KR20160031300A - 샘플 홀더 - Google Patents

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KR20160031300A
KR20160031300A KR1020140121196A KR20140121196A KR20160031300A KR 20160031300 A KR20160031300 A KR 20160031300A KR 1020140121196 A KR1020140121196 A KR 1020140121196A KR 20140121196 A KR20140121196 A KR 20140121196A KR 20160031300 A KR20160031300 A KR 20160031300A
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KR
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fastening
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KR1020140121196A
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김상우
나수민
김소영
Original Assignee
주식회사 엘지화학
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/36—Embedding or analogous mounting of samples
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence

Abstract

본 발명은 샘플 홀더에 관한 것으로, 본 발명이 일 측면에 따르면, 내부에 배치되는 시료의 측정면의 일부 영역을 외부로 노출시키기 위한 개구부를 가지는 본체; 시료의 측정면과 반대방향의 면을 접촉 지지하도록 본체 내부에 위치하는 지지부재; 및 지지부재를 본체에 고정시키기 위하여, 본체 내부에서 외부를 향하는 방향으로 삽입되는 하나 이상의 체결부재를 포함하는 샘플 홀더가 제공된다.

Description

샘플 홀더{Sample holder}
본 발명은 샘플 홀더에 관한 것으로, 보다 구체적으로, XRF 측정을 위하여 시료를 평평하게 고정시킬 수 있는 샘플 홀더에 관한 것이다.
고분자 필름을 XRF 성분 분석기로 측정할 경우, 샘플 홀더에 상기 고분자 필름을 고정시킨다.
여기서 고분자 필름의 분석 측정면을 평평하게 유지하는 것이 중요하다. 한편 고분자 필름의 두께가 얇은 경우(예를 들어, 수백㎛), 상기 고분자 필름이 강한 힘으로 동그랗게 말리는 현상이 발생하며, 이에 따라 샘플 홀더에 고분자 필름의 측정면을 평평하게 유지하기 어려운 문제가 발생한다.
종래 접착 테이프를 이용하여 고분자 필름을 샘플 홀더에 고정시켰으나, 접착 테이프로는 고분자 필름의 분석 측정면을 평평하게 유지하기 어려운 문제가 발생한다.
그러나 시료의 XRF 분석은 시료 표면의 평평함과 관련이 있으며, 시료가 평평하게 유지되지 않을 경우 시료에 입사되는 XRF의 산란도가 커지며, 이에 따라 정확한 분석이 어려운 문제가 발생한다.
또한, 시료의 두께가 달라짐에 따라 샘플 홀더의 높이를 기준으로 시료의 측정면의 높이가 달라지는 문제가 발생한다.
본 발명은 XRF 성분분석을 위한 시료를 평평하게 고정시킬 수 있는 샘플 홀더를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.
또한, 본 발명은 시료의 두께에 관계없이 시료의 측정면의 높이를 일정하게 유지시킬 수 있는 샘플 홀더를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.
상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 배치되는 시료의 측정면을 외부로 노출시키기 위한 개구부를 가지는 본체와 시료의 측정면과 반대방향의 면을 접촉 지지하도록 본체 내부에 위치하는 지지부재 및 지지부재를 본체에 고정시키기 위하여, 본체 내부에서 외부를 향하는 방향으로 삽입되는 하나 이상의 체결부재를 포함하는 샘플 홀더가 제공된다.
또한, 지지부재는 시료의 둘레 영역을 지지하도록 본체의 개구부와 대응하는 위치에 마련된 관통홀을 가질 수 있다.
또한, 본체에는 개구부를 중심으로 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성된 복수 개의 제1 체결홀이 마련되고, 지지부재에는 관통홀을 중심으로 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성된 복수 개의 제1 삽입홀이 마련되며, 체결부재는 본체 내부에서 제1 삽입홀을 통과하고 제1 체결홀에 나선 결합되도록 마련될 수 있다.
또한, 개구부의 중심과 제1 체결부 사이의 간격은 관통홀의 중심과 제1 삽입홀 사이의 간격과 동일하게 형성될 수 있다.
또한, 관통홀은 개구부의 직경 이상의 직경을 갖도록 마련될 수 있다.
또한, 본체의 외주면에는 본체를 이송시키기 위한 지그와 맞물리기 위한 지그 홈이 마련될 수 있다.
또한, 본체의 외주면에는 하나 이상의 배기홀이 마련될 수 있다.
또한, 본체는 지지부재를 내부에 삽입시키기 위하여 복수 개의 부재로 분리 가능하게 마련될 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 시료의 XRF측정을 위한 샘플 홀더에 있어서, 베이스 부재 및 베이스 부재에 탈착 가능하게 장착되고, 시료의 측정면을 외부로 노출시키기 위한 개구부를 갖는 커버 부재를 포함하는 본체와 시료의 측정면과 반대방향의 면을 접촉 지지하도록 본체 내부에 위치하는 지지부재 및 지지부재를 커버 부재에 고정시키기 위하여, 본체 내부에서 외부를 향하는 방향으로 삽입되는 복수 개의 체결부재를 포함하는 샘플 홀더가 제공된다.
또한, 커버 부재는 개구부가 마련된고 링 형상을 가지는 플레이트와 플레이트부터 베이스 부재를 향하여 연장된 중공의 실린더부를 포함할 수 있다.
또한, 지지부재는 실린더부와 플레이트로 이루어진 공간에 삽입된 상태에서 플레이트에 체결될 수 있다.
또한, 실린더부에는 제1 나선부가 마련되고, 베이스 부재에는 제1 나선부와 나선 결합되는 제2 나선부가 마련될 수 있다.
또한, 실린더부는 커버 부재와 베이스 부재가 나선 결합된 상태에서 베이스 부재와 플레이트가 소정 간격만큼 떨어지도록 마련될 수 있다.
또한, 베이스 부재와 플레이트의 간격은 지지부재의 두께와 시료의 두께의 합보다 크게 결정될 수 있다.
또한, 시료가 안착되는 플레이트의 내주면은 평면으로 형성될 수 있다.
또한, 플레이트는 개구부의 반경방향을 따라 개구부에서 멀어질수록 두께가 증가하도록 마련된 영역을 포함할 수 있다.
또한, 베이스 부재에는 진공 시 본체 내부의 공기가 배출되기 위한 하나 이상의 배기홀이 마련될 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 시료의 XRF측정을 위한 샘플 홀더에 있어서, 시료의 측정면을 외부로 노출시키기 위한 개구부를 갖는 본체; 및 시료의 측정면과 반대방향의 면을 접촉 지지하도록 본체 내부에 위치하는 지지부재를 포함하고, 시료는 본체의 내주면과 지지부재 사이에 배치되며, 시료의 두께에 따라 본체의 내주면과 지지부재 사이의 간격은 달라지고, 시료의 두께가 달라지는 경우에도 본체의 높이를 기준으로 본체에 배치된 시료의 측정면의 높이는 일정하게 유지되는 샘플 홀더가 제공된다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 적어도 하나의 실시예와 관련된 샘플 홀더는 다음과 같은 효과를 갖는다.
시료의 양면을 각각 접촉 지지함으로써 XRF 분석 측정을 위한 시료를 평평하게 고정시킬 수 있다. 특히, 수백 ㎛의 두께를 갖는 고분자 필름 시료를 평평하게 고정시킬 수 있다. 또한, 시료를 지지하기 위한 금속 플레이트를 강한 힘으로 고정시킬 수 있다.
시료가 샘플 홀더의 내부에 배치되고 시료를 고정시키기 위한 지지부재가 샘플 홀더의 내부에 배치됨으로써, 시료의 두께에 관계없이 시료의 측정면의 높이를 일정하게 유지시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 샘플 홀더의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 샘플 홀더의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 샘플 홀더를 구성하는 커버부재의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예와 관련된 샘플 홀더를 구성하는 지지부재의 사시도이다.
도 5는 도 1에 도시된 샘플 홀더의 분리 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 샘플 홀더의 결합 단면도이다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플 홀더를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.
또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 샘플 홀더의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 샘플 홀더의 측면도이다.
또한, 도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 샘플 홀더를 구성하는 커버부재의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예와 관련된 샘플 홀더를 구성하는 지지부재의 사시도이다.
또한, 도 5는 도 1에 도시된 샘플 홀더의 분리 단면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 샘플 홀더의 결합 단면도이다.
본 발명의 일 실시예와 관련된 샘플 홀더(100)는 시료의 XRF 측정을 위한 샘플 홀더일 수 있다.
상기 샘플 홀더(100)는 본체(110)와 지지부재(140)를 포함한다. 또한, 샘플 홀더(100)는 지지부재(140)를 본체(110)에 체결시키기 위한 하나 이상의 체결부재(150)를 포함한다.
본체(110)는 내부에 배치되는 시료(S1 또는 S2)의 측정면을 외부로 노출시키기 위한 개구부(121)를 갖는다. 상기 개구부(121)는 실질적으로 원형으로 형성될 수 있다.
상기 지지부재(140)는 시료의 측정면과 반대방향의 면을 접촉 지지하도록 본체(110) 내부에 위치한다. 상기 지지부재(140)는 금속 재질로 형성된 플레이트일 수 있다. 또한, 지지부재(140)는 시료의 둘레 영역을 지지하도록 본체(110)의 개구부(121)와 대응하는 위치에 마련된 관통홀(141)을 가질 수 있다. 예를 들어, 지지부재(140)는 중앙부에 관통홀(141)이 형성된 링 형상을 가질 수 있다. 또한, 시료와 접촉하는 지지부재(140)의 지지면은 평면으로 형성되는 바람직하다. 또한, 지지부재(140)는 관통홀(141)의 중심과 개구부(121)의 중심이 동축 상에 높이도록 본체(110) 내부에 배치될 수 있다.
상기 체결부재(150)는 지지부재(140)를 본체(110)에 고정시키기 위하여, 본체(110) 내부에서 외부를 향하는 방향으로 삽입된다. 구체적으로, 시료를 평평하게 고정하기 위한 체결부재(150)와 지지부재(140)가 본체(110) 내부에 마련됨으로써, 시료의 평평한 고정 구조는 본체(110) 내부에 위치하고, XRF 측정을 위해 시료의 측정면은 본체(110)의 개구부(121)를 통해 외부로 노출된다. 또한, 시료의 양면이 각각 본체(110)의 내주면과 지지부재(140)의 일면에 의하여 지지 및 고정됨에 따라 평평한 상태를 유지할 수 있다.
구체적으로, 시료(S1 또는 S2)는 본체(110)의 내주면과 지지부재(140) 사이에 배치된다. 여기서 시료의 두께에 따라 본체(110)의 내주면과 지지부재(140) 사이의 간격은 달라진다. 예를 들어, 시료의 두께가 두꺼워짐에 따라 본체(110)의 내주면과 지지부재(140) 사이의 간격을 증가할 수 있다. 그러나 시료의 두께가 달라지는 경우에도 본체(110)의 높이(H)를 기준으로 본체(110)에 배치된 시료의 측정면의 높이는 일정하게 유지된다.
도 3을 참조하면, 본체(110)에는 개구부(121)를 중심으로 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성된 복수 개의 제1 체결홀(126)이 마련될 수 있다. 또한, 복수 개의 제1 체결홀(126)은 동일한 간격을 두고 형성될 수 있다. 또한, 도 4를 참조하면, 지지부재(140)에는 관통홀(141)을 중심으로 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성된 복수 개의 제1 삽입홀(142)이 마련될 수 있다. 또한, 복수 개의 제1 삽입홀(142)은 동일한 간격을 두고 형성될 수 있다. 여기서 도 5를 참조하면, 체결부재(150)는 본체(110) 내부에서 제1 삽입홀(142)을 통과하고 제1 체결홀(126)에 나선 결합되도록 마련될 수 있다. 특히, 제1 삽입홀(142)의 내주면에는 나선부가 마련되지 않고, 제1 체결홀(126)의 내주면에는 나선부가 마련될 수 있다.
따라서, 시료의 일면을 지지하도록 지지부재(140)가 본체(110)에 마련된 상태에서, 체결부재(150)는 제1 삽입홀(142)을 통과하고 제1 체결홀(126)에서 나선 결합될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 제1 삽입홀(142)과 제1 체결홀(126) 모두에 각각 나선부가 형성될 수도 있다. 한편, 상기 체결부재(150)는 육각 볼트일 수 있다.
또한, 조립의 편의를 위하여, 개구부(121)의 중심과 제1 체결부(126) 사이의 간격은 관통홀(141)의 중심과 제1 삽입홀(142) 사이의 간격과 동일하게 형성될 수 있다.
한편, 관통홀(141)은 개구부(121)의 직경 이상의 직경을 갖도록 마련될 수 있다. 따라서, 시료의 측정면과 본체가 접촉하는 제1 접촉면의 단면적은 시료의 측정면의 반대방향의 면과 지지부재가 접촉하는 제2 접촉면의 단면적은 다를 수 있고, 예를 들어, 시료의 제1 접촉면의 단면적이 시료의 제2 접촉면의 단면적보다 클 수 있다.
또한, 본체(110)의 외주면에는 본체(110)를 이송시키기 위한 지그와 맞물리기 위한 지그 홈(122)이 마련될 수 있다. 전술한 XRF 분석은 진공 챔버에 수행되며, 이를 위하여, 시료가 고정된 본체(110)는 로봇의 암과 같은 지그에 장착되어 진공 챔버로 이송된다.
또한, 본체(110)는 지지부재(140)를 내부에 삽입시키기 위하여 복수 개의 부재로 분리 가능하게 마련될 수 있다. 상기 복수 개의 부재(120, 130)는 결합 상태에서 지지부재(140)와 시료(S1 또는 S2)가 각각 배치될 수 있는 공간부를 형성할 수 있다.
구체적으로, 상기 본체(110)는 베이스 부재(130) 및 베이스 부재(130)에 탈착 가능하게 장착되고, 시료의 측정면을 외부로 노출시키기 위한 개구부(121)를 갖는 커버 부재(120)를 포함한다.
전술한 체결부재(150)는 지지부재(140)를 커버 부재(120)에 고정시키기 위하여, 본체(110) 내부에서 외부를 향하는 방향으로 삽입된다.
커버 부재(120)는 개구부(121)가 마련된고 링 형상을 가지는 플레이트(123)와 플레이트(123)부터 베이스 부재(130)를 향하여 연장된 중공의 실린더부(124)를 포함할 수 있다.
또한, 베이스 부재(130)는 XRF 측정 시 진공 챔버의 바닥면에 안착되는 부재를 의미하며, 다양한 형상을 가질 수 있고, 일 실시예로 실린더 형상을 가질 수 있다. 또한, 베이스 부재(130)에는 진공 시 본체 내부의 공기가 배출되기 위한 하나 이상의 배기홀(134)이 마련될 수 있다. 또한, 복수 개의 배기홀(134)이 베이스 부재(130)의 원주방향을 따라 일정한 간격을 두고 형성될 수 있다. 또한, 상기 베이스 부재(130)는 높이방향으로 양 측이 모두 개방된 공간부를 갖는 몸체부(133)와 상기 몸체부(133)의 일 종단부에 안착되는 커버부(132)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 커버부(132)는 본체(120)의 바닥면을 형성할 수 있다. 또한, 상기 커버부(132)는 몸체부(133) 내부에 움직임 가능하게 안착되도록 배치되며, 따라서 본체(120)의 바닥면은 전술한 진공을 위해 완전히 밀폐된 구조가 아닐 수 있다.
한편, 상기 지지부재(140)는 실린더부(124)와 플레이트(123)로 이루어진 공간에 삽입된 상태에서 체결부재(150)를 통해 플레이트(123)에 체결된다. 이와 같이, 커버 부재(120) 단독으로 지지부재(140)와 시료의 배치 공간을 제공할 수도 있다.
이를 위하여, 커버부재(120)의 플레이트(123)에는 개구부(121)를 중심으로 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성된 복수 개의 제1 체결홀(126)이 마련될 수 있다. 또한, 지지부재(140)에는 관통홀(141)을 중심으로 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성된 복수 개의 제1 삽입홀(142)이 마련될 수 있다.
또한, 실린더부(124)에는 제1 나선부(125)가 마련되고, 베이스 부재(130)에는 제1 나선부(125)와 나선 결합되는 제2 나선부(131)가 마련될 수 있다. 일 실시태양으로, 실린더부(124)의 내주면(124a)에 제1 나선부(125)가 마련되고, 베이스 부재(130)의 외주면에 제2 나선부(131)가 마련될 수 있다. 또한, 베이스 부재(130)와 커버 부재(120)는 본체(110)의 높이방향을 따라 일부 영역이 중첩되도록 장착될 수 있다.
또한, 시료가 안착되는 플레이트(123)의 내주면(123a)은 평면으로 형성되고, 플레이트(123)는 개구부(121)의 반경방향을 따라 개구부(123)에서 멀어질수록 두께가 증가하도록 마련된 영역(127)을 포함할 수 있다. 이러한 두께 차이에 의한 가압 구조를 통해, 개구부(121)를 통해 노출되는 시료의 측정영역은 더욱 평평한 상태로 유지될 수 있다. 또한, 플레이트(123)는 개구부(121)의 반경방향을 따라 개구부(123)에서 멀어질수록 두께가 증가하다가 감소한 후 일정한 두께를 유지하도록 구성될 수 있다.
또한, 실린더부(124)의 외주면에는 본체(110)를 이송시키기 위한 지그와 맞물리기 위한 지그 홈(122)이 마련될 수 있다.
도 6을 참조하면, 실린더부(124)는 커버 부재(120)와 베이스 부재(130)가 나선 결합된 상태에서 베이스 부재(130)와 플레이트(123)가 소정 간격만큼 떨어지도록 마련될 수 있다. 예를 들어, 실린더부(124)의 내주면(124a)에는 본체(110)의 높이방향을 따라 일부 영역에만 제1 나선부(125)가 마련될 수 있다. 또한, 제2 나선부(131)의 높이는 실린더부(124)의 높이보다 작게 형성된다. 이와 같은 구조에 따르면, 커버 부재(120)와 베이스 부재(130)가 나선 결합된 상태에서 베이스 부재(130)와 플레이트(123)가 소정 간격만큼 떨어지도록 마련될 수 있다.
여기서 베이스 부재(130)와 플레이트(123)의 간격은 지지부재(140)의 두께와 시료(S1 또는 S2)의 두께의 합보다 크게 결정될 수 있다.
시료는 커버부재(120)의 플레이트(123)의 내주면(123a)과 지지부재(140) 사이에 배치된다. 이때, 시료(S1 또는 S2)의 두께에 따라 플레이트(123)의 내주면(123a)과 지지부재(140) 사이의 간격은 달라진다. 그러나, 시료(S1 또는 S2)의 두께가 달라지는 경우에도 본체(110)의 높이(H)를 기준으로 본체(110)에 배치된 시료(S1 또는 S2)의 측정면의 높이는 일정하게 유지된다.
위에서 설명된 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
100: 샘플 홀더
110: 본체
120: 커버 부재
130: 베이스 부재
140: 지지부재
150: 체결부재

Claims (17)

  1. 내부에 배치되는 시료의 측정면을 외부로 노출시키기 위한 개구부를 가지는 본체;
    시료의 측정면과 반대방향의 면을 접촉 지지하도록 본체 내부에 위치하는 지지부재; 및
    지지부재를 본체에 고정시키기 위하여, 본체 내부에서 외부를 향하는 방향으로 삽입되는 하나 이상의 체결부재를 포함하는 샘플 홀더.
  2. 제 1 항에 있어서,
    지지부재는 시료의 둘레 영역을 지지하도록 본체의 개구부와 대응하는 위치에 마련된 관통홀을 갖는 것을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  3. 제 2 항에 있어서,
    본체에는 개구부를 중심으로 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성된 복수 개의 제1 체결홀이 마련되고,
    지지부재에는 관통홀을 중심으로 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성된 복수 개의 제1 삽입홀이 마련되며,
    체결부재는 본체 내부에서 제1 삽입홀을 통과하고 제1 체결홀에 나선 결합되도록 마련됨을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  4. 제 3 항에 있어서,
    개구부의 중심과 제1 체결부 사이의 간격은 관통홀의 중심과 제1 삽입홀 사이의 간격과 동일하게 형성됨을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  5. 제 1 항에 있어서,
    관통홀은 개구부의 직경 이상의 직경을 갖도록 마련됨을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  6. 제 1 항에 있어서,
    본체의 외주면에는 본체를 이송시키기 위한 지그와 맞물리기 위한 지그 홈이 마련됨을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  7. 제 1 항에 있어서,
    본체는 지지부재를 내부에 삽입시키기 위하여 복수 개의 부재로 분리 가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  8. 시료의 XRF측정을 위한 샘플 홀더에 있어서,
    베이스 부재 및 베이스 부재에 탈착 가능하게 장착되고, 시료의 측정면을 외부로 노출시키기 위한 개구부를 갖는 커버 부재를 포함하는 본체;
    시료의 측정면과 반대방향의 면을 접촉 지지하도록 본체 내부에 위치하는 지지부재; 및
    지지부재를 커버 부재에 고정시키기 위하여, 본체 내부에서 외부를 향하는 방향으로 삽입되는 복수 개의 체결부재를 포함하는 샘플 홀더.
  9. 제 8 항에 있어서,
    커버 부재는 개구부가 마련된고 링 형상을 가지는 플레이트와 플레이트부터 베이스 부재를 향하여 연장된 중공의 실린더부를 포함하며,
    지지부재는 실린더부와 플레이트로 이루어진 공간에 삽입된 상태에서 플레이트에 체결됨을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  10. 제 9 항에 있어서,
    실린더부에는 제1 나선부가 마련되고,
    베이스 부재에는 제1 나선부와 나선 결합되는 제2 나선부가 마련됨을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  11. 제 10 항에 있어서,
    실린더부는 커버 부재와 베이스 부재가 나선 결합된 상태에서 베이스 부재와 플레이트가 소정 간격만큼 떨어지도록 마련됨을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  12. 제 11 항에 있어서,
    베이스 부재와 플레이트의 간격은 지지부재의 두께와 시료의 두께의 합보다 크게 결정됨을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  13. 제 9 항에 있어서,
    커버부재에는 개구부를 중심으로 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성된 복수 개의 제1 체결홀이 마련되고,
    지지부재에는 관통홀을 중심으로 원주 방향을 따라 간격을 두고 형성된 복수 개의 제1 삽입홀이 마련되며,
    각각의 체결부재는 본체 내부에서 제1 삽입홀을 통과하고 제1 체결홀에 나선 결합되도록 마련됨을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  14. 제 9 항에 있어서,
    시료가 안착되는 플레이트의 내주면은 평면으로 형성되고,
    플레이트는 개구부의 반경방향을 따라 개구부에서 멀어질수록 두께가 증가하도록 마련된 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  15. 제 10 항에 있어서,
    실린더부의 외주면에는 본체를 이송시키기 위한 지그와 맞물리기 위한 지그 홈이 마련됨을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  16. 제 8 항에 있어서,
    베이스 부재에는 진공 시 본체 내부의 공기가 배출되기 위한 하나 이상의 배기홀이 마련됨을 특징으로 하는 샘플 홀더.
  17. 시료의 XRF측정을 위한 샘플 홀더에 있어서,
    시료의 측정면을 외부로 노출시키기 위한 개구부를 갖는 본체; 및
    시료의 측정면과 반대방향의 면을 접촉 지지하도록 본체 내부에 위치하는 지지부재를 포함하고,
    시료는 본체의 내주면과 지지부재 사이에 배치되며,
    시료의 두께에 따라 본체의 내주면과 지지부재 사이의 간격은 달라지고, 시료의 두께가 달라지는 경우에도 본체의 높이를 기준으로 본체에 배치된 시료의 측정면의 높이는 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 샘플 홀더.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20200132417A (ko) * 2019-05-17 2020-11-25 주식회사 제이엔옵틱 시료 고정 장치 및 시료의 재치 방법
TWI738229B (zh) * 2020-02-27 2021-09-01 游雪莉 載物台

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