KR20120014972A - Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system - Google Patents
Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system Download PDFInfo
- Publication number
- KR20120014972A KR20120014972A KR1020100077110A KR20100077110A KR20120014972A KR 20120014972 A KR20120014972 A KR 20120014972A KR 1020100077110 A KR1020100077110 A KR 1020100077110A KR 20100077110 A KR20100077110 A KR 20100077110A KR 20120014972 A KR20120014972 A KR 20120014972A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- layer
- light emitting
- emitting device
- emitting structure
- light
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 267
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 53
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 45
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims abstract description 29
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dizinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].[Zn+2].[Zn+2] JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- SKRWFPLZQAAQSU-UHFFFAOYSA-N stibanylidynetin;hydrate Chemical compound O.[Sn].[Sb] SKRWFPLZQAAQSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 5
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910019897 RuOx Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004713 Cyclic olefin copolymer Substances 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- DZLPZFLXRVRDAE-UHFFFAOYSA-N [O--].[O--].[O--].[O--].[Al+3].[Zn++].[In+3] Chemical compound [O--].[O--].[O--].[O--].[Al+3].[Zn++].[In+3] DZLPZFLXRVRDAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N copper tungsten Chemical compound [Cu].[W] SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- YZZNJYQZJKSEER-UHFFFAOYSA-N gallium tin Chemical compound [Ga].[Sn] YZZNJYQZJKSEER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N indium;oxozinc;tin Chemical compound [In].[Sn].[Zn]=O HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- VRIVJOXICYMTAG-IYEMJOQQSA-L iron(ii) gluconate Chemical compound [Fe+2].OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O.OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O VRIVJOXICYMTAG-IYEMJOQQSA-L 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/44—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0093—Wafer bonding; Removal of the growth substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/14—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a carrier transport control structure, e.g. highly-doped semiconductor layer or current-blocking structure
- H01L33/145—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a carrier transport control structure, e.g. highly-doped semiconductor layer or current-blocking structure with a current-blocking structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
- H01L33/22—Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/40—Materials therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 발광 소자, 발광 소자 제조방법, 발광 소자 패키지 및 조명 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a light emitting device, a light emitting device manufacturing method, a light emitting device package and an illumination system.
발광 다이오드(LED)는 전기 에너지를 빛으로 변환하는 반도체 소자의 일종이다. 발광 다이오드는 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경친화성의 장점을 가진다. 이에 기존의 광원을 발광 다이오드로 대체하기 위한 많은 연구가 진행되고 있으며, 발광 다이오드는 실내외에서 사용되는 각종 램프, 액정표시장치, 전광판, 가로등 등의 조명 장치의 광원으로서 사용이 증가되고 있는 추세이다.Light emitting diodes (LEDs) are a type of semiconductor device that converts electrical energy into light. Light emitting diodes have the advantages of low power consumption, semi-permanent life, fast response speed, safety and environmental friendliness compared to conventional light sources such as fluorescent and incandescent lamps. Accordingly, many researches are being conducted to replace existing light sources with light emitting diodes, and the use of light emitting diodes is increasing as a light source for lighting devices such as various lamps, liquid crystal displays, electronic displays, and street lamps that are used indoors and outdoors.
실시예는 새로운 구조를 갖는 발광 소자, 발광 소자 제조방법, 발광 소자 패키지 및 조명 시스템을 제공한다.The embodiment provides a light emitting device having a new structure, a light emitting device manufacturing method, a light emitting device package, and an illumination system.
실시예는 전기적 안정성이 향상된 발광 소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지 및 조명 시스템을 제공한다.The embodiment provides a light emitting device, a light emitting device manufacturing method and a light emitting device package and lighting system with improved electrical stability.
실시예에 따른 발광 소자는 전도성 지지기판; 상기 전도성 지지기판 상의 적어도 둘레 영역에 배치되는 보호층; 상기 전도성 지지기판 및 보호층 상에 제1 도전형의 반도체층, 활성층, 및 제2 도전형의 반도체층을 포함하는 발광 구조층; 상기 발광 구조층 상에 전극; 및 상기 발광 구조층의 적어도 측면 및 상기 보호층의 상에 배치되는 패시베이션층을 포함하고, 상기 보호층은 상기 발광 구조층과 적어도 일부분이 이격되어 공간부를 형성하고, 상기 패시베이션층은 상기 공간부를 밀폐한다.The light emitting device according to the embodiment includes a conductive support substrate; A protective layer disposed in at least a peripheral region on the conductive support substrate; A light emitting structure layer including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer on the conductive support substrate and the protective layer; An electrode on the light emitting structure layer; And a passivation layer disposed on at least a side of the light emitting structure layer and on the passivation layer, wherein the passivation layer forms a space portion at least partially spaced from the light emitting structure layer, and the passivation layer seals the space portion. do.
실시예는 새로운 구조를 갖는 발광 소자, 발광 소자 제조방법, 발광 소자 패키지 및 조명 시스템을 제공할 수 있다.The embodiment can provide a light emitting device having a new structure, a light emitting device manufacturing method, a light emitting device package, and an illumination system.
실시예는 전기적 안정성이 향상된 발광 소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지 및 조명 시스템을 제공할 수 있다.The embodiment can provide a light emitting device, a light emitting device manufacturing method, a light emitting device package, and an illumination system having improved electrical stability.
도 1은 실시예에 따른 발광 소자를 설명하는 도면.
도 2 내지 도 12는 실시예에 따른 발광 소자의 제조방법을 설명하는 도면.
도 13은 제2 실시예에 따른 발광 소자를 설명하는 도면.
도 14는 제3 실시예에 따른 발광 소자를 설명하는 도면.
도 15는 제4 실시예에 따른 발광 소자를 설명하는 도면.
도 16은 실시예에 따른 발광 소자를 포함하는 발광 소자 패키지의 단면도.
도 17은 실시예에 따른 발광 소자 패키지를 사용한 백라이트 유닛을 도시하는 도면.
도 18은 실시예들에 따른 발광 소자 패키지를 사용한 조명 유닛의 사시도. 1 illustrates a light emitting element according to an embodiment.
2 to 12 illustrate a method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment.
13 is a view for explaining a light emitting element according to the second embodiment.
14 is a view for explaining a light emitting element according to the third embodiment;
Fig. 15 is a diagram explaining a light emitting element according to the fourth embodiment.
