KR20160078864A - Visual Inspection Apparatus - Google Patents
Visual Inspection Apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- KR20160078864A KR20160078864A KR1020150070636A KR20150070636A KR20160078864A KR 20160078864 A KR20160078864 A KR 20160078864A KR 1020150070636 A KR1020150070636 A KR 1020150070636A KR 20150070636 A KR20150070636 A KR 20150070636A KR 20160078864 A KR20160078864 A KR 20160078864A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- inspected
- unit
- optical display
- inspection
- display device
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8803—Visual inspection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
- B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
- B65G47/26—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles
- B65G47/30—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles during transit by a series of conveyors
- B65G47/32—Applications of transfer devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
본 발명은, 목시 검사 장치, 특히 광학 표시장치의 제조 시스템에 이용되는 목시 검사 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a visual inspection device, particularly a visual inspection device used in a manufacturing system of an optical display device.
현재, 광학 표시장치의 보급에 따라서, 광학 표시장치에 대한 수요가 급속히 높아지고 있다. 그 때문에, 광학 표시장치를 고품질 및 고효율로 제조할 수 있는 광학 표시장치(표시 패널)의 제조 시스템이 필요로 되고 있다.At present, with the spread of optical display devices, demand for optical display devices is rapidly increasing. Therefore, a manufacturing system of an optical display device (display panel) capable of manufacturing an optical display device with high quality and high efficiency is required.
액정표시장치와 같은 광학 표시장치의 제조 라인에 있어서, 롤 형상으로 권취되는 광학 필름을 조출하면서, 개개의 시트로 절단하여, 절단된 광학 필름의 시트를 유리 기판에 첩부하는 방식(Roll to Panel(RTP) 방식)은 주지이며, 이런 종류의 제조 장치는 RTP 첩부 장치로 불리고 있다.In a production line of an optical display device such as a liquid crystal display device, a method in which an optical film wound in a roll shape is cut while being cut into individual sheets, and a sheet of the cut optical film is attached to a glass substrate (Roll to Panel RTP) method) is well known, and this type of manufacturing apparatus is called an RTP attaching apparatus.
RTP 방식의 광학 표시장치 제조 시스템에 있어서, 광학 필름 첩부 장치의 하류 측에는, 일반적으로 자동 검사 장치가 설치되어, 제품의 품질을 검사한다.In the RTP system optical display device manufacturing system, on the downstream side of the optical film attaching device, an automatic inspection device is generally installed to inspect the quality of the product.
광학 필름 첩부 장치에 있어서는, 광학 필름이 첩부된 유리 기판의 자동 검사 장치, 예를 들면, 광학 표시장치 제조 라인의 자동 검사 장치에 있어서, 광학 필름이 첩부된 광학 표시장치에 대해서, 자동적으로 결점 검사를 행한다. 이 결점 검사를 거쳐, 정상으로 판정된 광학 표시장치는, 하류 장치 측에 반송된다.In the optical film attaching apparatus, an automatic inspection apparatus for a glass substrate to which an optical film is attached, for example, an automatic inspection apparatus for an optical display apparatus manufacturing line, . Through this defect inspection, the optical display device determined to be normal is conveyed to the downstream device side.
현재에는, 생산성을 향상시키기 위해서, 상기 광학 표시장치의 정상 및 불량의 판정은, 매우 중요하다. 그러나, 자동 검사 장치의 정밀도에 의해, 정밀도가 낮은 경우에는 불량 광학 표시장치를 간과하게 되며, 정밀도가 너무 높으면, 정상적인 광학 표시장치를 불량 광학 표시장치로 잘못 판단할 우려가 있다.At present, in order to improve the productivity, determination of the normal and defective of the optical display device is very important. However, depending on the accuracy of the automatic inspection apparatus, if the precision is low, the defective optical display device is overlooked. If the precision is too high, the normal optical display device may be erroneously judged as the defective optical display device.
그 때문에, 상기 첩부 후의 광학 표시장치에 대해서 자동 결점 검사를 행하는 자동 검사 장치의 뒤에, 목시 검사 장치를 더 설치하는 것을 생각할 수 있다. 즉, 목시 검사 장치로서, 조작자가 목시 검사에 의해, 자동 검사 장치의 판정 결과 정밀도를 재확인하는 기술이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1을 참조).Therefore, it is conceivable to install a visual inspection device after the automatic inspection device for performing the automatic defect inspection on the optical display device after the attachment. That is, as a visual inspection device, a technique is known in which an operator re-confirms the determination result accuracy of an automatic inspection apparatus by visual inspection (see, for example, Patent Document 1).
또, 종래 기술에 있어서, 특허 문헌 2에는, 검사해야 할 물체를, 검사를 위해서 제조 라인의 보내는 방향과는 다른 방향으로 반송하는 구조가 개시되고 있다. 구체적으로 말하면, 특허 문헌 2에는, 검사해야 할 물체(2)를, 제조 라인의 반송 방향에 따른 컨베이어로부터, 이 제조 라인의 반송 방향에 대해 거의 수직인 방향인 폭 방향으로 반송하기 위해서, 볼 나사(22)를 사용하는 기구가 기재되어 있다. 그러나, 이러한 기구는, 광학 표시장치를 손상할 우려가 있으므로, 광학 표시장치의 반송 장치에 채용하는 것은 바람직하지 않다.In the prior art,
종래의 목시 검사 장치에 있어서는, 목시 검사를 행하기 위해서, 검사해야 할 광학 표시장치(검사 대상물)를 제조 라인으로부터 발취할 필요가 있어, 그러기 위해서는, 많은 시간과 노력이 소요되어, 개량의 여지가 매우 크다.In the conventional visual inspection apparatus, it is necessary to extract the optical display device (inspection object) to be inspected from the manufacturing line in order to perform the visual inspection, so that it takes a lot of time and effort to improve the visual inspection, very big.
본 발명은, 자동 검사의 후에, 피검사 대상물을 발취하여 목시 검사 유니트에 반송할 수 있는, 간단한 구조로, 코스트를 저감하고 생산 효율을 향상시킬 수 있는 목시 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a visual inspection device capable of reducing costs and improving production efficiency by a simple structure that can be taken out of an inspection subject after automatic inspection and conveyed to a visual inspection unit.
본 발명의 일 태양에 의한 목시 검사 장치(1)는, 자동 검사 장치의 하류 측에 설치되어 피검사 대상물(2)을 목시 검사하는 것이다. 이 목시 검사 장치는, 발취 반송 유니트(10)와 목시 검사 유니트(20)를 구비한다. 상기 발취 반송 유니트(10)는, 자동 검사 장치에 있어서 정상으로 판정된 정상 검사 대상물을 반송하는 정상 검사 대상물 반송부(10a)와, 피검사 대상물 반송부(10b)가 상하 2단으로 배치된 구성이다. 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 정상 검사 대상물(2a)을 반송하는 것이며, 피검사 대상물 반송부(10b)는, 목시 검사해야 할 피검사 대상물(2b)을 반송하는 것이다. 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 센서에 의해 검출되었을 때, 발취 반송 유니트(10)가 제어장치의 제어에 의해서 작동하여, 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되도록, 상하로 이동함과 동시에, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 발취 반송 유니트(10)가 제어장치의 제어에 의해서, 정상 검사 대상물(2a)을 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 이동하고, 피검사 대상물 반송부(10b)상에 옮겨진 피검사 대상물(2b)을 목시 검사 유니트(20)에 반송하며, 상기 목시 검사 유니트(20)에 있어서, 조작자가 목시로 반송되어 오는 피검사 대상물(2b)을 목시 검사한다.The visual inspection device (1) according to one aspect of the present invention is provided on the downstream side of the automatic inspection device to inspect the subject (2) for inspection. The visual inspection device comprises a pick-and-convey conveying unit (10) and a visual inspection unit (20). The pick-and-convey
상기 목시 검사 장치에 의하면, 자동 검사 후에, 간단한 구조로 피검사 대상물을 발취하여 목시 검사 유니트에 반송할 수 있다. 이것에 의해, 코스트를 저감하고 생산 효율을 향상시킬 수 있다.According to the visual inspection apparatus, the object to be inspected can be taken out with a simple structure after the automatic inspection, and can be returned to the visual inspection unit. Thus, the cost can be reduced and the production efficiency can be improved.
