KR20150022817A - 유리 시트 내 왜곡 저감 방법 - Google Patents

유리 시트 내 왜곡 저감 방법 Download PDF

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Abstract

유리 시트 내 왜곡을 저감하는 방법이 개시되며, 상기 방법은, 유리 제조 공정에서 유리 리본을 형성하는 단계; 상기 유리 리본으로부터 유리 시트를 분리하는 단계, 상기 유리 시트는 실질적으로 평탄한 표면을 가짐; 상기 유리 시트의 표면을 통하여 리타데이션을 측정하는 단계; 상기 유리 시트의 리타데이션을 지시하는 리타데이션 파라미터를 정의하는 단계; 상기 유리 시트를 복수의 서브-시트로 절단하는 단계; 상기 서브-시트의 왜곡을 측정하는 단계; 상기 서브-시트의 왜곡을 지시하는 왜곡 파라미터를 정의하는 단계; 및 상기 리타데이션 파라미터와 상기 왜곡 파라미터 간의 상관 관계를 결정하여 후속 유리 시트의 서브-시트의 왜곡 파라미터가 상기 상관 관계에 기초하여 예측될 수 있도록 하는 단계를 포함한다.

Description

유리 시트 내 왜곡 저감 방법{Method of Reducing Distortion in a Sheet of Glass}
본 출원은 미국 특허출원번호 제13/485301호(2012. 5. 30.)의 우선권 이익을 주장하며, 이의 내용은 전체로서 참고 자료로 본 명세서에 포함된다.
본 개시 내용은 전체적으로 유리 기판에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 디스플레이 제조 공정에서의 사용을 위한 유리 기판 제품에 관한 것이다.
액정 디스플레이(LCD)의 제조에 사용되는 유리 기판의 물리적 치수는 디바이스 내 부품의 오정렬(misalignment)이 시각적으로 감지 가능한 결함을 유발하여 소비자에게 받아들여질 수 없는 제품을 야기할 수 있기 때문에 오직 작은 에러 범위만을 허용한다.
이러한 결함을 야기할 수 있는 한 가지 요인은 모 유리 시트(parent glass sheet)의 제조 과정 중 유리 시트 내로 굳어져(frozen) 모 유리 시트로부터 절단된 서브-시트(sub-sheets)의 왜곡(distortion)을 초래하는 응력(stress)이다. 이러한 왜곡은 시트의 사이즈가 증가할수록 악화된다. 그러나, 이러한 장래의 왜곡 현상은 유리 제조업자에 의하여 제조된 모 유리 시트 내에서는 용이하게 식별되지 않는다.
따라서, 모 유리 시트 내에 존재하는 응력으로부터 서브-시트에 나타날 수 있는 왜곡을 결정하고 저감하는 방법에 대한 요구가 존재한다.
일 예시적인 면에 있어서, 유리 시트 내 왜곡을 저감하는 방법이 제공된다. 상기 방법은, 유리 제조 공정에서 유리 리본(ribbon)을 형성하는 단계; 상기 유리 리본으로부터 유리 시트를 분리하는 단계, 상기 유리 시트는 실질적으로 평탄한(flat) 표면을 가짐; 상기 유리 시트의 표면을 통하여 리타데이션(retardation)을 측정하는 단계; 유리 시트의 리타데이션을 지시하는 리타데이션 파라미터를 정의하는 단계; 유리 시트를 복수의 서브-시트로 절단하는 단계; 상기 서브-시트의 왜곡을 측정하는 단계; 상기 서브-시트의 왜곡을 지시하는 왜곡 파라미터를 정의하는 단계; 상기 리타데이션 파라미터와 상기 왜곡 파라미터 간의 상관 관계(correlation)를 결정하여 후속 유리 시트의 서브-시트의 왜곡 파라미터가 상기 상관 관계에 기초하여 예측될 수 있도록 하는 단계; 및 상기 유리 제조 공정을 변경하여 후속 유리 시트의 리타데이션이 조절됨으로써 상기 상관 관계에 기초하여 후속 유리 시트로부터의 서브-시트의 왜곡을 저감하는 단계를 포함한다.
상기 예시적 면의 일 예에 있어서, 왜곡 파라미터는 미리 정해진 확률(predetermined probability)을 갖는 구체적 값 미만으로 유지된다.
상기 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 서브-시트의 왜곡을 측정하는 단계는 절단 단계 전 및 후의 서브 시트의 면(plane)에 따른 제1 셋의 지점들의 오프셋(offset)으로 정의되는 평면 내(in-plane) 왜곡을 측정하는 것을 수반한다.
상기 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 왜곡 파라미터는 상기 제1 셋의 지점들에서 측정된 평면 내(in-plane) 왜곡의 최대값과 동등하다.
상기 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 리타데이션을 측정하는 단계는 표면 상의 제2 셋의 지점들에서 리타데이션을 측정하는 단계를 포함하고, 상기 리타데이션 파라미터는 상기 제2 셋의 지점들에서 리타데이션의 평균값이다.
또 다른 예시적 면에 있어서, 유리 시트 내 왜곡을 저감하는 방법이 제공된다. 상기 방법은, 유리 제조 공정에서 유리 리본(ribbon)을 형성하는 단계; 상기 유리 리본으로부터 유리 시트를 분리하는 단계, 상기 유리 시트는 실질적으로 평탄한(flat) 표면을 가짐; 상기 유리 시트의 표면을 통하여 리타데이션(retardation)을 측정하는 단계; 유리 시트의 리타데이션을 지시하는 리타데이션 파라미터를 정의하는 단계; 유리 시트를 복수의 서브-시트로 절단하는 단계; 상기 서브-시트의 왜곡을 측정하는 단계; 상기 서브-시트의 왜곡을 지시하는 왜곡 파라미터를 정의하는 단계; 및 상기 리타데이션 파라미터와 상기 왜곡 파라미터 간의 상관 관계(correlation)를 결정하여 후속 유리 시트의 서브-시트의 왜곡 파라미터가 상기 상관 관계에 기초하여 예측될 수 있도록 하는 단계를 포함한다.