16 is a cross-sectional view of a light emitting device package including a light emitting device according to the embodiment.
17 illustrates a backlight unit using a light emitting device package according to an embodiment.
18 is a perspective view of a lighting unit using a light emitting device package according to the embodiments.
실시예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "위(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "위(on)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), region, pattern or structure is formed "on" or "under" a substrate, each layer The terms " on "and " under " encompass both being formed" directly "or" indirectly " In addition, the criteria for the top or bottom of each layer will be described with reference to the drawings.
도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. In the drawings, the thickness or size of each layer is exaggerated, omitted, or schematically illustrated for convenience and clarity of description. In addition, the size of each component does not necessarily reflect the actual size.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들에 따른 발광 소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지에 대해 설명한다.Hereinafter, a light emitting device, a light emitting device manufacturing method, and a light emitting device package according to embodiments will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 제1 실시예에 따른 발광 소자를 설명하는 도면이다.1 is a view for explaining a light emitting device according to the first embodiment.
도 1을 참조하면, 제1 실시예에 따른 발광 소자(100)는 전도성 지지기판(175)과, 상기 전도성 지지기판(175) 상에 접합층(170)과, 상기 접합층(170) 상에 반사층(160)과, 상기 반사층(160) 상에 오믹 접촉층(150)과, 상기 접합층(170)의 상에 보호층(140)과, 상기 오믹 접촉층(150) 및 상기 보호층(140) 상에 배치되어 빛을 생성하는 발광 구조층(135)과, 상기 발광 구조층(135)을 보호하는 패시베이션층(180)과, 상기 반사층(160)과 발광 구조층(135) 상에 전류 차단층(145)과, 상기 발광 구조층(135) 상에 전극(115)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the
상기 전도성 지지기판(175)은 상기 발광 구조층(135)을 지지하며 상기 전극(115)과 함께 상기 발광 구조층(135)에 전원을 제공할 수 있다. 상기 전도성 지지기판(175)는 예를 들어, 구리(Cu), 금(Au), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 알루미늄(Al), 구리-텅스텐(Cu-W), 캐리어 웨이퍼(예를 들어, Si, Ge, GaAs, GaN, ZnO, SiC, SiGe 등) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. The
상기 전도성 지지기판(175)의 두께는 상기 발광 소자(100)의 설계에 따라 달라질 수 있으나, 예를 들어, 50μm 내지 300μm의 두께를 가질 수 있다.The thickness of the
상기 전도성 지지기판(175) 상에는 상기 접합층(170)이 형성될 수 있다. 상기 접합층(170)은 본딩층으로서, 상기 보호층(140)의 아래에 형성된다. 제1 실시예에서 상기 접합층(170)은 상기 보호층(140)의 하면과 접촉한 것이 예시되어 있다.The
상기 접합층(170)은 베리어 금속 또는 본딩 금속 등을 포함하며, 예를 들어, Ti, Au, Sn, Ni, Cr, Ga, In, Nb, Bi, Cu, Ag 또는 Ta 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The
상기 접합층(170) 상에는 상기 반사층(160)이 형성될 수 있다. 상기 반사층(160)은 상기 발광 구조층(135)로부터 입사되는 광을 반사시켜 주어, 광 추출 효율을 개선시켜 줄 수 있다. 제1 실시예에서는 상기 접합층(170)의 상면 전체 영역에 상기 보호층(140)이 형성되고, 상기 보호층(140) 상에 상기 반사층(160)이 배치된 것이 예시되어 있다.The
상기 반사층(160)은 예를 들어, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하는 금속 또는 합금으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 반사층(160)은 상기 금속 또는 합금과 IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO 등의 투광성 전도성 물질을 이용하여 다층으로 형성할 수 있으며, 예를 들어, IZO/Ni, AZO/Ag, IZO/Ag/Ni, AZO/Ag/Ni 등으로 적층할 수 있다. The
제1 실시예에서는 상기 반사층(160)의 상면이 상기 오믹 접촉층(150)과 접촉하는 것이 예시되어 있으나, 상기 반사층(160)은 상기 보호층(140), 전류 차단층(145), 또는 발광 구조층(135)과 접촉할 수도 있다.In the first embodiment, the upper surface of the
상기 반사층(160) 상에는 상기 오믹 접촉층(150)이 형성될 수 있다. 상기 오믹 접촉층(150)은 상기 제2 도전형의 반도체층(130)에 오믹 접촉되어 상기 발광 구조층(135)에 전원이 원활히 공급되도록 하며, ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, 또는 ATO 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. The
즉, 상기 오믹 접촉층(150)은 투광성 전도층과 금속을 선택적으로 사용할 수 있으며, ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni, Ag, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 하나 이상을 이용하여 단층 또는 다층으로 구현할 수 있다.That is, the
