KR20160068706A - 피측정물의 자동 두께 측정 장치 - Google Patents

피측정물의 자동 두께 측정 장치 Download PDF

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KR20160068706A
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주식회사 이큐스앤자루
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Abstract

본 발명은 자동 박막 두께 측정 장치, 자동 박막 두께 측정 방법 및 박막의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 실시 예를 따르는 자동 박막 두께 측정 장치는 본체 프레임; 상기 본체 프레임의 일측에 형성되어 피측정물 상의 마크를 인식하여 상기 피측정물의 두께를 측정하는 측정기; 상기 피측정물을 상기 본체 프레임의 센터 라인을 중심으로 정렬하는 정렬판; 상기 피측정물이 적층된 공급 테이블로부터 상기 정렬판으로 상기 피측정물을 이송시키는 이송 로더; 상기 피측정물을 안착시켜 상기 측정기로 투입하는 측정 스테이지; 상기 정렬판에 의해 정렬된 상기 피측정물을 상기 측정 스테이지로 이송시키는 공급 로더; 상기 측정 스테이지를 이동시켜 상기 피측정물의 위치를 조절하는 위치조절부재; 상기 이송 로더의 일측에 수평하게 배치되어 상기 공급 테이블 상의 간지를 들어올려 수평 방향으로 이송시키는 간지분리 로더; 상기 간지분리 로더에 의해 이송된 간지를 적층시켜 외부로 배출하기 위한 간지배출 테이블; 상기 측정기에 의해 측정이 완료된 상기 피측정물을 배출하는 배출부; 및 상기 피측정물을 상기 배출부로 이송하는 배출 로더;를 포함하고, 상기 공급 로더, 이송 로더, 간지분리 로더 및 배출 로더는 동시에 이송이 가능하다.

Description

피측정물의 자동 두께 측정 장치{Apparatus automatic thickness measurement of the measurement subject}
본 발명은 피측정물의 두께 측정 시 로딩에서 측정 후 배출까지 자동으로 진행될 수 있도록 한 피측정물의 자동 박막 두께 측정 장치, 자동 박막 두께 측정 방법 및 박막의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 금속 박판 또는 폴리머, 고분자 등으로 이루어진 필름이나 박막 등과 같은 피측정체의 두께 측정은 엑스선을 이용한 비접촉식 두께 측정장치에 의해 수행된다.
이러한 두께 측정은 단일의 피측정체를 대상으로 하거나, 혹은 생산 중에 있는 피측정체를 대상으로 하기도 한다.
예컨데, 통상 금속 박판이나 필름, 박막 등의 피측정체를 생산하기 위한 방법 중 하나인 롤러 압연 방법으로 일정한 두께의 피측정체를 생산하는 동안 그 두께를 실시간으로 측정하여 이상 여부를 판정한 결과에 따라 압연 롤러를 조절하면 두께가 일정한 양질의 제품을 생산할 수 있게 된다.
이러한 엑스선을 이용한 비접촉식 두께 측정장치는 피측정체를 투과하는 엑스선 광자량을 검출기로 검출하거나, 혹은 피측정체를 투과하는 형광 엑스선 광자량을 검출기로 검출하여 피측정체의 두께 측정에 이용한다.
상기 검출기로 검출하는 엑스선 광자량 혹은 형광 엑스선 광자량은 모두 피측정체의 재질에 따른 흡수계수, 밀도, 두께 등에 의해 변화하게 되는데, 피측정체가 없을 때 엑스선 타깃에 조사된 후 방사되는 광자량과 일정 두께의 피측정체가 있을 때 피측정체를 투과하여 엑스선 타깃에 조사된 후 방사되는 광자량을 상대적으로 비교하여 그 상대적인 차이를 확인하면 피측정체의 두께를 알 수 있다.
상기 엑스선을 이용한 비접촉식 두께 측정장치는 엑스선 발생장치에서 발생한 단색화된 엑스선이 피측정체를 투과하게 함으로써 가장 정확한 측정을 할 수 있다.
그러나, 상기한 비접촉식 두께 측정장치는 도금 등의 가공이 완료된 피측정체를 일정향을 샘플로 뽑아 한장씩 측정기 스테이지에 올려 놓고, 측정기 내에 투입하여 작업자가 측정하고자 하는 부위를 측정한다.
따라서, 기존의 비접촉식 두께 측정장치는 일일이 작업자가 수작업으로 위치를 조절해야하는 등 번거로운 작업이 따르고, 수작업의 정확성 저하로 측정 결과의 정확도가 떨어지는 문제점이 있다.
뿐만 아니라, 기존의 비접촉식 두께 측정장치는 작업자가 피측정물을 손으로 다루어야 하므로, 반복적인 접촉에 의한 불량이 빈번하게 발생될 수 밖에 없는 문제점이 있다.
이에, 상기한 기존 장치의 문제점을 해소하여 두께 측장장치를 자동화함으로써, 공정 속도를 향상시키는 동시에, 불량의 발생을 줄일 수 있는 기술의 개발이 요구되고 있는 시점이다.
한국공개 제10-2011-0110962호
이에 상기와 같은 점을 감안하여 발명된 본 발명은 두께 측정 장치의 전체 공정을 자동화 하여, 신속, 정확한 측정이 가능하고, 피측정물에 작업자가 접촉하여 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있는 자동 박막 두께 측정 장치, 자동 박막 두께 측정 방법 및 박막의 제조 방법을 제공함을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 본체 프레임의 일측에 형성되어 피측정물의 두께를 측정하는 측정기와, 상기 측정기의 일측에 수평 방향으로 이송 가능하게 형성되어 상기 피측정물이 적층된 공급 테이블로부터 상기 측정기로 상기 피측정물을 투입하기 위해 이송시키는 이송 로더와, 상기 이송 로더에 의해 이송된 상기 피측정물을 안착시켜 상기 측정기로 투입하는 측정 스테이지와, 상기 측정 스테이지를 3축 6방향으로 이송시켜 상기 측정기로 투입되는 위치를 조절하는 위치조절부재 및 상기 측정기에 의해 측정이 완료된 상기 피측정물을 배출하는 배출부가 포함된 것을 특징으로 하는 피측정물의 자동 두께 측정 장치가 제공된다.
상기 위치조절부재는 수직의 축을 중심으로 회전모터에 의해 회전 가능하게 형성될 수 있다.
상기 측정기는 형광 엑스선을 이용하여 상기 피측정물의 두께를 비접촉식일 수 있다.
상기 이송 로더에 의해 이송되는 상기 피측정물을 안착시켜 상기 본체의 센터 라인을 중심으로 정렬시키는 정렬판 및 상기 정렬판에 의해 정렬된 상기 피측정물을 상기 측정 스테이지로 이송시키는 공급 로더가 더 포함될 수 있다.
상기 이송 로더의 일측에 수평하게 배치되어 상기 공급 테이블에 적층된 상기 피측정물 사이에 형성된 간지를 들어올려 수평 방향으로 이송시키는 간지분리 로더 및 상기 간지분리 로더에 의해 이송된 간지를 적층시켜 외부로 배출하기 위한 간지배출 테이블이 포함될 수 있다.
상기 이송 로더와, 상기 공급 로더 및 상기 간지분리 로더는 상기 본체 프레임 상의 길이방향으로 연장된 레일을 따라 이송 가능하게 형성되어, 상기 본체 프레임의 일측에 구비된 리니어 모터에 의해 이송될 수 있다.
상기 위치조절부재는 상기 본체의 전후 방향으로 연장되는 제1이송 레일과, 상기 제1이송레일을 따라 이동되며, 상기 제1이송 레일에 수직 교차하는 형태로 연장되어 제2이송 레일 및 상기 제2이송레일을 따라 이동되며, 이송 실린더에 의해 상하 이송되는 상하 이송부로 형성될 수 있다.
상기 측정 스테이지의 상부에 형성되어 상기 측정기로 투입되는 상기 피측정물의 위치를 정확하게 측정하는 카메라가 포함될 수 있다.
상기 카메라는 상기 측정 스테이지의 상부에 2개소 이상 형성될 수 있다.
