KR20160007375A - 액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 - Google Patents

액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20160007375A
KR20160007375A KR1020150095022A KR20150095022A KR20160007375A KR 20160007375 A KR20160007375 A KR 20160007375A KR 1020150095022 A KR1020150095022 A KR 1020150095022A KR 20150095022 A KR20150095022 A KR 20150095022A KR 20160007375 A KR20160007375 A KR 20160007375A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chamber
liquid
fluid
tank
amount
Prior art date
Application number
KR1020150095022A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101899195B1 (ko
Inventor
요시마사 아라키
고이치 기타카미
츠요시 아라이
유타카 미타
Original Assignee
캐논 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 캐논 가부시끼가이샤 filed Critical 캐논 가부시끼가이샤
Publication of KR20160007375A publication Critical patent/KR20160007375A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101899195B1 publication Critical patent/KR101899195B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17503—Ink cartridges
    • B41J2/17513—Inner structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10—Processes of additive manufacturing
    • B29C64/106—Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material
    • B29C64/112—Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using individual droplets, e.g. from jetting heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17566—Ink level or ink residue control
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y30/00—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17566—Ink level or ink residue control
    • B41J2002/17576—Ink level or ink residue control using a floater for ink level indication

Abstract

액체 토출 장치는 분할 부재에 의해 제1 챔버 및 제2 챔버로 분할되는 수용실로서, 제1 챔버는 액체를 토출하는 토출구를 포함하며 액체를 수용하도록 구성되고, 제2 챔버는 유체를 수용하도록 구성되는, 수용실, 유체를 저장하도록 구성된 탱크, 탱크와 제2 챔버 사이에 유체 연통을 제공하는 접속부, 탱크로부터 제2 챔버에 공급되는 유체의 양을 측정하도록 구성된 측정 유닛, 및 측정 유닛으로부터의 측정 결과에 기초하여 제1 챔버에 수용된 액체의 양을 취득하도록 구성된 제어부를 포함한다.

Description

액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 물품 제조 방법{LIQUID DISCHARGE APPARATUS, IMPRINT APPARATUS, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD}
본 발명은 액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 물품 제조 방법에 관한 것이다.
인쇄 방법의 하나로서, 기록 헤드로부터 액적을 토출하는 잉크젯 시스템이 고안되었고, 이러한 잉크젯 시스템은 최근에 다양한 분야에서 이용되고 있다. 액체 토출 장치에, 기록 헤드로부터 토출된 액체를 다시 복귀시키는 액체 탱크를 설치하는 몇몇 경우가 있다. 특히 산업용으로 사용되는 액체 토출 장치에 있어서, 액체 탱크 내의 잔량을 측정하여 사용자에게 액체 탱크의 교환 시기를 통보하고 이에 의해 사용자가 액체 탱크를 교환하고, 이에 따라 장치의 고장 시간을 짧게 하여 장치의 생산성을 향상시키고자 하는 요구가 있다.
일본 특허 공개 제2000-190520호 공보에서는, 발광 유닛으로부터의 광을 가요성 액체 탱크 내에 조사하여 수광 유닛에서의 수광량의 변화에 기초하여 액체 탱크 내의 기체와 액체 사이의 계면인 액면의 위치 이동을 광학적으로 측정하는 구성을 개시한다. 일본 특허 공개 제2008-105360호 공보에서는, 수용실 내에 충전되는 액체의 밀도보다 작은 밀도의 충전제를 부유식 자루 내에 충전하여 부력을 발생시킴으로써, 잉크 챔버의 체적을 증가시키는 방향으로 가요성 부재를 가압하여, 잉크에 음압을 인가하는 구성을 개시한다.
일본 특허 공개 제2008-105360호 공보에 개시된 액체 토출 장치는 수용실 내에 충전되는 액체의 밀도보다도 작은 밀도의 충전제를 부유식 자루에 충전하여 부력을 발생시킨다. 그러나, 일본 특허 공개 제2008-105360호 공보에는 수용실 내의 액체의 잔량을 측정하는 방법에 관해 개시하고 있지 않다. 한편, 일본 특허 공개 제2000-190520호 공보에 개시된 액체 토출 장치는 기체와 액체 사이에 계면이 존재하는 가요성 액체 탱크에서의 액면의 이동을 광학적으로 측정한다. 그러나, 수용실 내에 수용실을 분리하는 가요성 막을 설치하고, 분리된 수용실 중 하나에 액체 충전제를 도입하고, 다른 하나의 분리된 수용실에 액체를 도입하는 액체 토출 장치에서, 기체와 액체 사이에 계면이 존재하지 않고 따라서 액면의 위치를 광학적으로 측정할 수 없다. 이는 일본 특허 공개 제2000-190520호 공보에 개시된 바와 같은 액면 위치 측정하는 방법이 이러한 액체 토출 장치에 적용할 수 없다는 것을 의미한다.
