KR20160068607A - 집진 영역 확장 구조의 환형 에어나이프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 집진 영역 확장 구조의 환형 에어나이프에 관한 것이고, 구체적으로 유체의 분사에 의하여 집진 영역이 확장될 수 있도록 하는 집진 영역 확장 구조의 환형 에어나이프에 관한 것이다. 집진 영역 확장 구조의 에어나이프(10)는 중앙 부분에 형성된 블레이드 홀(113)과 블레이드 홀(113)을 둘러싸는 환형의 몸체(111)로 이루어진 블레이드 모듈(11); 한쪽 끝이 블레이드 모듈(11)과 연결되는 유입 통로(141) 및 유입 통로(141)의 한쪽 끝에 형성된 고정 유닛(143)으로 이루어진 유도 모듈(14); 유도 모듈(14)이 내부에 배치되는 하우징(13); 및 유입 통로(141)에 배치되어 블레이드 홀(113)의 내부로 유체의 분무가 가능한 노즐 어셈블리(12)를 포함한다.

Description

집진 영역 확장 구조의 환형 에어나이프{A Ring Type of an Air Knife Capable of Extending an Area of Dust Collection}
본 발명은 집진 영역 확장구조의 환형 에어나이프에 관한 것이고, 구체적으로 유체의 분사에 의하여 집진 영역이 확장될 수 있도록 하는 집진 영역 확장구조의 환형 에어나이프에 관한 것이다.
다양한 형태의 미세 입자가 생산 현장에서 발생될 수 있고 미세 입자는 제품 품질에 직접 또는 간접적으로 영향을 미치게 된다. 그러므로 미세 입자는 적절한 수단으로 수집이 되어 제거될 필요가 있다. 예를 들어 디스플레이 제조 공정 또는 레이저 마킹 공정에서 발생되는 미세 입자는 발생 현장에서 바로 제거되지 않으면 생산품의 품질에 직접적으로 영향을 미칠 수 있다.
에어나이프와 관련된 선행기술로 특허등록번호 제0756522호 기판 건조용 에어나이프 장치가 있다. 상기 선행기술은 LCD 패널과 같은 기판 상측에 기판에 수직인 축을 기준으로 경사지게 배치되는 제1 블록과, 상기 제1 블록과 함께 공기 유동 통로를 형성하도록 상기 제1 블록에 결합되고, 상기 기판에 수직인 축을 기준으로 경사지게 배치되는 제2 블록을 구비하여 상기 공기 유동 통로로 유입된 공기를 상기 기판에 분사시켜 기판에 잔류된 세척 물질을 제거하는 기판 건조용 에어나이프 장치에 있어서, 상기 제2 블록은 상기 기판이 상기 제1 블록 측으로 이송되어 올 때 상기 제1 블록보다 상기 기판으로부터 멀리 배치되어 있으며, 상기 제1 블록의 하단부보다 상기 기판 방향으로 연장되는 연장 부분을 구비하여 상기 공기 유동 통로를 통해 외부로 배출되는 공기가 상기 연장 부분을 타고 상기 기판에 분사되도록 구성된 기판 건조용 에어나이프 장치에 대하여 개시한다.
에어나이프와 관련된 다른 선행기술로 특허공개번호 제2010-0019156호 에어나이프 장치가 있다. 상기 선행기술은 내부에 공기 유입구를 구비한 본체와, 상기 본체 내측에 형성되어 상기 공기 유입구로부터 건조용 공기를 공급받는 제1 챔버부와, 상기 제1 챔버부와 이격 형성되는 제2 챔버부와, 복수 개의 토출용 블레이드로 구성되며 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부의 건조용 공기를 외부로 분사하기 위한 통로를 제공하는 토출부 그리고 상기 토출부 내측에서 상기 제1 챔버부의 건조용 공기를 어느 한 방향으로 분사할 수 있는 제1 토출 팁을 갖도록 형성되는 제1 토출 슬릿과, 상기 제2 챔버부의 건조용 공기를 상기 제1 토출 슬릿과 서로 다른 방향으로 분사할 수 있는 제2 토출 팁을 가지도록 상기 토출부 내측에 형성되는 제2 토출 슬릿을 포함하는 에어나이프 장치에 대하여 개시한다.