제1 실시예에서는 상기 오믹 접촉층(150)이 상기 전류 차단층(145)의 하면 및 측면과 접촉하는 것이 예시되어 있으나, 상기 오믹 접촉층(150)은 상기 전류 차단층(145)과 이격되어 배치되거나 상기 전류 차단층(145)의 측면에만 접촉할 수도 있다.In the first embodiment, the
상기 오믹 접촉층(150)과 상기 제2 도전형의 반도체층(130) 사이에는 상기 전류 차단층(Current Blocking Layer, CBL)(145)이 형성될 수 있다. 상기 전류 차단층(145)의 상면은 상기 제2 도전형의 반도체층(130)과 접촉하고, 상기 전류 차단층(145)의 하면 및 측면은 상기 오믹 접촉층(150)과 접촉할 수도 있다.The current blocking layer (CBL) 145 may be formed between the
상기 전류 차단층(145)은 상기 전극(115)과 수직 방향으로 적어도 일부가 중첩되도록 형성될 수 있으며, 이에 따라 상기 전극(115)과 상기 전도성 지지기판(175) 사이의 최단 거리로 전류가 집중되는 현상을 완화하여 상기 발광 소자(100)의 발광 효율을 향상시킬 수 있다.The
상기 전류 차단층(145)은 상기 반사층(160) 또는 상기 오믹 접촉층(150)보다 전기 전도성이 낮은 물질, 상기 제2 도전형의 반도체층(130)과 쇼트키 접촉을 형성하는 물질, 또는 전기 절연성 물질을 이용하여 형성할 수 있으며, 예를 들어, ITO, IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO, ZnO, SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, Al2O3 , TiOx, Ti, Al, 또는 Cr 중 적어도 하나를 포함한다.The
상기 보호층(140)은 상기 접합층(170)의 상면의 둘레 영역에 형성될 수 있다. 즉, 상기 보호층(140)은 상기 발광 구조층(135)과 상기 접합층(170) 사이의 둘레 영역에 형성될 수 있으며, 전기 전도성 물질로 형성된다. 상기 보호층(140)은 일부분이 상기 발광 구조층(135)과 수직 방향으로 오버랩된다. 제1 실시예에서는 상기 보호층(140)이 상기 접합층(170)의 상면 전체에 형성된 것이 예시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The
상기 보호층(140)은 칩 분리 공정에서 상기 발광 구조층(145)을 단위 칩으로 분리하기 위해 아이솔레이션 에칭을 실시하는 경우. 상기 접합층(170)에서 파편이 발생되어 상기 파편이 상기 제2 도전형의 반도체층(130)과 활성층(120) 사이 또는 상기 활성층(120)과 제1 도전형의 반도체층(110) 사이에 부착되어 전기적 단락이 발생되는 것을 방지한다. 상기 보호층(140)은 아이솔레이션 에칭시 깨지거나 파편이 발생되지 않는 물질로 형성된다. 예를 들어, 상기 보호층(140)은 Ti, Ni, Pt, Pd, Rh, Ir, 또는 W 중 적어도 어느 하나를 포함하는 물질로 형성될 수도 있다.The
제1 실시예에서 상기 보호층(140)과 상기 발광 구조층(135) 사이에 공간부(141)가 형성된다. 상기 공간부(141)는 반도체 물질, 절연물질, 금속 등이 채워지지 않은 빈 공간이 될 수 있다. 상기 공간부(141)는 상기 보호층(140), 발광 구조층(135), 및 패시베이션층(180)에 둘러싸여 밀폐될 수도 있다. In the first embodiment, a
상기 공간부(141)는 1nm-10㎛의 높이로 형성될 수 있다. 즉, 상기 발광 구조층(135)과 상기 보호층(140)의 이격 거리는 1nm-10㎛가 될 수 있다.The
제1 실시예에서는 상기 공간부(141)와 상기 오믹 접촉층(150) 사이에 상기 보호층(140)의 일부가 남아 있어 상기 보호층(140)이 상기 발광 구조층(135)과 접하는 것이 예시되어 있다.In the first embodiment, a portion of the
상기 오믹 접촉층(150), 공간부(141) 및 상기 보호층(140) 상에는 상기 발광 구조층(135)이 형성될 수 있다.The light emitting
상기 발광 구조층(135)의 측면은 단위 칩으로 구분하는 아이솔레이션(isolation) 에칭 과정에서 경사면이 형성될 수 있으며, 상기 경사면의 일부는 상기 보호층(140) 및/또는 상기 공간부(141)와 수직 방향에서 오버랩된다.Sides of the light emitting
상기 보호층(140)의 상면의 일부는 상기 아이솔레이션 에칭에 의해 노출될 수 있다. 따라서, 상기 보호층(140)은 상기 발광 구조층(135)과 일부 영역이 수직 방향으로 오버랩되고 상기 발광 구조층(135)과 나머지 영역이 수직 방향으로 오버랩되지 않는다.A portion of the upper surface of the
상기 발광 구조층(135)은 복수의 Ⅲ족-Ⅴ족 원소의 화합물 반도체층을 포함할 수 있으며, 예를 들어, 제1 도전형의 반도체층(110), 상기 제1 도전형의 반도체층(110) 아래에 활성층(120), 상기 활성층(120) 아래에 상기 제2 도전형의 반도체층(130)을 포함할 수 있다. The light emitting
상기 제1 도전형의 반도체층(110)은 제1 도전형의 도펀트가 도핑된 Ⅲ족-Ⅴ족 원소의 화합물 반도체, 예를 들어, GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP 등에서 선택될 수 있다. 상기 제1 도전형의 반도체층(110)이 N형 반도체층인 경우, 상기 제1 도전형의 도펀트는 Si, Ge, Sn, Se, Te 등과 같은 N형 도펀트를 포함한다. 상기 제1 도전형의 반도체층(110)은 단층 또는 다층으로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The first conductivity
상기 활성층(120)은 상기 제1 도전형의 반도체층(110) 아래에 형성되며, 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW), 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 상기 활성층(120)은 Ⅲ족-Ⅴ족 원소의 화합물 반도체 재료를 이용하여 우물층과 장벽층, 예를 들면 InGaN 우물층/GaN 장벽층 또는 InGaN 우물층/AlGaN 장벽층으로 형성될 수 있다.The
상기 활성층(120)과 상기 제1 도전형의 반도체층(110) 사이 또는 상기 활성층(120)과 상기 제2 도전형의 반도체층(130) 사이에는 클래드층이 형성될 수도 있으며, 상기 클래드층은 AlGaN계 반도체로 형성될 수 있다. A clad layer may be formed between the
상기 제2 도전형의 반도체층(130)은 상기 활성층(120) 아래에 형성되며, 제2 도전형의 도펀트가 도핑된 Ⅲ족-Ⅴ족 원소의 화합물 반도체, 예컨대, GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP 등에서 선택될 수 있다. 상기 제2 도전형의 반도체층(130)이 P형 반도체층인 경우, 상기 제2 도전형의 도펀트는 Mg, Zn 등과 같은 P형 도펀트를 포함한다. 상기 제2 도전형의 반도체층(130)은 단층 또는 다층으로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The second
