KR20150126297A - Touch sensor and touch panel - Google Patents

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KR20150126297A
KR20150126297A KR1020150061177A KR20150061177A KR20150126297A KR 20150126297 A KR20150126297 A KR 20150126297A KR 1020150061177 A KR1020150061177 A KR 1020150061177A KR 20150061177 A KR20150061177 A KR 20150061177A KR 20150126297 A KR20150126297 A KR 20150126297A
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transistor
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가즈노리 와타나베
히로유키 미야케
유지 이와키
히데아키 시시도
코우헤이 도요타카
코지 쿠스노키
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가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼
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Abstract

The present invention increases the detection sensitivity of a touch panel. Or, the present invention improves the visibility of the touch panel. Or, the present invention provides a flexible touch panel. Or, the present invention provides a touch panel having a thin thickness. Or, the present invention provides a lightweight touch panel. The configuration of the touch panel includes: a first substrate, a first conductive layer, a second conductive layer, and an insulation layer. The first conductive layer includes an area arranged between the first substrate and a second conductive layer. The insulation layer includes an area arranged between the first conductive layer and a second conductive layer. The first conductive layer, the second conductive layer, and the insulation layer forms a capacitor element. The second conductive layer includes an opening. The opening of the second conductive layer includes an area overlapping the first conductive layer.

Description

터치 센서 및 터치 패널{TOUCH SENSOR AND TOUCH PANEL}TOUCH SENSOR AND TOUCH PANEL [0002]

본 발명의 일 형태는 터치 센서 또는 가요성을 갖는 터치 센서에 관한 것이다. 또는, 본 발명의 일 형태는 터치 패널 또는 가요성을 갖는 터치 패널에 관한 것이다.One aspect of the present invention relates to a touch sensor or a touch sensor having flexibility. Alternatively, one aspect of the present invention relates to a touch panel or a flexible touch panel.

다만, 본 발명의 일 형태는 상기 기술 분야에 한정되지 않는다. 본 명세서 등에서 개시(開示)하는 발명의 일 형태는 물건, 방법, 또는 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 형태는 공정(process), 기계(machine), 제품(manufacture), 또는 조성물(composition of matter)에 관한 것이다. 더 구체적으로는, 본 명세서에서 개시하는 본 발명의 일 형태의 기술 분야로서 반도체 장치, 표시 장치, 발광 장치, 축전 장치, 기억 장치, 전자 기기, 조명 장치, 입력 장치, 입출력 장치, 이들의 구동 방법, 또는 이들의 제조 방법을 일례로서 들 수 있다.However, one form of the present invention is not limited to the above technical field. An aspect of the invention disclosed in this specification and the like relates to an object, a method, or a manufacturing method. An aspect of the present invention relates to a process, a machine, a manufacture, or a composition of matter. More specifically, the present invention relates to a semiconductor device, a display device, a light emitting device, a storage device, a storage device, an electronic device, a lighting device, an input device, an input / output device, , Or a method of producing them may be mentioned as an example.

또한, 본 명세서 등에서, 반도체 장치란, 반도체 특성을 이용함으로써 기능할 수 있는 장치 전반을 가리킨다. 트랜지스터 등의 반도체 소자를 비롯하여, 반도체 회로, 연산 장치, 기억 장치는 반도체 장치의 일 형태이다. 촬상 장치, 표시 장치, 액정 표시 장치, 발광 장치, 전기 광학 장치, 발전 장치(박막 태양 전지, 유기 박막 태양 전지 등을 포함함), 및 전자 기기는 반도체 장치를 갖는 경우가 있다.In the present specification and the like, a semiconductor device refers to a general device that can function by utilizing semiconductor characteristics. BACKGROUND ART [0002] Semiconductor devices, arithmetic devices, and storage devices, including semiconductor devices such as transistors, are a form of semiconductor devices. An image pickup device, a display device, a liquid crystal display device, a light emitting device, an electro-optical device, a power generation device (including a thin film solar cell, an organic thin film solar cell, and the like) and an electronic device may have a semiconductor device.

근년, 표시 장치는 다양한 용도로의 응용이 기대되고 있으며, 다양화가 요구되고 있다. 예를 들어, 휴대 정보 단말로서 터치 패널을 구비하는 스마트폰이나 태블릿 단말의 개발이 진행되고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, display devices are expected to be used in various applications, and diversification is required. For example, development of a smart phone or a tablet terminal equipped with a touch panel as a portable information terminal is underway.

또한, 특허문헌 1에는, 필름 기판 위에, 스위칭 소자인 트랜지스터나 유기 EL 소자를 구비한 플렉시블한 액티브 매트릭스형 발광 장치가 개시되어 있다.Patent Document 1 discloses a flexible active matrix type light emitting device having transistors and organic EL elements as switching elements on a film substrate.

일본국 특개 2003-174153호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-174153

사용자 인터페이스로서 화면을 손가락이나 스타일러스 등으로 터치함으로써 입력하는 기능을 표시 패널에 부가한 터치 패널이 요망되고 있다.A touch panel in which a function of inputting by touching a screen with a finger or a stylus as a user interface is added to the display panel is desired.

예를 들어, 터치 패널은, 표시 패널의 시인(視認) 측에 터치 센서를 제공하는 구성으로 할 수 있다. 터치 패널에 제공되는 터치 센서는 검출 감도가 높은 것이 요구된다. 또한, 터치 센서는 표시 패널과 중첩되도록 제공되기 때문에, 터치 센서가 제공되지 않는 경우에 비하여 시인성이 저하되는 경우가 있다.For example, the touch panel may be configured to provide a touch sensor on the viewing side of the display panel. The touch sensor provided on the touch panel is required to have a high detection sensitivity. In addition, since the touch sensor is provided so as to overlap with the display panel, the visibility may be lowered compared with the case where the touch sensor is not provided.

본 발명의 일 형태는, 터치 패널의 검출 감도를 향상시키는 것을 과제 중 하나로 한다. 또는, 터치 패널의 시인성을 향상시키는 것을 과제 중 하나로 한다. 또는, 두께가 얇은 터치 패널을 제공하는 것을 과제 중 하나로 한다. 또는, 휘는 터치 패널을 제공하는 것을 과제 중 하나로 한다. 또는, 가벼운 터치 패널을 제공하는 것을 과제 중 하나로 한다. 또는, 신뢰성이 높은 터치 패널을 제공하는 것을 과제 중 하나로 한다.One of the problems of the present invention is to improve the detection sensitivity of the touch panel. Or to improve the visibility of the touch panel. Another object of the present invention is to provide a touch panel having a small thickness. Another object of the present invention is to provide a touch panel which bends. Alternatively, one of the tasks is to provide a light touch panel. Another object of the present invention is to provide a highly reliable touch panel.

또는, 신규 입력 장치를 제공하는 것을 과제 중 하나로 한다. 또는, 신규 입출력 장치를 제공하는 것을 과제 중 하나로 한다.Or to provide a new input device. Or to provide a new input / output device.

또한, 이들 과제의 기재는 다른 과제의 존재를 방해하는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 일 형태는 이들 과제 모두를 해결할 필요는 없는 것으로 한다. 또한, 이들 외의 과제는 명세서, 도면, 청구항 등의 기재로부터 저절로 명확해지는 것이며 명세서, 도면, 청구항 등의 기재로부터 이들 외의 과제가 추출될 수 있다.Further, the description of these tasks does not hinder the existence of other tasks. In addition, one aspect of the present invention does not need to solve all these problems. Further, all of the other problems are clarified from the description of the specification, the drawings, the claims, etc., and other problems can be extracted from the description of the specification, the drawings, the claims, and the like.

본 발명의 일 형태는 제 1 기판, 제 1 도전층, 제 2 도전층, 및 절연층을 갖는 터치 센서이다. 제 1 도전층은 제 1 기판과 제 2 도전층 사이에 위치하는 영역을 포함한다. 절연층은 제 1 도전층과 제 2 도전층 사이에 위치하는 영역을 포함한다. 제 1 도전층과 제 2 도전층과 절연층은 용량 소자를 형성한다. 제 2 도전층은 개구를 갖는다. 제 2 도전층의 개구와 제 1 도전층은 서로 중첩되는 영역을 포함한다.An aspect of the present invention is a touch sensor having a first substrate, a first conductive layer, a second conductive layer, and an insulating layer. The first conductive layer includes a region located between the first substrate and the second conductive layer. The insulating layer includes a region located between the first conductive layer and the second conductive layer. The first conductive layer, the second conductive layer and the insulating layer form a capacitive element. The second conductive layer has an opening. The opening of the second conductive layer and the first conductive layer include regions overlapping with each other.

또한, 상기 구성에서, 제 1 도전층에 전기적으로 접속되는 제 1 트랜지스터를 갖는 것이 바람직하다.Further, in the above configuration, it is preferable to have a first transistor electrically connected to the first conductive layer.

또한, 본 발명의 다른 일 형태는, 상기 터치 센서, 제 2 기판, 표시 소자, 제 1 층, 및 제 2 층을 갖는 터치 패널이다. 제 2 기판은 제 1 기판과 서로 중첩되는 영역을 포함한다. 또한, 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 표시 소자, 제 1 층, 및 제 2 층을 갖는다. 제 1 층은 특정 파장 대역의 광을 투과시키는 기능을 갖고, 표시 소자와 서로 중첩되는 영역을 포함한다. 제 2 층은 가시광을 차광하는 기능을 갖는다. 제 1 도전층은 제 1 층과 서로 중첩되는 영역 및 제 2 층과 서로 중첩되는 영역을 포함한다. 제 2 도전층은 제 2 층과 서로 중첩되는 영역을 포함한다. 제 2 도전층의 개구와 표시 소자는 서로 중첩되는 영역을 포함한다. 또한, 제 2 도전층의 개구와 제 1 층은 서로 중첩되는 영역을 포함한다.Another aspect of the present invention is a touch panel having the touch sensor, the second substrate, the display element, the first layer, and the second layer. The second substrate includes a region overlapping with the first substrate. Further, a display element, a first layer, and a second layer are provided between the first substrate and the second substrate. The first layer has a function of transmitting light of a specific wavelength band and includes a region overlapping with the display element. The second layer has a function of shielding visible light. The first conductive layer includes a region overlapping with the first layer and a region overlapping with the second layer. The second conductive layer includes a region overlapping with the second layer. The opening of the second conductive layer and the display element include a region overlapping with each other. Further, the opening of the second conductive layer and the first layer include regions overlapping with each other.

또한, 상기 구성에서, 표시 소자는 발광 소자인 것이 바람직하다.In the above configuration, the display element is preferably a light emitting element.

또한, 상기 구성에서, 제 1 기판 및 제 2 기판은 각각 가요성을 갖는 것이 바람직하다.In the above configuration, it is preferable that the first substrate and the second substrate each have flexibility.

또한, 본 발명의 다른 일 형태는 상기 터치 센서 및 제 1 FPC(Flexible Printed Circuit)를 갖고, 제 1 FPC가 제 1 도전층 및 제 2 도전층 중 적어도 한쪽에 신호를 공급하는 기능을 갖는, 터치 센서 모듈이다.According to another aspect of the present invention, there is provided a touch sensor comprising a touch sensor and a first FPC (Flexible Printed Circuit), wherein the first FPC has a function of supplying a signal to at least one of the first conductive layer and the second conductive layer, Sensor module.

또한, 본 발명의 다른 일 형태는 상기 터치 패널, 제 2 FPC, 및 제 3 FPC를 갖고, 제 2 FPC가 제 1 도전층 및 제 2 도전층 중 적어도 한쪽에 신호를 공급하는 기능을 갖고, 제 3 FPC가 표시 소자에 신호를 공급하는 기능을 갖는, 터치 패널 모듈이다.According to another aspect of the present invention, there is provided a touch panel, a second FPC, and a third FPC, wherein the second FPC has a function of supplying a signal to at least one of the first conductive layer and the second conductive layer, 3 FPC is a touch panel module that has a function to supply signals to the display device.

또한, 본 발명의 다른 일 형태는 상기 터치 센서 모듈 또는 상기 터치 패널 모듈이 하우징 내에 제공된 전자 기기이다.According to another aspect of the present invention, the touch sensor module or the touch panel module is an electronic device provided in the housing.

본 발명의 일 형태에 의하여 터치 패널의 검출 감도를 향상시킬 수 있다. 또는 터치 패널의 시인성을 향상시킬 수 있다. 또는, 두께가 얇은 터치 패널을 제공할 수 있다. 또는 가벼운 터치 패널을 제공할 수 있다. 또는, 신뢰성이 높은 터치 패널을 제공할 수 있다.According to an aspect of the present invention, detection sensitivity of the touch panel can be improved. Or the visibility of the touch panel can be improved. Alternatively, a thin touch panel can be provided. Or a light touch panel. Alternatively, a highly reliable touch panel can be provided.

또는, 신규 입력 장치를 제공할 수 있다. 또는 신규 입출력 장치를 제공할 수 있다. 또한, 이들 효과의 기재는 다른 효과의 존재를 방해하는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 일 형태는 반드시 이들 효과 모두를 가질 필요는 없다. 또한, 이들 외의 효과는 명세서, 도면, 청구항 등의 기재로부터 저절로 명백해지는 것으로 명세서, 도면, 및 청구항 등의 기재로부터 이들 외의 효과가 추출될 수 있다.Alternatively, a new input device can be provided. Or a new input / output device. Also, the description of these effects does not preclude the presence of other effects. In addition, one form of the invention need not necessarily have all of these effects. Further, the effects other than these are obvious from the description of the specification, the drawings, the claims, and the like, and other effects can be extracted from the description of the specification, the drawings, the claims, and the like.

도 1은 실시형태에 따른 터치 패널 모듈의 구성예를 도시한 도면.
도 2는 실시형태에 따른 터치 패널 모듈이 갖는 적층 구조의 구성예를 도시한 도면.
도 3은 실시형태에 따른 터치 패널 모듈이 갖는 적층 구조의 구성예를 도시한 도면.
도 4는 실시형태에 따른 터치 패널 모듈이 갖는 적층 구조의 구성예를 도시한 도면.
도 5는 실시형태에 따른 터치 패널 모듈의 구성예를 도시한 도면.
도 6은 실시형태에 따른 터치 패널 모듈의 구성예를 도시한 도면.
도 7은 실시형태에 따른 터치 패널 모듈의 구성예를 도시한 도면.
도 8은 실시형태에 따른 터치 패널 모듈의 구성예를 도시한 도면.
도 9는 실시형태에 따른 터치 패널의 블록도, 회로도, 및 타이밍 차트.
도 10은 실시형태에 따른 터치 패널이 갖는 구성의 회로도 및 개략도.
도 11은 실시형태에 따른 터치 패널이 갖는 구성의 블록도 및 회로도.
도 12는 실시형태에 따른 터치 패널이 갖는 구성의 회로도.
도 13은 실시형태에 따른 터치 패널의 구성예를 도시한 도면.
도 14는 실시형태에 따른 터치 패널의 구동 방법을 설명하는 도면.
도 15는 실시형태에 따른 전자 기기를 도시한 도면.
도 16은 실시형태에 따른 전자 기기를 도시한 도면.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing a configuration example of a touch panel module according to an embodiment; Fig.
2 is a diagram showing a configuration example of a laminated structure of a touch panel module according to an embodiment;
3 is a view showing a configuration example of a laminated structure of a touch panel module according to the embodiment;
4 is a view showing a configuration example of a laminated structure of a touch panel module according to the embodiment;
5 is a diagram showing a configuration example of a touch panel module according to the embodiment;
6 is a diagram showing a configuration example of a touch panel module according to the embodiment;
7 is a view showing a configuration example of a touch panel module according to the embodiment;
8 is a view showing a configuration example of a touch panel module according to the embodiment;
9 is a block diagram, a circuit diagram, and a timing chart of a touch panel according to the embodiment.
10 is a circuit diagram and a schematic diagram of the configuration of the touch panel according to the embodiment;
11 is a block diagram and a circuit diagram of the configuration of the touch panel according to the embodiment;
12 is a circuit diagram of the configuration of the touch panel according to the embodiment;
13 is a view showing a configuration example of a touch panel according to the embodiment;
14 is a view for explaining a method of driving a touch panel according to the embodiment;
15 is a view showing an electronic apparatus according to the embodiment;
16 is a view showing an electronic apparatus according to the embodiment;

실시형태에 대하여 도면을 사용하여 자세히 설명한다. 다만, 본 발명은 이하의 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 형태 및 상세한 사항은 본 발명의 취지 및 범위에서 벗어남이 없이 다양하게 변경될 수 있다는 것은 당업자라면 용이하게 이해할 수 있다. 따라서, 본 발명은 이하에 나타내는 실시형태의 기재 내용에 한정하여 해석되는 것은 아니다.Embodiments will be described in detail with reference to the drawings. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the following description, and that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. Therefore, the present invention is not construed as being limited to the description of the embodiments described below.

또한, 이하에서 설명하는 발명의 구성에 있어서, 동일 부분 또는 같은 기능을 갖는 부분에는 동일한 부호를 다른 도면 간에서 공통으로 사용하고, 그 반복 설명은 생략한다. 또한, 같은 기능을 갖는 부분을 가리키는 경우에는, 해치 패턴을 동일하게 하고, 특별히 부호를 붙이지 않는 경우가 있다.In the following description of the present invention, the same reference numerals are used for the same portions or portions having the same functions in common between different drawings, and the repeated description thereof will be omitted. When a portion having the same function is indicated, the hatch pattern may be made the same, and there may be a case in which no special code is given.

또한, 본 명세서에서 설명하는 각 도면에 있어서, 각 구성의 크기, 층 두께, 또는 영역은, 명료화를 위하여 과장되어 있는 경우가 있다. 따라서, 반드시 그 스케일에 한정되지 않는다.In each of the drawings described in the present specification, the size, the layer thickness, or the area of each structure may be exaggerated for clarity. Therefore, it is not necessarily limited to the scale.

또한, 본 명세서 등에서 '제 1', '제 2' 등의 서수사는 구성 요소의 혼동을 피하기 위하여 사용되는 것이며, 수적으로 한정하는 것은 아니다.In this specification and the like, ordinal numbers such as 'first' and 'second' are used to avoid confusion of components, and are not limited to numerals.

트랜지스터는 반도체 소자의 일종이며, 전류나 전압의 증폭이나 도통 또는 비도통을 제어하는 스위칭 동작 등을 실현할 수 있다. 본 명세서에서의 트랜지스터는, IGFET(Insulated Gate Field Effect Transistor)나 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor)를 포함한다.A transistor is a type of semiconductor device, and can realize a switching operation for controlling current or voltage amplification, conduction or non-conduction. The transistor in this specification includes an IGFET (Insulated Gate Field Effect Transistor) or a thin film transistor (TFT: Thin Film Transistor).

또한, '막'이라는 말과 '층'이라는 말은 경우 또는 상황에 따라 서로 바꿀 수 있다. 예를 들어, '도전층'이라는 용어를 '도전막'이라는 용어로 바꿀 수 있는 경우가 있다. 또는 '절연막'이라는 용어를 '절연층'이라는 용어로 바꿀 수 있는 경우가 있다.In addition, the words 'membrane' and 'layer' can be interchanged depending on case or situation. For example, the term " conductive layer " may be replaced with the term " conductive film ". Or " insulating film " may be replaced with the term " insulating layer ".

(실시형태 1)(Embodiment 1)

본 실시형태에서는, 본 발명의 일 형태에 따른 터치 센서, 터치 센서를 구비한 터치 센서 모듈, 터치 패널, 및 터치 패널 모듈 등의 구성예에 대하여 설명한다. 이하에서는, 터치 센서로서 정전 용량 방식 터치 센서를 적용한 경우에 대하여 설명한다.In this embodiment, examples of configurations of a touch sensor, a touch sensor module having a touch sensor, a touch panel, and a touch panel module according to an embodiment of the present invention will be described. Hereinafter, the case where the capacitive touch sensor is applied as the touch sensor will be described.

또한, 본 명세서 등에서는, 터치 센서를 구비하는 기판에 예를 들어 FPC 또는 TCP(Tape Carrier Package) 등의 커넥터가 제공된 것, 또는 기판에 COG(Chip On Glass) 방식에 의하여 IC(집적 회로)가 직접 실장된 것을 터치 센서 모듈이라고 부르는 경우가 있다. 또한, 터치 센서로서의 기능과 화상 등을 표시하는 기능을 겸비하는 장치를 터치 패널(입출력 장치)이라고 부르는 경우가 있다. 또한, 터치 패널에 상기 커넥터가 제공된 것 또는 IC가 실장된 것을 터치 패널 모듈, 또는 단순히 터치 패널이라고 부르는 경우가 있다.In this specification and the like, a substrate provided with a touch sensor is provided with a connector such as FPC or TCP (Tape Carrier Package), or an IC (Integrated Circuit) is provided on a substrate by a COG In some cases, a directly mounted sensor is called a touch sensor module. In addition, a device having a function as a touch sensor and a function of displaying an image or the like is sometimes referred to as a touch panel (input / output device). In addition, the case where the connector is provided on the touch panel or the IC is mounted is called a touch panel module or simply a touch panel.

본 발명의 일 형태에 적용할 수 있는 정전 용량 방식 터치 센서는 용량 소자를 구비한다. 용량 소자는 예를 들어 제 1 도전층, 제 2 도전층, 및 이들 사이의 절연층으로 이루어지는 적층 구조를 갖는 구성으로 할 수 있다. 이 때, 제 1 도전층 및 제 2 도전층 각각은 용량 소자의 전극으로서 기능한다. 또한, 절연층은 유전체로서 기능한다.A capacitive touch sensor applicable to an embodiment of the present invention includes a capacitive element. The capacitor element may have a laminated structure including, for example, a first conductive layer, a second conductive layer, and an insulating layer therebetween. At this time, each of the first conductive layer and the second conductive layer functions as an electrode of the capacitor. Further, the insulating layer functions as a dielectric.

제 1 도전층 및 제 2 도전층 중 제 1 도전층이 터치면(검출면) 측에 제공된다. 본 발명의 일 형태에 따른 터치 센서는 손가락이나 스타일러스 등의 피검출체와 제 1 도전층 사이에 형성되는 용량을 검출함으로써 터치 동작을 검출할 수 있다. 구체적으로는, 제 1 도전층과 제 2 도전층 사이에 소정의 전위차가 있을 때, 터치 동작으로 형성되는 용량에 의하여 생기는 제 1 도전층의 전위 변화를 검출함으로써 터치 동작을 검출할 수 있다.The first conductive layer of the first conductive layer and the second conductive layer is provided on the touch surface (detection surface) side. A touch sensor according to an embodiment of the present invention can detect a touch operation by detecting a capacitance formed between a detected object such as a finger or a stylus and the first conductive layer. Specifically, when there is a predetermined potential difference between the first conductive layer and the second conductive layer, the touch operation can be detected by detecting the potential change of the first conductive layer caused by the capacitance formed by the touch operation.

여기서, 터치 센서 중 터치 검출 기능을 갖는 영역 내에서, 제 2 도전층의 면적보다 제 1 도전층의 면적을 크게 하는 것이 바람직하다. 이로써, 제 1 도전층과 제 2 도전층 사이의 용량의 크기를 작게 할 수 있다. 또한, 제 1 도전층의 전극 면적을 크게 함으로써, 피검출체와 제 1 도전층 사이에 형성되는 용량의 크기를 크게 할 수 있다. 그 결과, 터치 동작 시의 제 1 도전층의 전위 변화가 크게 되므로, 검출 감도를 높일 수 있다.Here, it is preferable that the area of the first conductive layer is larger than the area of the second conductive layer in the region having the touch detection function among the touch sensors. As a result, the size of the capacitance between the first conductive layer and the second conductive layer can be reduced. Further, by increasing the electrode area of the first conductive layer, the capacitance formed between the to-be-monitored body and the first conductive layer can be increased. As a result, since the potential change of the first conductive layer at the time of touch operation is increased, the detection sensitivity can be increased.

예를 들어, 제 2 도전층이 개구를 갖는 구조로 하고, 상기 개구와 제 1 도전층이 서로 중첩되도록 제 1 도전층 및 제 2 도전층을 배치하는 것이 바람직하다. 제 1 도전층과 제 2 도전층 사이에 형성되는 용량값은, 제 2 도전층에 제공되는 개구의 개수와 면적을 변경함으로써, 절연층의 두께나 재료를 변경할 일이 없이 용이하게 변경할 수 있다.For example, it is preferable to arrange the first conductive layer and the second conductive layer so that the second conductive layer has an opening, and the opening and the first conductive layer overlap with each other. The capacitance value formed between the first conductive layer and the second conductive layer can be easily changed without changing the thickness or material of the insulating layer by changing the number and area of the openings provided in the second conductive layer.

