KR20150126885A - 반사 방지 코팅 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 광학 코팅에 관한 것으로, 광학 통신 및 정보 처리용 디스플레이 또는 다른 디바이스의 외부 표면으로부터 가시광의 반사를 실질적으로 감소시키는데 사용될 수 있다. 여러 실시예에서 반사 방지 코팅은, 여러 실시예에서 2 내지 12 나노미터 범위에 이르는 두께를 가지는 하나의 금속층과, 특정 범위에 있는 굴절률과 두께를 가진 하나 또는 2개의 비금속층을 포함하고, 상기 금속층은 상기 비금속층과 기판 사이에 배치되거나 또는 상기 비금속층들 사이에 배치된, 2개 또는 3개의 층으로 구성된다.

Description

반사 방지 코팅{ANTI-REFLECTIVE COATING}
본 발명은 광학 코팅, 특히, 반사 방지 광학 코팅에 관한 것으로, 광학 통신 및 정보 처리용 디스플레이 및 디바이스로부터 주위 광 반사를 회피하거나 크게 감소시키는데 사용될 수 있다.
예를 들어, 논문 "Optical Coating Technology" (P.W.Baumeister, page l-3, fig. 1-7 및 page 4-11, section 4.3.2, published by SPIE, Washington, USA, 2004)에 설명된 기판 상에 잘 알려진 반사 방지 코팅은 기판의 굴절률 미만의 굴절률과 1/4 파장의 광학 두께를 가지는 하나의 비금속층을 포함한다(여기서 층의 광학 두께는 그 물리적인 두께를 층의 굴절률과 곱한 것이다). 이 알려진 반사 방지 코팅은 주위 광 잔류 반사를 노출(bare) 기판의 4 내지 5%가 아니라 1.5 내지 2%로 감소시킨다. 이 하나의-층 반사 방지 코팅의 단점은 잔류 반사율이 상대적으로 높다는 것이다.
예를 들어, 논문 "Optical Coating Technology"(P.W.Baumeister, page 4-12, section 4.3.3.1, published by SPIE, Washington, USA, 2004)에 설명된 기판 상에 다른 잘 알려진 반사 방지 코팅은 기판의 굴절률을 초과하는 굴절률을 가지는 제1 비금속층과, 이 제1 비금속층의 굴절률 미만의 굴절률을 가지는 제2 비금속층을 포함하고, 상기 제1 비금속층은 상기 제2 비금속층과 기판 사이에 배치된다. 이 알려진 반사 방지 코팅은 주위 광 잔류 반사를 노출 기판의 4 내지 5%가 아니라 0.5 내지 1%로 감소시킨다. 이 2-층 반사 방지 코팅의 단점은 요구되는 중간색(neutral tint)이 아니라 반사된 광에 현저한 컬러가 있는 것이다.
예를 들어, 논문 "Optical Coating Technology"(P.W.Baumeister, page 1-14, section 1.3.1.3, published by SPIE, Washington, USA, 2004)에 설명된 기판 상에 또 다른 잘 알려진 반사 방지 코팅은 높은 반사율과 낮은 반사율의 교번하는 층의 세트(4개 이상의 층)를 포함한다. 이 알려진 반사 방지 코팅은 주위 광 잔류 반사를 노출 기판의 4 내지 5%가 아니라 0.1 내지 0.5%로 감소시킨다. 이 다중-층 반사 방지 코팅의 단점은 많은 층의 증착으로 인해 제조 비용이 상대적으로 높다는 것과 조절이 곤란하다는 것이다.
열(적외선 범위)은 반사하지만 가시 범위에서는 고도로 투명한 패널은 미국 특허 제4,327,967호에 개시된다. 이 패널은, 유리 기판 상에 증착된 2를 초과하는 굴절률을 갖는 하나의 비금속층, 이 비금속층 상에 증착된 금(gold) 층, 및 반사 컬러 중립(neutrality)을 위해 금 층을 코팅하는 다른 금속 박층을 포함한다. 이 패널의 단점은 가시 범위에서 반사율이 상대적으로 높다(>8%)는 것이다.
본 발명의 목적은 요구된 중간색에서 0.1 내지 0.5%만큼 낮은 가시광에 대한 주위 광 잔류 반사를 제공하는 반사 방지 코팅을 기판 상에 제공하는 것이다.