본 발명의 다른 태양에 의한 목시 검사 장치에 있어서는, 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 피검사 대상물 반송부(10b)의 상방에 위치하고 있으며, 정상 검사 대상물(2a)이 반송되고 있을 때, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 주반송부와 공면(共面)을 이루는 위치에 위치하고, 피검사 대상물 반송부(10b)는, 상기 주반송부의 하방에 위치하고 있으며, 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 센서에 의해 검출되었을 때, 상기 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서, 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 공면을 이루는 위치에서 상향으로 이동하게 되어, 피검사 대상물(2b)이 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되게 되며, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서 하향으로 이동하고, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 주반송부와 공면을 이루어 정상 검사 대상물(2a)이 반송 가능한 위치로 되돌려져, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)이 목시 검사 유니트(20)에 반송되게 된다.In the visual inspection apparatus according to another aspect of the present invention, the normal inspection
본 발명의 또 다른 태양에 의한 목시 검사 장치에 있어서는, 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 피검사 대상물 반송부(10b)의 하방에 위치하고 있으며, 정상 검사 대상물(2a)이 반송되고 있을 때, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 주반송부와 공면을 이루는 위치에 위치하고, 피검사 대상물 반송부(10b)는 주반송부의 상방에 위치하여, 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것을 센서에 의해 검출했을 때, 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서, 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 공면을 이루는 위치에서 하향으로 이동하고, 피검사 대상물(2b)이 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되게 되어, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)가 제어장치의 제어에 의해서 상향으로 이동하고, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 주반송부와 공면을 이루어 정상 검사 대상물(2a)이 반송 가능한 위치로 되돌려져, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)이 목시 검사 유니트(20)에 반송된다.In the visual inspection device according to another aspect of the present invention, the normal inspection
본 발명의 또 다른 태양에 의한 목시 검사 장치는, 흡착 장치(301)를 더 구비하여, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)이 목시 검사 유니트(20)에 반송될 때는, 상기 흡착 장치(301)에 의해서 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)이 상기 목시 검사 유니트(20)에 반송된다.The visually inspecting apparatus according to still another aspect of the present invention further includes an
본 발명의 상기 구성에 의하면, 흡착 장치(301)에 의해 피검사 대상물(2b)을 반송하므로, 상기 피검사 대상물(2b)을 손상하는 일 없이 목시 검사 유니트(20)에 반송할 수 있다.According to the above configuration of the present invention, since the object to be inspected 2b is carried by the
본 발명의 또 다른 태양에 의하면, 목시 검사 유니트(20)는, 피검사 대상물(2b)이 반송될 때는 수평 상태이며, 검사 시에는 수평 상태로부터 경사 상태로 이동할 수 있는 목시 검사대를 가진다.According to another aspect of the present invention, the
본 발명의 상기 구성에 의해, 피검사 대상물을 사람이 손대지 않고 목시 검사할 수 있어, 광학 표시장치가 오손되어, 손상되는 것을 방지할 수 있다.According to the above-described structure of the present invention, the object to be inspected can be inspected without being touched by a person, and the optical display device can be prevented from being damaged and damaged.
도 1은, 종래 기술에 의한 광학 표시장치의 제조 시스템에 있어서, 자동 검사 장치만이 설치되는 구성을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2는, 본 발명에 의한 광학 표시장치의 제조 시스템에 있어서, 자동 검사 장치에 더해 목시 검사 장치가 더 설치되는 구성을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 3은, 본 발명의 목시 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도이며, (a)는 표면도, (b)는 측면도이다.
도 4는, 본 발명의 일실시 형태에 의한 목시 검사 장치에 있어서의 광학 표시장치의 반송 상황을 개략적으로 나타내는 측면도이며, (a)는 정상 검사 대상물이 반송되고 있는 상태를, (b)는 피검사 대상물이 피검사 대상물 반송부에 반송되는 상태를, (c)는 피검사 대상물이 피검사 대상물 반송부에 반송된 후에 발취 반송 유니트가 원래의 위치로 되돌려지는 상태를, 각각 나타낸다.
도 5는, 주반송 방향 반송 장치를 이용하여 광학 표시장치를 반송하는 상태를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 6은, 수직 방향 반송 장치를 이용하여 광학 표시장치를 반송하는 상태를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 7은, 본 발명의 목시 검사 장치에 있어서의 목시 검사 유니트를 나타내는 측면도이며, (a)는 검사 대상물을 수취하는 수취 위치를, (b)는 목시 검사 위치를, 각각 개략적으로 나타내는 도이다.
도 8은, 본 발명의 하나의 실시 형태의 목시 검사 장치의 동작을 나타내는 작동 플로우도이다.
도 9는, 본 발명의 다른 실시 형태에 의한 목시 검사 장치를 나타내는 것이며, (a)는 정상 검사 대상물이 반송되고 있는 상태를, (b)는 피검사 대상물이 피검사 대상물 반송부에 반송되는 상태를, (c)는 피검사 대상물이 피검사 대상물 반송부에 반송된 후에 발취 반송 유니트가 원래의 위치로 되돌려지는 상태를, 각각 나타낸다.
도 10은, 도 9에 나타내는 본 발명의 실시 형태에 의한 목시 검사 장치의 동작을 나타내는 작동 플로우도이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a plan view schematically showing a configuration in which only an automatic inspection apparatus is installed in a manufacturing system of an optical display device according to the prior art; FIG.
2 is a plan view schematically showing a configuration in which a visual inspection apparatus is further provided in an automatic inspection apparatus in an optical display apparatus manufacturing system according to the present invention.
3 is a schematic view showing the configuration of a visual inspection apparatus according to the present invention, wherein (a) is a front view and (b) is a side view.
Fig. 4 is a side view schematically showing the conveying condition of the optical display device in the visual inspection device according to the embodiment of the present invention, in which (a) shows a state in which a normal inspected object is being conveyed, (C) shows a state in which the object to be inspected is returned to its original position after the object to be inspected is conveyed to the object to be inspected conveying section, and Fig.
Fig. 5 schematically shows a state in which the optical display device is transported by using the main transport direction transport device. Fig.
Fig. 6 schematically shows a state in which the optical display device is transported using the vertical direction transport device. Fig.
FIG. 7 is a side view showing a visual inspection unit in the visual inspection apparatus according to the present invention, wherein FIG. 7 (a) schematically shows a receiving position for receiving an inspection object, and FIG.
Fig. 8 is an operational flow chart showing the operation of the visual inspection apparatus according to one embodiment of the present invention. Fig.
Fig. 9 shows a visual inspection apparatus according to another embodiment of the present invention, in which (a) shows a state in which a normal inspected object is being conveyed, (b) shows a state in which the inspected object is conveyed to the inspected object conveyance unit (C) shows a state in which the object to be inspected is returned to its original position after the object to be inspected is conveyed to the object to be inspected conveying unit.
10 is an operational flowchart showing the operation of the visual inspection apparatus according to the embodiment of the present invention shown in FIG.
이하, 본 발명의 목시 검사 장치를, 도에 나타내는 실시 형태에 의거하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a visual check device of the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the drawings.
도 1은, 종래 기술에 의한 광학 표시장치의 제조 시스템에 있어서, 자동 검사 장치만이 설치되는 구성을 개략적으로 나타내는 것이다.Fig. 1 schematically shows a configuration in which only an automatic inspection apparatus is installed in a manufacturing system of an optical display device according to the prior art.