또한, 본 발명의 일 형태에 따른 터치 센서를, 표시 소자를 구비하는 화소를 갖는 표시 패널과 중첩시켜 터치 패널을 구성할 수 있다. 이 때, 상기 제 2 도전층의 개구가 표시 소자와 중첩되도록 제공됨으로써, 표시 소자로부터의 광이 제 2 도전층을 투과할 필요가 없어지기 때문에, 터치 패널이 표시하는 화상의 휘도나 시인성을 향상시킬 수 있다. 또한, 표시 소자와 중첩되는 컬러 필터(착색층이라고도 함)와, 인접한 컬러 필터들 사이에 제공되는 차광층을 터치 패널이 구비하는 경우, 제 2 도전층을 차광층과 중첩되도록 제공하고, 제 2 도전층의 개구를 컬러 필터와 중첩되도록 제공하는 것이 바람직하다.Further, a touch panel according to an embodiment of the present invention can be constructed by superimposing a touch sensor on a display panel having a pixel having a display element. At this time, since the opening of the second conductive layer is provided so as to overlap the display element, it is not necessary for the light from the display element to transmit through the second conductive layer, thereby improving the brightness and visibility of the image displayed by the touch panel . When the touch panel is provided with a color filter (also referred to as a colored layer) which overlaps with the display element and a light shielding layer provided between adjacent color filters, the second conductive layer is provided so as to overlap the light shielding layer, It is preferable to provide the opening of the conductive layer to overlap with the color filter.

이 때, 2개의 기판(터치 센서를 지지하는 기판 및 표시 소자를 지지하는 기판)을 서로 대향하도록 배치한 구성으로 하는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널이 구비하는 터치 센서는 표시 소자 측에 배치되는 제 2 도전층의 면적이 작기 때문에, 표시 소자를 구동시킬 때에 생기는 노이즈의 영향을 받기 어렵다. 따라서, 2개의 기판 사이에 터치 센서 및 표시 소자를 개재(介在)하고, 이들이 근접되도록 배치된 구성으로 하더라도, 검출 감도의 저하를 억제할 수 있다. 결과적으로, 터치 패널의 두께를 저감할 수 있다. 특히, 가요성을 갖는 재료를 한 쌍의 기판에 사용함으로써, 얇고 가벼우며 플렉시블한 터치 패널을 실현할 수 있다.At this time, it is preferable that the two substrates (the substrate for supporting the touch sensor and the substrate for supporting the display element) are arranged so as to face each other. The touch sensor included in the touch panel according to an embodiment of the present invention is less susceptible to the noise generated when driving the display element because the area of the second conductive layer disposed on the display element side is small. Therefore, even if the touch sensor and the display element are interposed between the two substrates, and they are arranged so as to be close to each other, the deterioration of the detection sensitivity can be suppressed. As a result, the thickness of the touch panel can be reduced. Particularly, by using a flexible material for a pair of substrates, a thin, light and flexible touch panel can be realized.

이하에서는, 본 발명의 일 형태의 더 구체적인 구성예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a more specific configuration example of an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

[구성예][Configuration example]

도 1의 (A)는 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널 모듈(10)의 사시 개략도이다. 또한, 도 1의 (B)는 터치 패널 모듈(10)을 전개하였을 때의 사시 개략도이다. 터치 패널 모듈(10)은 터치 센서 모듈(20)과 표시 패널(30)이 중첩되도록 배치된 구성을 갖는다.1 (A) is a perspective view of a touch panel module 10 according to an embodiment of the present invention. 1 (B) is a perspective view of a strap when the touch panel module 10 is opened. The touch panel module 10 has a configuration in which the touch sensor module 20 and the display panel 30 are arranged to overlap with each other.

터치 센서 모듈(20)은 제 1 기판(21) 위에 센서 소자(검지 소자라고도 함)(22)를 구비하는 터치 센서에 FPC(41)가 제공된 구성을 갖는다. 센서 소자(22)는 제 1 기판(21) 위에 매트릭스 형태로 복수로 배치되어 있다. 또한, 제 1 기판(21) 위에는, 센서 소자(22)에 전기적으로 접속되는 회로(23) 및 회로(24)가 구비되는 것이 바람직하다. 회로(23) 및 회로(24) 중 적어도 한쪽에는, 복수의 센서 소자(22)를 선택하는 기능을 갖는 회로를 적용할 수 있다. 회로(23) 및 회로(24) 중 적어도 한쪽에는, 센서 소자(22)로부터의 신호를 출력하는 기능을 갖는 회로를 적용할 수 있다. FPC(41)는 센서 소자(22), 회로(23), 및 회로(24) 중 적어도 하나에 외부로부터의 신호를 공급하는 기능을 갖는다. 또는, FPC(41)는 센서 소자(22), 회로(23), 및 회로(24) 중 적어도 하나로부터의 신호를 외부에 출력하는 기능을 갖는다.The touch sensor module 20 has a configuration in which an FPC 41 is provided on a touch sensor having a sensor element (also referred to as a detection element) 22 on a first substrate 21. A plurality of sensor elements 22 are arranged on the first substrate 21 in a matrix form. It is preferable that a circuit 23 and a circuit 24, which are electrically connected to the sensor element 22, are provided on the first substrate 21. A circuit having a function of selecting a plurality of sensor elements 22 can be applied to at least one of the circuit 23 and the circuit 24. [ A circuit having a function of outputting a signal from the sensor element 22 can be applied to at least one of the circuit 23 and the circuit 24. [ The FPC 41 has a function of supplying an external signal to at least one of the sensor element 22, the circuit 23, and the circuit 24. [ Alternatively, the FPC 41 has a function of outputting a signal from at least one of the sensor element 22, the circuit 23, and the circuit 24 to the outside.

표시 패널(30)은 제 2 기판(31) 위에 표시부(32)를 갖는다. 표시부(32)는 매트릭스 형태로 배치된 복수의 화소(33)를 갖는다. 또한, 제 2 기판(31) 위에는, 표시부(32) 내의 화소(33)에 전기적으로 접속되는 회로(34)를 갖는 것이 바람직하다. 회로(34)에는 예를 들어 게이트 구동 회로로서 기능하는 회로를 적용할 수 있다. FPC(42)는 표시부(32) 및 회로(34) 중 적어도 하나에 외부로부터의 신호를 공급하는 기능을 갖는다. 또한, 도 1의 (A) 및 (B)에는 제 2 기판(31)에 단자(43)가 제공된 구성을 도시하였다. 단자(43)에는, 예를 들어 FPC를 제공하거나, 소스 구동 회로로서 기능하는 IC를 COG 방식 또는 COF 방식으로 직접 실장하거나, 또는 IC가 실장된 FPC, TAB, TCP 등을 제공하는 등이 가능하다. 또한, 표시 패널(30)에 IC나 FPC 등의 커넥터가 실장된 형태를 표시 패널 모듈이라고 부를 수도 있다.The display panel 30 has a display portion 32 on a second substrate 31. The display section 32 has a plurality of pixels 33 arranged in a matrix form. It is preferable to have a circuit 34 electrically connected to the pixel 33 in the display portion 32 on the second substrate 31. [ The circuit 34 may be, for example, a circuit functioning as a gate driving circuit. The FPC 42 has a function of supplying an external signal to at least one of the display section 32 and the circuit 34. [ 1 (A) and 1 (B) show a configuration in which a terminal 43 is provided on the second substrate 31. In FIG. The terminal 43 may be provided with, for example, an FPC, or an IC functioning as a source driving circuit may be directly mounted by a COG method or a COF method, or an FPC, TAB, TCP, or the like on which an IC is mounted . A form in which a connector such as an IC or an FPC is mounted on the display panel 30 may be referred to as a display panel module.

본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널 모듈(10)은 터치 동작이 수행되었을 때의 용량 변화에 따른 위치 정보를 복수의 센서 소자(22)에 의하여 출력할 수 있다. 또한, 표시부(32)에 의하여 화상을 표시할 수 있다.The touch panel module 10 according to an embodiment of the present invention can output the position information according to the capacitance change when the touch operation is performed by the plurality of sensor elements 22. Further, an image can be displayed by the display section 32. [

[터치 패널이 갖는 적층 구조에 대하여][About the laminated structure of the touch panel]

도 2의 (A)에, 도 1의 (A)에서 파선으로 나타낸 영역을 확대한 개략도를 도시하였다.Fig. 2 (A) is a schematic view showing an enlarged view of a region indicated by a broken line in Fig. 1 (A).

도 2의 (A)에는, 도 1의 (A)의 센서 소자(22)가 갖는 용량 소자(110), 화소(33), 배선(25), 및 배선(26)이 제공된 예를 도시하였다.2A shows an example in which the capacitance element 110, the pixel 33, the wiring 25, and the wiring 26 of the sensor element 22 shown in FIG. 1A are provided.

용량 소자(110)는 매트릭스 형태로 복수로 배치되어 있다. 배선(25)은 인접한 2개의 용량 소자(110)들 사이에 배치되고, 배선(26)은 배선(25)과 교차되는 방향으로 복수로 배치되어 있다.The plurality of capacitive elements 110 are arranged in a matrix form. The wiring 25 is arranged between two adjacent capacitive elements 110 and the wiring 26 is arranged in plural in the direction intersecting with the wiring 25.

화소(33)는 매트릭스 형태로 복수로 배치되어 있다. 복수의 화소(33) 중 일부는 용량 소자(110)와 중첩되도록 제공되고, 다른 일부는 인접한 2개의 용량 소자(110) 사이의 영역과 중첩되도록 제공되어 있다.A plurality of pixels 33 are arranged in a matrix form. Some of the plurality of pixels 33 are provided so as to overlap with the capacitive element 110 and the other portion thereof is provided to overlap with an area between two adjacent capacitive elements 110. [

화소(33)는 적어도 표시 소자를 구비한다. 표시 소자로서는 예를 들어 유기 EL(Electro Luminescence) 소자 등의 발광 소자를 적용하는 것이 바람직하다. 그 외에도, 전기 영동 방식이나 전자 분류체(電子紛流體, Electronic Liquid Powder(등록 상표)) 방식이나 일렉트로웨팅 방식 등에 의하여 표시를 수행하는 표시 소자(전자 잉크라고도 함), 셔터 방식의 MEMS 표시 소자, 광 간섭 방식의 MEMS 표시 소자, 액정 소자 등, 여러 가지 표시 소자를 표시 소자로서 사용할 수 있다.The pixel 33 has at least a display element. As the display element, for example, a light emitting element such as an organic EL (Electro Luminescence) element is preferably used. In addition, a display element (also referred to as an electronic ink) that performs display by an electrophoresis method, an electronic powder liquid, an electronic liquid powder (registered trademark) method, or an electrowetting method, a shutter type MEMS display element, Various display elements such as a light interference type MEMS display element and a liquid crystal element can be used as a display element.

또한, 투과형 액정 디스플레이, 반투과형 액정 디스플레이, 반사형 액정 디스플레이, 직시형 액정 디스플레이 등에도 적용할 수 있다. 또한, 반투과형 액정 디스플레이나 반사형 액정 디스플레이를 실현하는 경우에는, 화소 전극의 일부 또는 전부가 반사 전극으로서의 기능을 갖도록 하면 좋다. 예를 들어, 화소 전극의 일부 또는 전부가 알루미늄, 은 등을 포함하도록 하면 좋다. 그 경우, 반사 전극 아래에, SRAM 등의 기억 회로를 제공하는 것도 가능하다. 이로써, 소비 전력을 더 저감할 수 있다. 또한, 적용하는 표시 소자에 적합한 구성을 다양한 화소 회로로부터 선택하여 사용할 수 있다.In addition, the present invention can be applied to a transmissive liquid crystal display, a transflective liquid crystal display, a reflective liquid crystal display, a direct viewing type liquid crystal display, and the like. When a semi-transmissive liquid crystal display or a reflective liquid crystal display is realized, a part or the whole of the pixel electrode may have a function as a reflective electrode. For example, some or all of the pixel electrodes may include aluminum, silver, and the like. In this case, it is also possible to provide a storage circuit such as SRAM under the reflective electrode. As a result, the power consumption can be further reduced. Further, a configuration suitable for a display element to be applied can be selected from various pixel circuits and used.

도 2의 (B)에는, 용량 소자(110)와 중첩되는 영역의 적층 구조를 전개한 개략도를 도시하였다. 도 2의 (B)에 도시된 바와 같이, 제 1 기판(21)과 제 2 기판(31) 사이에 제 1 도전층(111), 절연층(112), 제 2 도전층(113), 차광층(115), 착색층(114r), 착색층(114g), 착색층(114b), 및 화소(33)가 배치되어 있다.FIG. 2B is a schematic view in which a stacked structure of regions overlapping with the capacitive element 110 is developed. 2B, a first conductive layer 111, an insulating layer 112, a second conductive layer 113, and a light shielding layer 113 are formed between the first substrate 21 and the second substrate 31, A layer 115, a colored layer 114r, a colored layer 114g, a colored layer 114b, and a pixel 33 are arranged.

또한, 이하에서는 착색층(114r), 착색층(114g), 및 착색층(114b)을 구별하지 않고, 이들에 공통의 사항을 설명하는 경우에는 단순히 착색층(114)으로 표기하는 경우가 있다.In the following description, the coloring layer 114r, the coloring layer 114g, and the coloring layer 114b are not distinguished from each other, and when they are described in common, the coloring layer 114 may be simply referred to as a coloring layer 114. [

제 1 도전층(111)과 제 2 도전층(113) 사이에 절연층(112)이 개재되고, 이들은 용량 소자(110)를 구성한다.An insulating layer 112 is interposed between the first conductive layer 111 and the second conductive layer 113, and these constitute the capacitor element 110.

각 착색층(114)은 특정 파장 대역의 광을 투과시키는 기능을 갖는다. 여기서는, 착색층(114r)은 적색의 광을 투과시키고, 착색층(114g)은 녹색의 광을 투과시키고, 착색층(114b)은 청색의 광을 투과시킨다. 화소(33)와 착색층(114)의 하나가 서로 중첩되도록 배치됨으로써, 화소(33)로부터의 광 중 특정 파장 대역의 광만을 제 1 기판(21) 측으로 투과시킬 수 있다.Each coloring layer 114 has a function of transmitting light in a specific wavelength band. Here, the colored layer 114r transmits red light, the colored layer 114g transmits green light, and the colored layer 114b transmits blue light. Only one of the pixel 33 and the coloring layer 114 overlaps with each other so that only light of a specific wavelength band from the pixel 33 can be transmitted to the first substrate 21 side.

차광층(115)은 가시광을 차광하는 기능을 갖는다. 차광층(115)은 인접한 2개의 착색층(114) 사이의 영역과 중첩되도록 배치된다. 도 2의 (B)에서는, 차광층(115)은 개구를 갖는 형상으로 하고, 상기 개구가 화소(33) 및 착색층(114)과 중첩되도록 배치되어 있는 예를 도시하였다.The light shielding layer 115 has a function of shielding visible light. The light shielding layer 115 is disposed so as to overlap with an area between two adjacent coloring layers 114. 2B shows an example in which the light shielding layer 115 has a shape having an opening and the opening is arranged so as to overlap with the pixel 33 and the colored layer 114. [

또한, 도 2의 (B)에서는 착색층(114)보다 제 1 기판(21) 측에 차광층(115)을 배치하는 구성을 도시하였지만, 차광층(115)보다 제 1 기판(21) 측에 착색층(114)을 배치하여도 좋다.2B shows a structure in which the light shielding layer 115 is disposed on the first substrate 21 side with respect to the colored layer 114. The light shielding layer 115 may be provided on the first substrate 21 side The coloring layer 114 may be disposed.

제 1 도전층(111) 및 절연층(112)은 화소(33) 및 착색층(114) 각각과 중첩되는 영역을 포함한다. 따라서, 제 1 도전층(111) 및 절연층(112)으로서는 각각 가시광을 투과시키는 재료를 사용하는 것이 바람직하다.The first conductive layer 111 and the insulating layer 112 include regions overlapping with the pixel 33 and the colored layer 114, respectively. Therefore, as the first conductive layer 111 and the insulating layer 112, it is preferable to use a material that transmits visible light, respectively.

제 2 도전층(113)은 복수의 개구(118)를 갖는다. 이로써, 제 1 도전층(111)과 제 2 도전층(113)이 서로 중첩되는 면적을 축소할 수 있다. 또한, 도 2의 (B)에 도시된 바와 같이, 제 2 도전층(113)은 개구(118)가 화소(33)와 서로 중첩되도록 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 제 2 도전층(113)은 차광층(115)과 서로 중첩되도록 배치되는 것이 바람직하다. 이로써, 화소(33)로부터의 광이 제 2 도전층(113)을 투과하지 않고 제 1 기판(21) 측에 사출되기 때문에, 휘도 저하를 억제하여 시인성이 더 우수한 터치 패널을 실현할 수 있다. 또한, 광 추출 효율이 향상되므로 소비 전력이 낮은 터치 패널을 실현할 수 있다.The second conductive layer 113 has a plurality of openings 118. Thus, the area where the first conductive layer 111 and the second conductive layer 113 are overlapped with each other can be reduced. 2 (B), it is preferable that the second conductive layer 113 is arranged so that the opening 118 overlaps with the pixel 33. In this case, as shown in Fig. It is preferable that the second conductive layer 113 is disposed so as to overlap with the light shielding layer 115. As a result, the light from the pixel 33 is emitted to the first substrate 21 side without passing through the second conductive layer 113, so that the decrease in brightness can be suppressed and a touch panel having better visibility can be realized. In addition, since the light extraction efficiency is improved, a touch panel with low power consumption can be realized.

도 3의 (A)~(C)에, 표시부(32)와 중첩되는 영역에서의 제 2 도전층(113)과 차광층(115)의 형상의 예를 도시하였다.3A to 3C show examples of the shape of the second conductive layer 113 and the light shielding layer 115 in the region overlapping the display portion 32. FIG.

도 3의 (A)에 도시된 바와 같이, 제 2 도전층(113)의 개구(118)의 상면 형상과 차광층(115)의 개구의 상면 형상이 대략 일치되도록 배치되어도 좋다. 또한, 도 3의 (B)에 도시된 바와 같이, 차광층(115)보다 내측에 제 2 도전층(113)이 위치되도록, 제 2 도전층(113)의 개구(118)의 크기가 차광층(115)의 개구의 크기보다 큰 형상으로 하여도 좋다. 이로써, 제 2 도전층(113)이나 차광층(115)의 상대적인 위치 어긋남의 영향을 저감할 수 있다. 또한, 도 3의 (C)에 도시된 바와 같이, 제 2 도전층(113)에 차광층(115)과 중첩되지 않는 부분이 생기도록, 개구(118)의 크기가 차광층(115)의 개구의 크기보다 작은 형상으로 하여도 좋다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 제 2 도전층(113)의 폭을 크게 할 수 있어 도전성을 높일 수 있다. 또한, 제 2 도전층(113)의 두께를 저감할 수 있다. 제 2 도전층(113)이 얇으면, 제 1 기판(21) 측으로부터 봤을 때에 제 2 도전층(113)이 시인되기 어렵게 할 수 있다.The upper surface of the opening 118 of the second conductive layer 113 and the upper surface of the opening of the light shielding layer 115 may be substantially aligned with each other as shown in Fig. 3B, the size of the opening 118 of the second conductive layer 113 is larger than that of the light shielding layer 115 so that the second conductive layer 113 is positioned inside the light shielding layer 115. [ Or may have a shape larger than the size of the opening of the opening 115. As a result, the influence of the relative positional shift of the second conductive layer 113 and the light shielding layer 115 can be reduced. 3 (C), the size of the opening 118 is larger than the opening of the light shielding layer 115 so that a portion not overlapping the light shielding layer 115 is formed in the second conductive layer 113. [ As shown in Fig. With this structure, the width of the second conductive layer 113 can be increased, and the conductivity can be increased. In addition, the thickness of the second conductive layer 113 can be reduced. When the second conductive layer 113 is thin, it is possible to make the second conductive layer 113 hardly visible when viewed from the first substrate 21 side.

또한, 제 2 도전층(113)에 가시광을 투과시키는 재료를 사용하면 제 1 기판(21) 측으로부터 시인되기 어려워지기 때문에, 표시 품위의 저하를 억제할 수 있어 바람직하다.In addition, when a material that transmits visible light through the second conductive layer 113 is used, it is difficult to visually recognize the first conductive layer 113 from the first substrate 21 side.

또한, 도 3의 (A) 및 (B)에 도시된 바와 같이, 제 2 도전층(113)이 차광층(115)으로 안보이게 배치되는 경우, 제 2 도전층(113)은 화소(33)로부터의 광을 차단하지 않기 때문에, 투광성을 갖는 도전성 재료뿐만 아니라, 금속이나 합금 등 차광성을 갖는 도전성 재료를 사용하여도 좋다. 특히, 저저항의 도전성 재료를 사용함으로써 배선 저항을 작게 할 수 있어, 대형 터치 패널에 적합하다.3 (A) and 3 (B), when the second conductive layer 113 is disposed so as not to be viewed as the light shielding layer 115, the second conductive layer 113 may be formed from the pixel 33 A light-shielding conductive material such as a metal or an alloy may be used in addition to the conductive material having light-transmitting properties. In particular, by using a low-resistance conductive material, it is possible to reduce the wiring resistance and is suitable for a large-sized touch panel.

도 4에는, 인접한 2개의 제 1 도전층(111) 사이에 광학 조정층(119)을 배치한 경우를 도시하였다.Fig. 4 shows a case where the optical adjusting layer 119 is disposed between two adjacent first conductive layers 111. Fig.

광학 조정층(119)을 제공함으로써, 제 1 기판(21) 측으로부터 봤을 때에 제 1 도전층(111)의 패턴이 시인되기 어려워지기 때문에, 표시 품위를 향상시킬 수 있다.By providing the optical adjustment layer 119, the pattern of the first conductive layer 111 becomes less visible when viewed from the first substrate 21 side, and therefore the display quality can be improved.

광학 조정층(119)으로서는 제 1 도전층(111)과 가까운 광학 특성(투과율, 굴절률, 반사율 등)을 갖는 재료를 사용할 수 있다. 예를 들어, 투과율이 제 1 도전층(111)의 투과율의 ±5% 이내인 재료를 사용할 수 있다. 특히, 광학 조정층(119)에는 제 1 도전층(111)과 동일한 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 이 경우, 동일한 도전막을 가공함으로써 제 1 도전층(111)과 광학 조정층(119)을 동시에 형성하면, 이들의 막 두께를 동등하게 할 수 있고 또한 공정을 간략화할 수 있어 바람직하다.As the optical adjusting layer 119, a material having optical properties (transmittance, refractive index, reflectance, etc.) close to that of the first conductive layer 111 can be used. For example, a material whose transmittance is within ± 5% of the transmittance of the first conductive layer 111 can be used. Particularly, it is preferable to use the same material as the first conductive layer 111 for the optical adjustment layer 119. In this case, if the first conductive layer 111 and the optical adjusting layer 119 are formed at the same time by processing the same conductive film, the film thicknesses can be made equal and the process can be simplified, which is preferable.

광학 조정층(119)으로서 도전성 재료를 사용한 경우, 광학 조정층(119)에 소정의 전위를 공급할 수 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 공통 전위, 접지 전위 등의 고정 전위를 광학 조정층(119)에 공급하는 구성으로 하면 좋다. 또는, 제 1 도전층(111) 및 제 2 도전층(113) 중 어느 한쪽에 전기적으로 접속되는 구성으로 하여도 좋다.When a conductive material is used as the optical adjusting layer 119, it is preferable that the optical adjusting layer 119 is capable of supplying a predetermined potential. For example, a configuration may be employed in which a fixed potential such as a common potential or a ground potential is supplied to the optical adjustment layer 119. Alternatively, the first conductive layer 111 and the second conductive layer 113 may be electrically connected to each other.

도 5의 (A)에는 제 1 기판(21) 측으로부터 봤을 때의 배선(25), 배선(26), 제 1 도전층(111), 및 광학 조정층(119)의 상면 형상의 예를 도시하였다.5A shows an example of the top surface shape of the wiring 25, the wiring 26, the first conductive layer 111, and the optical adjusting layer 119 as viewed from the first substrate 21 side Respectively.