상기 또 다른 예시적 면의 일 예에 있어서, 상기 방법은 상기 리타데이션 파라미터와 왜곡 파라미터 간의 상관 관계를 이용하여 후속 유리 시트의 서브-시트의 왜곡 파라미터를 예측하는 단계를 더 포함한다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 방법은 상기 유리 제조 공정을 변경하여 후속 유리 시트의 리타데이션이 조절됨으로써 상기 상관 관계에 기초하여 후속 유리 시트로부터 서브-시트의 왜곡을 저감하는 단계를 더 포함한다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 왜곡 파라미터는 미리 정해진 확률(predetermined probability)을 갖는 구체적 값 미만으로 유지된다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 방법은 리타데이션을 측정하는 단계 이전에 유리 시트를 평탄화(flattening)하는 단계; 및 상기 왜곡을 측정하는 단계 이전에 상기 서브-시트 각각을 평탄화하는 단계를 더 포함한다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 결정 단계는 최소 제곱 회귀(least squares regression) 접근 방법을 이용하여 수식화하는 단계를 수반한다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 서브-시트의 왜곡을 측정하는 방법은 절단 단계에 전 및 후에 상기 서브-시트의 평면에 따른 일 지점의 오프셋으로 정의되는 평면 내(in-plane) 왜곡을 측정하는 단계를 수반한다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 서브-시트의 평면 내 왜곡을 측정하는 단계는 상기 서브-시트 상의 제1 셋의 지점들의 평면 내 왜곡을 측정하는 단계를 수반한다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 왜곡 파라미터는 상기 제1 셋의 지점들에서 측정된 평면 내 왜곡의 최대값과 동등하다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 방법은, 유리 제조 공정을 변경하여 후속 유리 시트의 리타데이션이 조절됨으로써 상기 상관 관계에 기초하여 후속 유리 시트로부터 서브-시트의 왜곡을 저감하는 단계를 더 포함하며, 상기 평면 내 왜곡의 최대 값은 미리 정해진 확률을 갖는 구체적 값 미만으로 유지된다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 왜곡 파라미터는 상기 제1 셋의 지점들에서 측정된 평면 내 왜곡의 평균값과 동등하다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 방법은, 유리 제조 공정을 변경하여 후속 유리 시트의 리타데이션이 조절됨으로써 상기 상관 관계에 기초하여 후속 유리 시트로부터 서브-시트의 왜곡을 저감하는 단계를 더 포함하며, 그리고 상기 평면 내 왜곡의 평균이 미리 정해진 확률을 갖는 구체적 값 미만으로 유지된다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 서브-시트의 코너가 제1 셋의 지점들을 정의한다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 지점은 상기 서브-시트 각각의 중심(centroid)이다.
상기 또 다른 예시적 면의 또 다른 예에 있어서, 상기 리타데이션을 측정하는 단계는 상기 표면 상의 제2 셋의 지점들에서 리타데이션을 측정하는 단계를 포함하고, 상기 리타데이션 파라미터는 상기 제2 셋의 지점들에서 리타데이션의 평균이다.
상기 및 기타 면은 첨부된 도면을 참고한 하기의 상세한 설명에 의하여 보다 잘 이해된다.
도 1은 용융(fusion) 다운드로우 유리 제조 장치의 개략도이고;
도 2는 예시적 방법에 따라 유리 시트가 수개의 서브-시트로 절단되는 선으로 지시된 유리 시트의 평면도이고;
도 3은 왜곡이 없었다면 동일한 서브-시트의 아웃라인 상에 중첩된(overlaid), 절단 후 응력 완화에 의하여 왜곡된 도 2의 서브-시트의 평면도이고;
도 4는 보증 마크(fiduciary marks)를 갖는 측정 테이블, 및 상기 측정 테이블 상에 놓여진 대응되는 보증 마크를 갖는 유리 시트의 평면도이고;
도 5는 도 4의 테이블과 시트 보증 마크 간의 오프셋을 나타내는 방법을 도시하고; 그리고
도 6은 모 유리 시트의 샘플의 평균 리타데이션과 모 시트로부터 절단된 서브-시트 컷의 최대 왜곡의 절대값 사이의 상관 관계를 나타내는 플롯(plot)이다.
실시예는 예시적인 구체예가 도시된 첨부 도면을 참고하여 하기에서 보다 상세히 기재된다. 가능한 한, 동일 또는 유사한 부재에 대하여는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부재 번호가 사용될 것이다. 그러나, 많은 상이한 형태로 구체화될 수 있으며, 본 명세서에서 기재된 구체예로 한정되는 것으로 해석되는 것은 아니다.
본 명세서에서, 다운드로우 유리 시트 제조 공정은 점성의 유리가 하측 방향(downward)으로 드로잉되는 동안 유리가 성형되는, 임의 형태의 유리 시트 제조 공정을 가리킨다. 특히, 용융(fusion) 다운드로우 유리 성형 공정에 있어서, 용융된(molten) 유리는 트루프(trough) 내로 흐른 다음, 오버플로우되어 보다 일반적으로는 이소파이프로 지칭되는 파이프 또는 성형 ?지(wedge)의 양 면 아래로 흐른다. 상기 2개의 흐름은 루트(root)로 알려진 지점(파이프가 종료되고 유리의 2개의 흘러 넘치는 부분이 합쳐짐)에서 함께 융합되며, 그리고 조합된 흐름이 냉각될 때까지 아래 방향으로 드로잉된다.
용융 오버플로우 유리 시트 제조 공정은 도 1에 도시된 구체예를 참조하여 기재될 수 있는 바, 성형 ?지(10)는 대향하면서 세로 방향으로 연장되는 오버플로우 립 또는 웨어(16) 내 이의 상부 영역(upper extent)에서 종료하는 벽 부위(wall portions; 14)에 의하여 세로 방향(longitudinal) 면 상에서 결합된, 상측 방향으로(upwardly) 개방된 채널(12)을 포함한다. 상기 웨어(weirs; 16)는 성형 ?지(10)의 대향하는 외측 시트 성형 표면과 연통한다. 도시된 바와 같이, 성형 ?지(10)에는 웨어(16)와 연통하는, 한 쌍의 실질적으로 수직인 성형 표면부(18), 그리고 직선의 유리 드로우 라인을 형성하는 실질적으로 수평인(horizontal) 하부 정점(lower apex) 또는 루트(22)에서 종료하는, 한 쌍의 하부 방향으로 경사지고 수렴하는 표면부(20)가 제공된다.
용융된 유리(24)는 채널(12)과 연통되는 이송 경로(26)에 의하여 채널(12) 내로 공급된다. 채널(12) 내 공급은 단일 단부(single ended)되거나, 또는 원한다면 이중 단부(double ended)될 수 있다. 한 쌍의 제한 댐(restricting dams; 28)이 채널(12)의 각 단부에 인접한 오버플로우 웨어(16) 위에 제공되어 용융된 유리(24)의 자유 표면의 오버플로우가 별개의 흐름으로서 오버플로우 웨어(16) 위로 향하도록 하고, 대향하는 성형 표면부(18, 20)에서 루트(22)까지 아래로 향하도록 하는 바, 상기 개별 흐름은, 쇄선(chain lines)으로 도시된 바와 같이, 초기-면 유리(virgin-surfaced glass; 32)의 리본(이로부터 유리 시트가 분리되고 추가적으로 가공됨)을 형성하도록 수렴한다.
용융(fusion) 공정에 있어서, 당김 롤(pulling roll) 또는 롤러(34) 형태의 당김 디바이스(pulling device)가 성형 ?지 루트(22)의 다운스트림에 위치하고, 성형된 유리 리본이 루트에서 수렴하는 성형 표면을 떠나는 속도를 조절하여 최종 시트의 명목상(nominal) 두께를 정하는 것을 보조하는데 사용된다. 당김 롤은 전형적으로 이의 외측(outer) 엣지 부위(36)에서만 유리 리본과 접촉하고, 유리 리본의 내부 품질 영역은 접촉되지 않은 상태로 떠나도록 설계된다. 이후, 리본은 개별 유리 시트로 절단되고 당김 롤에 의하여 접촉된 엣지 부위(36)는 시트로부터 버려져 오직 품질 표면(quality surfaces)만을 남기게 된다.
전술한 용융(fusion) 유리 성형 공정의 한 가지 장점은, 유리 리본 품질 표면이 당김 롤과 같은 성형 장치 표면과 접촉하지 않고도 리본이 성형될 수 있는 한편, 유리의 점도는 플라스틱 변형 또는 손상을 입지 않도록 충분히 낮다는 것이다. 이는 매끈하고 오염물이 없는 유리 표면을 제공한다. 또한, 이러한 테크닉은 매우 높은 허용 오차(tolerance)로 매우 평탄하고 박막의 유리 시트를 성형할 수 있다. 그러나, 단일-면(single-sided) 오버플로우 다운드로우, 슬롯 드로우, 업드로우 및 플로트 성형 테크닉을 포함하는 다른 유리 시트 성형 테크닉 역시 본 개시 내용으로부터의 장점을 가질 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
성형된 유리 제품 내에 존재할 수 있는 응력은 이용되는 제조 공정 및 유리의 열 이력에 많이 의존한다. 이는 다른 유리 제품뿐만 아니라 유리 시트에서도 적용된다. 많은 경우에 있어서, 최종 유리 시트 내로 굳어질 수 있는 응력은 리본 유리가 점성의 액체로부터 유리질의(glassy) 고상으로 전이(transition)됨에 따라 시트가 이로부터 절단되는 유리 리본에 의하여 겪게 되는 열적 구배의 결과이다. 응력은 또한 이의 전이 과정 중 유리의 기계적 변형(deformation)을 통하여 유리 내로 도입될 수 있다. 소스에 관계 없이, 이러한 응력은 제조 설계에 의하여 최종 시트 내에 분포되어 주문자 상표 부착 생산업자(OEM)에게 제공되는 최종 시트는 실질적으로 평행한 대향(opposing) 엣지를 가지면서 실질적으로 평면이다. 시트 내 응력을 제거하거나, 또는 알려져 있으나 쉽게 제거되지 않는 응력 소스를 완화시키기 위하여 시트 내에 카운터밸런스(counterbalancing) 응력을 생성하는 시도가 일반적으로 이루어짐에 따라, 이는 제조 공정 중 제조업자가 많이 신경 쓰는 부분이다. 따라서, 유리 제조업자에 의하여 제조된 실질적으로 평면인 유리 시트는 아주 작은(minimal) 왜곡을 나타낸다. 그러나, 유리 시트가, 예를 들면 디스플레이 제조업자 또는 기타 OEM에 의하여 추가적으로 가공될 경우, 이는 변화할 수 있다. 전술한 바와 같이, OEM은 유리 기판 상의 디스플레이 디바이스용 전기 부품을 먼저 부착하고, 이후 2개(또는 그 이상)의 기판을 정렬시켜 하나의 기판 상의 부품이 다른 기판 상의 부품과 정확하게 정렬시키는 작업에 직면한다. 일단 최적으로 정렬되면, 기판들은 밀봉되어 디스플레이 디바이스를 형성할 수 있다.
OEM 제조 공정은, 최적의 재료 활용 또는 취급 능을 위하여, 종종 유리 제조업자로부터 구입된 대형의 유리 시트를 섹션 또는 서브-시트로 절단하는 것을 요구할 수 있다. 이러한 서브-시트는 디스플레이 디바이스 기판으로 작용할 수 있다. 서브-시트의 사이즈는 특히 제조되는 특정 타입의 디스플레이에 의존한다. 그러나, 일반적으로 서브-시트는 평행한 대향 엣지를 갖는 직사각형 형상이다. 응력과 관련된 왜곡이 OEM 제조 공정에 영향을 미칠 수 있는 것은 모 유리 시트가 서브-시트로 절단될 때이다. 유리 시트를 절단하는 것은 응력의 재분포를 초래하여, 서브-시트 내 응력이 새로운 평형에 도달할 수 있도록 한다. 이러한 평형은 일반적으로 서브-시트의 형상 변화(왜곡)에 의하여 도달된다.
모 유리 시트로부터 절단된 서브-시트의 왜곡은 3차원일 수 있다. 즉, 상기 시트는 모 시트의 평면을 가로지르는(traverse) 뒤틀림(warping) 및 평면 왜곡을 나타낼 수 있다. 그러나, 공정 중 OEM은, 통상적으로, 예를 들면 진공 플래튼(vacuum platen)을 이용함으로써 유리 서브-시트를 평탄화한다. 이처럼, OEM에 의하여 겪게 되는 왜곡은 평면 내 왜곡으로 인위적으로 제한되어(constrained), 서브-시트가 모 시트로부터 절단되기 전 및 서브-시트가 절단된 후에 서브-시트가 놓여 있는 평면을 따라 일 지점(예를 들면, 서브-시트의 코너)이 움직이는 오프셋(offset)으로 정의될 수 있다. 유리 시트가 일단 절단되면, 시트의 평면 내 형상은 변화할 수 있는 바, 예를 들면 서브-시트의 대향하는 엣지가 더 이상 평행하지 않을 수 있다. 따라서, 유리 제조업자가 절단된 서브-시트 내 왜곡을 예측하기 위하여는, OEM 공정이 유사하게 제한되었던 유리 시트에 대한 왜곡 측정을 수행함으로써 가능한 한 모사되는 것이 바람직하다.
합쳐질(밀봉될) 기판 상의 대응되는 부품들 간에 2%의 오프셋만으로도 문제가 되고, 이러한 개별 부품이 마이크로미터 사이즈의 스케일일 수 있기 때문에, 미세한 왜곡이라도 디스플레이 OEM에 문제가 될 수 있다는 것은 쉽게 인식될 수 있다. 본 개시 내용은, 유리 시트의 평면 내 왜곡을 예측하여 결과로서 얻어지는 정보를 유리 제조 공정 내로 피드-백함으로써 예측된 왜곡, 따라서 OEM에 의하여 수행되는 것과 같은 다운스트림의 후-성형 가공에 겪게 되는 실제 서브-시트의 왜곡 역시 저감하는, 후-성형 공정 내 왜곡을 저감하는 방법론을 제공한다.
