KR20140109254A - 정전 용량식 입력 장치 - Google Patents

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Abstract

(과제) 본 발명은 도체층을 형성하여 오검출을 방지함과 함께, 입력 영역의 검출 감도를 향상시킬 수 있는 정전 용량식 입력 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(해결 수단) 본 발명의 정전 용량식 입력 장치 (10) 는, 기재 (21) 와, 복수의 전극 (22) 과, 전극 (22) 에 접속된 배선 (29) 과, 도체층 (55) 을 갖고, 기재 (21) 에 있어서, 입력 조작을 실시하는 입력 영역 (15) 과, 입력 영역 (15) 의 외측의 비입력 영역 (16) 이 설정되어 있고, 복수의 전극 (22) 은 기재 (21) 의 입력 영역 (15) 에 형성됨과 함께, 배선 (29) 은 기재 (21) 의 비입력 영역 (16) 에 형성되어 있고, 도체층 (55) 은, 배선 (29) 에 대해 겹쳐지는 위치에 배치되고, 도체층 (55) 과 배선 (29) 사이에 배선부 절연층 (51) 과 인상층 (52) 이 적층되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

정전 용량식 입력 장치{CAPACITIVE INPUT DEVICE}
본 발명은 입력 위치 정보를 검출하는 정전 용량식 입력 장치에 관한 것으로, 특히, 도체층이 형성된 정전 용량식 입력 장치에 관한 것이다.
모바일 기기나 스마트폰 등의 전자 기기의 표시부에 있어서, 투광형의 정전 용량식 입력 장치가 사용되고 있다. 특허문헌 1 에는, 외부로부터 침입하는 전자파 노이즈의 영향을 받기 어렵게 한 정전 용량식 입력 장치에 대하여 개시되어 있다.
도 12 는, 특허문헌 1 에 기재되어 있는 종래예의 정전 용량식 입력 장치에 대하여 부분 확대 단면도를 나타낸다. 도 12 에 나타내는 바와 같이, 종래예의 정전 용량식 입력 장치 (110) 는, 투광성 기재 (121) 와, 기재 (121) 에 형성된 복수의 제 1 전극 (122) 및 복수의 제 2 전극 (도 12 에서는 복수의 제 2 전극끼리를 접속하는 접속부 (128) 만 나타낸다) 을 가지며 구성된다. 또, 제 1 전극 (122) 및 복수의 제 2 전극에 접속된 배선 (129) 이 비입력 영역 (116) 에 형성되어 있다.
도 12 에 나타내는 바와 같이, 간격을 두고 이웃하는 제 1 전극 (122) 사이에는 접속부 (128) 가 배치되고, 제 1 전극 (122), 제 2 전극 (접속부 (128)), 및 배선 (129) 상에 절연층 (154) 이 형성되어 있다. 이웃하는 제 1 전극 (122) 끼리는, 절연층 (154) 에 형성된 스루홀을 통하여 브릿지부 (127) 에 의해 접속된다. 이와 같이, 제 1 전극 (122) 과 제 2 전극 사이에서 정전 용량을 형성하도록, 제 1 전극 (122) 과 제 2 전극이 입력 영역 (115) 에 배치되어 있다. 조작자의 손가락 등의 피검출체가 정전 용량식 입력 장치 (110) 의 입력 영역 (115) 에 접촉 또는 가까워졌을 때, 제 1 전극 (122) 과 제 2 전극 사이의 정전 용량이 변화하여, 이것에 기초하여 입력 위치 정보를 검출할 수 있다.
검출된 입력 위치 정보는, 배선 (129) 을 통하여 외부 회로로 인출되기 때문에, 외부로부터 전자파 노이즈가 침입하여 배선 (129) 에 중첩되면, 입력 위치 정보와 혼동하여 오검출이 발생한다. 도 12 에 나타내는 바와 같이, 종래예의 정전 용량식 입력 장치 (110) 에 있어서, 절연층 (154) 상의 배선 (129) 과 겹쳐지는 위치에 도체층 (155) 이 형성되어 있다. 이로써, 입력 조작측의 외부로부터 침입하는 전자파 노이즈를 차폐할 수 있다. 따라서, 오검출을 방지하여, 양호한 정밀도로 입력 위치 정보를 검출할 수 있다.
일본 공개특허공보 2011-028535호
최근, 다양한 입력 조작을 실현하기 위해 입력 영역 (115) 에 있어서의 검출 감도를 높이는 것이 요구되고 있으며, 예를 들어 피검출체가 정전 용량식 입력 장치 (110) 의 표면에 접촉하지 않고 가까워진 상태에서 입력 조작 가능해지도록 검출 감도를 향상시키는 것이 검토되고 있다. 그러나, 종래예의 정전 용량식 입력 장치 (110) 에 있어서, 배선 (129) 과 겹쳐지는 위치에 도체층 (155) 을 형성함으로써, 배선 (129) 과 도체층 (155) 사이에 정전 용량이 형성된다. 이 정전 용량은, 입력 위치 정보의 검출에 기여하지 않는 기생 용량으로, 이 기생 용량은, 제 1 전극 (122) 과 제 2 전극 사이에 형성되는 정전 용량과 용량 결합하여, 정전 용량식 입력 장치 (110) 전체의 정전 용량이 증대된다. 그 때문에, 피검출체가 접근했을 때의 정전 용량의 변화가 상대적으로 작아져, 기생 용량에 의해 입력 영역 (115) 에 있어서의 검출 감도가 저하된다는 과제가 생긴다.
또, 도체층 (155) 을 형성하지 않는 경우에는, 입력 조작시에 피검출체가 입력 영역 (115) 에 가까워졌을 때, 비입력 영역 (116) 에 있어서의 배선 (129) 과 피검출체 사이에도 정전 용량이 형성된다. 입력 영역 (115) 의 검출 감도를 향상시키면, 비입력 영역 (116) 에 있어서의 배선 (129) 과 피검출체 사이에 발생하는 정전 용량에 대해서도 감도가 향상되어, 배선 (129) 과 피검출체 사이의 정전 용량 변화를 입력 조작에 의한 신호로서 검출하여, 오검출이 발생하기 쉬워진다.