일반적으로, 도 1에 나타나는 바와 같이, 광학 표시장치의 제조 시스템은, 상류 측에 광학 필름 첩부 장치(3)를 구비하며, 이 광학 필름 첩부 장치(3)의 하류 측에 자동 검사 장치(4)가 설치되고 있다.Generally, as shown in Fig. 1, the manufacturing system of an optical display device is provided with an optical
광학 필름 첩부 장치(3)에 의해, 광학 필름이 첩부된 유리 기판, 즉 광학 표시장치(표시 패널)를 제조한다. 자동 검사 장치(4)에 의해, 광학 필름의 첩부 후의 광학 표시장치에 대해서 자동적으로 결점 검사를 행한다.A glass substrate on which an optical film is pasted, that is, an optical display device (display panel) is manufactured by the optical
이 종래 기술의 시스템에서는, 자동 검사 장치의 검사 결과만으로 제품의 양부를 판정하는 것이기 때문에, 자동 검사 장치의 정밀도에 의해, 정밀도가 낮은 경우에는 불량 광학 표시장치를 간과하여, 불량 광학 표시장치가 정상적인 합격 제품으로서 제조 라인의 하류 측에 반송되며, 한편, 정밀도가 너무 높으면, 정상이라고 판정되어야 할 광학 표시장치이어도, 이것을 불량이라고 잘못 판정하여, 낭비를 일으킬 우려가 있다.In this prior art system, since the correctness of the product is determined only by the inspection result of the automatic inspection apparatus, if the accuracy is low due to the accuracy of the automatic inspection apparatus, the defective optical display apparatus is overlooked, If the accuracy is too high, even an optical display device which should be determined to be normal may be erroneously determined to be defective and waste may be caused.
그 때문에, 첩부 후의 광학 표시장치에 대해서 자동 결점 검사를 행하는 자동 검사 장치(4)의 뒤에, 상기 자동 검사 장치(4)의 하류 측에, 목시 검사 장치(1)를 더 설치하여, 목시 검사에 의해 자동 검사 장치의 판정 결과 정밀도를 재차 확인하는 것이 바람직하다.Therefore, a visual inspection device 1 is further provided on the downstream side of the
도 2는, 본 발명에 의한 광학 표시장치 제조 시스템에 있어서, 자동 검사 장치에 더해, 목시 검사 장치가 더 설치된 구성을 개략적으로 나타내는 도이다.Fig. 2 is a view schematically showing a configuration in which, in the optical display device manufacturing system according to the present invention, a visual inspection device is additionally provided in addition to an automatic inspection device.
구체적으로 말하면, 자동 검사 장치에 의해 불량 광학 표시장치로 판정되어 있지 않은 광학 표시장치에 대해서, 랜덤으로 목시 검사 장치에 의해 목시 검사하는 발취 검사를 행하는 것이 바람직하다. 또, 자동 검사 장치에 의해 이미 불량 광학 표시장치로 판정된 광학 표시장치에 대해서는, 전부에 대해 목시 검사 장치에 의해 목시 검사하는 것이 바람직하다.More specifically, it is preferable to conduct an exudation inspection for visual inspection by the visual inspection apparatus at random with respect to an optical display apparatus not determined to be a defective optical display apparatus by the automatic inspection apparatus. For an optical display device which has already been judged to be a defective optical display device by the automatic inspection apparatus, it is preferable that the visual inspection is performed by the visual inspection apparatus for all of the optical display apparatuses.
이하의 설명에 있어서는, 자동 검사 장치에 의해 불량 광학 표시장치로 판정돼 있지 않고, 랜덤으로 검사되는 광학 표시장치, 및 자동 검사 장치에 의해 이미 불량 광학 표시장치로 판정된 광학 표시장치를, 목시 검사해야 할 광학 표시장치로서, 불량 광학 표시장치 또는 피검사 대상물로 총칭하여, 부호 2b로 표시한다.In the following description, an optical display device that is not judged to be a defective optical display device by an automatic inspection device but is inspected at random, and an optical display device which is judged to be a defective optical display device by an automatic inspection device, As an optical display device to be used, a defective optical display device or an object to be inspected is collectively referred to as 2b.
이하, 본 발명의 실시 형태에 의한 목시 검사 장치의 구체적인 구조를, 도면을 참조하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a specific structure of a visual inspection device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
<제1 실시 형태>≪ First Embodiment >
도 3a, 3b는 본 발명의 목시 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 표면도와 측면도이다.3A and 3B are a front view and a side view schematically showing a configuration of a visual checker of the present invention.
본 발명의 목시 검사 장치(1)는, 자동 검사공정에 있어서의 자동 검사 장치(4)의 하류 측에 설치되고, 광학 표시장치(검사 대상물)(2)를 목시 검사하는, 발취 반송 유니트(10)와, 목시 검사 유니트(20)를 구비한다.The visual inspection device 1 according to the present invention is provided on the downstream side of the
<발취 반송 유니트(10)>≪ Takeback
발취 반송 유니트(10)는, 도 3(b)에 나타나는 바와 같이, 정상 광학 표시장치 반송부(정상 검사 대상물 반송부)(10a)와, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)의 하측에 배치된 불량 광학 표시장치 반송부(피검사 대상물 반송부)(10b)로 이루어지는, 상하 2단 배치를 가진다.As shown in Fig. 3 (b), the
정상 광학 표시장치 반송부(정상 검사 대상물 반송부)(10a)는, 정상 광학 표시장치(정상 검사 대상물)(2a)를 반송하는 것이고, 불량 광학 표시장치 반송부(피검사 대상물 반송부)(10b)는, 불량 광학 표시장치(피검사 대상물)(2b)를 반송하는 것이다.The normal optical display device carrying section (normal inspection object conveyance section) 10a conveys the normal optical display device (normal inspection subject article) 2a and the defective optical display device conveyance section (the to-be-inspected object conveyance section) ) Transports the defective optical display device (object to be inspected) 2b.
제조 라인 전체에, 광학 표시장치(2)(정상 광학 표시장치(2a)와 불량 광학 표시장치(2b)를 포함한다)의 반송 상황을 즉시 감시하는 센서가 설치된다.A sensor for instantly monitoring the conveyance status of the optical display device 2 (including the normal
피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것을 센서(도시 없음)에 의해 검출했을 때, 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서, 상기 피검사 대상물(2b)이 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되도록, 상방으로 이동함과 동시에, 상기 피검사 대상물(2b)이 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서, 정상 검사 대상물(2a)을 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 이동하여, 흡착 장치(301)에 의해 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)을 목시 검사 유니트(20)에 반송한다. 그리고, 다음에 상세히 설명하는 목시 검사 유니트(20)에 의해, 목시로 반송되어 오는 피검사 대상물(2b)을 목시 검사한다.When the object to be inspected 2b is detected by the sensor (not shown), the object to be inspected 2b is moved to the object to be inspected (not shown) under the control of the control device, After the object to be inspected 2b is conveyed to the inspected
도 4(a)~4(c)는 본 발명의 일실시 형태에 의한 목시 검사 장치(1)에 있어서의 광학 표시장치의 반송 상황을 개략적으로 나타내는 도이다.Figs. 4 (a) to 4 (c) are diagrams schematically showing the conveying condition of the optical display device in the visual inspection device 1 according to the embodiment of the present invention.