도 5의 (A)에 도시된 바와 같이, 배선(25)과 복수의 배선(26) 각각이, 동일한 도전막을 가공하여 얻어지는 도전층을 포함하는 것이 바람직하다. 이 때, 가장 제 1 기판(21) 측에 제공되는 도전층을 사용하는 것이 바람직하다. 이로써, 배선(25) 또는 배선(26)과 제 1 도전층(111) 사이의 두께 방향의 거리를 크게 할 수 있다. 그 결과, 각 배선과 제 1 도전층(111) 사이에 생기는 기생 용량을 저감할 수 있어 검출 감도를 높일 수 있다.As shown in Fig. 5 (A), it is preferable that the wiring 25 and the plurality of wirings 26 each include a conductive layer obtained by processing the same conductive film. At this time, it is preferable to use a conductive layer provided on the side of the first substrate 21 most. Thereby, the distance in the thickness direction between the wiring 25 or the wiring 26 and the first conductive layer 111 can be increased. As a result, the parasitic capacitance generated between each wiring and the first conductive layer 111 can be reduced, and the detection sensitivity can be increased.

또한, 배선(25)과 배선(26)이 교차되는 부분에서, 배선(26)은, 배선(25)의 제 1 기판(21)과는 반대측에 절연층을 개재하여 제공된 도전층(117), 및 상기 절연층에 제공된 개구를 사이에 두고 배선(25)과 교차된다. 이 때, 도전층(117)과 중첩되는 영역에 광학 조정층(119)이나 제 1 도전층(111) 등을 배치하지 않는 구성으로 하면, 배선(26)에 의한 기생 용량이 저감되어 검출 감도를 높일 수 있어 바람직하다.In the portion where the wiring 25 and the wiring 26 intersect with each other, the wiring 26 includes the conductive layer 117 provided on the side opposite to the first substrate 21 of the wiring 25 via the insulating layer, And an opening provided in the insulating layer. At this time, if the optical adjusting layer 119, the first conductive layer 111, and the like are not disposed in a region overlapping with the conductive layer 117, the parasitic capacitance caused by the wiring 26 is reduced, It is preferable.

또한, 도 5의 (B)에는, 반도체층(121)을 포함하는 트랜지스터(120)가 제공된 구성예를 도시하였다. 도 5의 (B)에 도시된 바와 같이, 반도체층(121)보다 제 1 기판(21) 측에, 배선(26) 등을 구성하는 도전층 등 차광성을 갖는 층을 배치하는 것이 바람직하다. 이 때, 배선(26)의 일부는 트랜지스터의 게이트 전극으로서 기능할 수 있다. 이로써, 제 1 기판(21)을 투과한 외광이 반도체층(121)에 조사되지 않기 때문에, 트랜지스터의 전기적 특성이 변동되는 것을 억제할 수 있다. 특히, 표시부(32)와 중첩되는 부분에서는 외광의 영향을 받기 쉽기 때문에, 여기에 제공되는 트랜지스터에는 이와 같은 구성을 적용하는 것이 바람직하다.5B shows a configuration example in which the transistor 120 including the semiconductor layer 121 is provided. It is preferable to arrange a light shielding layer such as a conductive layer constituting the wiring 26 or the like on the first substrate 21 side rather than the semiconductor layer 121 as shown in Fig. At this time, a part of the wiring 26 can function as a gate electrode of the transistor. As a result, since the external light transmitted through the first substrate 21 is not irradiated to the semiconductor layer 121, variations in the electrical characteristics of the transistor can be suppressed. Particularly, since the portion overlapping with the display portion 32 is easily affected by external light, it is preferable to apply such a structure to the transistor provided here.

[단면 구성예][Example of sectional configuration]

이하에서는, 터치 패널 모듈(10)의 단면 구성예에 대하여 설명한다.Hereinafter, an example of a sectional configuration of the touch panel module 10 will be described.

[단면 구성예 1][Cross-sectional configuration example 1]

도 6의 (A)에 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널 모듈의 단면 개략도를 도시하였다. 도 6의 (A)에 도시된 터치 패널 모듈은, 한 쌍의 기판 사이에 액티브 매트릭스 방식 터치 센서 및 표시 소자를 갖기 때문에 박형화를 도모할 수 있다. 또한, 본 명세서 등에서, 복수의 센서 소자 각각이 능동 소자를 갖는 터치 센서를 액티브 매트릭스 방식 터치 센서라고 부른다.6 (A) is a schematic cross-sectional view of a touch panel module according to an embodiment of the present invention. The touch panel module shown in Fig. 6A has an active matrix type touch sensor and a display element between a pair of substrates, so that the touch panel module can be made thin. In this specification and the like, a touch sensor having a plurality of sensor elements each having an active element is called an active matrix type touch sensor.

터치 패널 모듈은 제 1 기판(21)과 제 2 기판(31)이 접착층(220)에 의하여 접합된 구성을 갖는다. 제 1 기판(21)의 제 2 기판(31) 측에는 용량 소자(110), 트랜지스터(251), 트랜지스터(252), 콘택트부(253), 착색층(114), 차광층(115) 등이 제공되어 있다. 또한, 제 2 기판(31) 위에는 트랜지스터(201), 트랜지스터(202), 트랜지스터(203), 발광 소자(204), 콘택트부(205) 등이 제공되어 있다.The touch panel module has a structure in which the first substrate 21 and the second substrate 31 are bonded together by an adhesive layer 220. A capacitor element 110, a transistor 251, a transistor 252, a contact portion 253, a colored layer 114, a light shielding layer 115, and the like are provided on the side of the second substrate 31 of the first substrate 21 . A transistor 201, a transistor 202, a transistor 203, a light emitting element 204, a contact portion 205, and the like are provided on the second substrate 31.

제 2 기판(31) 위에는 접착층(211)을 개재하여 절연층(212), 절연층(213), 절연층(214), 절연층(215), 절연층(216), 절연층(217), 절연층(218), 스페이서(219), 도전층(225) 등이 제공되어 있다.An insulating layer 212, an insulating layer 213, an insulating layer 214, an insulating layer 215, an insulating layer 216, an insulating layer 217, and an insulating layer 212 are formed on the second substrate 31 with an adhesive layer 211 interposed therebetween. An insulating layer 218, a spacer 219, a conductive layer 225, and the like are provided.

절연층(217) 위에 발광 소자(204)가 제공되어 있다. 발광 소자(204)는 제 1 전극(221), EL층(222), 및 제 2 전극(223)을 갖는다(도 6의 (B) 참조). 또한, 제 1 전극(221)과 EL층(222) 사이에는 광학 조정층(224)이 제공되어 있다. 절연층(218)은 제 1 전극(221) 및 광학 조정층(224)의 단부를 덮도록 제공되어 있다.A light emitting element 204 is provided on the insulating layer 217. The light emitting element 204 has a first electrode 221, an EL layer 222, and a second electrode 223 (see FIG. 6B). An optical adjustment layer 224 is provided between the first electrode 221 and the EL layer 222. [ The insulating layer 218 is provided so as to cover the ends of the first electrode 221 and the optical adjustment layer 224.

도 6의 (A)에는, 화소(33)가 전류 제어용 트랜지스터(201)와 스위칭 제어용 트랜지스터(202)를 갖는 구성을 도시하였다. 트랜지스터(201)는 소스 및 드레인 중 한쪽이 도전층(225)을 통하여 제 1 전극(221)에 전기적으로 접속된다.FIG. 6A shows a configuration in which the pixel 33 includes the current control transistor 201 and the switching control transistor 202. FIG. One of the source and the drain of the transistor 201 is electrically connected to the first electrode 221 through the conductive layer 225.

도 6의 (A)에는, 회로(34)에 트랜지스터(203)가 제공된 구성을 도시하였다.FIG. 6A shows a configuration in which the transistor 203 is provided in the circuit 34. FIG.

도 6의 (A)에는, 트랜지스터(201) 및 트랜지스터(203)로서 채널이 형성되는 반도체층을 2개의 게이트 전극 사이에 개재한 구성이 적용된 예를 도시하였다. 이와 같은 트랜지스터는 다른 트랜지스터에 비하여 전계 효과 이동도를 높일 수 있어, 온 전류를 증대시킬 수 있다. 그 결과, 고속 동작이 가능한 회로를 제작할 수 있다. 또한, 회로부가 차지하는 면적을 축소할 수 있다. 온 전류가 큰 트랜지스터를 적용함으로써, 표시 패널 또는 터치 패널을 대형화 또는 고정세(高精細)화한 경우에 배선수가 증가되더라도, 각 배선에서의 신호 지연을 저감할 수 있어, 표시 불균일을 억제할 수 있다.6A shows an example in which a semiconductor layer in which a channel is formed as a transistor 201 and a transistor 203 is interposed between two gate electrodes. Such a transistor can increase the electric field effect mobility as compared with other transistors, and can increase on current. As a result, a circuit capable of high-speed operation can be manufactured. Further, the area occupied by the circuit portion can be reduced. By applying the transistor having a large on-current, it is possible to reduce the signal delay in each wiring and to suppress display irregularities even if the number of wiring increases when the display panel or the touch panel is made large or fine .

또한, 회로(34)가 갖는 트랜지스터와 화소(33)가 갖는 트랜지스터는 같은 구조를 가져도 좋다. 또한, 회로(34)가 갖는 트랜지스터는 모두가 같은 구조를 가져도 좋고, 각각 다른 구조를 가져도 좋다. 또한, 화소(33)가 갖는 트랜지스터는 모두가 같은 구조를 가져도 좋고, 각각 다른 구조를 가져도 좋다. 또한, 제 1 기판(21) 측에 제공되는 트랜지스터(트랜지스터(251), 트랜지스터(252) 등)에 대해서도, 모두가 같은 구조를 가져도 좋고, 각각 다른 구조를 가져도 좋다.The transistor included in the circuit 34 and the transistor included in the pixel 33 may have the same structure. The transistors included in the circuit 34 may all have the same structure or may have different structures. The transistors included in the pixel 33 may all have the same structure or may have different structures. The transistors (transistor 251, transistor 252, etc.) provided on the first substrate 21 side may all have the same structure or different structures.

도 6의 (A)에는 발광 소자(204)로서 톱 이미션 구조의 발광 소자를 적용한 경우의 예를 도시하였다. 발광 소자(204)는 제 2 전극(223) 측에 광을 사출한다. 발광 소자(204)의 발광 영역과 중첩되도록, 발광 소자(204)보다 제 2 기판(31) 측에 트랜지스터(201), 트랜지스터(202), 용량 소자, 배선 등을 배치함으로써, 화소(33)의 개구율을 높일 수 있다.6A shows an example in which a light emitting element having a top emission structure is used as the light emitting element 204. In this case, The light emitting element 204 emits light to the second electrode 223 side. The transistor 202, the capacitor, and the wiring are arranged on the second substrate 31 side of the light emitting element 204 so as to overlap with the light emitting region of the light emitting element 204, The aperture ratio can be increased.

제 1 기판(21)의 제 2 기판(31) 측에는, 접착층(261)을 개재하여 절연층(262), 절연층(263), 절연층(264), 절연층(265), 제 1 도전층(111), 절연층(112), 제 2 도전층(113), 절연층(266), 착색층(114), 차광층(115) 등을 갖는다. 또한, 착색층(114) 및 차광층(115)을 덮는 오버코트(267)가 제공되어도 좋다.An insulating layer 262, an insulating layer 263, an insulating layer 264, an insulating layer 265, a first conductive layer 262, and an insulating layer 264 are formed on the second substrate 31 side of the first substrate 21 with an adhesive layer 261 interposed therebetween. An insulating layer 112, a second conductive layer 113, an insulating layer 266, a colored layer 114, a light shielding layer 115, and the like. An overcoat 267 covering the colored layer 114 and the light shielding layer 115 may also be provided.

제 1 도전층(111)은 트랜지스터(251)의 소스 및 드레인 중 한쪽에 전기적으로 접속된다.The first conductive layer 111 is electrically connected to one of a source and a drain of the transistor 251.

제 2 도전층(113)은 절연층(112)의 제 2 기판(31) 측에 제공되어 있다. 제 2 도전층(113)은 개구(118)를 갖는다. 제 2 도전층(113)은 차광층(115)과 중첩되도록 제공되어 있다. 또한, 제 2 도전층(113)의 개구(118)는 착색층(114)과 중첩되도록 제공되어 있다.The second conductive layer 113 is provided on the second substrate 31 side of the insulating layer 112. The second conductive layer 113 has openings 118. The second conductive layer 113 is provided so as to overlap the light shielding layer 115. The opening 118 of the second conductive layer 113 is provided so as to overlap with the colored layer 114.

발광 소자(204)의 발광 영역과 착색층(114)은 서로 중첩되도록 제공되고, 발광 소자(204)로부터 사출된 광은 착색층(114)을 투과하여 제 1 기판(21) 측에 사출된다. 또한, 제 2 도전층(113)의 개구(118)가 착색층(114)과 중첩되도록 제공되고, 사출되는 광은 제 2 도전층(113)을 투과할 필요가 없기 때문에, 제 1 기판(21) 측으로부터 사출되는 광의 휘도가 저하되는 것을 억제할 수 있다.The light emitting region of the light emitting device 204 and the coloring layer 114 are provided so as to overlap with each other and the light emitted from the light emitting device 204 is transmitted through the coloring layer 114 and emitted to the first substrate 21 side. Since the opening 118 of the second conductive layer 113 is provided so as to overlap the colored layer 114 and the emitted light does not need to pass through the second conductive layer 113, Can be suppressed from being lowered.

제 1 기판(21) 및 제 2 기판(31)에 가요성을 갖는 재료를 사용함으로써, 플렉시블한 터치 패널을 실현할 수 있다.By using a flexible material for the first substrate 21 and the second substrate 31, a flexible touch panel can be realized.

또한, 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널에는 컬러 필터 방식이 사용된다. 예를 들어, 착색층(114)으로서 R(적색), G(녹색), 및 B(청색) 중 어느 색이 적용된 3색의 화소에 의하여 하나의 색을 표현하는 구성으로 하여도 좋다. 또한, 이들에 더하여 W(백색)나 Y(황색)의 화소를 적용한 구성으로 하여도 좋다.In addition, a color filter method is used for a touch panel according to an embodiment of the present invention. For example, one color may be represented by the three color pixels to which the color R (red), G (green), or B (blue) is applied as the coloring layer 114. In addition to these, a configuration in which pixels of W (white) or Y (yellow) are applied may be used.

착색층(114)과 광학 조정층(224)에 의한 마이크로 캐비티 구조의 조합에 의하여, 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널로부터는, 색 순도가 높은 광을 추출할 수 있다. 광학 조정층(224)의 두께는 각 화소의 색에 따라 상이하게 하면 좋다. 또한, 화소에 따라서는 광학 조정층(224)을 제공하지 않는 구성으로 하여도 좋다.Light having high color purity can be extracted from the touch panel according to an embodiment of the present invention by the combination of the micro-cavity structure by the coloring layer 114 and the optical adjustment layer 224. [ The thickness of the optical adjustment layer 224 may be different depending on the color of each pixel. Further, depending on the pixel, the optical adjustment layer 224 may not be provided.

또한, 발광 소자(204)가 갖는 EL층(222)으로서, 백색을 발광하는 EL층을 적용하는 것이 바람직하다. 이와 같은 발광 소자(204)를 적용함으로써, 각 화소의 EL층(222)을 구분하여 형성할 필요가 없으므로 비용을 삭감할 수 있는 외에, 고정세화가 용이해진다. 또한, 각 화소의 광학 조정층(224)의 두께를 변경함으로써, 각 화소에 적합한 파장의 발광을 추출할 수 있어, 색 순도를 높일 수 있다. 또한, 각 화소의 EL층(222)을 구분하여 형성하는 구성으로 하여도 좋고, 그 경우에는 광학 조정층(224)이나 착색층(114)을 사용하지 않는 구성으로 할 수도 있다.As the EL layer 222 of the light emitting element 204, it is preferable to apply an EL layer that emits white light. By applying such a light emitting element 204, it is not necessary to separately form the EL layer 222 of each pixel, so that it is possible to reduce the cost, and it is easy to make the EL layer 222 more flexible. Further, by changing the thickness of the optical adjustment layer 224 of each pixel, it is possible to extract luminescence of a wavelength suitable for each pixel, thereby increasing the color purity. Alternatively, the EL layer 222 of each pixel may be separately formed. In this case, the structure may be such that the optical adjusting layer 224 and the coloring layer 114 are not used.

제 2 기판(31) 위에 제공된 콘택트부(205)와 중첩되는 영역에 위치하는 각 절연층 등에는 개구가 제공되고, 상기 개구에 배치된 접속층(260)을 통하여 콘택트부(205)와 FPC(41)가 전기적으로 접속된다. 또한, 제 1 기판(21)과 중첩되는 영역에 위치하는 각 절연층 등에는 개구가 제공되고, 상기 개구에 배치된 접속층(210)을 통하여 콘택트부(253)와 FPC(42)가 전기적으로 접속된다.An opening is provided in each insulating layer or the like located in a region overlapping with the contact portion 205 provided on the second substrate 31 and the contact portion 205 and the FPC 41 are electrically connected. The contact portions 253 and the FPCs 42 are electrically connected to each other through the connection layer 210 disposed in the openings, Respectively.

도 6의 (A)에는, 콘택트부(205)가 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극과 동일한 도전막을 가공하여 형성된 도전층을 갖는 구성을 도시하였다. 또한, 콘택트부(253)가, 트랜지스터의 게이트 전극과 동일한 도전막을 가공하여 형성된 도전층, 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극과 동일한 도전막을 가공하여 형성된 도전층, 및 제 2 도전층(113)과 동일한 도전막을 가공하여 형성된 도전층의 적층 구조를 갖는 구성을 도시하였다. 이와 같이, 콘택트부를 복수의 도전층이 적층된 구성으로 함으로써, 전기 저항을 저감할 뿐만 아니라, 기계적 강도를 높일 수 있어 바람직하다.6A shows a structure in which the contact portion 205 has a conductive layer formed by processing the same conductive film as the source electrode and the drain electrode of the transistor. The contact portion 253 is formed of a conductive layer formed by processing the same conductive film as the gate electrode of the transistor, a conductive layer formed by processing the same conductive film as the source electrode and the drain electrode of the transistor, And a laminated structure of a conductive layer formed by processing a conductive film. In this manner, by forming the contact portion to have a laminated structure of a plurality of conductive layers, not only the electrical resistance can be reduced but also the mechanical strength can be increased, which is preferable.

접속층(210)이나 접속층(260)으로서는, 이방성 도전 필름(ACF: Anisotropic Conductive Film)이나, 이방성 도전 페이스트(ACP: Anisotropic Conductive Paste) 등을 사용할 수 있다.As the connection layer 210 and the connection layer 260, an anisotropic conductive film (ACF), anisotropic conductive paste (ACP), or the like can be used.

절연층(212) 및 절연층(262)은 물이나 수소 등의 불순물이 확산되기 어려운 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 절연층(212) 및 절연층(262)은 배리어막으로서 기능시킬 수 있다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 제 1 기판(21)이나 제 2 기판(31)으로서 투습성(透濕性)을 갖는 재료를 사용한 경우에도, 발광 소자(204)나 각 트랜지스터에 외부로부터 불순물이 확산되는 것을 효과적으로 억제할 수 있어, 신뢰성이 높은 터치 패널을 실현할 수 있다.The insulating layer 212 and the insulating layer 262 are preferably made of a material that is less likely to be impurities such as water or hydrogen. That is, the insulating layer 212 and the insulating layer 262 can function as a barrier film. With this structure, even when a material having moisture permeability is used as the first substrate 21 or the second substrate 31, it is possible to prevent diffusion of impurities from the outside to the light emitting element 204 and each transistor Can be effectively suppressed, and a highly reliable touch panel can be realized.

[각 구성 요소에 대하여][For each component]

이하에서는 상술한 각 구성 요소에 대하여 설명한다.Hereinafter, each of the above-described components will be described.

트랜지스터는, 게이트 전극으로서 기능하는 도전층과, 반도체층과, 소스 전극으로서 기능하는 도전층과, 드레인 전극으로서 기능하는 도전층과, 게이트 절연층으로서 기능하는 절연층을 갖는다. 도 6의 (A)에는 보텀 게이트 구조의 트랜지스터를 적용한 경우를 도시하였다.The transistor has a conductive layer functioning as a gate electrode, a semiconductor layer, a conductive layer functioning as a source electrode, a conductive layer functioning as a drain electrode, and an insulating layer functioning as a gate insulating layer. 6A shows a case in which a transistor having a bottom gate structure is applied.

또한, 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널이 갖는 트랜지스터의 구조는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 스태거형 트랜지스터로 하여도 좋고, 역 스태거형 트랜지스터로 하여도 좋다. 또한, 톱 게이트형 및 보텀 게이트형 중 어느 쪽 구조의 트랜지스터로 하여도 좋다. 트랜지스터에 사용하는 반도체 재료는 특별히 한정되지 않고 예를 들어, 산화물 반도체, 실리콘, 저마늄 등을 들 수 있다.The structure of the transistor included in the touch panel according to an embodiment of the present invention is not particularly limited. For example, it may be a staggered transistor or a reverse staggered transistor. Further, the transistor may have either of a top-gate type and a bottom-gate type. The semiconductor material used for the transistor is not particularly limited, and examples thereof include an oxide semiconductor, silicon, and germanium.

트랜지스터에 사용하는 반도체 재료의 결정성에 대해서도 특별히 한정되지 않고 비정질 반도체, 결정성을 가진 반도체(미결정 반도체, 다결정 반도체, 단결정 반도체, 또는 일부에 결정 영역을 갖는 반도체) 중 어느 것을 사용하여도 좋다. 결정성을 가진 반도체를 사용하면 트랜지스터 특성의 열화가 억제되므로 바람직하다.The crystallinity of a semiconductor material used for a transistor is not particularly limited, and any of an amorphous semiconductor, a semiconductor having crystallinity (a microcrystalline semiconductor, a polycrystalline semiconductor, a single crystal semiconductor, or a semiconductor having a crystal region in part) may be used. Use of a semiconductor having crystallinity is preferable because deterioration of transistor characteristics is suppressed.

또한, 트랜지스터에 사용하는 반도체 재료로서는, 예를 들어 4족의 원소, 화합물 반도체, 또는 산화물 반도체를 반도체층에 사용할 수 있다. 대표적으로는, 실리콘을 포함하는 반도체, 갈륨 비소를 포함하는 반도체, 또는 인듐을 포함하는 산화물 반도체 등을 적용할 수 있다.As the semiconductor material used for the transistor, for example, a Group 4 element, a compound semiconductor, or an oxide semiconductor may be used for the semiconductor layer. Typically, a semiconductor containing silicon, a semiconductor containing gallium arsenide, an oxide semiconductor containing indium, or the like can be applied.

특히, 트랜지스터의 채널이 형성되는 반도체에 산화물 반도체를 적용하는 것이 바람직하다. 특히 실리콘보다 밴드갭이 큰 산화물 반도체를 적용하는 것이 바람직하다. 실리콘보다 밴드갭이 크고, 또한 캐리어 밀도가 작은 반도체 재료를 사용하면, 트랜지스터의 오프 상태에서의 전류를 저감할 수 있기 때문에 바람직하다.In particular, it is preferable to apply an oxide semiconductor to the semiconductor in which the channel of the transistor is formed. In particular, it is preferable to apply an oxide semiconductor having a band gap larger than that of silicon. Use of a semiconductor material having a larger bandgap than silicon and a smaller carrier density is preferable because the current in the OFF state of the transistor can be reduced.

예를 들어, 상기 산화물 반도체로서, 적어도 인듐(In) 또는 아연(Zn)을 포함하는 것이 바람직하다. 더 바람직하게는, In-M-Zn계 산화물(M은 Al, Ti, Ga, Ge, Y, Zr, Sn, La, Ce 또는 Hf 등의 금속)로 표기되는 산화물을 포함한다.For example, the oxide semiconductor preferably includes at least indium (In) or zinc (Zn). More preferably, the oxide includes an oxide represented by an In-M-Zn based oxide (M is a metal such as Al, Ti, Ga, Ge, Y, Zr, Sn, La, Ce or Hf).

특히, 반도체층으로서, 복수의 결정부를 갖고, 상기 결정부는 c축이 반도체층의 피형성면 또는 반도체층의 상면에 실질적으로 수직으로 배향하고, 인접한 결정부들 사이에는 입계가 관찰되지 않는 산화물 반도체막을 사용하는 것이 바람직하다.In particular, the semiconductor layer has a plurality of crystal portions, and the crystal portion has an oxide semiconductor film in which the c-axis is oriented substantially perpendicular to the surface of the semiconductor layer or the upper surface of the semiconductor layer, and no grain boundary is observed between adjacent crystal portions Is preferably used.

이와 같은 산화물 반도체는 결정 입계를 갖지 않기 때문에, 표시 패널을 휘었을 때의 응력으로 인하여 산화물 반도체막에 크랙이 생기는 것이 억제된다. 따라서, 가요성을 갖고, 휘어서 사용하는 터치 패널 등에 이와 같은 산화물 반도체를 적합하게 사용할 수 있다.Since such an oxide semiconductor does not have a grain boundary, cracks are prevented from being generated in the oxide semiconductor film due to stress when the display panel is warped. Therefore, it is possible to suitably use such an oxide semiconductor as a flexible and flexible touch panel.

또한, 반도체층으로서 이와 같은 산화물 반도체를 사용함으로써, 전기 특성의 변동이 억제되어 신뢰성이 높은 트랜지스터를 실현할 수 있다.Further, by using such an oxide semiconductor as the semiconductor layer, variations in electric characteristics are suppressed and a transistor with high reliability can be realized.

또한, 오프 전류가 낮기 때문에 트랜지스터를 통하여 용량에 축적된 전하가 장기간 유지될 수 있다. 이와 같은 트랜지스터를 화소에 적용함으로써 각 표시 영역에 표시된 화상의 계조를 유지하면서 구동 회로를 정지할 수도 있게 된다. 그 결과, 소비 전력이 매우 저감된 표시 장치를 실현할 수 있다.In addition, since the off current is low, the charge accumulated in the capacitor through the transistor can be maintained for a long time. By applying such a transistor to a pixel, it becomes possible to stop the driving circuit while maintaining the gradation of the image displayed in each display area. As a result, a display device in which power consumption is greatly reduced can be realized.

또는, 트랜지스터의 채널이 형성되는 반도체로서 실리콘을 사용하는 것이 바람직하다. 실리콘으로서 비정질 실리콘을 사용하여도 좋지만 결정성을 갖는 실리콘을 사용하는 것이 특히 바람직하다. 예를 들어 미결정 실리콘, 다결정 실리콘, 단결정 실리콘 등을 사용하는 것이 바람직하다. 특히 다결정 실리콘은 단결정 실리콘에 비하여 낮은 온도로 형성할 수 있고, 비정질 실리콘에 비하여 전계 효과 이동도 및 신뢰성이 높다. 이와 같은 다결정 반도체를 화소에 적용함으로써 화소의 개구율을 향상시킬 수 있다. 또한, 화소가 매우 고밀도로 배치되는 경우에도 게이트 구동 회로와 소스 구동 회로를 화소와 동일한 기판 위에 형성할 수 있게 되어 전자 기기를 구성하는 부품수를 저감할 수 있다.Alternatively, it is preferable to use silicon as the semiconductor in which the channel of the transistor is formed. Amorphous silicon may be used as silicon, but it is particularly preferable to use silicon having crystallinity. For example, it is preferable to use microcrystalline silicon, polycrystalline silicon, single crystal silicon or the like. In particular, polycrystalline silicon can be formed at a lower temperature than monocrystalline silicon, and has higher field effect mobility and reliability than amorphous silicon. By applying such a polycrystalline semiconductor to a pixel, the aperture ratio of the pixel can be improved. Further, even when the pixels are arranged at a very high density, the gate driving circuit and the source driving circuit can be formed on the same substrate as the pixel, and the number of parts constituting the electronic device can be reduced.

트랜지스터의 게이트, 소스, 및 드레인 외에, 터치 패널을 구성하는 각종 배선 및 전극 등의 도전층에 사용할 수 있는 재료로서는 알루미늄, 타이타늄, 크로뮴, 니켈, 구리, 이트륨, 지르코늄, 몰리브데넘, 은, 탄탈럼, 또는 텅스텐 등의 금속, 또는 이들을 주성분으로 하는 합금을 단층 구조 또는 적층 구조로 하여 사용한다. 예를 들어, 실리콘을 포함하는 알루미늄막의 단층 구조, 타이타늄막 위에 알루미늄막을 적층하는 2층 구조, 텅스텐막 위에 알루미늄막을 적층하는 2층 구조, 구리-마그네슘-알루미늄 합금막 위에 구리막을 적층하는 2층 구조, 타이타늄막 위에 구리막을 적층하는 2층 구조, 텅스텐막 위에 구리막을 적층하는 2층 구조, 타이타늄막 또는 질화 타이타늄막 위에 겹쳐 알루미늄막 또는 구리막을 적층하고, 그 위에 타이타늄막 또는 질화 타이타늄막을 더 형성하는 3층 구조, 몰리브데넘막 또는 질화 몰리브데넘막 위에 겹쳐 알루미늄막 또는 구리막을 적층하고, 그 위에 몰리브데넘막 또는 질화 몰리브데넘막을 더 형성하는 3층 구조 등이 있다. 또한, 산화 인듐, 산화 주석, 또는 산화 아연을 포함하는 투명 도전 재료를 사용하여도 좋다. 또한, 망가니즈를 포함하는 구리를 사용하면 에칭에 의한 형상 제어성이 높아지므로 바람직하다.In addition to the gate, source, and drain of the transistor, materials that can be used for conductive layers such as various wirings and electrodes constituting the touch panel include aluminum, titanium, chromium, nickel, copper, yttrium, zirconium, molybdenum, Rut, or tungsten, or an alloy containing any of them as a main component is used as a single layer structure or a laminate structure. For example, a single-layer structure of an aluminum film including silicon, a two-layer structure of stacking an aluminum film on a titanium film, a two-layer structure of stacking an aluminum film on a tungsten film, and a two-layer structure of stacking a copper film on a copper- magnesium- , A two-layer structure in which a copper film is laminated on a titanium film, a two-layer structure in which a copper film is laminated on a tungsten film, an aluminum film or a copper film is laminated on a titanium film or a titanium nitride film, and a titanium film or a titanium nitride film is further formed thereon A three-layer structure in which an aluminum film or a copper film is stacked on a three-layer structure, a molybdenum film or a molybdenum nitride film, and a molybdenum decontamination film or a molybdenum disbonded film is further formed thereon. Further, a transparent conductive material containing indium oxide, tin oxide, or zinc oxide may be used. Use of copper containing manganese is preferable because shape control by etching is improved.

또한, 투광성을 갖는 도전성 재료로서는, 산화 인듐, 인듐 주석 산화물, 인듐 아연 산화물, 산화 아연, 갈륨을 첨가한 산화 아연 등의 도전성 산화물, 또는 그래핀을 사용할 수 있다. 또는, 금, 은, 백금, 마그네슘, 니켈, 텅스텐, 크로뮴, 몰리브데넘, 철, 코발트, 구리, 팔라듐, 또는 타이타늄 등의 금속 재료나, 이 금속 재료를 포함하는 합금 재료를 사용할 수 있다. 또는, 상기 금속 재료의 질화물(예를 들어, 질화 타이타늄) 등을 사용하여도 좋다. 또한, 금속 재료, 합금 재료(또는 이들의 질화물)를 사용하는 경우에는, 투광성을 가질 정도로 얇게 하면 좋다. 또한, 상기 재료의 적층막을 도전층으로서 사용할 수 있다. 예를 들어, 은과 마그네슘의 합금과 인듐 주석 산화물의 적층막 등을 사용하면, 도전성을 높일 수 있어 바람직하다.As the conductive material having translucency, a conductive oxide such as indium oxide, indium tin oxide, indium zinc oxide, zinc oxide, or zinc oxide added with gallium, or graphene may be used. Alternatively, a metal material such as gold, silver, platinum, magnesium, nickel, tungsten, chromium, molybdenum, iron, cobalt, copper, palladium or titanium or an alloy material containing this metal material may be used. Alternatively, a nitride of the metal material (for example, titanium nitride) may be used. When a metal material or an alloying material (or nitride thereof) is used, it may be made thin enough to have transparency. In addition, a laminated film of the above material can be used as the conductive layer. For example, it is preferable to use a lamination film of an alloy of silver and magnesium and indium tin oxide or the like because the conductivity can be increased.

각 절연층, 오버코트(267), 스페이서(219) 등에 사용할 수 있는 절연 재료로서는, 예를 들어 아크릴이나 에폭시 등의 수지, 실록산 결합을 갖는 수지 외에, 산화 실리콘, 산화질화 실리콘, 질화산화 실리콘, 질화 실리콘, 산화 알루미늄 등의 무기 절연 재료를 사용할 수도 있다.As the insulating material that can be used for each of the insulating layers, the overcoat 267, and the spacer 219, for example, a resin such as acrylic or epoxy, a resin having a siloxane bond, silicon oxide, silicon oxynitride, silicon nitride oxide, An inorganic insulating material such as silicon or aluminum oxide may also be used.

또한, 상술한 바와 같이, 발광 소자는 한 쌍의 투수성이 낮은 절연막 사이에 제공되어 있는 것이 바람직하다. 이로써, 발광 소자에 물 등의 불순물이 침입하는 것을 억제할 수 있어, 발광 장치의 신뢰성 저하를 억제할 수 있다.Further, as described above, it is preferable that the light emitting element is provided between a pair of insulating films having low water permeability. This makes it possible to suppress the entry of impurities such as water into the light emitting element, thereby suppressing the reliability of the light emitting device from deteriorating.

투수성이 낮은 절연막으로서는 질화 실리콘막, 질화산화 실리콘막 등 질소와 실리콘을 포함하는 막이나, 질화 알루미늄막 등 질소와 알루미늄을 포함하는 막 등을 들 수 있다. 또한, 산화 실리콘막, 산화질화 실리콘막, 산화 알루미늄막 등을 사용하여도 좋다.Examples of the insulating film having a low water permeability include a film containing nitrogen and silicon such as a silicon nitride film and a silicon nitride oxide film, and a film containing nitrogen and aluminum such as an aluminum nitride film. Further, a silicon oxide film, a silicon oxynitride film, an aluminum oxide film, or the like may be used.

예를 들어, 투수성이 낮은 절연막의 수증기 투과량은 1×10-5[g/(m2·day)] 이하, 바람직하게는 1×10-6[g/(m2·day)] 이하, 더 바람직하게는 1×10-7[g/(m2·day)] 이하, 보다 바람직하게는 1×10-8[g/(m2·day)] 이하로 한다.For example, the water vapor permeation amount of the low water-permeable insulating layer is 1 × 10 -5 [g / ( m 2 · day)] or less, preferably 1 × 10 -6 [g / ( m 2 · day)] or less, more preferably at most 1 × 10 -7 [g / (day · m 2)], more preferably at most 1 × 10 -8 [g / (day · m 2)].

각 접착층으로서는 열 경화성 수지나 광 경화성 수지, 2액 혼합형(two-component type) 경화성 수지 등의 경화성 수지를 사용할 수 있다. 예를 들어, 아크릴, 우레탄, 에폭시, 또는 실록산 결합을 갖는 수지 등의 수지를 사용할 수 있다.As each adhesive layer, a curable resin such as a thermosetting resin, a photo-curing resin, and a two-component type curing resin can be used. For example, resins such as acryl, urethane, epoxy, or resins having siloxane bonds can be used.

EL층(222)은 적어도 발광층을 갖는다. EL층(222)은 발광층 외의 층으로서 정공 주입성이 높은 물질, 정공 수송성이 높은 물질, 정공 블록 재료, 전자 수송성이 높은 물질, 전자 주입성이 높은 물질, 또는 양극성(bipolar) 물질(전자 수송성 및 정공 수송성이 높은 물질) 등을 포함하는 층을 더 포함하여도 좋다.The EL layer 222 has at least a light emitting layer. The EL layer 222 is a layer other than the light emitting layer. The EL layer 222 may be formed of a material having a high hole injecting property, a hole transporting material, a hole blocking material, a material having a high electron transporting property, a material having high electron injecting property, or a bipolar material A material having high hole transportability), and the like.

EL층(222)에는 저분자계 화합물 및 고분자계 화합물 중 어느 것을 사용할 수도 있고, 무기 화합물을 포함하여도 좋다. EL층(222)을 구성하는 층은 각각 증착법(진공 증착법을 포함함), 전사(轉寫)법, 인쇄법, 잉크젯법, 도포법 등의 방법으로 형성할 수 있다.The EL layer 222 may be either a low molecular weight compound or a high molecular weight compound or may contain an inorganic compound. The layers constituting the EL layer 222 can be formed by a deposition method (including a vacuum deposition method), a transfer method, a printing method, an inkjet method, a coating method, or the like.

차광층(115)에 사용할 수 있는 재료로서는, 카본 블랙, 금속 산화물, 복수의 금속 산화물의 고용체를 포함하는 복합 산화물 등을 들 수 있다.Examples of the material usable for the light-shielding layer 115 include carbon black, a metal oxide, and a complex oxide containing a solid solution of a plurality of metal oxides.

착색층(114)에 사용할 수 있는 재료로서는, 금속 재료, 수지 재료, 안료 또는 염료가 포함된 수지 재료 등을 들 수 있다.Examples of the material usable for the coloring layer 114 include a metal material, a resin material, a resin material containing a pigment or a dye, and the like.

[제작 방법예][Production method example]

여기서, 가요성을 갖는 터치 패널을 제작하는 방법에 대하여 설명한다.Here, a method of manufacturing a flexible touch panel will be described.

여기서는 편의상 화소나 회로를 포함하는 구성, 컬러 필터 등의 광학 부재를 포함하는 구성, 또는 터치 센서를 포함하는 구성을 소자층이라고 부르기로 한다. 소자층은 예를 들어, 표시 소자를 포함하고, 표시 소자 외에도 표시 소자에 전기적으로 접속되는 배선, 화소나 회로에 사용되는 트랜지스터 등의 소자를 포함하여도 좋다.For convenience, a configuration including a pixel or a circuit, a configuration including an optical member such as a color filter, or a configuration including a touch sensor is referred to as an element layer. The element layer includes, for example, a display element and may include elements other than the display element, such as a wiring, a transistor used in a pixel or a circuit, and the like, which are electrically connected to the display element.

또한, 여기서는 소자층이 형성되는 절연 표면을 구비하는 지지체(예를 들어 제 1 기판(21) 또는 제 2 기판(31))를 기재(基材)라고 부르기로 한다.Here, a support (for example, the first substrate 21 or the second substrate 31) having an insulating surface on which an element layer is formed will be referred to as a substrate.

가요성을 갖는 절연 표면을 구비하는 기재 위에 소자층을 형성하는 방법으로서는 기재 위에 직접 소자층을 형성하는 방법과, 강(剛)성을 갖는 지지 기재 위에 소자층을 형성한 후, 소자층과 지지 기재를 박리하여 소자층을 기재로 전치하는 방법이 있다.As a method of forming an element layer on a substrate having a flexible insulating surface, there are a method of forming an element layer directly on the substrate, a method of forming an element layer on a supporting substrate having rigidity, There is a method in which the substrate is peeled off and the element layer is transferred to the substrate.

기재를 구성하는 재료가 소자층의 형성 공정에서 가해지는 열에 대하여 내열성을 갖는 경우에는 기재 위에 직접 소자층을 형성하면 공정이 간략화되기 때문에 바람직하다. 이 때, 기재를 지지 기재에 고정한 상태로 소자층을 형성하면, 장치 내, 및 장치 간에서의 반송이 쉽게 되기 때문에 바람직하다.In the case where the material constituting the substrate has heat resistance to the heat applied in the step of forming the element layer, formation of the element layer directly on the substrate is preferable because the process is simplified. At this time, formation of the element layer with the substrate fixed to the supporting substrate is preferable because the transport in the apparatus and between the apparatus becomes easy.

또한, 소자층을 지지 기재 위에 형성한 후에 기재로 전치하는 방법을 사용하는 경우, 먼저 지지 기재 위에 박리층과 절연층을 적층하고 이 절연층 위에 소자층을 형성한다. 이어서 지지 기재와 소자층을 박리하고 기재로 전치한다. 이 때 지지 기재와 박리층의 계면, 박리층과 절연층의 계면, 또는 박리층 내에서 박리가 발생되는 재료를 선택하면 좋다.In addition, when the element layer is formed on the supporting substrate and then transferred to the substrate, a peeling layer and an insulating layer are laminated on the supporting substrate, and an element layer is formed on the insulating substrate. Subsequently, the supporting substrate and the element layer are peeled off and transferred to the substrate. At this time, it is preferable to select a material from which the interface between the supporting substrate and the peeling layer, the interface between the peeling layer and the insulating layer, or the peeling occurs in the peeling layer.

예를 들어, 박리층으로서 텅스텐 등의 고융점 금속 재료를 포함하는 층과 상기 금속 재료의 산화물을 포함하는 층을 적층하고, 박리층 위에 질화 실리콘층이나 산화질화 실리콘층을 복수 적층한 층을 사용하는 것이 바람직하다. 고융점 금속 재료를 사용하면 소자층의 형성 공정의 자유도가 높아지므로 바람직하다.For example, a layer in which a layer containing a refractory metal material such as tungsten or the like and a layer containing an oxide of the above-described metal material are laminated as a release layer and a plurality of layers of a silicon nitride layer or a silicon oxynitride layer are laminated on the release layer . The use of a refractory metal material is preferable because it increases the degree of freedom in forming the element layer.

박리는 기계적인 힘을 가하거나, 박리층을 에칭하거나, 또는 박리 계면의 일부에 액체를 적하하여 박리 계면 전체에 액체를 침투시키는 등으로 수행하여도 좋다. 또는 박리 계면에 열을 가하여 열팽창 계수의 차이를 이용하여 박리를 수행하여도 좋다.The peeling may be performed by applying a mechanical force, etching the peeling layer, or dropping a liquid onto a part of the peeling interface to permeate the entire peeling interface. Or peeling may be carried out by applying heat to the peeling interface and using the difference in thermal expansion coefficient.

또한, 지지 기재와 절연층의 계면에서 박리가 가능한 경우에는 박리층을 제공하지 않아도 된다. 예를 들어, 지지 기재로서 유리를 사용하고, 절연층으로서 폴리이미드 등의 유기 수지를 사용하여 유기 수지의 일부를 레이저 광 등으로 국소적으로 가열함으로써 박리의 기점을 형성하여, 유리와 절연층의 계면에서 박리를 수행하여도 좋다. 또는, 지지 기재와 유기 수지로 이루어진 절연층 사이에 금속층을 제공하고, 이 금속층에 전류를 흘려서 가열함으로써 이 금속층과 절연층의 계면에서 박리를 수행하여도 좋다. 이 때, 유기 수지로 이루어진 절연층을 기재로서 사용할 수 있다.In addition, when peeling is possible at the interface between the supporting substrate and the insulating layer, it is not necessary to provide a peeling layer. For example, glass is used as a supporting substrate, an organic resin such as polyimide is used as an insulating layer, and a part of the organic resin is locally heated by laser light or the like to form a starting point of peeling, Peeling may be performed at the interface. Alternatively, a metal layer may be provided between the supporting substrate and the insulating layer made of the organic resin, and current may be applied to the metal layer to separate the insulating layer from the interface between the metal layer and the insulating layer. At this time, an insulating layer made of an organic resin can be used as a substrate.

가요성을 갖는 기재로서는, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN) 등의 폴리에스터 수지, 폴리아크릴로나이트릴 수지, 폴리이미드 수지, 폴리메틸메타크릴레이트 수지, 폴리카보네이트(PC) 수지, 폴리에터설폰(PES) 수지, 폴리아마이드 수지, 사이클로올레핀 수지, 폴리스타이렌 수지, 폴리아마이드이미드 수지, 폴리염화바이닐 수지 등을 들 수 있다. 특히, 열팽창 계수가 낮은 재료를 사용하는 것이 바람직하고, 예를 들어 열팽창 계수가 30×10-6/K 이하인 폴리아마이드이미드 수지, 폴리이미드 수지, PET 등을 적합하게 사용할 수 있다. 또한, 섬유체에 수지를 함침(含浸)시킨 기판(프리프레그라고도 함)이나, 무기 필러(filler)를 유기 수지에 섞어서 열팽창 계수를 낮춘 기판을 사용할 수도 있다.Examples of the substrate having flexibility include polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyacrylonitrile resins, polyimide resins, polymethyl methacrylate resins, polycarbonate (PC) resin, polyethersulfone (PES) resin, polyamide resin, cycloolefin resin, polystyrene resin, polyamideimide resin and polyvinyl chloride resin. Particularly, it is preferable to use a material having a low coefficient of thermal expansion. For example, polyamideimide resin, polyimide resin, PET or the like having a thermal expansion coefficient of 30 x 10 < -6 > Further, a substrate (impregnated with a resin) impregnated with a resin (also referred to as a prepreg) or a substrate having a thermal expansion coefficient lowered by mixing an inorganic filler with an organic resin may be used.

상술한 재료 중에 섬유체가 포함되어 있는 경우에는, 섬유체로서는 유기 화합물 또는 무기 화합물의 고강도 섬유를 사용한다. 고강도 섬유란, 구체적으로는 인장 탄성률(tensile elastic modulus) 또는 영률(Young’s modulus)이 높은 섬유를 말하고, 대표예로서는 폴리바이닐알코올계 섬유, 폴리에스터계 섬유, 폴리아마이드계 섬유, 폴리에틸렌계 섬유, 아라미드계 섬유, 폴리파라페닐렌벤조비스옥사졸 섬유, 유리 섬유, 또는 탄소 섬유를 들 수 있다. 유리 섬유로서는 E유리, S유리, D유리, Q유리 등을 사용한 유리 섬유를 들 수 있다. 이들은, 직포 또는 부직포 상태로 사용하고, 이 섬유체에 수지를 함침시켜 수지를 경화시킨 구조물을 가요성을 갖는 기판으로서 사용하여도 좋다. 가요성을 갖는 기판으로서 섬유체와 수지로 이루어진 구조물을 사용하면 굴곡이나 국소적 가압으로 인한 파손에 대한 신뢰성이 향상되기 때문에 바람직하다.When the above-mentioned materials include a fibrous body, high-strength fibers of an organic compound or an inorganic compound are used as the fibrous body. The high-strength fiber refers to a fiber having a high tensile elastic modulus or a Young's modulus. Typical examples of the high-strength fiber include a polyvinyl alcohol fiber, a polyester fiber, a polyamide fiber, a polyethylene fiber, an aramid fiber Fiber, polyparaphenylene benzobisoxazole fiber, glass fiber, or carbon fiber. Examples of the glass fiber include glass fibers using E glass, S glass, D glass, Q glass, and the like. They may be used in the form of a woven or nonwoven fabric, and a structure in which the resin is impregnated with the resin to cure the resin may be used as a flexible substrate. Use of a structure made of a fibrous body and a resin as the substrate having flexibility is preferable because reliability against breakage due to bending or local pressurization is improved.

또는, 가요성을 가질 정도로 얇은 유리, 금속 등을 기재에 사용할 수도 있다. 또는, 유리와 수지 재료가 접합된 복합 재료를 사용하여도 좋다.Alternatively, glass, metal, or the like thin enough to have flexibility may be used for the substrate. Alternatively, a composite material in which glass and a resin material are bonded may be used.

예를 들어, 도 6의 (A)에 도시된 구성의 경우, 제 1 지지 기재 위에 제 1 박리층, 절연층(262)을 순차적으로 형성한 후에, 이들보다 위에 있는 구조물을 형성한다. 또한 이와 별도로, 제 2 지지 기재 위에 제 2 박리층, 절연층(212)을 순차적으로 형성한 후에, 이들보다 위에 있는 구조물을 형성한다. 다음에, 제 1 지지 기재와 제 2 지지 기재를 접착층(220)에 의하여 접합한다. 그 후, 제 2 박리층과 절연층(212)의 계면에서 박리함으로써 제 2 지지 기재 및 제 2 박리층을 제거하고, 절연층(212)과 제 2 기판(31)을 접착층(211)에 의하여 접합한다. 또한, 제 1 박리층과 절연층(262)의 계면에서 박리함으로써 제 1 지지 기재 및 제 1 박리층을 제거하고, 절연층(262)과 제 1 기판(21)을 접착층(261)에 의하여 접합한다. 또한, 박리 및 접합은 어느 쪽을 먼저 하여도 좋다.For example, in the case of the configuration shown in FIG. 6A, a first peeling layer and an insulating layer 262 are sequentially formed on a first supporting substrate, and a structure above these is formed. Separately, a second peelable layer and an insulating layer 212 are sequentially formed on the second supporting substrate, and then a structure above these is formed. Next, the first supporting substrate and the second supporting substrate are bonded together by the adhesive layer 220. Thereafter, the second supporting substrate and the second peeling layer are removed by peeling off from the interface between the second peeling layer and the insulating layer 212, and the insulating layer 212 and the second substrate 31 are bonded to each other by the adhesive layer 211 . The first supporting substrate and the first peeling layer are removed by peeling at the interface between the first peeling layer and the insulating layer 262 and the insulating layer 262 and the first substrate 21 are bonded to each other by the adhesive layer 261 do. Either of peeling and joining may be performed first.

여기까지가 가요성을 갖는 터치 패널을 제작하는 방법에 대한 설명이다.Here is a description of a method of manufacturing a flexible touch panel.

[단면 구성예 2][Example of sectional configuration 2]

도 7은 도 6과는 일부의 구성이 다른 단면 구성예를 도시한 것이다. 도 7에 도시된 구성은 도 6에 도시된 구성과 비교하여 제 1 도전층(111)의 구성이 주로 다른 점에서 상이하다.Fig. 7 shows an example of a sectional configuration different from that of Fig. 6 in part. The configuration shown in Fig. 7 differs from the configuration shown in Fig. 6 in the configuration of the first conductive layer 111 mainly in different points.

도 7에는, 도 6에서의 제 1 도전층(111) 대신에, 트랜지스터(251) 및 트랜지스터(252)의 반도체층과 동일한 막을 가공하여 형성한 반도체층을 갖는 제 1 도전층(111a)을 적용한 경우를 도시하였다. 또한, 제 1 도전층(111a)은 절연층(265)과 접하여 제공되어 있다.7 shows a case where a first conductive layer 111a having a semiconductor layer formed by processing the same film as the semiconductor layer of the transistor 251 and the transistor 252 is used in place of the first conductive layer 111 in FIG. Respectively. The first conductive layer 111a is provided in contact with the insulating layer 265. [

여기서, 제 1 도전층(111a)은 산화물 반도체를 포함하는 것이 바람직하다. 산화물 반도체는 막 내의 산소 결손 또는/및 수소, 물 등의 불순물 농도에 의하여 저항을 제어할 수 있는 반도체 재료이다. 따라서, 제 1 도전층(111a)에 적용하는 반도체층과, 트랜지스터에 적용하는 반도체층을 동일한 반도체막을 가공하여 형성한 경우에도, 각 반도체층에 대하여 산소 결손 또는/및 불순물 농도가 증가되는 처리, 또는 산소 결손 또는/및 불순물 농도가 저감되는 처리를 선택적으로 실시함으로써, 이들 반도체층의 저항률을 제어할 수 있다.Here, the first conductive layer 111a preferably includes an oxide semiconductor. The oxide semiconductor is a semiconductor material capable of controlling the resistance by the oxygen deficiency in the film and / or the impurity concentration such as hydrogen or water. Therefore, even when the semiconductor layer to be applied to the first conductive layer 111a and the semiconductor layer to be applied to the transistor are formed by processing the same semiconductor film, the processing of increasing the oxygen deficiency and / or the impurity concentration in each semiconductor layer, Or a process of reducing the oxygen deficiency and / or the impurity concentration is selectively performed, whereby the resistivity of these semiconductor layers can be controlled.

구체적으로는, 용량 소자(110)의 전극으로서 기능하는 제 1 도전층(111a)에 포함되는 산화물 반도체층에 플라즈마 처리를 수행하고, 산화물 반도체층 내의 산소 결손을 증가시킨다. 또는/및 산화물 반도체층 내의 수소, 물 등의 불순물을 증가시킴으로써, 캐리어 밀도가 높고 저항이 낮은 산화물 반도체를 포함하는 제 1 도전층(111a)으로 할 수 있다. 또한, 수소를 포함하는 절연막(절연층(265))을 산화물 반도체층에 접하도록 형성하고, 상기 수소를 포함하는 절연막으로부터 산화물 반도체층으로 수소를 확산시킴으로써, 캐리어 밀도가 높고 저항이 낮은 산화물 반도체층으로 할 수 있다. 이와 같은 산화물 반도체층을 제 1 도전층(111a)에 적용할 수 있다.Specifically, the oxide semiconductor layer included in the first conductive layer 111a functioning as an electrode of the capacitor device 110 is subjected to plasma treatment to increase the oxygen deficiency in the oxide semiconductor layer. And / or by increasing impurities such as hydrogen and water in the oxide semiconductor layer, the first conductive layer 111a including the oxide semiconductor having high carrier density and low resistance can be obtained. Further, an insulating film containing hydrogen (insulating layer 265) is formed so as to be in contact with the oxide semiconductor layer, and hydrogen is diffused from the insulating film containing hydrogen to the oxide semiconductor layer, . The oxide semiconductor layer may be applied to the first conductive layer 111a.

한편, 트랜지스터(251)나 트랜지스터(252) 위에는, 산화물 반도체층이 상기 플라즈마 처리에 노출되지 않도록 절연층(264)을 제공한다. 또한, 절연층(264)을 제공함으로써, 수소를 포함하는 절연층(265)과 산화물 반도체층이 접하지 않는 구성으로 할 수 있다. 절연층(264)으로서 산소를 방출할 수 있는 절연막을 사용함으로써, 트랜지스터의 산화물 반도체층에 산소를 공급할 수 있다. 산소가 공급된 산화물 반도체층은, 막 내 또는 막 계면에서의 산소 결손이 저감되어 저항이 높은 산화물 반도체층이 된다. 또한, 산소를 방출할 수 있는 절연막으로서 예를 들어 산화 실리콘막, 산화질화 실리콘막 등을 사용할 수 있다.On the other hand, an insulating layer 264 is provided on the transistor 251 or the transistor 252 so that the oxide semiconductor layer is not exposed to the plasma treatment. Further, by providing the insulating layer 264, the insulating layer 265 including hydrogen and the oxide semiconductor layer can be prevented from contacting each other. By using an insulating film capable of emitting oxygen as the insulating layer 264, oxygen can be supplied to the oxide semiconductor layer of the transistor. The oxide semiconductor layer to which oxygen has been supplied becomes an oxide semiconductor layer having a high resistance by reducing the oxygen deficiency in the film or at the film interface. As the insulating film capable of emitting oxygen, for example, a silicon oxide film, a silicon oxynitride film, or the like can be used.

또한, 산화물 반도체층에 수행하는 플라즈마 처리로서는, 대표적으로는 희가스(He, Ne, Ar, Kr, Xe), 인, 붕소, 수소, 및 질소 중에서 선택된 하나를 포함하는 가스를 사용한 플라즈마 처리를 들 수 있다. 더 구체적으로는, Ar 분위기 하에서의 플라즈마 처리, Ar과 수소의 혼합 가스 분위기 하에서의 플라즈마 처리, 암모니아 분위기 하에서의 플라즈마 처리, Ar과 암모니아의 혼합 가스 분위기 하에서의 플라즈마 처리, 또는 질소 분위기 하에서의 플라즈마 처리 등을 들 수 있다.As the plasma treatment to be performed on the oxide semiconductor layer, a plasma treatment using a gas including a rare gas (He, Ne, Ar, Kr, Xe), phosphorus, boron, hydrogen, have. More specifically, plasma treatment in an Ar atmosphere, plasma treatment in a mixed gas atmosphere of Ar and hydrogen, plasma treatment in an ammonia atmosphere, plasma treatment in a mixed gas atmosphere of Ar and ammonia, or plasma treatment in a nitrogen atmosphere can be given .

상기 플라즈마 처리에 의하여, 산화물 반도체층은 산소가 이탈된 격자(또는 산소가 이탈된 부분)에 산소 결손이 형성된다. 상기 산소 결손은 캐리어를 발생하는 요인이 될 수 있다. 또한, 산화물 반도체층 근방, 더 구체적으로는 산화물 반도체층의 아래쪽 또는 위쪽과 접하는 절연층으로부터 수소가 공급되고, 상기 산소 결손에 수소가 들어가면 캐리어인 전자를 생성하는 경우가 있다. 따라서, 플라즈마 처리에 의하여 산소 결손이 증가된 제 1 도전층(111a)에 적용하는 산화물 반도체층은, 트랜지스터에 적용하는 산화물 반도체층보다 캐리어 밀도가 높다.By the plasma treatment, oxygen deficiency is formed in the oxide semiconductor layer in the lattice where the oxygen is removed (or the oxygen-removed portion). The oxygen deficiency may be a factor for generating a carrier. Further, hydrogen is supplied from the insulating layer in contact with the oxide semiconductor layer, more specifically, the insulating layer in contact with the lower side or the upper side of the oxide semiconductor layer. When hydrogen enters the oxygen vacancies, electrons as carriers are sometimes generated. Therefore, the oxide semiconductor layer applied to the first conductive layer 111a having increased oxygen deficiency due to the plasma treatment has a higher carrier density than the oxide semiconductor layer applied to the transistor.

한편, 산소 결손이 저감되고 수소 농도가 저감된 트랜지스터에 적용하는 산화물 반도체층은 고순도 진성화 또는 실질적으로 고순도 진성화된 산화물 반도체층이라고 할 수 있다. 여기서, 실질적으로 진성이란, 산화물 반도체의 캐리어 밀도가 1×1017/cm3 미만인 것, 바람직하게는 1×1015/cm3 미만인 것, 더욱 바람직하게는 1×1013/cm3 미만인 것을 가리킨다. 또는, 불순물 농도가 낮고 결함 준위 밀도가 낮은(산소 결손이 적은) 것을 고순도 진성 또는 실질적으로 고순도 진성이라고 부른다. 고순도 진성 또는 실질적으로 고순도 진성인 산화물 반도체는 캐리어 발생원이 적기 때문에, 캐리어 밀도를 낮게 할 수 있다. 따라서, 상기 산화물 반도체막에 채널 영역이 형성되는 트랜지스터는, 문턱 전압이 양으로 되는 전기 특성(노멀리 오프 특성이라고도 함)이 되기 쉽다. 또한, 고순도 진성 또는 실질적으로 고순도 진성인 산화물 반도체층은 결함 준위 밀도가 낮기 때문에, 트랩 준위 밀도를 저감할 수 있다.On the other hand, the oxide semiconductor layer to be applied to the transistor in which the oxygen deficiency is reduced and the hydrogen concentration is reduced can be said to be an oxide semiconductor layer which is highly purity or is made substantially pure. Here, substantially intrinsic means that the carrier density of the oxide semiconductor is less than 1 x 10 17 / cm 3 , preferably less than 1 x 10 15 / cm 3 , more preferably less than 1 x 10 13 / cm 3 . Alternatively, a substance having a low impurity concentration and a low defect level density (less oxygen deficiency) is called high purity intrinsic or substantially high purity intrinsic. Oxide semiconductors having high purity intrinsic characteristics or substantially high purity intrinsic properties can reduce the carrier density because they have fewer carrier generation sources. Therefore, the transistor in which the channel region is formed in the oxide semiconductor film tends to become an electrical characteristic (also referred to as a normally-off characteristic) in which the threshold voltage becomes positive. In addition, since the oxide semiconductor layer of high purity intrinsic or substantially high purity is low in defect level density, the trap level density can be reduced.

또한, 고순도 진성 또는 실질적으로 고순도 진성인 산화물 반도체층은 오프 전류가 현저히 작고, 채널 폭이 1×106μm이고 채널 길이(L)가 10μm의 소자이어도, 소스 전극과 드레인 전극 간의 전압(드레인 전압)이 1V~10V의 범위에서, 오프 전류가, 반도체 파라미터 분석기의 측정 한계 이하, 즉 1×10-13A 이하라는 특성을 얻을 수 있다. 따라서, 산화물 반도체층에 채널 영역이 형성되는 트랜지스터(251)나 트랜지스터(252) 등은 전기 특성의 변동이 적고 신뢰성이 높은 트랜지스터가 된다. 또한, 제 2 기판(31) 측에 제공되는 트랜지스터(201), 트랜지스터(202), 트랜지스터(203) 등에도 마찬가지의 산화물 반도체층을 적용하는 것이 바람직하다.The oxide semiconductor layer of high purity intrinsic or substantially high purity has a considerably small off current, and even if the channel width is 1 x 10 6 m and the channel length (L) is 10 m, the voltage between the source electrode and the drain electrode ) Is in the range of 1 V to 10 V, the off current is less than or equal to the measurement limit of the semiconductor parameter analyzer, that is, 1 × 10 -13 A or less. Therefore, the transistor 251, the transistor 252, or the like in which the channel region is formed in the oxide semiconductor layer is less likely to fluctuate in electric characteristics and becomes a transistor with high reliability. It is preferable to apply the same oxide semiconductor layer to the transistor 201, the transistor 202, and the transistor 203 provided on the second substrate 31 side.

또한, 도 7에 있어서는, 절연층(264)은 용량 소자(110)의 전극으로서 기능하는 제 1 도전층(111a)과 중첩되는 영역이 선택적으로 제거되도록 제공되어 있다. 또한, 절연층(265)은 제 1 도전층(111a)과 접하도록 형성된 후, 제 1 도전층(111a) 위로부터 제거되어 있어도 좋다. 절연층(265)으로서, 예를 들어 수소를 포함하는 절연막, 바꿔 말하면 수소를 방출할 수 있는 절연막, 대표적으로는 질화 실리콘막을 사용함으로써, 제 1 도전층(111a)에 수소를 공급할 수 있다. 수소를 방출할 수 있는 절연막은 막 중의 함유 수소 농도가 1×1022atoms/cm3 이상이면 바람직하다. 이와 같은 절연막을 제 1 도전층(111a)에 접하도록 형성함으로써, 제 1 도전층(111a)에 수소를 효과적으로 함유시킬 수 있다. 이와 같이, 상술한 플라즈마 처리에 더하여, 산화물 반도체층과 접하는 절연막의 구성을 변경함으로써, 산화물 반도체층의 저항을 임의적으로 조정할 수 있다. 또한, 충분히 저저항화된 산화물 반도체를 포함하는 층을 산화물 도전체층이라고 바꿔 말할 수도 있다.7, the insulating layer 264 is provided so as to selectively remove a region overlapping the first conductive layer 111a functioning as an electrode of the capacitive element 110. In addition, The insulating layer 265 may be formed to contact the first conductive layer 111a and then removed from the first conductive layer 111a. As the insulating layer 265, hydrogen can be supplied to the first conductive layer 111a, for example, by using an insulating film containing hydrogen, in other words, an insulating film capable of releasing hydrogen, typically a silicon nitride film. It is preferable that the insulating film capable of emitting hydrogen has a concentration of hydrogen contained in the film of 1 x 10 22 atoms / cm 3 or more. By forming such an insulating film so as to be in contact with the first conductive layer 111a, it is possible to effectively contain hydrogen in the first conductive layer 111a. In this manner, in addition to the above-described plasma treatment, the resistance of the oxide semiconductor layer can be arbitrarily adjusted by changing the configuration of the insulating film in contact with the oxide semiconductor layer. In addition, a layer including an oxide semiconductor which is sufficiently low in resistance may be referred to as an oxide conductor layer.

제 1 도전층(111a)에 포함되는 수소는, 금속 원자와 결합하는 산소와 반응하여 물이 됨과 동시에, 산소가 이탈된 격자(또는 산소가 이탈된 부분)에 산소 결손을 형성한다. 이 산소 결손에 수소가 들어감으로써 캐리어인 전자가 생성될 수 있다. 또한, 수소의 일부가 금속 원자와 결합되는 산소와 결합함으로써 캐리어인 전자를 생성할 수 있다. 따라서, 수소가 포함되는 제 1 도전층(111a)에 포함되는 산화물 반도체는 트랜지스터에 적용하는 산화물 반도체보다 캐리어 밀도가 높다.Hydrogen contained in the first conductive layer 111a reacts with oxygen bonded to the metal atoms to form water and forms an oxygen deficiency in the lattice in which the oxygen is removed (or the oxygen-removed portion). When hydrogen enters the oxygen vacancies, electrons as carriers can be generated. In addition, a part of hydrogen can be combined with oxygen bonded to a metal atom to generate an electron as a carrier. Therefore, the oxide semiconductor included in the first conductive layer 111a including hydrogen has a higher carrier density than the oxide semiconductor used in the transistor.

트랜지스터의 채널 영역이 형성되는 산화물 반도체층은 수소가 가능한 한 저감되어 있는 것이 바람직하다. 구체적으로는 산화물 반도체층에서, 이차 이온 질량 분석법(SIMS: Secondary Ion Mass Spectrometry)에 의하여 얻어지는 수소 농도를 2×1020atoms/cm3 이하, 바람직하게는 5×1019atoms/cm3 이하, 더 바람직하게는 1×1019atoms/cm3 이하, 5×1018atoms/cm3 미만, 바람직하게는 1×1018atoms/cm3 이하, 더 바람직하게는 5×1017atoms/cm3 이하, 보다 바람직하게는 1×1016atoms/cm3 이하로 한다.It is preferable that the oxide semiconductor layer in which the channel region of the transistor is formed is reduced as much as possible of hydrogen. Concretely, in the oxide semiconductor layer, the hydrogen concentration obtained by secondary ion mass spectrometry (SIMS) is 2 x 10 20 atoms / cm 3 or less, preferably 5 x 10 19 atoms / cm 3 or less, preferably from 1 × 10 19 atoms / cm 3 or less, 5 × 10 18 atoms / cm 3 , preferably less than 1 × 10 18 atoms / cm 3 or less, more preferably 5 × 10 17 atoms / cm 3 or less, More preferably 1 x 10 < 16 > atoms / cm < 3 > or less.

한편, 용량 소자(110)의 전극으로서 기능하는 제 1 도전층(111a)에 포함되는 산화물 반도체는 상기 트랜지스터에 적용하는 산화물 반도체보다 수소 농도 또는/및 산소 결손이 많고, 저저항화되어 있다.On the other hand, the oxide semiconductor included in the first conductive layer 111a functioning as the electrode of the capacitor 110 has a higher hydrogen concentration and / or oxygen deficiency than the oxide semiconductor applied to the transistor, and has a lower resistance.

제 1 도전층(111a) 및 트랜지스터에 적용하는 산화물 반도체층은 대표적으로는 In-Ga 산화물, In-Zn 산화물, In-M-Zn 산화물(M은 Mg, Al, Ti, Ga, Y, Zr, La, Ce, Nd, 또는 Hf) 등의 금속 산화물로 형성된다. 또한, 제 1 도전층(111a) 및 트랜지스터에 적용하는 산화물 반도체층은 투광성을 갖는다.The first conductive layer 111a and the oxide semiconductor layer to be applied to the transistor are typically made of In-Ga oxide, In-Zn oxide, In-M-Zn oxide (M is Mg, Al, Ti, Ga, La, Ce, Nd, or Hf). In addition, the first conductive layer 111a and the oxide semiconductor layer applied to the transistor have light-transmitting properties.

또한, 제 1 도전층(111a) 및 트랜지스터에 적용할 수 있는 산화물 반도체층이 In-M-Zn 산화물인 경우, In과 M의 합을 100atomic%로 하였을 때, In을 25atomic% 이상, M을 75atomic% 미만, 또는 In을 34atomic% 이상, M을 66atomic% 미만으로 한다.In the case where the oxide semiconductor layer applicable to the first conductive layer 111a and the transistor is an In-M-Zn oxide, when the sum of In and M is 100 atomic%, In is at least 25 atomic%, M is at least 75 atomic %, Or more than 34 atomic% of In, and less than 66 atomic% of M.

제 1 도전층(111a) 및 트랜지스터에 적용할 수 있는 산화물 반도체층은, 에너지 갭이 2eV 이상, 2.5eV 이상, 또는 3eV 이상인 것이 바람직하다.The first conductive layer 111a and the oxide semiconductor layer applicable to the transistor preferably have an energy gap of 2 eV or more, 2.5 eV or more, or 3 eV or more.

제 1 도전층(111a) 및 트랜지스터에 적용할 수 있는 산화물 반도체층의 두께는, 3nm 이상 200nm 이하, 3nm 이상 100nm 이하, 또는 3nm 이상 60nm 이하로 할 수 있다.The thickness of the oxide semiconductor layer applicable to the first conductive layer 111a and the transistor may be 3 nm or more and 200 nm or less, 3 nm or more and 100 nm or less, or 3 nm or more and 60 nm or less.

제 1 도전층(111a) 및 트랜지스터에 적용할 수 있는 산화물 반도체층이 In-M-Zn 산화물인 경우, In-M-Zn 산화물을 성막하기 위하여 사용하는 스퍼터링 타깃의 금속 원소의 원자수비는 In≥M, Zn≥M을 만족시키는 것이 바람직하다. 이와 같은 스퍼터링 타깃의 금속 원소의 원자수비로서 In:M:Zn=1:1:1, In:M:Zn=1:1:1.2, In:M:Zn=2:1:1.5, In:M:Zn=2:1:2.3, In:M:Zn=2:1:3, In:M:Zn=3:1:2 등이 바람직하다. 또한, 성막되는 제 1 도전층(111a) 및 트랜지스터에 적용할 수 있는 산화물 반도체층의 원자수비는 각각, 상기 스퍼터링 타깃에 포함되는 금속 원소의 원자수비의 ±40%의 오차 변동을 포함한다.When the first conductive layer 111a and the oxide semiconductor layer applicable to the transistor are In-M-Zn oxide, the atomic ratio of the metal element of the sputtering target used for forming the In-M-Zn oxide is In? M, and Zn? M. M: Zn = 1: 1: 1.2, In: M: Zn = 2: 1: 1.5, In: M: Zn = 1: 1: 1 as the atomic ratio of the metal element of the sputtering target, : Zn = 2: 1: 2.3, In: M: Zn = 2: 1: 3, In: M: Zn = 3: 1: The atomic ratio of the first conductive layer 111a to be formed and the oxide semiconductor layer applicable to the transistor includes an error variation of +/- 40% of the atomic ratio of the metal element contained in the sputtering target.

또한, 산소 결손이 형성된 산화물 반도체에 수소가 첨가되면, 산소 결손의 사이트에 수소가 들어가 전도대 근방에 도너 준위가 형성된다. 결과적으로, 산화물 반도체는 도전성이 높아져서 도전체화된다. 도전체화된 산화물 반도체를 산화물 도전체라고 할 수 있다. 일반적으로, 산화물 반도체는 에너지 갭이 크기 때문에 가시광에 대한 투광성을 갖는다. 한편, 산화물 도전체는 전도대 근방에 도너 준위를 갖는 산화물 반도체이다. 따라서, 이 도너 준위로 인한 흡수의 영향은 작고, 가시광에 대한 투광성이 산화물 반도체와 같은 정도이다. 산화물 도전체는 축퇴 반도체이며, 전도대단과 페르미 준위가 일치 또는 대략 일치된다고 할 수도 있다. 따라서, 산화물 도전체막을 용량 소자의 전극 등에 사용할 수 있다.Further, when hydrogen is added to the oxide semiconductor in which oxygen deficiency is formed, hydrogen enters the site of oxygen deficiency and a donor level is formed in the vicinity of the conduction band. As a result, the oxide semiconductor becomes conductive and becomes conductive. The oxide semiconductor that is made conductive may be referred to as an oxide conductor. Generally, since the oxide semiconductor has a large energy gap, it has transparency to visible light. On the other hand, the oxide conductor is an oxide semiconductor having a donor level near the conduction band. Therefore, the influence of the absorption due to the donor level is small, and the transmittance to visible light is about the same as that of the oxide semiconductor. The oxide conductor is a degenerate semiconductor, and it may be said that the conduction band edge and the Fermi level coincide or coincide with each other. Therefore, an oxide conductor film can be used as an electrode of a capacitive element or the like.

도 7에 도시된 구성으로 함으로써, 제 1 도전층(111a)을 트랜지스터의 제작 공정에서 동시에 형성할 수 있기 때문에, 공정을 간략화할 수 있다. 또한, 도 6에서의 제 1 도전층(111)을 형성할 때의 포토마스크가 불필요하므로 제작 비용을 삭감할 수도 있다.With the structure shown in Fig. 7, the first conductive layer 111a can be formed simultaneously in the transistor fabrication process, so that the process can be simplified. In addition, since the photomask for forming the first conductive layer 111 in Fig. 6 is unnecessary, the manufacturing cost can be reduced.

[단면 구성예 3][Example of sectional configuration 3]

도 8은 도 6 및 도 7과는 일부의 구성이 다른 단면 구성예를 도시한 것이다. 도 8에 도시된 구성은 도 6에 도시된 구성과 비교하여, 제 1 기판(21) 측에 제공되는 트랜지스터를 갖지 않는 점이 주로 다르다. 즉, 도 8에 도시된 단면 구성은 패시브 매트릭스형 터치 패널에 적용할 수 있다.Fig. 8 shows an example of a sectional configuration which is different from that of Fig. 6 and Fig. The configuration shown in FIG. 8 is different from the configuration shown in FIG. 6 in that it does not have a transistor provided on the first substrate 21 side. That is, the sectional configuration shown in Fig. 8 can be applied to a passive matrix type touch panel.

