KR20150027785A

KR20150027785A - 프로브 장치

Info

Publication number: KR20150027785A
Application number: KR1020157000263A
Authority: KR
Inventors: 오스카 베이제르트
Original assignee: 스티칭 컨티뉴테이트 베이제르트 엔지니어링
Priority date: 2012-06-08
Filing date: 2013-06-07
Publication date: 2015-03-12
Also published as: US9234853B2; CN104620121A; KR101958856B1; US20140015955A1; WO2013182895A1; CN104620121B

Abstract

본 발명은, 일반적으로 프로브 카드 조립체들의 무결성(integrity)을 보장하고, 프로브 카드들이 테스트 준비중인지를 검증하고, 프로브 카드 성능 특성들의 분석을 허용하는 방법들 및 장치들에 관한 것이다. 일 실시예에서, 장치는 장치의 전방 위치로부터 각도를 갖고 프로브 카드의 교정을 허용한다.

Description

프로브 장치 {PROBE APPARATUS}

본 발명의 실시예들은 일반적으로 집적회로 테스트에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 상의 집적회로들을 테스트하는데 이용되는 프로브 카드들을 테스트하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

프로브 카드 테스트 및 검증 시스템들은 미리 규정된 기준들을 따르지 않는 프로브 카드들의 교정(rework)을 용이하게 하고, 사용 이전 및 이후에 프로브 카드(집적회로 디바이스들/기판들 테스트에 사용됨)들의 특징화(characterization)들에 대한 프로덕션 툴들로서 보편적으로 이용된다. 이러한 시스템들은 통상적으로 컴퓨터, 정밀도 측정 시스템, 소프트웨어 기반 비전(vision) 시스템, 그리고 정밀도 모션 제어(motion control) 및 측정 시스템으로 구성된다. 이러한 것들이 장착된 시스템들은 프로브 카드 평탄화의 측정 및 조절, 시각적 X/Y 위치 및 조절, 프로브 콘택 저항, 누설 및 콤포넌트 측정을 허용한다.

또한, 콘택 저항 및 누설을 포함하는 전기적 파라미터들이 기준 값들에 대해 측정될 수 있으며, 테스트 중인 프로브 카드 조립체가 통과되었는지 또는 거절되었는지(failed) 여부에 따른 표시가 제공될 수 있다. 만약 거절이 결정되면, 카드 교정이 수반되도록 상세 리포트(full report)가 인쇄될 수 있다. 이러한 시스템에 의해 제공되는 신속한 검증으로 프로브 카드 조립체가 테스트를 준비하거나 또는 교정을 요구한다는 것을 확인할 수 있다.

따라서, 프로브 카드 조립체들의 무결성(integrity)을 보장하고, 프로브 카드들이 테스트 준비중인지를 검증하고, 프로브 카드 성능 특성들의 분석을 허용하도록 이러한 시스템을 개선하는 것에 대해 지속적인 요구가 존재한다.

일 실시예에서, 프로브 카드 분석기 장치가 개시된다. 이 장치는 테이블 본체; 테이블 본체의 제 1 코너로부터 멀리 연장하는 제 1 지지 아암; 테이블 본체의 제 2 코너로부터 멀리 연장하며 제 1 지지 아암에 대해 실질적으로 평행하게 연장하는 제 2 지지 아암; 제 1 지지 아암에 커플링되는 제 1 트랙; 제 2 지지 아암에 커플링되는 제 2 트랙; 제 1 트랙에 커플링되며 제 1 트랙을 따라 이동가능한 제 1 샘플 테이블 아암; 제 2 트랙에 커플링되며 제 2 트랙을 따라 이동가능하고 제 1 샘플 테이블 아암에 대해 실질적으로 평행한 제 2 샘플 테이블 아암; 및 샘플 테이블이 축을 중심으로 회전가능하도록 제 1 샘플 테이블 아암 및 제 2 샘플 테이블 아암에 회전가능하게 커플링되는 샘플 테이블을 포함한다.

