KR20150048153A - 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 접촉 인터페이스에 적용되는 유체동압 베어링 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 접촉 인터페이스에 적용되는 유체동압 베어링에 관한 것이다. 상기 유체동압 베어링은 블록(1)의 상부면(11)과 궤도 나선형부의 하부면 사이의 접촉 인터페이스에 위치되고, 영역(3)들 사이에 이격된 적어도 2개의 영역(2)들을 포함한다. 영역(2)들은 복수 개의 마이크로 캐비티(21)들을 포함하는 표면을 갖고 영역(3)들은 실질적으로 매끈한 표면을 갖는다.

Description

나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 접촉 인터페이스에 적용되는 유체동압 베어링{HYDRODYNAMIC BEARING APPLIED ON A CONTACT INTERFACE OF A FLUID COMPRESSOR BASED ON A SPIRAL TYPE MECHANISM}
본 발명은 나선형 메커니즘(spiral type mechanism) 기반의 유체 컴프레서의 접촉 인터페이스(contact interface)에 적용되는 유체동압 베어링(hydrodynamic bearing)에 관한 것이고, 더욱 상세하게는, 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 비궤도 나선형부(non-orbiting whorl)와 블록 사이의 접촉 인터페이스에 적용되는 특별하게 텍스처화된(texturized)(부분 텍스처화(partial texturization)) 스러스트 베어링(thrust bearing)에 관한 것이다.
개시된 유체동압 베어링의 상기 부분 텍스처화는 특히 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 다른 요소들의 마모로부터 생성된 가능한 연마 입자들의 침전물 및 윤활 유체의 저장소로서 작용할 수 있다.
스크롤 컴프레서(scroll compress), 또는 나선형 메커니즘(spiral type mechanism) 기반의 유체 컴프레서는 메커니즘이 초기에 1905년에 공개되고, 더욱 상세하게는, 특허 문헌 US 801182에 공개된 개념적 기술을 기반으로 하는, 유체 압축 장치를 포함한다는 것이 기술분야에 정통한 전문가에게 꽤 알려진다.
이런 문헌에 따라, 나선형 메커니즘은 결합을 통해 함께 반대로 결합되는 (여기서 하나의 원형 플레이트의 기본적인 나선형 윤곽의 하나의 수직벽의 꼭대기가 상호 간에 해당되는, 다른 하나의 원형 플레이트의 베이스로 전환된다) 2개의 유사한 구조물들(기본적인 나선형 윤곽을 갖는 수직벽을 갖는 원형 플레이트들)을 포함한다. 더욱이, 이런 구조물들의 하나는 또한 전기 모터에 부착된다.
전기 모터에 부착된 구조물은 궤도 나선형부(orbiting whorl)로 명명되고 다른 구조물은 고정 나선형부(fixed whorl)로 명명된다.
문헌 US 801182에 서술된 기본적인 원리에 따라, 고정 나선형부와 궤도 나선형부 사이에 이용되는 결합 수단은 전기 모터의 샤프트의 회전 운동으로부터 궤도 운동을 갖는 궤도 나선형부를 제공할 수 있는 요소를 포함한다. 따라서, 이런 개념에 따라, 고정 나선형부에 대한, 궤도 나선형부의 궤도 운동은 궤도 나선형부의 나선형 수직벽이, 연속적으로 점차적으로, 궤도 나선형부의 측면과 고정 나선형부의 측면 사이의 접촉점들을 변경하는 것을 허용하는 것을 야기한다. 나선형 수직벽들의 이런 접촉점들 사이의 이런 연속적이고 점차적인 변경은 연속적으로 감소하는 챔버들을 생성한다. 이런 실제 챔버들이 다양한 유체들로 충진될 수 있기 때문에, 이런 다양한 유체들의 압축의 가능성은 발생할 수 있다.
일반적으로, 나선형 메커니즘 및 전기 모터는 (일반적으로 밀폐형인) 동일한 하우징의 내부에 부착되고, 이에 따라, 컴프레서 블록으로서 알려진, 강성 구조물을 통해, 나란히, 나선형 메커니즘 및 전기 모터를 고정시키는 것이 일반적이다.
따라서, 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서들의 종래의 구체예들은 고정부들과 이동부들 사이의 다중 접촉 인터페이스(contact interface)들을 설정한다. 이런 접촉 인터페이스들 중에서, 블록의 배관과 모터의 샤프트 사이의 접촉 인터페이스, 궤도 및 고정 나선형부들의 꼭대기와 베이스 사이의 접촉 인터페이스, 및 블록의 상부면과 궤도 나선형부의 하부면 사이의 접촉 인터페이스가 강조된다.
일반적으로, 최신 기술의 전통적인 교시에 따라, 이런 접촉 인터페이스들은 유체동압 베어링(hydrodynamic bearing)을 이용하고, 즉, 윤활 유체의 "챔버들"이 접촉 인터페이스들 사이에 이용된다. 이런 유체동압 베어링은 접촉 및 이에 따른, 상기에 언급된 접촉 인터페이스들을 한정하는 요소들 사이의 소모를 감소시키는 주된 목적을 갖는다.
현재 최신 기술은 이런 베어링들의 윤활 시스템 이외에, 유체동압 베어링에 적용되는 개념 및 최적화를 서술하는 무한 개수의 특허 문헌들을 포함한다.
유체 컴프레서, 특히 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 구체예들에 대하여, 모든 베어링들의 윤활의 원인이 되는 윤활 유체가 컴프레서의 밀폐형 하우징의 내부에 저장된다는 것을 주목하는 것이 일반적이다. 이는 컴프레서가 시동될 때 일단 전기 모터의 샤프트를 통해 상기 베어링들에 유도되고, 그 후에 중력의 작용으로 인해 밀폐형 하우징의 "바닥"으로 되돌아간다.
이런 점에서, 이런 구체예들에서 하부 베어링은 상부 베어링 이전에 윤활된다는 것이 보인다. 이는 유체동압 베어링을 이용하는 접촉 인터페이스들의 일부가 수 초 이후에 직접 접촉하기 시작하는, 컴프레서의 시동에 대하여 늦다는 것을 의미한다.
이런 컴프레서들의 유효 수명 동안에, 특정한 접촉 인터페이스들은 다른 접촉 인터페이스들보다 더 마모되는 경향이 있다는 것이 보인다. 예를 들어, 궤도 나선형부의 하부면과 블록의 상부면 사이의 접촉 인터페이스가 모터의 샤프트와 블록의 배관 사이의 접촉 인터페이스보다 빠르게 마모되는 경향이 있다는 주목된다. 후자는 전자가 유체동압 베어링을 이용하는 시간 간격(time interval)보다 짧은 시간 간격을 갖는 유체동압 베어링을 이용한다.
이런 양상은 중요한 부정적인 양상의 특징이 된다. 설정된 유효 수명은 동일한 컴프레서의 접촉 인터페이스들에 대하여 상이하다. 따라서, 부품들의 일부가 여전히 보호될 때 동일한 컴프레서는 교체될 수 있다(또는 유지보수될 수 있다). 대안적으로, 동일한 컴프레서는 연속적으로 손상된 부품들의 일부와 함께 사용될 수 있다.
하지만, 또한 현재 최신 기술은 특히 상기에 언급된 부정적인 특징들을 해결하도록 설계된 구체예들을 제공한다.
이런 구체예들의 실시예는 문헌 US 7329109 및 JP 2002213374에 발견될 수 있다.
문헌 US 7329109는 궤도 및 고정 나선형부들의 꼭대기와 베이스 사이의 접촉 인터페이스가 이런 부품들 중 적어도 하나에 형성된 적어도 하나의 오일 보유 리세스(retention recess of oil)를 제공하는 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서를 서술한다. 상기 오일 보유 리세스는 컴프레서가 시동될 때 동시에 이런 부품들 사이에 유체동압 베어링을 제공할 수 있는 오일의 품질을 보호하는 방식으로 구성된다. 더욱이, 유체동압 "챔버"는 또한 나선형부들 사이의 밀봉부로써 작용한다.
문헌 JP 2002213374는 나선형부의 상부면이 궤도 및 고정 나선형부들의 꼭대기와 베이스 사이의 접촉 인터페이스의 유체동압 베어링을 최적화하는 복수 개의 오목부들을 제공하는 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서를 서술한다. 인지할 수 있게, 이런 구체예들의 목적은 문헌 US 7329109에 서술된 구체예의 목적과 유사하다.
상기에 인용된 부정적인 특징들을, 해결하거나, 또는 적어도 경감시키려고 시도하는, 현재 최신 기술에 속하는, 구체예들의 추가적인 실시예들이 존재한다. 논의가 되고 있는 특별히 흥미있는 발명은 문헌 US 6537045 및 US 7422423에 서술된 구체예들이다.
문헌 US 6537045는 궤도 나선형부의 하부면과 블록의 상부면 사이의 접촉 인터페이스가 마이크로미터 깊이(30㎛ 내지 150㎛)의 다중 리세스들을 제공하는 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서를 서술한다. 이는 특히 상기 접촉 인터페이스의 유체동압 베어링의 최적화를 위하여 설계된다. 이런 리세스들은 또한 윤활 유체의 예비 저장소로서 작용하는 목적을 갖고 아마 컴프레서가 시동될 때 동시에 이런 부품들 사이의 유체동압 베어링을 촉진할 수 있는 품질을 보호할 수 있다.
어떠한 경우에, 문헌 US 6537045에 서술된 다중 리세스들의 깊이는 너무 크다. 필요한 압력장(field of pressure)의 생성이 하중을 위한 지지를 제공하는 것을 허용하지 않는다. 이는 스크롤형 컴프레서들(ISO 10 내지 ISO 68)을 위한 특별한 점도를 갖는 유막(film of oil)에서, (유체동압 세팅에서) 유막의 "높이"가 리세스의 최대 높이만큼 기본적으로 한정되기 때문이다. 이런 깊이가 클 때, 유막의 "높이"는 윤활의 전형적 이론의 기본적 수칙을 통해 확인됨에 따라, 기본적으로 영인 "지지 압력"을 생성한다.
문헌 US 7422423은 냉각 시스템에 이용되는 교호형 컴프레서를 서술한다. 상기 컴프레서는 컴프레서의 이동부들 사이에 존재하는 복수 개의 "접촉부"들을 제공한다. 특히, "접촉부"들은 그 안에 보유된 오일의 와류 유동을 야기하도록 구성된, 구형 형상의 리세스들이다. 또한 상기 구형 리세스들이 기계가공에 의한 그라인딩을 통해 형상화된다는 것이 주목된다. 더욱이, 문헌 US 7422423에 서술된 교시는 회전 또는 교호 운동이 존재하는 유체동압 베어링에 적용될 때 특히 효율적이다. 하지만, 특히 궤도 운동이 존재하는 유체동압 베어링에 전용인 구체예들이 생성되지 않는다.
상기에 설명된 정황을 기초하여, 특히 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 일부를 형성하는 요소들 사이에서 궤도 운동이 특히 존재하는, 접촉 인터페이스의 유체동압 베어링을 최적화할 수 있는 해결안의 개발을 위한 필요성이 존재한다는 것이 분명하다.
따라서, 궤도 나선형부(orbiting whorl)의 하부면과 블록의 상부면 사이의 접촉 인터페이스(contact interface)의 유체동압 베어링(hydrodynamic bearing)을 최적화할 수 있는 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 접촉 인터페이스에 적용되는 유체동압 베어링을 생산하는 것이 본 발명의 목적들 중 하나이다.
또한 부분적으로 텍스처화된(texturized) 마이크로 캐비티(micro-cavity)들의 결합 효과에 대한, 동등한 "레일리 스텝(rayleigh step)"으로서 알려진 효과를 생성할 수 있는 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 접촉 인터페이스에 적용되는 유체동압 베어링을 개시하는 것이 본 발명의 목적들 중 하나이다.
또한 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 접촉 인터페이스에 적용되는 유체동압 베어링이 또한 전체 수명 동안에 컴프레서의 내부 부품들의 마모로부터 생성된 연마 입자들에 대한 침전물을 형성할 수 있고 연결된 표면들 사이의 접촉으로부터 침전물을 제거할 수 있음으로써, 관련된 마모를 덜 촉진할 수 있어야만 한다는 것이 본 발명의 목적들 중 하나이다.
개시된 발명의 이런저런 목적들은 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 접촉 인터페이스에 적용되는 유체동압 베어링에 의해 전적으로 획득된다.
본 발명의 원리 및 목적에 따라, 컴프레서는 적어도 하나의 밀폐형 하우징, 적어도 하나의 전기 모터, 적어도 하나의 블록, 적어도 하나의 궤도 나선형부(orbiting whorl) 및 적어도 하나의 비궤도 나선형부(non-orbiting whorl)로 이루어진 적어도 하나의 나선형 메커니즘을 포함한다.
또한, 본 발명의 원리 및 목적에 따라, 블록의 상부면과 궤도 나선형부의 하부면 사이의 접촉 인터페이스에 위치된, 유체동압 베어링은 실질적으로 매끈한 표면들을 갖는 영역들만큼 이격된 복수 개의 마이크로 캐비티들을 포함하는 표면들을 갖는 적어도 2개의 영역들을 포함한다.
논의가 되고 있는 본 발명의 가능한 구체예들 중에서, 상기 언급된 영역들은 블록의 상부면 또는 궤도 나선형부의 하부면 상에 한정될 수 있다는 것이 강조된다. 또한 영역들은 블록의 상부면 및 궤도 나선형부의 하부면 상에 동시에 한정될 수 있다.
이런 점에서, 마이크로 캐비티들을 갖는 영역들의 총합은 위치되는 면적의 30% 내지 80%에 상응한다는 것이 분명하다. 또한 상기 마이크로 캐비티들은 연마 입자들의 침전물을 포함한다.
마이크로 캐비티들은 원래 사양을 갖는다는 것이 강조된다. 이런 점에서, 각각의 마이크로 캐비티는 1 ㎛ 내지 30 ㎛의 깊이, 5 ㎛ 내지 100 ㎛의 표면적, 및 0.01 ㎛ 내지 30 ㎛의 가장자리 반경(border radius)을 갖는다. 더욱이, 바람직하게는, 마이크로 캐비티(31)들은 1 ㎛ 내지 100 ㎛의 거리만큼 이격된다.
또한 상기 마이크로 캐비티는 원형, 타원형 또는 심지어 직사각형 프로파일을 갖는 표면적을 포함하는 것이 보인다. 이런 후자의 경우에, 직사각형 프로파일을 갖는 표면적을 갖는 각각의 마이크로 캐비티는 마이크로 채널(micro channel)들을 포함한다.
임의로, 또한 적어도 하나의 방사방향 채널은 실질적으로 매끈한 표면 영역들 중 적어도 하나에 위치되는 것이 언급된다.
논의가 되고 있는 본 발명은 하기에 나열된 도면들을 기초하여 상세하게 서술될 것이다:
도 1은 사시도로, 본 발명의 바람직한 구체예에 따른, 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서 블록을 도시한다.
도 2는 도 1로부터 취해진 확대된 세부사항을 도시한다.
기술분야에서 전문가에 의해 충분히 연구된 물리적 개념 및 특히 윤활의 전형적인 이론에 따라, 개념 "레일리 스텝(Rayleigh step)"은 2개의 이동체들 사이에 위치된 윤활 유체에서, 지지압, 또는 동수압(hydrodynamic pressure)의 생성에 관한 것이다는 것이 알려진다. 이런 점에서, 상대적인 운동으로 2개의 표면들 사이에서 물리적 스텝이 존재하고 적정 점도를 갖는 유체에 의해 분리될 때, "최대치"는 윤활의 효율에 현저하게 기여하는, 동수압의 구배에서 발생한다.
문헌 US 6537045 및 US 7422423에서 예시된 베어링에 한정된 "텍스처화(texturization)"(리세스(recess)들의 결합)는 이런 효과를 획득하지 않는다는 것이 보인다. 리세스들 사이의 단순 공간은 실제 물리적 스텝을 구성할 수 없다.
이런 점에서 본 발명이 강조된다. 이는 (나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 접촉 인터페이스(contact interface)에 적용되는) 특별하게 텍스처화된(texturized) 유체동압 베어링을 개시한다. 이런 특별한 텍스처화는, 일반적인 용어로, 부분 텍스처화로부터 존재한다.
상기 부분 텍스처화는, 본 발명의 개념 및 목적에 따라, 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 비궤도 나선형부(non-orbiting whorl)와 블록(block) 사이의 접촉 인터페이스에 적용된다.
이제까지 현재 최신기술에서 존재하지 않는, 이런 적절한 해결안은, 이어서 텍스처화된 영역으로부터 텍스처화되지 않는 영역으로 전이를 통해 형상화되고, 여기서 깊이에 있어 차이로 인해, 유체압력에 있어 "최대치"를 생성하는 물리적 스텝을 형성한다.
논의가 되고 있는 본 발명의 기본적인 개념에 따라, 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 비궤도 나선형부와 블록 사이의 접촉 인터페이스의 면들 중 하나만이 부분적으로 텍스처화되는 것을 요구한다. 하지만, 모든 면들(블록 및 비궤도 나선형부)은 유체 압력에 있어 상기 "최대치"의 생성 효율을 변경하는 것이 없이 부분적으로 텍스처화될 수 있다.
이런 점에서, 도 1과 도 2는 논의가 되고 있는 본 발명의 바람직한 구체예를 도시한다.
따라서, 본 발명의 바람직한 구체예에 따라, 구성요소의 면들 중 하나가 부분적으로 텍스처화되는 (나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 접촉 인터페이스에 적용되는) 유체동압 베어링이 개시된다.
이는 유체 컴프레서의 블록(1)이 상부면(11) 상에서, 6개의 텍스처화된 영역(2)들 및 실질적으로 매끈한 표면을 갖는 6개의 영역(3)들을 제공한다는 것을 의미한다. 하지만, 이런 구성/구체예는 단지 예시적인 특징이다는 것이 강조된다. 사실은, 논의가 되고 있는 본 발명의 기본적인 개념에 따라, 영역(2)들의 총합은 위치되는 면적의 30% 내지 80%에 상응한다는 것이 보인다.
영역(2)들의 각각은 표면 상에서 복수 개의 마이크로 캐비티(micro-cavity)(21)들의 존재에 의해 한정된 텍스처화를 제공한다.
바람직하게는, 각각의 마이크로 캐비티(21)는 유체 컴프레서의 베어링의 윤활에 일반적으로 이용되는 윤활유로부터 윤활막의 생성 및 유지를 최적화할 수 있는 특정한 치수적 특성을 갖는다. 이는 상기 마이크로 캐비티(21)들이 윤활유의 저장 포켓의 형태로서 작용한다는 것을 의미한다.
더욱 상세하게는, 윤활막의 생성 및 유지를 지지하는 것 이외에, 본 발명에 개시된 바와 같이, 마이크로 캐비티(21)들의 치수적 특성은, 또한 유체 컴프레서의 일부를 형성하는 금속체들 사이의 직접 접촉으로부터 생성되는 연마 입자들의 침전물로서 작용한다는 것이 주목된다.
따라서, 각각의 마이크로 캐비티(21)는 1 ㎛ 내지 30 ㎛의 깊이, 5 ㎛ 내지 100 ㎛의 표면적, 및 0.01 ㎛ 내지 30 ㎛의 가장자리 반경(border radius)을 갖는다.
가장자리 반경은 압력장(field of pressure)에서 스텝을 결정한다는 것이 강조된다. 가장자리 반경이 커질수록, 상기 생산된 압력장에서 압력의 차이는 더 적어질 것이다.
더욱이, 또한 마이크로 캐비티(21)들은 1 ㎛ 내지 100 ㎛의 거리만큼 이격된다는 것이 입증된다. 이런 거리는 윤활막을 안정적으로 유지하는 것을 돕는다.
또한 본 발명의 바람직한 구체예에 따라, 마이크로 캐비티(21)들은 원형 프로파일을 갖는 표면적을 포함한다는 것이 보인다.
상기에 서술된 정황을 기초하여, 영역(3)들 사이에 삽입되는 방식으로, 영역(2)들은 표면들 사이에서 동등한 수렴 효과를 생성하는 집합 효과를 갖는, 각각의 마이크로 캐비티(21)의 개별 메커니즘을 통합한다는 것이 주목된다. 이런 효과는 윤활막의 하중의 용량의 상당한 증가에 대하여 동등하다. 표면들(2, 3)의 높이 사이의 실제 차이는 상당한 압력장을 생성한다.
이런 점에서, 또한 논의가 되고 있는 본 발명의 바람직한 구체예에 따라, 영역(2)들의 총합은 위치되는 면의 면적의 30% 내지 80%에 상응한다.
임의로, 비록 본 구체예가 도시되지 않더라도, 각각의 마이크로 캐비티(21)는 또한 타원형 프로파일을 갖는 표면적을 포함할 수 있다.
더욱이, 또한 임의로, 또한 각각의 마이크로 캐비티(21)는 또한 연마 입자들의 침전물로서 작용하는 것 이외에, 또한 윤활막의 생성 및 유지를 최적화할 수 있는, 마이크로 채널(micro channel)을 이루는, 직사각형 프로파일을 갖는 표면적을 포함할 수 있다.
