KR20160076008A - 마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 프레임과, 양단부가 상기 프레임에 의해 지지되는 복수개의 마스크를 포함하고, 각 마스크는, 외곽 영역이 프레임에 의해 지지되는 바디부와, 각 마스크의 길이 방향을 따라 서로 이격되어 배치되며, 증착 물질을 통과시키는 복수개의 패턴홀과 각 패턴홀 사이에 형성되는 리브를 포함하는 패턴부를 포함하며, 바디부는, 패턴부의 양 측면 중 적어도 일 측면을 따라 연장 형성되어 서로 이격되도록 배치되며, 프레임과 접하는 방향에 형성되는 바디부의 제1 면 및 제1 면의 반대측인 제2 면 중 적어도 일면에 오목하게 형성되는 단차부를 포함하며, 단차부는, 리브의 무게중심(center of gravity)을 기준으로 바디부의 제1 면 및 제2 면 중 적어도 일면을 식각하여 형성되고, 무게중심으로부터 바디부의 제1 면 측에 형성되는 단차부의 제3 면까지의 두께와, 무게중심으로부터 제3 면의 반대측인 단차부의 제4 면까지의 두께가 실질적으로 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체를 개시한다.

Description

마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법{Mask frame assembly, and apparatus for deposition comprising the same and manufacturing method of organic light emitting display device using the same}
본 발명의 실시예들은 마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 디스플레이 장치들 중 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고, 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라, 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다.
유기 발광 표시 장치는 애노우드와 캐소우드에 주입되는 정공과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 색상을 구현할 수 있는 것으로서, 애노우드와 캐소우드 사이에 발광층을 삽입한 적층형 구조이다. 그러나, 상기 하나의 구조로는 고효율 발광을 얻기 어렵기 때문에 각각의 전극과 발광층 사이에 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 수송층 및 정공 주입층 등의 중간층을 선택적으로 추가 삽입하여 이용하고 있다.
한편, 유기 발광 표시 장치의 전극들과, 발광층을 포함한 중간층은 여러 가지 방법에 의하여 형성될 수 있는데, 이중 하나의 방법이 증착법이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 기판 상에 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(fine metal mask, FMM)를 정렬하고, 박막의 원소재를 증착아여 소망하는 패턴의 박막을 형성한다.
통상적으로, 고해상도 VGA 마스크는 패턴 크기가 매우 작다. 따라서, 증착하고자 하는 박막의 두께에 영향을 주는 음영이 거의 없어야 한다. 음영을 최소화하려면 마스크의 두께가 매우 얇아야 한다.
마스크의 두께를 얇게 하여 일측으로 마스크를 인장하게 되면, 마스크에는 주름이 발생하게 된다. 이렇게 주름이 발생된 상태에서 기판에 대하여 마스크를 얼라인하여 증착을 수행하게 되면, 주름이 발생된 마스크에는 기판과 접촉하지 못하는 영역이 발생하게 된다. 이에 따라, 비접촉 영역에서는 정밀한 패턴을 형성할 수 없게 된다.
통상적으로 주름의 높낮이는 대략 500 내지 700 마이크로미터로 측정되며, 마스크의 종류와, 인장률 등에 따라 달라질 수 있다. 주름이 발생하는 이유는 마스크의 구조적인 불안정에 기인한 것으로서, 정밀한 패턴을 형성하기 위해서는 반드시 주름을 제거하거나 최소화시켜야 한다. 특히 얇게 가공된 마스크를 인장하게 되면, 어느 순간 주름이 발생하여 주름이 더욱 더 커지는데, 이렇게 주름이 발생하는 시점(onset of wrinkling)에 대한 정확한 예측이 용이하지 않다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 실시예들의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 실시예들의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
본 발명의 실시예들은 마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 프레임과, 양단부가 상기 프레임에 의해 지지되는 복수개의 마스크를 포함하고, 각 마스크는, 외곽 영역이 프레임에 의해 지지되는 바디부와, 각 마스크의 길이 방향을 따라 서로 이격되어 배치되며, 증착 물질을 통과시키는 복수개의 패턴홀과 각 패턴홀 사이에 형성되는 리브를 포함하는 패턴부를 포함하며, 바디부는, 패턴부의 양 측면 중 적어도 일 측면을 따라 연장 형성되어 서로 이격되도록 배치되며, 프레임과 접하는 방향에 형성되는 바디부의 제1 면 및 제1 면의 반대측인 제2 면 중 적어도 일면에 오목하게 형성되는 단차부를 포함하며, 단차부는, 리브의 무게중심(center of gravity)을 기준으로 바디부의 제1 면 및 제2 면 중 적어도 일면을 식각하여 형성되고, 무게중심으로부터 바디부의 제1 면 측에 형성되는 단차부의 제3 면까지의 두께와, 무게중심으로부터 제3 면의 반대측인 단차부의 제4 면까지의 두께가 실질적으로 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 리브에는 바디부의 제1 면 측에 형성되는 제5 면과, 제5 면의 반대측인 제6 면이 형성되고, 제5 면은 제6 면의 길이보다 길게 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 단차부는 바디부의 제2 면이 식각되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 리브의 제5 면 측의 길이를 a, 리브의 제6 면 측의 길이를 b, 리브의 두께를 t라고 할 경우, 이들의 함수로서 나타내어지는 무게중심으로부터 제5 면까지의 제1 두께 t1을 [수학식 1]