상기 선행기술은 에어나이프에서 분사되는 공기의 유동 경로의 형성 방법 또는 에어나이프의 설치에 따라 다른 장치와 관계에서 발생될 수 있는 간섭 회피 구조에 대하여 개시하지 않는다. 일반적으로 에어나이프는 선형 구조를 가질 수 있다. 그러나 집진 효율 또는 외부 장치의 구성 환경에 적절한 배치 구조가 고려될 필요가 있다. 에어나이프의 구조가 변경되는 경우 실제로 집진이 되지 않는 영역이 발생될 수 있고 이에 대한 적절한 수단이 요구된다.
본 발명은 새로운 구조를 가지면서 집진이 되지 않는 영역의 발생을 방지하는 에어나이프를 제공하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
선행문헌1: 한국특허등록번호 제10-0766522호 기판 건조용 에어나이프 장치, 2007년09월10일 공개 선행문헌2: 한국특허공개번호 제2008-0078046호 에어나이프 장치, 2010년08월08일 공개
본 발명이 목적은 환형 구조를 가지면서 별도로 분산 노즐을 설치하여 집진이 요구되는 모든 영역의 집진이 가능하도록 하는 집진 영역 확장 구조의 환형 에어나이프를 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 집진 영역 확장 구조의 환형 에어나이프는 중앙 부분에 형성된 집진 홀과 집진 홀을 둘러싸는 환형의 몸체로 이루어진 블레이드 모듈; 한쪽 끝이 블레이드 모듈과 연결되는 유입 통로 및 유입 통로의 한쪽 끝에 형성된 고정 유닛으로 이루어진 유도 모듈; 유도 모듈이 내부에 배치되는 하우징; 및 유입 통로에 배치되어 집진 홀의 내부로 유체의 분무가 가능한 노즐 어셈블리를 포함한다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 노즐 어셈블리는 집진이 되는 평면에 대하여 경사지도록 배치되면서 상기 블레이드 홀의 중앙 부분을 향하도록 배치된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 유입 통로의 아래쪽 끝 부분에 가이드 홀이 형성된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 블레이드 모듈은 몸체의 내부 면에 형성된 분무 블록을 포함하고, 상기 분무 블록은 적어도 하나의 단차 면을 가진다.
본 발명에 따른 에어나이프는 공기가 에어나이프의 면을 따라 흐르도록 유도하는 것에 의하여 미세 입자 제거 효과를 높일 수 있도록 한다는 이점을 가진다. 본 발명에 따른 에어나이프는 환형 구조로 인하여 레이저 마킹 장치 또는 반도체 장치와 같은 관련 장치의 배치 구조에 따라 다양한 위치에 설치되어 장치와 에어나이프 사이의 간섭이 방지되도록 한다. 또한 본 발명에 따른 에어나이프는 분산 노즐에 의하여 집진이 되지 않는 영역의 발생을 방지하는 것에 의하여 집진 효율이 높아지도록 한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 에어나이프의 실시 예에 대한 단면도 및 사시도를 각각 도시한 것이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 에어나이프에 적용되는 노즐 어셈블리의 실시 예에 대한 단면도 및 사시도를 각각 도시한 것이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 에어나이프에 적용되는 블레이드 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 에어나이프의 작동 과정의 실시 예를 각각 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 에어나이프의 실시 예에 대한 분해 구조 및 결합 구조를 각각 도시한 것이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 집진 영역 확장 구조의 환형 에어나이프(10)는 중앙 부분에 형성된 블레이드 홀(113)과 블레이드 홀(113)을 둘러싸는 환형의 몸체(111)로 이루어진 블레이드 모듈(11); 한쪽 끝이 블레이드 모듈(11)과 연결되는 유입 통로(141) 및 유입 통로(141)의 한쪽 끝에 형성된 고정 유닛(143)으로 이루어진 유도 모듈(14); 유도 모듈(14)이 내부에 배치되는 하우징(13); 및 유입 통로(141)에 배치되어 블레이드 홀(113)의 내부로 유체의 분무가 가능한 노즐 어셈블리(12)를 포함한다.
