KR20160085069A - Light emitting device and light emitting device package - Google Patents
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Abstract
Description
실시 예는 발광 소자 및 발광 소자 패키지에 관한 것이다.Embodiments relate to a light emitting device and a light emitting device package.
발광 소자(Light Emitting Device)는 전기에너지가 빛 에너지로 변환되는 특성의 p-n 접합 다이오드로서, 주기율표상에서 Ⅲ족과 Ⅴ족 등의 화합물 반도체로 생성될 수 있고 화합물 반도체의 조성비를 조절함으로써 다양한 색상구현이 가능하다.Light Emitting Device is a pn junction diode whose electrical energy is converted into light energy. It can be produced from compound semiconductor such as group III and group V on the periodic table and by controlling the composition ratio of compound semiconductor, It is possible.
GaN 계열의 발광 소자(LED)는 천연색 LED 표시소자, LED 교통 신호기, 백색 LED 등 다양한 응용에 사용되고 있다. 최근, 고효율 백색 LED의 발광 효율은(luminous efficiency)은 통상의 형광램프의 효율보다 우수하여 일반 조명 분야에서도 형광 램프를 대체할 것으로 기대되고 있다.GaN-based light emitting devices (LEDs) are used in various applications such as color LED display devices, LED traffic signals, and white LEDs. In recent years, the luminous efficiency of a high-efficiency white LED is superior to the efficiency of a conventional fluorescent lamp, and is expected to replace fluorescent lamps in general illumination fields.
종래의 발광 소자 중 수평형 타입의 발광 소자는 기판 상에 질화물 반도체층을 형성하고, 질화물 반도체층의 상측에 전극층이 위치한다.Among the conventional light emitting devices, a horizontal type light emitting device forms a nitride semiconductor layer on a substrate, and an electrode layer is located on the upper side of the nitride semiconductor layer.
한편, 종래의 발광 소자는 전류 분산 문제를 해소하기 위해 전극층과 반도체층 사이에 전류 차단층을 형성하여 전극층 상에 위치한 전극 패드 주변에서 전류가 집중되는 것을 방지하는 기술이 연구되고 있다.Meanwhile, in the conventional light emitting device, a current blocking layer is formed between the electrode layer and the semiconductor layer in order to solve the current dispersion problem, and a technique for preventing the current from concentrating around the electrode pad located on the electrode layer is being studied.
그러나, 종래의 발광 소자는 발광된 광이 전류 차단층 주변에 위치한 활성층으로 재입사되는 광 흡수에 의해 광 추출 효율이 저하되는 문제가 있다. However, in the conventional light emitting device, there is a problem that the light extraction efficiency is lowered due to the light absorption by which the emitted light re-enters the active layer located around the current blocking layer.
실시 예는 광 추출 효율을 향상시키는 발광 소자 및 발광 소자 패키지를 제공한다.Embodiments provide a light emitting device and a light emitting device package for improving light extraction efficiency.
실시 예는 활성층을 제거하여 광이 흡수되는 영역을 근본적으로 차단하는 발광 소자 및 발광 소자 패키지를 제공한다.Embodiments provide a light emitting device and a light emitting device package that substantially obviate a region where light is absorbed by removing an active layer.
실시 예는 메사 에칭 공정에서 활성층을 제거하여 노출되는 제1 도전형 반도체층 상에 전류 차단층을 형성함으로써, 추가 공정없이 광 추출을 향상시킬 수 있는 발광 소자 및 발광 소자 패키지를 제공한다.Embodiments provide a light emitting device and a light emitting device package capable of improving light extraction without further processing by forming a current blocking layer on the exposed first conductive semiconductor layer by removing an active layer in a mesa etching process.
실시 예에 의한 발광 소자는, 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층의 상에 위치한 활성층; 및 상기 활성층 상에 위치한 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조체; 상기 제1 도전형 반도체층의 제1 영역에 위치한 제1 전극 패드; 상기 제2 도전형 반도체층 상에 위치한 제2 전극 패드; 및 상기 제1 도전형 반도체층의 제2 영역에 위치하고, 상기 제2 전극 패드와 오버랩된 전류 차단층을 포함하고, 상기 전류 차단층은 상기 활성층이 제거되어 노출된 상기 제1 도전형 반도체층과 접촉할 수 있다.A light emitting device according to an embodiment includes: a first conductive semiconductor layer; An active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; And a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer; A first electrode pad located in a first region of the first conductivity type semiconductor layer; A second electrode pad disposed on the second conductive semiconductor layer; And a current blocking layer located in a second region of the first conductivity type semiconductor layer and overlapped with the second electrode pad, wherein the current blocking layer is formed on the first conductive type semiconductor layer exposed by removing the active layer, Can be contacted.
다른 실시 예에 따른 발광 소자는, 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층의 상에 위치한 활성층; 및 상기 활성층 상에 위치한 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조체; 상기 제1 도전형 반도체층의 제1 영역에 위치한 제1 전극 패드; 상기 제2 도전형 반도체층 상에 위치한 제2 전극 패드; 및 상기 제1 도전형 반도체층의 제2 영역에 위치하고, 상기 제2 전극 패드와 오버랩된 전류 차단층을 포함하고, 상기 전류 차단층의 하부면은 상기 제1 전극 패드의 하부면보다 아래에 위치할 수 있다.A light emitting device according to another embodiment includes: a first conductive semiconductor layer; An active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; And a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer; A first electrode pad located in a first region of the first conductivity type semiconductor layer; A second electrode pad disposed on the second conductive semiconductor layer; And a current blocking layer located in a second region of the first conductive semiconductor layer and overlapped with the second electrode pad, wherein a lower surface of the current blocking layer is located below the lower surface of the first electrode pad .