한편, 상기 발광 구조층(135)은 상기 제2 도전형의 반도체층(130) 아래에 N형 반도체층 또는 P형 반도체층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 발광 구조층(135)은 N-P 접합, P-N 접합, N-P-N 접합 또는 P-N-P 접합 구조 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The light emitting
상기 발광 구조층(135) 상에는 상기 전극(115)이 형성된다. 상기 전극(115)은 와이어 본딩이 이루어지는 패드부와, 상기 패드부로부터 연장된 전극부를 포함할 수도 있다. 상기 전극부는 소정의 패턴 형상으로 분기될 수 있으며, 다양한 형태로 형성될 수 있다.The
상기 제1 도전형의 반도체층(110)의 상면은 광 추출 효율을 위해 러프니스 패턴(112)이 형성될 수 있다. 이에 따라 상기 전극(115)의 상면에도 러프니스 패턴이 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.A
상기 발광 구조층(135)의 적어도 측면에는 상기 패시베이션층(180)이 형성될 수 있다. 실시예에서는 상기 패시베이션층(180)이 상기 발광 구조층(135)의 측면 뿐만 아니라 상기 제1 도전형의 반도체층(110)의 상면 및 상기 보호층(140)의 상면에 형성된 것이 예시되어 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
상기 패시베이션층(180)은 상기 발광 구조층(135)을 전기적으로 보호하기 위하여 형성될 수 있다.The
제1 실시예에서 상기 패시베이션층(180)의 일부는 상기 공간부(141)를 밀폐한다. 예를 들어, 상기 공간부(141)는 상기 발광 소자(100)의 주변부에 상기 발광 소자(100)의 측면을 따라 상기 측면과 이격되어 사각형 형태로 배치될 수 있고, 상기 패시베이션층(180)은 상기 발광 소자(100)의 주변부에 상기 발광 소자(100)의 측면을 따라 상기 공간부(141)의 일측에 배치된다.In the first embodiment, a part of the
따라서, 상기 패시베이션층(180)은 일부분이 상기 오믹 접촉층(150) 및 상기 전류 차단층(145) 중 적어도 어느 하나와 동일 수평면 상에 배치될 수도 있다.Accordingly, a portion of the
제1 실시예에 따른 발광 소자(100)는 상기 발광 구조층(135)의 하부 둘레 영역 아래에 상기 공간부(141)를 형성한다. 상기 공간부(141)는 전기적으로 절연 특성을 가지므로 상기 공간부(141)가 배치된 부분에는 전류가 흐르지 않는다. In the
상기 공간부(141)를 형성하지 않는 경우 상기 보호층(140)이 상기 발광 구조층(135)의 하부 둘레 영역과 접촉하게 되고, 상기 보호층(140)이 전기 전도성을 가지므로 상기 발광 구조층(135)의 하부 둘레 영역으로 전류가 집중하여 흐르는 현상이 발생될 수 있다. 이에 따라 상기 발광 소자(100)의 전기적 안정성이 훼손될 수도 있으며, 발광 소자(100)의 광 효율이 저하될 수도 있다.When the
반면에, 제1 실시예에 따른 발광 소자(100)는 상기 발광 구조층(135)의 둘레 영역에 전류가 집중되는 현상을 방지할 수 있고 그에 따라 전기적 안정성과 광 효율이 우수한 장점이 있다.On the other hand, the
도 13은 제2 실시예에 따른 발광 소자를 설명하는 도면이다.13 is a view for explaining a light emitting device according to the second embodiment.
도 13에 도시된 발광 소자(100)를 설명함에 있어서 앞서 설명된 발광 소자(100)에 대한 설명과 중첩되는 설명은 생략하도록 한다.In the description of the
도 13을 참조하면, 제2 실시예에 따른 발광 소자(100)는 제1 실시예에 따른 발광 소자와 달리 상기 보호층(140)이 상기 접합층(170) 상의 둘레 영역에만 형성될 수 있다. 이 경우에 상기 접합층(170)은 상기 반사층(160) 및 상기 보호층(140)에 접촉될 수도 있다.Referring to FIG. 13, unlike the light emitting device according to the first embodiment, the
상기 보호층(140)이 상기 접합층(170) 상의 둘레 영역에만 형성되므로, 상기 보호층(140)의 전기적 특성 또는 본딩 특성에 대한 제한이 적어 상기 보호층(140)의 재질을 자유롭게 선택할 수도 있다.Since the
도 14는 제3 실시예에 따른 발광 소자를 설명하는 도면이다.14 is a view for explaining a light emitting device according to the third embodiment.
도 14에 도시된 발광 소자(100)를 설명함에 있어서 앞서 설명된 발광 소자(100)에 대한 설명과 중첩되는 설명은 생략하도록 한다.In the description of the
도 14를 참조하면, 제1 실시예에 따른 발광 소자에서는 상기 공간부(141)와 상기 오믹 접촉층(150) 사이에 상기 보호층(140)의 일부가 남아 있어 상기 보호층(140)이 상기 발광 구조층(135)과 접하는 것이 예시되어 있으나, 제3 실시예에 따른 발광 소자는 상기 공간부(141)와 상기 오믹 접촉층(150) 사이의 상기 보호층(140)이 제거된다.Referring to FIG. 14, in the light emitting device according to the first exemplary embodiment, a part of the
결과적으로 상기 보호층(140)과 상기 발광 구조층(135)은 서로 완전히 이격될 수도 있고, 이 경우 상기 공간부(141)는 상기 보호층(140), 오믹 접촉층(150), 발광 구조층(135), 및 패시베이션층(180)에 둘러싸여 밀폐될 수도 있다.As a result, the
도 15는 제4 실시예에 따른 발광 소자를 설명하는 도면이다.15 is a view for explaining a light emitting device according to the fourth embodiment.
도 15에 도시된 발광 소자(100)를 설명함에 있어서 앞서 설명된 발광 소자(100)에 대한 설명과 중첩되는 설명은 생략하도록 한다.In the description of the
도 15를 참조하면, 상기 발광 구조층(135) 아래에 전류 차단층(145)이 형성되지 않고 상기 보호층(140)의 일부가 상기 발광 구조층(135)과 접촉한다. 상기 보호층(140)은 상기 오믹 접촉층(150)에 비해 전기 전도성이 낮을 수 있고, 그에 따라 상기 보호층(140)과 상기 발광 구조층(135)의 접촉 부분이 상기 전류 차단층(145)의 기능을 할 수도 있다. 따라서, 상기 보호층(140)과 상기 발광 구조층(135)의 접촉 부분은 적어도 일부분이 상기 전극(115)과 수직 방향에서 중첩될 수 있다.Referring to FIG. 15, a
이하, 제1 실시예에 따른 발광 소자의 제조방법에 대해 상세히 설명한다. 다만, 앞에서 설명한 내용과 중복되는 내용은 생략하거나 간략히 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing the light emitting device according to the first embodiment will be described in detail. However, the content overlapping with the above description will be omitted or briefly described.