본 발명의 제1의 실시 형태에 있어서는, 도 4(a)~4(c)에 나타나는 바와 같이, 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 피검사 대상물 반송부(10b)의 상방에 위치하고 있다. 도 4(a)에 나타난 상태에 있어서는, 정상 검사 대상물 반송부(10a)에 의해 정상 광학 표시장치(2a)를 반송한다. 정상 광학 표시장치(2a)를 반송하고 있을 때, 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 생산 라인의 주반송부와 거의 공면을 이루는 위치에 위치하고, 불량 광학 표시장치 반송부, 즉, 피검사 대상물 반송부(10b)는 주반송부의 하방에 위치하고 있다.In the first embodiment of the present invention, as shown in Figs. 4 (a) to 4 (c), the normal inspected
도 4b에 나타나는 바와 같이, 센서에 의해 불량 광학 표시장치 즉 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 검출되었을 때, 발취 반송 유니트(10)가, 제어장치의 제어에 의해서, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 거의 공면을 이루는 위치가 되도록 상향으로 이동하고, 불량 광학 표시장치 즉 피검사 대상물(2b)이 불량 광학 표시장치 반송부, 즉 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된다. 또, 도 4(c)에 나타나는 바와 같이, 불량 광학 표시장치(2b)가 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송된 후에, 발취 반송 유니트(10)는, 제어장치의 제어에 의해서, 정상 광학 표시장치 반송부(10a)가 주반송부와 거의 공면을 이루어 정상 광학 표시장치(2a)를 반송 가능한 위치로 되돌아오도록, 하향으로 이동한다.4B, when it is detected by the sensor that the defective optical display device, that is, the
바람직하게는, 정상 광학 표시장치 반송부(10a)에는, 보통 알려져 있는 단층 롤러 구조를 가지는 반송 장치를 사용한다. 이러한 단층 롤러 구조의 반송 장치는, 광학 표시장치의 주반송부의 상류로부터 하류로의 주반송 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송할 수 있다. 상기 단층 롤러 구조 반송 장치는, 구조가 간단하고, 가격이 저렴하다.Preferably, a transport apparatus having a generally known single-layer roller structure is used for the normal optical display
바람직하게는, 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에는, 이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치를 사용한다. 이러한 이중 롤러 구조 반송 장치는, 광학 표시장치의 주반송부의 상류로부터 하류로의 주반송 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송할 수 있는 것과 동시에, 위로부터 봐 상기 주반송 방향과 거의 수직인 수직 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송할 수도 있다. 상기 이중 롤러 구조 반송 장치에 의해, 거의 수직인 2개의 방향에 있어서의 반송을 실현할 수 있다. 상기 이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치는, 다음에 상세히 설명한다.Preferably, a conveying apparatus having a double roller structure is used for the defective optical display
따라서, 목시 검사해야 할 불량 광학 표시장치, 즉 피검사 대상물(2b)은, 이중 롤러 구조 반송 장치를 가지는 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 의해, 우선 주반송 방향을 따라서 불량 광학 표시장치 반송부(10b)까지 반송된다. 그리고, 상기 불량 광학 표시장치(2b)는, 여전히 이중 롤러 구조 반송 장치를 가지는 불량 광학 표시장치 반송부, 즉 피검사 대상물 반송부(10b)에 의해, 위로부터 봐 상기 주반송 방향과 거의 수직인 수직 방향을 따라서 주반송부로부터 떨어져, 목시 검사를 행하는 목시 검사 유니트(20)에 반송된다.Therefore, the defective optical display device to be inspected at the time of sight inspection, that is, the
또, 본 실시 형태에 있어서는, 도시되어 있지 않은 기계 암을 더 구비할 수 있다. 이 기계 암에는 흡착 장치(301)가 설치되어(도 7a), 상기 흡착 장치(301)에 의해, 주반송 방향과 거의 수직 방향으로 반송된 불량 광학 표시장치(2b)를 흡착해, 목시 검사 유니트(20)에 반송할 수 있다.In the present embodiment, a mechanical arm (not shown) may be further provided. This machine arm is provided with an adsorption apparatus 301 (Fig. 7A). The
불량 광학 표시장치인 피검사 대상물(2b)을 흡착해 목시 검사 유니트(20)에 반송할 수 있는 것이면, 상기 기계 암 및 흡착 장치로서는, 종래의 기계 암 및 흡착 장치를 사용해도 좋다.A conventional mechanical arm and an adsorption apparatus may be used as the mechanical arm and the adsorption apparatus as long as the
<이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치>≪ Transporting device having double roller structure >
전술한 것처럼, 바람직하게는, 불량 광학 표시장치 반송부 즉 피검사 대상물 반송부(10b)로서, 이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치를 사용한다. 이 이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치를, 쌍방향 반송 장치(50)라고 부르기도 한다. 도 5는, 주반송 방향 반송 장치를 이용해 광학 표시장치를 반송하는 상태를 개략적으로 나타내는 것이다. 도 6은, 수직 방향 반송 장치를 이용해 광학 표시장치를 반송하는 상태를 개략적으로 나타내는 도이다.As described above, preferably, the defective optical display device carrying portion, that is, the to-be-inspected
도 5 및 도 6에 나타나는 바와 같이, 쌍방향 반송 장치(50)는, 이중 롤러 구조를 가지는 반송 장치이다. 구체적으로 말하면, 쌍방향 반송 장치(50)는, 주반송 방향으로 광학 표시장치를 반송하는 주반송 방향 반송 장치(501)와, 위로부터 봐 상기 주반송 방향과 거의 수직인 횡 방향으로 광학 표시장치를 반송하는 횡 방향 반송 장치(502)를 구비한다.As shown in Figs. 5 and 6, the
주반송 방향 반송 장치(501)는, 일련의 반송 롤러로 이루어지는 롤러 반송 장치이며, 주반송 방향으로 광학 표시장치를 반송할 수 있다. 주반송 방향 반송 장치(501)에 있어서는, 소정 수의 반송 롤러가 회전 가능하게 반송 롤러 축에 설치되어, 반송 롤러 열을 구성한다. 복수의 반송 롤러 열이 주반송 방향을 따라서, 소정 간격을 두고 평행으로 나란히 배치되어, 주반송 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송하는 반송 장치를 형성한다.The main transport
횡 방향 반송 장치(502)는, 일련의 반송 롤러로 이루어지는 롤러 반송 장치이며, 위로부터 봐 상기 주반송 방향과 거의 수직인 횡 방향으로 광학 표시장치를 반송한다. 상기 횡 방향 반송 장치(502)에 있어서는, 소정 수의 반송 롤러가 회전 가능하게 반송 롤러 축에 설치되어, 반송 롤러 열을 구성한다. 복수의 반송 롤러 열이 주반송 방향과 거의 수직인 횡 방향을 따라서, 소정 간격을 두고 평행으로 나란히 배치되어, 위로부터 봐 상기 주반송 방향과 거의 수직인 횡 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송할 수 있다.The transverse conveying
바꾸어 말하면, 위로부터 봐, 주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러 열은, 횡 방향 반송 장치(502)의 반송 롤러 열과 서로 직교하도록 배치되어 있다.In other words, from the top, the conveying roller row of the main conveying
주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러 열의 사이의 간격 거리는, 적어도 횡 방향 반송 장치(502)의 반송 롤러의 두께보다 큰 거리이다. 즉, 횡 방향 반송 장치(502)의 반송 롤러를 주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러 열의 사이에 통할 수 있다.The spacing distance between the conveying roller rows of the main conveying
그리고, 상기 횡 방향 반송 장치(502)의 반송 롤러의 사이의 간격 거리는, 적어도 주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러의 직경보다 큰 거리이다. 즉, 주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러를 횡 방향 반송 장치(502)의 반송 롤러 열의 사이에 통할 수 있다.The spacing distance between the conveying rollers of the transverse conveying
이것에 의해, 횡 방향 반송 장치(502)는, 주반송 방향 반송 장치(501)로부터 독립해 승강시킬 수 있다.Thereby, the lateral
또한, 횡 방향 반송 장치(502)를 구성하는 반송 롤러의 직경은, 주반송 방향 반송 장치(501)를 구성하는 반송 롤러의 직경보다 크게 한다.The diameter of the conveying roller constituting the transverse conveying
상기 쌍방향 반송 장치(50)는, 주반송 방향 반송 장치(501)와 횡 방향 반송 장치(502)를 절환하는 절환 장치(도시 없음)를 더 구비한다.The
도 5에 나타나는 바와 같이, 광학 표시장치의 주반송부의 상류 측으로부터 하류 측으로의 주반송 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송하는 과정에 있어서는, 주반송 방향 반송 장치(501)는, 횡 방향 반송 장치(502)의 상방에 위치하고 있다. 즉, 주반송 방향 반송 장치(501)를 구성하는 반송 롤러의 표면은, 횡 방향 반송 장치(502)를 구성하는 반송 롤러의 표면보다 높은 위치에 있다. 따라서, 주반송 방향에 상류로부터 보내져 오는 광학 표시장치를 주반송 방향 반송 장치(501)에 의해 받아, 하류 측으로 반송할 수 있다.5, in the process of transporting the optical display device along the main transport direction from the upstream side to the downstream side of the main transport section of the optical display device, the main transport
도 6에 나타나는 바와 같이, 불량 광학 표시장치인 피검사 대상물(2b)이 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 쌍방향 반송 장치(50)의 이중 롤러 구조를 절환한다. 즉, 절환 장치에 의해 횡 방향 반송 장치(502)를 상승시켜, 상기 횡 방향 반송 장치(502)를 구성하는 반송 롤러의 표면을 주반송 방향 반송 장치(501)의 반송 롤러의 표면보다 높은 위치로 함으로써, 횡 방향 반송 장치(502)에 의해 주반송 방향과 수직인 방향으로 광학 표시장치를 반송할 수 있게 된다.As shown in Fig. 6, after the
이와 같이 구성된 쌍방향 반송 장치(50)에 의해, 주반송 방향을 따르는 반송과, 주반송 방향과 수직인 방향을 따르는 반송이, 동시에 실현될 수 있다.The conveyance along the main conveyance direction and the conveyance along the direction perpendicular to the main conveyance direction can be realized at the same time by the
<목시 검사 유니트(20)>≪
도 7(a), 7(b)은 본 발명의 목시 검사 장치에 있어서의 목시 검사 유니트의 수평 상태 및 경사 상태를 개략적으로 나타내는 도이다.Figs. 7 (a) and 7 (b) are views schematically showing the horizontal state and the inclined state of the visual inspection unit in the visual inspection apparatus according to the present invention.