앞서 제시된 바와 같이, 유리 제조업자는 디스플레이 분야용 유리 시트가 바람직하게는 평행한 대향 엣지를 가지면서 평탄하도록 성형한다. 그러나, 유리 제조 공정 자체 내의 치수 허용 오차는 통상적으로 마이크론 범위 내로 확장되지 않는다. 더욱이, 본 개시 내용의 대상인 왜곡 현상이 모 유리 시트가 절단된 후에만 측정될 수 있기 때문에, 검출(detection) 공정 자체는 파괴적이고(destructive), 대형 유리 시트를 입수하고자 하는 OEM의 바램을 제거한다. 요컨대, 모 유리 시트가 절단된 후에만 장래에 일어날 수 있는 왜곡을 직접적으로 검출하는 것은 유리 제조 단계에서는 가능하지 않다. 그러나, 유리 내 응력은 보다 용이하게 측정될 수 있는 바, 특히 유리 시트의 엣지에서의 응력은 더욱 그렇다. 또한, 이러한 응력은 모 유리 시트로부터 절단된 서브-시트 내 왜곡을 측정하는데 사용될 수 있다.
디스플레이 디바이스의 제조를 위한 예시적 모 유리 시트(38)는 도 2에 도시된다. 또한, 시트(38)의 각각의 엣지 세그먼트가 도시된다: 상단 엣지 세그먼트(40); 하단 엣지 세그먼트(42); 제1 면 엣지 세그먼트(44); 및 제2 면 엣지 세그먼트(46). 절단 라인(48)이 도시되며, 그리고 OEM이 모 유리 시트(38)를 취급 가능한(manageable) 사이즈로 절단할 수 있는 위치를 나타내는 바, 예를 들면 2개의 서브-시트(50, 52)를 형성한다. 물론, OEM은 상기 시트를 다양한 다른 방식으로 분할하여 적용 분야에 따라 임의 개수의 서브-시트를 제조할 수 있는 바, 모 유리 시트(38)를 최초 2개의 서브-시트로 분할하는 것은 단지 설명 목적이다.
도 3은 왜곡이 없었던 것처럼 서브-시트의 아웃라인(outline) 상에 중첩된(overlaid), 모 유리 시트(38)의 절단 후에 형성된 서브-시트를 도시한다. 도 3에 있어서, 도 2에 도시된 부재번호를 유지하면서, 서브-시트(50)의 비왜곡된 아웃라인을 부재 번호 50의 점선(dashed line)으로 표시하고, 실제 절단 후 왜곡된 서브-시트는 부재 번호 50'의 실선(solid line)으로 표시한다. 도시된 바와 같이, 서브-시트(50')는, 모 유리 시트(38)로부터 절단된 후, 적어도 평면 내 곡선(도면에서는 과장되어 있음)을 나타낸다. 물론, 서브-시트(50')는 예를 들면 배럴 왜곡(barrel distortion)과 같은 다양한 다른 형상을 가질 수 있다. 그러나, 서브-시트가 모 시트로부터 절단된 후에 나타낼 수 있는 실제 형상에 대하여 한정되지는 않지만, 도 3에 도시된 곡선의 평면 내 왜곡이 본 개시 내용을 기재하는데 사용된다.
예상하는 바와 같이, 왜곡을 나타내는 2개의 서브-시트 상에 디스플레이 부품을 정렬하는 것은, 특히 2개의 서브-시트의 형상이 상이한 경우, 문제시되는 것으로 판명될 수 있다. 서브-시트(50')에 의하여 나타난 왜곡은, 예를 들면 절단된 서브-시트 내에서의 왜곡으로 인하여, 서브-시트(50) 상의 미리 정해진 지점(point)과 절단된 서브-시트(50') 상의 지점의 대응되는 실제 지점 간의 거리로 나타낼 수 있다. 설명 목적 상, 서브-시트의 1 또는 그 이상의 코너 지점을 선택하고, 절단 후 코너 지점들이 있어야 하는(또는 있는 것이 바람직한) 위치로부터 절단 후 코너가 실제 존재하는 위치까지의 거리를 측정할 수 있다. 따라서, 일 구체예에 있어서, 서브-시트(50') 내 왜곡은 지점 A와 A' B와 B' C와 C' 그리고 D와 D' 간의 벡터 거리(또는 오프셋)로 나타낼 수 있다. 이러한 오프셋은 왜곡을 나타낸다. 물론, 절단된 서브-시트가 모 유리 시트의 일부인 경우에 이것이 차지하는 정확하게 동일한 위치로 절단된 서브-시트를 재위치시키는 것은 왜곡이 존재하지 않는다면 충분히 어려울 것이다. 서브-시트가 절단으로 인하여 왜곡되는 경우, 오프셋을 감소시키는 절단 후 위치에 서브-시트를 위치시켜 정확한 왜곡을 반영할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
일 예시적 구체예에 있어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 보증 마크(54; x의 배열과 같음) 형태의 표시로 마킹된 모 시트(38)는 대응되는 보증마크(58)를 갖는 평면(planar) 측정 테이블(56) 상에 위치될 수 있어 모 유리 시트(38)의 보증 마크(54)가 테이블 보증 마크(58)로부터 오프셋(선형으로 이동됨)된다. 측정 테이블(56)이 측정되는 유리 시트(38)에 유사한 열 팽창 특성을 갖는 것이 바람직하다. 모 유리 시트(38)는 테이블 상에 위치하여 모 유리 시트의 보증 마크(54)가 측정 테이블의 보증 마크(58)로부터 x 및 y 방향으로 약간 오프셋된다. 모 유리 시트 및 측정 테이블은 이후 고 해상도 이미지 시스템(도시되지 않음)을 이용하여 이미지화되고 이미지(이미지들)은 X 및 Y 오프셋을 정량화하기 위하여 분석되는 바, 예를 들면 도 5에 도시된 예에서 라인 간격(line spacing)은 x-방향으로의 거리 및 y-방향으로의 거리로 나타내고, R은 2개의 보증 마크 사이의 직접적인 거리를 나타낸다. 그 다음, 모 유리 시트(38)는 절단되어 복수의 서브-시트를 형성한다. 각각의 서브-시트는 테이블 상에서 대체되고, 재차 이미지화되며, 그리고 테이블과 서브-시트 보증 마크 간의 오프셋이 수학적으로 변환된다(reduction). 또한, 전술한 바와 같이, 서브-시트를 평탄화함으로써 서브-시트에 의하여 나타난 왜곡을 평면 왜곡으로 제한하는 것이 바람직하다. 재차 설명하면, 예를 들면 측정 테이블이 진공 플래튼 형태인 경우, 이는 용이하게 달성될 수 있다. 서브-시트가 실질적으로 평면으로 제한되므로, 테이블 보증 마크로부터 서브-시트 상 각각의 보증 마크의 오프셋은 간단한 병진 및 회전 요소(translational and rotational components)로 분해되고 종래의 좌표계 변형(coordinate system transformation)이 오프셋을 저감하는데 사용될 수 있다. 이러한 전산화는 컴퓨터의 조력 하에 달성될 수 있다. 간단한 스프레드시트(spreadsheet) 전산화면 충분하다. 물론, 당업계에서 공지된 위치 및 위치 변화를 마킹하고(marking) 측정하는 다른 방법 역시 이용 가능하다.
서브-시트(50')의 왜곡은 서브-시트의 왜곡을 지시하는 왜곡 파라미터를 선정하고, 산출하거나, 또는 이와 다른 방법으로 결정하는 것에 의하여 더 나타낼 수 있다. 예를 들면, 전술한 지점들 간 측정된 오프셋의 가장 큰 것을 왜곡 파라미터로 선택할 수 있다. 따라서, 예를 들면, A-A' 변위(displacement)가 0.1 ㎛이고, B-B' 변위가 0.25 ㎛이며, C-C' 변위가 0.15 ㎛이고, 그리고 D-D' 변위가 0.075 ㎛인 서브-시트에 있어서, 상기 서브-시트는 0.25 ㎛의 평면 내 왜곡을 나타낸다고 말할 수 있고, 이는 가장 큰 변위, 즉 B-B' 간에 상당한다. 개별 OEM은 그 자신의 왜곡 정의를 적용할 수 있고, 이는 예측된 왜곡 모델의 개발 과정 중 설명되어야 한다. 즉, 상기 방법은 단지 서브-시트의 코너에 대한 왜곡을 수반하고 최대값을 선택하는 것을 기술하나, 본 구체예에 따라 왜곡을 정의하는 한가지 방법이다. 서브-시트 중심(centroid)의 변위 또는 서브-시트 상의 임의의 다른 지점 또는 일련의 지점들의 변위로서 왜곡을 쉽게 정의할 수도 있다. 예를 들면, OEM은 서브-시트 상에 복합 디스플레이 디바이스로부터 부품을 부착할 수 있고, OEM에 의하여 적용되는 왜곡의 정의는, 보다 큰 왜곡 해상도를 갖는 것과 같이 보다 정제된 정의를 적용함으로써 이러한 점을 고려할 수 있다. 이는 전산화된 지점-대-지점 쌍의(point-to-point paired) 오프셋 거리의 수를 간단히 증가시킴으로써 일어날 수 있다. 또한, 왜곡은 측정된 왜곡의 최대값을 선택하기보다는 개별 측정된 왜곡으로부터의 왜곡 값을 계산함으로써 나타낼 수 있다. 예를 들면, 서브-시트의 왜곡 파라미터는 개별 측정된 왜곡의 평균일 수 있다. 서브-시트에 대한 적절한 왜곡을 표현하는 것은 개별 OEM의 요구에 크게 의존한다.
대향하면서 대응되는, 1 또는 그 이상의 디스플레이 디바이스용 디스플레이 부품들을 갖는 기판(예를 들면, 서브-시트)을 정렬하기 위하여, OEM은 통상적으로 전술한 바와 같이 최적화 루틴을 채택하여 기판이 합쳐질 때 부품 오프셋을 저감한다. 이러한 최적화 루틴은 일반적으로 특정 OEM에게 소유되어 있다.
전술한 바에 기초하여, 유리 서브-시트 내 허용 가능한 왜곡이 모 유리 시트 제조공정에서 중대한 고려사항이 됨을 용이하게 알 수 있다. 이와 동일하게, OEM 에 의하여 절단된 유리 패널의 장래 왜곡을 직접적으로 측정하는 것은 유리 제조업자에게 근본적인 딜레마를 야기하는 것이 명확하다.
비등방성(nonisotropic) 응력 하의 유리 시트는 복굴절(birefringent)이다. 복굴절 물질은 상이한 굴절율(refractive indices)을 갖는 2개의 직교(orthogonal) 광 축을 갖는다. 하나의 축에 대하여 평행한, 편광은 직교 축에 대하여 평행한 편광과는 다른 속도로 물질을 통과한다. 이는 리타데이션(retardation)으로 불리는 이러한 2개의 광 성분 간 상 전이(phase shift)를 생성한다. 리타데이션은 차례로 응력을 계산하는데 사용될 수 있다. 이와 같이 계산된 응력은 이후 모 시트로부터 절단된 서브-시트 내 왜곡을 예측하기 위한 추가 계산에 사용될 수 있다. 시트 중앙에서의 응력을 결정하는데 분석 테크닉(Analytical techniques) 또는 유한 요소 분석이 요구될 수 있고, 결과는 종종 기저가 되는 전제(underlying assumptions)의 작은 변화에도 민감하다.
유리 서브-시트 왜곡의 예측 변수(predictor)로서 응력, 특히 유리 시트의 엣지에서의 응력의 유용성은, 유리 시트의 치수가 증가함에 따라 감소할 수 있는데, 전체 시트 사이즈가 증가함에 따라 엣지 응력이 모 유리 시트(따라서 이로부터 절단된 서브-시트)의 중앙 영역 내 응력을 덜 대표하기 때문이다. 더욱이, 모 유리 시트의 사이즈가 증가함에 따라, 계산된 응력 내 에러는 허용 가능한 최대 왜곡만큼 또는 이보다 클 수 있다. 반면, 측정된 리타데이션 값 자체는 보다 높은 확실성(certainty)을 갖고 수행될 수 있다. 따라서, 리타데이션 자체는 약 1200 mm x 1300 mm와 같거나 이보다 큰 치수의 모 유리 시트에 대한 중간 계산된 응력(intermediate calculated stress)을 사용하는 것보다 유리의 서브-시트 왜곡의 보다 양호한 예측 변수가 될 수 있으며, 약 1500 mm x 1800 mm와 같거나 이보다 큰 치수의 모 유리 시트에 대하여는 더욱 그렇다.
본 개시 내용의 일 구체예에 따르면, 리타데이션은 실질적으로 평탄한 모 유리 시트(38)의 전체 표면을 가로질러 2차원 격자 무늬(grid) 패턴으로 배열된 개별 지점들에서 측정된다. 리타데이션 데이터는 이후 하기 설명에 부합되는 방법으로 분석된다. "부합되는(consistent with)"이라는 용어는 분석 자체가 컴퓨터 디바이스(예를 들면, 데스크탑 컴퓨터 등)에 의하여 전산 처리될 수 있음을 의미한다.
리타데이션은 모 시트의 표면에 걸쳐 동일할 수 없기 때문에 모 시트 상에서 측정된 리타데이션 값을 지시하는 리타데이션 파라미터를 고안할 수 있다. 모 유리 시트(38)의 평균 리타데이션 값 Rav은 유리 시트 상에서 측정된 개별 리타데이션 측정 값 모두에 대한 간단한 산술 평균(arithmetic average)으로 정하여질 수 있다. 모 유리 시트(38)는 이후 서브-시트로 절단되고, 각각의 서브-시트에 대하여 복수의 왜곡이 측정된다. 예를 들면, 전술한 바와 같이 최대 코너 오프셋이 선택될 수 있다. 그러나, 왜곡은 절단 패턴(예를 들면, 서브-시트의 사이즈)의 함수이므로, 만약 사용된 유리 성형 장치로부터 형성된, 유리 시트의 예측된 왜곡이 궁극적으로 구매자(예를 들면, OEM)에 의하여 사용된다면, 상기 시트는 특정 OEM이 유리를 절단하는 방식에 따라 절단되어야 하고, 왜곡(예를 들면, 오프셋)은 OEM이 왜곡을 계산하는 방식대로 계산되어야 한다. 이는 차례로 OEM이 유리를 이용하는 바에 의존할 수 있다. 예를 들면, 많은 OEM이 단일 서브-시트 상에 복합 디스플레이용 부품을 부착하며, 따라서 서브-시트 자체의 코너보다는 서브-시트 상에 배열된 각각의 디스플레이 부품의 코너에 대한 오프셋에 따라 왜곡을 측정하도록 선택할 수 있다. 어떤 경우이든, 일단 모 유리 시트가 절단되면, 절단 전 모 유리 시트 상의 지점과 절단 후 각각의 서브-시트 상의 동일 지점 상의 지점 간 오프셋, 및 서브-시트에 대한 대표적인 오프셋을 결정하는데 사용되는 서브-시트 왜곡 측정 중 적어도 하나(즉, 오프셋)를 포함하는 복수의 왜곡 측정이 이루어진다. 이는 각각의 서브-시트에 대하여 행하여진다.
각각의 서브-시트에 대한 왜곡 파라미터는, 예를 들면 최대 측정된 왜곡으로서 결정되거나, 또는 왜곡 파라미터는 측정된 왜곡의 평균과 같이 측정된 왜곡으로부터 유래된 몇 가지 다른 값일 수 있다. 대부분의 경우에 있어서, 주어진 서브-시트에 대한, 측정된 왜곡의 최대값이 선택되는 바, 이러한 가장 나쁜 경우의 선택은 왜곡 규격을 충족함에 있어 제조자에게 보다 큰 보호를 제공한다.
일단 왜곡 파라미터가 각각의 서브-시트에 대하여 결정되면, 전체로서 서브-시트의 모음(collection)을 나타내는 왜곡이 결정되고, 모 시트의 왜곡 파라미터 δmeas로서 지정된다. 각각의 서브-시트의 경우에서와 같이, 서브-시트의 모음에 대한 왜곡 파라미터는 다양한 방식으로 결정될 수 있다. 그러나, 일반적으로 서브-시트의 모음(예를 들면, 모 유리 시트로부터 절단된 모든 서브-시트)을 나타내는 왜곡은 개별 서브-시트에 대한 왜곡 파라미터의 가장 큰 값(최대값)으로 결정된다.
단일 제품을 구성하는 n개의 모 시트의 평균 리타데이션 Rav 및 왜곡 파라미터 δmeas의 절대값은 하기 식을 이용하여 상관된다:
Figure pct00001
상관 계수 M은 절편(intercept) B를 갖는 통상의 최소 제곱 회귀를 수행함으로써 결정된다.
일단 만들어지면, 수식 (1)은 주어진 모 유리 시트로부터 절단될 때 미리 정해진 사이즈 및 형상의 서브-시트가 나타내는 왜곡의 량을 예측하는데 사용될 수 있다. 상기 예에 있어서, Rav는 주어진 모 유리 시트에 대한 평균 리타데이션 데이터에 기초한 설명에 따라 결정되고, 최대 왜곡 절대값에 대한 값은 측정된 왜곡 값을 대체하여 계산된다. 즉, δmeas는 식 (1)에서 δPmax로 대체된다. 실제, 예를 들면 이후에 모 유리 시트에 대한 최대 예측 왜곡 값을 계산하고 부여하여, 모 시트로부터 절단된 서브-시트에 의하여 나타나는 것으로 기대될 수 있는 최대 왜곡을 효과적으로 기술할 수 있다.
기재된 바와 같이, 왜곡의 정의, 즉 왜곡이 어떻게 측정되는지는 특정 OEM에 의하여 결정되거나, 또는 유리 제조업자에 의하여 선택될 수 있다. 전술한 방법에 따라 분석된 유리 시트 이후에 제조되고 동일한 성형 장치로부터 드로잉된 유리 시트는 리타데이션에 대하여 측정되고, 본 구체예에 따른 분석이 적용되어 앞선 분석 과정에서 얻어진 계수 M 및 절편 B를 이용하여 후속 모 유리 시트에 대한 예측된 왜곡을 결정하도록 적용된다. 이후, 제조 공정은 예측된 왜곡에 응답하여 변경될 수 있다. 예를 들면, 본 명세서에 기재된 용융(fusion) 장치로부터 드로잉된 유리 리본은 미리 정해진 냉각 계획(cooling scheme)에 따라 처리되는 바, 유리 리본(이로부터 모 유리 시트가 절단됨)의 온도는 유리의 온도(또는 점도), 및/또는 리본 폭을 가로지르는 위치(location)에 따라 변화한다.
유리 제조 및 성형 공정은, 필요에 따라서는 드로잉될 때 유리 리본의 냉각 및/또는 가열 계획을 변화시키는 것 등에 의하여 예측된 왜곡을 저감하도록 변경될 수 있다. 예측된 왜곡에 응답하여 공지된 방법에 따라 변경될 수 있는 다른 공정 변수들은 시트 드로우 또는 당김 속도, 드로우 장력(tension) 및 이소파이프/유리 온도를 포함하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
보다 정확한 왜곡 예측을 보장하기 위하여, 앞선 리타데이션 분석이 불가피한 공정 변화(variation)의 효과를 포착하도록 주어진 시간 간격에 걸쳐 복수의 모 유리 시트에 대하여 수행될 수 있다. 따라서, 예를 들면, 본 개시 내용에 따른 분석은, 수일 또는 수주의 간격에 걸쳐 일 기준으로 복수의 모 유리 시트 상에서 수행될 수 있다. 이러한 복수의 측정은 이후 조합되어 식 (1)이 수정될 수 있다.
평균 리타데이션 값이 당업계에서 알려진 방식으로 왜곡에 대한 제조 공정의 제어 파라미터로서 사용될 수 있다는 것은 본 명세서의 개시 내용으로부터 당업자에게 자명하다. 따라서, 평균 리타데이션 값에 대하여 제어 한계가 존재하고, 미리 정해진 량에 의하여 왜곡에 대한 제조 한계를 초과하지 않도록 유리 시트 제조 공정이 이러한 한계 내에서 제어된다.
평균 리타데이션 값은 OEM과 유리 제조업자 간의 유리 시트의 거래에 있어서 제품 규격으로서 추가적으로 사용될 수 있다. 이 경우, 주어진 모 유리 시트에 대한 주어진 평균 리타데이션 값에 대하여 모 유리 시트에 대한 예측된 최대 왜곡은 시트에 대한 통과/불량(pass/fail) 기준으로서 미리 정해진 최대 왜곡 값과 비교된다. 예를 들면, 미리 정해진 통과/불량 기준은 δPmax ≤1.5 ㎛에서 설정될 수 있다. 택일적으로, 모 유리로부터 절단된 유리의 서브-시트 내 왜곡이 평균적으로 0.7 ㎛만큼 낮고, 개별 기준으로는 1.0 ㎛보다 작도록 하는 것이 필요할 수 있다. 평균 리타데이션에 대하여 측정된 각각의 개별 유리 시트보다는 유리 시트의 집단(population)이 샘플링되어 통과/불량 한계에 대한 성능을 결정하도록 당업계에 알려진 통계적 샘플링 방법을 적용할 수 있다.
이하에서는 평균 리타데이션을 왜곡과 상관시키는 일 실시예를 보여준다. 상기 실시예는 연속 용융(fusion) 드로잉된 유리로부터의 샘플 유리 시트 중 각각의 유리 시트의 평균 리타데이션을 샘플 내 각각의 모 시트로부터 절단된 4개의 서브-시트의 최대 왜곡 절대값에 상관시키기 위하여 통상의 최소 제곱 회귀법을 사용하는 것을 설명한다.
각각의 모 시트는 x 및 y방향 각각으로 1850 mm x 1500 mm이었다. 각각의 모 시트는 평탄화되었고, x 방향으로 20 mm, y 방향으로 100 mm 분리된 지점에서 단일 리타데이션이 측정된다. 각각의 시트에 대하여 1674회 리타데이션 측정의 평균이 산출된다. 각각의 모 시트는 OEM에서 4개의 서브-시트로 절단되고, 그리고 각각의 서브-시트의 각각의 코너에서 x 및 y 좌표에 대한 왜곡이 보고된다. y 좌표가 0에 가장 근접한 상태에서 각각의 서브-시트의 2개의 코너 간 x 좌표의 차이가 산출된다. 이러한 차이를 피지로 언급한다. y 좌표가 1500에 가장 근접한 2개의 코너에 대하여 유사한 측정이 수행된다. x 좌표가 0에 가장 근접한 상태에서 각각의 서브-시트의 2개의 코너 간 y 좌표의 차이가 산출되었고, y 좌표가 1850에 가장 근접한 2개의 코너에 대하여 유사한 측정이 수행되었다. 그 결과, 서브-시트 당 4 피치, 그리고 하나의 모 시트에 속하는 모든 서브-시트에 대하여는 16 피치가 얻어진다. 모 시트에 대응되는 각각의 서브-시트 셋에 대한 최대 피치의 절대값을 각각의 모 시트의 평균 리타데이션에 대하여 플로팅하여 통상의 선형 회귀법을 이용하여 선형 핏(linear fit)이 얻어진다.
도 6은 결과로서 커브(60)가 회귀 핏(regression fit)으로부터 얻어지는 평균 선(line of means)임을 나타낸다. 커브(61)는 신뢰 상수(confidence coefficient) 0.95를 갖는 95% 통계적 허용 상한(upper 95% statistical tolerance limit)이다. 커브(62)는 상술한 방식으로 측정된 왜곡에 대한 제조 한계가 1.9 ㎛인 경우를 예시한다. 이러한 왜곡 한계는 0.335 nm의 평균 리타데이션에서 통계적 허용 상한을 교차한다. 따라서, 평균 리타데이션이 제조 과정에서 조절되어 0.335 nm를 초과하지 않는다면, 제조된 시트의 95%는 95% 신뢰도로 ≤1.9 ㎛ 왜곡을 갖는 것으로 예측된다. 타겟 평균 리타데이션은 3σ 관리 상한(3σ upper control limit)이 ≤0.335 nm가 되도록 제조 공정 중 설정되고, 이러한 평균 리타데이션의 타겟 값을 갖는 모 유리 시트를 형성하도록 유리 제조 공정이 변경된다. 이처럼, 리타데이션 파라미터를 제어함으로써, 왜곡 파라미터(예를 들면, 최대 왜곡)을 미리 정해진 신뢰 수준(예를 들면, 95%)에서 미리 정해진 확률(probability; 예를 들면 95%)을 갖는 특정 값(예를 들면, 1.9 ㎛) 미만으로 유지할 수 있다.
평균 리타데이션은, 국부화된 응력 장(특히, 유리 흐름 경로에 평행한)을 유발할 수 있는 시트 내 임의의 국부화된 열 구배를 저감함으로써 감소된다. 이러한 온도 장(temperature fields)은 기계 설계에 의하여 저감된다(열 상처(thermal scarring)을 배제하도록 설계하고 적당한 와인딩(discreet windings)을 설계함). 또한, 시트의 모든 영역에 대하여 설정 영역 온도(setting zone temperatures)를 통한 냉각 속도는 또 다른 시트에 대한 시트의 일 섹션 내 팽창 차이를 저감하도록 조절된다. 이는 장력 및 압축 밴드를 저감하여 리타데이션을 감소시킨다. 시트의 평면 외 형상(out of plane shape) 역시 최종 제품 내에서 저감되어 중력 또는 진공에 의하여 유리가 평탄화되도록 힘이 가해질 때 생성되는 장력 및 압축 밴드를 감소시킨다. 평면 외 형상은, 전륜 드라이브(all-wheel drive), 시트 가이드 디바이스 및 로봇 텐셔닝 및 분리 테크닉을 통하여(이에 한정되지는 않음) 형성되나, 설정 영역을 통한 냉각 속도에 의하여, 그리고 시트가 평면을 유지하도록 보조하는 기계적 디바이스에 의하여 감소된다.
전술한 기재가 유리 시트 제조를 위한 용융 다운드로우 방법을 고려하여 제공되기는 하였으나, 본 개시 내용은 업드로우 및 플로트 방법(이에 한정되는 것은 아님)을 포함하는 성형 공정에 적용될 수 있다.
청구된 발명의 취지 및 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 변형 및 변경이 이루어질 수 있음은 당업자에게 자명하다.

Claims (20)

  1. 유리 시트 내 왜곡을 저감하는 방법으로서,
    유리 제조 공정에서 유리 리본(ribbon)을 형성하는 단계;
    상기 유리 리본으로부터 유리 시트를 분리하는 단계, 상기 유리 시트는 실질적으로 평탄한(flat) 표면을 가짐;
    상기 유리 시트의 표면을 통하여 리타데이션(retardation)을 측정하는 단계;
    상기 유리 시트의 리타데이션을 지시하는 리타데이션 파라미터를 정의하는 단계;
    상기 유리 시트를 복수의 서브-시트로 절단하는 단계;
    상기 서브-시트의 왜곡을 측정하는 단계;
    상기 서브-시트의 왜곡을 지시하는 왜곡 파라미터를 정의하는 단계;
    상기 리타데이션 파라미터와 상기 왜곡 파라미터 간의 상관 관계(correlation)를 결정하여 후속 유리 시트의 서브-시트의 왜곡 파라미터가 상기 상관 관계에 기초하여 예측될 수 있도록 하는 단계; 및
    상기 유리 제조 공정을 변경하여 후속 유리 시트의 리타데이션이 조절됨으로써 상기 상관 관계에 기초하여 상기 후속 유리 시트로부터의 서브-시트의 왜곡을 저감하는 단계;
    를 포함하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 왜곡 파라미터는 미리 정해진 확률을 갖는 특정 값 미만으로 유지되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 서브-시트의 왜곡을 측정하는 단계는 절단 전 및 후의 상기 서브-시트의 평면을 따라 제1 셋의 지점들의 오프셋으로 정의되는 평면 내 왜곡을 측정하는 단계를 수반하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 왜곡 파라미터는 제1 셋의 지점들에서 측정된 평면 내 왜곡의 최대값과 동등한 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 리타데이션을 측정하는 단계는 상기 표면 상의 제2 셋의 지점들에서 리타데이션을 측정하는 단계를 포함하고, 상기 리타데이션 파라미터는 제2 셋의 지점들에서 리타데이션의 평균인 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 리타데이션을 측정하는 단계 이전에 상기 유리 시트를 평탄화하는 단계; 및
    상기 왜곡을 측정하는 단계 이전에 상기 서브-시트 각각을 평탄화하는 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 유리 시트 내 왜곡을 저감하는 방법으로서,
    유리 제조 공정에서 유리 리본(ribbon)을 형성하는 단계;
    상기 유리 리본으로부터 유리 시트를 분리하는 단계, 상기 유리 시트는 실질적으로 평탄한(flat) 표면을 가짐;
    상기 유리 시트의 표면을 통하여 리타데이션(retardation)을 측정하는 단계;
    상기 유리 시트의 리타데이션을 지시하는 리타데이션 파라미터를 정의하는 단계;
    상기 유리 시트를 복수의 서브-시트로 절단하는 단계;
    상기 서브-시트의 왜곡을 측정하는 단계;
    상기 서브-시트의 왜곡을 지시하는 왜곡 파라미터를 정의하는 단계; 및
    상기 리타데이션 파라미터와 상기 왜곡 파라미터 간의 상관 관계(correlation)를 결정하여 후속 유리 시트의 서브-시트의 왜곡 파라미터가 상기 상관 관계에 기초하여 예측될 수 있도록 하는 단계;
    를 포함하는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 리타데이션을 측정하는 단계는 상기 표면 상의 제2 셋의 지점들에서 리타데이션을 측정하는 단계를 포함하고, 상기 리타데이션 파라미터는 제2 셋의 지점들에서 리타데이션의 평균인 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 리타데이션 파라미터와 상기 왜곡 파라미터 간의 상관 관계를 이용하여 후속 유리 시트의 서브-시트의 왜곡 파라미터를 예측하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 후속 유리 시트의 리타데이션이 조절됨으로써 상기 상관 관계에 기초하여 후속 유리 시트로부터 상기 서브-시트의 왜곡을 저감하도록 상기 유리 제조 공정을 변경하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 왜곡 파라미터는 미리 정해진 확률을 갖는 특정 값 미만으로 유지되는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제7항에 있어서, 상기 결정 단계는 최소 제공 회귀 접근법을 이용하여 수식화하는 단계를 수반하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제7항에 있어서, 상기 서브-시트의 왜곡을 측정하는 단계는 절단 전 및 후에 상기 서브-시트의 평면을 따른 지점의 오프셋으로 정의되는 평면 내 왜곡을 측정하는 단계를 수반하는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 지점은 상기 서브-시트 각각의 중심(centroid)인 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제13항에 있어서, 상기 서브-시트의 평면 내 왜곡을 측정하는 단계는 상기 서브-시트 상의 제1 셋의 지점들의 평면 내 왜곡을 측정하는 단계를 수반하는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 서브-시트의 코너가 상기 제1 셋의 지점들을 정의하는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 제15항에 있어서, 상기 왜곡 파라미터는 상기 제1 셋의 지점들에서 측정된 평면 내 왜곡의 평균과 동등한 것을 특징으로 하는 방법.
  18. 제15항에 있어서, 상기 왜곡 파라미터는 상기 제1 셋의 지점들에서 측정된 평면 내 왜곡의 최대값과 동등한 것을 특징으로 하는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 후속 유리 시트의 리타데이션이 조절됨으로써 상기 상관 관계에 기초하여 후속 유리 시트로부터 상기 서브-시트의 왜곡을 저감하도록 상기 유리 제조 공정을 변경하는 단계를 더 포함하고, 상기 평면 내 왜곡의 최대값은 미리 정해진 확률을 갖는 특정 값 미만으로 유지되는 것을 특징으로 하는 방법.
  20. 제17항에 있어서, 상기 후속 유리 시트의 리타데이션이 조절됨으로써 상기 상관 관계에 기초하여 후속 유리 시트로부터 상기 서브-시트의 왜곡을 저감하도록 상기 유리 제조 공정을 변경하는 단계를 더 포함하고, 상기 평면 내 왜곡의 평균은 미리 정해진 확률을 갖는 특정 값 미만으로 유지되는 것을 특징으로 하는 방법.
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