KR101190095B1 - 방진장치를 구비한 테이블 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정밀계측기, 광학실험장비와 같은 방진대상물로 전달되는 진동을 차단하는 테이블에 관한 것으로, 테이블 상단에 올려진 방진대상물의 진동을 감쇠하기 위하여 다수개의 방진대가 설치된 방진장치를 구비하여 방진대상물로 직접 전달되는 진동을 제거하는 방진장치를 구비한 테이블에 관한 것이다.

Description

방진장치를 구비한 테이블{Vibration-proofing device equipped with table}
본 발명은 정밀계측기, 광학실험장비와 같은 방진대상물로 전달되는 진동을 차단하는 테이블에 관한 것으로, 테이블 상단에 올려진 방진대상물의 진동을 감쇠하기 위하여 다수개의 방진대가 설치된 방진장치를 구비하여 방진대상물로 직접 전달되는 진동을 제거하는 방진장치를 구비한 테이블에 관한 것이다.
최근 반도체 장비나 의료기기, 고밀도의 나노 광학 현미경, 주사 탐침 현미경, 원자 현미경 등의 첨단장비와 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공, 측정 등이 필요함에 따라, 외란과 내부 진동을 차단하는 방진시스템(Vibration Isolation System)에 대한 연구가 활성화되고 있다. 이와 같은 고가의 장비들은 구조상의 안정성뿐만 아니라 전도, 낙하로 인해 파손이 되지 않도록 하여야 한다.
이러한 초정밀장비는 미세한 진동에도 오작동을 일으키므로 이러한 장비에는 외부진동 또는 장비의 작동에 따라 발생하는 자체진동을 제거하는 방진장치가 장비 자체적으로 설치되어 있지만 상대적으로 큰 진동을 차단할 수 없는 문제점이 발생 되었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 외부의 진동을 제거하는 종래의 공기 스프링 타입의 제진 테이블이 제공된 바 있다. 그러나 종래의 제진 테이블에서 공기 스프링을 수직 방향의 스프링을 사용한 경우, 바닥으로부터 전달되는 진동을 제거할 수 있지만 수평 방향으로 전달되는 진동에 취약하다는 문제점이 있었다. 또한 종래의 제진 테이블은 오리피스 노즐, 압축기, 레벨링 밸브 등을 비롯하여 주변기기와의 설치의 복잡성 등으로 개발비용이 상당하며 공기의 흡입과 배출로 인한 소음과 원활한 작동을 지속하기 위해 유지비용이 증가하는 단점이 있다
이러한 점을 보완하기 위해 '한국등록특허 제10-930357호'와 '일본 공개실용신안공보 평02-016841호' 및 일본 '공개특허공보 특개평07-258475호'의 종래의 방진장치가 제안되고 있으나 구조적인 한계에 의해 진동을 효과적으로 차단하기 어렵고 상대적으로 제조 비용이 증가하는 문제가 있다.
한국등록특허 제10-930357호 일본 공개실용신안공보 평02-016841호 일본 공개특허공보 특개평07-258475호
따라서 본 발명은 상기 종래의 공기스프링 타입의 방진장치의 단점을 해소하기 위하여 테이블 내부에 설치가 가능하고, 방진 대상물로 전달되는 진동을 안정적으로 차단하여 방진대상물인 고가의 초정밀장치를 진동으로 보호할 수 있다.
또한, 사람이 인지하지 못하는 미세진동도 차단하여 각각의 기구의 오작동을 줄일 수 있는 방진 테이블을 제공함에 있다.
본 발명의 방진장치를 구비한 테이블은 바닥에 지지되고 좌우측에 각각 한 쌍으로 이루어진 하부프레임(110)과, 상기 한 쌍의 하부프레임(110)을 상호 연결하는 제1 연결지지대(120) 및 제2 연결지지대(130)와, 상기 하부프레임(110)의 상단에 안착되며 상하를 관통하는 개구부(141)가 형성되는 상판(140)을 포함하는 테이블(100); 일측이 상기 제1 연결지지대(120)에 고정되고 타측이 제2 연결지지대(130)에 고정되며 상부가 개방된 외부케이싱(200); 상기 외부케이싱(200)의 내부에 위치하도록 상기 상판(140)의 개구부(141)의 가장자리에 지지되어 고정되며, 내부에 수용공간이 형성되도록 상부가 개방되는 내부케이싱(300); 상면이 상기 상판(140)의 개구부(141)와 동일 수평면에 위치하도록 상기 내부케이싱(300)에 배치되며, 상면에 방진대상물이 안착되는 방진판(400); 상기 방진판(400)의 하측 가장자리를 따라 상기 방진판(400)에 고정되고 상하방향으로 연장 형성되어 상기 내부케이싱(300)에 배치되는 지지판(500); 하단이 개방되고 상단이 밀폐되며 측면이 상기 지지판(500)의 내측 둘레면과 이격되도록 상기 내부케이싱(300)에 배치되는 방진대 고정부(610)와, 상기 방진대 고정부(610)의 하단으로부터 외측으로 연장되어 상기 내부케이싱(300)의 바닥면에 안착되는 고정부 지지판(620)을 포함하는 바닥프레임(600); 상기 테이블(100)로부터 상기 방진대상물로 전달되는 수평 방향의 진동을 차단하기 위하여, 일측이 상기 지지판(500)에 고정되고 타측이 상기 내부케이싱(300)의 내측면에 형성된 가이드홈(310)에 체결되고 진동을 흡수할 수 있도록 실리콘 재질로 형성된 제1 방진패드(710)가 구비된 제1 방진대(700); 상기 테이블(100)로부터 상기 방진대상물로 전달되는 수직 방향의 진동을 차단하기 위하여, 일측이 상기 방진대 고정부(610)에 고정되고 타측이 상기 방진판(400)에 고정되며 진동을 흡수할 수 있도록 실리콘 재질로 형성된 제2 방진패드(810)를 구비하는 제2 방진대(800); 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 상판(140)에는 상기 상판(140)의 개구부(141)의 내측면을 따라 안내홀(142)이 형성되고, 상기 안내홀(142)에는 상기 방진판(400)의 외측 둘레면에 접촉하여 이물질을 차단하는 브러쉬(151)가 부착된 체결레일(150)이 슬라이딩되어 끼워지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 방진대(700)는 상기 제1 방진패드(710)를 지지하도록 상기 제1 방진패드(710))의 양측에 한 쌍을 이루며 형성된 제1-1 고정판(721) 및 제1-2 고정판(722)과, 상기 제1-1 고정판(721) 및 제1-2 고정판(722)의 중앙에 각각 돌출 형성된 제1-1 고정대(731) 및 제1-2 고정대(732)를 포함하고, 상기 제2 방진대(800)는 상기 제2 방진패드(810)를 지지하도록 상기 제2 방진패드(810))의 양측에 한 쌍을 이루며 형성된 제2-1 고정판(821) 및 제2-2 고정판(822)과, 상기 제2-1 고정판(821) 및 제2-2 고정판(822)의 중앙에 각각 돌출 형성된 제2-1 고정대(831) 및 제2-2 고정대(832)를 포함하고, 상기 내부케이싱(300)의 바닥면에는 상기 방진대 고정부(610)에 형성된 방진대 삽입홀(611)에 끼워진 상기 제2 방진대(800)의 제2-2 고정대(832)를 볼트 결합시킬 수 있도록 방진대 설치홀(320)이 관통 형성되고, 상기 방진판(400)에는 상기 방진판(400)이 상기 제2 방진대(800)에 안착되는 위치를 안내하도록 상기 제2 방진대(800)의 제2-1 고정대(831)에 끼워지는 위치 안내홀(410)이 관통 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 테이블에 설치가 가능한 외부 케이싱 및 내부 케이싱과 내부 케이싱 내에 위치하도록 상면에 방진대상물이 안착 되는 방진판을 구비되고 진동을 차단하는 제1 방진대 및 제2 방진대가 방진판 및 내부케이싱에 설치되어 수평방향과 수직방향에서 전달되는 진동을 차단할 수 있다.
본 발명은 제1 방진대 및 제2 방진대가 실리곤 재질로 형성되어 미세진동을 차단할 수 있어 고가의 첨단장비의 오작동을 줄여주는 장점이 있다.
또한 동력을 사용하지 않아 친환경적이며 반영구적으로 사용이 가능하고 간단한 구성으로 제작되어 종래의 방진장치보다 제작비용이 현저하게 줄어드는 장점이 발생한다.
도 1 은 본 발명의 일실시예의 사시도.
도 2 는 본 발명의 일실시예의 주요부를 나타난 분해사시도.
도 3 은 본 발명의 내부케이싱, 방진판, 바닥프레임의 분해 사시도.
도 4 는 본 발명의 일실시예의 설치 상태도.
도 5 는 본 발명의 일실시예의 부분 단면 사시도.
이하, 도면을 참조하며 본 발명의 일실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도 도 1 은 본 발명의 일실시예의 사시도를, 도 2 는 본 발명의 일실시예의 주요부를 나타난 분해사시도를, 도 3 은 본 발명의 내부케이싱, 방진판, 바닥프레임의 분해 사시도를, 도 4 는 본 발명의 일실시예의 설치 상태도를, 도 5 는 본 발명의 일실시예의 부분 단면 사시도를 나타낸다.
도 1 을 참조하면 본 발명의 일실시예는 테이블(100)을 갖는다. 테이블(100)은 바닥에 지지되는 하부프레임(110)을 구비한다. 하부프레임(110)은 좌우측에 각각 한 쌍으로 구비된다. 하부프레임(110)의 하측에는 미끄럼 방지 수단이 설치될 수 있다.
도 2 를 참조하면 각각의 하부프레임(110)을 상호 연결하는 제1 연결지지대(120) 및 제2 연결지지대(130)가 형성된다. 제1 연결지지대(120) 및 제1 연결지지대(130)는 좌우방향으로 연장되어 형성된다. 제1 연결지지대(120)와 제2 연결지지대(130)는 일정간격 이격되어 위치한다.
도 1 및 도 2 를 참조하면 하부프레임(110)의 상단에는 상판(140)이 구비된다. 상판(140)의 중앙에는 개구부(141)가 형성된다. 개구부(141)는 상판(140)의 상하를 관통하여 형성된다.
도 2 를 참조하면 제1 연결지지대(120) 및 제2 연결지지대(130)에 연결되는 외부케이싱(200)이 설치된다. 외부케이싱(200)은 상부가 개방된 형상이다. 외부케이싱(200)의 일측은 제1 연결지지대(120)에 고정되고 타측은 제2 연결지지대(130)에 고정된다.
도 2 를 참조하면 외부케이싱(200)의 내부에 배치되는 내부케이싱(300)을 갖는다. 내부케이싱(300)은 내부에 수용공간이 형성되도록 상부가 개방되어 형성된다. 내부케이싱(300)은 내부케이싱(300)의 상단으로부터 외측으로 연장되는 케이싱 고정판(320)이 형성된다. 케이싱 고정판(320)에는 다수개의 체결홀이 관통 형성되며 볼트가 체결홀에 삽입되어 상판(140)의 하면에 내부케이싱(300)을 고정한다. 내부케이싱(300)의 내측면에는 가이드홈(310)이 관통 형성된다.
도 3 을 참조하면 상판(140)의 개구부(141)와 동일 수평면에 위치하는 방진판(400)이 구비된다. 방진판(400)은 내부케이싱(300) 내부에 배치될 수 있다. 방진판(400)의 상면에는 방진대상물이 안착된다. 방진판(400)은 상판(140)과 동일한 재질로 형성될 수 있다.
도 2 및 도 3 을 참조하면 방진판(400)의 하면에는 지지판(500)이 형성된다. 지지판(500)은 방진판(400)의 하측 가장자리를 따라 형성되고 상하방향으로 연장 형성된다. 따라서, 지지판(500) 및 방진판(400)은 내부케이싱(300) 내부에 배치된다.
도 2 및 도 3 을 참조하면 내부케이싱(300)의 바닥면에 안착 되어 고정되는 바닥프레임(600)이 형성된다. 바닥프레임(600)은 하단이 개방되고 상단이 밀폐되며 측면이 지지판(500)의 내측면과 일정간격 이격되는 방진대 고정부(610)를 포함한다. 방진대 고정부(610)의 하단에는 외측방향으로 연장되는 고정부 지지판(620)이 형성된다. 즉, 고정부 지지판(620)이 내부케이싱(300)의 바닥면에 안착 되어 고정되고 고정부 지지판(620)으로부터 상방향으로 돌출되는 방진대 고정부(610)가 형성되는 바닥프레임(600)이 구비된다.
도 3 의 확대도를 참조하면 테이블(100)로부터 방진판(400)에 안착된 방진대상물에 수평 방향으로 전달되는 진동을 차단하는 제1 방진대(700)가 형성된다. 제1 방진대(700)는 제1 방진패드(710)를 포함한다. 제1 방진패드(710)는 실리콘 재질로 형성될 수 있으며 진동을 흡수할 수 있는 우레탄, 고무 등으로 형성될 수 있다. 제1 방진패드(710)의 양측에는 상호 한 쌍으로 이루는 제1-1 고정판(721)과 제1-2 고정판(722)이 형성된다. 제1-1 고정판(721)의 중앙에는 제1-1 고정대(731)가 돌출 형성되고, 제1-2 고정판(722)의 중앙에는 제1-2 고정대(732)가 돌출 형성된다.
도 3 을 참조하면 지지판(500)에는 방진대 삽입홀(501)이 관통 형성된다. 방진대 삽입홀(501)에는 제1 방진대(710)의 제1-1 고정대(731)가 끼워지고 제1-1 고정대(731)에 볼트 및 체결수단이 체결되어 지지판(500)에 제1 방진대(710)를 고정한다. 제1 방진대(710)는 다수개 구비될 수 있다. 제1-2 고정대(732)는 내부케이싱(300)의 가이드홈(310)에 끼워져 체결된다. 제1-2 고정대(732)는 가이드홈(310)에 상하방향으로 슬라이딩되어 지지판(500) 및 방진판(400)의 높이를 상하방향으로 조절할 수 있다. 한편 가이드홈(310)에 끼워진 제1-2 고정대(732)에 볼트 및 체결수단이 체결되어 제1 방진대(710)를 내부케이싱(300)에 고정한다. 따라서 제1 방진대(710)는 지지판(500) 및 내부케이싱(300)의 측면에 고정되어 수평 방향으로 전달되는 진동을 차단한다.
도 3 및 도 4 를 참조하면 테이블(100)로부터 방진판(400)에 안착된 방진대상물에 수직 방향으로 전달되는 진동을 차단하는 제2 방진대(800)가 형성된다. 제2 방진대(800)는 제2 방진패드(810)를 포함한다. 제2 방진패드(810)는 실리콘 재질로 형성될 수 있으며 진동을 흡수할 수 있는 우레탄, 고무 등으로 형성될 수 있다. 제2 방진패드(810)의 양측에는 상호 한 쌍으로 이루는 제2-1 고정판(821)과 제2-2 고정대(822)이 형성된다. 제2-1 고정판(821)의 중앙에는 제2-1 고정대(831)가 돌출 형성되고, 제2-2 고정판(822)의 중앙에는 제2-2 고정대(832)가 돌출 형성된다.
도 4 의 확대도를 참조하면 방진대 고정부(610)에는 방진대 삽입홀(611)이 관통 형성된다. 제2 방진대(800)가 수직방향으로 배치될 수 있도록 방진대 삽입홀(611)에 제2-2 고정대(832)가 끼워진다. 제2-2 고정대(832)는 볼트 결합 된다. 제2-2 고정대(832)를 고정시킬 수 있는 수단이라면 어떠한 방법을 사용하여도 무방하다. 이때 제2-2 고정대(832)에 볼트 결합시키기 용이하도록 내부케이싱(300)의 바닥면에는 방진대 설치홀(320)이 관통 형성된다. 즉, 방진대 설치홀(320)은 내부케이싱(300)에 바닥프레임(600)을 고정한 상태에서 방진대 고정부(610)에 끼워진 제2 방진대(800)를 방진대 고정부(610)에 볼트 결합시킬 수 있도록 작업공간을 확보하기 위하여 형성된다.
도 4 의 확대도를 참조하면 방진판(400)에는 위치 안내홀(410)이 관통 형성된다. 위치 안내홀(410)에는 제2-1 고정대(831)가 끼워진다. 즉, 수직방향으로 배치된 다수개의 제2 방진대(800)에 방진판(400)이 안착된다. 위치 안내홀(410)은 방진판(400)이 내부케이싱(300)의 중앙에 위치하도록 방진판(400)의 위치를 안내한다.
도 4 를 참조하면 상판(140)의 개구부(141)에는 안내홀(142)이 형성된다. 안내홀(142)은 개구부(141)의 내측 둘레면을 따라 형성된다. 안내홀(142)에는 안내홀(142)에 슬라이딩 되어 끼워지는 체결레일(150)이 설치된다. 체결레일(150)의 일측에는 브러쉬(151)가 부착된다. 브러쉬(151)는 방진판(400)과 개구부(141)사이에 발생한 틈에 이물질이 들어가지 않도록 차단하기 위해 설치된다. 즉 브러쉬(151)는 방진판(400)의 외측 둘레면에 접촉하도록 형성되어 방진판(400)과 개구부(141)사이에 발생한 틈에 브러쉬(151)가 설치되어 내부케이싱(300) 내부에 이물질이 투입되는 것을 방지한다.
도 5 를 참조하면 지지판(500)에 부착된 제1 방진대(700)가 내부케이싱(300)에 체결될 때 일정압력 압축되어 체결된다. 따라서 체결되기 전의 제1 방진대(700)의 방진패드(710)의 폭(L1)이 체결된 후의 방진패드(710)의 폭(L2)보다 크다. 이는 제1 방진대(700)가 내부케이싱(300)의 측면과 지지판(500)에 억지끼움되어 내부케이싱(300)의 측면과 지지판(500) 사이에 유격이 발생하지 않도록 하기 위함이며 이로써 측면에서 발생하는 진동을 효과적으로 차단할 수 있다.
100 : 테이블 142 : 안내홀
150 : 체결레일 151 : 브러쉬
200 : 외부케이싱 300 : 내부케이싱
310 : 방진대 설치홀 400 : 방진판
410 : 위치안내홀 500 : 지지판
600 : 바닥프레임 700 : 제1 방진대
710 : 제2 방진패드 800 : 제2 방진대
810 : 제2 방진패드

Claims (3)

  1. 바닥에 지지되고 좌우측에 각각 한 쌍으로 이루어진 하부프레임(110)과, 상기 한 쌍의 하부프레임(110)을 상호 연결하는 제1 연결지지대(120) 및 제2 연결지지대(130)와, 상기 하부프레임(110)의 상단에 안착되며 상하를 관통하는 개구부(141)가 형성되는 상판(140)을 포함하는 테이블(100);
    일측이 상기 제1 연결지지대(120)에 고정되고 타측이 제2 연결지지대(130)에 고정되며 상부가 개방된 외부케이싱(200);
    상기 외부케이싱(200)의 내부에 위치하도록 상기 상판(140)의 개구부(141)의 가장자리에 지지되어 고정되며, 내부에 수용공간이 형성되도록 상부가 개방되는 내부케이싱(300);
    상면이 상기 상판(140)의 개구부(141)와 동일 수평면에 위치하도록 상기 내부케이싱(300)에 배치되며, 상면에 방진대상물이 안착되는 방진판(400);
    상기 방진판(400)의 하측 가장자리를 따라 상기 방진판(400)에 고정되고 상하방향으로 연장 형성되어 상기 내부케이싱(300)에 배치되는 지지판(500);
    하단이 개방되고 상단이 밀폐되며 측면이 상기 지지판(500)의 내측 둘레면과 이격되도록 상기 내부케이싱(300)에 배치되는 방진대 고정부(610)와, 상기 방진대 고정부(610)의 하단으로부터 외측으로 연장되어 상기 내부케이싱(300)의 바닥면에 안착되는 고정부 지지판(620)을 포함하는 바닥프레임(600);
    상기 테이블(100)로부터 상기 방진대상물로 전달되는 수평 방향의 진동을 차단하기 위하여, 일측이 상기 지지판(500)에 고정되고 타측이 상기 내부케이싱(300)의 내측면에 형성된 가이드홈(310)에 체결되고 진동을 흡수할 수 있도록 실리콘 재질로 형성된 제1 방진패드(710)가 구비된 제1 방진대(700);
    상기 테이블(100)로부터 상기 방진대상물로 전달되는 수직 방향의 진동을 차단하기 위하여, 일측이 상기 방진대 고정부(610)에 고정되고 타측이 상기 방진판(400)에 고정되며 진동을 흡수할 수 있도록 실리콘 재질로 형성된 제2 방진패드(810)를 구비하는 제2 방진대(800);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 방진장치를 구비한 테이블.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 상판(140)에는 상기 상판(140)의 개구부(141)의 내측면을 따라 안내홀(142)이 형성되고,
    상기 안내홀(142)에는 상기 방진판(400)의 외측 둘레면에 접촉하여 이물질을 차단하는 브러쉬(151)가 부착된 체결레일(150)이 슬라이딩되어 끼워지는 것을 특징으로 하는 방진장치를 구비한 테이블.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 방진대(700)는 상기 제1 방진패드(710)를 지지하도록 상기 제1 방진패드(710))의 양측에 한 쌍을 이루며 형성된 제1-1 고정판(721) 및 제1-2 고정판(722)과, 상기 제1-1 고정판(721) 및 제1-2 고정판(722)의 중앙에 각각 돌출 형성된 제1-1 고정대(731) 및 제1-2 고정대(732)를 포함하고,
    상기 제2 방진대(800)는 상기 제2 방진패드(810)를 지지하도록 상기 제2 방진패드(810))의 양측에 한 쌍을 이루며 형성된 제2-1 고정판(821) 및 제2-2 고정판(822)과, 상기 제2-1 고정판(821) 및 제2-2 고정판(822)의 중앙에 각각 돌출 형성된 제2-1 고정대(831) 및 제2-2 고정대(832)를 포함하고,
    상기 내부케이싱(300)의 바닥면에는 상기 방진대 고정부(610)에 형성된 방진대 삽입홀(611)에 끼워진 상기 제2 방진대(800)의 제2-2 고정대(832)를 볼트 결합시킬 수 있도록 방진대 설치홀(320)이 관통 형성되고,
    상기 방진판(400)에는 상기 방진판(400)이 상기 제2 방진대(800)에 안착되는 위치를 안내하도록 상기 제2 방진대(800)의 제2-1 고정대(831)에 끼워지는 위치 안내홀(410)이 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 방진장치를 구비한 테이블.
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