KR20160007420A

KR20160007420A - Industrial robot

Info

Publication number: KR20160007420A
Application number: KR1020150097794A
Authority: KR
Inventors: 겐이치로 가네코; 다카히로 시라키
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2014-07-10
Filing date: 2015-07-09
Publication date: 2016-01-20
Also published as: TW201607709A; JP6606319B2; TWI641459B; CN105313113B; KR102339973B1; JP2016016498A; CN105313113A

Abstract

The present invention relates to an industrial robot including a common arm connected with a base end part of two arms. An industrial robot is capable of easily and individually controlling an inclination of an arm in a horizontal direction and an inclination of the other arm in a horizontal direction after the assembly of the industrial robot. The industrial robot (1) includes hands (4,5); an arm (6) of which front end is connected with the hand (4); an arm (7) of which front end is connected with the hand (5); a common arm (8) connected with a base end part of the arms (6,7) to be rotatable; and a body part (9) connected with the common arm (8) to be rotatable. The common arm (8) includes: a base part (20) connected with the body part (9); a first arm connecting part (21) connected with the base end part of the arm (6); and a second arm connecting part (22) connected with a base end part of the arm (7). The first arm connecting part (21) and the second arm connecting part (22), separated from a base part (20), are fixed to the base part (20) to be detachable.

Description

INDUSTRIAL ROBOT

본 발명은 2개의 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암을 구비하는 산업용 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot having a common arm to which a proximal end side of two arms is rotatably connected.

종래, 반도체 웨이퍼를 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 반도체 웨이퍼가 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 아암과, 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 아암과, 제1 아암의 기단부측 및 제2 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암과, 공통 아암이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 또한, 이 산업용 로봇은, 제1 아암에 대하여 제1 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제1 아암을 회동시키는 제1 회동 기구와, 제2 아암에 대하여 제2 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제2 아암을 회동시키는 제2 회동 기구를 구비하고 있다.Conventionally, an industrial robot for transporting a semiconductor wafer is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot disclosed in Patent Document 1 has a first hand and a second hand on which a semiconductor wafer is mounted, a first arm in which a first hand is rotatably connected to a distal end side, and a second arm in which a second hand is rotatably A common arm rotatably connected to the proximal end side of the first arm and the proximal end side of the second arm, and a main body portion to which the common arm is rotatably connected. The industrial robot includes a first rotating mechanism for rotating the first arm with respect to the first arm and rotating the first arm with respect to the common arm and a second rotating mechanism for rotating the second arm with respect to the common arm And a second turning mechanism for rotating the second arm with respect to the arm.

제1 회동 기구는, 본체부의 일부를 구성하는 중실 회전축과, 중실 회전축을 회동시키는 모터와, 공통 아암의 내부에 배치되고 중실 회전축의 상단부측에 고정되는 제1 풀리와, 공통 아암에 고정되는 제1 고정축과, 제1 고정축에 회동 가능하게 보유 지지됨과 함께 공통 아암의 내부에 배치되고 제1 아암의 기단부측에 고정되는 제2 풀리와, 제1 풀리와 제2 풀리에 걸쳐지는 벨트와, 제1 고정축의 상단부측에 고정되고 제1 아암의 내부에 배치되는 제3 풀리와, 제1 아암의 선단측에 고정되는 제2 고정축과, 제2 고정축에 회동 가능하게 보유 지지됨과 함께 제1 아암의 내부에 배치되고 제1 핸드에 고정되는 제4 풀리와, 제3 풀리와 제4 풀리에 걸쳐지는 벨트를 구비하고 있다.The first rotating mechanism includes a solid rotating shaft constituting a part of the main body portion, a motor rotating the solid rotating shaft, a first pulley arranged inside the common arm and fixed to the upper end side of the solid rotating shaft, A second pulley rotatably held on the first fixed shaft and disposed inside the common arm and fixed to the proximal end side of the first arm; a belt wound around the first pulley and the second pulley; A third pulley fixed to the upper end side of the first fixed shaft and disposed inside the first arm, a second fixed shaft fixed to the front end side of the first arm, A fourth pulley disposed inside the first arm and fixed to the first hand, and a belt wound around the third pulley and the fourth pulley.

마찬가지로, 제2 회동 기구는, 본체부의 일부를 구성하는 중공 회전축과, 중공 회전축을 회동시키는 모터와, 공통 아암의 내부에 배치되고 중공 회전축의 상단부측에 고정되는 제5 풀리와, 공통 아암에 고정되는 제3 고정축과, 제3 고정축에 회동 가능하게 보유 지지됨과 함께 공통 아암의 내부에 배치되고 제2 아암의 기단부측에 고정되는 제6 풀리와, 제5 풀리와 제6 풀리에 걸쳐지는 벨트와, 제2 고정축의 상단부측에 고정되고 제2 아암의 내부에 배치되는 제7 풀리와, 제2 아암의 선단측에 고정되는 제4 고정축과, 제4 고정축에 회동 가능하게 보유 지지됨과 함께 제2 아암의 내부에 배치되고 제2 핸드에 고정되는 제8 풀리와, 제7 풀리와 제8 풀리에 걸쳐지는 벨트를 구비하고 있다.Likewise, the second turning mechanism includes a hollow rotating shaft constituting a part of the main body, a motor rotating the hollow rotating shaft, a fifth pulley arranged inside the common arm and fixed to the upper end side of the hollow rotating shaft, A sixth pulley rotatably held on the third fixed shaft and disposed inside the common arm and fixed to the proximal end side of the second arm, and a third pulley fixed on the fifth pulley and the sixth pulley, A seventh pulley fixed to the upper end side of the second fixed shaft and disposed inside the second arm, a fourth fixed shaft fixed to the distal end side of the second arm, An eighth pulley disposed inside the second arm and fixed to the second hand, and a belt wound around the seventh pulley and the eighth pulley.

국제 공개 제2009/028178호International Publication No. 2009/028178

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 제1 아암의 기단부측에 고정되는 제2 풀리가, 공통 아암에 고정되는 제1 고정축에 회동 가능하게 보유 지지되어 있기 때문에, 산업용 로봇의 조립 후에, 수평 방향에 대한 공통 아암의 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기를 조정하는 것이 가능하다. 또한, 이 산업용 로봇에서는, 제2 아암의 기단부측에 고정되는 제6 풀리가, 공통 아암에 고정되는 제3 고정축에 회전 가능하게 보유 지지되어 있기 때문에, 산업용 로봇의 조립 후에, 수평 방향에 대한 공통 아암의 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 조정하는 것이 가능하다.In the industrial robot disclosed in Patent Document 1, since the second pulley fixed to the proximal end side of the first arm is rotatably held on the first fixed shaft fixed to the common arm, after the assembling of the industrial robot, It is possible to adjust the inclination of the first arm with respect to the horizontal direction by adjusting the inclination of the common arm with respect to the horizontal direction. In addition, in this industrial robot, since the sixth pulley fixed to the base end side of the second arm is rotatably held on the third fixed shaft fixed to the common arm, after the assembly of the industrial robot, By adjusting the tilt of the common arm, it is possible to adjust the tilt of the second arm with respect to the horizontal direction.

그러나, 이 산업용 로봇에서는, 제1 고정축 및 제3 고정축이 공통 아암에 고정되어 있기 때문에, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기를 조정하면, 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기가 바뀌고, 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 조정하면, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기가 바뀐다. 즉, 이 산업용 로봇에서는, 산업용 로봇의 조립 후에, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기와 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 개별로 조정하는 것은 곤란하다.However, in this industrial robot, since the first fixed shaft and the third fixed shaft are fixed to the common arm, if the inclination of the first arm with respect to the horizontal direction is adjusted, the inclination of the second arm with respect to the horizontal direction is changed, By adjusting the inclination of the second arm with respect to the horizontal direction, the inclination of the first arm with respect to the horizontal direction is changed. That is, in this industrial robot, it is difficult to separately adjust the inclination of the first arm with respect to the horizontal direction and the inclination of the second arm with respect to the horizontal direction after assembling the industrial robot.

따라서, 본 발명의 과제는, 제1 아암의 기단부측 및 제2 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암을 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇의 조립 후에도, 용이하게, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기와 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 개별로 조정하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide an industrial robot having a common arm that is rotatably connected to the proximal end side of the first arm and the proximal end side of the second arm, It is an object of the present invention to provide an industrial robot capable of individually adjusting the inclination of the first arm and the inclination of the second arm with respect to the horizontal direction.

상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 아암과, 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 아암과, 제1 아암의 기단부측 및 제2 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암과, 공통 아암이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고, 공통 아암은, 본체부에 연결되는 베이스부와, 제1 아암의 기단부측이 연결되는 제1 아암 연결부와, 제2 아암의 기단부측이 연결되는 제2 아암 연결부를 구비하고, 베이스부와 제1 아암 연결부와 제2 아암 연결부는 별체로 형성되고, 제1 아암 연결부 및 제2 아암 연결부는, 베이스부에 착탈 가능하게 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an industrial robot including a first hand and a second hand on which a carrying object is mounted, a first arm rotatably connected to the first end of the first hand, A common arm rotatably connected to the proximal end side of the first arm and the proximal end side of the second arm and a main body portion to which the common arm is rotatably connected, The arm includes a base portion connected to the main body portion, a first arm connecting portion connected to the base end side of the first arm, and a second arm connecting portion connected to the base end side of the second arm, The connecting portion and the second arm connecting portion are formed separately, and the first arm connecting portion and the second arm connecting portion are detachably fixed to the base portion.

