KR20150114408A

KR20150114408A - 연마 방법 및 보유 지지구

Info

Publication number: KR20150114408A
Application number: KR1020150041275A
Authority: KR
Inventors: 싱고 오츠키; 히로시 아사노
Original assignee: 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드
Priority date: 2014-04-01
Filing date: 2015-03-25
Publication date: 2015-10-12
Also published as: JP2015196224A; TW201607680A; CN104972387A; US20150306727A1

Abstract

연마 방법은, 보유 지지구에 보유 지지된 연마 대상물의 연마면을 연마 패드에 가압해서 접촉시킨 상태에서, 연마 패드 위에 연마용 조성물을 공급하면서, 보유 지지구와 연마 패드를 상대 회전시킴으로써 연마 대상물의 연마면을 연마하는 연마 공정을 갖는다. 연마 공정 중에, 보유 지지구에 보유 지지된 연마 대상물은, 연마 대상물의 연마면이 연마 패드에 대향한 상태를 유지한 채로 회전하여, 연마 대상물의 방향을 바꾼다.

Description

연마 방법 및 보유 지지구{POLISHING METHOD AND HOLDER}

본 발명은 보유 지지구에 보유 지지된 연마 대상물의 연마면을 연마 패드에 가압해서 접촉시킨 상태에서, 연마 패드 위에 연마용 조성물을 공급하면서, 보유 지지구와 상기 연마 패드를 상대 회전시킴으로써 연마 대상물의 연마면을 연마하는 연마 공정을 갖는 연마 방법 및 그 연마 방법에 사용되는 보유 지지구에 관한 것이다.

종래, 보유 지지구에 보유 지지된 연마 대상물의 연마면을 연마 패드에 가압해서 접촉시킨 상태에서, 연마 패드 위에 연마용 조성물을 공급하면서, 보유 지지구 및 연마 패드를 상대 회전시킴으로써 연마 대상물의 연마면을 연마하는 연마 방법이 알려져 있다. 이러한 종류의 연마 방법은, 편면 연마 장치나 양면 연마 장치를 사용해서 실시되고 있다. 예를 들어, 일본 특허 공개 제2011 -253896호 공보에는, 편면 연마 장치를 사용해서, 반도체 웨이퍼의 편면을 연마하는 연마 방법이 개시되어 있다. 또한, 일본 특허 공개 평7-156061호 공보에는, 양면 연마 장치를 사용해서, 자성막을 양면에 갖는 컴퓨터용 디스크 기판의 양면을 동시에 연마하는 연마 방법이 개시되어 있다.

이하, 도 12a 및 도 12b에 기초하여, 편면 연마 장치의 구성, 및 그 편면 연마 장치를 사용한 종래의 연마 방법에 대해서 설명한다. 도 12a에 도시한 바와 같이, 편면 연마 장치(10)는 연직 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전하는 정반(11)을 구비하고, 이 정반(11)의 상면에 연마 패드(12)가 부착되어 있다. 연마 패드(12) 위에는, 연직 방향으로 연장되는 회전축(P1)을 중심으로 회전하는 연마 헤드(14)를 각각 구비하는 복수의 보유 지지구(13)가 배치되어 있다. 도 12b에 도시한 바와 같이, 각 보유 지지구(13)에 있어서의 연마 헤드(14)의 하면에는, 복수(3개)의 연마 대상물(W)이, 연마면을 하측을 향한 상태에서 보유 지지되어 있다. 각 보유 지지구(13)에 보유 지지된 연마 대상물(W)은, 연마 헤드(14)의 회전축(P1)을 중심으로 해서 둘레 방향으로 나열되어 있다.

도 12a에 도시한 바와 같이, 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)의 하면에 보유 지지된 연마 대상물(W)을 연마 패드(12)에 가압해서 접촉시킨 상태에서, 연마 패드(12) 위에 연마용 조성물(15)을 공급하면서, 정반(11) 및 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)를 각각 소정의 회전수로 회전시킨다. 이에 의해, 보유 지지구(13)에 보유 지지된 연마 대상물(W)의 연마면이 연마 패드(12) 및 연마용 조성물(15)에 의해 연마된다.

그런데, 상술한 종래의 연마 방법을 사용한 경우에는, 연마 대상물의 연마면에 연마 얼룩이 발생하는 경우가 있다. 구체적으로는, 도 12b에 도시한 바와 같이, 연마 헤드(14)의 회전축(P1)에서 먼 측 부위 B(외측에 위치하는 부위)의 연마량에 비해, 연마 헤드(14)의 회전축(P1)에 가까운 측 부위 A(내측에 위치하는 부위)의 연마량이 적어지는 경우가 있다.

이러한 문제의 원인은, 연마 대상물(W)의 연마면에 공급되는 연마용 조성물(15)에 있을 것으로 생각된다. 즉, 연마 시에 있어서는, 연마 헤드(14)는 회전축(P1)을 중심으로 회전하고 있기 때문에, 연마 패드(12) 위에 공급된 연마용 조성물(15)은, 연마 헤드(14)의 외주측으로부터 연마 대상물(W)과 연마 패드(12) 사이로 들어가서, 연마 헤드(14)의 직경 방향 내측을 향해서 흘러간다. 그로 인해, 연마 대상물(W)에 있어서, 연마 헤드(14)의 직경 방향 외측에 위치하는 부위 B에 대해서는, 신선한 연마용 조성물(15)을 사용한 연마가 행해지는 반면, 직경 방향 내측에 위치하는 부위 A에 대해서는, 직경 방향 외측에 위치하는 부위 B의 연마에 사용되어 지립 등이 소모된 신선하지 않은 연마용 조성물(15)을 사용한 연마가 행해지게 된다. 이와 같이, 연마 대상물(W)의 각 부위의 연마에 사용되는 연마용 조성물(15)의 소모 정도의 차이[즉 연마용 조성물(15)이 신선한지 여부]가 부위마다의 연마량을 다르게 하고 있는 한 요인이라 생각된다. 또한, 상기 연마 얼룩의 문제는, 편면 연마 장치를 사용한 연마 방법에 한하지 않고, 양면 연마 장치를 사용한 연마 방법에 있어서도 마찬가지로 발생한다.

