KR20140101407A - 불소가스 생성 장치 - Google Patents

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KR20140101407A
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fluorine gas
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다츠야 이리에
아키후미 야오
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샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
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Abstract

불화수소를 포함하는 용융염으로 이루어지는 전해욕 중에서 불화수소를 전해함으로써 양극측에 불소가스를 주성분으로 하는 주생가스를 발생시킴과 함께, 음극측에 수소가스를 주성분으로 하는 부생가스를 발생시키는 전해조(1)와, 전해조(1)에 보충하기 위한 불화수소가 저류된 불화수소 공급원(40)과, 불화수소 공급원(40)의 불화수소를 전해조(1)에 보충하기 위한 불화수소 공급 통로(41)와, 불화수소 공급 통로(41)에 설치되고, 불화수소 공급원(40)으로부터 공급된 불화수소를 기화시키는 기화기(60)를 구비하는 불소가스 생성 장치(100).

Description

불소가스 생성 장치{FLUORINE GAS GENERATION APPARATUS}
본 발명은, 불소가스를 안정적으로 공급 가능한 불소가스 생성 장치에 관한 것이다.
종래, 불화수소를 포함하는 용융염으로 이루어지는 전해욕 중에서 불화수소를 전해하는 전해조를 구비하고, 양극측에 불소가스를 주성분으로 하는 주생가스를 발생시킴과 함께, 음극측에 수소가스를 주성분으로 하는 부생가스를 발생시키는 불소가스 생성 장치가 알려져 있다(특허문헌 1, 2).
이 종류의 불소가스 생성 장치에서는, 전해욕 중에서의 불화수소의 전해에 의해, 용융염의 액면이 저하되었을 때는, 불화수소 봄베나 불화수소 탱크 등의 불화수소 공급원을 이용하여, 전해조의 외부로부터 전해조에 접속된 불화수소 공급 통로에 의해 전해욕 중에 직접 불화수소가 공급된다.
불소가스 생성 장치에 있어서, 불소가스를 생성하는 양극측의 액면 레벨은, 불소가스 생성 장치로부터 발생시키는 불소가스량에 영향을 받아, 불소를 대량으로 발생시킨 경우, 전해조의 액면 레벨이 저하된다.
불소가스는, 반응성이 높기 때문에, 전해조의 액면 레벨이 크게 변동하면, 불소가스와 수소가스가 혼촉(混觸)하여 반응할 우려가 있기 때문에, 불소가스의 발생량에 영향을 주지 않고, 전해조의 액면 레벨을 일정하게 안정시키는 것이 중요하게 된다. 그 때문에, 전해조의 액면 레벨을 일정하게 유지하기 위하여, 충분한 양의 불화수소를 안정적으로 공급할 필요가 있다.
특허문헌 1, 2에 기재된 바와 같은 종래의 불소가스 생성 장치의 구성에서는, 불화수소의 전해조로의 공급은, 불화수소 공급원을 히터 등으로 직접 가열하여, 기체 상태로 유지된 불화수소를 불화수소 공급 통로 내에서 반송함으로써 행하여진다.
일본국 공개특허 특개 2004-43885호 공보 일본국 공개특허 특개2009-242944호 공보
종래의 방법에서는, 불소를 대량으로 발생시킨 경우, 전해조의 액면 레벨을 일정하게 유지하는데 충분한 양의 불화수소를 공급할 수 없어, 불화수소의 공급량이 불안정해지기 쉽다. 그 결과, 전해조의 액면 레벨이 변동하기 쉬워, 안정적으로 불소가스를 생성하는 것이 어려워지는 문제점이 있었다.
봄베를 이용하는 경우, 불화수소의 공급량을 늘리기 위하여, 불화수소 봄베를 빈번히 교환하는 방법도 생각할 수 있으나, 불화수소 봄베를 빈번히 교환하면, 장치의 일시 정지에 의한 생산성의 저하나, 봄베의 교환 작업 증가에 의한 작업 부담이 커진다.
불소수소 공급원으로서 대형의 불화수소 탱크를 이용하여, 불화수소 탱크를 직접 가열하고, 기체상(狀)의 불화수소를 전해조에 공급하는 방법도 들 수 있으나, 이 방법의 경우, 불화수소 탱크의 대형화에 따라, 불화수소 탱크를 가열하기 위한 설비가 대규모의 것이 되어, 러닝 코스트가 비싸진다.