본 발명에 따른 에어나이프(10)는 공정 과정에서 발생되거나 발생되어 제품에 부착되거나 부유하는 미세 입자의 제거에 적용될 수 있다. 예를 들어 본 발명에 따른 에어나이프(10)는 레이저 마킹 과정에서 발생되는 미세 먼지를 가공 과정에서 제거하기 위하여 사용될 수 있다. 다양한 가공 공정에 본 발명에 따른 에어나이프(10)가 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 에어나이프(10)는 공기와 같은 유체를 분무시켜 위쪽으로 향하는 공기 흐름을 유도시키는 블레이드 모듈(11) 및 블레이드 모듈(11)에 의하여 발생된 압력 차이로 인하여 발생되는 이물질을 포함하는 공기의 흐름을 유도하는 유도 모듈(14)로 이루어질 수 있다. 추가로 본 발명에 따른 에어나이프(10)는 밀폐된 환형 구조로 인하여 집진이 되어야 할 영역이 넓은 경우 적용될 수 있는 노즐 어셈블리(12)를 포함할 수 있다. 환형은 고리, 도넛, 토러스 또는 링 형상을 포함하고, 단면이 원형, 타원형, 서로 다른 곡률 반지름은 가진 복합 원형 또는 이들이 혼합된 형상이 될 수 있다. 그리고 환형 에어나이프(10)는 노즐 어셈블리(12)의 형상을 의미하고, 노즐 어셈블리(12)가 결합되는 하우징(13) 또는 유도 블록(14)은 임의의 형상을 가질 수 있다. 그리고 환형 에어나이프(10)는 유체가 분사되는 갭(G)이 예를 들어 원형 또는 타원형과 같은 밀폐된 형상이 되는 노즐 어셈블리(11)를 가지는 집진 장치를 의미한다.
노즐 어셈블리(11)는 전체적으로 고리, 도넛, 토러스 또는 링과 같은 환형이 되는 몸체(111); 환형의 몸체(111)에 의하여 형성되는 블레이드 홀(113); 및 몸체(111)의 안쪽 측면에 형성되는 분무 블록(112)으로 이루어질 수 있다. 몸체(111)의 둘레 방향에 수직이 되는 방향의 단면은 전체적으로 사각형과 유사한 다각형이 될 수 있다. 몸체(111)의 외부 면에 노즐 어셈블리(12)로 압축 공기와 같은 유체의 주입을 위한 유입 유닛(15)이 결합될 수 있다. 유입 유닛(15)과 노즐 어셈블리(12)를 연결하는 적절한 유도 유닛이 하우징(13)의 내부에 배치될 수 있다. 그리고 유입 유닛(15)을 통하여 유입된 유체는 유도 유닛을 경유하여 노즐 어셈블리(12)를 통하여 블레이드 홀(113)의 내부로 분무될 수 있다.