본 발명은 이러한 실정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 연마 얼룩의 발생을 억제할 수 있는 연마 방법 및 보유 지지구를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명의 일 형태에서는, 보유 지지구에 보유 지지된 연마 대상물의 연마면을 연마 패드에 가압해서 접촉시킨 상태에서, 연마 패드 위에 연마용 조성물을 공급하면서, 상기 보유 지지구와 상기 연마 패드를 상대 회전시킴으로써 상기 연마 대상물의 연마면을 연마하는 연마 공정을 갖는 연마 방법이 제공된다. 상기 연마 공정 중에, 상기 보유 지지구에 보유 지지된 상기 연마 대상물은, 상기 연마 대상물의 연마면이 상기 연마 패드에 대향한 상태를 유지한 채로 회전하여, 상기 연마 대상물의 방향을 바꾼다.

상기 연마 공정은, 상기 연마 대상물의 연마면을 연마하는 조작을 일단 정지하여, 상기 연마 대상물의 방향을 바꾼 후에, 상기 연마 대상물의 연마면을 연마하는 조작을 재개하는 것을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 연마 대상물은, 상기 보유 지지구에 보유 지지된 복수의 연마 대상물 중 하나인 것이 바람직하다.

상기 연마 대상물의 연마면은 곡면 형상이어도 된다. 그 경우, 상기 연마 대상물을 상기 연마 패드에 가압하여, 곡면 형상의 연마면에 추종한 형상으로 상기 연마 패드를 변형시키면서, 상기 연마 대상물의 연마면은 연마되는 것이 바람직하다.

상기 연마 대상물의 연마면은 복수의 면으로 이루어지는 것이어도 된다. 그 경우, 상기 연마 대상물을 상기 연마 패드에 가압하여, 상기 복수의 면으로 이루어지는 연마면에 추종한 형상으로 상기 연마 패드를 변형시키면서, 상기 연마 대상물의 연마면은 연마되는 것이 바람직하다.

상기 보유 지지구와 상기 연마 대상물 사이에 스페이서를 배치하여, 상기 연마 대상물의 연마면을 상기 연마 패드를 향해서 돌출시킨 상태에서 상기 연마 공정은 행해지는 것이 바람직하다.

상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명의 다른 형태에서는, 보유 지지구에 보유 지지된 연마 대상물의 연마면을 연마 패드에 가압해서 접촉시킨 상태에서, 연마 패드 위에 연마용 조성물을 공급하면서, 상기 보유 지지구와 상기 연마 패드를 상대 회전시킴으로써 상기 연마 대상물의 연마면을 연마하는 연마 방법에 사용되는 보유 지지구가 제공된다. 상기 보유 지지구는, 상기 연마 대상물을 보유 지지하는 연마 헤드와, 상기 연마 헤드에 보유 지지된 상기 연마 대상물을, 상기 연마 대상물의 연마면이 상기 연마 패드에 대향한 상태를 유지한 채로 회전시켜서, 상기 연마 대상물의 방향을 바꾸는 회전 기구를 구비한다.

상기 회전 기구는, 상기 연마 대상물이 고정되는 회전대를 구비하는 것이 바람직하다.

상기 보유 지지구는, 상기 회전대와 상기 연마 대상물 사이에 배치되어, 상기 연마 대상물의 연마면을 연마 패드를 향해서 돌출시키는 스페이서를 더 구비하는 것이 바람직하다.

상기 회전대는, 상기 연마 헤드로부터 상기 연마 패드를 향해서 돌출되도록 설치되어 있는 것이 바람직하다.

상기 연마 헤드는, 복수의 연마 대상물을 유지 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 다른 형태 및 이점은 본 발명의 원리의 예를 나타내고 있는 도면과 함께 이하의 기재에서 명확해진다.

도 1a, 도 1b 및 도 1c는 연마 대상물의 연마면의 설명도.
도 2는 보유 지지구의 측면도 및 부분 단면도.
도 3은 연마 패드에 연마 대상물을 가압해서 접촉시킨 상태를 도시하는 단면도.
도 4a, 도 4b, 도 4c 및 도 4d는 연마 공정에서의 연마 대상물의 방향을 설명하기 위한 도면.
도 5는 회전 기구를 구비하는 보유 지지구의 설명도.
도 6은 회전 기구를 구비하는 보유 지지구의 설명도.
도 7은 보유 지지구 및 스페이서의 설명도.
도 8은 회전 기구를 구비하는 보유 지지구 및 스페이서의 설명도.
도 9는 회전 기구를 구비하는 보유 지지구의 설명도.
도 10a, 도 10b 및 도 10c는 연마 대상물의 연마면의 설명도.
도 11a 및 도 11b는 실시예의 설명도.
도 12a는 연마 방법 및 편면 연마 장치의 설명도.
도 12b는 보유 지지구의 하면도.

이하, 본 발명의 일 실시 형태를 설명한다.

먼저, 본 실시 형태의 연마 방법에 의해 연마가 실시되는 연마 대상물(W)에 대해서 설명한다.

연마 대상물(W)로서는, 금속, 합성 수지, 세라믹 및 이들 복합품으로 이루어지는 것을 사용할 수 있다. 상기 금속의 예로서는, 마그네슘, 알루미늄, 티타늄, 철, 니켈, 코발트, 구리, 아연, 망간 및 그들 중 적어도 1종을 주성분으로 하는 합금을 들 수 있다. 상기 합성 수지의 예로서는, 예를 들어 페놀 수지, 에폭시 수지, 우레탄 수지, 폴리이미드 등의 열경화성 수지나, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 아크릴 수지 등의 열가소성 수지를 들 수 있다. 상기 세라믹의 예로서는, 예를 들어 도자기, 유리, 파인 세라믹스 외에, 규소, 알루미늄, 지르코늄, 칼슘, 바륨 등의 산화물, 탄화물, 질화물, 붕화물을 들 수 있다.

연마 대상물(W)의 외형 형상은, 특별히 한정되는 것은 아니고, 삼각형이나 사각형 등 다각 형상, 원 형상, 타원 형상, 환상 등의 어느 형상이어도 상관없다.

