CN113035752B - 负载锁定装置及基片传片方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种负载锁定装置及基片传片方法，腔室主体包括：基片基座、若干置放组件和支撑组件，水平状态的第一置放件的支撑端平行于所述基片基座的顶面，竖直状态的所述第一置放件的所述支撑端垂直于所述基片基座的顶面；初始位置的支撑杆的顶面低于所述基片基座的顶面，第一位置的所述支撑杆的顶面高于所述基片基座的顶面，且高于水平状态的所述第一置放件的所述支撑端。通过设置可翻转转动的置放组件，实现2片基片的承载，提高了负载错定装置的基片承载率。

Description

负载锁定装置及基片传片方法
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，更具体地，涉及一种负载锁定装置及基片传片方法。
背景技术
在半导体器件的制造工序中，通常使用各种真空处理腔室在真空环境中对基片实施如薄膜沉积、蚀刻、氧化或氮化、热处理等特定处理，而从外部向这样的真空处理腔室进行基片的传送，通常是通过具备将其内部压力在大气气压状态和真空状态之间切换的负载锁定装置(loadlock chamber)来进行。
负载锁定装置用于传送晶圆或玻璃之类的基片从非真空状态到高真空状态，其需要具有一定的真空度，同时，对于装载数量也有需求。
然而，现有技术的负载锁定装置仅具有两层工位槽，其中，上层工位槽用于真空第一机械手取片，下层工位槽用于真空第一机械手放片。对于高温制程，诸如CVD工艺而言，完成相应制程的晶圆温度较高，约750摄氏度左右，因此，高温基片传送至负载锁定装置后，需要冷却后才能传送至大气状态，负载锁定装置的两层工位槽被长时间占用，导致设备运行效率较低，制约了晶圆的生产效率。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种负载锁定装置及基片传片方法。
为实现上述目的，本发明第一方面提供一种负载锁定装置，具有腔室主体，所述腔室主体的侧壁具有第一开口，第一机械手自所述第一开口传送基片至所述腔室主体内，其特征在于，所述腔室主体包括：
基片基座，固设于所述腔室主体内侧的底部，所述基片放置于所述基片基座的顶面；
若干置放组件，分别沿所述基片基座的周向设置，且固定连接所述腔室主体的底部，各所述置放组件包括转动连接的第一驱动组件及第一置放件，所述第一置放件具有相对的支撑端和连接端，所述支撑端支撑所述基片，所述连接端转动连接所述第一驱动组件，所述第一驱动组件驱动所述第一置放件在水平状态和竖直状态之间转动；
支撑组件，包括固定连接的支撑座、若干支撑杆及第二驱动组件，所述支撑杆可移动地穿设于所述基片基座内，所述支撑杆的顶端支撑所述基片，相对的底端固定连接所述支撑座，所述支撑座设于所述基片基座的底部，并固定连接所述第二驱动组件，所述第二驱动组件驱动所述支撑座带动所述支撑杆相对于所述基片基座的顶面在初始位置和第一位置之间垂直移动；其中，
水平状态的所述第一置放件的所述支撑端平行于所述基片基座的顶面，竖直状态的所述第一置放件的所述支撑端垂直于所述基片基座的顶面；初始位置的所述支撑杆的顶面低于所述基片基座的顶面，第一位置的所述支撑杆的顶面高于所述基片基座的顶面，且高于水平状态的所述第一置放件的所述支撑端。
优选地，所述第一驱动组件包括耦合的电磁驱动组件和曲柄连杆机构，所述连接端转动连接所述曲柄连杆机构；所述电磁驱动组件驱动所述曲柄连杆机构带动所述第一置放件绕所述连接端在水平状态和竖直状态之间转动。
优选地，所述腔室主体还包括置放支座，所述置放支座固定连接所述腔室主体内侧的底部，具有对应所述基片基座的基座开口；所述基片基座固设于所述基座开口内，且顶面平齐于所述置放支座的顶面；各所述置放组件固定连接所述置放支座的顶面。