본 발명은 액체의 잔량 측정에 유리한 액체 토출 장치를 제공한다.
본 발명은 액체 토출 장치를 제공하며, 액체 토출 장치는 분할 부재에 의해 제1 챔버 및 제2 챔버로 분할되는 수용실로서, 제1 챔버는 액체를 토출하는 토출구를 포함하며 액체를 수용하도록 구성되고, 제2 챔버는 유체를 수용하도록 구성되는, 수용실, 유체를 저장하도록 구성된 탱크, 탱크와 제2 챔버 사이에 유체 연통을 제공하는 접속부, 탱크로부터 제2 챔버에 공급되는 유체의 양을 측정하도록 구성된 측정 유닛, 및 측정 유닛으로부터의 측정 결과에 기초하여 제1 챔버에 수용된 액체의 양을 취득하도록 구성된 제어부를 포함한다.
본 발명의 다른 특징부는 첨부 도면을 참조하여 예시적인 실시예의 이후 설명으로부터 명백해질 것이다.
도 1은 제1 실시예에 따르는 액체 토출 장치의 개략도.
도 2는 도 1에서 막이 형성된 상태를 도시하는 도면.
도 3은 제2 실시예에 따르는 액체 토출 장치의 개략도.
도 4는 제3 실시예에 따르는 액체 토출 장치의 개략도.
도 5은 제4 실시예에 따르는 액체 토출 장치의 개략도.
도 6은 제5 실시예에 따르는 액체 토출 장치의 개략도.
도 7은 제6 실시예에 따르는 액체 토출 장치의 개략도.
본 발명의 예시적인 실시예는 첨부 도면을 참조하여 이후 설명될 것이다.
[제1 실시예]
본 발명의 제1 실시예에 대하여 도 1 및 도 2를 사용하여 설명한다. 도 1은 제1 실시예의 액체 토출 장치의 개략도이다. 액체 토출 장치는 액체(9)를 수용하는 수용실(7), 헤드(5), 액체 충전제를 저장하는 탱크(11), 수용실(7)과 탱크(11) 사이에 유체 연통을 제공하는 파이프(접속부)(13)를 포함한다. 기저 판(2) 상에는, 액체 토출 장치에 의해 액체(9)가 토출되는 대상물(4)을 반송하는 반송 유닛(3)이 제공된다. 대상물(4)은 예를 들어 반송 유닛(3)에 의한 흡착에 의해 보유된다. 액체(9)를 수용하는 수용실(7)은 비가요성이며, 수용실(7)의 내부는 제1 챔버(7a) 및 제2 챔버(7b)로 분할된다. 본 실시예에서, 제1 챔버(7a) 및 제2 챔버(7b)는 수평 방향으로 서로 인접하는 방식으로 배치되며, 또한 수직 방향으로 서로 인접하는 방식으로 배치될 수 있다. 액체(9)는 제1 챔버(7a)에 수용되고, 액체 충전제(8)는 제2 챔버(7b)에 수용된다. 본 실시예에서, 액체 충전제(8)는 제2 챔버(7b)에 수용되지만, 기체 및 겔과 같이 액체 충전제(8) 이외의 다른 유체가 제2 챔버(7b)에 수용될 수 있다.
액체 충전제(8)를 수용하는 제2 챔버(7b)는 파이프(13)에 접속된다. 액체(9)는, 액체(9)가 노즐(32)로부터 토출되도록 헤드(5)에 배치된 노즐(토출구)(32)과 연통된다. 수용실(7) 및 헤드(5)는 그 사이에 튜브 등을 구비하지 않지만, 밸브 등의 슬라이드 부재를 사용하지 않고 서로 직결된다. 따라서, 미세한 이물질이 액체(9)에 혼입되는 것을 방지할 수 있다.