본 발명은 상기 과제를 해결하여, 도체층을 형성하여 오검출을 방지함과 함께, 입력 영역의 검출 감도를 향상시킬 수 있는 정전 용량식 입력 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 정전 용량식 입력 장치는, 기재와, 복수의 전극과, 상기 전극에 접속된 배선과, 도체층을 갖고, 상기 기재에 있어서, 입력 조작을 실시하는 입력 영역과, 상기 입력 영역의 외측의 비입력 영역이 설정되어 있고, 복수의 상기 전극은 상기 기재의 상기 입력 영역에 형성됨과 함께, 상기 배선은 상기 기재의 비입력 영역에 형성되어 있고, 상기 도체층은, 상기 배선에 대해 겹쳐지는 위치에 배치되고, 상기 도체층과 상기 배선 사이에 배선부 절연층과 인상층이 적층되어 있는 것을 특징으로 한다.
이것에 의하면, 도체층과 배선 사이를 절연하는 배선부 절연층에 추가하여 인상층이 적층되어 있기 때문에, 도체층과 배선의 거리를 크게 하여, 도체층과 배선 사이에 형성되는 정전 용량을 작게 할 수 있다. 따라서, 비입력 영역에 있어서의 기생 용량을 저감시킴으로써, 비입력 영역에 있어서의 기생 용량과, 입력 영역에 있어서의 정전 용량의 용량 결합을 저감시킬 수 있기 때문에, 입력 영역에 있어서의 검출 감도를 향상시킬 수 있다. 또, 도체층과 배선의 거리를 크게 한 경우에도, 외부로부터의 전자파 노이즈의 침입이나, 피검출체와 배선 사이에 정전 용량이 형성되는 것을 억제하여, 오검출의 발생을 방지할 수 있다.
따라서, 본 발명의 정전 용량식 입력 장치에 의하면, 도체층을 형성하여 오검출을 방지함과 함께, 입력 영역의 검출 감도를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 정전 용량식 입력 장치에 있어서, 상기 배선 상에 상기 배선부 절연층이 형성되고, 상기 배선부 절연층 상에 상기 인상층이 형성되어 있고, 상기 도체층은 상기 인상층을 덮도록 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 수분 등이 외부로부터 인상층에 침입하는 것을 도체층에 의해 차폐할 수 있어, 도체층에 덮인 인상층의 내환경성 (내습성, 내피지성) 을 향상시킬 수 있다. 또, 인상층의 재료 선택성이 넓어지기 때문에, 인상층을 두껍게 형성하는 것이 용이하고, 제조 비용의 저감도 가능하다.
본 발명의 정전 용량식 입력 장치에 있어서, 상기 배선 상에 상기 인상층이 형성되고, 상기 인상층 상에 상기 배선부 절연층이 형성되어 있고, 상기 배선부 절연층은 상기 인상층을 덮도록 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 외부로부터 수분 등이 인상층에 침입하는 것을 배선부 절연층에 의해 차폐할 수 있어, 배선부 절연층에 덮인 인상층의 내환경성 (내습성, 내피지성 등) 을 향상시킬 수 있다. 또, 인상층의 재료 선택성이 넓어지기 때문에, 인상층을 두껍게 형성하는 것이 용이하고, 제조 비용의 저감도 가능하다.
본 발명의 정전 용량식 입력 장치에 있어서, 상기 복수의 전극은, 투광성의 복수의 제 1 전극 및 복수의 제 2 전극을 가지며 구성되고, 상기 제 1 전극은, 상기 기재면 내의 제 1 방향에 있어서 간격을 두고 배치됨과 함께, 이웃하는 상기 제 1 전극끼리는 브릿지부에 의해 접속되어 있고, 상기 제 2 전극은, 상기 제 1 방향으로 교차하는 제 2 방향에 있어서 간격을 두고 배치됨과 함께, 이웃하는 상기 제 2 전극끼리는 접속부에 의해 접속되어 있고, 상기 접속부를 덮도록 교차부 절연층이 형성되고, 상기 브릿지부는, 상기 접속부에 대해 평면으로 보았을 때 교차하도록 상기 접속부 및 상기 교차부 절연층에 걸쳐 형성되어 있고, 상기 도체층과 상기 배선의 거리는, 상기 브릿지부와 상기 접속부의 거리보다 큰 것을 특징으로 한다.
이것에 의하면, 배선부 절연층과 인상층의 합계 두께를 두껍게 하여 배선과 도체층 사이에 형성되는 기생 용량을 저감시킨 경우에도, 입력 영역에 있어서의 교차부 절연층은 두껍게 형성할 필요가 없기 때문에, 교차부 절연층이 외부로부터 시인되는 것을 방지하여 양호한 불가시 특성을 확보할 수 있다.
본 발명의 정전 용량식 입력 장치에 있어서, 상기 교차부 절연층과 상기 배선부 절연층은 동일한 재료에 의해 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 교차부 절연층과 배선부 절연층을 동일한 공정에서 형성할 수 있기 때문에, 제조 공정을 삭감하여 제조 비용을 저감시킬 수 있다.
상기 인상층의 두께는, 상기 배선부 절연층의 두께보다 두꺼운 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 배선과 도체층의 거리를 크게 할 수 있기 때문에, 배선과 도체층 사이에 형성되는 기생 용량을 효과적으로 저감시킬 수 있다.
본 발명의 정전 용량식 입력 장치에 의하면, 도체층을 형성하여 오검출을 방지함과 함께, 입력 영역의 검출 감도를 향상시킬 수 있다.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 정전 용량식 입력 장치를 나타내는 분해 사시도이다.
도 2 는 본 실시형태의 정전 용량식 입력 장치를 구성하는 정전 용량식 센서부를 나타내고, 기재, 및 기재에 형성된 각 전극, 배선을 나타내는 평면도이다.
도 3 은 도 1 에 나타내는 정전 용량식 입력 장치를 조립했을 때, 도 1 의 Ⅲ-Ⅲ 선으로 절단하여 화살표 방향에서 보았을 때의 단면도이다.
