JP2014191939A

JP2014191939A - Light irradiation unit

Info

Publication number: JP2014191939A
Application number: JP2013065274A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Minobe; 猛美濃部
Original assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Current assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Priority date: 2013-03-26
Filing date: 2013-03-26
Publication date: 2014-10-06
Anticipated expiration: 2033-03-26
Also published as: KR20140117259A; CN104075168A; JP5803967B2; TWI535968B; KR101582025B1; TW201437539A; CN104075168B

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure of a light irradiation unit that is easy to maintain even when including a specially long-sized light source and uses no wide space.SOLUTION: A light source unit 10 which holds a long-sized light source 1 by a light source holding frame 11, a mirror unit 20 which holds a long-sized mirror 2 covering the light source 1 from behind by a mirror holding frame 21, an upper unit 4 above the mirror unit 20, and an element unit 30 below the light source unit 10 (on an irradiation side) can be moved up by a moving mechanism 8. A selecting mechanism 9 makes a choice among movement of only the upper unit 4, movement of the upper unit 4 and mirror unit 20, and movement of the upper unit 4, mirror unit 20, and light source unit 10.

Description

本願の発明は、長尺な光源によって対象物に光照射する光照射器に関する。 The present invention relates to a light irradiator that irradiates an object with a long light source.

長尺な光源としては、蛍光灯を始めとして各種のものが知られているが、産業用に用いられることも多い。例えば紫外線光源としても知られている水銀ランプは、高圧水銀ランプや低圧水銀ランプのように全体が棒状のものがあり、光照射による対象物の処理等の目的で多用されている。この他、メタルハライドランプやＬＥＤ等の光源でも、棒状のように長尺なタイプのものがある。対象物を光照射により処理する場合、対象物が幅広であるために幅方向に長い光源を使用する例がしばしば見られる。
長尺な光源の背後には、ミラーが通常配置される。「背後」とは、光照射の対象物が位置する側を前側とした場合、その反対側という意味である。 Various types of light sources such as fluorescent lamps are known as long light sources, but they are often used for industrial purposes. For example, mercury lamps, also known as ultraviolet light sources, are generally rod-shaped, such as high-pressure mercury lamps and low-pressure mercury lamps, and are often used for the purpose of processing objects by light irradiation. In addition, there are light sources such as metal halide lamps and LEDs that are long in the shape of a rod. When processing an object by light irradiation, an example of using a light source that is long in the width direction is often seen because the object is wide.
A mirror is usually placed behind the long light source. “Back” means the opposite side when the side where the object to be irradiated with light is located is the front side.

このような光照射器は、当然のことながら、メンテナンスを考慮した構造とされる。メンテナンスの典型的なものは光源の交換である。光源は一般的に消耗品であり、寿命の到来に伴って交換が必要になる。このため、光照射器は、光源を交換可能に装着した構造を有する。
また、ミラーについても、適宜メンテナンス可能な構造とされる。例えば、ミラーの反射面をクリーニング可能な構造としたり、ミラーの交換が可能な構造としたりである。 Naturally, such a light irradiator has a structure in consideration of maintenance. A typical maintenance is light source replacement. The light source is generally a consumable item and needs to be replaced as the end of its lifespan. For this reason, the light irradiator has a structure in which a light source is exchangeably mounted.
Further, the mirror can be appropriately maintained. For example, the mirror reflection surface can be cleaned, or the mirror can be replaced.

特許４４１２０９０号公報Japanese Patent No. 4412090 特開２０１１−２２２３４７号公報JP2011-222347A

このような光照射器において、光源があまりにも長尺であるため、メンテナンスのための構造が非常に難しくなる場合がある。この点について、ディスプレイデバイス製造の際に使用される光照射器を例にして説明する。
液晶ディスプレイに代表されるディスプレイデバイスは、基板サイズが年々大型化している。大型化は、ＴＶ用等の場合には大画面になるために必然的に基板サイズが大きくなるし、一枚の基板から多数のディスプレイデバイスを製造する場合にも、生産性向上の観点から基板サイズは大きくなる。 In such a light irradiator, since the light source is too long, the structure for maintenance may be very difficult. This point will be described by taking a light irradiator used in manufacturing a display device as an example.
A display device represented by a liquid crystal display has a larger substrate size year by year. In the case of an increase in size, for TVs and the like, the size of the substrate inevitably increases because of the large screen, and even when a large number of display devices are manufactured from a single substrate, the substrate is improved in terms of productivity. The size increases.

基板サイズが大きくなると、製造プロセスに光照射器を用いた光処理が含まれている場合、使用される光源がより長尺化してくる。例えば、液晶ディスプレイの製造では、配向膜を得るプロセスとして、従来のラビングに変えて偏光光の照射により配向膜を得る光配向のプロセスが多く採用されるようになってきている。光配向には、紫外線の偏光光を照射する必要がある場合が多く、高圧水銀ランプのような棒状の光源が使用される。この際、基板サイズの大型化に伴い、最近では１５００ｍｍ又はそれ以上の非常に長いランプの使用が必要になってきている。 As the substrate size increases, the light source used becomes longer when the manufacturing process includes light processing using a light irradiator. For example, in the manufacture of a liquid crystal display, as a process for obtaining an alignment film, a photo-alignment process for obtaining an alignment film by irradiating polarized light instead of the conventional rubbing has been increasingly adopted. For photo-alignment, it is often necessary to irradiate polarized ultraviolet light, and a rod-shaped light source such as a high-pressure mercury lamp is used. At this time, with the increase in the substrate size, recently, it has become necessary to use a very long lamp of 1500 mm or more.

このような特に長尺な光源を使用した光照射器では、メンテナンスのための構造を特に工夫しないと、メンテナンスの作業が非常にやりにくくなってしまったり、メンテナンスのためだけに大きなスペースが必要になってしまったりする問題がある。例えば、特許文献１は、メンテナンスのために光源をその長さ方向に引き出せる構造を開示している。しかしながら、このような構造では、光源が長くなれば長くなった分だけのスペースがランプの長手方向にメンテナンスのために必要になってしまう。メンテナンス以外にはその分のスペースが不要である場合、生産設備の省スペース化の観点から問題視され得る。
本願の発明は、このような課題を解決するために為されたものであって、特に長尺な光源を備えた場合でもメンテナンスが容易で、且つ広いスペースを使用としない光照射器の構造を提供する意義を有している。 In such a light illuminator using a particularly long light source, unless the structure for maintenance is specially devised, maintenance work becomes very difficult or a large space is required only for maintenance. There is a problem. For example, Patent Document 1 discloses a structure in which a light source can be pulled out in the length direction for maintenance. However, in such a structure, if the light source becomes long, a space corresponding to the length becomes longer for maintenance in the longitudinal direction of the lamp. When space other than maintenance is not necessary, it can be regarded as a problem from the viewpoint of space saving of production equipment.
The invention of the present application has been made to solve such a problem, and has a light irradiator structure that is easy to maintain even when a long light source is provided and does not use a large space. It has a meaning to provide.

上記課題を解決するため、本願の請求項１記載の発明は、長尺な光源と、光源の長さ方向に延び、光源を背後から覆った長尺なミラーとを備えた光照射器であって、
光源は、光源保持フレームによって保持されており、
ミラーは、ミラー保持フレームによって保持されており、
ミラー保持フレームを移動させる移動機構が設けられており、
移動機構は、光源保持フレームから分離させた状態でミラー保持フレームを移動させることが可能であって、ミラー保持フレームの移動の向きは、光源の長さ方向に垂直であってミラーが光源から遠ざかる向きであり、移動の距離は光源の交換が可能な距離であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項２記載の発明は、前記請求項１の構成において、前記光源の前記ミラーとは反対側には照射側光学素子が配置されていて対象物に照射側光学素子を介して光照射することが可能であり、
照射側光学素子は、素子保持フレームによって保持されており、
前記移動機構は、素子保持フレームから分離させた状態で前記ミラー保持フレーム及び前記光源保持フレームを移動可能であり、この移動の向きは、前記光源の長さ方向に垂直であって前記光源及び前記ミラーが照射側光学素子から遠ざかる向きであり、移動の距離は、照射側光学素子のクリーニング又は交換が可能となる距離であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項３記載の発明は、前記請求項１の構成において、前記ミラーの背後には背後ユニットが設けられており、
前記移動機構は、背後ユニットを前記ミラー保持フレーム及び前記光源保持フレームから分離させた状態で移動可能であり、この移動の向きは、前記光源の長さ方向に垂直な方向であって背後ユニットが前記光源及び前記ミラーから遠ざかる向きであり、移動距離は、前記ミラーのクリーニング又は交換が可能となる距離であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項４記載の発明は、前記請求項１の構成において、前記光源の前記ミラーとは反対側には照射側光学素子が配置されていて対象物に照射側光学素子を介して光照射することが可能であり、
照射側光学素子は、素子保持フレームによって保持されており、
前記移動機構は、素子保持フレームから分離させた状態で前記ミラー保持フレーム及び前記光源保持フレームを移動可能であり、この移動の向きは、前記光源の長さ方向に垂直であって前記光源及び前記ミラーが照射側光学素子から遠ざかる向きであり、移動の距離は、照射側光学素子のクリーニング又は交換が可能となる距離であり、
前記ミラーの背後には背後ユニットが設けられており、
前記移動機構は、背後ユニットを前記ミラー保持フレーム、前記光源保持フレーム及び素子保持フレームから分離させた状態で移動可能であり、この移動の向きは、前記光源の長さ方向に垂直な方向であって背後ユニットが前記光源、前記ミラー及び照射側光学素子から遠ざかる向きであり、移動の距離はミラーのクリーニング又は交換が可能な状態となる距離であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項５記載の発明は、前記請求項１乃至４いずれかの構成において、前記光源は長さ方向が水平方向になるように配置されており、
前記移動の向きは上向きであるという構成を有する。 In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 of the present application is a light irradiator including a long light source and a long mirror extending in the length direction of the light source and covering the light source from the back. And
The light source is held by a light source holding frame,
The mirror is held by a mirror holding frame,
A moving mechanism for moving the mirror holding frame is provided,
The moving mechanism can move the mirror holding frame in a state separated from the light source holding frame, and the direction of movement of the mirror holding frame is perpendicular to the length direction of the light source, and the mirror moves away from the light source. It has a configuration in which the distance of movement is a distance that allows replacement of the light source.
In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 2 is the configuration according to claim 1, wherein an irradiation side optical element is arranged on the opposite side of the light source from the mirror, and the object is irradiated side. It is possible to irradiate light through an optical element,
The irradiation side optical element is held by an element holding frame,
The moving mechanism is capable of moving the mirror holding frame and the light source holding frame in a state separated from the element holding frame, and the direction of the movement is perpendicular to the length direction of the light source, and the light source and the light source The mirror is directed away from the irradiation side optical element, and the moving distance is a distance that enables the irradiation side optical element to be cleaned or replaced.
In order to solve the above problem, the invention according to claim 3 is the configuration of claim 1, wherein a rear unit is provided behind the mirror,
The moving mechanism is movable in a state where the rear unit is separated from the mirror holding frame and the light source holding frame, and the direction of this movement is a direction perpendicular to the length direction of the light source, It is in a direction away from the light source and the mirror, and the moving distance is a distance at which the mirror can be cleaned or replaced.
In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 4 is the configuration according to claim 1, wherein an irradiation side optical element is arranged on the side of the light source opposite to the mirror, and the object is irradiated on the object side. It is possible to irradiate light through an optical element,
The irradiation side optical element is held by an element holding frame,
The moving mechanism is capable of moving the mirror holding frame and the light source holding frame in a state separated from the element holding frame, and the direction of the movement is perpendicular to the length direction of the light source, and the light source and the light source The mirror is in a direction away from the irradiation side optical element, and the moving distance is a distance that enables the irradiation side optical element to be cleaned or replaced,
A rear unit is provided behind the mirror,
The moving mechanism is movable in a state where the rear unit is separated from the mirror holding frame, the light source holding frame, and the element holding frame, and the direction of the movement is a direction perpendicular to the length direction of the light source. The rear unit is in a direction away from the light source, the mirror, and the irradiation side optical element, and the moving distance is a distance at which the mirror can be cleaned or replaced.
In order to solve the above problem, the invention according to claim 5 is the configuration according to any one of claims 1 to 4, wherein the light source is arranged so that the length direction is a horizontal direction.
The moving direction is upward.

以下に説明する通り、本願の請求項１記載の発明によれば、光源保持フレームから分離した状態で光源の長さ方向に垂直な方向に且つミラーが光源から遠ざかる向きにミラー保持フレームが移動するので、光源保持フレームを長さ方向に引き出して光源を交換する必要が無くなる。このため、長尺な光源を使用する場合にも交換のためだけに広いスペースが必要になることはない。
請求項２記載の発明によれば、上記効果に加え、素子保持フレームから分離した状態で光源保持フレームとミラー保持フレームとが照射側光学素子から遠ざかる向きに移動するので、照射側光学素子についても長手方向に引き出すことなくメンテナンスが行える。このため、メンテナンスのために広いスペースが必要になることはない。
請求項３記載の発明によれば、ミラー保持フレームから分離した状態で背後ユニットがミラーから遠ざかる向きに移動するので、ミラーについても長手方向に引き出すことなくメンテナンスが行える。このため、メンテナンスのためにランプの長手方向に広いスペースが必要になることはない。
また、請求項４記載の発明によれば、上記効果請求項２の発明の効果と上記請求項３の発明の効果とを得ることができる。 As described below, according to the first aspect of the present invention, the mirror holding frame moves in a direction perpendicular to the length direction of the light source and in a direction in which the mirror moves away from the light source in a state separated from the light source holding frame. Therefore, it is not necessary to replace the light source by pulling out the light source holding frame in the length direction. For this reason, even when using a long light source, a large space is not required only for replacement.
According to the invention of claim 2, in addition to the above effect, the light source holding frame and the mirror holding frame move away from the irradiation side optical element in a state separated from the element holding frame. Maintenance can be performed without pulling out in the longitudinal direction. For this reason, a large space is not required for maintenance.
According to the third aspect of the invention, since the rear unit moves away from the mirror while being separated from the mirror holding frame, the mirror can be maintained without being pulled out in the longitudinal direction. For this reason, a large space in the longitudinal direction of the lamp is not required for maintenance.
According to the invention of claim 4, the effect of the invention of claim 2 and the effect of the invention of claim 3 can be obtained.

本願発明の実施形態に係る光照射器の全体を示した斜視概略図である。It is the perspective schematic which showed the whole light irradiation device which concerns on embodiment of this invention. 実施形態の光照射器の側面断面概略図である。It is a side section schematic diagram of the light irradiation machine of an embodiment. 図１及び図２に示す光照射器の使用例を示した斜視概略図である。It is the perspective schematic which showed the usage example of the light irradiation device shown to FIG.1 and FIG.2. 選択機構９の主要部の斜視概略図である。3 is a schematic perspective view of a main part of a selection mechanism 9. FIG. 図４に示す選択機構９におけるスライダ９２の斜視概略図である。FIG. 5 is a schematic perspective view of a slider 92 in the selection mechanism 9 shown in FIG. 4. 選択機構９によるモードの選択について示した図であり、選択機構９の動作状態を示した斜視概略図である。FIG. 5 is a diagram illustrating selection of a mode by the selection mechanism 9 and is a schematic perspective view illustrating an operation state of the selection mechanism 9. 選択機構９によるモードの選択について示した図であり、選択機構９の動作状態を示した斜視概略図である。FIG. 5 is a diagram illustrating selection of a mode by the selection mechanism 9 and is a schematic perspective view illustrating an operation state of the selection mechanism 9. 選択機構９によるモードの選択について示した図であり、各ユニットの移動状態について示した側面断面概略図である。It is the figure shown about the selection of the mode by the selection mechanism 9, and is the side surface cross-section schematic shown about the movement state of each unit. 選択機構９によるモードの選択について示した図であり、各ユニットの移動状態について示した側面断面概略図である。It is the figure shown about the selection of the mode by the selection mechanism 9, and is the side surface cross-section schematic shown about the movement state of each unit. 選択機構９によるモードの選択について示した図であり、各ユニットの移動状態について示した側面断面概略図である。It is the figure shown about the selection of the mode by the selection mechanism 9, and is the side surface cross-section schematic shown about the movement state of each unit.

次に、本願発明を実施するための形態（以下、実施形態）について説明する。
図１は、本願発明の実施形態に係る光照射器の全体を示した斜視概略図、図２は実施形態の光照射器の側面断面概略図である。
実施形態の光照射器は、長尺な光源１と、光源１を背後から覆った長尺なミラー２とを備えている。また、この光照射器は、光源１と対象物との間に配置された光学素子（以下、照射側光学素子）３と、ミラー２の背後に設けられた背後ユニット４とを備えている。 Next, modes for carrying out the present invention (hereinafter referred to as embodiments) will be described.
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an entire light irradiator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic side sectional view of the light irradiator according to the embodiment.
The light irradiator of the embodiment includes a long light source 1 and a long mirror 2 that covers the light source 1 from behind. The light irradiator includes an optical element (hereinafter referred to as an irradiation side optical element) 3 disposed between the light source 1 and the object, and a rear unit 4 provided behind the mirror 2.

光源１は、光源１を保持した光源保持フレーム１１を含むユニット（以下、光源ユニットと呼ぶ）１０の一部となっている。ミラー２は、ミラー保持フレーム２１を含むユニット（以下、ミラーユニット２０と呼ぶ）の一部となっている。照射側光学素子３も、照射側光学素子３を保持した素子保持フレーム３１を含むユニット（以下、素子ユニットと呼ぶ）３０の一部となっている。 The light source 1 is a part of a unit (hereinafter referred to as a light source unit) 10 including a light source holding frame 11 that holds the light source 1. The mirror 2 is a part of a unit including the mirror holding frame 21 (hereinafter referred to as a mirror unit 20). The irradiation side optical element 3 is also a part of a unit (hereinafter referred to as an element unit) 30 including an element holding frame 31 that holds the irradiation side optical element 3.

図１に示すように、この実施形態では、光源１は長さ方向を水平にして配置されており、対象物は光源１の下方に配置されるようになっている。従って、ミラー２は光源１を上側から覆った状態であり、背後ユニット４はその上側になる。従って、図１に示すように、実施形態の光照射器は、上から順に背後ユニット４、ミラーユニット２０、光源ユニット１０及び素子ユニット３０の四つを備えた構成となっている。尚、背後ユニット４は、ミラーユニット２０の上側に位置するユニットであるため、以下、上部ユニット４と言い換える。 As shown in FIG. 1, in this embodiment, the light source 1 is arranged with the length direction horizontal, and the object is arranged below the light source 1. Accordingly, the mirror 2 is in a state of covering the light source 1 from above, and the rear unit 4 is on the upper side. Therefore, as shown in FIG. 1, the light irradiator of the embodiment has a configuration including the back unit 4, the mirror unit 20, the light source unit 10, and the element unit 30 in order from the top. The rear unit 4 is a unit located on the upper side of the mirror unit 20 and is hereinafter referred to as the upper unit 4.

ミラー２は、この実施形態では、光源１の長さ方向に長い一対のものから成っている。一対のミラー２は、光源１の真上にスリットを形成した状態で配置されており、一対でほぼ樋状のミラー２を形成するようになっている。尚、各ミラー２は、図２に成す断面形状で解るように湾曲している。この湾曲の形状は、楕円の一部又は放物線を成すものとされる。
各ミラー２は、基材上に反射膜を蒸着したものや、アルミのような金属で形成される。蒸着膜で反射させる構造の場合、蒸着膜形成の都合から複数のミラーセグメントを並べて一つの長尺なミラー２とすることもある。また、蒸着膜として、対象物の昇温を抑えるため、熱線を透過させて反射しないようにした特性のものが採用されることもある。 In this embodiment, the mirror 2 is composed of a pair that is long in the length direction of the light source 1. The pair of mirrors 2 are arranged in a state where a slit is formed immediately above the light source 1, and a pair of substantially mirror-like mirrors 2 is formed. Each mirror 2 is curved so as to be understood by the cross-sectional shape shown in FIG. This curved shape is assumed to form a part of an ellipse or a parabola.
Each mirror 2 is formed by depositing a reflective film on a base material or a metal such as aluminum. In the case of a structure that reflects with a vapor deposition film, a plurality of mirror segments may be arranged to form one long mirror 2 for convenience of vapor deposition film formation. Moreover, in order to suppress the temperature rise of a target object, the thing of the characteristic which permeate | transmits a heat ray and was not reflected may be employ | adopted as a vapor deposition film.

一対のミラー２は、ミラー保持フレーム２１によって保持されている。ミラー保持フレーム２１は、各ミラー２を背後から保持するであり、各ミラー２を上端と下端において緩衝具２２を介して保持するものである。ミラー保持フレーム２１は、ミラー２が熱線を透過させるタイプのものである場合、熱線を受けて昇温するため、熱容量の大きいものとし、背後に放熱フィン２３を設けた構造とされる。尚、ミラー保持フレーム２１は、ミラーユニット２０の外枠となっているミラーユニット２０枠に固定されている。 The pair of mirrors 2 are held by a mirror holding frame 21. The mirror holding frame 21 holds each mirror 2 from behind, and holds each mirror 2 via a buffer 22 at the upper end and the lower end. When the mirror 2 is of a type that allows heat rays to pass therethrough, the mirror holding frame 21 is heated to receive heat rays, so that the mirror holding frame 21 has a large heat capacity and is provided with a radiating fin 23 behind it. The mirror holding frame 21 is fixed to the mirror unit 20 frame that is an outer frame of the mirror unit 20.

光源１としては、この実施形態では、高圧水銀ランプが使用されている。光源１は、光源保持フレーム１１により保持されている。光源保持フレーム１１には、受け具１２と押さえ具１３とが設けられている。図１及び図２では詳細の図示が省略されているが、光源１は、両端の口金の部分が受け具１２に載り、その上から押さえ具１３で押さえることで光源保持フレーム１１に保持されている。 In this embodiment, a high pressure mercury lamp is used as the light source 1. The light source 1 is held by a light source holding frame 11. The light source holding frame 11 is provided with a receiving tool 12 and a pressing tool 13. Although the detailed illustration is omitted in FIGS. 1 and 2, the light source 1 is held by the light source holding frame 11 by placing the cap portions at both ends on the receiving member 12 and pressing it with the pressing member 13 from above. Yes.

尚、光源１は、例えば１５００ｍｍ程度と非常に長尺なものとなっている。このため、点灯時には昇温により撓んでしまう可能性がある。これを考慮し、この実施形態では、光源１を支持する支持具１４を長さ方向の途中の数カ所に設けている。支持具１４には、光源１の封体に対して熱衝撃性を少なくすることや光遮蔽を少なくする観点から、石英製のものが使用される。支持具１４の詳細については、特開２０１１−２２２３４７号公報に開示されているので、これを参照することができる。 The light source 1 is very long, for example, about 1500 mm. For this reason, at the time of lighting, there is a possibility that it will bend by temperature rise. In consideration of this, in this embodiment, supporters 14 that support the light source 1 are provided at several places in the middle of the length direction. The support 14 is made of quartz from the viewpoint of reducing thermal shock resistance against the envelope of the light source 1 and reducing light shielding. About the detail of the support tool 14, since it is disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 2011-222347, this can be referred.