또한, 연마 대상물(W)은, 그 일면으로서, 연마가 실시되는 연마면을 구비하고 있다. 이 연마면의 형상에 대해서도 특별히 한정되는 것은 아니다. 구체적으로는, 도 1a에 도시한 바와 같이, 연마 대상물(W)은, 평탄 형상의 연마면(W1)을 갖는 것이어도 된다. 또는, 도 1b에 도시한 바와 같이, 연마 대상물(W)은, 일부 또는 전체가 곡면 형상을 이루는 연마면(W2)을 갖는 것이어도 된다. 이 경우, 연마면(W2)은, 외측을 향해서 볼록해지는 곡면 형상이어도 되고, 내측을 향해서 볼록해지는 곡면 형상이어도 되고, 이들을 조합한 형상이어도 된다. 또는, 연마 대상물(W)은, 도 1c에 도시한 바와 같이, 복수의 면(W3a, W3b, W3c)으로 이루어지는 연마면(W3)을 갖는 것이어도 된다. 이 경우, 연마면(W3)은, 외측을 향해서 볼록해지는 다면 형상이어도 되고, 내측을 향해서 볼록해지는 다면 형상이어도 되고, 이들을 조합한 형상이어도 된다. 또한, 연마면(W3)을 구성하는 면 중 하나 또는 복수가 곡면 형상이어도 된다. 또한, 연마면(W3)을 구성하는 면의 수는 2개 이상이면 된다.

이어서, 본 실시 형태의 연마 방법에 사용되는 연마 장치에 대해서 설명한다.

본 실시 형태의 연마 방법에는, 도 12a 및 도 12b에 도시한 바와 같은 종래의 편면 연마 장치(10)를 사용할 수 있다. 편면 연마 장치(10)는, 연직 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전하는 정반(11)을 구비하고 있다. 정반(11)은 도시하지 않은 모터에 연결되어 있고, 모터의 구동을 받아서 회전한다.

정반(11)의 상면에는, 연마 패드(12)가 부착되어 있다. 연마 패드(12)는 연마 대상물(W)의 재질이나, 연마 대상물(W)의 연마면의 형상 등에 따라, 연마 대상물(W)의 연마면을 연마하기에 적합한 종류의 것을 임의로 사용할 수 있다. 연마 패드(12)는 연마 대상물(W)의 연마면 전체에 대하여 균일하게 접촉할 수 있는 표면 형상을 갖는 것이 바람직하다. 동일한 관점에서, 연마 패드(12)의 두께나 경도도 적절하게 설정된다.

연마 패드(12)의 재질의 구체예로서는, 예를 들어 직물, 부직포, 부직포의 수지 가공품, 합성 피혁, 합성 수지 발포체 및 이들 복합품 등을 들 수 있다. 또한, 상기 구체예 중 어느 한 종만으로 이루어지는 연마 패드(12)여도 되고, 복수종을 조합하여 이루어지는 연마 패드(12)여도 된다.

연마 패드(12)의 경도는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 연마 대상물(W)의 연마면이 비평면 형상인 경우, 예를 들어 곡면 형상이나 복수의 면으로 이루어지는 다면 형상인 경우에는, 연마 패드(12)의 쇼어 A 경도는 5 이상인 것이 바람직하다. 연마 패드(12)의 쇼어 A 경도는, 연마 패드(12)를 습도 20 내지 60％의 건조 상태에서 실온에 60분간 이상 방치한 후, 일본 공업 규격 JIS K6253에 준거한 고무 경도계(A형)를 사용하여 측정할 수 있다.

도 12a에 도시하는 편면 연마 장치(10)에 있어서, 연마 패드(12)의 상방에는, 연직 방향으로 연장되는 회전축(P1)을 중심으로 회전하는 연마 헤드(14)를 각각 구비하는 복수의 보유 지지구(13)가 배치되어 있다. 연마 헤드(14)는, 도시하지 않은 모터에 연결되어 있으며, 모터의 구동을 받아서 회전한다.

도 12b에 도시한 바와 같이, 각 연마 헤드(14)의 하면에는, 복수의 연마 대상물(W)이 연마면을 하측(외측)을 향한 상태에서 보유 지지되어 있다. 또한, 도시는 생략하고 있지만, 각 연마 헤드(14)의 하면에는, 각 연마 대상물(W)이 감합 가능한 오목부나, 연마 대상물(W)을 진공 흡착시키는 기구 등에 의해 구성되는 보유 지지부가 설치되어 있고, 이러한 보유 지지부에 의해 연마 대상물(W)이 보유 지지된다. 또한, 각 연마 헤드(14)의 하면에 보유 지지된 연마 대상물(W)은, 연마 헤드(14)의 회전축(P1)을 중심으로 해서 둘레 방향으로 나열되어 있다.

이어서, 본 실시 형태의 연마 방법에 대해서 설명한다. 여기에서는, 도 1b에 도시한 바와 같은 연마 대상물(W), 구체적으로는, 정사각형의 외형 형상을 갖는 곡면 형상의 연마면(W2)을 갖는 연마 대상물(W)을 연마하는 경우에 대해서 설명한다.

도 2 및 도 12b에 도시한 바와 같이, 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)의 하면에 대해 3개의 연마 대상물(W)을, 연마면(W2)이 하측을 향하도록 해서 보유 지지시킨다. 그리고, 연마 패드(12)를 향해서 보유 지지구(13)를 하강시켜서, 연마 헤드(14)의 하면에 보유 지지된 연마 대상물(W)의 연마면(W2)을 연마 패드(12)에 가압해서 접촉시킨다.

이때, 도 3에 도시한 바와 같이, 연마 패드(12)는 곡면 형상의 연마면(W2)이 가압됨으로써, 연마면(W2)에 추종한 형상으로 변형된다. 그 결과, 연마면(W2) 전체가 연마 패드(12)에 접촉한다. 환언하면, 연마 패드(12)가 연마면(W2)에 추종한 형상으로 변형해서 연마면(W2) 전체에 접촉할 때까지, 보유 지지구(13)를 하강시켜서 하중(연마 하중)을 가한다. 또한, 도 2 및 도 3에 있어서는, 정반(11)의 도시를 생략하고 있다.

계속해서, 도 12a에 도시한 바와 같이, 연마 패드(12) 위에 연마용 조성물(15)을 공급하면서, 정반(11) 및 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)를 각각 소정의 회전수로 회전시킨다. 이렇게 해서, 정반(11) 위에 부착된 연마 패드(12)와, 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)에 보유 지지된 연마 대상물(W)이 서로 밀착된 상태에서 상대 회전함으로써, 연마 대상물(W)의 연마면(W2)이 연마 패드(12) 및 연마용 조성물(15)에 의해 연마된다(연마 공정).

연마용 조성물(15)로서는, 공지된 연마용 조성물, 구체적으로는, 주로 지립이나 물을 포함하는 폴리싱액, 랩핑액, 절삭액 등의 가공액을 사용할 수 있다. 지립의 예로서는, 예를 들어 알루미나, 실리카, 세리아, 다이아몬드, 탄화규소를 들 수 있다. 연마용 조성물(15)은, 상기 지립 중 1종만을 함유하는 것이어도 되고, 복수 종류의 지립을 함유하는 것이어도 된다. 또한, 연마용 조성물(15)은, 계면 활성제, 고분자 재료, pH 조정제, 비산 억제제, 증점제, 산화 환원제, 등 그 밖의 성분을 함유해도 된다.