도 4 는 본 실시형태의 정전 용량식 입력 장치를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 5 는 본 실시형태의 제 1 변형예를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 6 은 본 실시형태의 제 2 변형예를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 7 은 본 실시형태의 제 3 변형예를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 8 은 제 2 실시형태의 정전 용량식 입력 장치를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 9 는 제 3 실시형태의 정전 용량식 입력 장치를 구성하는 정전 용량식 센서부를 나타내고, 기재, 및 기재에 형성된 각 전극, 배선을 나타내는 평면도이다.
도 10 은 도 9 의 Ⅹ-Ⅹ 선으로 절단하여 화살표 방향에서 보았을 때의 정전 용량식 입력 장치의 부분 확대 단면도이다.
도 11 은 제 3 실시형태의 변형예에 있어서의 정전 용량식 센서부를 나타내고, 기재, 및 기재에 형성된 각 전극, 배선을 나타내는 평면도이다.
도 12 는 종례예의 정전 용량식 입력 장치를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
이하, 본 발명의 정전 용량식 입력 장치의 구체적인 실시형태에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 각 도면의 치수는 적절히 변경하여 나타내고 있다.
＜제 1 실시형태＞
도 1 은, 제 1 실시형태의 정전 용량식 입력 장치를 나타내는 분해 사시도이다. 도 1 에 나타내는 바와 같이 본 실시형태의 정전 용량식 입력 장치 (10) 는, 입력 위치 정보를 검출하는 정전 용량식 센서부 (20) 와, 표면 패널 (31) 을 가지며 구성된다. 표면 패널 (31) 은, 정전 용량식 센서부 (20) 에 대해 입력 조작측 (도 1 의 Z1 방향) 에 배치되어 있고, 정전 용량식 센서부 (20) 와 표면 패널 (31) 은 점착층 (32) 에 의해 첩합 (貼合) 된다.
표면 패널 (31) 은, 투광성 유리 재료 또는 수지 재료를 사용하여 평판상으로 형성되어 있다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 표면 패널 (31) 의 이면측 (도 1 의 Z2 방향의 면) 에는 착색된 가식 (加飾) 층 (38) 이 형성되어 있고, 가식층 (38) 은, 표면 패널 (31) 의 외주부에 있어서 프레임상으로 형성되어 있다. 가식층 (38) 에 의해 구분되어 가식층 (38) 에 둘러싸인 영역이 입력 조작을 실시하는 입력 영역 (15) 이다. 또, 입력 영역 (15) 의 외측의 가식층 (38) 과 겹쳐지는 영역이 비입력 영역 (16) 이다.
또한, 표면 패널 (31) 은 도 1 에 나타내는 바와 같은 평판상에 한정되지 않고, 곡면을 갖는 입체적인 표면 형상을 갖는 것이나, 전자 기기의 케이싱의 일부를 표면 패널 (31) 로 해도 된다. 또, 가식층 (38) 은, 표면 패널 (31) 에 직접 형성되는 구성 외에, 가식층 (38) 이 형성된 가식 필름을 별도로 준비하여, 이것을 표면 패널 (31) 에 첩합하는 구성이어도 된다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 정전 용량식 센서부 (20) 의 입력 영역 (15) 에는 복수의 제 1 전극 (22) 및 복수의 제 2 전극 (24) 이 배열되어 있다. 또, 정전 용량식 센서부 (20) 의 비입력 영역 (16) 에는, 입력 영역 (15) 을 둘러싸도록 도체층 (55) (도 1 에 사선을 그어 나타낸다) 이 형성되어 있다. 도체층 (55) 은, 외부로부터 전자파 노이즈가 침입한 경우에, 또는 외부의 물체 등이 가까워졌을 때 오검출이 발생하는 것을 방지하기 위한 실드 기능을 갖는다.
도 2 는, 본 실시형태의 정전 용량식 입력 장치를 구성하는 정전 용량 센서부의 평면도로, 기재, 및 기재에 형성된 각 전극, 배선을 나타내는 평면도이다. 도 3 은, 도 1 에 나타내는 정전 용량식 입력 장치를 조립했을 때, 도 1 의 Ⅲ-Ⅲ 선의 위치에서 절단하여 화살표 방향에서 보았을 때의 정전 용량식 입력 장치의 단면도를 나타낸다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 정전 용량식 센서부 (20) 는, 기재 (21) 와, 기재 (21) 에 형성된 복수의 제 1 전극 (22), 복수의 제 2 전극 (24), 및 복수의 배선 (29) 을 가지며 구성된다. 또한, 도 2 는, 도면을 보기 쉽도록 하기 위해 도체층 (55) 을 생략하여 나타내고 있다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 제 1 전극 (22) 및 제 2 전극 (24) 은 입력 영역 (15) 에 형성되어 있고, 모두 마름모꼴의 패드상의 전극이다. 제 1 전극 (22) 은, X1-X2 방향으로 간격을 두고 배치되어 있고, X1-X2 방향으로 이웃하는 제 1 전극 (22) 끼리는 브릿지부 (27) 에 의해 접속된다. 접속된 복수의 제 1 전극 (22) 은, X1-X2 방향에 있어서 연장됨과 함께, Y1-Y2 방향에 있어서 간격을 두고 복수 개 배열되어 있다. 또, 제 2 전극 (24) 은 Y1-Y2 방향에 있어서 간격을 두고 배열되어 있고, Y1-Y2 방향으로 이웃하는 제 2 전극 (24) 끼리는 폭이 좁은 접속부 (28) 에 의해 접속되어 있다. 접속된 복수의 제 2 전극 (24) 은, Y1-Y2 방향에 있어서 연장됨과 함께, X1-X2 방향에 있어서 간격을 두고 복수 개 배열되어 있다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 접속된 복수의 제 1 전극 (22) 과, 접속된 복수의 제 2 전극 (24) 은, 서로 교차하여 형성되어 있다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 접속부 (28) 와 브릿지부 (27) 가 교차하는 부분에 있어서, 접속부 (28) 를 덮도록 교차부 절연층 (54) 이 형성되어 있고, 접속부 (28) 및 교차부 절연층 (54) 에 걸쳐 브릿지부 (27) 가 형성되어 있다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 접속부 (28) 를 X1-X2 방향으로 끼우도록 배치된 제 1 전극 (22) 끼리는 브릿지부 (27) 에 의해 접속되어 있다. 이와 같이, 제 1 전극 (22) 과 제 2 전극 (24) 은, 서로 절연된 상태로 형성된다.