Figure pat00001
로 하고, 단차부의 제3 면으로부터 제4 면 까지의 두께는 제1 두께의 두배로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 단차부는 바디부의 제1 면 및 제2 면이 식각되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 리브의 제5 면 측의 길이를 a, 리브의 제6 면 측의 길이를 b, 리브의 두께를 t라고 할 경우, 이들의 함수로서 나타내어지는 제2 두께 t2를 [수학식 2]
Figure pat00002
로 하고, 단차부의 제3 면으로부터 제4 면까지의 두께는 제2 두께로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 증착원과, 증착원과 대면하는 기판의 일면에 배치되는 마스크 프레임 조립체와, 일면과 반대편인 기판의 타면에 배치되어 마스크 프레임 조립체를 기에 자력으로 밀착시키는 마그넷 플레이트를 포함하고, 마스크 프레임 조립체는, 프레임과, 양단부가 상기 프레임에 의해 지지되는 복수개의 마스크를 포함하고, 각 마스크는, 외곽 영역이 프레임에 의해 지지되는 바디부와, 각 마스크의 길이 방향을 따라 서로 이격되어 배치되며, 증착 물질을 통과시키는 복수개의 패턴홀과 각 패턴홀 사이에 형성되는 리브를 포함하는 패턴부를 포함하며, 바디부는, 패턴부의 양 측면 중 적어도 일 측면을 따라 연장 형성되어 서로 이격되도록 배치되며, 프레임과 접하는 방향에 형성되는 바디부의 제1 면 및 제1 면의 반대측인 제2 면 중 적어도 일면에 오목하게 형성되는 단차부를 포함하며, 단차부는, 리브의 무게중심(center of gravity)을 기준으로 바디부의 제1 면 및 제2 면 중 적어도 일면을 식각하여 형성되고, 무게중심으로부터 바디부의 제1 면 측에 형성되는 단차부의 제3 면까지의 두께와, 무게중심으로부터 제3 면의 반대측인 단차부의 제4 면까지의 두께가 실질적으로 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 기판과 마그넷 플레이트 사이에 위치하여 기판을 가압하는 가압판을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 리브에는 바디부의 제1 면 측에 형성되는 제5 면과, 제5 면의 반대측인 제6 면이 형성되고, 제5 면은 제6 면의 길이보다 길게 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 단차부는 바디부의 제2 면이 식각되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 리브의 제5 면 측의 길이를 a, 리브의 제6 면 측의 길이를 b, 리브의 두께를 t라고 할 경우, 이들의 함수로서 나타내어지는 무게중심으로부터 제5 면까지의 제1 두께 t1을 [수학식 1]
Figure pat00003
로 하고, 단차부의 제3 면으로부터 제4 면 까지의 두께는 제1 두께의 두배로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 단차부는 바디부의 제1 면 및 제2 면이 식각되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 리브의 제5 면 측의 길이를 a, 리브의 제6 면 측의 길이를 b, 리브의 두께를 t라고 할 경우, 이들의 함수로서 나타내어지는 제2 두께 t2를 [수학식 2]
Figure pat00004
로 하고, 단차부의 제3 면으로부터 제4 면까지의 두께는 제2 두께로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
상기와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 마스크 인장 시 발생하는 마스크의 변형을 최소화할 수 있는 마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 을 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 I-I선을 따라 절개하여 나타내는 단면도이다.
도 3a는 도 2의 A 부분을 확대하여 나타내는 확대단면도이다.
도 3b는 도 2의 B 부분을 확대하여 나타내는 확대단면도이다.
도 4는 도 1에 나타난 마스크의 일 변형예를 나타내는 사시도이다..
도 5는 도 4의 II-II선을 따라 절개하여 나타내는 단면도이다.
도 6는 도 5의 C 부분을 확대하여 나타내는 확대단면도이다.
도 7a는 도 1의 바디부에 단차부가 형성되기 이전의 상태를 나타낸 단면도이다.
도 7b는 도 1의 단차부의 제1 면 측이 하프 에칭(half etching)된 상태를 나타낸 단면도이다.
도 7c는 도 1의 단차부의 제2 면 측이 하프 에칭(half etching)된 상태를 나타낸 단면도이다.
도 7d는 도 1의 단차부를 나타낸 단면도이다.
도 7e는 도 4의 단차부를 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 프레임 조립체를 포함하는 증착 장치를 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 9는 도 8에 나타난 증착 장치를 이용하여 제조되는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 또한, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체(10)를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 I-I선을 따라 절개하여 나타내는 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 마스크 프레임 조립체(10)는 프레임(100)과 마스크(200)를 포함한다.