마이크로 캐비티(21)들의 (비궤도 나선형부의 하부면 또는 컴프레서의 블록의 상부면 상에서) 위치 및 포맷에 관계없이, 마이크로 캐비티들은 몇몇의, 이미 알려진, 산업 공정들에 의해 획득될 수 있다는 것이 개시된다.
따라서, 상기 마이크로 캐비티(21)들은 바람직하게는 레이저를 이용한 그라인딩(grinding)을 통해 이루어진다. 이런 상황에서, 마이크로 캐비티(21)들은 거의 정확한 치수로 특별하게 안내되고 형상화될 수 있다.
임의로, 또한 마이크로 캐비티(21)들은 전해 기계가공을 이용한 그라인딩을 통하거나, 심지어 마스킹(masking) 없는 전기화학적 부식 및 금속 표면의 거칠기를 변경할 수 있는 다른 공정에 의해 획득될 수 있다.
본 발명의 목적의 구체예들의 실시예들이 서술되면서, 동일한 범주가 가능한 등가 수단을 포함하는, 청구항들의 내용에 의해서만 한정되지 않는, 다른 가능한 변형을 포함한다는 것이 이해되어야 한다.

Claims (11)

  1. 나선형 메커니즘 기반의 유체 컴프레서의 접촉 인터페이스에 적용되되, - 상기 컴프레서는 적어도 하나의 밀폐형 하우징, 적어도 하나의 전기 모터, 적어도 하나의 블록(1), 적어도 하나의 궤도 나선형부 및 적어도 하나의 비궤도 나선형부로 이루어진 적어도 하나의 나선형 메커니즘을 포함한다 - 블록(1)의 상부면(11)과 궤도 나선형부의 하부면 사이의 접촉 인터페이스에 위치되는 유체동압 베어링에 있어서,
    영역(3)들 사이에 이격된 적어도 2개의 영역(2)들을 포함하되,
    영역(2)들은 복수 개의 마이크로 캐비티(21)들을 포함하는 표면을 갖고,
    영역(3)들은 실질적으로 매끈한 표면을 가지며,
    각각의 마이크로 캐비티(21)는 1 ㎛ 내지 30 ㎛의 깊이를 갖고,
    각각의 마이크로 캐비티(21)는 5 ㎛ 내지 100 ㎛의 표면적을 가지며,
    각각의 마이크로 캐비티(21)는 0.01 ㎛ 내지 30 ㎛의 가장자리 반경을 갖고,
    마이크로 캐비티(21)들은 1 ㎛ 내지 100 ㎛의 거리만큼 이격되는 것을 특징으로 하는 유체동압 베어링.
  2. 제 1 항에 있어서,
    각각의 마이크로 캐비티(21)는 원형 프로파일을 갖는 표면적을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체동압 베어링.
  3. 제 1 항에 있어서,
    각각의 마이크로 캐비티(21)는 타원형 프로파일을 갖는 표면적을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체동압 베어링.
  4. 제 1 항에 있어서,
    각각의 마이크로 캐비티(21)는 직사각형 프로파일을 갖는 표면적을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체동압 베어링.
  5. 제 4 항에 있어서,
    직사각형 프로파일을 갖는 표면적을 갖는 각각의 마이크로 캐비티(21)는 마이크로 채널들을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체동압 베어링.
  6. 제 1 항에 있어서,
    영역(2)들 및 영역(3)들은 궤도 나선형부의 하부면 상에 한정되는 것을 특징으로 하는 유체동압 베어링.
  7. 제 1 항에 있어서,
    영역(2)들 및 영역(3)들은 블록(1)의 상부면(11) 상에 한정되는 것을 특징으로 하는 유체동압 베어링.
  8. 제 1 항에 있어서,
    영역(2)들 및 영역(3)들은 블록(1)의 상부면(11) 및 궤도 나선형부의 하부면 상에 동시에 한정되는 것을 특징으로 하는 유체동압 베어링.
  9. 제 1 항에 있어서,
    영역(2)들의 총합은 위치되는 면적의 30% 내지 80%에 상응하는 것을 특징으로 하는 유체동압 베어링.
  10. 제 1 항에 있어서,
    적어도 하나의 방사방향 채널(31)은 영역(3)들 중 적어도 하나에 위치되는 것을 특징으로 하는 유체동압 베어링.
  11. 제 1 항에 있어서,
    마이크로 캐비티(21)들은 연마 입자들의 침전물을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체동압 베어링.
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