또, 도 2 에 나타내는 바와 같이 제 1 전극 (22) 및 제 2 전극 (24) 에 접속된 복수의 배선 (29) 은, 기재 (21) 의 비입력 영역 (16) 에 형성되어 있다. 복수의 배선 (29) 은, 기재 (21) 의 비입력 영역 (16) 을 인회 (引回) 하여, 외부 회로와 접속시키기 위한 단자부 (30) 에 접속된다.
본 실시형태에 있어서, 기재 (21) 는, 필름상의 수지 재료를 사용하여 형성되어 있고, 폴리카보네이트 수지 (PC), 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지 (PET), 폴리에틸렌나프탈레이트 수지 (PEN), 고리형 폴리올레핀 (COP), 폴리메타크릴산메틸 수지 (PMMA) 등의 투광성 수지 재료가 사용된다. 제 1 전극 (22), 제 2 전극 (24), 및 접속부 (28) 는, ITO (Indium Tin Oxide), SnO2, ZnO 등의 투명 도전 재료를 사용하여 형성되어 있고, 스퍼터나 증착 등의 박막법에 의해 형성된다. 또, 브릿지부 (27), Cu, Ag, Au 등의 금속 재료나 CuNi, AgPd 등의 합금, ITO 등의 도전성 산화물 재료를 사용할 수 있다. 배선 (29) 및 단자부 (30) 에는, Cu, Ag, Au 등의 금속 재료나 ITO 등의 도전성 산화물 재료를 사용할 수 있다.
본 실시형태의 정전 용량식 센서부 (20) 는, 제 1 전극 (22) 과 제 2 전극 (24) 사이에서 정전 용량을 형성하도록 배치되어 있다. 조작자가 입력 조작을 실시할 때, 표면 패널 (31) 표면의 입력 영역 (15) 에 손가락 등의 피검출체를 접촉시키거나, 또는 접촉시키지 않고 가까이 댄 경우에, 제 1 전극 (22) 과 제 2 전극 (24) 사이의 정전 용량과, 각 전극과 피검출체 사이에 형성되는 정전 용량이 결합한다. 이 정전 용량 변화에 기초하여 입력 위치 정보가 검출된다.
최근, 피지에 의한 오염을 입력 표면에 부착시키지 않고, 또는 붙임 손톱이 있더라도 입력 조작을 보다 쾌적하게 실시하기 위해, 손가락 등을 표면 패널 (31) 표면에 접촉시키지 않고 가까이 댄 상태에서 다양한 입력 조작 방법을 실현하는 것이 요망되고 있다. 그 때문에, 입력 영역 (15) 에 있어서의 검출 감도의 향상이 요구되고 있다. 이 경우, 입력 영역 (15) 의 검출 감도뿐만 아니라, 배선 (29) 에 있어서도 검출 감도가 향상된다. 그리고, 제 1 전극 (22) 과 제 2 전극 (24) 사이의 정전 용량 변화에 의해 검출된 입력 위치 정보는, 배선 (29) 을 전파하여 외부 회로로 출력된다. 도체층 (55) 을 형성하고 있지 않은 경우에 있어서, 배선 (29) 을 전파하는 신호에 외부로부터의 전자파 노이즈가 중첩되거나, 피검출체와 배선 (29) 사이에 정전 용량이 형성된 경우에는, 오검출이 발생할 가능성이 있다. 본 실시형태의 정전 용량식 입력 장치 (10) 에 있어서, 도 1, 도 3 에 나타내는 바와 같이 비입력 영역 (16) 에 있어서 배선 (29) 과 겹쳐지는 위치에 도체층 (55) 이 형성되어 있다. 이로써, 배선 (29) 으로의 전자파 노이즈의 침입이나 피검출체와 배선 (29) 사이의 정전 용량 변화를 억제하여 오검출이 방지된다. 또한, 도체층 (55) 은 적어도 배선 (29) 과 겹쳐지는 위치에 형성되어 있으면 되고, 보다 바람직하게는, 입력 영역 (15) 을 둘러싸도록 형성되어 있으면, 효과적으로 오검출이 방지된다.
도 4 는, 본 실시형태의 정전 용량식 입력 장치의 부분 확대 단면도를 나타내고, 특히 배선 근방에 있어서의 부분 확대 단면도를 나타낸다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 도체층 (55) 은, 배선 (29) 에 대해 겹쳐지는 위치에 형성되어 있고, 도체층 (55) 과 배선 (29) 사이에 배선부 절연층 (51) 과 인상층 (52) 이 적층되어 있다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 기재 (21) 의 비입력 영역 (16) 에 있어서, 배선 (29) 상에 배선부 절연층 (51) 이 형성되고, 배선부 절연층 (51) 상에 인상층 (52) 이 형성되어 있고, 도체층 (55) 은 인상층 (52) 을 덮도록 형성되어 있다.
본 실시형태에 있어서, 도체층 (55) 은, 브릿지부 (27) 와 동일한 재료를 사용하여 형성할 수 있어, 도체층 (55) 과 브릿지부 (27) 를 동일 공정에서 형성할 수 있다. 도체층 (55) 은, 예를 들어 Cu, Ag, Au 등의 금속 재료나 CuNi, AgPd 등의 합금, ITO 등의 투명 도전성 재료가 사용되며, 스퍼터나 증착 등의 박막법이나, 스크린 인쇄나 잉크젯 인쇄 등의 인쇄법에 의해 형성된다.
