KR20150046392A - 광파이버 부품의 연마량 측정 방법 및 장치 - Google Patents

광파이버 부품의 연마량 측정 방법 및 장치 Download PDF

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야스노리 센노
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Abstract

페룰의 연마량과는 무관계하게 연마중의 광파이버 부품의 연마량을 직접 리얼 타임으로 정밀도 좋고 용이하게 측정할 수 있도록 한다. 　광파이버 부품의 연마량을 연마를 행하면서 측정하는 방법으로서, 검사광을 광로 길이가 가변인 기준 광로와, 피측정 광파이버 부품과, 비교용 광로로 분기하고, 기준 광로와 피측정 광파이버 부품의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로 길이와, 기준 광로와 비교용 광로의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로 길이의 차(Lc)의 변화량에 의해 광파이버 부품의 연마량을 구한다.

Description

광파이버 부품의 연마량 측정 방법 및 장치{METHOD AND DEVICE FOR MEASURING POLISHING AMOUNT OF OPTICAL FIBER COMPONENT}
본 발명은 광파이버의 선단에 렌즈 파이버, 엔드캡 등을 융착한 것 등의 광파이버 부품의 연마량을 연마를 행하면서 측정할 수 있는 방법 및 장치로서, 특히 OCT(Optical Coherence Tomography)를 이용한 것에 관한 것이다.
광파이버 부품의 연마량의 측정에서 일반적인 것은 광파이버 부품의 선단부를 페룰(ferrule)에 삽입한 것을, 하기 특허문헌 1, 2에 나타내는 바와 같은 연마기로 연마하고, 측정한 페룰의 연마량을 광파이버 부품의 연마량이라고 추정하는 것이다.
도 7은 페룰(15)에 삽입한 광파이버 부품(1)을 연마하는 경우의 설명도이다. 광파이버 부품은 예를 들면 광파이버(10)의 선단에 엔드캡(13)을 용착한 것이다. 도 7의 좌측은 연마하기 전의 상태이며, 페룰의 선단과 광파이버 부품(1)의 선단(엔드캡(13)의 선단)이 일치하고 있다. 이것을 도 7의 우측에 나타내는 바와 같이 연마하면, 측정한 페룰의 연마량(g)이 광파이버 부품(1)의 연마량이 된다. 또한, 도면 중 부호 12는 광파이버(10)의 피복이다.
일본 공개특허공보 평11-84141호 일본 공개특허공보 2005-165016호
상기한 수법은 페룰(15)의 선단부와 광파이버 부품(1)의 선단부가 일치하고 있는 것이 조건이 된다. 일치하고 있지 않으면, 페룰(15)의 연마량과 광파이버 부품(1)의 연마량이 상이해지기 때문이다. 그래서, 광파이버 부품(1)을 페룰(15)에 삽입할 때에, 페룰(15)의 선단부와 광파이버 부품(1)의 선단부를, 오차가 예를 들면 0.5μm 미만이 되도록 일치시키는 것이지만, 이 작업에는 엄청난 시간과 노동력을 필요로 하고 있었다.
본 발명은 페룰의 연마량과는 무관계하게 연마중의 광파이버 부품의 길이의 변화(즉 연마량)를 직접 리얼 타임으로 정밀도 좋게 용이하게 측정할 수 있도록 하고, 광파이버 부품을 페룰에 삽입할 때에, 페룰(15)의 선단부와 광파이버 부품(1)의 선단부를 일치시키는 것을 불필요하게 하여, 작업 능률을 높이는 것을 과제로 하는 것이다.
도 1은 OCT를 이용하여 광파이버(10)의 길이(전체 길이)를 측정하는 경우의 설명도이다. 광파이버의 분기 수단인 파이버 커플러(3)의 일단측에 광파이버(20)를 통하여 광원(2)과 광파이버(60)를 통하여 수광 장치(6)가 접속되고, 타단측에 피측정(측정 대상) 광파이버(10)와 기준 광로(4)가 접속되어 있다.
기준 광로(4)는 광파이버(40)와 그 선단에 접속된 렌즈(41), 렌즈(41)에 대향하는 미러(42) 및 미러 이동 장치(43)를 가진다. 렌즈(41)는 광파이버(40)의 출사광을 대략 평행광으로 하기 위한 것이다. 미러 이동 장치(43)는 이것에 부착된 미러(42)를 이동시키고, 기준 광로(4)의 광로 길이를 변화시키는 광로 길이 변화 수단이다. 또한, 미러 이동 장치에 있어서의 미러의 위치 정보는 수광 장치(6)에 보내진다.
광원(2)으로부터 출사한 광은 파이버 커플러(3)로 분기되고, 일방은 피측정 광파이버(10)에 진입하고, 타방은 기준 광로(4)에 진입한다. 피측정 광파이버(10)에 진입한 광은 그 선단면에서 반사하고, 그 복귀광은 파이버 커플러(3), 광파이버(60)를 거쳐 수광 장치(6)에 이른다. 기준 광로(4)에 진입한 광은 광파이버(40)를 거쳐 선단의 렌즈(41)로부터 대략 평행광이 되어 출사하고, 미러(42)에서 반사하고, 그 복귀광은 렌즈(41), 광파이버(40), 파이버 커플러(3), 광파이버(60)를 거쳐 수광 장치(6)에 이른다.
수광 장치(6)는 피측정 광파이버(10)의 복귀광과 기준 광로(4)의 복귀광을 수광하고, 쌍방의 복귀광이 간섭했을 때(광의 강도가 피크가 되었을 때)의 미러(42)의 위치에 의해 광파이버(10)의 길이를 검출한다. 쌍방의 복귀광이 간섭했을 때, 광파이버(10)와 기준 광로(4)의 길이는 동일하므로, 광파이버(40) 및 렌즈(41)의 길이를 미리 측정해두면, 간섭시의 미러(42)의 위치 정보를 취득함으로써 광파이버(10)의 길이를 측정할 수 있다.
실제로 도 1의 방법에 의해, 동일한 광파이버의 길이(전체 길이)를 다수회 반복하여 측정했더니, 그 측정값은 약15μm의 폭에서 불균일이 있었다. 그 원인은 기준 광로(4)에 있어서 렌즈(41)를 고정하고 있는 부재 및 미러 이동 장치(43)에는 많은 금속 부품이 사용되고 있어, 실온 그 밖의 온도 변화에 의해 이들 금속 부품이 팽창 또는 수축하고, 기준 광로 길이가 변화하기 때문이라고 추측할 수 있다.
만일 온도 변화가 전혀 없는 경우는, 연마되고 있는 광파이버의 전체 길이의 변화를 측정하면, 연마량을 리얼 타임으로 알 수 있는 것이지만, 이러한 상태를 만들어 내기 위해서는 항온실에서의 연마, 또한 미러 이동 장치에서의 온도 제어(펠티에 소자를 사용한 제어 등)가 필요하게 되어, 실용적인 방법으로 광파이버 부품의 연마량을 측정할 수 있다고는 말하기 어렵다.
도 2는 OCT를 이용한 광파이버 부품(1)의 선단부 길이 측정 방법의 설명도이며, 도 1의 피측정 광파이버(10) 대신에, 피측정 광파이버 부품(1)이 부착되어 있고, 그 밖에는 도 1과 완전히 동일하다. 이 경우, 광파이버 부품(1)은 도 5(A)에 나타내는 바와 같은 광파이버(10)에 선단부로서 엔드캡(13)을 접속한 것이다. 이 경우, 특별히 광파이버(10)와 엔드캡(13)의 경계면에서도 광이 반사하도록 광파이버 부품이 작성되어 있다. 또한, 도 5에 있어서 부호 11은 광파이버의 코어이다.
파이버 커플러(3)로 분기되고, 피측정 광파이버 부품(1)에 진입한 광의 일부는 광파이버(10)와 엔드캡(13)의 경계면에서 반사하고, 그 복귀광은 파이버 커플러(3), 광파이버(60)를 거쳐 수광 장치(6)에 이른다. 이 복귀광과 기준 광로의 복귀광에 기초하여, 도 1의 방법으로 광파이버(10)의 길이(경계면까지의 길이)(La)를 측정할 수 있다.
또, 파이버 커플러(3)로 분기되고, 피측정 광파이버 부품(1)에 진입한 광의 일부는 광파이버(10)와 엔드캡(13)의 경계면을 투과하고, 엔드캡(13)의 선단면에서 반사하고, 그 복귀광은 광파이버(10), 파이버 커플러(3), 광파이버(60)를 거쳐 수광 장치(6)에 이른다. 이 복귀광과 기준 광로의 복귀광에 기초하여, 도 1의 방법으로 광파이버 부품(1)의 전체 길이(광파이버(10)와 엔드캡(13)의 합계 길이)(Lb)를 측정할 수 있다.
따라서, 광파이버 부품(1)의 전체 길이(Lb)로부터 광파이버(10)의 길이(La)를 뺀 길이(Lc(=Lb-La))가 엔드캡(13)의 길이가 된다.
La 및 Lb는 도 1의 경우와 마찬가지로, 온도 변화에 의해 약15μm의 폭에서 불균일을 발생시키지만, 온도 변화에 의한 측정 오차의 영향은 La와 Lb에 있어서 동일하기 때문에, 엔드캡(13)의 길이(Lc(=Lb-La))는 온도 변화에 의한 오차가 상쇄되어 정확한 값이 된다.
실제로 도 2의 방법에 의해 광파이버 부품(1)의 엔드캡(13)의 길이(Lc)를 다수회 반복하여 측정했더니, 그 측정값은 ±0.5μm 미만의 범위가 되었다.
또한, Lc는 기준 광로(4)와 엔드캡(13) 선단면 반사의 복귀광이 간섭했을 때의 미러 위치와, 기준 광로(4)와 경계면 반사 복귀광이 간섭했을 때의 미러 위치의 차(기준 광로 길이의 차)이므로, 반드시 La와 Lb를 측정할 필요는 없고, 상기한 미러 위치의 차(기준 광로 길이의 차)에 의해 Lc를 구할 수 있다.
광파이버 부품(1)의 연마를 행하면서, 엔드캡(13)의 길이(Lc)를 측정하면, Lc의 감소량이 즉 연마량이 된다.
도 2에서는 특별히 광파이버(10)와 엔드캡(13)의 경계면에서도 광이 반사하도록 광파이버 부품(1)을 작성했다. 그러나, 실제의 광파이버 부품은 광파이버와 엔드캡의 경계면에서 손실이 발생하지 않는 것이 요구되고 있고, 광파이버와 엔드캡은 용착에 의해 양호하게 접속되고, 경계면에 있어서 광은 거의 반사하지 않는 경우는, 도 2의 방법으로 엔드캡의 길이(Lc)를 구할 수는 없다.
〔청구항 1〕
본 발명은 광파이버 부품의 연마량을 연마를 행하면서 측정하는 방법으로서, 검사광을 광로 길이가 가변인 기준 광로와, 피측정 광파이버 부품과, 비교용 광로로 분기하고, 상기 기준 광로와 피측정 광파이버 부품의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로 길이와, 상기 기준 광로와 비교용 광로의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로 길이의 차(Lc)의 변화량에 의해 광파이버 부품의 연마량을 구하는 것을 특징으로 하는 광파이버 부품의 연마량 측정 방법이다.
본 발명에 있어서는, 도 2의 경계면으로부터의 복귀광 대신에, 비교용 광로의 복귀광을 사용하고, 기준 광로(4)와 엔드캡(13) 선단면 반사의 복귀광이 간섭했을 때의 미러 위치와, 기준 광로(4)와 비교용 광로의 복귀광이 간섭했을 때의 미러 위치의 차(기준 광로 길이의 차)(Lc)에 의해, 광파이버 부품과 비교용 광로의 길이의 차(Lc)를 고정밀도로 측정할 수 있다.
광파이버 부품을 연마하면서 Lc를 측정하면, 비교용 광로의 길이는 일정하므로, Lc의 감소량이 즉 광파이버 부품의 연마량이 된다.
〔청구항 2〕
또 본 발명은 상기 광파이버 부품이 광파이버의 선단에 엔드캡을 용착한 것인 청구항 1에 기재된 광파이버 부품의 연마량 측정 방법이다.
본 발명에 있어서, 측정 대상이 되는 광파이버 부품은 광파이버의 선단에 엔드캡을 용착한 것으로 할 수 있다.
광파이버는 단일 모드 광파이버, 멀티 모드 광파이버, 편파 유지 광파이버(PMF) 등 각종 광파이버에 적용된다. 엔드캡은 코어가 없는 실리카 글래스 파이버이다. 도 5(A)는 이러한 광파이버 부품의 일례로, 단일 모드 광파이버(SMF)(10)의 선단에 원기둥 형상의 엔드캡(13)을 융착한 것이다.
〔청구항 3〕
또 본 발명은 상기 광파이버 부품이 광파이버의 선단에 렌즈 파이버를 용착한 것인 청구항 1에 기재된 광파이버 부품의 연마량 측정 방법이다.
본 발명에 있어서, 측정 대상이 되는 광파이버 부품은 광파이버의 선단에 렌즈 파이버를 용착한 것으로 할 수 있다.
광파이버는 단일 모드 광파이버, 멀티 모드 광파이버, 편파 유지 광파이버(PMF) 등 각종 광파이버에 적용된다. 렌즈 파이버는 예를 들면 원기둥 형상의 분포 굴절률 렌즈인 GRIN 렌즈(Graded Index Lens)이다. 도 5(B)는 이러한 광파이버 부품의 일례이며, 단일 모드 광파이버(SMF)(10)의 선단에 원기둥 형상의 렌즈 파이버(14)(GRIN 렌즈)를 융착한 것이다.
〔청구항 4〕
또 본 발명은 검사광을 광로 길이가 가변인 기준 광로와, 복수의 피측정 광파이버 부품과, 비교용 광로로 분기하고, 각각의 피측정 광파이버 부품에 대해서, 상기 Lc의 변화량에 의해 연마량을 구하는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 광파이버 부품의 연마량 측정 방법이다.
본 발명에 있어서, 복수개의 광파이버 부품을 동시에 연마하면서, 각 광파이버 부품에 대해서 연마량을 측정할 수 있다.
〔청구항 5〕
또 본 발명은 검사광의 광원과,
검사광을 광로 길이가 가변인 기준 광로와, 피측정 광파이버 부품과, 비교용 광로로 분기하는 분기 수단과,
상기 기준 광로, 피측정 광파이버 부품 및 비교용 광로의 복귀광을 수광하는 수광 장치를 구비하고,
이 수광 장치가 상기 기준 광로와 피측정 광파이버 부품의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로 길이와, 상기 기준 광로와 비교용 광로의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로 길이의 차(Lc)의 변화량에 의해 광파이버 부품의 연마량을 구하는 것을 특징으로 하는 광파이버 부품의 연마량 측정 장치이다.
〔청구항 6〕
또 본 발명은 상기 광파이버 부품이 광파이버의 선단에 엔드캡을 용착한 것인 청구항 5에 기재된 광파이버 부품의 연마량 측정 장치이다.
〔청구항 7〕
또 본 발명은 상기 광파이버 부품이 광파이버의 선단에 렌즈 파이버를 용착한 것인 청구항 5에 기재된 광파이버 부품의 연마량 측정 장치이다.
〔청구항 8〕
또 본 발명은 상기 분기 수단이 검사광을 광로 길이가 가변인 기준 광로와, 복수의 피측정 광파이버 부품과, 비교용 광로로 분기하는 것이며,
상기 수광 장치가 각각의 피측정 광파이버 부품에 대해서, 상기 Lc의 변화량에 의해 연마량을 구하는 것인 것을 특징으로 하는 청구항 5에 기재된 광파이버 부품의 연마량 측정 장치이다.
본 발명의 광파이버 부품의 연마량 측정 방법은 페룰의 연마량에 관계없이, 광파이버 부품의 연마량을 직접 고정밀도로 측정할 수 있으므로, 광파이버 부품을 페룰에 삽입할 때에, 페룰의 선단부와 광파이버 부품의 선단부를 일치시킬 필요가 없어, 작업 능률을 높일 수 있다.
본 발명의 광파이버 부품의 연마량 측정 장치에 의하면, 본 발명의 광파이버 부품의 연마 방법을 용이하게 실시할 수 있다.
도 1은 OCT를 이용한 광파이버 길이 측정 방법의 설명도이다.
도 2는 OCT를 이용한 광파이버 부품의 선단부 길이 측정 방법의 설명도이다.
도 3은 본 발명의 광파이버 부품 연마량 측정 방법 및 장치의 설명도이다.