본 발명의 산업용 로봇에서는, 본체부에 연결되는 베이스부와, 제1 아암의 기단부측이 연결되는 제1 아암 연결부와, 제2 아암의 기단부측이 연결되는 제2 아암 연결부가 별체로 형성되고, 제1 아암 연결부 및 제2 아암 연결부는, 베이스부에 착탈 가능하게 고정되어 있다. 그로 인해, 본 발명에서는, 산업용 로봇의 조립 후에, 베이스부에 대한 제1 아암 연결부의 고정 위치나 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기를 조정해도, 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기는 변동되지 않는다. 또한, 산업용 로봇의 조립 후에, 베이스부에 대한 제2 아암 연결부의 고정 위치나 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 조정해도, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기는 변동되지 않는다. 따라서, 본 발명에서는, 산업용 로봇의 조립 후에도, 용이하게, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기와 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 개별로 조정하는 것이 가능해진다.In the industrial robot of the present invention, the base portion connected to the main body portion, the first arm connecting portion connected to the base end side of the first arm, and the second arm connecting portion connected to the base end side of the second arm are formed separately, The first arm connecting portion and the second arm connecting portion are detachably fixed to the base portion. Therefore, in the present invention, even if the inclination of the first arm with respect to the horizontal direction is adjusted by adjusting the fixing position or the inclination of the first arm connection portion with respect to the base portion after assembling the industrial robot, Is not changed. Further, even if the inclination of the second arm with respect to the horizontal direction is adjusted by adjusting the fixing position or inclination of the second arm connection portion with respect to the base portion after assembling the industrial robot, the inclination of the first arm with respect to the horizontal direction is not changed Do not. Therefore, in the present invention, it is possible to easily adjust the inclination of the first arm with respect to the horizontal direction and the inclination of the second arm with respect to the horizontal direction, individually, even after assembling the industrial robot.

본 발명에 있어서, 예를 들어, 베이스부는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 직사각 형상이 되는 직육면체 형상으로 형성되고, 제1 아암 연결부 및 제2 아암 연결부는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 L 형상으로 되는 블록형으로 형성되고, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 아암 연결부는, 베이스부의 길이 방향의 일단부에 고정되고, 제2 아암 연결부는, 베이스부의 길이 방향의 타단부에 고정되어 있다. 상하 방향으로부터 보았을 때의 제1 아암 연결부 및 제2 아암 연결부의 형상이 대략 L 형상으로 되어 있으면, 절삭 가공에 의해 공통 아암을 일체로 제조하는 경우에, 공통 아암을 제조하기 위하여 필요한 재료의 크기가 커질 우려가 있지만, 본 발명에서는, 베이스부와 제1 아암 연결부와 제2 아암 연결부가 별체로 형성되어 있기 때문에, 절삭 가공에 의해 공통 아암을 제조하는 경우에, 공통 아암을 제조하기 위하여 필요한 재료의 크기를 작게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 공통 아암을 저비용으로 제조하는 것이 가능해진다.In the present invention, for example, the base portion is formed in a rectangular parallelepiped shape having a rectangular shape with an elongated shape when viewed from the top and bottom, and the first arm connecting portion and the second arm connecting portion have a shape The first arm connecting portion is fixed to one longitudinal end portion of the base portion and the second arm connecting portion is fixed to the other end portion in the longitudinal direction of the base portion, . When the first arm connecting portion and the second arm connecting portion viewed from the upper and lower directions are substantially L-shaped, when the common arms are integrally manufactured by cutting, the size of the material required for manufacturing the common arm is However, in the present invention, since the base portion, the first arm connecting portion, and the second arm connecting portion are formed separately, when a common arm is manufactured by cutting, The size can be reduced. Therefore, it is possible to manufacture the common arm at low cost.

본 발명에 있어서, 산업용 로봇은, 예를 들어, 제1 아암에 대하여 제1 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제1 아암을 회동시키는 제1 모터와, 제2 아암에 대하여 제2 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제2 아암을 회동시키는 제2 모터를 구비하고, 제1 모터는 제1 아암 연결부에 고정되고, 제2 모터는 제2 아암 연결부에 고정되어 있다. 이 경우에는, 제1 모터 및 제2 모터가 본체부의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제1 모터의 동력 전달 기구의 구성 및 제2 모터의 동력 전달 기구의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.In the present invention, the industrial robot includes, for example, a first motor that rotates the first hand with respect to the first arm and rotates the first arm with respect to the common arm, and a second motor that rotates the second hand with respect to the second arm And a second motor for rotating the second arm with respect to the common arm together with the second arm, wherein the first motor is fixed to the first arm connection portion and the second motor is fixed to the second arm connection portion. In this case, the configuration of the power transmission mechanism of the first motor and the configuration of the power transmission mechanism of the second motor can be simplified, as compared with the case where the first motor and the second motor are disposed inside the main body.

또한, 이 경우에는, 산업용 로봇은, 제1 아암과 공통 아암의 연결 부분인 제1 관절부를 구성함과 함께 제1 모터에 연결되는 제1 감속기와, 제2 아암과 공통 아암의 연결 부분인 제2 관절부를 구성함과 함께 제2 모터에 연결되는 제2 감속기를 구비하고, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 모터의 축심과 제1 감속기의 축심이 어긋나 있고, 제2 모터의 축심과 제2 감속기의 축심이 어긋나 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 제1 모터와 제1 감속기가 동축 상에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제1 모터의 배치 자유도를 높이는 것이 가능해진다. 또한, 제2 모터와 제2 감속기가 동축 상에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제2 모터의 배치 자유도를 높이는 것이 가능해진다. 또한, 이렇게 구성하면, 제1 감속기나 제2 감속기가, 그 직경 방향의 중심으로 관통 구멍이 형성된 중공 감속기라면, 에어 튜브나 배선 케이블을 관통 구멍에 통과시키는 것이 가능해진다.In this case, the industrial robot includes a first reducer which constitutes a first joint part which is a connection part of the first arm and the common arm and which is connected to the first motor, and a second reducer which is a connection part of the second arm and the common arm And a second reduction gear connected to the second motor and constituting a second joint, wherein the central axis of the first motor and the axis of the first reduction gear are shifted from each other when viewed from the top and bottom directions, It is preferable that the axial center of the screw is displaced. With this configuration, it is possible to increase the degree of freedom in arranging the first motor, as compared with the case where the first motor and the first reducer are arranged coaxially. Further, as compared with the case where the second motor and the second reducer are arranged coaxially, it is possible to increase the degree of freedom of arrangement of the second motor. With this configuration, if the first reducer or the second reducer is a hollow reducer having a through hole formed at the center in the radial direction, the air tube or the wiring cable can be passed through the through hole.

본 발명에 있어서, 상하 방향으로부터 보았을 때에 가늘고 긴 직사각 형상을 이루는 베이스부의 짧은 변에 평행한 직선이며 본체부에 대한 공통 아암의 회동 중심을 통과하는 직선을 가상선이라 하면, 예를 들어, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 아암 연결부와 제2 아암 연결부는, 가상선에 대하여 선대칭으로 형성되어 있다.In the present invention, when a straight line parallel to short sides of a base portion having a rectangular shape that is elongated when viewed from the top and bottom directions and passing through the center of rotation of the common arm with respect to the body portion is defined as a virtual line, The first arm connecting portion and the second arm connecting portion are formed in line symmetry with respect to the imaginary line.

본 발명에 있어서, 산업용 로봇은, 제1 아암에 대하여 제1 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제1 아암을 회동시키는 제1 모터와, 제2 아암에 대하여 제2 핸드를 회동시킴과 함께 공통 아암에 대하여 제2 아암을 회동시키는 제2 모터를 구비하고, 제1 모터는 제1 아암 연결부에 고정되고, 제2 모터는 제2 아암 연결부에 고정되고, 제1 모터의 적어도 일부 및 제2 모터의 적어도 일부는, 공통 아암의 하면으로부터 하측으로 돌출됨과 함께, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 모터 및 제2 모터는 본체부보다도 본체부의 외주측에 배치되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, the industrial robot includes: a first motor that rotates the first hand with respect to the first arm and rotates the first arm with respect to the common arm; and a second motor that rotates the second hand with respect to the second arm And a second motor for rotating the second arm with respect to the common arm, wherein the first motor is fixed to the first arm connecting portion, the second motor is fixed to the second arm connecting portion, and at least part of the first motor and the second motor It is preferable that at least a part of the motor projects downward from the lower surface of the common arm and that the first motor and the second motor are disposed on the outer peripheral side of the main body more than the main body when viewed from above.