또한, 종래의 방법에서는, 대형의 불화수소 탱크를 사용하는 경우 등, 기체인 불화수소를 통로 내에서 반송하는 거리가 길어지기 쉽고, 불화수소 공급원으로부터, 급격하게 대량의 기체인 불화수소를 통로 내에 흘려보내면, 통로 내에서 가열을 충분히 행할 수 없어, 불화수소가 액화되는 경우가 있고, 액체인 불화수소가 전해조 중에 들어가 돌비(突沸)를 초래하여, 전해조의 액면 레벨이 변동하기 쉽다는 문제점도 있었다.
본 발명은, 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 불소가스를 대량으로 발생시킨 경우에 있어서도, 전해조로의 불화수소의 공급을 안정적으로 행하는 것이 가능한 불소가스 생성 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자들은, 상기의 과제를 해결하기 위하여, 불화수소 공급원과는 별도로, 불화수소 공급 통로에, 불화수소 공급원으로부터 공급되는 액체인 불화수소를 수용하여 기화시키는 기화기를 설치함으로써, 전해조로의 불화수소의 공급량을 안정시키는 것을 발견하여 본발명에 이르렀다.
즉, 본 발명은, 불화수소를 포함하는 용융염 중의 불화수소를 전기분해함으로써, 불소가스를 생성하는 불소가스 생성 장치에 있어서, 불화수소를 포함하는 용융염으로 이루어지는 전해욕 중에서 불화수소를 전해함으로써, 양극측에 불소가스를 주성분으로 하는 주생가스를 발생시킴과 함께, 음극측에 수소가스를 주성분으로 하는 부생가스를 발생시키는 전해조와, 상기 전해조에 보충하기 위한 불화수소가 저류된 불화수소 공급원과, 상기 불화수소 공급원의 불화수소를 상기 전해조에 보충하기 위한 불화수소 공급 통로와, 상기 불화수소 공급 통로에 설치되고, 상기 불화수소 공급원으로부터 공급된 불화수소를 기화시키는 기화기를 구비하는 것을 특징으로 하는 불소가스 생성 장치이다.
또, 본 발명은, 상기 기화기는 온도 조절기를 구비하고, 내부에 기화실이 형성된 중공 용기와, 상기 불화수소 공급원으로부터의 액체인 불화수소를 도입하는 불화수소 도입부와, 상기 기화실로부터, 기화된 불화수소를 도출하는 불화수소 도출부를 구비하도록 해도 된다.
또한, 본 발명은, 상기 기화기 내에 유입되는 불화수소의 양을 조정하는 유량 제어 밸브와, 상기 기화기 내에 수용된 불화수소의 액면을 검출하는 액면 검출 수단과, 상기 액면 검출 수단의 검출 결과에 의거하여. 상기 기화기 내의 불화수소의 액면이 설정치가 되도록, 상기 유량 제어 밸브의 개도를 제어하는 제어 수단을 더 구비하도록 해도 된다.
본 구성에 의하면, 기화기 내의 불화수소의 액면 레벨을 제어하는 것이 용이해져, 보다 안정적으로 불화수소 공급이 가능해진다.
또한, 상기 제어 수단에 의해, 상기 기화기 내의 액화 불화수소의 액면이 항상 일정값이 되도록, 상기 불화수소 공급원으로부터 불화수소를 보충하도록 해도 된다.
본 발명에 의하면, 불화수소 공급 통로에 있어서, 액체인 불화수소를 기화시키는 기화기가 설치되어 있고, 기화기 내에 수용되는 액체인 불화수소의 양을 조정하는 구성으로 되어 있다. 그 때문에, 전해조에서 불소가스를 대량으로 발생시켜, 대량의 불화수소를 전해조에 공급할 필요가 생겼을 때에도, 불화수소의 공급량이 부족할 일이 없다. 따라서, 불화수소 공급량을 안정시키고, 액면 레벨의 변동을 억제할 수 있어, 안정적으로 불소가스를 공급하는 것이 가능해진다.
도 1은, 본 발명의 실시형태에 관련되는 불소가스 생성 장치의 계통도이다.
도 2는, 본 발명의 실시형태에 관련되는 기화기의 개략도이다.
도 3은, 기화기와 전해조를 동일한 박스체에 수용한 불소가스 생성 장치의 일례이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대하여 설명한다. 도 1을 참조하여 본 발명의 실시형태에 관련되는 불소가스 생성 장치(100)에 대하여 설명한다.
불소가스 생성 장치(100)는, 불화수소를 포함하는 용융염을 전기분해에 의해 불소가스를 생성하고, 생성된 불소가스를 외부 장치(4)로 공급하는 것이다. 외부 장치(4)로서는, 예를 들면 반도체 제조 장치이고, 그 경우, 불소가스는 예를 들면 반도체의 제조 공정에 있어서 클리닝 가스로서 사용된다.
불소가스 생성 장치(100)는, 전기분해에 의해 불소가스를 생성하는 전해조(1)와, 전해조(1)로부터 생성된 불소가스를 외부 장치(4)로 공급하는 불소가스 공급 계통(2)과, 불소가스의 생성에 따라 생성된 부생가스를 처리하는 부생가스 처리 계통(3)을 구비한다.
먼저, 전해조(1)에 대하여 설명한다. 전해조(1)에는, 불화수소(HF)를 포함하는 용융염이 저류된다. 전해조(1)에 저류되는 용융염의 조성을 바꿈으로써, 전해조(1)로부터 발생하는 불소 화합물 가스의 조성을 적절히 변경할 수 있다. 용융염으로는, 일반식 KF·nHF(n=0.5∼5.0)로 나타내어지는 조성이 이용된다. 예를 들면, NH4F·HF 용융염을 이용한 경우에는, 3불화질소(NF3)가 얻어지고, 또는 NH4F·KF·HF 용융염을 이용한 경우에는 F2와 NF3의 혼합물이 얻어진다. 이하, 본 발명의 실시형태에서는, 용융염으로서 불화수소와 불화칼륨의 혼합 용융염(KF·2HF)을 이용하여 설명한다.
전해조(1)의 내부는, 용융염 중에 침지된 구획벽(6)에 의해 양극실(11)과 음극실(12)로 구획된다. 양극실(11) 및 음극실(12)의 용융염 중에는, 각각 양극(7) 및 음극(8)이 침지된다. 양극(7)과 음극(8)의 사이에 전원(9)으로부터 전류가 공급됨으로써, 양극(7)에서는 불소가스(F2)를 주성분으로 하는 주생가스가 생성되고, 음극(8)에서는 수소가스(H2)를 주성분으로 하는 부생가스가 생성된다. 양극(7)에는, 예를 들면 탄소 전극이 이용되고, 음극(8)에는 연철, 모넬 또는 니켈이 이용된다.
전해조(1) 내의 용융염 액면 상에는, 양극(7)에서 생성된 불소가스가 유도되는 제 1 기실(11a)과, 음극(8)에서 생성된 수소가스가 유도되는 제 2 기실(12a)이 서로의 가스가 왕래 불가능하게 구획벽(6)에 의해 구획된다. 이와 같이, 제 1 기실(11a)과 제 2 기실(12a)은, 불소가스와 수소가스의 혼촉에 의한 반응을 막기 위하여, 구획벽(6)에 의해 완전히 분리된다. 이에 비하여, 양극실(11)과 음극실(12)의 용융염은, 구획벽(6)에 의해 분리되지 않고 구획벽(6)의 하방을 통하여 연통하고 있다.
KF·2HF의 융점은 71.7℃이기 때문에, 용융염의 온도는 91∼93℃로 조절되는 것이 바람직하다. 전해조(1)의 양극(7) 및 음극(8)으로부터 생성된 불소가스 및 수소가스의 각각에는, 용융염으로부터 불화수소가 증기압분(分) 만큼 기화하여 혼입된다. 이와 같이, 양극(7)에서 생성되어 제 1 기실(11a)에 유도되는 불소가스 및 음극(8)에서 생성되어 제 2 기실(12a)에 유도되는 수소가스의 각각에는, 불화수소가스가 포함되어 있다.
다음에, 불소가스 공급 계통(2)에 대하여 설명한다. 제 1 기실(11a)에는, 불소가스를 외부 장치(4)로 공급하기 위한 제 1 메인 통로(15)가 접속된다.
제 1 메인 통로(15)에는, 제 1 기실(11a)로부터 불소가스를 도출하여 반송하는 제 1 펌프(17)가 설치된다. 제 1 펌프(17)에는, 벨로우즈 펌프나 다이어프램 펌프 등의 용적형 펌프가 이용된다. 제 1 메인 통로(15)에 있어서의 제 1 펌프(17)의 상류에는, 불소가스에 혼입된 불화수소를 포집하여 불소가스를 정제하는 정제 장치(20)가 설치된다.
