KR20150013628A - 로드록 챔버와, 그를 이용하여 기판을 처리하는 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 로드록 챔버(loadlock chamber)와, 이를 이용하여 다수의 기판을 처리하는 방법을 제공한다. 상기 로드록 챔버는 챔버 하우징, 척, 지지 프레임 및 하나 이상의 승강 기구를 구비한다. 상기 챔버 하우징은 제1 진공 밸브와 제2 진공 밸브를 갖는 챔버 하우징을 가지며, 상기 챔버 하우징을 거쳐 상기 기판이 상기 챔버 하우징 내에 반입되거나 또는 상기 챔버 하우징 외부로 반출된다. 상기 척은 상기 기판을 보유하도록 플레이트부를 갖는다. 상기 플레이트부는 상기 챔버 하우징 내에 수용되며 2개 이상의 노치를 형성한다. 상기 챔버 하우징 내에 수용되는 상기 지지 프레임은 2개 이상의 연결부를 갖는다. 상기 연결부 중 어느 것으로부터 지지 플랫폼의 적층체가 돌출한다. 모든 지지 플랫폼은 상기 척의 노치 내에 배치된 위치부(placing portion)를 갖는다. 상기 위치부는 상기 척의 플레이트부와 평행한 동일 평면 내에 있으며 상기 기판 중 한 장을 보유할 수 있다. 상기 승강 기구는 상기 지지 프레임의 연결부를 승강시키는데 이용된다.

Description

로드록 챔버와, 그를 이용하여 기판을 처리하는 방법{LOADLOCK CHAMBER AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATES USING THE SAME}
본 발명은 일반적으로 반도체 소자 제조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게 로드록 챔버와, 그를 이용하여 기판을 처리하는 방법에 관한 것이다.
반도체 소자 제조 효율을 개선하기 위해, 로드록 챔버가 이용되며, 이는 반도체 기판이 처리되기 전후에 반도체 기판을 처리하기 위해 이송 챔버와 외부 공간 사이에 배치된다. 일반적으로, 로드록 챔버는 반도체 기판을 가열 또는 냉각하는데 이용된다.
미국특허공개 US 2011/0308458호는 로드록 챔버를 개시한다. 로드록 챔버는 배치되는 미처리의 대형 기판을 위한 2개의 반입 챔버(loading chambers)와, 배치되어 처리된 대형 기판을 위한 2개의 반출 챔버(unloading chambers)로 나뉜 4개 챔버의 적층체를 구비한다. 반입 챔버 및 반출 챔버 각각은 제1 입구/출구 포트, 제2 입구/출구 포트 및 대형 기판을 배치하는 내측 스테이지를 구비한다. 미처리된 대형 기판을 가열하도록 반입 챔버의 스테이지에는 예열기(pre-heater)가 배치된다. 처리된 대형 기판을 냉각하도록 반출 챔버의 스테이지에는 냉각기(cooler)가 배치된다. 대기 이송 로봇(atmospheric transfer robot)에 의해 미처리된 대형 기판은 반입 챔버 내에 반입되거나 또는 처리된 대형 기판이 반출 챔버로부터 반출된다. 대기 이송 로봇이 미처리된 대형 기판을 반입 챔버 내로 이송하거나 또는 처리된 대형 기판을 반출 챔버 외부로 이송할 때, 반입 챔버 및 반출 챔버 양자는 대기압 상태로 유지된다. 반입 챔버 및 반출 챔버에 각각 연결하는 이송 챔버 내에 배치된 이송 로봇이 대형 기판을 반입 또는 반출할 때, 반입 챔버 및 반출 챔버는 이송 챔버의 상태와 같이 진공 상태로 유지된다. 즉, 미처리된 대형 기판이 반입 챔버 내로 반입되기 전에, 반입 챔버의 압력 상태가 대기압 상태와 동일하게 되도록 반입 챔버 내에 질소 가스가 도입된 다음, 입구 포트가 개방되고, 대기 이송 로봇은 미처리된 대형 기판을 반입 챔버 내로 반입한다. 그 다음, 입구 포트가 폐쇄되고, 반입 챔버에 진공 형성되며, 미처리된 대형 기판이 가열된다. 냉각 공정은 가열 공정과 유사하며, 이는 본원에 상세하게 기술되지 않는다.
상기한 설명으로부터 로드록 챔버의 작업 효율이 매우 낮음을 알 수 있는데, 그 이유는 기판, 반입 챔버 또는 반출 챔버를 각각 가열 또는 냉각하는 것이 질소 가스를 주입시켜서 진공 형성될 필요가 있기 때문이다. 따라서, 기판을 처리하기 위한 개선된 로드록 챔버가 급히 요구된다.
따라서, 본 발명의 목적은 다수의 기판을 처리할 수 있는 로드록 챔버를 제공하는 것이다.
본 목적을 성취하기 위해, 상기 로드록 챔버는 챔버 하우징, 척, 지지 프레임 및 하나 이상의 승강 기구를 구비한다. 상기 챔버 하우징은 제1 진공 밸브와 제2 진공 밸브를 가지며, 상기 챔버 하우징을 거쳐 상기 기판이 상기 챔버 하우징 내에 반입되거나 또는 상기 챔버 하우징 외부로 반출된다. 상기 척은 상기 기판을 보유하도록 플레이트부를 갖는다. 상기 플레이트부는 상기 챔버 하우징 내에 수용되며 2개 이상의 노치를 형성한다. 상기 지지 프레임은 상기 챔버 하우징 내에 수용되며 2개 이상의 연결부를 갖는다. 상기 연결부 중 어느 것으로부터 지지 플랫폼의 적층체가 돌출한다. 모든 지지 플랫폼은 상기 척의 노치 내에 배치된 위치부(placing portion)를 갖는다. 상기 위치부는 상기 척의 플레이트부와 평행한 동일 평면 내에 있으며 상기 기판 중 한 장을 보유할 수 있다. 상기 승강 기구는 상기 지지 프레임의 연결부를 승강시키는데 이용된다.
따라서, 본 발명의 목적은, a) 상기 로드록 챔버의 압력을 대기압으로 조절하도록 상기 로드록 챔버 내에 불활성 가스를 도입하는 단계; b) 상기 제1 진공 밸브를 개방하고, 상기 위치부 상에 상기 다수의 기판을 반입하는 단계; c) 상기 제1 진공 밸브를 폐쇄하고, 상기 로드록 챔버를 진공 상태로 유지하도록 상기 로드록 챔버를 진공 형성하는 단계; d) 상기 플레이트부 위로 하강되고 처리될 상기 플레이트부와 소정 간격을 갖거나, 또는 처리될 상기 플레이트부 상에 하강되는 최하측 위치부 상으로 상기 지지 프레임과 상기 기판을 하강시키는 단계; e) 상기 최하측 위치부 상에 보유되는 상기 지지 프레임 및 처리된 기판을 상승시키는 단계; f) 상기 제2 진공 밸브를 개방하고, 상기 로드록 챔버로부터 처리된 기판을 반출하는 단계; 및 g) 모든 다수의 기판이 처리되어 상기 로드록 챔버로부터 하나씩 반출될 때까지 단계 d)~f)를 반복하는 단계를 포함하는, 로드록 챔버를 이용하여 다수의 기판을 처리하는 방법을 제공하는 것이다.
따라서, 본 발명의 목적은, a) 상기 로드록 챔버를 진공 형성하고, 상기 로드록 챔버를 진공 상태로 유지하는 단계; b) 상기 제2 진공 밸브를 개방하고, 상측 위치부 상에 한 장의 기판을 반입하는 단계; c) 처리될 상기 플레이트부 상에 하강되는 상기 지지 프레임과 상기 기판을 하강시키는 단계; d) 상기 상측 위치부 상에 있는 상기 지지 프레임 및 처리된 기판을 상승시키는 단계; e) 모든 상기 위치부가 상기 다수의 기판을 보유할 때까지 단계 b)~d)를 반복하는 단계; f) 상기 제2 진공 밸브를 폐쇄하고, 상기 로드록 챔버의 압력을 대기압으로 조절하도록 상기 로드록 챔버 내에 불활성 가스를 도입하는 단계; 및 g) 상기 제1 진공 밸브를 개방하고, 상기 로드록 챔버 외부로 모든 기판을 반출하는 단계를 포함하는, 로드록 챔버를 이용하여 다수의 기판을 처리하는 방법을 제공하는 것이다.
상술한 바와 같이, 상기 로드록 챔버는 다수의 기판을 처리할 수 있는 한편, 상기 로드록 챔버는 한 번의 불활성 가스 도입 및 한 번의 진공 형성만을 필요로 하므로, 상기 로드록 챔버의 작업 효율을 크게 개선한다.
본 발명은 첨부한 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 대한 하기의 설명을 읽음으로써 당업자에게 명백할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 로드록 챔버에 대한 단면도,
도 2는 본 발명의 로드록 챔버의 지지 프레임과 조랍하는 척을 도시한 사시도,
도 3은 지지 프레임의 지지 플랫폼에 대한 사시도,
도 4는 척의 사시도,
도 5는 척의 단면도,
도 6은 2개의 기판을 가열하기 위한 로드록 챔버의 예시적인 가열 공정을 도시한 개략도,
도 7은 2개의 기판을 냉각하기 위한 로드록 챔버의 예시적인 냉각 공정을 도시한 개략도.
도 1-2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드록 챔버(100)를 도시하며, 챔버 하우징(10), 척(20), 지지 프레임(30), 하나 이상의 승강 기구(40) 및 모터(50)를 구비한다. 챔버 하우징(10)은 척(20)과 지지 프레임(30)을 수용하는 수용 공간을 형성하도록 밀봉된다. 챔버 하우징(10)은 로드록 하우징(10)이 외부 공간과 연결하는 제1 진공 밸브(11)와, 로드록 챔버(100)가 이송 챔버(미도시)와 연결하는 제2 진공 밸브(12)를 갖는다. 제1 진공 밸브(11) 및 제2 진공 밸브(12)는 로드록 챔버(100)를 개폐하도록 상하로 각각 이동한다.
도 2-4를 참조하면, 척(20)은 그 상에 기판을 보유하는 원형의 플레이트부(21)와, 상기 플레이트부(21)를 지지하도록 플레이트부(21)의 중심으로부터 하측방향으로 연장되는 기둥형 샤프트부(22)를 갖는다. 플레이트부(21)는 챔버 하우징(10) 내에 배치된다. 샤프트부(22)의 하부는 챔버 하우징(10)을 통과하여 챔버 하우징(10) 외부로 뻗어있다. 플레이트부(21)의 에지는 2개 이상의 노치(23)를 형성하도록 내측방향으로 오목하게 형성된다. 본 실시예에서, 플레이트부(21)는 그 에지에 4개의 노치(23)를 형성한다. 4개의 노치(23)는 플레이트부(21) 상에 대칭적으로 분포되고, 플레이트부(21)를 수직방향으로 통과한다.
도 2에 도시한 바와 같이, 지지 프레임(30)은 원형의 바디부(31)와, 상기 바디부(31)로부터 하측방향으로 연장되는 2개 이상의 연결부(32)를 갖는다. 그에 상응하게, 본 실시예에서, 지지 프레임(30)은 4개의 연결부(32)를 갖는다. 연결부(32) 각각은 지지 플랫폼(33)의 적층체를 형성하도록 수평방향으로 돌출한다. 지지 플랫폼(33)의 적층체는 연결부(32)와 수직하며, 척(20)의 플레이트부(21)와 평행하다. 2개의 인접한 지지 플랫폼(33) 모두는 그 사이에 소정의 간격을 갖는다. 도 3에 도시한 바와 같이, 지지 플랫폼(33) 각각은 연결부(32)들 사이의 공간을 확장하도록 연결부(32)와 수직하게 연결하는 기초부(331)를 가짐으로써, 척(20)의 플레이트부(21) 상에 기판이 용이하게 배치된다. 기초부(331)는 하측방향으로 경사지고, 경사 선단부(slant leading portion)를 형성하도록 연결부(32)로부터 멀어지게 연장되며, 그 단부에 위치부(332)를 형성하도록 연결부(32)로부터 멀어지게 수평방향으로 연장된다. 수직방향 제한부(334)는 위치부(332) 상에 기판을 구속하도록 선단부(333)와 위치부(332)를 연결한다. 지지 프레임(30)은 챔버 하우징(10) 내에 배치되고, 지지 플랫폼(33)의 적층체의 위치부(332)는 척(20)의 대응하는 노치(23) 내에 배치된다.
도 1을 다시 참조하면, 본 실시예에서, 챔버 하우징(10)의 외부에 배치되며, 지지 프레임(30)을 승강하도록 지지 프레임(30)의 바디부(31)와 연결되는 2개의 승강 기구(40)가 있다. 변형적으로, 바디부(31) 없이, 4개의 승강 기구(40)가 제공되어, 연결부(32)를 동시에 승강하도록 대응하는 연결부(32)와 연결된다. 모터(50)는 지지 프레임(30)에 대해 척(20)을 승강하도록 척(20)의 샤프트부(22)의 하부에 배치된다.
도 5를 참조하면, 척(20) 상에서 기판을 독립적으로 가열 또는 냉각하도록 척(20) 내에 가열 장치(60)와 냉각 장치(70)가 각각 배치된다. 본 실시예에서, 가열 장치(60)는 저항 히터(resistive heater)이고, 냉각 장치(70)는 액체 냉매 리사이클 시스템(liquid coolant recycle system)이다. 척(20)의 온도를 검출하도록 척(20) 내에는 열전대(80)가 배치된다.
도 6을 참조하면, 기판을 반입하는데 로드록 챔버(100)가 이용될 때, 제1 진공 밸브(11)와 제2 진공 밸브(12)가 폐쇄된다. 로드록 챔버(100)의 압력이 대기압과 동일할 때까지 로드록 챔버(100)의 압력을 조절하도록 로드록 챔버(100) 내에 질소 가스 또는 다른 불활성 가스가 도입된 다음, 제1 진공 밸브(11)가 개방되고, 대기 이송 로봇(미도시)이 위치부(332) 상에 기판을 반입한다. 동일 평면에 있는 위치부(332)는 척(20)의 플레이트부(21)와 평행하고, 한 장의 기판을 보유한다. 본 실시예에서, 지지 프레임(30)은 5장의 기판을 보유할 수 있다. 기판이 위치부(332) 상에 반입된 후에, 제1 진공 밸브(11)가 폐쇄된다. 로드록 챔버(100)에 진공 형성되어, 이송 챔버의 상태와 같이 진공 상태로 유지된다. 기판이 예열될 필요가 있다면, 승강 기구(40)는 지지 프레임(30)을 하강시킨다. 최하측 위치부(332) 상의 기판은 예열되는 플레이트부(21) 위로 하강되며, 균일하게 가열되도록 플레이트부(21)와 소정 간격을 갖는다. 기판이 사전 냉각될 필요가 있다면, 최하측 위치부(332) 상의 기판은 사전 냉각된 플레이트부(21) 상에 하강된다. 기판의 온도가 예상 온도에 도달하면, 승강 기구(40)는 지지 프레임(30)을 상승시키고, 가열 또는 냉각된 기판이 최하측 위치부(332) 상에 보유된다. 그 다음, 제2 진공 밸브(12)가 개방된다. 이송 챔버 내에 배치된 이송 로봇은 로드록 챔버(100)로부터 가열 또는 냉각된 기판을 반출한다. 동일한 방식으로, 나머지 기판이 하부로부터 상부로 하나씩 가열 또는 냉각되고, 이송 로봇에 의해 로드록 챔버(100)로부터 반출된다. 변형적으로, 지지 프레임(30)은 움직이지 않고, 모터(50)는 척(20)을 승강시키거나, 또는 지지 프레임(30)과 척(20)은 상대 운동을 유지한다.
도 7을 참조하면, 기판을 반출하기 위해 로드록 챔버(100)가 이용되면, 제1 진공 밸브(11)와 제2 진공 밸브(12)가 폐쇄된다. 로드록 챔버(100)에 진공 형성되고, 이송 챔버의 상태와 같이 진공 상태로 유지된다. 제2 진공 밸브(12)가 개방된다. 이송 로봇은 상측 위치부(332) 상에 한 장의 기판을 반입한다. 기판이 사후 냉각될 필요가 있다면, 승강 기구(40)는 지지 프레임(30)을 하강시킨다. 상측 위치부(332) 상의 기판은 사전 냉각된 플레이트부(21) 상으로 하강된다. 기판의 온도가 예상 온도에 도달하면, 승강 기구(40)는 지지 프레임(30)을 상승시키고, 냉각 또는 가열된 기판은 상측 위치부(332) 상에 있다. 이송 로봇은 상측 위치부(332) 아래의 다음 위치부(332) 상에 또 다른 장의 기판을 반입한다. 승강 기구(40)는 지지 프레임(30)을 하강시킨다. 다음의 위치부(332) 상의 기판은 냉각될 사전 냉각된 플레이트부(21) 상에 놓이거나, 또는 가열될 예열 플레이트부(21) 상으로 하강된다. 기판의 온도가 예상 온도에 도달하면, 승강 기구(40)는 지지 프레임(30)을 상승시키고, 기판은 다음의 위치부(332) 상에 있다. 동일한 방식으로, 다른 기판이 하나씩 그리고 상부로부터 하부로 위치부(332) 상에서 냉각 또는 가열된다. 모든 위치부(332)가 대응하는 기판을 보유한 후에, 제2 진공 밸브(12)가 폐쇄된다. 로드록 챔버(100)의 압력이 대기압과 동일할 때까지 로드록 챔버(100)의 압력을 조절하도록 로드록 챔버(100) 내에 질소 가스 또는 다른 불활성 가스가 도입된다. 그 다음, 제1 진공 밸브(11)가 개방되고, 대기 이송 로봇에 의해 로드록 챔버(100) 외부로 모든 기판이 반출된다. 변형적으로, 지지 프레임(30)은 움직이지 않고, 모터(50)는 척(20)을 승강시키거나, 또는 지지 프레임(30)과 척(20)은 상대 운동을 유지한다.
이하, 로드록 챔버(100)를 이용하여 기판을 처리하는 방법을 요약한다.
단계 1: 로드록 챔버(100)의 압력이 대기압과 동일할 때까지 로드록 챔버(100)의 압력을 조절하도록 로드록 챔버(100) 내에 질소 가스 또는 불활성 가스를 도입하는 단계;
단계 2: 제1 진공 밸브(11)를 개방하고, 위치부(332) 상에 기판을 반입하는 단계;
단계 3: 제1 진공 밸브(11)를 폐쇄하고, 이송 챔버의 상태와 같이 로드록 챔버(100)를 진공 상태로 유지하도록 로드록 챔버(100)를 진공 형성하는 단계;
단계 4: 플레이트부(21) 위로 하강되고 처리될 플레이트부(21)와 소정 간격을 갖거나, 또는 처리될 플레이트부(21) 상에 하강되는 최하측 위치부(332) 상으로 지지 프레임(30)을 하강시키고 그리고/또는 척(20)과 기판을 상승시키는 단계;
단계 5: 지지 프레임(30)을 상승시키고 그리고/또는 최하측 위치부(332) 상에 보유되는 처리된 기판 및 척(20)을 하강시키는 단계;
단계 6: 제2 진공 밸브(12)를 개방하고, 로드록 챔버(100)로부터 처리된 기판을 반출하는 단계;
단계 7: 모든 다수의 기판이 처리되어 로드록 챔버(100)로부터 하나씩 반출될 때까지 단계 4~6을 반복하는 단계.
이하, 로드록 챔버(100)를 이용하여 기판을 처리하는 또 다른 방법을 요약한다.
단계 10: 로드록 챔버(100)를 진공 형성하고, 이송 챔버의 상태와 같이 로드록 챔버(100)를 진공 상태로 유지하는 단계;
단계 20: 제2 진공 밸브(12)를 개방하고, 상측 위치부(332) 상에 한 장의 기판을 반입하는 단계;
단계 30: 처리될 플레이트부(21) 상에 기판을 놓도록 지지 프레임(30)을 하강시키고 그리고/또는 척(20)을 상승시키는 단계;
단계 40: 지지 프레임(30)을 상승시키고 그리고/또는 상측 위치부(332) 상에 있는 처리된 기판 및 척(20)을 하강시키는 단계;
단계 50: 모든 위치부(332)가 기판을 보유할 때까지 단계 20~40을 반복하는 단계;
단계 60: 제2 진공 밸브(12)를 폐쇄하고, 로드록 챔버(100)의 압력이 대기압과 동일할 때까지 로드록 챔버(100)의 압력을 조절하도록 로드록 챔버(100) 내에 질소 가스 또는 불활성 가스를 도입하는 단계;
단계 70; 제1 진공 밸브(11)를 개방하고, 로드록 챔버(100) 외부로 모든 기판을 반출하는 단계.
상술한 바와 같이, 로드록 챔버(100)는 다수의 기판을 가열 또는 냉각하는 처리할 수 있는 한편, 로드록 챔버(100)는 한 번의 불활성 가스 도입 및 한 번의 진공 형성만을 필요로 하므로, 로드록 챔버(100)의 작업 효율을 크게 개선한다.
본 발명의 전술한 설명은 예시 및 설명을 목적으로 제공되었다. 본 발명이 정확한 형태로 제한되거나 완벽하도록 의도되지 않으며, 상기한 교시의 견지에서 다수의 수정 및 변경이 가능하다. 이러한 변경 및 수정은 당업자에게 명백할 수 있으며, 첨부한 청구범위에 의해 정의된 바와 같이 본 발명의 범위 내에 포함되도록 의도된다.

Claims (12)

  1. 다수의 기판을 처리하기 위한 로드록 챔버(loadlock chamber)에 있어서,
    제1 진공 밸브와 제2 진공 밸브를 갖는 챔버 하우징으로서, 상기 챔버 하우징을 거쳐 상기 기판이 상기 챔버 하우징 내에 반입되거나 또는 상기 챔버 하우징 외부로 반출되는, 상기 챔버 하우징;
    상기 기판을 보유하도록 플레이트부를 갖는 척으로서, 상기 플레이트부는 상기 챔버 하우징 내에 수용되며 2개 이상의 노치를 형성하는, 상기 척;
    상기 챔버 하우징 내에 수용되며 2개 이상의 연결부를 갖는 지지 프레임으로서, 상기 연결부 중 어느 것으로부터 지지 플랫폼의 적층체가 돌출하고, 모든 지지 플랫폼은 상기 척의 노치 내에 배치된 위치부(placing portion)를 갖고, 상기 위치부는 상기 척의 플레이트부와 평행한 동일 평면 내에 있으며 상기 기판 중 한 장을 보유할 수 있는, 상기 지지 프레임; 및
    상기 지지 프레임의 연결부를 승강시키기 위한 하나 이상의 승강 기구
    를 포함하는,
    로드록 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 척은 상기 플레이브부의 중심으로부터 연장되는 샤프트부를 구비하고, 상기 샤프트부의 하부는 상기 챔버 하우징을 통과하여 상기 챔버 하우징 외부로 뻗어있고, 상기 지지 프레임에 대해 상기 척을 승강하도록 상기 샤프트부의 하부에는 모터가 배치되는,
    로드록 챔버.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지 플랫폼 모두는 상기 연결부로부터 돌출하며 상기 연결부와 수직인 기초부(basic portion)를 더 구비하고,
    상기 기초부는 하측방향으로 경사지고, 경사 선단부(slant leading portion)를 형성하도록 상기 연결부로부터 멀어지게 연장되며, 그 단부에 상기 위치부를 형성하도록 수평방향으로 연장되는,
    로드록 챔버.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 지지 플랫폼 모두는 상기 위치부 상에 상기 기판을 구속하도록 상기 선단부와 상기 위치부를 연결하는 제한부(limiting portion)를 더 구비하는,
    로드록 챔버.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 지지 프레임은 바디부를 더 구비하고, 상기 연결부는 상기 바디부와 각각 연결되는,
    로드록 챔버.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 승강 기구는 상기 챔버 하우징 외부에 배치되며 상기 지지 프레임을 승강시키도록 상기 지지 프레임의 바디부와 연결되는,
    로드록 챔버.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 연결부를 동시에 승강시키도록 대응하는 연결부와 연결되는 하나 이상의 또 다른 승강 기구를 더 포함하는,
    로드록 챔버.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 척 내에 배치된 가열 장치를 더 포함하는,
    로드록 챔버.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 척 내에 배치된 냉각 장치를 더 포함하는,
    로드록 챔버.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 척 내에 배치된 열전대(thermocouple)를 더 포함하는,
    로드록 챔버.
  11. 제1 진공 밸브와 제2 진공 밸브를 갖는 챔버 하우징;
    상기 챔버 하우징 내에 수용되며 2개 이상의 노치를 형성하는 척; 및
    상기 챔버 하우징 내에 수용되어 승강될 수 있는 지지 프레임으로서, 상기 지지 프레임은 지지 플랫폼의 2개 이상의 적층체를 갖고, 모든 지지 플랫폼은 상기 척의 노치 내에 배치된 위치부를 갖고, 상기 위치부는 상기 척의 플레이트부와 평행한 동일 평면 내에 있으며 상기 기판 중 한 장을 보유할 수 있는, 상기 지지 프레임을 포함하는 로드록 챔버를 이용하여 다수의 기판을 처리하기 위한 방법에 있어서,
    a) 상기 로드록 챔버의 압력을 대기압으로 조절하도록 상기 로드록 챔버 내에 불활성 가스를 도입하는 단계;
    b) 상기 제1 진공 밸브를 개방하고, 상기 위치부 상에 상기 다수의 기판을 반입하는 단계;
    c) 상기 제1 진공 밸브를 폐쇄하고, 상기 로드록 챔버를 진공 상태로 유지하도록 상기 로드록 챔버를 진공 형성하는 단계;
    d) 상기 플레이트부 위로 하강되고 처리될 상기 플레이트부와 소정 간격을 갖거나, 또는 처리될 상기 플레이트부 상에 하강되는 최하측 위치부 상으로 상기 지지 프레임과 상기 기판을 하강시키는 단계;
    e) 상기 최하측 위치부 상에 보유되는 상기 지지 프레임 및 처리된 기판을 상승시키는 단계;
    f) 상기 제2 진공 밸브를 개방하고, 상기 로드록 챔버로부터 처리된 기판을 반출하는 단계; 및
    g) 모든 다수의 기판이 처리되어 상기 로드록 챔버로부터 하나씩 반출될 때까지 단계 d)~f)를 반복하는 단계
    를 포함하는,
    다수의 기판 처리 방법.
  12. 제1 진공 밸브와 제2 진공 밸브를 갖는 챔버 하우징;
    상기 챔버 하우징 내에 수용되며 2개 이상의 노치를 형성하는 척; 및
    상기 챔버 하우징 내에 수용되어 승강될 수 있는 지지 프레임으로서, 상기 지지 프레임은 지지 플랫폼의 2개 이상의 적층체를 갖고, 모든 지지 플랫폼은 상기 척의 노치 내에 배치된 위치부를 갖고, 상기 위치부는 상기 척의 플레이트부와 평행한 동일 평면 내에 있으며 상기 기판 중 한 장을 보유할 수 있는, 상기 지지 프레임을 포함하는 로드록 챔버를 이용하여 다수의 기판을 처리하기 위한 방법에 있어서,
    a) 상기 로드록 챔버를 진공 형성하고, 상기 로드록 챔버를 진공 상태로 유지하는 단계;
    b) 상기 제2 진공 밸브를 개방하고, 상측 위치부 상에 한 장의 기판을 반입하는 단계;
    c) 처리될 상기 플레이트부 상에 하강되는 상기 지지 프레임과 상기 기판을 하강시키는 단계;
    d) 상기 상측 위치부 상에 있는 상기 지지 프레임 및 처리된 기판을 상승시키는 단계;
    e) 모든 상기 위치부가 상기 다수의 기판을 보유할 때까지 단계 b)~d)를 반복하는 단계;
    f) 상기 제2 진공 밸브를 폐쇄하고, 상기 로드록 챔버의 압력을 대기압으로 조절하도록 상기 로드록 챔버 내에 불활성 가스를 도입하는 단계; 및
    g) 상기 제1 진공 밸브를 개방하고, 상기 로드록 챔버 외부로 모든 기판을 반출하는 단계
    를 포함하는,
    다수의 기판 처리 방법.
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