KR20160003598A - Polarized light illuminating apparatus - Google Patents

Polarized light illuminating apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR20160003598A
KR20160003598A KR1020150181912A KR20150181912A KR20160003598A KR 20160003598 A KR20160003598 A KR 20160003598A KR 1020150181912 A KR1020150181912 A KR 1020150181912A KR 20150181912 A KR20150181912 A KR 20150181912A KR 20160003598 A KR20160003598 A KR 20160003598A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
grid
polarizing element
lamp
wire grid
Prior art date
Application number
KR1020150181912A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
데츠야 무라카미
아키후미 산구
Original Assignee
우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 우시오덴키 가부시키가이샤 filed Critical 우시오덴키 가부시키가이샤
Publication of KR20160003598A publication Critical patent/KR20160003598A/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
    • G02F1/133788—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by light irradiation, e.g. linearly polarised light photo-polymerisation
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/30—Polarising elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/30—Polarising elements
    • G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
    • G02B5/3058—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state comprising electrically conductive elements, e.g. wire grids, conductive particles
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

The present invention relates to a polarized light irradiation apparatus having a wire grid polarizing device. The apparatus is formed such that a grid formation surface of the wire grid polarizing device attached to the apparatus can be prevented from being damaged by laying a finger or dropping an object during the maintenance of the apparatus. The grid formation surface of the wire grid polarizing device is disposed toward a light source. In addition, a filter covering the grid formation surface can be installed above the grid formation surface (between the polarizing device and the light source). The filter capable of transmitting light having a wavelength that a user wants to polarize is used.

Description

편광광 조사 장치{POLARIZED LIGHT ILLUMINATING APPARATUS}POLARIZED LIGHT ILLUMINATION APPARATUS [0001]

본 발명은, 액정 소자의 배향막이나, 시야각 보상 필름의 배향층 등에 소정의 파장의 편광광을 조사하여 배향을 행하는 편광광 조사 장치에 관한 것이며, 특히 와이어 그리드 편광 소자를 사용하는 편광광 조사 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polarizing light irradiating device for aligning polarizing light of a predetermined wavelength to an alignment film of a liquid crystal device or an alignment layer of a viewing angle compensating film, .

최근, 액정 패널을 비롯한 액정 표시 소자의 배향막이나, 시야각 보상 필름의 배향층 등의 배향 처리에 관하여, 자외선 영역의 파장의 편광광을 조사하여 배향을 행하는, 광배향으로 불리는 기술이 채용되게 되었다. 이하, 광에 의해 배향을 행하는 배향막이나, 배향층을 설치한 필름 등, 광에 의해 배향 특성이 생기는 막이나 층을 총칭하여 광배향막이라고 부른다. In recent years, a technique called optical alignment has been adopted in the alignment treatment of an alignment film of a liquid crystal display device including a liquid crystal panel, an alignment layer of a view angle compensation film, and the like by irradiating polarized light having a wavelength in the ultraviolet ray region for alignment. Hereinafter, a film or a layer in which alignment properties are generated by light, such as an alignment film that is aligned by light or a film that is provided with an alignment layer, is collectively referred to as a photo alignment film.

광배향막은, 액정 패널의 대형화와 함께, 예를 들면 한 변이 2000mm 이상인 사각형과 같이 대면적화되고 있다. As the liquid crystal panel becomes larger in size, for example, the optical alignment layer is made large as a square having a side length of 2000 mm or more.

상기와 같은 대면적의 광배향막에 대해 광배향을 행하기 위해, 선형상의 광원인 봉형상의 램프와 와이어 그리드 형상의 그리드를 가지는 편광 소자(이하, 와이어 그리드 편광 소자)를 조합한 편광광 조사 장치가, 예를 들면 특허 문헌 1 등에서 제안되어 있다. In order to perform optical alignment of the large-area photo alignment film, a polarized light irradiation apparatus in which a rod-shaped lamp, which is a linear light source, and a polarizing element having a wire grid-shaped grid (hereinafter referred to as wire grid polarizing element) , For example, in Patent Document 1 and the like.

봉형상 램프는, 발광 길이가 비교적 긴 것을 만들 수 있다. 그 때문에, 광배향막의 폭에 대응한 발광 길이를 구비한 봉형상 램프를 사용하여, 그 램프로부터의 광을 편광하여 조사하면서, 배향막을 램프의 길이 방향에 직교하는 방향으로 이동시키면, 넓은 면적의 배향막을 비교적 단시간에 광배향 처리를 행할 수 있다. The rod-shaped lamp can be made to have a relatively long emission length. Therefore, when a rod-shaped lamp having a light emission length corresponding to the width of the photo alignment film is used and the alignment film is moved in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the lamp while polarizing and irradiating the light from the lamp, The optical alignment treatment can be performed in a relatively short time in the orientation film.

도 4에, 선형상의 광원인 봉형상 램프와 와이어 그리드 편광 소자를 조합한 종래의 편광광 조사 장치의 구성예를 나타낸다. Fig. 4 shows a configuration example of a conventional polarized light irradiation apparatus in which a rod lamp, which is a linear light source, and a wire grid polarizing element are combined.

