사제의 상품명 「타마놀 1010R」, 「타마놀 200N」 등의 알킬페놀 수지; 아라카와가가쿠사제의 상품명 「알콘 P-140」 등의 지환족계 포화 탄화수소 수지 등을 들 수 있다.Commercially available products may be used as the tackifier. Specific examples of commercially available tackifiers include terpene phenol resins such as "YS Polystar S145" and "Mighty Ace K140" available from Yasuhara Chemical Co., Ltd. and "Tamanol 901" available from Arakawa Chemical Industries, Ltd.; Sumilite Resin PR-12603 &quot; manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd., rosin phenol resin such as &quot; Tamanol 361 &quot; Alkylphenol resins such as "Tamanol 1010R" and "Tamanol 200N" manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.; And alicyclic saturated hydrocarbon resins such as &quot; Alcon P-140 &quot;, trade name, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd., and the like.

상기 점착 부여제의 첨가량은, 점착제층 100중량부에 대하여, 바람직하게는 40중량부 이하이고, 보다 바람직하게는 30중량부 이하이고, 더욱 바람직하게는 25중량부 이하이고, 더욱 바람직하게는 15중량부 내지 25중량부이다. 이러한 범위라면, 점착력 및 요철 추종성이 우수한 점착제층을 형성할 수 있다. 요철 추종성이 우수한 점착제층을 형성하면, 점착제층과 피착체의 사이에의 약액 침입이 현저하게 방지된다.The amount of the tackifier added is preferably 40 parts by weight or less, more preferably 30 parts by weight or less, further preferably 25 parts by weight or less, and even more preferably 15 parts by weight or less, with respect to 100 parts by weight of the pressure- Parts by weight to 25 parts by weight. In such a range, a pressure-sensitive adhesive layer excellent in adhesion and irregularity followability can be formed. When the pressure-sensitive adhesive layer excellent in irregularity followability is formed, penetration of the chemical solution between the pressure-sensitive adhesive layer and the adherend is remarkably prevented.

상기 점착 부여제의 수산기가는, 바람직하게는 10mgKOH/g 이상이며, 보다 바람직하게는 40mgKOH/g 내지 400mgKOH/g이다. 이러한 범위라면, 점착성과 약액 침입의 방지가 양립되어, 본 발명의 효과가 현저해진다.The hydroxyl value of the tackifier is preferably 10 mgKOH / g or more, and more preferably 40 mgKOH / g to 400 mgKOH / g. In such a range, stickiness and prevention of intrusion of a chemical solution are compatible, and the effect of the present invention becomes remarkable.

상기 가교제로서는, 예를 들어 이소시아네이트계 가교제, 에폭시계 가교제, 멜라민계 가교제, 과산화물계 가교제 외에, 요소계 가교제, 금속 알콕시드계 가교제, 금속 킬레이트계 가교제, 금속염계 가교제, 카르보디이미드계 가교제, 옥사졸린계 가교제, 아지리딘계 가교제, 아민계 가교제 등을 들 수 있다. 그 중에서도 바람직하게는, 이소시아네이트계 가교제 또는 에폭시계 가교제이다.Examples of the cross-linking agent include, in addition to an isocyanate-based cross-linking agent, an epoxy-based cross-linking agent, a melamine-based cross-linking agent and a peroxide-based cross-linking agent, urea cross-linking agents, metal alkoxide cross-linking agents, metal chelate cross-linking agents, metal salt cross- Based crosslinking agents, aziridine-based crosslinking agents, and amine-based crosslinking agents. Among them, an isocyanate crosslinking agent or an epoxy crosslinking agent is preferable.

상기 이소시아네이트계 가교제의 구체예로서는, 부틸렌디이소시아네이트, 헥사메틸렌디이소시아네이트 등의 저급 지방족 폴리이소시아네이트류; 시클로펜틸렌디이소시아네이트, 시클로헥실렌디이소시아네이트, 이소포론디이소시아네이트 등의 지환족 이소시아네이트류; 2,4-톨릴렌디이소시아네이트, 4,4'-디페닐메탄디이소시아네이트, 크실릴렌디이소시아네이트 등의 방향족 이소시아네이트류; 트리메틸올프로판/톨릴렌디이소시아네이트 삼량체 부가물(닛본폴리우레탄고교사제, 상품명 「코로네이트 L」), 트리메틸올프로판/헥사메틸렌디이소시아네이트 삼량체 부가물(닛본폴리우레탄고교사제, 상품명 「코로네이트 HL」), 헥사메틸렌디이소시아네이트의 이소시아누레이트체(닛본폴리우레탄고교사제, 상품명 「코로네이트 HX」) 등의 이소시아네이트 부가물 등을 들 수 있다. 이소시아네이트계 가교제의 함유량은, 원하는 점착력에 따라, 임의의 적절한 양으로 설정될 수 있고, 아크릴계 점착제 I 내의 베이스 중합체(즉, (메트)아크릴계 중합체) 100중량부에 대하여, 대표적으로는 0.1중량부 내지 20중량부이며, 보다 바람직하게는 0.5중량부 내지 10중량부이다.Specific examples of the isocyanate crosslinking agent include lower aliphatic polyisocyanates such as butylene diisocyanate and hexamethylene diisocyanate; Cycloaliphatic isocyanates such as cyclopentylene diisocyanate, cyclohexylene diisocyanate and isophorone diisocyanate; Aromatic isocyanates such as 2,4-tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate and xylylene diisocyanate; Trimethylolpropane / tolylene diisocyanate trimer adduct (trade name "Coronate L" manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.), trimethylolpropane / hexamethylene diisocyanate trimer adduct (available from Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., Coronate HL , And isocyanurate compounds of hexamethylene diisocyanate (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name &quot; Coronate HX &quot;). The content of the isocyanate-based crosslinking agent may be set to any suitable amount depending on the desired adhesive force, and is preferably from 0.1 part by weight to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the base polymer (i.e., (meth) acrylic polymer) in the acrylic pressure- 20 parts by weight, and more preferably 0.5 part by weight to 10 parts by weight.

상기 에폭시계 가교제로서는, 예를 들어 N,N,N',N'-테트라글리시딜-m-크실렌디아민, 디글리시딜아닐린, 1,3-비스(N,N-글리시딜아미노메틸)시클로헥산(미츠비시가스가가쿠사제, 상품명 「테트래드 C」, 1,6-헥산디올디글리시딜에테르(교에샤가가쿠사제, 상품명 「에폴라이트 1600」), 네오펜틸글리콜디글리시딜에테르(교에샤가가쿠사제, 상품명 「에폴라이트 1500NP」),에틸렌글리콜디글리시딜에테르(교에샤가가쿠사제, 상품명 「에폴라이트 40E」), 프로필렌글리콜디글리시딜에테르(교에샤가가쿠사제, 상품명 「에폴라이트 70P」), 폴리에틸렌글리콜디글리시딜에테르(니혼유시사제, 상품명 「에피올 E-400」), 폴리프로필렌글리콜디글리시딜에테르(니혼유시사제, 상품명 「에피올 P-200」), 소르비톨폴리글리시딜에테르(나가세켐텍스사제, 상품명 「데나콜 EX-611」), 글리세롤폴리글리시딜에테르(나가세켐텍스사제, 상품명 「데나콜 EX-314」), 펜타에리트리톨폴리글리시딜에테르, 폴리글리세롤폴리글리시딜에테르(나가세켐텍스사제, 상품명 「데나콜 EX-512」), 소르비탄폴리글리시딜에테르, 트리메틸올프로판폴리글리시딜에테르, 아디프산 디글리시딜에스테르, o-프탈산 디글리시딜에스테르, 트리글리시딜-트리스(2-히드록시에틸)이소시아누레이트, 레조르신디글리시딜에테르, 비스페놀-S-디글리시딜에테르, 분자 내에 에폭시기를 2개 이상 갖는 에폭시계 수지 등을 들 수 있다. 에폭시계 가교제의 함유량은, 원하는 점착력에 따라, 임의의 적절한 양으로 설정될 수 있고, 베이스 중합체 100중량부에 대하여, 대표적으로는 0.01중량부 내지 10중량부이며, 보다 바람직하게는 0.03중량부 내지 5중량부이다.Examples of the epoxy cross-linking agent include N, N, N ', N'-tetraglycidyl-m-xylenediamine, diglycidyl aniline, 1,3-bis (N, N-glycidylaminomethyl ), Cyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., trade name &quot; Tertor C &quot;, 1,6-hexanediol diglycidyl ether (manufactured by Kyowa Chemical Co., Ethylene glycol diglycidyl ether (trade name: "Epolite 40E" manufactured by Kyowa Chemical Co., Ltd.), propylene glycol diglycidyl ether (trade name: "Epolite 1500NP" EPOLOL E-400 &quot;), polypropylene glycol diglycidyl ether (manufactured by Nippon Oil Co., Ltd., trade name, manufactured by Nippon Oil Co., Ltd.) Epiol P-200 &quot;), sorbitol polyglycidyl ether (product of Nagase ChemteX, trade name &quot; Denacol EX-611 ), Glycerol polyglycidyl ether (trade name, "Denacol EX-314", product of Nagase ChemteX), pentaerythritol polyglycidyl ether, polyglycerol polyglycidyl ether EX-512 &quot;), sorbitan polyglycidyl ether, trimethylolpropane polyglycidyl ether, adipic diglycidyl ester, o-phthalic acid diglycidyl ester, triglycidyl-tris S-diglycidyl ether, an epoxy resin having two or more epoxy groups in the molecule, etc. The content of the epoxy cross-linking agent is, for example, May be set to any appropriate amount depending on the desired adhesive force, and is typically from 0.01 to 10 parts by weight, more preferably from 0.03 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the base polymer.

B-2. 열팽창성 미소구B-2. Thermally expandable microsphere

열팽창성 미소구란, 가열에 의해 팽창 또는 발포될 수 있는 미소구이다. 상기 열팽창성 미소구를 포함하는 점착제층을 갖는 열 박리형 점착 시트는, 가열에 의해, 접착면에 요철이 발생해서 점착력이 저하되므로, 점착력을 필요로 하는 경우에서는 충분한 점착력을 갖고, 또한, 박리를 필요로 하는 경우에서의 박리성이 우수하다. 상기한 바와 같이, 본 발명에 있어서는, 산성 또는 알칼리성의 약액에 노출되어도, 열팽창성 미소구가 변질되기 어려워, 열팽창성 미소구로서의 상기 기능을 충분히 발현시킬 수 있다.The thermally expandable micropores are micropores that can be expanded or foamed by heating. The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having the pressure-sensitive adhesive layer containing the heat-expandable microspheres has a sufficient adhesive force when the adhesive force is required because unevenness is generated on the adhesive surface by heating to decrease the adhesive force, The peeling property is excellent. As described above, in the present invention, even when exposed to an acidic or alkaline chemical liquid, the thermally expandable microspheres are less likely to be altered, and the above functions as thermally expandable microspheres can be sufficiently expressed.

상기 열팽창성 미소구의 함유 비율은, 원하는 점착력의 저하성 등에 따라 적절하게 설정할 수 있다. 열팽창성 미소구의 함유 비율은, 아크릴계 점착제 I 내의 상기 (메트)아크릴계 중합체 100중량부에 대하여, 예를 들어 1중량부 내지 150중량부, 바람직하게는 10중량부 내지 130중량부, 더욱 바람직하게는 25중량부 내지 100중량부이다.The content of the thermally expandable microspheres can be appropriately set in accordance with the lowering of the desired adhesive force and the like. The content of the thermally expandable microspheres is, for example, 1 part by weight to 150 parts by weight, preferably 10 parts by weight to 130 parts by weight, more preferably, 1 part by weight to 100 parts by weight, relative to 100 parts by weight of the (meth) acrylic polymer in the acrylic pressure- 25 parts by weight to 100 parts by weight.

상기 열팽창성 미소구로서는, 임의의 적절한 열팽창성 미소구를 사용할 수 있다. 상기 열팽창성 미소구로서는, 예를 들어 가열에 의해 용이하게 팽창되는 물질을, 탄성을 갖는 껍데기 내에 내포시킨 미소구가 사용될 수 있다. 이러한 열팽창성 미소구는, 임의의 적절한 방법, 예를 들어 코아세르베이션법, 계면 중합법 등에 의해 제조할 수 있다.As the thermally expandable microspheres, any suitable thermally expandable microspheres can be used. As the thermally expandable microspheres, microspheres containing a substance which is easily swollen by heating, for example, in a shell having elasticity can be used. Such thermally expandable microspheres can be produced by any appropriate method, for example, a coacervation method, an interfacial polymerization method, or the like.

가열에 의해 용이하게 팽창되는 물질로서는, 예를 들어 프로판, 프로필렌, 부텐, 노르말부탄, 이소부탄, 이소펜탄, 네오펜탄, 노르말펜탄, 노르말헥산, 이소헥산, 헵탄, 옥탄, 석유 에테르, 메탄의 할로겐화물, 테트라알킬실란 등의 저비점 액체; 열분해에 의해 가스화되는 아조디카르본아미드 등을 들 수 있다.Examples of the substance that can be easily expanded by heating include a halogen such as propane, propylene, butene, normal butane, isobutane, isopentane, neopentane, n-pentane, n-hexane, isohexane, heptane, Low-boiling liquids such as cargo, tetraalkylsilane and the like; And azodicarbonamide which is gasified by pyrolysis.