프레임(100)은 x축 방향으로 서로 이격되도록 배치되며, 상호 평행하게 배치되는 제1 지지부(101)와 제2 지지부(102)와, y축 방향으로 서로 이격되도록 배치되며, 상호 평행하게 배치되는 제3 지지부(103)와 제4 지지부(104)를 포함한다. 상기 제1 지지부(101) 및 제2 지지부(102)는 상기 제3 지지부(103) 및 제4 지지부(104)와 서로 연결되어 마스크 프레임 조립체(10)의 외곽 틀을 형성하는 것으로, 도 1은 중앙에 사각 형상으로 하나의 개구부(105)를 갖도록 형성되어 있으나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않으며, 예컨데 원형, 타원형 및 다각형의 다양한 형태로 형성될 수 있다. 또한, 프레임(100)은 금속 또는 합성수지 등으로 제조될 수 있다.
한편, 제3 지지부(103)와 제4 지지부(104)는 각 마스크(200)에 대하여 평행한 방향으로 설치되어 있으며, 탄성력을 가지는 소재로 형성되는 것이 바람직하나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
프레임(100)은 복수개의 마스크(200)가 인장된 상태로 지지되므로, 충분한 강성을 지녀야 한다. 또한, 프레임(100)은 이후 증착 공정에서 증착 물질이 증착되는 기판(도 9의 500 참조)과 마스크(200)의 밀착 시 간섭을 일으키지 않는 구조라면 어느 하나의 구조에 한정되는 것은 아니다.
마스크(200)는 복수개로 분할된 스틱형 마스크로서, 외곽 영역이 프레임(100)에 의해 지지되는 바디부(210)와, 각 마스크(200)의 길이 방향을 따라 서로 이격되어 배치되며, 증착 물질을 통과시키는 복수개의 패턴홀(221)과, 각 패턴홀(221) 사이에 형성되는 리브(222)를 포함하는 패턴부(220)를 포함하며, 그 양단부는 프레임(100)에 용접될 수 있다.
이러한 마스크(200)는 자성을 띤 박판(thin film)으로서, 니켈 또는 니켈 합금으로 형성될 수 있다. 바람직하게는 미세 패턴의 형성이 용이하고, 표면 거칠기가 우수한 니켈-코발트 합금으로 형성될 수 있다.
또한, 마스크(200)는 에칭법에 의하여 제조될 수 있는데, 포토레지스트(photoresist)를 이용하여 각 패턴홀(221)과 동일한 패턴을 가지는 포토레지스트층을 박판에 형성하거나, 패턴홀(221)들의 패턴을 가진 필름을 박판에 부착한 이후에 박판을 에칭함으로써 제조할 수 있다. 또한, 마스크(200)는 전기주조법(electroforming)에 의하여 형성될 수도 있다.
이러한 마스크(200)는 도면에 나타나지는 않았으나 큰 부재 하나로 형성될 수도 있지만, 그럴 경우 자중에 의한 처짐 현상이 심해질 수 있으므로, 도면에 나타난 바와 같이 복수개의 스틱형 마스크로 분할하여 제조한다. 그리고, 도 1에서는 설명의 편의 상 하나의 마스크(200)를 분해하여 도시하였으나, 실제 제조 완료 후에는 복수개의 마스크(200)는 개구부(105)를 모두 덮도록 배치될 수 있다.
각 마스크(200)에는 상기한 바와 같이 바디부(210)와 패턴부(220)가 형성되어 있으며, 용접 전의 상태에는 마스크(200)의 양단에 클램핑부(미도시) 또한 마련되어 있다. 한편, 용접 방법은 일반적으로 레이저 용접, 저항 가열 용접 등 다양한 방법이 있으며, 이밖에도 전기주조법(electroforming), 무전해도금(electroless plating)과 같은 방법이 사용될 수 있다.
마스크(200)를 프레임(100)에 용접할 때에는 해당 마스크(200)를 마스크(200)의 길이 방향(도 1의 x축 방향)으로 팽팽하게 당겨서 인장시킨 후 용접하게 되는데, 이렇게 마스크(200)를 잡아당길 때 파지하기 위해 마스크(200)의 양 단부에 마련된 부위가 상기 클램핑부가 될 수 있다. 이러한 클램핑부는 용접이 완료된 후에는 절단된다.
바디부(210)는 패턴홀(221)이 없기 때문에 증착은 일어나지 않는 영역이다. 바디부(210)는 증착에 직접 기여하는 영역은 아니지만 기본적으로 마스크(200)의 강성을 유지해주는 역할을 한다. 즉, 패턴부(220)에는 다수의 패턴홀(221)이 형성되어 있기 때문에 상대적으로 강성이 약하다. 따라서, 마스크(200)가 쉽게 처지거나 휘어지지 않을 정도의 강성을 확보하기 위하여 바디부(210)는 패턴부(220)에 비해 두껍게 형성된다.