상기 연마 공정에서의 각종의 조건은 특별히 한정되는 것은 아니고, 연마 대상물(W)의 재질이나 형상 등에 따라서 적절하게 설정할 수 있다. 예를 들어, 연마 패드(12) 위에 공급되는 연마용 조성물(15)의 유량은, 10ml/분 이상인 것이 바람직하다. 또한, 정반(11) 및 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)의 회전수는, 연마 대상물(W)의 연마면에 있어서의 선속도가 10m/분 내지 300m/분의 범위로 되는 회전수인 것이 바람직하다. 또한, 연마 하중은, 연마 대상물(W)의 연마면의 단위 면적당에 있어서, 0.05㎏/㎠ 내지 10㎏/㎠인 것이 바람직하다.

또한, 본 실시 형태의 연마 방법에 있어서는, 연마 공정 중에, 미리 설정된 소정 시간이 경과한 시점에서, 연마 패드(12) 위에 연마용 조성물(15)을 공급하면서 연마 대상물(W)과 연마 헤드(14)를 상대 회전시키는 조작(즉 연마 조작)을 일시 정지하여, 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)에 보유 지지된 연마 대상물(W)의 방향을 변경하는 조작을 행한다.

구체적으로는, 도 4a 및 도 4b에 도시한 바와 같이, 연마면(W2)이 연마 패드(12)에 대향한 상태를 유지한 채로, 보유 지지구(13)의 회전축(P1)에 평행한 축선(P2)을 중심으로 각 연마 대상물(W)을 시계 방향으로 90도 회전시킨다. 즉, 도 4a에 도시하는 보유 지지 상태로부터 도 4b에 도시하는 보유 지지 상태로, 각 연마 대상물(W)의 방향을 변경한다. 또한, 도 4a 내지 도 4d에 있어서는, 이해를 용이하게 하기 위해서, 각 연마 대상물(W)의 연마면에 있어서, 최초로 보유 지지구(13)의 회전축(P1)측에 위치해 있던 부위에 표식으로서 별표를 붙이고 있다. 또한, 각 연마 대상물(W)의 방향을 변경하는 조작은, 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)로부터 연마 대상물(W)을 일단 떼내고, 그 후 방향을 바꾼 상태에서 연마 대상물(W)을 연마 헤드(14)에 다시 보유 지지시킴으로써 실시된다.

연마 대상물(W)의 방향을 바꾼 후에는 도 4b에 도시하는 보유 지지 상태에서 연마 조작을 행한다. 그 후, 또한 상기 소정 시간이 경과한 시점에서, 마찬가지로 해서, 도 4b에 도시하는 보유 지지 상태로부터 도 4c에 도시하는 보유 지지 상태로 연마 대상물(W)의 방향을 변경한다. 그리고, 도 4c에 도시하는 보유 지지 상태에서 연마 조작을 행한다. 그 후, 또한 상기 소정 시간이 경과한 시점에서, 도 4c에 도시하는 보유 지지 상태로부터 도 4d에 도시하는 보유 지지 상태로 연마 대상물(W)의 방향을 변경한다. 그리고, 도 4d에 도시하는 보유 지지 상태에서 상기 소정 시간의 연마 조작을 행한다. 따라서, 본 실시 형태에 있어서는, 연마 대상물(W)의 방향이 90도씩 다른 4개의 보유 지지 상태에 있어서 각각 연마 대상물(W)의 연마가 행해진다.

이어서, 본 실시 형태의 작용에 대해서 설명한다.

도 4a 내지 도 4d에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 연마 방법에 있어서는, 연마 공정 중에, 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)에 보유 지지된 각 연마 대상물(W)의 방향을 바꾸고 있다. 그리고, 연마 대상물(W)의 방향이 다른 각 보유 지지 상태에 있어서, 각각 연마 조작을 행하고 있다. 그로 인해, 연마 공정 중에 있어서, 연마 대상물(W)의 연마면에 있어서의 특정한 부위가, 신선한 연마용 조성물(15)이 공급되어 연마량이 상대적으로 많아지는 위치[연마 헤드(14)의 직경 방향 외측]에 계속해서 위치하는 일이 없으며 또한 신선하지 않은 연마용 조성물(15)이 공급되어 연마량이 상대적으로 적어지는 위치[연마 헤드(14)의 직경 방향 내측]에 계속해서 위치하는 일도 없다. 이에 의해, 연마 대상물(W)의 연마면에 있어서의 특정한 부위가 다른 부위에 비해 연마량이 많아지거나 또는 적어진다고 하는 연마 얼룩의 발생이 억제된다.

이어서, 본 실시 형태의 효과에 대해서 기재한다.

(1) 연마 방법은, 보유 지지구(13)에 보유 지지된 연마 대상물(W)의 연마면을 연마 패드(12)에 가압해서 접촉시킨 상태에서, 연마 패드(12) 위에 연마용 조성물(15)을 공급하면서, 보유 지지구(13) 및 연마 패드(12)를 회전시킴으로써, 연마 대상물(W)의 연마면을 연마하는 연마 공정을 갖는다. 연마 공정 중에, 보유 지지구(13)에 보유 지지된 연마 대상물(W)은, 연마면(W2)이 연마 패드(12)에 대향한 상태를 유지한 채로 회전하여, 연마 대상물(W)의 방향을 바꾼다. 따라서, 연마 대상물(W)의 연마면에 있어서의 특정한 부위가 다른 부위에 비해 연마량이 많아지거나 또는 적어진다고 하는 연마 얼룩의 발생이 억제된다.

(2) 연마 대상물(W)의 연마면에 있어서의 각 부위는, 연마량이 상대적으로 많아지는 위치[연마 헤드(14)의 직경 방향 외측]와, 연마량이 상대적으로 적어지는 위치[연마 헤드(14)의 직경 방향 내측]와, 그들의 중간 위치와의 사이를 로테이션하여 교체되도록 해서, 연마 대상물(W)의 방향을 변경하고 있다. 도 4a 내지 도 4d에 있어서 별표가 붙여져 있는 연마 대상물(W)의 부위를 예로 들면, 도 4a에 도시하는 상태에서는 상대적으로 연마되기 어려운 위치에 있고, 도 4c에 도시하는 상태에서는 상대적으로 연마되기 쉬운 위치에 있고, 도 4b 및 도 4d에 도시하는 상태에서는 그들의 중간 위치에 있다.