요구된 중간색에서 낮은 주위 광 잔류 반사를 제공하면서 본 발명의 다른 목적은 반사 방지 코팅을 구성하는 층의 수를 최소화(3개 이하의 층)하여, 낮은 비용을 보장하는 것이다.
본 발명의 제1 실시예에 따르면, 가시광에 대해 본 목적은 2 내지 5 나노미터 범위에 이르는 두께의 하나의 금속층과, 1.3 내지 1.6 범위에 이르는 반사율과 40 내지 80 나노미터 범위에 이르는 두께를 가진 하나의 비금속층을 포함하는 반사-방지 코팅을 기판 상에 제공하고, 상기 금속층은 상기 비금속층과 상기 기판 사이에 배치된 것에 의해 달성된다.
본 발명의 제2 실시예에 따르면, 가시광에 대해 본 목적은 2 내지 12 나노미터 범위에 이르는 두께의 하나의 금속층, 1.7을 초과하지 않는 굴절률과 30 내지 100 나노미터 범위에 이르는 두께를 가지는 제1 비금속층, 1.7을 초과하는 굴절률과 10 내지 50 나노미터 범위에 이르는 두께를 가지는 제2 비금속층을 포함하는 반사 방지 코팅을 기판 상에 제공하되, 제2 및 제1 비금속층의 굴절률 간의 차이는 0.3 이상이고, 제2 비금속층은 기판 상에 배치되며, 상기 금속층은 제2 비금속층 상에 배치되고, 제1 비금속층은 상기 금속층 상에 배치된 것에 의해 달성된다.
본 발명은 반사 방지 코팅의 일부 실시예만을 도시하는 도면에 의해 명확해지지만, 이 도면은 제시된 기술적 해법의 전체 청구범위를 완전히 커버하는 것도 아니고 이 청구범위를 제한하는 것도 아닌 것으로 이해된다.
도 1은 1.6 이하의 굴절률을 갖는 하나의 비금속층과, 이 비금속층과 기판 사이에 배치된 2 내지 5 나노미터 범위에 이르는 두께를 가지는 하나의 금속층으로 구성된 반사 방지 코팅의 제1 실시예를 도시하는 도면;
도 2는 도 1에 따른 반사 방지 코팅의 주위 가시광 반사 스펙트럼을 도시하는 도면;
도 3은 1.7 이하의 굴절률을 구비하는 제1 비금속층과, 1.7을 초과하는 굴절률을 갖는 제2 비금속층과 하나의 금속층으로 구성되고, 상기 제2 비금속층은 기판 상에 배치되고, 상기 금속층은 제2 비금속층 상에 배치되고, 제1 비금속층은 상기 금속층 상에 배치된, 반사 방지 코팅의 제2 실시예를 도시하는 도면;
도 4는 도 3에 따른 반사 방지 코팅의 주위 가시광 반사 스펙트럼을 도시하는 도면.
도 1에서 2 내지 5 나노미터 범위에 이르는 두께를 갖는 하나의 금속층(1)과, 1.3 내지 1.6 범위에 이르는 반사율과 40 내지 80 나노미터 범위에 이르는 두께를 가지는 하나의 비금속층(2)을 구비하고, 상기 금속층(1)은 상기 비금속층(2)과 기판(3) 사이에 배치된, 가시광에 대한 반사 방지 코팅을 기판(3) 상에 제공하는 제1 실시예가 도시된다.
반사 방지 코팅은 다음과 같이 작용한다. 주위 백색 광(4)은 반사 방지 코팅에 입사하고 각 계면, 즉: "공기-비금속층(2)", "비금속층(2)-금속층(1)", "금속층(1)-기판(3)"으로부터 반사된다. 반사된 광이 상쇄 간섭한 결과 반사된 광(5)의 총 세기는 비금속층(1)의 두께 및 굴절률과, 금속의 광학 특성 및 그 두께를 특정해서 적절히 선택하는 것에 의해 매우 낮아진다.
금속층은, 바람직하게는, 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 비스무트(Bi), 주석(Sn), 로듐(Rh), 백금(Pt), 안티몬(Sb) 및 이들 물질종의 임의의 합금 또는 고용체를 포함하는 그룹으로부터 선택된 금속으로 만들어진다. 기판(3)에 및 상기 비금속층(2)에 더 나은 접착을 위하여 금속층(1)은 1 나노미터 이하의 두께를 가지고 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 하프늄(Hf), 니오븀(Nb), 몰리브덴(Mo), 및 이들 물질종의 임의의 혼합물, 합금 또는 고용체를 포함하는 그룹으로부터 선택된 물질로 만들어진 서브-층을 더 포함할 수 있다.
금속층(1)의 두께는 사용되는 금속의 종류와, 비금속층(2)의 두께와 굴절률 및 2 내지 5 나노미터 범위에 따라 달라진다. 2 나노미터 미만의 금속 두께는 가시광 반사에는 상당한 영향을 미치지 않지만 비금속층만이 상당한 영향을 미친다. 5 나노미터를 초과하는 금속 두께는 "청색" 및 "적색" 파장 범위에서 가시광 반사를 증가시켜, 백색 가시광의 총 반사를 증가시켜서; 또한 반사된 광에 원치 않는 현저한 컬러가 생성된다.
기판(3) 상에 금속층(1)을 증착하는데 알려진 방법, 즉: 열 증발, 전자 빔 증발, 분쇄 증착, 이온빔 증착, 캐소드 분쇄 증착, 플라즈마 보조 증기 위상 화학적 증착 등이 사용된다.
비금속층(2)은 마그네슘, 칼슘, 바륨, 알루미늄, 플루오르화란타넘(lanthanum fluoride)(MgF2, CaF2, AlF3, LaF3, SiO2), 및 이들 물질종의 임의의 혼합물, 합금, 또는 고용체를 포함하는 그룹으로부터 선택된 물질종으로 만들어진다. 또한 아크릴레이트- 및 플루오로-폴리머로 구성된 유기 폴리머 그룹이 사용된다. 1.6을 초과하지 않는 굴절률을 갖고 여기서 언급되지 않은 다른 물질이 사용될 수 있다.
비금속층(2)의 두께는 비금속 물질종의 유형, 주로 그 굴절률과, 금속층(1)의 두께와 유형 및 40 내지 80 나노미터의 범위에 종속한다. 비금속층(2)을 증착하는데 알려진 방법, 즉: 열 증발, 전자 빔 증발, 분쇄 증발, 이온빔 증발, 캐소드 분쇄 증발, 플라즈마 보조 증기 위상 화학적 증착 등이 사용된다. 또한 습식 코팅 방법이 사용될 수 있다.
기판(3)(디스플레이 또는 다른 디바이스의 외부 표면)은 유전체 물질, 예를 들어, 유리 또는 폴리머로 만들어진다.
도 2에서 도 1에 따른 반사 방지 코팅의 주위 가시광 반사 스펙트럼이 도시된다. 백색 광의 잔류 반사는 0.35%를 초과하지 않고 (가시 스펙트럼 범위 내 균일한 반사로 인해) 거의 중간색을 가지는 것을 명확히 볼 수 있다.
도 3에서 2 내지 12 나노미터 범위에 이르는 두께를 갖는 하나의 금속층(1), 1.7을 초과하지 않는 굴절률과 30 내지 100 나노미터 범위에 이르는 두께를 가진 제1 비금속층(2), 1.7을 초과하는 굴절률과 10 내지 50 나노미터 범위에 이르는 두께를 가진 제2 비금속층(6)을 포함하고, 제2 및 제1 비금속층의 굴절률 간의 차이는 0.3 이상이고, 제2 비금속층(6)은 기판(3) 상에 배치되고, 상기 금속층(1)은 제2 비금속층(6) 상에 배치되고, 제1 비금속층(2)은 상기 금속층(1) 상에 배치된, 가시광에 대한 반사 방지 코팅을 기판(3) 상에 제공하는 본 발명의 제2 실시예가 도시된다.
반사 방지 코팅은 다음과 같이 작용한다. 주위 백색 광(4)은 반사 방지 코팅에 입사하고 각 계면, 즉: "공기-비금속층(2)", "비금속층(2)-금속층(1)", "금속층(1)-제2 비금속층(6)", "제2 비금속층(6)-기판(3)"으로부터 반사된다. 반사된 광이 상쇄 간섭한 결과 반사된 광(5)의 총 세기는 금속 물질과 비금속 물질의 종류 및 그 두께와, 비금속층(2 및 6)의 굴절률을 적절히 선택하는 것에 의해 매우 낮아진다.
금속층은, 바람직하게는, 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 비스무트(Bi), 주석(Sn), 로듐(Rh), 백금(Pt), 안티몬(Sb) 및 이들 물질종의 임의의 혼합물, 합금, 고용체 또는 금속간 화합물을 포함하는 그룹으로부터 선택된 물질로 만들어진다. 이 비금속층(6)에 및 이 비금속층(2)에 더 나은 접착을 위해 금속층(1)은 1 나노미터 이하의 두께를 갖고 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 하프늄(Hf), 니오븀(Nb), 몰리브덴(Mo), 및 이들 물질종의 임의의 혼합물, 합금, 고용체, 또는 금속간 화합물을 포함하는 그룹으로부터 선택된 물질로 만들어진 서브-층을 추가적으로 포함할 수 있다.
금속층(1)의 두께는 금속의 종류와 비금속층(2 및 6)의 두께와 굴절률, 및 2 내지 12 나노미터 범위에 따라 달라진다. 2 나노미터 미만의 금속 두께는 가시적인 반사에는 상당한 영향을 미치지 않지만 비금속층만이 상당한 영향을 미친다. 12 나노미터를 초과하는 금속 두께는 "청색" 및 "적색" 파장 범위에서 가시적인 반사를 증가시켜, 백색 가시광의 총 반사를 증가시켜서; 또한 반사된 광에 원치 않는 현저한 컬러가 생성된다.
비금속층(6) 상에 금속층(1)을 증착하는데 사용되는 방법, 즉: 마그네트론 스퍼터링, 열 증발, 전자 빔 증발, 분쇄 증발, 이온빔 증발, 캐소드 분쇄 증발, (플라즈마 강화) 화학적 증기 증착 등이 알려져 있다.
비금속층(2 및 6)을 증착하는데 사용되는 방법, 즉: 마그네트론 스퍼터링, 열 증발, 전자 빔 증발, 졸-겔, (플라즈마 강화) 화학적 증기 증착 등이 알려져 있다.
1.7을 초과하지 않는 굴절률을 가지는 비금속층(2)은 마그네슘, 칼슘, 바륨, 알루미늄, 플루오르화란타넘(MgF2, CaF2, BaF2, AlF3, LaF3), 실리콘 이산화물(SiO2), 및 이들 물질종의 임의의 혼합물, 합금 또는 고용체를 포함하는 그룹, 및 아크릴레이트- 및 플루오로-폴리머로 구성된 유기 폴리머 그룹으로부터 선택된 물질로 만들어진다. 또한 아크릴레이트- 및 플루오로-폴리머로 구성된 유기 폴리머 그룹이 사용된다. 1.7을 초과하지 않는 굴절률을 가지고 여기에 언급되지 않은 다른 물질이 사용될 수 있다.
비금속층(2)의 두께는 비금속 물질의 종류, 주로 그 굴절률 및 두께와, 금속층(1)의 종류 및 30 내지 100 나노미터의 범위에 따라 달라진다. 1.7을 초과하는 굴절률을 가지는 제2 비금속층(6)은 사파이어(Al2O3), 티타늄 이산화물(TiO2), 아연 황화물(ZnS), 탄탈륨 5산화물(Ta2O5), 아연 셀렌화물(ZnSe), 갈륨 인화물(GaP), 갈륨 질화물(GaN), 인듐 주석 산화물(ITO), 니오븀 5산화물(Nb2O5), 납 몰리브덴화물(PbMoO4) 붕소 질화물(BN), 실리콘 질화물(Si3N4), 알루미늄 질화물(AlN), 실리콘(Si), 게르마늄(Ge), 셀레늄(Se), 반도체 A3B5 유형, 반도체 A2B6 유형, 반도체 A5B6 유형(비소, 안티몬 및 비스무트 칼코게나이드) 및 이들 물질종의 임의의 혼합물 또는 고용체를 포함하는 그룹으로부터 선택된 물질로 만들어진다.
비금속층(6)의 두께는 두 층(2 및 6)의 비금속 물질의 종류, 주로 그 반사율과, 금속층(1)의 두께 및 종류와, 10 내지 50 나노미터의 범위에 따라 달라진다.
제2 및 제1 비금속층의 굴절률 간의 차이는 0.3 이상이다. 0.3 미만의 차이는 "청색" 및 "적색" 파장 범위에서 가시적인 반사를 증가시켜, 백색 가시광의 총 반사를 증가시켜; 또한 반사된 광에 원치 않는 현저한 컬러가 생성된다.
기판(디스플레이 또는 다른 디바이스의 외부 표면)은 유전체 물질, 예를 들어, 유리 또는 폴리머로 만들어진다.
도 4에서 도 3에 따른 반사 방지 코팅의 주위 광 반사 스펙트럼이 도시된다. 백색 광의 잔류 반사는 0.2%를 초과하지 않고 (가시 스펙트럼 범위 내 균일한 반사로 인해) 중간색을 가지는 것을 명확히 볼 수 있다.
여기서 설명된 반사 방지 코팅의 취합된 속성에 의해 보장되는 기술적인 결과는 요구되는 중간색에서 0.1 내지 0.5%만큼 낮은 주위 광 잔류 반사에 있다. 또한 반사 방지 코팅은 3개 이하의 층으로 구성되어 낮은 비용을 보장한다.
이 결과는 비금속층의 두께, 그 굴절률, 및 금속층의 두께를 최적으로 균형잡는 것에 의해 달성된다.

Claims (9)

  1. 가시광에 대한 기판 상의 반사 방지 코팅으로서,
    2 내지 5 나노미터 범위에 이르는 두께를 가지는 하나의 금속층, 및
    1.3 내지 1.6 범위에 이르는 반사율과, 40 내지 80 나노미터 범위에 이르는 두께를 가지는 하나의 비금속층을 포함하되,
    상기 금속층은 상기 비금속층과 기판 사이에 배치된, 반사 방지 코팅.
  2. 제1항에 있어서, 상기 금속층은 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 비스무트(Bi), 주석(Sn) 및 이들 물질종의 임의의 혼합물, 합금, 고용체 또는 금속간 화합물을 포함하는 그룹으로부터 선택된 물질로 만들어진, 반사 방지 코팅.
  3. 제2항에 있어서, 상기 금속층은 1 나노미터를 초과하지 않는 총 두께를 가지고 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 하프늄(Hf), 니오븀(Nb), 몰리브덴(Mo), 및 이들 물질종의 임의의 혼합물, 합금 또는 고용체를 포함하는 그룹으로부터 선택된 금속으로 만들어진 서브층을 더 포함하는, 반사 방지 코팅.
  4. 제1항에 있어서, 상기 비금속층은 MgF2, CaF2, BaF2, SiO2, AlF2, LaF3 및 이들 물질종의 임의의 혼합물 또는 고용체를 포함하는 그룹, 및 아크릴레이트- 및 플루오로-폴리머를 포함하는 유기 폴리머 그룹으로부터 선택된 물질로 만들어진, 반사 방지 코팅.
  5. 가시광에 대한 기판 상의 반사 방지 코팅으로서,
    2 내지 12 나노미터 범위에 이르는 두께를 가지는 하나의 금속층, 및
    1.7을 초과하지 않는 굴절률과 30 내지 100 나노미터 범위에 이르는 두께를 가진 제1 비금속층, 및
    1.7을 초과하는 굴절률과 10 내지 50 나노미터 범위에 이르는 두께를 가진 제2 비금속층을 포함하되,
    제2 및 제1 비금속층의 굴절률 간의 차이는 0.3 이상이고,
    제2 비금속층은 기판 상에 배치되고, 상기 금속층은 제2 비금속층 상에 배치되며, 제1 비금속층은 상기 금속층 상에 배치된, 반사 방지 코팅.
  6. 제5항에 있어서, 상기 금속층은 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 비스무트(Bi), 주석(Sn) 및 이들 물질종의 임의의 혼합물, 합금, 고용체 또는 금속간 화합물을 포함하는 그룹으로부터 선택된 물질로 만들어진, 반사 방지 코팅.