파이프(13)에는 수용실(7)이 액체 토출 장치의 본체로부터 탈착 가능하도록 밸브(14, 16) 및 조인트(15)가 설치된다. 수용실(7)을 탈착하는 경우, 밸브(14, 16)를 폐쇄하여 파이프(13) 및 노즐(32)로부터 액체가 누설되는 것을 방지한다. 탱크(11)는 기저 판(2) 상에서 액체 충전제(8)의 중량을 측정하는 중량계(측정 유닛)(19) 상에 배치된다. 본 실시예의 경우, 초기 상태에서, 액체(9)의 체적은 약 300ml로 설정되고, 액체 충전제(8)의 체적은 약 100ml로 설정되고, 수용실(7)의 체적은 약 400ml로 설정된다. 그러나, 각각의 체적은 이에 한정되지 않고, 적절하게 설계될 수 있다.
막(6)에 대해 사용되는 부재는 약 10㎛ 내지 200㎛의 두께를 갖는다. 예를 들어, 막(6)에 대해 사용되는 재료는 높은 기밀성을 갖는 알루미늄으로 제조된 적층막에 의해 예시될 수 있다. 제2 챔버(7b)는 파이프(13)를 통해 탱크(11)에 접속된다. 파이프(13)에는 압력계(17), 펌프(20) 및 밸브(21)가 설치된다. 제어부(18)는 압력계(17), 펌프(20) 및 밸브(21)에 접속된다. 압력계(17)는 액체 토출 장치 내의 대기압에 대한 액체 충전제(8)의 상대 압력을 측정한다. 펌프(20)는 시린지 펌프, 튜브 펌프, 다이어프램 펌프 및 기어 펌프에 의해 예시될 수 있다.
액체(9)로서, 도전성 액체 및 UV 경화성 액체와 같은 액체가 사용될 수 있고, 액체가 사용되기 전에 액체를 탈기 처리할 수 있다. 액체 충전제(8)는 물 등에 의해 예시될 수 있다. 막(6)으로서, 예를 들어 알루미늄 다층 막과 같이 기체 투과성이 적은 재료를 사용한다. 막(6)으로서 기체 투과성이 적은 재료를 사용함으로써, 기포가 발생한 경우에도, 액체 충전제(8)와 액체(9) 사이의 기포의 투과를 방지할 수 있다. 막(6)은 액체 충전제(8)와 접촉하고, 따라서 액체 충전제(8)가 기체와 접촉하는 경우에 비해 기체의 투과를 저감할 수 있다.
본 실시예의 액체 토출 장치가 임프린트 장치의 디스펜서에 사용되는 경우, 액체(9)로서 미경화 상태의 액상 자외선 경화 수지가 사용될 수 있다. 액체 충전제(8)로서, 액체(9)로서 사용되는 자외선 경화 수지의 밀도에 가까운 밀도를 갖는 물 등의 액체가 사용될 수 있다. 노즐(32)로부터 액체(9)의 토출 상태를 일정하게 유지하기 위해, 예를 들어 액체(9)의 밀도의 90 내지 110%의 밀도를 갖는 액체가 액체 충전제(8)로서 사용된다.
이어서, 액체 토출 장치의 동작이 설명될 것이다. 액체(9)가 노즐(32)로부터 토출되는 경우, 막(6) 내부의 액체(9)는 감소되고, 가요성 막(6)이 변형된다. 막(6)이 변형될 때, 수용실(7) 및 파이프(13) 내의 액체 충전제(8)의 압력이 감소하게 된다. 액체(9)의 토출에 따르는 액체 충전제(8)의 압력 변화는 압력계(17)에 의해 측정된다. 압력계(17)에 의해 측정된 액체 충전제(8)에 대한 압력 데이터는 제어부(18)로 전달된다. 제어부(18)는 밸브(21)를 개방하고 펌프(20)를 구동시켜, 수용실(7) 및 파이프(13) 내의 액체 충전제(8)의 압력을 허용 범위 내로 제어한다. 헤드(5)에 인가되는 음압이 증가되는 경우, 펌프(20)가 액체 충전제(8)를 수용실(7)에 공급하는 방식으로 구동된다. 그 결과, 액체 충전제(8)의 압력이 증가되고, 이에 따라 헤드(5)에 인가되는 음압이 허용 범위 내에 있게 된다. 압력계(17)에 의해 측정된, 허용 범위 내에서 제어되는 액체 충전제(8)의 압력 데이터가 제어부(18)에 전달되고, 펌프(20)는 제어부(18)로부터의 신호에 응답하여 정지되고, 이에 따라 밸브(21)가 폐쇄된다. 이러한 방식으로, 수용실(7) 및 파이프(13) 내의 압력이 허용 범위 내에서 제어 가능하기 때문에, 노즐(32)의 메니스커스 상태를 유지하여 노즐(32)로부터의 토출 안정성을 확보할 수 있다.