블레이드 모듈(11)의 측면에 압축 공기와 같은 유체의 주입을 위한 유체 주입 유닛이 배치될 수 있다. 유체 주입 유닛을 통하여 주입된 유체는 몸체(111)의 내부에 형성된 유동 경로를 통하여 유도되어 몸체(111)와 커버 유닛(115) 사이에 형성된 배출 간극(G)을 통하여 집진 표면으로 분무되어 분무 블록(112)을 따라 유체 흐름을 형성할 수 있다. 이와 같은 유체 흐름에 의하여 집진 표면으로부터 이물질을 포함한 공기 흐름이 발생될 수 있다. 그리고 이와 같은 공기의 흐름은 유도 갭(18)을 경유하여 유입 통로(141)와 하우징(13)의 수용 몸체(131) 사이에 형성되는 유도 공간으로 유도되어 순환 파이프(16)을 통하여 또는 다른 배출 경로를 통하여 외부로 배출될 수 있다. 유체의 흐름에 따라 집진 표면의 일부의 공기는 유입 통로(141)를 따라 흐를 수 있다. 블레이드 모듈(11), 노즐 어셈블리(12) 또는 유도 모듈(13)의 배치 구조에 따라 다양한 유체 흐름이 형성될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
블레이드 모듈(11)은 체결 홀(H)에 결합되는 스크루와 같은 고정 수단에 의하여 하우징(13)의 한쪽 면에 결합될 수 있다.
하우징(13)은 내부가 비어 있고, 한쪽 면에 결합 홀(132)이 형성되고 그리고 다른 쪽 면이 개방된 박스 형상의 수용 몸체(131)를 포함할 수 있다. 수용 몸체(131)의 형상은 제한되지 않으며 결합 홀(132)은 유도 모듈(14)의 유입 통로(141) 또는 환형의 몸체(111)에 대응되는 크기를 가질 수 있다. 그리고 수용 몸체(131)의 내부에 유도 모듈(14)이 수용될 수 있다. 그리고 하우징(13)의 내부에 유도 모듈(14)이 결합되어 집진 후드가 형성될 수 있다. 구체적으로 블레이드 모듈(11)의 위쪽에 배치되는 하우징(13) 및 유도 모듈(14)은 집진 표면으로부터 집진된 이물질을 공기와 함께 포집하는 집진 후드를 형성하게 된다.
유도 모듈(14)은 원통 형상으로 한쪽 끝이 블레이드 모듈(11)의 블레이드 홀(113)에 연결되는 유입 통로(141), 유입 통로(141)의 측면에 배치되는 수용 블록(142) 그리고 유입 통로(141)의 다른 쪽 끝에 형성되어 하우징(13)을 밀폐시키는 고정 유닛(143)으로 이루어질 수 있다. 유입 통로(141)는 위에서 설명된 유도 갭(18)과 함께 블레이드 모듈(11)에 의하여 집진 평면으로부터 유입되는 이물질을 유도하는 기능을 가질 수 있다. 유도 통로(141)의 측면에 수용 블록(142)이 결합될 수 있고 유입 통로(141)의 아래쪽에 둘레 면을 따라 다수 개의 가이드 홀(19)이 형성될 수 있다. 가이드 홀(19)은 유입 통로(141)의 내부로 유입되는 공기를 유도 갭(18)을 통하여 유동 공간으로 유도하는 것과 같은 공기의 흐름을 증가시키기 위한 것으로 다양한 위치 또는 형상으로 만들어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
수용 블록(142)은 유입 통로(141)의 측면으로부터 바깥쪽으로 돌출되는 형상으로 만들어질 수 있고 노즐 어셈블리(12)가 수용되는 구조로 만들어질 수 있다. 이와 같이 수용 블록(142)이 유입 통로(141)의 바깥쪽으로 돌출되도록 배치하여 노즐 어셈블리(12)가 유입 통로(141)의 바깥쪽에 위치되도록 할 수 있다. 그리고 노즐 어셈블리(12)가 유입 통로(141)의 내부로 돌출되지 않도록 하면서 외부로 돌출되도록 하는 것에 의하여 유도 갭(18)을 통하여 유입되는 공기의 흐름이 집진에 유리하도록 만들어질 수 있다. 구체적으로 수용 블록(142)의 아래쪽은 경사진 형상으로 외부로 돌출되고, 이후 수직으로 평행하게 돌출되는 형상은 유도 갭(18)의 위쪽에 상대적으로 넓은 공간이 형성되도록 하고 이로 인하여 유도 갭(18)을 통하여 빠른 속도로 이물질을 포함하는 공기가 유입될 수 있도록 한다. 이와 동시에 유입 통로(141)의 내부의 공기 흐름이 원활하게 되도록 한다.