다른 실시예에서, 플랫폼을 이동시키는 방법이 개시된다. 이 방법은 테이블 본체의 제 1 코너에 커플링되는 제 1 지지 아암에 커플링된 제 1 트랙을 따라 제 1 샘플 테이블 아암을 이동시키는 단계; 테이블 본체의 제 2 코너에 커플링되는 제 2 지지 아암에 커플링된 제 2 트랙을 따라 제 2 샘플 테이블 아암을 이동시키는 단계-상기 제 2 지지 아암은 제 1 지지 아암이 배치되는 평면에 대해 실질적으로 평행한 평면에 있음-; 및 축을 중심으로 샘플 테이블을 회전시키는 단계-상기 샘플 테이블은 제 1 샘플 아암 및 제 2 샘플 아암에 회전가능하게 커플링됨-를 포함한다.

다른 실시예에서, 프로브 카드 분석기 장치는 테이블 본체; 테이블 본체의 제 1 코너로부터 멀리 연장하는 제 1 지지 아암; 테이블 본체의 제 2 코너로부터 멀리 연장하며 제 1 지지 아암에 대해 실질적으로 평행하게 연장하는 제 2 지지 아암; 제 1 지지 아암에 커플링되는 제 1 트랙; 제 2 지지 아암에 커플링되는 제 2 트랙; 제 1 트랙에 선회가능하게 커플링되며 제 1 트랙을 따라 이동가능한 제 1 샘플 테이블 아암; 제 2 트랙에 선회가능하게 커플링되며 제 2 트랙을 따라 이동가능하고 제 1 샘플 테이블 아암에 대해 실질적으로 평행한 제 2 샘플 테이블 아암; 테이블 본체에 선회가능하게 커플링되는 제 3 샘플 테이블 아암; 테이블 본체에 선회가능하게 커플링되는 제 4 샘플 테이블 아암; 및 샘플 테이블이 하나 또는 그 초과의 축을 중심으로 회전가능하도록 제 1 샘플 테이블 아암, 제 2 샘플 테이블 아암, 제 3 샘플 테이블 아암 및 제 4 샘플 테이블 아암에 회전가능하게 커플링되는 샘플 테이블을 포함한다.

본 발명의 앞서 언급된 특징들을 상세히 이해할 수 있도록, 앞서 간략히 요약된 본 발명의 보다 상세한 설명은 첨부되는 도면들에 예시되는 일부 실시예들을 참조로 할 수 있다. 그러나, 첨부되는 도면들은 단지 전형적인 본 발명의 실시예들을 예시하는 것이며 이에 따라 본 발명의 범주를 제한하고자 하는 것이 아니며, 본 발명은 다른 등가의 유효한 실시예들을 허용할 수 있다는 것을 주목해야 한다.

도 1은 일 실시예에 따른 프로브 카드 분석기 장치의 개략적 등각투상도이다.
도 2는 분석 테이블 및 샘플 테이블을 갖는 도 1의 프로브 카드 분석기 장치의 제 2 위치에서의 개략적 등각투상도이다.
도 3은 분석 테이블 및 샘플 테이블을 갖는 도 1의 프로브 카드 분석기 장치의 제 3 위치에서의 개략적 등각투상도이다.
도 4a 내지 도 4t는 다양한 이동 단계들에서의 도 1의 프로브 카드 분석기 장치의 개략적 측면도들이다.
도 5는 샘플 테이블이 제거된 도 1의 프로브 카드 분석기 장치의 개략적 등각투상도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 실린더 및 정렬 기구의 개략적 등각투상도이다.
도 7은 일 실시예에 따른 정렬 플레이트의 개략적 예시이다.
도 8은 다른 실시예에 따른 프로브 카드 분석기의 개략적 등각투상도이다.

이해를 용이하게 하도록, 가능하다면, 도면들에서 공통인 동일한 요소들을 나타내기 위해서, 동일한 도면부호들이 사용되고 있다. 일 실시예에서 개시된 요소들이 특정한 인용 없이 다른 실시예들에서 유익하게 활용될 수 있음이 고려된다.