실시 예에 따른 발광 소자는 제2 전극 패드과 오버랩되는 전류 차단층이 활성층 및 제2 도전형 반도체층이 제거되어 노출된 제1 도전형 반도체층 상에 형성되어 활성층의 광 흡수에 의한 광 손실을 방지하므로 광 효율을 향상시킬 수 있다.In the light emitting device according to the embodiment, the current blocking layer overlapping the second electrode pad is formed on the exposed first conductivity type semiconductor layer from which the active layer and the second conductivity type semiconductor layer are removed, thereby preventing light loss due to light absorption of the active layer So that the light efficiency can be improved.
실시예에 따른 발광 소자는 전류 차단층에 의해 제2 전극 패드 주변에서 집중되는 전류를 분산시켜 신뢰성을 유지함과 동시에 광 효율을 향상시킬 수 있다.In the light emitting device according to the embodiment, the current concentrated around the second electrode pad is dispersed by the current blocking layer, thereby maintaining the reliability and improving the light efficiency.
실시예에 따른 발광 소자는 발광 구조체의 오목부 내에서 경사진 면을 갖는 전류 차단층에 의해 광 추출을 향상시킬 수 있다.The light emitting device according to the embodiment can improve the light extraction by the current blocking layer having the inclined surface in the concave portion of the light emitting structure.
도 1은 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 발광 소자를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'라인을 따라 절단한 제1 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 4는 도 3의 A를 도시한 단면도이다.
도 5는 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'라인을 따라 절단한 제2 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 6은 도 5의 A를 도시한 단면도이다.
도 7은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'라인을 따라 절단한 제3 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 8은 제4 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.
도 9는 실시예에 따른 발광 소자를 포함하는 발광 소자 패키지를 도시한 도면이다.1 is a perspective view illustrating a light emitting device according to an embodiment.
2 is a plan view showing the light emitting device of FIG.
3 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to the first embodiment taken along the line I-I 'of FIG.
4 is a cross-sectional view showing A of Fig.
5 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to a second embodiment taken along the line I-I 'of FIG.
6 is a cross-sectional view showing A in Fig.
7 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to a third embodiment taken along the line I-I 'of FIG.
8 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to a fourth embodiment.
9 is a view illustrating a light emitting device package including the light emitting device according to the embodiment.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 실시예에 따른 발광 소자 및 발광 소자 패키지에 대해서 상세하게 설명한다. 실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.
Hereinafter, a light emitting device and a light emitting device package according to embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), region, pattern or structure may be formed "on" or "under" a substrate, each layer The terms " on "and " under " include both being formed" directly "or" indirectly " Also, the criteria for top, bottom, or bottom of each layer will be described with reference to the drawings.
도 1은 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 발광 소자를 도시한 평면도이다.1 is a perspective view illustrating a light emitting device according to an embodiment, and FIG. 2 is a plan view illustrating a light emitting device of FIG.
도 1 및 도 2를 참조하면, 발광 소자(100)는 기판(111), 버퍼층(113), 발광 구조체(120), 전극층(131), 제1 전극 패드(141), 제1 보조 전극(143), 제2 전극 패드(151) 및 제2 보조 전극(153)을 포함한다.1 and 2, a