패턴부(220)는 다수의 패턴홀(221)들이 형성된 영역으로, 증착 공정 시 증착 물질이 이 패턴홀(221)을 통과하면서 마스크(200)에 밀착되어 있는 기판(도 9의 500 참조)에 박막층을 형성하게 된다. 패턴부(220)는 마스크(200)의 길이 방향을 따라 서로 이격되어 배치될 수 있으며, 패턴부(220)에 형성되는 복수개의 패턴홀(221) 사이에는 리브(222)가 형성된다.
상술한 바와 같이, 바디부(210)와 패턴부(220)의 두께가 상이하도록 형성될 경우에는 바디부(210)와 패턴부(220)의 경계면에는 소정 높이의 단차가 형성될 수 있다. 이러한 단차에는, 프레임(100)과 마스크(200)의 용접을 위한 마스크(200) 인장 시 그 단차가 있는 부위에 응력이 집중되어 주름이 발생하는 취약부가 될 수 있다.
이러한 마스크(200)의 인장 시 발생하는 마스크(200)의 변형을 보상 및 방지하기 위해, 바디부(210)에는 소정의 깊이를 갖는 오목한 형상의 단차부(211)가 마련된다. 이러한 단차부(211)는 패턴부(220)의 양 측면 중 적어도 일 측면을 따라 연장 형성되어 서로 이격되도록 배치된다. 도 2는 프레임(100)과 접하는 방향에 형성되는 바디부(210)의 제1 면(210a)과 제1 면(210a)의 반대측인 제2 면(210b) 중 제2 면(210b)에 단차부(211)가 형성된 것을 나타내나, 이에 한정되지 않으며 제1 면(210a) 및 제2 면(210b) 중 적어도 일면에 형성될 수 있다.
이하, 도 3a 및 도 3b를 참조하여 단차부(211)에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 3a는 도 2의 A 부분을 확대하여 나타내는 확대단면도이고, 도 3b는 도 2의 B 부분을 확대하여 나타내는 확대단면도이다.
먼저 도 3a를 참조하면, 단차부(211)는 바디부(210)의 제2 면(210b)을 소정 깊이만큼 식각하여 형성되는 제1 오목홈(211B)을 구비할 수 있다. 여기서, 제1 오목홈(211B)의 깊이는 다음과 같이 정해질 수 있다.
도 3b를 참조하면, 리브(222)는 평행사변형 모양으로 형성될 수 있다. 리브(222)에는 바디부(210)의 제1 면(210a) 측에 형성되는 제5 면(222a)과, 제5 면(222a)의 반대측인 제6 면(222b)이 형성될 수 있으며, 이때 리브(222)의 제5 면(222a)은 제6 면(222b)보다 길도록 형성될 수 있다(a>b).
여기서, 참조부호 a는 제5 면(222a)의 길이를 의미하며, 참조부호 b는 제6 면(222b)의 길이를 의미하며, 참조부호 t는 리브(222)의 두께를 의미한다. 또한, 참조부호 ta와 tb는 각각 리브(222)의 무게중심(G)에서 리브(222)의 제5 면(222a)까지의 두께(ta)와, 리브(222)의 무게중심(G)에서 리브(222)의 제6 면(222b)까지의 두께(tb)를 의미한다. 따라서, 리브의 두께(t)는 ta와 tb를 더한 값이 된다.
여기서, 리브(222)의 무게중심(G)에서 제5 면(222a)까지의 두께(ta)를 제1 두께(t1)라 하면, 제1 두께(t1)는 다음과 같은 수학식 1으로 구할 수 있다.
[수학식 1]
Figure pat00005
다시 도 3a를 참조하면, 바디부(210)의 제1 면(210a)으로부터 제1 두께(t1)를 갖는 지점은 단차부(211)의 중심축(OA)이 된다. 그리고 그 중심축(OA)으로부터 바디부(210)의 제2 면(210b) 방향으로 제1 두께(t1)만큼 떨어진 지점까지 식각 공정을 수행한다. 그러면, 바디부(210)의 제2 면(210b)과 단차부(211)의 제4 면(211b) 사이의 공간이 제1 오목홈(211B)의 깊이가 된다. 그리고, 식각을 하지 않는 바디부(210)의 제1 면(210a)은 단차부(211)의 제3 면(211a)이 된다.
상기와 같이 바디부(210)의 제2 면(210b)을 식각하여 제1 오목홈(211B)을 형성하게 되면, 리브(222)의 무게중심(G)으로부터 바디부(210)의 제1 면(210a) 측에 형성되는 단차부(211)의 제3 면(211a)까지의 두께와, 리브(222)의 무게중심(G)으로부터 제3 면(211a)의 반대측인 제4 면(211b)까지의 두께가 제1 두께(t1)와 실질적으로 대응되도록 형성된다.
이렇게 단차부(211)의 중심축(OA)을 기준으로 대칭되는 제1 두께(t1)를 갖도록 단차부(211)를 형성하게 되면, 리브(222)의 무게중심(G)과 단차부(211)의 중심축(OA)이 실질적으로 동일한 높이에 형성될 수 있다.
