KR20140114140A

KR20140114140A - 제진 테이블

Info

Publication number: KR20140114140A
Application number: KR1020130028569A
Authority: KR
Inventors: 장인구
Original assignee: (주)에스엠텍
Priority date: 2013-03-18
Filing date: 2013-03-18
Publication date: 2014-09-26
Also published as: KR101445767B1

Abstract

본 발명은 테이블의 상단에 올려진 제진대상물로 전달되는 진동을 차단하는 제진 테이블에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 정밀계측기, 광학실험장비와 같은 미세한 측정을 요하는 장비의 하중이 변화하거나 설치위치가 이동될 때 수평을 유지시켜주며, 바닥면으로 부터 전달되는 진동을 흡수할 수 있는 제진 테이블에 관한 것이다.

Description

제진 테이블{Vibration-proofing device with table}

일반적으로 산업 현장이나 실험실에는 정밀장비의 측정을 위하여 제진장치가 구비되어 지는데, 제진장치는 진동으로부터 취약한 정밀장비 예컨대 광학기기, 정밀스테이지, 삼차원좌표측정기, 진원도 또는 조도 측정기, 기타 진동차단이 요구되는 장비가 외부진동의 영향으로 장비 고유의 기능이 저하됨을 방지하기 위해 외부진동을 차단하고 피치 못하게 발생하는 상부 동하중에 의한 진동도 제어 가능하다.

이와 같은 제진장치를 통해 상기 정밀장비의 수평을 항상 일정하게 유지하면서 진동을 완벽하게 차단해야만 정밀측정이 가능하게 된다. 대부분의 제진장치 들이 작업테이블(대리석 정반 및 허니컴 정반)위에 정밀장비를 올려놓고 측정을 하는 이유는 작업테이블 위는 정확하게 수평을 맞춰 놓은 곳으로, 그 위에서 측정을 해야만 정밀장비의 오차를 줄일 수 있기 때문이고, 제진장치의 작업테이블이 수평이 맞춰져 있지 않다면 정밀장비 자체의 오차가 발생하게 되어 정확한 수치를 측정할 수 없게 된다.

상기와 같이 진동을 차단하는 제진장치가 종래에도 다수의 종류로 선출원 또는 선등록 되어 개시된바 있다. 그러나 종래의 제진 테이블은 기계적 밸브에 의해 일정한 범위내에서만 수동적으로 진동을 흡수 및 제어할 수 있고, 진동폭이 작은 경우에는 진동효과가 저하되는 문제점이 있었다. 또한 종래의 제진 테이블은 테이블의 위치를 측정하여 수평을 유지할 수 있는 제어장치가 미흡한 단점이 발생하였다.

상기와 같은 종래의 선행기술은 테이블의 수평을 맞추거나 다양한 진동폭을 갖는 진동을 차단할 수 없으며, 진동 발생시 테이블의 수평을 신속하게 유지시켜주는 기술적 한계가 있다. 또한 공기의 흡입과 배출로 인한 소음과 원활한 작동을 지속하기 위해 유지비용이 증가하는 단점으로 인해 사용빈도가 현저히 떨어지고 있다.

이러한 점을 보완하기 위해 '한국등록특허 제10-930357호'와 '일본 공개실용신안공보 평02-016841호' 및 일본 '공개특허공보 특개평07-258475호' 등 의 종래의 제진장치가 제안되고 있으나 구조적인 한계에 의해 진동을 효과적으로 차단하기 어렵고 상대적으로 제조 비용이 증가하는 문제가 있다.

1. 한국등록특허 제10-930357호 2. 일본 공개실용신안공보 평02-016841호 3. 일본 공개특허공보 특개평07-258475호 4. 한국등록실용신안 제20-0190648호

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 다양한 진동폭을 갖는 진동을 차단하여 정밀장치의 오작동을 줄일 수 있는 제진 테이블을 제공하는데 그 목적이 있다.