이렇게 구성하면, 제1 모터가 제1 아암 연결부에 고정되고, 제2 모터가 제2 아암 연결부에 고정되어 있기 때문에, 본체부의 내부에 제1 모터 및 제2 모터가 배치되어 있는 경우와 비교하여, 본체부의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 또한, 이렇게 구성하면, 제1 모터의 적어도 일부 및 제2 모터의 적어도 일부가 공통 아암의 하면으로부터 하측으로 돌출되어 있기 때문에, 제1 모터의 전체 및 제2 모터의 전체가 공통 아암의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 공통 아암의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 또한, 이렇게 구성하면, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 모터 및 제2 모터가 본체부보다도 본체부의 외주측에 배치되어 있기 때문에, 제1 모터 및 제2 모터가 상하 방향으로 본체부와 중첩되어 있는 경우와 비교하여, 상하 방향에 있어서의 본체부와 공통 아암의 거리를 가깝게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 제1 핸드 및 제2 핸드가 액세스 가능한 최저 높이(패스 라인)를 낮게 하는 것이 가능해진다.With this configuration, as compared with the case where the first motor and the second motor are disposed inside the main body portion, since the first motor is fixed to the first arm connecting portion and the second motor is fixed to the second arm connecting portion, The height of the main body portion can be reduced. In this configuration, at least a part of the first motor and at least a part of the second motor protrude downward from the lower surface of the common arm, so that the entirety of the first motor and the entirety of the second motor are arranged inside the common arm It is possible to lower the height of the common arm. In this case, since the first motor and the second motor are disposed on the outer peripheral side of the main body as viewed from the top and bottom, the first motor and the second motor are overlapped with the main body in the vertical direction The distance between the main body portion and the common arm in the up-and-down direction can be made closer. Therefore, it becomes possible to lower the lowest height (pass line) accessible by the first hand and the second hand.

본 발명에 있어서, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 공통 아암에 대한 제1 아암의 회동 중심과, 본체부에 대한 공통 아암의 회동 중심과, 공통 아암에 대한 제2 아암의 회동 중심을 순차 연결하는 선은 V자를 이루고 있는 것이 바람직하다. 이렇게 구성하면, 제1 핸드와 제2 핸드를 상하 방향으로 중첩하는 것이 가능해진다. 따라서, 제1 핸드에 의한 반송 대상물의 반입 반출 동작의 방향과, 제2 핸드에 의한 반송 대상물의 반입 반출 동작의 방향이 동일한 방향일 경우에, 예를 들어, 제1 핸드에 의한 반송 대상물의 반출 동작 종료 후에, 본체부에 대하여 공통 아암을 회동시키지 않아도, 제2 핸드에 의한 반송 대상물의 반입 동작을 개시하는 것이 가능해진다. 그 결과, 산업용 로봇의 택트 타임을 단축하는 것이 가능해진다.In the present invention, the line connecting the turning center of the first arm with respect to the common arm, the turning center of the common arm with respect to the main body, and the turning center of the second arm with respect to the common arm, It is preferable that it forms a V-letter. With this configuration, it is possible to overlap the first hand and the second hand in the vertical direction. Therefore, when the direction of the carrying-in and carrying-out operation of the carrying object by the first hand is the same as the carrying-carrying-out operation of the carrying object by the second hand, for example, It is possible to start the carrying-in operation of the carrying object by the second hand without rotating the common arm with respect to the main body after the end of the operation. As a result, it becomes possible to shorten the tact time of the industrial robot.

이상과 같이, 본 발명에서는, 제1 아암의 기단부측 및 제2 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암을 구비하는 산업용 로봇에 있어서, 산업용 로봇의 조립 후에도, 용이하게, 수평 방향에 대한 제1 아암의 기울기와 수평 방향에 대한 제2 아암의 기울기를 개별로 조정하는 것이 가능해진다.Industrial Applicability As described above, according to the present invention, in the industrial robot having the common arm on the proximal end side of the first arm and the proximal end side of the second arm rotatably connected, even after assembling the industrial robot, It is possible to individually adjust the inclination of the first arm and the inclination of the second arm with respect to the horizontal direction.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시하는 공통 아암 및 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시하는 공통 아암의 평면도이다.1 is a perspective view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a plan view of the industrial robot shown in Fig. 1. Fig.
3 is a front view of the industrial robot shown in Fig.
4 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the common arm and the driving mechanism shown in Fig.
5 is a plan view of the common arm shown in Fig.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 개략 구성)(Rough configuration of industrial robot)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 사시도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 3은, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 정면도이다.1 is a perspective view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. 2 is a plan view of the industrial robot 1 shown in Fig. 3 is a front view of the industrial robot 1 shown in Fig.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 한다.)은 반송 대상물인 반도체 웨이퍼(도시 생략)를 반송하기 위한 로봇으로서, 도시를 생략하는 반도체의 제조 시스템에 내장되어서 사용된다. 이 로봇(1)은 반도체 웨이퍼가 탑재되는 2개의 핸드(4, 5)와, 핸드(4)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(6)과, 핸드(5)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(7)과, 아암(6, 7)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 공통 아암(8)과, 공통 아암(8)이 회동 가능하게 연결되는 본체부(9)를 구비하고 있다.The industrial robot 1 of this embodiment (hereinafter referred to as "robot 1") is a robot for transporting a semiconductor wafer (not shown) to be transported, and is built in a semiconductor manufacturing system do. The robot 1 includes two hands 4 and 5 on which semiconductor wafers are mounted, an arm 6 rotatably connected to the distal end of the hand 4, A common arm 8 rotatably connected to the proximal end side of the arms 6 and 7 and a main body 9 rotatably connected to the common arm 8 have.

핸드(4)는 핸드(5)보다도 하측에 배치되어 있다. 아암(6)은 핸드(4)보다도 하측에 배치되어 있다. 아암(7)은 핸드(5)보다도 상측에 배치되어 있다. 공통 아암(8)은 아암(6)보다도 하측에 배치되어 있다. 또한, 공통 아암(8)은 본체부(9)보다도 상측에 배치되어 있다. 본 형태의 핸드(4)는 제1 핸드이며, 핸드(5)는 제2 핸드이며, 아암(6)은 제1 아암이며, 아암(7)은 제2 아암이다.The hand 4 is disposed below the hand 5. The arm 6 is disposed below the hand 4. The arm 7 is arranged above the hand 5. The common arm 8 is disposed below the arm 6. Further, the common arm 8 is arranged above the main body 9. The hand 4 of this embodiment is the first hand, the hand 5 is the second hand, the arm 6 is the first arm, and the arm 7 is the second arm.

본체부(9)는 대략 원통형으로 형성되어 있다. 이 본체부(9)는 상측 본체부(12)와, 상측 본체부(12)를 상하 이동 가능하게 보유 지지하는 하측 본체부(13)를 구비하고 있다. 상측 본체부(12)의 내부에는, 공통 아암(8)을 회동시키는 회동 기구(도시 생략)와, 이 회동 기구와 함께 공통 아암(8)을 승강시키는 승강 기구(도시 생략)가 배치되어 있다. 하측 본체부(13)의 내부에는, 상측 본체부(12)를 승강시키는 승강 기구(도시 생략)가 배치되어 있다.The main body 9 is formed into a substantially cylindrical shape. The main body portion 9 includes an upper main body portion 12 and a lower main body portion 13 for holding the upper main body portion 12 so as to be movable up and down. A rotating mechanism (not shown) for rotating the common arm 8 and a lifting mechanism (not shown) for lifting and lowering the common arm 8 together with the rotating mechanism are disposed in the upper main body part 12. [ An elevating mechanism (not shown) for elevating and lowering the upper main body portion 12 is disposed in the lower main body portion 13.

공통 아암(8)은 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 직사각 형상이 되는 블록형으로 형성되어 있다. 또한, 공통 아암(8)은 중공 형상으로 형성되어 있다. 상하 방향으로부터 보았을 때의 공통 아암(8)의 길이는, 본체부(9)의 외경보다도 길게 되어 있다. 아암(6, 7)은, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 타원형 형상이 됨과 함께 상하 방향의 두께가 얇은 블록형으로 형성되어 있다. 본 형태에서는, 아암(6)의 길이와 아암(7)의 길이가 같게 되어 있다. 또한, 아암(6, 7)은 중공 형상으로 형성되어 있다. 본 형태의 아암(6, 7) 및 공통 아암(8)은 절삭 가공으로 형성되어 있다.The common arm 8 is formed into a block shape having a substantially rectangular shape with an elongated shape when viewed from above and below. The common arm 8 is formed in a hollow shape. The length of the common arm 8 when viewed from the top and bottom is longer than the outer diameter of the main body 9. The arms 6 and 7 have an elongated elliptical shape when viewed from the top and bottom, and are formed in a block shape having a small thickness in the up-and-down direction. In this embodiment, the length of the arm 6 and the length of the arm 7 are the same. The arms 6 and 7 are formed in a hollow shape. The arm 6, 7 and the common arm 8 of this embodiment are formed by cutting.

아암(6)의 기단부측은, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 직사각 형상이 되는 공통 아암(8)의 일단부측에 회동 가능하게 연결되고, 아암(7)의 기단부측은, 공통 아암(8)의 타단부측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 아암(6)과 공통 아암(8)의 연결 부분은 관절부(14)로 되어 있다. 아암(7)과 공통 아암(8)의 연결 부분은 관절부(15)로 되어 있다. 본 형태의 관절부(14)는 제1 관절부이며, 관절부(15)는 제2 관절부이다.The proximal end side of the arm 6 is rotatably connected to one end side of a common arm 8 having an elongated rectangular shape when viewed from the top and bottom and the proximal end side of the arm 7 is connected to the common arm 8 And is rotatably connected to the other end side of the frame. The connecting portion between the arm 6 and the common arm 8 is a joint 14. The connecting portion between the arm 7 and the common arm 8 is a joint 15. The joint portion 14 of this embodiment is the first joint portion, and the joint portion 15 is the second joint portion.

또한, 로봇(1)은 아암(6)에 대하여 핸드(4)를 회동시킴과 함께 공통 아암(8)에 대하여 아암(6)을 회동시키는 구동 기구(16)(도 4 참조)와, 아암(7)에 대하여 핸드(5)를 회동시킴과 함께 공통 아암(8)에 대하여 아암(7)을 회동시키는 구동 기구(17)(도 4 참조)를 구비하고 있다. 이하, 공통 아암(8)의 구체적인 구성 및 구동 기구(16, 17)의 구성에 대하여 설명한다.The robot 1 further includes a drive mechanism 16 (see FIG. 4) that rotates the hand 4 with respect to the arm 6 and rotates the arm 6 with respect to the common arm 8, And a driving mechanism 17 (see FIG. 4) for rotating the hand 5 with respect to the common arm 8 and rotating the arm 7 with respect to the common arm 8 with respect to the common arm 8. Hereinafter, the specific configuration of the common arm 8 and the configuration of the drive mechanisms 16 and 17 will be described.

(공통 아암 및 구동 기구의 구성)(Configuration of Common Arm and Drive Mechanism)

도 4는, 도 1에 도시하는 공통 아암(8) 및 구동 기구(16, 17)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 도 5는, 도 1에 도시하는 공통 아암(8)의 평면도이다.Fig. 4 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the common arm 8 and the drive mechanisms 16, 17 shown in Fig. Fig. 5 is a plan view of the common arm 8 shown in Fig.

공통 아암(8)은 본체부(9)에 연결되는 베이스부(20)와, 아암(6)의 기단부측이 연결되는 제1 아암 연결부(21)와, 아암(7)의 기단부측이 연결되는 제2 아암 연결부(22)를 구비하고 있다. 베이스부(20)와 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)는 별체로 형성되어 있고, 베이스부(20)와 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)가 고정되어서 일체화됨으로써 공통 아암(8)이 구성되어 있다. 본 형태에서는, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)가 베이스부(20)에 착탈 가능하게 고정되어 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 공통 아암(8)은 절삭 가공으로 형성되어 있고, 공통 아암(8)을 구성하는 베이스부(20), 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)는 절삭 가공으로 형성되어 있다.The common arm 8 includes a base portion 20 connected to the main body 9, a first arm connecting portion 21 to which the base end side of the arm 6 is connected and a second arm connecting portion 21 to which the base end side of the arm 7 is connected And a second arm connecting portion 22 are provided. The base portion 20 and the first and second arm connecting portions 21 and 22 are formed separately from each other and the base portion 20 and the first and second arm connecting portions 21 and 22 So that the common arm 8 is formed. In this embodiment, the first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 are detachably fixed to the base portion 20. As described above, the common arm 8 is formed by cutting. The base portion 20, the first arm connecting portion 21, and the second arm connecting portion 22, which constitute the common arm 8, And is formed by cutting.

베이스부(20)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 직사각 형상이 됨과 함께 상하 방향의 두께가 얇은 블록형으로 형성되어 있다. 베이스부(20)의 중심에는, 상측 본체부(12)의 내부에 배치되는 회동 기구를 구성하는 중공 감속기의 출력축이 고정되어 있다. 도 5에 도시한 바와 같이, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 직사각 형상이 되는 베이스부(20)의 길이 방향(베이스부(20)의 긴 변에 평행한 방향, 도 5의 X 방향)을 좌우 방향이라 하고, 좌우 방향에 직교하는 베이스부(20)의 짧은 방향(베이스부(20)의 짧은 변에 평행한 방향, 도 5의 Y 방향)을 전후 방향이라 하면, 좌우 방향에 있어서의 베이스부(20)의 양단에는, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22) 각각을 고정하기 위한 고정부(20a)가 형성되어 있다. 고정부(20a)의 상면은, 베이스부(20)의, 고정부(20a)를 제외한 부분의 상면보다도 낮게 되어 있다. 또한, 이하의 설명에서는, 도 5의 Y1 방향측을 「전」측이라 하고, Y2 방향측을 「후(뒤)」측이라 한다.The base portion 20 has a rectangular shape that is elongated when viewed from the top and bottom, and is formed in a block-like shape having a small thickness in the vertical direction. At the center of the base portion 20, the output shaft of the hollow speed reducer constituting the turning mechanism disposed inside the upper main body portion 12 is fixed. 5, the longitudinal direction (the direction parallel to the longer side of the base portion 20, the X direction in Fig. 5) of the base portion 20, which is rectangular in shape when viewed from the top and bottom, (The direction parallel to the short side of the base portion 20, the Y direction in Fig. 5) of the base portion 20 orthogonal to the left and right direction is referred to as the front-rear direction, At both ends of the base portion 20, a fixing portion 20a for fixing the first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 is formed. The upper surface of the fixing portion 20a is lower than the upper surface of the portion of the base portion 20 excluding the fixing portion 20a. In the following description, the Y1 direction side of Fig. 5 is referred to as the " front side " and the Y2 direction side is referred to as the " rear (rear) side.

도 5에 도시한 바와 같이, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 L 형상으로 되는 블록형으로 형성되어 있다. 제1 아암 연결부(21)는 좌우 방향에 있어서의 베이스부(20)의 일단부에 고정되고, 제2 아암 연결부(22)는 좌우 방향에 있어서의 베이스부(20)의 타단부에 고정되어 있다. 또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 상하 방향으로부터 보았을 때에 전후 방향에 평행한 직선이며 본체부(9)에 대한 공통 아암(8)의 회동 중심 C1을 통과하는 직선을 가상선 L1이라 하면, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)는, 가상선 L1에 대하여 선대칭으로 형성되어 있다.As shown in Fig. 5, the first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 are formed in a block shape having a substantially L shape when viewed from the top and bottom. The first arm connecting portion 21 is fixed to one end portion of the base portion 20 in the left and right direction and the second arm connecting portion 22 is fixed to the other end portion of the base portion 20 in the left and right direction . As shown in Fig. 5, when a straight line passing through the center C1 of rotation of the common arm 8 with respect to the body 9 is a straight line parallel to the longitudinal direction when viewed from above and below, The first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 are formed in line symmetry with respect to the imaginary line L1.

도 4에 도시한 바와 같이, 제1 아암 연결부(21)에는, 대략 원통형의 통부(21a)가 형성되고, 제2 아암 연결부(22)에는, 대략 원통형의 통부(22a)가 형성되어 있다. 통부(21a)의 일부는, 베이스부(20)보다도 하측으로 돌출되어 있다. 통부(22a)는 베이스부(20)보다도 상측으로 돌출되어 있다. 또한, 통부(21a, 22a)의 일부는, 베이스부(20)의 후단부면보다도 후방측으로 돌출되어 있고, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)는 상술한 바와 같이, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 L 형상으로 되는 블록형으로 형성되어 있다. 또한, 통부(21a)의 일부가 하측으로 돌출되고, 통부(22a)가 상측으로 돌출되어 있기 때문에, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)의 전후 방향으로부터 보았을 때의 형상도 대략 L 형상으로 되어 있다.4, a substantially cylindrical tube portion 21a is formed in the first arm connecting portion 21, and a substantially cylindrical tube portion 22a is formed in the second arm connecting portion 22. As shown in Fig. A part of the cylindrical portion 21a protrudes downward from the base portion 20. The cylindrical portion 22a protrudes upward from the base portion 20. The first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 protrude rearward from the rear end face of the base portion 20 as described above, And is formed in a block shape in which the shape when viewed from the front is substantially L-shaped. Since the cylindrical portion 21a protrudes downward and the cylindrical portion 22a projects upwardly, the shape of the first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 as seen from the front- And is substantially L-shaped.

또한, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)에는, 베이스부(20)의 고정부(20a)에 적재되어서 고정되는 피고정부(21b, 22b)가 형성되어 있다. 피고정부(21b, 22b)는, 고정부(20a)에 적재된 상태에서, 복수의 나사(24)에 의해 고정부(20a)에 착탈 가능하게 고정되어 있다. 또한, 피고정부(21b, 22b)와 고정부(20a)는, 위치 결정 핀(25)에 의해 위치 결정되어 있다(도 4 참조).The first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 are formed with fixed portions 21b and 22b which are fixedly mounted on the fixed portion 20a of the base portion 20. The fixed portions 21b and 22b are detachably fixed to the fixed portion 20a by a plurality of screws 24 in a state of being mounted on the fixed portion 20a. The fixed portions 21b and 22b and the fixed portion 20a are positioned by the positioning pins 25 (see FIG. 4).

피고정부(21b)가 고정부(20a)에 고정된 상태에서는(즉, 제1 아암 연결부(21)가 베이스부(20)에 고정된 상태에서는), 상하 방향에 있어서, 제1 아암 연결부(21)의 상면과 베이스부(20)의 상면이 대략 일치하고 있다. 또한, 피고정부(21b)가 고정부(20a)에 고정된 상태에서는, 전후 방향에 있어서, 제1 아암 연결부(21)의 전방 단부면과 베이스부(20)의 전방 단부면이 대략 일치하고, 피고정부(21b)의 후단부면과 베이스부(20)의 후단부면이 대략 일치하고 있다.The first arm connecting portion 21 is fixed to the fixed portion 20a in the vertical direction while the fixed portion 21b is fixed to the fixed portion 20a (i.e., when the first arm connecting portion 21 is fixed to the base portion 20) And the upper surface of the base portion 20 substantially coincide with each other. The front end face of the first arm connecting portion 21 and the front end face of the base portion 20 substantially coincide with each other in the front and rear direction in a state where the fixed portion 20a is fixed to the fixed portion 21a, The rear end face of the fixed portion 21b and the rear end face of the base portion 20 substantially coincide with each other.

마찬가지로, 피고정부(22b)가 고정부(20a)에 고정된 상태에서는(즉, 제2 아암 연결부(22)가 베이스부(20)에 고정된 상태에서는), 상하 방향에 있어서, 제2 아암 연결부(22)의 하면과 베이스부(20)의 하면이 대략 일치하고 있다. 또한, 피고정부(22b)가 고정부(20a)에 고정된 상태에서는, 전후 방향에 있어서, 제2 아암 연결부(22)의 전방 단부면과 베이스부(20)의 전방 단부면이 대략 일치하고, 피고정부(22b)의 후단부면과 베이스부(20)의 후단부면이 대략 일치하고 있다.Similarly, in a state in which the fixed portion 22b is fixed to the fixed portion 20a (that is, the second arm connecting portion 22 is fixed to the base portion 20), in the vertical direction, The lower surface of the base portion 20 and the lower surface of the base portion 20 substantially coincide with each other. The front end face of the second arm connecting portion 22 and the front end face of the base portion 20 substantially coincide with each other in the front and rear direction in a state where the fixed portion 20b is fixed to the fixed portion 20a, The rear end face of the fixed portion 22b and the rear end face of the base portion 20 substantially coincide with each other.

구동 기구(16)는 아암(6)에 대하여 핸드(4)를 회동시킴과 함께 공통 아암(8)에 대하여 아암(6)을 회동시키는 모터(27)와, 모터(27)에 연결되는 감속기(28)를 구비하고 있다. 구동 기구(17)는 아암(7)에 대하여 핸드(5)를 회동시킴과 함께 공통 아암(8)에 대하여 아암(7)을 회동시키는 모터(29)와, 모터(29)에 연결되는 감속기(30)를 구비하고 있다. 모터(29)는 모터(27)와 동일 형상 또한 동일 사양의 모터이다. 감속기(30)는 감속기(28)와 동일 형상 또한 동일 사양의 감속기이다. 본 형태의 모터(27)는 제1 모터이며, 모터(29)는 제2 모터이다. 또한, 감속기(28)는 제1 감속기이며, 감속기(30)는 제2 감속기이다.The driving mechanism 16 includes a motor 27 that rotates the hand 4 with respect to the arm 6 and rotates the arm 6 with respect to the common arm 8 and a speed reducer 28). The driving mechanism 17 includes a motor 29 that rotates the hand 5 with respect to the arm 7 and rotates the arm 7 with respect to the common arm 8 and a speed reducer 30). The motor 29 is a motor of the same specification and the same specification as the motor 27. The speed reducer (30) is a speed reducer of the same specification and same specification as the speed reducer (28). The motor 27 of this embodiment is a first motor, and the motor 29 is a second motor. The speed reducer 28 is a first speed reducer, and the speed reducer 30 is a second speed reducer.

감속기(28)는 그 직경 방향의 중심으로 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 이 감속기(28)는 그 축심과 제1 아암 연결부(21)의 통부(21a)의 축심이 일치하도록 배치되어 있다. 감속기(28)의 축심은, 공통 아암(8)에 대한 아암(6)의 회동 중심 C2와 일치하고 있고, 감속기(28)는 관절부(14)를 구성하고 있다. 모터(27)는 제1 아암 연결부(21)에 고정되어 있다. 또한, 모터(27)는 감속기(28)보다도 전방측에 배치되어 있다. 즉, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 모터(27)의 축심과 감속기(28)의 축심이 어긋나 있다. 또한, 모터(27)의 대부분은, 제1 아암 연결부(21)의 하단부보다도 하측으로 돌출되어 있다. 즉, 모터(27)의 대부분은, 공통 아암(8)의 하면으로부터 하측으로 돌출되어 있다. 또한, 모터(27)는 상하 방향으로부터 보았을 때에, 본체부(9)보다도 본체부(9)의 외주측에 배치되어 있고, 도 3에 도시한 바와 같이, 모터(27)의 대부분은, 수평 방향에 있어서, 본체부(9)와 중첩되어 있다. The decelerator 28 is a hollow decelerator having a through hole formed at the center in the radial direction thereof. The decelerator 28 is arranged so that its axial center coincides with the axial center of the cylindrical portion 21a of the first arm connecting portion 21. [ The axis of the reducer 28 coincides with the rotation center C2 of the arm 6 with respect to the common arm 8 and the reducer 28 constitutes the joint 14. The motor 27 is fixed to the first arm connecting portion 21. In addition, the motor 27 is disposed further forward than the speed reducer 28. That is, when viewed from above and below, the axis of the motor 27 and the axis of the reducer 28 are offset. Most of the motor 27 protrudes downward from the lower end of the first arm connecting portion 21. That is, most of the motor 27 protrudes downward from the lower surface of the common arm 8. 3, most of the motor 27 is arranged in the horizontal direction (the left-right direction in FIG. 3) And is superimposed on the main body portion 9 in this embodiment.

모터(27)의 출력축은, 상측으로 돌출되어 있고, 이 출력축에는 풀리(도시 생략)가 고정되어 있다. 도 4에 도시한 바와 같이, 감속기(28)의 입력축 하단부측에는 풀리(33)가 고정되어 있다. 풀리(33)는 제1 아암 연결부(21)의 통부(21a)의 내부에 배치되어 있다. 모터(27)의 출력축에 고정되는 풀리와 풀리(33)에는 벨트(도시 생략)가 걸쳐져 있다. 감속기(28)의 출력축에는, 아암(6)의 기단부측이 고정되고, 감속기(28)의 케이스는, 통부(21a)의 내주측에 고정되어 있다. 감속기(28)의 입력축 상단부측에는 풀리(34)가 고정되어 있다. 풀리(34)는 아암(6)의 기단부측의 내부에 배치되어 있다. 핸드(4)에는, 아암(6)의 선단측의 내부에 배치되는 풀리(도시 생략)가 고정되어 있다. 이 풀리와 풀리(34)에는 벨트(35)가 걸쳐져 있다. 또한, 핸드(4)에 고정되는 풀리는, 아암(6)의 선단측에 고정되는 고정축에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다.The output shaft of the motor 27 projects upward, and a pulley (not shown) is fixed to the output shaft. As shown in Fig. 4, a pulley 33 is fixed to the lower end of the input shaft of the speed reducer 28. As shown in Fig. The pulley 33 is disposed inside the cylindrical portion 21a of the first arm connecting portion 21. [ A belt (not shown) is provided on the pulley and the pulley 33 fixed to the output shaft of the motor 27. The proximal end side of the arm 6 is fixed to the output shaft of the speed reducer 28 and the case of the speed reducer 28 is fixed to the inner circumferential side of the tubular portion 21a. A pulley 34 is fixed to the upper end side of the input shaft of the speed reducer 28. The pulley 34 is disposed inside the proximal end side of the arm 6. In the hand 4, a pulley (not shown) disposed inside the tip side of the arm 6 is fixed. A belt 35 is wound around the pulley 34 and the pulley 34. The pulley fixed to the hand 4 is rotatably held on a fixed shaft fixed to the distal end side of the arm 6.

감속기(30)는 그 직경 방향의 중심으로 관통 구멍이 형성된 중공 감속기이다. 이 감속기(30)는 그 축심과 제2 아암 연결부(22)의 통부(22a)의 축심이 일치하도록 배치되어 있다. 감속기(30)의 축심은, 공통 아암(8)에 대한 아암(7)의 회동 중심 C3과 일치하고 있고, 감속기(30)는 관절부(15)를 구성하고 있다. 모터(29)는 제2 아암 연결부(22)에 고정되어 있다. 또한, 모터(29)는 감속기(30)보다도 전방측에 배치되어 있다. 즉, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 모터(29)의 축심과 감속기(30)의 축심이 어긋나 있다. 또한, 모터(29)의 하단부측의 일부는, 제2 아암 연결부(22)의 하단부보다도 하측으로 돌출되어 있다. 즉, 모터(29)의 하단부측의 일부는, 공통 아암(8)의 하면으로부터 하측으로 돌출되어 있다. 또한, 모터(29)는 상하 방향으로부터 보았을 때에, 본체부(9)보다도 본체부(9)의 외주측에 배치되어 있고, 도 3에 도시한 바와 같이, 모터(29)의 하단부측의 일부는, 수평 방향에 있어서, 본체부(9)와 중첩되어 있다. The speed reducer (30) is a hollow speed reducer having a through hole formed at the center in the radial direction thereof. The decelerator 30 is disposed such that its axial center coincides with the axial center of the cylindrical portion 22a of the second arm connecting portion 22. [ The axis of the reducer 30 coincides with the rotation center C3 of the arm 7 with respect to the common arm 8 and the reducer 30 constitutes the joint 15. The motor 29 is fixed to the second arm connecting portion 22. Further, the motor 29 is disposed further forward than the speed reducer 30. That is, when viewed from above and below, the axis of the motor 29 and the axis of the reducer 30 are offset. A part of the lower end side of the motor 29 protrudes downward from the lower end of the second arm connecting portion 22. [ That is, a part of the lower end side of the motor 29 protrudes downward from the lower surface of the common arm 8. 3, a part of the lower end side of the motor 29 is located on the outer circumferential side of the main body portion 9, And overlaps with the main body 9 in the horizontal direction.

모터(29)의 출력축은, 상측으로 돌출되어 있고, 이 출력축에는, 풀리(도시 생략)가 고정되어 있다. 도 4에 도시한 바와 같이, 감속기(30)의 입력축 하단부측에는 풀리(36)가 고정되어 있다. 풀리(36)는 제2 아암 연결부(22)의 통부(22a)의 내부에 배치되어 있다. 모터(29)의 출력축에 고정되는 풀리와 풀리(36)에는 벨트(도시 생략)가 걸쳐져 있다. 감속기(30)의 출력축에는, 아암(7)의 기단부측이 고정되고, 감속기(30)의 케이스는, 통부(22a)의 내주측에 고정되어 있다. 감속기(30)의 입력축 상단부측에는 풀리(37)가 고정되어 있다. 풀리(37)는 아암(7)의 기단부측의 내부에 배치되어 있다. 핸드(5)에는, 아암(7)의 선단측의 내부에 배치되는 풀리(도시 생략)가 고정되어 있다. 이 풀리와 풀리(37)에는 벨트(38)가 걸쳐져 있다. 또한, 핸드(5)에 고정되는 풀리는, 아암(7)의 선단측에 고정되는 고정축에 회동 가능하게 보유 지지되어 있다.An output shaft of the motor 29 protrudes upward, and a pulley (not shown) is fixed to the output shaft. As shown in Fig. 4, a pulley 36 is fixed to the lower end of the input shaft of the speed reducer 30. As shown in Fig. The pulley 36 is disposed inside the barrel portion 22a of the second arm connecting portion 22. As shown in Fig. A belt (not shown) is provided on the pulley and the pulley fixed to the output shaft of the motor 29. The proximal end side of the arm 7 is fixed to the output shaft of the speed reducer 30 and the case of the speed reducer 30 is fixed to the inner circumferential side of the tubular portion 22a. A pulley 37 is fixed to the upper end of the input shaft of the speed reducer 30. The pulley 37 is disposed inside the proximal end side of the arm 7. A pulley (not shown) disposed inside the distal end side of the arm 7 is fixed to the hand 5. A belt 38 is disposed on the pulley 37 and the pulley 37. The pulley fixed to the hand 5 is rotatably held on a fixed shaft fixed to the distal end side of the arm 7.

본 형태에서는, 도 5에 도시한 바와 같이, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 회동 중심 C1과 회동 중심 C2와 회동 중심 C3이 1개의 직선 상에 배치되어 있지 않다. 즉, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 회동 중심 C2와 회동 중심 C1과 회동 중심 C3을 순차 연결하는 선은 V자를 이루고 있다. 즉, 본 형태의 로봇(1)은 소위 부메랑형의 로봇이다. 또한, 본 형태에서는, 아암(6, 7)의 선단측이 가장 뒤쪽에 배치된 상태(도 1, 도 2에 도시하는 상태)에서는, 핸드(4)와 핸드(5)가 상하 방향으로 완전히 중첩되어 있다.In this embodiment, as shown in Fig. 5, when viewed from the up and down direction, the rotation center C1, the rotation center C2, and the rotation center C3 are not arranged on one straight line. That is, when viewed from the upper and lower directions, a line connecting the pivot center C2, the pivot center C1, and the pivot center C3 successively forms a V-letter. That is, the robot 1 of the present embodiment is a so-called boomerang type robot. 1 and 2), the hand 4 and the hand 5 are completely overlapped in the up-and-down direction in the state in which the distal ends of the arms 6, .

또한, 상술한 바와 같이, 모터(29)는 모터(27)와 동일 형상 또한 동일 사양의 모터이며, 감속기(30)는 감속기(28)와 동일 형상 또한 동일 사양의 감속기이다. 또한, 구동 기구(16)를 구성하는 풀리(33) 등의 각 부품과, 구동 기구(17)를 구성하는 풀리(36) 등의 각 부품과는, 동일 형상 또한 동일 사양의 것이다. 즉, 본 형태에서는, 구동 기구(16)와 구동 기구(17)는 공통의 부품에 의해 구성되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 공통의 부품에 의해 구성되는 구동 기구(16)와 구동 기구(17)가 상하 방향으로 어긋난 상태에서 배치되어 있다. 즉, 본 형태에서는, 구동 기구(16)와 구동 기구(17)는, 서로 그 배치 높이를 바꿈으로써 공통화되어 있다.As described above, the motor 29 is a motor having the same shape and same specifications as the motor 27, and the speed reducer 30 is a speed reducer of the same specification and same specification as that of the speed reducer 28. The respective components such as the pulley 33 and the like constituting the drive mechanism 16 and the respective components such as the pulley 36 constituting the drive mechanism 17 have the same shape and the same specifications. That is, in this embodiment, the driving mechanism 16 and the driving mechanism 17 are constituted by common components. Further, in this embodiment, the drive mechanism 16 and the drive mechanism 17 constituted by common components are arranged in a state of being displaced in the vertical direction. That is, in this embodiment, the drive mechanism 16 and the drive mechanism 17 are made common by changing their arrangement height.

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this embodiment)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 공통 아암(8)을 구성하는 베이스부(20)와 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)가 별체로 형성되어 있고, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)가 베이스부(20)에 착탈 가능하게 고정되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 로봇(1)의 조립 후에, 베이스부(20)에 대한 제1 아암 연결부(21)의 고정 위치나 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 아암(6)의 기울기를 조정해도, 수평 방향에 대한 아암(7)의 기울기는 변동되지 않는다. 또한, 로봇(1)의 조립 후에, 베이스부(20)에 대한 제2 아암 연결부(22)의 고정 위치나 기울기를 조정함으로써, 수평 방향에 대한 아암(7)의 기울기를 조정해도, 수평 방향에 대한 아암(6)의 기울기는 변동되지 않는다. 따라서, 본 형태에서는, 로봇(1)의 조립 후에도, 용이하게, 수평 방향에 대한 아암(6)의 기울기와 수평 방향에 대한 아암(7)의 기울기를 개별로 조정하는 것이 가능해진다.As described above, in this embodiment, the base portion 20, the first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 constituting the common arm 8 are formed separately, and the first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 are detachably fixed to the base portion 20. Therefore, in the present embodiment, after the robot 1 is assembled, the inclination of the arm 6 with respect to the horizontal direction is adjusted by adjusting the fixed position or inclination of the first arm connecting portion 21 with respect to the base portion 20 The inclination of the arm 7 with respect to the horizontal direction does not vary. Even if the inclination of the arm 7 with respect to the horizontal direction is adjusted by adjusting the fixing position or the inclination of the second arm connecting portion 22 with respect to the base portion 20 after the assembly of the robot 1, The slope of the arm 6 is not changed. Therefore, in this embodiment, even after the robot 1 is assembled, it is possible to easily adjust the inclination of the arm 6 with respect to the horizontal direction and the inclination of the arm 7 with respect to the horizontal direction.

또한, 본 형태에서는, 베이스부(20)와 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)가 별체로 형성되어 있기 때문에, 통부(21a, 22a)의 일부가 베이스부(20)의 후단부면보다도 뒤쪽으로 돌출되도록 공통 아암(8)이 형성되어 있어도, 좌우 방향으로 가늘고 긴 베이스부(20)를 직육면체 형상으로 형성하면 된다. 따라서, 본 형태에서는, 절삭 가공에 의해 제조되는 공통 아암(8)이 일체로 형성되어 있는 경우와 비교하여, 공통 아암(8)을 제조하기 위하여 필요한 재료의 크기를 작게 하는 것이 가능해지고, 그 결과, 공통 아암(8)의 제조 비용을 저감하는 것이 가능해진다.In this embodiment, since the base portion 20, the first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 are formed separately, a part of the tubular portions 21a and 22a is formed on the base portion 20 Even if the common arm 8 is formed so as to protrude rearward beyond the rear end face, the base portion 20, which is long in the lateral direction, may be formed in a rectangular parallelepiped shape. Therefore, in this embodiment, it is possible to reduce the size of the material required for manufacturing the common arm 8, as compared with the case where the common arms 8 manufactured by cutting are integrally formed. As a result, , The manufacturing cost of the common arm 8 can be reduced.

본 형태에서는, 모터(27)는 제1 아암 연결부(21)에 고정되고, 모터(29)는 제2 아암 연결부(22)에 고정되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 모터(27, 29)가 본체부(9)의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 구동 기구(16, 17)의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다. 즉, 모터(27, 29)가 본체부(9)의 내부에 배치되어 있는 경우에는, 모터(27, 29)의 동력을 본체부(9)로부터 좌우 방향의 외측으로 전달한 후에, 다시 뒤쪽으로 전달하기 위한 구성을 공통 아암(8)의 내부에 설치할 필요가 있지만, 본 형태에서는, 모터(27, 29)의 동력을 전달하는 풀리(33, 36) 등을 설치하면 된다. 따라서, 본 형태에서는, 모터(27, 29)가 본체부(9)의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 구동 기구(16, 17)의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.In this embodiment, the motor 27 is fixed to the first arm connecting portion 21 and the motor 29 is fixed to the second arm connecting portion 22. Therefore, in this embodiment, the configuration of the drive mechanisms 16 and 17 can be simplified as compared with the case where the motors 27 and 29 are disposed inside the main body 9. That is, when the motors 27 and 29 are disposed inside the main body 9, the motive power of the motors 27 and 29 is transmitted to the outside in the left-right direction from the main body 9, The pulleys 33 and 36 for transmitting the power of the motors 27 and 29 and the like may be provided in the present embodiment. Therefore, in this embodiment, as compared with the case where the motors 27 and 29 are disposed inside the main body 9, the configuration of the drive mechanisms 16 and 17 can be simplified.

또한, 본 형태에서는, 모터(27)가 제1 아암 연결부(21)에 고정되고, 모터(29)가 제2 아암 연결부(22)에 고정되어 있기 때문에, 모터(27, 29)가 본체부(9)의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 본체부(9)의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 모터(27)의 대부분 및 모터(29)의 하단부측의 일부가 공통 아암(8)의 하면으로부터 하측으로 돌출되어 있기 때문에, 모터(27, 29)의 전체가 공통 아암(8)의 내부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 공통 아암(8)의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 모터(27, 29)가, 상하 방향으로부터 보았을 때에 본체부(9)보다도 본체부(9)의 외주측에 배치되어 있고, 모터(27)의 대부분 및 모터(29)의 하단부측의 일부가, 수평 방향에 있어서 본체부(9)와 중첩되어 있기 때문에, 모터(27, 29)가 상하 방향으로 본체부(9)와 중첩되어 있는 경우와 비교하여, 상하 방향에 있어서의 본체부(9)와 공통 아암(8)의 거리를 가깝게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 핸드(4, 5)가 액세스 가능한 최저 높이(패스 라인)를 낮게 하는 것이 가능해진다.In this embodiment, since the motor 27 is fixed to the first arm connecting portion 21 and the motor 29 is fixed to the second arm connecting portion 22, 9, the height of the main body portion 9 can be reduced. In this embodiment, since most of the motor 27 and a part of the lower end side of the motor 29 protrude downward from the lower surface of the common arm 8, the whole of the motors 27, 8, the height of the common arm 8 can be reduced. In this embodiment, the motors 27 and 29 are arranged on the outer peripheral side of the main body 9 more than the main body 9 when seen from the top and bottom, As compared with the case in which the motors 27 and 29 are overlapped with the main body 9 in the vertical direction because a part of the lower end portion is overlapped with the main body portion 9 in the horizontal direction, The distance between the main body 9 and the common arm 8 can be reduced. Therefore, in this embodiment, it becomes possible to lower the minimum height (pass line) accessible by the hands 4, 5.

본 형태에서는, 관절부(14)를 구성하는 감속기(28)의 축심과 모터(27)의 축심이 어긋나 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 모터(27)와 감속기(28)가 동축 상에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 모터(27)의 배치 자유도를 높이는 것이 가능해진다. 마찬가지로, 본 형태에서는, 관절부(15)를 구성하는 감속기(30)의 축심과 모터(29)의 축심이 어긋나 있기 때문에, 모터(29)와 감속기(30)가 동축 상에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 모터(29)의 배치 자유도를 높이는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 감속기(28)의 축심과 모터(27)의 축심이 어긋나 있기 때문에, 중공 감속기인 감속기(28)의 관통 구멍에 에어 튜브나 배선 케이블을 통과시키는 것이 가능해진다. 마찬가지로, 본 형태에서는, 감속기(30)의 축심과 모터(29)의 축심이 어긋나 있기 때문에, 중공 감속기인 감속기(30)의 관통 구멍에 냉각용의 에어 튜브나 배선 케이블을 통과시키는 것이 가능해진다.In this embodiment, the axis of the reducer 28 and the axis of the motor 27, which constitute the joint 14, are shifted from each other. As a result, in this embodiment, it is possible to increase the degree of freedom in arranging the motor 27, as compared with the case where the motor 27 and the speed reducer 28 are disposed coaxially. Likewise, in this embodiment, since the axis of the motor 29 is shifted from the axis of the reducer 30 constituting the joint 15, it is possible to compare the motor 29 with the reducer 30 So that the degree of freedom of arrangement of the motor 29 can be increased. Further, in this embodiment, since the axial center of the speed reducer 28 and the axial center of the motor 27 are shifted from each other, the air tube and the wiring cable can be passed through the through hole of the speed reducer 28 as the hollow speed reducer. Likewise, in this embodiment, since the axial center of the speed reducer 30 and the axial center of the motor 29 are shifted from each other, it is possible to pass the cooling air tube or the wiring cable through the through hole of the speed reducer 30 as the hollow speed reducer.

본 형태에서는, 핸드(4)는 아암(6)의 상측에 배치되고, 핸드(5)는 아암(7)의 하측에 배치되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 아암(6)과 아암(7)의 간섭을 방지하면서, 상하 방향에 있어서의 핸드(4)와 핸드(5)의 간격을 좁게 하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 상하 방향에 있어서의 핸드(4)와 핸드(5)의 간격을 좁게 하는 것이 가능하게 되기 때문에, 핸드(4)의 상측에 배치되는 핸드(5)가 액세스 가능한 최저 높이(패스 라인)를 낮게 하는 것이 가능해진다.In this embodiment, the hand 4 is disposed on the upper side of the arm 6, and the hand 5 is disposed on the lower side of the arm 7. This makes it possible to narrow the distance between the hand 4 and the hand 5 in the vertical direction while preventing interference between the arm 6 and the arm 7 in this embodiment. In this embodiment, since the distance between the hand 4 and the hand 5 in the vertical direction can be narrowed, the hand 5 disposed on the upper side of the hand 4 has the lowest accessible height Pass line) can be lowered.

본 형태에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 공통 아암(8)에 대한 아암(6)의 회동 중심 C2와, 본체부(9)에 대한 공통 아암(8)의 회동 중심 C1과, 공통 아암(8)에 대한 아암(7)의 회동 중심 C3을 순차 연결하는 선은 V자를 이루고 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 상술한 바와 같이, 아암(6, 7)의 선단측이 가장 후방측에 배치된 상태에 있어서, 핸드(4)와 핸드(5)가 상하 방향으로 완전히 중첩된다. 따라서, 본 형태에서는, 핸드(4)에 의한 반도체 웨이퍼의 반입 반출 동작의 방향과, 핸드(5)에 의한 반도체 웨이퍼의 반입 반출 동작의 방향이 동일한 방향일 경우에, 예를 들어, 핸드(4)에 의한 반도체 웨이퍼의 반출 동작 종료 후에, 본체부(9)에 대하여 공통 아암(8)을 회동시키지 않아도, 핸드(5)에 의한 반도체 웨이퍼의 반입 동작을 개시하는 것이 가능해진다. 그 결과, 본 형태에서는, 로봇(1)의 택트 타임을 단축하는 것이 가능해진다.The rotation center C2 of the arm 6 with respect to the common arm 8 and the rotation center C1 of the common arm 8 with respect to the main body 9 and the rotation center C1 of the common arm 8 with respect to the main body 9, The line connecting the turning center C3 of the arm 7 with the line C is V-shaped. Therefore, in the present embodiment, as described above, the hand 4 and the hand 5 are completely overlapped in the vertical direction in a state in which the distal ends of the arms 6 and 7 are disposed at the rearmost side. Therefore, in the present embodiment, when the direction of the carry-in and carry-out operation of the semiconductor wafer by the hand 4 is the same as the direction of the carry-in and carry-out operation of the semiconductor wafer by the hand 5, It is possible to start the bringing-in operation of the semiconductor wafer by the hand 5 without rotating the common arm 8 with respect to the main body 9 after the semiconductor wafer has been taken out of the main body 9 by the operation of the hand 5. As a result, in this embodiment, the tact time of the robot 1 can be shortened.