도 2 내지 도 12는 제1 실시예에 따른 발광 소자의 제조방법을 설명하는 도면이다.2 to 12 illustrate a method of manufacturing the light emitting device according to the first embodiment.
도 2를 참조하면, 성장 기판(101) 상에 상기 발광 구조층(135)을 형성한다. 상기 성장 기판(101)은 예를 들어, 사파이어(Al2O3), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge 중 적어도 하나로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.Referring to FIG. 2, the light emitting
상기 발광 구조층(135)은 상기 성장기판(101) 상에 상기 제1 도전형의 반도체층(110), 활성층(120) 및 제2 도전형의 반도체층(130)을 성장함으로써 형성될 수 있다.The light emitting
상기 발광 구조층(135)은 예를 들어, 유기금속 화학 증착법(MOCVD; Metal Organic Chemical Vapor Deposition), 화학 증착법(CVD; Chemical Vapor Deposition), 플라즈마 화학 증착법(PECVD; Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition), 분자선 성장법(MBE; Molecular Beam Epitaxy), 수소화물 기상 성장법(HVPE; Hydride Vapor Phase Epitaxy) 등의 방법을 이용하여 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The light emitting
한편, 상기 발광 구조층(135) 및 상기 성장 기판(101) 사이에는 격자 상수 차이에 따른 격자 부정합을 완화하기 위해 버퍼층(미도시) 및/또는 언도프트 질화물층(미도시)이 형성될 수도 있다.Meanwhile, a buffer layer (not shown) and / or an undoped nitride layer (not shown) may be formed between the light emitting
도 3을 참조하면, 상기 제2 도전형의 반도체층(130) 상에 상기 전류 차단층(145)을 형성할 수 있다. 상기 전류 차단층(145)은 마스크 패턴을 이용하여 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, the
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 제2 도전형의 반도체층(130) 및 상기 전류차단층(145) 상에 상기 오믹 접촉층(150)을 형성하고, 상기 오믹 접촉층(150) 상에 상기 반사층(160)을 형성할 수 있다.4 and 5, the
상기 오믹 접촉층(150) 및 상기 반사층(160)은 예를 들어, 전자빔(E-beam) 증착, 스퍼터링(Sputtering), PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 중 어느 하나의 방법에 의해 형성될 수 있다. The
다만, 도 15에 도시된 제4 실시예에 따르면, 상기 전류 차단층(145)을 형성하는 공정은 생략될 수 있으며, 상기 오믹 접촉층(150) 및 반사층(160)은 도 15에 도시된 형태로 형성될 수 있다.However, according to the fourth embodiment illustrated in FIG. 15, the process of forming the
도 6을 참조하면, 상기 발광 구조층(135) 및 반사층(160) 상에 상기 보호층(140)을 형성한다.Referring to FIG. 6, the
다만, 도 13에 도시된 제2 실시예에 따르면, 상기 보호층(140)은 상기 발광 구조층(135) 상에 단위 칩 영역의 둘레에만 형성될 수도 있다. However, according to the second embodiment illustrated in FIG. 13, the
도 7을 참조하면, 상기 전도성 지지기판(175)을 준비하고, 상기 접합층(170)을 매개로 도 6에 도시된 구조물과 상기 전도성 지지기판(175)을 접합한다.Referring to FIG. 7, the
상기 전도성 지지기판(175)은 상기 접합층(170)에 의해 부착된다. 비록 실시예에서는 상기 전도성 지지기판(175)이 상기 접합층(170)을 통해 본딩 방식으로 결합된 것이 예시되어 있으나, 상기 전도성 지지기판(175)을 도금 방식 또는 증착 방식으로 형성하는 것도 가능하다.The
도 8을 참조하면, 상기 성장 기판(101)을 상기 발광 구조층(135)으로부터 제거한다. 도 8에서는 도 7에 도시된 구조물을 뒤집어서 도시하였다.Referring to FIG. 8, the
상기 성장 기판(101)은 레이저 리프트 오프(Laser Lift Off) 방법 또는 화학적 리프트 오프(Chemical Lift Off) 방법에 의해 제거될 수 있다.The
도 9 및 도 10을 참조하면, 상기 발광 구조층(135)을 단위 칩 영역에 따라 아이솔레이션 에칭을 실시하여 복수개의 발광 구조층(135)으로 분리한다. 예를 들어, 상기 아이솔레이션 에칭은 ICP(Inductively Coupled Plasma)와 같은 건식 식각 방법에 의해 실시될 수 있다.9 and 10, the light emitting
그리고, 상기 보호층(140)에 대해 습식 식각을 진행하여 상기 보호층(140)이 부분적으로 제거된 공간부(141)를 형성한다.In addition, wet etching is performed on the
다만, 도 14에 도시된 제3 실시예에 따르면, 상기 보호층(140)은 상기 오믹 접촉층(150)이 노출되도록 제거될 수 있으며, 이때, 상기 발광 구조층(135)과 상기 보호층(140)은 상기 공간부(141)를 사이에 두고 이격될 수 있다.However, according to the third exemplary embodiment illustrated in FIG. 14, the
도 11을 참조하면, 상기 보호층(140) 및 상기 발광 구조층(135) 상에 패시베이션층(180)을 형성하고, 상기 제1 도전형의 반도체층(110)의 상면이 노출되도록 상기 패시베이션층(180)을 선택적으로 제거한다. 이 경우, 상기 패시베이션층(180)은 상기 공간부(141)를 부분적으로 채우게 되고 상기 공간부(141)는 상기 패시베이션층(180)에 의해 밀폐될 수 있다.Referring to FIG. 11, a
그리고, 상기 제1 도전형의 반도체층(110)의 상면에 광 추출 효율 향상을 위한 러프니스 패턴(112)을 형성하고, 상기 러프니스 패턴(112) 상에 전극(115)을 형성한다. 상기 러프니스 패턴(112)은 습식 식각 공정 또는 건식 식각 공정에 의해 형성될 수 있다.A
반면에, 상기 제1 도전형의 반도체층(110) 상에 광 추출 효율 향상을 위한 러프니스 패턴(112)을 형성한 후, 상기 패시베이션층(180)을 형성하는 것도 가능하다.On the other hand, after forming the
그리고, 상기 구조물을 칩 분리 공정을 통해 단위 칩 영역으로 분리하면 도 12에 도시된 바와 같은 복수개의 발광 소자(100)를 제작할 수 있다. In addition, when the structure is separated into a unit chip region through a chip separation process, a plurality of light emitting
상기 칩 분리 공정은 예를 들어, 블레이드(blade)를 이용해 물리적인 힘을 가하여 칩을 분리시키는 브레이킹 공정, 칩 경계에 레이저를 조사하여 칩을 분리시키는 레이저 스크리빙 공정, 습식 또는 건식 식각을 포함하는 식각 공정 등을 포함할 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다.The chip separation process includes, for example, a breaking process of separating a chip by applying a physical force using a blade, a laser scrubbing process of separating a chip by irradiating a laser to a chip boundary, and a wet or dry etching process. It may include an etching process, but is not limited thereto.
도 16은 실시예들에 따른 발광 소자를 포함하는 발광 소자 패키지의 단면도이다. 16 is a cross-sectional view of a light emitting device package including a light emitting device according to embodiments.
도 16을 참조하면, 실시예에 따른 발광 소자 패키지(200)는 몸체(20)와, 상기 몸체(20)에 설치된 제1 전극층(31) 및 제2 전극층(32)과, 상기 몸체(20)에 설치되어 상기 제1 전극층(31) 및 제2 전극층(32)과 전기적으로 연결되는 실시예들에 따른 발광 소자(100)와, 상기 발광 소자(100)를 포위하는 몰딩부재(40)를 포함한다.Referring to FIG. 16, the light emitting
상기 몸체(20)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있으며, 측면이 경사면으로 형성된 캐비티를 가질 수 있다.The
상기 제1 전극층(31) 및 제2 전극층(32)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광 소자(100)에 전원을 제공한다. 또한, 상기 제1 전극층(31) 및 제2 전극층(32)은 상기 발광 소자(100)에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광 소자(100)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 역할을 할 수도 있다.The
상기 발광 소자(100)는 상기 몸체(20) 상에 설치되거나 상기 제1 전극층(31) 또는 제2 전극층(32) 상에 설치될 수 있다.The
상기 발광 소자(100)는 상기 제1 전극층(31) 및 제2 전극층(32)과 와이어 방식, 플립칩 방식 또는 다이 본딩 방식 중 어느 하나에 의해 전기적으로 연결될 수도 있다. 실시예에서는 상기 발광 소자(100)가 상기 제1 전극층(31)과 와이어(50)를 통해 전기적으로 연결되고 상기 제2 전극층(32)과 직접 접촉하여 전기적으로 연결된 것이 예시되어 있다.The
상기 몰딩부재(40)는 상기 발광 소자(100)를 포위하여 상기 발광 소자(100)를 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부재(40)에는 형광체가 포함되어 상기 발광 소자(100)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The
실시예에 따른 발광 소자 패키지(200)는 복수개가 기판 상에 어레이되며, 상기 발광 소자 패키지(200)에서 방출되는 광의 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트, 형광 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광 소자 패키지(200), 기판, 광학 부재는 백라이트 유닛으로 기능하거나 조명 유닛으로 기능할 수 있으며, 예를 들어, 조명 시스템은 백라이트 유닛, 조명 유닛, 지시 장치, 램프, 가로등을 포함할 수 있다. A plurality of light emitting device packages 200 according to an embodiment are arranged on a substrate, and a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, a fluorescent sheet, or the like, which is an optical member, is disposed on a path of light emitted from the light emitting
도 17은 실시예에 따른 발광 소자 패키지를 사용한 백라이트 유닛을 도시하는 도면이다. 다만, 도 17의 백라이트 유닛(1100)은 조명 시스템의 한 예이며, 이에 대해 한정하지는 않는다.17 illustrates a backlight unit using a light emitting device package according to an embodiment. However, the
도 17을 참조하면, 상기 백라이트 유닛(1100)은 바텀 프레임(1140)과, 상기 바텀 프레임(1140) 내에 배치된 광가이드 부재(1120)와, 상기 광가이드 부재(1120)의 적어도 일 측면 또는 하면에 배치된 발광 모듈(1110)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 광가이드 부재(1120) 아래에는 반사시트(1130)가 배치될 수 있다.Referring to FIG. 17, the
상기 바텀 프레임(1140)은 상기 광가이드 부재(1120), 상기 발광 모듈(1110) 및 상기 반사시트(1130)가 수납될 수 있도록 상면이 개구된 박스(box) 형성으로 형성될 수 있으며, 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다.The
상기 발광 모듈(1110)은 기판(300)과, 상기 기판(300)에 탑재된 복수개의 실시예들에 따른 발광 소자 패키지(200)를 포함할 수 있다. 상기 복수개의 발광 소자 패키지(200)는 상기 광가이드 부재(1120)에 빛을 제공할 수 있다.The
도시된 것처럼, 상기 발광 모듈(1110)은 상기 바텀 프레임(1140)의 내측면들 중 적어도 어느 하나에 배치될 수 있으며, 이에 따라 상기 광가이드 부재(1120)의 적어도 하나의 측면을 향해 빛을 제공할 수 있다.As shown, the
다만, 상기 발광 모듈(1110)은 상기 바텀 프레임(1140)의 아래에 배치되어, 상기 광가이드 부재(1120)의 밑면을 향해 빛을 제공할 수도 있으며, 이는 상기 백라이트 유닛(1100)의 설계에 따라 다양하게 변형 가능하므로 이에 대해 한정하지는 않는다.However, the
상기 광가이드 부재(1120)는 상기 바텀 프레임(1140) 내에 배치될 수 있다. 상기 광가이드 부재(1120)는 상기 발광 모듈(1110)로부터 제공받은 빛을 면광원화 하여, 표시 패널(미도시)로 가이드할 수 있다. The
상기 광가이드 부재(1120)는 예를 들어, 도광판(LGP, Light Guide Panel) 일 수 있다. 상기 도광판은 예를 들어 PMMA(polymethyl metaacrylate)와 같은 아크릴 수지 계열, PET(polyethylene terephthlate), PC(poly carbonate), COC 및 PEN(polyethylene naphthalate) 수지 중 하나로 형성될 수 있다. The
상기 광가이드 부재(1120)의 상측에는 광학 시트(1150)가 배치될 수도 있다.The
상기 광학 시트(1150)는 예를 들어 확산 시트, 집광 시트, 휘도상승 시트, 또는 형광 시트 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 광학 시트(1150)는 상기 확산 시트, 집광 시트, 휘도상승 시트 및 형광 시트가 적층되어 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 확산 시트(1150)는 상기 발광 모듈(1110)에서 출사된 광을 고르게 확산시켜주고, 상기 확산된 광은 상기 집광 시트에 의해 표시 패널(미도시)로 집광될 수 있다. 이때 상기 집광 시트로부터 출사되는 광은 랜덤하게 편광된 광인데, 상기 휘도상승 시트는 상기 집광 시트로부터 출사된 광의 편광도를 증가시킬 수 있다. 상기 집광 시트는 예를 들어, 수평 또는/및 수직 프리즘 시트일 수 있다. 또한, 상기 휘도상승 시트는 예를 들어, 조도 강화 필름(Dual Brightness Enhancement film) 일 수 있다. 또한, 상기 형광 시트는 형광체가 포함된 투광성 플레이트 또는 필름이 될 수도 있다.The
상기 광가이드 부재(1120)의 아래에는 상기 반사시트(1130)가 배치될 수 있다. 상기 반사시트(1130)는 상기 광가이드 부재(1120)의 하면을 통해 방출되는 빛을 상기 광가이드 부재(1120)의 출사면을 향해 반사할 수 있다. The
상기 반사시트(1130)는 반사율이 좋은 수지 재질, 예를 들어, PET, PC, PVC 레진 등으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
도 18은 실시예들에 따른 발광 소자 패키지를 사용한 조명 유닛의 사시도이다. 다만, 도 18의 조명 유닛(1200)은 조명 시스템의 한 예이며, 이에 대해 한정하지는 않는다.18 is a perspective view of a lighting unit using a light emitting device package according to the embodiments. However, the
도 18을 참조하면, 상기 조명 유닛(1200)은 케이스 몸체(1210)와, 상기 케이스 몸체(1210)에 설치된 발광 모듈(1230)과, 상기 케이스 몸체(1210)에 설치되며 외부 전원으로부터 전원을 제공받는 연결 단자(1220)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 18, the
상기 케이스 몸체(1210)는 방열 특성이 양호한 재질로 형성되는 것이 바람직하며, 예를 들어 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있다.The
상기 발광 모듈(1230)은 기판(300)과, 상기 기판(300)에 탑재되는 적어도 하나의 실시예에 따른 발광 소자 패키지(200)를 포함할 수 있다.The
상기 기판(300)은 절연체에 회로 패턴이 인쇄된 것일 수 있으며, 예를 들어, 일반 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board), 메탈 코아(Metal Core) PCB, 연성(Flexible) PCB, 세라믹 PCB 등을 포함할 수 있다. The
또한, 상기 기판(300)은 빛을 효율적으로 반사하는 재질로 형성되거나, 표면이 빛이 효율적으로 반사되는 컬러, 예를 들어 백색, 은색 등으로 형성될 수 있다.In addition, the
상기 기판(300) 상에는 상기 적어도 하나의 실시예에 따른 발광 소자 패키지(200)가 탑재될 수 있다. 상기 발광 소자 패키지(200)는 각각 적어도 하나의 발광 다이오드(LED: Light Emitting Diode)를 포함할 수 있다. 상기 발광 다이오드는 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 유색 빛을 각각 발광하는 유색 발광 다이오드 및 자외선(UV, UltraViolet)을 발광하는 UV 발광 다이오드를 포함할 수 있다.The light emitting
상기 발광 모듈(1230)은 색감 및 휘도를 얻기 위해 다양한 발광 다이오드의 조합을 가지도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 고 연색성(CRI)을 확보하기 위해 백색 발광 다이오드, 적색 발광 다이오드 및 녹색 발광 다이오드를 조합하여 배치할 수 있다. 또한, 상기 발광 모듈(1230)에서 방출되는 광의 진행 경로 상에는 형광 시트가 더 배치될 수 있으며, 상기 형광 시트는 상기 발광 모듈(1230)에서 방출되는 광의 파장을 변화시킨다. 예를 들어, 상기 발광 모듈(1230)에서 방출되는 광이 청색 파장대를 갖는 경우 상기 형광 시트에는 황색 형광체가 포함될 수 있으며, 상기 발광 모듈(1230)에서 방출된 광은 상기 형광 시트를 지나 최종적으로 백색광으로 보여지게 된다.The
상기 연결 단자(1220)는 상기 발광 모듈(1230)와 전기적으로 연결되어 전원을 공급할 수 있다. 도 18에 도시된 것에 따르면, 상기 연결 단자(1220)는 소켓 방식으로 외부 전원에 돌려 끼워져 결합되지만, 이에 대해 한정하지는 않는다. 예를 들어, 상기 연결 단자(1220)는 핀(pin) 형태로 형성되어 외부 전원에 삽입되거나, 배선에 의해 외부 전원에 연결될 수도 있는 것이다.The
상술한 바와 같은 조명 시스템은 상기 발광 모듈에서 방출되는 광의 진행 경로 상에 광가이드 부재, 확산 시트, 집광 시트, 휘도상승 시트 및 형광 시트 중 적어도 어느 하나가 배치되어, 원하는 광학적 효과를 얻을 수 있다.In the lighting system as described above, at least one of a light guide member, a diffusion sheet, a light collecting sheet, a luminance rising sheet, and a fluorescent sheet may be disposed on a propagation path of light emitted from the light emitting module to obtain a desired optical effect.
이상에서 설명한 바와 같이, 실시예들에 따른 조명 시스템은 실시예들에 따른 발광 소자 패키지를 포함함으로써 광 효율이 우수하고 전기적 안정성이 높은 장점을 가진다.As described above, the lighting system according to the embodiments has the advantage of excellent light efficiency and high electrical stability by including the light emitting device package according to the embodiments.
이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Features, structures, effects, and the like described in the above embodiments are included in at least one embodiment of the present invention, and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, and the like illustrated in the embodiments may be combined or modified with respect to other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.
또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In addition, the above description has been made with reference to the embodiment, which is merely an example, and is not intended to limit the present invention. Those skilled in the art to which the present invention pertains will be illustrated as above without departing from the essential characteristics of the present embodiment. It will be appreciated that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified. And differences relating to such modifications and applications will have to be construed as being included in the scope of the invention defined in the appended claims.