상기 배출부는 상기 측정기를 통해 측정이 완료된 상기 피측정물을 상기 스테이지로부터 들어올려 이송시키는 배출 로더와, 상기 배출 로더에 의해 이송된 상기 피측정물을 적재시켜 배출하는 적재 테이블로 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예를 따르는 자동 박막 두께 측정 장치는, 본체 프레임;
상기 본체 프레임의 일측에 형성되어 피측정물의 상의 마크를 인식하여 상기 피측정물의 두께를 측정하는 측정기; 상기 피측정물을 상기 본체 프레임의 센터 라인을 중심으로 정렬하는 정렬판; 상기 피측정물이 적층된 공급 테이블로부터 상기 정렬판으로 상기 피측정물을 이송시키는 이송 로더; 상기 피측정물을 안착시켜 상기 측정기로 투입하는 측정 스테이지; 상기 정렬판에 의해 정렬된 상기 피측정물을 상기 측정 스테이지로 이송시키는 공급 로더; 상기 측정 스테이지를 이동시켜 상기 피측정물의 위치를 조절하는 위치조절부재; 상기 이송 로더의 일측에 수평하게 배치되어 상기 공급 테이블 상의 간지를 들어올려 수평 방향으로 이송시키는 간지 분리 로더; 상기 간지분리 로더에 의해 이송된 간지를 적층시켜 외부로 배출하기 위한 간지배출 테이블; 상기 측정기에 의해 측정이 완료된 상기 피측정물을 배출하는 배출부; 및 상기 피측정물을 상기 배출부로 이송하는 배출 로더;를 포함하고, 상기 공급 로더, 이송 로더, 간지분리 로더 및 배출 로더는 동시에 이송이 가능하다.
상기 위치조절부재는 상기 본체 프레임의 전후 방향으로 연장되는 제1이송레일, 상기 제1이송레일에 수직 교차하는 제2이송 레일 및 상기 위치조절부재를 회전시키는 회전모터를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예를 따르는 자동 박막 두께 측정 방법은, 피측정물에 마크를 표시하는 단계;
상기 피측정물 및 간지를 순차적으로 공급 테이블에 적층하는 단계; 이송 로더에 의해 상기 피측정물을 상기 공급 테이블로부터 정렬판으로 이송하는 단계; 상기 정렬판으로 이송된 피측정물을 상기 본체 프레임의 센터 라인을 중심으로 정렬하는 단계; 상기 상기 정렬된 피측정물을 측정 스테이지로 이송하는 단계; 상기 측정 스테이지의 위치를 조정하는 단계; 및 상기 피측정물의 마크를 인식하여 피측정물의 두께를 측정하는 단계;를 포함한다.
상기 피측정물을 정렬판으로 이송하는 단계 이후에, 간지분리 로더가 상기 공급 테이블 상으로 이동하는 단계, 상기 공급 테이블 상의 간지를 간지배출 테이블로 이송하는 단계 및 상기 이송 로더가 상기 공급 테이블 상으로 이동하는 단계를 포함하고, 상기 피측정물의 마크를 인식하여 피측정물의 두께를 측정하는 단계 이후에, 상기 피측정물을 배출부에 적재하는 단계 및 적재된 피측정물을 배출하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예를 따르는 박막의 제조 방법은, 피측정물에 마크를 표시하는 단계; 상기 피측정물 및 간지를 순차적으로 공급 테이블에 적층하는 단계; 이송 로더에 의해 상기 피측정물을 상기 공급 테이블로부터 정렬판으로 이송하는 단계; 상기 정렬판으로 이송된 피측정물을 상기 본체 프레임의 센터 라인을 중심으로 정렬하는 단계; 상기 상기 정렬된 피측정물을 측정 스테이지로 이송하는 단계; 상기 측정 스테이지의 위치를 조정하는 단계; 상기 피측정물의 마크를 인식하여 피측정물의 두께를 측정하는 단계; 및 상기 측정된 박막의 두께를 이용하여 아연 롤러의 롤러 간격을 조절하는 단계;를 포함한다.
이러한 본 발명에 따른 자동 박막 두께 측정 장치, 자동 박막 두께 측정 방법 및 박막의 제조 방법에 의하면, 피측정물의 두께 측정을 위한 투입과 배출의 전 공정이 자동으로 수행됨으로써, 신속하고 정확한 측정이 가능하며, 작업자가 수작업을 동원할 필요가 없어, 정밀 부품의 측정 시 작업자의 접촉에 의한 제품 불량 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 자동 박막 두께 측정 장치의 평면도
도 2는 도 1에 도시된 자동 박막 두께 측정 장치의 측면도.
도 3은 도 1에 도시된 자동 박막 두께 측정 장치의 일 요부 구성을 나타낸 평면도.
도 4는 도 1에 도시된 자동 두께 측정 장치의 다른 일 요부 구성을 나타낸 측면도.
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 예시도면을 참조로 상세히 설명하며, 이러한 실시예는 일례로서 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으므로, 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 자동 두께 측정 장치의 평면도를 나타내고, 도 2는 도 1에 도시된 자동 두께 측정 장치의 측면도를 나타낸다.
도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 본 발명에 따른 자동 박막 두께 측정 장치(이하, 자동 두께 측정 장치)는 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 자동 두께 측정 장치는 본체 프레임(100)의 일측에 형성되어 피측정물의 두께를 측정하는 측정기(113)와, 상기 측정기(113)의 일측에 수평 방향으로 이송 가능하게 형성되어 상기 피측정물이 적층된 공급 테이블(122)로부터 상기 측정기(113)로 상기 피측정물을 투입하기 위해 이송시키는 이송 로더(125)와, 상기 이송 로더(125)에 의해 이송된 상기 피측정물을 안착시켜 상기 측정기로 투입하는 측정 스테이지(111)와, 상기 측정 스테이지(111)를 이송시켜 상기 측정기(113)로 투입되는 위치를 조절하는 위치조절부재(104) 및 상기 측정기(113)에 의해 측정이 완료된 상기 피측정물을 배출하는 배출부(103)가 포함된다.
상기 측정기(113)는 형광 엑스선을 이용하여 피측정물의 두께를 비접촉식으로 측정하는 방식이 적용될 수 있다.
따라서, 상기 이송 로더(125)에 의해 공급된 피측정물을 측정기(113)의 일측으로 투입하여, 두께를 측정한 후 상기 측정기(113)로 투입된 방향으로 그대로 이송시키면 배출부(103)에서 적재된 상태로 외부로 배출시킬 수 있도록 형성된다.
상기 측정 스테이지(111)는 상기 측정기(113)로 피측정물을 통과시키는 방향으로 연장된 이송 레일(141)상에 이송 가능하도록 상기 위치조절부재(104)에 의해 연결된다.
그리고, 측정 스테이지(111)의 상부에는 피측정물에 형성된 마크를 인식하여 상기 측정기로 투입하기 위한 위치를 결정하는 카메라(112)가 구비된다.
상기 카메라(112)는 상기 측정 스테이지(111)의 2개소 이상으로 다수 설치될 수 있다.
그리고, 상기 이송 로더(125)와 상기 측정 스테이지(111) 사이에는 상기 이송 로더(125)에 의해 이송되는 피측정물을 안착시켜 상기 본체 프레임(100)의 센터 라인을 중심으로 정렬시키는 정렬판(123)이 포함된다.
상기 이송 로더(125)의 수평한 일측에는 상기 정렬판(123)에 의해 정렬된 상기 피측정물을 상기 측정 스테이지(111)로 이송시키는 공급 로더(126)가 포함된다.
한편, 본 실시예에 따르면, 상기 이송 로더(125)로 피측정물을 공급하는 공급 테이블(122)의 수평한 일측에는 상기 공급 테이블(122)에 적층된 피측정물의 사이마다 형성되는 간지를 분리하여 적층한 후 배출시킬 수 있도록 하는 간지배출 테이블(121)이 더 포함된다.
그리고, 상기 이송 로더(125)의 수평한 일측에는 상기 공급 테이블(122)에 적층된 피측정물에 놓여진 간지를 들어 올려 이송시키는 간지분리 로더(124)가 더 포함된다.
또한, 상기 공급 테이블(122)의 수평한 일측에는 상기 간지분리 로더(124)에 의해 이송된 간지를 적층시켜 외부로 배출시킬 수 있도록 하는 간지배출 테이블(121)이 포함된다.
상기 배출부(103)는 상기 측정기(113)를 통해 측정이 완료되어 이송 로더(125)의 반대쪽으로 이송되어진 측정 스테이지로부터 피측정물을 들어올려 반대쪽으로 이송시키는 배출 로더(133)와, 상기 배출 로더(133)를 통해 이송된 피측정물을 적재하여 외부로 배출시키기 위한 적재 테이블(131)을 포함한다.