고정 유닛(143)은 판 형상이 될 수 있고 하우징(13)의 내부의 위쪽을 밀폐시키는 기능을 가질 수 있다. 고정 유닛(143)에 순환 파이프(16) 및 고정 브래킷(17)이 결합될 수 있다. 순환 파이프(16)는 유도 갭(18)을 통하여 유입된 공기를 배출시키거나, 하우징(13)과 유도 모듈(14)로 이루어진 집진 후드의 내부와 외부 사이를 환기시키는 기능을 가질 수 있다. 필요에 따라 하우징(13)의 내부에 설치되는 유닛에 대한 배선 유입 기능을 가질 수 있다. 이에 비하여 고정 브래킷(17)은 에어나이프(10)를 정해진 위치에 고정시키는 기능을 가질 수 있다.
다양한 구조를 가지는 순환 파이프(16) 또는 고정 브래킷(17)이 본 발명에 따른 에어나이프(10)에 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 노즐 어셈블리(12)는 유도 모듈(13)에 결합되는 체결 블록(122) 및 체결 블록(122)에 배치되는 노즐 유닛(121)으로 이루어질 수 있다. 노즐 어셈블리(12)는 위에서 설명된 것처럼, 체결 블록(122)의 내부에 수용되어 노즐 유닛(121)이 블레이드 모듈(11)로 향하도록 배치될 수 있다. 노즐 유닛(121)은 집진 평면 또는 블레이드 모듈(11)에 대하여 경사진 방향으로 유입 통로(141)의 내부로 향하도록 배치될 수 있다. 이와 같은 배치 구조에서 노즐 유닛(121)으로부터 분무되는 유체는 블레이드 홀(113)의 중앙 부분 근처로 향할 수 있다.
노즐 유닛(121)을 통하여 예를 들어 공기와 같은 유체가 분무될 수 있고 분무된 유체는 블레이드 블록(11)으로부터 분무되는 유체와 함께 유입 통로(141)의 내부를 경유하여 집진 표면으로 유도될 수 있다. 그리고 이로 인하여 집진 표면과 위쪽의 압력 차이로 인하여 집진 표면의 이물질이 제거될 수 있다. 노즐 유닛(121)은 이와 같이 블레이드 모듈(11)로부터 분무되는 유체에 의하여 집진이 되지 않는 영역의 집진을 위한 것이다. 이와 같이 집진이 되지 않는 영역은 어셈블리 모듈(11)이 환형 또는 링 형상이 되는 것에 기인하거나 집진 표면이 어셈블리 모듈(11)에 비하여 상대적으로 큰 것에 기인한다.
노즐 어셈블리(12)의 수는 특별히 제한되지 않으며 도 1a 및 도 1b에 도시된 것처럼, 한 쌍의 노즐 어셈블리(12)가 유입 통로(141)의 내부에 배치될 수 있지만 이는 예시적인 것으로 다양한 개수의 노즐 어셈블리(12)가 유도 블록(13)에 배치될 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 에어나이프에 적용되는 노즐 어셈블리의 실시 예에 대한 단면도 및 사시도를 각각 도시한 것이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 노즐 어셈블리(12)는 유도 모듈에 결합되는 체결 블록(122); 체결 블록(122)에 배치되는 노즐 유닛(121) 및 체결 블록(122)의 고정을 위한 블록 고정 유닛(123)으로 이루어질 수 있다.