상기 껍데기를 구성하는 물질로서는, 예를 들어 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, α-클로르아크릴로니트릴, α-에톡시아크릴로니트릴, 푸마로니트릴 등의 니트릴 단량체; 아크릴산, 메타크릴산, 이타콘산, 말레산, 푸마르산, 시트라콘산 등의 카르복실산 단량체; 염화 비닐리덴; 아세트산 비닐; 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, 이소부틸(메트)아크릴레이트, t-부틸(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, β-카르복시에틸아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산에스테르; 스티렌, α-메틸스티렌, 클로로스티렌 등의 스티렌 단량체; 아크릴아미드, 치환 아크릴아미드, 메타크릴아미드, 치환 메타크릴아미드 등의 아미드 단량체 등으로 구성되는 중합체를 들 수 있다. 이들 단량체로 구성되는 중합체는, 단독 중합체여도 되고, 공중합체여도 된다. 상기 공중합체로서는, 예를 들어 염화 비닐리덴-메타크릴산 메틸-아크릴로니트릴 공중합체, 메타크릴산 메틸-아크릴로니트릴-메타크릴로니트릴 공중합체, 메타크릴산 메틸-아크릴로니트릴 공중합체, 아크릴로니트릴-메타크릴로니트릴-이타콘산 공중합체 등을 들 수 있다.Examples of the material constituting the shell include nitrile monomers such as acrylonitrile, methacrylonitrile,? -Chloracrylonitrile,? -Ethoxyacrylonitrile, and fumaronitrile; Carboxylic acid monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid and citraconic acid; Vinylidene chloride; Vinyl acetate; (Meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid esters such as hexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate and? -Carboxyethyl acrylate; Styrene monomers such as styrene,? -Methyl styrene and chlorostyrene; Amide monomers such as acrylamide, substituted acrylamide, methacrylamide, and substituted methacrylamide, and the like. The polymer composed of these monomers may be either a homopolymer or a copolymer. Examples of the copolymer include vinylidene chloride-methyl methacrylate-acrylonitrile copolymer, methyl methacrylate-acrylonitrile-methacrylonitrile copolymer, methyl methacrylate-acrylonitrile copolymer, Acrylonitrile-methacrylonitrile-itaconic acid copolymer, and the like.

상기 열팽창성 미소구로서, 무기계 발포제 또는 유기계 발포제를 사용해도 된다. 무기계 발포제로서는, 예를 들어 탄산암모늄, 탄산수소암모늄, 탄산수소나트륨, 아질산 암모늄, 수산화 붕소 나트륨, 각종 아지드류 등을 들 수 있다. 또한, 유기계 발포제로서는, 예를 들어 트리클로로모노플루오로메탄, 디클로로모노플루오로메탄 등의 염불화 알칸계 화합물; 아조비스이소부티로니트릴, 아조디카르본아미드, 바륨아조디카르복실레이트 등의 아조계 화합물; 파라톨루엔술포닐히드라지드, 디페닐술폰-3,3'-디술포닐히드라지드, 4,4'-옥시비스(벤젠술포닐히드라지드), 알릴비스(술포닐히드라지드) 등의 히드라진계 화합물; p-톨루일렌술포닐세미카르바지드, 4,4'-옥시비스(벤젠술포닐세미카르바지드) 등의 세미카르바지드계 화합물; 5-모르포릴-1,2,3,4-티아트리아졸 등의 트리아졸계 화합물; N,N'-디니트로소펜타메틸렌테트라민, N,N'-디메틸-N,N'-디니트로소테레프탈아미드 등의 N-니트로소계 화합물 등을 들 수 있다.As the thermally expandable microspheres, an inorganic foaming agent or an organic foaming agent may be used. Examples of the inorganic foaming agent include ammonium carbonate, ammonium hydrogencarbonate, sodium hydrogen carbonate, ammonium nitrite, sodium borohydride, and various azides. Examples of the organic foaming agent include chlorobenzene-based compounds such as trichloromonofluoromethane and dichloromonofluoromethane; Azo compounds such as azobisisobutyronitrile, azodicarbonamide, and barium azodicarboxylate; Hydrazine compounds such as para-toluenesulfonyl hydrazide, diphenylsulfone-3,3'-disulfonylhydrazide, 4,4'-oxybis (benzenesulfonylhydrazide) and allyl bis (sulfonylhydrazide); a semicarbazide-based compound such as p-toluenesulfonyl semicarbazide, 4,4'-oxybis (benzenesulfonyl semicarbazide); Triazole-based compounds such as 5-morpholyl-1,2,3,4-thiatriazole; N-nitroso compounds such as N, N'-dinitrosopentamethylenetetramine and N, N'-dimethyl-N, N'-dinitrosoterephthalamide.

상기 열팽창성 미소구는 시판품을 사용해도 된다. 시판품의 열팽창성 미소구의 구체예로서는, 마츠모토유시세이야쿠사제의 상품명 「마츠모토 마이크로 스페어」(그레이드: F-30, F-30D, F-36D, F-36LV, F-50, F-50D, F-65, F-65D, FN-100SS, FN-100SSD, FN-180SS, FN-180SSD, F-190D, F-260D, F-2800D), 니혼필라이트사제의 상품명 「엑스팬슬」(그레이드: 053-40, 031-40, 920-40, 909-80, 930-120), 구레하가가쿠고교사제 「다이폼」 (그레이드: H750, H850, H1100, S2320D, S2640D, M330, M430, M520), 세키스이가가쿠고교사제 「아도반셀」(그레이드: EML101, EMH204, EHM301, EHM302, EHM303, EM304, EHM401, EM403, EM501) 등을 들 수 있다.A commercially available product may be used as the thermally expandable microspheres. Specific examples of thermally expandable microspheres of commercially available products include Matsumoto Microsphere (grade: F-30, F-30D, F-36D, F-36LV, F-50, F- F-180D, F-190D, F-190D, F-260D and F-2800D manufactured by Nippon Phillips Co., (Grade: H750, H850, H1100, S2320D, S2640D, M330, M430, M520) manufactured by Kureha Chemical Industries, Ltd., (Grades: EML101, EMH204, EHM301, EHM302, EHM303, EM304, EHM401, EM403 and EM501) manufactured by Igagaku Kogyo Co., Ltd., and the like.

상기 열팽창성 미소구의 가열 전의 입자 직경은, 바람직하게는 0.5㎛ 내지 80㎛이며, 보다 바람직하게는 5㎛ 내지 45㎛이며, 더욱 바람직하게는 10㎛ 내지 20㎛이며, 특히 바람직하게는 10㎛ 내지 15㎛이다. 따라서, 상기 열팽창성 미소구의 가열 전의 입자 사이즈를 평균 입자 직경으로 말하면, 바람직하게는 6㎛ 내지 45㎛이며, 보다 바람직하게는 15㎛ 내지 35㎛이다. 상기의 입자 직경과 평균 입자 직경은 레이저 산란법에 있어서의 입도 분포 측정법에 의해 구해지는 값이다.The particle size of the heat-expandable microspheres prior to heating is preferably 0.5 to 80 탆, more preferably 5 to 45 탆, further preferably 10 to 20 탆, particularly preferably 10 to 20 탆, 15 mu m. Therefore, the particle size of the heat-expandable microspheres prior to heating is preferably from 6 탆 to 45 탆, and more preferably from 15 탆 to 35 탆, in terms of the average particle diameter. The particle diameter and the average particle diameter are values obtained by the particle size distribution measurement method in the laser scattering method.

상기 열팽창성 미소구는, 체적 팽창률이 바람직하게는 5배 이상, 보다 바람직하게는 7배 이상, 더욱 바람직하게는 10배 이상이 될 때까지 파열되지 않는 적당한 강도를 갖는 것이 바람직하다. 이러한 열팽창성 미소구를 사용할 경우, 가열 처리에 의해 점착력을 효율적으로 저하시킬 수 있다.The thermally expandable microspheres preferably have a suitable strength not ruptured until the volume expansion rate is preferably 5 times or more, more preferably 7 times or more, and even more preferably 10 times or more. When such thermally expandable microspheres are used, the adhesive force can be effectively lowered by the heat treatment.

B-3. 제1 점착제층의 특성 등B-3. Characteristics of the first pressure sensitive adhesive layer

상기 제1 점착제층의 두께는, 바람직하게는 1㎛ 내지 100㎛이며, 보다 바람직하게는 5㎛ 내지 80㎛이며, 특히 바람직하게는 10㎛ 내지 50㎛이다. 상기한 바와 같이, 제1 점착제층은, 열팽창성 미소구를 포함하는 층이다. 따라서, 제1 점착제층의 두께는, 제1 점착제층의 두께 방향 단면을 관찰했을 때의, 제1 점착제층의 외측면(기재와는 반대측의 면)과, 기재에 가장 가까운 열팽창성 미소구의 최내측 단부까지의 거리를 말한다.The thickness of the first pressure-sensitive adhesive layer is preferably 1 탆 to 100 탆, more preferably 5 탆 to 80 탆, and particularly preferably 10 탆 to 50 탆. As described above, the first pressure sensitive adhesive layer is a layer containing thermally expandable microspheres. Therefore, the thickness of the first pressure-sensitive adhesive layer is preferably set such that the outer surface of the first pressure-sensitive adhesive layer (the surface opposite to the substrate) when the cross section in the thickness direction of the first pressure-sensitive adhesive layer is observed, The distance to the inner end.

상기 제1 점착제층의 두께와, 상기 제1 점착제층에 포함되는 열팽창성 미소구의 평균 입자 직경의 차(두께-평균 입자 직경)는, 바람직하게는 8㎛ 이상이며, 보다 바람직하게는 10㎛ 이상이며, 더욱 바람직하게는 15㎛ 이상이며, 특히 바람직하게는 20㎛ 이상이며, 가장 바람직하게는 25㎛ 내지 100㎛이다. 이러한 범위라면, 제1 점착제층이 적절한 표면 조도를 갖고, 제1 점착제층과 피착체의 계면에, 약액이 침입하기 어려운 열 박리형 점착 시트를 얻을 수 있다.The difference (thickness-average particle diameter) between the thickness of the first pressure-sensitive adhesive layer and the average particle diameter of the thermally expansible microspheres included in the first pressure-sensitive adhesive layer is preferably 8 占 퐉 or more, more preferably 10 占 퐉 or more More preferably 15 mu m or more, particularly preferably 20 mu m or more, and most preferably 25 mu m to 100 mu m. With such a range, the first pressure-sensitive adhesive layer has an appropriate surface roughness, and a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet in which the chemical solution is less likely to enter the interface between the first pressure-sensitive adhesive layer and the adherend can be obtained.

상기 제1 점착제층의 25℃에서의 나노인덴테이션법에 의한 탄성률은, 바람직하게는 0.01MPa 내지 50MPa이며, 보다 바람직하게는 0.1MPa 내지 10MPa이며, 특히 바람직하게는 0.5MPa 내지 5MPa이다. 점착제층의 탄성률이 상기 범위라면, 점착성, 절단성 및 단차 추종성이 우수한 열 박리형 점착 시트를 얻을 수 있다. 나노인덴테이션법에 의한 탄성률이란, 압자를 시료에 압입했을 때의, 압자에의 부하 하중과 압입 깊이를 부하 시, 제하 시에 걸쳐서 연속적으로 측정하여, 얻어진 부하 하중-압입 깊이 곡선으로부터 구해지는 탄성률을 말한다. 본 명세서에 있어서, 나노인덴테이션법에 의한 탄성률이란, 측정 조건을 하중: 1mN, 부하·제하 속도: 0.1mN/s, 유지 시간: 1s로 하여 상기와 같이 측정한 탄성률을 말한다.The elastic modulus of the first pressure-sensitive adhesive layer in the nanoindentation method at 25 캜 is preferably 0.01 MPa to 50 MPa, more preferably 0.1 MPa to 10 MPa, and particularly preferably 0.5 MPa to 5 MPa. When the modulus of elasticity of the pressure-sensitive adhesive layer is in the above-mentioned range, a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having excellent tackiness, cuttability and step traceability can be obtained. The elastic modulus according to the nanoindentation method is a value obtained by continuously measuring the load applied to the indenter and the indentation depth when the indenter is press-fitted into the sample during the time of unloading and calculating the elastic modulus from the obtained load-indentation depth curve Refers to the elastic modulus. In the present specification, the elastic modulus according to the nanoindentation method refers to a modulus of elasticity measured under the conditions of a load of 1 mN, a load / unload rate of 0.1 mN / s, and a holding time of 1 s.

상기 제1 점착제층의 탄성률은, 상기 점착제층중의 점착제를 구성하는 베이스 중합체의 조성 등에 따라 조정할 수 있다. 또한, 제1 점착제층에 첨가제를 첨가해서 탄성률을 조정해도 된다. 예를 들어, 제1 점착제층에 비즈를 함유시키면, 상기 점착제층의 탄성률을 높일 수 있다. 비즈로서는, 예를 들어 글래스 비즈, 수지 비즈 등을 들 수 있다. 비즈의 평균 입경은, 예를 들어 0.01㎛ 내지 50㎛이다. 비즈의 첨가량은, 점착제층 전체 100중량부에 대하여, 예를 들어 10중량부 내지 200중량부, 바람직하게는 20중량부 내지 100중량부이다.The elastic modulus of the first pressure-sensitive adhesive layer can be adjusted according to the composition of the base polymer constituting the pressure-sensitive adhesive in the pressure-sensitive adhesive layer. Further, the modulus of elasticity may be adjusted by adding an additive to the first pressure-sensitive adhesive layer. For example, when beads are contained in the first pressure-sensitive adhesive layer, the modulus of elasticity of the pressure-sensitive adhesive layer can be increased. Examples of the beads include glass beads and resin beads. The average particle diameter of the beads is, for example, 0.01 탆 to 50 탆. The amount of the beads to be added is, for example, 10 parts by weight to 200 parts by weight, preferably 20 parts by weight to 100 parts by weight, relative to 100 parts by weight of the whole pressure-sensitive adhesive layer.

상기 제1 점착제층의 접착면의 중심선 평균 표면 조도(Ra)는, 바람직하게는 1㎛ 이하이고, 보다 바람직하게는 0.01㎛ 내지 1㎛이며, 더욱 바람직하게는 0.03㎛ 내지 0.8㎛이며, 특히 바람직하게는 0.06㎛ 내지 0.6㎛이다. 이러한 범위라면, 제1 점착제층과 피착체의 계면에, 약액이 침입하기 어려운 열 박리형 점착 시트를 얻을 수 있다. 표면 조도(Ra)는, JIS B 0601에 준하여 측정된다.The centerline average surface roughness (Ra) of the adhesive surface of the first pressure-sensitive adhesive layer is preferably 1 占 퐉 or less, more preferably 0.01 占 퐉 to 1 占 퐉, still more preferably 0.03 占 퐉 to 0.8 占 퐉, 0.06 占 퐉 to 0.6 占 퐉. With such a range, it is possible to obtain a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet in which the chemical solution is less likely to enter the interface between the first pressure-sensitive adhesive layer and the adherend. The surface roughness (Ra) is measured in accordance with JIS B 0601.