  7. 제6항에 있어서, 상기 금속층은 1 나노미터를 초과하지 않는 총 두께를 갖고 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 하프늄(Hf), 니오븀(Nb), 몰리브덴(Mo), 및 이들 물질종의 임의의 혼합물, 합금 또는 고용체를 포함하는 그룹으로부터 선택된 금속으로 만들어진 서브층을 더 포함하는, 반사 방지 코팅.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제1 비금속층은 MgF2, CaF2, BaF2, SiO2, AlF3, LaF3 및 이들 물질종의 임의의 혼합물 또는 고용체를 포함하는 그룹, 및 아크릴레이트- 및 플루오로-폴리머를 포함하는 유기 폴리머 그룹으로부터 선택된 물질로 만들어진, 반사 방지 코팅.
  9. 제5항에 있어서, 상기 제2 비금속층은 티타늄 이산화물(TiO2), 아연 황화물(ZnS), 탄탈륨 5산화물(Ta2O5), 아연 셀렌화물(ZnSe), 갈륨 인화물(GaP), 인듐 주석 산화물(ITO), 갈륨 질화물(GaN), 니오븀 5산화물(Nb2O5), 납 몰리브덴화물(PbMoO4), 붕소 질화물(BN), 실리콘 질화물(Si3N4), 알루미늄 질화물(AlN), 실리콘(Si), 게르마늄(Ge), 셀레늄(Se), 반도체 A3B5 유형, 반도체 A2B6 유형, 반도체 A5B6 유형(비소, 안티몬 및 비스무트 칼코게나이드) 및 이들 물질종의 임의의 혼합물 또는 고용체를 포함하는 그룹으로부터 선택된 물질로 만들어진, 반사 방지 코팅.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10684698B2 (en) 2017-06-30 2020-06-16 Samsung Display Co., Ltd. Display device and method of fabricating the same
US11668858B2 (en) 2019-12-09 2023-06-06 Hyundai Motor Company Antireflective lens for infrared rays having four layers of specified refractive indices

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102427151B1 (ko) * 2015-08-31 2022-07-28 엘지디스플레이 주식회사 표시 장치
US10780673B2 (en) * 2016-04-08 2020-09-22 Pilkington Group Limited Light emitting diode display and insulated glass unit including the same
CN106067652B (zh) * 2016-07-29 2022-03-08 杭州科汀光学技术有限公司 一种用于准分子激光的双波长增透膜以及光学膜厚监控系统
FR3054892A1 (fr) * 2016-08-02 2018-02-09 Saint Gobain Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques comportant au moins une couche comprenant du nitrure de silicium-zirconium enrichi en zirconium, son utilisation et sa fabrication.
CN106291908B (zh) * 2016-10-18 2021-05-11 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法
JP7117081B2 (ja) * 2017-05-12 2022-08-12 Hoya株式会社 防塵レンズ及びその製造方法
CN108196334A (zh) * 2018-01-05 2018-06-22 京东方科技集团股份有限公司 一种偏光片及其制备方法、显示装置
CN113320248A (zh) * 2021-07-04 2021-08-31 北京载诚科技有限公司 显示薄膜及显示组件

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5744227A (en) * 1995-04-03 1998-04-28 Southwall Technologies Inc. Antireflective coatings comprising a lubricating layer having a specific surface energy
US6764580B2 (en) * 2001-11-15 2004-07-20 Chungwa Picture Tubes, Ltd. Application of multi-layer antistatic/antireflective coating to video display screen by sputtering
US7199046B2 (en) * 2003-11-14 2007-04-03 Tokyo Electron Ltd. Structure comprising tunable anti-reflective coating and method of forming thereof
US7994600B2 (en) * 2005-12-21 2011-08-09 Texas Instruments Incorporated Antireflective coating
US8355418B2 (en) * 2009-09-17 2013-01-15 Soraa, Inc. Growth structures and method for forming laser diodes on {20-21} or off cut gallium and nitrogen containing substrates

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10684698B2 (en) 2017-06-30 2020-06-16 Samsung Display Co., Ltd. Display device and method of fabricating the same
US11199935B2 (en) 2017-06-30 2021-12-14 Samsung Display Co., Ltd. Display device and method of fabricating the same
US11668858B2 (en) 2019-12-09 2023-06-06 Hyundai Motor Company Antireflective lens for infrared rays having four layers of specified refractive indices

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