이때, 상기 이송 로더(125)와, 상기 공급 로더(126) 및 상기 간지분리 로더(124)는 상기 본체 프레임(100) 상의 길이방향으로 연장된 레일(128)을 따라 이송 가능하게 형성되며, 상기 본체 프레임(100)의 일측에 구비되는 리니어 모터(미도시함)에 의해 이송되도록 형성될 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 자동 두께 측정 장치에서 측정기에 피측정물을 투입하기 위한 요부 구성의 평면도를 나타낸다.
도 3을 참조하면, 상기 위치조절부재(104)를 이송시키기 위한 이송 레일(141)은 본체 프레임(100)의 길이방향으로 연장된 제1레일(341)과, 상기 제1레일(341)에 수직 교차를 이루도록 연장되는 제2레일(342)로 형성된다.
그리고 상기 측정 스테이지(111)를 결합하는 위치조절부재(104)는 실린더의 작용으로 상하 이송이 가능하게 구성되고, 수직의 축을 중심으로 회전모터(미도시함)에 의해 회전 가능하게 형성함으로써, 측정 스테이지(111)를 본체 프레임(100)의 전후, 좌우 및 상하의 6축 방향으로 이송시킬 수 있는 동시에, 회전이 가능하게 형성된다.
이때, 상기 위치조절부재(104)를 상하 이송시키는 실린더는 유압으로 작동되는 것이 적용될 수 있다.
따라서, 상기한 구성에 따른 본 발명의 자동 두께 측정 장치에 따르면, 이송 로더(125)에 의해 정렬판(123)으로 이송된 피측정물을 가정렬 시킨 후 측정기(113) 측에 구비된 측정 스테이지(111)로 옮기고, 측정 스테이지(111)로 옮겨진 피측정물에 표시된 마크를 카메라(112)를 통해 인식하여 정확한 위치로 조정하여 측정기(113)로 투입시킬 수 있도록 구성된다.
이때, 카메라(112)를 통해 인식된 피측정물의 마크된 위치가 정확하게 정렬 되도록 측정 스테이지(111)를 이송시킴으로써, 보다 정확하고, 신속한 측정이 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 피측정물에 작업자가 손을 댈 필요가 없어, 피측정물의 불량 발생을 방지할 수 있다.
도 4는 본 실시예에 따른 자동 두께 측정 장치에 피측정물을 공급하기 위한 요부 구성의 측면도를 나타낸다.
도 4를 참조하면, 상기 측정 스테이지(111)와, 정렬판(123), 공급 테이블(122) 및 간지배출 테이블(121)은 측정기(113)에 수평한 방향으로 4 칸으로 구획되어 나란히 배치되고, 그 상부에 각각 공급 로더(126)와, 이송 로더(125) 및 간지분리 로더(124)의 3 개의 로더가 배치된다.
따라서 상부에 위치된 3 개의 로더가 하부에 위치된 상기 4 칸 중 3 칸의 상부에 위치된 상태에서 3개의 로더가 동시에 이송됨으로써, 남은 1칸의 상부로 이동할 수 있도록 형성된다.
예컨데, 이송 로더(125)가 공급 테이블(122)의 피측정물을 들어올려 정렬판(123)으로 이송되면, 간지배출 테이블(121)의 상부에 위치해 있던 간지분리 로더(124)가 공급 테이블(122)에 위치된 피측정물의 간지를 이송시키기 위해 상부로 이송된다.
그리고, 간지분리 로더(124)가 간지를 적층시키기 위해 다시 간지배출 테이블(121)의 상부로 이송되면 이송 로더(125)가 간지가 제거된 피측정물을 들어 올리기 위해 공급 테이블(122)로 이동된다.
이와 함께, 공급 로더(126)도 정렬판(123)과 측정 스테이지(111) 사이를 이동하여 이송 로더(125)에 의해 정렬판(123)으로 옮겨진 피측정물을 측정 스테이지(111)에 안착시키도록 한다.
따라서, 상기한 구성에 따른 본 발명의 자동 두께 측정 장치에 의하면, 간지를 사이에 두고 다수 적층된 피측정물을 투입하여, 간지의 분리와 동시에 측정기(113)로 투입하기 위한 피측정물의 공급과, 측정이 완료된 피측정물을 적층한 상태로 배출하는 전 공정이 자동으로 진행된다.
이를 통해, 작업자의 수작업에 의해 진행되는 경우에 비해 훨씬 신속한 두께 측정이 이루어질 수 있고, 피측정물에 작업자가 접촉할 필요가 없어 기판과 같은 피측정물을 사용할 경우 피측정물의 오염에 따른 불량 발생을 방지할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.
