KR20140112862A - 진공증착기 - Google Patents

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KR20140112862A KR1020130027488A KR20130027488A KR20140112862A KR 20140112862 A KR20140112862 A KR 20140112862A KR 1020130027488 A KR1020130027488 A KR 1020130027488A KR 20130027488 A KR20130027488 A KR 20130027488A KR 20140112862 A KR20140112862 A KR 20140112862A
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Abstract

본 발명은 진공증착기를 개시한다. 본 발명은, 구동부와, 상기 구동부와 연결되어 상기 구동부의 작동에 따라 선형 운동하는 선형운동부와, 상기 선형운동부에 연결되어 상기 선형운동부의 운동에 따라 상기 선형운동부의 수직 방향으로 운동하는 각도제한부를 포함한다.

Description

진공증착기 {Vacuum evaporating appartus}
본 발명은 진공증착기에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 디스플레이부를 포함한다. 최근, 디스플레이부를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 디스플레이부가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
상기와 같은 디스플레이부는 유기 발광 소자를 구비하여 외부로부터 인가되는 전류에 의하여 유기 발광층이 발광함으로써 각종 이미지 및 글자 등을 구현할 수 있다. 이때, 상기와 같은 유기 발광 소자는 다양한 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 유기 발광 소자는 유기물 증착 방법, 레이저 열전사 방법, 프린트 스크린 방법 등을 통하여 형성될 수 있다. 이 중에서 유기물 증착 방법은 간단한 순서와 비교적 저렴한 비용으로 유기 발광 소자를 형성할 수 있어 빈번하게 사용되고 있다.
본 발명의 실시예들은 성막 각도의 조절이 가능한 진공증착기를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면은, 구동부와, 상기 구동부와 연결되어 상기 구동부의 작동에 따라 선형 운동하는 선형운동부와, 상기 선형운동부에 연결되어 상기 선형운동부의 운동에 따라 상기 선형운동부의 수직 방향으로 운동하는 각도제한부를 포함하는 진공증착기를 제공할 수 있다.
또한, 상기 구동부는, 구동력을 생성하는 구동력생성부와, 상기 구동력생성부와 연결되어 회전운동하는 회전부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 회전부는 스퍼기어(Spur gear)일 수 있다.
또한, 상기 선형운동부는, 상기 회전부에 연결되어 상기 회전부의 회전 운동 시 선형 운동하는 운동블럭을 구비할 수 있다.
또한, 상기 선형운동부는, 상기 각도제한부가 운동 시 상기 각도제한부의 일부를 가이드하는 가이드부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 가이드부는, 제 1 가이드부와, 상기 제 1 가이드부와 연결되며, 상기 제 1 가이드부로부터 사선방향으로 형성되는 제 2 가이드부와, 상기 제 2 가이드부와 연결되는 제 3 가이드부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 1 가이드부와 상기 제 3 가이부는 서로 상이한 높이에 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 가이드부 내지 제 3 가이드부는 타원 형태의 장공일 수 있다.
또한, 상기 각도제한부는, 각 소스부 사이에 설치되어 상하로 선형 운동하는 각도제한플레이트와, 상기 각도제한플레이트 및 상기 선형운동부와 연결되어 상기 선형운동부의 운동 시 상기 선형운동부의 운동 방향과 수직하게 슬라이딩하는 슬라이딩부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 각도제한부는, 상기 각도제한플레이트와 상기 슬라이딩부 사이를 연결하는 연결부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 각도제한부는, 상기 각도제한플레이트와 상기 슬라이딩부 사이에 배치되어 측면방착판에 형성된 홈을 폐쇄하는 차단부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 각도제한부가 슬라이딩하도록 설치되는 고정부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 고정부와 상기 슬라이딩부 사이에 설치되어 상기 슬라이딩부의 운동을 가이드하는 선형가이드부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 선형운동부와 대향하도록 설치되어 상기 선형운동부의 운동을 가이드하는 보조가이드부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 보조가이드부는, 고정브라켓과, 상기 고정브라켓의 외면에 형성되어 상기 선형운동부의 운동을 가이드하는 가이드를 구비할 수 있다.