상기 목시 검사 유니트(20)는, 목시 관찰 장치로서, 피검사 대상물(2b)이 반송될 때에는 수평 상태로 있고, 검사 시에는 수평 상태로부터 경사 상태로 이동할 수 있는 목시 검사대를 가진다.The
상기 목시 검사 유니트(20)는, 비검사 대상물인, 검사해야 할 불량 광학 표시장치(2b)를 보관 유지하기 위한 광학 표시장치 보관 유지부(21)와, 이 광학 표시장치 보관 유지부(21)를 조작자가 목시 검사할 때의 적당한 각도로 경사시키는 요동 기구(도시 없음)와, 불량 광학 표시장치(2b)가 경사 상태로 일어섰을 때에 상기 불량 광학 표시장치(2b)의 배면 측으로부터 빛을 조사하는 백 라이트 유니트(22)를 가진다.The
상기한 바와 같은 기계 암에 설치되어 있는 흡착 장치(301)에 의해, 목시 검사해야 할 불량 광학 표시장치(2b)를, 도 7(a)에 나타내는 수평 상태로, 광학 표시장치 보관 유지부(21)에 반송한다. 도시되어 있지 않은 제어 수단에 의해 전술한 요동 기구를 제어해, 불량 광학 표시장치(2b)가 올려져(載置) 있는 광학 표시장치 보관 유지부(21)를 요동시켜, 조작자가 목시 검사하는데 적당한 각도로 경사시켜 일으켜, 경사 상태로 한다. 도 7(b)에 나타나는 바와 같이, 이 경사 상태에 있어서, 광학 표시장치 보관 유지부(21)의 배면 측으로부터 검사용 빛을 조사함으로써, 조작자는 목시로 불량 광학 표시장치(2b)를 검사할 수 있다.The
검사 결과가 정상 광학 표시장치(2a)라고 판정된 광학 표시장치는, 검사 후에, 기계 암에 설치되어 있는 흡착 장치를 통해, 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송되며, 상기 불량 광학 표시장치 반송부(10b)가 주반송부와 거의 공면을 이루도록 상향으로 이동해, 정상 광학 표시장치(2a)를 하류 측 공정에 반송한다.The optical display device in which the inspection result is determined to be the normal
검사 결과가 확실히 불량이라고 판정된 광학 표시장치(2b)는, 검사 후에 배출되어, 리워크 되든지, 폐기된다.The
또한, 상기 불량 광학 표시장치(2b)는, 주반송부로부터 목시 검사 유니트(20)에 반송되고, 목시 반송 유니트에서 목시 검사되어, 합격 광학 표시장치가 주반송부에 반송되는 각 과정에 있어서, 일손에 의해 광학 표시장치에 접할 필요가 없어, 광학 검사 장치가 오손되거나 손상되거나 하는 것을 방지할 수 있다.The defective
도 8은 본 발명의 일실시 형태에 있어서의 목시 검사 장치의 작동 플로우도이다. 이하, 도 8을 참조하면서 본 발명의 상기 실시 형태에 있어서의 목시 검사 장치(1)의 작동을 설명한다.FIG. 8 is an operational flow chart of the visual inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. Hereinafter, the operation of the visual checker 1 in the above-described embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
우선, 스텝(S11)에 있어서, 유리 기판에 광학 필름을 첩부해 광학 표시장치(2)를 형성하고, 상기 광학 표시장치(2)를 자동 검사 장치(1)에 반송한다. 그리고, 스텝(S12)에 있어서, 광학 표시장치(2)를 자동 검사한다(자동 광학 검사). 다음에, 스텝(S13)에 있어서, 자동 검사에 의해 광학 표시장치(2)에 결점이 있는지를 판정한다. 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(S21)으로 이행한다. 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 스텝(S14)으로 이행한다. 스텝(S14)에 있어서, 광학 표시장치(2)에 대해서 랜덤 검사가 필요하게 되는지 아닌지를 판정한다. 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 랜덤 검사가 필요하게 되는 경우에는, 스텝(S21)으로 이행한다. 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 랜덤 검사는 필요하지 않은 경우에는, 스텝(S15)으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)는 작동하지 않고, 광학 표시장치를 다음의 공정에 반송한다.First, in step S11, an optical film is stuck on a glass substrate to form an
스텝(S13)에 있어서 「예」라고 판정했을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(21)으로 이행한다.If it is determined to be YES in step S13, that is, if a defect is detected, the process proceeds to step 21.
스텝(S14)에 있어서 「예」라고 판정했을 경우, 즉 랜덤 검사가 필요하게 되는 경우에도, 스텝(21)으로 이행한다.If it is determined to be YES in step S14, that is, if random inspection is required, the process proceeds to step S21.
스텝(S13) 또는 스텝(S14)의 뒤에 스텝(S21)으로 이행하는 경우에 있어서, 목시 검사의 대상으로 여겨지는 광학 표시장치를, 「불량 광학 표시장치(2b)」 또는 「피검사 대상물(2b)」로 총칭한다.In the case where the process goes to step S21 after the step S13 or step S14, the optical display device regarded as the subject of the visual inspection is referred to as the "defective
스텝(S21)에서 시작되는 수순에 있어서, 목시 검사 장치(1)에 의해 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사한다. 스텝(21)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를, 발취 반송 유니트(10)의 상류 또한 상기 발취 반송 유니트(10)의 바로 옆의 위치(바로 옆의 상류 위치라고 부른다)에 반송한다. 스텝(S22)에 있어서, 발취 반송 유니트(10)가 작동한다(즉, 발취 반송 유니트(10)가 상승한다). 스텝(S23)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 발취 반송 유니트(10)의 하단(불량 광학 표시장치 반송부(10b))에 보낸다. 그 후에, 스텝(S24)에 있어서, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 상기 발취 반송 유니트(10)가 하강한다. 스텝(S25)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사 유니트(20)에 반송한다. 스텝(S26)에 있어서, 목시로 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사한다. 스텝(S27)에 있어서, 목시 검사로 불량 광학 표시장치(2b)에 결점이 검출됐는지 아닌지를 판정한다.In the procedure starting from the step S21, the visual inspection device 1 examines the defective
스텝(S27)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(S31)으로 이행해, 여기서, 불량 광학 표시장치(2b)에 결점이 있다고 판정한다. 그리고 스텝(S32)으로 이행해, 불량 광학 표시장치(2b)를 발취 반송 유니트(10)의 하단(불량 광학 표시장치 반송부(10b))에 반송한다. 스텝(S33)에 있어서, 발취 반송 유니트(10)의 상단에 위치하는 정상 광학 표시장치 반송부(10a) 또는 그의 상류에, 다른 광학 표시장치가 있는지를 판정한다.If YES in step S27, that is, if a defect is detected, the process proceeds to step S31 where it is determined that there is a defect in the defective
스텝(S33)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우, 이 스텝으로 되돌아와, 한 번 더, 판정을 행한다.If it is determined to be YES in step S33, the process returns to step S33 to perform the determination again.