여기서, 제 1 도전층(111)은 한 방향으로 연장되는 띠 형상으로 할 수 있다. 또한, 제 2 도전층(113)은 제 1 도전층(111)과 교차되는 방향으로 연장되는 띠 형상으로 할 수 있다. 이와 같은 제 1 도전층(111)과 제 2 도전층(113)을 각각 복수로 나란히 배치함으로써 패시브 매트릭스형 터치 패널을 실현할 수 있다.Here, the first conductive layer 111 may have a strip shape extending in one direction. The second conductive layer 113 may have a band shape extending in a direction intersecting with the first conductive layer 111. A passive matrix type touch panel can be realized by arranging a plurality of the first conductive layer 111 and the second conductive layer 113 side by side.

도 8에는 제 1 도전층(111)과 배선(273)의 콘택트부(271) 및 제 2 도전층(113)과 배선(274)의 콘택트부(272)를 도시하였다. 제 1 도전층(111)과 배선(273)은 절연층(264)에 제공된 개구를 통하여 전기적으로 접속된다. 또한, 제 2 도전층(113)과 배선(274)은 절연층(264) 및 절연층(112)에 제공된 개구를 통하여 전기적으로 접속된다.8 shows the contact portion 271 of the first conductive layer 111 and the wiring 273 and the contact portion 272 of the second conductive layer 113 and the wiring 274. [ The first conductive layer 111 and the wiring 273 are electrically connected through an opening provided in the insulating layer 264. Further, the second conductive layer 113 and the wiring 274 are electrically connected through the opening provided in the insulating layer 264 and the insulating layer 112.

여기까지가 단면 구성예에 대한 설명이다.Up to this point, an example of the sectional configuration is described.

또한, 본 실시형태에서는, 터치 센서를 지지하는 제 1 기판과, 표시 소자를 지지하는 제 2 기판의 2개의 기판을 갖는 구성으로 하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 표시 소자를 2개의 기판 사이에 개재하고, 이에 터치 센서를 지지하는 제 1 기판을 접합하여 3개의 기판을 갖는 구성으로 하여도 좋고, 표시 소자 및 터치 센서를 각각 2개의 기판 사이에 개재한 것을 접합하여 4개의 기판을 갖는 구성으로 하여도 좋다.In the present embodiment, the first substrate supporting the touch sensor and the second substrate supporting the display element are provided, but the present invention is not limited thereto. For example, the display device may be interposed between two substrates, and the first substrate supporting the touch sensor may be bonded to the three substrates, and the display device and the touch sensor may be respectively provided between the two substrates And the substrate may be bonded to form a structure having four substrates.

본 실시형태는, 적어도 그 일부를, 본 명세서 중에 기재되는 다른 실시형태와 적절히 조합하여 실시할 수 있다.At least a part of the present embodiment can be implemented by appropriately combining with other embodiments described in this specification.

(실시형태 2)(Embodiment 2)

본 실시형태에서는, 본 발명의 일 형태에 따른 터치 센서의 구성예와 그 구동 방법예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.In the present embodiment, a configuration example of a touch sensor and an example of a driving method thereof according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

[구성예][Configuration example]

도 9의 (A)는 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널(입출력 장치라고도 함)이 갖는 구성을 설명하는 블록도이다. 도 9의 (B)는 변환기(CONV)의 구성을 설명하는 회로도이다. 도 9의 (C)는 센서 소자(22)의 구성을 설명하는 회로도이다. 또한, 도 9의 (D-1) 및 (D-2)는 센서 소자(22)의 구동 방법을 설명하는 타이밍 차트이다.9A is a block diagram for explaining a configuration of a touch panel (also referred to as an input / output device) according to an embodiment of the present invention. FIG. 9B is a circuit diagram illustrating the configuration of the converter CONV. Fig. 9C is a circuit diagram for explaining the configuration of the sensor element 22. Fig. 9 (D-1) and (D-2) are timing charts for explaining a method of driving the sensor element 22. FIG.

본 실시형태에서 예시하는 터치 센서는 매트릭스 형태로 배치되는 복수의 센서 소자(22)와, 행 방향으로 배치되는 복수의 센서 소자(22)가 전기적으로 접속되는 신호선(DL)과, 센서 소자(22), 주사선(G1), 및 신호선(DL)이 제공되는 가요성을 갖는 제 1 기판(21)을 갖는다(도 9의 (A) 참조).The touch sensor illustrated in this embodiment includes a plurality of sensor elements 22 arranged in a matrix form, a signal line DL to which a plurality of sensor elements 22 arranged in the row direction are electrically connected, ), A scanning line G1, and a signal line DL (see Fig. 9 (A)).

예를 들어, 복수의 센서 소자(22)를 n행 m열(n 및 m은 각각 1 이상의 자연수)의 매트릭스 형태로 배치할 수 있다.For example, the plurality of sensor elements 22 can be arranged in a matrix of n rows and m columns (n and m are natural numbers of 1 or more, respectively).

또한, 센서 소자(22)는 검지 소자로서 기능하는 용량 소자(C)를 구비한다. 용량 소자(C)는 실시형태 1의 용량 소자(110)에 상당한다. 예를 들어, 용량 소자(C)의 제 1 전극이 실시형태 1의 제 1 도전층(111)에 상당하고, 제 2 전극이 제 2 도전층(113)에 상당한다.Further, the sensor element 22 is provided with a capacitance element C which functions as a detection element. The capacitor C corresponds to the capacitor 110 of the first embodiment. For example, the first electrode of the capacitive element C corresponds to the first conductive layer 111 of the first embodiment, and the second electrode corresponds to the second conductive layer 113.

용량 소자(C)의 제 2 전극은 배선(CS)에 전기적으로 접속된다. 이로써, 용량 소자(C)의 제 2 전극의 전위를 배선(CS)이 공급하는 제어 신호를 사용하여 제어할 수 있다.The second electrode of the capacitive element C is electrically connected to the wiring CS. Thus, the potential of the second electrode of the capacitive element C can be controlled using a control signal supplied by the wiring CS.

본 발명의 일 형태에 따른 센서 소자(22)는 적어도 트랜지스터(M1)를 갖는다. 또한, 트랜지스터(M2) 및/또는 트랜지스터(M3)를 갖는 구성으로 하여도 좋다(도 9의 (C) 참조).The sensor element 22 according to an aspect of the present invention has at least a transistor M1. Further, the structure may have the transistor M2 and / or the transistor M3 (see Fig. 9 (C)).

트랜지스터(M1)는 게이트가 용량 소자(C)의 제 1 전극에 전기적으로 접속되고, 제 1 전극이 배선(VPI)에 전기적으로 접속된다. 배선(VPI)은 예를 들어 접지 전위를 공급하는 기능을 갖는다.In the transistor M1, the gate is electrically connected to the first electrode of the capacitor C, and the first electrode is electrically connected to the wiring VPI. The wiring VPI has a function of supplying a ground potential, for example.

트랜지스터(M2)는 게이트가 주사선(G1)에 전기적으로 접속되고, 제 1 전극이 트랜지스터(M1)의 제 2 전극에 전기적으로 접속되고, 제 2 전극이 신호선(DL)에 전기적으로 접속된다. 주사선(G1)은 예를 들어 선택 신호를 공급하는 기능을 갖는다. 또한, 신호선(DL)은 예를 들어 검지 신호(DATA)를 공급하는 기능을 갖는다.The gate of the transistor M2 is electrically connected to the scanning line G1, the first electrode is electrically connected to the second electrode of the transistor M1, and the second electrode is electrically connected to the signal line DL. The scanning line G1 has a function of supplying, for example, a selection signal. Further, the signal line DL has a function of supplying a detection signal (DATA), for example.

트랜지스터(M3)는 게이트가 배선(RES)에 전기적으로 접속되고, 제 1 전극이 용량 소자(C)의 제 1 전극에 전기적으로 접속되고, 제 2 전극이 배선(VRES)에 전기적으로 접속된다. 배선(RES)은 예를 들어 리셋 신호를 공급하는 기능을 갖는다. 배선(VRES)은 예를 들어 트랜지스터(M1)를 온 상태로 할 수 있는 전위를 공급하는 기능을 갖는다.The gate of the transistor M3 is electrically connected to the wiring RES, the first electrode is electrically connected to the first electrode of the capacitive element C, and the second electrode is electrically connected to the wiring VRES. The wiring RES has a function of supplying a reset signal, for example. The wiring VRES has a function of supplying a potential capable of turning on the transistor M1, for example.

용량 소자(C)의 용량값은 예를 들어 제 1 전극 또는 제 2 전극에 물체가 근접하거나, 또는 제 1 전극과 제 2 전극의 간격이 변화됨으로써 변화된다. 이로써, 센서 소자(22)는 용량 소자(C)의 용량의 변화에 따른 검지 신호(DATA)를 공급할 수 있다.The capacitance value of the capacitance element C is changed, for example, by the proximity of the object to the first electrode or the second electrode, or by changing the distance between the first electrode and the second electrode. Thereby, the sensor element 22 can supply the detection signal DATA according to the change of the capacitance of the capacitance element C.

또한, 용량 소자(C)의 제 2 전극에 전기적으로 접속되는 배선(CS)은 용량 소자(C)의 제 2 전극의 전위를 제어하는 제어 신호를 공급하는 기능을 갖는다.The wiring CS electrically connected to the second electrode of the capacitive element C has a function of supplying a control signal for controlling the potential of the second electrode of the capacitive element C. [

또한, 용량 소자(C)의 제 1 전극, 트랜지스터(M1)의 게이트, 및 트랜지스터(M3)의 제 1 전극이 서로 전기적으로 접속되어 형성되는 노드를 노드(A)라고 한다.A node where the first electrode of the capacitor C, the gate of the transistor M1, and the first electrode of the transistor M3 are electrically connected to each other is referred to as a node A. [

도 10의 (A)에는 센서 소자(22)를 행 방향 및 열 방향으로 2개씩 배치한 경우의 회로도의 예를 도시하였다.Fig. 10 (A) shows an example of a circuit diagram in the case where two sensor elements 22 are arranged in the row direction and the column direction.

또한, 도 10의 (B)에는, 센서 소자(22)가 갖는 제 1 도전층(111)(제 1 전극에 상당함)과 각 배선의 위치 관계의 예를 도시하였다. 제 1 도전층(111)은 트랜지스터(M1)의 게이트와 트랜지스터(M3)의 제 2 전극이 각각 전기적으로 접속된다. 또한, 제 1 도전층(111)은, 도 10의 (C)에 도시된 복수의 화소(33)와 서로 중첩되도록 배치된다. 또한, 도 10의 (B)에 도시된 바와 같이 트랜지스터(M1)~(M3)를 제 1 도전층(111)과 중첩되지 않는 영역에 배치하는 것이 바람직하다.10B shows an example of the positional relationship between the first conductive layer 111 (corresponding to the first electrode) included in the sensor element 22 and each wire. In the first conductive layer 111, the gate of the transistor M1 and the second electrode of the transistor M3 are electrically connected to each other. The first conductive layer 111 is arranged so as to overlap with the plurality of pixels 33 shown in FIG. 10 (C). It is also preferable to dispose the transistors M1 to M3 in regions not overlapped with the first conductive layer 111 as shown in Fig. 10 (B).

또한, 도 11의 (A)~(C)에 도시된 바와 같이, 센서 소자(22)가 트랜지스터(M2)를 갖지 않는 구성으로 하여도 좋다. 이 때, 행 방향으로 복수로 배치되는 센서 소자(22)에서, 각 용량 소자(C)의 제 2 전극이, 배선(CS) 대신에 주사선(G1)에 전기적으로 접속되는 구성으로 하면 좋다.11 (A) to 11 (C), the sensor element 22 may not have the transistor M2. At this time, in the sensor element 22 arranged in plural in the row direction, the second electrode of each capacitive element C may be configured to be electrically connected to the scanning line G1 instead of the wiring CS.

도 9의 (B)에 도시된 배선(VPO) 및 배선(BR)은 예를 들어 트랜지스터를 온 상태로 할 수 있을 정도의 고전원 전위를 공급하는 기능을 갖는다. 또한, 신호선(DL)은 검지 신호(DATA)를 공급하는 기능을 갖는다. 단자(OUT)는 검지 신호(DATA)에 따라 변환된 신호를 공급하는 기능을 갖는다.The wiring VPO and the wiring BR shown in Fig. 9B have a function of supplying a high power source potential enough to turn on the transistor, for example. Further, the signal line DL has a function of supplying the detection signal (DATA). The terminal OUT has a function of supplying a signal converted in accordance with the detection signal (DATA).

변환기(CONV)는 변환 회로를 갖는다. 검지 신호(DATA)를 변환하여 단자(OUT)에 공급할 수 있는 다양한 회로를 변환기(CONV)에 사용할 수 있다. 예를 들어, 변환기(CONV)를 센서 소자(22)에 전기적으로 접속시킴으로써, 소스 폴로어 회로 또는 전류 미러 회로로서 기능하는 회로를 적용하여도 좋다.The converter CONV has a conversion circuit. Various circuits capable of converting the detection signal DATA and supplying it to the terminal OUT can be used for the converter CONV. For example, by electrically connecting the converter CONV to the sensor element 22, a circuit functioning as a source follower circuit or a current mirror circuit may be applied.

구체적으로는, 트랜지스터(M4)를 사용한 변환기(CONV)를 사용하여 소스 폴로어 회로를 구성할 수 있다(도 9의 (B) 참조). 또한, 트랜지스터(M1)~(M3)와 동일한 공정에서 제작할 수 있는 트랜지스터를 트랜지스터(M4)로서 사용하여도 좋다.Specifically, the source follower circuit can be constructed by using the converter CONV using the transistor M4 (see FIG. 9B). A transistor which can be fabricated in the same process as the transistors M1 to M3 may be used as the transistor M4.

예를 들어 실시형태 1에서 예시한 트랜지스터(251) 또는 트랜지스터(252) 등의 구성을 트랜지스터(M1)~(M4) 각각에 적용할 수 있다.For example, the configuration of the transistor 251 or the transistor 252 illustrated in Embodiment 1 can be applied to each of the transistors M1 to M4.

또한, 변환기(CONV)의 구성은 도 9의 (B)에 도시된 구성에 한정되지 않는다. 도 12에는 다른 구성을 갖는 변환기(CONV)의 예를 도시하였다.The configuration of the converter CONV is not limited to the configuration shown in Fig. 9B. Fig. 12 shows an example of a converter CONV having another configuration.

도 12의 (A)에 도시된 변환기(CONV)는 트랜지스터(M4)에 더하여 트랜지스터(M5)를 갖는다. 구체적으로, 트랜지스터(M5)는 게이트가 신호선(DL)에 전기적으로 접속되고, 제 1 전극이 단자(OUT)에 전기적으로 접속되고, 제 2 전극이 배선(GND)에 전기적으로 접속된다. 배선(GND)은 예를 들어 접지 전위를 공급하는 기능을 갖는다. 또한, 도 12의 (B)에 도시된 바와 같이, 트랜지스터(M4) 및 트랜지스터(M5) 각각이 제 2 게이트를 갖는 구성으로 하여도 좋다. 이 때, 제 2 게이트는 게이트에 전기적으로 접속되는 구성으로 하는 것이 바람직하다.The converter CONV shown in Fig. 12A has a transistor M5 in addition to the transistor M4. Specifically, the gate of the transistor M5 is electrically connected to the signal line DL, the first electrode is electrically connected to the terminal OUT, and the second electrode is electrically connected to the wiring GND. The wiring GND has a function of supplying a ground potential, for example. Further, as shown in Fig. 12B, each of the transistor M4 and the transistor M5 may have a second gate. In this case, it is preferable that the second gate is electrically connected to the gate.

또한, 도 12의 (C)에 도시된 변환기(CONV)는 트랜지스터(M4), 트랜지스터(M5), 및 저항(R)을 갖는다. 구체적으로는, 트랜지스터(M4)는 게이트가 배선(BR1)에 전기적으로 접속된다. 트랜지스터(M5)는 게이트가 배선(BR2)에 전기적으로 접속되고, 제 1 전극이 단자(OUT) 및 저항(R)의 제 2 전극에 전기적으로 접속되고, 제 2 전극이 배선(GND)에 전기적으로 접속된다. 저항(R)은 제 1 전극이 배선(VDD)에 전기적으로 접속된다. 배선(BR1) 및 배선(BR2) 각각은 예를 들어 트랜지스터를 온 상태로 할 수 있을 정도의 고전원 전위를 공급하는 기능을 갖는다. 배선(VDD)은 예를 들어 고전원 전위를 공급하는 기능을 갖는다.The converter CONV shown in Fig. 12 (C) has a transistor M4, a transistor M5, and a resistor R. Fig. Specifically, the gate of the transistor M4 is electrically connected to the wiring BR1. The transistor M5 has a gate electrically connected to the wiring BR2 and a first electrode electrically connected to the terminal OUT and a second electrode of the resistor R and a second electrode electrically connected to the wiring GND Respectively. The first electrode of the resistor R is electrically connected to the wiring VDD. Each of the wiring BR1 and the wiring BR2 has a function of supplying, for example, a high electric potential enough to turn on the transistor. The wiring VDD has a function of supplying, for example, a high electric potential.

도 13의 (A) 및 (B)는 제 1 기판(21) 위에서의 제 1 전극과, 신호선(DL)과, 변환기(CONV)의 위치 관계의 예를 도시한 개략도이다.13A and 13B are schematic diagrams showing examples of the positional relationship between the first electrode on the first substrate 21, the signal line DL and the converter CONV.

도 13의 (A)에 도시된 바와 같이, 변환기(CONV)를 각 신호선(DL)의 연장 방향에 배치하면, 각 변환기(CONV)에 전기적으로 접속되는 신호선(DL)의 길이를 대략 같게 할 수 있다. 예를 들어 신호선(DL)의 전기 저항이 검출 감도에 현저한 영향을 미치는 경우에는 이와 같은 배치 방법으로 하는 것이 바람직하다.As shown in Fig. 13A, when the converters CONV are arranged in the extending direction of the signal lines DL, the lengths of the signal lines DL electrically connected to the converters CONV can be made substantially equal have. For example, when the electrical resistance of the signal line DL has a significant influence on the detection sensitivity, such an arrangement method is preferable.

또한, 도 13의 (B)에서는, 각 신호선(DL)의 길이 및 형상을 다르게 함으로써, 복수의 변환기(CONV)가 근접하여 배치되어 있다. 변환기(CONV)가 갖는 트랜지스터의 전기 특성의 위치 의존성이 큰 경우에는, 이들을 근접하여 배치함으로써, 변환기(CONV)의 전기 특성의 편차를 저감하여 검출 감도를 향상시킬 수 있다.In Fig. 13B, a plurality of converters CONV are arranged close to each other by changing the length and shape of the signal lines DL. When the positional dependency of the electrical characteristics of the transistor included in the converter CONV is large, the deviation of the electrical characteristics of the converter CONV can be reduced and the detection sensitivity can be improved by disposing them close to each other.

[구동 방법예][Driving method example]

다음에, 도 9를 참조하여 센서 소자(22)의 구동 방법에 대하여 설명한다.Next, a method of driving the sensor element 22 will be described with reference to Fig.

[제 1 단계][Step 1]

제 1 단계에서는, 트랜지스터(M3)를 온 상태로 한 후에 오프 상태로 하는 리셋 신호를 트랜지스터(M3)의 게이트에 공급하여, 용량 소자(C)의 제 1 전극의 전위(즉 노드(A)의 전위)를 소정의 전위로 한다(도 9의 (D-1), 기간(T1) 참조).A reset signal for turning off the transistor M3 and then turning off the transistor M3 is supplied to the gate of the transistor M3 so that the potential of the first electrode of the capacitance element C (Refer to (D-1) and (T1) in FIG. 9).

구체적으로는 리셋 신호를 배선(RES)에 공급한다. 리셋 신호가 공급된 트랜지스터(M3)는 노드(A)의 전위를, 예를 들어 트랜지스터(M1)를 온 상태로 할 수 있는 전위로 한다.Specifically, a reset signal is supplied to the wiring RES. The transistor M3 to which the reset signal is supplied sets the potential of the node A to, for example, a potential capable of turning on the transistor M1.

[제 2 단계][Second Step]

제 2 단계에서, 트랜지스터(M2)를 온 상태로 하는 선택 신호를 트랜지스터(M2)의 게이트에 공급하여, 트랜지스터(M1)의 제 2 전극을 신호선(DL)에 전기적으로 접속시킨다(도 9의 (D-1), 기간(T2) 참조).In the second step, a selection signal for turning on the transistor M2 is supplied to the gate of the transistor M2 to electrically connect the second electrode of the transistor M1 to the signal line DL D-1), and the period T2).

구체적으로는, 주사선(G1)에 선택 신호를 공급한다. 선택 신호가 공급된 트랜지스터(M2)는 트랜지스터(M1)의 제 2 전극을 신호선(DL)에 전기적으로 접속시킨다.Specifically, a selection signal is supplied to the scanning line G1. The transistor M2 supplied with the selection signal electrically connects the second electrode of the transistor M1 to the signal line DL.

[제 3 단계][Third Step]

제 3 단계에서, 제어 신호를 용량 소자(C)의 제 2 전극에 공급하고, 제어 신호 및 용량 소자(C)의 용량에 따라 변화되는 전위를 트랜지스터(M1)의 게이트에 공급한다.In the third step, a control signal is supplied to the second electrode of the capacitive element C, and a potential which varies in accordance with the control signal and the capacitance of the capacitive element C is supplied to the gate of the transistor M1.

구체적으로는, 배선(CS)에 직사각형의 제어 신호를 공급한다. 직사각형의 제어 신호를 용량 소자(C)의 제 2 전극에 공급하면, 용량 소자(C)의 용량에 따라 노드(A)의 전위가 변화된다(도 9의 (D-1), 기간(T2)의 후반 참조).Specifically, a rectangular control signal is supplied to the wiring CS. When a rectangular control signal is supplied to the second electrode of the capacitor C, the potential of the node A changes according to the capacitance of the capacitor C ((D-1) in FIG. 9, See the latter half of.

예를 들어, 용량 소자(C)를 대기 중에 둘 때, 대기보다 유전율이 높은 것이 용량 소자(C)의 제 2 전극에 근접하여 배치된 경우에는 용량 소자(C)의 용량은 외견상 커진다.For example, when the capacitance element C is placed in the air and the dielectric constant higher than that of the atmosphere is arranged close to the second electrode of the capacitance element C, the capacitance of the capacitance element C apparently becomes larger.

이로써, 직사각형의 제어 신호에 따른 노드(A)의 전위 변화는, 대기보다 유전율이 높은 것이 근접하여 배치되지 않는 경우에 비하여 작게 된다(도 9의 (D-2), 실선 참조).Thus, the potential change of the node A in accordance with the rectangular control signal becomes smaller than that in the case where the dielectric constant is higher than that in the atmosphere, as compared with the case where the dielectric constant is not arranged close to the atmosphere (see (D-2), solid line in FIG. 9).

또는, 터치 패널의 변형에 따라 용량 소자(C)의 제 1 전극과 제 2 전극의 간격이 변화된 경우에도, 용량 소자(C)의 용량은 변화된다. 이로써, 노드(A)의 전위가 변화된다.Alternatively, the capacity of the capacitive element C changes even when the distance between the first electrode and the second electrode of the capacitive element C changes with the deformation of the touch panel. Thereby, the potential of the node A is changed.

[제 4 단계][Step 4]

제 4 단계에서, 트랜지스터(M1)의 게이트의 전위 변화에 따른 신호를 신호선(DL)에 공급한다.In the fourth step, a signal corresponding to the potential change of the gate of the transistor M1 is supplied to the signal line DL.

예를 들어, 트랜지스터(M1)의 게이트의 전위 변화에 따른 전류 변화를 신호선(DL)에 공급한다.For example, a current change due to the potential change of the gate of the transistor M1 is supplied to the signal line DL.

변환기(CONV)는 예를 들어 신호선(DL)을 흐르는 전류의 변화를 전압의 변화로 변환하여 공급한다.The converter CONV converts, for example, a change in the current flowing through the signal line DL into a change in voltage and supplies the change.

[제 5 단계][Step 5]

제 5 단계에서, 트랜지스터(M2)를 오프 상태로 하는 선택 신호를 트랜지스터(M2)의 게이트에 공급한다.In a fifth step, a selection signal for turning off the transistor M2 is supplied to the gate of the transistor M2.

