JP6613949B2 - Polarizing element unit and polarized light irradiation device - Google Patents

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Description

本発明は、偏光光を照射するための偏光素子ユニットおよび偏光光照射装置に関する。   The present invention relates to a polarizing element unit and a polarized light irradiation apparatus for irradiating polarized light.

近年、液晶パネルをはじめとする液晶表示素子の配向膜や、視野角補償フィルムの配向層などの配向処理に関し、所定の波長の偏光光を照射して配向を行う、光配向と呼ばれる技術が採用されている。
液晶パネルで用いられる光配向膜は、液晶パネルとともに大型化しており、このような幅広で帯状の長いワークに対して光配向を行うために、棒状のランプとワイヤーグリッド偏光素子とを組み合わせた偏光光照射装置が用いられている。
ワイヤーグリッド偏光素子は、光を透過するガラス基板に、一定の方向に延びる導電性または半導電性のライン・アンド・スペースパターンを有する。入射する光のうち、グリッドの長手方向に平行な偏光成分は大部分が反射もしくは吸収され、グリッドの長手方向に直交する偏光成分は透過する。
特許文献１には、複数のワイヤーグリッド偏光素子と、当該偏光素子をそれぞれ個別に保持するフレームとを備える偏光素子ユニットが開示されている。この偏光素子ユニットにおいて、各偏光素子はランプなどの線状光源に合わせて一列に並べられており、偏光素子を保持する各フレームには、それぞれ偏光素子の向きを調整するための調節機構が設けられている。 In recent years, a technique called photo-alignment has been adopted in which alignment is performed by irradiating polarized light of a predetermined wavelength with respect to alignment processing of alignment films for liquid crystal display elements such as liquid crystal panels and alignment layers for viewing angle compensation films. Has been.
The photo-alignment film used in the liquid crystal panel is enlarged with the liquid crystal panel, and in order to perform photo-alignment on such a wide and long strip-shaped workpiece, a polarization combining a rod-shaped lamp and a wire grid polarizing element. A light irradiation device is used.
The wire grid polarizing element has a conductive or semiconductive line and space pattern extending in a certain direction on a glass substrate that transmits light. Of the incident light, most of the polarization component parallel to the longitudinal direction of the grid is reflected or absorbed, and the polarization component orthogonal to the longitudinal direction of the grid is transmitted.
Patent Document 1 discloses a polarizing element unit including a plurality of wire grid polarizing elements and a frame for individually holding the polarizing elements. In this polarizing element unit, each polarizing element is arranged in a line according to a linear light source such as a lamp, and each frame holding the polarizing element is provided with an adjusting mechanism for adjusting the direction of the polarizing element. It has been.

特許第５６５２４２４号公報Japanese Patent No. 5562424

上記特許文献１に記載の技術にあっては、各偏光素子が、それぞれフレームに保持されているため、各フレームの部分、すなわち偏光素子の継ぎ目部分において光量の落ち込みが発生する。そのため、ランプ長手方向における偏光光の放射照度（以下、「照度」という。）の均一度が低下すると共に、全体の積算光量も低下する。
そこで、本発明は、偏光光の照度の均一性を向上させることができる偏光素子ユニットおよび偏光光照射装置を提供することを課題とする。 In the technique described in Patent Document 1, since each polarizing element is held by a frame, a drop in the amount of light occurs at the portion of each frame, that is, at the joint portion of the polarizing element. For this reason, the uniformity of the irradiance (hereinafter referred to as “illuminance”) of the polarized light in the longitudinal direction of the lamp is reduced, and the total integrated light quantity is also reduced.
Then, this invention makes it a subject to provide the polarizing element unit and polarized light irradiation apparatus which can improve the uniformity of the illumination intensity of polarized light.

上記課題を解決するために、本発明に係る偏光素子ユニットの一態様は、並べて配置された複数の偏光板と、第一の方向に延伸するとともに、前記複数の偏光板を、前記第一の方向に直交する第二の方向における両端部で保持するフレーム部材と、を備え、前記複数の偏光板は、それぞれ前記第一の方向および前記第二の方向に平行な面に対して傾斜し、かつ、前記第一の方向に対して同一方向に傾斜し、前記第一の方向の端部をそれぞれ互いに重ね合わせて配置されており、前記フレーム部材は、前記偏光板の前記第二の方向における両端部が載置される傾斜面を有する台座部材を備え、前記台座部材は、当該台座部材が載置している前記偏光板の傾斜方向の上側の方向に隣接している前記偏光板の傾斜方向の下端部に当接して、当該偏光板の前記傾斜方向の下側への移動を規制する第一の移動規制部を備える。
このように、各偏光板の配列方向端部がそれぞれ重ね合わせて配置されているため、偏光されていない光（非偏光光）が照射されることを防止することができる。また、偏光板の継ぎ目部分に光を遮蔽する部材を設けないため、偏光板の配列方向における照度の均一性を向上させることができ、全体として偏光光の照度も向上させることができる。 In order to solve the above-described problems, an aspect of the polarizing element unit according to the present invention includes a plurality of polarizing plates arranged side by side, and extending in the first direction, and the plurality of polarizing plates are connected to the first polarizing plate. Frame members that are held at both ends in a second direction orthogonal to the direction, and the plurality of polarizing plates are inclined with respect to a plane parallel to the first direction and the second direction, respectively. And it inclines in the same direction with respect to said 1st direction, and the end part of said 1st direction is arranged so that it may mutually overlap , said frame member in said 2nd direction of said polarizing plate A pedestal member having inclined surfaces on which both ends are placed, and the pedestal member is adjacent to the upper side of the inclination direction of the polarizing plate on which the pedestal member is placed. In contact with the lower end of the direction Comprising a first movement restricting portion for restricting the movement of the lower of the inclined direction.
As described above, since the end portions in the arrangement direction of the respective polarizing plates are arranged so as to overlap each other, it is possible to prevent irradiation with unpolarized light (unpolarized light). In addition, since the light shielding member is not provided at the joint portion of the polarizing plate, the uniformity of the illuminance in the arrangement direction of the polarizing plate can be improved, and the illuminance of the polarized light can be improved as a whole.

また、複数の偏光板は、第一の方向に対して同一方向に傾斜して配置されている。したがって、複数の偏光板のうち、いずれか１つを交換する場合、交換対象の偏光板以外を取り外すことなく、交換対象の偏光板を取り外すことができる。このように、偏光板の交換作業を容易に行うことができる。
さらに、台座部材によって、偏光板を容易に傾斜させて配置することができる。また、偏光板の傾斜方向下側への移動が規制されるため、偏光板を適切な位置に配置し、偏光板のＹ方向における重なり寸法を適切に設定することができる。 Also, multiple polarizing plate that is disposed inclined in the same direction to the first direction. Therefore , when replacing any one of the plurality of polarizing plates, it is possible to remove the replacement target polarizing plate without removing other than the replacement target polarizing plate. In this way, the polarizing plate can be easily replaced.
Furthermore, the polarizing plate can be easily tilted by the pedestal member. Moreover, since the downward movement of the polarizing plate in the tilt direction is restricted, the polarizing plate can be disposed at an appropriate position, and the overlapping dimension in the Y direction of the polarizing plate can be appropriately set.

さらに、上記の偏光素子ユニットにおいて、前記第一の移動規制部は、前記偏光板の傾斜方向の下端部を保護する材料により構成されていてもよい。この場合、偏光板の傾斜方向の下端部が第一の移動規制部によって破損するのを防止することができる。 Et al is, the polarization element unit described above, the first movement restricting portion may be formed of a material that protects the lower end of the inclined direction of the polarizing plate. In this case, it is possible to prevent the lower end portion in the tilt direction of the polarizing plate from being damaged by the first movement restricting portion.