다음에, 부생가스 처리 계통(3)에 대하여 설명한다. 제 2 기실(12a)에는, 수소가스를 외부로 배출하기 위한 제 2 메인 통로(30)가 접속된다.
제 2 메인 통로(30)에는, 제 2 기실(12a)로부터 수소가스를 도출하여 반송하는 제 2 펌프(31)가 설치된다. 제 2 메인 통로(30)에 있어서의 제 2 펌프(31)의 하류에는 제해부(34)가 설치되고, 제 2 펌프(31)에서 반송된 수소가스는 제해부(34)에서 불화수소의 흡착 제거가 행하여져 무해화되어 방출된다.
불소가스 생성 장치(100)는, 전해조(1)의 용융염 중에 불소가스의 원료인 불화수소를 공급하여 보충하기 위한 원료 공급 계통(5)도 구비한다. 이하에서는, 원료 공급 계통(5)에 대하여 설명한다.
전해조(1)는, 전해조(1)에 보충하기 위한 불화수소가 저류된 불화수소 공급원(40)과 원료 공급 통로(41)를 개재하여 접속된다. 불화수소 공급원(40)에 저류된 불화수소는, 원료 공급 통로(41)를 통하여 전해조(1)의 용융염 중에 공급된다. 또한, 원료 공급 통로(41)에는, 불화수소의 공급 유량을 제어하는 유량 제어 밸브(71)를 설치해도 된다. 원료 공급 통로(41)에는, 불화수소 공급원(40)으로부터 공급된 액체인 불화수소를 기화시키는 기화기(60)가 설치되어 있다. 또한 기화기(60)로부터 배출되는 불화수소가스는, 원료 공급 통로(41)에 설치된 히터 등의 가열 수단(도시 생략)에 의해 기체상의 불화수소로 유지된다. 기화기(60)에 대해서는 나중에 상술한다.
또한, 원료 공급 통로(41)에는, 캐리어 가스 공급원(45)으로부터 공급되는 캐리어 가스를 원료 공급 통로(41) 내에 유도하는 캐리어 가스 공급 통로(46)가 접속된다. 캐리어 가스는, 불화수소를 불화수소 공급원(40)으로부터 용융염 중에 유도하기 위한 가스이고, 불활성 가스인 질소 가스가 이용된다. 질소 가스는, 불화수소와 함께 음극실(12)의 용융염 중에 공급되며, 용융염 중에는 거의 녹지 않고, 제 2 기실(12a)로부터 제 2 메인 통로(30)를 통하여 배출된다.
다음에, 기화기(60)에 대하여 설명한다. 기화기(60)는 불화수소 공급원(40)으로부터 공급된 액체인 불화수소를 수용하고 기화시켜, 기체인 불화수소를 도출하는 장치이다. 이하, 도 2를 참조하여 본 발명의 기화기(60)에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명의 기화기(60)는 이하의 실시형태에 한정되는 것이 아니다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 기화기(60)는, 히터 등의 온도 조절기(64)를 구비하고, 내부에 기화실(65)이 형성된 중공 용기(61)와, 불화수소 공급원(40)으로부터의 액체인 불화수소를 도입하는 불화수소 도입부(62)와, 상기 기화실로부터, 기화된 불화수소를 도출하는 불화수소 도출부(63)를 구비하고 있다.
기화실(65)에는, 온도 조절기(64)로부터의 열을 효율적으로 전하기 위하여 기화실(65)의 벽면에 핀 등의 복수의 볼록부(66)가 설치된다. 볼록부의 형상은 특별히 한정되지 않으나, 예를 들면, 도 2에 나타내는 바와 같이, 판 형상으로 돌출 설치한 형상으로 하고, 벽면으로부터 기화실(65)을 향하여 수직으로, 벽의 대략 전면(全面)에 설치하면 된다. 또한, 볼록부는, 바람직하게는 불화수소 도입부(62)의 근방에 설치하면 된다.
기화기(60)에는, 기화실(65)에 수용되는 액체인 불화수소의 액면 레벨을 검지하는 액면 검출 수단이 설치된다. 액면 검출 수단으로는, 기화실(65) 내의 압력을 검지하는 압력 검지기(68), 기화실(65) 내에 수용된 액체인 불화수소의 액면 레벨을 감지하는 액면 검출기(69) 등을 이용할 수 있다. 또한, 액면 검출기(69)는 액면계 등의 범용품을 이용하고, 액면계를 삽입관(67)에 삽입하여 사용하면 된다. 또한, 기화기(60)에는, 기화실(65)의 온도를 측정하기 위하여, 온도계를 설치해도 된다.
기화실(65)에 있어서, 액체인 불화수소의 양이 소정의 범위내가 되도록, 불화수소의 액면 레벨이 조정된다. 본 발명의 불소가스 발생 장치(100)는, 기화실(65)의 불화수소의 액면 레벨을 소정의 범위내로 유지함으로써, 전해조에서 불소가스를 대량으로 발생시켜, 대량의 불화수소를 공급할 필요가 생겼을 때에도, 불화수소 공급원(40)으로부터 적절히 필요량의 불화수소를 신속하게 공급할 수 있기 때문에, 불화수소의 공급량이 부족할 일이 없는 구성으로 되어 있다.
불화수소의 액면 레벨을 소정의 범위내로 유지하는 방법으로는, 예를 들면, 액면의 상한치와 하한치를 설정하고, 불화수소의 액면 레벨이 하한치가 되면 소정량 공급하여, 불화수소를 단속적으로 도입하는 방법(배치 방식), 또는, 소정의 액면을 항상 유지하도록 불화수소를 연속적으로 도입하는 방법(연속 방식)을 들 수 있다.
불화수소의 액면 레벨을 소정의 범위내로 유지하는 경우, 액면 검출 수단의 검출 결과에 의거하여, 기화기(60) 내부의 불화수소의 액면 레벨을 조정하도록 하면 된다.
구체적으로는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 액면 검출 수단으로서 압력 검출기(68)를 이용하면 된다. 압력 검출기(68)에는, 컨트롤러(70)(제어 수단)가 접속되어 있고, 압력 검출기(68)의 검출 결과는 컨트롤러(70)에 출력된다. 컨트롤러(70)는, 기화실(65)의 내부 압력이 미리 정해진 설정치가 되도록, 원료 공급 통로(41)에 설치된 유량 제어 밸브(71)의 개폐도를 조정하여, 기화실(65)의 내부 압력을 소정의 범위내가 되도록 불화수소의 공급 유량을 제어한다. 이와 같이 하여, 불화수소의 액면 레벨을 소정의 범위내로 유지하도록 하면 된다.
불화수소의 액면 레벨을 조정하는 방법으로는, 상기의 배치식, 연속 방식 모두 적용할 수 있으나, 전해조(1)로의 불화수소의 공급 안정성은, 기화기(60)의 내부의 압력에 영향을 받기 쉽다. 그 때문에, 기화기(60)의 내부 압력을 일정하게 유지하고, 항상 일정한 액면 레벨로 유지하도록 불화수소를 연속적으로 도입하는 연속 방식을 이용하는 것이 적합하다.
불화수소를 연속적으로 도입하는 연속 방식을 적용하는 경우, 액면 검출 수단에 컨트롤러 등의 제어 수단을 접속하고, 액면 검출 수단의 검출 결과에 의거하여, 기화기(60) 내부의 불화수소의 액면 레벨을 항상 일정값이 되도록, 유량 제어 밸브(71)의 개도를 조정하여, 불화수소의 공급량을 제어하도록 하면 된다.
또한, 이상의 실시형태에 의하면 이하에 나타내는 효과를 가진다.
상기의 구성에 의하면, 기화기(60)에 불화수소의 액면 레벨을 검출하는 액면 검출 수단이 설치되어 있어, 액면 검출 수단의 검출 결과에 의거하여, 기화기(60) 내부의 불화수소의 액면 레벨을 소정의 범위내로 유지할 수 있다. 따라서, 기화기 내부의 불화수소의 액면 레벨을 제어하는 것이 용이해져, 보다 안정적으로 전해조로의 불화수소 공급량을 안정시킬 수 있다.
또한, 상기의 구성에 의하면, 전해조에서 불소가스를 대량으로 발생시켜, 대량의 불화수소를 전해조에 공급할 필요가 생긴 때에도, 불화수소 공급원과 전해조의 내압차에 의해, 전해조 중의 용융염의 액면 레벨이 급격하게 변동하지 않고, 안정적으로 불소가스를 공급하는 것이 가능해진다.
<다른 변형례>
상기의 본 발명의 실시형태 이외에 다른 변형례로서, 도 3에 나타내는 바와 같이, 기화기(60)와 전해조(1)를 동일한 박스체(80)에 수용하는 구성으로 해도 된다. 최근, 불소가스 생성 장치는 소형화가 요구되고 있어, 불소가스 생성 장치를 구성하는 설비, 기기는 더욱 소형화된 것이 요망된다.
상기의 다른 변형례의 구성으로 함으로써, 기화기(60)와 전해조(1)를 동일한 박스체(80)에 수용하는 것에 의해, 불소가스 생성 장치(100)를 소형화할 수 있다. 본 구성에 의하면, 기화기(60)가 박스체(80)에 수용되어 있기 때문에, 종래의 불소가스 생성 장치와 비교하여, 기체인 불화수소를 공급하는 통로를 짧게 할 수 있어, 불화수소의 액화가 일어나기 어렵다. 또한, 기체인 불화수소가 외부에 누설되는 것을 막을 수 있기 때문에, 안전성의 관점에서도 이점을 가진다.
본 발명은 상기의 실시형태에 한정되지 않고, 그 기술적인 사상의 범위내에 있어서 다양한 변경을 할 수 있는 것은 명백하다.
예를 들면, 상기 설명에서는, 압력 검출기(68)에는 컨트롤러(70)(제어 수단)를 접속하여, 불화수소의 액면 레벨을 소정의 범위내로 유지하는 방식에 대하여 설명했으나, 동일한 컨트롤러를 액면 검출기(69)에 접속하여, 불화수소의 액면 레벨을 소정의 범위내로 유지하도록 제어하는 것도 물론 가능하다.
100 : 불소가스 생성 장치
1 : 전해조
2 : 불소가스 공급계
3 : 부생가스 공급계
4 : 외부 장치
5 : 원료 공급계
7 : 양극
8 : 음극
11a : 제 1 기실
12a : 제 2 기실
15 : 제 1 메인 통로
17 : 제 1 펌프
20 : 정제 장치
30 : 제 2 메인 통로
31 : 제 2 펌프
60 : 기화기
61 : 중공 용기
62 : 불화수소 도입부
63 : 불화수소 도출부
64 : 온도 조절기
65 : 기화실
66 : 볼록부(핀)
67 : 삽입관
68 : 압력 검출기
69 : 액면 검출기
70 : 컨트롤러(제어 수단)
71 : 유량 제어 밸브
80 : 박스체

Claims (6)

  1. 불화수소를 포함하는 용융염 중의 불화수소를 전기분해함으로써, 불소가스를 생성하는 불소가스 생성 장치에 있어서,
    불화수소를 포함하는 용융염으로 이루어지는 전해욕 중에서 불화수소를 전해함으로써 양극측에 불소가스를 주성분으로 하는 주생가스를 발생시킴과 함께, 음극측에 수소가스를 주성분으로 하는 부생가스를 발생시키는 전해조와,
    상기 전해조에 보충하기 위한 불화수소가 저류된 불화수소 공급원과,
    상기 불화수소 공급원의 불화수소를 상기 전해조에 보충하기 위한 불화수소 공급 통로와,
    상기 불화수소 공급 통로에 설치되고, 상기 불화수소 공급원으로부터 공급된 불화수소를 기화시키는 기화기를 구비하는 것을 특징으로 하는 불소가스 생성 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기화기는,
    온도 조절기를 구비하고, 내부에 기화실이 형성된 중공 용기와,
    상기 불화수소 공급원으로부터의 액체인 불화수소를 도입하는 불화수소 도입부와,
    상기 기화실로부터, 기화된 불화수소를 도출하는 불화수소 도출부를 구비하는 불소가스 생성 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 기화기 내에 유입되는 불화수소의 양을 조정하는 유량 제어 밸브와,
    상기 기화기 내에 수용된 불화수소의 액면을 검출하는 액면 검출 수단과,
    상기 액면 검출 수단의 검출 결과에 의거하여, 상기 기화기 내의 불화수소의 액면이 설정치가 되도록, 상기 유량 제어 밸브의 개도를 제어하는 제어 수단을 더 구비하는 불소가스 생성 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제어 수단에 의해, 상기 기화기 내의 액화 불화수소의 액면이 항상 일정값이 되도록, 상기 불화수소 공급원으로부터 불화수소를 보충하는 불소가스 생성 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 액면 검출 수단이, 상기 기화실 내의 압력을 검지하는 압력 검출기, 또는, 상기 기화실 내의 불화수소의 액면을 검지하는 액면 검출기인 불소가스 생성 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전해조와 상기 기화기가 동일한 박스체에 수용되는 불소가스 생성 장치.
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