체결 블록(122)은 체결 몸체(221), 체결 몸체(221)의 앞쪽에 형성되는 대응 곡면(223), 체결 몸체(221)의 아래쪽에 형성된 경사 배치 면(224) 및 체결 몸체(221)의 뒤쪽에 형성되는 체결 다리(222)로 이루어질 수 있다. 대응 곡면(223)은 유입 통로에 대응되는 곡면 형상이 될 수 있고, 경사 배치 면(224)에 노즐 결합 홀이 형성되어 노즐 유닛(121)이 경사진 형태로 고정될 수 있도록 한다. 그리고 체결 다리(222)에 다리 결합 홀이 형성되어 블록 고정 유닛(123)이 하우징의 내부에 고정될 수 있도록 한다.
블록 고정 유닛(123)은 체결 다리(222)의 양쪽에 결합되고 중앙을 따라 공기 유입 통로(235)가 형성되어 노즐 유닛(211)으로 공기를 유도할 수 있다. 필요에 따라 체결 다리(222)는 회전 가능하도록 만들어지고 이에 따라 체결 블록(122)이 회전 가능하도록 만들어질 수 있다. 이에 따라 노즐 유닛(121)의 경사가 조절될 수 있다.
노즐 유닛(121)은 노즐 결합 홀에 결합되는 노즐 어깨(212) 및 노즐(211)로 이루어질 수 있고 노즐(211)은 예를 들어 분무 방향으로 직경이 작아지는 뿔 형상이 될 수 있다. 다만 노즐(211)은 이 분야에 공지된 다양한 형상이 될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. 그리고 수용 블록(142)에 수용된 노즐 어셈블리는 유입 통로(141)에 대하여 경사진 방향으로 공기를 분무하여 유입 통로(141)의 중앙 부분으로 공기가 유도되도록 한다.
필요에 따라 체결 몸체(221)의 내부에 유체 유동 구조가 형성되고 유체는 블록 고정 유닛(123)에 형성된 공기 유입 통로(235)롤 통하여 체결 블록(122)의 내부로 유입될 수 있다. 블록 고정 유닛(123)은 결합 다리(222)의 양쪽에 결합될 수 있고, 블록 고정 유닛(123)은 노즐 어셈블리(12)를 하우징에 고정하면서 이와 동시에 유체를 노즐 유닛(121)으로 공급하는 기능을 가질 수 있다.
다양한 공기 공급 구조 및 고정 구조가 본 발명에 따른 노즐 어셈블리(12)에 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 에어나이프(10)에 다양한 구조를 가지는 링 형상의 블레이드 모듈이 적용될 수 있다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 에어나이프에 적용되는 블레이드 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 블레이드 모듈(11)은 예를 들어 압축 공기와 같은 유체가 유입되는 환형의 몸체(111); 몸체(111)에 결합되는 커버 유닛(115); 환형의 몸체 유닛(111)의 안쪽 면에 원형으로 형성되고 블레이드 홀(113)의 둘레 면을 형성하는 다수 개의 분무 블록(112)으로 이루어질 수 있다. 그리고 분무 블록(112)과 커버 유닛(115) 사이에 배출 간극(G)이 형성될 수 있다. 분무 블록(112)은 다수 개의 단차 면으로 이루어질 수 있고 몸체(111) 내부의 직경이 이물질의 포함하는 공기의 유입 방향에 따라 서로 다를 수 있다. 이와 같은 단차 면으로 인하여 유체의 흐름이 화살표(F2)의 방향으로 위쪽으로 균일하게 이루어지면 집진 표면과 몸체(111) 내부 면 사이에 압력 차이가 발생될 수 있다.
압축 공기와 같은 유체는 몸체(111)의 측면에 형성된 유입 통로(311)를 따라 유입되어 단차 면에 의하여 형성된 몸체(111)의 유동 공간을 경유하여 배출 간극(G)으로 배출될 수 있다. 그리고 압력 차에 의하여 집진 표면으로부터 분리된 이물질을 포함하는 공기는 블레이드 홀(113)의 내부로 화살표 방향(F1)으로 유입되어 블레이드 모듈(11)의 위쪽에 결합된 집진 후드로 화살표의 방향으로(F2)으로 배출될 수 있다. 예를 들어 위에서 설명된 유도 갭 또는 유입 통로를 통하여 배출될 수 있다.