배선부 절연층 (51) 은, 배선 (29) 과 도체층 (55) 사이의 전기적 절연을 확보하기 위해 형성되어 있고, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 배선 (29) 을 덮도록 배선부 절연층 (51) 이 형성되어 있다. 배선부 절연층 (51) 에는, 절연 열화가 발생하지 않도록 내환경성 (내습성, 내열성, 내피지성) 을 갖는 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 본 실시형태에 있어서, 예를 들어 노볼락 수지와 아크릴 수지 등의 내환경성 수지를 혼합한 것이 사용된다. 또, 인상층 (52) 은, 배선 (29) 과 도체층 (55) 의 거리를 크게 하기 위해 형성되어 있고, 높은 내환경성은 요구되지 않는다. 인상층 (52) 에는, 통상적인 레지스트 재료나 노볼락 수지 등을 사용할 수 있고, 포토리소그래피 기술에 의해 형성된다. 혹은 스크린 인쇄나 잉크젯 인쇄 등의 인쇄법에 의해 형성할 수도 있다. 본 실시형태에 있어서, 배선부 절연층 (51) 은 1 ㎛ ∼ 2 ㎛ 정도의 두께로 형성되고, 인상층 (52) 은, 2 ㎛ ∼ 5 ㎛ 정도의 두께로 형성된다.
이와 같이, 도체층 (55) 과 배선 (29) 사이를 절연하는 배선부 절연층 (51) 에 추가하여, 인상층 (52) 이 적층되어 있기 때문에, 배선부 절연층 (51) 만을 형성한 경우에 비해 도체층 (55) 과 배선 (29) 사이의 거리를 크게 하여, 도체층 (55) 과 배선 (29) 사이에 형성되는 정전 용량을 작게 할 수 있다. 따라서, 비입력 영역 (16) 에 있어서의 기생 용량을 저감시킴으로써, 비입력 영역 (16) 에 있어서의 기생 용량과, 입력 영역 (15) 에 있어서의 정전 용량의 용량 결합을 저감시킬 수 있기 때문에, 입력 영역 (15) 에 있어서의 검출 감도를 향상시킬 수 있다. 또, 도체층 (55) 과 배선 (29) 의 거리를 크게 한 경우에도, 외부로부터의 전자파 노이즈의 침입이나, 피검출체와 배선 (29) 사이에 형성되는 정전 용량에서 기인하는 오검출을 방지할 수 있다.
또한, 본 명세서에 있어서, 배선 (29) 과 도체층 (55) 의 거리는, 인상층 (52) 의 상면 (52a) 에 형성된 도체층 (55) 과 배선 (29) 사이의 수직 방향 (Z1-Z2 방향) 의 거리를 나타낸다.
이상과 같이, 본 발명의 정전 용량식 입력 장치 (10) 에 의하면, 도체층 (55) 을 형성하여 오검출을 방지함과 함께, 비입력 영역 (16) 에 있어서의 배선 (29) 과 도체층 (55) 사이의 기생 용량을 저감시켜, 입력 영역 (15) 의 검출 감도를 향상시킬 수 있다.
또, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 인상층 (52) 의 두께는, 배선부 절연층 (51) 의 두께보다 두껍게 형성하는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 배선 (29)과 도체층 (55) 의 거리를 보다 크게 할 수 있기 때문에, 배선 (29) 과 도체층 (55) 사이에 형성되는 기생 용량을 효과적으로 저감시킬 수 있다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 배선부 절연층 (51) 및 인상층 (52) 은, 배선부 절연층 (51) 의 폭 치수 (배선 (29) 이 연장되는 방향에 대해 직교하는 X1-X2 방향의 치수) 에 대해, 인상층 (52) 의 폭 치수가 작아지도록 형성되어 있다. 그리고, 인상층 (52) 의 상면 (52a) 및 측면 (52b) 을 덮도록 도체층 (55) 이 형성되어 있다.
이와 같이 도체층 (55) 을 형성함으로써, 외부로부터 인상층 (52) 의 내부에 수분 등이 침입하는 것을 도체층 (55) 에 의해 차폐할 수 있어, 도체층 (55) 에 덮인 인상층 (52) 의 내환경성 (내습성, 내피지성) 을 향상시킬 수 있다. 게다가, 인상층 (52) 으로서 흡수성을 갖는 수지 재료 등을 사용할 수 있게 되어 재료 선택성이 넓어지기 때문에, 소정의 두께로 형성할 수 있는 재료를 선택하여 인상층 (52) 을 형성함으로써, 인상층 (52) 을 두껍게 형성하는 것이 용이해진다. 또, 제조 비용의 저감으로도 이어진다.
도 12 에 나타내는 종래예의 정전 용량식 입력 장치 (110) 에 있어서, 절연층 (154) 을 두껍게 형성함으로써, 배선 (129) 과 도체층 (155) 사이의 거리를 크게 하여 기생 용량을 작게 할 수 있다. 그러나, 종래예의 정전 용량식 입력 장치 (110) 에서는, 배선 (129) 위뿐만 아니라, 입력 영역 (115) 의 제 1 전극 (122) 및 제 2 전극 상에도 절연층 (154) 이 형성되기 때문에, 절연층 (154) 을 두껍게 형성하면 브릿지부 (127) 와 배선 (129) 사이의 절연층 (154) 도 두꺼워진다. 절연층 (154) 에는 투명한 재료가 사용되지만, 절연층 (154) 이 두껍게 형성되면, 절연층 (154) 이 형성된 영역과, 형성되어 있지 않은 영역의 콘트라스트차가 눈에 띄어, 외부로부터 절연층 (154) 의 경계가 시인되어 버린다.
본 실시형태의 정전 용량식 입력 장치 (10) 는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 도체층 (55) 과 배선 (29) 의 거리는, 브릿지부 (27) 와 접속부 (28) 의 거리보다 크게 형성되어 있다. 요컨대, 배선부 절연층 (51) 과 인상층 (52) 의 합계 두께는, 교차부 절연층 (54) 의 두께보다 두꺼워지도록 형성되어 있다. 이로써, 비입력 영역 (16) 에 있어서 배선부 절연층 (51) 과 인상층 (52) 을 형성하여 기생 용량을 저감시킨 경우에 있어서도, 입력 영역 (15) 에 있어서의 교차부 절연층 (54) 은 두껍게 형성할 필요가 없기 때문에, 교차부 절연층 (54) 이 외부로부터 시인되는 것을 방지하여, 양호한 불가시 특성이 확보된다. 또, 배선부 절연층 (51) 상에 인상층 (52) 을 형성해도, 비입력 영역 (16) 에는 가식층 (38) 이 형성되어 있기 때문에, 도체층 (55) 이나 인상층 (52) 등이 외부로부터 시인되는 경우는 없다.