단차부(211)와 단차부(211)에 형성되는 제1 오목부(211B)의 두께와 깊이를 상술한 바와 같이 정하는 이유는 바디부(210)와 패턴부(220)의 무게중심을 최대한 가깝도록 배치하여 마스크(200) 인장 시 발생하는 마스크(200)의 변형을 최소화하기 위함이다.
상세히, 패턴부(220)는 빈 공간인 패턴홀(221)과 패턴홀(221) 사이에 형성되는 마스크(200)의 본체인 리브(222)로 구성되기 때문에, 패턴부(220)의 무게중심은 리브(222)의 중심면에 위치하지 않는다. 대신, 상술한 바와 같이 일반적으로 평행사변형 모양으로 형성되는 리브(222)만이 패턴부(220)의 무게중심을 산출하는데 이용되므로, 패턴부(220)의 무게중심은 도 3b에 도시된 바와 같이 리브(222)의 무게중심(G)과 실질적으로 동일하게 위치하게 된다.
한편, 패턴홀(221)이 없는 바디부(210)의 경우에는 그 무게중심이 바디부(210)의 중심축에 위치하게 된다. 상술한 바와 같이, 일반적으로 오목부(211B)가 형성되지 않은 경우 바디부(210)의 무게중심은 바디부(210)의 중간 지점으로, 리브(222)의 무게중심(G)이 상대적으로 긴 면인 제5 면(222a) 측에 더 가깝게 형성된다는 점을 고려할 때, 바디부(210)의 무게중심은 리브(222)의 무게중심(G)보다 높은 곳에 위치한다. 따라서, 바디부(210)와 리브(222)의 무게중심을 최대한 인접하도록 배치하기 위해서는 바디부(210)의 제2 면(210b)을 식각하여 바디부(210)의 무게중심을 낮추는 방법이 사용될 수 있다.
따라서, 단차부(211)의 중심축(OA)이 리브(222)의 무게중심(G)이 위치하는 축에 인접하도록 하기 위해, 바디부(210)의 제2 면(210b)을 식각하는 방법을 사용하면, 마스크(200)의 인장 시 발생하는 마스크(200)의 변형을 방지할 수 있게 된다. 이러한 효과는 실험적으로 증명된 것으로써, 구체적인 수치에 대해서는 후술하기로 한다.
도 4는 도 1에 나타난 마스크의 일 변형예를 나타내는 사시도이고, 도 5는 도 4의 II-II선을 따라 절개하여 나타내는 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 마스크(300)에는 바디부(310)와 패턴부(320)가 형성될 수 있다. 바디부(310)는 바디부의 제1 면(310a)과 제2 면(310b)을 식각하여 형성되는 단차부(311)를 포함할 수 있다. 그리고 단차부(311)에는 제1 오목홈(311A)과 제2 오목홈(311B)이 형성될 수 있으며, 상세히는 홈(311A)은 단차부(311)의 제3 면(311a)측에, 제2 오목홈(311B)은 단차부(311)의 제4 면(311b)측에 형성될 수 있다.
이하, 도 4 및 도 5에 나타난 마스크(300)는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체(10)의 마스크(200)에 대응하는 구성과 그 기능을 나타내고 있으므로, 여기에서는 구체적인 설명은 생략 또는 약술하기로 한다.
다음으로, 도 6을 참조하여, 단차부(311)에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 6은 도 5의 C 부분을 확대하여 나타내는 확대단면도이다.
도 6을 참조하면, 단차부(311)는 바디부(210)의 제1 면(310a)을 소정 깊이만큼 식각하여 형성되는 제2 오목홈(311A)과, 바디부(210)의 제2 면(310b)을 소정 깊이만큼 식각하여 제3 오목홈(311B)을 구비할 수 있다. 여기서, 제2 오목홈(311A)과 제3 오목홈(311B)의 깊이(Ta 및 Tb)는 다음과 같이 정해질 수 있다.
단차부(311)는 중심축(OB)을 기준으로, 단차부의 제3 면(311a)으로부터 제4 면(311b)까지의 두께는 제2 두께(t2)로 형성될 수 있다. 여기서, 단차부(311)의 중심축(OB)은 도 3b에 나타난 리브(222)의 무게중심(G)과 동일한 높이에 위치한다. 한편, 제2 두께(t2)는 패턴부(320)의 총 부피를 패턴부(320)의 총 면적으로 나눈 값으로, 도 3b를 참조하여 다음과 같은 수학식 2로 구할 수 있다.
[수학식 2]
Figure pat00006
상술한 바와 같이, 참조부호 a는 패턴부(320)의 제5 면(322a)의 길이를 의미하며, 참조부호 b는 패턴부(320)의 제6 면(322b)의 길이를 의미하며, 참조부호 t는 리브(322)의 두께를 의미한다.
따라서, 제2 오목홈(311A)의 깊이(Ta)는 단차부(311)의 중심축(OB)에서 바디부(310)의 제1 면(310a)까지의 두께(ta)와 제2 두께(t2)의 절반길이와의 차이값이 되며, 제3 오목홈(311B)의 깊이(Tb)는 단차부(311)의 중심축(OB)에서 바디부(310)의 제2 면(310b)까지의 두께(tb)와 제2 두께(t2)의 절반 길이와의 차이값이 된다.