また、上記の偏光素子ユニットにおいて、前記フレーム部材は、前記偏光板の前記第二の方向における両端部の上面と所定のクリアランスを有して配置されるカバー部材を備え、前記カバー部材は、当該カバー部材が配置されている前記偏光板の傾斜方向の下側の方向に隣接している前記偏光板の傾斜方向の上端部に近接して、当該偏光板の前記傾斜方向の上側への移動を規制する第二の移動規制部を備えてもよい。この場合、カバー部材によって、偏光板の第三の方向における上側への移動と、傾斜方向における上側への移動とを規制することができる。したがって、偏光板を適切な位置に配置させることができる。
また、本発明に係る偏光素子ユニットの一態様は、並べて配置された複数の偏光板と、第一の方向に延伸するとともに、前記複数の偏光板を、前記第一の方向に直交する第二の方向における両端部で保持するフレーム部材と、を備え、前記複数の偏光板は、それぞれ前記第一の方向および前記第二の方向に平行な面に対して傾斜し、かつ、前記第一の方向に対して同一方向に傾斜し、前記第一の方向の端部をそれぞれ互いに重ね合わせて配置されており、前記フレーム部材は、前記偏光板の前記第二の方向における両端部の上面と所定のクリアランスを有して配置されるカバー部材を備え、前記カバー部材は、当該カバー部材が配置されている前記偏光板の傾斜方向の下側の方向に隣接している前記偏光板の傾斜方向の上端部に近接して、当該偏光板の前記傾斜方向の上側への移動を規制する第二の移動規制部を備える。
このように、各偏光板の配列方向端部がそれぞれ重ね合わせて配置されているため、偏光されていない光（非偏光光）が照射されることを防止することができる。また、偏光板の継ぎ目部分に光を遮蔽する部材を設けないため、偏光板の配列方向における照度の均一性を向上させることができ、全体として偏光光の照度も向上させることができる。
また、複数の偏光板は、第一の方向に対して同一方向に傾斜して配置されている。したがって、複数の偏光板のうち、いずれか１つを交換する場合、交換対象の偏光板以外を取り外すことなく、交換対象の偏光板を取り外すことができる。このように、偏光板の交換作業を容易に行うことができる。
さらに、カバー部材によって、偏光板の第三の方向における上側への移動と、傾斜方向における上側への移動とを規制することができる。したがって、偏光板を適切な位置に配置させることができる。
さらに、上記の偏光素子ユニットにおいて、前記複数の偏光板は、それぞれ前記第一の方向および前記第二の方向に直交する第三の方向において所定のクリアランスを有して配置されていてもよい。この場合、偏光板が互いに傷をつけないようにすることができる。 Further, in the polarizing element unit described above, wherein said frame member includes a cover member which is arranged with a top surface and a predetermined clearance between both ends in the second direction of the polarizing plate, wherein the cover member includes the Close to the upper end of the polarizing plate adjacent to the lower direction of the polarizing plate in which the cover member is disposed, and to move the polarizing plate upward in the inclined direction. You may provide the 2nd movement control part to control. In this case, the cover member can restrict the upward movement of the polarizing plate in the third direction and the upward movement in the tilt direction. Therefore, the polarizing plate can be disposed at an appropriate position.
Moreover, one aspect of the polarizing element unit according to the present invention includes a plurality of polarizing plates arranged side by side and the second polarizing plate extending in the first direction and the plurality of polarizing plates orthogonal to the first direction. Each of the polarizing plates is inclined with respect to a plane parallel to the first direction and the second direction, and Inclined in the same direction with respect to the direction, and arranged such that end portions in the first direction are overlapped with each other, and the frame member has a predetermined surface and upper surfaces of both end portions in the second direction of the polarizing plate. The cover member is disposed with a clearance of 5 mm, and the cover member is adjacent to a lower direction of the tilt direction of the polarizing plate in which the cover member is disposed. Close to the top Comprising a second movement restricting portion for restricting the movement to the inclination direction of the upper polarizing plate.
As described above, since the end portions in the arrangement direction of the respective polarizing plates are arranged so as to overlap each other, it is possible to prevent irradiation with unpolarized light (unpolarized light). In addition, since the light shielding member is not provided at the joint portion of the polarizing plate, the uniformity of the illuminance in the arrangement direction of the polarizing plate can be improved, and the illuminance of the polarized light can be improved as a whole.
Further, the plurality of polarizing plates are arranged to be inclined in the same direction with respect to the first direction. Therefore, when replacing any one of the plurality of polarizing plates, it is possible to remove the replacement target polarizing plate without removing other than the replacement target polarizing plate. In this way, the polarizing plate can be easily replaced.
Furthermore, the upward movement in the third direction of the polarizing plate and the upward movement in the tilt direction can be restricted by the cover member. Therefore, the polarizing plate can be disposed at an appropriate position.
Furthermore, in the polarizing element unit, the plurality of polarizing plates may be arranged with a predetermined clearance in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction, respectively. In this case, the polarizing plates can be prevented from scratching each other.

また、本発明に係る偏光光照射装置の一態様は、光源と、前記光源からの光を偏光する上記のいずれかの偏光素子ユニットと、を備え、前記光源は、前記第一の方向に沿って配置されている。これにより、光源の長手方向における偏光光の照度の均一性を向上させた偏光光照射装置を実現することができる。 Moreover, one aspect of the polarized light irradiation apparatus according to the present invention includes a light source and any one of the polarizing element units that polarizes light from the light source, and the light source is along the first direction. Are arranged. Thereby, the polarized light irradiation apparatus which improved the uniformity of the illumination intensity of the polarized light in the longitudinal direction of the light source can be realized .

本発明によれば、偏光板を水平面に対して斜めに配置し、偏光板の配列方向端部を重ね合わせるので、非偏光光の漏れを防止しつつ、偏光板の配列方向における偏光光の照度の均一性を向上させることができる。   According to the present invention, the polarizing plate is disposed obliquely with respect to the horizontal plane, and the end portions of the polarizing plate in the arrangement direction are overlapped. Can improve the uniformity.