또한 본 발명은 테이블의 수평을 신속하게 유지할 수 있으며 외부에서 발생하는 상하진동과 좌우진동을 동시에 차단함으로써 정밀장치의 측정 오차를 줄일 수 있는 제진 테이블을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 제진 테이블은 수평방향으로 연장 형성되며 상측에 제진 대상물이 안착되는 작업판(100); 상기 작업판(100)의 하측에 위치하되, 상측에 제1 개구부(210)가 형성되며 내부에 수용공간(S)이 형성된 외부케이스(200); 상기 수용공간(S)에 위치하도록 상기 제1 개구부(210)에 삽입되고, 외측 둘레면을 따라 적어도 2개 이상의 연결고리(310)가 형성되며, 상기 작업판(100)의 하면과 접촉되어 상기 작업판(100)을 지지하는 챔버(300); 상기 챔버(300)가 상기 수용공간(S)을 형성하는 상기 외부케이스(200)의 내측면과 일정간격 이격되어 외부로부터 전달되는 진동을 차단하도록 일측이 상기 외부케이스(200)의 상측에 고정되고, 타측이 상기 연결고리(310)에 고정되어 상기 챔버(300)와 상기 외부케이스(200)를 연결하는 와이어(400);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어서, 상기 작업판(100)과 상기 챔버(300) 사이에는 외부로부터 전달되는 상하 진동을 흡수하는 진동흡수부(500)가 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어서, 상기 챔버(300)는 내부가 중공되며 중공된 내부에 공기가 유입되도록 상기 챔버(300)의 외측면에 형성되는 공기유입구(320)와 상면에 형성되는 제2 개구부(330)를 포함하고, 상기 진동흡수부(500)는 상면이 상기 작업판(100)의 하면과 접촉되어 상기 작업판(100)을 지지하고 하면에 지지봉(511)이 돌출형성된 이동판(510); 상기 챔버(300)의 중공된 내부에 위치하도록 상기 제2 개구부(330)에 삽입되며, 상기 이동판(510)의 지지봉(511)의 끝단이 안착되는 안착홀(521)이 형성되는 이동로드(520); 상기 이동로드(520)가 상기 챔버(300)로 공급된 공기의 압력에 따라 상하방향으로 이동할 수 있도록 상기 이동로드(520)의 외주면에 밀착 체결되고 상기 챔버(300)의 제2 개구부(330)를 밀폐하는 다이어프램(530); 상기 다이어프램(530)이 상기 챔버(300)의 제2 개구부(330)에 밀폐되어 고정되도록 상기 다이어프램(530)의 외측 가장자리를 가압하여 상기 챔버챔버체결되는 고정대(540);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어서, 상기 이동로드(520)의 외측면에는 상기 다이어프램(530)이 상기 이동로드(520)의 외주면에 밀착 체결될 때 상기 다이어프램(530)의 하면과 접촉되는 안착판(522)이 돌출 형성되며, 상기 진동흡수부(500)는 상기 다이어프램(530)을 상기 안착판(522)에 밀착시키도록 상기 안착판(522)에 안착된 상기 다이어프램(530)의 상면에 안착되는 누름대(550)와 상기 누름대(550)를 가압하여 상기 다이어프램(530)과 상기 안착판(522)을 밀폐시키도록 상기 이동로드(520)에 체결되는 내부 고정대(560)를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어서, 상기 외부케이스(200)는 상기 작업판(100)의 하측에 복수개 형성되며, 복수개 형성된 각각의 상기 외부케이스(200)가 일정한 간격으로 배치되도록 상기 각각의 외부케이스(200)의 외측면에 연결되는 연결프레임(220)과 상기 작업판(100)의 상면에 제진 대상물을 안착시킬 때 상기 작업판(100)이 하방향으로 급격하게 이동하는 것을 방지하도록 일측이 상기 작업판(100)의 하면과 접촉하여 상기 작업판(100)을 지지하는 스토퍼(230)가 상기 작업판(100)과 일정한 간격을 이루며 상기 연결프레임(220)에 설치되는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 제진대상물이 안착되는 작업판과 작업판의 하단에 위치하며 내부에 작업판을 지지하는 챔버를 구비하는 외부케이스를 형성하고 챔버가 외부케이스의 내부에서 일정한 간격 이격되어 배치되도록 챔버와 외부케이스를 와이어를 통해 연결하여 제진 대상물로 전달되는 진동이나 충격을 차단할 수 있다.