상기 제1 점착제층에 대한 물의 접촉각은, 바람직하게는 85° 내지 115°이며, 보다 바람직하게는 87° 내지 115°이며, 특히 바람직하게는 90° 내지 115°이다. 물의 접촉각이 115°보다 큰 경우, 즉, 점착제층의 소수성이 높은 경우, 충분한 점착 특성을 얻지 못할 우려가 있다. 한편, 물의 접촉각이 85°보다 작은 경우, 즉, 점착제층의 소수성이 너무 낮은 경우, 점착제층과 피착체의 계면에 약액이 침입할 우려가 있다.The contact angle of water with respect to the first pressure-sensitive adhesive layer is preferably 85 ° to 115 °, more preferably 87 ° to 115 °, and particularly preferably 90 ° to 115 °. When the contact angle of water is larger than 115 DEG, that is, when the pressure-sensitive adhesive layer has high hydrophobicity, there is a fear that sufficient adhesive property can not be obtained. On the other hand, when the contact angle of water is smaller than 85 °, that is, when the hydrophobicity of the pressure-sensitive adhesive layer is too low, there is a possibility that the chemical liquid enters the interface between the pressure-sensitive adhesive layer and the adherend.

상기 제1 점착제층의 겔 분율은, 바람직하게는 50% 이상이며, 보다 바람직하게는 52% 내지 99%이며, 더욱 바람직하게는 55% 내지 99%이다. 이러한 범위라면, 점착제층에의 약액 침입을 방지할 수 있다. 점착제층의 겔 분율은, 점착제를 구성하는 베이스 중합체의 조성, 가교제의 종류 및 함유량, 점착 부여제의 종류 및 함유량 등을 제어해서 조정할 수 있다. 겔 분율의 측정 방법은, 후술한다.The gel fraction of the first pressure-sensitive adhesive layer is preferably 50% or more, more preferably 52% to 99%, and still more preferably 55% to 99%. In such a range, penetration of the chemical liquid into the pressure-sensitive adhesive layer can be prevented. The gel fraction of the pressure-sensitive adhesive layer can be adjusted by controlling the composition of the base polymer constituting the pressure-sensitive adhesive, the kind and content of the cross-linking agent, the kind and content of the tackifier, and the like. A method of measuring the gel fraction will be described later.

C. 제2 점착제층C. Second pressure-sensitive adhesive layer

C-1. 점착제C-1. adhesive

상기 제2 점착제층은, 임의의 적절한 점착제를 포함한다. 제2 점착제층에 포함되는 점착제로서는, 밀착성의 관점, 또한, 제2 점착제층이 열팽창 미소구를 포함할 경우에는, 가열 시에 열팽창성 미소구의 팽창 또는 발포를 구속하지 않는 관점에서, 예를 들어 아크릴계 점착제, 고무계 점착제, 비닐알킬에테르계 점착제, 실리콘계 점착제, 폴리에스테르계 점착제, 폴리아미드계 점착제, 우레탄계 점착제, 스티렌-디엔 블록 공중합체계 점착제, 활성 에너지선 경화형 점착제 등을 들 수 있다. 또한, 상기 점착제는, 융점이 약 200℃ 이하인 열용융성 수지가 배합된 크리프 특성 개량형 점착제여도 된다. 크리프 특성 개량형 점착제의 상세는, 일본 특허 공개 소56-61468호 공보, 일본 특허 공개 소63-17981호 공보 등에 기재되어 있다. 상기 점착제중에서도, 아크릴계 점착제 또는 고무계 점착제가 바람직하게 사용될 수 있다. 또한, 상기 점착제는, 단독으로, 또는 2종 이상 조합해서 사용해도 된다.The second pressure sensitive adhesive layer includes any suitable pressure sensitive adhesive. As the pressure-sensitive adhesive contained in the second pressure-sensitive adhesive layer, from the viewpoint of adhesion, and in the case where the second pressure-sensitive adhesive layer contains the thermally-expanded microspheres, from the viewpoint of not constraining the expansion or foaming of the heat- Acrylic pressure sensitive adhesives, rubber pressure sensitive adhesives, vinyl alkyl ether pressure sensitive adhesives, silicone pressure sensitive adhesives, polyester pressure sensitive adhesives, polyamide pressure sensitive adhesives, urethane pressure sensitive adhesives, styrene - diene block copolymer pressure sensitive adhesives, and active energy ray curable pressure sensitive adhesives. Further, the pressure-sensitive adhesive may be a creep property improving type pressure-sensitive adhesive containing a heat-fusible resin having a melting point of about 200 ° C or less. Details of the creep property improving type pressure-sensitive adhesive are described in JP-B-56-61468 and JP-A-63-17981. Of the above pressure-sensitive adhesives, acrylic pressure-sensitive adhesives or rubber pressure-sensitive adhesives can be preferably used. The pressure-sensitive adhesives may be used alone or in combination of two or more.

제2 점착제층에 포함되는 아크릴계 점착제로서는, 임의의 적절한 아크릴계 점착제가 사용될 수 있다. 예를 들어, (메트)아크릴산 알킬에스테르의 1종 또는 2종 이상을 단량체 성분으로서 사용한 아크릴계 중합체(단독 중합체 또는 공중합체)를 베이스 중합체로 하는 아크릴계 점착제 등을 들 수 있다. 하나의 실시 형태에 있어서는, 상기 B항에서 설명한 아크릴계 점착제 I가 사용된다.As the acrylic pressure-sensitive adhesive contained in the second pressure-sensitive adhesive layer, any appropriate acrylic pressure-sensitive adhesive may be used. For example, an acrylic pressure sensitive adhesive using an acrylic polymer (homopolymer or copolymer) using one or two or more of (meth) acrylic acid alkyl esters as a monomer component as a base polymer. In one embodiment, the acrylic pressure-sensitive adhesive I described in the above section B is used.

상기 고무계 점착제로서는, 예를 들어 천연 고무; 폴리이소프렌 고무, 스티렌·부타디엔(SB) 고무, 스티렌·이소프렌(SI) 고무, 스티렌·이소프렌·스티렌 블록 공중합체(SIS) 고무, 스티렌·부타디엔·스티렌 블록 공중합체(SBS) 고무, 스티렌·에틸렌·부틸렌·스티렌 블록 공중합체(SEBS) 고무, 스티렌·에틸렌·프로필렌·스티렌 블록 공중합체(SEPS) 고무, 스티렌·에틸렌·프로필렌 블록 공중합체(SEP) 고무, 재생 고무, 부틸 고무, 폴리이소부틸렌, 이들의 변성체 등의 합성 고무 등을 베이스 중합체로 하는 고무계 점착제를 들 수 있다.Examples of the rubber-based pressure-sensitive adhesive include natural rubber; Butadiene rubber, styrene-butadiene rubber, styrene-isoprene rubber, styrene-isoprene-styrene block copolymer (SIS) rubber, styrene-butadiene styrene block copolymer (SBS) Butadiene rubber, styrene-butadiene-styrene block copolymer (SEBS) rubber, styrene-ethylene-propylene-styrene block copolymer (SEPS) rubber, styrene-ethylene-propylene block copolymer (SEP) , Synthetic rubber such as modified products thereof, and the like can be mentioned.

상기 제2 점착제층에 포함되는 점착제로서, 활성 에너지선의 조사에 의해 경화(고탄성률화)할 수 있는 활성 에너지선 경화형 점착제를 사용해도 된다. 활성 에너지선 경화형 점착제를 사용하면, 부착 시에는 저탄성이고 유연성이 높아 취급성이 우수하고, 박리를 필요로 하는 경우에 있어서는, 활성 에너지선을 조사함으로써 점착력을 저하시킬 수 있는 열 박리형 점착 시트를 얻을 수 있다. 활성 에너지선으로서는, 예를 들어 감마선, 자외선, 가시광선, 적외선(열선), 라디오파, 알파선, 베타선, 전자선, 플라즈마류, 전리선, 입자선 등을 들 수 있다.As the pressure-sensitive adhesive contained in the second pressure-sensitive adhesive layer, an active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive which can be cured (high elastic modulus) by irradiation with active energy rays may be used. When the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive is used, the pressure-sensitive adhesive sheet which is low in elasticity at the time of attachment and excellent in handling properties because of its high flexibility, Can be obtained. Examples of the active energy ray include gamma ray, ultraviolet ray, visible ray, infrared ray (heat ray), radio wave, alpha ray, beta ray, electron ray, plasma ray, ion beam and particle ray.

상기 활성 에너지선 경화형 점착제를 구성하는 수지 재료로서는, 예를 들어 자외선 경화 시스템(가토 기요미 저, 종합기술센터 발행, (1989)), 광 경화 기술(기술정보협회편(2000)), 일본 특허 공개 제2003-292916호 공보, 특허4151850호 등에 기재되어 있는 수지 재료를 들 수 있다. 보다 구체적으로는, 모제가 되는 중합체와 활성 에너지선 반응성 화합물(단량체 또는 올리고머)을 포함하는 수지 재료(R1), 활성 에너지선 반응성 중합체를 포함하는 수지 재료(R2) 등을 들 수 있다.As a resin material constituting the active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive, there can be mentioned, for example, an ultraviolet curing system (published by Kato Kiyomi, Integrated Technology Center, (1989) Open Publication No. 2003-292916, and Japanese Patent No. 4151850, and the like. More specifically, there can be mentioned a resin material (R1) containing a polymer to be aggregated and an active energy ray-reactive compound (monomer or oligomer), and a resin material (R2) containing an active energy ray-reactive polymer.

상기 모제가 되는 중합체로서는, 예를 들어 천연 고무, 폴리이소부틸렌 고무, 스티렌·부타디엔 고무, 스티렌·이소프렌·스티렌 블록 공중합체 고무, 재생 고무, 부틸 고무, 폴리이소부틸렌 고무, 니트릴 고무(NBR) 등의 고무계 중합체; 실리콘계 중합체; 아크릴계 중합체 등을 들 수 있다. 이들 중합체는, 단독으로, 또는 2종 이상 조합해서 사용해도 된다.Examples of the polymer that can be used as the polymer include natural rubber, polyisobutylene rubber, styrene / butadiene rubber, styrene / isoprene / styrene block copolymer rubber, regenerated rubber, butyl rubber, polyisobutylene rubber, nitrile rubber ); Silicone-based polymers; Acrylic polymers and the like. These polymers may be used singly or in combination of two or more kinds.

상기 활성 에너지선 반응성 화합물로서는, 예를 들어 아크릴로일기, 메타크릴로일기, 비닐기, 알릴기, 아세틸렌기 등의 탄소-탄소 다중 결합을 갖는 관능기를 갖는 광반응성의 단량체 또는 올리고머를 들 수 있다. 상기 광반응성의 단량체 또는 올리고머의 구체예로서는, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 테트라메틸올메탄테트라(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨모노히드록시펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 1,4-부탄디올디(메트)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴로일기 함유 화합물; 상기 (메트)아크릴로일기 함유 화합물의 2 내지 5량체 등을 들 수 있다.Examples of the active energy ray-reactive compound include photoreactive monomers or oligomers having a functional group having a carbon-carbon multiple bond such as an acryloyl group, a methacryloyl group, a vinyl group, an allyl group, and an acetylene group . Specific examples of the photoreactive monomer or oligomer include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra Acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexane diol di (meth) acrylate, dipentaerythritol monohydroxypenta (Meth) acryloyl group-containing compounds such as polyethylene glycol di (meth) acrylate; And 2- to 5-mer of the (meth) acryloyl group-containing compound.

또한, 상기 활성 에너지선 반응성 화합물로서, 에폭시화 부타디엔, 글리시딜메타크릴레이트, 아크릴아미드, 비닐실록산 등의 단량체; 또는 상기 단량체로 구성되는 올리고머를 사용해도 된다. 이들 화합물을 포함하는 수지 재료(R1)는, 자외선, 전자선 등의 고에너지선에 의해 경화할 수 있다.Examples of the active energy ray-reactive compound include monomers such as epoxidized butadiene, glycidyl methacrylate, acrylamide, and vinyl siloxane; Or an oligomer composed of the monomer may be used. The resin material (R1) containing these compounds can be cured by high energy rays such as ultraviolet rays and electron beams.

또한, 상기 활성 에너지선 반응성 화합물로서, 오늄염 등의 유기염류와, 분자 내에 복수의 복소환을 갖는 화합물의 혼합물을 사용해도 된다. 상기 혼합물은, 활성 에너지선(예를 들어, 자외선, 전자선)의 조사에 의해 유기염이 개열해서 이온을 생성하고, 이것이 개시종이 되어 복소환의 개환 반응을 일으켜서 3차원 그물눈 구조를 형성할 수 있다. 상기 유기염류로서는, 예를 들어 요오도늄염, 포스포늄 염, 안티모늄염, 술포늄염, 보레이트염 등을 들 수 있다. 상기 분자 내에 복수의 복소환을 갖는 화합물에 있어서의 복소환으로서는, 옥시란, 옥세탄, 옥소란, 티이란, 아지리딘 등을 들 수 있다.As the active energy ray-reactive compound, a mixture of an organic salt such as an onium salt and a compound having a plurality of heterocyclic rings in a molecule may be used. The mixture of the organic salts is cleaved by irradiation of active energy rays (for example, ultraviolet rays, electron beams) to generate ions, which are initiated to cause a ring-opening reaction of the heterocyclic ring to form a three-dimensional mesh structure . Examples of the organic salts include iodonium salts, phosphonium salts, antimonium salts, sulfonium salts, borate salts and the like. Examples of the heterocycle in the compound having a plurality of heterocyclic rings in the molecule include oxirane, oxetane, oxolane, thiirane, and aziridine.

또한, 상기 활성 에너지선 반응성 화합물로서, 오늄염 등의 유기염류와, 분자 내에 복수의 복소환을 갖는 화합물의 혼합물을 사용해도 된다. 상기 혼합물은, 활성 에너지선(예를 들어, 자외선, 전자선)의 조사에 의해 유기염이 개열해서 이온을 생성하고, 이것이 개시종이 되어 복소환의 개환 반응을 일으켜서 3차원 그물눈 구조를 형성할 수 있다. 상기 유기염류로서는, 예를 들어 요오도늄염, 포스포늄 염, 안티모늄염, 술포늄염, 보레이트염 등을 들 수 있다. 상기 분자 내에 복수의 복소환을 갖는 화합물에 있어서의 복소환으로서는, 옥시란, 옥세탄, 옥소란, 티이란, 아지리딘 등을 들 수 있다.As the active energy ray-reactive compound, a mixture of an organic salt such as an onium salt and a compound having a plurality of heterocyclic rings in a molecule may be used. The mixture of the organic salts is cleaved by irradiation of active energy rays (for example, ultraviolet rays, electron beams) to generate ions, which are initiated to cause a ring-opening reaction of the heterocyclic ring to form a three-dimensional mesh structure . Examples of the organic salts include iodonium salts, phosphonium salts, antimonium salts, sulfonium salts, borate salts and the like. Examples of the heterocycle in the compound having a plurality of heterocyclic rings in the molecule include oxirane, oxetane, oxolane, thiirane, and aziridine.

상기 모제가 되는 중합체와 활성 에너지선 반응성 화합물을 포함하는 수지 재료(R1)에 있어서, 활성 에너지선 반응성 화합물의 함유 비율은, 모제가 되는 중합체 100중량부에 대하여, 바람직하게는 0.1중량부 내지 500중량부이며, 보다 바람직하게는 1중량부 내지 300중량부이며, 더욱 바람직하게는 10중량부 내지 200중량부이다.In the resin material (R1) comprising the polymer to be aggregated and the active energy ray-reactive compound, the content of the active energy ray-reactive compound is preferably from 0.1 to 500 parts by weight per 100 parts by weight of the polymer More preferably 1 part by weight to 300 parts by weight, and still more preferably 10 parts by weight to 200 parts by weight.

상기 모제가 되는 중합체와 활성 에너지선 반응성 화합물을 포함하는 수지 재료(R1)는, 필요에 따라, 임의의 적절한 첨가제를 포함할 수 있다. 첨가제로서는, 예를 들어 활성 에너지선 중합 개시제, 활성 에너지선 중합 촉진제, 가교제, 가소제, 가황제 등을 들 수 있다. 활성 에너지선 중합 개시제로서는, 사용하는 활성 에너지선의 종류에 따라, 임의의 적절한 개시제가 사용될 수 있다. 활성 에너지선 중합 개시제는, 단독으로, 또는 2종 이상 조합해서 사용해도 된다. 모제가 되는 중합체와 활성 에너지선 반응성 화합물을 포함하는 수지 재료(R1)에 있어서, 활성 에너지선 중합 개시제의 함유 비율은, 모제가 되는 중합체 100중량부에 대하여, 바람직하게는 0.1중량부 내지 10중량부이며, 보다 바람직하게는 1중량부 내지 5중량부이다.The resin material (R1) containing the above-mentioned polymer to be aggregated and the active energy ray-reactive compound may optionally contain any suitable additives. As the additive, for example, an active energy ray polymerization initiator, an active energy ray polymerization accelerator, a crosslinking agent, a plasticizer, a vulcanizing agent and the like can be given. As the active energy ray polymerization initiator, any suitable initiator may be used depending on the kind of active energy ray to be used. The active energy ray polymerization initiators may be used singly or in combination of two or more kinds. In the resin material (R1) containing the polymer to be aggregated and the active energy ray-reactive compound, the content of the active energy ray polymerization initiator is preferably 0.1 part by weight to 10 parts by weight More preferably 1 part by weight to 5 parts by weight.

상기 활성 에너지선 반응성 중합체로서는, 예를 들어 아크릴로일기, 메타크릴로일기, 비닐기, 알릴기, 아세틸렌기 등의 탄소-탄소 다중 결합을 갖는 관능기를 갖는 중합체를 들 수 있다. 활성 에너지선 반응성 관능기를 갖는 중합체의 구체예로서는, 다관능 (메트)아크릴레이트로 구성되는 중합체; 광 양이온 중합형 중합체; 폴리비닐신나마이트 등의 신나모일기 함유 중합체; 디아조화된 아미노 노볼락 수지; 폴리아크릴아미드 등을 들 수 있다. 또한, 활성 에너지선 반응성 중합체를 포함하는 수지 재료(R2)로서, 알릴기를 갖는 활성 에너지선 반응성 중합체와 티올기를 갖는 화합물의 혼합물을 사용할 수도 있다. 또한, 활성 에너지선 조사에 의한 경화 전(예를 들어, 열 박리형 점착 시트를 부착할 때)에, 실용 가능한 경도(점도)를 갖는 점착제층 전구체를 형성할 수 있는 한, 활성 에너지선 반응성 관능기를 갖는 중합체 외에, 활성 에너지선 반응성 관능기를 갖는 올리고머를 사용할 수도 있다.Examples of the active energy ray-reactive polymer include a polymer having a functional group having a carbon-carbon multiple bond such as an acryloyl group, a methacryloyl group, a vinyl group, an allyl group, and an acetylene group. Specific examples of the polymer having an active energy ray-reactive functional group include a polymer composed of a polyfunctional (meth) acrylate; A photo cationic polymerizable polymer; A neomoyl group-containing polymer such as polyvinyl cinnamate; Diazotized aminovorak resins; Polyacrylamide, and the like. As the resin material (R2) containing the active energy ray-reactive polymer, a mixture of a compound having an active energy ray-reactive polymer having an allyl group and a compound having a thiol group may also be used. In addition, as long as a pressure-sensitive adhesive layer precursor having practically acceptable hardness (viscosity) can be formed before curing by irradiation with active energy rays (for example, when attaching a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet) , An oligomer having an active energy ray-reactive functional group may be used.

상기 활성 에너지선 반응성 중합체를 포함하는 수지 재료(R2)는, 상기 활성 에너지선 반응성 화합물(단량체 또는 올리고머)을 더 포함하고 있어도 된다. 또한, 상기 활성 에너지선 반응성 중합체를 포함하는 수지 재료(R2)는, 필요에 따라, 임의의 적절한 첨가제를 포함할 수 있다. 첨가제의 구체예는, 모제가 되는 중합체와 활성 에너지선 반응성 화합물을 포함하는 수지 재료(R1)에 포함될 수 있는 첨가제와 동일하다. 활성 에너지선 반응성 중합체를 포함하는 수지 재료(R2)에 있어서, 활성 에너지선 중합 개시제의 함유 비율은, 활성 에너지선 반응성 중합체 100중량부에 대하여, 바람직하게는 0.1중량부 내지 10중량부이며, 보다 바람직하게는 1중량부 내지 5중량부이다.The resin material (R2) comprising the active energy ray-reactive polymer may further contain the active energy ray-reactive compound (monomer or oligomer). Further, the resin material (R2) containing the active energy ray-reactive polymer may contain any suitable additives, if necessary. Specific examples of the additive are the same as the additive that can be contained in the resin material (R1) containing the polymer to be aggregated and the active energy ray-reactive compound. In the resin material (R2) containing the active energy ray-reactive polymer, the content of the active energy ray polymerization initiator is preferably 0.1 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the active energy ray- Preferably 1 part by weight to 5 parts by weight.

상기 제2 점착제층에 포함되는 점착제는, 필요에 따라, 임의의 적절한 첨가제를 포함할 수 있다. 사용되는 첨가제의 예로서는, 상기 B-1항에서 설명한 첨가제를 들 수 있다. 또한, 첨가제(점착 부여제, 가교제 등)의 첨가량도, B-1항에서 설명한 첨가량인 것이 바람직하다. 따라서, 하나의 실시 형태에 있어서는, 제2 점착제층은, 점착 부여제를 포함할 수 있고, 상기 점착 부여제의 함유 비율은, 점착제층 100중량부에 대하여, 바람직하게는 40중량부 이하이고, 보다 바람직하게는 30중량부 이하이고, 더욱 바람직하게는 25중량부 이하이고, 더욱 바람직하게는 3중량부 내지 25중량부이다.The pressure-sensitive adhesive contained in the second pressure-sensitive adhesive layer may contain any suitable additives, if necessary. Examples of the additives to be used include the additives described in the above section B-1. The addition amount of the additive (tackifier, cross-linking agent, etc.) is preferably the addition amount described in the section B-1. Therefore, in one embodiment, the second pressure sensitive adhesive layer may contain a tackifier, and the content of the tackifier is preferably 40 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the pressure sensitive adhesive layer, More preferably 30 parts by weight or less, still more preferably 25 parts by weight or less, and still more preferably 3 parts by weight to 25 parts by weight.

C-2. 열팽창성 미소구C-2. Thermally expandable microsphere

하나의 실시 형태에 있어서는, 상기 제2 점착제층은, B-2항에서 설명한 열팽창성 미소구를 더 포함한다. 제2 점착제층에 있어서도, 열팽창성 미소구의 함유 비율은, 제2 점착제층을 형성하는 점착제중의 베이스 중합체 100중량부에 대하여, 예를 들어 1중량부 내지 150중량부, 바람직하게는 10중량부 내지 130중량부, 더욱 바람직하게는 25중량부 내지 100중량부이다.In one embodiment, the second pressure-sensitive adhesive layer further includes the thermally expandable microspheres described in the section B-2. The content of the thermally expandable microspheres in the second pressure-sensitive adhesive layer is, for example, 1 part by weight to 150 parts by weight, preferably 10 parts by weight To 130 parts by weight, more preferably 25 parts by weight to 100 parts by weight.

C-3. 제2 점착제층의 특성 등C-3. Properties of the second pressure sensitive adhesive layer

상기 제2 점착제층의 두께는, 바람직하게는 1㎛ 내지 100㎛이며, 보다 바람직하게는 5㎛ 내지 80㎛이며, 특히 바람직하게는 10㎛ 내지 50㎛이다. 제2 점착제층이 열팽창성 미소구를 포함할 경우, 제2 점착제층의 두께는, 제1 점착제층의 두께와 마찬가지로, 제2 점착제층의 두께 방향 단면을 관찰했을 때의, 제2 점착제층의 외측면(기재와는 반대측의 면)과, 기재에 가장 가까운 열팽창성 미소구의 최내측 단부까지의 거리로 한다.The thickness of the second pressure-sensitive adhesive layer is preferably 1 m to 100 m, more preferably 5 m to 80 m, and particularly preferably 10 m to 50 m. When the second pressure-sensitive adhesive layer contains thermally expandable microspheres, the thickness of the second pressure-sensitive adhesive layer is preferably such that the thickness of the second pressure-sensitive adhesive layer The distance from the outer surface (the surface opposite to the substrate) to the innermost end of the thermally expandable microspheres closest to the substrate.

제2 점착제층이 열팽창성 미소구를 포함할 경우, 제2 점착제층의 두께와, 상기 제2 점착제층에 포함되는 열팽창성 미소구의 평균 입자 직경의 차(두께-평균 입자 직경)는, 바람직하게는 8㎛ 이상이며, 보다 바람직하게는 10㎛ 이상이며, 더욱 바람직하게는 15㎛ 이상이며, 특히 바람직하게는 25㎛ 이상이며, 가장 바람직하게는 25㎛ 내지 100㎛이다.When the second pressure-sensitive adhesive layer contains thermally expandable microspheres, the difference between the thickness of the second pressure-sensitive adhesive layer and the average particle diameter of the thermally expandable microspheres contained in the second pressure-sensitive adhesive layer (thickness-average particle diameter) Is preferably 8 占 퐉 or more, more preferably 10 占 퐉 or more, further preferably 15 占 퐉 or more, particularly preferably 25 占 퐉 or more, and most preferably 25 占 퐉 to 100 占 퐉.

상기 제2 점착제층의 25℃에서의 나노인덴테이션법에 의한 탄성률은, 바람직하게는 0.01MPa 내지 50MPa이며, 보다 바람직하게는 0.1MPa 내지 10MPa이며, 특히 바람직하게는 0.5MPa 내지 5MPa이다.The elastic modulus of the second pressure-sensitive adhesive layer in the nanoindentation method at 25 캜 is preferably 0.01 MPa to 50 MPa, more preferably 0.1 MPa to 10 MPa, and particularly preferably 0.5 MPa to 5 MPa.

상기 제2 점착제층의 접착면의 중심선 평균 표면 조도(Ra)는, 바람직하게는 1㎛ 이하이고, 보다 바람직하게는 0.01㎛ 내지 1㎛이며, 더욱 바람직하게는 0.03㎛ 내지 0.8㎛이며, 특히 바람직하게는 0.06㎛ 내지 0.6㎛이다.The centerline average surface roughness (Ra) of the adhesive surface of the second pressure-sensitive adhesive layer is preferably 1 占 퐉 or less, more preferably 0.01 占 퐉 to 1 占 퐉, still more preferably 0.03 占 퐉 to 0.8 占 퐉, 0.06 占 퐉 to 0.6 占 퐉.

상기 제2 점착제층에 대한 물의 접촉각은, 바람직하게는 85° 내지 115°이며, 보다 바람직하게는 87° 내지 115°이며, 특히 바람직하게는 90° 내지 115°이다.The contact angle of water with respect to the second pressure sensitive adhesive layer is preferably 85 to 115, more preferably 87 to 115, and particularly preferably 90 to 115.

상기 제2 점착제층의 겔 분율은, 바람직하게는 50% 이상이며, 보다 바람직하게는 52% 내지 99%이며, 더욱 바람직하게는 55% 내지 99%이다. 이러한 범위라면, 점착제층에의 약액 침입을 방지할 수 있다.The gel fraction of the second pressure sensitive adhesive layer is preferably 50% or more, more preferably 52% to 99%, still more preferably 55% to 99%. In such a range, penetration of the chemical liquid into the pressure-sensitive adhesive layer can be prevented.

D. 기재D. Substrate

상기 기재로서는, 예를 들어 수지 시트, 부직포, 종이, 금속박, 직포, 고무 시트, 발포 시트 등을 들 수 있다. 또한, 이들의 적층체(특히, 수지 시트를 포함하는 적층체)로 구성되는 기재, 또는, 이들 복수의 재료를 원료로 한 복합 기재를 사용해도 된다. 수지 시트를 구성하는 수지로서는, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 에틸렌-프로필렌 공중합체, 에틸렌-아세트산 비닐 공중합체(EVA), 폴리아미드(나일론), 전방향족 폴리아미드(아라미드), 폴리이미드(PI), 폴리염화비닐(PVC), 폴리페닐렌술피드(PPS), 불소계 수지, 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 우레탄 아크릴레이트, 아크릴계 수지(바람직하게는 UV 경화형의 아크릴계 수지) 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 내산성의 관점에서, PET, PEN, PE 또는 PP가 바람직하게 사용될 수 있다. 부직포로서는, 마닐라 마를 포함하는 부직포 등의 내열성을 갖는 천연 섬유에 의한 부직포; 폴리프로필렌 수지 부직포, 폴리에틸렌 수지 부직포, 에스테르계 수지 부직포 등의 합성 수지 부직포 등을 들 수 있다.Examples of the base material include a resin sheet, a nonwoven fabric, a paper, a metal foil, a woven fabric, a rubber sheet, and a foamed sheet. Further, a substrate composed of the laminate (particularly, a laminate including a resin sheet), or a composite substrate made of the plurality of materials may be used. Examples of the resin constituting the resin sheet include a resin such as a polyethylene terephthalate (PET), a polyethylene naphthalate (PEN), a polybutylene terephthalate (PBT), a polyethylene (PE), a polypropylene (PP), an ethylene- (EVA), polyamide (nylon), wholly aromatic polyamide (aramid), polyimide (PI), polyvinyl chloride (PVC), polyphenylene sulfide (PPS) Ether ether ketone (PEEK), urethane acrylate, and acrylic resin (preferably UV-curable acrylic resin). Among them, PET, PEN, PE or PP may preferably be used in view of acid resistance. Examples of the nonwoven fabric include nonwoven fabrics made of natural fibers having heat resistance such as nonwoven fabric including manila marc; Nonwoven fabrics such as polypropylene resin nonwoven fabric, polyethylene resin nonwoven fabric, and ester based nonwoven fabric.