本実施形態の偏光光照射装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the polarized light irradiation apparatus of this embodiment. 偏光素子ユニットの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a polarizing element unit. 偏光素子ユニットの具体的構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the specific structure of a polarizing element unit. 偏光素子ユニットの偏光板を取り外した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which removed the polarizing plate of the polarizing element unit. 台座部材の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a base member. 偏光板とカバー部材との位置関係を示す図である。It is a figure which shows the positional relationship of a polarizing plate and a cover member. 偏光素子ユニットの組み立て手順を示す図である。It is a figure which shows the assembly procedure of a polarizing element unit. ランプ長手方向における積算露光量の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the integrated exposure amount in a lamp | ramp longitudinal direction.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
（第一の実施形態）
図１は、本実施形態の偏光光照射装置１００を示す概略構成図である。
偏光光照射装置１００は、光照射部１０と、ワークＷを搬送する搬送部２０とを備える。ここで、ワークＷは、例えば光配向膜が形成された矩形状の基板である。偏光光照射装置１００は、光照射部１０から偏光光（偏光した光）を照射しながら、搬送部２０によってワークＷを直線移動させ、ワークＷの光配向膜に上記偏光光を照射して光配向処理をする。
光照射部１０は、線状の光源であるランプ１１と、ランプ１１の光を反射するミラー１２とを備える。また、光照射部１０は、その光出射側に配置された偏光素子ユニット１３を備える。さらに、光出射部１０は、ランプ１１、ミラー１２および偏光素子ユニット１３を収容するランプハウス１４を備える。光照射部１０は、ランプ１１の長手方向をワークＷの搬送路が延在する方向である搬送方向に直交する方向に一致させた状態で設置されている。本明細書では、ワークＷの搬送方向Ｘ方向（第二の方向）、Ｘ方向に直交する水平方向をＹ方向（第一の方向）、鉛直方向をＺ方向（第三の方向）とする。
なお、図１では、灯具（光照射部）を１灯としているが、２灯以上であってもよい。灯具が２灯以上である場合、各灯具はＸ方向に並設される。灯具の数は、光配向処理に必要な光量やタクトタイム等に応じて決定することができる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a polarized light irradiation apparatus 100 of the present embodiment.
The polarized light irradiation device 100 includes a light irradiation unit 10 and a transport unit 20 that transports the workpiece W. Here, the workpiece W is, for example, a rectangular substrate on which a photo-alignment film is formed. The polarized light irradiation apparatus 100 linearly moves the workpiece W by the transport unit 20 while irradiating polarized light (polarized light) from the light irradiation unit 10, and irradiates the polarized light on the photo-alignment film of the workpiece W to generate light. Alignment treatment is performed.
The light irradiation unit 10 includes a lamp 11 that is a linear light source and a mirror 12 that reflects light from the lamp 11. Moreover, the light irradiation part 10 is equipped with the polarizing element unit 13 arrange | positioned at the light emission side. Further, the light emitting unit 10 includes a lamp house 14 that houses the lamp 11, the mirror 12, and the polarizing element unit 13. The light irradiation unit 10 is installed in a state in which the longitudinal direction of the lamp 11 coincides with a direction orthogonal to the transport direction in which the transport path of the workpiece W extends. In this specification, the conveyance direction X direction (second direction) of the workpiece W, the horizontal direction orthogonal to the X direction is the Y direction (first direction), and the vertical direction is the Z direction (third direction).
In addition, in FIG. 1, although the lamp (light irradiation part) is made into 1 light, 2 or more lights may be sufficient. When there are two or more lamps, the lamps are juxtaposed in the X direction. The number of lamps can be determined according to the amount of light, tact time, etc. required for the light alignment process.

以下、光照射部１０の具体的構成について説明する。
ランプ１１は長尺状のいわゆるロングアーク放電ランプであり、その発光部が、ワークＷの搬送方向に直交する方向の幅に対応する長さを有する。このランプ１１は、例えば、高圧水銀ランプや、水銀に他の金属とハロゲンとを加えたメタルハライドランプ、水銀以外の金属とハロゲンとが封入されたメタルハライドランプ等の放電ランプであり、封入発光種に応じて波長２００ｎｍ〜４００ｎｍの紫外光を放射する。
光配向膜の材料としては、波長２５４ｎｍの光で配向されるもの、波長３１３ｎｍの光で配向されるもの、波長３６５ｎｍの光で配向されるものなどが知られており、光源の種類は必要とされる波長に応じて適宜選択する。
なお、光源としては、紫外光を放射するＬＥＤやＬＤをＹ方向に直線状に並べて配置した線状光源を用いることもできる。その場合、ＬＥＤやＬＤを並べる方向がランプ１１の長手方向に相当する。 Hereinafter, a specific configuration of the light irradiation unit 10 will be described.
The lamp 11 is a long so-called long arc discharge lamp, and the light emitting portion thereof has a length corresponding to the width in the direction orthogonal to the conveying direction of the workpiece W. The lamp 11 is, for example, a discharge lamp such as a high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp in which other metal and halogen are added to mercury, or a metal halide lamp in which a metal other than mercury and halogen is enclosed. Accordingly, ultraviolet light having a wavelength of 200 nm to 400 nm is emitted.
As materials for the photo-alignment film, those that are aligned by light having a wavelength of 254 nm, those that are aligned by light having a wavelength of 313 nm, and materials that are aligned by light having a wavelength of 365 nm are known. It selects suitably according to the wavelength to be performed.
As the light source, a linear light source in which LEDs or LDs that emit ultraviolet light are arranged in a straight line in the Y direction can also be used. In that case, the direction in which the LEDs and LDs are arranged corresponds to the longitudinal direction of the lamp 11.

また、ショートアーク放電ランプや長さの短いロングアーク放電ランプをＹ方向に並べて配置してもよい。なお、長さの短いロングアーク放電ランプの場合、ランプの長手方向はＹ方向でもよいし、Ｘ方向でもよい。
ミラー１２は、ランプ１１からの放射光を所定の方向に反射するものであり、その断面が楕円形または放物線状の樋状集光鏡である。ミラー１２は、その長手方向がランプ１１の長手方向と一致するように配置されている。
ランプハウス１４は、その底面に、ランプ１１からの放射光およびミラー１２による反射光が通過する光出射口を有する。偏光素子ユニット１３は、ランプハウス１４の光出射口に取り付けられ、当該光出射口を通過する光を偏光する。 A short arc discharge lamp or a short arc discharge lamp having a short length may be arranged in the Y direction. In the case of a long arc discharge lamp having a short length, the longitudinal direction of the lamp may be the Y direction or the X direction.
The mirror 12 reflects the radiated light from the lamp 11 in a predetermined direction, and is a bowl-shaped condensing mirror whose section is elliptical or parabolic. The mirror 12 is arranged such that its longitudinal direction coincides with the longitudinal direction of the lamp 11.
The lamp house 14 has, on the bottom surface thereof, a light exit port through which radiated light from the lamp 11 and reflected light from the mirror 12 pass. The polarizing element unit 13 is attached to the light exit of the lamp house 14 and polarizes light passing through the light exit.

偏光素子ユニット１３は、図２に示すように、複数の偏光子（偏光板）１３ａをＹ方向、すなわち、本実施形態においてはランプ１１の長手方向に沿って並べて配置した構成を有する。これら複数の偏光板１３ａは、例えばフレーム部材１３ｂにより支持されている。偏光板１３ａは、例えば、ワイヤーグリッド型偏光素子であり、偏光板１３ａの個数は、偏光光を照射する領域の大きさに合わせて適宜選択される。なお、１つの偏光素子ユニット１３を構成する各偏光板１３ａは、それぞれ透過軸が同一方向を向くように配置されている。偏光素子ユニット１３の具体的構成については後述する。
搬送部２０は、ワークＷが載置されるステージ２１を備える。ステージ２１は、真空吸着等の方法によりワークＷを吸着保持可能な平板状のステージである。なお、本実施形態では、ステージ２１およびワークＷを矩形状としているが、これに限定するものではなく、任意の形状とすることができる。また、ワークＷを平板状のステージで吸着保持する構成に限定されるものではなく、複数のピンによってワークＷを吸着保持する構成であってもよい。 As shown in FIG. 2, the polarizing element unit 13 has a configuration in which a plurality of polarizers (polarizing plates) 13 a are arranged side by side along the Y direction, that is, the longitudinal direction of the lamp 11 in this embodiment. The plurality of polarizing plates 13a are supported by, for example, a frame member 13b. The polarizing plate 13a is, for example, a wire grid type polarizing element, and the number of the polarizing plates 13a is appropriately selected according to the size of the region to be irradiated with polarized light. In addition, each polarizing plate 13a which comprises the one polarizing element unit 13 is arrange | positioned so that a transmission axis may face the same direction, respectively. A specific configuration of the polarizing element unit 13 will be described later.
The transport unit 20 includes a stage 21 on which the workpiece W is placed. The stage 21 is a flat plate stage that can hold the work W by suction using a method such as vacuum suction. In the present embodiment, the stage 21 and the workpiece W are rectangular, but the present invention is not limited to this and may be any shape. Further, the configuration is not limited to the configuration in which the workpiece W is sucked and held by a flat plate stage, and may be a configuration in which the workpiece W is sucked and held by a plurality of pins.

また、搬送部２０は、ステージ２１をＸ方向に移動するためのＸ方向駆動機構２２を備える。Ｘ方向駆動機構２２は、例えばリニアモータ駆動機構であり、Ｘ方向に沿って延びる２本のガイド２２Ａと、２本のガイド２２Ａの間に配置されたマグネット板２２Ｂと、コイルモジュール２２Ｃとを備える。２本のガイド２２Ａとマグネット板２２Ｂとは、不図示の設置台の上面に配置されている。マグネット板２２Ｂは、隣り合う磁極の極性を交互に変えてＸ方向に等間隔で並べられた複数のマグネットにより構成されている。また、コイルモジュール２２Ｃは、ステージ２１の裏面の中央部に、マグネット板２２Ｂと対向するように取り付けられている。なお、Ｘ方向駆動機構２２としては、例えばボールねじを用いた機構を採用することもできる。
このように、ステージ２１は、搬送軸であるガイド２２Ａに沿ってＸ方向に往復移動可能に構成されている。なお、Ｘ方向駆動機構２２の構成は、図１に示す構成に限定されるものではなく、ステージ２１をＸ方向に移動可能な構成であれば任意の構成を採用することができる。 In addition, the transport unit 20 includes an X-direction drive mechanism 22 for moving the stage 21 in the X direction. The X direction drive mechanism 22 is, for example, a linear motor drive mechanism, and includes two guides 22A extending along the X direction, a magnet plate 22B disposed between the two guides 22A, and a coil module 22C. . The two guides 22 </ b> A and the magnet plate 22 </ b> B are disposed on the upper surface of an installation base (not shown). The magnet plate 22B is composed of a plurality of magnets arranged at equal intervals in the X direction by alternately changing the polarities of adjacent magnetic poles. The coil module 22C is attached to the center of the back surface of the stage 21 so as to face the magnet plate 22B. As the X-direction drive mechanism 22, for example, a mechanism using a ball screw can be adopted.
As described above, the stage 21 is configured to be capable of reciprocating in the X direction along the guide 22 </ b> A that is a conveyance axis. The configuration of the X-direction drive mechanism 22 is not limited to the configuration shown in FIG. 1, and any configuration can be adopted as long as the stage 21 can be moved in the X direction.

さらに、搬送部２０は、ステージ２１をθ方向（Ｚ軸回り）に回転可能な回転制御部を構成するθ移動機構２４を備えていてもよい。本実施形態では、ステージ２１は、固定ベース２５上にθ方向に回転可能に取り付けられており、θ移動機構２４は、ステージ２１のθ方向の回転角度を調整可能である。
ステージ２１の移動経路は、光照射部１０の真下を通るように設計されている。搬送部２０は、ワークＷを光照射部１０による偏光光の照射領域に搬送し、且つその照射領域を通過させるように構成されている。また、搬送部２０は、ワークＷが照射領域を完全に通過した後、当該ワークＷを折り返し、再び当該照射領域を通過させるように構成されていてもよい。 Furthermore, the transport unit 20 may include a θ movement mechanism 24 that constitutes a rotation control unit that can rotate the stage 21 in the θ direction (around the Z axis). In the present embodiment, the stage 21 is mounted on the fixed base 25 so as to be rotatable in the θ direction, and the θ moving mechanism 24 can adjust the rotation angle of the stage 21 in the θ direction.
The moving path of the stage 21 is designed to pass directly under the light irradiation unit 10. The conveyance part 20 is comprised so that the workpiece | work W may be conveyed to the irradiation area | region of the polarized light by the light irradiation part 10, and the irradiation area | region may be allowed to pass through. Moreover, the conveyance part 20 may be comprised so that after the workpiece | work W may pass the irradiation area | region completely, the said workpiece | work W may be return | folded and the said irradiation region may be allowed to pass through again.

以下、偏光素子ユニット１３の具体的構成について説明する。
図３は、偏光素子ユニット１３の具体的構成を示す斜視図である。偏光板１３ａを保持するフレーム部材１３ｂは、Ｙ方向に延在（延伸）する２本の長尺状のユニットベース１３１ａおよび１３１ｂを備える。一方のユニットベース（第一のベース）１３１ａには基準部材１３２が設けられ、他方のユニットベース（第二のベース）１３１ｂには保持部材１３３が設けられている。第一のベース１３１ａおよび第二のベース１３１ｂは、ねじ止めなどによりランプハウス１４（図１）に固定される。 Hereinafter, a specific configuration of the polarizing element unit 13 will be described.
FIG. 3 is a perspective view showing a specific configuration of the polarizing element unit 13. The frame member 13b that holds the polarizing plate 13a includes two long unit bases 131a and 131b that extend (extend) in the Y direction. One unit base (first base) 131a is provided with a reference member 132, and the other unit base (second base) 131b is provided with a holding member 133. The first base 131a and the second base 131b are fixed to the lamp house 14 (FIG. 1) by screwing or the like.

偏光板１３ａは、基準部材１３２と保持部材１３３とに挟まれて、保持部材１３３から基準部材１３２に向けてＸ方向に押圧されることにより保持されている。保持部材１３３は、偏光板１３ａの数と同じ数だけ設けられている。例えば、偏光素子ユニット１３が２０枚の偏光板１３ａを有する場合には、当該偏光素子ユニット１３は、２０枚の偏光板１３ａにそれぞれ対応する２０個の保持部材１３２を有することになる。また、基準部材１３２、保持部材１３３には、各偏光板１３ａにそれぞれ対応するカバー部材１３４、１３５が取り付けられ、偏光板１３ａのＺ方向の移動が規制されている。なお、図３においては、説明の都合上、カバー部材１３４、１３５を一部取り外した状態を示している。
基準部材１３２は、複数の偏光板１３ａが突き当てられる基準面を有する。本実施形態では、当該基準面は、Ｚ方向とＹ方向とに平行な平面とする。偏光板１３ａは矩形状の板材であり、ワイヤーグリッドが形成された面を上方（ランプ１１側）に向け、側面が基準部材１３２の基準面に突き当てられて固定されている。 The polarizing plate 13 a is sandwiched between the reference member 132 and the holding member 133 and is held by being pressed in the X direction from the holding member 133 toward the reference member 132. The holding members 133 are provided in the same number as the number of polarizing plates 13a. For example, when the polarizing element unit 13 has 20 polarizing plates 13a, the polarizing element unit 13 has 20 holding members 132 respectively corresponding to the 20 polarizing plates 13a. Further, cover members 134 and 135 corresponding to the respective polarizing plates 13a are attached to the reference member 132 and the holding member 133, and movement of the polarizing plate 13a in the Z direction is restricted. In FIG. 3, for the convenience of explanation, the cover members 134 and 135 are partially removed.
The reference member 132 has a reference surface against which the plurality of polarizing plates 13a are abutted. In the present embodiment, the reference plane is a plane parallel to the Z direction and the Y direction. The polarizing plate 13a is a rectangular plate, and the surface on which the wire grid is formed faces upward (the lamp 11 side), and the side surface is abutted against the reference surface of the reference member 132 and fixed.

また、保持部材１３３は、弾性部材１３３ａを有し、弾性部材１３３ａを介して偏光板１３ａの基準面への突き当て側とは反対側の側面をＸ方向に押圧している、ここで、弾性部材１３３ａは、例えばばね部材であり、より具体的には板ばねである。なお、偏光板１３ａを押圧する部材は、弾性部材１３３ａに限定されるものではなく、例えば、ねじ部材であってもよい。ただし、偏光板１３ａは、ガラス部材を母材として製造されることが多く、その厚みは１．０ｍｍ以下であるため、強い力で基準面に押圧されると、歪んだり破損したりするおそれがある。そのため、偏光板１３ａの機能に影響を与えないよう、弾性部材（ばね部材）１３３ａを用い、偏光板１３ａを弾性的に保持することが好ましい。   The holding member 133 has an elastic member 133a, and presses the side surface opposite to the abutting side of the polarizing plate 13a in the X direction via the elastic member 133a. The member 133a is a spring member, for example, and more specifically is a leaf spring. In addition, the member which presses the polarizing plate 13a is not limited to the elastic member 133a, For example, a screw member may be sufficient. However, since the polarizing plate 13a is often manufactured using a glass member as a base material and the thickness thereof is 1.0 mm or less, there is a possibility that the polarizing plate 13a may be distorted or damaged when pressed against the reference surface with a strong force. is there. Therefore, it is preferable to elastically hold the polarizing plate 13a using an elastic member (spring member) 133a so as not to affect the function of the polarizing plate 13a.

さらに、本実施形態では、偏光板１３ａは、それぞれ水平面（ＸＹ平面）に対して斜めに配置されていると共に、配列方向（Ｙ方向）端部を互いに重ね合わせて配置されている。なお、ここでいう「重ね合わされる」とは、光源側すなわち真上からＺ方向下側に向かって偏光板１３ａを見たときに、Ｙ方向両端が互いに重ね合わされて隙間が無いことをいう。
図４は、偏光素子ユニット１３の偏光板１３ａを取り外した状態を示す図である。偏光素子ユニット１３は、偏光板１３ａのＸ方向両端部を支持する台座部材１３６を備える。台座部材１３６は、基準部材１３２と保持部材１３３との近傍にそれぞれ配置されている。
台座部材１３６の上面１３６ａは、偏光板１３ａが載置されて、当該偏光板１３ａの端部下面を支持する支持面であり、図５に示すように傾斜面となっている。台座部材１３６を所定の形状に設計することにより、偏光板１３ａの煽り角度、偏光板１３ａ間の重なり寸法および偏光板１３ａ間の上下クリアランスを所望の値に設定することができる。本実施形態では、図５に示すように、全ての偏光板１３ａを同一の向きに傾斜させて配置する、いわゆるドミノ倒し状態に配置するよう、台座部材１３６が設計されている。 Further, in the present embodiment, the polarizing plates 13a are disposed obliquely with respect to the horizontal plane (XY plane), respectively, and are arranged so that end portions in the arrangement direction (Y direction) overlap each other. Here, “superimpose” means that when the polarizing plate 13a is viewed from the light source side, that is, from directly above to the lower side in the Z direction, both ends in the Y direction are overlapped and there is no gap.
FIG. 4 is a view showing a state where the polarizing plate 13a of the polarizing element unit 13 is removed. The polarizing element unit 13 includes a pedestal member 136 that supports both ends of the polarizing plate 13a in the X direction. The base member 136 is disposed in the vicinity of the reference member 132 and the holding member 133.
The upper surface 136a of the base member 136 is a support surface on which the polarizing plate 13a is placed and supports the lower surface of the end of the polarizing plate 13a, and is an inclined surface as shown in FIG. By designing the pedestal member 136 into a predetermined shape, the turning angle of the polarizing plate 13a, the overlapping dimension between the polarizing plates 13a, and the vertical clearance between the polarizing plates 13a can be set to desired values. In the present embodiment, as shown in FIG. 5, the base member 136 is designed so that all the polarizing plates 13 a are arranged so as to be inclined in the same direction, that is, in a so-called domino state.

また、台座部材１３６には、傾斜して配置された偏光板１３ａの傾斜方向下側の端部（図５の左側端部）を保護する保護部１３６ｂを設けてもよい。保護部１３６は、偏光板１３の端部が台座部材１３６に突き当たって欠けることを防止するためと、傾斜配置された偏光板１３６が滑ってＹ方向に移動することが無いように固定するために設けられる。つまり、保護部１３６は、偏光板１３ａの傾斜方向の下端部に当接して、当該偏光板１３ａの傾斜方向の下側への移動を規制する移動規制部として機能する。保護部１３６には、フッ素樹脂（例えば、テフロン（登録商標））など、偏光板１３の端部を保護する材料により構成することができる。   In addition, the pedestal member 136 may be provided with a protection portion 136b that protects the lower end portion (left end portion in FIG. 5) of the polarizing plate 13a arranged in an inclined direction. In order to prevent the end portion of the polarizing plate 13 from hitting the base member 136 and missing, and the protective portion 136 is fixed so that the inclined polarizing plate 136 does not slide and move in the Y direction. Provided. That is, the protection unit 136 functions as a movement restricting unit that abuts the lower end of the polarizing plate 13a in the inclination direction and restricts the downward movement of the polarizing plate 13a in the inclination direction. The protection unit 136 can be made of a material that protects the end of the polarizing plate 13 such as a fluororesin (for example, Teflon (registered trademark)).

また、重なり合わされた各偏光板１３ａは、互いに傷をつけないように上下方向に間隔を空けて配置されることが好ましい。ただし、偏光板１３ａ同士の隙間から非偏光光が漏れてしまうことの無いように、偏光板１３ａの傾斜角度や偏光板１３ａのＹ方向の重なり寸法を設定するものとする。例えば、偏光板１３ａの傾斜角度θ＝０．７度、偏光板１３ａのＹ方向の長さを１４５ｍｍ、Ｙ方向の重なり寸法を１５ｍｍ、上下のクリアランスを０．９ｍｍとすることができる。
さらに、基準部材１３２に取り付けられるカバー部材１３４と、保持部材１３３に取り付けられるカバー部材１３５とは、それぞれ偏光板１３ａの上面と接触しないように配置されることが好ましい。カバー部材１３４と偏光板１３ａとの位置関係を図６に示す。本実施形態では、図６に示すように、カバー部材１３４は、偏光板１３ａと同じ傾斜角度で配置されており、カバー部材１３４の下面と偏光板１３ａの上面との間には、偏光板１３ａの傾斜方向において一定のクリアランスが形成されている。 Moreover, it is preferable that the overlapped polarizing plates 13a are arranged at intervals in the vertical direction so as not to damage each other. However, the tilt angle of the polarizing plate 13a and the overlapping dimension of the polarizing plate 13a in the Y direction are set so that the non-polarized light does not leak from the gap between the polarizing plates 13a. For example, the inclination angle θ of the polarizing plate 13a can be 0.7 degrees, the length of the polarizing plate 13a in the Y direction can be 145 mm, the overlapping dimension in the Y direction can be 15 mm, and the upper and lower clearances can be 0.9 mm.
Furthermore, the cover member 134 attached to the reference member 132 and the cover member 135 attached to the holding member 133 are preferably arranged so as not to contact the upper surface of the polarizing plate 13a. The positional relationship between the cover member 134 and the polarizing plate 13a is shown in FIG. In this embodiment, as shown in FIG. 6, the cover member 134 is disposed at the same inclination angle as the polarizing plate 13a, and the polarizing plate 13a is disposed between the lower surface of the cover member 134 and the upper surface of the polarizing plate 13a. A certain clearance is formed in the inclination direction.

ここで、カバー部材１３４と偏光板１３ａとの間の上下クリアランスは、偏光板１３ａ間の上下クリアランスと同等であり、カバー部材１３４のＹ方向の長さは、隣接する偏光板１３ａとＹ方向において接触しない長さに設定されている。本実施形態では、図６に示すように、カバー部材１３４のＹ方向における一方の端部（図６の左側端部）と、当該カバー部材１３４にＹ方向において隣接する偏光板１３ａの一方の端部（図６の右側端部）との隙間は、できるだけ狭く設定されている。
このような構成により、カバー部材１３４は、隣接する偏光板１３ａのＹ方向における移動を規制することができる。つまり、カバー部材１３４は、偏光板１３ａの傾斜方向の上端部に近接して、当該偏光板１３ａの傾斜方向の上側への移動を規制する移動規制部として機能する。
なお、カバー部材１３４の形状は、上記に限定されるものではなく、偏光板１３ａのＸ方向端部の上面と所定のクリアランスを有して配置されていればよい。例えば、カバー部材１３４は水平配置してもよい。この場合、例えばカバー部材１３４の下面に、偏光板１３ａの傾斜方向の上端部に近接する突起部を設け、当該突起部を偏光板１３ａの傾斜方向の上側への移動を規制する移動規制部としてもよい。カバー部材１３５についてもカバー部材１３４と同様である。 Here, the vertical clearance between the cover member 134 and the polarizing plate 13a is equal to the vertical clearance between the polarizing plates 13a, and the length of the cover member 134 in the Y direction is equal to that in the Y direction of the adjacent polarizing plate 13a. The length is set so as not to touch. In the present embodiment, as shown in FIG. 6, one end of the cover member 134 in the Y direction (the left end in FIG. 6) and one end of the polarizing plate 13a adjacent to the cover member 134 in the Y direction. The gap with the portion (the right end portion in FIG. 6) is set as narrow as possible.
With such a configuration, the cover member 134 can regulate the movement of the adjacent polarizing plate 13a in the Y direction. That is, the cover member 134 functions as a movement restricting portion that restricts the upward movement of the polarizing plate 13a in the inclination direction in the vicinity of the upper end portion of the polarizing plate 13a in the inclination direction.
Note that the shape of the cover member 134 is not limited to the above, and it is sufficient that the cover member 134 is disposed with a predetermined clearance from the upper surface of the end portion in the X direction of the polarizing plate 13a. For example, the cover member 134 may be disposed horizontally. In this case, for example, a protrusion is provided on the lower surface of the cover member 134 near the upper end of the polarizing plate 13a in the inclination direction, and the protrusion is used as a movement restricting portion that restricts the upward movement of the polarizing plate 13a in the inclination direction. Also good. The cover member 135 is the same as the cover member 134.

次に、偏光素子ユニット１３の組み立て手順について説明する。
先ず、図７（ａ）に示すように、第一のベース１３１ａと第二のベース１３１ｂとを平行に配置し、その間に所定の幅を有する調整幅ブロック治具１３７を挟み間隔を固定する。そして、その状態で、第一のベース１３１ａと第二のベース１３１ｂとを支持部材１３８により連結して固定する。
支持部材１３８は、ベース１３１ａ、１３１ｂ間の距離を一定に保ちつつ、ベース１３１ａ、１３１ｂ間の固定を強固にするために設けられる。この支持部材１３８は、第一のベース１３１ａと第二のベース１３１ｂとの間に、例えばねじ止めなどにより固定されている。支持部材１３８を設けることにより、ベース１３１ａ、１３１ｂが熱延びして偏光板１３ａの角度がずれることを防止することができる。なお、遮光成分を減らすために、支持部材１３８の本数は、偏光板１３ａの数よりも少ないことが好ましい。例えば、偏光板１３ａが２３枚ある場合、支持部材１３８は４本とする。 Next, the assembly procedure of the polarizing element unit 13 will be described.
First, as shown in FIG. 7A, the first base 131a and the second base 131b are arranged in parallel, and an adjustment width block jig 137 having a predetermined width is sandwiched therebetween to fix the interval. In this state, the first base 131a and the second base 131b are connected and fixed by the support member 138.
The support member 138 is provided to firmly fix the bases 131a and 131b while keeping the distance between the bases 131a and 131b constant. The support member 138 is fixed between the first base 131a and the second base 131b by, for example, screwing or the like. By providing the support member 138, it is possible to prevent the bases 131a and 131b from extending hot and shifting the angle of the polarizing plate 13a. In order to reduce the light shielding component, the number of support members 138 is preferably smaller than the number of polarizing plates 13a. For example, when there are 23 polarizing plates 13a, the number of support members 138 is four.

次に、図７（ｂ）に示すように、第一のベース１３１ａに基準部材１３２を取り付ける。そして、偏光板１３ａをＹ方向における一方の側から順次組み込む。このとき、各偏光板１３ａのＸ方向端部は、図７（ｃ）に示すように、基準部材１３２の基準面に突き当てられて配置される。また、偏光板１３ａは、Ｙ方向端部を互いに重ね合わせて配置される。その後、偏光板１３ａは、図３に示したように保持部材１３３によってＸ方向に押圧されて固定される。これにより、複数の偏光板１３ａは全て共通の基準部材１３２の基準面を基準として配置角度が設定される。   Next, as shown in FIG. 7B, the reference member 132 is attached to the first base 131a. Then, the polarizing plate 13a is sequentially incorporated from one side in the Y direction. At this time, the end portion in the X direction of each polarizing plate 13a is abutted against the reference surface of the reference member 132 as shown in FIG. In addition, the polarizing plate 13a is arranged so that end portions in the Y direction overlap each other. Thereafter, the polarizing plate 13a is pressed and fixed in the X direction by the holding member 133 as shown in FIG. As a result, the arrangement angles of the plurality of polarizing plates 13 a are set with reference to the reference surface of the common reference member 132.

以上のように、偏光素子ユニット１３は、Ｙ方向に沿って並べて配置された複数の偏光板１３ａと、複数の偏光板１３ａを、Ｘ方向における両端部で保持するフレーム部材１３ｂとを備える。そして、複数の偏光板１３ａは、それぞれＸ方向およびＹ方向に平行な面（水平面）に対して傾斜し、Ｙ方向の端部をそれぞれ互いに重ね合わせて配置されている。このように、各偏光板１３ａのＹ方向端部がそれぞれ重ね合わせて配置されているため、偏光されていない光（非偏光光）がワークＷに照射されることを確実に防止することができる。   As described above, the polarizing element unit 13 includes the plurality of polarizing plates 13a arranged side by side along the Y direction, and the frame member 13b that holds the plurality of polarizing plates 13a at both ends in the X direction. Each of the plurality of polarizing plates 13a is inclined with respect to a plane (horizontal plane) parallel to the X direction and the Y direction, and the end portions in the Y direction are arranged so as to overlap each other. As described above, since the end portions in the Y direction of the polarizing plates 13a are arranged so as to overlap each other, it is possible to reliably prevent the unpolarized light (unpolarized light) from being irradiated onto the workpiece W. .

偏光板同士を同一平面上に並べて配置する場合、どれだけ密に配置しても、偏光板間にはどうしても物理的に隙間ができてしまい、非偏光光が漏れることになる。本実施形態では、偏光板１３ａをＹ方向で重なり合わせて配置するため、非偏光光の漏れ光が無い。さらに、非偏光光の漏れを防止するために、偏光板の継ぎ目部分に遮蔽部材を配置する必要がない。また、フレーム部材１３ｂは、各偏光板１３ａのＸ方向における両端部を保持する構成であり、複数の偏光板をそれぞれ個別のフレームによって保持する構成ではない。そのため、偏光板の継ぎ目部分にフレームが存在することもない。
このように、偏光板の継ぎ目部分に遮蔽部材やフレーム部材などが存在しないため、ランプ長手方向における照度の均一性を向上させることができ、全体として偏光光の照度も向上させることができる。 When the polarizing plates are arranged side by side on the same plane, no matter how densely the polarizing plates are arranged, a physical gap is inevitably formed between the polarizing plates, and unpolarized light leaks. In the present embodiment, since the polarizing plates 13a are arranged so as to overlap in the Y direction, there is no leakage of non-polarized light. Furthermore, in order to prevent leakage of non-polarized light, it is not necessary to arrange a shielding member at the joint portion of the polarizing plate. The frame member 13b is configured to hold both end portions in the X direction of each polarizing plate 13a, and is not configured to hold a plurality of polarizing plates by individual frames. Therefore, there is no frame at the joint portion of the polarizing plate.
As described above, since there is no shielding member, frame member, or the like at the joint portion of the polarizing plate, the illuminance uniformity in the lamp longitudinal direction can be improved, and the illuminance of polarized light can be improved as a whole.