照射側光学素子３としては、適宜のものを選択し得るが、この実施形態の光照射器は、対象物に偏光光を照射するものであるため、照射側光学素子３は偏光素子となっている。より具体的には、この実施形態ではグリッド偏光素子が照射側光学素子３として使用されている。グリッド偏光素子は、透明基板上に微細な縞状格子を形成したもので、縞状格子の長さ方向に電界成分を有する直線偏光光は透明基板を透過できず、縞状格子の長さ方向に垂直な方向に電界成分を有する直線偏光光は透明基板を透過できることを利用し、光を偏光させるものである。 As the irradiation side optical element 3, an appropriate one can be selected. However, since the light irradiator of this embodiment irradiates the object with polarized light, the irradiation side optical element 3 becomes a polarizing element. Yes. More specifically, in this embodiment, a grid polarizing element is used as the irradiation side optical element 3. The grid polarization element is a fine stripe grating formed on a transparent substrate, and linearly polarized light having an electric field component in the length direction of the stripe grating cannot pass through the transparent substrate, and the length direction of the stripe grating. The linearly polarized light having the electric field component in the direction perpendicular to the light is polarized by utilizing the fact that it can pass through the transparent substrate.

光源１とその背後のミラー２からの光は、全体としてはほぼ矩形の光照射領域を成す。照射側光学素子３は、このほぼ矩形の光照射領域と同程度の大きさの矩形のものとなっている。但し、グリッド偏光素子の場合、大面積のものを製作するのが難しいため、小さなセグメント状のものを並べて上記矩形の光照射領域と同程度の大きさの領域を確保する。
このような照射側光学素子３は、不図示の素子枠に嵌め込まれ、素子台座３２の上に取り付けられている。素子台座３２は、素子保持フレーム３１上に設けられており、照射側光学素子３は、素子保持フレーム３１によって保持されている。 The light from the light source 1 and the mirror 2 behind it forms a substantially rectangular light irradiation region as a whole. The irradiation side optical element 3 has a rectangular shape that is approximately the same size as the substantially rectangular light irradiation region. However, in the case of a grid polarizing element, since it is difficult to manufacture a large area element, small segment elements are arranged to secure an area of the same size as the rectangular light irradiation area.
Such an irradiation side optical element 3 is fitted in an element frame (not shown) and attached on the element base 32. The element base 32 is provided on the element holding frame 31, and the irradiation side optical element 3 is held by the element holding frame 31.

また、この実施形態では、素子ユニット３０に設けられている照射側光学素子３とは別の照射側光学素子３として、フィルタ３３が内蔵されている。フィルタ３３は照射側光学素子３を上側から覆った状態で設けられている。フィルタ３３は、素子保持フレーム３１上にフィルタ枠３４を介して取り外し可能に取り付けられている。フィルタ３３としては、例えば、照射する光の波長を選択する波長選択フィルタが用いられる。 In this embodiment, a filter 33 is built in as the irradiation side optical element 3 different from the irradiation side optical element 3 provided in the element unit 30. The filter 33 is provided so as to cover the irradiation side optical element 3 from above. The filter 33 is detachably attached to the element holding frame 31 via the filter frame 34. As the filter 33, for example, a wavelength selection filter that selects a wavelength of light to be irradiated is used.

一方、上部ユニット４は、光照射器全体の冷却のための空間を確保する等の目的で設けられたユニットである。上部ユニット４は、全体としてはミラーユニット２０や光源ユニット１０等と同定の長さ及び幅を有する箱状である。上部ユニット４は、下面にミラーユニット２０からの冷却風が流入する流入口４１を有し、上面に冷却筒４２を有している。冷却筒４２は、生産ラインに配備された冷却用の排気筒６に嵌め込まれている。但し、両者は固定されておらず隙間があり、静止した排気筒６に対して上部ユニット４全体が上下動することが可能となっている。 On the other hand, the upper unit 4 is a unit provided for the purpose of ensuring a space for cooling the entire light irradiator. The upper unit 4 as a whole has a box shape having an identification length and width with the mirror unit 20, the light source unit 10, and the like. The upper unit 4 has an inlet 41 through which cooling air from the mirror unit 20 flows on the lower surface, and a cooling cylinder 42 on the upper surface. The cooling cylinder 42 is fitted in the cooling exhaust cylinder 6 provided in the production line. However, both are not fixed and there is a gap, and the entire upper unit 4 can move up and down with respect to the stationary exhaust cylinder 6.

流入口４１は、光源１の長さに対して十分な構造（大きさ、数等）で設けられている。排気筒６から排気がされると、光照射器内全体に冷却風が流れる。冷却風は、上部ユニット４内の空間を経由して排出される。この冷却により、光源１やミラー２、照射側光学素子３などの昇温が抑えられるようになっている。この他、上部ユニット４には、光源１の点灯回路等の設備が収容されることもある。 The inlet 41 is provided with a structure (size, number, etc.) sufficient for the length of the light source 1. When the exhaust pipe 6 is exhausted, cooling air flows throughout the light irradiator. The cooling air is discharged through the space in the upper unit 4. By this cooling, the temperature rise of the light source 1, the mirror 2, the irradiation side optical element 3, etc. is suppressed. In addition, equipment such as a lighting circuit of the light source 1 may be accommodated in the upper unit 4.

図３は、図１及び図２に示す光照射器の使用例を示した斜視概略図である。この例では、光照射の対象は、液晶基板Ｓとなっており、光配向膜を得るために偏光光を照射する用途で使用される例となっている。
液晶基板Ｓ上には光配向膜用の膜が予め形成されており、液晶基板Ｓはステージ７１上に載置される。ステージ７１は搬送機構７２によって搬送され、光照射器１００の直下を通過する。この際、ステージ上の液晶基板Ｓには光照射器１００によって偏光光が照射され、膜が光配向処理される。これにより、液晶基板Ｓ上に光配向膜が得られた状態となる。 FIG. 3 is a schematic perspective view showing an example of use of the light irradiator shown in FIGS. 1 and 2. In this example, the target of light irradiation is the liquid crystal substrate S, which is an example used for the purpose of irradiating polarized light to obtain a photo-alignment film.
A film for a photo-alignment film is formed in advance on the liquid crystal substrate S, and the liquid crystal substrate S is placed on the stage 71. The stage 71 is transported by the transport mechanism 72 and passes directly under the light irradiator 100. At this time, the liquid crystal substrate S on the stage is irradiated with polarized light by the light irradiator 100, and the film is subjected to photo-alignment processing. Thereby, the photo-alignment film is obtained on the liquid crystal substrate S.

このような実施形態の光照射器は、メンテナンスを考慮した構造を採用している。メンテナンスには、光源１の交換や、ミラー２、照射用光学素子３等のクリーニングが含まれる。具体的には、実施形態の光照射器は、移動機構８を備えており、メンテナンスのため、素子ユニット３０の上側の各ユニット４，１０，２０について、任意の境界部分で分離させ、分離箇所から上側のユニットを全体に上側に移動させることができるようになっている。以下、この点について説明する。 The light irradiator of such an embodiment adopts a structure considering maintenance. Maintenance includes replacement of the light source 1 and cleaning of the mirror 2, the irradiation optical element 3, and the like. Specifically, the light irradiator of the embodiment includes the moving mechanism 8, and for maintenance, the units 4, 10, and 20 on the upper side of the element unit 30 are separated at an arbitrary boundary portion, and separated portions The upper unit can be moved upward as a whole. Hereinafter, this point will be described.

この実施形態では、最も上側に位置するのは上部ユニット４であり、移動機構８は、直接的には上部ユニット４を上下動させるものとなっている。即ち、移動機構８は、上部ユニット４に連結された直線駆動源８１と、直線駆動源８１による上部ユニット４の上下動をガイドするリニアガイド８２とから主に構成されている。
直線駆動源８１としては、この実施形態ではエアシリンダが用いられている。直線駆動源８１は、上部ユニット４の長さ方向の両端に配置されており、各直線駆動源８１の出力軸は、上部ユニット４の両側の端面に固定されている。各直線駆動源８１は同期して駆動されるようになっており、この駆動により上部ユニット４が上下動する。
なお、直線駆動源８１はモータを使用したボールねじ駆動やベルト駆動であってもよい。 In this embodiment, the upper unit 4 is positioned on the uppermost side, and the moving mechanism 8 directly moves the upper unit 4 up and down. That is, the moving mechanism 8 mainly includes a linear drive source 81 connected to the upper unit 4 and a linear guide 82 that guides the vertical movement of the upper unit 4 by the linear drive source 81.
As the linear drive source 81, an air cylinder is used in this embodiment. The linear drive sources 81 are disposed at both ends in the length direction of the upper unit 4, and the output shafts of the respective linear drive sources 81 are fixed to both end faces of the upper unit 4. Each linear drive source 81 is driven synchronously, and the upper unit 4 moves up and down by this drive.
The linear drive source 81 may be a ball screw drive or a belt drive using a motor.

リニアガイド８２は、上部ユニット４の両端において直線駆動源８１を挟んだ一対のものとなっている。従って、図１に示すように、四本のリニアガイド８２が設けられている。各リニアガイド８２は、直線駆動源８１の駆動軸と平行であり、従って上下方向に直線性良く延びている。尚、光照射器の長さ方向の両端には、それぞれ架台１０１が設けられており、各リニアガイド８２及び各直線駆動源８１は、それぞれ架台１０１上に固定されている。尚、上部ユニット４は、直線駆動源によって駆動された際に歪み等が生じないように、不図示の骨格部材によって保持されている。各直線駆動源８１は、骨格部材を介して上部ユニット４に連結されている。 The linear guide 82 is a pair that sandwiches the linear drive source 81 at both ends of the upper unit 4. Therefore, as shown in FIG. 1, four linear guides 82 are provided. Each linear guide 82 is parallel to the drive shaft of the linear drive source 81, and thus extends in the vertical direction with good linearity. In addition, the bases 101 are provided at both ends in the length direction of the light irradiator, and the linear guides 82 and the linear drive sources 81 are fixed on the base 101, respectively. The upper unit 4 is held by a skeleton member (not shown) so as not to be distorted when driven by a linear drive source. Each linear drive source 81 is connected to the upper unit 4 via a skeleton member.

一方、実施形態の光照射器は、上記のように移動機構８が上部ユニット４を上下動させる際、上部ユニット４と一体に移動させるユニットを選択するための選択機構９を備えている。選択機構９について、図１、図２、図４及び図５を使用して説明する。図４は、選択機構９の主要部の斜視概略図、図５は図４に示す選択機構９におけるスライダ９２の斜視概略図である。
選択機構９は、ピンブロック９１と、ピンブロック９１をスライドさせるスライダ９２等から構成されている。スライダ９２は、上部ユニット４よりも少し大きい長方形の枠状の部材である。スライダ９２の短辺のうち、一方の短辺は選択操作の際に掴んで操作される部位となっている。以下、この短辺の側を操作側と呼び、操作側とは反対側を奥側と呼ぶ。 On the other hand, the light irradiator of the embodiment includes the selection mechanism 9 for selecting a unit that moves together with the upper unit 4 when the movement mechanism 8 moves the upper unit 4 up and down as described above. The selection mechanism 9 is demonstrated using FIG.1, FIG.2, FIG.4 and FIG. 4 is a schematic perspective view of a main part of the selection mechanism 9, and FIG. 5 is a schematic perspective view of a slider 92 in the selection mechanism 9 shown in FIG.
The selection mechanism 9 includes a pin block 91 and a slider 92 that slides the pin block 91. The slider 92 is a rectangular frame member that is slightly larger than the upper unit 4. Of the short sides of the slider 92, one short side is a part that is gripped and operated during the selection operation. Hereinafter, the short side is referred to as the operation side, and the opposite side to the operation side is referred to as the back side.

一方、図２に示すように、上部ユニット４は、外カバー４３を有している。外カバー４３は、光源１よりも少し長い長方形の水平断面形状を成す枠状である。図２に示すように、外カバー４３には、袖板４４が固定されている。袖板４４は、外カバー４３の内面から内側に突出するよう設けられている。袖板４４は、外枠の両側の長辺部に設けられており、長さ方向に少なくとも２箇所に設けられている。そして、袖板４４には、スライダ９２用の開口が形成されており、この開口にスライダ９２が挿通されている。 On the other hand, as shown in FIG. 2, the upper unit 4 has an outer cover 43. The outer cover 43 is a frame shape having a rectangular horizontal cross-sectional shape that is slightly longer than the light source 1. As shown in FIG. 2, a sleeve plate 44 is fixed to the outer cover 43. The sleeve plate 44 is provided so as to protrude inward from the inner surface of the outer cover 43. The sleeve plates 44 are provided on the long side portions on both sides of the outer frame, and are provided in at least two places in the length direction. An opening for the slider 92 is formed in the sleeve plate 44, and the slider 92 is inserted through this opening.

図４及び図５に示すように、ピンブロック９１は、スライダ９２に固定されている。ピンブロック９１は複数設けられており、スライダ９２の各長辺の部分に２個〜３個程度設けられている。各ピンブロック９１は、二つのピン９３，９４を有している。一方のピン（以下、第一ピン）９３は、各ピンブロック９１においてやや上部に位置し、奥側の端面から奥側に向けて水平に突出している。他方のピン（以下、第二ピン）９４は、各選択用ブロックにおいて第一ピン９３よりも下部に位置し、操作側の端面から操作側に水平に突出している。 As shown in FIGS. 4 and 5, the pin block 91 is fixed to the slider 92. A plurality of pin blocks 91 are provided, and two to three pin blocks 91 are provided on each long side portion of the slider 92. Each pin block 91 has two pins 93 and 94. One pin (hereinafter referred to as a first pin) 93 is positioned slightly above each pin block 91 and protrudes horizontally from the end face on the back side toward the back side. The other pin (hereinafter, second pin) 94 is positioned below the first pin 93 in each selection block, and protrudes horizontally from the operation side end face to the operation side.

各ピンブロック９１における第一ピン９３又は第二ピン９４が選択的に嵌合するものとして、ミラーユニット２０は第一ピン孔ブロック２４を備えており、光源ユニット１０は第二ピン孔ブロック１５を備えている。即ち、図４に示すように、ミラー保持フレーム２１は、光源１の長さ方向に延びるフランジ部（以下、ミラー保持フランジ部）２１１を有しており、第一ピン孔ブロック２４はミラー保持フランジ部２１１に固定されている。また、同様に、光源保持フレーム１１は、光源１の長さ方向に延びるフランジ部（以下、光源保持フランジ部）１１１を有している。第二ピン孔ブロック１５は光源保持フランジ部１１１に固定されている。 As the first pin 93 or the second pin 94 in each pin block 91 is selectively fitted, the mirror unit 20 includes the first pin hole block 24, and the light source unit 10 includes the second pin hole block 15. I have. That is, as shown in FIG. 4, the mirror holding frame 21 has a flange portion (hereinafter referred to as a mirror holding flange portion) 211 extending in the length direction of the light source 1, and the first pin hole block 24 is a mirror holding flange. The part 211 is fixed. Similarly, the light source holding frame 11 has a flange portion (hereinafter referred to as a light source holding flange portion) 111 extending in the length direction of the light source 1. The second pin hole block 15 is fixed to the light source holding flange portion 111.

通常状態では、素子ユニット３０の上に光源ユニット１０が載り、光源ユニット１０の上にミラーユニット２０が載り、ミラーユニット２０の上に上部ユニット４が載っている。即ち、図２及び図４に示すように、素子ユニット３０の素子保持フレーム３１上に光源保持フランジ部１１１が載っており、光源保持フランジ部１１１の上にミラー保持フランジ部２１１が載っており、ミラー保持フランジ部２１１の上に上部ユニット４の外カバー４３を支持するフレームが載っている。尚、上部ユニット４の外カバー４３は、ミラーユニット２０や光源ユニット１０についての目隠しにもなっており、通常状態では外カバー４３により内部のミラーユニット２０や光源ユニット１０が見えないようになっている。 In the normal state, the light source unit 10 is placed on the element unit 30, the mirror unit 20 is placed on the light source unit 10, and the upper unit 4 is placed on the mirror unit 20. That is, as shown in FIGS. 2 and 4, the light source holding flange 111 is placed on the element holding frame 31 of the element unit 30, and the mirror holding flange 211 is placed on the light source holding flange 111. A frame for supporting the outer cover 43 of the upper unit 4 is placed on the mirror holding flange portion 211. The outer cover 43 of the upper unit 4 also serves as a blindfold for the mirror unit 20 and the light source unit 10, and the inner mirror unit 20 and the light source unit 10 cannot be seen by the outer cover 43 in a normal state. Yes.

この際、ピンブロック９１や第一ピン孔ブロック２４が光源保持フランジ部１１１に干渉しないよう、図６に示すように、光源保持フランジ部１１１には切り欠き（符号省略）が設けられている。通常状態では、ピンブロック９１や第一ピン孔ブロック２４はこの切り欠き内に位置する。
また、第一ピン孔ブロック２４には、光源１の長さ方向に貫通したピン孔（以下、第一ピン孔）２４１が形成されており、第二ピン孔ブロック１５にも、光源１の長さ方向に貫通したピン孔（以下、第二ピン孔）１５１が形成されている。通常状態では、ピンブロック９１の第一ピン９３が第一ピン孔２４１と同じ高さに位置し、第二ピン９４が第二ピン孔１５１と同じ高さに位置する。 At this time, as shown in FIG. 6, the light source holding flange portion 111 is provided with a notch (not shown) so that the pin block 91 and the first pin hole block 24 do not interfere with the light source holding flange portion 111. In a normal state, the pin block 91 and the first pin hole block 24 are located in this notch.
The first pin hole block 24 is formed with a pin hole (hereinafter referred to as a first pin hole) 241 penetrating in the length direction of the light source 1, and the second pin hole block 15 also has a length of the light source 1. A pin hole (hereinafter referred to as a second pin hole) 151 penetrating in the vertical direction is formed. In the normal state, the first pin 93 of the pin block 91 is located at the same height as the first pin hole 241, and the second pin 94 is located at the same height as the second pin hole 151.

長方形の枠状であるスライダ９２のうち、操作側の短辺部９２１は、図５に示すように取っ手状となっている（以下、取っ手部と呼ぶ）。上下動させるユニットの切り替えの際には、作業者がこの取っ手部９２１を掴み、手前側にスライダ９２を引いたり奥側に押したりしてスライダ９２の位置を調節する。この点について、図６〜図１０を使用して説明する。図６〜図１０は、選択機構９によるモードの選択について示した図であり、図６及び図７は、選択機構９の動作状態を示した斜視概略図、図８〜１０は、各ユニットの移動状態について示した側面断面概略図である。 Of the slider 92 having a rectangular frame shape, the short side portion 921 on the operation side has a handle shape as shown in FIG. 5 (hereinafter referred to as a handle portion). When switching the unit to be moved up and down, the operator grasps the handle portion 921 and adjusts the position of the slider 92 by pulling the slider 92 toward the front side or pushing it toward the rear side. This point will be described with reference to FIGS. FIGS. 6 to 10 are diagrams showing selection of modes by the selection mechanism 9. FIGS. 6 and 7 are perspective schematic views showing an operation state of the selection mechanism 9, and FIGS. It is the side surface sectional schematic shown about the movement state.

選択機構９は、上部ユニット４のみ上下動させる第一モードと、上部ユニット４及びミラーユニット２０を一体に上下動させる第二モードと、上部ユニット４、ミラーユニット２０及び光源ユニット１０を一体に上下動させる第三モードの中から任意のモードを選択して移動機構８を動作させる機構となっている。 The selection mechanism 9 includes a first mode in which only the upper unit 4 is moved up and down, a second mode in which the upper unit 4 and the mirror unit 20 are moved up and down integrally, and the upper unit 4, the mirror unit 20 and the light source unit 10 are moved up and down integrally. The moving mechanism 8 is operated by selecting an arbitrary mode from the third mode to be moved.

第一モードで移動機構８を動作させる場合、図４に示すように、ピンブロック９１が第一ピン孔ブロック２４と第二ピン孔ブロック１５の丁度真ん中の位置になるようにスライダ９２の位置を調節する。この位置（以下、第一モード位置と呼ぶ）では、第一ピン９３は第一ピン孔ブロック２４から離れた状態であり、第一ピン孔２４１には挿入されていない状態である。また、第二ピン９４についても、第二ピン孔ブロック１５から離れた状態であり、第二ピン孔１５１には挿入されていない状態である。
また、第二モードで移動機構８を動作させる場合、図６に示すように、スライダ９２を奥側に押し出し、第一ピン９３が第一ピン孔２４１に挿入される状態とする（この位置を、第二モード位置と呼ぶ）。第三モードで移動機構８を動作させる場合は、これとは逆で、図７に示すように、スライダ９２を手前側に引き、第二ピン９４が第二ピン孔１５１に挿入された状態とする。 When the moving mechanism 8 is operated in the first mode, as shown in FIG. 4, the slider 92 is positioned so that the pin block 91 is exactly in the middle of the first pin hole block 24 and the second pin hole block 15. Adjust. At this position (hereinafter referred to as the first mode position), the first pin 93 is in a state of being separated from the first pin hole block 24 and not being inserted into the first pin hole 241. Further, the second pin 94 is also in a state of being separated from the second pin hole block 15 and not being inserted into the second pin hole 151.
Further, when the moving mechanism 8 is operated in the second mode, as shown in FIG. 6, the slider 92 is pushed out to the back side, and the first pin 93 is inserted into the first pin hole 241 (this position is changed to this position). , Called the second mode position). When operating the moving mechanism 8 in the third mode, the opposite is the case. As shown in FIG. 7, the slider 92 is pulled toward the front, and the second pin 94 is inserted into the second pin hole 151. To do.

図２に示すように、スライダ９２は上部ユニット４の袖板４４に貫通しているので、移動機構８が動作して上部ユニット４を上昇させると、上部ユニット４とともにスライダ９２が上昇する。この際、第一モードの場合には、ピンブロック９１のいずれのピン９３，９４もピン孔２４１，１５１に挿入されていないので、ピンブロック９１は、第一第二のピン孔ブロック２４，１５のいずれからも切り離され、スライダ９２とともに上昇していく。このため、図８に示すように、ミラーユニット２０、光源ユニット１０及び素子ユニット３０はそのまま静止した状態であり、上部ユニット４のみが上昇する。 As shown in FIG. 2, since the slider 92 penetrates the sleeve plate 44 of the upper unit 4, when the moving mechanism 8 operates to raise the upper unit 4, the slider 92 rises together with the upper unit 4. At this time, in the first mode, since none of the pins 93 and 94 of the pin block 91 is inserted into the pin holes 241 and 151, the pin block 91 is used as the first and second pin hole blocks 24 and 15. It is separated from any of the above and rises together with the slider 92. For this reason, as shown in FIG. 8, the mirror unit 20, the light source unit 10, and the element unit 30 remain stationary as they are, and only the upper unit 4 rises.

また、第二モードの状態で移動機構８が動作すると、図６に示すように、第一ピン９３が第一ピン孔２４１に挿入された状態でスライダ９２が上昇するので、第一ピン孔ブロック２４を介してスライダ９２がミラーユニット２０を保持した状態となる。このため、図９に示すように、上部ユニット４とミラーユニット２０とが一体に上昇していく。
また、第三モードの状態で移動機構８が動作すると、図７に示すように、第二ピン９４が第二ピン孔１５１に挿入された状態でスライダ９２が上昇するので、第二ピン孔ブロック１５を介してスライダ９２が光源ユニット１０を保持した状態となる。このため、図１０に示すように、上部ユニット４とミラーユニット２０と光源ユニット１０とが一体に上昇していく。 Further, when the moving mechanism 8 operates in the second mode, the slider 92 moves up with the first pin 93 inserted into the first pin hole 241 as shown in FIG. 24, the slider 92 holds the mirror unit 20. For this reason, as shown in FIG. 9, the upper unit 4 and the mirror unit 20 rise integrally.
Further, when the moving mechanism 8 operates in the third mode, the slider 92 moves up with the second pin 94 inserted into the second pin hole 151 as shown in FIG. 15, the slider 92 holds the light source unit 10. For this reason, as shown in FIG. 10, the upper unit 4, the mirror unit 20, and the light source unit 10 rise integrally.