Claims (7)
상기 전도성 지지기판 상의 적어도 둘레 영역에 배치되는 보호층;
상기 전도성 지지기판 및 보호층 상에 제1 도전형의 반도체층, 활성층, 및 제2 도전형의 반도체층을 포함하는 발광 구조층;
상기 발광 구조층 상에 전극; 및
상기 발광 구조층의 적어도 측면 및 상기 보호층의 상에 배치되는 패시베이션층을 포함하고,
상기 보호층은 상기 발광 구조층과 적어도 일부분이 이격되어 공간부를 형성하고, 상기 패시베이션층은 상기 공간부를 밀폐하는 발광 소자.Conductive support substrate;
A protective layer disposed in at least a peripheral region on the conductive support substrate;
A light emitting structure layer including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer on the conductive support substrate and the protective layer;
An electrode on the light emitting structure layer; And
A passivation layer disposed on at least a side of the light emitting structure layer and on the protective layer,
The passivation layer is at least partially spaced apart from the light emitting structure layer to form a space portion, and the passivation layer to seal the space portion.
상기 공간부는 1nm-10㎛의 높이로 형성되는 발광 소자.The method of claim 1,
The space portion is a light emitting device formed to a height of 1nm-10㎛.
상기 보호층은 Ti, Ni, Pt, Pd, Rh, Ir, 또는 W 중 적어도 어느 하나의 물질을 포함하는 발광 소자.The method of claim 1,
The protective layer includes at least one material of Ti, Ni, Pt, Pd, Rh, Ir, or W.
상기 보호층은 상기 전도성 지지기판의 전체 영역 상에 배치되는 발광 소자.The method of claim 1,
The protective layer is disposed on the entire area of the conductive support substrate.
상기 보호층은 상기 발광 구조층과 일부분이 접촉되는 발광 소자.The method of claim 1,
The passivation layer is a light emitting device in contact with the light emitting structure layer.
상기 전도성 지지기판과 상기 발광 구조층 사이에 접합층, 상기 접합층 상에 반사층, 상기 반사층 상에 오믹 접촉층, 상기 오믹 접촉층 상에 전류 차단층을 더 포함하고, 상기 전류 차단층은 상기 전극과 적어도 일부분이 수직 방향에서 중첩되는 발광 소자.The method of claim 1,
And a bonding layer between the conductive support substrate and the light emitting structure layer, a reflective layer on the bonding layer, an ohmic contact layer on the reflective layer, and a current blocking layer on the ohmic contact layer, wherein the current blocking layer is the electrode. And at least a portion of which overlaps in the vertical direction.
상기 전도성 지지기판과 상기 발광 구조층 사이에 접합층, 상기 접합층 상에 반사층, 상기 반사층 상에 오믹 접촉층을 더 포함하고,
상기 보호층은 상기 전극과 적어도 일부분이 수직 방향에서 중첩되는 부분에서 상기 발광 구조층과 접촉하는 발광 소자.The method of claim 1,
A bonding layer between the conductive support substrate and the light emitting structure layer, a reflective layer on the bonding layer, and an ohmic contact layer on the reflective layer,
And the protective layer contacts the light emitting structure layer at a portion where at least a portion of the protective layer overlaps with the electrode in a vertical direction.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100077110A KR20120014972A (en) | 2010-08-11 | 2010-08-11 | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100077110A KR20120014972A (en) | 2010-08-11 | 2010-08-11 | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120014972A true KR20120014972A (en) | 2012-02-21 |
Family
ID=45837839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100077110A KR20120014972A (en) | 2010-08-11 | 2010-08-11 | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20120014972A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140012465A (en) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | 엘지이노텍 주식회사 | Light emitting device, light emitting device package, and light unit |
KR20140026071A (en) * | 2012-08-24 | 2014-03-05 | 엘지이노텍 주식회사 | Light emitting device |
WO2019175334A1 (en) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelectronic semiconductor chip and method for producing an optoelectronic semiconductor chip |
US11799058B2 (en) | 2018-03-15 | 2023-10-24 | Osram Oled Gmbh | Optoelectronic semiconductor chip |
US12015107B2 (en) | 2018-03-15 | 2024-06-18 | Osram Oled Gmbh | Optoelectronic semiconductor chip and method for producing an optoelectronic semiconductor chip |
-
2010
- 2010-08-11 KR KR1020100077110A patent/KR20120014972A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140012465A (en) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | 엘지이노텍 주식회사 | Light emitting device, light emitting device package, and light unit |
KR20140026071A (en) * | 2012-08-24 | 2014-03-05 | 엘지이노텍 주식회사 | Light emitting device |
WO2019175334A1 (en) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelectronic semiconductor chip and method for producing an optoelectronic semiconductor chip |
US11437545B2 (en) | 2018-03-15 | 2022-09-06 | Osram Oled Gmbh | Optoelectronic semiconductor chip |
US11631787B2 (en) | 2018-03-15 | 2023-04-18 | Osram Oled Gmbh | Optoelectronic semiconductor chip with high reflectivity and method for producing an optoelectronic semiconductor chip with high reflectivity |
US11799058B2 (en) | 2018-03-15 | 2023-10-24 | Osram Oled Gmbh | Optoelectronic semiconductor chip |
US12015107B2 (en) | 2018-03-15 | 2024-06-18 | Osram Oled Gmbh | Optoelectronic semiconductor chip and method for producing an optoelectronic semiconductor chip |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101114191B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device | |
KR101028277B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting unit | |
KR101014071B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR101154709B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR101034144B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR101803569B1 (en) | Light emitting device | |
KR20120039412A (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR20120048413A (en) | Light emitting device and light emitting device package | |
KR20110115384A (en) | Light emitting device and method for manufacturing the same, light emitting device package and lighting system | |
KR20120014972A (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR101826979B1 (en) | Light emitting device and light emitting device package | |
KR20110118333A (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR20120006257A (en) | Electrode, light emitting device, light emitting device package, and lighting system | |
KR101776302B1 (en) | Light emitting device and light emitting device package | |
KR101744971B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package, and lighting system | |
KR20120042516A (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR20120045635A (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR20120087036A (en) | Light emitting device and light emitting device package | |
KR101781217B1 (en) | Light emitting device and light emitting device package | |
KR101648810B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR101683901B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR101786073B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR101664501B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR101724708B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system | |
KR101683906B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |