KR20150033613A - 위상 특성들을 일치하기 위한 지연을 이용하는 트랜스듀서 가속도 보상 - Google Patents

Abstract

위상 보상을 제공하기 위하여, 상기 트랜스듀서(10)의 신호를 유도하기 위하여, 지연(21, 48) 인가에 의한 주파수의 함수로써, 상기 트랜스듀서(10)의 상기 관성 오류를 위한 정정을 위한 방법 및 시스템.

Description

위상 특성들을 일치하기 위한 지연을 이용하는 트랜스듀서 가속도 보상 {TRANSDUCER ACCELERATION COMPENSATION USING A DELAY TO MATCH PHASE CHARACTERISTICS}

본 발명은 일반적으로 힘 또는 압력 트랜스듀서들과 같은 트랜스듀서에 대한 것이다. 보다 구체적으로, 상기 발명은 트랜스듀서들을 위한 가속도 보상을 향상시키는 것과 관련이 있다.

아래는 단지 일반적인 배경 정보를 위하여 제공되는 것이며, 본 발명의 청구된 범위를 결정하는 것을 목적으로써 사용되는 의도가 아니다.

가속도 보상은 힘 또는 압력 트랜스듀서들과 같은 트랜스듀서들에서 흔히 사용되는 기술이다. 이러한 트랜스듀서들이 가속되었을 때, 이러한 동작은 상기 측정에서 오류(관성 오류)를 야기할 수 있다. 상기 트랜스듀서는 센싱 요소 및 상기 센싱 요소에 부착되는 추가적인 질량(mass)을 포함한다. 이러한 추가적인 질량은 고정 질량이거나 상기 트랜스듀서의 상기 구조에 의한 질량일 수 있다. 추가적인 질량(시험 중인 상기 유닛의 일부가 아닌)은 상기 트랜스듀서의 상기 활동적인 쪽으로써 알려져있는 곳에 부착되고, 상기 질량이 가속될 때 상기 센싱 요소에 힘을 유도한다. 그러나, 이러한 관성 힘은 잘못된 것으로 고려된다. 상기 힘이 시험 중인 상기 유닛으로부터 상기 트랜스듀서에 인가된 상기 힘의 결과가 아니고, 대신, 상기 고정의 상기 질량 그리고/또는 상기 트랜스듀서 자체의 일부들을 가속하기 위하여 요구되는 상기 힘의 결과이기 때문이다.

전통적으로, 힘 또는 압력 동적 측량은 상기 트랜스듀서에 아주 근접하여 결합되거나 위치한 가속도계와 함께 관성적으로 유도되는 오류들을 위하여 정정되고, 이러한 상기 가속도계는 상기 트랜스듀서 오류가 존재하는 동작의 방향에서의 가속도를 감지한다. 상기 힘 오류가 상기 가속도에 비례하기 때문에, 측정된 가속도에 의해 곱해진 스칼라(scalar) 값은 상기 관성 오류를 위한 보상 신호를 생산한다. 상기 스칼라 값은 센싱 요소의 상기 활동적인 쪽의 상기 트랜스듀서의 상기 고정물 또는 일부들의 상기 질량을 나타낸다.

비록 상기 언급한 보상 기술이 보상기 정확도를 크게 향상시킬 수 있는 보상 신호를 제공하더라도, 몇몇 상황들에서는 보다 큰 정확도가 요구된다.

효과적인 질량 결합을 위한 주파수의 함수로써 트랜스듀서의 상기 관성 오류를 위한 정정을 위한 장치 및 방법이 제공된다.

이 요약은 간단화된 형태로 몇몇 컨셉을 소개하기 위하여 제공되고, 그것은 아래의 상세한 묘사에서 추가 묘사된다. 이 요약은 상기 청구된 주제의 중요한 특징들 또는 필수적인 특징들을 확인하는 것을 의도하지 않고, 상기 청구된 주제의 상기 범위를 결정하는 것의 목적으로써 사용되는 것을 의도하지도 않는다.

