KR20140132222A - 필름 박리장치 - Google Patents

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KR20140132222A
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Abstract

필름 박리장치가 개시된다. 필름 박리장치는, 보호필름이 부착된 소재가 안착되는 스테이지와; 접착 테이프를 이용하여 상기 소재로부터 상기 보호필름을 박리하는 필름 박리유닛과; 상기 소재로부터 박리된 보호필름을 수거하는 수거유닛을 포함한다. 상기 필름 박리유닛은 상기 접착 테이프가 상기 보호필름의 일측 코너에 접착된 상태로 횡방향으로 이동하고, 상기 필름 박리유닛이 횡방향으로 이동하는 동안, 상기 스테이지는 종방향으로 이동하여 상기 보호필름의 박리에 참여한다.

Description

필름 박리장치{FILM DESQUAMATION APPARATUS}
본 발명은 필름 박리장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는, 소재의 표면 보호를 위해 부착된 보호필름을 소재나 보호필름의 손상 없이 간편하게 박리하는 필름 박리장치에 관한 것이다.
반도체 공정 또는 디스플레이 또는 인쇄회로기판의 제조 공정 등에 있어서, 글래스(glass), 세라믹 기판 등 다양한 소재, 특히, 판상 소재의 표면에 보호필름이 부착되어 이용되다. 보호필름은 소재 표면에 이물질이 부착되는 것을 방지하거나 소재 표면의 스크래치를 방지할 목적으로 이용될 수 있다. 또한, 보호필름은 UV 노광에 의한 패턴 형성, 단면 에칭 혹은 표면 일부 에칭시 에칭 영역 이외의 영역에서 에칭을 제한할 목적으로 소재의 표면에 부착된다. 이때, 부착된 보호필름은 추후에는 박리되어야 하는데, 보호필름을 수작업으로 박리하는 것은 큰 번거로움이 뒤따르며 작업성이 떨어져 경제적이지 못하다.
이에 따라, 공정 중에 보호필름을 박리하는 필름 박리장치가 개발되고 있다. 필름 박리장치의 한 예로서 접착 테이프를 소재 위에 부착되어 있는 보호필름에 붙여 보호필름을 분리하는 장치가 알려져 있다. 하지만 접착 테이프를 이용하는 종래의 필름 박리장치는 보호필름 박리 과정에서 보호필름 또는 소재 손상을 야기할 수 있었다. 이에 대해, 손상 없이 보호필름을 박리할 수 있는 장치에 대한 연구가 있어 왔고, 그 한 예로서 접착 테이프가 감긴 원통형 실린더를 회전시켜 보호필름을 박리하는 장치 등이 개발된 바 있다. 그러나, 이러한 장치는 보호필름 수거가 용이하지 못하며 신뢰성 있게 보호필름을 박리하기 어려운 단점이 있다. 게다가, 종래에 고려되었던 테이프 접착형 필름 박리장치는 보호필름 박리 후 소재 표면의 이물질을 별도의 작업으로 분리해야 한다는 점에서 경제성이 떨어진다.
한국 특허공개번호 제10-2007-0107314호(2007. 11. 07.) 한국 특허공개번호 제10-2010-0137120호(2010. 12. 30.)
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 하나의 과제는 소재의 표면 보호를 위해 부착된 보호필름을 소재나 보호필름의 손상 없이 간편하게 그리고 경제성 있게 박리할 수 있는 필름 박리장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 소재의 표면 보호를 위해 부착된 보호필름을 소재나 보호필름의 손상 없이 간편하게 박리함과 동시에 보호필름을 박리하는 과정에서 소재 상의 이물을 제거와 보호필름의 수거가 동시에 이루어질 수 있는 필름 박리장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일측면에 따른 필름 박리장치는, 보호필름이 부착된 소재가 안착되는 스테이지와; 접착 테이프를 이용하여 상기 소재로부터 상기 보호필름을 박리하는 필름 박리유닛과; 상기 소재로부터 박리된 보호필름을 수거하는 수거유닛을 포함하며, 상기 필름 박리유닛은 상기 접착 테이프가 상기 보호필름의 일측 코너에 접착된 상태로 횡방향으로 이동하고, 상기 필름 박리유닛이 횡방향으로 이동하는 동안, 상기 스테이지는 종방향으로 이동하여 상기 보호필름의 박리에 참여한다.
일 실시예에 따라, 상기 스테이지는 상기 소재를 진공 흡착한다.
일 실시예에 따라, 상기 보호필름이 박리되는 동안 또는 상기 보호필름이 박리된 후에 상기 소재 및 상기 스테이지에 물을 분사하여 이물질을 제거하는 물분사유닛과, 상기 소재 및 상기 스테이지에 묻은 물기를 제거하도록 공기를 분사하는 공기분사유닛과, 상기 보호필름의 박리 전에 상기 소재의 하부를 세정하고 상기 세정된 소재를 상기 스테이지에 전달하는 세정부와, 상기 보호필름이 박리된 후에 상기 소재를 후공정으로 언로딩하는 언로딩 유닛을 더 포함한다.
일 실시예에 따라, 상기 물분사유닛은, 상기 스테이지가 종방향으로 이동되는 경로 중간에 설치되되, 상기 스테이지의 이동 경로를 경사지게 가로지르도록 배치된 물분사 노즐관과, 상기 물분사 노즐관의 길이 방향을 따라 배열된 복수의 물분사 노즐을 포함한다.
일 실시예에 따라, 적어도 상기 세정부와 상기 스테이지는 복수개로 마련되되, 복수의 세정부와 상기 복수의 스테이지 각각은 베드 상에서 횡방향으로 나란하게 배치된다.
일 실시예에 따라, 상기 언로딩 유닛은, 상기 복수의 스테이지 중 상기 소재가 놓인 해당 스테이지를 선택하여 상기 해당 스테이지 상의 소재를 언로딩하도록, 횡방향으로 이동가능하게 설치된다.
일 실시예에 따라, 상기 스테이지는 상기 보호필름이 완전히 박리된 상기 소재를 수직으로 일정 높이 들어 올리는 리프터를 구비하고, 상기 언로딩 유닛은 상기 리프터에 의해 들어 올려진 상기 소재를 받아 언로딩한다.
일 실시예에 따라, 상기 필름 박리유닛은 지지부와, 상기 지지부의 하단에 설치된 채 상기 접착 테이프를 고정하는 테이프 접착롤 고정부와, 상기 테이프 접착롤 고정부 부근에서 상기 접착 테이프를 경사진 상태로 이동시켜 상기 보호필름에 접착시키는 접착부를 포함한다.
일 실시예에 따라, 상기 테이프 접착부는 상기 접착 테이프로 상기 보호필름을 누른 후 좌우로 움직임이면서 상기 보호필름을 단단히 접착시킨다.
일 실시예에 따라, 상기 필름 박리유닛은 상기 지지부에 설치된 테이프 구동부와, 테이프 브레이크부와, 테이프 전단 고정부를 더 포함하고, 상기 테이프 구동부는 상기 보호필름 접착에 사용되지 않은 접착 테이프를 감아 유지하는 테이프 구동 롤과, 상기 테이프 구동 롤을 구동하는 테이프 구동 모터를 포함하고, 상기 테이프 브레이크부는 상기 보호필름 접착에 사용된 테이프를 감아 유지하기 위한 브레이크 롤과 상기 브레이크 롤을 구동시키는 브레이크 모터를 포함하며. 상기 테이프 전단 고정부는 상기 테이프 접착롤 고정부 전단에서 상기 테이프를 고정한다.
일 실시예에 따라, 상기 필름 박리장치는 상기 보호필름이 박리되는 동안 상기 보호필름이 떨어지지 않도록 상기 보호필름을 잡아주는 그리퍼를 더 포함한다.
본 발명에 따른 필름 박리장치는, 소재의 표면 보호를 위해 부착된 보호필름을 소재나 보호필름의 손상 없이 간편하게 그리고 경제성 있게 박리할 수 있다. 더 나아가, 본 발명에 따른 필름 박리장치는, 보호필름을 박리하는 과정에서 소재 상의 이물을 제거와 보호필름의 수거를 동시에 할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리장치를 전체적으로 도시한 평면도이고,
도 2는 도 1에 도시된 필름 박리장치의 스테이지와 언로딩 유닛의 작용을 설명하기 위한 도면이고,
도 3은 도 1에 도시된 필름 박리장치의 필름 박리유닛을 도시한 측면도이고,
도 4는 도 2에 도시된 필름 박리유닛을 보호필름 박리 상태에서 확대 도시한 도면이며,
도 5는 도 1, 도 3 및 도 4에 도시된 필름 박리유닛에 의해 소재 상의 보호필름이 박리되는 상태의 변화를 차례로 보인 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에로서 스테이지에 소재를 고정하는 수단으로 클램프가 단독 또는 진공 흡착수단과 더불어 이용되는 예를 설명하기 위한 도면이다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위한 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위해 과장되어 표현될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리장치를 전체적으로 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 필름 박리장치의 스테이지와 언로딩 유닛의 작용을 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 1에 도시된 필름 박리장치의 필름 박리유닛을 도시한 측면도이고, 도 4는 도 2에 도시된 필름 박리유닛을 보호필름 박리 상태에서 확대 도시한 도면이며, 도 5는 도 1, 도 3 및 도 4에 도시된 필름 박리유닛에 의해 소재 상의 보호필름이 박리되는 상태의 변화를 차례로 보인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리장치는 필름 박리유닛(1)과, 보호필름이 부착된 소재를 진공 흡착하며 필름 박리유닛(1)과 연동하여 보호필름의 박리에 참여하는 스테이지(2)와, 소재로부터 박리된 보호필름을 수거하는 수거유닛(3)을 포함한다. 또한 상기 필름 박리장치는 보호필름이 부착된 소재의 하부를 세정하고 이루어지고 세정을 마친 소재를 스테이지(2)로 전달하는 세정부(5)와, 소재로부터 보호필름이 박리되는 동안 소재와 스테이지의 이물질을 물로 세정 제거하는 물분사유닛(6)과, 소재와 스테이지의 물기를 제거하기 위해 공기를 분사하는 공기분사유닛(7)과, 보호필름이 박리된 소재를 상기 스테이지(2)로부터 받아 후공정으로 전달하는 언로딩 유닛(8)을 포함한다.
또한, 상기 필름 박리장치는 베드(B)를 포함하며, 상기 베드(B) 상에 전술한 요소들(1, 2, 3, 5, 6, 7 및 8)이 설치된다. 상기 베드(B) 중앙에는 복수의 스테이지(2, 2)가 횡방향으로 나란하게 마련되며, 상기 스테이지(2) 각각은 상기 스테이지 이동부(21)에 의해 일정 거리 내에서 종방향으로 왕복 이동 가능하도록 구성된다. 상기 스테이지(2)의 설치 위치를 기준으로 상기 베드(B)의 상류 측에는 복수의 세정부(5, 5)가 횡방향으로 나란하게 위치하며, 상기 스테이지(2)의 설치 위치를 기준으로 상기 베드(B)의 하류 측에는 보호필름이 분리된 소재를 후공정 설비(E)로 이동시키는 언로딩 유닛(8)이 위치한다. 상기 언로딩 유닛(8)은, 복수의 스테이지(2, 2) 중 소재가 놓여 있는 해당 스테이지(2)를 선택하여 해당 스테이지(2) 상의 소재를 언로딩하는데 참여할 수 있도록, 횡방향으로 이동가능하게 설치될 수 있다.
이때, 상기 스테이지(2) 각각은 시작 위치와 종료 위치 사이에서 왕복으로 이동되도록 설치되되, 상기 필름 박리유닛(1)은 상기 시작 위치에서 상기 베드(B)의 폭을 가로질러 횡으로 설치된 가이드 레일을 따라 횡방향으로 왕복 이동 가능하도록 구성된다.
도 2를 참조하면, 상기 스테이지(2) 각각은 박리 종료 위치에서 보호필름이 완전히 박리된 소재(M)를 수직으로 일정 높이 들어 올리는 리프터(22)를 구비할 수 있다. 그리고, 상기 언로딩 유닛(8)은 상기 리프터(22)에 의해 일정 높이 들어 올려진 소재(M)을 받을 수 있도록 스테이지(2)와 소재(M) 사이로 이동된 후, 상기 소재(M)를 받친 상태로 이동하여 소재(M)를 언로딩한다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 수거유닛(3)은 상기 필름 박리유닛(1)이 보호필름을 완전히 박리한 박리 종료 위치에서 상기 필름 박리유닛(1)으로부터 보호필름을 받아 슬라이딩 이동한 후 수거통(미도시됨)으로 보호필름을 떨어뜨리도록 구성된다. 상기 수거유닛(3)은 진공 흡착부를 포함하는 것이 바람직하며, 상기 필름 박리유닛(1)의 접착 테이프에 접착되어 이동한 보호필름을 상기 접착 테이프에 의한 접착력보다 큰 진공 흡착부의 진공 흡입력으로 흡착한다.
상기 물분사유닛(6)은 상기 스테이지(2)가 종방향으로 이동되는 경로 중간에 설치되어, 보호필름이 박리되는 동안 그리고 보호필름이 박리된 후에 소재 및 스테이지(2)에 물을 분사하여 소재와 스테이지(2) 상의 이물질을 물로써 제거한다. 이하 자세히 설명되는 바와 같이, 보호필름은 사선 방향으로 박리되는데, 이와 같이 사선 방향으로 보호필름이 박리되는 중에, 스테이지(2) 및 그 위의 소재에 물을 분사하도록, 상기 물분사유닛(6)은 경사지게 배치된다. 본 실시예에서, 상기 물분사유닛(6)은, 상기 스테이지(2)의 이동 경로를 경사지게 가로지르도록 배치된 물분사 노즐관(61)과, 상기 물분사 노즐관(61)의 길이 방향을 따라 배열된 복수의 물분사 노즐(62)을 포함한다. 또한, 공기분사유닛(7)은 물분사유닛(6)의 전방에 위치한 채, 복수의 공기분사노즐을 통해 분사된 공기를 이용하여 스테이지(2) 및/또는 소재에 묻은 물기를 제거한다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 필름 박리유닛(1)은 지지부(11)와, 테이프 접착부(12)와, 테이프 전단 고정부(13)과, 테이프 접착롤 고정부(14)와, 테이프 구동부(15)와, 테이프 브레이크부(16)를 포함한다.
상기 지지부(11)는 상하로 길게 형성되며 후방 측면의 상부 및 하부 각각에는 테이프 구동부(15)와 테이프 브레이크부(16)가 설치되는 상부 브라켓(112)과 하부 브라켓(114)을 구비한다. 상기 테이프 구동부(15)는 사용하지 않은 접착 테이프를 감아 유지하는 테이프 구동 롤(152)과 상기 테이프 구동 롤(152)을 구동하는 테이프 구동 모터(154)를 포함하고, 상기 테이프 브레이크부(16)는 사용한 테이프를 감아 유지하기 위한 브레이크 롤(162)와 브레이크 롤(162)을 구동시키는 브레이크 모터(164)를 포함한다.
상기 테이프 구동부(15)로부터 풀려 나온 접착 테이프(T)는 상기 지지부(11)의 전방 측면 상단의 가이드 롤(17)에서 가이드되고 상기 지지부(11)의 전방 측면 중간의 테이프 전단 고정부(13)에 의해 구속, 고정된다. 또한 상기 테이프 접착롤 고정부(14)는 상기 지지부(11)의 전방 측면 하단에 설치된 채 접착 테이프(T)의 하단을 움직임 없이 구속, 고정하며, 테이프 접착부(12)와 함께 접착 테이프(T)를 보호필름(F)에 접착시키는데 참여한다. 상기 테이프 접착부(12)는 상기 테이프 접착롤 고정부(14) 부근에서 상기 접착 테이프(T)를 경사진 상태로 이동시켜 전술한 보호필름(F)에 접착시키는 요소이다. 상기 테이프 접착부(12)는 접착 테이프(T)로 보호필름(F)을 누른 후 좌우로 움직임이면서 보호필름(F)을 단단히 접착시킨다. 상기 테이프 접착롤 고정부(14)는 접착 테이프(T)를 눌러서 보호필름(F) 박리 중에 접착 테이프(T)가 딸려나가지 않도록 해준다. 한편, 보호필름(F) 박리에 사용된 접착 테이프(T)의 전단부는 테이프 브레이크부(16)로 들어가 브레이크 롤(162)에 감겨 유지된다.
또한, 상기 테이프 박리장치는 그리퍼(G)를 더 포함할 수 있으며, 상기 그리퍼(G)는 보호필름 박리 중에 보호필름이 떨어지지 않도록 잡아주는 역할을 한다.
도 5를 참조하면 필름 박리유닛(1)에 의해 스테이지(2) 상에 놓인 보호필름(F)이 박리되는 상태를 차례로 볼 수 있다.
먼저, 박리 1 단계에서는, 스테이지(2) 상의 소재(M)에 부착되어 있는 보호필름(F)의 일측 코너에 필름 박리유닛(10)의 접착 테이프가 부착된다. 다음, 박리 2 단계, 3 단계 및 4 단계에서는, 상기 스테이지(2)가 소재(M)를 안착한 상태로 종방향으로 연속 이동하고 필름 박리유닛(10)은 보호필름(F)의 일측 코너를 접착 테이프로 고정한 상태로 상기 스테이지(2)의 이동 방향과 교차하는 횡방향으로 연속 이동한다. 상기 스테이지(2)와 상기 필름 박리유닛(10)이 서로 교차되는 방향으로 이동함으로써 보호필름(F)는 사선 방향으로 박리된다. 4 단계 이후 보호필름(F)이 완전히 박리되면 보호필름(F)은 전술한 수거유닛(3; 도 1 참조)에 의해 수거된다. 보호필름(F)이 사선 방향으로 박리되는 소재(M)에 대하여 물분사유닛(6; 도 1 참조)이 사선 방향으로 물을 분사하여 소재(M) 상의 이물질을 제거한다. 그리고, 소재(M) 및 스테이지(2)에 묻은 물기는 공기분사유닛(7; 도 1 참조)에 의해 분사된 압축공기에 의해 제거된다.
위에서는 스테이지(2)가 진공 흡착수단에 의해 그 위에 놓인 소재를 흡착 고정하는 것으로 설명되었다. 하지만, 필름 박리유닛(1)의 접착 테이프가 보호 필름에 부착되는 부착력이 진공 흡착수단에 의한 흡착력보다 큰 경우, 소재가 스테이지에서 들리거나 더 나아가 들려 깨지는 현상이 발생할 수 있으며, 또한 접착 테이프가 보호필름에서 떨어질 수도 있다. 이를 보완하기 위해, 도 6에 도시된 것과 같이 스테이지(2)에 소재를 고정하는 수단으로 클램프(9)가 전술한 진공 흡착수단 대신에 또는 진공 흡착수단과 더불어 이용될 수 있다. 상기 클램프(9)는 접착 테이프로 보호필름(F)이 소재(M)로부터 약간 분리된 다음 작동하여, 보호필름(F)이 분리된 영역에서 소재(M)를 클램핑하도록 구성될 수 있다.
1: 필름 박리유닛 2: 스테이지
3: 수거유닛 5: 세정부
6: 물분사유닛 7: 공기분사유닛
8: 언로딩유닛 F: 보호필름
M: 소재 T: 접착 테이프

Claims (11)

  1. 보호필름이 부착된 소재가 안착되는 스테이지;
    접착 테이프를 이용하여 상기 소재로부터 상기 보호필름을 박리하는 필름 박리유닛; 및
    상기 소재로부터 박리된 보호필름을 수거하는 수거유닛을 포함하며,
    상기 필름 박리유닛은 상기 접착 테이프가 상기 보호필름의 일측 코너에 접착된 상태로 횡방향으로 이동하고,
    상기 필름 박리유닛이 횡방향으로 이동하는 동안, 상기 스테이지는 종방향으로 이동하여 상기 보호필름의 박리에 참여하는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 스테이지는 상기 소재를 진공 흡착 또는 클램프 중 적어도 하나에 의해 고정하는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 보호필름이 박리되는 동안 또는 상기 보호필름이 박리된 후에 상기 소재 및 상기 스테이지에 물을 분사하여 이물질을 제거하는 물분사유닛과, 상기 소재 및 상기 스테이지에 묻은 물기를 제거하도록 공기를 분사하는 공기분사유닛과, 상기 보호필름의 박리 전에 상기 소재의 하부를 세정하고 상기 세정된 소재를 상기 스테이지에 전달하는 세정부와, 상기 보호필름이 박리된 후에 상기 소재를 후공정으로 언로딩하는 언로딩 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 물분사유닛은, 상기 스테이지가 종방향으로 이동되는 경로 중간에 설치되되, 상기 스테이지의 이동 경로를 경사지게 가로지르도록 배치된 물분사 노즐관과, 상기 물분사 노즐관의 길이 방향을 따라 배열된 복수의 물분사 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
  5. 청구항 3에 있어서, 적어도 상기 세정부와 상기 스테이지는 복수개로 마련되되, 복수의 세정부와 상기 복수의 스테이지 각각은 베드 상에서 횡방향으로 나란하게 배치된 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
  6. 청구항 5에 있어서, 상기 언로딩 유닛은, 상기 복수의 스테이지 중 상기 소재가 놓인 해당 스테이지를 선택하여 상기 해당 스테이지 상의 소재를 언로딩하도록, 횡방향으로 이동가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
  7. 청구항 3에 있어서, 상기 스테이지는 상기 보호필름이 완전히 박리된 상기 소재를 수직으로 일정 높이 들어 올리는 리프터를 구비하고, 상기 언로딩 유닛은 상기 리프터에 의해 들어 올려진 상기 소재를 받아 언로딩하는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
  8. 청구항 1에 있어서, 상기 필름 박리유닛은 지지부와, 상기 지지부의 하단에 설치된 채 상기 접착 테이프를 고정하는 테이프 접착롤 고정부와, 상기 테이프 접착롤 고정부 부근에서 상기 접착 테이프를 경사진 상태로 이동시켜 상기 보호필름에 접착시키는 접착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
  9. 청구항 8에 있어서, 상기 테이프 접착부는 상기 접착 테이프로 상기 보호필름을 누른 후 좌우로 움직임이면서 상기 보호필름을 단단히 접착시키는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
  10. 청구항 8에 있어서, 상기 필름 박리유닛은 상기 지지부에 설치된 테이프 구동부와, 테이프 브레이크부와, 테이프 전단 고정부를 더 포함하고, 상기 테이프 구동부는 상기 보호필름 접착에 사용되지 않은 접착 테이프를 감아 유지하는 테이프 구동 롤과, 상기 테이프 구동 롤을 구동하는 테이프 구동 모터를 포함하고, 상기 테이프 브레이크부는 상기 보호필름 접착에 사용된 테이프를 감아 유지하기 위한 브레이크 롤과 상기 브레이크 롤을 구동시키는 브레이크 모터를 포함하며. 상기 테이프 전단 고정부는 상기 테이프 접착롤 고정부 전단에서 상기 테이프를 고정하는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
  11. 청구항 1에 있어서, 상기 보호필름이 박리되는 동안 상기 보호필름이 떨어지지 않도록 상기 보호필름을 잡아주는 그리퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20170080974A (ko) * 2015-12-31 2017-07-11 주식회사 탑 엔지니어링 보호 필름 제거 장치

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