상기 기판(111)은 질화갈륨계 반도체층을 성장시킬 수 있는 성장 기판으로서, 투광성, 절연성 또는 도전성 기판을 이용할 수 있으며, 예컨대 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge, Ga2O3, LiGaO3, 석영(quartz) 중 어느 하나를 이용할 수 있다. 상기 기판(111)의 상면에는 복수의 돌출부가 형성될 수 있으며, 상기의 복수의 돌출부는 상기 기판(111)의 식각을 통해 형성하거나, 별도의 러프니스(Roughness)와 같은 광 추출 구조로 형성될 수 있다. 상기 돌출부는 스트라이프 형상, 반구형상, 또는 돔(dome) 형상을 포함할 수 있다. 상기 버퍼층(113)은 상기 기판(111) 상에 위치하고, 상기 기판(111)과 질화물 계열의 반도체층과의 격자 상수의 차이를 완화시켜 주기 위해 형성될 수 있으며, 결함 제어층 기능을 할 수 있다. 상기 버퍼층(113)은 상기 기판(111)과 질화물 계열의 반도체층 사이의 격자 상수 사이의 값을 가질 수 있다. 상기 버퍼층(113)은 ZnO 층과 같은 산화물로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. The
상기 발광 구조체(120)는 기판(111) 상에 위치한다. 발광 구조체(120)는 제1 도전형 반도체층(115), 활성층(117) 및 제2 도전형 반도체층(119)을 포함한다.The
상기 제1 도전형 반도체층(115)은 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(115)이 n형 반도체층인 경우, 제1 도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 화합물 반도체일 수 있다. 상기 제1 도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 상기 제1 도전형 반도체층(115)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(115)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN,AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.The first
상기 활성층(117)은 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 어느 하나일 수 있다. 상기 활성층(117)은 질화갈륨계 반도체층으로 형성된 우물층 및 장벽층을 포함할 수 있다. The
예를 들어, 상기 활성층(117)은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs/AlGaAs, InGaAs/AlGaAs, GaInP/AlGaInP, GaP/AlGaP, InGaP/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 우물층은 상기 장벽층의 밴드 갭보다 낮은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.For example, the
상기 활성층(117)의 장벽층 및 우물층은 활성층의 결정 품질을 향상시키기 위해 불순물이 도핑되지 않은 언도프트층으로 형성될 수 있으나, 순방향 전압을 낮추기 위해 일부 또는 전체 활성 영역 내에 불순물이 도핑될 수도 있다.The barrier layer and the well layer of the
상기 제2 도전형 반도체층(119)은 상기 활성층(117) 상에 위치하고, 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(119)이 p형 반도체층인 경우, 제2 도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 화합물 반도체일 수 있다. 상기 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있으나, 이에 한정하지 않는다. 상기 제2 도전형 반도체층(119)은 예컨대, GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP, GaP와 같은 화합물 반도체 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.The second
상기 제1 전극 패드(141) 및 제1 보조 전극(143)은 상기 제1 도전형 반도체층(115) 상에 위치한다.The
상기 제2 전극 패드(151) 및 제2 보조 전극(153)은 상기 제2 도전형 반도체층(119) 상에 위치한다.The
상기 제1 전극 패드(141), 제1 보조 전극(143), 제2 전극 패드(151) 및 제2 보조 전극(153)은 Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag 및 Au와 이들의 선택적인 합금 중에서 선택될 수 있다.The
상기 전극층(131)은 전류 확산층으로서, 투과성 및 전기 전도성을 가지는 물질로 형성될 수 있다. 상기 전극층(131)은 화합물 반도체층의 굴절률보다 낮은 굴절률로 형성될 수 있다.The
상기 전극층(131)은 상기 제2 도전형 반도체층(119) 상에 형성되어 상기 제2 도전형 반도체층(119)과 오믹콘택할 수 있다. 상기 전극층(131)은 투명 도전성 산화물 또는 투명 금속층일 수 있다. 예컨대 상기 전극층(131)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), ZnO, IrOx, RuOx, NiO 등 중에서 선택되며, 적어도 한 층으로 형성될 수 있다. The
도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'라인을 따라 절단한 제1 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이고, 도 4는 도 3의 A를 도시한 단면도이다.FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to a first embodiment taken along the line I-I 'of FIG. 2, and FIG. 4 is a cross-sectional view of FIG.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 실시예에 따른 발광 소자는 발광 구조체(120) 내에 위치한 전류 차단층(160)을 포함한다. 상기 전류 차단층(160)은 상기 제2 전극 패드(151)의 하부에 전류가 집중되는 것을 방지하는 기능을 갖는다.Referring to FIGS. 3 and 4, the light emitting device according to the first embodiment includes a