스텝(S33)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우, 스텝(S41)으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 상기 발취 반송 유니트(10)가 상승하고, 다음에 스텝(S42)으로 이행한다. 스텝(S42)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 불량 광학 표시장치 수납부에 반송한다.If it is determined in step S33 that the answer is NO, the process proceeds to step S41 so that the
스텝(S27)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 스텝(S28)으로 이행한다. 스텝(S28)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를, 발취 반송 유니트(10)의 하단에 위치하는 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송하고, 스텝(S29)으로 이행한다. 스텝(S29)에 있어서, 발취 반송 유니트(10)의 상단에 위치하는 정상 광학 표시장치 반송부(10a) 또는 그의 상류에 이미 광학 표시장치가 있는지 아닌지를 판정한다.If the result of the determination in step S27 is " NO ", that is, if no defect is detected, the process proceeds to step S28. The defective
스텝(S29)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우에는, 같은 스텝으로 되돌아와, 한 번 더, 판정을 행한다.If it is determined in step S29 that the result is YES, the process returns to the same step and the determination is performed one more time.
스텝(S29)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우에는, 스텝(S51)으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 상기 발취 반송 유니트(10)가 상승하게 되고, 그 다음에, 스텝(S52)으로 이행한다. 스텝(S52)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 정상 광학 표시장치(2a)로서 다음의 공정에 반송한다. 또한, 스텝(S27)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 그 이후이면 어느 쪽의 타이밍에서도, 피검사 대상물이었던 불량 광학 표시장치(2b)를, 정상 광학 표시장치(2a)로서 인식할 수 있다. 그리고, 스텝(S52)으로 이행한다.If the result of the determination in step S29 is NO, the process proceeds to step S51 so that the
<제2 실시 형태>≪ Second Embodiment >
또, 도 9(a)~9(c)는, 본 발명의 다른 실시 형태에 의한 목시 검사 장치(1)에 있어서의 광학 표시장치의 반송 상황을 개략적으로 나타내는 도이다.9 (a) to 9 (c) are diagrams schematically showing the conveying condition of the optical display device in the visual inspection device 1 according to another embodiment of the present invention.
본 발명의 제2 실시 형태는, 발취 반송 유니트(10)의 구조가 제1 실시 형태와 다른 이외는, 다른 구조는 전부 같다. 여기에서는 같은 부분의 설명을 생략 한다.The second embodiment of the present invention is the same as the second embodiment except that the structure of the discharge and
구체적으로 말하면, 발취 반송 유니트(10)로서, 본 발명의 제2 실시 형태와 같은 구조를 가지는 것으로 할 수 있다.Specifically, as the
제2 실시 형태에 있어서는, 도 9(a)~9(c)에 나타나는 바와 같이, 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 피검사 대상물 반송부(10b)의 하방에 배치된다. 도 9(a)에 나타내는 상태에 있어서, 정상 광학 표시장치 반송부(10a)에 의해 정상 광학 표시장치(2a)를 반송한다. 정상 광학 표시장치(2a)를 반송하고 있을 때는, 상기 정상 광학 표시장치 반송부(10a)는 생산 라인의 주반송부와 거의 공면을 이루는 위치에 있고, 불량 광학 표시장치 반송부, 즉 피검사 대상물 반송 장치(10b)는, 주반송부의 상방에 위치하고 있다.In the second embodiment, as shown in Figs. 9 (a) to 9 (c), the normal inspection
도 9(b)에 나타나는 바와 같이, 센서에서 상기 불량 광학 표시장치(2b)가 반송되어 오는 것이 검출되었을 때, 발취 반송 유니트(10)는, 제어장치의 제어에 의해서, 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 거의 공면을 이루는 위치가 되도록 하향으로 이동해, 불량 광학 표시장치(2b)가 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송된다. 또, 도 9(c)에 나타나는 바와 같이, 불량 광학 표시장치(2b)가 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송된 후에, 발취 반송 유니트(10)는, 제어장치의 제어에 의해서, 상기 정상 광학 표시장치 반송부(10a)가 주반송부와 거의 공면을 이루어 정상 광학 표시장치(2a)를 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 상향으로 이동한다.As shown in Fig. 9 (b), when the sensor detects that the defective
이 제2 실시 형태에 있어서는, 바람직하게는, 정상 광학 표시장치 반송부(10a)와 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에, 통상의 단층 롤러 구조를 가지는 반송 장치를 사용한다. 이러한 단층 롤러 구조 반송 장치는, 광학 표시장치의 주반송부의 상류로부터 하류로의 주반송 방향을 따라서 광학 표시장치를 반송할 수 있다. 상기 단층 롤러 구조 반송 장치는, 구조가 간단하고, 가격이 저렴하다.In the second embodiment, a transport apparatus having a normal single-layer roller structure is preferably used for the normal optical display
또, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 실시 형태와 같이, 도시되어 있지 않은 기계 암을 구비할 수 있다. 이 기계 암에 흡착 장치(301)가 설치되어, 상기 흡착 장치(301)에 의해, 불량 광학 표시장치 반송부(10b)상의 불량 광학 표시장치(2b)를 흡착해, 목시 검사 유니트(20)에 반송할 수 있다.In this embodiment, as in the first embodiment, a mechanical arm not shown can be provided. The machine arm is provided with an
불량 광학 표시장치(2b)를 흡착해 목시 검사 유니트(20)에 반송할 수 있는 구성인 한, 상기 기계 암 및 흡착 장치에는, 종래의 기계 암 및 흡착 장치를 사용할 수 있다.A conventional mechanical arm and an adsorption apparatus can be used for the mechanical arm and the adsorption apparatus so long as the apparatus can adsorb the defective
제2 실시 형태에 있어서는, 상기와 같이, 다른 구조는 제1 실시 형태와 같다. 같은 부분을 같은 부호로 표시해, 그 설명을 생략한다.In the second embodiment, as described above, the other structure is the same as that of the first embodiment. The same parts are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
도 10은, 본 발명의 제2 실시 형태에 의한 목시 검사 장치의 작동 플로우도이다. 이하, 도 10을 참조하면서 본 발명의 제2 실시 형태의 목시 검사 장치(1)의 작동을 설명한다.10 is an operational flowchart of the visual inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention. The operation of the visual checker 1 according to the second embodiment of the present invention will now be described with reference to Fig.
우선, 스텝(S11)에 있어서, 유리 기판에 광학 필름을 첩부해 광학 표시장치(2)를 형성하고, 상기 광학 표시장치(2)를 자동 검사 장치(1)에 반송한다. 스텝(S12)에 있어서, 광학 표시장치(2)를 자동 검사한다(자동 광학 검사). 스텝(S13)에 있어서, 자동 검사로 광학 표시장치(2)에 결점이 있는지를 판정한다. 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(S21)으로 이행한다. 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 스텝(S14)으로 이행한다. 스텝(S14)에 있어서, 광학 표시장치(2)에 대해서 랜덤 검사가 필요하게 되는지 아닌지를 판정한다. 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 랜덤 검사가 필요하게 되는 경우에는 스텝(S21)으로 이행한다. 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 랜덤 검사가 필요하게 되지 않는 경우에는, 스텝(S15)으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)는 작동하지 않고, 광학 표시장치를 다음의 공정에 반송한다.First, in step S11, an optical film is stuck on a glass substrate to form an
스텝(S13)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(21)으로 이행한다.If it is determined to be YES in step S13, that is, if a defect is detected, the process proceeds to step 21.
스텝(S14)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 랜덤 검사가 필요하게 되는 경우에도, 스텝(21)으로 이행한다.If YES in step S14, that is, if random inspection is required, the process proceeds to step S21.