따라서, 연마 대상물(W)을 90도씩이 아닌 180도씩 회전시켜서, 연마량이 상대적으로 적어지는 위치와, 연마량이 상대적으로 많아지는 위치 사이에서 교체되도록 연마 대상물(W)의 방향을 변경하는 경우와 비교하여, 연마면 전체가 균일하게 연마되기 쉬워진다. 그 결과, 연마 얼룩의 발생이 보다 효과적으로 억제된다.

(3) 연마 공정은, 연마 대상물(W)의 연마면을 연마하는 조작을 일단 정지하여, 연마 대상물(W)의 방향을 바꾼 후에, 연마 대상물(W)의 연마면을 연마하는 조작을 재개하는 것을 포함한다. 따라서, 기존의 편면 연마 장치(10)를 그대로 이용할 수 있다.

(4) 연마 대상물(W)은 곡면 형상의 연마면(W2)을 갖고, 연마 대상물(W)을 연마 패드(12)에 가압해서 연마면(W2)에 추종한 형상으로 연마 패드(12)를 변형시키면서, 연마면(W2)은 연마된다. 이 경우에는, 연마면(W2)에 대한 연마 패드(12)의 접촉면이 커짐과 함께, 연마 패드(12)는 연마면(W2)에 대하여 강하게 밀착되게 된다. 그로 인해, 연마 공정 중에 있어서, 연마 대상물(W)과 연마 패드(12)의 중간에 들어간 연마용 조성물(15)은, 연마 대상물(W)과 연마 패드(12) 사이를 흐르기 어렵게 되어, 연마 헤드(14)의 직경 방향 내측으로 공급되기 어렵게 된다. 그 결과, 연마 헤드(14)의 회전축(P1)에서 먼 측 부위 B[연마 헤드(14)의 직경 방향 외측]의 연마량에 비해 연마 헤드(14)의 회전축(P1)에 가까운 측 부위 A[연마 헤드(14)의 직경 방향 내측]의 연마량이 적어진다고 하는 문제가 특히 현저하게 나타난다(도 12b 참조).

따라서, 본 실시 형태의 연마 방법에 의한 연마 얼룩의 억제 효과는, 연마면(W2)에 추종한 형상으로 연마 패드(12)를 변형시키면서 연마면(W2)을 연마하는 경우에 특히 크다. 연마 대상물(W)이 복수의 면으로 이루어지는 연마면(W3)을 갖고, 연마 대상물(W)을 연마 패드(12)에 가압해서 연마면(W3)에 추종한 형상으로 연마 패드(12)를 변형시키면서 연마면(W3)을 연마하는 경우에도 마찬가지 효과가 얻어진다.

또한, 본 실시 형태는, 다음과 같이 변경해서 구체화하는 것도 가능하다.

·각 보유 지지구(13)에 보유 지지되는 연마 대상물(W)의 수는 특별히 한정되는 것은 아니고, 2개 이하여도 되고, 4개 이상이어도 된다. 또한, 보유 지지구(13)마다 보유 지지하는 연마 대상물(W)의 수가 달라도 된다.

·상기 실시 형태에서는, 모터의 구동에 의해 보유 지지구(13)를 회전시키고 있었지만, 보유 지지구(13)를 회전시키는 방법은 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 연마 헤드(14)가 자전 가능한 상태에서 보유 지지구(13)를 연마 패드(12) 위에 배치하여, 연마 패드(12)를 회전시키도록 해도 된다. 이 경우에는, 연마 패드(12)의 회전에 영향을 받아서 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)가 회전(자전)한다.

·상기 실시 형태에서는, 연마 공정에 있어서, 보유 지지구(13) 및 연마 패드(12)를 모두 회전시키고 있었지만, 보유 지지구(13)와 연마 패드(12)를 상대 회전시키는 구성이면 된다. 즉, 연마 패드(12)는 회전시키지 않고 보유 지지구(13)만을 회전시키도록 해도 되고, 보유 지지구(13)는 회전시키지 않고 연마 패드(12)만을 회전시키도록 해도 된다.

또한, 보유 지지구(13)는 회전시키지 않고 연마 패드(12)만을 회전시킨 경우에 있어서도, 연마용 조성물(15)의 소모 정도의 차이[즉 연마용 조성물(15)이 신선한지 여부]에 기인하는 연마 대상물(W)의 연마 얼룩의 문제는 발생한다. 즉, 연마 패드(12)만을 회전시킨 경우, 연마 패드(12) 위에 공급된 연마용 조성물(15)은, 보유 지지구(13)에 보유 지지된 연마 대상물(W)과 연마 패드(12) 사이를, 연마 패드(12)의 회전 방향을 따라 원호 형상으로 흐르게 된다.

여기서, 도 12b에 도시하는 예에 있어서, 지면의 상측으로부터 하측을 향해서 원호 형상으로 연마용 조성물(15)이 흐른다고 가정하자. 이때, 상측에 위치하는 연마 대상물(W)의 부위 B에 대해서는, 신선한 연마용 조성물(15)을 사용한 연마가 행해지고, 부위 A에 대해서는, 부위 B의 연마에 사용되어 지립 등이 소모된 신선하지 않은 연마용 조성물(15)을 사용한 연마가 행해지게 된다.

반대로, 지면의 하측으로부터 상측을 향해서 원호 형상으로 연마용 조성물(15)이 흐른다고 가정하자. 이때, 상측에 위치하는 연마 대상물(W)의 부위 A에 대해서는, 신선한 연마용 조성물(15)을 사용한 연마가 행해지고, 부위 B에 대해서는, 부위 A의 연마에 사용되어 지립 등이 소모된 신선하지 않은 연마용 조성물(15)을 사용한 연마가 행해지게 된다.

이와 같이, 보유 지지구(13)는 회전시키지 않고 연마 패드(12)만을 회전시킨 경우에 있어서도, 연마 대상물(W)의 각 부위의 연마에 사용되는 연마용 조성물(15)의 소모 정도에 차이가 발생한다. 그리고, 이것에 기인해서 연마 대상물(W)에 연마 얼룩이 발생한다. 이러한 연마 패드(12)만을 회전시킨 경우에 발생하는 연마 얼룩에 대해서도, 연마 공정 중에 연마 대상물(W)의 방향을 변경하는 조작을 행함으로써, 그 발생을 억제할 수 있다.