또한, 상기 보조가이드부는, 상기 고정브라켓의 외면에 형성되는 보강리브를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 선형운동부는, 상기 가이드에 삽입되는 돌출부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 각도제한부가 상하로 선형 운동 시 상기 각도제한부의 위치를 지시하는 지시부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 지시부는, 상기 각도제한부에 설치되어 상기 각도제한부의 상하 선형 운동 시 상기 각도제한부와 같이 운동하는 운동부와, 외부에 고정되도록 설치되어 상기 운동부의 위치를 표시하는 위치표시부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 구동부 및 상기 선형운동부의 일부를 감싸도록 형성되는 커버부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들은 소스부 사이의 각도제한플레이트의 높이를 자동으로 변경함으로써 공정에 따라서 각도제한플레이트를 교체에 따른 작업시간 및 작업비용을 저감할 수 있다. 특히 본 발명의 실시예들은 각도제한플레이트의 교체를 위하여 챔버를 개방하지 않으므로 챔버의 진공 상태를 지속적으로 유지시킬 수 있다. 또한 본 발명의 실시예들은 연속 증착을 수행할 수 있음으로써 설비의 가동률을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공증착기를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 A부분을 확대하여 보여주는 부분사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 B부분을 확대하여 보여주는 부분사시도이다.
본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공증착기(100)를 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 A부분을 확대하여 보여주는 부분사시도이다. 도 3은 도 1에 도시된 B부분을 확대하여 보여주는 부분사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 진공증착기(100)는 내부에 공간이 형성되는 챔버(미도시)를 포함할 수 있다. 진공증착기(100)는 상기 챔버 내부에 설치되어 유기물 등과 같은 재료 물질을 증발시키는 소스부(미도시)를 포함할 수 있다. 또한, 진공증착기(100)는 상기 소스부가 고정되도록 설치되는 소스부고정프레임(미도시)을 포함할 수 있다.
한편, 진공증착기(100)는 구동부(110), 구동부(110)와 연결되어 구동부(110)의 작동에 따라 선형 운동하는 선형운동부(120)를 포함할 수 있다. 또한, 진공증착기(100)는 선형운동부(120)와 연결되어 선형운동부(120)의 운동에 따라 선형운동부(120)의 수직 방향으로 운동하는 각도제한부(130)를 포함할 수 있다. 이때, 진공증착기(100)는 각도제한부(130)가 슬라이딩하도록 설치되는 고정부(140)를 포함할 수 있다. 진공증착기(100)는 고정부(140)와 각도제한부(130) 사이에 설치되는 측면방착판(160)을 포함할 수 있다.
한편, 구동부(110)는 구동력을 생성하는 구동력생성부(111)를 포함할 수 있다. 특히, 구동력생성부(111)는 모터를 포함할 수 있다. 또한, 구동력생성부(111)는 이에 한정되지 않고 구동력을 생성하는 모든 장치를 포함할 수 있다.
구동부(110)는 구동력생성부(111)와 연결되어 회전 운동하는 회전부(112)를 포함할 수 있다. 이때, 회전부(112)는 스퍼기어(Spur Gear)일 수 있으며, 상기에 한정되지 않고 구동력생성부(111)의 구동에 따라서 구동력을 외부로 전달하는 모든 장치를 포함할 수 있다.
한편, 선형운동부(120)는 구동부(110)의 운동에 따라 선형 운동하는 소스방착판(121)을 포함할 수 있다. 또한, 선형운동부(120)는 회전부(112)와 연결되어 회전부(112)의 운동에 따라 선형 운동하는 운동블럭(122)을 포함할 수 있다. 이때, 운동블럭(122)은 회전부(112)가 스퍼기어로 형성되는 경우 스퍼기어와 연결되어 스퍼기어의 회전 시 운동하는 랙 기어(Rack Gear)일 수 있다. 다만, 운동블럭(122)은 상기에 한정되지 않으며, 회전부(112)가 회전 운동 시 선형 운동하는 모든 장치 및 구조를 포함할 수 있다.
선형운동부(120)는 각도제한부(130)가 운동 시 각도제한부(130)의 일부를 가이드하는 가이드부(123)를 포함할 수 있다. 이때, 가이드부(123)는 가이드바디부(123d)를 포함할 수 있다. 특히 가이드바디부(123d)는 플레이트 형태로 형성될 수 있으며, 가이드바디부(123d)는 일부가 절곡되어 형성될 수 있다.
또한, 가이드부(123)는 가이드바디부(123d)에 형성되는 제 1 가이드부(123a) 내지 제 3 가이드부(123c)를 포함할 수 있다. 구체적으로 제 1 가이드부(123a)와 제 2 가이드부(123b)는 서로 연결되며, 제 2 가이드부(123b)는 제 1 가이드부(123a)와 일정 각도를 형성하도록 연결될 수 있다. 또한, 제 3 가이드부(123c)는 제 2 가이드부(123b)와 연결되도록 형성될 수 있다.
상기와 같이 형성되는 제 1 가이드부(123a) 내지 제 3 가이드부(123c)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제 1 가이드부(123a) 내지 제 3 가이드부(123c)는 홈 형태로 형성될 수 있으며, 장공 형태로 형성될 수 있다. 또한, 제 1 가이드부(123a) 내지 제 3 가이드부(123c)는 돌기 형태로 형성되어 홈을 형성하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 가이드부(123a) 내지 제 3 가이드부(123c)가 장공 형태로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기 장공은 타원 형태로 형성될 수 있다. 이때, 제 1 가이드부(123a)와 제 3 가이드부(123c)는 서로 높이가 상이한 곳에 형성될 수 있으며, 제 2 가이드부(123b)는 제 1 가이드부(123a)와 제 3 가이드부(123c)를 사선 방향으로 서로 연결할 수 있다.
선형운동부(120)는 가이드부(123)에 설치되는 돌출부(124)를 포함할 수 있다. 이때, 돌출부(124)는 가이드바디부(123d)로부터 돌출되어 형성되며, 후술할 보조가이드부(170)와 연결되어 가이드바디부(123d)의 운동 시 가이드바디부(123d)의 경로를 유지시킬 수 있다. 특히 돌출부(124)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 돌출부(124)는 제 1 돌출부(124a)와 제 2 돌출부(124b)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 돌출부(124a)와 제 2 돌출부(124b)는 베어링 형태로 형성되어 가이드바디부(123d)의 운동 시 보조가이드부(170)와의 접촉에 의한 마찰력을 최소화할 수 있다.
한편, 각도제한부(130)는 각 상기 소스부 사이에 설치되어 상하로 선형 운동하는 각도제한플레이트(132)를 포함할 수 있다. 또한, 각도제한부(130)는 각도제한플레이트(132) 및 선형운동부(120)와 연결되어 선형운동부(120)의 운동 시 선형운동부(120)의 운동 방향과 수직하게 슬라이딩하는 슬라이딩부(131)를 포함할 수 있다. 이때, 슬라이딩부(131)는 각도제한플레이트(132)와 연결부(미도시)를 통하여 연결될 수 있다.
또한, 슬라이딩부(131)는 가이드부(123)와 연결되어 가이드부(123)의 운동에 따라서 상기에서 설명한 것과 같이 가이드부(123)의 운동 방향과 수직하게 슬라이딩할 수 있다. 구체적으로 슬라이딩부(131)는 제 1 가이드부(123a) 내지 제 3 가이드부(123c)에 삽입되는 삽입돌기(131a)를 포함할 수 있다. 이때, 삽입돌기(131a)는 베어링 형태로 형성되어 제 1 가이드부(123a) 내지 제 3 가이드부(123c)에 삽입될 수 있다.
슬라이딩부(131)는 고정부(140)에 슬라이딩하도록 설치될 수 있다. 이때, 고정부(140)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 고정부(140)는 서로 일정 간격 이격되도록 배치되어 고정될 수 있다.
한편, 슬라이딩부(131)와 고정부(140) 사이에는 선형가이드부(150)가 설치되어 슬라이딩부(131)의 운동을 가이드할 수 있다. 이때, 선형가이드부(150)는 일반적인 엘엠(LM, Linear motion) 가이드를 포함할 수 있다. 특히 선형가이드부(150)는 복수개 구비될 수 있으며, 각 선형가이드부(150)는 각 고정부(140)에 설치되어 각 고정부(140)와 슬라이딩부(131)를 연결할 수 있다.
상기와 같은 고정부(140)의 내측면에는 상기에서 설명한 측면방착판(160)이 설치될 수 있다. 이때, 측면방착판(160)에는 홈이 형성될 수 있으며, 상기 홈에는 상기 연결부가 삽입될 수 있다. 특히 각도제한부(130)는 측면방착판(160)에 형성된 홈을 폐쇄하도록 각도제한플레이트(132)와 측면방착판(160) 사이에 설치되는 차단부(133)를 구비할 수 있다. 이때, 차단부(133)는 상기 연결부의 길이 방향과 수직한 방향으로 연장되어 형성될 수 있다.
한편, 진공증착기(100)는 선형운동부(120)와 대향하도록 설치되어 선형운동부(120)의 운동을 가이드하는 보조가이드부(170)를 포함할 수 있다. 특히 보조가이드부(170)는 가이드부(123)의 외측에 배치되어 가이드부(123)의 운동을 가이드할 수 있다.
이때, 보조가이드부(170)는 외부에 고정되도록 설치되는 고정브라켓(171)을 포함할 수 있다. 또한, 보조가이드부(170)는 고정브라켓(171)에 형성되어 가이드부(123)의 운동을 가이드하는 가이드(172)를 포함할 수 있다.
특히 가이드(172)는 고정브라켓(171)의 외면에 형성되어 가이드부(123)의 일부가 삽입되도록 형성될 수 있다. 구체적으로 가이드(172)는 홈 또는 홀 형태로 형성되어 선형운동부(120)의 일부가 삽입되도록 형성될 수 있다. 또한, 가이드(172)는 돌기 형태로 형성되어 선형운동부(120)의 일부가 삽입될 수 있다. 특히 가이드(172)가 돌기 형태인 경우 한쌍의 돌기로 형성되어 선형운동부(120)의 일부가 삽입될 수 있다. 이때, 가이드(172)는 상기에 한정되지 않으며 선형운동부(120)의 운동을 가이드하는 모든 구조 및 장치를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 가이드(172)가 한쌍의 돌기 형태로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이때, 가이드(172)에는 제 1 돌출부(124a) 및 제 2 돌출부(124b)가 삽입될 수 있다. 특히 제 1 돌출부(124a) 및 제 2 돌출부(124b)는 가이드(172)에 삽입되어 선형 운동할 수 있다. 또한, 제 1 돌출부(124a) 및 제 2 돌출부(124b)는 가이드(172)를 따라 운동하면서 가이드부(123)의 선형 운동 경로를 유지시킬 수 있다.
보조가이드부(170)는 고정브라켓(171)의 외면에 형성되는 보강리브(173)를 포함할 수 있다. 이때, 보강리브(173)는 복수개 형성될 수 있으며, 복수개의 보강리브(173)는 서로 일정 간격 이격되도록 고정브라켓(171)의 외면에 형성될 수 있다.
한편, 진공증착기(100)는 각도제한부(130)가 상하로 선형 운동 시 각도제한부(130)의 위치를 지시하는 지시부(180)를 포함할 수 있다. 이때, 지시부(180)는 각도제한부(130)에 설치되어 각도제한부(130)의 상하 선형 운동시 각도제한부(130)와 같이 운동하는 운동부(181)를 포함할 수 있다. 또한, 지시부(180)는 외부에 고정되도록 설치되어 운동부(181)의 위치를 표시하는 위치표시부(182)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 운동부(181)는 슬라이딩부(131)에 고정되도록 설치될 수 있다. 또한, 위치표시부(182)에는 운동부(181)의 높이를 표시할 수 있는 눈금 등이 형성되어 운동부(181)의 높이를 외부에서 관찰 가능하다.
진공증착기(100)는 구동부(110) 및 선형운동부(120)의 일부를 감싸도록 형성되는 커버부(190)를 포함할 수 있다. 이때, 커버부(190)는 소스방착판(121), 구동력생성부(111), 회전부(112) 등을 감싸도록 설치되어 증착 물질에 의하여 소스방착판(121), 구동력생성부(111), 회전부(112) 등이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 진공증착기(100)의 작동에 대해서 살펴보면, 진공증착기(100)가 작동하는 경우 상기 소스부의 증착 물질이 가열되어 증발됨으로써 기판(미도시)에 증착 공정을 수행할 수 있다. 이때, 상기 소스부는 복수개 구비되며, 복수개의 상기 소스부 사이에는 상기에서 설명한 것과 같이 각도제한플레이트(132)가 설치될 수 있다.
상기와 같은 각도제한플레이트(132)는 증착 공정의 진행 정도에 따라 기 설정된 높이가 되도록 조절될 수 있다. 구체적으로 기 설정된 높이에 따라 구동부(110)를 작동시킬 수 있다. 이때, 구동력생성부(111)가 작동함으로써 회전부(112)를 회전시킬 수 있다.
회전부(112)는 회전하면서 회전부(112)와 연결된 운동블럭(122)을 일 방향으로 선형 운동시킬 수 있다. 상기와 같이 운동블럭(122)이 운동하는 경우 운동블럭(122)과 연결된 소스방착판(121)도 운동블럭(122)과 같은 방향으로 이동할 수 있다.
구체적으로 회전부(112)가 반시계방향으로 회전하는 경우 운동블럭(122)은 회전부(112)를 중심으로 전진할 수 있다. 이때, 소스방착판(121)은 운동블럭(122)과 함께 회전부(112)를 중심으로 전진할 수 있다. 상기와 같이 소스방착판(121)이 전진하는 경우 가이드부(123)도 소스방착판(121)과 함께 전진할 수 있다.
한편, 상기와 같이 가이드부(123)가 전진하는 경우 제 1 돌출부(124a) 및 제 2 돌출부(124b)는 가이드(172)를 따라 이동할 수 있다. 특히 제 1 돌출부(124a) 및 제 2 돌출부(124b)는 가이드(172)에 완전히 구속되어 운동함으로써 가이드부(123)가 경로를 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
상기와 같이 가이드부(123)가 운동하는 경우, 삽입돌기(131a)는 제 1 가이드부(123a) 내지 제 3 가이드부(123c)를 따라 운동할 수 있다. 구체적으로 삽입돌기(131a)는 제 1 가이드부(123a)로부터 제 2 가이드부(123b)를 따라 움직이고, 다시 제 3 가이드부(123c)를 따라 움직일 수 있다. 이때, 삽입돌기(131a)의 높이는 높아질 수 있다. 특히 삽입돌기(131a)는 제 1 가이드부(123a) 내지 제 3 가이드부(123c)를 따라 이동하면서 점차적으로 높아질 수 있다.
상기와 같이 삽입돌기(131a)가 운동하는 경우 삽입돌기(131a)와 함께 슬라이딩부(131)도 상측으로 선형 운동할 수 있다. 이때, 선형가이드부(150)는 슬라이딩부(131)의 운동을 안내하고, 슬라이딩부(131)의 운동 경로가 어긋나는 것을 방지할 수 있다.
상기와 같이 슬라이딩부(131)가 운동하는 경우 상기 연결부, 차단부(133) 및 각도제한플레이트(132)는 슬라이딩부(131)와 함께 운동할 수 있다. 따라서 각도제한플레이트(132)는 상측으로 이동하게 되고, 상기 소스부에서 분사되는 증착 물질의 증착 각도는 작아질 수 있다.
상기와 같이 각도제한플레이트(132)가 상승하는 경우 측면방착판(160)에 형성된 홈이 개방될 수 있다. 이때, 차단부(133)는 각도제한플레이트(132)와 함께 상승함으로써 상기 홈을 폐쇄할 수 있다. 특히 차단부(133)의 높이는 각도제한플레이트(132)의 높이보다 크게 형성됨으로써 각도제한플레이트(132)가 상승하더라도 상기 홈을 완전히 폐쇄할 수 있다.
한편, 각도제한플레이트(132)가 하강하는 경우는 상기와 반대로 수행될 수 있다. 구체적으로 구동력생성부(111)가 상기와 반대로 작동하면, 회전부(112)는 상기와 반대로 시계방향을 회전할 수 있다.
운동블럭(122)은 회전부(112)의 회전에 따라 회전부(112)를 중심으로 후진할 수 있다. 이때, 운동블럭(122)은 소스방착판(121)을 후진시키고, 소스방착판(121)은 가이드부(123)를 후진시킬 수 있다.
가이드부(123)가 후진하는 경우 제 1 돌출부(124a) 및 제 2 돌출부(124b)는 가이드(172)를 따라 선형 운동할 수 있다. 또한, 삽입돌기(131a)는 제 3 가이드부(123c) 내지 제 1 가이드부(123a)를 따라 운동할 수 있다. 특히 삽입돌기(131a)는 제 3 가이드부(123c)에서 제 2 가이드부(123b), 제 2 가이드부(123b)에서 제 1 가이드부(123a)를 따라 순차적으로 하강할 수 있다.
삽입돌기(131a)가 상기와 같이 하강하면, 슬라이딩부(131)는 삽입돌기(131a)와 함께 하강할 수 있다. 이때, 선형가이드부(150)는 슬라이딩부(131)의 운동을 가이드하면서 슬라이딩부(131)가 고정부(140)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다. 상기와 같이 슬라이딩부(131)가 운동하는 경우, 상기 연결부, 차단부(133) 및 각도제한플레이트(132)는 슬라이딩부(131)와 함께 하강할 수 있다. 이때, 차단부(133)는 상기에서와 같이 측면방착판(160)의 홈을 완전히 폐쇄함으로써 외부로 증착 물질이 유출되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기와 같이 각도제한플레이트(132)가 승하강하는 경우 각도제한플레이트(132)의 높이를 지시부(180)를 통하여 측정할 수 있다. 구체적으로 지시부(180)는 상기 챔버에 설치된 확인창(미도시)을 통하여 작업자 등이 외부에서 확인 가능하도록 설치될 수 있다.
특히 슬라이딩부(131)가 상기에서 설명한 것과 같이 승하강하는 경우 운동부(181)는 슬라이딩부(131)와 함께 승하강할 수 있다. 이때, 운동부(181)는 위치표시부(182)의 일면에 배치되어 운동함으로써 외부에서 운동부(181)가 멈춘 위치표시부(182)의 위치를 파악할 수 있다. 특히 작업자 등은 기 설정된 각도제한플레이트(132)의 위치에 따른 운동부(181)의 위치를 확인함으로써 각도제한플레이트(132)의 위치가 정확한지 여부를 판별할 수 있다.
따라서 진공증착기(100)는 상기 소스부 사이의 각도제한플레이트(132)의 높이를 자동으로 변경함으로써 공정에 따라서 각도제한플레이트(132)를 교체에 따른 작업시간 및 작업비용을 저감할 수 있다. 특히 진공증착기(100)는 증착 공정에 따른 각도제한플레이트(132)의 교체로 인하여 상기 챔버를 개방하지 않으므로 상기 챔버의 진공 상태를 지속적으로 유지시킬 수 있다. 또한 진공증착기(100)는 연속 증착을 수행할 수 있음으로써 설비의 가동률을 향상시킬 수 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
100 : 진공증착기
110 : 구동부
111 : 구동력생성부
112 : 회전부
120 : 선형운동부
121 : 소스방착판
122 : 운동블럭
123 : 가이드부
130 : 각도제한부
131 : 슬라이딩부
132 : 각도제한플레이트
133 : 차단부
140 : 고정부
150 : 선행가이드부
160 : 측면방착판
170 : 보조가이드부
171 : 고정브라켓
172 : 가이드
173 : 보강리브
180 : 지시부
181 : 운동부
182 : 위치표시부
190 : 커버부

Claims (20)

  1. 구동부;
    상기 구동부와 연결되어 상기 구동부의 작동에 따라 선형 운동하는 선형운동부; 및
    상기 선형운동부에 연결되어 상기 선형운동부의 운동에 따라 상기 선형운동부의 수직 방향으로 운동하는 각도제한부;를 포함하는 진공증착기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부는,
    구동력을 생성하는 구동력생성부; 및
    상기 구동력생성부와 연결되어 회전운동하는 회전부;를 구비하는 진공증착기.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 회전부는 스퍼기어(Spur gear)인 진공증착기.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 선형운동부는,
    상기 회전부에 연결되어 상기 회전부의 회전 운동 시 선형 운동하는 운동블럭;을 구비하는 진공증착기.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 선형운동부는,
    상기 각도제한부가 운동 시 상기 각도제한부의 일부를 가이드하는 가이드부;를 구비하는 진공증착기.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 가이드부는,
    제 1 가이드부;
    상기 제 1 가이드부와 연결되며, 상기 제 1 가이드부로부터 사선방향으로 형성되는 제 2 가이드부; 및
    상기 제 2 가이드부와 연결되는 제 3 가이드부;를 구비하는 진공증착기.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 가이드부와 상기 제 2 가이부는 서로 상이한 높이에 형성되는 진공증착기.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 가이드부 내지 제 3 가이드부는 타원 형태의 장공인 진공증착기.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 각도제한부는,
    각 소스부 사이에 설치되어 상하로 선형 운동하는 각도제한플레이트; 및
    상기 각도제한플레이트 및 상기 선형운동부와 연결되어 상기 선형운동부의 운동 시 상기 선형운동부의 운동 방향과 수직하게 슬라이딩하는 슬라이딩부;를 구비하는 진공증착기.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 각도제한부는,
    상기 각도제한플레이트와 상기 슬라이딩부 사이를 연결하는 연결부;를 더 구비하는 진공증착기.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 각도제한부는,
    상기 각도제한플레이트와 상기 슬라이딩부 사이에 배치되어 측면방착판에 형성된 홈을 폐쇄하는 차단부;를 더 구비하는 진공증착기.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 각도제한부가 슬라이딩하도록 설치되는 고정부;를 더 포함하는 진공증착기.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 고정부와 상기 슬라이딩부 사이에 설치되어 상기 슬라이딩부의 운동을 가이드하는 선형가이드부;를 더 포함하는 진공증착기.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 선형운동부와 대향하도록 설치되어 상기 선형운동부의 운동을 가이드하는 보조가이드부;를 더 포함하는 진공증착기.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 보조가이드부는,
    고정브라켓; 및
    상기 고정브라켓의 외면에 형성되어 상기 선형운동부의 운동을 가이드하는 가이드;를 구비하는 진공증착기.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 보조가이드부는,
    상기 고정브라켓의 외면에 형성되는 보강리브;를 더 포함하는 진공증착기.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 선형운동부는,
    상기 가이드에 삽입되는 돌출부;를 구비하는 진공증착기.
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 각도제한부가 상하로 선형 운동 시 상기 각도제한부의 위치를 지시하는 지시부;를 더 포함하는 진공증착기.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 지시부는,
    상기 각도제한부에 설치되어 상기 각도제한부의 상하 선형 운동 시 상기 각도제한부와 같이 운동하는 운동부; 및
    외부에 고정되도록 설치되어 상기 운동부의 위치를 표시하는 위치표시부;를 구비하는 진공증착기.
  20. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부 및 상기 선형운동부의 일부를 감싸도록 형성되는 커버부;를 더 포함하는 진공증착기.
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