스텝(S13) 또는 스텝(S14)의 뒤에 스텝(S21)으로 이행해, 목시 검사를 하는 광학 표시장치를, 「불량 광학 표시장치(2b)」 또는 「피검사 대상물(2b)」라고 총칭한다.The optical display device for performing the visual inspection at step S21 after step S13 or step S14 is collectively referred to as the "defective
스텝(S21)에서 시작하는 수순에 따라서, 목시 검사 장치(1)에 의해 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사한다. 스텝(S21)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를, 발취 반송 유니트(10)의 상류 측에서 상기 발취 반송 유니트(10)의 바로 옆의 위치(바로 옆의 상류 위치라고 부른다)에 반송한다. 다음에, 스텝(S22')에 있어서, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 상기 발취 반송 유니트(10)가 하강하게 된다. 그 다음에 스텝(S23')에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를, 발취 반송 유니트(10)의 상단에 위치하는 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송한다. 그리고, 스텝(S24')에 있어서, 상기 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 발취 반송 유니트(10)가 상승하게 된다. 그 후에, 스텝(S25)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사 유니트(20)에 반송해, 스텝(S26)에 있어서, 목시로 불량 광학 표시장치(2b)를 목시 검사한다. 다음에, 스텝(S27)에 있어서, 목시 검사에 의해 불량 광학 표시장치(2b)에 결점이 검출됐는지 아닌지를 판정한다.The defective
스텝(S27)에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되었을 경우에는, 스텝(S31)으로 이행해, 여기서, 불량 광학 표시장치(2b)에 결점이 있다고 판정한다. 그리고 스텝(S32')으로 이행해, 불량 광학 표시장치(2b)를, 발취 반송 유니트(10)의 상단에 위치하는 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송한다. 스텝(S33')에 있어서, 발취 반송 유니트(10)의 하단에 위치하는 정상 광학 표시장치 반송부(10a) 또는 그의 상류 측에 이미 다른 광학 표시장치가 있는지 아닌지를 판정한다.If YES in step S27, that is, if a defect is detected, the process proceeds to step S31 where it is determined that there is a defect in the defective
스텝(S33')에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우에는, 같은 스텝으로 되돌아와, 한 번 더, 판정을 행한다.If it is determined as YES in step S33 ', the process returns to the same step and the determination is performed one more time.
스텝(S33')에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우에는, 동작은 스텝(S41')으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 상기 발취 반송 유니트(10)가 하강한다. 그리고, 다음에 스텝(S42)으로 이행해, 스텝(S42)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 불량 광학 표시장치 수납부에 반송한다.If the result of the determination in step S33 'is NO, the operation proceeds to step S41' so that the
스텝(S27)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 스텝(S28')으로 이행한다. 스텝(S28')에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 발취 반송 유니트(10)의 상단에 위치하는 불량 광학 표시장치 반송부(10b)에 반송한다. 그리고, 스텝(S29')으로 이행한다. 스텝(S29')에 있어서, 발취 반송 유니트(10)의 하단에 위치하는 정상 광학 표시장치 반송부(10a) 또는 그의 상류 측에 이미 다른 광학 표시장치가 있는지 아닌지를 판정한다.If the result of the determination in step S27 is " NO ", that is, if no defect is detected, the process proceeds to step S28 '. The defective
스텝(S29')에 있어서 「예」라고 판정되었을 경우에는, 이 스텝으로 되돌아와, 한 번 더, 판정을 행한다.If it is determined to be YES in step S29 ', the process returns to this step and the determination is performed one more time.
스텝(S29')에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우에는, 스텝(S51')으로 이행해, 발취 반송 유니트(10)가 작동하게 되어, 발취 반송 유니트(10)가 하강하게 된다. 그리고, 스텝(S52)으로 이행한다. 스텝(S52)에 있어서, 불량 광학 표시장치(2b)를 정상 광학 표시장치(2a)로서 다음의 공정에 반송한다. 또한, 스텝(S27)에 있어서 「아니오」라고 판정되었을 경우, 즉 결점이 검출되지 않았을 경우에는, 그 이후이면 어느 쪽의 타이밍에서도, 검사 대상물이었던 불량 광학 표시장치(2b)를 정상 광학 표시장치(2a)로서 인식할 수 있다. 그 후, 스텝(S52)으로 이행한다.If the result of the determination in step S29 'is NO, the process proceeds to step S51' to operate the dispensing and conveying
본 발명의 목시 검사 장치는 상기한 대로이지만, 이것에 한정된 것이 아니고, 본 발명의 사상의 범위 내에 있어서, 적당하게 변경할 수 있다.The visual inspection device of the present invention is as described above, but is not limited thereto, and can be appropriately changed within the scope of the present invention.
본 발명의 목시 검사 장치는, 시트 형상 부재를 제조하는 각 종류의 제조 장치에 적용할 수 있다.The visually inspecting apparatus of the present invention can be applied to each kind of manufacturing apparatus for producing a sheet-like member.
1: 목시 검사 장치
2: 검사 대상물(광학 표시장치)
2a: 정상 검사 대상물(정상 광학 표시장치)
2b: 피검사 대상물(불량 광학 표시장치)
3: 광학 필름 첩부 장치
4: 자동 검사 장치
10: 발취 반송 유니트
10a: 정상 검사 대상물 반송부(정상 광학 표시장치 반송부)
10b: 피검사 대상물 반송부(불량 광학 표시장치 반송부)
20: 목시 검사 유니트
21: 광학 표시장치 보관 유지부
22: 백 라이트 유니트
301: 흡착 장치
50: 쌍방향 반송 장치
501: 주반송 방향 반송 장치
502: 수직 방향 반송 장치1: Inspection system
2: object to be inspected (optical display device)
2a: normal inspection object (normal optical display device)
2b: object to be inspected (defective optical display device)
3: Optical film attaching device
4: Automatic inspection device
10:
10a: normal inspection object conveyance section (normal optical display device conveyance section)
10b: Inspection object conveyance section (defective optical display device conveyance section)
20: Moxie inspection unit
21: Optical display device holding section
22: Backlight unit
301: Adsorption device
50:
501: Main conveying direction conveying device
502: Vertical direction transfer device
Claims (5)
자동 검사 장치의 하류 측에 설치된, 피검사 대상물(2)을 목시 검사하기 위한, 발취 반송 유니트(10) 및 목시 검사 유니트(20)를 구비하며,
상기 발취 반송 유니트(10)는, 정상 검사 대상물 반송부(10a)와 피검사 대상물 반송부(10b)와 상하에 배치된 상하 2단 구성이며,
상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 정상 검사 대상물(2a)을 반송하는 것이며,
상기 피검사 대상물 반송부(10b)는, 피검사 대상물(2b)을 반송하는 것이며,
상기 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 센서에서 검출되었을 때, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되는 위치에 상하 이동함과 동시에, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 정상 검사 대상물(2a)을 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 이동하고, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)을 상기 목시 검사 유니트(20)에 반송하며,
상기 목시 검사 유니트(20)에 있어서, 조작자가 목시로 반송되어 오는 피검사 대상물(2b)을 목시 검사하도록 구성된 것을 특징으로 하는 목시 검사 장치.In the visual inspection apparatus 1,
And a visual inspection unit (20) provided on the downstream side of the automatic inspection apparatus for inspecting the inspection subject (2)
The above-described pick-up and conveying unit 10 has a vertically-arranged two-stage structure arranged above and below a normal inspection object conveying section 10a and a to-be-inspected object conveying section 10b,
The normal inspection object conveyance portion 10a conveys the normal inspection object 2a,
The object to be inspected (10b) returns the object to be inspected (2b)
When the object to be inspected 2b is detected by the sensor, the object to be inspected 2b is moved to the object to be inspected 10b under the control of the controller, And after the object to be inspected 2b is conveyed to the object to be inspected conveying section 10b, the object is conveyed to the object conveyance section 10b under control of the control apparatus, The object 2a is returned to a position where it can be conveyed and the object 2b to be inspected on the object conveyance unit 10b to be inspected is conveyed to the visual inspection unit 20,
Wherein the visual inspection unit (20) is configured to inspect a visual inspection subject (2b) conveyed by the operator to the visual inspection unit (20).
상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)의 상방에 위치하고 있으며,
정상 검사 대상물(2a)을 반송하고 있을 때, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는 주반송부와 공면을 이루는 위치에 위치하고, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)는 주반송부의 하방에 위치하며,
상기 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 센서에 의해 검출되었을 때, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 공면을 이루는 위치에서 상향으로 이동하여, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되게 됨과 동시에, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 주반송부와 공면을 이루어 정상 검사 대상물(2a)을 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 하향으로 이동하고, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)을 상기 목시 검사 유니트(20)에 반송하도록 구성된 것을 특징으로 하는 목시 검사 장치.The method according to claim 1,
The normal inspection object conveyance section 10a is located above the object conveyance section 10b to be inspected,
When the normal inspection object 2a is being conveyed, the normal inspection object conveyance section 10a is located at a position that coincides with the main conveyance section, the object conveyance section 10b to be inspected is positioned below the main conveyance section ,
When the object to be inspected 2b is detected to be conveyed, the object to be inspected (10b) is brought into contact with the main conveying unit by the control of the control device The object to be inspected 2b is transported to the object to be inspected 10b and the object to be inspected 2b is transported to the object to be inspected 10b The control unit controls the normal conveying unit 10a such that the normal inspection target conveying unit 10a forms a coplanar surface with the main conveying unit so as to return to the position where the normal inspection target 2a can be returned And moves the inspected object (2b) on the inspected object conveyance part (10b) to the visual inspection unit (20).