상술한 단계를 거쳐, 하나의 주사선(G1)에 전기적으로 접속되는 복수의 센서 소자(22)의 동작이 완료된다.Through the above-described steps, the operation of the plurality of sensor elements 22 electrically connected to one scanning line G1 is completed.

n개의 주사선(G1)을 갖는 경우에는, 주산선(G1)(1)~주사선(G1)(n) 각각에 대하여, 제 1 단계부터 제 5 단계까지를 반복하면 좋다.In the case of having n scanning lines G1, the first to fifth steps may be repeated for each of the main lines G1 (1) to G1 (n).

또는, 각 센서 소자(22)가 배선(RES) 및 배선(CS)을 공통적으로 포함하는 경우에는, 도 14의 (A)에 도시된 바와 같은 구동 방법을 수행하여도 좋다. 즉, 먼저 배선(RES)에 리셋 신호를 공급한다. 다음에, 배선(CS)에 제어 신호를 공급한 채로 주사선(G1)(1)~주사선(G1)(n)에 선택 신호를 순차적으로 공급함으로써, 노드(A)의 전위 변화에 따른 신호를 신호선(DL)(1)~신호선(DL)(m)에 공급한다.Alternatively, when each sensor element 22 commonly includes the wiring RES and the wiring CS, the driving method as shown in Fig. 14A may be performed. That is, first, a reset signal is supplied to the wiring RES. Next, a selection signal is sequentially supplied to the scanning lines G1 (1) to G1 (n) while supplying a control signal to the wiring CS to sequentially supply a signal corresponding to the potential change of the node A to the signal line (DL) 1 to the signal line DL (m).

이와 같은 방법을 사용함으로써, 리셋 신호 공급 및 제어 신호 공급의 빈도를 적게 할 수 있다.By using such a method, it is possible to reduce the frequency of the supply of the reset signal and the supply of the control signal.

여기서, 노드(A)의 전위가 다양한 요인으로 인하여 시간 경과에 따라 변화되는 경우가 있다. 예를 들어 온도나 습도 등의 환경의 변화에 따라 노드(A)의 전위가 변화되는 경우가 있다.Here, the potential of the node A may change with time due to various factors. For example, the potential of the node A may change in accordance with a change in environment such as temperature or humidity.

그래서, 용량 소자(C)의 제 2 전극에 공급하는 직사각형의 제어 신호로서, 2종류의 전위를 사용하여 동작시키고, 2개의 검지 신호(DATA)의 차분을 취함으로써, 시간 경과에 따른 노드(A)의 전위 변화의 영향을 상쇄할 수 있다. 이와 같은 동작에 의하여 검출 감도를 높일 수 있게 된다.Thus, as a rectangular control signal to be supplied to the second electrode of the capacitive element C, two kinds of potentials are used to operate, and the difference between the two detection signals DATA is taken, Can be canceled out. The detection sensitivity can be increased by such an operation.

도 14의 (B)에서는, 기간(R1)과 기간(R2)을 교대로 반복하는 구동 방법예를 도시하였다.14B shows an example of a driving method in which the period R1 and the period R2 are alternately repeated.

도 14의 (B)에서의 기간(R1)에서는 신호선(RES)에 트랜지스터(M3)를 온 상태로 하는 전위가 공급되어 있는 동안에 배선(CS)에는 로우 레벨 전위가 공급되어 있다. 이어서 배선(CS)에 하이 레벨 전위를 공급한다. 즉, 기간(R1)에서는 용량 소자(C)의 제 2 전극의 전위가 로우 레벨 전위로부터 하이 레벨 전위로 추이된 상태에서, 노드(A)의 전위 변화에 따른 검지 신호(DATA)가 신호선(DL)에 공급된다. 그리고, 검지 신호(DATA)에 따라, 변환기(CONV)에 의하여 변환된 신호가 단자(OUT)에 공급된다.In the period R1 in FIG. 14 (B), a low level potential is supplied to the wiring CS while the potential for turning on the transistor M3 is supplied to the signal line RES. Subsequently, a high level potential is supplied to the wiring CS. That is, in the period R1, the detection signal DATA corresponding to the potential change of the node A is applied to the signal line DL (DL) in the state in which the potential of the second electrode of the capacitive element C is changed from the low level potential to the high level potential . Then, the signal converted by the converter CONV is supplied to the terminal OUT in accordance with the detection signal (DATA).

한편, 기간(R2)에서는 신호선(RES)에 트랜지스터(M3)를 온 상태로 하는 전위가 공급되어 있는 동안에 배선(CS)에는 하이 레벨 전위가 공급되어 있다. 이어서 배선(CS)에 로우 레벨 전위를 공급한다. 즉, 기간(R2)에서는 용량 소자(C)의 제 2 전극의 전위가 하이 레벨 전위로부터 로우 레벨 전위로 추이된 상태에서, 노드(A)의 전위 변화에 따른 검지 신호(DATA)가 신호선(DL)에 공급된다. 그리고, 검지 신호(DATA)에 따라, 변환기(CONV)에 의하여 변환된 신호가 단자(OUT)에 공급된다.On the other hand, in the period R2, while the potential for turning on the transistor M3 is supplied to the signal line RES, a high level potential is supplied to the line CS. Subsequently, a low level potential is supplied to the wiring CS. That is, in the period R2, the detection signal DATA according to the potential change of the node A changes from the high level potential to the low level potential on the signal line DL . Then, the signal converted by the converter CONV is supplied to the terminal OUT in accordance with the detection signal (DATA).

그 후, 기간(R1)에 단자(OUT)에 공급된 신호와, 기간(R2)에 단자(OUT)에 공급된 신호의 차분을 취함으로써, 시간 경과에 따른 노드(A)의 전위 변화의 영향을 상쇄한 신호를 얻을 수 있다.Thereafter, by taking the difference between the signal supplied to the terminal OUT in the period R1 and the signal supplied to the terminal OUT in the period R2, the influence of the potential change of the node A over time Can be obtained.

도 14의 (C)는 배선(CS)에 공급하는 신호가 도 14의 (B)와는 다른 경우의 예를 도시한 것이다.FIG. 14C shows an example in which the signal supplied to the wiring CS is different from that shown in FIG. 14B.

도 14의 (C)에서, 배선(CS)에 공급하는 제어 신호는 하이 레벨 전위, 미들 레벨 전위, 로우 레벨 전위의 3종류의 전위를 갖는다. 구체적으로는, 기간(R1)에서 신호선(RES)에 트랜지스터(M3)를 온 상태로 하는 전위가 공급되어 있는 동안에 배선(CS)에 로우 레벨 전위를 공급한다. 그 후, 배선(CS)에 미들 레벨 전위를 공급한 채로 주사선(G1)(1)~주사선(G1)(n)에 선택 신호를 순차적으로 공급한다. 한편, 기간(R2)에서, 신호선(RES)에 트랜지스터(M3)를 온 상태로 하는 전위가 공급되어 있는 동안에 배선(CS)에 하이 레벨 전위를 공급한다. 그 후, 배선(CS)에 미들 레벨 전위를 공급한 채로 주사선G1(1)~주사선(G1)(n)에 선택 신호를 순차적으로 공급한다.In (C) of Fig. 14, the control signal supplied to the wiring CS has three potentials of a high level potential, a middle level potential and a low level potential. More specifically, a low level potential is supplied to the wiring CS while the potential for turning on the transistor M3 is supplied to the signal line RES in the period R1. Thereafter, the selection signals are sequentially supplied to the scanning lines G1 (1) to G1 (n) while supplying the middle level potential to the wiring CS. On the other hand, in the period R2, a high level potential is supplied to the wiring CS while a potential for turning on the transistor M3 is supplied to the signal line RES. Thereafter, the selection signal is sequentially supplied to the scanning lines G1 (1) to G1 (n) while supplying the middle level potential to the wiring CS.

그 후, 상기와 마찬가지로, 기간(R1)에 단자(OUT)에 공급된 신호와, 기간(R2)에 단자(OUT)에 공급된 신호의 차분을 취함으로써, 시간 경과에 따른 노드(A)의 전위 변화의 영향을 상쇄한 신호를 얻을 수 있다.Thereafter, similarly to the above, by taking the difference between the signal supplied to the terminal OUT in the period R1 and the signal supplied to the terminal OUT in the period R2, A signal canceling the influence of the potential change can be obtained.

여기까지가 구동 방법에 대한 설명이다.Here is a description of the driving method.

본 실시형태는 적어도 그 일부를, 본 명세서 중에 기재되는 다른 실시형태와 적절히 조합하여 실시할 수 있다.At least a part of the present embodiment can be carried out by appropriately combining with another embodiment described in this specification.

(실시형태 3)(Embodiment 3)

본 실시형태에서는 본 발명의 일 형태를 적용하여 제작할 수 있는 전자 기기 및 조명 장치에 대하여 도 15 및 도 16을 사용하여 설명한다.In this embodiment, an electronic apparatus and a lighting apparatus which can be manufactured by applying an embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 15 and 16. Fig.

본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널은 가요성을 갖는다. 따라서, 가요성을 갖는 전자 기기나 조명 장치에 적합하게 사용할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 형태를 적용함으로써, 신뢰성이 높고, 반복적인 휨에 강한 전자 기기나 조명 장치를 제작할 수 있다.The touch panel according to an aspect of the present invention has flexibility. Therefore, it can be suitably used for flexible electronic apparatuses and lighting apparatuses. Further, by applying an embodiment of the present invention, it is possible to manufacture an electronic device or a lighting device which is highly reliable and is resistant to repetitive warping.

전자 기기로서는 예를 들어, 텔레비전 장치(텔레비전 또는 텔레비전 수신기라고도 함), 컴퓨터용 등의 모니터, 디지털 카메라, 디지털 비디오 카메라, 디지털 포토 프레임, 휴대 전화기(휴대 전화, 휴대 전화 장치라고도 함), 휴대형 게임기, 휴대 정보 단말, 음향 재생 장치, 파칭코기 등의 대형 게임기 등을 들 수 있다.Examples of the electronic device include a television (such as a television or a television receiver), a monitor such as a computer, a digital camera, a digital video camera, a digital photo frame, a mobile phone (also referred to as a mobile phone or a mobile phone device) , A portable information terminal, a sound reproducing apparatus, a pachinko machine, and the like.

또한, 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널은 가요성을 갖기 때문에, 집이나 빌딩의 내벽 또는 외벽, 또는 자동차의 내장 또는 외장의 곡면을 따라 제공할 수도 있다.Further, since the touch panel according to an embodiment of the present invention has flexibility, the touch panel may be provided along an inner wall or an outer wall of a house or a building, or a curved surface of an interior or exterior of an automobile.

또한, 본 발명의 일 형태에 따른 전자 기기는 터치 패널 및 이차 전지를 가져도 좋다. 이 경우, 비접촉 전력 전송을 사용하여 이차 전지를 충전할 수 있으면 바람직하다.Further, an electronic device according to an aspect of the present invention may have a touch panel and a secondary battery. In this case, it is preferable that the secondary battery can be charged using the non-contact power transmission.

이차 전지로서 예를 들어 겔상 전해질을 사용하는 리튬 폴리머 전지(리튬 이온 폴리머 전지) 등의 리튬 이온 이차 전지, 리튬 이온 전지, 니켈 수소 전지, 니켈 카드뮴 전지, 유기 라디칼 전지, 납 축전지, 공기 이차 전지, 니켈 아연 전지, 은 아연 전지 등을 들 수 있다.Examples of the secondary battery include a lithium ion secondary battery such as a lithium polymer battery using a gel electrolyte, a lithium ion secondary battery, a nickel hydride battery, a nickel cadmium battery, an organic radical battery, a lead storage battery, Nickel-zinc batteries, and silver-zinc batteries.

본 발명의 일 형태에 따른 전자 기기는 터치 패널 및 안테나를 가져도 좋다. 안테나로 신호를 수신함으로써, 표시부에서 영상이나 정보 등을 표시할 수 있다. 또한, 전자 기기가 이차 전지를 갖는 경우에는 안테나를 비접촉 전력 전송에 사용하여도 좋다.An electronic apparatus according to an aspect of the present invention may have a touch panel and an antenna. By receiving a signal through the antenna, the display unit can display the image, information, and the like. Further, when the electronic apparatus has a secondary battery, the antenna may be used for non-contact power transmission.

도 15의 (A)는 휴대 전화기의 일례를 도시한 것이다. 휴대 전화기(7400)는 하우징(7401)에 제공된 표시부(7402) 외에, 조작 버튼(7403), 외부 접속 포트(7404), 스피커(7405), 마이크로폰(7406) 등을 구비한다. 또한, 휴대 전화기(7400)는 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 표시부(7402)에 사용하여 제작된다. 본 발명의 일 형태에 의하여, 휘어진 표시부를 구비하며 신뢰성이 높은 휴대 전화기를 수율 좋게 제공할 수 있다.Fig. 15 (A) shows an example of a cellular phone. The portable telephone 7400 includes an operation button 7403, an external connection port 7404, a speaker 7405, a microphone 7406, and the like in addition to the display portion 7402 provided in the housing 7401. The portable telephone 7400 is manufactured by using the touch panel according to an embodiment of the present invention in the display portion 7402. [ According to an aspect of the present invention, it is possible to provide a highly reliable portable telephone provided with a warped display portion at a high yield.

도 15의 (A)에 도시된 휴대 전화기(7400)는 표시부(7402)를 손가락 등으로 터치함으로써, 정보를 입력할 수 있다. 또한, 전화를 걸거나 문자를 입력하는 등의 모든 조작은 표시부(7402)를 손가락 등으로 터치함으로써 수행할 수 있다.The portable telephone 7400 shown in Fig. 15A can input information by touching the display unit 7402 with a finger or the like. In addition, all operations such as dialing or inputting characters can be performed by touching the display portion 7402 with a finger or the like.

또한, 조작 버튼(7403)의 조작에 의하여 전원의 ON/OFF 동작이나, 표시부(7402)에 표시되는 화상 종류를 전환할 수 있다. 예를 들어 메일 작성 화면으로부터 메인 메뉴 화면으로 전환할 수 있다.The ON / OFF operation of the power source and the type of the image displayed on the display unit 7402 can be switched by the operation of the operation button 7403. [ For example, it is possible to switch from the mail creation screen to the main menu screen.

도 15의 (B)는 손목시계형 휴대 정보 단말의 일례를 도시한 것이다. 휴대 정보 단말(7100)은 하우징(7101), 표시부(7102), 밴드(7103), 버클(7104), 조작 버튼(7105), 입출력 단자(7106) 등을 구비한다.15 (B) shows an example of a wristwatch-type portable information terminal. The portable information terminal 7100 includes a housing 7101, a display portion 7102, a band 7103, a buckle 7104, an operation button 7105, an input / output terminal 7106, and the like.

휴대 정보 단말(7100)은 이동 전화, 전자 메일, 문장 열람 및 작성, 음악 재생, 인터넷 통신, 컴퓨터 게임 등의 다양한 애플리케이션을 실행할 수 있다.The portable information terminal 7100 can execute various applications such as a mobile phone, an e-mail, a sentence reading and writing, a music reproduction, an internet communication, a computer game and the like.

표시부(7102)는 그 표시면이 휘어져 제공되고, 휘어진 표시면을 따라 표시를 수행할 수 있다. 또한, 표시부(7102)는 터치 센서를 구비하고, 화면을 손가락이나 스타일러스 등으로 터치함으로써 조작할 수 있다. 예를 들어, 표시부(7102)에 표시된 아이콘(7107)을 터치함으로써 애플리케이션을 기동할 수 있다.The display portion 7102 is provided with its display surface curved, and can perform display along the curved display surface. The display unit 7102 includes a touch sensor, and can be operated by touching the screen with a finger, a stylus, or the like. For example, by touching the icon 7107 displayed on the display unit 7102, the application can be started.

조작 버튼(7105)은 시각 설정 외에, 전원의 ON/OFF 동작, 무선 통신의 ON/OFF 동작, 매너 모드의 실행 및 해제, 전력 절약 모드의 실행 및 해제 등, 다양한 기능을 갖게 할 수 있다. 예를 들어, 휴대 정보 단말(7100)에 제공된 운영 체계에 의하여, 조작 버튼(7105)의 기능을 자유롭게 설정할 수도 있다.In addition to the time setting, the operation button 7105 can have various functions such as power ON / OFF operation, wireless communication ON / OFF operation, execution and release of the silent mode, execution and release of the power saving mode, and the like. For example, the function of the operation button 7105 can be freely set by the operating system provided in the portable information terminal 7100. [

또한, 휴대 정보 단말(7100)은, 통신 규격된 근거리 무선 통신을 실행할 수 있다. 예를 들어, 무선 통신 가능한 헤드세트와 상호 통신함으로써 핸즈프리로 통화할 수도 있다.Further, the portable information terminal 7100 can execute the short-range wireless communication according to the communication standard. For example, it is possible to talk hands-free by communicating with a headset capable of wireless communication.

또한, 휴대 정보 단말(7100)은 입출력 단자(7106)를 구비하며, 커넥터를 통하여 다른 정보 단말과 데이터를 직접 주고받을 수 있다. 또한 입출력 단자(7106)를 통하여 충전할 수도 있다. 또한, 충전 동작은 입출력 단자(7106)를 통하지 않고 무선 급전에 의하여 수행하여도 좋다.In addition, the portable information terminal 7100 includes an input / output terminal 7106, and can exchange data directly with other information terminals through the connector. It is also possible to charge through the input / output terminal 7106. Also, the charging operation may be performed by wireless power supply without passing through the input / output terminal 7106. [

휴대 정보 단말(7100)의 표시부(7102)에는 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널이 제공되어 있다. 본 발명의 일 형태에 의하여, 휘어진 표시부를 구비하며 신뢰성이 높은 휴대 정보 단말을 수율 좋게 제공할 수 있다.A display panel 7102 of the portable information terminal 7100 is provided with a touch panel according to an embodiment of the present invention. According to an aspect of the present invention, a highly reliable portable information terminal having a warped display portion can be provided at a high yield.

도 15의 (C)~(E)는 조명 장치의 일례를 도시한 것이다. 조명 장치(7200), 조명 장치(7210), 및 조명 장치(7220)는 각각 조작 스위치(7203)를 구비한 받침대부(7201)와, 받침대부(7201)에 지지되는 발광부를 구비한다.Figs. 15C to 15E show an example of the illumination device. The lighting device 7200, the lighting device 7210 and the lighting device 7220 each have a pedestal portion 7201 provided with an operation switch 7203 and a light emitting portion supported by the pedestal portion 7201.

도 15의 (C)에 도시된 조명 장치(7200)는 파형 발광면을 갖는 발광부(7202)를 구비한다. 이로써 디자인성이 높은 조명 장치가 된다.The lighting apparatus 7200 shown in Fig. 15C has a light emitting portion 7202 having a wavy light emitting surface. This results in a lighting device with high design capability.

도 15의 (D)에 도시된 조명 장치(7210)가 구비하는 발광부(7212)는 볼록하게 휘어진 2개의 발광부가 대칭적으로 배치된 구성을 갖는다. 따라서 조명 장치(7210)를 중심으로 하여 전(全) 방향을 비출 수 있다.The light emitting portion 7212 included in the illumination device 7210 shown in FIG. 15D has a configuration in which two light emitting portions that are convexly curved are symmetrically arranged. Accordingly, all directions can be illuminated with the illumination device 7210 as the center.

도 15의 (E)에 도시된 조명 장치(7220)는 오목하게 휘어진 발광부(7222)를 구비한다. 따라서, 발광부(7222)로부터의 발광을 조명 장치(7220)의 앞쪽 면에 집광하기 때문에 특정한 범위를 밝게 비추기에 적합하다.The illuminating device 7220 shown in (E) of FIG. 15 has a concave curved light emitting portion 7222. Therefore, since the light emitted from the light emitting portion 7222 is condensed on the front surface of the illuminating device 7220, it is suitable for brightening a specific range.

또한, 조명 장치(7200), 조명 장치(7210), 및 조명 장치(7220)가 구비하는 각 발광부는 가요성을 갖기 때문에 발광부를 가소성 부재나 움직일 수 있는 프레임 등의 부재로 고정하고 용도에 따라 발광부의 발광면을 자유롭게 휠 수 있는 구성으로 하여도 좋다.Since each light emitting portion of the lighting device 7200, the lighting device 7210, and the lighting device 7220 has flexibility, the light emitting portion is fixed by a member such as a plastic member or a movable frame, The light-emitting surface of the negative portion may be freely rotated.

또한, 여기서는 받침대부에 의하여 발광부가 지지된 조명 장치에 대하여 예시하였지만 발광부를 구비하는 하우징을 천장에 고정하거나, 또는 천장으로부터 매단 상태로 사용할 수도 있다. 발광면을 휘어서 사용할 수 있으므로 발광면을 오목하게 휘어서 특정한 영역을 밝게 비추거나, 또는 발광면을 볼록하게 휘어서 방안 전체를 밝게 비출 수도 있다.Here, the illumination device in which the light emitting portion is supported by the pedestal portion is exemplified, but the housing having the light emitting portion may be fixed to the ceiling or used in a state of being suspended from the ceiling. Since the light emitting surface can be bent and used, the light emitting surface can be concavely curved to bright a specific area, or the light emitting surface can be curved convexly to brightly illuminate the whole room.

여기서, 각 발광부에는 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널이 제공되어 있다. 본 발명의 일 형태에 의하여, 휘어진 발광부를 구비하며 신뢰성이 높은 조명 장치를 수율 좋게 제공할 수 있다.Here, each of the light emitting portions is provided with a touch panel according to an embodiment of the present invention. According to an aspect of the present invention, it is possible to provide a highly reliable lighting device having a bent light emitting portion at a high yield.

도 15의 (F)는 휴대형 터치 패널의 일례를 도시한 것이다. 터치 패널(7300)은 하우징(7301), 표시부(7302), 조작 버튼(7303), 인출 부재(7304), 제어부(7305)를 구비한다.15 (F) shows an example of a portable touch panel. The touch panel 7300 includes a housing 7301, a display portion 7302, an operation button 7303, a lead member 7304, and a control portion 7305.

터치 패널(7300)은 기둥 형상의 하우징(7301) 내에 롤상으로 말린 플렉시블한 표시부(7302)를 구비한다.The touch panel 7300 has a column-shaped housing 7301 and a flexible display portion 7302 that is rolled up in a roll shape.

또한, 터치 패널(7300)은 제어부(7305)에 의하여 영상 신호를 수신할 수 있고, 수신한 영상을 표시부(7302)에 표시할 수 있다. 또한, 제어부(7305)에는 배터리를 구비한다. 또한, 제어부(7305)에 커넥터를 접속하는 단자부가 구비되며 영상 신호나 전력을 유선으로 외부로부터 직접 공급하는 구성으로 하여도 좋다.In addition, the touch panel 7300 can receive a video signal by the control unit 7305, and display the received video on the display unit 7302. [ The control unit 7305 includes a battery. Further, the control unit 7305 may be provided with a terminal portion for connecting a connector, and a configuration in which a video signal or electric power is supplied directly from the outside by wire.

또한, 조작 버튼(7303)에 의하여 전원의 ON/OFF 동작이나 표시하는 영상의 전환 등을 수행할 수 있다.Further, the operation button 7303 can perform ON / OFF operation of the power supply, switching of the image to be displayed, and the like.

도 15의 (G)는 표시부(7302)를 인출 부재(7304)에 의하여 꺼낸 상태의 터치 패널(7300)을 도시한 것이다. 이 상태에서 표시부(7302)에 영상을 표시할 수 있다. 또한, 하우징(7301)의 표면에 배치된 조작 버튼(7303)에 의하여 한쪽 손으로 용이하게 조작할 수 있다. 또한, 도 15의 (F)와 같이 조작 버튼(7303)을 하우징(7301) 중앙이 아니라 하우징의 한쪽에 배치함으로써 한 손으로 용이하게 조작할 수 있다.Fig. 15G shows the touch panel 7300 in a state in which the display portion 7302 is taken out by the drawing member 7304. In this state, an image can be displayed on the display unit 7302. [ Further, the operation button 7303 disposed on the surface of the housing 7301 allows easy operation with one hand. 15 (F), the operation button 7303 can be easily operated by one hand by disposing the operation button 7303 on one side of the housing instead of the center of the housing 7301.

또한, 표시부(7302)를 꺼냈을 때에 표시부(7302)의 표시면이 평면상이 되도록 고정되기 위하여, 표시부(7302) 측면부에 보강하기 위한 프레임을 제공하여도 좋다.Further, a frame for reinforcing the side surface of the display portion 7302 may be provided so that the display surface of the display portion 7302 is fixed so as to be flat when the display portion 7302 is taken out.

또한, 이 구성 외에도, 하우징에 스피커를 제공하고 영상 신호와 함께 수신한 음성 신호에 의하여 음성을 출력하는 구성으로 하여도 좋다.In addition to this configuration, a configuration may also be employed in which a speaker is provided in the housing and a voice is output by the voice signal received together with the video signal.

표시부(7302)에는 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널이 제공되어 있다. 본 발명의 일 형태에 의하여, 가볍고 신뢰성이 높은 터치 패널을 수율 좋게 제공할 수 있다.The display unit 7302 is provided with a touch panel according to an embodiment of the present invention. According to one aspect of the present invention, a light and highly reliable touch panel can be provided at a high yield.

도 16의 (A)∼(C)는 폴더형 휴대 정보 단말(310)을 도시한 것이다. 도 16의 (A)는 펼친 상태의 휴대 정보 단말(310)을 도시한 것이다. 도 16의 (B)는 펼친 상태 또는 접은 상태 중 한쪽으로부터 다른 쪽으로 변화하는 도중 상태의 휴대 정보 단말(310)을 도시한 것이다. 도 16의 (C)는 접은 상태의 휴대 정보 단말(310)을 도시한 것이다. 휴대 정보 단말(310)은 접은 상태에서는 가반성이 우수하고, 펼친 상태에서는 이음매가 없는 큰 표시 영역에 의하여 표시의 일람성이 우수하다.Figs. 16A to 16C show the folding portable information terminal 310. Fig. 16 (A) shows the portable information terminal 310 in an unfolded state. FIG. 16B shows the portable information terminal 310 in the middle state in which the state changes from one of the opened state or the folded state to the other state. Fig. 16C shows the folded portable information terminal 310. Fig. The portable information terminal 310 has excellent visibility in the folded state, and excellent display visibility due to a large display area having no joints in the unfolded state.

표시 패널(316)은 힌지(313)에 의하여 연결된 3개의 하우징(315)에 지지되어 있다. 힌지(313)를 이용하여 2개의 하우징(315) 사이에서 휨으로써 휴대 정보 단말(310)을 펼친 상태로부터 접은 상태로 가역적으로 변형시킬 수 있다. 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 표시 패널(316)에 사용할 수 있다. 예를 들어, 곡률 반경 1mm 이상 150mm 이하로 휠 수 있는 터치 패널을 적용할 수 있다.The display panel 316 is supported by three housings 315 connected by a hinge 313. The portable information terminal 310 can be reversibly deformed from the expanded state to the folded state by bending the two housings 315 using the hinge 313. [ The touch panel according to an embodiment of the present invention can be used for the display panel 316. [ For example, a touch panel having a radius of curvature of 1 mm or more and 150 mm or less can be applied.

또한, 본 발명의 일 형태에서, 터치 패널이 접힌 상태 또는 펼쳐진 상태인 것을 검지하여 검지 정보를 공급하는 센서를 구비하는 구성으로 하여도 좋다. 터치 패널의 제어 장치는 터치 패널이 접힌 상태인 것을 나타내는 정보를 취득하고, 접힌 부분(또는 접혀 사용자가 시인하지 못하게 된 부분)의 동작을 정지하여도 좋다. 구체적으로는 표시를 정지하여도 좋다. 또한, 터치 센서에 의한 검지를 정지하여도 좋다.In an embodiment of the present invention, a configuration may be employed in which a sensor for detecting that the touch panel is in the folded state or the unfolded state and supplying the detection information is provided. The control device of the touch panel may acquire information indicating that the touch panel is in a folded state and stop the operation of the folded portion (or the folded portion that the user can not see). More specifically, the display may be stopped. Further, the detection by the touch sensor may be stopped.

마찬가지로, 터치 패널의 제어 장치는 터치 패널이 펼쳐진 상태인 것을 나타내는 정보를 취득하고, 표시나 터치 센서에 의한 검지를 재개하여도 좋다.Similarly, the control device of the touch panel may acquire information indicating that the touch panel is in the unfolded state, and may resume the display or detection by the touch sensor.

도 16의 (D) 및 (E)는 폴더형 휴대 정보 단말(320)을 도시한 것이다. 도 16의 (D)는 표시부(322)가 외측이 되도록 접은 상태의 휴대 정보 단말(320)을 도시한 것이다. 도 16의 (E)는 표시부(322)가 내측이 되도록 접은 상태의 휴대 정보 단말(320)을 도시한 것이다. 휴대 정보 단말(320)을 사용하지 않을 때 비표시부(325)가 외측이 되도록 접으면 표시부(322)가 더러워지거나 금이 가는 것을 억제할 수 있다. 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 표시부(322)에 사용할 수 있다.Figs. 16D and 16E show the folding portable information terminal 320. Fig. 16D shows the portable information terminal 320 in a folded state such that the display portion 322 is outside. 16 (E) shows the portable information terminal 320 in a folded state such that the display portion 322 is inward. When the portable information terminal 320 is not used, the display portion 322 can be prevented from being dirty or cracked when the non-display portion 325 is folded outward. The touch panel according to an embodiment of the present invention can be used for the display portion 322. [

도 16의 (F)는 휴대 정보 단말(330)의 외형을 설명하기 위한 사시도이다. 도 16의 (G)는 휴대 정보 단말(330)의 상면도이다. 도 16의 (H)는 휴대 정보 단말(340)의 외형을 설명하기 위한 사시도이다.FIG. 16F is a perspective view for explaining the external shape of the portable information terminal 330. FIG. Fig. 16G is a top view of the portable information terminal 330. Fig. 16 (H) is a perspective view for explaining the outline of the portable information terminal 340.

휴대 정보 단말(330, 340)은 예를 들어 전화기, 수첩, 또는 정보 열람 장치 등 중에서 선택된 하나 또는 복수로서 기능한다. 구체적으로는 각각을 스마트폰으로서 사용할 수 있다.The portable information terminals 330 and 340 function as one or a plurality of, for example, a telephone, a notebook, or an information browsing device. Specifically, each can be used as a smartphone.

휴대 정보 단말(330, 340)은 문자나 화상 정보를 그 복수의 면에 표시할 수 있다. 예를 들어, 3개의 조작 버튼(339)을 한 면에 표시할 수 있다(도 16의 (F) 및 (H) 참조). 또한, 정보(337)(도면 중 파선으로 그린 직사각형들)를 다른 면에 표시할 수 있다(도 16의 (G) 및 (H) 참조). 또한, 정보(337)의 예로서는, SNS(Social Networking Service)의 통지, 전자 메일이나 전화 등의 착신을 알리는 표시, 전자 메일 등의 제목, 전자 메일 등의 송신자명, 일시, 시각, 배터리의 잔량, 안테나의 수신 강도 등이 있다. 또는, 정보(337)가 표시되어 있는 위치에 정보(337) 대신에 조작 버튼(339), 아이콘 등을 표시하여도 좋다. 또한, 도 16의 (F) 및 (G)에서는, 상측에 정보(337)가 표시되는 예를 나타내었지만, 본 발명의 일 형태는 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 16의 (H)에 도시된 휴대 정보 단말(340)과 같이 옆면에 표시되어도 좋다.The portable information terminals 330 and 340 can display characters and image information on the plurality of faces. For example, three operation buttons 339 can be displayed on one side (see (F) and (H) in FIG. 16). Further, the information 337 (the rectangles drawn by the broken line in the figure) can be displayed on the other side (see (G) and (H) in FIG. 16). Examples of the information 337 include a notification of an SNS (Social Networking Service), an indication of an incoming call such as an e-mail or a telephone call, a title of an electronic mail or the like, a sender name, date and time, And the reception strength of the antenna. Alternatively, an operation button 339, an icon, or the like may be displayed instead of the information 337 at a position where the information 337 is displayed. 16 (F) and (G) show an example in which the information 337 is displayed on the upper side, but one form of the present invention is not limited to this. For example, it may be displayed on the side surface like the portable information terminal 340 shown in (H) of FIG.

예를 들어, 휴대 정보 단말(330)의 사용자는 옷의 가슴 주머니에 휴대 정보 단말(330)을 넣은 채 그 표시(여기서는 정보(337))를 확인할 수 있다.For example, the user of the portable information terminal 330 can check the display (here, information 337) while inserting the portable information terminal 330 into the breast pocket of the clothes.

구체적으로는 착신한 전화의 발신자 전화번호 또는 이름 등을 휴대 정보 단말(330) 상방으로부터 확인할 수 있는 위치에 표시한다. 사용자는 휴대 정보 단말(330)을 주머니에서 꺼내지 않아도 표시를 확인하여 전화를 받을지 말지를 판단할 수 있다.Specifically, the phone number or the name of the caller of the incoming call is displayed at a position that can be confirmed from above the portable information terminal 330. The user can check the display even if the portable information terminal 330 is not taken out of the pocket and judge whether or not to receive the telephone call.

휴대 정보 단말(330)의 하우징(335), 휴대 정보 단말(340)의 하우징(336)이 각각 갖는 표시부(333)에는 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 사용할 수 있다. 본 발명의 일 형태에 의하여, 휘어진 표시부를 구비하며 신뢰성이 높은 터치 패널을 수율 좋게 제공할 수 있다.A touch panel according to an embodiment of the present invention can be used for the display portion 333 of each of the housing 335 of the portable information terminal 330 and the housing 336 of the portable information terminal 340. [ According to an aspect of the present invention, a highly reliable touch panel having a warped display portion can be provided with a good yield.

또한, 도 16의 (I)에 도시된 휴대 정보 단말(345)과 같이, 3면 이상에 정보를 표시하여도 좋다. 여기서는 정보(355), 정보(356), 정보(357)가 각각 다른 면에 표시되는 경우의 예를 도시하였다.Further, the information may be displayed on three or more sides as in the portable information terminal 345 shown in (I) of Fig. In this example, the information 355, the information 356, and the information 357 are displayed on different faces, respectively.

휴대 정보 단말(345)의 하우징(354)이 갖는 표시부(358)에는 본 발명의 일 형태에 따른 터치 패널을 사용할 수 있다. 본 발명의 일 형태에 의하여, 휘어진 표시부를 구비하며 신뢰성이 높은 터치 패널을 수율 좋게 제공할 수 있다.A touch panel according to an embodiment of the present invention can be used for the display section 358 of the housing 354 of the portable information terminal 345. [ According to an aspect of the present invention, a highly reliable touch panel having a warped display portion can be provided with a good yield.

10: 터치 패널 모듈
20: 터치 센서 모듈
21: 기판
22: 센서 소자
23: 회로
24: 회로
25: 배선
26: 배선
30: 표시 패널
31: 기판
32: 표시부
33: 화소
34: 회로
41: FPC
42: FPC
43: 단자
110: 용량 소자
111: 도전층
111a: 도전층
112: 절연층
113: 도전층
114: 착색층
114b: 착색층
114g: 착색층
114r: 착색층
115: 차광층
117: 도전층
118: 개구
119: 광학 조정층
120: 트랜지스터
121: 반도체층
201: 트랜지스터
202: 트랜지스터
203: 트랜지스터
204: 발광 소자
205: 콘택트부
210: 접속층
211: 접착층
212: 절연층
213: 절연층
214: 절연층
215: 절연층
216: 절연층
217: 절연층
218: 절연층
219: 스페이서
220: 접착층
221: 전극
222: EL층
223: 전극
224: 광학 조정층
225: 도전층
251: 트랜지스터
252: 트랜지스터
253: 콘택트부
260: 접속층
261: 접착층
262: 절연층
263: 절연층
264: 절연층
265: 절연층
266: 절연층
267: 오버코트
271: 콘택트부
272: 콘택트부
273: 배선
274: 배선
310: 휴대 정보 단말
313: 힌지
315: 하우징
316: 표시 패널
320: 휴대 정보 단말
322: 표시부
325: 비표시부
330: 휴대 정보 단말
333: 표시부
335: 하우징
336: 하우징
337: 정보
339: 조작 버튼
340: 휴대 정보 단말
345: 휴대 정보 단말
354: 하우징
355: 정보
356: 정보
357: 정보
358: 표시부
7100: 휴대 정보 단말
7101: 하우징
7102: 표시부
7103: 밴드
7104: 버클
7105: 조작 버튼
7106: 입출력 단자
7107: 아이콘
7200: 조명 장치
7201: 받침대부
7202: 발광부
7203: 조작 스위치
7210: 조명 장치
7212: 발광부
7220: 조명 장치
7222: 발광부
7300: 터치 패널
7301: 하우징
7302: 표시부
7303: 조작 버튼
7304: 부재
7305: 제어부
7400: 휴대 전화기
7401: 하우징
7402: 표시부
7403: 조작 버튼
7404: 외부 접속 포트
7405: 스피커
7406: 마이크로폰
10: Touch panel module
20: Touch sensor module
21: substrate
22: Sensor element
23: Circuit
24: Circuit
25: Wiring
26: Wiring
30: Display panel
31: substrate
32:
33: pixel
34: Circuit
41: FPC
42: FPC
43: terminal
110: Capacitive element
111: conductive layer
111a: conductive layer
112: insulating layer
113: conductive layer
114: colored layer
114b: colored layer
114 g: colored layer
114r: colored layer
115: Shading layer
117: conductive layer
118: opening
119: Optical adjustment layer
120: transistor
121: semiconductor layer
201: transistor
202: transistor
203: transistor
204: Light emitting element
205:
210: connecting layer
211: Adhesive layer
212: insulation layer
213: Insulation layer
214: insulating layer
215: insulating layer
216: insulating layer
217: Insulating layer
218: Insulation layer
219: Spacer
220: adhesive layer
221: Electrode
222: EL layer
223: Electrode
224: Optical adjustment layer
225: conductive layer
251: transistor
252: transistor
253:
260: connecting layer
261: Adhesive layer
262: Insulating layer
263: Insulating layer
264: Insulating layer
265: Insulation layer
266: Insulating layer
267: Overcoat
271:
272:
273: Wiring
274: Wiring
310: portable information terminal
313: Hinge
315: Housing
316: Display panel
320: portable information terminal
322:
325: Non-
330: Portable information terminal
333:
335: Housing
336: Housing
337: Information
339: Operation button
340: Portable information terminal
345: Portable information terminal
354: housing
355: Information
356: Information
357: Information
358:
7100: portable information terminal
7101: Housing
7102:
7103: Band
7104: Buckle
7105: Operation button
7106: I / O terminal
7107: Icon
7200: Lighting system
7201:
7202:
7203: Operation switch
7210: Lighting system
7212:
7220: Lighting system
7222:
7300: Touch panel
7301: Housing
7302:
7303: Operation button
7304: Absence
7305:
7400: Mobile phone
7401: Housing
7402:
7403: Operation button
7404: External connection port
7405: Speaker
7406: microphone

Claims (18)

터치 센서에 있어서,
제 1 기판과;
제 1 도전층과;
제 2 도전층과;
절연층을 포함하고,
상기 제 1 도전층은 상기 제 1 기판과 상기 제 2 도전층 사이에 위치하는 영역을 포함하고,
상기 절연층은 상기 제 1 도전층과 상기 제 2 도전층 사이에 위치하는 영역을 포함하고,
상기 제 1 도전층, 상기 제 2 도전층, 및 상기 절연층은 용량 소자를 형성하고,
상기 제 2 도전층은 개구를 갖고,
상기 제 2 도전층의 상기 개구와 상기 제 1 도전층은 한 영역에서 서로 중첩되는, 터치 센서.
In the touch sensor,
A first substrate;
A first conductive layer;
A second conductive layer;
And an insulating layer,
Wherein the first conductive layer includes a region located between the first substrate and the second conductive layer,
Wherein the insulating layer includes a region located between the first conductive layer and the second conductive layer,
Wherein the first conductive layer, the second conductive layer, and the insulating layer form a capacitive element,
The second conductive layer having an opening,
Wherein the opening of the second conductive layer and the first conductive layer overlap each other in one region.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 도전층에 전기적으로 접속되는 제 1 트랜지스터를 더 포함하는, 터치 센서.
The method according to claim 1,
And a first transistor electrically connected to the first conductive layer.
터치 패널에 있어서,
제 1 항에 따른 터치 센서와;
제 2 기판과;
표시 소자와;
제 1 층과;
제 2 층을 포함하고,
상기 제 2 기판은 상기 제 1 기판과 중첩되는 영역을 포함하고,
상기 표시 소자, 상기 제 1 층, 및 상기 제 2 층은 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 위치하고,
상기 제 1 층은 특정 파장 대역의 광을 투과시키는 기능을 가지며, 상기 표시 소자와 중첩되는 영역을 포함하고,
상기 제 2 층은 가시광을 차광하는 기능을 갖고,
상기 제 1 도전층은 상기 제 1 층과 중첩되는 영역 및 상기 제 2 층과 중첩되는 영역을 포함하고,
상기 제 2 도전층은 상기 제 2 층과 중첩되는 영역을 포함하고,
상기 제 2 도전층의 상기 개구와 상기 표시 소자가 서로 중첩되는 영역이 포함되고,
상기 제 2 도전층의 상기 개구와 상기 제 1 층은 한 영역에서 서로 중첩되는, 터치 패널.
In the touch panel,
A touch sensor according to claim 1;
A second substrate;
A display element;
A first layer;
And a second layer,
Wherein the second substrate includes a region overlapping with the first substrate,
Wherein the display element, the first layer, and the second layer are positioned between the first substrate and the second substrate,
Wherein the first layer has a function of transmitting light of a specific wavelength band and includes a region overlapping with the display element,
The second layer has a function of shielding visible light,
Wherein the first conductive layer includes a region overlapping with the first layer and a region overlapping with the second layer,
Wherein the second conductive layer includes a region overlapping the second layer,
A region where the opening of the second conductive layer and the display element overlap with each other,
Wherein the opening of the second conductive layer and the first layer overlap each other in an area.
제 3 항에 있어서,
상기 표시 소자는 발광 소자인, 터치 패널.
The method of claim 3,
Wherein the display element is a light emitting element.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판은 각각 가요성을 갖는, 터치 패널.
The method of claim 3,
Wherein the first substrate and the second substrate each have flexibility.
터치 센서 모듈에 있어서,
제 1 항에 따른 터치 센서와;
제 1 FPC를 포함하고,
상기 제 1 FPC는 상기 제 1 도전층 및 상기 제 2 도전층 중 적어도 하나에 신호를 공급하는 기능을 갖는, 터치 센서 모듈.
In the touch sensor module,
A touch sensor according to claim 1;
Comprising a first FPC,
Wherein the first FPC has a function of supplying a signal to at least one of the first conductive layer and the second conductive layer.
터치 패널 모듈에 있어서,
제 3 항에 따른 터치 패널과;
제 2 FPC와;
제 3 FPC를 포함하고,
상기 제 2 FPC는 상기 제 1 도전층 및 상기 제 2 도전층 중 적어도 하나에 신호를 공급하는 기능을 갖고,
상기 제 3 FPC는 상기 표시 소자에 신호를 공급하는 기능을 갖는, 터치 패널 모듈.
In the touch panel module,
A touch panel according to claim 3;
A second FPC;
A third FPC,
Wherein the second FPC has a function of supplying a signal to at least one of the first conductive layer and the second conductive layer,
And the third FPC has a function of supplying a signal to the display element.
전자 기기에 있어서,
제 6 항에 따른 터치 센서 모듈과;
하우징을 포함하고,
상기 터치 센서 모듈은 상기 하우징 내에 제공되는, 전자 기기.
In the electronic device,
A touch sensor module according to claim 6;
Comprising a housing,
And the touch sensor module is provided in the housing.
전자 기기에 있어서,
제 7 항에 따른 터치 패널 모듈과;
하우징을 포함하고,
상기 터치 패널 모듈은 상기 하우징 내에 제공되는, 전자 기기.
In the electronic device,
A touch panel module according to claim 7;
Comprising a housing,
Wherein the touch panel module is provided in the housing.
터치 센서에 있어서,
제 1 도전층, 개구를 갖는 제 2 도전층, 및 상기 제 1 도전층과 상기 제 2 도전층 사이의 절연층을 포함하는 용량 소자를 포함하고,
상기 제 2 도전층의 상기 개구와 상기 제 1 도전층은 한 영역에서 서로 중첩되는, 터치 센서.
In the touch sensor,
And a capacitive element including a first conductive layer, a second conductive layer having an opening, and an insulating layer between the first conductive layer and the second conductive layer,
Wherein the opening of the second conductive layer and the first conductive layer overlap each other in one region.
제 10 항에 있어서,
상기 제 1 도전층에 전기적으로 접속되는 제 1 트랜지스터를 더 포함하는, 터치 센서.
11. The method of claim 10,
And a first transistor electrically connected to the first conductive layer.
터치 패널에 있어서,
제 10 항에 따른 터치 센서와;
제 1 기판과;
제 2 기판과;
표시 소자와;
제 1 층과;
제 2 층을 포함하고,
상기 제 2 기판은 상기 제 1 기판과 중첩되는 영역을 포함하고,
상기 표시 소자, 상기 제 1 층, 및 상기 제 2 층은 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 위치하고,
상기 제 1 층은 특정 파장 대역의 광을 투과시키는 기능을 가지며, 상기 표시 소자와 중첩되는 영역을 포함하고,
상기 제 2 층은 가시광을 차광하는 기능을 갖고,
상기 제 1 도전층은 상기 제 1 층과 중첩되는 영역 및 상기 제 2 층과 중첩되는 영역을 포함하고,
상기 제 2 도전층은 상기 제 2 층과 중첩되는 영역을 포함하고,
상기 제 2 도전층의 상기 개구와 상기 표시 소자가 서로 중첩되는 영역이 포함되고,
상기 제 2 도전층의 상기 개구와 상기 제 1 층은 한 영역에서 서로 중첩되는, 터치 패널.
In the touch panel,
A touch sensor according to claim 10;
A first substrate;
A second substrate;
A display element;
A first layer;
And a second layer,
Wherein the second substrate includes a region overlapping with the first substrate,
Wherein the display element, the first layer, and the second layer are positioned between the first substrate and the second substrate,
Wherein the first layer has a function of transmitting light of a specific wavelength band and includes a region overlapping with the display element,
The second layer has a function of shielding visible light,
Wherein the first conductive layer includes a region overlapping with the first layer and a region overlapping with the second layer,
Wherein the second conductive layer includes a region overlapping the second layer,
A region where the opening of the second conductive layer and the display element overlap with each other,
Wherein the opening of the second conductive layer and the first layer overlap each other in an area.
제 12 항에 있어서,
상기 표시 소자는 발광 소자인, 터치 패널.
13. The method of claim 12,
Wherein the display element is a light emitting element.
제 12 항에 있어서,
상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판은 각각 가요성을 갖는, 터치 패널.
13. The method of claim 12,
Wherein the first substrate and the second substrate each have flexibility.
터치 센서 모듈에 있어서,
제 10 항에 따른 터치 센서와;
제 1 FPC를 포함하고,
상기 제 1 FPC는 상기 제 1 도전층 및 상기 제 2 도전층 중 적어도 하나에 신호를 공급하는 기능을 갖는, 터치 센서 모듈.
In the touch sensor module,
A touch sensor according to claim 10;
Comprising a first FPC,
Wherein the first FPC has a function of supplying a signal to at least one of the first conductive layer and the second conductive layer.
터치 패널 모듈에 있어서,
제 12 항에 따른 터치 패널과;
제 2 FPC와;
제 3 FPC를 포함하고,
상기 제 2 FPC는 상기 제 1 도전층 및 상기 제 2 도전층 중 적어도 하나에 신호를 공급하는 기능을 갖고,
상기 제 3 FPC는 상기 표시 소자에 신호를 공급하는 기능을 갖는, 터치 패널 모듈.
In the touch panel module,
A touch panel according to claim 12;
A second FPC;
A third FPC,
Wherein the second FPC has a function of supplying a signal to at least one of the first conductive layer and the second conductive layer,
And the third FPC has a function of supplying a signal to the display element.
전자 기기에 있어서,
제 15 항에 따른 터치 센서 모듈과;
하우징을 포함하고,
상기 터치 센서 모듈은 상기 하우징 내에 제공되는, 전자 기기.
In the electronic device,
A touch sensor module according to claim 15;
Comprising a housing,
And the touch sensor module is provided in the housing.
전자 기기에 있어서,
제 16 항에 따른 터치 패널 모듈과;
하우징을 포함하고,
상기 터치 패널 모듈은 상기 하우징 내에 제공되는, 전자 기기.
In the electronic device,
A touch panel module according to claim 16;
Comprising a housing,
Wherein the touch panel module is provided in the housing.
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