이렇게 바디부(310)의 제1 면(310a)과 제2 면(310b)을 식각하여 제2 오목홈(311A)과 제3 오목홈(311B)을 형성하게 되면, 단차부(311)의 두께는 제2 두께(t2)로 형성될 수 있다.
다음으로, 실험에 따른 마스크(200, 300)의 변형에 대한 결과치는 다음과 같다.
도 7a는 도 1의 바디부(210)에 단차부(211)가 형성되기 이전의 상태를 나타낸 단면도이고, 도 7b는 도 1의 단차부(211)의 제1 면(211a) 측이 하프 에칭(half etching)된 상태를 나타낸 단면도이며, 도 7c는 도 1의 단차부(211)의 제2 면(211b) 측이 하프 에칭(half etching)된 상태를 나타낸 단면도이고, 도 7d는 도 1의 단차부(211)를 나타낸 단면도이며, 도 7e는 도 4의 단차부(311)를 나타낸 단면도이다.
여기에서, 도 7a 내지 도 7e에 도시된 상면과 하면은, 기판(도 9의 500 참조)과 마주보는 방향에 위치하는 면을 상면, 기판과 멀어지는 방향에 위치하는 면을 하면이라고 가정한다.
그리고 아래의 표 1은 도 7a 내지 도 7e의 단차부(11a, 11b, 11c, 11d, 11e)를 포함하는 마스크 프레임 조립체(미도시)의 길이 방향으로 인장력을 가했을 때, 기판(도 9의 500 참조)과 멀어지는 방향으로의 마스크(미도시)의 변화량(tmax)과, 기판과 마주보는 방향으로의 마스크의 변화량(tmin) 및 그 차이를 나타낸 표이다. 여기에서, 각 변화량의 차이가 크면 클수록 마스크의 변형이 크다는 의미이며, 표 1의 각 수치의 단위는 mm이다.
Figure pat00007
<표 1>
표 1 및 도 7a를 참조하면, 단차부(11a, 11b, 11c, 11d, 11e)가 형성되지 않은 마스크 프레임 조립체의 경우, 기판과 멀어지는 방향으로의 변화량(tmax)과 기판과 마주보는 방향으로의 변화량(tmin)의 차이는 0.2309mm로 나타난다. 그리고, 도 7b에 나타난 상면 하프 에칭(half etching)의 경우, 그 변화량의 차이는 약 0.018mm로 나타난다. 또한, 도 7c에 나타난 하면 하프 에칭의 경우에는 그 변화량의 차이는 약 0.01mm로써, 도 7b와 도 7c를 비교하면 기판과 마주보는 상면보다 기판과 멀어지는 방향에 위치한 하면에 하프 에칭으로 단차부를 가공하는 것이 마스크의 변형을 더 감소시킨다는 것을 확인할 수가 있다.
다음으로, 도 7d에 나타난 단차부(11d)는 상기 수학식 1을 이용하여 본 발명의 일 실시예에 따른 단차부(211)를 형성하는 방법을 적용한 일 예시이다. 또한, 도 7e에 나타난 단차부(11e)는 상기 수학식 2를 이용하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 단차부(311)를 형성하는 방법을 적용한 다른 예시이다.
도 7d와 도 7e에 나타난 단차부(11d, 11e)를 마스크에 형성하게 되면, 도 7a 내지 도 7c에 나타난 방법들보다 마스크의 변형을 더 줄일 수 있는 것을 확인할 수가 있다(각각 약 0.0094mm, 약 0.0077mm). 나아가 가장 효과적인 방법은 7e와 같이, 수학식 2를 적용하여 단차부(11e)의 상면과 하면을 모두 식각한 경우에 가장 마스크의 변형을 줄일 수 있음을 확인할 수 있다.
이렇게 본 발명의 실시예들에 관한 마스크 프레임 조립체(10, 20)를 따르면, 프레임(100)과 마스크(200, 300)의 용접 시 마스크(200, 300) 인장으로 인한 마스크(200)의 변형을 최소화할 수 있으며, 나아가 디스플레이 패널(미도시)에 증착되는 증착 물질의 정밀도를 향상시켜 표시 장치(미도시)의 수율 향상 및 불량품 감소와 같은 효과를 얻을 수 있다.
도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 프레임 조립체를 포함하는 증착 장치를 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 8을 참조하면, 증착 장치(20)는 챔버(50) 내에 기판(500) 측으로 증착 물질을 방사하는 증착원(400)과, 증착원(400)과 대면하는 기판(500)의 일면에 배치되는 마스크 프레임 조립체(10)와, 상기 일면의 반대편인 기판(500)의 타면 측에 배치되어 마스크 프레임 조립체(10)를 기판(500)에 자력으로 밀착시키는 마그넷 플레이트(600)를 포함할 수 있다.