도 2는 액체(9)의 소모로 인해 막(6)이 변형된 상태를 도시한다. 탱크(11) 내의 관(24)으로부터 수용실(7)로의 액체 충전제(8)의 공급으로 인한 탱크(11) 내의 액체 충전제(8)의 중량 변화가 중량계(19)에 의해 측정된다. 중량계(19)의 측정 결과에 기초하여, 제어부(18)는 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양을 취득한다. 제어부(18)는 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양을 산출하고, 이에 의해 수용실(7) 내의 액체(9)의 잔량을 취득한다. 액체(9)의 잔량이 기준량에 도달하면, 제어부(18)는 사용자에게 수용실(7)의 교환을 재촉하는 메시지를 표시하거나, 경보를 발생시켜 사용자에게 수용실(7)의 교환 시기를 알리고, 이에 의해 수용실(7) 내의 액체(9)의 부족으로 인해 액체 토출 장치가 정지하는 것을 방지할 수 있다. 본 실시예에 따르면, 액체 토출 장치의 정지 시간을 단축할 수 있고, 따라서 액체 토출 장치의 생산성을 향상할 수 있다. 본 실시예에서, 중량계(19)를 수용실(7) 내의 액체(9)에 접촉시키지 않고서 헤드(5)로부터 토출된 액체(9)의 양을 취득할 수 있다. 따라서, 중량계(19)에 부착된 미세한 이물질 및 중량계(19)로부터의 미량의 용출물이 액체(9)로 인입하여 액체를 오염시키는 것을 방지할 수 있다.
[제2 실시예]
본 발명의 제2 실시예가 도 3을 참조하여 설명될 것이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 액체 충전제(8)의 탱크(11)는 보유 지지 유닛(22) 내측에 설치될 수 있다. 탱크(11)는 중량계(19) 상에 착탈 가능하게 배치된다. 중량계(19)는 보유 지지 유닛(22) 내측에 배치된다. 탱크(11)와 보유 지지 유닛(22) 사이에 공극부(23)가 형성되기 때문에, 중량계(19)는 탱크(11)의 중량 변화를 측정할 수 있다. 따라서, 파이프(24)로부터 수용실(7)까지 탱크(11) 내의 액체 충전제(8)의 이동으로 인한 탱크(11) 내의 액체 충전제(8)의 중량 변화를 측정할 수 있다. 탱크(11) 내의 액체 충전제(8)의 중량 변화를 측정함으로써, 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양을 취득할 수 있다. 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양이 산출되고, 수용실(7) 내의 액체(9)의 잔량이 취득되고, 사용자는 수용실(7)의 교환 시기를 알게 되어, 수용실(7) 내의 액체(9)의 부족으로 인한 액체 토출 장치의 정지를 방지할 수 있다. 액체 토출 장치의 정지 시간이 단축될 수 있기 때문에, 액체 토출 장치의 생산성을 향상시킬 수 있다. 다른 구성은 제1 실시예와 동일하므로, 그 설명은 생략한다.
[제3 실시예]
본 발명의 제3 실시예가 도 4를 참조하여 설명될 것이다. 제3 실시예에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 탱크(11) 내의 액체 충전제(8)의 액면(유체면)의 위치를 측정하기 위해 부유부(26) 및 자기 센서(25)의 조합체(측정 유닛)가 설치된다. 부유부(26)가 탱크(11) 내의 액체 충전제(8)에서 부유하도록 구성되고, 자기 센서(25)에 의해 부유부(26)의 위치를 측정하도록 자석이 부유부(26) 내측에 설치된다. 자기 센서(25)를 사용하여 탱크(11) 내의 액체 필터(8)의 액면 위치를 측정함으로써, 수용실(7)로의 탱크(11) 내의 액체 필터(8)의 이동으로 인한 탱크(11) 내의 액체 충전제(8)의 체적 변화를 측정할 수 있다. 탱크(11) 내의 액체 충전제(8)의 체적 변화를 측정함으로써, 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양을 산출할 수 있다. 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양이 산출되어 수용실(7) 내의 액체(9)의 잔량이 파악되고, 사용자는 수용실(7)의 교환 시기를 알게 되어, 수용실(7) 내의 액체(9)의 부족으로 인한 액체 토출 장치의 정지를 방지할 수 있다. 액체 토출 장치의 정지 시간이 단축될 수 있기 때문에, 액체 토출 장치의 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 부유부(26) 및 자기 센서(25)를 액체(9)와 접촉시키지 않고서 수용실(7) 내의 액체(9)의 양을 산출할 수 있다. 따라서, 부유부(26)와 자기 센서(25)에 부착된 미세한 이물질, 및 부유부(26)와 자기 센서(25)로부터의 미량의 용출물이 액체(9)로 인입되는 것이 방지된다. 탱크(11) 내의 액체 충전제(8)의 액면의 위치는 부유부(26) 및 자기 센서(25)의 조합체 이외의 다른 유닛에 의해 측정될 수 있다. 예를 들어, 광학식, 정전 용량식, 또는 초음파식의 측정 유닛이 또한 탱크(11) 내의 액체 충전제(8)의 액면 위치를 측정할 수 있다. 다른 구성은 제1 실시예와 동일하므로, 그 설명은 생략한다.
[제4 실시예]
본 발명의 제4 실시예가 도 5를 참조하여 설명될 것이다. 제4 실시예에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 액체 토출 장치에는 수용실 내의 액체(9) 및 액체 충전제(8)의 총 중량을 측정하는 중량계(측정 유닛)(33)의 보유 지지부(28)가 설치되고, 보유 지지부(28)는 중량계(33)를 통해 수용실(7)을 보유한다. 제4 실시예에서, 액체(9)는 액체 충전제(8)의 밀도와 상이한 액체로 형성된다. 액체(9) 및 액체 충전제(8)는 상이한 밀도를 갖기 때문에, 액체(9)가 노즐(32)로부터 토출되고 수용실(7)에 충전되는 액체 충전제(8)의 양이 변하는 경우, 수용실(7) 내의 액체(9) 및 액체 충전제(8)의 총 중량은 변하게 된다. 수용실(7) 내의 총 중량의 변화가 중량계(33)에 의해 측정되고, 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양이 총 중량의 변화에 기초하여 산출된다. 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양이 산출되어 수용실(7) 내의 액체(9)의 잔량이 파악되고, 사용자는 수용실(7)의 교환 시기를 알게 되어, 수용실(7) 내의 액체(9)의 부족으로 인한 장치 본체(1)의 정지를 방지할 수 있다. 액체 토출 장치의 정지 시간을 단축할 수 있으므로, 액체 토출 장치의 생산성을 향상시킬 수 있다. 다른 구성은 제1 실시예와 동일하므로, 그 설명은 생략한다.
[제5 실시예]
본 발명의 제5 실시예가 도 6을 참조하여 설명될 것이다. 제5 실시예에서, 도 6에 도시된 바와 같이, 파이프(13)에는 적산 유량계(측정 유닛)(29)가 설치된다. 적산 유량계(29)는 파이프(13)를 통해 유동하는 액체 충전제(8)의 적산 유량을 파악하기 위해 설치된다. 파이프(13)를 통해 유동하는 액체 충전제(8)의 적산 유량에 기초하여 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양을 산출할 수 있다. 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양이 산출되어 수용실(7) 내의 액체(9)의 잔량이 파악되고, 사용자는 수용실(7)의 교환 시기를 알게 되어, 수용실(7) 내의 액체(9)의 부족으로 인한 장치 본체(1)의 정지를 방지할 수 있다. 액체 토출 장치의 정지 시간을 단축할 수 있으므로, 액체 토출 장치의 생산성을 향상시킬 수 있다. 다른 구성은 제1 실시예와 동일하므로, 그 설명은 생략한다.
[제6 실시예]
본 발명의 제6 실시예가 도 7을 참조하여 설명될 것이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 펌프(20)에는 펌프(20)에 의해 토출된 액체 충전제(8)의 양을 측정하는 측정 유닛(30)이 설치된다. 측정 유닛(30)은 파이프(13)를 통해 유동하는 액체 충전제(8)의 송액량을 파악하기 위해 제공된다. 파이프(13)를 통해 유동하는 액체 필터(8)의 송액량에 기초하여 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양을 산출할 수 있다. 노즐(32)로부터 토출된 액체(9)의 양이 산출되어 수용실(7) 내의 액체(9)의 잔량이 파악되고, 사용자는 수용실(7)의 교환 시간을 알게 되어, 수용실(7) 내의 액체(9)의 부족으로 인한 장치 본체(1)의 정지를 방지할 수 있다. 액체 토출 장치의 정시 시간을 단축할 수 있으므로 액체 토출 장치의 생산성을 향상시킬 수 있다. 다른 구성은 제1 실시예와 동일하므로, 그 설명은 생략한다.
[물품 제조 방법]
본 발명의 실시예에 따르는 물품 제조 방법은 예를 들어 반도체 디바이스 등의 마이크로 디바이스 및 미세 구조를 갖는 소자와 같은 물품을 제조하는데 적합하다. 제조 방법은 임프린트 장치를 사용하여 몰드를 기판 상의 수지와 접촉시켜 기판 상에 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 제조 방법은 패턴이 형성된 기판을 가공하는 다른 공지된 공정(산화, 성막, 증착, 도핑, 평탄화, 에칭, 레지스트 박리, 다이싱, 본딩, 패키징 등)을 포함할 수 있다. 본 실시예에 따르는 물품 제조 방법은 종래 방법에 비해 물품의 성능, 품질, 생산성 및 생산 비용 중 적어도 하나에서 유리하다.
본 발명은 예시적인 실시예를 참조하여 설명되었으나, 본 발명은 개시된 예시적인 실시예로 제한되지 않음이 이해되어야 한다. 다음 청구항의 범위는 모든 이러한 수정예 및 등가적 구성예 및 기능예를 포함하도록 가장 넓은 해석이 허용되어야 한다.

Claims (15)

  1. 액체 토출 장치이며,
    분할 부재에 의해 제1 챔버 및 제2 챔버로 분할되는 수용실로서, 상기 제1 챔버는 액체를 토출하는 토출구를 포함하며 상기 액체를 수용하도록 구성되고, 상기 제2 챔버는 유체를 수용하도록 구성되는, 수용실,
    상기 유체를 저장하도록 구성된 탱크,
    상기 탱크와 상기 제2 챔버 사이에 유체 연통을 제공하는 접속부,
    상기 탱크로부터 상기 제2 챔버에 공급되는 유체의 양을 측정하도록 구성된 측정 유닛, 및
    상기 측정 유닛으로부터의 측정 결과에 기초하여 상기 제1 챔버에 수용된 상기 액체의 양을 취득하도록 구성된 제어부를 포함하는, 액체 토출 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 분할 부재는 가요성 막인, 액체 토출 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 측정 유닛은 상기 탱크에서의 상기 유체의 중량 변화를 측정함으로써 상기 제2 챔버에 공급되는 상기 유체의 양을 측정하도록 구성되는, 액체 토출 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 측정 유닛은 상기 탱크에서의 상기 유체의 유체면의 위치 변화를 측정함으로써 상기 제2 챔버에 공급되는 상기 유체의 양을 측정하도록 구성되는, 액체 토출 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 유체는 상기 액체의 밀도와 상이한 밀도의 액체이고,
    상기 측정 유닛은 상기 수용실 내의 상기 액체 및 상기 유체의 총 중량 변화를 측정함으로써 상기 제2 챔버에 공급되는 상기 유체의 양을 측정하도록 구성되는, 액체 토출 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 측정 유닛은 상기 접속부를 통해 유동하는 상기 유체의 적산 유량을 측정함으로써 상기 제2 챔버에 공급되는 상기 유체의 양을 측정하도록 구성되는, 액체 토출 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 측정 유닛은 상기 접속부에 배열되는 적산 유량계를 포함하는, 액체 토출 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 접속부에 배열되며 상기 유체를 상기 제2 챔버를 향해 송출하도록 구성된 펌프를 더 포함하고,
    상기 측정 유닛은 상기 펌프에 의해 송출되는 상기 유체의 적산 유량을 측정하는, 액체 토출 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 접속부에 배열되며 상기 유체를 상기 제2 챔버를 향해 송출하도록 구성된 펌프, 및
    상기 접속부를 통해 유동하는 상기 유체의 압력을 측정하도록 구성된 압력계를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 접속부를 통해 유동하는 상기 유체의 압력이 허용 범위 내에 있도록 상기 펌프를 제어하는, 액체 토출 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는 취득된 상기 액체의 양이 기준값에 도달하는 경우 상기 수용실의 교환을 촉구하는 메시지를 표시하거나 경보를 발생시키는, 액체 토출 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버는 수평 방향으로 서로 인접하도록 배열되는, 액체 토출 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버는 수직 방향으로 서로 인접하도록 배열되는, 액체 토출 장치.
  13. 몰드를 기판 상의 수지와 접촉시켜 기판 상에 패턴을 형성하는 임프린트 장치이며,
    상기 임프린트 장치는
    액체로서의 상기 수지를 상기 기판 상에 토출하도록 구성된 액체 토출 장치를 포함하고,
    상기 액체 토출 장치는
    분할 부재에 의해 제1 챔버 및 제2 챔버로 분할되는 수용실로서, 상기 제1 챔버는 상기 액체를 토출하는 토출구를 포함하며 상기 액체를 수용하도록 구성되고, 상기 제2 챔버는 유체를 수용하도록 구성되는, 수용실,
    상기 유체를 저장하도록 구성된 탱크,
    상기 탱크와 상기 제2 챔버 사이에 유체 연통을 제공하는 접속부,
    상기 탱크로부터 상기 제2 챔버에 공급되는 상기 유체의 양을 측정하도록 구성된 측정 유닛, 및
    상기 측정 유닛으로부터의 측정 결과에 기초하여 상기 제1 챔버에 수용된 상기 액체의 양을 취득하도록 구성된 제어부를 포함하는, 임프린트 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 유체는 물을 포함하는, 임프린트 장치.
  15. 물품 제조 방법이며,
    제13항 또는 제14항에 따른 임프린트 장치를 사용하여 몰드를 기판 상의 수지와 접촉시켜 기판 상에 패턴을 형성하는 단계, 및
    상기 패턴이 형성된 상기 기판을 가공하여 상기 물품을 제조하는 단계를 포함하는, 물품 제조 방법.
KR1020150095022A 2014-07-11 2015-07-03 액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 KR101899195B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2014-143659 2014-07-11
JP2014143659A JP6346513B2 (ja) 2014-07-11 2014-07-11 液体吐出装置、インプリント装置および物品製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160007375A true KR20160007375A (ko) 2016-01-20
KR101899195B1 KR101899195B1 (ko) 2018-09-14

Family

ID=55066919

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150095022A KR101899195B1 (ko) 2014-07-11 2015-07-03 액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 물품 제조 방법

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10093103B2 (ko)
JP (1) JP6346513B2 (ko)
KR (1) KR101899195B1 (ko)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101694278B1 (ko) * 2016-06-27 2017-01-09 주식회사 고산테크 잉크젯 압력 제어장치
EP3442804A4 (en) * 2016-09-23 2019-12-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. FLUID EJECTION DEVICE AND PARTICLE DETECTOR
KR101720052B1 (ko) * 2016-11-01 2017-03-27 장한기술 주식회사 공기분리배출기
KR101927920B1 (ko) * 2016-11-24 2018-12-11 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
US10000065B1 (en) 2017-06-15 2018-06-19 The Boeing Company Inkjet printing system having dynamically controlled ink reservoir
EP3434445A1 (en) * 2017-07-28 2019-01-30 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Gas inlet structure for a build material reservoir
IL275019B1 (en) * 2017-12-01 2024-01-01 Deka Products Lp System and method for bioreactor fluid characterization using a magnetic resonance device
JP7071196B2 (ja) * 2018-04-05 2022-05-18 キヤノン株式会社 吐出材吐出装置およびインプリント装置
CN110180748A (zh) * 2019-06-13 2019-08-30 福建省华宝智能科技有限公司 一种胶水自动补给装置
EP3993985A1 (en) * 2019-07-04 2022-05-11 Stratasys Ltd. Method and system for monitoring amount of supply material in additive manufacturing
USD949962S1 (en) 2019-07-04 2022-04-26 Stratasys Ltd. Cartridge for 3D printing
US11413877B2 (en) 2020-05-21 2022-08-16 The Boeing Company Inkjet printing system having dynamically controlled meniscus pressure

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002178536A (ja) * 2000-12-18 2002-06-26 Canon Inc インク残量検知手段を有するインクジェット記録装置
JP2008200903A (ja) * 2007-02-16 2008-09-04 Fujifilm Corp 圧力調整装置および画像形成装置並びに圧力調整方法および液体残量検出方法
JP2009028963A (ja) * 2007-07-25 2009-02-12 Fujifilm Corp 液体吐出装置および画像形成装置、液体貯留量判定方法
KR20140015406A (ko) * 2011-03-25 2014-02-06 후지필름 가부시키가이샤 기능성 액체 토출 장치, 기능성 액체 토출 방법 및 임프린팅 시스템

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2457478A1 (fr) * 1979-05-23 1980-12-19 Motobecane Ateliers Dispositif de visualisation du niveau d'un fluide contenu dans un reservoir
US5731824A (en) * 1995-12-18 1998-03-24 Xerox Corporation Ink level sensing system for an ink jet printer
US6290343B1 (en) * 1996-07-15 2001-09-18 Hewlett-Packard Company Monitoring and controlling ink pressurization in a modular ink delivery system for an inkjet printer
JP3667127B2 (ja) 1998-12-24 2005-07-06 キヤノン株式会社 液体供給システムの液体残量検出方法
GB9910313D0 (en) * 1999-05-05 1999-06-30 Cambridge Consultants Fluid-pressure controlled ink pressure regulator
US6367919B1 (en) * 2000-07-13 2002-04-09 Hewlett-Packard Company Ink container with ink level gauge
JP4107257B2 (ja) * 2004-03-23 2008-06-25 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置及び液体残量演算方法
JP4709585B2 (ja) * 2005-06-09 2011-06-22 トリニティ工業株式会社 塗布材充填方法及び装置
JP4749141B2 (ja) * 2005-12-07 2011-08-17 トリニティ工業株式会社 塗装システム
US20070263020A1 (en) * 2006-05-10 2007-11-15 Bruce Bradford Ink jet manifold mechanism
JP2008105360A (ja) 2006-10-27 2008-05-08 Fujifilm Corp インク貯留容器およびインクジェット記録装置
KR101074298B1 (ko) * 2006-11-30 2011-10-17 에이비비 가부시키가이샤 카트리지용 도료 충전 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002178536A (ja) * 2000-12-18 2002-06-26 Canon Inc インク残量検知手段を有するインクジェット記録装置
JP2008200903A (ja) * 2007-02-16 2008-09-04 Fujifilm Corp 圧力調整装置および画像形成装置並びに圧力調整方法および液体残量検出方法
JP2009028963A (ja) * 2007-07-25 2009-02-12 Fujifilm Corp 液体吐出装置および画像形成装置、液体貯留量判定方法
KR20140015406A (ko) * 2011-03-25 2014-02-06 후지필름 가부시키가이샤 기능성 액체 토출 장치, 기능성 액체 토출 방법 및 임프린팅 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
JP6346513B2 (ja) 2018-06-20
US20160009007A1 (en) 2016-01-14
US10093103B2 (en) 2018-10-09
KR101899195B1 (ko) 2018-09-14
JP2016019930A (ja) 2016-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101899195B1 (ko) 액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 물품 제조 방법
KR101933263B1 (ko) 액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 물품 제조 방법
TWI556985B (zh) 液體射出裝置及液體滲漏抑制方法
TWI649212B (zh) 液體排放設備、壓印設備及部件製造方法
JP2007307894A (ja) 液体収容容器
JP7309433B2 (ja) 保管装置
WO2019107383A1 (en) Ejection-material ejection apparatus and imprinting apparatus
JP2018160684A (ja) インプリント装置および部品の製造方法
KR102312743B1 (ko) 토출재 토출 장치 및 임프린트 장치
JP7321755B2 (ja) 吐出材充填装置
US20240083173A1 (en) Liquid ejection apparatus, imprint apparatus, and ejection method
JP7297423B2 (ja) 吐出材吐出装置およびインプリント装置
JP7134847B2 (ja) 吐出材吐出装置およびインプリント装置
JP2009166359A (ja) 液体供給装置及び液体噴射装置
JP2020093189A (ja) 吐出材吐出装置およびインプリント装置
JP2021061342A (ja) 液体吐出装置およびインプリント装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant