KR20140117259A

KR20140117259A - Light irradiator

Info

Publication number: KR20140117259A
Application number: KR1020140007268A
Authority: KR
Inventors: 다케시 미노베
Original assignee: 우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2013-03-26
Filing date: 2014-01-21
Publication date: 2014-10-07
Also published as: KR101582025B1; CN104075168A; CN104075168B; JP2014191939A; TWI535968B; JP5803967B2; TW201437539A

Abstract

Provided is a structure of a light irradiator which is easy to maintain even when having a long light source and does not use a large space. A light source unit for holding a long light source (1) in a light source holding frame (11), a mirror unit (20) for holding a long mirror (2) covering the light source (1) from the back in a mirror holding frame (21), an upper unit (4) on the upper side of the mirror unit (20), and an element unit (30) on the lower side (irradiation side) of the light source unit (10) can move upward by a moving mechanism (8). A selecting mechanism (9) selects whether to move only the upper unit (4), to move the upper unit (4) and the mirror unit (20), or to move the upper unit (4), the mirror unit (20), and the light source unit (10).

Description

Light Tracer {LIGHT IRRADIATOR}

본원의 발명은, 장척의 광원에 의해 대상물에 광조사하는 광조사기에 관한 것이다. The present invention relates to an optical radiator for irradiating an object with a long light source.

장척의 광원으로서는, 형광등을 비롯하여 각종의 것이 알려져 있지만, 산업용으로 이용되는 경우도 많다. 예를 들면 자외선 광원으로서도 알려져 있는 수은 램프는, 고압 수은 램프나 저압 수은 램프와 같이 전체가 봉형상인 것이 있으며, 광조사에 의한 대상물의 처리 등의 목적으로 다용되고 있다. 이 외에, 메탈할라이드램프나 LED 등의 광원에서도, 봉형상과 같이 장척의 타입인 것이 있다. 대상물을 광조사에 의해 처리하는 경우, 대상물이 큰 폭이기 때문에 폭방향으로 긴 광원을 사용하는 예를 자주 볼 수 있다. A variety of light sources such as fluorescent lamps are known as long-length light sources, but they are often used for industrial purposes. For example, a mercury lamp, which is also known as an ultraviolet light source, has a rod-like shape as a whole, such as a high-pressure mercury lamp or a low-pressure mercury lamp, and has been widely used for the purpose of treatment of objects by light irradiation. In addition, a light source such as a metal halide lamp or an LED may be of a long type such as a bar. When an object is processed by light irradiation, since the object is large, an example of using a light source that is long in the width direction is often seen.

장척의 광원의 배후에는, 미러가 통상 배치된다. 「배후」란, 광조사의 대상물이 위치하는 측을 전측으로 한 경우, 그 반대측과 같은 의미이다. At the rear of the long light source, a mirror is normally arranged. The term " rear " means the same as the opposite side when the side on which the object of light irradiation is located is the front side.

이러한 광조사기는, 당연한 일이지만, 메인터넌스를 고려한 구조가 된다. 메인터넌스의 전형적인 것은 광원의 교환이다. 광원은 일반적으로 소모품이며, 수명의 도래에 수반하여 교환이 필요하게 된다. 이 때문에, 광조사기는, 광원을 교환 가능하게 부착된 구조를 가진다. Such an optical radiator is, of course, structured in consideration of maintenance. A typical example of maintenance is the exchange of light sources. Light sources are generally consumables and require replacement with the advent of lifetime. For this reason, the light irradiator has a structure in which a light source is exchangeably attached.

또, 미러에 대해서도, 적절히 메인터넌스 가능한 구조가 된다. 예를 들면, 미러의 반사면을 클리닝 가능한 구조로 하거나, 미러의 교환이 가능한 구조로 한다. In addition, the mirror can be suitably maintained. For example, it is possible to adopt a structure in which the reflecting surface of the mirror can be cleaned or a structure in which the mirror can be exchanged.

일본국 특허 4412090호 공보Japanese Patent No. 4412090 일본국 특허공개 2011-222347호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-222347

이러한 광조사기에 있어서, 광원이 너무 장척이기 때문에, 메인터넌스를 위한 구조가 매우 어려워지는 경우가 있다. 이 점에 대해서, 디스플레이 디바이스 제조 시에 사용되는 광조사기를 예로서 설명한다. In such an optical radiator, since the light source is too long, the structure for maintenance may become very difficult. With respect to this point, the light irradiator used for manufacturing the display device will be described as an example.

액정 디스플레이로 대표되는 디스플레이 디바이스는, 기판 사이즈가 해마다 대형화되고 있다. 대형화는, TV용 등인 경우에는 대화면이 되기 때문에 필연적으로 기판 사이즈가 커지고, 한 장의 기판에서 다수의 디스플레이 디바이스를 제조하는 경우에도, 생산성 향상의 관점에서 기판 사이즈는 커진다. In a display device typified by a liquid crystal display, the substrate size is becoming larger each year. In the case of a large-sized TV, etc., the size of the substrate is inevitably increased because it becomes a large-sized screen, and even when a plurality of display devices are manufactured from a single substrate, the substrate size increases from the viewpoint of productivity.

기판 사이즈가 커지면, 제조 프로세스에 광조사기를 이용한 광처리가 포함되어 있는 경우, 사용되는 광원이 보다 장척화되어 간다. 예를 들면, 액정 디스플레이의 제조에서는, 배향막을 얻는 프로세스로서, 종래의 러빙 대신에 편광광의 조사에 의해 배향막을 얻는 광배향의 프로세스가 많이 채용되게 되었다. 광배향에는, 자외선의 편광광을 조사할 필요가 있는 경우가 많아, 고압 수은 램프와 같은 봉형상의 광원이 사용된다. 이때, 기판 사이즈의 대형화에 수반하여, 최근에는 1500mm 또는 그 이상의 매우 긴 램프의 사용이 필요해지고 있다. When the substrate size is increased, the light source used becomes longer when the manufacturing process includes the light processing using the light irradiator. For example, in the production of a liquid crystal display, as a process for obtaining an alignment film, a photo alignment process in which an alignment film is obtained by irradiating a polarized light instead of conventional rubbing has been widely adopted. A rod-shaped light source, such as a high-pressure mercury lamp, is often used for light alignment because it is often necessary to irradiate polarized light of ultraviolet rays. At this time, along with the increase in the size of the substrate, it has recently become necessary to use an extremely long lamp of 1500 mm or more.

이러한 특히 장척의 광원을 사용한 광조사기에서는, 메인터넌스를 위한 구조를 특별히 연구하지 않으면, 메인터넌스의 작업을 하기 매우 어려워져 버리거나, 메인터넌스 만을 위해 큰 스페이스가 필요하게 되어 버리는 문제가 있다. 예를 들면, 특허 문헌 1은, 메인터넌스를 위해 광원을 그 길이 방향으로 꺼낼 수 있는 구조를 개시하고 있다. 그러나, 이러한 구조에서는, 광원이 길어지면 길어진 만큼의 스페이스가 램프의 길이 방향으로 메인터넌스를 위해 필요하게 되어 버린다. 메인터넌스 이외에는 그만큼의 스페이스가 불필요한 경우, 생산 설비의 공간 절약화의 관점에서 문제시될 수 있다. In this light irradiator using a particularly long light source, unless a structure for maintenance is specially studied, there is a problem that maintenance work becomes very difficult or a large space is required for maintenance only. For example, Patent Document 1 discloses a structure in which a light source can be taken out in its longitudinal direction for maintenance. However, in such a structure, a long space is required for maintenance in the longitudinal direction of the lamp when the light source is long. If space is not required other than maintenance, this may be a problem from the viewpoint of space saving of production equipment.

본원의 발명은, 이러한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 특히 장척의 광원을 구비한 경우에도 메인터넌스가 용이하고, 또한 넓은 스페이스를 사용하지 않는 광조사기의 구조를 제공하는 의의를 가지고 있다. The present invention has been made to solve such a problem, and has the significance to provide a structure of an optical radiator which is easy to maintain even when a long light source is provided and does not use a wide space.

상기 과제를 해결하기 위해, 본원의 청구항 1에 기재된 발명은, 장척의 광원과, 광원의 길이 방향으로 연장되어, 광원을 배후로부터 덮은 장척의 미러를 구비한 광조사기로서, In order to solve the above problems, the invention described in Claim 1 of the present application is an optical radiator having a long light source and a long mirror extending in the longitudinal direction of the light source and covering the light source from behind,

광원은, 광원 유지 프레임에 의해 유지되어 있고, The light source is held by the light source holding frame,

미러는, 미러 유지 프레임에 의해 유지되어 있으며, The mirror is held by a mirror holding frame,

미러 유지 프레임을 이동시키는 이동 기구가 설치되어 있고, A moving mechanism for moving the mirror holding frame is provided,

이동 기구는, 광원 유지 프레임으로부터 분리시킨 상태로 미러 유지 프레임을 이동시키는 것이 가능하고, 미러 유지 프레임의 이동의 방향은, 광원의 길이 방향에 수직이며 미러가 광원으로부터 멀어지는 방향이며, 이동의 거리는 광원의 교환이 가능한 거리라는 구성을 가진다. The moving mechanism is capable of moving the mirror holding frame in a state in which it is separated from the light source holding frame and the moving direction of the mirror holding frame is a direction perpendicular to the longitudinal direction of the light source and a mirror moving away from the light source, The distance from the center of gravity to the center of gravity.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 2에 기재된 발명은, 상기 청구항 1의 구성에 있어서, 상기 광원의 상기 미러와는 반대측에는 조사측 광학 소자가 배치되어 있어 대상물에 조사측 광학 소자를 통하여 광조사하는 것이 가능하고, In order to solve the above-described problems, according to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the irradiation-side optical element is disposed on the side opposite to the mirror of the light source, It is possible to investigate,

조사측 광학 소자는, 소자 유지 프레임에 의해 유지되어 있으며, The irradiation side optical element is held by the element holding frame,

상기 이동 기구는, 소자 유지 프레임으로부터 분리시킨 상태로 상기 미러 유지 프레임 및 상기 광원 유지 프레임을 이동 가능하고, 이 이동의 방향은, 상기 광원의 길이 방향에 수직이며 상기 광원 및 상기 미러가 조사측 광학 소자로부터 멀어지는 방향이며, 이동의 거리는, 조사측 광학 소자의 클리닝 또는 교환이 가능해지는 거리라는 구성을 가진다. Wherein the moving mechanism is capable of moving the mirror holding frame and the light source holding frame in a state of being separated from the element holding frame, the moving direction being perpendicular to the longitudinal direction of the light source, And the distance of the movement has a configuration such that the irradiation side optical element can be cleaned or exchanged.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 3에 기재된 발명은, 상기 청구항 1의 구성에 있어서, 상기 미러의 배후에는 배후 유닛이 설치되어 있으며, In order to solve the above-described problems, according to a third aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, a rear unit is provided behind the mirror,

상기 이동 기구는, 배후 유닛을 상기 미러 유지 프레임 및 상기 광원 유지 프레임으로부터 분리시킨 상태로 이동 가능하고, 이 이동의 방향은, 상기 광원의 길이 방향에 수직인 방향이며 배후 유닛이 상기 광원 및 상기 미러로부터 멀어지는 방향이며, 이동 거리는, 상기 미러의 클리닝 또는 교환이 가능해지는 거리라는 구성을 가진다. Wherein the moving mechanism is movable in a state in which the rear unit is separated from the mirror holding frame and the light source holding frame and the moving direction is a direction perpendicular to the longitudinal direction of the light source, And the moving distance has a configuration such that the mirror can be cleaned or exchanged.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 4에 기재된 발명은, 상기 청구항 1의 구성에 있어서, 상기 광원의 상기 미러와는 반대측에는 조사측 광학 소자가 배치되어 있어 대상물에 조사측 광학 소자를 통하여 광조사하는 것이 가능하고, According to a fourth aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the irradiation-side optical element is disposed on the side opposite to the mirror of the light source, It is possible to investigate,

상기 이동 기구는, 소자 유지 프레임으로부터 분리시킨 상태로 상기 미러 유지 프레임 및 상기 광원 유지 프레임을 이동 가능하고, 이 이동의 방향은, 상기 광원의 길이 방향에 수직이며 상기 광원 및 상기 미러가 조사측 광학 소자로부터 멀어지는 방향이며, 이동의 거리는, 조사측 광학 소자의 클리닝 또는 교환이 가능해지는 거리이며, Wherein the moving mechanism is capable of moving the mirror holding frame and the light source holding frame in a state of being separated from the element holding frame, the moving direction being perpendicular to the longitudinal direction of the light source, The moving distance is a distance at which the optical element on the irradiation side can be cleaned or replaced,

상기 미러의 배후에는 배후 유닛이 설치되어 있으며, A rear unit is installed behind the mirror,

상기 이동 기구는, 배후 유닛을 상기 미러 유지 프레임, 상기 광원 유지 프레임 및 소자 유지 프레임으로부터 분리시킨 상태로 이동 가능하고, 이 이동의 방향은, 상기 광원의 길이 방향에 수직인 방향이며 배후 유닛이 상기 광원, 상기 미러 및 조사측 광학 소자로부터 멀어지는 방향이며, 이동의 거리는 미러의 클리닝 또는 교환이 가능한 상태가 되는 거리라는 구성을 가진다. Wherein the moving mechanism is movable in a state in which the rear unit is separated from the mirror holding frame, the light source holding frame and the element holding frame, the moving direction being a direction perpendicular to the longitudinal direction of the light source, The distance from the light source, the mirror and the optical element on the irradiation side, and the distance of the movement is such that the mirror can be cleaned or exchanged.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 5에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 구성에 있어서, 상기 광원은 길이 방향이 수평 방향이 되도록 배치되어 있으며, In order to solve the above-described problems, the invention according to claim 5 is the light source according to any one of claims 1 to 4, wherein the light source is arranged so that its longitudinal direction is horizontal,

상기 이동의 방향은 상방향이라는 구성을 가진다. And the direction of the movement is an upward direction.

이하에 설명하는 대로, 본원의 청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 광원 유지 프레임으로부터 분리된 상태로 광원의 길이 방향에 수직인 방향으로 또한 미러가 광원으로부터 멀어지는 방향으로 미러 유지 프레임이 이동하므로, 광원 유지 프레임을 길이 방향으로 꺼내 광원을 교환할 필요가 없어진다. 이 때문에, 장척의 광원을 사용하는 경우에도 교환만을 위해 넓은 스페이스가 필요해지지 않는다. According to the invention as set forth in claim 1 of the present application, since the mirror holding frame moves in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the light source and in a direction away from the light source in a state of being separated from the light source holding frame, It is unnecessary to take out the frame in the longitudinal direction and replace the light source. Therefore, even when a long light source is used, a large space is not required for replacement.

청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 소자 유지 프레임으로부터 분리된 상태로 광원 유지 프레임과 미러 유지 프레임이 조사측 광학 소자로부터 멀어지는 방향으로 이동하므로, 조사측 광학 소자에 대해서도 길이 방향으로 꺼내지 않고 메인터넌스를 행할 수 있다. 이 때문에, 메인터넌스를 위해 넓은 스페이스가 필요해지지 않는다. According to the invention described in claim 2, in addition to the above effects, since the light source holding frame and the mirror holding frame are separated from the element holding frame in the direction away from the irradiation side optical element, Maintenance can be performed. Therefore, a large space is not required for maintenance.

청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 미러 유지 프레임으로부터 분리된 상태로 배후 유닛이 미러로부터 멀어지는 방향으로 이동하므로, 미러에 대해서도 길이 방향으로 꺼내지 않고 메인터넌스를 행할 수 있다. 이 때문에, 메인터넌스를 위해 램프의 길이 방향으로 넓은 스페이스가 필요해지지 않는다. According to the invention as set forth in claim 3, since the rear unit is moved away from the mirror in a state of being separated from the mirror holding frame, maintenance can be performed on the mirror without removing it in the longitudinal direction. For this reason, a large space in the longitudinal direction of the lamp is not required for maintenance.

또, 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과 청구항 2의 발명의 효과와 상기 청구항 3의 발명의 효과를 얻을 수 있다. According to the invention described in Claim 4, the effect of Claim 2 and the effect of Claim 3 can be obtained.

도 1은 본원 발명의 실시 형태에 관련된 광조사기의 전체를 나타낸 사시 개략도이다.
도 2는 실시 형태의 광조사기의 측면 단면 개략도이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 나타내는 광조사기의 사용예를 나타낸 사시 개략도이다.
도 4는 선택 기구(9)의 주요부의 사시 개략도이다.
도 5는 도 4에 나타내는 선택 기구(9)에 있어서의 슬라이더(92)의 사시 개략도이다.
도 6은 선택 기구(9)에 의한 모드의 선택에 대해서 나타낸 도이며, 선택 기구(9)의 동작 상태를 나타낸 사시 개략도이다.
도 7은 선택 기구(9)에 의한 모드의 선택에 대해서 나타낸 도이며, 선택 기구(9)의 동작 상태를 나타낸 사시 개략도이다.
도 8은 선택 기구(9)에 의한 모드의 선택에 대해서 나타낸 도이며, 각 유닛의 이동 상태에 대해서 나타낸 측면 단면 개략도이다.
도 9는 선택 기구(9)에 의한 모드의 선택에 대해서 나타낸 도이며, 각 유닛의 이동 상태에 대해서 나타낸 측면 단면 개략도이다.
도 10은 선택 기구(9)에 의한 모드의 선택에 대해서 나타낸 도이며, 각 유닛의 이동 상태에 대해서 나타낸 측면 단면 개략도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view schematically showing an entire light irradiator according to an embodiment of the present invention; Fig.
2 is a side cross-sectional schematic view of the light irradiator of the embodiment.
3 is a perspective view schematically showing an example of use of the light irradiator shown in Figs. 1 and 2. Fig.
Fig. 4 is a perspective view schematically showing a main part of the selection mechanism 9. Fig.
5 is a perspective view schematically showing the slider 92 of the selection mechanism 9 shown in Fig.
Fig. 6 is a view showing selection of a mode by the selection mechanism 9, and is a perspective view schematically showing an operation state of the selection mechanism 9. Fig.
Fig. 7 is a view showing the selection of the mode by the selection mechanism 9, and is a perspective view schematically showing the operation state of the selection mechanism 9. Fig.
Fig. 8 is a diagram showing the selection of modes by the selection mechanism 9, and is a schematic cross-sectional side view showing the moving state of each unit. Fig.
Fig. 9 is a diagram showing the selection of modes by the selection mechanism 9, and is a schematic cross-sectional side view showing the moving state of each unit.
Fig. 10 is a diagram showing the selection of the mode by the selection mechanism 9, and is a side sectional schematic view showing the moving state of each unit.

다음에, 본원 발명을 실시하기 위한 형태(이하, 실시 형태)에 대해서 설명한다. Next, a mode for carrying out the present invention (hereinafter, an embodiment) will be described.

도 1은, 본원 발명의 실시 형태에 관련된 광조사기의 전체를 나타낸 사시 개략도, 도 2는 실시 형태의 광조사기의 측면 단면 개략도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view schematically showing an entire light irradiator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side sectional schematic view of the light irradiator of the embodiment.

실시 형태의 광조사기는, 장척의 광원(1)과, 광원(1)을 배후로부터 덮은 장척의 미러(2)를 구비하고 있다. 또, 이 광조사기는, 광원(1)과 대상물의 사이에 배치된 광학 소자(이하, 조사측 광학 소자)(3)와, 미러(2)의 배후에 설치된 배후 유닛(4)을 구비하고 있다. The light irradiator of the embodiment includes a long light source 1 and a long mirror 2 covering the light source 1 from behind. The light irradiator is provided with an optical element (hereinafter referred to as an irradiation optical element) 3 disposed between the light source 1 and the object and a rear unit 4 provided behind the mirror 2 .

광원(1)은, 광원(1)을 유지한 광원 유지 프레임(11)을 포함하는 유닛(이하, 광원 유닛이라고 부른다)(10)의 일부로 되어 있다. 미러(2)는, 미러 유지 프레임(21)을 포함하는 유닛(이하, 미러 유닛(20)이라고 부른다)의 일부로 되어 있다. 조사측 광학 소자(3)도, 조사측 광학 소자(3)를 유지한 소자 유지 프레임(31)을 포함하는 유닛(이하, 소자 유닛이라고 부른다)(30)의 일부로 되어 있다. The light source 1 is a part of a unit (hereinafter referred to as a light source unit) 10 including a light source holding frame 11 holding the light source 1. The mirror 2 is a part of a unit including a mirror holding frame 21 (hereinafter, referred to as a mirror unit 20). The irradiation side optical element 3 is also a part of a unit (hereinafter referred to as an element unit) 30 including the element holding frame 31 holding the irradiation side optical element 3.

도 1에 나타내는 바와 같이, 이 실시 형태에서는, 광원(1)은 길이 방향을 수평으로 하여 배치되어 있으며, 대상물은 광원(1)의 하방에 배치되게 되어 있다. 따라서, 미러(2)는 광원(1)을 상측으로부터 덮은 상태이며, 배후 유닛(4)은 그 상측이 된다. 따라서, 도 1에 나타내는 바와 같이, 실시 형태의 광조사기는, 위로부터 순서대로 배후 유닛(4), 미러 유닛(20), 광원 유닛(10) 및 소자 유닛(30)의 4개를 구비한 구성으로 되어 있다. 또한, 배후 유닛(4)은, 미러 유닛(20)의 상측에 위치하는 유닛이기 때문에, 이하, 상부 유닛(4)으로 바꿔 말한다. As shown in Fig. 1, in this embodiment, the light source 1 is arranged horizontally in the longitudinal direction, and the object is arranged below the light source 1. [ Therefore, the mirror 2 covers the light source 1 from above, and the rear unit 4 becomes the upper side thereof. 1, the light irradiator of the embodiment includes, in order from the top, four components including the rear unit 4, the mirror unit 20, the light source unit 10 and the element unit 30 Respectively. Since the rear unit 4 is a unit located on the upper side of the mirror unit 20, the rear unit 4 will be referred to as an upper unit 4 hereinafter.

미러(2)는, 이 실시 형태에서는, 광원(1)의 길이 방향으로 긴 한 쌍의 것으로 이루어져 있다. 한 쌍의 미러(2)는, 광원(1)의 바로 위에 슬릿을 형성한 상태로 배치되어 있으며, 한 쌍으로 거의 홈통 형상인 미러(2)를 형성하게 되어 있다. 또한, 각 미러(2)는, 도 2에 나타내는 단면 형상으로 알 수 있는 바와 같이 만곡되어 있다. 이 만곡의 형상은, 타원의 일부 또는 포물선을 이루는 것이 된다. In this embodiment, the mirror 2 is composed of a pair of long sides in the longitudinal direction of the light source 1. The pair of mirrors 2 are arranged in a state in which slits are formed just above the light source 1, and a mirror 2 having a substantially trough-like shape is formed in a pair. Each of the mirrors 2 is curved as can be seen from the cross-sectional shape shown in Fig. The shape of the curvature is a part of an ellipse or a parabola.

각 미러(2)는, 기재 상에 반사막을 증착한 것이나, 알루미늄과 같은 금속으로 형성된다. 증착막으로 반사시키는 구조의 경우, 증착막 형성의 형편상 복수의 미러 세그먼트를 늘어놓아 하나의 장척의 미러(2)로 하는 경우도 있다. 또, 증착막으로서, 대상물의 승온을 억제하기 위해, 열선을 투과시켜 반사하지 않도록 한 특성의 것이 채용되는 경우도 있다. Each mirror 2 is formed by depositing a reflective film on a substrate or a metal such as aluminum. In the case of a structure which reflects a film on a vapor-deposited film, a plurality of mirror segments may be arranged in the form of a single elongated mirror 2 for the convenience of vapor deposition. In addition, as a vapor deposition film, there is a case in which a characteristic of preventing the object from being reflected by transmitting a heat ray is used in order to suppress the temperature rise of the object.

한 쌍의 미러(2)는, 미러 유지 프레임(21)에 의해 유지되어 있다. 미러 유지 프레임(21)은, 각 미러(2)를 배후로부터 유지하는 것이며, 각 미러(2)를 상단과 하단에 있어서 완충구(22)를 통하여 유지하는 것이다. 미러 유지 프레임(21)은, 미러(2)가 열선을 투과시키는 타입의 것인 경우, 열선을 받아 승온되기 때문에, 열용량의 큰 것으로 하여, 배후에 방열 핀(23)을 설치한 구조가 된다. 또한, 미러 유지 프레임(21)은, 미러 유닛(20)의 외측 틀이 되고 있는 미러 유닛(20) 틀에 고정되어 있다. The pair of mirrors 2 is held by the mirror holding frame 21. [ The mirror holding frame 21 holds each mirror 2 from behind and holds each mirror 2 through the buffer 22 at the upper and lower ends. The mirror holding frame 21 has a structure in which a heat capacity is large and a heat dissipation fin 23 is provided behind the mirror 2 because the mirror 2 is of a type that transmits heat rays. The mirror holding frame 21 is fixed to a frame of the mirror unit 20 which is an outer frame of the mirror unit 20. [

광원(1)으로서는, 이 실시 형태에서는, 고압 수은 램프가 사용되어 있다. 광원(1)은, 광원 유지 프레임(11)에 의해 유지되어 있다. 광원 유지 프레임(11)에는, 받이구(12)와 누름구(13)가 설치되어 있다. 도 1 및 도 2에서는 상세한 도시가 생략되어 있지만, 광원(1)은, 양단의 구금의 부분이 받이구(12)에 올려지고, 그 위로부터 누름구(13)로 누름으로써 광원 유지 프레임(11)에 유지되어 있다. As the light source 1, a high-pressure mercury lamp is used in this embodiment. The light source 1 is held by the light source holding frame 11. The light source holding frame 11 is provided with a receiving hole 12 and a pressing hole 13. Although details are omitted in Figs. 1 and 2, the light source 1 is configured such that the portions of the both ends of the nipping portion are raised on the receiving port 12, and the light source holding frame 11 ).

또한, 광원(1)은, 예를 들면 1500mm정도로 매우 장척의 것으로 되어 있다. 이 때문에, 점등 시에는 승온에 의해 휘어 버릴 가능성이 있다. 이것을 고려하여, 이 실시 형태에서는, 광원(1)을 지지하는 지지구(14)를 길이 방향의 도중의 수 개소에 설치하고 있다. 지지구(14)에는, 광원(1)의 봉체(封體)에 대해 열충격성을 줄이는 것이나 광차폐를 줄이는 관점에서, 석영제인 것이 사용된다. 지지구(14)의 상세에 대해서는, 일본국 특허공개 2011-222347호 공보에 개시되어 있으므로, 이것을 참조할 수 있다. The light source 1 is very long, for example, about 1500 mm. For this reason, there is a possibility that when the lamp is turned on, it is bent by the temperature rise. In consideration of this, in this embodiment, the support 14 supporting the light source 1 is provided at several points in the longitudinal direction. The support 14 is made of quartz in terms of reducing the thermal shock resistance of the light source 1 and reducing light shielding. The details of the support 14 are disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-222347, which is hereby incorporated by reference.

조사측 광학 소자(3)로서는, 적절한 것을 선택할 수 있지만, 이 실시 형태의 광조사기는, 대상물에 편광광을 조사하는 것이기 때문에, 조사측 광학 소자(3)는 편광 소자가 되어 있다. 보다 구체적으로는, 이 실시 형태에서는 그리드 편광 소자가 조사측 광학 소자(3)로서 사용되어 있다. 그리드 편광 소자는, 투명 기판 상에 미세한 줄무늬형 격자를 형성한 것으로, 줄무늬형 격자의 길이 방향으로 전계 성분을 가지는 직선 편광광은 투명 기판을 투과하지 못하고, 줄무늬형 격자의 길이 방향에 수직인 방향으로 전계 성분을 가지는 직선 편광광은 투명 기판을 투과할 수 있는 것을 이용하여, 광을 편광시키는 것이다. As the irradiation optical element 3, an appropriate one can be selected, but the irradiation optical element 3 serves as a polarizing element because the optical irradiation device of this embodiment irradiates the object with polarized light. More specifically, in this embodiment, the grid polarizing element is used as the irradiation-side optical element 3. The linearly polarized light having an electric field component in the longitudinal direction of the stripe-shaped lattice can not transmit through the transparent substrate, and the linearly polarized light having a direction perpendicular to the longitudinal direction of the stripe-shaped lattice Linearly polarized light having an electric field component is used to polarize light by using a material capable of transmitting through the transparent substrate.

광원(1)과 그 배후의 미러(2)로부터의 광은, 전체적으로는 거의 직사각형인 광조사 영역을 이룬다. 조사측 광학 소자(3)는, 이 거의 직사각형인 광조사 영역과 동일한 정도의 크기의 직사각형의 것으로 되어 있다. 단, 그리드 편광 소자의 경우, 대면적인 것을 제작하는 것이 어렵기 때문에, 작은 세그먼트형상의 것을 늘어놓아 상기 직사각형의 광조사 영역과 동일한 정도의 크기의 영역을 확보한다. The light from the light source 1 and the mirror 2 behind the light source 1 forms a light irradiation region which is generally rectangular in shape. The irradiation-side optical element 3 is of a rectangular shape having the same size as that of the substantially rectangular irradiation region. However, in the case of the grid polarizing element, since it is difficult to produce a large-sized one, a small segment shape is arranged to secure a region of the same size as that of the rectangular light irradiation region.

이러한 조사측 광학 소자(3)는, 도시하지 않은 소자틀에 끼워져, 소자 대좌(32) 상에 부착되어 있다. 소자 대좌(32)는, 소자 유지 프레임(31) 상에 설치되어 있으며, 조사측 광학 소자(3)는, 소자 유지 프레임(31)에 의해 유지되어 있다. The irradiation side optical element 3 is sandwiched by an element frame (not shown) and attached to the element pedestal 32. The element base 32 is provided on the element holding frame 31 and the irradiation side optical element 3 is held by the element holding frame 31. [

또, 이 실시 형태에서는, 소자 유닛(30)에 설치되어 있는 조사측 광학 소자(3)와는 다른 조사측 광학 소자(3)로서, 필터(33)가 내장되어 있다. 필터(33)는 조사측 광학 소자(3)를 상측으로부터 덮은 상태로 설치되어 있다. 필터(33)는, 소자 유지 프레임(31) 상에 필터틀(34)을 통하여 분리 가능하게 부착되어 있다. 필터(33)로서는, 예를 들면, 조사하는 광의 파장을 선택하는 파장 선택 필터가 이용된다. In this embodiment, a filter 33 is incorporated as the irradiation side optical element 3 different from the irradiation side optical element 3 provided in the element unit 30. [ The filter 33 is provided so as to cover the irradiation side optical element 3 from above. The filter 33 is detachably attached to the element holding frame 31 through a filter frame 34. [ As the filter 33, for example, a wavelength selection filter for selecting the wavelength of the light to be irradiated is used.

한편, 상부 유닛(4)은, 광조사기 전체의 냉각을 위한 공간을 확보하는 등의 목적으로 설치된 유닛이다. 상부 유닛(4)은, 전체적으로는 미러 유닛(20)이나 광원 유닛(10) 등과 동일한 정도의 길이 및 폭을 가지는 상자형상이다. 상부 유닛(4)은, 하면에 미러 유닛(20)으로부터의 냉각풍이 유입되는 유입구(41)를 가지며, 상면에 냉각통(42)을 가지고 있다. 냉각통(42)은, 생산 라인에 배치된 냉각용의 배기통(6)에 끼워져 있다. 단, 양자는 고정되어 있지 않으며 간극이 있어, 정지한 배기통(6)에 대해 상부 유닛(4) 전체가 상하 이동하는 것이 가능해져 있다. On the other hand, the upper unit 4 is a unit provided for the purpose of securing a space for cooling the entire light irradiator. The upper unit 4 is in the form of a box having the same length and width as the mirror unit 20 and the light source unit 10 as a whole. The upper unit 4 has an inlet 41 through which the cooling wind from the mirror unit 20 flows into the lower surface and a cooling cylinder 42 on the upper surface. The cooling cylinder 42 is sandwiched in a cooling exhaust pipe 6 disposed in the production line. However, both are not fixed, and there is a clearance, so that the entire upper unit 4 can be moved up and down with respect to the stationary exhaust box 6. [

유입구(41)는, 광원(1)의 길이에 대해 충분한 구조(크기, 수 등)로 설치되어 있다. 배기통(6)으로부터 배기가 되면, 광조사기 내 전체에 냉각풍이 흐른다. 냉각풍은, 상부 유닛(4) 내의 공간을 경유하여 배출된다. 이 냉각에 의해, 광원(1)이나 미러(2), 조사측 광학 소자(3) 등의 승온이 억제되게 되어 있다. 이 외에, 상부 유닛(4)에는, 광원(1)의 점등 회로 등의 설비가 수용되는 경우도 있다. The inlet 41 is provided with a sufficient structure (size, number, etc.) with respect to the length of the light source 1. When the exhaust gas is exhausted from the exhaust gas passage 6, cooling air flows through the entire inside of the light irradiator. The cooling wind is discharged via the space in the upper unit (4). By this cooling, the temperature rise of the light source 1, the mirror 2, the irradiation side optical element 3, and the like is suppressed. In addition to the above, the upper unit 4 may accommodate facilities such as a lighting circuit of the light source 1.

도 3은, 도 1 및 도 2에 나타내는 광조사기의 사용예를 나타낸 사시 개략도이다. 이 예에서는, 광조사의 대상은, 액정 기판 S가 되어 있으며, 광배향막을 얻기 위해 편광광을 조사하는 용도로 사용되는 예가 되어 있다. Fig. 3 is a perspective view schematically showing an example of use of the light irradiator shown in Figs. 1 and 2. Fig. In this example, an object of light irradiation is a liquid crystal substrate S, and is an example used for the purpose of irradiating polarized light to obtain a photo alignment film.

액정 기판 S 상에는 광배향막용의 막이 미리 형성되어 있으며, 액정 기판 S는 스테이지(71) 상에 올려 놓아진다. 스테이지(71)는 반송 기구(72)에 의해 반송되어, 광조사기(100)의 바로 아래를 통과한다. 이때, 스테이지 상의 액정 기판 S에는 광조사기(100)에 의해 편광광이 조사되어, 막이 광배향 처리된다. 이것에 의해, 액정 기판 S 상에 광배향막이 얻어진 상태가 된다. On the liquid crystal substrate S, a film for the photo alignment film is formed in advance, and the liquid crystal substrate S is placed on the stage 71. The stage 71 is conveyed by the conveying mechanism 72 and passes directly below the light irradiator 100. [ At this time, the liquid crystal substrate S on the stage is irradiated with polarized light by the light irradiator 100, and the film is photo-aligned. As a result, a photo alignment film is obtained on the liquid crystal substrate S.

이러한 실시 형태의 광조사기는, 메인터넌스를 고려한 구조를 채용하고 있다. 메인터넌스에는, 광원(1)의 교환이나, 미러(2), 조사용 광학 소자(3) 등의 클리닝이 포함된다. 구체적으로는, 실시 형태의 광조사기는, 이동 기구(8)를 구비하고 있으며, 메인터넌스를 위해, 소자 유닛(30)의 상측의 각 유닛(4, 10, 20)에 대해서, 임의의 경계 부분에서 분리시켜, 분리 개소로부터 상측의 유닛을 전체로 상측으로 이동시킬 수 있게 되어 있다. 이하, 이 점에 대해서 설명한다. The light irradiator of this embodiment adopts a structure in consideration of maintenance. The maintenance includes replacement of the light source 1 and cleaning of the mirror 2, the used optical element 3, and the like. Specifically, the light irradiator of the embodiment is provided with the moving mechanism 8, and for the maintenance, with respect to each unit 4, 10, 20 on the upper side of the element unit 30, So that the upper unit can be moved upward from the separation point as a whole. This point will be described below.

이 실시 형태에서는, 가장 상측에 위치하는 것은 상부 유닛(4)이며, 이동 기구(8)는, 직접적으로는 상부 유닛(4)을 상하 이동시키는 것으로 되어 있다. 즉, 이동 기구(8)는, 상부 유닛(4)에 연결된 직선 구동원(81)과, 직선 구동원(81)에 의한 상부 유닛(4)의 상하 이동을 가이드하는 리니어 가이드(82)로 주로 구성되어 있다. In this embodiment, the uppermost unit 4 is the uppermost unit, and the moving mechanism 8 directly moves the upper unit 4 up and down. That is, the moving mechanism 8 is mainly composed of a linear driving source 81 connected to the upper unit 4 and a linear guide 82 guiding the up-and-down movement of the upper unit 4 by the linear driving source 81 have.

직선 구동원(81)으로서는, 이 실시 형태에서는 에어 실린더가 이용되어 있다. 직선 구동원(81)은, 상부 유닛(4)의 길이 방향의 양단에 배치되어 있으며, 각 직선 구동원(81)의 출력축은, 상부 유닛(4)의 양측의 단면에 고정되어 있다. 각 직선 구동원(81)은 동기하여 구동되게 되어 있으며, 이 구동에 의해 상부 유닛(4)이 상하 이동한다. As the linear driving source 81, an air cylinder is used in this embodiment. The linear driving sources 81 are disposed at both ends in the longitudinal direction of the upper unit 4 and the output shafts of the linear driving sources 81 are fixed to both end faces of the upper unit 4. Each of the linear driving sources 81 is driven in synchronization with which the upper unit 4 moves up and down.

또한, 직선 구동원(81)은 모터를 사용한 볼나사 구동이나 벨트 구동이어도 된다. The linear drive source 81 may be a ball screw drive or a belt drive using a motor.

리니어 가이드(82)는, 상부 유닛(4)의 양단에 있어서 직선 구동원(81)을 사이에 낀 한 쌍의 것으로 되어 있다. 따라서, 도 1에 나타내는 바와 같이, 4개의 리니어 가이드(82)가 설치되어 있다. 각 리니어 가이드(82)는, 직선 구동원(81)의 구동축과 평행이며, 따라서 상하 방향으로 직선성 좋게 연장되어 있다. 또한, 광조사기의 길이 방향의 양단에는, 각각 가대(101)가 설치되어 있으며, 각 리니어 가이드(82) 및 각 직선 구동원(81)은, 각각 가대(101) 상에 고정되어 있다. 또한, 상부 유닛(4)은, 직선 구동원에 의해 구동되었을 때에 변형 등이 생기지 않도록, 도시하지 않은 골격 부재에 의해 유지되어 있다. 각 직선 구동원(81)은, 골격 부재를 통하여 상부 유닛(4)에 연결되어 있다. The linear guides 82 are provided at both ends of the upper unit 4 as a pair of linear drive sources 81 sandwiched therebetween. Therefore, as shown in Fig. 1, four linear guides 82 are provided. Each of the linear guides 82 is parallel to the drive shaft of the linear drive source 81, and thus extends linearly in the vertical direction. Each of the linear guides 82 and each of the linear driving sources 81 is fixed on the base 101. The base 101 is provided at each end of the light irradiator in the longitudinal direction. The upper unit 4 is held by a skeletal member (not shown) so as not to be deformed when driven by a linear driving source. Each of the linear driving sources 81 is connected to the upper unit 4 through a skeletal member.

한편, 실시 형태의 광조사기는, 상기와 같이 이동 기구(8)가 상부 유닛(4)을 상하 이동시킬 때, 상부 유닛(4)과 일체로 이동시키는 유닛을 선택하기 위한 선택 기구(9)를 구비하고 있다. 선택 기구(9)에 대해서, 도 1, 도 2, 도 4 및 도 5를 사용하여 설명한다. 도 4는, 선택 기구(9)의 주요부의 사시 개략도, 도 5는 도 4에 나타내는 선택 기구(9)에 있어서의 슬라이더(92)의 사시 개략도이다. On the other hand, the light irradiator of the embodiment is provided with a selecting mechanism 9 for selecting a unit to move integrally with the upper unit 4 when the moving mechanism 8 moves the upper unit 4 up and down as described above Respectively. The selection mechanism 9 will be described with reference to Figs. 1, 2, 4, and 5. Fig. Fig. 4 is a schematic perspective view of a main part of the selection mechanism 9, and Fig. 5 is a perspective schematic view of the slider 92 in the selection mechanism 9 shown in Fig.

선택 기구(9)는, 핀 블록(91)과 핀 블록(91)을 슬라이드시키는 슬라이더(92) 등으로 구성되어 있다. 슬라이더(92)는, 상부 유닛(4)보다 조금 큰 직사각형의 틀형상의 부재이다. 슬라이더(92)의 단변 중, 일방의 단변은 선택 조작 시에 잡고 조작되는 부위로 되어 있다. 이하, 이 단변의 측을 조작측이라고 부르며, 조작측과는 반대측을 안쪽측이라고 부른다. The selection mechanism 9 is composed of a pin block 91 and a slider 92 for sliding the pin block 91 and the like. The slider 92 is a rectangular frame member slightly larger than the upper unit 4. Of the short sides of the slider 92, one of the short sides is a portion to be held and operated during the selection operation. Hereinafter, the side of the shorter side will be referred to as the operation side, and the side opposite to the operation side will be referred to as the inside side.

한편, 도 2에 나타내는 바와 같이, 상부 유닛(4)은, 외측 커버(43)를 가지고 있다. 외측 커버(43)는, 광원(1)보다 조금 긴 직사각형의 수평 단면 형상을 이루는 틀형상이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 외측 커버(43)에는, 측판(44)이 고정되어 있다. 측판(44)은, 외측 커버(43)의 내면에서 내측으로 돌출하도록 설치되어 있다. 측판(44)은, 외측 틀의 양측의 장변부에 설치되어 있으며, 길이 방향으로 적어도 2개소에 설치되어 있다. 그리고, 측판(44)에는, 슬라이더(92)용의 개구가 형성되어 있으며, 이 개구에 슬라이더(92)가 삽입 통과되어 있다. On the other hand, as shown in FIG. 2, the upper unit 4 has an outer cover 43. The outer cover 43 is a frame shape having a horizontal cross-sectional shape of a rectangular shape slightly longer than the light source 1. As shown in Fig. 2, a side plate 44 is fixed to the outer cover 43. As shown in Fig. The side plate 44 is provided so as to protrude inward from the inner surface of the outer cover 43. The side plates 44 are provided at the long side portions on both sides of the outer frame, and are provided at at least two positions in the longitudinal direction. An opening for the slider 92 is formed in the side plate 44, and a slider 92 is inserted into the opening.

도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 핀 블록(91)은, 슬라이더(92)에 고정되어 있다. 핀 블록(91)은 복수 설치되어 있으며, 슬라이더(92)의 각 장변의 부분에 2개~3개 정도 설치되어 있다. 각 핀 블록(91)은, 두 개의 핀(93, 94)을 가지고 있다. 일방의 핀(이하, 제1 핀)(93)은, 각 핀 블록(91)에 있어서 약간 상부에 위치하고, 안쪽측의 단면으로부터 안쪽측을 향하여 수평으로 돌출되어 있다. 타방의 핀(이하, 제2 핀)(94)은, 각 선택용 블록에 있어서 제1 핀(93)보다 하부에 위치하고, 조작측의 단면으로부터 조작측으로 수평으로 돌출되어 있다. 4 and 5, the pin block 91 is fixed to the slider 92. As shown in Fig. A plurality of pin blocks 91 are provided, and two to three pin blocks 91 are provided at each long side of the slider 92. Each pin block 91 has two pins 93, 94. One of the pins (hereinafter, referred to as a first pin) 93 is located slightly above the pin block 91 and horizontally protrudes from the inner end face toward the inner side. The other pin (hereinafter referred to as the second pin) 94 is positioned below the first pin 93 in each selection block and projects horizontally from the end face of the operation side to the operation side.

각 핀 블록(91)에 있어서의 제1 핀(93) 또는 제2 핀(94)이 선택적으로 끼워 맞춰지는 것으로서, 미러 유닛(20)은 제1 핀구멍 블록(24)을 구비하고 있으며, 광원 유닛(10)은 제2 핀구멍 블록(15)을 구비하고 있다. 즉, 도 4에 나타내는 바와 같이, 미러 유지 프레임(21)은, 광원(1)의 길이 방향으로 연장되는 플랜지부(이하, 미러 유지 플랜지부)(211)를 가지고 있으며, 제1 핀구멍 블록(24)은 미러 유지 플랜지부(211)에 고정되어 있다. 또, 마찬가지로, 광원 유지 프레임(11)은, 광원(1)의 길이 방향으로 연장되는 플랜지부(이하, 광원 유지 플랜지부)(111)를 가지고 있다. 제2 핀구멍 블록(15)은 광원 유지 플랜지부(111)에 고정되어 있다. The first pin 93 or the second pin 94 of each pin block 91 is selectively fitted so that the mirror unit 20 has the first pin hole block 24, The unit 10 is provided with a second pin hole block 15. 4, the mirror holding frame 21 has a flange portion (hereinafter, mirror holding flange portion) 211 extending in the longitudinal direction of the light source 1, and the first pin hole block 24 are fixed to the mirror holding flange portion 211. [ Similarly, the light source holding frame 11 has a flange portion (hereinafter, light source holding flange portion) 111 extending in the longitudinal direction of the light source 1. The second pin hole block 15 is fixed to the light source holding flange 111.

통상 상태에서는, 소자 유닛(30) 상에 광원 유닛(10)이 올려지고, 광원 유닛(10) 상에 미러 유닛(20)이 올려지고, 미러 유닛(20) 상에 상부 유닛(4)이 올려져 있다. 즉, 도 2 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 소자 유닛(30)의 소자 유지 프레임(31) 상에 광원 유지 플랜지부(111)가 올려져 있고, 광원 유지 플랜지부(111) 상에 미러 유지 플랜지부(211)가 올려져 있으며, 미러 유지 플랜지부(211) 상에 상부 유닛(4)의 외측 커버(43)를 지지하는 프레임이 올려져 있다. 또한, 상부 유닛(4)의 외측 커버(43)는, 미러 유닛(20)이나 광원 유닛(10)에 대한 가리개로도 되어 있어, 통상 상태에서는 외측 커버(43)에 의해 내부의 미러 유닛(20)이나 광원 유닛(10)이 안보이게 되어 있다. In a normal state, the light source unit 10 is mounted on the element unit 30, the mirror unit 20 is mounted on the light source unit 10, the upper unit 4 is mounted on the mirror unit 20, It is. 2 and 4, the light source holding flange 111 is mounted on the element holding frame 31 of the element unit 30 and the mirror holding flange 111 is provided on the light source holding flange 111. [ And a frame for supporting the outer cover 43 of the upper unit 4 is mounted on the mirror holding flange portion 211. [ The outer cover 43 of the upper unit 4 also serves as a shield for the mirror unit 20 and the light source unit 10 so that the mirror unit 20 And the light source unit 10 can not be seen.

이 때, 핀 블록(91)이나 제1 핀구멍 블록(24)이 광원 유지 플랜지부(111)에 간섭하지 않도록, 도 6에 나타내는 바와 같이, 광원 유지 플랜지부(111)에는 절결(부호 생략)이 설치되어 있다. 통상 상태에서는, 핀 블록(91)이나 제1 핀구멍 블록(24)은 이 절결 내에 위치한다. 6, the light source holding flange portion 111 is cut out (not shown) so that the pin block 91 and the first pin hole block 24 do not interfere with the light source holding flange portion 111. At this time, Is installed. In the normal state, the pin block 91 and the first pin hole block 24 are located in this notch.

또, 제1 핀구멍 블록(24)에는, 광원(1)의 길이 방향으로 관통한 핀구멍(이하, 제1 핀구멍)(241)이 형성되어 있으며, 제2 핀구멍 블록(15)에도, 광원(1)의 길이 방향으로 관통한 핀구멍(이하, 제2 핀구멍)(151)이 형성되어 있다. 통상 상태에서는, 핀 블록(91)의 제1 핀(93)이 제1 핀구멍(241)과 동일한 높이에 위치하고, 제2 핀(94)이 제2 핀구멍(151)과 동일한 높이에 위치한다. A pin hole (hereinafter referred to as a first pin hole) 241 penetrating in the longitudinal direction of the light source 1 is formed in the first pin hole block 24, and in the second pin hole block 15, A pin hole (hereinafter referred to as a second pin hole) 151 penetrating in the longitudinal direction of the light source 1 is formed. The first pin 93 of the pin block 91 is located at the same height as the first pin hole 241 and the second pin 94 is located at the same height as the second pin hole 151 .

직사각형의 틀형상인 슬라이더(92) 중, 조작측의 단변부(921)는, 도 5에 나타내는 바와 같이 손잡이형상으로 되어 있다(이하, 손잡이부라고 부른다). 상하 이동시키는 유닛의 전환 시에는, 작업자가 이 손잡이부(921)를 잡고, 앞측으로 슬라이더(92)를 당기거나 안쪽측으로 밀거나 하여 슬라이더(92)의 위치를 조절한다. 이 점에 대해서, 도 6~도 10을 사용하여 설명한다. 도 6~도 10은, 선택 기구(9)에 의한 모드의 선택에 대해서 나타낸 도이며, 도 6 및 도 7은, 선택 기구(9)의 동작 상태를 나타낸 사시 개략도, 도 8~10은, 각 유닛의 이동 상태에 대해서 나타낸 측면 단면 개략도이다. As shown in Fig. 5, the short side portion 921 of the operation side of the slider 92, which is a rectangular frame-like shape, has a knob shape (hereinafter, referred to as a knob portion). When the unit to be moved up and down is switched, an operator grips the handle 921 and pulls the slider 92 toward the front side or pushes the slider 92 inward to adjust the position of the slider 92. [ This point will be explained using Figs. 6 to 10. Fig. Figs. 6 to 10 are diagrams showing selection of a mode by the selection mechanism 9. Fig. 6 and Fig. 7 are schematic perspective views showing operation states of the selection mechanism 9, Figs. Fig. 3 is a side cross-sectional schematic view showing the moving state of the unit.

선택 기구(9)는, 상부 유닛(4)만 상하 이동시키는 제1 모드와, 상부 유닛(4) 및 미러 유닛(20)을 일체로 상하 이동시키는 제2 모드와, 상부 유닛(4), 미러 유닛(20) 및 광원 유닛(10)을 일체로 상하 이동시키는 제3 모드 중에서 임의의 모드를 선택하여 이동 기구(8)를 동작시키는 기구로 되어 있다. The selection mechanism 9 is provided with a first mode in which only the upper unit 4 is vertically moved and a second mode in which the upper unit 4 and the mirror unit 20 are moved up and down integrally with each other, And a mechanism for operating the moving mechanism 8 by selecting an arbitrary mode from among the third mode for vertically moving the unit 20 and the light source unit 10 upward and downward.

제1 모드로 이동 기구(8)를 동작시키는 경우, 도 4에 나타내는 바와 같이, 핀 블록(91)이 제1 핀구멍 블록(24)과 제2 핀구멍 블록(15)의 딱 가운데의 위치가 되도록 슬라이더(92)의 위치를 조절한다. 이 위치(이하, 제1 모드 위치라고 부른다)에서는, 제1 핀(93)은 제1 핀구멍 블록(24)으로부터 떨어진 상태이며, 제1 핀구멍(241)에는 삽입되어 있지 않은 상태이다. 또, 제2 핀(94)에 대해서도, 제2 핀구멍 블록(15)으로부터 떨어진 상태이며, 제2 핀구멍(151)에는 삽입되어 있지 않은 상태이다. When the moving mechanism 8 is operated in the first mode, as shown in Fig. 4, the pin block 91 is positioned at the center of the first pin hole block 24 and the second pin hole block 15 So that the position of the slider 92 is adjusted. In this position (hereinafter referred to as a first mode position), the first pin 93 is separated from the first pin hole block 24 and is not inserted into the first pin hole 241. The second pin 94 is also away from the second pin hole block 15 and is not inserted in the second pin hole 151.

또, 제2 모드로 이동 기구(8)를 동작시키는 경우, 도 6에 나타내는 바와 같이, 슬라이더(92)를 안쪽측으로 밀어내어, 제1 핀(93)이 제1 핀구멍(241)에 삽입되는 상태로 한다(이 위치를, 제2 모드 위치라고 부른다). 제3 모드로 이동 기구(8)를 동작시키는 경우는, 이것과는 반대로, 도 7에 나타내는 바와 같이, 슬라이더(92)를 앞측으로 당겨, 제2 핀(94)이 제2 핀구멍(151)에 삽입된 상태로 한다. When the moving mechanism 8 is operated in the second mode, as shown in Fig. 6, the slider 92 is pushed inward and the first pin 93 is inserted into the first pin hole 241 (This position is referred to as a second mode position). 7, the slider 92 is pulled to the front side, and the second pin 94 is pulled to the second pin hole 151, as shown in Fig. 7. In contrast, when the moving mechanism 8 is operated in the third mode, As shown in Fig.

도 2에 나타내는 바와 같이, 슬라이더(92)는 상부 유닛(4)의 측판(44)에 관통하고 있으므로, 이동 기구(8)가 동작하여 상부 유닛(4)을 상승시키면, 상부 유닛(4)과 함께 슬라이더(92)가 상승한다. 이 때, 제1 모드의 경우에는, 핀 블록(91)의 어느 핀(93, 94)도 핀구멍(241, 151)에 삽입되어 있지 않기 때문에, 핀 블록(91)은, 제1 제2 핀구멍 블록(24, 15) 중 어느 한쪽으로부터도 떼어져, 슬라이더(92)와 함께 상승해 간다. 이 때문에, 도 8에 나타내는 바와 같이, 미러 유닛(20), 광원 유닛(10) 및 소자 유닛(30)은 그대로 정지한 상태이며, 상부 유닛(4) 만이 상승한다. 2, the slider 92 passes through the side plate 44 of the upper unit 4, so that when the moving mechanism 8 is operated to raise the upper unit 4, The slider 92 rises together. Since none of the pins 93 and 94 of the pin block 91 are inserted into the pin holes 241 and 151 in the first mode, It is detached from either one of the hole blocks 24 and 15 and ascends together with the slider 92. Therefore, as shown in Fig. 8, the mirror unit 20, the light source unit 10, and the element unit 30 are kept stationary, and only the upper unit 4 is raised.

또, 제2 모드 상태로 이동 기구(8)가 동작하면, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제1 핀(93)이 제1 핀구멍(241)에 삽입된 상태로 슬라이더(92)가 상승하므로, 제1 핀구멍 블록(24)을 통하여 슬라이더(92)가 미러 유닛(20)을 유지한 상태가 된다. 이 때문에, 도 9에 나타내는 바와 같이, 상부 유닛(4)과 미러 유닛(20)이 일체로 상승해 간다. 6, when the moving mechanism 8 is operated in the second mode, the slider 92 rises with the first pin 93 inserted in the first pin hole 241, The slider 92 holds the mirror unit 20 via the first pin hole block 24. Therefore, as shown in Fig. 9, the upper unit 4 and the mirror unit 20 are integrally raised.

또, 제3 모드 상태로 이동 기구(8)가 동작하면, 도 7에 나타내는 바와 같이, 제2 핀(94)이 제2 핀구멍(151)에 삽입된 상태로 슬라이더(92)가 상승하므로, 제2 핀구멍 블록(15)을 통하여 슬라이더(92)가 광원 유닛(10)을 유지한 상태가 된다. 이 때문에, 도 10에 나타내는 바와 같이, 상부 유닛(4)과 미러 유닛(20)과 광원 유닛(10)이 일체로 상승해 간다. 7, when the moving mechanism 8 is operated in the third mode, the slider 92 is lifted with the second pin 94 inserted in the second pin hole 151, The slider 92 holds the light source unit 10 through the second pin hole block 15. [ Therefore, as shown in Fig. 10, the upper unit 4, the mirror unit 20, and the light source unit 10 are integrally lifted.

도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 모드로 이동 기구(8)가 동작하면, 상부 유닛(4) 만이 상승하기 때문에, 미러 유닛(20)이 노출된 상태가 된다. 이 때문에, 상부 유닛(4) 내의 수장 부품의 교환이나 미러(2)의 교환과 같은 메인터넌스가 가능해진다. 예를 들면 미러(2)에 대해서는, 미러 유지 프레임(21)은 미러(2)를 유지한 상태로 분리되어 상방으로 끌어올리지는 것이 가능해져 있다. 미러(2)의 교환을 행하는 경우, 제1 모드로 이동 기구(8)를 동작시켜, 상부 유닛(4)과 미러 유닛(20)의 사이에 스페이스를 설치하고 나서, 미러 유지 프레임(21)마다 미러(2)를 끌어올려 분리하고, 그 후, 미러(2)를 교환한다. As shown in Fig. 8, when the moving mechanism 8 is operated in the first mode, only the upper unit 4 is raised, and thus the mirror unit 20 is exposed. Therefore, it becomes possible to perform maintenance such as replacement of parts in the upper unit 4, replacement of the mirror 2, and the like. For example, with respect to the mirror 2, the mirror holding frame 21 can be separated in a state of holding the mirror 2 and lifted upwards. When the mirror 2 is exchanged, the moving mechanism 8 is operated in the first mode, a space is provided between the upper unit 4 and the mirror unit 20, The mirror 2 is pulled up and separated, and then the mirror 2 is exchanged.

또, 도 9에 나타내는 바와 같이, 제2 모드로 이동 기구(8)가 동작하면, 상부 유닛(4)과 미러 유닛(20)이 상승하기 때문에, 미러 유닛(20)과 광원 유닛(10)의 사이에 스페이스가 생겨, 이 스페이스를 이용하여 적절한 메인터넌스를 행할 수 있다. 예를 들면, 광원(1)의 교환의 경우에는, 양단의 구금을 단자로부터 분리하고, 누름구(13)를 제거한 후, 양단의 구금의 부분을 집으면서 광원(1)을 상방으로 끌어올린다. 그리고, 미러 유닛(20)과 광원 유닛(10)의 사이의 스페이스로부터 가로로 광원(1)을 꺼내 광조사기로부터 취출하고, 새로운 광원(1)과 교환한다. 또, 미러(2)의 반사면의 클리닝에 대해서도, 상기 제2 모드에 의해 행할 수 있다. 9, when the moving mechanism 8 is operated in the second mode, since the upper unit 4 and the mirror unit 20 rise, the mirror unit 20 and the light source unit 10 A space can be formed between them, and appropriate maintenance can be performed using this space. For example, in the case of replacing the light source 1, the nipples at both ends are separated from the terminals, the pushing tool 13 is removed, and the light source 1 is pulled up while picking up the portions of the nipples at both ends. The light source 1 is taken out horizontally from the space between the mirror unit 20 and the light source unit 10, taken out from the light irradiator, and exchanged with the new light source 1. Cleaning of the reflecting surface of the mirror 2 can also be performed in the second mode.

또, 도 10에 나타내는 바와 같이, 제3 모드로 이동 기구(8)가 동작하면, 상부 유닛(4)과 미러 유닛(20)과 광원 유닛(10)이 상승하기 때문에, 광원 유닛(10)과 소자 유닛(30)의 사이에 스페이스가 형성된다. 이 스페이스를 이용하여 적절한 메인터넌스가 가능해진다. 예를 들면, 필터(33)를 클리닝하거나, 필터(33)를 분리하여 조사측 광학 소자(3)를 교환하는 메인터넌스도 가능해진다. 10, when the moving mechanism 8 is operated in the third mode, the upper unit 4, the mirror unit 20, and the light source unit 10 ascend. Therefore, the light source unit 10, A space is formed between the element units 30. Proper maintenance can be achieved by using this space. For example, it is possible to perform maintenance such as cleaning the filter 33 or removing the filter 33 to replace the irradiation-side optical element 3.

이동 기구(8)에 의한 이동 거리(직선 구동원(81)의 스트로크 길이)는, 상기 각 메인터넌스 작업과의 관계에서 최적화된다. 예를 들면, 상기 각 메인터넌스 작업 중 가장 스페이스를 필요로 하는 메인터넌스 작업에 맞추어 이동 거리가 결정되어, 직선 구동원(81)의 스트로크 길이가 설정된다. 혹은, 필요한 이동 거리를 몇 가지 설정하여, 상기 모드마다 상이한 이동 거리로 해도 된다. The moving distance (the stroke length of the linear drive source 81) by the moving mechanism 8 is optimized in relation to each of the above maintenance operations. For example, the travel distance is determined in accordance with the maintenance work that requires the most space among the maintenance operations, and the stroke length of the linear drive source 81 is set. Alternatively, several moving distances may be set, and the moving distances may be different for each mode.

또, 선택 기구(9)는, 상기 각 모드에서의 이동 기구(8)의 동작을 확실히 행할 수 있도록 핀 블록(91)의 위치를 모니터하는 센서(951~953)를 구비하고 있다. 센서(951~953)는, 슬라이더(92)의 위치를 검출함으로써 간접적으로 핀 블록(91)의 위치를 모니터하게 되어 있다. 구체적으로는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 슬라이더(92)의 일방의 장변부 중, 손잡이부(921)에 가까운 위치에는, 검출판(96)이 고정되어 있다. The selection mechanism 9 is provided with sensors 951 to 953 for monitoring the position of the pin block 91 so as to reliably perform the operation of the moving mechanism 8 in each of the above modes. The sensors 951 to 953 indirectly monitor the position of the pin block 91 by detecting the position of the slider 92. More specifically, as shown in Fig. 5, a detection plate 96 is fixed at a position near one of the long side portions of one side of the slider 92, close to the holding portion 921. As shown in Fig.

그리고, 도 5에 나타내는 바와 같이, 검출판(96)의 위치를 검출하는 3개의 센서(951~953)가 설치되어 있다. 3개의 센서(951~953)는, 모두 포토 센서이며, 검출판(96)에 의해 차광됨으로써 위치를 검출하는 것이다. 3개의 센서 중, 제1 센서(951)는 핀 블록(91)이 제1 모드 위치에 위치하면 검출판(96)이 차광하는 위치에 설치되어 있다. 제2 센서(952)는 핀 블록(91)이 제2 모드 위치에 위치하면 검출판(96)이 차광하는 위치에 설치되어 있다. 제3 센서(953)는 핀 블록(91)이 제3 모드 위치에 위치하면 검출판(96)이 차광하는 위치에 설치되어 있다. As shown in Fig. 5, three sensors 951 to 953 for detecting the position of the detection plate 96 are provided. The three sensors 951 to 953 are all photo sensors and detect the position by being shielded by the detection plate 96. Of the three sensors, the first sensor 951 is provided at a position where the detection plate 96 shields light when the pin block 91 is positioned at the first mode position. The second sensor 952 is provided at a position where the detection plate 96 shields light when the pin block 91 is positioned at the second mode position. The third sensor 953 is provided at a position where the detection plate 96 shields light when the pin block 91 is positioned at the third mode position.

각 센서(951~953)는, 도시하지 않은 표시부에 연결되어 있다. 표시부는, 어느 센서(951~953)가 온이 되어 있는지를 표시하는 것이며, 핀 블록(91)이 어느 위치에 있는지를 확인할 수 있게 되어 있다. 작업자는, 표시부를 보면서 손잡이부(921)를 잡고 슬라이더(92)를 움직여, 3개 중 원하는 위치에 핀 블록(91)을 위치시키고, 이 상태로 이동 기구(8)를 동작시킨다. 표시부는, 각 센서에 LED와 같은 모니터램프가 접속된 심플한 것이어도 되고, 동작 상태를 표시하는 디스플레이여도 된다. Each of the sensors 951 to 953 is connected to a display unit (not shown). The display unit indicates which sensors 951 to 953 are turned on, and it is possible to confirm at which position the pin block 91 is located. The operator grips the handle 921 while viewing the display unit, moves the slider 92, positions the pin block 91 at a desired position among the three, and operates the moving mechanism 8 in this state. The display unit may be a simple one in which a monitor lamp such as an LED is connected to each sensor, or may be a display for displaying an operation state.

상기 구성에 관련된 실시 형태의 광조사기에 의하면, 광원 유지 프레임(11)으로부터 분리된 상태로 광원(1)의 길이 방향에 수직인 방향으로 또한 미러(2)가 광원(1)으로부터 멀어지는 방향으로 미러 유지 프레임(21)이 이동하므로, 광원 유지 프레임(11)을 길이 방향으로 꺼내 광원(1)을 교환할 필요가 없어진다. 이 때문에, 장척의 광원(1)을 사용하는 경우에도 교환 만을 위한 넓은 스페이스가 필요해지지 않는다. The light source 1 is moved in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the light source 1 and in the direction away from the light source 1 by the mirror 2 in a state of being separated from the light source holding frame 11, The holding frame 21 is moved so that it is unnecessary to take out the light source holding frame 11 in the longitudinal direction and replace the light source 1. Therefore, even when the elongated light source 1 is used, a large space for exchange is not required.

또, 실시 형태의 광조사기는, 미러 유닛(20)의 상측에 상부 유닛(4)을 가지지만, 미러 유지 프레임(21)으로부터 분리된 상태로 상부 유닛(4)이 미러(2)로부터 멀어지는 방향으로 이동하므로, 미러(2)에 대해서도 길이 방향으로 꺼내지 않고 메인터넌스를 행할 수 있다. 이 때문에, 메인터넌스를 위해 넓은 스페이스가 필요해지지 않는다. The light irradiator of the embodiment has the upper unit 4 on the upper side of the mirror unit 20 but the lower unit 4 is separated from the mirror 2 in the state of being separated from the mirror holding frame 21 It is possible to perform maintenance on the mirror 2 without taking it out in the longitudinal direction. Therefore, a large space is not required for maintenance.

또, 실시 형태의 광조사기는, 광원 유닛(10)의 하측에 조사측 광학 소자(3)를 가지지만, 소자 유지 프레임(31)으로부터 분리된 상태로 광원 유지 프레임(11)이 조사측 광학 소자(3)로부터 멀어지는 방향으로 이동하므로, 조사측 광학 소자(3)에 대해서도 길이 방향으로 꺼내지 않고 메인터넌스를 행할 수 있다. 이 때문에, 메인터넌스를 위해 넓은 스페이스가 필요해지지 않는다. The light irradiator of the embodiment has the irradiation side optical element 3 on the lower side of the light source unit 10 but the light source holding frame 11 is separated from the element holding frame 31, Side optical element 3 in the direction away from the optical element 3, maintenance can be performed without removing the optical element 3 in the longitudinal direction. Therefore, a large space is not required for maintenance.

또한, 교환이나 클리닝 등의 메인터넌스시에, 작업자는, 광조사기의 길이 방향의 측면의 옆에 선다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 실시 형태의 광조사기에서는, 워크(이 예에서는 액정 기판 S)의 반송 기구를 구성하는 리니어 가이드나 볼 나사가 있지만, 이것을 사이에 두고 서서 작업을 행한다. Further, at the time of maintenance such as replacement or cleaning, the operator stands next to the longitudinal side of the light irradiator. As shown in Fig. 3, in the light irradiator of the embodiment, there is a linear guide or a ball screw constituting a transport mechanism of the work (the liquid crystal substrate S in this example), and the work is performed with the linear guide or the ball screw therebetween.

상기 실시 형태에서는, 이동 기구(8)에 의한 이동 방향은 상하 방향이었지만, 이것은 광원(1)이 수평인 자세로 배치되고, 미러(2)가 수평 방향으로 긴 것이었기 때문이다. 예를 들면, 광원(1)이 수직 방향을 따라 배치되며, 미러(2)가 수직 방향으로 긴 것인 경우, 이동 방향은 수평 방향이 된다. 이 경우도, 이동의 방향은, 미러(2)가 광원(1)으로부터 멀어지는 방향이다. In the above embodiment, the movement direction by the moving mechanism 8 is the up-and-down direction, but this is because the light source 1 is arranged in a horizontal posture and the mirror 2 is long in the horizontal direction. For example, when the light source 1 is disposed along the vertical direction and the mirror 2 is long in the vertical direction, the moving direction becomes the horizontal direction. In this case also, the direction of movement is the direction in which the mirror 2 is away from the light source 1. [

또, 이동 기구(8)의 동작 모드를 선택하는 선택 기구(9)로서는, 상기 서술한 기구 이외에도 적절한 것을 채용할 수 있다. 예를 들면, 이동 기구(8)가 포크리프트의 포크와 같은 지지 부재를 구동하는 것이며, 지지 부재를 각 유닛의 경계 부분에 삽입 가능한 구조로 하고, 임의의 경계 부분에 지지 부재를 삽입하여 끌어올림으로써 이동시키는 구성을 생각할 수 있다. As the selection mechanism 9 for selecting the operation mode of the moving mechanism 8, an appropriate one other than the above-described mechanism can be employed. For example, the moving mechanism 8 drives a support member such as a fork of a forklift, and a support member can be inserted into a boundary portion of each unit, As shown in Fig.

광조사기의 용도로서는, 상기 서술한 광배향막을 얻기 위한 편광 광조사 이외에도 각종의 용도가 있을 수 있다. 예를 들면, 자외선 경화형 수지를 경화시키기 위해 자외선을 조사하는 광조사기나, 포토레지스트의 처리를 위해 광조사하는 광조사기 등을 들 수 있다. 이들 광조사기에 있어서도, 조사 영역이 대폭화되고, 그에 대응하기 위해 보다 장척의 광원을 사용하는 경우가 있어, 본원 발명의 적용이 큰 메리트가 되는 경우가 있다. As the application of the light irradiator, there can be various uses besides the irradiation of polarized light for obtaining the above-described photo alignment film. Examples thereof include a light irradiator for irradiating ultraviolet rays for curing the ultraviolet curable resin, and an irradiator for irradiating light for the treatment of photoresist. Even in these light irradiators, the irradiated area is greatly widened, and a longer light source may be used in order to cope with such a case, and the application of the present invention may be a great merit.

1: 광원 10: 광원 유닛
11: 광원 유지 프레임 2: 미러
20: 미러 유닛 21: 미러 유지 프레임
3: 조사측 광학 소자 30: 소자 유닛
31: 소자 유지 프레임 4: 상부 유닛
43: 외측 커버 44: 측판
8: 이동 기구 81: 직선 구동원
82: 리니어 가이드 9: 선택구
91: 핀 블록 92: 슬라이더
93: 제1 핀 94: 제2 핀1: light source 10: light source unit
11: Light source holding frame 2: Mirror
20: Mirror unit 21: Mirror holding frame
3: irradiation side optical element 30: element unit
31: Element holding frame 4: Upper unit
43: outer cover 44: side plate
8: moving mechanism 81: linear driving source
82: linear guide 9:
91: Pin block 92: Slider
93: first pin 94: second pin

Claims

An optical radiator having a long light source and a long mirror extending in the longitudinal direction of the light source and covering the light source from behind,
The light source is held by the light source holding frame,
The mirror is held by a mirror holding frame,
A moving mechanism for moving the mirror holding frame is provided,
The moving mechanism is capable of moving the mirror holding frame in a state in which it is separated from the light source holding frame and the moving direction of the mirror holding frame is a direction perpendicular to the longitudinal direction of the light source and a mirror moving away from the light source, Is exchangeable. &Lt; IMAGE >

The method according to claim 1,
The irradiation side optical element is disposed on the side opposite to the mirror of the light source, so that the object can be irradiated with light through the irradiation side optical element,
The irradiation side optical element is held by the element holding frame,
Wherein the moving mechanism is movable in a state in which the mirror holding frame and the light source holding frame are separated from the element holding frame and the direction of the movement is perpendicular to the longitudinal direction of the light source, And the moving distance is a distance at which the optical element on the irradiation side can be cleaned or exchanged.

The method according to claim 1,
A rear unit is installed behind the mirror,
Wherein the moving mechanism is movable in a state in which the rear unit is separated from the mirror holding frame and the light source holding frame and the direction of the movement is a direction perpendicular to the longitudinal direction of the light source, And the moving distance is a distance at which the mirror can be cleaned or exchanged.

The method according to claim 1,
The irradiation side optical element is disposed on the side opposite to the mirror of the light source, so that the object can be irradiated with light through the irradiation side optical element,
The irradiation side optical element is held by the element holding frame,
Wherein the moving mechanism is movable in a state in which the mirror holding frame and the light source holding frame are separated from the element holding frame and the direction of the movement is perpendicular to the longitudinal direction of the light source, The moving distance is a distance at which the optical element on the irradiation side can be cleaned or replaced,
A rear unit is installed behind the mirror,
Wherein the moving mechanism is movable in a state in which the rear unit is separated from the mirror holding frame, the light source holding frame and the element holding frame, and the moving direction is a direction perpendicular to the longitudinal direction of the light source, The distance from the light source, the mirror and the irradiation-side optical element, and the distance of movement is a distance where the mirror can be cleaned or exchanged.

The method according to any one of claims 1 to 4,
The light source is arranged so that its longitudinal direction is horizontal,
Wherein the direction of the movement is an upward direction.