또한, 증착 장치(20)는 기판(500)과 마그넷 플레이트(600) 사이에 개재되어 자중으로 기판(500)을 가압하는 가압판(700)을 더 포함할 수 있다. 이러한 가압판(700)은 마그넷 플레이트(600)가 기판(500) 쪽으로 이동하여 마스크 프레임 조립체(10)에 자기력을 가하기 이전에, 기판(500)과 마스크 프레임 조립체(10)의 밀착력을 향상시키는 역할을 한다.
한편, 도 8에는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체(10)가 증착원(400)과 기판(500) 사이에 개재되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체(10) 또한 증착 장치(20)에 포함될 수도 있음은 물론이다.
도 9는 도 8에 나타난 증착 장치(20)를 이용하여 제조되는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 도면이다.
도 8 및 도 9를 참조하여, 마스크 프레임 조립체(10)를 포함하는 증착 장치(20)에 의해 제조되는 유기 발광 표시 장치를 검토하면 다음과 같다.
도 8을 참고하면, 유기 발광 표시 장치(800)는 기판(810) 및 표시부(미표기)를 포함할 수 있다. 또한, 유기 발광 표시 장치(800)는 상기 표시부의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 또는 봉지 기판(미도시)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 봉지 기판은 일반적인 디스플레이 장치에 사용되는 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 유기 발광 표시 장치(800)가 박막 봉지층(E)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(810) 상에 상기 표시부가 형성될 수 있다. 이때, 상기 표시부는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(870)이 형성되며, 이 패시베이션막(870) 상에 유기 발광 소자(880)가 형성될 수 있다.
이때, 기판(810)은 유리 재질을 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(810)은 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(810)이 유리 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(810)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(820)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(820) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(830)이 형성된 후, 활성층(830)이 게이트 절연층(840)에 의해 매립된다. 활성층(830)은 소스 영역(831)과 드레인 영역(833)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(832)을 더 포함한다.
이러한 활성층(830)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(830)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(830)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(830)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(830)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(830)은 버퍼층(820) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(830)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(831) 및 드레인 영역(833)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(840)의 상면에는 활성층(830)과 대응되는 게이트 전극(350)과 이를 매립하는 층간 절연층(860)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(860)과 게이트 절연층(840)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(860) 상에 소스 전극(871) 및 드레인 전극(872)을 각각 소스 영역(831) 및 드레인 영역(833)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(870)이 형성되고, 이 패시베이션막(870) 상부에 유기 발광 소자(OLED)의 화소 전극(881)이 형성된다. 이 화소 전극(881)은 패시베이션막(870)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(872)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(870)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(870)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(870) 상에 화소 전극(881)을 형성한 후에는 이 화소 전극(881) 및 패시베이션막(870)을 덮도록 화소 정의막(890)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(881)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(881) 상에 중간층(882) 및 대향 전극(883)이 형성된다.
화소 전극(881)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(883)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(881)과 대향 전극(883)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(881)과 대향 전극(883)은 상기 중간층(882)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(882)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(882)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(882)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소(P)는 복수의 부화소(R,G,B)로 이루어지는데, 복수의 부화소(R,G,B)는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소(R,G,B)는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소(R,G,B)를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제 1 무기층, 제 1 유기층, 제 2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제 1 무기층, 제 1 유기층, 제 2 무기층, 제 2 유기층, 제 3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제 1 무기층, 제 1 유기층, 제 2 무기층, 상기 제 2 유기층, 제 3 무기층, 제 3 유기층, 제 4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제 1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제 1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제 1 유기층은 제 2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제 2 유기층도 제 3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10, 20: 마스크 프레임 조립체 210, 310: 바디부