상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는 상기 피검사 대상물 반송부(10b)의 하방에 위치하고 있으며,
정상 검사 대상물(2a)을 반송하고 있을 때, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)는 주반송부와 공면을 이루는 위치에 위치하고, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)는 주반송부의 상방에 위치하고 있으며,
상기 피검사 대상물(2b)이 반송되어 오는 것이 센서에 의해 검출되었을 때, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)가 주반송부와 공면을 이루는 위치에서 하향으로 이동하고, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송되게 됨과 동시에, 상기 피검사 대상물(2b)이 상기 피검사 대상물 반송부(10b)에 반송된 후에, 상기 발취 반송 유니트(10)는 제어장치의 제어에 의해서, 상기 정상 검사 대상물 반송부(10a)가 주반송부와 공면을 이루어 정상 검사 대상물(2a)을 반송 가능한 위치로 되돌아오도록 상향으로 이동하고, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)을 상기 목시 검사 유니트(20)에 반송하도록 구성된 것을 특징으로 하는 목시 검사 장치.The method according to claim 1,
The normal inspected object conveyance portion 10a is located below the to-be-inspected object conveyance portion 10b,
When the normal inspection target object 2a is being conveyed, the normal inspection object conveyance section 10a is located at a position that coincides with the main transfer section, the to-be-inspected object conveyance section 10b is positioned above the main transfer section ,
When the object to be inspected 2b is detected to be conveyed, the object to be inspected (10b) is brought into contact with the main conveying unit by the control of the control device The object to be inspected 2b is transported to the object to be inspected 10b and the object to be inspected 2b is transported to the object to be inspected 10b The object to be inspected conveyance unit 10a is brought into a state in which it cooperates with the main conveyance unit to return to the position at which the normal inspection object 2a can be returned by the control of the control device And moves the inspected object (2b) on the inspected object conveyance part (10b) to the visual inspection unit (20).
상기 목시 검사 장치는 흡착 장치(301)를 더 구비하며, 상기 피검사 대상물 반송부(10b)상의 피검사 대상물(2b)은, 상기 흡착 장치(301)에 의해서 상기 피검사 대상물 반송부(10b)로부터 상기 목시 검사 유니트(20)에 반송되는 것을 특징으로 하는 목시 검사 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The visual inspection apparatus further includes an adsorption apparatus 301. The inspected object 2b on the inspected object conveyance section 10b is conveyed to the inspected object conveyance section 10b by the adsorption apparatus 301, To the visual inspection unit (20).
상기 목시 검사 유니트(20)는, 상기 피검사 대상물(2b)이 반송될 때는 수평 상태이며, 검사 시에는 수평 상태로부터 경사 상태로 이동할 수 있는 목시 검사대를 가지는 것을 특징으로 하는 목시 검사 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the visual inspection unit (20) is provided with a MOS inspection table which is horizontal when the object to be inspected (2b) is conveyed and can move from a horizontal state to an inclined state when the object (2b) is inspected.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420835941.2U CN204422430U (en) | 2014-12-25 | 2014-12-25 | Visual inspection apparatus |
CN201420835941.2 | 2014-12-25 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20160078864A true KR20160078864A (en) | 2016-07-05 |
KR102303687B1 KR102303687B1 (en) | 2021-09-17 |
Family
ID=53472787
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020150070636A KR102303687B1 (en) | 2014-12-25 | 2015-05-20 | Visual Inspection Apparatus |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6406084B2 (en) |
KR (1) | KR102303687B1 (en) |
CN (1) | CN204422430U (en) |
TW (1) | TWI655420B (en) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01202644A (en) * | 1988-02-09 | 1989-08-15 | Natl House Ind Co Ltd | Work inspecting device |
JPH01207942A (en) * | 1988-02-16 | 1989-08-21 | Olympus Optical Co Ltd | Wafer transfer device |
JPH0664742A (en) | 1991-09-30 | 1994-03-08 | Toshiba Seiki Kk | Sorter converter for article |
JP2007278715A (en) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Olympus Corp | Substrate inspection device |
JP2009031141A (en) | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Sharp Corp | Automatic inspection device, inspection system, processing method, inspection program, and computer-readable recording medium |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3119098U (en) * | 2005-11-22 | 2006-02-16 | 株式会社島津製作所 | TFT array inspection equipment |
KR101201322B1 (en) * | 2005-12-29 | 2012-11-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | Apparatus for Testing flat panel display device and method thereof |
JP5001681B2 (en) * | 2007-03-12 | 2012-08-15 | 株式会社日本マイクロニクス | Inline automatic inspection device and inline automatic inspection system |
CN101320145B (en) * | 2008-07-21 | 2010-06-16 | 友达光电股份有限公司 | Panel sampling inspection device and method |
-
2014
- 2014-12-25 CN CN201420835941.2U patent/CN204422430U/en active Active
-
2015
- 2015-03-24 JP JP2015060610A patent/JP6406084B2/en active Active
- 2015-04-30 TW TW104113899A patent/TWI655420B/en active
- 2015-05-20 KR KR1020150070636A patent/KR102303687B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01202644A (en) * | 1988-02-09 | 1989-08-15 | Natl House Ind Co Ltd | Work inspecting device |
JPH01207942A (en) * | 1988-02-16 | 1989-08-21 | Olympus Optical Co Ltd | Wafer transfer device |
JPH0664742A (en) | 1991-09-30 | 1994-03-08 | Toshiba Seiki Kk | Sorter converter for article |
JP2007278715A (en) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Olympus Corp | Substrate inspection device |
JP2009031141A (en) | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Sharp Corp | Automatic inspection device, inspection system, processing method, inspection program, and computer-readable recording medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016121982A (en) | 2016-07-07 |
KR102303687B1 (en) | 2021-09-17 |
TW201623943A (en) | 2016-07-01 |
CN204422430U (en) | 2015-06-24 |
TWI655420B (en) | 2019-04-01 |
JP6406084B2 (en) | 2018-10-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101362454B1 (en) | Apparatus for optical inspection | |
TWI447381B (en) | Glass substrate inspection device and glass substrate inspection method | |
WO2017195394A1 (en) | Position correcting apparatus and optical film attachment system | |
US7497317B2 (en) | Apparatus for conveying and raising objects | |
KR101720008B1 (en) | The normal temperature ascon composition for repair | |
CN102500554A (en) | Fully-automatic visual inspection machine for wafer | |
WO2019080541A1 (en) | Photovoltaic module detection apparatus and method | |
KR100975645B1 (en) | Appartus for inspecting substrate and method using the same | |
JP2015105832A (en) | Conveyance and inspection apparatus and conveyance and inspection method for optical member laminate panel | |
KR20160078864A (en) | Visual Inspection Apparatus | |
KR101496994B1 (en) | apparatus for inspecting parts of mobile phone | |
WO2015030141A1 (en) | Production method for laminated optical member | |
TWI629471B (en) | Inspection apparatus and process thereof | |
CN1987436B (en) | Base board detector and glass base board detector | |
KR101435750B1 (en) | Automatic vision testing device for reducing lcd panel movement and checking time | |
JP2012182273A (en) | Method of in-line inspection of glass substrate and device of the same | |
JP6161853B1 (en) | Position correcting apparatus and optical film pasting system | |
KR20190085537A (en) | Panel Inspection System | |
KR101555990B1 (en) | A manufacturing apparatus of a light guiding plate | |
CN203510800U (en) | Small sheet detecting and folding-gluing integrated machine | |
CN103674973A (en) | Apparatus for detecting a foreign substance on an interleaving paper to be inserted between glass substrates | |
CN111566552B (en) | Display unit manufacturing system | |
CN109573616B (en) | Detection system | |
KR20110117479A (en) | Apparatus for conveying substrate | |
JP2024034097A (en) | Inspection device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |