KR20140124791A - Excimer lamp, and method for production of arc tube for excimer lamp - Google Patents

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Abstract

본 발명의 과제는, 횡단면 형상이 편평한 대략 사각형상이며, 한 쌍의 평탄벽부와, 상기 평탄벽부를 연결하는 측벽부로 이루어지는 발광관을 갖고, 상기 평탄벽부의 외표면에는 한 쌍의 전극이 배치되어 이루어지는 엑시머 램프에 있어서, 방전 기둥에 노출되는 평탄벽부에 크랙이 발생하여 파손에 이르지 않는 엑시머 램프의 구조를 제공하는 것이며, 또한, 상기 발광관의 간략화된 제조 방법을 제공하는 것이다. 본 발명은, 상기 발광관의 평탄벽부의 두께가 측벽부의 두께보다도 두꺼운 것을 특징으로 한다. 또, 본 발명은, 원통형 유리관에 대해 제1의 방향에서부터 버너에 의해 가열하여 제1의 평탄벽부를 성형하는 공정과, 상기 제1의 방향과 대향하는 제2의 방향에서부터 버너에 의해 가열하여 제2의 평탄벽부를 성형하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.An object of the present invention is to provide a light emitting tube having a flat rectangular cross section and a pair of flat wall portions and side wall portions connecting the flat wall portions and a pair of electrodes disposed on the outer surface of the flat wall portion The present invention provides a structure of an excimer lamp in which cracks are generated in a flat wall portion exposed to a discharge pillar and does not cause breakage. The present invention also provides a simplified manufacturing method of the arc tube. The present invention is characterized in that the thickness of the flat wall portion of the arc tube is thicker than the thickness of the side wall portion. According to the present invention, there is provided a method for manufacturing a glass tube, comprising the steps of: heating a cylindrical glass tube from a first direction by a burner to form a first flat wall portion; heating the glass tube from a second direction opposite to the first direction, 2 of the flat wall portion.

Description

엑시머 램프 및 엑시머 램프의 발광관의 제조 방법{EXCIMER LAMP, AND METHOD FOR PRODUCTION OF ARC TUBE FOR EXCIMER LAMP}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a method of manufacturing an arc tube of an excimer lamp and an excimer lamp,

이 발명은 엑시머 램프 및 엑시머 램프의 발광관의 제조 방법에 관한 것이며, 특히, 횡단면 형상이 편평 사각형인 발광관을 갖는 엑시머 램프 및 상기 발광관의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing an arc tube of an excimer lamp and an excimer lamp, and more particularly to an excimer lamp having an arc tube having a flat rectangular cross section and a method of manufacturing the arc tube.

종래부터, 금속, 유리, 그 외의 재료로 이루어지는 피처리체에 진공 자외광을 조사하고, 상기 진공 자외광 및 이에 의해 생성되는 오존의 작용에 의해서 피처리체의 표면에 부착된 유기 오염물질을 제거하는 드라이 세정 처리 기술이 개발되고 있다.BACKGROUND ART Conventionally, dry ultraviolet light is irradiated to an object to be processed made of metal, glass, or other material, and organic ozone adhered to the surface of the object is removed by the action of ozone generated by the vacuum ultraviolet light. A cleaning treatment technique is being developed.

특히, 엑시머 램프로부터 방사되는 파장 200nm 이하의 진공 자외선을 이용한 오존 등의 활성 산소에 의한 세정 방법이 다용되고 있다.Particularly, a method of cleaning with active oxygen such as ozone using vacuum ultraviolet rays having a wavelength of 200 nm or less emitted from an excimer lamp has been widely used.

또, 다른 분야로서, 수 처리나 배기 가스, 배유 등의 처리 용도로서의 활용도 실시되고 있으며, 예를 들면 일본국 특허 공개 평 7-169443호 공보(특허 문헌 1)에 개시되어 있는 바와 같은, 엑시머 램프에 보호 외관을 구비한 엑시머 램프 유닛도 개발되고 있다.In addition, as another field, the use of a water treatment, an exhaust gas, an exhaust gas, and the like is also utilized. For example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-169443 (Patent Document 1) An excimer lamp unit having a protective appearance is also being developed.

이와 같이 피처리체에 진공 자외광을 조사하는 램프로서, 피조사면에서의 조도 균일성을 요구하는 관점으로부터, 횡단면 형상이 편평 사각형인 발광관을 갖는 엑시머 램프가 이용되고 있다. 이 엑시머 램프에 있어서는, 상기 편평 사각형인 발광관의 상하 외면 상에 외부 전극을 형성한 것이며, 전극은 적어도 광취출측은, 망형상 등의 광투과성 전극으로 되어 있다.As such a lamp for irradiating vacuum ultraviolet rays to an object to be processed, an excimer lamp having a light emitting tube whose cross section is a flat square is used from the viewpoint of requiring uniformity of illuminance on the surface to be irradiated. In this excimer lamp, external electrodes are formed on the upper and lower outer surfaces of the light-emitting tube, which is a flat rectangular shape, and the electrodes are light-transmitting electrodes such as a net shape at least on the light extraction side.

그런데, 엑시머 램프에 있어서는 발광관 재료로는 석영 유리가 이용되며, 이 편평 사각형인 발광관은 원통형의 석영 유리관으로 제조된다.In the excimer lamp, quartz glass is used as the material of the light-emitting tube, and the light-emitting tube having the flat rectangular shape is made of a cylindrical quartz glass tube.

일본국 특허 공개 2009-181818호 공보(특허 문헌 2)에는 이러한 편평 사각형인 발광관의 제조 방법이 개시되어 있다.Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2009-181818 (Patent Document 2) discloses a method of manufacturing an arc tube having such a flat rectangular shape.

도 6에 그 제조 방법이 나타나 있으며, 원통형의 석영 유리관(10)을 버너(11)에 의해 가열하여 연화시키고, 석영 유리관(10) 내에 편평 직사각형상의 성형틀(12)을 통과시킴으로써, 원통형 관으로부터 편평 사각형상의 발광관(13)으로 성형해 나가는 것이다.6 shows a manufacturing method thereof. A cylindrical quartz glass tube 10 is heated and softened by a burner 11, and a flat rectangular molding die 12 is passed through the quartz glass tube 10, And is formed into a flat rectangular-shaped arc tube 13.

도 7에 나타낸 바와 같이, 이렇게 하여 성형된 횡단면 형상이 편평 사각형인 발광관(13)은, 그 전체 둘레에 걸쳐 균일한 두께를 갖게 되고, 그 상하 외면에 전극(14, 15)이 설치되고, 내부에 크세논 등의 방전용 광가스가 충전되어 엑시머 램프가 된다.As shown in Fig. 7, the arc tube 13 having a flat rectangular cross section formed in this way has a uniform thickness over its entire periphery, electrodes 14 and 15 are provided on the upper and lower outer surfaces thereof, And a discharge gas such as xenon is filled in the inside, thereby forming an excimer lamp.

그런데, 상기 특허 문헌 2에 의거하는 발광관의 제조 방법은, 원통형 유리관(10)을 버너(11)로 가열하면서 성형틀에 의해서 서서히 편평 사각형으로 변형시켜가는 것이므로, 제조 프로세스가 많고, 특히, 성형틀(12)을 유리관 내에 통과시키는 작업에 다대한 시간과 노력, 숙련을 필요로 하며, 그로 인해 제조 비용이 높아진다고 하는 문제가 있었다.However, the manufacturing method of the arc tube according to Patent Document 2 is such that the cylindrical glass tube 10 is gradually deformed into a flat square by the molding frame while heating the cylindrical glass tube 10 with the burner 11, Time, effort, and skill are required for the operation of passing the mold 12 through the glass tube, thereby increasing the manufacturing cost.

또, 도 7에 나타낸 바와 같이, 이렇게 하여 성형된 발광관(13)을 갖는 엑시머 램프에 있어서는, 상하 외부 전극(14, 14) 사이에서의 배리어 방전에 의해서 엑시머 발광시키지만, 전극 사이에는 다수의 방전 기둥(H)이 생성되고, 이것이 대향하는 발광관의 내면에 직접 충돌하므로, 이 방전 기둥이 직접 닿는 벽면에는 미소한 크랙이 다수 발생하기 쉬워, 이윽고 발광관의 파손에 이르는 경우가 있다.As shown in Fig. 7, in the excimer lamp having the arc tube 13 thus formed, the excimer light is emitted by the barrier discharge between the upper and lower external electrodes 14 and 14. However, A column H is generated and directly collides with the inner surface of the opposed arc tube, so that many minute cracks are likely to be generated on the wall surface directly contacting the discharge column, which may eventually lead to breakage of the arc tube.

이 현상은, 특히, 최근 그 용도가 증대해 온, 파장 200~400nm의 영역의 광을 출사하는 엑시머 램프에 있어서 현저하며, 이것은, 그 파장을 출사하기 위해서, 발광관 내에 희가스와 할로겐이 봉입되므로, 유리를 구성하는 원소와 할로겐이 화학반응하여 유리를 파손시키기 때문이다.This phenomenon is conspicuous particularly in an excimer lamp which emits light in a wavelength range of 200 to 400 nm which has been recently used for a long time. In order to emit the wavelength, rare gas and halogen are enclosed in the light emitting tube , Because the element constituting the glass and the halogen chemically react to destroy the glass.

일본국 특허 공개 평 7-169443호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-169443 일본국 특허 공개 2009-181818호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-181818

본 발명은, 이상과 같은 종래 기술의 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 횡단면 형상이 편평한 대략 사각형상이며, 한 쌍의 평탄벽부와, 상기 평탄벽부를 연결하는 측벽부로 이루어지는 발광관을 갖고, 상기 평탄벽부의 외표면에는 한 쌍의 전극이 배치됨과 더불어, 상기 발광관 내에는 방전용 가스가 봉입되어 이루어지는 엑시머 램프에 있어서, 발광관의 평탄벽부의 외표면에 설치되고 전극 사이에서 생성되는 다수의 방전 기둥이 대향하는 발광관의 평탄벽부의 내면에 직접 충돌해도, 파손에 이르지 않는 구조를 제공하고자 하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems of the conventional art, and has an arc tube comprising a pair of flat wall portions and side wall portions connecting the flat wall portions, A pair of electrodes are disposed on the outer surface of the bulb, and a discharge gas is sealed in the bulb. In the excimer lamp, a plurality of discharge poles, which are provided on the outer surface of the flat wall portion of the bulb, And it is intended to provide a structure that does not lead to breakage even if it directly collides with the inner surface of the flat wall portion of the opposed arc tube.

또, 원통형 유리관으로부터 단면 편평한 대략 사각형상의 발광관을 제조할 때에, 다대한 노력과 숙련, 그리고 작업 시간을 필요로 하지 않고, 제조 비용을 억제한 제조 방법을 제공하고자 하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a manufacturing method which suppresses the manufacturing cost without requiring much effort, skill, and working time when manufacturing a substantially quadrangular rectangular emission tube from a cylindrical glass tube.

상기 과제를 해결하기 위해서, 이 발명에 따른 엑시머 램프는, 상기 발광관의 상기 평탄벽부의 두께가 상기 측벽부의 두께보다도 두꺼운 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problem, the excimer lamp according to the present invention is characterized in that the thickness of the flat wall portion of the arc tube is thicker than the thickness of the side wall portion.

또, 상기 측벽부의 단면 형상이 원호형인 것을 특징으로 한다.Further, the cross-sectional shape of the side wall portion is an arc shape.

그리고, 상기 엑시머 램프의 발광관의 제조 방법으로서, 원통형 유리관에 대해 제1의 방향에서부터 버너에 의해 가열하여 제1의 평탄벽부를 성형하는 공정과, 상기 유리관에 대해, 상기 제1의 방향과 대향하는 제2의 방향에서부터 버너에 의해 가열하여 제2의 평탄벽부를 성형하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The manufacturing method of the arc tube of the excimer lamp includes the steps of forming a first flat wall portion by heating the cylindrical glass tube from a first direction by a burner, And forming the second flat wall portion by heating with the burner from the second direction.

이 발명에 의하면, 횡단면 형상이 편평한 대략 사각형상의 발광관의, 측벽부보다 두꺼운 평탄벽부의 외표면에 한 쌍의 전극이 배치됨으로써, 외부 전극 사이에서의 방전에 의해서 생성되는 방전 기둥이 대향하는 평탄벽부의 내면에 직접 닿아도, 그 두께가 충분히 확보되어 기계적 강도가 크게 되어 있으므로, 크랙에 대한 내성이 커서 파손에 이르는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, a pair of electrodes are disposed on the outer surface of a flat wall portion of a substantially quadrangular-shaped arc tube having a flat cross-sectional shape, which is thicker than the side wall portion, so that the discharge pillar generated by the discharge between the external electrodes Even when it directly touches the inner surface of the wall portion, since the thickness thereof is sufficiently secured and the mechanical strength is increased, it is possible to prevent breakage due to a large resistance to cracks.

또, 상기 측벽부가 원호형이므로, 상기 엑시머 램프를 이용한 램프 유닛에 있어서, 이것을 원통형의 보호 외관에 장착할 때, 상기 외관과의 정합성이 매우 좋다.In addition, since the side wall portion is arc-shaped, when the lamp unit using the excimer lamp is mounted on a cylindrical protective outer tube, the compatibility with the outer tube is very good.

그리고, 상기 발광관의 제조에 있어서는, 원통형 유리관에 제1의 방향과, 이것과 대향하는 제2의 방향에서부터 버너에 의해 가열하여, 상기 평탄벽부를 성형하므로, 성형 작업이 매우 간단하고, 제조 비용이 낮은 발광관의 성형이 가능해진다.In the production of the arc tube, since the flat wall portion is formed by heating the cylindrical glass tube by the burner in the first direction and the second direction facing the cylindrical glass tube, the molding operation is very simple, This makes it possible to form a low-luminous tube.

또, 이 방법에 의해, 성형되는 발광관의 평탄벽부는 자연히 측벽부보다 두께가 두꺼워져, 상기 평탄벽부의 두께가 두꺼운 발광관이 간단하게 얻어진다.According to this method, the flat wall portion of the arc tube to be molded is naturally thicker than the side wall portion, so that a light-emitting tube having a thick thickness of the flat wall portion can be obtained easily.

도 1은 본 발명에 따른 엑시머 램프의 설명도.
도 2는 도 1의 발광관의 제조 방법의 원리 설명도.
도 3은 도 1의 발광관의 제조 방법의 설명도.
도 4는 다른 제조 방법의 설명도.
도 5는 도 1의 엑시머 램프를 사용한 엑시머 램프 유닛의 사시도.
도 6은 종래의 엑시머 램프의 제조 방법의 설명도.
도 7은 종래의 엑시머 램프의 단면도.1 is an explanatory diagram of an excimer lamp according to the present invention;
2 is an explanatory view of the principle of the method of manufacturing the arc tube of FIG.
3 is an explanatory diagram illustrating a method of manufacturing the arc tube of FIG.
4 is an explanatory diagram of another manufacturing method.
FIG. 5 is a perspective view of an excimer lamp unit using the excimer lamp of FIG. 1;
6 is an explanatory view of a conventional method of manufacturing an excimer lamp.
7 is a sectional view of a conventional excimer lamp.

도 1은, 이 발명의 엑시머 램프(1)를 나타내며, 도 1(A)는 사시도, 도 1(B)는 그 X-X 횡단면도이다. 엑시머 램프(1)의 발광관(2)은, 한 쌍의 평탄벽부(3, 3)와 이들을 연결하는 측벽부(4, 4)로 이루어지는 횡단면 형상이 편평한 대략 사각형상을 이루고, 길이 방향으로 장척 형상이며, 상기 평탄벽부(3, 3)의 외면에는 외부 전극(5, 5)이 설치되어 있다.Fig. 1 shows an excimer lamp 1 of the present invention. Fig. 1 (A) is a perspective view, and Fig. 1 (B) is a cross-sectional view taken along the line X-X. The arc tube 2 of the excimer lamp 1 has a flat rectangular cross section composed of a pair of flat wall portions 3 and 3 and side wall portions 4 and 4 connecting the pair of flat wall portions 3 and 3, And outer electrodes 5 and 5 are provided on outer surfaces of the flat-walled portions 3 and 3, respectively.

그리고, 전극(5)이 설치된 평탄벽부(3)의 두께(D1)는, 측벽부(4)의 두께(D2)보다도 두껍게 형성되어 있다.The thickness D1 of the flat wall portion 3 provided with the electrode 5 is formed to be larger than the thickness D2 of the side wall portion 4.

또, 한쪽의 평탄벽부(3)의 내면에는 자외선 반사막(6)이 형성되어 있고, 발광관(2) 내에서 생성된 자외광은, 도 1(B)의 하방, 즉, 반사막(6)이 설치되어 있지 않은 쪽의 평탄벽부(3)로부터 출사된다. 이 경우, 적어도 자외광 출사측의 전극(5)은 광 투과성이다.An ultraviolet reflecting film 6 is formed on the inner surface of one of the flat wall portions 3 and the ultraviolet light generated in the light emitting tube 2 is incident on the lower side of Figure 1B, And is emitted from the flat wall portion 3 which is not provided. In this case, at least the electrode 5 on the ultraviolet light emitting side is light-transmissive.

또한, 자외선 반사막(6)은 필요에 따라서 설치되어 있는 것으로, 필수인 것은 아니다.The ultraviolet reflective film 6 is provided as necessary and is not essential.

상기 구성에 있어서, 외부 전극(5) 사이에서 방전이 일어나면, 방전 기둥(H)은 평탄벽부(3)에 직접 닿는데, 상기 평탄벽부(3)는 측벽부(4)보다도 두께가 두껍게 형성되어 있어 큰 강도가 확보되고 있으므로, 크랙의 발생에 의한 파손을 방지할 수 있다. 또, 측벽부(4)는 두께가 얇게 형성되어 있지만, 방전 기둥이 직접 닿지 않으므로, 크랙이 발생할 일은 없다.In this configuration, when a discharge occurs between the outer electrodes 5, the discharge column H directly contacts the flat wall portion 3, and the flat wall portion 3 is formed thicker than the side wall portion 4 And a large strength is secured, so that breakage due to the occurrence of cracks can be prevented. In addition, although the side wall portion 4 is formed to be thin, since the discharge pillar does not directly touch, cracks do not occur.

이러한 구조의 발광관을 형성하는 제조 방법의 원리적인 설명이 도 2에 나타나 있다.A principle explanation of a manufacturing method of forming the arc tube of such a structure is shown in Fig.

원통형 유리관(8)에 대해 한쪽의 측방으로부터 산수소버너 등의 버너(11)로부터의 열풍을 쐬게 하여 가열한다. 유리관(8)의 가열된 원호형 부위(9)는 연화하여, 열풍에 의한 가압력을 받아 변형된다. 이 때, 버너(11)의 중앙부에서의 불꽃(11a)은 주위의 불꽃(11b)의 영향도 있어 가장 화력이 크고, 또한, 원통형 유리관(8)의 원호형 부위(9)의 중앙부(9a)에 가장 가깝기 때문에, 상기 중앙부(9a)가 가장 고온이 되어, 버너의 열풍에 의한 변형량이 가장 크고, 서서히 평탄 형상이 되어가면서 평탄벽부(3)가 성형된다.The cylindrical glass tube 8 is heated by a hot air from a burner 11 such as an acid gas burner from one side thereof. The heated arc-shaped portion 9 of the glass tube 8 is softened and deformed by a pressing force by hot air. At this time, the flame 11a at the central portion of the burner 11 is most affected by the surrounding flame 11b, and the central portion 9a of the arcuate portion 9 of the cylindrical glass tube 8 has the highest thermal power, The central portion 9a becomes the highest temperature, the amount of deformation of the burner due to hot air is the largest, and the flat wall portion 3 is formed while gradually becoming flat.

이 때, 원호형 부위(9)가 직선형의 평탄벽부(3)로 변형되므로, 상기 평탄벽부(3)의 두께는 유리관(8)(원호형 부위(9))의 원래의 두께보다도 두꺼워진다.At this time, since the arcuate portion 9 is deformed into the straight flat portion 3, the thickness of the flat portion 3 becomes thicker than the original thickness of the glass tube 8 (arcuate portion 9).

이하, 원통형 유리관(8)으로부터 발광관(3)을 성형하는 제조 방법을 도 3에 의거하여 설명한다.Hereinafter, a manufacturing method for molding the arc tube 3 from the cylindrical glass tube 8 will be described with reference to Fig.

도 3은, 그 제조 방법을 나타내는 측면도와 그 X-X 단면도이다. 도 3(A)에 있어서, 유리관(8)의 일측면에서부터 버너(11)를 쐬게 하여 가열한다. 이에 의해, 원호형 부분(9)이 평탄벽부(3)로 변형된다.3 is a side view and a cross-sectional view taken along the line X-X of the method for manufacturing the same. In Fig. 3 (A), the burner 11 is aired from one side of the glass tube 8 and heated. As a result, the arcuate portion 9 is deformed into the flat wall portion 3.

그리고, 버너(11)를 유리관(8)의 축방향을 따라서 주사하여 유리관(8)의 축방향의 전체에 있어서 평탄벽부(3)를 성형한다.Then, the burner 11 is scanned along the axial direction of the glass tube 8 to form the flat wall portion 3 in the entire axial direction of the glass tube 8.

그 다음에, 도 3(B)에 나타낸 바와 같이, 버너(11)를 끄고, 유리관(8)을 180도 반전시킴과 더불어, 버너(11)를 원위치로 되돌린다.Then, as shown in Fig. 3 (B), the burner 11 is turned off, the glass tube 8 is turned by 180 degrees, and the burner 11 is returned to its original position.

그리고, 도 3(C)에 나타낸 바와 같이, 다시 버너(11)를 점화하여, 유리관(8)의 반대측을 가열한다. 이에 의해, 유리관(8)의 반대측의 원호형 부위(9)가 변형되어 평탄벽부(3)가 성형된다. 이 버너(11)를 관축방향으로 주사하여 유리관(8)의 전체 길이에 걸처 평탄벽부(3)를 성형한다.Then, as shown in Fig. 3 (C), the burner 11 is again ignited, and the opposite side of the glass tube 8 is heated. As a result, the arcuate portion 9 on the opposite side of the glass tube 8 is deformed to form the flat wall portion 3. And the burner 11 is scanned in the tube axis direction to form the flat wall portion 3 along the entire length of the glass tube 8. [

도 3(D)는, 이렇게 하여 양측면에 평탄벽부(3, 3)가 성형된 발광관(2)이 나타나 있다.Fig. 3 (D) shows the arc tube 2 in which the flat wall portions 3 and 3 are formed on both sides in this way.

이와 같이 성형된 발광관(2)은, 평탄벽부(3, 3)와 이것을 연결하는 측벽부(4, 4)로 이루어지며, 상기 평탄벽부(3)의 두께는 소재인 원통형 유리관(8)의 두께보다 두꺼워지고, 측벽부(4)의 두께는 유리관(8)의 두께와 동일하고, 결과적으로, 평탄벽부(3)의 두께(D1)는, 측벽부(4)의 두께(D2)보다도 두껍게 된다.The light-emitting tube 2 thus formed is composed of the flat wall portions 3 and 3 and the side wall portions 4 and 4 connecting the flat wall portions 3 and 3. The thickness of the flat wall portion 3 is the same as that of the cylindrical glass tube 8 The thickness D1 of the flat wall portion 3 is thicker than the thickness D2 of the side wall portion 4 because the thickness of the side wall portion 4 is equal to the thickness of the glass tube 8. As a result, do.

상기에 있어서, 평탄벽부(3)를 성형하기 위해서 버너(11)가 주사하는 축방향의 길이 영역은, 당연히 램프를 구성함에 있어서 필요로 하는 발광관(3)의 관축방향 길이에 따라서 결정된다.In the above, the axial length area in which the burner 11 scans to form the flat wall part 3 is naturally determined in accordance with the length in the tube axis direction of the arc tube 3 necessary for constructing the lamp.

또, 유리관(8)과 버너(11)는 상대적으로 주사하면 되므로, 유리관측을 주사하도록 해도 되지만, 장치 구성상에서, 버너측이 주사하는 구성인 것이 적절하다.The glass tube 8 and the burner 11 may be scanned relative to each other, so that the glass tube 8 and the burner 11 may be scanned.

또한, 도 3(B)에 나타낸 바와 같이, 일측면측의 성형이 종료된 후에, 유리관(8)을 반전하여, 버너(11)를 원위치로 되돌린다고 했는데, 버너(11)를 유리관(8)의 반대측면으로 회전 위치시켜도 되고, 또, 버너(11)는 원위치로 되돌리지 않고, 일측면을 성형 종료한 위치에서부터 반대 방향으로 주사하도록 해도 된다.3B, the glass tube 8 is reversed and the burner 11 is returned to its original position. However, the burner 11 is moved to the glass tube 8, The burner 11 may be rotated in the opposite direction from the position where the molding is completed without rotating the burner 11 back to its original position.

또, 도 3에 있어서는, 버너(11)에 의한 평탄벽부(3)의 성형을 2단계로 성형하는 방법을 설명했는데, 유리관(8)의 양측면에서부터 버너(11)에 의해 가열하여, 양측의 평탄벽부(3, 3)를 동시에 성형해도 된다.3, the method of molding the flat wall portion 3 by the burner 11 in two steps has been described. However, the glass tube 8 is heated from both sides of the glass tube 8 by the burner 11, The wall portions 3 and 3 may be simultaneously formed.

즉, 도 4(A), (B)에 나타낸 바와 같이, 유리관(8)의 양측면에 한 쌍의 버너(11, 11)를 대향 배치하여, 유리관(8)의 양측면을 동시에 가열하고, 상기 버너(11, 11)를 동시에 유리관(8)의 관축방향으로 주사하는 것이다. 이렇게 함으로써, 유리관(8)의 양측면에 동시에 평탄벽부(3, 3)를 성형할 수 있어, 제조 공정의 간략화와 작업 시간의 단축화를 도모할 수 있다.That is, as shown in Figs. 4 (A) and 4 (B), a pair of burners 11 and 11 are disposed on both sides of the glass tube 8 so as to heat both sides of the glass tube 8 simultaneously, (11, 11) simultaneously in the tube axis direction of the glass tube (8). By doing so, the flat wall portions 3 and 3 can be simultaneously formed on both side surfaces of the glass tube 8, thereby simplifying the manufacturing process and shortening the working time.

이렇게 하여 성형된 발광관(2)에는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 평탄벽부(3, 3)의 외면에 외부 전극(5, 5)이 설치되고 엑시머 램프(1)로서 완성된다.1, outer electrodes 5 and 5 are provided on the outer surfaces of the flat wall portions 3 and 3 to complete the excimer lamp 1 in the arc tube 2 thus formed.

도 5에 이 엑시머 램프(1)를 이용한 엑시머 램프 유닛(20)이 나타나 있으며, 엑시머 램프(1)는 보호 외관(21) 내에 수용되어 있다.5 shows an excimer lamp unit 20 using the excimer lamp 1, and the excimer lamp 1 is housed in a protective outer tube 21. [

이 때, 엑시머 램프(1)의 발광관(2)의 양측벽부(4, 4)는 원호형을 이루고 있으므로, 원통형의 보호 외관(21) 내로의 수납은 정합성이 좋고 매우 양호하게 행해진다.At this time, since the side wall portions 4 and 4 of the arc tube 2 of the excimer lamp 1 are formed in an arc-like shape, the accommodation in the cylindrical protective outer tube 21 is performed well with good consistency.

또, 측벽부(4)가 보호 외관(21)에 밀착되므로, 램프의 열을 효과적으로 방열할 수 있다.Since the side wall portion 4 is in close contact with the protective outer tube 21, the heat of the lamp can be effectively dissipated.

본 발명에 있어서의 발광관(2)의 일 수치예를 나타내면 이하와 같다.One numerical example of the arc tube 2 in the present invention is as follows.

외경 φ18.5mm, 내경 φ16.6mm, 두께 1.0mm인 유리관을 본 발명의 제조 방법에 따라 제조한 발광관으로서, 평탄벽부의 두께 1.4mm, 측벽부의 두께 1.0mm인 발광관이 얻어졌다.A glass tube having an outer diameter of 18.5 mm, an inner diameter of 16.6 mm, and a thickness of 1.0 mm was produced as a light emitting tube according to the manufacturing method of the present invention, and a light emitting tube having a flat wall portion of 1.4 mm in thickness and a side wall portion of 1.0 mm in thickness was obtained.

또한, 평탄벽부의 두께는, 측벽부의 두께의 1.2~2.0배가 바람직하다. 두께가 1.1배 이하에서는 편평량이 작아서, 형성되는 평탄벽부 사이의 거리가 커서, 방전 갭이 너무 크다. 한편, 2.0배보다 크면 편평량이 너무 커서, 평탄벽부 사이의 거리가 작아, 방전 갭이 너무 작아 진다.The thickness of the flat wall portion is preferably 1.2 to 2.0 times the thickness of the side wall portion. When the thickness is 1.1 times or less, the flatness amount is small, and the distance between the flat wall portions to be formed is large, and the discharge gap is too large. On the other hand, if it is larger than 2.0 times, the flatness amount is too large, the distance between the flat wall portions becomes small, and the discharge gap becomes too small.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 횡단면 형상이 편평한 대략 사각형상인 발광관을 갖는 엑시머 램프에 있어서, 발광관의 평탄벽부의 두께를, 측벽부의 두께보다 두껍게 한 것에 의해, 평탄벽부의 외면에 설치한 전극 사이에서의 방전에 의한 방전 기둥에 노출되는 평탄벽부에 충분한 기계적 강도가 부여되어, 크랙에 의한 파손을 방지할 수 있다.As described above, according to the present invention, in the excimer lamp having an arc tube having a substantially rectangular shape with a flat cross-sectional shape, the thickness of the flat wall portion of the arc tube is made thicker than the thickness of the side wall portion, A sufficient mechanical strength is imparted to the flat wall portion exposed to the discharge column due to the discharge between the electrodes, and breakage due to cracks can be prevented.

또, 측벽부를 원호형으로 한 것에 의해, 상기 엑시머 램프를 이용한 엑시머 램프 유닛에 있어서, 엑시머 램프를 원통형의 보호 외관에 장착할 때, 매우 정합성이 좋고, 또한 양호한 방열성도 얻을 수 있다.In addition, when the excimer lamp is mounted on the cylindrical protective outer tube in the excimer lamp unit using the excimer lamp, the side wall portion is formed in an arc-like shape.

그리고, 발광관을 제조할 때에, 원통형 유리관의 측면에서부터 버너에 의해 가열함으로써 평탄벽부를 성형하므로, 종래와 같이 성형틀을 이용한 번잡한 작업을 필요로 하지 않으며, 발광관의 제조가 간략화되고, 특별한 숙련성도 불필요해져, 제조 시간의 단축화를 도모할 수 있고, 제조 비용이 저렴한 발광관을 얻을 수 있다.In manufacturing the light emitting tube, since the flat wall portion is formed by heating from the side of the cylindrical glass tube by the burner, complicated operation using the molding frame is not required as in the conventional case, and the manufacture of the light emitting tube is simplified, It is not necessary to be skilled, so that it is possible to shorten the manufacturing time and obtain a light-emitting tube having a low manufacturing cost.

또, 이 제조 방법에 의해, 자연히 평탄벽부의 두께가 측벽부의 두께보다 두꺼워진 발광관을 얻을 수 있어, 방전에 의해 데미지를 받는 평탄벽부에 충분한 기계적 강도가 부여된다.In addition, this manufacturing method can obtain a light emitting tube in which the thickness of the flat wall portion is naturally thicker than the thickness of the side wall portion, and a sufficient mechanical strength is given to the flat wall portion which is damaged by the discharge.

1:엑시머 램프
2:발광관
3:평탄벽부
4:측벽부
5:외부 전극
6:자외선 반사막
8:원통형 유리관
9:원호형 부위
11:버너
D1:평탄벽부의 두께
D2:측벽부의 두께
H:방전 기둥
20:엑시머 램프 유닛
21:보호 외관1: Excimer lamp
2: arc tube
3: flat wall portion
4:
5: external electrode
6: ultraviolet ray reflective film
8: Cylindrical glass tube
9: Circular arc
11: Burner
D1: thickness of the flat wall portion
D2: Thickness of side wall portion
H: discharge pole
20: Excimer lamp unit
21: Protection appearance

Claims (6)

횡단면 형상이 편평한 대략 사각형상이며, 한 쌍의 평탄벽부와, 상기 평탄벽부를 연결하는 측벽부로 이루어지는 발광관을 갖고, 상기 평탄벽부의 외표면에는 한 쌍의 전극이 배치됨과 더불어, 상기 발광관 내에는 방전용 가스가 봉입되어 이루어지는 엑시머 램프에 있어서,
상기 평탄벽부의 두께가 상기 측벽부의 두께보다도 두꺼운 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.And a pair of electrodes disposed on an outer surface of the flat wall portion, wherein the pair of electrodes are disposed on the outer surface of the flat portion, Is an excimer lamp in which a discharge gas is sealed,
And the thickness of the flat wall portion is thicker than the thickness of the side wall portion. 청구항 1에 있어서,
상기 측벽부의 단면 형상이 원호형인 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.The method according to claim 1,
Wherein the cross-sectional shape of the side wall portion is an arc shape. 상기 청구항 2의 엑시머 램프를 구비하고, 상기 발광관의 측벽부의 외표면에 적합하는 내표면을 갖는 보호 외관이 끼워맞춰져 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 유닛.The excimer lamp unit according to claim 2, wherein the excimer lamp has a protective outer surface fitted with an inner surface adapted to an outer surface of a sidewall of the arc tube. 청구항 1에 기재된 엑시머 램프의 발광관의 제조 방법으로서,
원통형 유리관에 대해 제1의 방향에서부터 버너에 의해 가열하여 제1의 평탄벽부를 성형하는 공정과,
상기 유리관에 대해, 상기 제1의 방향과 대향하는 제2의 방향에서부터 버너에 의해 가열하여 제2의 평탄벽부를 성형하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 발광관의 제조 방법.A method of manufacturing an arc tube of an excimer lamp according to claim 1,
A step of forming a first flat wall portion by heating the cylindrical glass tube from a first direction by a burner,
And forming a second flat wall portion by heating the glass tube from a second direction opposite to the first direction by a burner. 청구항 4에 있어서,
상기 제1의 평탄벽부를 성형하는 공정 후에, 상기 버너를 상기 유리관의 상기 제1의 평탄벽부와는 반대측에 위치시켜, 상기 제2의 평탄벽부를 성형하는 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 발광관의 제조 방법.The method of claim 4,
Wherein the step of forming the second flat wall portion is performed by positioning the burner on the side opposite to the first flat wall portion of the glass tube after the step of molding the first flat wall portion, Gt; 청구항 4에 있어서,
상기 유리관을 사이에 두고 대향하는 위치에 설치된 한 쌍의 버너에 의해서, 상기 제1의 방향에서의 가열과, 상기 제2의 방향에서의 가열을 동시에 행하여, 상기 제1의 평탄벽부를 성형하는 공정과, 상기 제2의 평탄벽부를 성형하는 공정을 동시에 행하는 것을 특징으로 하는 발광관의 제조 방법.
The method of claim 4,
A step of simultaneously performing heating in the first direction and heating in the second direction by a pair of burners provided at positions opposed to each other with the glass tube therebetween to form the first flat wall portion And a step of molding the second flat wall portion are performed simultaneously.
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