교차부 절연층 (54) 과 배선부 절연층 (51) 은 동일한 재료를 사용하여 형성하는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 교차부 절연층 (54) 과 배선부 절연층 (51) 을 동일한 공정에서 형성할 수 있기 때문에, 정전식 입력 장치 (10) 의 제조 공정을 삭감하여 제조 비용을 저감시킬 수 있다.
도 5 는, 제 1 실시형태의 정전 용량식 입력 장치에 있어서의 제 1 변형예를 나타내는 부분 확대 단면도이다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 제 1 변형예의 정전 용량식 입력 장치 (10) 에 있어서, 도체층 (55) 의 구성이 상이하다. 본 변형예에 있어서, 도체층 (55) 은 인상층 (52) 의 상면 (52a) 에 형성되어 있고, 측면 (52b) 에는 형성되어 있지 않다. 이와 같은 양태여도, 배선 (29) 과 도체층 (55) 사이의 기생 용량을 저감시켜, 입력 영역 (15) 에 있어서의 검출 감도를 향상시킬 수 있다.
제 1 변형예에 있어서의 도체층 (55) 및 인상층 (52) 의 구조는, 도 4 에 나타내는 구조보다 비교적 단순하기 때문에, 도체층 (55) 및 인상층 (52) 을 스크린 인쇄법에 의해 형성하는 것이 바람직하다. 스크린 인쇄법 등의 인쇄법에 의해 형성함으로써 염가로 제조할 수 있고, 또, 인상층 (52) 을 두껍게 형성하는 것이 용이하게 실현된다.
도 6 은, 제 1 실시형태의 정전 용량식 입력 장치에 있어서의 제 2 변형예를 나타내는 부분 확대 단면도이다. 도 6 에 나타내는 바와 같이, 표면 패널 (31) 의 이면에 있어서 제 1 투명 충전층 (35) 이 형성됨과 함께, 기재 (21) 의 입력 조작측의 면에 있어서 제 2 투명 충전층 (36) 이 형성되어 있다. 제 1 투명 충전층 (35) 은, 가식층 (38) 의 두께와 동등한 두께로 형성되어 있고, 표면 패널 (31) 과 가식층 (38) 으로 형성되는 단차 (이하, 「가식 단차 (39)」라고 한다) 를 매립하도록, 표면 패널 (31) 의 입력 영역 (15) 에 형성되어 있다. 또, 제 2 투명 충전층 (36) 은, 배선부 절연층 (51), 인상층 (52) 및 도체층 (55) 의 합계 두께와 동등한 두께로 형성되어 있다. 그리고, 제 2 투명 충전층 (36) 은, 배선부 절연층 (51), 인상층 (52) 및 도체층 (55) 등의 적층 구조체와 기재 (21) 로 형성되는 단차 (이하, 「배선부 단차 (53)」라고 한다) 를 매립하도록, 기재 (21) 의 입력 영역 (15) 에 형성되어 있다.
제 1 투명 충전층 (35) 및 제 2 투명 충전층 (36) 에는, 예를 들어 아크릴 수지 등의 투광성의 수지 재료를 사용할 수 있고, 잉크젯 인쇄나 스크린 인쇄에 의해 형성할 수 있다.
본 변형예에 있어서, 제 1 투명 충전층 (35) 및 제 2 투명 충전층 (36) 을 형성함으로써, 점착층 (32) 에 의해 첩합되는 표면 패널 (31) 측의 단차 및 기재 (21) 측의 단차를 작게 할 수 있다. 이로써, 점착층 (32) 에 의해 첩합되는 두께 방향의 거리의 편차 및 국소적인 변화가 해소되기 때문에, 점착층 (32) 의 유연성에 의해 간극없이 표면 패널 (31) 과 기재 (21) 가 첩합된다. 따라서, 가식단차 (39) 나 배선부 단차 (53) 에 있어서의 기포 발생을 방지할 수 있다.
특히, 본 실시형태의 정전 용량식 입력 장치 (10) 과 같이 인상층 (52) 이 형성되어 있는 구성에 있어서, 투명 충전층을 형성하지 않는 경우에는, 점착층 (32) 의 유연성에 의해 흡수해야 하는 단차의 높이가 커진다. 그 때문에, 가식단차 (39) 와 점착층 (32) 사이나 배선부 단차 (53) 와 점착층 (32) 사이에 기포가 발생하기 쉬워진다. 따라서, 본 실시형태에 있어서, 제 1 투명 충전층 (35) 및 제 2 투명 충전층 (36) 을 형성하는 것은, 기포의 발생 방지에 효과적이다.
도 7 은, 제 1 실시형태의 정전 용량식 입력 장치에 있어서의 제 3 변형예를 나타내는 부분 확대 단면도이다. 본 변형예에 있어서, 표면 패널 (31) 의 이면에 제 1 투명 충전층 (35) 이 형성되어 있고, 기재 (21) 측에는 투명 충전층은 형성되어 있지 않다. 본 변형예에 있어서, 제 1 투명 충전층 (35) 은, 가식층 (38) 의 하면 (38b) 의 일부에 얹혀 형성되어 있고, 가식층 (38) 보다 두꺼워지도록 형성되어 있다. 요컨대, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 제 1 투명 충전층 (35) 은 가식층 (38) 의 하면 (38b) 보다 기재 (21) 방향을 향하는 볼록상을 갖는다.
도 7 에 나타내는 바와 같이, 제 1 투명 충전층 (35) 을 볼록상으로 형성함으로써, 배선부 단차 (53) 를 제 1 투명 충전층 (35) 의 볼록상에 의해 흡수할 수 있다. 이와 같은 양태여도, 점착층 (32) 에 의해 첩합되는 두께 방향의 거리의 편차나 국소적인 변화가 억제되기 때문에, 기포의 혼입을 방지하여 표면 패널 (31) 과 기재 (21) 가 첩합된다.