본 발명은 일반적으로 프로브 카드 조립체들의 무결성을 보장하고, 프로브 카드들이 테스트 준비중인지를 검증하고, 프로브 카드 성능 특성들의 분석을 허용하는 방법들 및 장치들에 관한 것이다. 일 실시예에서, 장치는 그 장치의 전방 위치로부터 각도를 갖고 프로브 카드의 교정을 허용한다. 본원에서 설명된 실시예들을 실현하는데 사용될 수 있는 매니저(Manager)와 같은 적절한 장치가 네덜란드에 소재하는 Stichting Continuities Beijert Engineering로부터 얻어질 수 있다. 본원에서 논의된 실시예들은 다른 제조자들에 의해 시판되는 장치들을 포함하는 다른 장치에서 실현될 수 있음이 이해된다. 장치는 직경 200 mm, 직경 300 mm, 직경 450 mm인 프로브 카드들 및 요망되는 임의의 직경의 프로브 카드들을 처리하는데 사용될 수 있다.

도 1은 일 실시예에 따른 프로브 카드 분석기 장치(100)의 개략적 등각투상도이다. 장치(100)는 테이블 본체(102)를 포함한다. 제 1 지지 아암(104)은 테이블 본체(102)의 제 1 코너로부터 멀리 연장한다. 제 2 지지 아암(106)은 테이블 본체(102)의 제 2 코너로부터 멀리 연장한다. 제 2 지지 아암(106)은 제 1 지지 아암(104)에 대해 실질적으로 평행하게 연장한다. 장치(100)는 제 1 지지 아암(104)에 연결되어 테이블 본체(102)의 제 3 코너에 인접한 축을 중심으로 선회가능한 제 1 분석 아암(110)을 포함할 수 있다. 제 1 분석 아암(110)은 제 3 코너에 인접한 축을 중심으로 그리고 제 1 지지 아암(104)을 따라 선회할 수 있다.

제 1 분석 아암(110)에는, 제 1 분석 아암(110)에 대해 실질적으로 수직하게 연장하는 제 2 분석 아암(112)이 부착된다. 제 1 분석 아암(110)이 본질적으로 트랙으로서 작동하도록, 제 2 분석 아암(112)이 제 1 분석 아암(110)을 따라 이동가능하다. 제 2 분석 아암(112)에는, 제 2 분석 아암(112)이 제 1 분석 아암(110)으로부터 연장하는 방향으로 제 2 분석 아암(112)에 대해 수직하게 이동가능한 분석 테이블(114)이 커플링된다. 분석 테이블(114)에는, 프로브 카드들을 측정/분석하는데 사용되는 마이크로스코프(116)가 커플링된다. 하기에 논의되는 바와 같이, 제 1 분석 아암(110)은, 축을 중심으로 선회하여 제 1 분석 아암(110)의 일단부가 제 1 지지 아암(104)을 따라 이동하는 것을 유발한다. 추가로, 제 2 분석 아암(112)이 제 1 분석 아암(110)을 따라 슬라이드할 수 있고, 분석 아암(114)이 제 2 분석 아암(112)에 대해 수직한 평면에서 이동하여 마이크로스코프(116)를 소망하는 검사 위치(inspection location) 내외로 이동할 수 있다.

프로브 카드 상에서의 작업을 위해서, 기술자가 핀들을 재정렬하기 위해서 집게(tweezer)들을 사용하여 프로브들에 억세스하여 프로브들을 교정할 수 있도록, 기술자들이 프로브 카드의 양측면들에 접근 가능하게 할 필요가 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 지지 아암(104) 및 제 2 지지 아암(106)은 비임(118)에 의해 함께 커플링되며, 이 비임은 제 1 지지 아암(104) 및 제 2 지지 아암(106)이 장치(100)의 작동 중 실질적으로 정지상태로(substantially stationary) 유지되는 것을 보장한다. 제 1 트랙(120)은 제 1 지지 아암(104)에 커플링되며, 제 2 트랙(122)은 제 2 지지 아암(106)에 커플링된다. 트랙(120, 122)들은 샘플 테이블(124)을 다중 위치들로 이동시키기 위해 사용된다. 샘플 테이블(124)은 그를 관통하는 개구를 가지며, 이 개구에서 시편 실린더(specimen cylinder)(128)가 정렬 플레이트(126)를 지지한다. 프로브 카드 상에서 핀을 교정 및 교체하는데 사용될 수 있는 리페어 로봇을 포함하는 마이크로스코프(116)가 존재한다. 또한, 신규 프로브가 프로브 카드 상에 용접될 수 있도록, 레이저가 마이크로스코프 구조 상에 존재한다. 하기에 논의되는 바와 같이, 마이크로스코프는, 프로브 핀이 정확하게 장착되었음을 기술자에게 알려주기 위해서 비전 시스템 및 시편 실린더(128) 내에 위치되는 카메라를 사용하여 작동한다.