·상기 실시 형태에서는, 연마 공정에 있어서, 연마 대상물(W)의 방향을 90도씩 3회 변경했지만, 1회로 변경되는 연마 대상물(W)의 방향의 각도는 90도로 한정되는 것은 아니고 또한 연마 대상물(W)의 방향을 변경하는 횟수도 3회로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 연마 대상물(W)의 방향을 120도씩 2회 변경해도 되고, 연마 대상물(W)의 방향을 180도만큼 1회 변경해도 된다.

또한, 1회로 변경되는 연마 대상물(W) 방향의 각도 S와 연마 대상물(W)의 방향을 변경하는 횟수 T는, 「S(T+1)=360」을 만족하는 관계인 것이 바람직하다. 이 경우에는, 연마 얼룩의 발생을 보다 효과적으로 억제할 수 있다. 또한, 연마 대상물(W)의 방향을 변경하는 조작마다, 연마 대상물(W)의 방향을 변경하는 각도를 다르게 해도 된다.

·상기 실시 형태에서는, 연마 대상물(W)을 연마 패드(12)에 가압하여, 연마면에 추종한 형상으로 연마 패드(12)를 변형시키면서 연마면의 연마를 행하고 있었지만, 연마 패드(12)를 변형시키지 않을 정도로 연마 대상물(W)을 연마 패드(12)에 가압해서 접촉시킨 상태에서 연마면의 연마를 행해도 된다. 예를 들어, 도 1a에 도시한 바와 같은 평탄 형상의 연마면(W1)을 갖는 연마 대상물(W)의 경우에는, 이러한 연마 방법이 적합하다.

·상기 실시 형태에서는, 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)로부터 연마 대상물(W)을 일단 떼내고, 그 후, 방향을 바꾼 상태에서 연마 대상물(W)을 연마 헤드(14)에 다시 보유 지지시킴으로써 연마 대상물(W)의 방향을 변경하고 있었지만, 다른 방법에 의해 연마 대상물(W)의 방향을 변경해도 된다. 예를 들어, 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 연마 대상물(W)의 방향을 바꾸는 회전 기구를 구비한 보유 지지구(13)를 사용하고, 그 회전 기구를 동작시킴으로써 연마 대상물(W)의 방향을 변경해도 된다.

도 5에 도시하는 예에서는, 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)에는, 상하로 관통하는 삽입 관통 구멍(21)이 형성됨과 함께, 연마 헤드(14)의 하면에는, 삽입 관통 구멍(21)의 개구를 중심으로 한 원 형상의 수용 오목부(22)가 형성되어 있다. 삽입 관통 구멍(21)에는, 회전축(23)이 삽입 관통되어 있다. 수용 오목부(22)로 돌출된 회전축(23)의 하단부에는, 수용 오목부(22) 내에 수용되는 원판 형상의 회전대(24)가 고정됨과 함께, 연마 헤드(14)의 상면측으로 돌출된 회전축(23)의 상단부에는, 조작 부재(25)가 고정되어 있다. 이 경우, 회전축(23), 회전대(24) 및 조작 부재(25)에 의해 회전 기구가 구성된다.

도 5의 구성에 있어서는, 회전대(24)의 하면에 연마 대상물(W)이 보유 지지된다. 그리고, 연마 대상물(W)의 방향을 변경할 때는, 작업자가 조작 부재(25)을 돌린다. 이에 의해, 회전대(24) 및 회전대(24)에 보유 지지된 연마 대상물(W)이 회전축(23)을 통해서 일체로 회전하여, 연마 대상물(W)의 방향이 변경된다. 상기 구성에 의하면, 연마 대상물(W)의 방향을 변경할 때 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)로부터 연마 대상물(W)을 떼낼 필요가 없어, 연마 대상물(W)의 방향을 변경하는 조작을 용이하게 행할 수 있다.

도 6에 도시하는 예에서는, 연마 헤드(14)의 하면에 원 형상의 수용 오목부(22)가 형성됨과 함께, 수용 오목부(22) 내에 원판 형상의 회전대(24)가 수용되어 있다. 회전대(24)에는, 연마 헤드(14) 내에 설치된 모터(26)의 회전축이 고정되어 있다. 또한, 보유 지지구(13)에는, 모터(26)의 회전을 제어하는 제어부(도시 생략)가 설치되어 있다. 이 경우, 회전대(24), 모터(26) 및 제어부에 의해 회전 기구가 구성된다.

도 6의 구성에 있어서는, 회전대(24)의 하면에 연마 대상물(W)이 보유 지지된다. 그리고, 연마 대상물(W)의 방향을 변경할 때는, 제어부가 모터(26)를 회전시킨다. 이에 의해, 회전대(24) 및 회전대(24)에 보유 지지된 연마 대상물(W)이 회전하여, 연마 대상물(W)의 방향이 변경된다.

도 6의 구성에 의하면, 연마 대상물(W)의 방향을 변경할 때 연마 조작을 행하면서, 연마 대상물(W)의 방향을 변경하는 것이 가능하다. 그로 인해, 연마 조작을 일시 정지할 필요가 없어, 연마 공정에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.

·도 7에 도시한 바와 같이, 보유 지지구(13)의 연마 헤드(14)와 연마 대상물(W) 사이에 스페이서(30)를 배치시킨 상태에서 연마 조작을 행해도 된다. 즉 스페이서(30)를 개재해서 연마 헤드(14)에 연마 대상물(W)을 보유 지지시킨 상태에서 연마 조작을 행해도 된다. 이 경우에는, 스페이서(30)가 존재함으로써 연마 대상물(W)이 연마 패드(12)를 향해서 크게 돌출된 상태로 된다. 그로 인해, 복수의 면으로 이루어지는 연마면(W3)이나 곡면 형상을 이루는 연마면(W2)(도 1b 참조)을 연마할 때 연마 대상물(W)의 두께가 얇은 경우에도, 연마 패드(12)에 대해 연마 대상물(W)을 가압하기 쉬워져, 연마면에 추종한 형상으로 연마 패드(12)를 변형시키는 것이 용이해진다.

회전 기구를 갖는 보유 지지구(13)를 사용한 경우도 마찬가지이며, 도 8에 도시한 바와 같이, 회전대(24)와 연마 대상물(W) 사이에 스페이서(30)를 배치시킨 상태에서 연마 조작을 행해도 된다. 또한, 도 9에 도시한 바와 같이, 스페이서(30)를 사용하는 대신에, 회전대(24)가 연마 헤드(14)의 하면으로부터 돌출된 위치에 설치된 보유 지지구(13)를 사용함으로써도, 마찬가지 효과를 얻을 수 있다.