＜제 2 실시형태＞
도 8 은, 제 2 실시형태의 정전 용량식 입력 장치를 나타내는 부분 확대 단면도이다. 제 2 실시형태의 정전 용량식 입력 장치 (11) 는, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 배선 (29) 상에 형성된 배선부 절연층 (51) 과 인상층 (52) 의 구성이 상이하고, 입력 영역 (15) 에 있어서의 제 1 전극 (22), 제 2 전극 (24) (도 8 에는 접속부 (28) 만 나타낸다) 등의 패턴은, 도 2 에 나타내는 제 1 실시형태와 동일하다.
도 8 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 정전 용량식 입력 장치 (11) 에 있어서, 배선 (29) 상에 인상층 (52) 이 형성되고, 인상층 (52) 상에 배선부 절연층 (51) 이 형성되어 있다. 그리고, 도체층 (55) 은 배선부 절연층 (51) 의 상면 (51a) 에 형성된다. 또, 배선부 절연층 (51) 은 인상층 (52) 을 덮도록 형성되어 있고, 인상층 (52) 의 상면 (52a) 및 측면 (52b) 에 걸쳐 형성되어 있다.
본 실시형태에 있어서도, 배선부 절연층 (51) 에 추가하여 인상층 (52) 이 형성되어 있기 때문에, 배선 (29) 과 도체층 (55) 의 거리를 크게 할 수 있다. 이로써, 도체층 (55) 과 배선 (29) 사이에 형성되는 정전 용량을 작게 할 수 있어, 비입력 영역 (16) 에 있어서의 기생 용량이 저감된다. 따라서, 비입력 영역 (16) 에 있어서의 기생 용량과, 입력 영역 (15) 에 있어서의 정전 용량의 용량 결합을 저감시킬 수 있기 때문에, 입력 영역 (15) 에 있어서의 검출 감도를 향상시킬 수 있다. 또, 본 실시형태에 있어서도 도체층 (55) 을 형성함으로써, 외부로부터의 전자파 노이즈의 침입이나, 피검출체와 배선 (29) 사이에 형성되는 정전 용량 에서 기인하는 오검출의 발생이 방지된다.
또, 배선부 절연층 (51) 이 인상층 (52) 을 덮도록 형성되어 있기 때문에, 외부로부터 인상층 (52) 에 수분 등이 침입하는 것을 배선부 절연층 (51) 에 의해 차폐할 수 있어, 배선부 절연층 (51) 으로 덮인 인상층 (52) 의 내환경성 (내습성, 내피지성 등) 을 향상시킬 수 있다. 즉, 인상층 (52) 으로서 흡수성이 있는 수지 재료를 사용한 경우에도 절연 열화를 방지할 수 있어, 인상층 (52) 의 재료 선택성이 넓어지기 때문에, 제조 비용의 저감으로 이어지고, 또, 인상층 (52) 을 두껍게 형성하는 것이 용이해진다. 또한, 도 8 에서는 도체층 (55) 을 배선부 절연층 (51) 의 상면 (51a) 에 형성하고 있지만, 배선부 절연층 (51) 의 상면 (51a) 으로부터 측면 (51b) 에 걸쳐, 배선부 절연층 (51) 의 일부를 덮도록 도체층 (55) 을 형성할 수도 있다.
＜제 3 실시형태＞
도 9 는, 제 3 실시형태의 정전 용량식 입력 장치에 있어서의 기재, 및 기재에 형성된 각 전극, 배선을 나타내는 평면도이다. 도 10 은, 도 9 에 나타내는 기재를 표면 패널에 첩합하여 정전 용량식 입력 장치로 했을 때, 도 9 의 Ⅹ-Ⅹ 선의 위치에서 절단하여 화살표 방향에서 보았을 때의 부분 확대 단면도이다.
도 9 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 정전 용량식 입력 장치 (12) 는, 입력 영역 (15) 에 있어서의 각 전극의 구조가 상이하다. 도 9 에 나타내는 바와 같이, 제 1 전극 (23) 은, Y1-Y2 방향의 폭 치수가 X2 방향을 향함에 따라 서서히 작아지도록 형성되어 있다. 또, 제 2 전극 (25) 은, Y1-Y2 방향의 폭 치수가 X1 방향을 향함에 따라 서서히 작아지도록 형성되어 있다. 이 제 1 전극 (23) 과 제 2 전극 (25) 이 1 세트로 간격을 두고 배치되어 있고, 1 세트의 제 1 전극 (23) 및 제 2 전극 (25) 이 Y1-Y2 방향에 있어서 복수 배치되어 있다. 그리고, 배선 (29) 은, 제 1 전극 (23) 및 제 2 전극 (25) 의 각각에 접속됨과 함께, 비입력 영역 (16) 을 인회하고 있다.
이와 같은 패턴이어도, 입력 조작시에 있어서 손가락 등의 피검출체가 가까워졌을 때, 제 1 전극 (23) 과 제 2 전극 (25) 사이의 정전 용량과, 각 전극과 피검출체 사이에 형성되는 정전 용량이 결합된다. 이 정전 용량 변화에 기초하여 입력 위치 정보가 검출된다.
도 9 에 나타내는 바와 같이, 입력 위치 정보를 검출하는 제 1 전극 (23) 및 제 2 전극 (25) 의 패턴이 상이한 경우에 있어서도 본 발명을 적용할 수 있다. 도 10 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 있어서도, 배선 (29) 과 겹쳐지는 위치에 도전층 (55) 을 형성하고, 배선 (29) 과 도전층 (55) 사이에 배선부 절연층 (51) 과 인상층 (52) 을 형성할 수 있다. 본 실시형태에 있어서도, 비입력 영역 (16) 에 있어서의 기생 용량을 저감시켜, 입력 영역 (15) 에 있어서의 검출 감도를 향상시킬 수 있다.