図８は、本実施形態における照度向上の効果について説明する図である。この図８は、本実施形態における偏光素子ユニット１３と、比較例の偏光素子ユニットとついて、積算露光量の比較を行った結果を示す図である。図８において、横軸は、水平に配置したロングアークランプの長手方向の座標であり、縦軸は、偏光光の積算露光量である。ここで、比較例としては、複数の偏光板をそれぞれ個別のフレームによって保持した偏光素子ユニットを用いた。
破線に示す比較例では、ランプ長手座標を移動するにつれて積算露光量が上下している様子がわかる。これは、各フレームの部分、すなわち偏光板の継ぎ目部分において光量の落ち込みが発生するためである。この比較例では、ランプ長手方向における偏光光の照度の均一度が低下しているとともに、全体の積算露光量も低下していることがわかる。 FIG. 8 is a diagram for explaining the effect of improving the illuminance in the present embodiment. FIG. 8 is a diagram showing a result of comparison of integrated exposure amounts for the polarizing element unit 13 in the present embodiment and the polarizing element unit of the comparative example. In FIG. 8, the horizontal axis is the coordinate in the longitudinal direction of the long arc lamp arranged horizontally, and the vertical axis is the integrated exposure amount of polarized light. Here, as a comparative example, a polarizing element unit in which a plurality of polarizing plates are respectively held by individual frames was used.
In the comparative example indicated by the broken line, it can be seen that the integrated exposure amount increases and decreases as the lamp longitudinal coordinate is moved. This is because a drop in the amount of light occurs at each frame portion, that is, at the joint portion of the polarizing plate. In this comparative example, it can be seen that the uniformity of the illuminance of the polarized light in the longitudinal direction of the lamp is reduced and the total integrated exposure amount is also reduced.

これに対して、本実施形態では、偏光板１３ａの重ね合わせの部分において若干の光量低下は見られるものの、照度の均一度に優れており、全体の積算露光量も向上している。
このように、本実施形態における偏光素子ユニット１３は、ランプ長手方向における偏光光の照度の均一度を向上させることができると共に、全体の積算露光量も向上させることができる。したがって、本実施形態における偏光素子ユニット１３を備える偏光光照射装置１００においては、適切な光配向処理が可能となる。
また、本実施形態における偏光素子ユニット１３の複数の偏光板１３ａは、Ｙ方向に対して同一方向に傾斜して配置されている。そのため、複数の偏光板１３ａのうち、いずれか１つを交換する場合、交換対象の偏光板１３ａ以外を取り外すことなく、交換対象の偏光板１３ａを取り外すことができる。したがって、例えば異常が発生した偏光板１３ａの交換作業を容易に行うことができる。 On the other hand, in the present embodiment, although a slight decrease in the amount of light is observed in the overlapping portion of the polarizing plates 13a, the illuminance uniformity is excellent, and the total integrated exposure amount is also improved.
As described above, the polarizing element unit 13 in the present embodiment can improve the uniformity of the illuminance of the polarized light in the lamp longitudinal direction and can also improve the total integrated exposure amount. Therefore, in the polarized light irradiation apparatus 100 including the polarizing element unit 13 in the present embodiment, an appropriate optical alignment process can be performed.
Moreover, the several polarizing plate 13a of the polarizing element unit 13 in this embodiment is arrange | positioned inclining in the same direction with respect to the Y direction. Therefore, when replacing any one of the plurality of polarizing plates 13a, the polarizing plate 13a to be exchanged can be removed without removing other than the polarizing plate 13a to be exchanged. Therefore, for example, it is possible to easily replace the polarizing plate 13a in which an abnormality has occurred.

また、複数の偏光板１３ａは、それぞれＺ方向において所定のクリアランスを有して配置されている。したがって、偏光板１３ａが互いに傷をつけないようにすることができる。
また、フレーム部材１３ｂは、偏光板１３ａのＸ方向における両端部が載置される傾斜面１３６ａを有する台座部材１３６を備える。また、台座部材１３６は、偏光板１３ａの傾斜方向の下端部に当接して、当該偏光板１３ａの傾斜方向の下側への移動を規制すると共に、偏光板１３ａの傾斜方向の下端部を保護する保護部１３６ｂを備える。このように、偏光板１３ａを、傾斜面１３６ａを有する台座部材１３６に載置する構成であるため、偏光板１３ａを容易に傾斜させて配置することができる。また、偏光板１３ａの傾斜方向下側への移動が規制されるため、偏光板１３ａを適切な位置に配置し、偏光板１３ａのＹ方向における重なり寸法を適切に設定することができる。さらに、保護部１３６ｂによって偏光板１３ａの端部が欠けるのを防止することができる。 The plurality of polarizing plates 13a are arranged with a predetermined clearance in the Z direction. Therefore, it is possible to prevent the polarizing plates 13a from being damaged.
Further, the frame member 13b includes a pedestal member 136 having inclined surfaces 136a on which both end portions in the X direction of the polarizing plate 13a are placed. The pedestal member 136 is in contact with the lower end portion of the polarizing plate 13a in the inclination direction, restricts the downward movement of the polarizing plate 13a in the inclination direction, and protects the lower end portion of the polarizing plate 13a in the inclination direction. The protection unit 136b is provided. Thus, since it is the structure which mounts the polarizing plate 13a on the base member 136 which has the inclined surface 136a, the polarizing plate 13a can be inclined and arrange | positioned easily. Moreover, since the downward movement of the polarizing plate 13a in the tilt direction is restricted, the polarizing plate 13a can be disposed at an appropriate position, and the overlapping dimension of the polarizing plate 13a in the Y direction can be set appropriately. Furthermore, it is possible to prevent the end portion of the polarizing plate 13a from being cut off by the protective portion 136b.

さらに、フレーム部材１３ｂは、偏光板１３ａのＸ方向における両端部の上面と所定のクリアランスを有して配置されるカバー部材１３４および１３５を備える。カバー部材１３４および１３５は、偏光板１３ａの傾斜方向の上端部に近接して、当該偏光板１３ａの傾斜方向の上側への移動を規制する。このように、カバー部材１３４および１３５によって、偏光板１３ａのＺ方向上側への移動と、傾斜方向上側への移動とを規制することができる。したがって、偏光板１３ａを適切な位置に配置させることができる。
なお、上記実施形態においては、カバー部材１３４および１３５を、複数の偏光板１３ａにそれぞれ対応させて配置する場合について説明したが、複数の偏光板１３ａに対し１つのカバー部材１３４、１３５を配置してもよい。 Further, the frame member 13b includes cover members 134 and 135 that are arranged with a predetermined clearance from the upper surfaces of both ends in the X direction of the polarizing plate 13a. The cover members 134 and 135 are close to the upper end portion of the polarizing plate 13a in the inclination direction, and restrict the upward movement of the polarizing plate 13a in the inclination direction. Thus, the cover members 134 and 135 can restrict the upward movement of the polarizing plate 13a in the Z direction and the upward movement in the tilt direction. Therefore, the polarizing plate 13a can be disposed at an appropriate position.
In the above embodiment, the case where the cover members 134 and 135 are arranged corresponding to the plurality of polarizing plates 13a has been described, but one cover member 134, 135 is arranged for the plurality of polarizing plates 13a. May be.

また、本実施形態における偏光素子ユニット１３は、同一の基準面を有する基準部材１３２に対して、複数の偏光板１３ａを突き当てて固定する構成を有するため、個別に偏光板１３ａの角度を調整せずとも偏光板１３ａ同士の偏光軸の均一性を向上させることができる。
なお、本実施形態では、複数の偏光板１３ａを基準部材１３２に突き当てて固定する場合について説明したが、偏光板１３ａの固定方法は上記に限定されない。水平面（ＸＹ平面）に対して傾斜し、Ｙ方向端部をそれぞれ互いに重ね合わせてＹ方向に沿って並べて配置された複数の偏光板１３ａのＸ方向における両端部を保持する構成であればよい。 In addition, since the polarizing element unit 13 in the present embodiment has a configuration in which the plurality of polarizing plates 13a are abutted and fixed to the reference member 132 having the same reference surface, the angle of the polarizing plate 13a is individually adjusted. Without this, the uniformity of the polarization axis between the polarizing plates 13a can be improved.
In addition, although this embodiment demonstrated the case where the some polarizing plate 13a was abutted and fixed to the reference member 132, the fixing method of the polarizing plate 13a is not limited above. Any structure may be used as long as it holds both ends in the X direction of a plurality of polarizing plates 13a that are inclined with respect to a horizontal plane (XY plane) and are arranged side by side along the Y direction with the Y direction end portions overlapping each other.

１０…光照射部、１１…ランプ、１２…ミラー、１３…偏光素子ユニット、１３ａ…偏光板、１３ｂ…フレーム部材、１４…ランプハウス、２０…搬送部、２１…ステージ、１００…偏光光照射装置、１３１ａ，１３１ｂ…ユニットベース、１３２…基準部材、１３３…保持部材、１３３ａ…弾性部材、１３４…カバー部材、１３５…カバー部材、１３６…台座部材、１３６ａ…傾斜面、１３６ｂ…保護部、１３７…支持部材、Ｗ…ワーク   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Light irradiation part, 11 ... Lamp, 12 ... Mirror, 13 ... Polarizing element unit, 13a ... Polarizing plate, 13b ... Frame member, 14 ... Lamp house, 20 ... Conveyance part, 21 ... Stage, 100 ... Polarized light irradiation apparatus 131a, 131b ... unit base, 132 ... reference member, 133 ... holding member, 133a ... elastic member, 134 ... cover member, 135 ... cover member, 136 ... pedestal member, 136a ... inclined surface, 136b ... protective part, 137 ... Support member, W ... Workpiece

Claims (6)

並べて配置された複数の偏光板と、
第一の方向に延伸するとともに、前記複数の偏光板を、前記第一の方向に直交する第二の方向における両端部で保持するフレーム部材と、を備え、
前記複数の偏光板は、それぞれ前記第一の方向および前記第二の方向に平行な面に対して傾斜し、かつ、前記第一の方向に対して同一方向に傾斜し、前記第一の方向の端部をそれぞれ互いに重ね合わせて配置されており、
前記フレーム部材は、前記偏光板の前記第二の方向における両端部が載置される傾斜面を有する台座部材を備え、
前記台座部材は、当該台座部材が載置している前記偏光板の傾斜方向の上側の方向に隣接している前記偏光板の傾斜方向の下端部に当接して、当該偏光板の前記傾斜方向の下側への移動を規制する第一の移動規制部を備えることを特徴とする偏光素子ユニット。 A plurality of polarizing plates arranged side by side;
A frame member that extends in a first direction and holds the plurality of polarizing plates at both ends in a second direction orthogonal to the first direction;
The plurality of polarizing plates are inclined with respect to a plane parallel to the first direction and the second direction, respectively, and inclined in the same direction with respect to the first direction. Are arranged to overlap each other ,
The frame member includes a pedestal member having inclined surfaces on which both ends of the polarizing plate in the second direction are placed,
The pedestal member is in contact with the lower end portion of the polarizing plate adjacent to the upper direction of the polarizing plate of the polarizing plate on which the pedestal member is placed, and the inclined direction of the polarizing plate A polarizing element unit comprising a first movement restricting portion that restricts the downward movement of the polarizing element unit. 前記第一の移動規制部は、前記偏光板の傾斜方向の下端部を保護する材料により構成されていることを特徴とする請求項１に記載の偏光素子ユニット。 2. The polarizing element unit according to claim 1 , wherein the first movement restricting portion is made of a material that protects a lower end portion in an inclination direction of the polarizing plate. 前記フレーム部材は、前記偏光板の前記第二の方向における両端部の上面と所定のクリアランスを有して配置されるカバー部材を備え、
前記カバー部材は、当該カバー部材が配置されている前記偏光板の傾斜方向の下側の方向に隣接している前記偏光板の傾斜方向の上端部に近接して、当該偏光板の前記傾斜方向の上側への移動を規制する第二の移動規制部を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の偏光素子ユニット。 The frame member includes a cover member arranged with a predetermined clearance from the upper surface of both end portions in the second direction of the polarizing plate,
The cover member is adjacent to an upper end portion of the polarizing direction of the polarizing plate adjacent to a lower direction of the polarizing direction of the polarizing plate in which the cover member is disposed, and the inclination direction of the polarizing plate polarization element unit according to claim 1 or 2, characterized in that it comprises a second movement restricting portion for restricting the movement of the upper side. 並べて配置された複数の偏光板と、
第一の方向に延伸するとともに、前記複数の偏光板を、前記第一の方向に直交する第二の方向における両端部で保持するフレーム部材と、を備え、
前記複数の偏光板は、それぞれ前記第一の方向および前記第二の方向に平行な面に対して傾斜し、かつ、前記第一の方向に対して同一方向に傾斜し、前記第一の方向の端部をそれぞれ互いに重ね合わせて配置されており、
前記フレーム部材は、前記偏光板の前記第二の方向における両端部の上面と所定のクリアランスを有して配置されるカバー部材を備え、
前記カバー部材は、当該カバー部材が配置されている前記偏光板の傾斜方向の下側の方向に隣接している前記偏光板の傾斜方向の上端部に近接して、当該偏光板の前記傾斜方向の上側への移動を規制する第二の移動規制部を備えることを特徴とする偏光素子ユニット。 A plurality of polarizing plates arranged side by side;
A frame member that extends in a first direction and holds the plurality of polarizing plates at both ends in a second direction orthogonal to the first direction;
The plurality of polarizing plates are inclined with respect to a plane parallel to the first direction and the second direction, respectively, and inclined in the same direction with respect to the first direction. Are arranged to overlap each other ,
The frame member includes a cover member arranged with a predetermined clearance from the upper surface of both end portions in the second direction of the polarizing plate,
The cover member is adjacent to an upper end portion of the polarizing direction of the polarizing plate adjacent to a lower direction of the polarizing direction of the polarizing plate in which the cover member is disposed, and the inclination direction of the polarizing plate A polarizing element unit comprising a second movement restricting portion that restricts the upward movement of the light. 前記複数の偏光板は、それぞれ前記第一の方向および前記第二の方向に直交する第三の方向において所定のクリアランスを有して配置されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の偏光素子ユニット。 Wherein the plurality of polarizers, one of claims 1, characterized in that in the third direction respectively orthogonal to the first direction and the second direction are arranged with a predetermined clearance 4 polarization element unit according to item 1 or. 光源と、
前記光源からの光を偏光する請求項１から５のいずれか１項に記載の偏光素子ユニットと、を備え、
前記光源は、前記第一の方向に沿って配置されていることを特徴とする偏光光照射装置。 A light source;
The polarizing element unit according to any one of claims 1 to 5 , which polarizes light from the light source,
The polarized light irradiation apparatus, wherein the light source is disposed along the first direction.
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