여기서, 상기 제1 도전형 반도체층(115)은 제1 및 제2 영역(115a, 115b)을 포함할 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(115)의 제1 영역은 제2 도전형 반도체층(119) 및 활성층(117)으로부터 노출된 영역으로 정의될 수 있다. 제1 전극 패드(141)는 상기 제1 영역 상에 위치한다. 상기 제1 도전형 반도체층(115)의 제2 영역(115b)은 상기 제2 도전형 반도체층(119) 및 활성층(117)으로부터 노출된 영역으로 정의될 수 있다. 상기 전류 차단층(160)은 상기 제2 영역(115b) 상에 위치한다. 상기 제1 및 제2 영역(115a, 115b)은 서로 일정 간격 이격될 수 있다. 상기 전류 차단층(160) 및 상기 제1 전극 패드(141)는 서로 일정 간격 이격될 수 있다. 상기 제1 및 제2 영역(115a, 115b)은 상기 제1 도전형 반도체층(115)을 노출시키는 메사 에칭 공정을 통해서 형성되어 상기 제1 및 제2 영역(115a, 115b)은 동일한 두께 또는 동일 깊이일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.Here, the first
상기 발광 구조체(120)는 오목부를 포함하고, 상기 오목부는 상기 제2 영역(115b)과 대응된다. 상기 오목부는 상기 활성층(117) 및 상기 제2 도전형 반도체층(119)이 제거되어 상기 제1 도전형 반도체층(115)의 상부면 일부가 노출된 구조를 갖는다. 상기 오목부는 위로 갈수록 점차 넓어지는 너비를 갖는다. 즉, 오목부는 제1 도전형 반도체층(115)의 상부면으로부터 경사진 측면을 갖는다. The
상기 전류 차단층(160)은 상기 오목부 내에 형성될 수 있다. 즉, 상기 전류 차단층(160)은 상기 오목부 내부의 제1 도전형 반도체층(115), 활성층(117)의 측면 및 제2 도전형 반도체층(119)의 측면 상에 형성되고, 상기 제2 도전형 반도체층(119)의 상부면으로 연장될 수 있다. 상기 전류 차단층(160)은 상기 활성층(117)이 제거된 영역에 위치함으로써, 광을 흡수하는 활성층을 제거하여 광 손실을 방지하는 기능을 갖는다. The
상기 전류 차단층(160)은 상기 오목부의 경사진 측면과 대응되어 상기 제2 도전형 반도체층(119)의 상부면을 기준으로 경사지게 형성될 수 있다. The
상기 전류 차단층(160)은 예컨대 산화물 또는 질화물등의 절연물질로 구현될 수 있다. 예를 들어, 상기 전류 차단층(160)은 SixOy, SixNy, SiOxNy, Al2O3, TiO2, AlN 등으로 이루어진 군에서 적어도 하나가 선택되어 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The
또는 상기 전류 차단층(160)은 굴절률이 서로 상이한 층들을 교대로 적층한 분포 브래그 반사기(DBR: Distributed Bragg Reflector)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 분포 브래그 반사기(DBR)의 상기 전류 차단층(160)은 상기 오목부 내에서 경사지게 형성되어 광을 반사하므로 발광 소자의 광 추출을 향상시킬 수 있다.Alternatively, the
상기 전류 차단층(160)은 제2 도전형 반도체층(119) 상에 위치한 제2 전극 패드(151)와 오버랩될 수 있다. 상기 전류 차단층(160)의 전체는 상기 제2 전극 패드(151)와 오버랩될 수 있다. 또한, 상기 전류 차단층(160)의 전체는 상기 제2 보조 전극(도2의 153)과 오버랩될 수 있다.The
보다 구체적으로, 도 4에서는 상기 전류 차단층(160)의 너비(W2)는 상기 제2 전극 패드(151)의 너비(W1)와 같도록 도시되어 있으나, 이에 한정하지 않고, 상기 전류 차단층(160)의 너비(W2)는 상기 제2 전극 패드(151) 주변에서 전류가 집중되지 않도록 상기 제2 전극 패드(151)의 너비(W1)와 같거나 넓게 형성될 수 있다. 4, the width W2 of the
또한, 상기 전류 차단층(160)의 너비(W2)는 상기 제2 보조 전극(153)의 너비(미도시)와 같거나 넓게 형성될 수 있다. 즉, 상기 전류 차단층(160)의 너비는 상기 제2 전극 패드(151)와 오버랩되는 영역과 상기 제2 보조 전극(도2의 153)과 오버랩되는 영역이 서로 상이할 수 있다.The width W2 of the
전극층(131)은 상기 전류 차단층(160) 및 상기 제2 도전형 반도체층(119) 상에 위치한다. 즉, 상기 전극층(131)은 외부에 노출된 상기 전류 차단층(160)을 덮고, 상기 제2 도전형 반도체층(119)의 상부면을 덮을 수 있다. 상기 오목부 내에 위치하는 상기 전극층(131)은 상기 전류 차단층(160)의 단면 형상에 대응되는 단면 형상을 갖는다. 즉, 오목부 내에 위치한 상기 전극층(131)은 상기 제2 도전형 반도체층(119)의 상부면을 기준으로 경사지게 형성될 수 있다.The
상기 제2 전극 패드(151) 및 제2 보조 전극(153)은 상기 전극층(131) 상에 위치하고, 상기 전류 차단층(160)과 오버랩될 수 있다. 여기서, 상기 전류 차단층(160) 전체는 상기 제2 전극 패드(151) 및 상기 제2 보조 전극(153)과 오버랩될 수 있다. 상기 오목부 내에 형성되는 상기 제2 전극 패드(151) 및 제2 보조 전극(153)은 상기 전류 차단층(160)의 형상에 대응되어 상기 제2 도전형 반도체층(119)의 상부면을 기준으로 경사진 측면을 갖는다.The
제1 실시예에 따른 발광 소자는 상기 제2 전극 패드(151) 및 제2 보조 전극(153)과 오버랩되는 상기 전류 차단층(160)이 상기 활성층(117) 및 제2 도전형 반도체층(119)이 제거되어 노출된 제1 도전형 반도체층(115) 상에 형성되어 활성층(117)의 광 흡수에 의한 광 손실을 방지하므로 광 효율을 향상시킬 수 있다.The
또한, 제1 실시예에 따른 발광 소자는 상기 전류 차단층(160)에 의해 상기 제2 전극 패드(151) 및 제2 보조 전극(153) 주변에서 집중되는 전류를 분산시킬 수 있다.In addition, the light emitting device according to the first embodiment can disperse current concentrated around the
또한, 제1 실시예에 따른 발광 소자는 발광 구조체(120)의 오목부 내에서 경사진 면을 갖는 상기 전류 차단층(160)에 의해 광 추출을 향상시킬 수 있다.In addition, the light emitting device according to the first embodiment can improve the light extraction by the
도 5는 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'라인을 따라 절단한 제2 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이고, 도 6은 도 5의 A를 도시한 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to a second embodiment taken along line I-I 'of FIG. 2, and FIG. 6 is a cross-sectional view of FIG.
제2 실시예는 제1 실시예의 기술적인 특징을 채용할 수 있다.The second embodiment can employ the technical features of the first embodiment.