또한 본 발명은 챔버와 외부케이스를 연결하는 와이어가 챔버와 외부케이스에 3점 지지되어 외부에서 진동이 전달될 때도 작업판이 안정적으로 유지될 수 있는 장점이 있다.

또한 본 발명은 챔버와 작업판 사이에 상하진동을 흡수하는 진동흡수부를 설치하여 상하진동을 차단하였고, 진동흡수부를 통해 작업판이 항상 수평 유지할 수 있는 장점이 발생한다.

도 1 은 본 발명의 제진 테이블의 챔버와 외부케이스의 구조를 도시한 분해 사시도.
도 2 는 본 발명의 챔버의 연결고리를 나태내기 위한 저면도.
도 3 은 본 발명의 진동 흡수부의 장착을 나타내기 위한 분해 사시도.
도 4 는 본 발명의 외부케이스에 설치된 챔버와 진동흡수부를 나타낸 부분 단면도.
도 5 는 본 발명의 진동 흡수부의 구조와 챔버의 다른실시예를 나타낸 사시도.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

도 1 은 본 발명의 제진 테이블의 챔버와 외부케이스의 구조를 도시한 분해 사시도를, 도 2 는 본 발명의 챔버의 연결고리를 나태내기 위한 저면도를, 도 3 은 본 발명의 진동 흡수부의 장착을 나타내기 위한 분해 사시도를, 도 4 는 본 발명의 외부케이스에 설치된 챔버와 진동흡수부를 나타낸 부분 단면도를, 도 5 는 본 발명의 진동 흡수부의 구조와 챔버의 다른실시예를 나타낸 사시도에 관한 것이다.

도 1 을 참조하면 상측에 제진 대상물이 안착되는 작업판(100)이 형성된다. 작업판(100)은 수평방향으로 연장 형성되며 일정한 두께를 갖는 판 형상으로 형성될 수 있다. 작업판(100)의 상면에는 제진 대상물이 미끄러지는 것을 방지하기 위하여 미끄럼 방지패드(미도시)가 구비될 수 있으며 작업판(100)의 상면에 다수개의 미세한 홈이 형성되어 제진 대상물과 작업판(100)간에 발생하는 마찰력을 상승시킬 수 있다.

도 1 을 참조하면 작업판(100)의 하측에는 외부케이스(200)가 형성된다. 외부케이스(200)는 내부가 중공된 형상으로 형성된다. 즉 외부케이스(200)는 내부에 수용공간(S)이 형성되며, 상측이 개방되어 상측에 제1 개구부(210)가 형성된다. 외부케이스(200)는 작업판(100)의 하측에 일정한 배열로 복수개 형성된다. 즉 작업판(100)의 각각의 모서리와 인접하도록 배치되며, 각각의 외부케이스(200)는 외부케이스(200)의 외측면과 연결되는 연결프레임(220)에 의해 상호 고정된다.

한편 연결프레임(220)은 외부케이스(200)의 상측과 하측에 각각 형성될 수 있으나, 작업판(100)의 일측방향에 위치한 하측에 형성된 연결프레임(220)은 생략되어 작업자의 활동영역이 연결프레임(220)에 의해 제약을 받지 않도록 하는 것이 바람직하다. 또한 각각의 연결프레임(220)은 보강프레임(221)에 의해 연결될 수 있다.

도 1 을 참조하면 외부케이스(200)의 하측에 형성된 연결프레임(220)에는 이동바퀴(250)가 형성될 수 있다. 이동바퀴(250)를 통해 외부케이스(200)와 작업판(100)을 원하는 위치로 쉽게 이동시킬 수 있다.

또한 외부케이스(200)의 하측에는 높이조절대(240)가 형성된다. 높이조절대(240)는 외부케이스(200)의 하측면에 돌출 형성되어 있으며, 회전함에 따라 그 돌출되는 길이가 변화한다. 즉 높이조절대(240)는 작업판(100)과 외부케이스(200)를 사용자가 원하는 위치로 이동시키고, 높이조절대(240)를 회전시켜 외부케이스(200)를 바닥면에 고정시킬 수 있도록 하기 위해 설치된다.

도 1 을 참조하면 외부케이스(200)의 제1 개구부(210)에 삽입되는 챔버(300)가 형성된다. 챔버(300)는 외부케이스(200)의 제1 개구부(210)에 삽입됨에 따라 수용공간(S)에 위치한다. 챔버(300)의 외측 둘레면에는 연결고리(310)가 챔버(300)와 일체로 형성된다. 연결고리(310)는 챔버(300)에 적어도 2개 이상 형성될 수 있다.

도 2 를 참조하면 연결고리(310)는 챔버(300)의 외측 둘레면을 따라 챔버(300)의 상면을 중심으로 120°간격으로 형성되는 것이 바람직하다. 챔버(300)는 챔버(300)의 상면과 작업판(100)의 하면이 접촉되며 작업판(100)을 지지한다.

도 1 을 참조하면 일측이 외부케이스(200)의 상측에 고정되고 타측이 챔버(300)의 연결고리(310)에 고정되는 와이어(400)가 형성된다. 와이어(400)는 챔버(300)가 수용공간(S)을 형성하는 외부케이스(200)의 내측면과 일정간격 이격되어 수용공간(S)에 배치되도록 챔버(300)와 외부케이스(200)를 연결한다. 이처럼 챔버(300)가 외부케이스(200)의 내측면과 일정간격 이격되면 외부로부터 전달되는 진동이 외부케이스(200)를 통해 챔버(300)로 쉽게 전달되지 못한다.

또한 와이어(400)의 일측은 외부케이스(200)의 상면에 설치되는 연결볼트(600)와 연결되어 고정될 수 있으며 연결볼트(600)는 외부케이스(200)의 상면에 적어도 2개 이상, 바람직하게는 외부케이스(200)의 상면을 중심으로 120°간격으로 배치되어 고정된다. 따라서 외부케이스(200)의 수용공간(S)에 위치하는 챔버(300)는 와이어(400)를 통해 외부케이스(200)에 3점지지(three point suspension)되어 작업판(100)을 안정적으로 지지할 수 있으며, 작업판(100)에 충격이 가해지면 신속하게 원위치로 복귀될 수 있는 장점이 있다.

도 3 를 참조하면 작업판(100)과 챔버(300) 사이에는 진동흡수부(500)가 형성된다. 진동흡수부(500)는 외부로부터 전달되는 상하 진동을 흡수하기 위하여 형성된다. 진동흡수부(500)는 실리콘, 우레탄 등의 완충작용을 갖는 완충재로 제작될 수 있으며 진동을 흡수할 수 있는 재질이라면 그 어떠한 재질로 형성되어도 무방하다.

도 4 및 도 5 를 참조하여 진동흡수부(500) 및 챔버(300)의 다른 실시예에 대하여 설명한다.

챔버(300)는 내부에 공기가 유입되도록 중공된 형상으로 형성된다. 이때 챔버(300)의 상면에는 제2 개구부(330)가 형성된다. 즉 챔버(300)는 내부에 공기가 채워지는 통 형상으로 형성될 수 있으며 제2 개구부(330)가 형성되어 상면이 개방되도록 형성된다. 챔버(300)의 외측면에는 공기유입구(320)가 형성된다. 공기유입구(320)를 통하여 챔버(300)의 내부로 공기가 유입될 수 있다.

도 4 및 도 5 를 참조하면 진동흡수부(500)는 이동판(510)을 포함한다. 이동판(510)은 그 상면이 작업판(100)의 하면과 접촉되어 작업판(100)을 지지한다. 이동판(510)의 하면에는 이동판(510)의 하면으로부터 지지봉(511)이 돌출형성된다. 지지봉(5110)은 이동판(510)과 일체로 형성된다.

도 4 및 도 5 을 참조하면 상하방향으로 연장되는 이동로드(520)가 형성된다. 이동로드(520)는 원통형으로 형성될 수 있다. 원통형으로 형성된 이동로드(520)는 챔버(300)에 형성된 제2 개구부(330)에 삽입되어 챔버(300)의 내부에 위치한다. 이동로드(520)의 중앙에는 안착홀(521)이 함입되어 형성된다. 안착홀(521)의 바닥면에는 이동판(510)의 지지봉(511)이 삽입되며 안착홀(521)의 바닥면과 지지봉(511)의 끝단이 상호 접촉된다. 따라서 이동판(510)은 이동로드(520)에 안착되어 이동로드(520)을 따라 상하방향으로 이동할 수 있다.

또한 이동로드(520)의 상측 외측면에는 나사산이 형성될 수 있다. 나사산의 하단에는 이동로드(520)의 외측면으로부터 외측방향으로 돌출되는 안착판(522)이 이동로드(520)의 외측면에 돌출 형성된다.

도 4 및 도 5 을 참조하면 챔버(300)의 제2 개구부(330)에 안착되는 다이어프램(530)이 형성된다. 다이어프램(530)은 얇은 두께를 갖는 고무판으로 형성될 수 있지만 자유롭게 변형이 가능한 재질로 형성된다. 다이어프램(530)은 챔버(300)의 제2 개구부(330)와 밀착되어 체결된다. 또한 다이어프램(530)은 중앙에는 이동로드(520)가 관통될 수 있는 삽입홀(도면부호 미부여)이 형성될 수 있다. 삽입홀은 적어도 이동로드(520)의 둘레면과 동일하거나 크게 형성된다. 즉 다이어프램(530)의 삽입홀에 이동로드(520)가 끼워진다. 이때 이동로드(520)에 끼워지는 다이어프램(520)은 이동로드(520)의 외측면에 밀착 체결된다. 이로써 챔버(300)로 유입된 공기가 챔버(300)의 제2 개구부(330)로 유출되지 못한다.

또한 진동흡수부(500)는 다이어프램(530)의 하면이 이동로드(520)에 형성된 안착판(522)의 상면에 안착되고 안착판(522)과 다이어프램(530)이 밀착되도록 다이어프램(530)의 상면에 안착되는 누름대(550)를 포함한다. 누름대(550)는 안착판(522)의 직경과 적어도 작거나 동일한 직경을 갖는 형상으로 형성될 수 있다.

도 5 를 참조하면 진동흡수부(500)는 내부 고정대(560)를 포함한다. 내부 고정대(560)는 누름대(550)의 상면에 안착되도록 이동로드(520)에 끼워지며 이동로드(520)의 상면에 형성된 나사산과 결합될 수 있다. 즉 내부 고정대(560)는 누름대(550)를 가압하여 다이어프램(530)과 안착판(522)을 밀폐시키도록 이동로드(520)의 나사산에 체결된다.

도 4 및 도 5 를 참조하면 챔버(300)의 상면에 체결되는 고정대(540)가 형성된다. 고정대(540)는 다이어프램(530)이 제2 개구부(330)를 밀폐함과 동시에 외측 가장자리가 챔버(300)의 상면에 고정될 수 있도록 다이어프램(530)의 외측면에 안착되어 챔버(300)와 체결된다. 이때 고정대(540)와 챔버(300)는 볼트에 의해 상호 결합될 수 있다. 고정대(540)는 중앙에 이동판(510)의 지지봉(511)이 관통하도록 제2 개구부(330)의 직경과 동일하거나 큰 링형상으로 형성된다.

따라서 다이어프램(530)의 외측 가장자리는 챔버(300)의 제2 개구부(330)를 밀폐되고 내측 가장자리는 이동로드(520)의 외주면에 밀폐되어 챔버(300)의 공기유입구(320)를 통하여 공기가 유입되고 챔버(300) 내부의 압력이 상승하면 다이어프램(530)이 부풀어 올라 이동로드(520)가 상방향으로 이동한다. 이와 반대로 챔버(300)의 내부에 공기의 압력이 하강하면 이동로드(520)는 하강한다. 이때 이동로드(520)에 안착된 이동판(510)은 이동로드(520)와 함께 상하로 이동될 수 있으며, 이동판(510)이 작업판(100)을 지지하고 있으므로 작업판(510)도 동일하게 상하로 이동할 수 있다.

도 1 및 도 2 를 참조하면 연결프레임(220)에는 스토퍼(230)가 형성된다. 스토퍼(230)는 작업판(100)이 하방향으로 급격하게 이동하는 것을 방지하기 위해 형성된다. 즉 스토퍼(230)의 상단과 작업판(100)의 하면은 일정한 간격을 이루도록 형성되는데, 작업판(100)의 상면에 제진 대상물을 안착시키거나 와이어(400) 및 진동흡수부(500)가 파손되어 작업판(100)이 하방향으로 급격하게 이동할 때 작업판(100)이 스토퍼(230)의 상면에 지지되어 더이상 하방향으로 이동하지 못하게 된다. 따라서 작업판(100)의 상면에 위치한 제진 대상물이 바닥으로 추락하는 경우를 방지할 수 있다.

도 1 및 도 2 를 참조하면 연결프레임(220)에는 수평조절 밸브(700)가 형성된다. 수평조절 밸브(700)는 작업판(100)의 하면에 적어도 3개 이상 형성되어 작업판(100)의 수평이 유지되는 것을 감지할 수 있다. 예를 들면 작업판(100)의 일측이 하강하게 되면 수평조절 밸브(700)가 이를 감지하여 하강된 방향의 챔버(300)로 공기를 주입시켜 작업판(100)을 상승시킨다. 이와 반대로 챔버(300)에 공기가 과다 주입되어 작업판(100)이 상승하게 되면 챔벼(300)로 주입된 공기를 배출하여 작업판(100)을 하강시킨다.

도 4 및 도 5 를 참조하면 챔버(300)의 내부에는 제1 격벽(340)이 형성되며 제1 격벽(340)을 통해 챔버(300)는 메인챔버(300-1)와 보조챔버(300-2)로 나누어 질 수 있다. 제1 격벽(340)에는 오리피스(360)가 형성되며 공기유입구(320)는 메인챔버(300-1)와 보조챔버(300-2)중 어느 하나에 형성될 수 있다.

공기유입구(320)가 메인챔버(300-1)에 형성되는 경우 공기유입구(320)로 공기가 유입되면 메인챔버(300-1)와 보조챔버(300-2)에는 일정한 압력이 형성됨과 동시에 이동로드(520)가 상승하여 이동판(510)이 작업판(100)을 지지한다. 이때 작업판(100)에 하중이 발생하거나 진동이 발생하여 이동판(510)과 이동로드(520)가 하강하게되면 작업판(100)의 수평을 유지하기 위해 메인챔버(300-1)에 공기가 유입되어 수평을 유지하게 된다. 이때 메인챔버(300-1)로 과다 공급된 공기는 외부로 배출되는데 이때 오리피스(360)가 개방되어 보조챔버(300-2) 내부의 공기가 메인챔버(300-1)로 공급되어 메인챔버(300-1) 내부의 압력을 일정하게 유지시킬 수 있는 장점이 있다.