·양면 연마 장치를 사용해서 연마 대상물(W)의 양면의 연마를 행하는 양면 연마 방법에 있어서, 상기 실시 형태와 마찬가지로, 연마 공정 중에 연마 대상물(W)의 방향을 변경하는 조작을 행해도 된다.

이 경우, 연마 대상물(W)로서, 예를 들어 도 10a 내지 도 10c에 도시한 바와 같은 양면에 연마면을 갖는 연마 대상물이 사용된다. 도 10a는 평탄 형상의 연마면(W1)을 상하 양면에 갖는 연마 대상물(W)을 나타내고 있다. 도 10b는 일부 또는 전체가 곡면 형상을 이루는 연마면(W2)을 상하 양면에 갖는 연마 대상물(W)을 나타내고 있다. 도 10c는 복수의 면(W3a, W3b, W3c)으로 이루어지는 연마면(W3)을 상하 양면에 갖는 연마 대상물(W)을 나타내고 있다. 또한, 도 10a 내지 도 10c에 도시하는 예에서는, 연마 대상물(W)의 상하 양면을 동일한 형상으로 했지만, 상하 양면의 형상이 서로 달라도 된다.

또한, 양면 연마 장치로서는, 일본 특허 공개 평7-156061호 공보에 개시된 바와 같은 공지된 양면 연마 장치를 사용할 수 있다. 양면 연마 장치는, 상하로 대향해서 배치되는 한 쌍의 연마 패드와, 그들 연마 패드 사이에 있어서 연마 대상물(W)을 보유 지지하는 보유 지지구를 구비하고 있다. 보유 지지구는, 예를 들어 연마 대상물(W)의 외형에 대응한 형상의 보유 지지 구멍을 갖는 판상 부재이며, 보유 지지 구멍에 연마 대상물(W)을 삽입하여, 보유 지지 구멍의 내주면과 연마 대상물(W)의 측면(Ws)(도 10a 내지 도 10c 참조) 사이의 걸림 결합 등의 상호 작용에 의해, 연마 대상물(W)의 양 연마면을 상측 및 하측으로 돌출시킨 상태에서 보유 지지한다.

양면 연마 방법에 있어서는, 보유 지지구에 보유 지지된 연마 대상물(W)의 양 연마면을 상하의 연마 패드에 가압해서 접촉시킨 상태에서, 연마 패드 위에 연마용 조성물을 공급하면서, 보유 지지구와 각 연마 패드를 상대 회전시킴으로써 연마면을 연마하는 연마 공정이 행해진다. 이 연마 공정의 도중에 있어서, 보유 지지구의 보유 지지 구멍으로부터 연마 대상물(W)을 일단 떼내고, 예를 들어 도 4a 내지 도 4d에 도시한 바와 같이, 그 후, 방향을 바꾼 상태에서 연마 대상물(W)을 보유 지지 구멍에 삽입하여, 연마 대상물(W)을 보유 지지구에 다시 보유 지지시킨다. 그리고, 연마 조작을 재개한다. 이와 같이, 양면 연마 방법에 있어서, 연마 공정 중에 연마 대상물(W)의 방향을 변경시키는 조작을 행한 경우에는, 연마 대상물(W)의 양 연마면에 대해서, 상기 실시 형태와 마찬가지로 연마 얼룩의 발생을 억제할 수 있다.

이어서, 실시예 및 비교예를 들어 본 발명을 더욱 구체적으로 설명한다.

실시예

도 12a에 도시하는 편면 연마 장치를 사용하여, 보유 지지구에 보유 지지된 연마 대상물의 연마면을 연마 패드에 가압해서 접촉시킨 상태에서, 연마 패드 위에 연마용 조성물을 공급하면서, 보유 지지구 및 연마 패드(정반)를 회전시킴으로써, 연마 대상물의 연마면 연마를 행하였다. 구체적인 연마 조건은 하기 표 1에 나타내는 바와 같다.

또한, 연마 대상물로서는, 도 1b에 도시한 바와 같은 곡면 형상의 연마면을 갖는 평판 형상의 유리판(세로 56㎜×가로 60㎜×두께 0.86㎜)을 사용하였다. 보유 지지구에 대한 연마 대상물의 보유 지지 상태는 도 11a에 도시한 바와 같다. 또한, 연마 대상물은, 연마 패드가 연마면에 추종한 형상으로 변형하는 연마 하중에서, 연마 패드에 가압되어 있다.

연마 조작의 개시로부터 6분 경과한 부분에서, 정반 및 보유 지지구의 회전을 정지하여, 보유 지지구에 보유 지지된 연마 대상물을 180도 회전시켜서, 도 11a에 도시하는 보유 지지 상태로부터 도 11b에 도시하는 보유 지지 상태로, 연마 대상물의 방향을 변경하였다. 그리고, 연마를 재개하여, 6분 더 경과한 부분에서 연마를 종료하였다.

그 후, 도 11a 및 도 11b에 도시하는 연마 대상물의 연마면의 각 부위(WA, WB, WC)의 표면 조도를 측정하였다. 부위(WA)는 연마 대상물(W)에 있어서의 곡면 형상의 연마면의 테두리 부분이며, 첫번째의 연마 조작 시에 보유 지지구의 직경 방향 내측에 위치함과 함께, 두번째의 연마 조작 시에 보유 지지구의 직경 방향 외측에 위치하는 부위이다. 부위(WB)는 연마 대상물(W)에 있어서의 곡면 형상의 연마면의 테두리 부분이며, 첫번째의 연마 조작 시에 보유 지지구의 직경 방향 외측에 위치함과 함께, 두번째의 연마 조작 시에 보유 지지구의 직경 방향 내측에 위치하는 부위이다. 부위(WC)는 연마 대상물(W)에 있어서의 곡면 형상의 연마면의 중앙 부분이며, 첫번째의 연마 조작 시 및 두번째의 연마 조작 시 모두, 보유 지지구의 직경 방향 중앙에 위치하는 부위이다.

상기 각 부위의 표면 조도 측정 결과를 표 2에 나타낸다. 또한, 참고로서 표 2에는 연마 전의 각 부위의 표면 조도도 나타내고 있다. 또한, 표면 조도의 측정은, 도쿄세이미쯔 가부시끼가이샤제의 표면 조도 측정 장치 SURFCOM1500DX를 사용하여, Standard:JIS' 94, Filter Cut Off:250㎛, Measurement Length:1㎜의 조건에서 행하였다.