이 도면에 있어서, 광배향막인 워크 W는, 예를 들면 시야각 보상 필름과 같은 띠형상의 긴 워크이며, 송출 롤 R1로부터 송출되어, 도면 중 화살표 방향으로 반송되면서 편광광 조사에 의해 광배향 처리되어, 권취 롤 R2에 의해 권취된다. In this figure, the workpiece W as a photo alignment film is a long strip-shaped work such as a viewing angle compensating film, and is sent out from the delivery roll R1 and is optically oriented by being irradiated with polarized light while being transported in the direction of the arrow in the figure , And wound by a winding roll R2.

편광광 조사 장치의 광조사부(10)는, 광배향 처리에 필요한 파장의 광(자외선)을 방사하는 봉형상 램프(11), 예를 들면 고압 수은 램프나 수은에 다른 금속을 더한 메탈 할라이드 램프와, 이 봉형상 램프(11)로부터의 자외선을 워크 W를 향해 반사하는 홈통형상의 반사경(12)을 구비한다. 상기와 같이, 봉형상 램프(11)의 길이는, 발광부가, 워크 W의 반송 방향에 직교하는 방향의 폭에 대응하는 길이를 구비한 것을 사용한다. The light irradiating unit 10 of the polarized light irradiating apparatus includes a rod lamp 11 that emits light (ultraviolet rays) at a wavelength necessary for the light alignment treatment, for example, a high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp And a trough-shaped reflecting mirror 12 for reflecting the ultraviolet rays from the rod lamp 11 toward the work W. As described above, the length of the rod-shaped lamp 11 is set so that the light-emitting portion has a length corresponding to the width of the work W in the direction orthogonal to the conveying direction.

광조사부(10)는, 램프(11)의 길이 방향이 워크 W의 폭방향(반송 방향에 대해 직교 방향)이 되도록 배치한다. The light irradiation unit 10 is arranged so that the longitudinal direction of the lamp 11 is the width direction of the work W (the direction orthogonal to the transport direction).

광조사부(10)의 광출사측에는, 편광 소자인 와이어 그리드 편광 소자(81)가 설치된다. 광조사부(10)로부터의 광은 와이어 그리드 편광 소자(81)에 의해 편광되어, 광조사부(10) 아래를 반송되는 워크 W에 조사되어, 광배향 처리가 행해진다. A wire grid polarizing element 81, which is a polarizing element, is provided on the light output side of the light irradiating portion 10. The light from the light irradiation unit 10 is polarized by the wire grid polarization element 81 and is irradiated to the work W conveyed below the light irradiation unit 10, and the light alignment processing is performed.

와이어 그리드 편광 소자는, 편광하고 싶은 파장의 광을 투과하는 투명 기판(예를 들면 유리 기판) 상에 그리드(라인·앤드·스페이스)를 형성한 것이며, 예를 들면 특허 문헌 2나 특허 문헌 3에 그 상세가 나타나 있다. The wire grid polarizing element is formed by forming a grid (line-and-space) on a transparent substrate (for example, a glass substrate) through which light of a wavelength to be polarized is transmitted. For example, in Patent Documents 2 and 3 Details are shown.

광로 중에 와이어 그리드 편광 소자를 삽입하면, 입사하는 광 중, 그리드의 길이 방향에 평행한 편광 성분은 대부분이 반사 혹은 흡수되고, 그리드의 길이 방향에 직교하는 편광 성분은 통과한다. 따라서, 와이어 그리드 편광 소자를 통과한 광은, 편광 소자의 그리드의 길이 방향에 직교하는 방향의 편광축을 가지는 편광광이 된다. When a wire grid polarizing element is inserted into the optical path, most of the incident light, which is parallel to the longitudinal direction of the grid, is reflected or absorbed, and the polarized component orthogonal to the longitudinal direction of the grid passes through. Therefore, the light that has passed through the wire grid polarizing element becomes polarized light having a polarization axis in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the grid of the polarizing element.

광배향 처리에는 자외선 영역의 편광광이 사용된다. 와이어 그리드 편광 소자에 입사하는 광을 편광광으로 하기 위해서는, 투명 기판에 형성하는 그리드의 폭이나 간격은, 편광하는 광의 파장보다도 짧게 할(예를 들면 100nm) 필요가 있다. Polarized light in the ultraviolet region is used for the photo alignment treatment. In order to convert light incident on the wire grid polarizing element into polarized light, the width and interval of the grid formed on the transparent substrate need to be shorter than the wavelength of the polarizing light (for example, 100 nm).

그 때문에, 그리드의 형성에는 미세한 가공 기술이 필요하며, 반도체 집적 회로 제조에 사용되는 리소그래피 기술이나 에칭 기술이 이용되지만, 거기서 사용되는 리소그래피 장치나 에칭 장치가 가공할 수 있는 워크의 크기에는 한계가 있다. 그 때문에, 와이어 그리드 편광 소자는 대형의 것을 만들 수 없어, 현재 상황에서 제작할 수 있는 크기는 직경 300mm 정도까지이다. Therefore, a fine processing technique is required for formation of the grid, and a lithography technique or an etching technique used for manufacturing a semiconductor integrated circuit is used. However, there is a limit in the size of a workpiece in which a lithographic apparatus or an etching apparatus used therein can be processed . Therefore, the wire grid polarizing element can not be made large, and the size that can be produced in the present situation is up to about 300 mm in diameter.