공기유입구(320)가 보조챔버(300-2)에 형성되는 경우 공기유입구(320)로 공기가 유입되면 메인챔버(300-1)와 보조챔버(300-2)에는 일정한 압력이 형성됨과 동시에 이동로드(520)가 상승하여 이동판(510)이 작업판(100)을 지지한다. 이때 공기의 압력은 제1 격벽(340)의 오리피스(360)를 타고 메인챔버(300-1)로 이동하여 이동로드(520)와 이동판(510)을 상승시킨다. 작업판(100)에 하중이 발생하거나 진동이 발생하여 메인챔버(300-1) 내부에 공기의 압력이 떨어지면 보조챔버(300-2)로 공기를 보충함으로써 작업판(100)이 항상 수평을 유지하도록 한다.

도 4 및 도 5 를 참조하면 메인챔버(300-1)에는 제2 격벽(350)이 형성된다. 제2 격벽(350)에는 제2 격벽(350)을 관통하는 이탈방지홀(351)이 형성된다. 이탈방지홀(351)에는 이동로드(520)가 삽입된다. 이때 이동로드(520)의 하단에는 이탈방지돌기(523)가 돌출 형성된다. 이탈방지돌기(523)는 이동로드(520)의 외측면으로부터 외측방향으로 돌출 된다. 이탈방지홀(351)은 이동로드(520)의 이탈방지돌기(523)가 삽입될 수 있는 형상으로 형성되며, 이탈방지홀(351)에 삽입된 이동로드(520)를 90°회전시키면 이탈방지돌기(523)가 제2 격벽(350)의 하면에 걸리어 이동로드(520)가 상방향으로 이동하지 못하게 된다. 따라서 이탈방지돌기(523)로 인해 이동로드(520)가 상승하는 이동거리를 제한할 수 있다. 이탈방지돌기(523)가 형성되는 위치에 따라 이동로드(520)의 이동거리를 조절할 수 있다.

본 발명은 제진대상물이 안착되는 작업판(100)과 챔버(300)를 구비하는 외부케이스(200)를 형성하고 챔버(300)가 외부케이스(200)의 내부에서 일정한 간격 이격되어 배치되어제진 대상물로 전달되는 진동이나 충격을 차단할 수 있다.

본 발명은 챔버(300)와 외부케이스(200)를 연결하는 와이어(400)가 챔버(300)와 외부케이스(200)에 3점 지지되어 외부에서 진동이 전달될 때도 작업판(100)이 안정적으로 유지될 수 있는 장점이 있으며, 챔버(300)와 작업판(100) 사이에 상하진동을 흡수하는 진동흡수부(500)를 추가로 설치하여 상하진동을 차단하였고, 수평조절 밸브(700)를 통해 작업판(100)이 항상 수평 유지할 수 있는 장점이 있다.

100 : 작업판 200 : 외부케이스
210 : 제1 개구부 220 : 연결프레임
230 : 스토퍼 240 : 높이조절대
250 : 이동바퀴 300 : 챔버
300-1 : 메인챔버 300-2 : 보조챔버
310 : 연결고리 320 : 공기유입구
330 : 제2 개구부 340 : 제1 격벽
350 : 제2 격벽 351 : 이탈방지홀
360 : 오리피스 400 : 와이어
500 : 진동흡수부 510 : 이동판
511 : 지지봉 520 : 이동로드
521 : 안착홀 522 : 안착판
523 : 이탈방지돌기 530 : 다이어프램
540 : 고정대 550 : 누름대
560 : 내부고정대 600 : 연결볼트
700 : 수평조절 밸브 S : 수용공간

Claims

수평방향으로 연장 형성되며 상측에 제진 대상물이 안착되는 작업판(100);
상기 작업판(100)의 하측에 위치하되, 상측에 제1 개구부(210)가 형성되며 내부에 수용공간(S)이 형성된 외부케이스(200);
상기 수용공간(S)에 위치하도록 상기 제1 개구부(210)에 삽입되고, 외측 둘레면을 따라 적어도 2개 이상의 연결고리(310)가 형성되며, 상기 작업판(100)의 하면과 접촉되어 상기 작업판(100)을 지지하는 챔버(300);
상기 챔버(300)가 상기 수용공간(S)을 형성하는 상기 외부케이스(200)의 내측면과 일정간격 이격되어 외부로부터 전달되는 진동을 차단하도록 일측이 상기 외부케이스(200)의 상측에 고정되고, 타측이 상기 연결고리(310)에 고정되어 상기 챔버(300)와 상기 외부케이스(200)를 연결하는 와이어(400);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 제진 테이블.
제 1 항에 있어서,
상기 작업판(100)과 상기 챔버(300) 사이에는 외부로부터 전달되는 상하 진동을 흡수하는 진동흡수부(500)가 형성되는 것을 특징으로 하는 제진 테이블.
제 2 항에 있어서,
상기 챔버(300)는 내부가 중공되며 중공된 내부에 공기가 유입되도록 상기 챔버(300)의 외측면에 형성되는 공기유입구(320)와 상면에 형성되는 제2 개구부(330)를 포함하고,
상기 진동흡수부(500)는
상면이 상기 작업판(100)의 하면과 접촉되어 상기 작업판(100)을 지지하고 하면에 지지봉(511)이 돌출형성된 이동판(510);
상기 챔버(300)의 중공된 내부에 위치하도록 상기 제2 개구부(330)에 삽입되며, 상기 이동판(510)의 지지봉(511)의 끝단이 안착되는 안착홀(521)이 형성되는 이동로드(520);
상기 이동로드(520)가 상기 챔버(300)로 공급된 공기의 압력에 따라 상하방향으로 이동할 수 있도록 상기 이동로드(520)의 외주면에 밀착 체결되고 상기 챔버(300)의 제2 개구부(330)를 밀폐하는 다이어프램(530);
상기 다이어프램(530)이 상기 챔버(300)의 제2 개구부(330)에 밀폐되어 고정되도록 상기 다이어프램(530)의 외측 가장자리를 가압하여 상기 챔버(300)의 상면에 체결되는 고정대(540);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 제진 테이블.
제 3 항에 있어서,
상기 이동로드(520)의 외측면에는 상기 다이어프램(530)이 상기 이동로드(520)의 외주면에 밀착 체결될 때 상기 다이어프램(530)의 하면과 접촉되는 안착판(522)이 돌출 형성되며,
상기 진동흡수부(500)는 상기 다이어프램(530)을 상기 안착판(522)에 밀착시키도록 상기 안착판(522)에 안착된 상기 다이어프램(530)의 상면에 안착되는 누름대(550)와
상기 누름대(550)를 가압하여 상기 다이어프램(530)과 상기 안착판(522)을 밀폐시키도록 상기 이동로드(520)에 체결되는 내부 고정대(560)를 포함하는 것을 특징으로 하는 제진 테이블.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 외부케이스(200)는 상기 작업판(100)의 하측에 복수개 형성되며,
복수개 형성된 각각의 상기 외부케이스(200)가 일정한 간격으로 배치되도록 상기 각각의 외부케이스(200)의 외측면에 연결되는 연결프레임(220)과
상기 작업판(100)의 상면에 제진 대상물을 안착시킬 때 상기 작업판(100)이 하방향으로 급격하게 이동하는 것을 방지하도록 일측이 상기 작업판(100)의 하면과 접촉하여 상기 작업판(100)을 지지하는 스토퍼(230)가 상기 작업판(100)과 일정한 간격을 이루며 상기 연결프레임(220)에 설치되는 것을 특징으로 하는 제진 테이블.