발병의 일 실시예로써, 시스템은 트랜스듀서 및 상기 트랜스듀서에 사용 가능하게 결합되는 센서를 포함하고, 상기 센서는 신호를 제공하고 그것은 가속도와 직접적으로 또는 간접적으로 관련이 있다.

여기 그리고 이 설명 및 도면들의 기간 중, 가속도와 직접적으로 또는 간접적으로 관련이 있는 신호를 제공하는 센서는 가장 순수한 의미에서 가속도계를 의미할 수 있고 또는 대안의 동작 센서(즉, 변위 트랜스듀서, 속도 센서)로, 계산 그리고/또는 조작을 통해 파생된 가속도로부터 대치될 수 있다.

계산은 상기 트랜스듀서 또는 상기 센서로부터 상기 출력 신호들에 기초한 적어도 하나의 신호를 받도록 구성된다. 상기 보상기는 지연의 인가에 의한 위상 보상이 제공된 상기 신호를 계산한다.

상기 발명의 다른 실시예에 있어서, 보상 정보 발생의 방법은 트랜스듀서 및 센서에 여기 동작을 인가하고 그들로부터 응답 신호들을 획득하는 것을 포함한다. 상기 보상 정보는 지연 모듈을 이용한 위상 보상을 제공하기 위해 구성되고, 상기 시간 기간은 상기 트랜스듀서의 동작의 위상 대 주파수에 기초한다. 특히, 여기서 묘사되는 기술은 효과적인 보상을 달성하기 위한 상기 힘과 가속도 신호들 사이의 위상 정정의 방법이다. 일 실시예에서, 모든 주파수들에 대하여 상기 위상 특성을 맞추기 위한 시도 보다는, 이러한 방법은 상기 시스템의 하부 역학 주파수들에서, 예를 들어 기계적 공진 모드들 또는 필터 주파수들에서 상기 위상 특성 근사화를 시도한다. 이러한 상기 시스템의 역학은 일반적으로 모드 주파수들로 나타날 수 있다. 많은 예에서, 이것은 폐루프 제어 및 데이터 수집의 상기 목적을 위한 효과적인 가속도 보상을 달성하기에 충분하다.

상기 제 1 모드 주파수 아래의 주파수들에서, 상기 힘 및 가속도 사이의 상기 위상 특성은 선형 위상 대 선형 주파수 척도에서 볼 때 상당히 선형이다. 이것은 발견되고, 두 개 신호들 사이의 선형 위상 대 주파수 차이는 상기 유도 신호에 지연을 도입함으로써 쉽게 제거될 수 있다. 지연은 신호의 규모를 변화시키지 못할 것이고 그러나 위상 대 주파수의 상기 기울기를 변화시킬 것이다. 상기 보상되지 않은 시스템의 상기 위상 특성들의 상기 기울기 측정을 위한 상기 시작 및 종료 주파수들을 선택함에 의해, 가속도 보상은 원하는 주파수 범위에 걸쳐 최적화될 수 있다.

비록 상기 트랜스듀서 신호들에서 보이는 상기 주파수 모드 주파수들이 데이터 및 제어를 위한 관심의 상기 주파수 범위의 아주 위일지라도, 이러한 모드들은 상기 모드 주파수들 아주 아래의 상기 힘과 가속도 신호들의 사이에 작은 위상 차이들을 발생한다. 위상 정정 없이, 상기 작은 위상 차이들은 더 낮은 주파수들에서조차 상기 가속도 보상의 효과를 제한한다. 여기서 제공되는 상기 보상 장치와 방법의 장점은 지연 보상이 시행하기 간단한 기술이지만 그것은 더 낮은 주파수들에서 가속도 보상의 상기 효과를 상당히 향상시킨다.

만약 원한다면, 상기 다음의 특징들 또는 측면들의 하나 또는 이상은 상기 앞서 말한 시스템에서 함께 혼합되거나 사용될 수 있다.

상기 트랜스듀서는 힘 트랜스듀서, 압력 트랜스듀서 그리고/또는 토크 트랜스듀서로 구성될 수 있다.

상기 보상기는 게인(gain) 및 위상 보상 둘 다를 제공할 수 있다. 상기 보상기에 의하여 제공되는 위상 보상은 주파수에 더하여 또 다른 요소에 기초할 수 있다. 예를 들어, 상기 또 다른 요소는 인가된 외부 부하에 기초할 수 있다.

상기 지연은 선택된 주파수들의 범위로 구성될 수 있고, 예를 들어 하나의 특정 사용 실시예에서, 제 1 모드 주파수보다 작은 주파수들일 수 있다.

효과적인 질량 결합을 위한 주파수의 함수로써 트랜스듀서의 상기 관성 오류를 위한 정정을 위한 장치 및 방법이 제공된다.

도 1은 지연을 추가함에 의해 위상 보상을 제공하기 위한 보상기를 갖는 트랜스듀서 시스템의 개략적인 블록도이다.
도 2는 지연을 추가함에 의해 위상 보상을 제공하기 위한 보상기를 갖는 제 2 트랜스듀서 시스템의 개략적인 블록도이다.
도 3은 관성 보상 양들에 대한 벙법의 플로우 차트이다.
도 4는 상기 시스템을 위한 위상 대 주파수 및 근사치의 구성이다.
도 5는 상기 시스템을 위한 위상 대 주파수 및 더 좁은 주파수 범위에 걸친 도 4의 근사치의 구성이다.
도 6은 신호 처리의 블록도이다.

여기서는 질량을 위한 스칼라 표현(전통적인 가속도 보상)의 함수로써 뿐만 아니라 지연의 사용에 의한 근사화된 주파수의 함수로써 트랜스듀서의 상기 관성 오류를 정정하기 위한 기술이 소개된다. 특히, 본 발명의 일 실시예에서는, 상기 발명의 기술들로부터 발생된 보상 신호는 지연의 인가에 의해 주파수의 함수로써 위상 보상이 제공된다.

또 다른 측면에서, 이 기술은 또한 이러한 위상 정정의 형태 때문에 상기 알려져있는 접근들과 다르다. 도 1은 트랜스듀서(10)를 도식으로 나타내고(예컨대, 힘, 토크 또는 압력), 이것은 출력 신호 10A, 그리고 신호(12A)를 제공할 수 있는 센서(12)를 제공하고, 이것은 직접적 또는 간접적으로 가속도를 알아내기 위해 사용될 수 있다. 본 실시예에서, 상기 센서는 가속도계이고, 이것은 상기 가속도 신호를 직접적으로 제공한다. 그러나, 이것은 일 실시예일 뿐이다. 만약 원한다면, 상기 센서(12)는 예를 들어 변위 센서일 수 있고, 그것은 절대적이거나 상대적인 위치 또는 이동된 거리를 나타내는 출력 신호를 제공한다. 또한 도시되지 않은 타이머 또는 그렇지 않으면 상기 보상기(20)의 일부로부터 상기 트랜스듀서(10)가 위치가 변화하기 위해 걸리는 상기 주어진 시간이 후술되고, 상기 변위 센서로부터의 상기 출력 신호는 가속도의 나타내는 상기 신호를 제공하기 위해 처리될 수 있고, 즉, 이러한 상황에서, 파생된 가속도이다.

아래의 표현에서, 상기 단어 “힘”은 “힘”, “토크”, 또는 “압력”을 암시한다.

위상 이동 그리고/또는 규모 감쇠 또는 확대는 주파수의 함수로써 신호들(10A, 12A) 사이에 존재한다. 게다가, 위상 이동 그리고/또는 규모 감쇠 또는 확대, 또는 적어도 그것들의 일부는, 프로세싱 회로들(14, 16)이 수신하거나 처리하는 상기 출력 신호들(10, 12A) 각각 때문일 수 있다. 예를 들어, 약간의 위상 이동 그리고/또는 규모 감쇠 또는 확대는 다른 컨디셔너들, 필터들, 샘플러들 등 때문에 일어날 수 있고, 그것은 주파수의 함수로써 또 다를 수 있는, 지연들 또는 다른 지연들을 도입할 수 있다.

본 발명의 실시예에서는 보상의 형태를 달성하기 위하여 상기 힘과 가속도 신호들 사이의 위상 정정의 방법이 개시된다. 더욱이 모든 주파수들에 걸쳐서 상기 위상 특성을 맞추는 것이 시도되고, 이러한 방법은 예를 들어 그리고 유리한 실시예에서, 아래 상기 주파수들의 모드 아래, 특히 제 1 모드 주파수 아래에서 주파수 범위와 같은 선택된 주파수들에서 상기 위상 특성에 접근한다. 몇몇 실시예에서, 이것은 폐루프 제어 및 데이터 수집의 상기 목적을 위한 효과적인 가속도 보상을 달성하기에 충분하다.

이것은 아래의 상기 제 1 모드 주파수의 주파수들에서 발견되고, 상기 힘과 가속도 사이의 상기 위상 특성은 선형 위상 대 선형 주파수 척도에서 볼 때 상당히 선형이다. 특히, 두 개의 신호들 사이의 선형 위상 대 주파수 차이는 유도 신호에 지연을 도입함으로써 쉽게 제거될 수 있는 것이 발견되었다. 지연은 신호의 규모를 변화시키지 못할 것이고 그러나 상기 위상 대 주파수의 상기 기울기를 변화시킬 것이다. 상기 보상되지 않은 시스템의 상기 위상 특성들의 상기 기울기를 측정을 위한 상기 시작 및 종료 주파수들을 선택함에 의해, 상기 가속도 보상은 원하는 주파수 범위에 걸쳐 최적화될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에서, 보상기 장치(20)(예를 들어 디지털 지연)는 출력 신호들(10A, 12A)(또는 그것의 함수 10A’, 12A’ 만약 회로들(14, 16)에 의해 일찍 처리된다면, 도 2에 도시된 바와 같이)의 하나 또는 둘다(여기서 둘다 수신된 것으로써 예시된다)를 수신하기 위해 적용되고 지연 주기의 인가 또는 도입하는 것에 의한 상기 출력 신호들(10A, 12A) 중 하나의 주파수 함수로써 위상 보상을 제공하고, 여기서 마지막 보상된 출력 신호(18)를 제공하기 위한 지연 모듈(21)이 도시된다. 도 1에서, 지연 모듈(21)은 그것이 신호들(12A’ 또는 10A’) 중 하나에 인가될 수 있는 것을 나타내기 위하여 파선으로 도시된다.

본 발명에서 이해된 바와 같이, 보상기 장치(20)는 도 2에 도시된 바와 같이 회로들(14 그리고/또는 16)에 앞서 출력 신호들(10A 그리고/또는 12A)을 수신할 수 있다. 일반적으로 만약 보상기 장치(20)가 회로들(14, 16)에 앞서 출력 신호들(10A, 12A) 둘 다를 수신한다면, 그러면 보상기 장치(20)는 2개의 출력 신호들을 제공한다. 이러한 경우, 일반적으로 각각의 회로들(14, 16)은 그들에 의한 것이 아닌 신호들(10A’, 12A’) 사이의 뚜렷한 위상 차이를 기여한다. 다시 말해서, 보상기 장치(20)의 위치는, 각각의 회로들(14, 16)이 무시할 수 있는 정도의 위상 오류들을 기여하는 동안 신호들(10A 또는 12A)중 하나에 대한 상기 필수의 위상 보상을 제공한다.

지연 모듈(21)의 보상기 장치(20)는 적절한 컴퓨팅 장치에서 작동 가능한 하드웨어(아날로그 그리고/또는 디지털 회로망) 그리고/또는 소프트웨어에서 구현될 수 있고, 그러한 디지털 신호 처리장치는 또한 회로망이다. 상기 회로망은 제한 없는 로직 어레이들과 시스템 온 칩 실행을 더 포함할 수 있고, 이것은 만약 싱글 칩 기판에서 디지털 신호들, 아날로그 신호들 그리고/또는 혼합된 디지털과 아날로그 신호들을 처리하는 모든 회로망과 컴퓨터 또는 다른 전자 시스템의 구성들이 아니라면 몇몇을 통합시킨다. 상기 출력 신호들(10A, 12A)은 실험 환경에서 기인된다. 상기 신호들은 오프라인 분석 동안 보상 장치(20)에 의해 보상되고, 그리고/또는 상기 출력 신호(18, 도 1)가 장치를 제어하기 위하여 사용되는 실제 시간의 제어 루프에서 작동될 수 있다.

도 3은 선택된 주파수들을 통해서 계산된 상기 이끄는 신호에 따른 지연의 인가에 의한 위상 보상을 사용하여 효과적인 가속도 보상을 달성하기 위한 방법(40)을 개시한다. 단계 42에서, 상기 트랜스듀서와 가속도계 둘 다는, 도 1의 2개의 화살표 44로 나타낸, 예를 들어 셰이커 테이블(shaker table)에 의해 흔들리거나 가속된다. 상기 동적 이동/동작(44)의 상기 특성은 연속적으로 또는 따로 변화된 또는 상기 관성 오류를 야기하는 방향 안 둘 다의 다수의 주파수들에 또는 가로질러 있다. 예를 들어, 동작(44)의 상기 특성은, 그러나 여기에 제한되지는 않고, 백색 소음(white noise), 분홍색 잡음(pink noise), 충동, 단계, 또는 정현 스위프(sine sweep)일 수 있다. 상기 여기 동작(44)의 인가 동안, 회로들(14, 16)에 의한 처리 전 그리고/또는 후 상기 출력 신호들(10A, 12A)이 획득된다.

단계 42는 일반적으로 함께 또는 알려진, 교정 부하와 수행된다. 예를 들어, 만약 트랜스듀서(10)가 힘 트랜스듀서일 경우, 단계 42는 영, 즉 힘이 인가되지 않는 외부 교정 부하에서 수행될 수 있다. 유사하게, 상기 알려진대로, 외부 교정 부하는 일부의 양 또는 음의 부하일 수 있고, 또는 아래에서 언급되는 바와 같이, 단계 42는 다수의 알려진, 외부 교정 부하들에서 수행될 수 있다.

단계 46에서, 보상 양은 보상 장치(20)에 의해 사용되기 적절하게 계산되거나 그렇지 않으면 발생된다. 예를 들어, 상기 가속도계 출력 신호(12A)에 대하여 상기 트랜스듀서 출력 신호(10A)의 상기 주파수 응답 함수가 획득된다. 도 4는 본보기의 구성(50)의 형태에서 상기 트랜스듀서 및 가속도계의 주파수 데이터 대 위상을 나타내고, 반면에 제안된 보상 양은 52로 나타내어진다. 도 5는 더 좁은 주파수 범위에 걸쳐서 도 4와 동일한 구성을 나타내고, 라인들(50, 52)이 효과적으로 유사하게 가르치는 곳은 상기 제안된 보상 양(52)이 좋게 맞는다. 도 3을 다시 참조하면, 일반적으로, 상기 가속도 보상이 최적화되기 위한 주파수 범위에 걸쳐서 선택된다. 상기 주파수 범위는 일반적으로 상기 시스템의 가장 낮은 주파수 모드 아래일 수 있다.

상기 지연 값은 48에서 계산된다. 상기 가속도 보상 지연은 상기 선택된 주파수 범위에 걸쳐 상기 위상의 상기 기울기로부터 계산될 수 있다. 예를 들어, 만약 주파수가 헤르츠(Hz)에 있고 상기 위상이 도 단위에 있을 경우, 그러면 상기 상대적인 지연 보상을 위한 상기 값은(초 안에) 기울기/360이다. 도 4 및 도 5의 구성으로써 보여진 상기 선택된 주파수 범위의 데이터는 상기 지연의 상기 값을 알아내기 위해 사용된다. 상기 이끄는 신호(힘 또는 가속도)는 그러면 상기 상대적인 지연의 상기 절대값에 의하여 지연 모듈(21)을 사용하여 연기된다.

게다가, 얻어진 정정은 또한 공통적으로 49에서 계산된다. 예를 들어, 상기 얻어진 정정은 상기 변환 함수의 상기 DC 값일 수 있고, 또는 상기 주파수 범위에 걸친 상기 평균 값일 수 있다. 상기 얻어진 정정은 만약 원한다면, 주파수에 의존적일 수 있다.

도 6은 아날로그 디지털 변환기(54, 56)로부터 발생된 신호들(10A, 12A), 디지털 신호 처리기가 적용된 것으로써 상기 보상 양들의 적용 블록도를 도시한다. 상기 보상 신호(58)는 단계 49에서 상기 계산된 얻어진 정정에 의해 상기 가속도 신호(또는 단계 48에서 결정된 연기된 가속도 신호)를 곱함으로써 계산된다. 상기 보상된 힘 신호는 상기 보상 신호(58)를 상기 힘 신호(또는 단계 48에서 결정된 연기된 힘 신호)에 더함으로써(더하는 장치(summer) 60)획득된다.

일반적으로, 위상 정정은 보통의 동작 동안 상기 측정된 힘 출력에 인가될 수 있다. 이러한 정정은 상기 가속도 신호에 인가될 수 있고, 그러면 축소되고(scaled) 및 그러면 보상되지 않은 힘 신호에 더하여지고, 또는 대안적으로 상기 정정은 힘 신호에 인가될 수 있고 그러면 상기 축소된(scaled) 가속도 신호, 또는 둘 다의 합에 더해진다. 상기 제 1 제안 방법으로부터의 상기 변화는 만약 상기 힘 신호의 상기 위상 지체가(lag) 상기 관심 주파수 범위 내에서 상기 가속도 신호의 뒤로 뒤쳐진다면 바람직할 수 있다.

상기에서 언급한 바와 같이 추가적인 실시예에서, 단계 42는 다수의 달려진, 외부 교정 부하들에서 수행될 수 있다. 따라서, 보상 양들은 또한 트랜스듀서(12)에 인가된 외부 부하에 기초하고 게다가 주파수의 함수에 기초하기 위해서 계산되거나 발생될 수 있다. 이런 식으로, 보상 양들은 다차원적일 수 있고, 여기서 트랜스듀서 출력 신호(10A) 그리고/또는 가속도계 출력 신호(12A)의 보상은 하나 또는 이상의 주파수 범위들과 하나 또는 그 이상의 다른 요소들, 외부 인가된 부하, 상기 트랜스듀서의 이동 또는 그에 연결된 장치, 온도 등과 같은 환경적인 요소들에 기초할 수 있다.

또 다른 실시예에서, 상기 알려진, 외부 교정 부하(들)은 몇몇 주파수 내용을 포함할 수 있고, 그리고 상기 하중(들)은 신뢰되는(즉, 정확한) 트랜스듀서에 의하여 측정될 수 있으며, 상기 출력은 상기 보상 양들을 발생하거나 미세 조정하기 위하여 또한 사용된다.

비록 상기 주제가 구조적인 특성들 그리고/또는 방법론적인 행동을 특정으로해서 묘사되었지만, 첨부된 청구항들에서 한정된 상기 주제는 상기 특정 특성 및 행동에만 제한되지는 않는다. 더욱이, 상기에서 묘사된 상기 특정 특성들 및 행동들은 상기 청구항들 실시하는 것의 예로써 개시된 것이다.

10; 트랜스듀서 12; 센서
10A, 12A, 10A', 12A', 18; 신호 14, 16; 회로
20; 보상기 21; 지연 모듈
54, 56; 아날로그 디지털 변환기

Claims (19)

1. 트랜스듀서;
   상기 트랜스듀서에 사용 가능하게 결합되고, 가속도와 직접적으로 또는 간접적으로 관련된 신호를 제공하는 센서; 및
   상기 트랜스듀서 및 센서로부터 상기 출력 신호들 중 적어도 하나에 기초하는 적어도 하나의 신호를 수신하도록 연결되고, 위상 보상을 제공하기 위해 상기 적어도 하나의 신호를 지연하기 위한 지연 모듈을 포함하는 보상기를 포함하는 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 트랜스듀서는 힘 트랜스듀서를 포함하는 시스템.
3. 앞선 항들 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 트랜스듀서는 압력 트랜스듀서를 포함하는 시스템.
4. 앞선 항들 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 트랜스듀서는 토크 트랜스듀서를 포함하는 시스템.
5. 앞선 항들 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 보상기는 게인(gain) 보상과 위상 보상 둘 다 제공하는 시스템.
6. 앞선 항들 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 보상기는 주파수에 더하여 또 다른 요소에 기초하는 위상 보상을 제공하는 시스템.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 또 다른 요소는 외부 부하에 인가되는 시스템.
8. 앞선 항들 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 지연은 선택된 주파수들의 범위를 위하여 구성되는 시스템.
9. 앞선 항들 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 지연은 제 1 모드 주파수보다 작은 주파수들을 위하여 구성되는 시스템.
10. 앞선 항들 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 가속도계를 포함하는 시스템.
11. 앞선 항들 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 변위 센서를 포함하는 시스템.
12. 앞선 항들 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 속도 센서를 포함하는 시스템.
13. 트랜스듀서 및 센서에 여기(excitation) 동작을 인가하고, 그들로부터 응답 신호들을 획득하며, 상기 센서는 가속도와 직접적으로 또는 간접적으로 관련이 있는 대응되는 응답 신호를 제공하기 위하여 상기 트랜스듀서에 사용 가능하게 결합되고; 그리고
    상기 응답 신호들에 기초하여 지연 값을 계산하고,
    상기 지연 값에 의하여 상기 트랜스듀서의 유도(leading) 신호를 지연하기 위한 회로망을 사용하는 트랜스듀서에 가속도 보상을 제공하는 방법.
14. 제 13 항에 있어서,
    상기 트랜스듀서에 외부 부하를 인가하는 것을 더 포함하는 방법.
15. 제 14 항에 있어서,
    상기 트랜스듀서를 위한 상기 외부 보정 부하는 0인 방법.
16. 제 13 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
    트랜스듀서 및 가속도계에 여기 동작을 인가하고, 그리고 그들로부터 응답 신호들을 획득하는 것은 상기 트랜스듀서에 다수의 외부 보정 부하들을 인가하는 것을 포함하는 방법.
17. 제 13 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    여기 동작을 인가하는 것은 제 1 모드 주파수보다 작은 하나 또는 그 이상의 주파수들과 함께 여기 동작을 인기함을 포함하는 방법.
18. 제 13 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 가속도계, 속도 센서 또는 변위 센서 중 하나를 포함하는 방법.
19. 제 13 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 가속도계를 포함하지 않고, 상기 지연 값 계산은 파생된 가속도 신호를 획득하기 위한 상기 응답 신호 처리를 포함하는 방법.

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