그래서, 예를 들면 특허 문헌 4에는, 발광 길이가 긴 봉형상의 광원, 예를 들면 길이 1m 내지 3m와 같은 봉형상의 고압 수은 램프나 메탈 할라이드 램프에 대응한, 큰(긴) 편광 소자가 필요한 경우는, 직사각형의 와이어 그리드 편광 소자를 복수, 그리드의 방향을 맞추어, 프레임 중에 램프의 길이 방향을 따라 늘어놓아, 하나의 편광 소자 유닛으로서 사용하는 것이 제안되어 있다. Thus, for example, Patent Document 4 discloses a case where a large (long) polarizing element corresponding to a bar-shaped light source having a long emission length, for example, a bar-shaped high pressure mercury lamp or a metal halide lamp having a length of 1 m to 3 m , It is proposed that a plurality of rectangular wire grid polarizing elements are arranged along the longitudinal direction of the lamp in the frame while aligning the directions of the grids and used as one polarizing element unit.

일본국 특허공개 2011-145381호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-145381 일본국 특허공개 2002-328234호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-328234 일본국 특허공표 2003-508813호 공보Japanese Patent Publication No. 2003-508813 일본국 특허 제4506412호 공보Japanese Patent No. 4506412

상기한 바와 같이, 와이어 그리드 편광 소자의 그리드는 미세한 가공에 의해 제조되며, 그리드의 폭이나 간격은 예를 들면 100nm이기 때문에, 잘못하여 손가락으로 만지거나, 그 위에 물건을 떨어뜨리거나 하면, 그리드 구조가 망가져 버려, 편광 소자로서의 역할을 다하지 못하게 된다. 그러나, 미세하기 때문에, 투명 기판(유리)의 표면에 그리드가 형성되어 있는 것이, 육안으로는 알기 어렵다. As described above, the grid of the wire grid polarizing element is manufactured by fine processing, and since the width or the interval of the grid is, for example, 100 nm, if a finger is mistakenly touched or dropped on the grid, And the polarizing element can not function as a polarizing element. However, since it is fine, it is difficult to grasp visually that a grid is formed on the surface of the transparent substrate (glass).

그 때문에, 편광광 조사 장치의 보수 점검시 등에, 장치에 부착되어 있는 편광 소자의 그리드 형성면을 잘못하여 만져 버리거나, 편광 소자 상에 어떤 물건을 떨어뜨려 버리거나 하여, 미세한 그리드를 망가뜨려 버리는 경우를 생각할 수 있다. For this reason, at the time of maintenance and inspection of the polarized light irradiating device, there is a case where the grid forming surface of the polarizing element attached to the apparatus is mistakenly touched, or something is dropped on the polarizing element, and the fine grid is destroyed .

본 발명은 상기한 문제점을 고려하여 이루어진 것이며, 본 발명의 목적은, 선형상의 광원과, 이 광원으로부터의 광을 편광하는 와이어 그리드 편광 소자를 구비한 편광광 조사 장치에 있어서, 장치의 메인터넌스 시 등에, 장치에 부착되어 있는 와이어 그리드 편광 소자의 그리드 형성면에 손가락을 대거나, 물건을 떨어뜨리거나 하여 그리드를 망가뜨리는 일이 없도록 장치를 구성하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a polarized light irradiation apparatus having a linear light source and a wire grid polarizing element for polarizing light from the light source, , The apparatus is configured such that the grid is not broken by putting a finger on the grid forming surface of the wire grid polarizing element attached to the apparatus or dropping the object.

상기 과제를 해결하기 위해, 편광광 조사 장치에 사용하는 와이어 그리드 편광 소자의 그리드 형성면을 광원 쪽을 향해 배치한다. 즉, 광조사부를 구성하는 램프 하우스에 있어서, 와이어 그리드 편광 소자의 그리드가 형성되어 있지 않은 면이 램프 하우스(등기구)의 외측을 향하도록 한다. In order to solve the above problem, the grid-formed surface of the wire grid polarizing element used in the polarized light irradiating device is disposed toward the light source. That is, in the lamp house constituting the light irradiating unit, the surface of the wire grid polarizing element on which the grid is not formed is directed to the outside of the lamp house (lamp).

또한, 와이어 그리드 편광 소자의 그리드 형성면의 바로 위(편광 소자와 광원의 사이)에, 그리드 형성면을 보호하는 필터를 설치한다. 필터는 편광시키고 싶은 파장의 광이 투과하는 것을 이용한다. Further, a filter for protecting the grid formation surface is provided just above the grid formation surface (between the polarization element and the light source) of the wire grid polarization element. A filter transmits light of a wavelength to be polarized.

광원을 덮는 외벽에 형성한 광출사구에, 와이어 그리드 편광 소자를 그리드 형성면이 광원 쪽을 향하도록 배치했으므로, 램프 하우스의 밖으로부터는, 그리드 형성면에 접촉되지 않는다. 가령 편광 소자에 접촉했다고 해도, 램프 하우스의 외측을 향하고 있는 것은 그리드 형성면이 아닌 면이므로, 그리드를 망가뜨리는 일이 없다. Since the wire grid polarizing element is arranged so that the grid forming surface faces the light source on the light emitting aperture formed on the outer wall covering the light source, the wire grid polarizing element is not in contact with the grid forming surface from the outside of the lamp house. Even if a polarizing element is brought into contact with the polarizing element, since the surface facing the outside of the lamp house is not the grid forming surface, the grid is not broken.