블레이드 홀(113)의 둘레 면의 직경은 집진 후드의 방향으로 갈수록 커질 수 있고 이와 같은 구조는 압력 차이를 발생시켜 유체가 안정적으로 블레이드 모듈(11)로부터 집진 후드로 흐르도록 한다.
다양한 구조를 가지는 블레이드 모듈(11)이 본 발명에 따른 에어나이프에 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 에어나이프의 작동 과정의 실시 예를 각각 도시한 것이다.
도 4a를 참조하면, 배출 간극(G)으로 배출되는 유체는 유도 갭(18)을 통하여 화살표 방향(F51, F52)으로 빠른 공기 흐름을 발생시키면서 위쪽으로 상승되어 화살표 방향(F3)으로 흐름을 유도할 수 있다. 또한 노즐 어셈블리(12)로부터 화살표(F61, F62)의 방향으로 블레이드 모듈의 중앙 부분으로 유도된 공기는 화살표 방향(AF)으로 유입 통로(141) 내부의 공기 흐름을 유도하게 된다. 그리고 중앙 부분을 향하는 공기는 집진 표면에서 유도 갭(18)을 향하는 공기 흐름을 발생시키게 된다.
도 4b를 참조하면, 본 발명에 따른 에어나이프가 설치된 영역에서 집진 영역은 블레이드 영역(P11) 및 노즐 영역(P2)로 이루어질 수 있다. 블레이드 모듈로부터 분무되는 유체에 의하여 화살표(F41)로 표시된 것과 같은 유체의 흐름이 발생된다. 노즐 유닛으로부터 경사진 방향으로 화살표(F61)로 표시된 것과 같은 방향으로 노즐 영역(P2)으로 유체가 분사되고 이로 인하여 집진 표면에서 화살표(F41, F21)로 표시된 것과 같은 유체의 흐름이 발생된다. 그리고 집진 표면으로부터 분리된 이물질을 포함하는 공기는 화살표(F51)로 표시된 것과 같은 방향으로 흐르게 되고 화살표(F3)로 표시된 것과 같은 방향으로 집진 후드를 경유하여 순환 파이프(16)의 방향으로 구체적으로 집진 표면으로부터 유체의 흐름은 유도 갭(18)을 통하여 집진 후드로 흐르게 되고 가이드 홀(19)에 의하여 공기의 유동성이 증가하게 된다. 이와 같은 유체의 흐름으로 인하여 집진 표면의 영역의 크기의 관계없이 집진이 가능하게 된다.
본 발명에 따른 에어나이프는 다양한 방식으로 집진 영역을 확장시킬 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 에어나이프는 공기가 에어나이프의 면을 따라 흐르도록 유도하는 것에 의하여 미세 입자 제거 효과를 높일 수 있도록 한다는 이점을 가진다. 본 발명에 따른 에어나이프는 환형 구조로 인하여 레이저 마킹 장치 또는 반도체 장치와 같은 관련 장치의 배치 구조에 따라 다양한 위치에 설치되어 장치와 에어나이프 사이의 간섭이 방지되도록 한다. 또한 본 발명에 따른 에어나이프는 분산 노즐에 의하여 집진이 되지 않는 영역의 발생을 방지하는 것에 의하여 집진 효율이 높아지도록 한다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
10: 에어나이프 11: 블레이드 모듈
12: 노즐 어셈블리 13: 하우징
14: 유도 모듈 15: 유입 유닛
16: 순환 파이프 17: 고정 브래킷
18: 유도 갭
111: 몸체 112: 분무 블록
113: 블레이드 홀 115: 커버 유닛
119: 가이드 홀 121: 노즐 유닛
122: 체결 블록 123: 블록 고정 유닛
131: 수용 몸체 132: 결합 홀
141: 유입 통로 143: 고정 유닛
211: 노즐 212: 노즐 어깨
222: 체결 다리 311: 유입 통로

Claims (4)

  1. 중앙 부분에 형성된 블레이드 홀(113)과 블레이드 홀(113)을 둘러싸는 환형의 몸체(111)로 이루어진 블레이드 모듈(11);
    한쪽 끝이 블레이드 모듈(11)과 연결되는 유입 통로(141) 및 유입 통로(141)의 한쪽 끝에 형성된 고정 유닛(143)으로 이루어진 유도 모듈(14);
    유도 모듈(14)이 내부에 배치되는 하우징(13); 및