도 4는 본 발명의 광파이버 부품 연마량 측정 방법 및 장치의 설명도이다.
도 5는 광파이버 부품의 예의 설명도이다.
도 6은 기준 광로의 광로 길이 변화 수단의 다른 예의 설명도이다.
도 7은 종래의 광파이버 부품 연마량 측정 방법의 설명도이다.
도 3은 본 발명의 광파이버 부품의 연마량 측정 방법 및 장치의 설명도이다.
이 장치는 검사광의 광원(2), 광로 길이가 가변인 기준 광로(4), 비교용 광로(5), 검사광의 분기 수단 및 측정 대상인 피측정 광파이버 부품(1)을 가진다.
파이버 커플러(3)의 일단측에 광파이버(20)를 통하여 광원(2)과, 광파이버(60)를 통하여 수광 장치(6)가 접속되고, 타단측에 광파이버(30)를 통하여 파이버 커플러(3a)와, 기준 광로(4)가 접속되어 있다. 파이버 커플러(3a)의 타단측에는 피측정(측정 대상) 광파이버 부품(1)과, 비교용 광로(5)가 접속되어 있다.
검사광의 광원으로서는 다양한 것을 사용 가능하지만, 예를 들면 1310nm의 SLD(Super Luminescent Diode) 광원을 사용할 수 있다.
분기 수단은 파이버 커플러(3) 및 이것과 광파이버(30)로 접속된 파이버 커플러(3a)이다.
기준 광로(4)는 광파이버(40), 그 선단에 설치된 렌즈(41) 및 광로 길이 변화 수단을 가진다. 광로 길이 변화 수단은 미러 이동 장치(43)에 부착되고, 렌즈(41)와 대향하는 미러(42)를 가지고, 이동 장치(43)에 의해 미러(42)를 렌즈(41)에 접근 또는 이격하는 방향으로 이동시킴으로써 기준 광로(4)의 길이가 변화한다. 측정중에는 미러(42)는 상시 이동하고 있다.
또한, 미러 이동 장치(43)에 있어서의 미러의 위치 정보는 수광 장치(6)에 보내진다.
비교용 광로(5)는 일정한 길이를 가지고, 복귀광을 발생시키는 것이면 어떠한 것이어도 되지만, 예를 들면 단일 모드 광파이버를 사용할 수 있다.
수광 장치(6)는 기준 광로(4), 피측정 광파이버 부품(1) 및 비교용 광로(5)의 복귀광의 수광 소자를 구비한다. 또, 기준 광로(4)와 피측정 광파이버 부품(1)의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로(4)의 길이와, 기준 광로(4)와 비교용 광로(5)의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로의 길이의 차(Lc)의 변화량, 즉 광파이버 부품(1)의 연마량을 구하는 처리 장치(마이크로 컴퓨터)를 구비한다. 또한, 기준 광로(4)의 길이는 미러 이동 장치(43)로부터 보내지는 미러 위치 정보에 의해 얻어진다.
광원(2)으로부터 출사한 광은 파이버 커플러(3)로 분기되고, 일방은 광파이버(30)를 거쳐 파이버 커플러(3a)를 통과하고, 여기서 분기되어 일방은 피측정 광파이버 부품(1)에 진입하고, 타방은 비교용 광로(5)(광파이버)에 진입한다. 피측정 광파이버 부품(1)에 진입한 광은 그 선단면에서 반사하고, 그 복귀광은 파이버 커플러(3a), 광파이버(30), 파이버 커플러(3), 광파이버(60)를 거쳐 수광 장치(6)에 이른다. 비교용 광로(5)(광파이버)에 진입한 광은 비교용 광로(5)의 선단에서 반사하고, 그 복귀광은 파이버 커플러(3a), 광파이버(30), 파이버 커플러(3), 광파이버(60)를 거쳐 수광 장치(6)에 이른다.
파이버 커플러(3)로 분기되어 기준 광로(4)에 진입한 광은 광파이버(40)를 거쳐 선단의 렌즈(41)로부터 대략 평행광이 되어 출사하고, 미러(42)에서 반사하고, 그 복귀광은 렌즈(41), 광파이버(40), 파이버 커플러(3), 광파이버(60)를 거쳐 수광 장치(6)에 이른다.
수광 장치(6)는 기준 광로(4)와 피측정 광파이버 부품(1)의 선단면 반사의 복귀광이 간섭했을 때의 미러(42) 위치와, 기준 광로(4)와 비교용 광로(5)의 복귀광이 간섭했을 때의 미러(42) 위치의 차(기준 광로(4)의 길이의 차)(Lc)를 구함으로써, 광파이버 부품(1)과 비교용 광로(5)의 길이의 차(Lc)를 고정밀도로 측정할 수 있다. 광파이버 부품(1)을 연마기(7)로 연마하면서 Lc를 측정하면, 비교용 광로의 길이는 일정하므로, Lc의 감소량이 즉 광파이버 부품(1)의 연마량이 된다.
도 4는 본 발명의 광파이버 부품의 연마량 측정 방법 및 장치의 설명도이다.
도 4는 도 3의 파이버 커플러(3a)를 채널 셀렉터(3b)로 바꾸고, 채널 셀렉터(3b)에는 복수의 피측정 광파이버 부품(1)과, 1개의 비교용 광로(5)를 접속하고 있다.
도 4에 있어서, 광원(2)으로부터 출사한 광은 파이버 커플러(3)로 분기되고, 일방은 광파이버(30)를 거쳐 채널 셀렉터(3b)를 통과하고, 여기서 분기되어 복수의 피측정 광파이버 부품(1)에 진입하고, 또, 1개의 비교용 광로(5)(광파이버)에 진입한다. 복수의 피측정 광파이버 부품(1)에 진입한 광은 각각 그 선단면에서 반사하고, 그 복귀광은 채널 셀렉터(3b), 광파이버(30), 파이버 커플러(3), 광파이버(60)를 거쳐 수광 장치(6)에 이른다. 비교용 광로(5)(광파이버)에 진입한 광은 비교용 광로(5)의 선단에서 반사하고, 그 복귀광은 채널 셀렉터(3b), 광파이버(30), 파이버 커플러(3), 광파이버(60)를 거쳐 수광 장치(6)에 이른다.
파이버 커플러(3)로 분기되어 기준 광로(4)에 진입한 광은 광파이버(40)를 거쳐 선단의 렌즈(41)로부터 대략 평행광이 되어 출사하고, 미러(42)에서 반사하고, 그 복귀광은 렌즈(41), 광파이버(40), 파이버 커플러(3), 광파이버(60)를 거쳐 수광 장치(6)에 이른다.
수광 장치(6)는 기준 광로(4)와 각각의 피측정 광파이버 부품(1)의 선단면 반사의 복귀광이 간섭했을 때의 미러(42) 위치와, 기준 광로(4)와 비교용 광로(5)의 복귀광이 간섭했을 때의 미러(42) 위치의 차(기준 광로(4)의 길이의 차)(Lc)에 의해, 각각의 광파이버 부품(1)과 비교용 광로(5)의 길이의 차(Lc)를 고정밀도로 측정할 수 있다. 복수의 광파이버 부품(1)을 연마기(7)로 연마하면서 각각의 광파이버 부품에 대해서 Lc를 측정하면, 비교용 광로의 길이는 일정하므로, 각각의 광파이버 부품에 있어서의 Lc의 감소량이 즉 그 광파이버 부품(1)의 연마량이 된다.
이와 같이, 도 4의 측정 방법 및 장치에 의하면, 복수의 광파이버 부품을 동시에 연마하는 경우, 각각의 광파이버 부품의 연마량을 리얼 타임으로 측정할 수 있다.
도 6은 기준 광로에 있어서의 광로 길이 변화 수단의 다른 예를 나타내고 있다.
도 6의 광로 길이 변화 수단은 미러(42)와 회전자(44)를 가진다. 회전자(44)는 직각의 각도차를 가지고 설치된 한 쌍의 미러(44a, 44b)를 가지고, 화살표로 나타내는 바와 같이 회전한다. 렌즈(41)로부터 출사한 광은 미러(44a, 44b)에서 반사하고, 또한 미러(42)에서 반사하여 복귀광이 되고, 미러(44b, 44a)에서 반사하여 렌즈(41)에 입사한다. 회전자(44)가 회전함으로써, 렌즈(41)로부터 미러(42)까지의 광로 길이가 변화하고, 기준 광로의 광로 길이가 변화한다.
(산업상 이용가능성)
본 발명에서 측정 가능한 광파이버 부품은 도 5에 나타내는 것에 한정되지 않고, 선단면에서 반사한 광이 복귀광이 되는 것이면 모두 포함된다. 선단에 아무 것도 접속되어 있지 않은 광파이버 단독이어도, 선단이 비스듬한 형상이나 PC(Physical Contact) 형상의 광파이버 단독, 혹은 엔드캡 또는 렌즈 제품이어도, 본 발명에 있어서의 광파이버 부품에 포함되고, 본 발명에 의해 연마량을 측정할 수 있다.
본 발명은 OCT 기술 중의 TD-OCT(타임 도메인 방식)를 채용했지만, 이 이점은 광통신 분야의 기술을 다용할 수 있는 것이며, 예를 들면 광원에 대해서는 1310nm의 SLD 광원을 사용할 수 있고, 저렴한 장치 구성을 실현할 수 있다. 단 이것에 한정되지 않고, 의료 등에서 활용되고 있는 SS-OCT(주파수 소인 방식)나 그 밖의 방식도 이용할 수 있다.
1…광파이버 부품
10…광파이버
11…코어
12…피복
13…엔드캡
14…렌즈 파이버
15…페룰
2…광원
3…파이버 커플러
3a…파이버 커플러
3b…채널 셀렉터
30…광파이버
4…기준 광로
40…광파이버
41…렌즈
42…미러
43…미러 이동 장치
44…회전자
44a…미러
44b…미러
5…비교용 광로
6…수광 장치
7…연마기

Claims (8)

  1. 광파이버 부품의 연마량을 연마를 행하면서 측정하는 방법으로서,
    검사광을 광로 길이가 가변인 기준 광로와, 피측정 광파이버 부품과, 비교용 광로로 분기하고, 상기 기준 광로와 피측정 광파이버 부품의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로 길이와, 상기 기준 광로와 비교용 광로의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로 길이의 차(Lc)의 변화량에 의해 광파이버 부품의 연마량을 구하는 것을 특징으로 하는 광파이버 부품의 연마량 측정 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 광파이버 부품이 광파이버의 선단에 엔드캡을 용착한 것인 것을 특징으로 하는 광파이버 부품의 연마량 측정 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 광파이버 부품이 광파이버의 선단에 렌즈 파이버를 용착한 것인 것을 특징으로 하는 광파이버 부품의 연마량 측정 방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 검사광을 광로 길이가 가변인 기준 광로와, 복수의 피측정 광파이버 부품과, 비교용 광로로 분기하고, 각각의 피측정 광파이버 부품에 대해서, 상기 Lc의 변화량에 의해 연마량을 구하는 것을 특징으로 하는 광파이버 부품의 연마량 측정 방법.
  5. 검사광의 광원과,
    검사광을 광로 길이가 가변인 기준 광로와, 피측정 광파이버 부품과, 비교용 광로로 분기하는 분기 수단과,
    상기 기준 광로, 피측정 광파이버 부품 및 비교용 광로의 복귀광을 수광하는 수광 장치를 구비하고,
    이 수광 장치가 상기 기준 광로와 피측정 광파이버 부품의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로 길이와, 상기 기준 광로와 비교용 광로의 복귀광이 간섭했을 때의 기준 광로 길이의 차(Lc)의 변화량에 의해 광파이버 부품의 연마량을 구하는 것을 특징으로 하는 광파이버 부품의 연마량 측정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 광파이버 부품이 광파이버의 선단에 엔드캡을 용착한 것인 것을 특징으로 하는 광파이버 부품의 연마량 측정 장치.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 광파이버 부품이 광파이버의 선단에 렌즈 파이버를 용착한 것인 것을 특징으로 하는 광파이버 부품의 연마량 측정 장치.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 분기 수단이 검사광을 광로 길이가 가변인 기준 광로와, 복수의 피측정 광파이버 부품과, 비교용 광로로 분기하는 것이며,
    상기 수광 장치가 각각의 피측정 광파이버 부품에 대해서, 상기 Lc의 변화량에 의해 연마량을 구하는 것인 것을 특징으로 하는 광파이버 부품의 연마량 측정 장치.
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