상기 기재는, 25℃에서의 나노인덴테이션법에 의한 탄성률이, 10MPa 내지 10GPa인 것이 바람직하다. 기재의 25℃에서의 나노인덴테이션법에 의한 탄성률은, 보다 바람직하게는 100MPa 내지 5GPa이며, 특히 바람직하게는 500MPa 내지 5GPa이다. 이러한 범위라면, 절단성 및 접합 시의 취급성이 우수한 열 박리형 점착 시트를 얻을 수 있다.It is preferable that the above substrate has an elastic modulus by the nanoindentation method at 25 DEG C of 10 MPa to 10 GPa. The elastic modulus of the base material by the nanoindentation method at 25 캜 is more preferably from 100 MPa to 5 GPa, and particularly preferably from 500 MPa to 5 GPa. In such a range, a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet excellent in cutting property and handling property at the time of bonding can be obtained.

상기 기재의 두께는, 바람직하게는 1㎛ 내지 1000㎛이며, 보다 바람직하게는 2㎛ 내지 250㎛이며, 특히 바람직하게는 10㎛ 내지 100㎛이다. 이러한 범위라면, 절단성 및 접합 시의 취급성이 우수한 열 박리형 점착 시트를 얻을 수 있다.The thickness of the base material is preferably from 1 탆 to 1000 탆, more preferably from 2 탆 to 250 탆, and particularly preferably from 10 탆 to 100 탆. In such a range, a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet excellent in cutting property and handling property at the time of bonding can be obtained.

상기 기재는, 표면 처리가 실시되어 있어도 된다. 표면 처리로서는, 예를 들어 코로나 처리, 크롬산 처리, 오존 폭로, 화염 폭로, 고압 전격 폭로, 이온화 방사선 처리, 유기 코팅 재료에 의한 코팅 처리 등을 들 수 있다. 이러한 표면 처리를 행하면, 점착제층과 기재의 밀착성을 높여, 점착제층과 기재의 계면에의 약액 침입을 억제할 수 있다. 특히, 유기 코팅 재료에 의한 코팅 처리는, 가열 박리 시에 점착제층의 투묘 파괴가 억제될 수 있는 점에서 바람직하다.The substrate may be subjected to a surface treatment. Examples of the surface treatment include corona treatment, chromic acid treatment, ozone exposure, flame exposure, high voltage exposure, ionizing radiation treatment, coating treatment with an organic coating material, and the like. By performing such a surface treatment, the adhesion between the pressure-sensitive adhesive layer and the substrate can be enhanced, and the penetration of the chemical into the interface between the pressure-sensitive adhesive layer and the substrate can be suppressed. Particularly, the coating treatment with the organic coating material is preferable in that the graft destruction of the pressure-sensitive adhesive layer can be suppressed at the time of heat peeling.

상기 유기 코팅 재료로서는, 예를 들어 플라스틱 하드 코팅 재료II(CMC 출판, (2004))에 기재된 재료를 들 수 있다. 바람직하게는 우레탄계 중합체, 보다 바람직하게는 폴리아크릴우레탄, 폴리에스테르우레탄 또는 이들의 전구체가 사용된다. 기재에의 도포 시공이 간편하고, 또한, 공업적으로 다종의 것을 선택할 수 있고 저렴하게 입수할 수 있기 때문이다. 상기 우레탄계 중합체는, 예를 들어 이소시아네이토 단량체와 알코올성 수산기 함유 단량체(예를 들어, 수산기 함유 아크릴 화합물 또는 수산기 함유 에스테르 화합물)의 반응 혼합물을 포함하는 중합체이다. 유기 코팅 재료는, 임의의 첨가제로서, 폴리아민 등의 쇄연장제, 노화 방지제, 산화 안정제 등을 포함하고 있어도 된다. 유기 코팅층의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 0.1㎛ 내지 10㎛ 정도가 적합하고, 0.1㎛ 내지 5㎛ 정도가 바람직하고, 0.5㎛ 내지 5㎛ 정도가 보다 바람직하다. 유기 코팅 재료로서, 아라카와가가쿠고교사제 아라코트 시리즈(예를 들어, 상품명 「AP2500E」와 경화제인 상품명 「CL2500」의 조합), 다이니치세이카사제의 상품명 「NB300」, 상품명 「HR 컬러」 등의 시판품을 사용해도 된다.Examples of the organic coating material include materials described in, for example, Plastic Hard Coating Material II (CMC Publishing, (2004)). Preferably, a urethane-based polymer, more preferably a polyacryl urethane, a polyester urethane or a precursor thereof is used. This is because the application to the base material is simple, and a large variety of materials can be industrially selected and can be obtained at low cost. The urethane-based polymer is a polymer containing a reaction mixture of, for example, an isocyanato monomer and an alcoholic hydroxyl group-containing monomer (for example, a hydroxyl group-containing acrylic compound or a hydroxyl group-containing ester compound). The organic coating material may contain, as an optional additive, a chain extender such as polyamine, an antioxidant, an oxidation stabilizer and the like. The thickness of the organic coating layer is not particularly limited. For example, the thickness of the organic coating layer is suitably about 0.1 탆 to 10 탆, preferably about 0.1 탆 to 5 탆, and more preferably about 0.5 탆 to 5 탆. (Trade name: AP2500E) and trade name &quot; CL2500 &quot; as a curing agent) manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd., trade name &quot; NB300 &quot; Commercially available products may be used.

E. 탄성층E. Elastic layer

상기한 바와 같이, 본 발명의 열 박리형 점착 시트는, 탄성층을 더 구비하고 있어도 된다.As described above, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention may further comprise an elastic layer.

상기 탄성층은, 베이스 중합체를 포함하고, 상기 베이스 중합체로서는, 점착성의 중합체가 사용될 수 있다. 탄성층을 구성하는 베이스 중합체로서는, 예를 들어 (메트)아크릴계 중합체: 천연 고무, 합성 고무(예를 들어, 니트릴계, 디엔계, 아크릴계) 등의 고무계 중합체; 폴리올레핀계, 폴리에스테르계 등의 열가소성 엘라스토머; 비닐알킬에테르계 중합체; 실리콘계 중합체; 폴리에스테르계 중합체; 폴리아미드계 중합체; 우레탄계 중합체; 스티렌-디엔 블록 공중합체; 에틸렌-아세트산 비닐 공중합체; 폴리우레탄계 중합체; 폴리부타디엔; 연질 폴리염화비닐; 방사선 경화형 중합체 등을 들 수 있다. 상기 탄성층을 구성하는 베이스 중합체는, 상기 점착제층(제1 점착제층 및/또는 제2 점착제층)을 형성하는 베이스 중합체와 동일해도 되고, 상이해도 된다. 상기 탄성층은, 상기 베이스 중합체로 형성되는 발포 필름이어도 된다. 상기 발포 필름은, 임의의 적절한 방법에 의해 얻을 수 있다. 또한, 탄성층과 제1 점착제층(및 열팽창성 미소구를 포함하는 제2 점착제층)은, 열팽창성 미소구의 유무(탄성층은 열팽창성 미소구를 포함하지 않음)로 구별할 수 있다.The elastic layer includes a base polymer, and as the base polymer, a sticky polymer may be used. Examples of the base polymer constituting the elastic layer include rubber polymers such as (meth) acrylic polymers such as natural rubber and synthetic rubber (for example, nitrile, diene and acrylic); Thermoplastic elastomers such as polyolefin type and polyester type; Vinyl alkyl ether polymers; Silicone-based polymers; Polyester-based polymers; Polyamide-based polymers; Urethane polymer; Styrene-diene block copolymer; Ethylene-vinyl acetate copolymer; Polyurethane polymers; Polybutadiene; Flexible polyvinyl chloride; Radiation curable polymers, and the like. The base polymer constituting the elastic layer may be the same as or different from the base polymer forming the pressure-sensitive adhesive layer (the first pressure-sensitive adhesive layer and / or the second pressure-sensitive adhesive layer). The elastic layer may be a foamed film formed of the base polymer. The foamed film can be obtained by any suitable method. Further, the elastic layer and the first pressure-sensitive adhesive layer (and the second pressure-sensitive adhesive layer including the thermally expandable microspheres) can be distinguished by the presence or absence of the thermally expandable microspheres (the elastic layer does not include the thermally expandable microspheres).

탄성층을 구성하는 베이스 중합체로서의 (메트)아크릴계 중합체는, 예를 들어 (메트)아크릴산 알킬에스테르의 1종 또는 2종 이상을 단량체 성분으로서 사용한 아크릴계 중합체(단독 중합체 또는 공중합체)이다. 상기 (메트)아크릴산 알킬에스테르의 구체로서는, 탄소수가 20 이하인 직쇄상 또는 분지상의 알킬기를 갖는 (메트)아크릴산 알킬에스테르를 들 수 있다. 또한, 상기 아크릴계 중합체는, (메트)아크릴산 알킬에스테르와 공중합 가능한 다른 단량체 성분에 대응하는 단위를 포함하고 있어도 된다. 이러한 단량체 성분으로서, 예를 들어 아크릴산, 메타크릴산, 이타콘산, 아크릴산 히드록시에틸, 메타크릴산 히드록시에틸, 아크릴산 히드록시프로필, 메타크릴산 히드록시프로필, N-메티롤아크릴아미드, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 아크릴산 글리시딜, 메타크릴산 글리시딜, 아세트산 비닐, 스티렌, 이소프렌, 부타디엔, 이소부틸렌, 비닐에테르 등을 들 수 있다.The (meth) acrylic polymer as the base polymer constituting the elastic layer is, for example, an acrylic polymer (a homopolymer or a copolymer) using one or two or more kinds of (meth) acrylic acid alkyl esters as a monomer component. Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include (meth) acrylic acid alkyl esters having a straight chain or branched alkyl group having not more than 20 carbon atoms. In addition, the acrylic polymer may contain units corresponding to other monomer components copolymerizable with the (meth) acrylic acid alkyl ester. Examples of such monomer components include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl acrylate, hydroxypropyl methacrylate, N-methylol acrylamide, Nitrile, methacrylonitrile, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, vinyl acetate, styrene, isoprene, butadiene, isobutylene, vinyl ether and the like.

상기 탄성층은, 필요에 따라, 임의의 적절한 첨가제를 포함할 수 있다. 상기 첨가제로서는, 예를 들어 가교제, 가황제, 점착 부여제, 가소제, 유연제, 충전제, 노화 방지제 등을 들 수 있다. 베이스 중합체로서, 폴리염화비닐 등의 경질 수지를 사용할 경우, 가소제 및/또는 유연제를 병용하여, 원하는 탄성을 갖는 탄성층을 형성하는 것이 바람직하다.The elastic layer may contain any suitable additives, if necessary. Examples of the additive include a cross-linking agent, a vulcanizing agent, a tackifier, a plasticizer, a softener, a filler, and an antioxidant. When a hard resin such as polyvinyl chloride is used as the base polymer, it is preferable to use a plasticizer and / or a softener in combination to form an elastic layer having desired elasticity.

상기 탄성층의 두께는, 바람직하게는 3㎛ 내지 200㎛이며, 보다 바람직하게는 5㎛ 내지 100㎛이다. 이러한 범위라면, 탄성층의 상기 기능을 충분히 발휘시킬 수 있다.The thickness of the elastic layer is preferably 3 탆 to 200 탆, and more preferably 5 탆 to 100 탆. If it is in this range, the above function of the elastic layer can be sufficiently exhibited.

상기 탄성층의 25℃에서의 인장 탄성률은, 바람직하게는 100Mpa 미만이고, 보다 바람직하게는 0.1MPa 내지 50MPa이며, 더욱 바람직하게는 0.1MPa 내지 10MPa이다. 이러한 범위라면, 탄성층의 상기 기능을 충분히 발휘시킬 수 있다.The elastic modulus of the elastic layer at 25 캜 is preferably less than 100 MPa, more preferably 0.1 MPa to 50 MPa, and still more preferably 0.1 MPa to 10 MPa. If it is in this range, the above function of the elastic layer can be sufficiently exhibited.

F. 열 박리형 점착 시트의 제조 방법F. Method for producing heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet

본 발명의 열 박리형 점착 시트는, 임의의 적절한 방법에 의해 제조할 수 있다. 본 발명의 열 박리형 점착 시트는, 예를 들어 기재의 한쪽 면에, 직접, 제1 점착제층 형성용 조성물을 도포 시공하고, 기재의 다른 쪽 면에, 제2 점착제층 형성용 조성물을 도포 시공하는 방법, 임의의 적절한 기체 상에 도포 시공해서 형성된 도포 시공층을 기재에 전사하여, 제1 점착제층 및 제2 점착제층을 형성하는 방법 등을 들 수 있다. 또한, 열팽창성 미소구를 포함하는 점착제층은, 점착제를 포함하는 조성물에 의해 점착제 도포 시공층을 형성한 후, 상기 점착제 도포 시공층에 열팽창성 미소구를 뿌린 후, 라미네이터 등을 사용해서, 상기 열팽창성 미소구를 상기 도포 시공층 속에 매립하여, 형성해도 된다.The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention can be produced by any suitable method. The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention can be obtained, for example, by applying a composition for forming a first pressure-sensitive adhesive layer directly on one side of a base material and directly applying a composition for forming a second pressure- , A method of transferring a coating applied layer formed by applying and coating on any appropriate gas to a substrate to form a first pressure-sensitive adhesive layer and a second pressure-sensitive adhesive layer, and the like. The pressure-sensitive adhesive layer containing thermally expandable microspheres can be obtained by forming a pressure-sensitive adhesive application layer with a composition containing a pressure-sensitive adhesive, spraying thermally expandable microspheres to the pressure-sensitive adhesive application layer, Thermally expandable microspheres may be embedded in the applied coating layer.

상기 제1 점착제층 형성용 조성물은, 상기 아크릴계 점착제 I 및 상기 열팽창성 미소구를 포함하고, 필요에 따라 임의의 적절한 용매를 포함한다. 상기 제2 점착제층 형성용 조성물은, 임의의 적절한 점착제를 포함하고, 필요에 따라, 상기 열팽창성 미소구 및/또는 임의의 적절한 용매를 포함한다.The composition for forming a first pressure-sensitive adhesive layer includes the acrylic pressure-sensitive adhesive I and the heat-expandable microspheres, and optionally includes any suitable solvent. The composition for forming the second pressure-sensitive adhesive layer includes any suitable pressure-sensitive adhesive, and optionally includes the thermally expandable microspheres and / or any suitable solvent.

상기 열 박리형 점착 시트가, 상기 탄성층을 갖는 경우, 상기 탄성층 및 상기 탄성층에 인접하는 점착제층은, 예를 들어 기재 상에, 탄성층 형성용 조성물을 도포 시공하고, 계속해서, 점착제층 형성용 조성물을 도포 시공해서 형성할 수 있다. 예를 들어, 기재 상에, 탄성층을 형성하는 재료(베이스 중합체, 첨가제 등)를 포함하는 탄성층 형성용 조성물을 도포 시공하고, 계속해서, 탄성층 형성용 조성물의 도포 시공층 상에 제1 점착제 형성용 조성물을 도포 시공함으로써, 기재측부터 순서대로 탄성층 및 제1 점착제층을 형성시킬 수 있다.When the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet has the elastic layer, the pressure-sensitive adhesive layer adjacent to the elastic layer and the elastic layer may be formed by applying a composition for forming an elastic layer, for example, A composition for forming a layer can be formed by applying and coating. For example, a composition for forming an elastic layer containing a material for forming an elastic layer (a base polymer, an additive and the like) is applied on a substrate, and then a first layer The elastic layer and the first pressure-sensitive adhesive layer can be formed in this order from the substrate side by applying the pressure-sensitive adhesive composition.

상기 각 조성물의 도포 시공 방법으로서는, 임의의 적절한 도포 시공 방법이 채용될 수 있다. 예를 들어, 도포한 후에 건조해서 각 층을 형성할 수 있다. 도포 방법으로서는, 예를 들어, 멀티 코터, 다이 코터, 그라비아 코터, 어플리케이터 등을 사용한 도포 방법을 들 수 있다. 건조 방법으로서는, 예를 들어, 자연 건조, 가열 건조 등을 들 수 있다. 가열 건조하는 경우의 가열 온도는, 건조 대상이 되는 물질의 특성에 따라, 임의의 적절한 온도로 설정될 수 있다.As a method of applying each of the above compositions, any suitable application method can be employed. For example, each layer can be formed by drying after application. Examples of the application method include a coating method using a multi-coater, a die coater, a gravure coater, an applicator, or the like. Examples of the drying method include natural drying, heat drying and the like. The heating temperature in the case of heating and drying can be set to any appropriate temperature depending on the characteristics of the material to be dried.

G. 용도G. Uses

본 발명의 열 박리형 점착 시트는, 전자 부품을 제조할 때의 보호 시트로서 적절하게 사용될 수 있다. 특히, 전자 부품을 산성 또는 알칼리성의 약액을 사용해서 처리(예를 들어, 에칭 처리)할 때, 상기 전자 부품을 보호하기 위한 보호 시트로서 적절하게 사용될 수 있다.The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention can be suitably used as a protective sheet for producing electronic parts. Particularly, when the electronic component is treated (for example, etching treatment) by using an acidic or alkaline chemical solution, it can be suitably used as a protective sheet for protecting the electronic component.

본 발명의 열 박리형 점착 시트는, 양면 점착 시트이며, 상기 점착 시트의 양면에 피처리물로서의 전자 부품을 접착하여, 상기 전자 부품을 처리 공정에 제공함으로써, 상기 전자 부품의 휨을 방지할 수 있다. 또한, 이와 같이 하여 처리 공정을 행함으로써, 생산 효율의 향상을 도모할 수 있다.The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention is a double-faced pressure-sensitive adhesive sheet, and the electronic parts are adhered to both surfaces of the pressure-sensitive adhesive sheet to provide the electronic parts to the processing step, . In addition, by performing the treatment process in this way, the production efficiency can be improved.

[실시예][Example]

이하, 실시예에 의해 본 발명을 구체적으로 설명하는데, 본 발명은 이들 실시예에 의해 한정되지 않는다. 또한, 실시예에 있어서, 특별히 명기하지 않는 한, 「부」 및 「%」는 중량 기준이다.Hereinafter, the present invention will be described concretely with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the examples, &quot; part &quot; and &quot;% &quot; are by weight unless otherwise specified.

[제조예 1] 아크릴계 점착제 I (i)의 조제[Preparation Example 1] Preparation of acrylic pressure-sensitive adhesive I (i)

(메트)아크릴계 중합체(아크릴산 부틸(BA)과 아크릴산(AA)의 공중합체, BA 유래의 구성 단위:AA 유래의 구성 단위(중량비)=95:5) 100중량부와, 에폭시계 가교제(미츠비시가스가가쿠사제, 상품명 「테트래드 C」) 0.6중량부와, 테르펜페놀계 점착 부여 수지(야스하라케미컬사제, 상품명 「YS 폴리스타 T130」) 30중량부를 혼합하여, 아크릴계 점착제 I(i)를 조제하였다., 100 parts by weight of a (meth) acrylic polymer (copolymer of butyl acrylate (BA) and acrylic acid (AA), constituent unit derived from BA: constituent unit derived from AA (weight ratio) = 95: 5) , 0.6 part by weight of a trade name &quot; TETRAD C &quot;, manufactured by Kagaku Co., Ltd.) and 30 parts by weight of a terpene phenol tackifier resin (trade name: YS POLYSTAR T130 available from Yasuhara Chemical Co., Respectively.

[제조예 2 내지 9] 아크릴계 점착제 I (ii) 내지 (ix)의 조제[Production Examples 2 to 9] Preparation examples of acrylic pressure-sensitive adhesives I (ii) to (ix)

표 1에 나타낸 (메트)아크릴계 중합체, 가교제 및 점착 부여 수지를, 표 1에 나타낸 배합량으로 혼합하여, 아크릴계 점착제 I (ii) 내지 (ix)를 조제하였다.Acrylic pressure-sensitive adhesives I (ii) to (ix) were prepared by mixing the (meth) acrylic polymer, the crosslinking agent and the tackifier resin shown in Table 1 in the amounts shown in Table 1.

테트래드 X: 에폭시계 가교제; 미츠비시가스가가쿠사제, 상품명 「테트래드 X」Tertrad X: Epoxy crosslinking agent; Manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., trade name &quot; Tertrad X &quot;

코로네이트 L: 이소시아네이트계 가교제; 닛본폴리우레탄고교사제, 상품명 「코로네이트 L 」Coronate L: isocyanate-based crosslinking agent; Manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name &quot; Coronate L &quot;

슈퍼에스테르 A-75: 로진계 점착 부여 수지; 아라카와가가쿠고교사제, 상품명 「슈퍼에스테르 A-75」Superester A-75: rosin-based tackifier resin; Arakawa Kagaku Kogyo Co., Ltd., trade name "SUPERESTER A-75"

타마놀 200: 알킬페놀계 점착 부여 수지; 아라카와가가쿠고교사제, 상품명 「타마놀 200」Tamanol 200: alkylphenol-based tackifying resin; Arakawa Kagaku Kogyo Co., Ltd., trade name &quot; Tamanol 200 &quot;

[표 1][Table 1]

Figure pat00002
Figure pat00002

[실시예 1][Example 1]

제조예 1에서 얻어진 아크릴계 점착제 I(i) 130.6중량부와, 열팽창성 미소구(마츠모토유시세이야쿠사제, 상품명 「마츠모토 마이크로 스페어 F-50D」) 25중량부와, 및, 톨루엔 210중량부를 혼합하여, 점착제층 형성용 조성물(i)을 조제하였다.130.6 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive I (i) obtained in Preparation Example 1, 25 parts by weight of a thermally expandable microspheres (trade name: Matsumoto Microsphere F-50D, manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd.) and 210 parts by weight of toluene were mixed , A composition (i) for forming a pressure-sensitive adhesive layer was prepared.

이 점착제층 형성용 조성물(i)을, 기재로서의 PET 필름(도레이사제, 상품명 「루미러 S10」, 두께: 100㎛)의 양면에 도포 시공하여, 두께 40㎛의 제1 점착제층 및 제2 점착제층을 형성하였다.The composition (i) for forming a pressure-sensitive adhesive layer was coated on both sides of a PET film (trade name: "Lumirror S10", trade name, manufactured by Toray Co., Ltd., thickness: 100 μm) as a substrate to form a first pressure- Layer.

상기 조작에 의해, 제1 점착제층(40㎛)과, 기재(100㎛)와, 제2 점착제층(40㎛)을 이 순서대로 구비하는 열 박리형 점착 시트를 얻었다.By this operation, a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet comprising a first pressure-sensitive adhesive layer (40 占 퐉), a substrate (100 占 퐉) and a second pressure-sensitive adhesive layer (40 占 퐉) in this order was obtained.

[실시예 2][Example 2]

제조예 1에서 얻어진 아크릴계 점착제 I(i) 130.6중량부와, 열팽창성 미소구(마츠모토유시세이야쿠사제, 상품명 「마츠모토 마이크로 스페어 F-48D」) 30중량부와, 톨루엔 210중량부를 혼합하여, 점착제층 형성용 조성물(ii)을 조제하였다.130.6 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive I (i) obtained in Preparation Example 1, 30 parts by weight of thermally expandable microspheres (trade name: Matsumoto Microsphere F-48D, manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd.) and 210 parts by weight of toluene were mixed, (Ii) for forming a layer was prepared.

또한, 탄성층 형성용 조성물(i)로서, 아크릴계 점착제 I(i) 130.6중량부와 톨루엔 210중량부의 혼합물을 준비하였다. 또한, 탄성층 형성용 조성물(ii)로서, 제조예 2에서 얻어진 아크릴계 점착제 I(ii) 130.1중량부와 톨루엔 210중량부의 혼합물을 준비하였다.As a composition (i) for forming an elastic layer, a mixture of 130.6 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive I (i) and 210 parts by weight of toluene was prepared. As a composition (ii) for forming the elastic layer, a mixture of 130.1 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive I (ii) obtained in Production Example 2 and 210 parts by weight of toluene was prepared.

기재로서의 폴리에스테르 필름(미츠비시주시사제, 상품명 「다이아호일」, 두께: 50㎛)의 편면에, 탄성층 형성용 조성물(i)과 점착제층 형성 조성물(ii)을 이 순서대로 도포 시공하여, 탄성층(두께: 20㎛) 및 제1 점착제층(두께: 40㎛)을 형성하였다. 또한, 상기 기재의 다른 한쪽 면에, 탄성층 형성용 조성물(ii)과 점착제층 형성 조성물(ii)을 이 순서대로 도포 시공하여, 탄성층(두께: 20㎛) 및 제2 점착제층(20㎛)을 형성하였다.A composition for forming an elastic layer (i) and a composition for forming an adhesive layer (ii) were applied in this order on one side of a polyester film as a substrate (product of Mitsubishi Rayon Co., Ltd., Layer (thickness: 20 mu m) and a first pressure-sensitive adhesive layer (thickness: 40 mu m) were formed. The composition for forming an elastic layer (ii) and the composition for forming a pressure-sensitive adhesive layer (ii) were applied in this order on the other side of the substrate to form an elastic layer having a thickness of 20 m and a second pressure- ).

상기 조작에 의해, 제1 점착제층(40㎛)과, 탄성층(20㎛)과, 기재(50㎛)와, 탄성층(20㎛)과, 제2 점착제층(20㎛)을 이 순서대로 구비하는 열 박리형 점착 시트를 얻었다.By this operation, the first pressure sensitive adhesive layer (40 占 퐉), the elastic layer (20 占 퐉), the substrate (50 占 퐉), the elastic layer (20 占 퐉) and the second pressure sensitive adhesive layer Thereby obtaining a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

[실시예 3][Example 3]

제조예 3에서 얻어진 아크릴계 점착제(iii) 151중량부와, 열팽창성 미소구(마츠모토유시세이야쿠사제, 상품명 「마츠모토 마이크로 스페어 FN-100SD」) 40중량부와, 톨루엔 210중량부를 혼합하여, 점착제층 형성용 조성물(iii)을 조제하였다., 151 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive (iii) obtained in Production Example 3, 40 parts by weight of thermally expandable microspheres (trade name: Matsumoto Microsphere FN-100SD, manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd.) and 210 parts by weight of toluene, (Iii) was prepared.

또한, 탄성층 형성용 조성물(iii)로서, 제조예 4에서 얻어진 아크릴계 점착제 I(iv) 101중량부와 톨루엔 210중량부의 혼합물을 준비하였다.As a composition (iii) for forming an elastic layer, a mixture of 101 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive I (iv) obtained in Production Example 4 and 210 parts by weight of toluene was prepared.

기재로서의 PET 필름(도레이사제, 상품명 「루미러 S10」, 두께: 100㎛)의 편면에, 탄성층 형성용 조성물(iii)과 점착제층 형성 조성물(iii)을 이 순서대로 도포 시공하여, 탄성층(두께: 30㎛) 및 제1 점착제층(두께: 30㎛)을 형성하였다. 또한, 상기 기재의 다른 한쪽 면에, 탄성층 형성용 조성물(iii)과 점착제층 형성 조성물(iii)을 이 순서대로 도포 시공하여, 탄성층(두께: 15㎛) 및 제2 점착제층(두께: 20㎛)을 형성하였다.A composition for forming an elastic layer (iii) and a composition for forming a pressure-sensitive adhesive layer (iii) were applied and applied in this order on one side of a PET film (Lamierer S10, (Thickness: 30 mu m) and a first pressure-sensitive adhesive layer (thickness: 30 mu m) were formed. The elastic layer (thickness: 15 占 퐉) and the second pressure-sensitive adhesive layer (thickness: 15 占 퐉) were applied on the other side of the base material in this order by applying the composition for forming an elastic layer (iii) 20 mu m).

상기 조작에 의해, 제1 점착제층(30㎛)과, 탄성층(30㎛)과, 기재(100㎛)와, 탄성층(15㎛)과, 제2 점착제층(20㎛)을 이 순서대로 구비하는 열 박리형 점착 시트를 얻었다.(30 占 퐉), an elastic layer (30 占 퐉), a base material (100 占 퐉), an elastic layer (15 占 퐉) and a second pressure-sensitive adhesive layer Thereby obtaining a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

[실시예 4][Example 4]

제조예 5에서 얻어진 아크릴계 점착제(v) 122중량부와, 열팽창성 미소구(니혼필라이트사제, 상품명 「엑스팬슬 909-DU80」) 30중량부와, 톨루엔 210중량부를 혼합하여, 점착제층 형성용 조성물(iv)을 조제하였다.122 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive (v) obtained in Preparation Example 5, 30 parts by weight of thermally expandable microspheres (trade name "X-Panle 909-DU80" manufactured by Nippon Pylil Co., Ltd.) and 210 parts by weight of toluene were mixed to form a pressure- Composition (iv) was prepared.

또한, 탄성층 형성용 조성물(iv)로서, 제조예 6에서 얻어진 아크릴계 점착제 I(vi) 112중량부와 톨루엔 210중량부의 혼합물을 준비하였다.A mixture of 112 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive I (vi) obtained in Production Example 6 and 210 parts by weight of toluene was prepared as the composition (iv) for forming the elastic layer.

기재로서의 PET 필름(도레이사제, 상품명 「루미러 S10」, 두께: 50㎛)의 편면에, 탄성층 형성용 조성물(iv)과 점착제층 형성 조성물(iv)을 이 순서대로 도포 시공하여, 탄성층(두께: 25㎛) 및 제1 점착제층(두께: 50㎛)을 형성하였다. 또한, 상기 기재의 다른 한쪽 면에, 탄성층 형성용 조성물(iv)과 점착제층 형성 조성물(iv)을 이 순서대로 도포 시공하여, 탄성층(두께: 20㎛) 및 제2 점착제층(두께: 30㎛)을 형성하였다.A composition for forming an elastic layer (iv) and a composition for forming an adhesive layer (iv) were applied and formed in this order on one side of a PET film as a base material (trade name: Lamierer S10, (Thickness: 25 mu m) and a first pressure-sensitive adhesive layer (thickness: 50 mu m) were formed. The elastic layer (thickness: 20 占 퐉) and the second pressure-sensitive adhesive layer (thickness: 20 占 퐉) were applied on the other surface of the substrate in the order of the composition (iv) 30 mu m) was formed.

상기 조작에 의해, 제1 점착제층(50㎛)과, 탄성층(25㎛)과, 기재(50㎛)와, 탄성층(20㎛)과, 제2 점착제층(30㎛)을 이 순서대로 구비하는 열 박리형 점착 시트를 얻었다.(50 占 퐉), an elastic layer (25 占 퐉), a base material (50 占 퐉), an elastic layer (20 占 퐉) and a second pressure-sensitive adhesive layer Thereby obtaining a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet.

[비교예 1][Comparative Example 1]

제조예 7에서 얻어진 아크릴계 점착제 I(vii) 140.7중량부와, 열팽창성 미소구(마츠모토유시세이야쿠사제, 상품명 「마츠모토 마이크로 스페어 F-50D」) 25중량부와, 및, 톨루엔 210중량부를 혼합하여, 점착제층 형성용 조성물(v)을 조제하였다.140.7 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive I (vii) obtained in Preparation Example 7, 25 parts by weight of thermally expandable microspheres (trade name: Matsumoto Microsphere F-50D, manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd.) and 210 parts by weight of toluene were mixed , And a composition (v) for forming a pressure-sensitive adhesive layer were prepared.

이 점착제층 형성용 조성물(v)을, 기재로서의 PET 필름(도레이사제, 상품명 「루미러 S10」, 두께: 100㎛)의 양면에 도포 시공하여, 두께 45㎛의 제1 점착제층 및 제2 점착제층을 형성하였다.The composition (v) for forming a pressure-sensitive adhesive layer was coated on both sides of a PET film (trade name: "Lumirror S10", trade name, manufactured by Toray Co., Ltd., thickness: 100 μm) as a substrate to form a first pressure- Layer.

상기 조작에 의해, 제1 점착제층(45㎛)과, 기재(100㎛)와, 제2 점착제층(45㎛)을 이 순서대로 구비하는 열 박리형 점착 시트를 얻었다.By the above operation, a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet comprising a first pressure-sensitive adhesive layer (45 μm), a substrate (100 μm) and a second pressure-sensitive adhesive layer (45 μm) in this order was obtained.

[비교예 2][Comparative Example 2]

제조예 8에서 얻어진 아크릴계 점착제 I(viii) 127중량부와, 열팽창성 미소구(니혼필라이트사제, 상품명 「엑스팬슬 909-DU80」) 30중량부와, 톨루엔 210중량부를 혼합하여, 점착제층 형성용 조성물(vi)을 조제하였다.127 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive I (viii) obtained in Production Example 8, 30 parts by weight of thermally expandable microspheres (trade name "X-Panle 909-DU80", manufactured by Nippon Phillle Co., Ltd.) and 210 parts by weight of toluene were mixed to form a pressure- (Vi) was prepared.

또한, 탄성층 형성용 조성물(vi)로서, 제조예 9에서 얻어진 아크릴계 점착제 I(ix) 117중량부와 톨루엔 210중량부의 혼합물을 준비하였다.As a composition (vi) for forming the elastic layer, a mixture of 117 parts by weight of the acrylic pressure-sensitive adhesive I (ix) obtained in Production Example 9 and 210 parts by weight of toluene was prepared.

기재로서의 PET 필름(도레이사제, 상품명 「루미러 S10」, 두께: 100㎛)의 편면에, 탄성층 형성용 조성물(vi)과 점착제층 형성 조성물(vi)을 이 순서대로 도포 시공하여, 탄성층(두께: 20㎛) 및 제1 점착제층(두께: 40㎛)을 형성하였다. 또한, 상기 기재의 다른 한쪽 면에, 점착제층 형성 조성물(vi)을 도포 시공하여, 제2 점착제층(40㎛)을 형성하였다.A composition for forming an elastic layer (vi) and a composition for forming a pressure-sensitive adhesive layer (vi) were applied and applied in this order on one side of a PET film as a base material (trade name: "Lamiron S10" (Thickness: 20 占 퐉) and a first pressure-sensitive adhesive layer (thickness: 40 占 퐉) were formed. Further, a pressure-sensitive adhesive layer-forming composition (vi) was coated on the other side of the substrate to form a second pressure-sensitive adhesive layer (40 m).

상기 조작에 의해, 제1 점착제층(40㎛)과, 탄성층(20㎛)과, 기재(100㎛)와, 제2 점착제층(40㎛)을 이 순서대로 구비하는 열 박리형 점착 시트를 얻었다.By this operation, a heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet comprising a first pressure-sensitive adhesive layer (40 占 퐉), an elastic layer (20 占 퐉), a substrate (100 占 퐉) and a second pressure- .

[평가][evaluation]

실시예 및 비교예에서 얻어진 열 박리형 점착 시트를 다음의 평가에 제공하였다. 결과를 표 2에 나타냈다.The heat peelable pressure-sensitive adhesive sheets obtained in Examples and Comparative Examples were provided for the following evaluation. The results are shown in Table 2.

(1) 중심선 평균 표면 조도(Ra)(1) Centerline average surface roughness (Ra)

제1 점착제층측의 중심선 평균 표면 조도(Ra)를 JIS B 0601에 준하여 측정하였다. 구체적으로는, 광학식 표면 조도계(Veeco Metrogy Group사제, 상품명 「Wyko NT9100」)를 사용하여, 측정 조건을 이하와 같이 해서 측정하였다. 세로, 가로 각각 5회 측정해서 얻어진 측정값의 평균을 표 2에 나타냈다.The center line average surface roughness (Ra) on the side of the first pressure sensitive adhesive layer was measured according to JIS B 0601. Specifically, measurement conditions were measured as follows using an optical surface roughness meter (trade name: Wyko NT9100, manufactured by Veeco Metrogy Group). Table 2 shows the average of measured values obtained by measuring five times in the vertical and horizontal directions.

(평가 조건)(Evaluation condition)

샘플 치수: 50mm×50mmSample dimensions: 50mm × 50mm

측정 범위: 2.534mm×1.901mmMeasuring range: 2.534mm × 1.901mm

측정 모드: VSLMeasurement mode: VSL

대물 렌즈: 2.5배Objective lens: 2.5 times

내부 렌즈: 1.0배Inner lens: 1.0 times

(2) 접촉각(2) Contact angle

접촉각계(교와가이멘사제, 상품명 「CX-A형」)를 사용하여, 23℃/50% RH 환경 하, 순수를 제1 점착제층의 표면에 2μl 적하하고, 적하하고 나서 5초 후에 액적의 접촉각을 측정하였다. 5회 측정해서 얻어진 측정값의 평균을 표 2에 나타냈다.2 μl of pure water was dropped onto the surface of the first pressure-sensitive adhesive layer under the environment of 23 ° C./50% RH using a contact angle meter (trade name "CX-A type" manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.) The contact angle of the enemy was measured. Table 2 shows the average of the measured values obtained by five measurements.

(3) 겔 분율(3) Gel fraction

제1 수지층으로부터 샘플링한 평가용 샘플 0.1g을, 메쉬 형상 시트로 둘러싸고, 톨루엔 50ml 중, 실온 하에서 1주일 정치하여, 상기 샘플에 톨루엔을 침지시켰다. 그 후, 톨루엔 불용분을 취출하고, 70℃에서 2시간에 걸쳐 건조시킨 후, 건조 후의 톨루엔 불용분을 칭량하였다.0.1 g of the evaluation sample sampled from the first resin layer was surrounded by a mesh sheet and allowed to stand at room temperature for one week in 50 ml of toluene to immerse the sample in toluene. Thereafter, the toluene insoluble matter was taken out, dried at 70 ° C for 2 hours, and then the toluene insoluble matter after drying was weighed.

톨루엔 침지 전의 샘플 중량과 톨루엔 불용분의 중량으로부터, 다음 식에 의해 수지층의 겔 분율을 산출하였다.From the weight of the sample before immersion in toluene and the weight of the toluene insoluble matter, the gel fraction of the resin layer was calculated by the following formula.

겔 분율(%)=[(톨루엔 불용분의 중량)/(톨루엔 침지전의 샘플 중량)]×100Gel fraction (%) = [(weight of toluene insoluble matter) / (sample weight before toluene immersion)] × 100

(4) 점착력 측정 방법(4) Adhesive force measurement method

열 박리형 점착 시트를 폭: 20mm, 길이: 140mm의 크기로 절단하고, 제1 점착제층 상에, 피착체로서의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(상품명 「루미러 S-10」도레이사제; 두께: 25㎛, 폭: 20mm)을, JIS Z 0237(2000년)에 준하여, 온도: 23±2℃ 및 습도: 65±5% RH의 분위기 하에서, 2kg의 롤러를 1왕복시켜서 압착하여 접합하였다. 계속해서, 피착체가 달린 열 박리형 점착 시트를, 23℃로 설정된 항온조가 달린 인장 시험기(시마즈세이사쿠쇼사제, 상품명 「시마즈 오토그래프 AG-120kN」)에 세트하고, 30분간 방치한다. 방치 후, 23℃의 온도 하에서, 피착체를, 박리 각도: 180°, 박리 속도(인장 속도): 300mm/min의 조건에서, 열 박리형 점착 시트로부터 박리했을 때의 하중을 측정하고, 그 때의 최대 하중(측정 초기의 피크 톱을 제외한 하중의 최대값)을 구하고, 이 최대 하중을 제1 점착제층의 점착력(N/20mm)으로 하였다.A thermally peelable pressure-sensitive adhesive sheet was cut into a size of 20 mm in width and 140 mm in length and a polyethylene terephthalate film (trade name: "Lumirror S-10" manufactured by Toray Co., Ltd., thickness: Width: 20 mm) was pressed and bonded by a roll of 2 kg in one atmosphere under an atmosphere of temperature: 23 ± 2 ° C. and humidity: 65 ± 5% RH according to JIS Z 0237 (2000). Subsequently, the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet having the adherend attached thereto was set in a tensile tester (manufactured by Shimadzu Seisakusho Co., Ltd., trade name "Shimazu Otograph AG-120kN") equipped with a thermostatic chamber set at 23 ° C and left for 30 minutes. After standing, the load was measured when the adherend was peeled from the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet under the conditions of a temperature of 23 ° C and a peel angle of 180 ° and a peel rate (tensile rate) of 300 mm / min. (The maximum value of the load excluding the peak top at the initial stage of measurement) was determined, and this maximum load was determined as the adhesive force (N / 20 mm) of the first pressure-sensitive adhesive layer.

(5) 약액 침입 평가(5) Evaluation of chemical solution penetration

열 박리형 점착 시트를 50mm×50mm의 크기로 절단하여, 제1 점착제층측에 실리콘 웨이퍼를 배치하고, 제2 점착제층측에 유리판(두께: 1mm)을 배치하여, 온도 60℃, 압력 0.5MPa, 시간 3분간의 조건에서, 이들을 압착하여 평가용 샘플을 제작하였다. 그 후, 온도 40℃, 농도 60중량%의 질산 용액에, 상기 평가용 샘플을, 10분간 침지하였다. 침지 후, 제1 점착제층측에서의 약액 침입량을, 점착 시트 단부로부터의 액침입 거리에 따라 평가하였다.A heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet was cut into a size of 50 mm x 50 mm, a silicon wafer was placed on the first pressure-sensitive adhesive layer side, a glass plate (thickness: 1 mm) Under the conditions of 3 minutes, they were pressed to prepare samples for evaluation. Thereafter, the evaluation sample was immersed in a nitric acid solution having a concentration of 60% by weight at a temperature of 40 占 폚 for 10 minutes. After immersion, the amount of chemical solution penetration on the side of the first pressure sensitive adhesive layer was evaluated according to the liquid penetration distance from the end of the pressure sensitive adhesive sheet.