优选地，所述腔室主体的侧壁还具有第二开口，第二机械手自所述第二开口传送常温基板至所述腔室主体内；所述置放组件还包括自下而上依次设置的支撑支座及若干层连接件，相邻所述连接件之间设有第二置放件；所述支撑支座固定连接所述置放支座的顶面，所述第二置放件的一端放置所述常温基板，相对的另一端固定连接所述连接件；所述第一置放件设于最底层的所述连接件与所述置放支座之间，所述曲柄连杆机构设于所述置放支座内，所述电磁驱动组件穿过所述置放支座固定连接所述曲柄连杆机构。
优选地，所述电磁驱动机构包括固定套筒、电磁铁及磁铁滑块，所述固定套筒的顶部固定连接所述置放支座的底面，所述电磁铁及所述磁铁滑块设于所述套筒内；其中，所述磁铁滑块间隔设于所述电磁铁的顶端，且穿过所述置放支座固定连接所述曲柄连杆机构，所述电磁铁的底端固定连接所述固定套筒的底部，且电连接外部电源，所述外部电源提供电力至所述电磁铁；所述电磁铁驱使所述磁铁滑块相对于所述电磁铁垂直移动。
优选地，所述外部电源断开电力至所述电磁铁，所述磁铁滑块位于起点位置，所述第一置放件为所述竖直状态；所述外部电源导通电力至所述电磁铁，所述电磁铁推动所述磁铁滑块自所述起点位置垂直上升至终点位置，所述磁铁滑块驱动所述曲柄连杆机构带动所述第一置放件转动至所述水平状态。
优选地，所述连接件的数量为大于或等于2的整数，所述置放组件和所述支撑杆的数量均为大于等于3的整数。
优选地，所述第二置放件的数量为2，所述第二驱动组件还驱动所述支撑座带动所述支撑杆相对于所述基片基座的顶面在所述初始位置和第二位置之间垂直移动；所述第二位置的所述支撑杆的顶面低于第一位置的所述支撑杆的顶面。
优选地，所述基片包括高温基板，所述基片基座包括冷却基座，所述冷却基座冷却所述高温基板至设定温度
本发明第二方面提供一种负载锁定装置的基片传片方法，包括：
步骤S01：所述第一置放件为所述水平状态，所述支撑杆位于所述初始位置，所述第二机械手自所述第二开口分别传送第一常温基板和第二常温基板至所述第二置放件上；
步骤S02：所述支撑杆移动至位于所述第二位置，所述第一机械手自所述第一开口取走所述第一常温基板或所述第二常温基板，并传送第一高温基板至所述支撑杆上；
步骤S03：所述支撑杆返回至所述初始位置，并带动所述第一高温基板放置于所述冷却基座上，所述冷却基座冷却所述第一高温基板；
步骤S04：所述第一机械手自所述第一开口取走所述第二常温基板或所述第一常温基板，并传送第二高温基板至所述第一置放件上；
步骤S05：所述第一高温基板冷却至所述设定温度，所述支撑杆移动至所述第二位置，所述第一机械手自所述第一开口从所述冷却基座取出所述第一高温基板；
步骤S06：所述支撑杆移动至第一位置并支撑所述第二高温基板，所述第一置放件转动至所述竖直状态，所述第二高温基板位于所述支撑杆上；
步骤S07：所述支撑杆返回至所述初始位置，并带动所述第二高温基板放置于所述冷却基座上，所述冷却基座冷却所述第二高温基板；所述第一置放件转动至所述水平状态，所述第一机械手自所述第一开口传送所述第一高温基板至所述第一置放件上；
步骤S08：所述第二高温基板冷却至所述设定温度，所述支撑杆移动至所述第二位置，所述第二机械手自所述第二开口分别取出所述第一高温基板和所述第二高温基板。
从上述技术方案可以看出，通过设置可翻转转动的置放组件，实现2片基片的承载，提高了负载错定装置的基片承载率。同时，通过搭配第二置放件及冷却基座，实现了高温基板和常温基板之间的双进双出，降低高温基板的冷却时间，提高负载锁定装置的传输效率，较好满足高温设备的工艺需求，提高了生产效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了一种根据本发明实施例的负载锁定装置的剖面结构示意图；
图2示出了一种根据本发明实施例的置放组件的水平状态的结构示意图；
图3示出了一种根据本发明实施例的置放组件的竖直状态的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。
需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本发明的实施方式时，为了清楚地表示本发明的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定来加以理解。
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面进一步结合附图进行说明，图1示出了一种根据本发明实施例的一种负载锁定装置的剖面结构示意图，图2示出了一种根据本发明实施例的置放组件的水平状态的结构示意图。本发明的负载锁定装置包括基片基座、若干置放组件和支撑组件。所述负载锁定装置具有腔室主体，所述腔室主体的侧壁具有第一开口，第一机械手自所述第一开口传送基片至所述腔室主体内。所述基片基座固设于所述腔室主体内侧的底部，所述基片基座的顶面用于放置所述基片，各置放组件分别沿所述基片基座的周向设置，且固定连接所述腔室主体的底部。
请结合图1并参考图2所示，各所述置放组件包括转动连接的第一驱动组件(未图示)及第一置放件205，所述第一置放件205具有相对的支撑端和连接端，所述支撑端支撑所述基片，所述连接端转动连接所述第一驱动组件。本实施例中，所述支撑组件包括固定连接的支撑座301、若干支撑杆302及第二驱动组件(未图示)，所述支撑杆302可移动地穿设于所述基片基座101内，所述支撑杆302的顶端用于支撑所述基片，相对的底端固定连接所述支撑座301，所述支撑座301设于所述基片基座101的底部，并固定连接所述第二驱动组件。
本实施例中，所述腔室主体具有真空度，所述支撑座301设于所述腔室主体的底部的外侧，通过在所述支撑座301上设置对应所述支撑杆302的密封波纹管303，所述密封波纹管303的顶端固定连接所述腔室主体的底部的外侧，底端固定连接所述支撑座301，对应的所述支撑杆302设于所述密封波纹管303内，且穿过所述腔室主体的底部，确保所述腔室主体的密封性。
所述支撑座301平行于所述基片基座101，且设置于所述腔室主体外侧的底部，所述支撑座301固定连接所述第二驱动件。所述第二驱动件推动所述支撑座301并带动所述支撑杆302相对于所述基片基座101的顶面垂直升降。
本实施例中，所述第二驱动件包括相连的丝杆(未图示)和升降电缸(未图示)，所述升降电缸设有电缸缸体以及电缸主杆，所述电缸主杆设置于所述电缸缸体内，所述丝杆的一端与所述电缸主杆相连接，相对的另一端固定连接所述支撑座301，所述升降电缸推动所述丝杆带动所述支撑座301相对于所述升降电缸垂直移动。所述支撑组件还包括导向组件，所述导向组件设有相配合的导柱305和导套304，其中，所述导柱305的上端抵接所述腔室主体外侧的底部，所述导套304固定连接所述支撑座301。
所述置放组件和所述支撑杆的数量均为大于等于3的整数，如图1所示，本实施例中，以3个置放组件和3个支撑杆302为例，所述置放组件和所述支撑杆302的具体数量以实际基片的尺寸而定，在此不做限定。
所述第一驱动组件驱动所述第一置放件205在水平状态和竖直状态之间转动，如图2所示，水平状态的所述第一置放件205的所述支撑端平行于所述基片基座的顶面，竖直状态的所述第一置放件205的所述支撑端垂直于所述基片基座的顶面。所述第二驱动组件驱动所述支撑座301带动所述支撑杆302相对于所述基片基座101的顶面在初始位置和第一位置之间垂直移动，初始位置的所述支撑杆302的顶面低于所述基片基座101的顶面，第一位置的所述支撑杆302的顶面高于所述基片基座101的顶面，且高于水平状态的所述第一置放件205的所述支撑端。
第一机械手自所述第一开口传送基片至所述腔室主体内，所述基片可以放置于水平状态的所述第一置放件205上，还可以通过所述支撑杆302放置于所述基片基座上。
具体地，所述第一置放件205处于竖直状态，所述支撑杆302处于初始位置，第一机械手自所述第一开口传送基片至所述腔室主体内，所述第二驱动组件驱动所述支撑座带动所述支撑杆302移动，所述支撑杆302自所述初始位置上升至第一位置，且顶起位于所述第一机械手的所述基片，所述第一机械手退出所述腔室主体，所述第二驱动组件驱动所述支撑座带动所述支撑杆302下降，并返回至所述初始位置，所述基片放置于所述基片基座的顶面。
所述基片放置于所述基片基座的顶面后，所述第一驱动组件驱动所述第一置放件205转动至所述水平状态，第一机械手自所述第一开口再次传送另一基片至所述腔室主体内，并放置于水平状态的所述第一置放件205上，所述支撑端支撑所述基片，由此实现同时可放置2片基片，提高了所述负载锁定装置的基片承载量。
在本实施例中，所述腔室主体的侧壁还具有第二开口(未图示)，第二机械手(未图示)自所述第二开口传送常温基板至所述腔室主体内。所述腔室主体还包括置放支座(未图示)，所述置放支座固定连接所述腔室主体内侧的底部，具有对应所述基片基座的基座开口(未图示)；所述基片基座固设于所述基座开口内，且顶面平齐于所述置放支座的顶面；各所述置放组件设于所述置放支座的顶面，且固定连接所述置放支座。
如图1和图2所示，所述置放组件还包括自下而上依次设置的支撑支座201及若干层连接件202，所述支撑支座201固定连接置放支座的顶面，相邻所述连接件202之间设有第二置放件204；所述第二置放件的一端放置所述常温基板，相对的另一端固定连接所述连接件。
本实施例中，以2个第二置放件为例，所述第二置放件的具体数量以腔室主体的需求承载量而定，在此不做限定。如图2所示，所述第一置放件205设于最底层的所述连接件202与所述支撑支座201之间，所述曲柄连杆机构(未图示)设于所述支撑支座201内，所述电磁驱动组件(未图示)穿过所述置放支座固定连接所述曲柄连杆机构。
通过设置2个第二置放件，所述第二机械手可同时传送2片常温基板分别放置于所述第二置放件上，所述常温基板传送入所述腔室主体内，所述第一机械手取走所述常温基板用于后续工艺制程。
为提高已完成工艺制程的高温基板的传输效率，所述第二驱动组件还驱动所述支撑座带动所述支撑杆相对于所述基片基座的顶面在所述初始位置和第二位置之间垂直移动；所述第二位置的所述支撑杆的顶面低于第一位置的所述支撑杆的顶面，以此实现2片已完成工艺制程的高温基板的传输。
所述第一驱动组件包括耦合的电磁驱动组件和曲柄连杆机构，所述第一置放件205的所述连接端转动连接所述曲柄连杆机构；所述电磁驱动组件驱动所述曲柄连杆机构带动所述第一置放件205绕所述连接端在水平状态和竖直状态之间转动。
图3示出了一种根据本发明实施例的置放组件的竖直状态的结构示意图，请结合图3并参考图2，所述电磁驱动机构包括固定套筒206、电磁铁207及磁铁滑块208，所述固定套筒206的顶部固定连接所述置放支座的底面，所述电磁铁207及所述磁铁滑块208设于所述套筒内；其中，所述磁铁滑块208间隔设于所述电磁铁207的顶端，且穿过所述置放支座固定连接所述曲柄连杆机构，所述电磁铁207的底端固定连接所述固定套筒的底部，且电连接外部电源，所述外部电源提供电力至所述电磁铁207；所述电磁铁207驱使所述磁铁滑块208相对于所述电磁铁207垂直移动。
如图3所示，所述外部电源断开电力至所述电磁铁207，所述磁铁滑块208位于起点位置，所述第一置放件205为所述竖直状态。所述外部电源导通电力至所述电磁铁207，所述电磁铁207推动所述磁铁滑块208自所述起点位置垂直上升至终点位置，所述磁铁滑块208驱动所述曲柄连杆机构带动所述第一置放件205转动至所述水平状态。
所述连接件的数量为大于或等于2的整数，所述第二置放件的数量依所述连接件的数量而定。
具体地，所述连接件的数量等于2，所述置放组件包括1个第二置放件；所述连接件的数量为大于2的整数，所述第二置放件的数量较所述连接件的数量小1。
本实施例中，所述基片包括高温基板，所述基片基座包括冷却基座，所述冷却基座冷却所述高温基板至设定温度。通过设置3层连接件，2个第二置放件，结合所述第一置放件以及基片基座，本发明的所述负载锁定装置可实现通过第二机械手自常温环境同时传送2片常温基板至所述腔室主体，以及实现第一机械手自高温环境同时传送2片高温基板至所述腔室主体。
所述冷却基座包括上板、下板和侧板，上板用于放置所述高温基板，所述上板放置所述高温基板，下板固定连接所述腔室主体的底部。平行设置的所述上板和所述下板通过所述侧板连接形成密封的腔体，所述下板上设置有冷却流道，所述冷却流道具有进口和出口。所述冷却流道在所述下板上呈螺旋状、放射状或漩涡状分布。本实施例中，由于高温基板的边缘冷却速度快于中心冷却速度，所述冷却流道的所述进口设置在所述下板的中心，出口设置在所述下板的外周，从而加快了所述高温基板的冷却速度。同时，采用漩涡状分布的所述冷却流道，增大了所述冷却流道的分布面积，减小了冷却介质在所述冷却流道的阻力的同时，降低了冷却介质的循环冷却温度。
本实施例中，所述负载锁定装置所进行的基片传送方法包括如下步骤：
首先，所述第一置放件为所述水平状态，所述支撑杆位于所述初始位置，所述第二机械手自所述第二开口分别传送第一常温基板和第二常温基板至所述第二置放件上；
然后，所述支撑杆移动至位于所述第二位置，所述第一机械手自所述第一开口取走所述第一常温基板或所述第二常温基板，并传送第一高温基板至所述支撑杆上；
接着，所述支撑杆返回至所述初始位置，并带动所述第一高温基板放置于所述冷却基座上，所述冷却基座冷却所述第一高温基板；
然后，所述第一机械手自所述第一开口取走所述第二常温基板或所述第一常温基板，并传送第二高温基板至所述第一置放件上；
然后，所述第一高温基板冷却至所述设定温度，所述支撑杆移动至所述第二位置，所述第一机械手自所述第一开口从所述冷却基座取出所述第一高温基板；
然后，所述支撑杆移动至第一位置并支撑所述第二高温基板，所述第一置放件转动至所述竖直状态，所述第二高温基板位于所述支撑杆上；
然后，所述支撑杆返回至所述初始位置，并带动所述第二高温基板放置于所述冷却基座上，所述冷却基座冷却所述第二高温基板；所述第一置放件转动至所述水平状态，所述第一机械手自所述第一开口传送所述第一高温基板至所述第一置放件上；
最后，所述第二高温基板冷却至所述设定温度，所述支撑杆移动至所述第二位置，所述第二机械手自所述第二开口分别取出所述第一高温基板和所述第二高温基板。
以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种负载锁定装置，具有腔室主体，所述腔室主体的侧壁具有第一开口，第一机械手自所述第一开口传送基片至所述腔室主体内，其特征在于，所述腔室主体包括：
基片基座，固设于所述腔室主体内侧的底部，所述基片放置于所述基片基座的顶面；
若干置放组件，分别沿所述基片基座的周向设置，且固定连接所述腔室主体的底部，各所述置放组件包括转动连接的第一驱动组件及第一置放件，所述第一置放件具有相对的支撑端和连接端，所述支撑端支撑所述基片，所述连接端转动连接所述第一驱动组件，所述第一驱动组件驱动所述第一置放件在水平状态和竖直状态之间转动；
支撑组件，包括固定连接的支撑座、若干支撑杆及第二驱动组件，所述支撑杆可移动地穿设于所述基片基座内，所述支撑杆的顶端支撑所述基片，相对的底端固定连接所述支撑座，所述支撑座设于所述基片基座的底部，并固定连接所述第二驱动组件，所述第二驱动组件驱动所述支撑座带动所述支撑杆相对于所述基片基座的顶面在初始位置和第一位置之间垂直移动；其中，
水平状态的所述第一置放件的所述支撑端平行于所述基片基座的顶面，竖直状态的所述第一置放件的所述支撑端垂直于所述基片基座的顶面；初始位置的所述支撑杆的顶面低于所述基片基座的顶面，第一位置的所述支撑杆的顶面高于所述基片基座的顶面，且高于水平状态的所述第一置放件的所述支撑端。
2.如权利要求1所述的负载锁定装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括耦合的电磁驱动组件和曲柄连杆机构，所述连接端转动连接所述曲柄连杆机构；所述电磁驱动组件驱动所述曲柄连杆机构带动所述第一置放件绕所述连接端在水平状态和竖直状态之间转动。
3.如权利要求2所述的负载锁定装置，其特征在于，所述腔室主体还包括置放支座，所述置放支座固定连接所述腔室主体内侧的底部，具有对应所述基片基座的基座开口；所述基片基座固设于所述基座开口内，且顶面平齐于所述置放支座的顶面；各所述置放组件固定连接所述置放支座的顶面。
4.如权利要求3所述的负载锁定装置，其特征在于，所述腔室主体的侧壁还具有第二开口，第二机械手自所述第二开口传送常温基板至所述腔室主体内；所述置放组件还包括自下而上依次设置的支撑支座及若干层连接件，相邻所述连接件之间设有第二置放件；所述支撑支座固定连接所述置放支座的顶面，所述第二置放件的一端放置所述常温基板，相对的另一端固定连接所述连接件；所述第一置放件设于最底层的所述连接件与所述置放支座之间，所述曲柄连杆机构设于所述置放支座内，所述电磁驱动组件穿过所述置放支座固定连接所述曲柄连杆机构。
5.如权利要求4所述的负载锁定装置，其特征在于，电磁驱动组件包括固定套筒、电磁铁及磁铁滑块，所述固定套筒的顶部固定连接所述置放支座的底面，所述电磁铁及所述磁铁滑块设于所述套筒内；其中，所述磁铁滑块间隔设于所述电磁铁的顶端，且穿过所述置放支座固定连接所述曲柄连杆机构，所述电磁铁的底端固定连接所述固定套筒的底部，且电连接外部电源，所述外部电源提供电力至所述电磁铁；所述电磁铁驱使所述磁铁滑块相对于所述电磁铁垂直移动。
6.如权利要求5所述的负载锁定装置，其特征在于，所述外部电源断开电力至所述电磁铁，所述磁铁滑块位于起点位置，所述第一置放件为所述竖直状态；所述外部电源导通电力至所述电磁铁，所述电磁铁推动所述磁铁滑块自所述起点位置垂直上升至终点位置，所述磁铁滑块驱动所述曲柄连杆机构带动所述第一置放件转动至所述水平状态。
7.如权利要求6所述的负载锁定装置，其特征在于，所述连接件的数量为大于或等于2的整数，所述置放组件和所述支撑杆的数量均为大于等于3的整数。
8.如权利要求7所述的负载锁定装置，其特征在于，所述第二置放件的数量为2，所述第二驱动组件还驱动所述支撑座带动所述支撑杆相对于所述基片基座的顶面在所述初始位置和第二位置之间垂直移动；所述第二位置的所述支撑杆的顶面低于第一位置的所述支撑杆的顶面。
9.如权利要求8所述的负载锁定装置，其特征在于，所述基片包括高温基板，所述基片基座包括冷却基座，所述冷却基座冷却所述高温基板至设定温度。
10.一种如权利要求9所述的负载锁定装置的基片传送方法，其特征在于，包括：
步骤S01：所述第一置放件为所述水平状态，所述支撑杆位于所述初始位置，所述第二机械手自所述第二开口分别传送第一常温基板和第二常温基板至所述第二置放件上；
步骤S02：所述支撑杆移动至位于所述第二位置，所述第一机械手自所述第一开口取走所述第一常温基板或所述第二常温基板，并传送第一高温基板至所述支撑杆上；
步骤S03：所述支撑杆返回至所述初始位置，并带动所述第一高温基板放置于所述冷却基座上，所述冷却基座冷却所述第一高温基板；
步骤S04：所述第一机械手自所述第一开口取走所述第二常温基板或所述第一常温基板，并传送第二高温基板至所述第一置放件上；
步骤S05：所述第一高温基板冷却至所述设定温度，所述支撑杆移动至所述第二位置，所述第一机械手自所述第一开口从所述冷却基座取出所述第一高温基板；
步骤S06：所述支撑杆移动至第一位置并支撑所述第二高温基板，所述第一置放件转动至所述竖直状态，所述第二高温基板位于所述支撑杆上；
步骤S07：所述支撑杆返回至所述初始位置，并带动所述第二高温基板放置于所述冷却基座上，所述冷却基座冷却所述第二高温基板；所述第一置放件转动至所述水平状态，所述第一机械手自所述第一开口传送所述第一高温基板至所述第一置放件上；
步骤S08：所述第二高温基板冷却至所述设定温度，所述支撑杆移动至所述第二位置，所述第二机械手自所述第二开口分别取出所述第一高温基板和所述第二高温基板。
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