도 2는 제 2 위치 내로 이동된 샘플 테이블(124) 및 분석 테이블(114)을 도시한다. 제 3 아암(110)은 본체(102)의 제 3 코너에 가까운 축을 중심으로 선회하면서 제 1 아암(104)을 따라 슬라이드한다. 분석 테이블(114)을 이렇게 이동시킴으로써, 마이크로스코프(116) 및 분석 테이블(114)은, 샘플 테이블(124)이 이동할 수 있도록 충분히 비켜난다(out of the way). 도 2에 도시된 바와 같이, 샘플 테이블(124)은 제 1 샘플 테이블 아암(204) 및 제 2 샘플 테이블 아암(206)에 커플링되며, 축(208)을 중심으로 회전할 수 있다. 제 1 샘플 테이블 아암(204)은 제 1 트랙(120)을 따라 슬라이드하는 한편, 제 2 샘플 테이블 아암(206)은 본체(102)로부터 멀리 샘플 테이블(124)을 이동시키도록 제 2 트랙(122)을 따라 슬라이드한다. 본체(102)로부터 멀리 이동하는 동안, 샘플 테이블(124)은 축(208)을 중심으로 회전하는 한편, 아암(204, 206)들은 트랙(120, 122)들을 따라 슬라이드한다. 새로운 위치에서, 샘플 테이블(124)을 통해 개구(202)를 더욱 명확하게 볼 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 샘플 테이블(124)은 본체(102)에 형성된 선반(ledge)(302)에 놓인다. 샘플 테이블(124)은 또한 비임(beam)(118) 상에 놓인다. 마이크로스코프(116)는, 프로브 카드들이 샘플 테이블(124)에서 볼 수 있는 한편 샘플 테이블(124)이 제 3 위치에 있도록 위치된다.

도 4a 내지 도 4t는 다양한 이동 단계들에서의 프로브 카드 분석기 장치(100)의 개략적 측면도들이다. 우선, 샘플 테이블(124)은, 이동 이전에 도 4a에 도시된 바와 같이 본체(102)에 대하여 실질적으로 평탄하다. 이후, 도 4b에 도시된 바와 같이, 제 2 분석 아암(112)이 제 1 분석 아암(110)을 따라 슬라이드한다. 상기 주목된 바와 같이, 제 1 분석 아암(110)이 축(402)을 중심으로 선회할 수 있다. 마이크로스코프(116)로부터의 입력을 수신하는 컴퓨터 단자(computer terminal)(404)가 도 4a에 추가로 도시된다.

제 2 분석 아암(112)이 제 1 지지 아암(104)으로부터 가장 멀리 제 1 분석 아암(110)의 단부에서 완전 후퇴된다면, 제 1 분석 아암(110)이 도 4c에 도시된 바와 같이 제 1 지지 아암(104)을 따라 이동하도록, 제 1 분석 아암(110)이 축(402)을 중심으로 선회 또는 회전한다. 제 1 분석 아암(110)이 제 1 지지 아암(104)을 따라 슬라이드함에 따라, 제 1 샘플 테이블 아암(204)은 제 1 분석 아암(110)이 완전 선회/회전되어서, 도 4d에 도시된 바와 같이 제 1 지지 아암(104)의 단부에 도달될 때까지 샘플 테이블(124) 및 실린더(128)에서와 같이 볼 수 있을 것이다.

도 4e 내지 도 4r은 도 4a 내지 도 4d, 도 4s 및 도 4t의 대향 측면도로 장치(100)를 예시한다. 제 2 지지 아암(106)은 명확성을 위해 제거되었다. 도 4e에 도시된 바와 같이, 이제, 제 1 분석 아암(110)은 완전 선회/회전되어 제 1 지지 아암(104)의 단부에 도달되었으며, 샘플 테이블(124)이 이동하기 시작할 수 있다. 이동 전에, 실린더(128)는 본체(102) 내로 후퇴한다. 이후, 제 2 샘플 테이블 아암(206)이 트랙(122)을 따라 이동하여 샘플 테이블(124)이 본체(102)로부터 상승되는 것을 유발하기 시작한다. 제 2 샘플 테이블 아암(206) 그리고 이에 따라, 제 5 아암(204)(볼 수 없음)의 이동 중, 샘플 테이블이 선반(302) 위에서 밖으로 연장할 때까지 샘플 테이블(124)이 도 4f 내지 도 4h에 도시된 바와 같이 축(208)을 중심으로 시계 방향으로 회전하기 시작한다. 이때, 제 1 및 제 2 샘플 테이블 아암(204, 206)들이 도 4h에 도시된 바와 같이 트랙(120, 122)들의 단부에 도달되었다.

도 4i에 도시된 바와 같이, 이후, 제 2 샘플 테이블 아암(206)이 축(406)을 중심으로 회전/선회하며, 이와 동시에 샘플 테이블(124)이 도 4i에 도시된 바와 같이 먼저 선반(302)에 놓이도록 샘플 테이블(124)이 축(208)을 중심으로 회전/선회한다. 이후, 샘플 테이블(124)이 빔(118)에 대하여 놓이도록, 제 1 및 제 2 샘플 테이블 아암(204, 206)들이 이후 도 4j에 도시된 바와 같이 각각의 트랙(120, 122)들 아래로 역으로 슬라이드한다. 이후, 제 2 분석 아암(112)은 도 4k에 도시된 바와 같이 제 1 분석 아암(110)을 따라 슬라이드 할 수 있어 분석 테이블(114) 그리고 이에 따라 마이크로스코프(116)를 제 위치에 위치시켜 프로브 카드를 검사한다. 마이크로스코프(116)에 의해 분석될 도 4k에 도시된 위치에 있을 때의 샘플 테이블(124)은 이동중 샘플 테이블(124)의 회전에 기인하여 도 4a에 비해, 마이크로스코프(116)에 마주하는 샘플 테이블(124)의 대향 측면을 갖는 것에 유의하여야 한다. 이에 따라, 프로브 카드의 양측면들은 하나의 장치 상에서 분석될 수 있다.

도 4l 내지 도 4t는, 원위치로의 샘플 테이블(124) 역이동을 도시한다. 도 4l 및 도 4m에 도시된 바와 같이, 마이크로스코프(116) 및 제 2 분석 아암(112)이 비켜난 후에, 제 1 및 제 2 샘플 테이블 아암(204, 206)들은 빔(118)으로부터 샘플 테이블(124)을 멀리 밀도록 각각의 트랙(120, 122)들을 따라 이동한다. 이후, 제 1 및 제 2 샘플 테이블 아암(204, 206)들이 축(406)을 중심으로 회전/선회하는 한편, 샘플 테이블(124)은 축(208)을 중심으로 회전하여 샘플 테이블(124)이 도 4m 및 도 4n에 도시된 바와 같이 선반(302)으로부터 올려지는 것을 유발하는 한편, 제 1 및 제 2 샘플 테이블 아암(204, 206)들이 이들 각각의 트랙(120, 122)들을 따라 트랙들의 단부로 이동한다. 이후, 샘플 테이블(124)은 축(208)을 중심으로 반시계방향으로 회전하는 한편, 제 1 및 제 2 샘플 테이블 아암(204, 206)들은 도 4r에 도시된 바와 같이 최종적으로 실질적으로 수평방향 위치에 도착할 때까지 도 4o 내지 도 4q에 도시된 바와 같이 본체(102)를 향해 개별 트랙(120, 122)들을 따라 이동한다. 이후, 실린더(128)는 상승할 수 있으며, 제 1 분석 아암(110)은 축(402)을 중심으로 선회/회전하면서 제 1 분석 아암(110)이 도 4s 및 도 4t에 도시된 바와 같이 제 1 지지 아암(104)을 따라 이동할 수 있다.

도 5는 샘플 테이블이 제거된 채 도 1의 프로브 카드 분석기 장치의 개략적 등각 투상도이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 카메라(504)가 실린더(128) 내에 제공되며, 정렬 기구(502)가 또한 실린더(128) 그리고 이에 따라 카메라(504)를 적절하게 정렬시키도록 제공된다. 카메라는 실린더(128)의 적절한 정렬 그리고 이에 따라 분석 중 실린더(128) 상에 놓이는 프로브 카드의 적절한 분석을 보장하기 위해 사용된다. 카메라(504)는 정렬 플레이트(도 7에 도시됨)를 조사함으로써 작동한다. 정렬 플레이트가 정렬을 벗어나면, 실린더(128)는 정렬을 벗어나고, 그리고 이에 따라, 정렬 기구(502)가 실린더(128)를 조정한다.

도 6은 일 실시예에 따른 정렬 기구(502)를 갖는 실린더(128)의 개략적 등각투상도이다. 실린더가 정렬을 벗어날 때마다, 정렬 기구(502)의 3 개의 코너들은 필요에 따라 정렬 기구(502)의 코너를 상승시키거나 하강시키는 정렬 디바이스(602)들에 의해 조절된다. 3 개의 정렬 디바이스(602)들은 정렬 기구(502) 그리고 이에 따라 실린더(128) 상에 놓인 프로브 가드를 이동시켜 수평이 되게 하도록 3 개의 별도의 z 스테이지들에 의해 작동된다.

도 7은 일 실시예에 따른 정렬 플레이트(126)의 개략도이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 정렬 플레이트(126)는 화살표"A"에 의해 도시된 바와 같이 120°이격된 반경을 따라 위치된 3 개의 정렬 마크(704)들을 포함한다. 요망된다면 더 많은 정렬 마크들이 사용될 수 있음이 이해된다. 정렬 마크(704)들은 복수 개의 라인들을 포함한다. 카메라(504)로부터 볼 때 라인들이 모든 정렬 마크(704)들에 대해 초점이 맞을 때, 실린더(128)는 적절하게 정렬되며, 그리고 이에 따라 프로브 카드는 분석을 위해 적절하게 정렬된다. 정렬 마크(704)들은 구리를 포함할 수 있다.

카메라(504)는 고속 스캐닝 카메라로서 작동하며 프로브 카드의 프로브들을 스캔한다. 카메라는 모든 프로브들을 찾기 위해서 프로브 카드의 프로브들의 사진들을 찍는 정렬 플레이트(126) 아래의 선형 경로(linear path)를 스캔한다. 컴퓨터(404)는 카메라(504)로부터의 이미지들을 예상되는 결과들과 비교함으로써 결과들을 분석한다. 정렬 플레이트(126)는 실린더 상에 프로브 카드를 정렬시키기 위해서 들어 올려져 x-y 방향으로 이동된다. 게다가, 컴퓨터(404)는 결과들을 분석하고 정렬 장치(602)들은 프로브 카드를 적절하게 정렬하기 위해서 z 방향으로 정렬 기구(502)를 이동시킨다. 게다가, 불량(bad) 프로브들의 결과들은 기술자에게 통신되며, 샘플 테이블은 기술자가 불량 프로브들에 접근하도록 회전될 수 있다.

도 8은 다른 실시예에 따른 프로브 카드 분석기 장치(800)의 개략적 등각투상도이다. 장치 본체(102) 및 트랙(120, 122)들은 명확성을 위해 도시되지 않았다. 도 8에 도시된 바와 같이, 샘플 테이블(124)은 제 1 및 제 2 샘플 테이블 아암(802, 804)들에 커플링되며, 이들 아암들은 제 1 및 제 2 테이블 아암(802, 802)들이 트랙(120, 122)들을 따라 이동하면서 제 1 및 제 2 트랙(120, 122)들에 대해 회전하지 않도록 제 1 및 제 2 트랙(120, 122)들에 커플링된다. 제 1 및 제 2 아암(802, 804)들이 트랙(120, 122)들을 따라 이동할 때, 샘플 테이블(124)이 축(806)을 중심으로 회전할 수 있도록, 제 1 및 제 2 테이블 아암(802, 804)들이 샘플 테이블(124)에 회전식으로 커플링된다. 또한, 제 3 및 제 4 샘플 테이블 아암(808, 810)들은 샘플 테이블(124)에 커플링된다. 샘플 테이블이 축(812)을 중심으로 회전하도록, 제 3 및 제 4 샘플 테이블 아암(808, 810)들이 샘플 테이블(124)에 회전식으로 커플링된다. 제 3 및 제 4 샘플 테이블 아암(808, 810)들은 또한 본체(102)에 커플링된다. 제 3 및 제 4 샘플 테이블 아암(808, 810)들은 제 3 및 제 4 샘플 테이블 아암(808, 810)들이 축(814)을 중심으로 회전하도록 본체(102)에 회전식으로 커플링된다. 이동 중, 제 3 및 제 4 샘플 테이블 아암(808, 810)들이 대향 방향들로 축(812, 814)을 중심으로 회전한다. 게다가, 분석 테이블(114)보다 오히려, 마이크로스코프가 본체(102)의 제 3 및 제 4 코너들에 커플링되는 프레임 조립체(816)에 커플링되며, 프레임 조립체(816)는 축(818)을 중심으로 회전가능하다.

샘플 테이블을 회전시킴으로써, 기술자는 비교적 용이하게 시험되는 프로브 카드들의 전방 및 후방 양쪽으로 접근할 수 있다.

전술한 것은 본 발명의 실시예들에 관한 것이지만, 본 발명의 다른 실시예 및 추가의 실시예가 본 발명의 기본 범주로부터 벗어나지 않고 안출될 수 있으며, 그의 범주는 하기 청구항들에 의해 결정된다.

Claims

테이블 본체;
상기 테이블 본체의 제 1 코너로부터 멀리 연장하는 제 1 지지 아암(arm);
상기 테이블 본체의 제 2 코너로부터 멀리 연장하며 제 1 지지 아암에 대해 실질적으로 평행하게 연장하는 제 2 지지 아암;
상기 제 1 지지 아암에 커플링되는 제 1 트랙(track);
상기 제 2 지지 아암에 커플링되는 제 2 트랙;
상기 제 1 트랙에 커플링되며 제 1 트랙을 따라 이동가능한 제 1 샘플 테이블 아암;
상기 제 2 트랙에 커플링되며 제 2 트랙을 따라 이동가능하고 제 1 샘플 테이블 아암에 대해 실질적으로 평행한 제 2 샘플 테이블 아암; 및
샘플 테이블이 축을 중심으로 회전가능하도록 제 1 샘플 테이블 아암 및 제 2 샘플 테이블 아암에 회전가능하게 커플링되는 샘플 테이블을 포함하는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 테이블 본체의 제 3 코너에 커플링되는 제 1 분석 아암을 더 포함하며,
상기 제 1 분석 아암은 제 3 코너에서 축을 중심으로 선회가능하고 제 1 지지 아암을 따라 이동가능한,
프로브 카드 분석기 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 분석 아암에 커플링되며 제 1 분석 아암에 대해 실질적으로 수직하게 연장하는 제 2 분석 아암;
상기 제 2 분석 아암에 커플링되며 제 2 분석 아암을 따라 이동가능한 분석 테이블; 및
상기 분석 테이블에 커플링되는 마이크로스코프(microscope)를 더 포함하는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 마이크로스코프는 결함이 있는(defective) 프로브 니들(probe needle)을 절단하고 새로운 프로브 니들을 용접하기 위해서 마이크로스코프 상에 장착되는 레이저를 갖는 리페어 로봇(repair robot)을 더 포함하는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 샘플 테이블은 약 450 mm의 직경을 갖는 프로브 카드를 처리하도록 크기가 정해지는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 샘플 테이블은 샘플 테이블을 통과하는 개구를 갖는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 개구 위에 배치되는 정렬 플레이트를 더 포함하며,
상기 정렬 플레이트는 하나 이상의 광학식 정렬 도트(optical alignment dot)를 포함하는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 7 항에 있어서,
카메라를 더 포함하며,
상기 카메라는 고속 스캐닝 카메라(fast scanning camera)이며,
상기 카메라는 하나 이상의 광학식 정렬 도트의 신속한 식별을 허용하기 위해서 연속 이동하는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 하나 이상의 광학식 정렬 도트는 플레이트의 중심에 대해서 제 2 광학식 정렬 도트로부터 약 120°인,
프로브 카드 분석기 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 하나 이상의 광학식 정렬 도트는 구리 또는 글래스를 포함하는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 7 항에 있어서,
샘플 테이블의 평행 위치에 프로브 카드를 레벨링(leveling)하기 위한 하나 이상의 Z 스테이지를 더 포함하는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 샘플 테이블은 샘플 테이블을 통과하는 개구를 갖는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 12 항에 있어서,
상기 개구 위에 배치되는 정렬 플레이트를 더 포함하며,
상기 정렬 플레이트는 하나 이상의 광학식 정렬 도트(optical alignment dot)를 포함하는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 13 항에 있어서,
카메라를 더 포함하며,
상기 카메라는 고속 스캐닝 카메라(fast scanning camera)이며,
상기 카메라는 하나 이상의 광학식 정렬 도트의 신속한 식별을 허용하기 위해서 연속 이동하는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 13 항에 있어서,
상기 하나 이상의 광학식 정렬 도트는 플레이트의 중심에 대해서 제 2 광학식 정렬 도트로부터 약 120°인,
프로브 카드 분석기 장치.
제 13 항에 있어서,
상기 하나 이상의 광학식 정렬 도트는 구리를 포함하는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 13 항에 있어서,
플립 테이블(flip table)의 평행 위치에 프로브 카드를 레벨링하기 위해 하나 이상의 Z 스테이지를 더 포함하는,
프로브 카드 분석기 장치.
제 1 항에 있어서,
플립 테이블의 평행 위치에 프로브 카드를 레벨링하기 위한 하나 이상의 Z 스테이지를 더 포함하는,
프로브 카드 분석기 장치.
테이블 본체의 제 1 코너에 커플링되는 제 1 지지 아암에 커플링된 제 1 트랙을 따라 제 1 샘플 테이블 아암을 이동시키는 단계;
테이블 본체의 제 2 코너에 커플링되는 제 2 지지 아암에 커플링된 제 2 트랙을 따라 제 2 샘플 테이블 아암을 이동시키는 단계-상기 제 2 지지 아암은 제 1 지지 아암이 배치되는 평면에 대해 실질적으로 평행한 평면에 있음-; 및
축을 중심으로 샘플 테이블을 회전시키는 단계-상기 샘플 테이블은 제 1 샘플 아암 및 제 2 샘플 아암에 회전가능하게 커플링됨-를 포함하는,
프로브 테스터 장치에서 샘플 테이블을 이동시키는 방법.
제 19 항에 있어서,
축을 중심으로 제 1 분석 아암을 선회시키고 제 1 지지 아암을 따라 제 1 분석 아암을 이동시키는 단계를 더 포함하며,
상기 제 1 분석 아암은 테이블 본체의 제 3 코너에 커플링되는,
프로브 테스터 장치에서 샘플 테이블을 이동시키는 방법.
테이블 본체;
상기 테이블 본체의 제 1 코너로부터 멀리 연장하는 제 1 지지 아암;
상기 테이블 본체의 제 2 코너로부터 멀리 연장하며 제 1 지지 아암에 대해 실질적으로 평행하게 연장하는 제 2 지지 아암;
상기 제 1 지지 아암에 커플링되는 제 1 트랙;
상기 제 2 지지 아암에 커플링되는 제 2 트랙;
상기 제 1 트랙에 커플링되며 제 1 트랙을 따라 이동가능한 제 1 샘플 테이블 아암;
상기 제 2 트랙에 커플링되며 제 2 트랙을 따라 이동가능하고 제 1 샘플 테이블 아암에 대해 실질적으로 평행한 제 2 샘플 테이블 아암;
상기 테이블 본체에 선회가능하게 커플링되는 제 3 샘플 테이블 아암;
상기 테이블 본체에 선회가능하게 커플링되는 제 4 샘플 테이블 아암; 및
샘플 테이블이 하나 또는 그 초과의 축을 중심으로 회전가능하도록 제 1 샘플 테이블 아암, 제 2 샘플 테이블 아암, 제 3 샘플 테이블 아암 및 제 4 샘플 테이블 아암에 회전가능하게 커플링되는 샘플 테이블을 포함하는,
프로브 카드 분석기 장치.