도 10 에 나타내는 도전층 (55), 배선부 절연층 (51), 및 인상층 (52) 의 구성이나 재료 등은, 도 4 에 나타내는 제 1 실시형태와 동일하게 형성할 수 있다. 또, 다른 변형예, 제 2 실시형태에 나타낸 구성을 적용할 수도 있다.
또, 도 11 은 제 3 실시형태의 정전 용량식 입력 장치 (12) 의 변형예를 나타내고, 기재, 및 기재에 형성된 각 전극, 배선을 나타내는 평면도이다. 도 11 에 나타내는 바와 같이, 복수의 직사각형상의 전극 (26) 이 입력 영역 (15) 에 배열되어 있고, 배선 (29) 은 전극 (26) 의 각각에 접속되어 비입력 영역 (16) 으로 인출된다. 또한, 도 11 에서는 배선 (29) 을 일부 생략하여 나타내고 있지만, 배선 (29) 의 각각은, 외부 회로와 접속시키기 위한 단자부 (30) 에 접속된다. 본 변형예의 정전 용량식 입력 장치 (12) 는, 복수의 전극 (26) 의 각각에 대해 피검출체와의 사이의 정전 용량 변화를 검출하여 입력 위치 정보를 검출할 수 있다.
이와 같은 패턴에 있어서, 배선 (29) 의 갯수나 배선 (29) 의 전체 면적이 증대되기 때문에 기생 용량이 커져, 입력 영역 (15) 의 검출 감도를 향상시켰을 때, 기생 용량의 영향이 증대된다. 본 변형예에 있어서, 도 10 과 동일하게, 도전층 (55), 배선부 절연층 (51), 및 인상층 (52) 을 형성함으로써, 오검출을 억제함과 함께, 배선 (29) 과 도전층 (55) 사이의 기생 용량을 효과적으로 저감시켜 입력 영역 (15) 의 검출 감도를 향상시킬 수 있다.
제 1 실시형태 내지 제 3 실시형태의 정전 용량식 입력 장치 (10, 11, 12) 에서는, 모두 기재 (21) 의 편면에 있어서, 각 전극 및 배선을 형성한 구성을 나타내었지만, 이것에 한정되지 않는다. 기재 (21) 의 일방의 면에 제 1 전극을 형성하고, 기재 (21) 의 타방의 면에 제 2 전극을 형성하는 구성이나, 제 1 전극을 형성한 제 1 기재와, 제 2 전극을 형성한 제 2 기재를 준비하여, 제 1 기재와 제 2 기재를 첩합한 다층 구조 등이어도 본 발명을 적용할 수 있다.
10, 11, 12 : 정전 용량식 입력 장치
15 : 입력 영역
16 : 비입력 영역
20 : 정전 용량식 센서부
21 : 기재
22, 23 : 제 1 전극
24, 25 : 제 2 전극
26 : 전극
27 : 브릿지부
28 : 접속부
29 : 배선
31 : 표면 패널
32 : 점착층
35 : 제 1 투명 충전층
36 : 제 2 투명 충전층
38 : 가식층
51 : 배선부 절연층
52 : 인상층
54 : 교차부 절연층
55 : 도체층

Claims (10)

  1. 기재와, 복수의 전극과, 상기 전극에 접속된 배선과, 도체층을 갖고, 상기 기재에 있어서, 입력 조작을 실시하는 입력 영역과, 상기 입력 영역의 외측의 비입력 영역이 설정되어 있고,
    복수의 상기 전극은 상기 기재의 상기 입력 영역에 형성됨과 함께, 상기 배선은 상기 기재의 비입력 영역에 형성되어 있고,
    상기 도체층은, 상기 배선에 대해 겹쳐지는 위치에 배치되고,
    상기 도체층과 상기 배선 사이에 배선부 절연층과 인상층이 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 용량식 입력 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 배선 상에 상기 배선부 절연층이 형성되고, 상기 배선부 절연층 상에 상기 인상층이 형성되어 있고,
    상기 도체층은 상기 인상층을 덮도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 용량식 입력 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 배선부 절연층 및 상기 인상층은, 상기 배선부 절연층의 폭 치수에 대해, 상기 인상층의 폭 치수가 작아지도록 형성되어 있고,
    상기 인상층의 상면 및 측면을 덮도록 상기 반도체층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 용량식 입력 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 배선 상에 상기 인상층이 형성되고, 상기 인상층 상에 상기 배선부 절연층이 형성되어 있고,
    상기 배선부 절연층은 상기 인상층을 덮도록 형성되어 있고, 상기 인상층의 상면 및 측면에 걸쳐 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 용량식 입력 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 전극은, 투광성의 복수의 제 1 전극 및 복수의 제 2 전극을 가지며 구성되고,
    상기 제 1 전극은, 상기 기재면 내의 제 1 방향에 있어서 간격을 두고 배치됨과 함께, 이웃하는 상기 제 1 전극끼리는 브릿지부에 의해 접속되어 있고,
    상기 제 2 전극은, 상기 제 1 방향으로 교차하는 제 2 방향에 있어서 간격을 두고 배치됨과 함께, 이웃하는 상기 제 2 전극끼리는 접속부에 의해 접속되어 있고,
    상기 접속부를 덮도록 교차부 절연층이 형성되고, 상기 브릿지부는, 상기 접속부에 대해 평면으로 보았을 때 교차하도록 상기 접속부 및 상기 교차부 절연층에 걸쳐 형성되어 있으며,
    상기 도체층과 상기 배선의 거리는, 상기 브릿지부와 상기 접속부의 거리보다 큰 것을 특징으로 하는 정전 용량식 입력 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 반도체층은, 상기 브릿지부와 동일한 재료에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 용량식 입력 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 교차부 절연층과 상기 배선부 절연층은 동일한 재료에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 용량식 입력 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 인상층의 두께는, 상기 배선부 절연층의 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 정전 용량식 입력 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반도체층은, 상기 입력 영역을 둘러싸도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 용량식 입력 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 배선부 절연층은, 노볼락 수지와 아크릴 수지를 혼합한 재료에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 용량식 입력 장치.
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