図８に示すように、第一モードで移動機構８が動作すると、上部ユニット４のみが上昇するから、ミラーユニット２０が露出した状態となる。このため、上部ユニット４内の収蔵部品の交換やミラー２の交換といったメンテナンスが可能となる。例えばミラー２については、ミラー保持フレーム２１はミラー２を保持した状態で取り外して上方に引き上げることが可能となっている。ミラー２の交換を行う場合、第一モードで移動機構８を動作させ、上部ユニット４とミラーユニット２０との間にスペースを設けてから、ミラー保持フレーム２１ごとミラー２を引き上げて取り外し、その後、ミラー２を交換する。 As shown in FIG. 8, when the moving mechanism 8 operates in the first mode, only the upper unit 4 rises, so that the mirror unit 20 is exposed. For this reason, maintenance such as replacement of stored parts in the upper unit 4 and replacement of the mirror 2 can be performed. For example, with respect to the mirror 2, the mirror holding frame 21 can be removed while the mirror 2 is held and pulled upward. When exchanging the mirror 2, the moving mechanism 8 is operated in the first mode, a space is provided between the upper unit 4 and the mirror unit 20, the mirror 2 is pulled up and removed together with the mirror holding frame 21, and then Replace the mirror 2.

また、図９に示すように、第二モードで移動機構８が動作すると、上部ユニット４とミラーユニット２０とが上昇するから、ミラーユニット２０と光源ユニット１０との間にスペースができ、このスペースを利用して適宜のメンテナンスが行える。例えば、光源１の交換の場合には、両端の口金を端子から取り外し、押さえ具１３を取り除いた後、両端の口金の部分を持ちながら光源１を上方に引き上げる。そして、ミラーユニット２０と光源ユニット１０との間のスペースから横に光源１を引き出して光照射器から取り出し、新しい光源１と交換する。また、ミラー２の反射面のクリーニングについても、上記第二モードにより行える。 Further, as shown in FIG. 9, when the moving mechanism 8 operates in the second mode, the upper unit 4 and the mirror unit 20 rise, so that a space is created between the mirror unit 20 and the light source unit 10, and this space Appropriate maintenance can be performed using. For example, in the case of replacement of the light source 1, the bases at both ends are removed from the terminals, the presser 13 is removed, and then the light source 1 is pulled upward while holding the base portions at both ends. Then, the light source 1 is pulled out from the space between the mirror unit 20 and the light source unit 10 and taken out from the light irradiator, and is replaced with a new light source 1. Also, the cleaning of the reflecting surface of the mirror 2 can be performed in the second mode.

また、図１０に示すように、第三モードで移動機構８が動作すると、上部ユニット４とミラーユニット２０と光源ユニット１０とが上昇するから、光源ユニット１０と素子ユニット３０との間にスペースが形成される。このスペースを利用して適宜のメンテナンスが可能となる。例えば、フィルタ３３をクリーニングしたり、フィルタ３３を取り外して照射側光学素子３を交換したりするメンテナンスも可能となる。 As shown in FIG. 10, when the moving mechanism 8 operates in the third mode, the upper unit 4, the mirror unit 20, and the light source unit 10 rise, so that there is a space between the light source unit 10 and the element unit 30. It is formed. Appropriate maintenance can be performed using this space. For example, it is possible to perform maintenance such as cleaning the filter 33 or removing the filter 33 and replacing the irradiation side optical element 3.

移動機構８による移動距離（直線駆動源８１のストローク長）は、上記各メンテナンス作業との関係で最適化される。例えば、上記各メンテナンス作業のうち最もスペースを要するメンテナンス作業に合わせて移動距離が決定され、直線駆動源８１のストローク長が設定される。もしくは、必要な移動距離を幾つか設定し、上記モード毎に異なる移動距離としても良い。
また、選択機構９は、上記各モードでの移動機構８の動作が確実に行えるようピンブロック９１の位置をモニタするセンサ９５１〜９５３を備えている。センサ９５１〜９５３は、スライダ９２の位置を検出することで間接的にピンブロック９１の位置をモニタするようになっている。具体的には、図５に示すように、スライダ９２の一方の長辺部のうち、取っ手部９２１に近い位置には、検出板９６が固定されている。 The movement distance (stroke length of the linear drive source 81) by the movement mechanism 8 is optimized in relation to the above maintenance operations. For example, the movement distance is determined in accordance with the maintenance work requiring the most space among the above maintenance work, and the stroke length of the linear drive source 81 is set. Alternatively, several necessary movement distances may be set, and different movement distances may be used for each mode.
The selection mechanism 9 includes sensors 951 to 953 that monitor the position of the pin block 91 so that the movement mechanism 8 can be reliably operated in each mode. The sensors 951 to 953 are configured to indirectly monitor the position of the pin block 91 by detecting the position of the slider 92. Specifically, as shown in FIG. 5, a detection plate 96 is fixed at a position near one of the long sides of the slider 92 near the handle portion 921.

そして、図５に示すように、検出板９６の位置を検出する三つのセンサ９５１〜９５３が設けられている。三つのセンサ９５１〜９５３は、いずれもフォトセンサであり、検出板９６によって遮光されることで位置を検出するものである。三つのセンサのうち、第一センサ９５１はピンブロック９１が第一モード位置に位置すると検出板９６が遮光する位置に設けられている。第二センサ９５２はピンブロック９１が第二モード位置に位置すると検出板９６が遮光する位置に設けられている。第三センサ９５３はピンブロック９１が第三モード位置に位置すると検出板９６が遮光する位置に設けられている。 And as shown in FIG. 5, the three sensors 951-953 which detect the position of the detection board 96 are provided. The three sensors 951 to 953 are all photosensors, and detect the position by being shielded from light by the detection plate 96. Of the three sensors, the first sensor 951 is provided at a position where the detection plate 96 shields light when the pin block 91 is positioned at the first mode position. The second sensor 952 is provided at a position where the detection plate 96 shields light when the pin block 91 is positioned at the second mode position. The third sensor 953 is provided at a position where the detection plate 96 shields light when the pin block 91 is positioned at the third mode position.

各センサ９５１〜９５３は、不図示の表示部につながっている。表示部は、いずれのセンサ９５１〜９５３がオンになっているかを表示するものであり、ピンブロック９１がどの位置にあるかが確認できるようになっている。作業者は、表示部を見ながら取っ手部９２１を持ってスライダ９２を動かし、三つのうちの所望の位置にピンブロック９１を位置させ、この状態で移動機構８を動作させる。表示部は、各センサにＬＥＤのようなモニタランプが接続されたシンプルなものであっても良いし、動作状態を表示するディスプレイであっても良い。 Each sensor 951 to 953 is connected to a display unit (not shown). The display unit displays which sensor 951 to 953 is turned on, so that the position of the pin block 91 can be confirmed. The operator moves the slider 92 while holding the handle portion 921 while looking at the display portion, positions the pin block 91 at a desired position among the three, and operates the moving mechanism 8 in this state. The display unit may be a simple one in which a monitor lamp such as an LED is connected to each sensor, or may be a display that displays an operation state.

上記構成に係る実施形態の光照射器によれば、光源保持フレーム１１から分離した状態で光源１の長さ方向に垂直な方向に且つミラー２が光源１から遠ざかる向きにミラー保持フレーム２１が移動するので、光源保持フレーム１１を長さ方向に引き出して光源１を交換する必要が無くなる。このため、長尺な光源１を使用する場合にも交換のためだけに広いスペースが必要になることはない。
また、実施形態の光照射器は、ミラーユニット２０の上側に上部ユニット４を有するが、ミラー保持フレーム２１から分離した状態で上部ユニット４がミラー２から遠ざかる向きに移動するので、ミラー２についても長手方向に引き出すことなくメンテナンスが行える。このため、メンテナンスのために広いスペースが必要になることはない。 According to the light irradiator of the embodiment according to the configuration described above, the mirror holding frame 21 moves in a direction perpendicular to the length direction of the light source 1 and in a direction in which the mirror 2 moves away from the light source 1 while being separated from the light source holding frame 11. Therefore, it is not necessary to replace the light source 1 by pulling out the light source holding frame 11 in the length direction. For this reason, even when the long light source 1 is used, a large space is not required only for replacement.
In addition, the light irradiator of the embodiment has the upper unit 4 on the upper side of the mirror unit 20, but the upper unit 4 moves away from the mirror 2 in a state separated from the mirror holding frame 21. Maintenance can be performed without pulling out in the longitudinal direction. For this reason, a large space is not required for maintenance.

また、実施形態の光照射器は、光源ユニット１０の下側に照射側光学素子３を有するが、素子保持フレーム３１から分離した状態で光源保持フレーム１１が照射側光学素子３から遠ざかる向きに移動するので、照射側光学素子３についても長手方向に引き出すことなくメンテナンスが行える。このため、メンテナンスのために広いスペースが必要になることはない。
尚、交換やクリーニング等のメンテナンスの際、作業者は、光照射器の長手方向の側面の脇に立つ。図３に示すように、実施形態の光照射器では、ワーク（この例では液晶基板Ｓ）の搬送機構を構成するリニアガイドやボールネジがあるが、これをまたぐようにして立って作業を行う。 The light irradiator according to the embodiment includes the irradiation side optical element 3 below the light source unit 10, but moves in a direction in which the light source holding frame 11 moves away from the irradiation side optical element 3 in a state of being separated from the element holding frame 31. Therefore, the irradiation side optical element 3 can also be maintained without being pulled out in the longitudinal direction. For this reason, a large space is not required for maintenance.
In addition, when performing maintenance such as replacement or cleaning, the operator stands beside the side surface in the longitudinal direction of the light irradiator. As shown in FIG. 3, in the light irradiator of the embodiment, there are a linear guide and a ball screw that constitute a conveyance mechanism of a workpiece (in this example, the liquid crystal substrate S), and the work is performed standing across the linear guide and the ball screw.

上記実施形態では、移動機構８による移動方向は上下方向であったが、これは光源１が水平な姿勢で配置され、ミラー２が水平方向に長いものであったためである。例えば、光源１が垂直方向に沿って配置され、ミラー２が垂直方向に長いものである場合、移動方向は水平方向となる。この場合も、移動の向きは、ミラー２が光源１から遠ざかる向きである。
また、移動機構８の動作モードを選択する選択機構９としては、前述した機構以外にも適宜のものを採用し得る。例えば、移動機構８がフォークリフトのフォークのような支持部材を駆動するものであり、支持部材を各ユニットの境界部分に挿入可能な構造とし、任意の境界部分に支持部材を挿入して引き上げることで移動させる構成が考えられる。 In the above embodiment, the moving direction by the moving mechanism 8 is the vertical direction because the light source 1 is arranged in a horizontal posture and the mirror 2 is long in the horizontal direction. For example, when the light source 1 is arranged along the vertical direction and the mirror 2 is long in the vertical direction, the moving direction is the horizontal direction. Also in this case, the direction of movement is the direction in which the mirror 2 moves away from the light source 1.
Further, as the selection mechanism 9 for selecting the operation mode of the moving mechanism 8, an appropriate one other than the above-described mechanism can be adopted. For example, the moving mechanism 8 drives a support member such as a fork of a forklift. The support member can be inserted into a boundary portion of each unit, and the support member can be inserted into an arbitrary boundary portion and pulled up. A configuration for moving the image is conceivable.

光照射器の用途としては、前述した光配向膜を得るための偏光光照射以外にも各種の用途があり得る。例えば、紫外線硬化型樹脂を硬化させるために紫外線を照射する光照射器や、フォトレジストの処理のために光照射する光照射器等があげられる。これら光照射器においても、照射領域が幅広化し、それに対応するためにより長尺な光源を使用することがあり、本願発明の適用が大きなメリットとなることがある。 As the use of the light irradiator, there can be various uses other than the irradiation of polarized light for obtaining the above-described photo-alignment film. For example, a light irradiator for irradiating ultraviolet rays for curing an ultraviolet curable resin, a light irradiator for irradiating light for processing a photoresist, and the like can be mentioned. Even in these light irradiators, the irradiation area becomes wider, and a longer light source may be used to cope with it, and application of the present invention may be a great merit.

１光源
１０光源ユニット
１１光源保持フレーム
２ミラー
２０ミラーユニット
２１ミラー保持フレーム
３照射側光学素子
３０素子ユニット
３１素子保持フレーム
４上部ユニット
４３外カバー
４４袖板
８移動機構
８１直線駆動源
８２リニアガイド
９選択機構
９１ピンブロック
９２スライダ
９３第一ピン
９４第二ピン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light source 10 Light source unit 11 Light source holding frame 2 Mirror 20 Mirror unit 21 Mirror holding frame 3 Irradiation side optical element 30 Element unit 31 Element holding frame 4 Upper unit 43 Outer cover 44 Sleeve plate 8 Moving mechanism 81 Linear drive source 82 Linear guide 9 Selection mechanism 91 Pin block 92 Slider 93 First pin 94 Second pin

Claims

A light illuminator comprising a long light source and a long mirror extending in the length direction of the light source and covering the light source from behind,
The light source is held by a light source holding frame,
The mirror is held by a mirror holding frame,
A moving mechanism for moving the mirror holding frame is provided,
The moving mechanism can move the mirror holding frame in a state separated from the light source holding frame, and the direction of movement of the mirror holding frame is perpendicular to the length direction of the light source, and the mirror moves away from the light source. The light irradiator is characterized in that the distance of movement is a distance at which the light source can be exchanged.

An irradiation side optical element is arranged on the opposite side of the light source from the mirror, and it is possible to irradiate the object with light through the irradiation side optical element,
The irradiation side optical element is held by an element holding frame,
The moving mechanism is capable of moving the mirror holding frame and the light source holding frame in a state separated from the element holding frame, and the direction of the movement is perpendicular to the length direction of the light source, and the light source and the light source The light irradiator according to claim 1, wherein the mirror is in a direction away from the irradiation side optical element, and the moving distance is a distance that enables the irradiation side optical element to be cleaned or replaced.

A rear unit is provided behind the mirror,
The moving mechanism is movable in a state where the rear unit is separated from the mirror holding frame and the light source holding frame, and the direction of this movement is a direction perpendicular to the length direction of the light source, 2. The light irradiator according to claim 1, wherein the light irradiator is in a direction away from the light source and the mirror, and the moving distance is a distance at which the mirror can be cleaned or replaced.

An irradiation side optical element is arranged on the opposite side of the light source from the mirror, and it is possible to irradiate the object with light through the irradiation side optical element,
The irradiation side optical element is held by an element holding frame,
The moving mechanism is capable of moving the mirror holding frame and the light source holding frame in a state separated from the element holding frame, and the direction of the movement is perpendicular to the length direction of the light source, and the light source and the light source The mirror is in a direction away from the irradiation side optical element, and the moving distance is a distance that enables the irradiation side optical element to be cleaned or replaced,
A rear unit is provided behind the mirror,
The moving mechanism is movable in a state where the rear unit is separated from the mirror holding frame, the light source holding frame, and the element holding frame, and the direction of the movement is a direction perpendicular to the length direction of the light source. The light irradiation according to claim 1, wherein the rear unit is in a direction away from the light source, the mirror, and the irradiation side optical element, and the moving distance is a distance at which the mirror can be cleaned or replaced. vessel.

The light source is arranged so that the length direction is a horizontal direction,
5. The light irradiator according to claim 1, wherein the moving direction is upward.