100: 본체 프레임
104: 위치조절부재
112: 카메라
113: 측정기
122: 공급 테이블
123: 정렬판
125: 이송 로더
126: 공급 로더
111: 측정 스테이지
103: 배출부
141: 이송 레일
121: 간지배출 테이블
124: 간지분리 로더
133: 배출 로더
131: 적재 테이블

Claims (5)

  1. 본체 프레임;
    상기 본체 프레임의 일측에 형성되어 피측정물 상의 마크를 인식하여 상기 피측정물의 두께를 측정하는 측정기;
    상기 피측정물을 상기 본체 프레임의 센터 라인을 중심으로 정렬하는 정렬판;
    상기 피측정물이 적층된 공급 테이블로부터 상기 정렬판으로 상기 피측정물을 이송시키는 이송 로더;
    상기 피측정물을 안착시켜 상기 측정기로 투입하는 측정 스테이지;
    상기 정렬판에 의해 정렬된 상기 피측정물을 상기 측정 스테이지로 이송시키는 공급 로더;
    상기 측정 스테이지를 이동시켜 상기 피측정물의 위치를 조절하는 위치조절부재;
    상기 이송 로더의 일측에 수평하게 배치되어 상기 공급 테이블 상의 간지를 들어올려 수평 방향으로 이송시키는 간지분리 로더;
    상기 간지분리 로더에 의해 이송된 간지를 적층시켜 외부로 배출하기 위한 간지배출 테이블;
    상기 측정기에 의해 측정이 완료된 상기 피측정물을 배출하는 배출부; 및
    상기 피측정물을 상기 배출부로 이송하는 배출 로더;를 포함하고,
    상기 공급 로더, 이송 로더, 간지분리 로더 및 배출 로더는 동시에 이송이 가능한 것을 특징으로 하는 자동 박막 두께 측정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 위치조절부재는 상기 본체 프레임의 전후 방향으로 연장되는 제1이송레일, 상기 제1이송레일에 수직 교차하는 제2이송 레일 및 상기 위치조절부재를 회전시키는 회전모터를 포함하는 자동 박막 두께 측정 장치.
  3. 피측정물에 마크를 표시하는 단계;
    상기 피측정물 및 간지를 순차적으로 공급 테이블에 적층하는 단계;
    이송 로더에 의해 상기 피측정물을 상기 공급 테이블로부터 정렬판으로 이송하는 단계;
    상기 정렬판으로 이송된 피측정물을 상기 본체 프레임의 센터 라인을 중심으로 정렬하는 단계;
    상기 상기 정렬된 피측정물을 측정 스테이지로 이송하는 단계;
    상기 측정 스테이지의 위치를 조정하는 단계; 및
    상기 피측정물의 마크를 인식하여 피측정물의 두께를 측정하는 단계;를 포함하는 자동 박막 두께 측정 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 피측정물을 정렬판으로 이송하는 단계 이후에,
    간지분리 로더가 상기 공급 테이블 상으로 이동하는 단계, 상기 공급 테이블 상의 간지를 간지배출 테이블로 이송하는 단계 및 상기 이송 로더가 상기 공급 테이블 상으로 이동하는 단계를 포함하고,
    상기 피측정물의 마크를 인식하여 피측정물의 두께를 측정하는 단계 이후에,
    상기 피측정물을 배출부에 적재하는 단계 및 적재된 피측정물을 배출하는 단계를 포함하는 자동 박막 두께 측정 방법.
  5. 피측정물에 마크를 표시하는 단계;
    상기 피측정물 및 간지를 순차적으로 공급 테이블에 적층하는 단계;
    이송 로더에 의해 상기 피측정물을 상기 공급 테이블로부터 정렬판으로 이송하는 단계;
    상기 정렬판으로 이송된 피측정물을 상기 본체 프레임의 센터 라인을 중심으로 정렬하는 단계;
    상기 상기 정렬된 피측정물을 측정 스테이지로 이송하는 단계;
    상기 측정 스테이지의 위치를 조정하는 단계;
    상기 피측정물의 마크를 인식하여 피측정물의 두께를 측정하는 단계; 및
    상기 측정된 박막의 두께를 이용하여 아연 롤러의 롤러 간격을 조절하는 단계;를 포함하는 박막의 제조 방법.

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