    유입 통로(141)에 배치되어 블레이드 홀(113)의 내부로 유체의 분무가 가능한 노즐 어셈블리(12)를 포함하는 집진 영역 확장 구조의 환형 에어나이프.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 노즐 어셈블리(12)는 집진이 되는 평면에 대하여 경사지도록 배치되면서 상기 블레이드 홀(113)의 중앙 부분을 향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 집진 영역 확장 구조의 환형 에어나이프.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 유입 통로(141)의 아래쪽 끝 부분에 가이드 홀(19)이 형성된 것을 특징으로 하는 집진 영역 확장 구조의 환형 에어나이프.
  4. 청구항 1에 있어서, 블레이드 모듈(11)은 몸체(111)의 내부 면에 형성된 분무 블록(112)을 포함하고, 상기 분무 블록(112)은 적어도 하나의 단차 면을 가지는 것을 특징으로 하는 집진 영역 확장 구조의 환형 에어나이프.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018034363A1 (ko) * 2016-08-18 2018-02-22 (주)엔티케이코퍼레이션 간섭 회피 구조의 집진 클리너
CN108213022A (zh) * 2018-01-17 2018-06-29 南开大学 一种烟气监测管路中光学窗口自动吹扫装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11121435A (ja) * 1997-10-08 1999-04-30 Fujitsu Ltd 基板処理装置及び基板処理方法
KR100766522B1 (ko) 2006-08-23 2007-10-12 채찬복 가변 전달축을 이용한 동력전달장치
JP2007300129A (ja) * 2001-11-12 2007-11-15 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置
JP2008174246A (ja) * 2007-01-16 2008-07-31 Shintaku Kogyo Kk 容器の水滴除去装置及び水滴除去装置用のリング状エアノズル
KR20080078046A (ko) 2005-12-20 2008-08-26 하.체. 스타르크 게엠베하 금속 붕화물
JP2013501373A (ja) * 2009-08-03 2013-01-10 ブイ エル システム カンパニー リミテッド 集塵機能付きファンモジュール及びこれに用いる集塵装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11121435A (ja) * 1997-10-08 1999-04-30 Fujitsu Ltd 基板処理装置及び基板処理方法
JP2007300129A (ja) * 2001-11-12 2007-11-15 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置
KR20080078046A (ko) 2005-12-20 2008-08-26 하.체. 스타르크 게엠베하 금속 붕화물
KR100766522B1 (ko) 2006-08-23 2007-10-12 채찬복 가변 전달축을 이용한 동력전달장치
JP2008174246A (ja) * 2007-01-16 2008-07-31 Shintaku Kogyo Kk 容器の水滴除去装置及び水滴除去装置用のリング状エアノズル
JP2013501373A (ja) * 2009-08-03 2013-01-10 ブイ エル システム カンパニー リミテッド 集塵機能付きファンモジュール及びこれに用いる集塵装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018034363A1 (ko) * 2016-08-18 2018-02-22 (주)엔티케이코퍼레이션 간섭 회피 구조의 집진 클리너
CN109414737A (zh) * 2016-08-18 2019-03-01 Ntk股份有限公司 抗干扰构造集尘系统
CN108213022A (zh) * 2018-01-17 2018-06-29 南开大学 一种烟气监测管路中光学窗口自动吹扫装置

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