30: 증착 장치 211, 311: 단차부
50: 챔버 220, 320: 패턴부
100: 프레임 221, 321: 패턴홀
101: 제1 지지부 222, 322: 리브
102: 제2 지지부 400: 증착원
103: 제3 지지부 500: 기판
104: 제4 지지부 600: 마그넷 플레이트
105: 개구부 700: 가압판
200, 300: 마스크

Claims (14)

  1. 프레임; 및
    양단부가 상기 프레임에 의해 지지되는 복수개의 마스크;를 포함하고,
    상기 각 마스크는,
    외곽 영역이 상기 프레임에 의해 지지되는 바디부와,
    상기 각 마스크의 길이 방향을 따라 서로 이격되어 배치되며, 증착 물질을 통과시키는 복수개의 패턴홀과 상기 각 패턴홀 사이에 형성되는 리브를 포함하는 패턴부를 포함하며,
    상기 바디부는,
    상기 패턴부의 양 측면 중 적어도 일 측면을 따라 연장 형성되어 서로 이격되도록 배치되며, 상기 프레임과 접하는 방향에 형성되는 상기 바디부의 제1 면 및 상기 제1 면의 반대측인 제2 면 중 적어도 일면에 오목하게 형성되는 단차부를 포함하며,
    상기 단차부는,
    상기 리브의 무게중심(center of gravity)을 기준으로 상기 바디부의 상기 제1 면 및 상기 제2 면 중 적어도 일면을 식각하여 형성되고,
    상기 무게중심으로부터 상기 바디부의 상기 제1 면 측에 형성되는 상기 단차부의 제3 면까지의 두께와, 상기 무게중심으로부터 상기 제3 면의 반대측인 상기 단차부의 제4 면까지의 두께가 실질적으로 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 리브에는,
    상기 바디부의 상기 제1 면 측에 형성되는 제5 면과, 상기 제5 면의 반대측인 제6 면이 형성되고,
    상기 제5 면은 상기 제6 면의 길이보다 길게 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 단차부는,
    상기 바디부의 상기 제2 면이 식각되어 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 리브의 상기 제5 면 측의 길이를 a, 상기 리브의 상기 제6 면 측의 길이를 b, 상기 리브의 두께를 t라고 할 경우, 이들의 함수로서 나타내어지는 상기 무게중심으로부터 상기 제5 면까지의 제1 두께 t1을
    [수학식 1]
    Figure pat00008

    로 하고,
    상기 단차부의 상기 제3 면으로부터 상기 제4 면 까지의 두께는 제1 두께의 두배로 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 단차부는,
    상기 바디부의 상기 제1 면 및 상기 제2 면이 식각되어 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 리브의 상기 제5 면 측의 길이를 a, 상기 리브의 상기 제6 면 측의 길이를 b, 상기 리브의 두께를 t라고 할 경우, 이들의 함수로서 나타내어지는 제2 두께 t2를
    [수학식 2]
    Figure pat00009

    로 하고,
    상기 단차부의 상기 제3 면으로부터 상기 제4 면까지의 두께는 상기 제2 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  7. 증착원과, 상기 증착원과 대면하는 기판의 일면에 배치되는 마스크 프레임 조립체와, 상기 일면과 반대편인 상기 기판의 타면에 배치되어 상기 마스크 프레임 조립체를 상기 기판에 자력으로 밀착시키는 마그넷 플레이트를 포함하고,
    상기 마스크 프레임 조립체는,
    프레임; 및
    양단부가 상기 프레임에 의해 지지되는 복수개의 마스크;를 포함하고,
    상기 각 마스크는,
    외곽 영역이 상기 프레임에 의해 지지되는 바디부와,
    상기 각 마스크의 길이 방향을 따라 서로 이격되어 배치되며, 증착 물질을 통과시키는 복수개의 패턴홀과 상기 각 패턴홀 사이에 형성되는 리브를 포함하는 패턴부를 포함하며,
    상기 바디부는,
    상기 패턴부의 양 측면 중 적어도 일 측면을 따라 연장 형성되어 서로 이격되도록 배치되며, 상기 프레임과 접하는 방향에 형성되는 상기 바디부의 제1 면 및 상기 제1 면의 반대측인 제2 면 중 적어도 일면에 오목하게 형성되는 단차부를 포함하며,
    상기 단차부는,
    상기 리브의 무게중심(center of gravity)을 기준으로 상기 바디부의 상기 제1 면 및 상기 제2 면 중 적어도 일면을 식각하여 형성되고,
    상기 무게중심으로부터 상기 바디부의 상기 제1 면 측에 형성되는 상기 단차부의 제3 면까지의 두께와, 상기 무게중심으로부터 상기 제3 면의 반대측인 상기 단차부의 제4 면까지의 두께가 실질적으로 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 기판과 상기 마그넷 플레이트 사이에 위치하여 상기 기판을 가압하는 가압판을 더 포함하는, 증착 장치.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 리브에는,
    상기 바디부의 상기 제1 면 측에 형성되는 제5 면과, 상기 제5 면의 반대측인 제6 면이 형성되고,
    상기 제5 면은 상기 제6 면의 길이보다 길게 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 단차부는,
    상기 바디부의 상기 제2 면이 식각되어 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 리브의 상기 제5 면 측의 길이를 a, 상기 리브의 상기 제6 면 측의 길이를 b, 상기 리브의 두께를 t라고 할 경우, 이들의 함수로서 나타내어지는 상기 무게중심으로부터 상기 제5 면까지의 제1 두께 t1을
    [수학식 1]
    Figure pat00010

    로 하고,
    상기 단차부는 상기 바디부의 상기 제2 면 측을 t-t1만큼 식각하여 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 단차부는,
    상기 바디부의 상기 제1 면 및 상기 제2 면이 식각되어 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 리브의 상기 제5 면 측의 길이를 a, 상기 리브의 상기 제6 면 측의 길이를 b, 상기 리브의 두께를 t라고 할 경우, 이들의 함수로서 나타내어지는 제2 두께 t2를
    [수학식 2]
    Figure pat00011

    로 하고,
    상기 단차부의 상기 제3 면으로부터 상기 제4 면까지의 두께는 상기 제2 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는, 증착 장치.
  14. 기판 상에 서로 대향된 제1 및 제2 전극과 상기 제1 및 제2 전극의 사이에 구비된 유기막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
    상기 유기막 또는 제2 전극은, 상기 제7 항 내지 제12 항 중 어느 한 항의 증착 장치에 의해 증착 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
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