(다른 실시 형태)(Other Embodiments)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 여러가지 변형 실시가 가능하다.The above-described embodiment is an example of a suitable form of the present invention, but the present invention is not limited thereto, and various modifications are possible without changing the gist of the present invention.

상술한 형태에서는, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 L 형상으로 되는 블록형으로 형성되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 제1 아암 연결부(21) 및 제2 아암 연결부(22)는 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 직사각 형상 등이 되는 블록형으로 형성되어도 된다. 이 경우에는, 공통 아암(8)은 예를 들어, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 직사각 형상이 되는 블록형으로 형성된다. 또한, 이 경우에는, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 회동 중심 C1과 회동 중심 C2와 회동 중심 C3이 1개의 직선 상에 배치되어도 된다. 또한, 공통 아암(8)은 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 V 형상이 되도록 형성되어도 된다.In the above-described embodiment, the first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 are formed in a block shape having a substantially L shape when viewed from above. In addition, for example, the first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 may be formed in a block shape having a substantially rectangular shape when viewed from the top and bottom. In this case, the common arm 8 is formed in a block shape, for example, in which the shape when seen from the top and bottom is long and the shape is substantially rectangular. In this case, the turning center C1, the turning center C2, and the turning center C3 may be arranged on one straight line when viewed from above and below. The common arm 8 may be formed so as to have a substantially V-shaped shape when viewed from above.

상술한 형태에서는, 모터(27)는 제1 아암 연결부(21)에 고정되고, 모터(29)는 제2 아암 연결부(22)에 고정되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 모터(27, 29)는 본체부(9)의 내부에 배치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 모터(27, 29)의 일부는 공통 아암(8)의 하면으로부터 하측으로 돌출되어 있지만, 모터(27, 29)의 전체가 공통 아암(8)의 내부에 배치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 모터(27, 29)는, 상하 방향으로부터 보았을 때에 본체부(9)보다도 본체부(9)의 외주측에 배치되어 있지만, 모터(27, 29)는, 상하 방향으로 본체부(9)와 중첩되도록 배치되어도 된다.The motor 27 is fixed to the first arm connecting portion 21 and the motor 29 is fixed to the second arm connecting portion 22. In this embodiment, In addition, for example, the motors 27 and 29 may be disposed inside the main body 9. Although part of the motors 27 and 29 protrude downward from the lower surface of the common arm 8 in the above embodiment, the entire motors 27 and 29 may be disposed inside the common arm 8 . Although the motors 27 and 29 are arranged on the outer peripheral side of the main body 9 more than the main body 9 when viewed from the top and bottom directions in the above-described embodiment, And may be disposed so as to overlap with the main body 9.

상술한 형태에 있어서, 아암(6, 7)은, 서로 회동 가능한 2개의 아암부에 의해 구성되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)는, 가상선 L1에 대하여 선대칭으로 형성되어 있지만, 제1 아암 연결부(21)와 제2 아암 연결부(22)는, 가상선 L1에 대하여 선대칭으로 형성되어 있지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 모터(27)의 축심과 감속기(28)의 축심이 어긋나 있지만, 모터(27)와 감속기(28)가 동축 상에 배치되어도 된다. 마찬가지로, 상술한 형태에서는, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 모터(29)의 축심과 감속기(30)의 축심이 어긋나 있지만, 모터(29)와 감속기(30)가 동축 상에 배치되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물은 반도체 웨이퍼이지만, 로봇(1)은 액정 디스플레이용의 유리 기판 등의 다른 반송 대상물을 반송해도 된다.In the above-described embodiment, the arms 6 and 7 may be constituted by two arm portions which can rotate with each other. Although the first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22 are formed in line symmetry with respect to the imaginary line L1 in the above-described embodiment, the first arm connecting portion 21 and the second arm connecting portion 22, May not be formed in line symmetry with respect to the imaginary line L1. Although the motor 27 and the reducer 28 are offset from each other in the vertical direction, the motor 27 and the reducer 28 may be disposed coaxially with each other. Similarly, in the above-described embodiment, the axis of the motor 29 and the axis of the reducer 30 are offset from each other in the vertical direction. However, the motor 29 and the reducer 30 may be disposed coaxially. In the above-described aspect, the object to be transported by the robot 1 is a semiconductor wafer, but the robot 1 may transport another object to be transported, such as a glass substrate for a liquid crystal display.

1: 로봇(산업용 로봇)
4: 핸드(제1 핸드)
5: 핸드(제2 핸드)
6: 아암(제1 아암)
7: 아암(제2 아암)
8: 공통 아암
9: 본체부
14: 관절부(제1 관절부)
15: 관절부(제2 관절부)
20: 베이스부
21: 제1 아암 연결부
22: 제2 아암 연결부
27: 모터(제1 모터)
28: 감속기(제1 감속기)
29: 모터(제2 모터)
30: 감속기(제2 감속기)
C1: 공통 아암의 회동 중심
C2: 제1 아암의 회동 중심
C3: 제2 아암의 회동 중심
L1: 가상선
X: 베이스부의 길이 방향1: Robot (industrial robot)
4: Hand (first hand)
5: Hand (second hand)
6: arm (first arm)
7: arm (second arm)
8:
9:
14: joints (first joints)
15: joint (second joint)
20: Base portion
21: first arm connection portion
22: second arm connection part
27: motor (first motor)
28: Reducer (1st Reducer)
29: Motor (second motor)
30: Reducer (2nd reducer)
C1: center of rotation of the common arm
C2: the center of rotation of the first arm
C3: the center of rotation of the second arm
L1: virtual line
X: longitudinal direction of the base portion

Claims

A first arm on which the first object is mounted, a first arm on which the object to be carried is mounted, a first arm on which the first hand is rotatably connected to the tip side, a second arm on which the second hand is rotatably connected to the tip side, A common arm rotatably connected to the proximal end side of the first arm and the proximal end side of the second arm, and a main body portion to which the common arm is rotatably connected,
The common arm includes a base portion connected to the main body portion, a first arm connecting portion connected to the base end side of the first arm, and a second arm connecting portion connected to the base end side of the second arm,
The base portion, the first arm connection portion, and the second arm connection portion are formed separately,
Wherein the first arm connecting portion and the second arm connecting portion are detachably fixed to the base portion.

The method according to claim 1,
Wherein the base portion is formed in a rectangular parallelepiped shape having a rectangular shape with an elongated shape when viewed from the top and bottom,
The first arm connecting portion and the second arm connecting portion are formed in a block shape having a substantially L shape when viewed from the top and bottom,
Wherein the first arm connecting portion is fixed to one end portion of the base portion in the longitudinal direction and the second arm connecting portion is fixed to the other end portion in the longitudinal direction of the base portion when viewed from the top and bottom directions. robot.

3. The method of claim 2,
A first motor that rotates the first hand with respect to the first arm and that rotates the first arm with respect to the common arm, and a second motor that rotates the second hand with respect to the second arm, And a second motor for rotating the second arm with respect to the first arm,
Wherein the first motor is fixed to the first arm connection portion, and the second motor is fixed to the second arm connection portion.

The method of claim 3,
A first reducer connected to the first motor and constituting a first joint part which is a connection part of the first arm and the common arm and a second joint part being a connection part of the second arm and the common arm And a second reduction gear connected to the second motor,
The axial center of the first motor and the axis of the first reducer are shifted from each other when viewed from the upper and lower directions, and the axial center of the second motor and the axis of the second reducer are displaced from each other.

5. The method according to any one of claims 2 to 4,
When a straight line parallel to the short side of the base portion and having a rectangular shape elongated when viewed from the top and bottom directions and passing through the center of rotation of the common arm with respect to the main body portion is a virtual line,
Wherein the first arm connecting portion and the second arm connecting portion are formed in line symmetry with respect to the imaginary line when viewed from above and below.

6. The method according to any one of claims 1 to 5,
A first motor that rotates the first hand with respect to the first arm and that rotates the first arm with respect to the common arm, and a second motor that rotates the second hand with respect to the second arm, And a second motor for rotating the second arm with respect to the first arm,
Wherein the first motor is fixed to the first arm connecting portion, the second motor is fixed to the second arm connecting portion,
Wherein at least a part of the first motor and at least a part of the second motor protrude downward from the lower surface of the common arm and the first motor and the second motor are arranged so that, And is disposed on an outer peripheral side of the main body.

7. The method according to any one of claims 1 to 6,
When viewed from the top and bottom directions, a line connecting the turning center of the first arm with respect to the common arm, the turning center of the common arm with respect to the body portion, and the turning center of the second arm with respect to the common arm Wherein the robot is a V-shaped robot.