비교예

실시예와 동일한 연마 대상물을 사용하여, 실시예와 동일한 연마 조건에서 연마 조작을 행하였다. 단, 비교예에서는, 연마 대상물의 방향을 변경하는 조작을 행하지 않고, 도 11a에 도시하는 보유 지지 상태에서 10분간 연마를 행한 곳에서, 연마를 종료하였다. 그 후, 연마 대상물의 연마면의 각 부위(WA, WB, WC)의 표면 조도를 실시예와 마찬가지로 측정하였다. 그 결과를 표 2에 나타낸다.

표 2에 나타낸 바와 같이, 연마 대상물의 방향을 변경하는 조작을 행하지 않은 비교예에 있어서는, 부위(WB)(보유 지지구의 직경 방향 외측에 위치하는 부위)와 비교하여, 부위(WA)(보유 지지구의 직경 방향 내측에 위치하는 부위)의 연마가 진행되지 않아, 부위(WA)와 부위(WB) 사이에 연마 얼룩이 발생하였다. 이에 반해, 연마 대상물의 방향을 변경하는 조작을 행한 실시예에 있어서는, 부위(WA)와 부위(WB)의 표면 조도는 거의 동일하여, 부위(WA)와 부위(WB) 사이에 연마 얼룩은 발생하지 않았다.

앞의 설명은, 예증적이며 제한적이지 않은 것을 의도한다. 예를 들어, 상술한 실시예(또는 그 하나 또는 복수의 형태)는 서로 조합하여 사용되어도 된다. 앞의 설명을 검토함으로써, 다른 실시 형태가 당업자 등에 의해 사용되어도 된다. 또한, 상기 상세한 설명에서는, 여러가지 특징은, 개시를 간소화하기 위해서 모두 그룹화되어도 된다. 이것은, 미청구된 개시의 특징이, 임의의 특허 청구항에 필수적인 것을 의도하는 것으로서 해석되는 것은 아니다. 오히려, 본 발명의 주제는, 특정한 개시의 실시 형태의 모든 특징보다도 적은 특징으로 존재할 가능성이 있다. 그로 인해, 첨부된 특허 청구항은, 상세한 설명에 편입되고, 각 청구항은 별개의 실시 형태로서 자기 자신을 주장한다. 본 발명의 범위는, 첨부된 특허 청구항을 참조하여, 그 특허 청구항이 권리를 부여받은 균등물의 전체 범위와 함께 확정되어야 한다.

Claims

보유 지지구에 보유 지지된 연마 대상물의 연마면을 연마 패드에 가압해서 접촉시킨 상태에서, 연마 패드 위에 연마용 조성물을 공급하면서, 상기 보유 지지구와 상기 연마 패드를 상대 회전시킴으로써 상기 연마 대상물의 연마면을 연마하는 연마 공정을 갖는 연마 방법이며,
상기 연마 공정 중에, 상기 보유 지지구에 보유 지지된 상기 연마 대상물은, 상기 연마 대상물의 연마면이 상기 연마 패드에 대향한 상태를 유지한 채로 회전하여, 상기 연마 대상물의 방향을 바꾸는 것을 특징으로 하는, 연마 방법.
제1항에 있어서,
상기 연마 공정은, 상기 연마 대상물의 연마면을 연마하는 조작을 일단 정지하여, 상기 연마 대상물의 방향을 바꾼 후에, 상기 연마 대상물의 연마면을 연마하는 조작을 재개하는 것을 포함하는, 연마 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 연마 대상물은, 상기 보유 지지구에 보유 지지된 복수의 연마 대상물 중 하나인, 연마 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 연마 대상물의 연마면은 곡면 형상을 이루고,
상기 연마 대상물을 상기 연마 패드에 가압하여, 곡면 형상의 연마면에 추종한 형상으로 상기 연마 패드를 변형시키면서, 상기 연마 대상물의 연마면은 연마되는, 연마 방법.
제4항에 있어서,
상기 보유 지지구와 상기 연마 대상물 사이에 스페이서를 배치하여, 상기 연마 대상물의 연마면을 상기 연마 패드를 향해서 돌출시킨 상태에서 상기 연마 공정이 행해지는, 연마 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 연마 대상물의 연마면은 복수의 면으로 이루어지고,
상기 연마 대상물을 상기 연마 패드에 가압하여, 상기 복수의 면으로 이루어지는 연마면에 추종한 형상으로 상기 연마 패드를 변형시키면서, 상기 연마 대상물의 연마면은 연마되는, 연마 방법.
제6항에 있어서,
상기 보유 지지구와 상기 연마 대상물 사이에 스페이서를 배치하여, 상기 연마 대상물의 연마면을 상기 연마 패드를 향해서 돌출시킨 상태에서 상기 연마 공정은 행해지는, 연마 방법.
보유 지지구에 보유 지지된 연마 대상물의 연마면을 연마 패드에 가압해서 접촉시킨 상태에서, 연마 패드 위에 연마용 조성물을 공급하면서, 상기 보유 지지구와 상기 연마 패드를 상대 회전시킴으로써 상기 연마 대상물의 연마면을 연마하는 연마 방법에 사용되는 보유 지지구이며,
상기 연마 대상물을 보유 지지하는 연마 헤드와,
상기 연마 헤드에 보유 지지된 상기 연마 대상물을, 상기 연마 대상물의 연마면이 상기 연마 패드에 대향한 상태를 유지한 채로 회전시켜서, 상기 연마 대상물의 방향을 바꾸는 회전 기구
를 구비하는 것을 특징으로 하는, 보유 지지구.
제8항에 있어서,
상기 회전 기구는, 상기 연마 대상물이 고정되는 회전대를 구비하는, 보유 지지구.
제9항에 있어서,
상기 회전대와 상기 연마 대상물 사이에 배치되어, 상기 연마 대상물의 연마면을 상기 연마 패드를 향해서 돌출시키는 스페이서를 더 구비하는, 보유 지지구.
제9항 또는 제10항에 있어서,
상기 회전대는, 상기 연마 헤드로부터 상기 연마 패드를 향해서 돌출되도록 설치되어 있는, 보유 지지구.
제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 연마 헤드는, 복수의 연마 대상물을 유지 가능하게 구성되어 있는, 보유 지지구.