(6) 가열 박리성(6) Heat peelability

상기 (5)약액 침입 평가와 마찬가지로 하여 평가용 샘플을 제작하였다. 상기 평가용 샘플을, 130℃에서 1분간 가열하였다. 가열 후의 실리콘 웨이퍼의 박리 상황을 육안으로 확인하였다. 표 2 중, 점착제층의 점착력이 상실되어 실리콘 웨이퍼가 박리된 경우를 ○, 점착제층이 점착력을 가져 실리콘 웨이퍼가 박리되지 않은 경우를 ×로 한다.A sample for evaluation was prepared in the same manner as in the above (5) chemical-solution penetration evaluation. The sample for evaluation was heated at 130 占 폚 for 1 minute. The state of peeling of the silicon wafer after heating was visually confirmed. In Table 2, the case where the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive layer is lost and the silicon wafer is peeled off is indicated by o, and the case where the pressure-sensitive adhesive layer has adhesive force and the silicon wafer is not peeled is evaluated as x.

[표 2][Table 2]

Figure pat00003
Figure pat00003

본 발명의 열 박리형 점착 시트는, 에칭액 등의 처리액에 제공되는 전자 부품의 보호 테이프로서 적절하게 사용될 수 있다.The heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention can be suitably used as a protective tape of an electronic component provided in a treatment liquid such as an etching solution.

10 : 제1 점착제층
20 : 기재
30 : 제2 점착제층
40 : 탄성층
100, 200 : 열 박리형 점착 시트
10: first pressure-sensitive adhesive layer
20: substrate
30: second pressure-sensitive adhesive layer
40: elastic layer
100, 200: heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet

Claims (9)

제1 점착제층과, 기재와, 제2 점착제층을 이 순서대로 구비하고,
상기 제1 점착제층이, (메트)아크릴계 중합체를 포함하는 아크릴계 점착제와 열팽창성 미소구를 포함하고,
상기 (메트)아크릴계 중합체가, 탄소수가 2 이상인 알킬기를 갖는 (메트)아크릴산 알킬에스테르 유래의 구성 단위와, OH기를 갖는 (메트)아크릴계 단량체 유래의 구성 단위를 포함하고,
상기 (메트)아크릴계 중합체에 있어서, 측쇄 알킬기의 탄소(C)와 OH기의 몰비(C/OH)가 40 내지 150인, 열 박리형 점착 시트.
A first pressure sensitive adhesive layer, a base material, and a second pressure sensitive adhesive layer in this order,
Wherein the first pressure-sensitive adhesive layer comprises an acrylic pressure-sensitive adhesive comprising a (meth) acrylic polymer and a thermally expandable microsphere,
Wherein the (meth) acrylic polymer comprises a structural unit derived from a (meth) acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having 2 or more carbon atoms and a structural unit derived from a (meth) acrylic monomer having an OH group,
Wherein the molar ratio (C / OH) of the carbon (C) to the OH group (C / OH) of the side chain alkyl group in the (meth) acrylic polymer is 40 to 150.
제1항에 있어서,
상기 제2 점착제층이, 상기 열팽창성 미소구를 포함하는, 열 박리형 점착 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the second pressure-sensitive adhesive layer comprises the thermally expandable microspheres.
제1항에 있어서,
상기 제1 점착제층 및/또는 제2 점착제층의 중심선 평균 표면 조도(Ra)가, 1㎛ 이하인, 열 박리형 점착 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the center line average surface roughness (Ra) of the first pressure-sensitive adhesive layer and / or the second pressure-sensitive adhesive layer is 1 占 퐉 or less.
제1항에 있어서,
상기 제1 점착제층 및/또는 제2 점착제층에 대한 물의 접촉각이, 85° 내지 115°인, 열 박리형 점착 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the contact angle of water with respect to the first pressure-sensitive adhesive layer and / or the second pressure-sensitive adhesive layer is 85 ° to 115 °.
제1항에 있어서,
상기 제1 점착제층이, 점착 부여제를 포함하고, 상기 점착 부여제의 함유 비율이, 상기 제1 점착제층 100중량부에 대하여 40중량부 이하인, 열 박리형 점착 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the first pressure sensitive adhesive layer comprises a tackifier and the content of the tackifier is 40 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the first pressure sensitive adhesive layer.
제1항에 있어서,
상기 제2 점착제층이, 점착 부여제를 포함하고, 상기 점착 부여제의 함유 비율이, 상기 제2 점착제층 100중량부에 대하여 40중량부 이하인, 열 박리형 점착 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the second pressure sensitive adhesive layer comprises a tackifier and the content of the tackifier is 40 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the second pressure sensitive adhesive layer.
제1항에 있어서,
상기 제1 점착제층 및/또는 제2 점착제층의 겔 분율이, 50% 이상인, 열 박리형 점착 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the gel fraction of the first pressure-sensitive adhesive layer and / or the second pressure-sensitive adhesive layer is 50% or more.
제1항에 있어서,
상기 제1 점착제층측을 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름에 접착했을 때의 23℃에서의 점착력이, 1N/20mm 이상인, 열 박리형 점착 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the adhesive force at 23 캜 when the first pressure sensitive adhesive layer side is bonded to the polyethylene terephthalate film is 1 N / 20 mm or more.
제1항에 기재된 열 박리형 점착 시트를 사용해서 제조된, 전자 부품.An electronic part manufactured using the heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1.
KR1020160019448A 2015-02-24 2016-02-19 Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet KR102360457B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015033882A JP6587811B2 (en) 2015-02-24 2015-02-24 Thermally peelable adhesive sheet
JPJP-P-2015-033882 2015-02-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160103522A true KR20160103522A (en) 2016-09-01
KR102360457B1 KR102360457B1 (en) 2022-02-10

Family

ID=56745026

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160019448A KR102360457B1 (en) 2015-02-24 2016-02-19 Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6587811B2 (en)
KR (1) KR102360457B1 (en)
CN (2) CN112375506B (en)
TW (1) TWI672356B (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180099506A (en) * 2017-02-28 2018-09-05 닛토덴코 가부시키가이샤 Adhesive tape
KR20200106554A (en) * 2018-02-05 2020-09-14 닛토덴코 가부시키가이샤 Adhesive sheet and adhesive sheet peeling method

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11047900B2 (en) 2016-10-27 2021-06-29 Mitsui Chemicals Tohcello, Inc. Method for manufacturing electronic apparatus, adhesive film for manufacturing electronic apparatus, and electronic component testing apparatus
SG11201903703WA (en) * 2016-10-27 2019-05-30 Mitsui Chemicals Tohcello Inc Method for manufacturing electronic apparatus, adhesive film for manufacturing electronic apparatus, and electronic component testing apparatus
JP7052726B2 (en) * 2016-12-07 2022-04-12 三菱ケミカル株式会社 Adhesive sheet and its manufacturing method
TWI714815B (en) * 2016-12-26 2021-01-01 日商迪愛生股份有限公司 Articles, article manufacturing methods and void filling methods
EP3572478B1 (en) * 2017-01-20 2024-01-10 Mitsui Chemicals Tohcello, Inc. Use of adhesive film and method of manufacturing electronic apparatus
US10247216B2 (en) * 2017-04-07 2019-04-02 GM Global Technology Operations LLC Fastenerless anti-peel adhesive joint
CN115746724A (en) * 2017-08-21 2023-03-07 琳得科株式会社 Peeling detection label
CN107325776B (en) * 2017-08-30 2020-07-24 苹果公司 Reworkable structural adhesive
KR102579051B1 (en) * 2017-12-07 2023-09-15 린텍 가부시키가이샤 Manufacturing method of sheet for work processing and processed work
CN108913051A (en) * 2018-09-05 2018-11-30 惠州瑞德新材料科技股份有限公司 A kind of expansion solution adhesive tape and production method
JP7116246B2 (en) * 2019-03-14 2022-08-09 三井化学東セロ株式会社 Electronic device manufacturing method
JP7311293B2 (en) * 2019-03-29 2023-07-19 日東電工株式会社 back grind tape
CN110128977B (en) * 2019-05-14 2021-07-27 业成科技(成都)有限公司 Method of using a thermo-adhesive pressure-sensitive adhesive composition
CN112210313B (en) * 2019-07-10 2023-10-27 日东电工(上海松江)有限公司 Heat-resistant pressure-sensitive adhesive sheet for semiconductor device production
CN112281162A (en) * 2019-07-25 2021-01-29 青岛亮见电子部品有限公司 Manufacturing method of metal label split body
JP2021024950A (en) * 2019-08-05 2021-02-22 日東電工株式会社 Pressure sensitive adhesive sheet
FR3099933B1 (en) * 2019-08-12 2023-05-26 Rescoll Compositions removable by thermal activation, uses and assemblies comprising such compositions
CN112521876A (en) * 2019-09-18 2021-03-19 达迈科技股份有限公司 Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet for wet-type, high-temperature process
CN113225916A (en) * 2020-01-21 2021-08-06 达迈科技股份有限公司 Method for manufacturing micro-circuit printed circuit board
CN113597458B (en) 2020-03-27 2023-10-27 株式会社寺冈制作所 Thermal peeling type adhesive tape
JP2024511830A (en) * 2021-03-30 2024-03-15 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Adhesive precursor composition and thermally expandable temporary adhesive obtained therefrom
JP7109698B1 (en) * 2021-09-02 2022-07-29 株式会社寺岡製作所 Thermal peel adhesive tape

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001019915A (en) 1999-07-09 2001-01-23 Sekisui Chem Co Ltd Removable adhesive tape
KR20090077037A (en) * 2006-11-04 2009-07-14 닛토덴코 가부시키가이샤 Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet and method of recovering adherend
KR20110039248A (en) * 2008-07-08 2011-04-15 닛토덴코 가부시키가이샤 Process for producing organic electroluminescent panel
KR20140109293A (en) * 2013-03-04 2014-09-15 닛토덴코 가부시키가이샤 Thermally releasable pressure-sensitive adhesive sheet

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4074892B2 (en) * 1996-08-07 2008-04-16 綜研化学株式会社 Water / solvent resistant adhesive and adhesive sheet
JP3974684B2 (en) * 1997-05-21 2007-09-12 株式会社日本触媒 Heat-peelable pressure-sensitive adhesive composition, heat-peelable pressure-sensitive adhesive product and method of use
JP2001064607A (en) * 1999-09-01 2001-03-13 Nitto Denko Corp Surface protective film
JP2005023286A (en) * 2003-07-04 2005-01-27 Nitto Denko Corp Gas permeable and thermally peelable adhesive sheet
JP2007246848A (en) * 2006-03-18 2007-09-27 Nitto Denko Corp Pressure sensitive adhesive double coated sheet and use thereof
JP5068578B2 (en) * 2007-05-02 2012-11-07 日東電工株式会社 Double-sided adhesive sheet and liquid crystal display device
JP5190222B2 (en) * 2007-06-01 2013-04-24 日東電工株式会社 Double-sided foam adhesive sheet and liquid crystal display device
CN101348679B (en) * 2008-08-28 2011-02-16 上海大通高科技材料有限责任公司 Anti-pasting anti-covering coating and preparation thereof
JP2012149182A (en) * 2011-01-19 2012-08-09 Nitto Denko Corp Double-sided adhesive tape or sheet, and method for processing adherend
JP5546518B2 (en) * 2011-09-28 2014-07-09 古河電気工業株式会社 Adhesive tape for grinding brittle wafer back surface and grinding method using the same
JP5855465B2 (en) * 2012-01-10 2016-02-09 藤森工業株式会社 Surface protective film, optical component on which it is adhered, and industrial product
JP5977110B2 (en) * 2012-07-27 2016-08-24 日東電工株式会社 Adhesive sheet
JP5921986B2 (en) * 2012-08-10 2016-05-24 ハリマ化成株式会社 Two-component curable coating agent
JP2015017179A (en) * 2013-07-10 2015-01-29 ニッタ株式会社 Temperature-sensitive adhesive, and crosslinking method of the same
JP2015021082A (en) * 2013-07-19 2015-02-02 日東電工株式会社 Thermal peeling type adhesive tape for cutting-off electronic component and cutting-off method of electronic component

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001019915A (en) 1999-07-09 2001-01-23 Sekisui Chem Co Ltd Removable adhesive tape
KR20090077037A (en) * 2006-11-04 2009-07-14 닛토덴코 가부시키가이샤 Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet and method of recovering adherend
KR20110039248A (en) * 2008-07-08 2011-04-15 닛토덴코 가부시키가이샤 Process for producing organic electroluminescent panel
KR20140109293A (en) * 2013-03-04 2014-09-15 닛토덴코 가부시키가이샤 Thermally releasable pressure-sensitive adhesive sheet

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180099506A (en) * 2017-02-28 2018-09-05 닛토덴코 가부시키가이샤 Adhesive tape
KR20200106554A (en) * 2018-02-05 2020-09-14 닛토덴코 가부시키가이샤 Adhesive sheet and adhesive sheet peeling method

Also Published As

Publication number Publication date
JP6587811B2 (en) 2019-10-09
TWI672356B (en) 2019-09-21
JP2016155919A (en) 2016-09-01
CN112375506B (en) 2023-03-24
KR102360457B1 (en) 2022-02-10
TW201638263A (en) 2016-11-01
CN105907317A (en) 2016-08-31
CN112375506A (en) 2021-02-19
CN105907317B (en) 2020-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20160103522A (en) Heat-peelable pressure-sensitive adhesive sheet
KR102302043B1 (en) Pressure-Sensitive Adhesive Sheet
KR102203019B1 (en) Adhesive sheet
CN105647413B (en) Adhesive sheet
KR20150127087A (en) Adhesive sheet
JP6768038B2 (en) Adhesive sheet
WO2022123932A1 (en) Adhesive sheet
JP2018009049A (en) Pressure sensitive adhesive sheet
JP2019199561A (en) Adhesive sheet
JP7155210B2 (en) Adhesive sheet
JP2021006634A (en) Adhesive sheet
JP7428473B2 (en) Manufacturing method of electronic components
KR102611030B1 (en) Adhesive sheet
TWI806256B (en) Adhesive sheet
WO2023021773A1 (en) Pressure-sensitive adhesive sheet
TW202233781A (en) adhesive sheet
KR20230141837A (en) adhesive sheet
KR20240032988A (en) adhesive sheet

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right