또, 그리드 형성면의 바로 위에 필터를 설치함으로써, 예를 들면, 램프 하우스 내를 메인터넌스하고 있는 경우여도, 그리드면에는 손이 닿기 어려워지고, 물건을 떨어뜨려도 필터가 그리드 형성면으로의 낙하를 막는다. 이것에 의해 그리드를 망가뜨리는 일이 없다. Further, by providing a filter just above the grid forming surface, even if the inside of the lamp house is being maintained, for example, it is difficult to reach the grid surface, and the filter prevents the filter from falling down to the grid forming surface . This does not destroy the grid.

도 1은 본 발명의 제1 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타낸 도이다.
도 2는 편광 소자 유닛의 구조를 나타낸 도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타낸 도이다.
도 4는 종래의 편광광 조사 장치의 구성예를 나타낸 도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a lamp house (lamp) of a polarized light irradiation apparatus according to a first embodiment of the present invention;
2 is a diagram showing a structure of a polarizing element unit.
Fig. 3 is a diagram showing a schematic configuration of a lamp house (lamp) of a polarized light irradiation apparatus according to a second embodiment of the present invention.
4 is a diagram showing a configuration example of a conventional polarized light irradiation apparatus.

도 1은, 본 발명의 제1 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타낸 도이다. 이 도면은, 램프 하우스의 길이 방향에 대해 직교하는 방향의 단면도이다. 또한, 이 도면에 있어서는, 램프의 점등 장치 등의 구성에 대해서는 생략하여 나타내고 있다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a lamp house (lamp) of a polarized light irradiation apparatus according to a first embodiment of the present invention. Fig. This drawing is a sectional view in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the lamp house. In this figure, the configuration of a lamp lighting device or the like is omitted.

램프 하우스(1)는, 광조사부(10)와, 그 상부에 수냉식의 냉각기(라디에이터)(20)와, 송풍기(블로어)(30)를 구비한다. 광조사부(10)는, 램프(11)와 램프(11)로부터의 광을 반사하는 반사 미러(12)를 가지고 있다. 도면 중 실선의 화살표로 나타내는 바와 같이, 램프(11)로부터의 광은, 직접 또는 반사 미러(12)에 의해 반사되어, 와이어 그리드 편광 소자(81)를 통하여 워크 W에 조사된다. The lamp house 1 is provided with a light irradiation unit 10, a water-cooled cooler (radiator) 20, and a blower (blower) 30 thereon. The light irradiation unit 10 has a lamp 11 and a reflection mirror 12 that reflects light from the lamp 11. Light from the lamp 11 is directly or reflected by the reflecting mirror 12 and irradiated to the work W through the wire grid polarizing element 81 as indicated by the solid line arrow in the figure.

블로어(30)는, 램프(11) 점등 시에 램프(11)나 반사 미러(12)를 냉각하는 냉각풍을 발생시키고, 라디에이터(20)는, 램프(11)나 반사 미러(12)를 냉각한 냉각풍의 온도를 낮추는 기능을 한다. The blower 30 generates cooling wind for cooling the lamp 11 and the reflecting mirror 12 when the lamp 11 is turned on and the radiator 20 cools the lamp 11 and the reflecting mirror 12 It functions to lower the temperature of one cooling wind.

광조사부(10)는 격벽(40)에 의해 둘러싸여 있으며, 그 외측을 램프 하우스(1)의 외벽(60)이 덮고 있다. 격벽(40)과 외벽(60)의 사이에는 간극이 형성되어 있다. 이 간극은, 냉각풍이 통과하는 통풍로(50)가 된다. The light irradiation part 10 is surrounded by the partition wall 40 and the outer side thereof is covered with the outer wall 60 of the lamp house 1. [ A gap is formed between the partition wall (40) and the outer wall (60). This gap becomes the ventilation path 50 through which the cooling wind passes.

냉각풍은, 도면 중 점선으로 나타낸 대로, 블로어(30)로부터 송출되어 통풍로(50)를 지나, 반사 미러(12)의 광출사측으로부터, 램프(11)나 반사 미러(12)를 냉각하면서 광조사부(10)의 내측으로 끌여들여져, 라디에이터(20)를 통과하여 냉각되고, 다시 블로어(30)에 의해 송출된다. The cooling wind is cooled by cooling the lamp 11 and the reflecting mirror 12 from the light output side of the reflecting mirror 12 after being blown out from the blower 30 and passing through the ventilation path 50 as shown by the dotted line in the figure Drawn to the inside of the light irradiating unit 10, passed through the radiator 20 and cooled, and sent out by the blower 30 again.

또, 램프 하우스(1)의 외벽(60)에는, 광조사부(10)로부터 워크 W를 향해 조사되는 광이 통과하는 광출사구(70)가 형성되어 있다. In the outer wall 60 of the lamp house 1, a light exit port 70 through which light irradiated from the light irradiating section 10 toward the work W is passed is formed.

이 광출사구(70)에는, 여기를 통과하는 광을 편광하는 와이어 그리드 편광 소자(81)를 가지는 편광 소자 유닛(80)이 부착된다. A polarizing element unit 80 having a wire grid polarizing element 81 for polarizing light passing through the excitation is attached to the light emitting port 70.

편광 소자 유닛(80)의 와이어 그리드 편광 소자(81)는, 광배향 처리를 행하기 위한 파장의 광을 투과하는 투명 기판(유리 기판)의 일방의 표면에, 와이어 그리드(이하, 그리드라고도 한다) G를 형성한 것이다. 여기서 그리드 G의 형성면을 램프(11)측(외벽(60)의 내측)을 향해 배치한다. The wire grid polarizing element 81 of the polarizing element unit 80 has a wire grid (hereinafter also referred to as a grid) on the surface of one surface of a transparent substrate (glass substrate) through which light of a wavelength for performing a light alignment treatment is transmitted, G. ≪ / RTI > Here, the formation surface of the grid G is disposed toward the lamp 11 side (inside of the outer wall 60).

도 1에 있어서 와이어 그리드 편광 소자(81)의 그리드 G는, 도면 좌우 방향으로 연장되어 있다. In Fig. 1, the grid G of the wire grid polarizing element 81 extends in the left-right direction of the figure.

도 2는, 편광 소자 유닛(80)의 구조를 나타낸 도이다. 도 2(a)는 편광 소자 유닛(80)의 평면도, 도 2(b)는 편광 소자 유닛(80)의 측단면도, 도 2(c)는 편광 소자 유닛(80)의 사시도이다. Fig. 2 is a diagram showing the structure of the polarizing element unit 80. Fig. 2 (a) is a plan view of the polarizing element unit 80, Fig. 2 (b) is a side sectional view of the polarizing element unit 80, and Fig. 2 (c) is a perspective view of the polarizing element unit 80. Fig.

편광 소자 유닛(80)은, 복수의 와이어 그리드 편광 소자(이하, 편광판이라고도 한다)(81)를, 봉형상 램프(12)의 길이 방향(도 2의 좌우 방향)을 따라 프레임(유지틀)(82) 내에 늘어놓아 유지한 것이다. 유지틀(82)은 상하로부터 각 편광판(81)을 사이에 끼우도록 하여 유지한다. The polarizing element unit 80 includes a plurality of wire grid polarizing elements (hereinafter also referred to as polarizing plates) 81 along a longitudinal direction of the rod lamp 12 (left and right direction in FIG. 2) 82). The holding frame 82 holds the respective polarizing plates 81 therebetween from above and below.

서로 이웃하는 편광판과 편광판 사이에는, 1mm 내지 2mm 정도의 간극이 설치된다. 편광판들의 그리드 G의 방향이 평행이 되도록 맞추기 위해서, 이 간극을 사용하여 편광판(81)을 회전 이동시켜 위치 조정한다. 그리고, 이 간극은, 여기로부터 무편광광이 누출되지 않도록, 편광 소자 유닛(80)에 있어서 차광판(83)에 의해 덮여 있다. A gap of about 1 mm to 2 mm is provided between the adjacent polarizing plates and the polarizing plate. In order to align the direction of the grid G of the polarizing plates parallel to each other, the polarizing plate 81 is rotationally moved and adjusted by using the gap. The gap is covered by the light shielding plate 83 in the polarization element unit 80 so that no non-irradiated light is leaked from the gap.

상기한 바와 같이, 각 와이어 그리드 편광 소자(편광판)(81)는, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 그리드 G의 형성면이 램프(광원)측(램프 하우스의 내측)이 되도록 배치된다. As described above, each wire grid polarizing element (polarizing plate) 81 is arranged so that the formation surface of the grid G is on the lamp (light source) side (inside of the lamp house), as shown in Fig. 2 (b).

도 3은, 본 발명의 제2 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타낸 도이다. 도 1과 마찬가지로, 이 도면은, 램프 하우스의 길이 방향에 대해 직교하는 방향의 단면도이다. Fig. 3 is a diagram showing a schematic configuration of a lamp house (lamp) of the polarized light irradiation apparatus according to the second embodiment of the present invention. Like Fig. 1, this figure is a sectional view in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the lamp house.

도 1의 제1 실시예의 구성과의 차이는, 편광 소자 유닛(80) 상(램프측)에, 편광판(81)의 그리드 G면을 보호하기 위한 필터(90)를 배치한 것이다. 필터(90)는, 편광판(81)과 마찬가지로, 복수의 필터판(91)을 유지틀(92) 내에, 램프(12)의 길이 방향을 따라 늘어놓아 배치한 것이다. 도면 중 실선의 화살표로 나타내는 바와 같이, 램프(11)로부터의 광은, 직접 또는 반사 미러(12)에 의해 반사되어, 필터(90)와 편광판(81)을 통하여 워크 W에 조사된다. 1 is that the filter 90 for protecting the G plane of the polarizing plate 81 is disposed on the polarizing element unit 80 (lamp side). The filter 90 is formed by arranging a plurality of filter plates 91 in the holding frame 92 along the longitudinal direction of the lamp 12 in the same manner as the polarizing plate 81. The light from the lamp 11 is directly or reflected by the reflecting mirror 12 and is irradiated to the work W through the filter 90 and the polarizing plate 81 as indicated by solid arrows in the figure.

필터판의 유지틀(92)은, 편광 소자 유닛(80)의 유지틀(82) 상에 통풍로 형성 부재인 지지봉(93)을 세우고, 그 위에 부착되어 있다. 필터판(91)으로서는, 편광하는 자외선의 파장을 투과하는 석영판을 사용할 수 있다. 또, 광배향 처리에는 필요가 없는 가시광이나 적외선을 차단하는 간섭을 형성한 간섭 필터를 사용해도 된다. The holding frame 92 of the filter plate is provided with a support rod 93 as a ventilation path forming member on the holding frame 82 of the polarization element unit 80 and is attached thereto. As the filter plate 91, a quartz plate which transmits the wavelength of ultraviolet rays to be polarized can be used. It is also possible to use an interference filter which forms an interference which blocks visible light or infrared rays which is not necessary for the photo alignment treatment.

편광판(81) 상에 필터판(91)을 접촉시켜 겹치면, 편광판(81)의 그리드 G가 손상될 가능성이 있으므로, 양자는 간격을 두고 배치한다. 이 간격은, 좁으면, 편광판(81) 상을 냉각풍이 흐르기 어려워져, 편광판(81)이 램프(11)로부터의 열로 가열될 가능성이 있으므로, 충분한 냉각풍이 흐를 수 있는 간격을 설치한다. 그러나, 간격을 너무 두면, 편광판(81)의 그리드 G형성면을 보호할 수 없게 되므로, 손가락이 들어가지 않을 듯한 정도의 간격으로 하는 것이 바람직하다. There is a possibility that the grid G of the polarizing plate 81 may be damaged if the filter plate 91 is brought into contact with the polarizing plate 81 so that they are overlapped with each other. If the interval is narrow, the cooling wind does not easily flow on the polarizing plate 81, and the polarizing plate 81 may be heated by the heat from the lamp 11, so that an interval at which sufficient cooling wind can flow is provided. However, if the spacing is too large, it is impossible to protect the grid-G forming surface of the polarizing plate 81, so that it is preferable that the intervals are such that the fingers do not enter.

손가락이 들어가지 않는 간격의 일례로서 IP(International Protection) 규격을 들 수 있다. 이것은, IEC60529(1989년)로 제정되고, JIS에서도 C0920(1993년)로 정해져 있는 것으로, 인체에 대한 보호 내용으로서, 손가락의 경우, 기기에 대한 보호 내용은 직경 12.5mm 이하로 하는 것이 나타나 있다. An example of an interval in which a finger is not inserted is an IP (International Protection) standard. This has been established as IEC60529 (1989) and JIS as C0920 (1993), and it is shown that, in the case of fingers, the content of protection for the human body is 12.5 mm or less in diameter.

따라서, 편광판(81)과 필터판(91)의 간격은 5mm 내지 12.5mm로 하는 것이 바람직하다. Therefore, the interval between the polarizing plate 81 and the filter plate 91 is preferably 5 mm to 12.5 mm.

지지봉(93)은, 편광 소자 유닛(80)과 필터(90)의 길이 방향을 따라 양측(도 1의 좌우 방향)으로 복수, 냉각풍을 통과할 수 있는 간격을 두고 설치한다. A plurality of support bars 93 are provided on both sides of the polarization element unit 80 and the filter 90 along the longitudinal direction of the filter 90 so as to pass through the cooling wind.

또한, 지지봉(93)은 편광판(81)과 필터판(91)의 사이에 통풍로를 형성하기 위한 통풍로 형성 부재이므로, 통풍로를 형성할 수 있으면 봉형상의 것이 아니어도 된다. The supporting rod 93 is a ventilation-path forming member for forming a ventilation path between the polarizing plate 81 and the filter plate 91, so that it need not be a rod-like form as long as the ventilation path can be formed.

예를 들면, 직사각형의 블록형상의 것이어도 되고, 냉각풍을 통과할 수 있는 관통구멍(직경 5mm 이상이 바람직하다)을 형성한 판형상 혹은 벽형상의 것이어도 된다. 또, 편광 소자 유닛(80)과 필터(90)의 간격을 유지할 수 있는 것이면 망형상의 것이어도 된다. For example, it may be a rectangular block-like shape, or a plate-like or wall-like shape in which a through hole (preferably a diameter of 5 mm or more) capable of passing the cooling wind is formed. Further, the filter 90 may be of a meshed type so long as the interval between the polarizing element unit 80 and the filter 90 can be maintained.

또한, 관통구멍을 형성한 판형상의 부재나 망형상의 부재로 한 경우, 통풍구가 되는 구멍이나 망의 지름의 크기를, 상기한 손가락이 들어가지 않는 크기인 직경 12.5mm 이하(즉 통풍을 확보할 수 있는 직경 5mm~12.5mm의 구멍)으로 해 두면, 편광 소자 유닛(80)과 필터(90)의 사이의 간격을, 충분한 냉각풍이 흐르도록 넓혀도, 편광판(81)의 그리드 G형성면에 손가락이 닿지 않아, 그리드 G를 보호할 수 있다. In the case of a plate-like member or a mesh-like member having a through-hole formed therein, the size of the hole or the diameter of the mesh to be the ventilation hole is set to be 12.5 mm or less in diameter Even if the gap between the polarizing element unit 80 and the filter 90 is widened so that a sufficient cooling wind flows, The grid G can be protected.

또한, 상기 실시예에 있어서는, 광원으로서 봉형상의 램프를 예로서 설명했지만, 자외선을 출사하는 LED를 복수 선형상으로 늘어놓아 구성한 것이어도, 본 발명은 적용할 수 있다. In the above embodiment, the rod-shaped lamp is described as an example of the light source. However, the present invention can be applied even if the LEDs that emit ultraviolet rays are arranged in a plurality of lines.

1 램프 하우스(등기구) 10 광조사부
11 봉형상 램프 12 반사 미러
20 라디에이터(냉각기) 30 블로어(송풍기)
40 격벽 50 통풍로
60 외벽 70 광출사구
80 편광 소자 유닛 81 와이어 그리드 편광 소자(편광판)
82 편광판의 유지틀 83 차광판
90 필터 유닛 91 필터판
92 필터판의 유지틀 93 지지봉
G 와이어 그리드 W 워크 1 lamp house (luminaire) 10 light irradiation part
11 rod shaped lamp 12 reflection mirror
20 Radiator (cooler) 30 Blower (blower)
40 barrier 50 ventilation
60 Outer wall 70 Light outlet
80 polarizing element unit 81 wire grid polarizing element (polarizing plate)
82 Polarizing plate holding frame 83 Shading plate
90 filter unit 91 filter plate
92 Retaining frame of filter plate 93 Supporting rod
G Wire Grid W Work

Claims (2)

선형상의 광원과, 상기 광원으로부터의 광을 편광하는 편광 소자와, 상기 광원을 덮으며 광원으로부터의 광이 통과하는 광출사구를 형성한 외벽을 구비한 편광광 조사 장치에 있어서,
상기 편광 소자는 투명 기판 상에 와이어 그리드를 형성한 와이어 그리드 편광 소자이며,
상기 와이어 그리드 편광 소자는, 와이어 그리드를 형성한 면을 상기 장치의 내부를 향하게 하여 상기 광출사구를 막도록 배치되어 있음과 함께,
상기 편광광 조사 장치의 내부에는, 상기 내부의, 외벽으로 둘러싸인 공간에 냉각풍을 순환시키는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.1. A polarized light irradiation apparatus comprising a linear light source, a polarizing element for polarizing light from the light source, and an outer wall forming a light output port through which the light from the light source passes,
Wherein the polarizing element is a wire grid polarizing element in which a wire grid is formed on a transparent substrate,
The wire grid polarizing element is arranged so as to close the light output port with the surface on which the wire grid is formed facing the inside of the device,
Wherein the polarized light irradiating device is provided with a mechanism for circulating cooling air in a space surrounded by the outer wall inside the polarized light irradiating device. 청구항 1에 있어서,
상기 와이어 그리드 편광 소자와 상기 광원의 사이에, 광을 투과하는 필터를 설치한 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.The method according to claim 1,
And a filter for transmitting light is provided between the wire grid polarizer and the light source.
KR1020150181912A 2012-01-25 2015-12-18 Polarized light illuminating apparatus KR20160003598A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2012-013288 2012-01-25
JP2012013288A JP5200271B1 (en) 2012-01-25 2012-01-25 Polarized light irradiation device

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130006351A Division KR101624774B1 (en) 2012-01-25 2013-01-21 Polarized light illuminating apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160003598A true KR20160003598A (en) 2016-01-11

Family

ID=48712982

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130006351A KR101624774B1 (en) 2012-01-25 2013-01-21 Polarized light illuminating apparatus
KR1020150181912A KR20160003598A (en) 2012-01-25 2015-12-18 Polarized light illuminating apparatus

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130006351A KR101624774B1 (en) 2012-01-25 2013-01-21 Polarized light illuminating apparatus

Country Status (4)

Country Link
JP (2) JP5200271B1 (en)
KR (2) KR101624774B1 (en)
CN (2) CN103226264B (en)
TW (2) TW201333550A (en)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6326746B2 (en) * 2013-09-10 2018-05-23 東芝ライテック株式会社 Polarized light irradiation device
JP2015090386A (en) * 2013-11-05 2015-05-11 ウシオ電機株式会社 Polarized light irradiation apparatus
JP5648734B1 (en) * 2013-11-19 2015-01-07 岩崎電気株式会社 Light irradiation device
JP6187348B2 (en) * 2014-03-25 2017-08-30 東芝ライテック株式会社 Polarized light irradiation device
JP5958491B2 (en) * 2014-03-31 2016-08-02 ウシオ電機株式会社 Polarized light irradiation device
JP6500204B2 (en) * 2015-04-14 2019-04-17 株式会社ブイ・テクノロジー Polarized light irradiation device
JP2016153920A (en) * 2016-05-19 2016-08-25 ウシオ電機株式会社 Polarization light irradiation device
CN108121101B (en) * 2016-11-29 2020-11-20 上海微电子装备（集团）股份有限公司 Wire grid unit and protection device thereof
JP6870391B2 (en) * 2017-03-06 2021-05-12 ウシオ電機株式会社 Light irradiation device
CN112394556B (en) * 2020-12-17 2022-07-22 江西富益特显示技术有限公司 Attached equipment of full-automatic polaroid

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04506412A (en) 1990-01-30 1992-11-05 エービービー　アムデータ　インコーポレイテッド How to inspect the density of carbon fibers in a substrate by infrared imaging
JP2002328234A (en) 2001-03-05 2002-11-15 Eastman Kodak Co Wire grid polarizer
JP2003508813A (en) 1999-09-07 2003-03-04 モックステック Improved wire grid polarization beam splitter
JP2011145381A (en) 2010-01-13 2011-07-28 Ushio Inc Polarized light irradiating device

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003090902A (en) * 2001-09-19 2003-03-28 Dainippon Printing Co Ltd Antireflection imparting film and antireflection processing method using the same
JP2003131212A (en) * 2001-10-25 2003-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Projection type display device
US6874899B2 (en) * 2002-07-12 2005-04-05 Eastman Kodak Company Apparatus and method for irradiating a substrate
JP4063042B2 (en) * 2002-10-23 2008-03-19 ウシオ電機株式会社 Polarized light irradiation device for photo-alignment
JP4280518B2 (en) * 2003-03-05 2009-06-17 リコー光学株式会社 Polarizing optical element and manufacturing method thereof
JP2005062674A (en) * 2003-08-19 2005-03-10 Sanyo Electric Co Ltd Plate-like optical component
JP4622695B2 (en) * 2004-08-27 2011-02-02 日本ビクター株式会社 Projection display
JP4506412B2 (en) * 2004-10-28 2010-07-21 ウシオ電機株式会社 Polarizing element unit and polarized light irradiation device
JP4604661B2 (en) * 2004-11-05 2011-01-05 ウシオ電機株式会社 Polarized light irradiation device for photo-alignment
JP4606242B2 (en) * 2005-05-09 2011-01-05 富士フイルム株式会社 Ultraviolet irradiation device, functional film, and polarizing plate and liquid crystal display device using the same
JP2006323060A (en) * 2005-05-18 2006-11-30 Ushio Inc Polarized-light irradiating device
JP4424296B2 (en) * 2005-10-13 2010-03-03 ウシオ電機株式会社 UV irradiation equipment
JP2007279458A (en) * 2006-04-07 2007-10-25 Miraial Kk Sub-wavelength grating optical element
JP4708287B2 (en) * 2006-08-25 2011-06-22 富士フイルム株式会社 Manufacturing method of optical film, optical film, polarizing plate, transfer material, liquid crystal display device, and polarized ultraviolet exposure device
JP5183284B2 (en) * 2008-04-11 2013-04-17 三菱電機株式会社 Light guide plate and manufacturing method thereof
JP2010085917A (en) * 2008-10-02 2010-04-15 Asahi Kasei E-Materials Corp Transparent heat-ray reflecting film and heat-ray shielding windowpane using the same
JP2012118452A (en) * 2010-12-03 2012-06-21 Asahi Kasei E-Materials Corp Polarization-converting light source device and projection type liquid crystal display device using the same
JP5056991B1 (en) * 2012-02-02 2012-10-24 ウシオ電機株式会社 Polarized light irradiation device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04506412A (en) 1990-01-30 1992-11-05 エービービー　アムデータ　インコーポレイテッド How to inspect the density of carbon fibers in a substrate by infrared imaging
JP2003508813A (en) 1999-09-07 2003-03-04 モックステック Improved wire grid polarization beam splitter
JP2002328234A (en) 2001-03-05 2002-11-15 Eastman Kodak Co Wire grid polarizer
JP2011145381A (en) 2010-01-13 2011-07-28 Ushio Inc Polarized light irradiating device

Also Published As

Publication number Publication date
TWI560473B (en) 2016-12-01
JP5200271B1 (en) 2013-06-05
TW201333550A (en) 2013-08-16
JP5590578B2 (en) 2014-09-17
TW201636660A (en) 2016-10-16
KR20130086554A (en) 2013-08-02
CN105974674A (en) 2016-09-28
JP2014112119A (en) 2014-06-19
JP2013174863A (en) 2013-09-05
CN103226264B (en) 2016-11-02
CN103226264A (en) 2013-07-31
KR101624774B1 (en) 2016-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101624774B1 (en) Polarized light illuminating apparatus
JP5163825B1 (en) Polarized light irradiation device
KR101630007B1 (en) Polarized light illuminating apparatus
KR101646828B1 (en) Polarized light illuminating apparatus
KR102064875B1 (en) Apparatus for irradiating ultraviolet rays
KR20170135737A (en) Polarized light illuminating apparatus and light aligning apparatus
JP6187348B2 (en) Polarized light irradiation device
KR102166261B1 (en) Polarized light irradiation apparatus
JP5825392B2 (en) Polarized light irradiation device
JP2013152433A (en) Polarization light irradiation apparatus
JP5454624B2 (en) Polarized light irradiation device
JP5967150B2 (en) Polarized light irradiation device
TW201445225A (en) Polarized light irradiation equipment for light orientation
JP2018040915A (en) Light irradiator

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application