도 5 및 도 6을 참조하면, 제2 실시예에 따른 발광 소자는 전류 차단층(260)을 제외한 구성 제1 실시예에 따른 발광 소자와 동일하므로 동일한 부호를 병기하고 상세한 설명은 생략하기로 하며, 제2 실시예의 주된 특징 위주로 기술하기로 한다.5 and 6, the light emitting device according to the second embodiment is the same as the light emitting device according to the first embodiment except for the
상기 전류 차단층(260)은 제1 도전형 반도체층(115)의 상에 접촉되고, 활성층(117)의 측면 및 제2 도전형 반도체층(119)의 측면에 접촉된다. 상기 전류 차단층(160)은 상기 제2 도전형 반도체층(119) 상에 위치한 제2 전극 패드(151)와 오버랩될 수 있다. The
상기 전류 차단층(260)은 경사진 측면을 포함하는 컵 형상의 단면을 갖는다. 상기 전류 차단층(260)의 끝단은 상기 제2 도전형 반도체층(119)의 상부면과 동일 평면 상에 위치할 수 있다. 보다 구체적으로 상기 전류 차단층(260)은 상기 활성층(117) 및 제2 도전형 반도체층(119)으로부터 노출된 제1 도전형 반도체층(115) 상에 접촉되고, 상기 활성층(117)의 측면 및 상기 제2 도전형 반도체층(119)의 측면과 접촉될 수 있다. 상기 전류 차단층(260)의 끝단면은 상기 제2 도전형 반도체층(119)의 상부면과 나란하게 위치한다. 상기 전류 차단층(260)은 상기 활성층(117)이 제거된 영역에 위치함으로써, 활성층에서 흡수되는 광에 의한 광 손실을 방지하는 기능을 갖는다.The
상기 전류 차단층(260)의 너비(W2)는 상기 제2 전극 패드(151)의 너비(W1)와 같도록 도시되어 있으나, 이에 한정하지 않고, 상기 전류 차단층(260)의 너비(W2)는 상기 제2 전극 패드(151)의 너비(W1)와 같거나 넓게 형성될 수 있다.The width W2 of the
상기 전류 차단층(260)은 상기 제2 도전형 반도체층(119)의 상부면을 기준으로 경사지게 형성될 수 있다. The
상기 전류 차단층(260)은 예컨대 산화물 또는 질화물등의 절연물질로 구현될 수 있다. 예를 들어, 상기 전류 차단층(260)은 SixOy, SixNy, SiOxNy, Al2O3, TiO2, AlN 등으로 이루어진 군에서 적어도 하나가 선택되어 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The
또는 상기 전류 차단층(260)은 굴절률이 서로 상이한 층들을 교대로 적층한 분포 브래그 반사기(DBR: Distributed Bragg Reflector)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 분포 브래그 반사기(DBR)의 상기 전류 차단층(260)은 상기 오목부 내에서 경사지게 형성되어 광 추출을 향상시킬 수 있다.Alternatively, the
제2 실시예에 따른 발광 소자는 상기 제2 전극 패드(151) 및 제2 보조 전극(153)과 오버랩되는 상기 전류 차단층(260)이 상기 활성층(117) 및 제2 도전형 반도체층(119)이 제거된 제1 도전형 반도체층(115) 상에 형성되어 활성층(117)의 광 흡수에 의한 광 손실을 방지하므로 광 효율을 향상시킬 수 있다.The light emitting device according to the second embodiment differs from the light emitting device according to the second embodiment in that the
또한, 제2 실시예에 따른 발광 소자는 상기 전류 차단층(260)에 의해 상기 제2 전극 패드(151) 및 제2 보조 전극(153) 주변에서 집중되는 전류를 분산시킬 수 있다.In addition, the light emitting device according to the second embodiment can disperse current concentrated around the
또한, 제2 실시예에 따른 발광 소자는 발광 구조체(120)의 오목부 내에서 경사진 면을 갖는 상기 전류 차단층(260)에 의해 광 추출을 향상시킬 수 있다.In addition, the light emitting device according to the second embodiment can improve light extraction by the
도 7은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'라인을 따라 절단한 제3 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.7 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to a third embodiment taken along the line I-I 'of FIG.
제3 실시예는 제1 실시예 또는 제2 실시예의 기술적인 특징을 채용할 수 있으며, 이하 제3 실시예의 주된 특징위주로 기술하기로 한다.The third embodiment can adopt the technical features of the first embodiment or the second embodiment, and will be described mainly about the main features of the third embodiment.
상기 전류 차단층(360)은 제1 도전형 반도체층(115)에 접촉되고, 활성층(117)의 측면 및 제2 도전형 반도체층(119)의 측면에 접촉된다. 상기 전류 차단층(360)은 상기 제2 도전형 반도체층(119) 상에 위치한 제2 전극 패드(151)와 오버랩될 수 있다.The
상기 제1 도전형 반도체층(115)은 제1 및 제2 영역(115a, 115b)을 포함한다. 상기 제1 및 제2 영역(115a, 115b)은 제2 도전형 반도체층(119) 및 활성층(117)으로부터 상기 제1 도전형 반도체층(115)의 상부면이 노출되는 영역으로 정의될 수 있다. 제1 전극 패드(141)는 제1 영역(115a)에 위치하고, 상기 전류 차단층(360)은 제2 영역(115b)에 위치한다.The first
상기 제1 및 제2 영역(115a, 115b)은 서로 일정 간격 이격될 수 있고, 상기 제2 영역(115b)은 상기 제1 영역(115a)보다 아래에 위치할 수 있다. 즉, 상기 전류 차단층(360)의 하부면은 상기 제1 전극 패드(141)의 하부면보다 아아래에 위치할 수 있다. The first and
상기 제1 영역(115a)과 대응되는 상기 제1 도전형 반도체층(115)는 상기 제2 영역(115b)의 상기 제1 도전형 반도체층(115)보다 두꺼운 두께를 가질 수 있다. 상기 전류 차단층(360)은 상기 활성층(117)이 제거된 영역에 위치함으로써, 일반적인 전류 차단층의 아래에 위치한 활성층에서 흡수되는 광에 의한 광 손실을 방지하는 기능을 갖는다. The first conductivity
상기 전류 차단층(360)의 너비는 상기 제2 전극 패드(151)의 너비와 같도록 도시되어 있으나, 이에 한정하지 않고, 상기 전류 차단층(360)의 너비는 상기 제2 전극 패드(151)의 너비와 같거나 넓게 형성될 수 있다.The width of the
상기 전류 차단층(360)은 상기 제2 도전형 반도체층(119)의 상부면을 기준으로 경사지게 형성될 수 있다. The
상기 전류 차단층(360)은 예컨대 산화물 또는 질화물등의 절연물질로 구현될 수 있다. 예를 들어, 상기 전류 차단층(360)은 SixOy, SixNy, SiOxNy, Al2O3, TiO2, AlN 등으로 이루어진 군에서 적어도 하나가 선택되어 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The
또한 상기 전류 차단층(360)은 굴절률이 서로 상이한 층들을 교대로 적층한 분포 브래그 반사기(DBR: Distributed Bragg Reflector)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 분포 브래그 반사기(DBR)의 상기 전류 차단층(360)은 상기 제2 영역(115b)의 오목부 내에서 경사지게 형성되어 광 추출을 향상시킬 수 있다. 더욱이 상기 전류 차단층(360)은 제2 영역(115b)의 제1 도전형 반도체층(115)의 두께를 최소화함으로써, 광을 반사시키는 면적이 넓어져 광 추출을 보다 더 향상시킬 수 있다.The
또한, 제3 실시예에 따른 발광 소자는 상기 전류 차단층(360)에 의해 상기 제2 전극 패드(151) 및 제2 보조 전극(153) 주변에서 집중되는 전류를 분산시킬 수 있다.In addition, the light emitting device according to the third embodiment can disperse current concentrated around the
도 8은 제4 실시예에 따른 발광 소자를 도시한 단면도이다.8 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to a fourth embodiment.
도 8을 참조하면, 제4 실시예에 따른 발광 소자(400)는 수직 타입으로 발광 구조체(420) 아래에 복수의 전도층(442, 443, 445)을 갖는 제1 전극 패드(441), 상기 발광 구조체(420) 위에 배치된 제2 전극 패드(451), 상기 발광 구조체(420)와 제1 전극 패드(441) 사이에 위치하고, 제2 전극 패드(451)와 수직 방향으로 대응된 전류 차단층(460), 및 지지부재(423)를 포함한다.Referring to FIG. 8, the
상기 제1 전극 패드(441)는 발광 구조체(420)의 제2 도전형 반도체층(419) 아래에 위치하는 접촉층(442), 반사층(443), 및 본딩층(445)을 포함할 수 있다. The
상기 접촉층(442)은 상기 제2 도전형 반도체층(419)의 하부면에 접촉되며, 일부는 상기 전류 차단층(460)의 하부면으로 연장될 수 있다. 상기 접촉층(442)은 ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO 등과 같은 전도성 물질이거나 Ni, Ag의 금속을 이용할 수 있다.The
상기 접촉층(442) 아래에 반사층(443)이 형성될 수 있으며, 상기 반사층(443)은 Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 또는 그 조합으로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어진 적어도 하나의 층을 포함하는 구조로 형성될 수 있다. 상기 반사층(443)은 상기 제2 도전형 반도체층(419) 아래에 접촉될 수 있으며, 금속으로 오믹 접촉하거나 ITO와 같은 전도 물질로 오믹 접촉할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.A
상기 반사층(443) 아래에는 본딩층(445)이 형성될 수 있으며, 상기 본딩층(445)은 베리어 금속 또는 본딩 금속으로 사용될 수 있으며, 그 물질은 예를 들어, Ti, Au, Sn, Ni, Cr, Ga, In, Bi, Cu, Ag 및 Ta와 선택적인 합금 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. A
상기 발광 구조체(420) 아래에는 채널층(470)이 배치될 수 있다. 상기 채널층(470)은 상기 제2 도전형 반도체층(419)의 하부면 에지를 따라 형성되며, 링 형상, 루프 형상 또는 프레임 형상으로 형성될 수 있다. 상기 채널층(470)은 ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO, SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, Al2O3, TiO2 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 채널층(470)의 내측부는 상기 제2 도전형 반도체층(419) 아래에 배치되고, 외측부는 상기 발광 구조체(420)의 측면보다 더 외측에 배치된다. A
상기 본딩층(445) 아래에는 지지 부재(423)가 형성되며, 상기 지지 부재(423)는 전도성 부재로 형성될 수 있으며, 그 물질은 구리(Cu-copper), 금(Au-gold), 니켈(Ni-nickel), 몰리브덴(Mo), 구리-텅스텐(Cu-W), 캐리어 웨이퍼(예: Si, Ge, GaAs, ZnO, SiC 등)와 같은 전도성 물질로 형성될 수 있다. A
상기 지지부재(423)는 다른 예로서, 전도성 시트로 구현될 수 있다. 상기 제1 전극 패드(441)는 상기 지지부재(423)을 포함할 수 있으며, 상기 제1 전극 패드(441)의 층들 중 적어도 하나 또는 복수의 층은 상기 지지부재(423)와 동일한 너비로 형성될 수 있다. As another example, the
상기 제1 도전형 반도체층(415)의 상부면에는 러프니스와 같은 광 추출 구조가 형성될 수 있다. 상기 제2 전극 패드(451)는 상기 제1 도전형 반도체층(415)의 상면 중 평탄한 면 상에 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광 구조체(420)의 측면 및 상면에는 절연층(미도시)이 더 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.A light extraction structure such as a roughness may be formed on the upper surface of the first conductive
상기 전류 차단층(460)은 제2 전극 패드(451)와 오버랩되고, 상기 제2 전극 패드(451)의 하부에 전류가 집중되는 것을 방지하는 기능을 갖는다. The
상기 발광 구조체(420)는 중심부에 오목부를 포함하고, 상기 오목부는 활성층(417) 및 상기 제2 도전형 반도체층(419)이 제거되어 상기 제1 도전형 반도체층(415)이 노출된 구조를 갖는다. 상기 오목부는 위로 갈수록 점차 좁아지는 너비를 갖는다. 즉, 오목부는 제1 도전형 반도체층(415)의 하부면을 기준으로 경사진 측면을 갖는다. The
상기 전류 차단층(460)은 상기 오목부 내에 형성될 수 있다. 즉, 상기 전류 차단층(460)은 상기 오목부 내부의 제1 도전형 반도체층(415), 활성층(417)의 측면 및 제2 도전형 반도체층(419)의 측면 상에 형성되고, 상기 제2 도전형 반도체층(419)과 접촉될 수 있다. 상기 전류 차단층(460)은 상기 활성층(417)이 제거된 영역에 위치함으로써, 광을 흡수하는 활성층을 제거하여 광 손실을 방지하는 기능을 갖는다. The
상기 전류 차단층(460)은 예컨대 산화물 또는 질화물등의 절연물질로 구현될 수 있다. 예를 들어, 상기 전류 차단층(460)은 SixOy, SixNy, SiOxNy, Al2O3, TiO2, AlN 등으로 이루어진 군에서 적어도 하나가 선택되어 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The
또는 상기 전류 차단층(460)은 굴절률이 서로 상이한 층들을 교대로 적층한 분포 브래그 반사기(DBR: Distributed Bragg Reflector)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 분포 브래그 반사기(DBR)의 상기 전류 차단층(460)은 상기 오목부 내에서 경사지게 형성되어 광을 반사하므로 발광 소자의 광 추출을 향상시킬 수 있다.Alternatively, the
상기 전류 차단층(460)의 너비는 상기 제2 전극 패드(451)의 너비와 같거나 넓게 형성될 수 있다.The width of the
제4 실시예에 따른 발광 소자는 상기 제2 전극 패드(451)와 오버랩되는 상기 전류 차단층(460)이 상기 활성층(417) 및 제2 도전형 반도체층(419)이 제거된 제1 도전형 반도체층(415) 상에 형성되어 활성층(417)의 광 흡수에 의한 광 손실을 방지하므로 광 효율을 향상시킬 수 있다.The
또한, 제4 실시예에 따른 발광 소자는 상기 전류 차단층(460)에 의해 상기 제2 전극 패드(451)의 주변에서 집중되는 전류를 분산시킬 수 있다.In addition, the light emitting device according to the fourth embodiment can disperse current concentrated around the
또한, 제4 실시예에 따른 발광 소자는 발광 구조체(420)의 오목부 내에서 경사진 면을 갖는 상기 전류 차단층(460)에 의해 광 추출을 향상시킬 수 있다.Further, the light emitting device according to the fourth embodiment can improve the light extraction by the
도 9는 도 8의 발광 소자를 갖는 발광 소자 패키지를 나타낸 도면이다. 9 is a view showing a light emitting device package having the light emitting element of FIG.
도 9를 참조하면, 발광 소자 패키지는 몸체(510)와, 상기 몸체(510)에 적어도 일부가 배치된 제1 리드전극(521) 및 제2 리드전극(523)과, 상기 몸체(510) 상에 상기 제1 리드전극(521) 및 제2 리드전극(523)과 전기적으로 연결되는 상기 발광 소자(400)와, 상기 몸체(510) 상에 상기 발광 소자(400)를 포위하는 몰딩부재(530)를 포함한다.9, the light emitting device package includes a
상기 몸체(510)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있다. The
상기 제1 리드전극(521) 및 상기 제2 리드전극(523)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 몸체(510) 내부를 관통하도록 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1 리드전극(521) 및 상기 제2 리드전극(523)은 일부는 상기 캐비티 내부에 배치되고, 다른 부분은 상기 몸체(510)의 외부에 배치될 수 있다. The first
상기 제1 리드전극(521) 및 제2 리드전극(523)은 상기 발광 소자(400)에 전원을 공급하고, 상기 발광 소자(400)에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광 소자(400)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 기능을 할 수도 있다.The first
상기 발광 소자 패키지는 도 8에서와 같이 광 효율이 우수한 제4 실시예에 따른 발광 소자(400)를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 발광 소자 패키지는 광 효율이 향상된 장점을 갖는다. 또한, 실시예의 발광 소자 패키지는 도 3, 도 4 및 도 7에 도시된 제1 실시예 내지 제3 실시예에 따른 발광 소자를 구비할 수 있다.실시예에 따른 발광 소자 또는 발광 소자 패키지는 라이트 유닛에 적용될 수 있다. 상기 라이트 유닛은 복수의 발광 소자 또는 발광 소자 패키지가 어레이된 구조를 포함하며, 조명등, 신호등, 차량 전조등, 전광판 등이 포함될 수 있다.The light emitting device package may include the
이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects and the like described in the embodiments are included in at least one embodiment and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects and the like illustrated in the embodiments can be combined and modified by other persons skilled in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents of such combinations and modifications should be construed as being included in the scope of the embodiments.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 실시예를 한정하는 것이 아니며, 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 설정하는 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It can be seen that the modification and application of branches are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.
115: 제1 도전형 반도체층
117: 활성층
119: 제2 도전형 반도체층
160, 260, 360, 460: 전류 차단층
141, 441: 제1 전극 패드
151, 451: 제2 전극 패드115: first conductive type semiconductor layer 117: active layer
119: second conductive
141, 441:
Claims (13)
상기 제1 도전형 반도체층의 제1 영역에 위치한 제1 전극 패드;
상기 제2 도전형 반도체층 상에 위치한 제2 전극 패드; 및
상기 제1 도전형 반도체층의 제2 영역에 위치하고, 상기 제2 전극 패드와 오버랩된 전류 차단층을 포함하고,
상기 전류 차단층은 상기 활성층이 제거되어 노출된 상기 제1 도전형 반도체층과 접촉하는 발광 소자.A first conductive semiconductor layer; An active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; And a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer;
A first electrode pad located in a first region of the first conductivity type semiconductor layer;
A second electrode pad disposed on the second conductive semiconductor layer; And
And a current blocking layer located in a second region of the first conductivity type semiconductor layer and overlapped with the second electrode pad,
Wherein the current blocking layer is in contact with the exposed first conductivity type semiconductor layer after the active layer is removed.
상기 전류 차단층은 상기 활성층의 측면 및 상기 제2 도전형 반도체층의 측면과 접촉된 발광 소자.The method according to claim 1,
Wherein the current blocking layer is in contact with a side surface of the active layer and a side surface of the second conductivity type semiconductor layer.
상기 전류 차단층은 상기 제2 도전형 반도체층의 상부면까지 연장된 발광 소자.The method according to claim 1,
And the current blocking layer extends to an upper surface of the second conductivity type semiconductor layer.
상기 전류 차단층은 컵 형상의 단면을 갖고, 상기 전류 차단층의 끝단은 상기 제2 도전형 반도체층의 상부면과 동일 평면 상에 위치한 발광 소자.The method according to claim 1,
Wherein the current blocking layer has a cup-shaped cross section, and an end of the current blocking layer is on the same plane as the upper surface of the second conductivity type semiconductor layer.
상기 제2 전극 패드로부터 연장된 보조 전극을 더 포함하고, 상기 전류 차단층의 너비는 상기 제2 전극 패드의 너비 및 상기 보조 전극의 너비와 같거나 넓은 발광 소자.The method according to claim 1,
And a width of the current blocking layer is equal to or greater than a width of the second electrode pad and a width of the auxiliary electrode.
상기 발광 구조체는 상기 활성층 및 상기 제2 도전형 반도체층이 제거된 오목부를 포함하고, 상기 오목부는 상기 제2 영역과 대응되는 발광 소자.The method according to claim 1,
Wherein the light emitting structure includes a concave portion in which the active layer and the second conductive type semiconductor layer are removed, and the concave portion corresponds to the second region.
상기 오목부는 상기 제1 도전형 반도체층으로부터 멀어질수록 넓어지는 너비를 갖는 발광 소자.The method according to claim 6,
Wherein the recess has a width that increases as the distance from the first conductivity type semiconductor layer increases.
상기 제1 영역은 상기 제1 도전형 반도체층의 일면상에 위치하고, 상기 제2 영역은 상기 제1 도전형 반도체층의 타면상에 위치하는 발광 소자.The method according to claim 1,
Wherein the first region is located on one side of the first conductivity type semiconductor layer and the second region is located on the other side of the first conductivity type semiconductor layer.
상기 전류 차단층은 상기 제1 전극 패드 상에 위치하는 발광 소자.9. The method of claim 8,
And the current blocking layer is positioned on the first electrode pad.
상기 제1 도전형 반도체층의 제1 영역에 위치한 제1 전극 패드;
상기 제2 도전형 반도체층 상에 위치한 제2 전극 패드; 및
상기 제1 도전형 반도체층의 제2 영역에 위치하고, 상기 제2 전극 패드와 오버랩된 전류 차단층을 포함하고,
상기 전류 차단층의 하부면은 상기 제1 전극 패드의 하부면보다 아래에 위치하는 발광 소자.A first conductive semiconductor layer; An active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; And a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer;
A first electrode pad located in a first region of the first conductivity type semiconductor layer;
A second electrode pad disposed on the second conductive semiconductor layer; And
And a current blocking layer located in a second region of the first conductivity type semiconductor layer and overlapped with the second electrode pad,
And the lower surface of the current blocking layer is located below the lower surface of the first electrode pad.
상기 제2 전극 패드로부터 연장된 보조 전극을 더 포함하고, 상기 전류 차단층의 너비는 상기 제2 전극 패드의 너비 및 상기 보조 전극의 너비와 같거나 넓은 발광 소자.11. The method of claim 10,
And a width of the current blocking layer is equal to or greater than a width of the second electrode pad and a width of the auxiliary electrode.
상기 제1 도전형 반도체층는 상기 제1 영역의 두께보다 상기 제2 영역의 상두께가 두꺼운 발광 소자.11. The method of claim 10,
Wherein the first conductivity type semiconductor layer has a thickness greater than a thickness of the first region.
A light emitting device package comprising the light emitting device according to any one of claims 1 to 10.
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