KR20140100313A - 세정바를 포함하는 세정 장치 및 그 구동 방법 - Google Patents

세정바를 포함하는 세정 장치 및 그 구동 방법 Download PDF

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Abstract

세정바를 포함하는 세정 장치 및 그 구동 방법이 제공된다.
일례로, 세정바를 포함하는 세정 장치는 기판이 안착되는 공간을 제공하며, 일 방향으로 이동하는 이동 부재; 및 상기 이동 부재의 이동 경로 상에 배치되고, 몸체부와 상기 몸체부 상에 복수의 직선 라인을 따라 배열되는 에어홀을 상기 복수의 직선 라인별로 정의하여 형성된 복수의 에어홀 그룹을 포함하며, 회전하면서 상기 에어홀을 통해 상기 기판으로 에어를 공급하는 세정바를 포함하고, 상기 복수의 에어홀 그룹 중 적어도 하나의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 예각이다.

Description

세정바를 포함하는 세정 장치 및 그 구동 방법{CLEANING DEVICE INCLUDING CLEANING BAR AND METHOD OF DRIVING THE SAME}
본 발명은 세정바를 포함하는 세정 장치 및 그 구동 방법에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치, 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치와 같은 표시 장치용 기판은 제품으로 완성되기까지 여러 제조 공정, 예를 들어 기판에 박막 또는 패턴을 형성하는 공정, 기판에 전자 부품을 실장하는 공정 등을 거친다.
기판은 여러 제조 공정을 거치는 과정에서 각 제조 공정을 수행하기 위한 장소로 인입되기 직전에 기판 상에 존재하는 파티클을 제거하는 세정 공정을 거친다.
세정 공정은 통상적으로 기판 상에 에어를 공급하는 세정 장치를 이용하여 기판 상에 존재하는 파티클을 날려버려 제거함으로써 수행된다.
한편, 에어를 공급하여 기판 상의 파티클을 제거하는 세정 장치는 통상적으로 하나의 직선 라인을 따라 배열되는 에어홀을 가지며 고정된 상태에서 에어홀을 통해 기판에 에어를 공급하는 세정바를 포함한다.
그런데, 이러한 세정 장치에서 세정바가 고정된 상태로 하나의 직선 라인을 따라 배열된 에어홀을 통해 에어가 공급되기 때문에, 에어가 기판 상에 여러 방향으로 제공되기 어려우며 이에 따라 기판으로부터 파티클을 효과적으로 제거하기 어렵고, 또한 에어가 기판의 한 곳으로 집중되기 쉬워 기판이 플렉시블한 필름인 경우 기판의 구김이 발생될 수 있다.
이에, 본 발명이 해결하려는 과제는 에어를 기판 상에 여러 방향으로 제공하여 기판 상의 파티클을 제거하는 세정 능력을 높이고, 기판이 플렉시블한 필름인 경우 기판의 구김을 방지할 수 있는 세정바를 포함하는 세정 장치 및 그 구동 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치는 기판이 안착되는 공간을 제공하며, 일 방향으로 이동하는 이동 부재; 및 상기 이동 부재의 이동 경로 상에 배치되고, 몸체부와 상기 몸체부 상에 복수의 직선 라인을 따라 배열되는 에어홀을 상기 복수의 직선 라인별로 정의하여 형성된 복수의 에어홀 그룹을 포함하며, 회전하면서 상기 에어홀을 통해 상기 기판으로 에어를 공급하는 세정바를 포함하고, 상기 복수의 에어홀 그룹 중 적어도 하나의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 예각이다.
또한, 상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치의 구동 방법은 기판이 안착되는 이동 부재를 일 방향으로 이동시키는 단계; 상기 이동 부재의 이동 경로 상에 배치되고, 몸체부와 상기 몸체부 상에 복수의 직선 라인을 따라 배열되는 에어홀을 상기 복수의 직선 라인별로 정의하여 형성된 복수의 에어홀 그룹을 포함하는 세정바를 준비하는 단계; 및 상기 몸체부를 회전시키면서 상기 에어홀을 통해 상기 일 방향으로 이동하는 상기 이동 부재의 기판으로 에어를 공급하는 단계를 포함하며, 상기 세정바를 준비하는 단계는 상기 세정바를 상기 복수의 에어홀 그룹 중 적어도 하나의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 예각이 되도록 준비한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치 및 그 구동 방법은 복수의 에어홀 그룹 중 적어도 어느 하나의 직선 라인이 몸체부의 길이 방향 중심축과 이루는 각도가 예각이 되도록 세정바를 구성함으로써, 에어를 기판 상에 여러 방향으로 제공하여 기판 상에 존재하는 파티클을 제거하는 세정 능력을 높일 수 있고, 에어가 기판 상의 한곳에 집중되는 것을 방지하여 기판이 플렉시블한 필름인 경우 기판의 구김을 방지할 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치의 단면도이다.
도 2는 도 1의 'A' 방향에서 본 세정바를 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 세정바에서 복수의 에어홀 그룹 각각과 몸체부의 중심축이 이루는 각도를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 4의 세정바에서 복수의 에어홀 그룹 각각과 몸체부의 중심축이 이루는 각도를 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치를 보여주는 도면이다.
도 7은 도 6의 세정바에서 에어홀 그룹 각각과 몸체부의 중심축이 이루는 각도를 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치를 보여주는 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치(100)는 예를 들어 유기 발광 표시 장치, 액정 표시 장치, 및 플라즈마 표시 장치 등의 제조 공정 내에서 클린 룸내에 제공되어 기판(S)에 대한 소정의 처리가 수행되기 직전에 기판(S) 상의 파티클을 제거하는 등의 기판(S)을 세정하기 위해 사용된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치(100)는 이동 부재(110)와 세정바(120)를 포함한다.
이동 부재(110)는 기판(S)이 안착되는 공간을 제공하며 일 방향, 예를 들어 세정바(120) 방향으로 이동하도록 구성된다. 이동 부재(110)는 예를 들어 가이드 레일(10)을 따라 이동하는 슬라이딩 테이블로 구성될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 이동 부재(110)는 컨베이어 벨트 또는 이송 롤러로 구성될 수 있다. 도시하진 않았지만, 이동 부재(110)는 이동을 가능하게 하는 구동 장치와 연결되며, 별도의 제어부에 의해 이동 부재(110)의 이동이 제어될 수 있다.
기판(S)은 예컨데 유기 발광 표시 장치, 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치 등 표시 장치용 기판일 수 있다. 기판(S)은 유리, 플렉시블한 필름 또는 반도체 기판 등으로 구성될 수 있다. 기판(S)은 베어 기판(bare substrate)이거나, 박막이나 배선과 같은 구조물이 형성된 기판일 수 있다. 상기 박막이나 배선과 같은 구조물이 형성된 기판은 상기 구조물을 보호하기 위한 이형지가 부착된 상태의 기판일 수 있다.
또한, 기판(S)은 제조 공정 중간 단계의 기판일 수도 있고, 제조가 완료된 기판일 수도 있다. 또한, 기판(S)은 단일 표시 장치용 기판이거나, 복수의 단위 셀을 포함하는 모기판으로서, 후에 커팅되어 각 셀 단위로 표시 기판으로 수확되는 모기판일 수 있다. 아울러, 기판(S)은 단일 기판이거나 2 이상이 접촉하여 또는 이격되어 대향하도록 배치된 적층 기판일 수도 있다.
세정바(120)는 이동 부재(110)의 이동 경로의 상부에 설치되며, 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하면서 이동 부재(110)에 의해 이동되는 기판(S)에 에어홀(AH)을 통해 에어(Air)를 공급하여 기판(S)상의 파티클을 날려 제거한다. 여기서, 에어가 공급되는 동안 이동 부재(110)는 계속 이동하는 상태일 수 있다. 도시하진 않았지만, 세정바(120)는 에어를 발생하는 에어 발생 장치 및 회전 동작을 가능하게 하는 회전 구동 장치와 연결되며, 별도의 제어부에 의해 세정바(120)의 에어 공급 및 회전 동작이 제어될 수 있다. 이하에서는 세정바(120)에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
도 2는 도 1의 'A' 방향에서 본 세정바를 보여주는 도면이고, 도 3은 도 2의 세정바에서 복수의 에어홀 그룹 각각과 몸체부의 중심축이 이루는 각도를 보여주는 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 세정바(120)는 몸체부(121)와 복수의 에어홀 그룹(122)을 포함할 수 있다.
몸체부(121)는 세정바(120)의 베이스를 이루며, 원형 바(bar) 형태를 가질 수 있다. 몇몇 실시예에서, 몸체부(121)는 타원형 바 또는 사각형 바와 같은 다각형 바 형태를 가질 수 있다.
몸체부(121)는 실질적으로 회전 구동 장치와 연결되며, 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전할 수 있다. 또한, 몸체부(121)는 실질적으로 에어 공급 장치와 연결되며, 에어 공급 장치로부터 공급되는 에어의 흐름 경로를 제공하기 위해 내부가 빈 형태를 가질 수 있다.
복수의 에어홀 그룹(122)은 몸체부(121) 상에 복수의 직선 라인(SL11, SL12, SL3)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 복수의 직선 라인(SL11, SL12, SL13)별로 정의하여 형성된다.
예를 들어, 복수의 에어홀 그룹(122)은 제1 직선 라인(SL11)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 포함하는 제1 에어홀 그룹(122G1), 제2 직선 라인(SL12)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 포함하는 제2 에어홀 그룹(122G2), 및 제3 직선 라인(SL13)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 포함하는 제3 에어홀 그룹(122G3)을 포함할 수 있다. 본 발명에서, 복수의 에어홀 그룹(122)은 3개의 에어홀 그룹을 포함하는 것을 예로 들었으나, 몸체부(121)의 크기에 따라 3개보다 더 적거나 더 많은 에어홀 그룹을 포함할 수 있다. 이에, 복수의 에어홀 그룹(122)의 에어홀 그룹 개수를 한정하는 것은 아니다.
이러한 복수의 에어홀 그룹(122) 중 적어도 어느 하나의 직선 라인이 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)과 평행하지 않다. 즉, 복수의 에어홀 그룹(122) 중 적어도 어느 하나의 직선 라인이 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)과 이루는 각도가 예각일 수 있다. 이에 따라, 몸체부(121)의 회전시 에어홀(VH)을 통해 공급되는 에어가 이동 부재(110)의 의해 이동하는 기판(S) 상에 여러 방향으로 제공되고 기판(S) 상의 한곳에 집중되는 것이 방지될 수 있다. 여기서, 복수의 에어홀 그룹(122) 각각의 직선 라인과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도가 모두 동일할 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이 제1 에어홀 그룹(122G1)의 제1 직선 라인(SL11)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 제1 각도(θ11), 제2 에어홀 그룹(122G2)의 제2 직선 라인(SL12)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 제2 각도(θ12), 제3 에어홀 그룹(122G3)의 제3 직선 라인(SL13)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 제3 각도(θ13)가 모두 동일할 수 있다. 또한, 복수의 에어홀 그룹(122) 각각의 직선 라인에서 에어홀(AH)들 간의 간격은 동일할 수 있다. 예를 들어, 제1 직선 라인(SL11), 제2 직선 라인(SL12) 및 제3 직선 라인(SL13) 각각에서 에어홀(AH)들 간의 간격은 동일할 수 있다.
상기와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치(100)는 복수의 에어홀 그룹(122) 각각의 직선 라인(SL11, SL12, SL13)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도가 모두 동일한 예각이 되도록 복수의 에어홀 그룹(122)을 형성함으로써, 몸체부(121)의 회전시 복수의 에어홀 그룹(122)의 에어홀(VH)을 통해 공급되는 에어가 이동 부재(110)의 의해 이동하는 기판(S) 상에 여러 방향으로 제공되고 한 곳에 집중되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기판(S) 상에 존재하는 파티클을 제거하는 세정 능력을 높이고, 기판(S)이 플렉시블한 필름인 경우 기판(S)의 구김을 방지할 수 있다.
다음은 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치에 대해 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치를 보여주는 도면이고, 도 5는 도 4의 세정바에서 복수의 에어홀 그룹 각각과 몸체부의 중심축이 이루는 각도를 보여주는 도면이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치는 도 1 내지 도 3의 세정바를 포함하는 세정 장치(100)와 비교하여 세정바(220)의 복수의 에어홀 그룹(222)만 다를뿐 동일한 구성을 가진다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치에서는 세정바(220)의 복수의 에어홀 그룹(222)에 대해 중점적으로 설명하기로 한다.
복수의 에어홀 그룹(222)은 몸체부(121)에 복수의 직선 라인(SL21, SL22, SL23)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 복수의 직선 라인(SL21, SL22, SL23)별로 정의하여 형성된다.
예를 들어, 복수의 에어홀 그룹(222)은 제1 직선 라인(SL21)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 포함하는 제1 에어홀 그룹(222G1), 제2 직선 라인(SL22)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 포함하는 제2 에어홀 그룹(222G2), 및 제3 직선 라인(SL23)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 포함하는 제3 에어홀 그룹(222G3)을 포함할 수 있다. 본 발명에서, 복수의 에어홀 그룹(222)은 3개의 에어홀 그룹을 포함하는 것을 예로 들었으나, 몸체부(121)의 크기에 따라 3개보다 더 적거나 더 많은 에어홀 그룹을 포함할 수 있다. 이에, 복수의 에어홀 그룹(222)의 에어홀 그룹 개수를 한정하는 것은 아니다.
이러한 복수의 에어홀 그룹(222) 중 적어도 어느 하나의 직선 라인이 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)과 평행하지 않다. 즉, 복수의 에어홀 그룹(222) 중 적어도 어느 하나의 직선 라인이 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)과 이루는 각도가 예각일 수 있다. 이에 따라, 몸체부(121)의 회전시 에어홀(VH)을 통해 공급되는 에어가 이동 부재(도 1의 110)의 의해 이동하는 기판(도 1의 S) 상에 여러 방향으로 제공되고 기판(S) 상의 한곳에 집중되는 것이 방지될 수 있다. 여기서, 복수의 에어홀 그룹(222) 중 적어도 두개의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도가 동일하며, 상기 두개의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도가 상기 두개의 에어홀 그룹을 제외한 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도와 상이할 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이 제1 에어홀 그룹(222G1)의 제1 직선 라인(SL21)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 제1 각도(θ21)와, 제2 에어홀 그룹(222G2)의 제2 직선 라인(SL22)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 제2 각도(θ22)는 동일할 수 있으며, 제3 에어홀 그룹(222G3)의 제3 직선 라인(SL23)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 제3 각도(θ23)는 제1 각도(θ21) 또는 제2 각도(θ22)와 상이할 수 있다. 또한, 복수의 에어홀 그룹(222) 각각의 직선 라인에서 에어홀(AH)들 간의 간격은 동일할 수 있다. 예를 들어, 제1 직선 라인(SL21), 제2 직선 라인(SL22) 및 제3 직선 라인(SL23) 각각에서 에어홀(AH)들 간의 간격은 동일할 수 있다.
상기와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치는 복수의 에어홀 그룹(222) 중 적어도 두개의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도가 동일한 예각이며, 상기 두개의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도가 상기 두개의 에어홀 그룹을 제외한 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도와 상이한 예각이 되도록 복수의 에어홀 그룹(222)을 형성함으로써, 몸체부(121)의 회전시 복수의 에어홀 그룹(122)의 에어홀(VH)을 통해 공급되는 에어가 이동 부재(110)의 의해 이동하는 기판(S) 상에 여러 방향으로 제공되고 한 곳에 집중되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기판(S) 상에 존재하는 파티클을 제거하는 세정 능력을 높이고, 기판(S)이 플렉시블한 필름인 경우 기판(S)의 구김을 방지할 수 있다.
다음은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치에 대해 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치를 보여주는 도면이고, 도 7은 도 6의 세정바에서 에어홀 그룹 각각과 몸체부의 중심축이 이루는 각도를 보여주는 도면이다
본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치는 도 1 내지 도 3의 세정 장치와 비교하여 세정바(320)의 복수의 에어홀 그룹(322)만 다를뿐 동일한 구성을 가진다. 이에 따라, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치에서는 세정바(320)의 복수의 에어홀 그룹(322)에 대해 중점적으로 설명하기로 한다.
복수의 에어홀 그룹(322)은 몸체부(121)에 복수의 직선 라인(SL31, SL32, SL33)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 복수의 직선 라인(SL31, SL32, SL33)별로 정의하여 형성된다.
예를 들어, 복수의 에어홀 그룹(322)은 제1 직선 라인(SL31)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 포함하는 제1 에어홀 그룹(322G1), 제2 직선 라인(SL32)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 포함하는 제2 에어홀 그룹(322G2), 및 제3 직선 라인(SL33)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 포함하는 제3 에어홀 그룹(322G3)을 포함할 수 있다. 본 발명에서, 복수의 에어홀 그룹(322)은 3개의 에어홀 그룹을 포함하는 것을 예로 들었으나, 몸체부(121)의 크기에 따라 3개보다 더 적거나 더 많은 에어홀 그룹을 포함할 수 있다. 이에, 복수의 에어홀 그룹(322)의 에어홀 그룹 개수를 한정하는 것은 아니다.
이러한 복수의 에어홀 그룹(322) 중 적어도 어느 하나의 직선 라인이 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)과 평행하지 않다. 즉, 복수의 에어홀 그룹(322) 중 적어도 어느 하나의 직선 라인이 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)과 이루는 각도가 예각일 수 있다. 이에 따라, 몸체부(121)의 회전시 에어홀(VH)을 통해 공급되는 에어가 이동 부재(도 1의 110)의 의해 이동하는 기판(도 1의 S) 상에 여러 방향으로 제공되고 기판(S) 상의 한곳에 집중되는 것이 방지될 수 있다. 여기서, 복수의 에어홀 그룹(322) 각각의 직선 라인과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도가 모두 상이할 수 있다. 예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이 제1 에어홀 그룹(322G1)의 제1 직선 라인(SL31)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 제1 각도(θ31), 제2 에어홀 그룹(322G2)의 제2 직선 라인(SL32)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 제2 각도(θ32), 제3 에어홀 그룹(322G3)의 제3 직선 라인(SL33)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 제3 각도(θ33)가 모두 상이할 수 있다. 또한, 복수의 에어홀 그룹(322) 각각의 직선 라인에서 에어홀(AH)들 간의 간격은 동일할 수 있다. 예를 들어, 제1 직선 라인(SL31), 제2 직선 라인(SL32) 및 제3 직선 라인(SL33) 각각에서 에어홀(AH)들 간의 간격은 동일할 수 있다.
상기와 같이 본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치는 복수의 에어홀 그룹(322) 각각의 직선 라인(SL31, SL32, SL33)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도가 모두 상이한 예각이 되도록 복수의 에어홀 그룹(322)을 형성함으로써, 몸체부(121)의 회전시 복수의 에어홀 그룹(122)의 에어홀(VH)을 통해 공급되는 에어가 이동 부재(110)의 의해 이동하는 기판(S) 상에 여러 방향으로 제공되고 한 곳에 집중되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기판(S) 상에 존재하는 파티클을 제거하는 세정 능력을 높이고, 기판(S)이 플렉시블한 필름인 경우 기판(S)의 구김을 방지할 수 있다.
다음은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치에 대해 설명하기로 한다.
도 8은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치를 보여주는 도면이다.
본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치는 도 1 내지 도 3의 세정 장치와 비교하여 세정바(420)가 복수의 에어홀 그룹(122) 외에 추가홀(422)을 더 포함하는 점에서만 다르며 동일한 구성을 가진다. 이에 따라, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치에서는 세정바(420)의 추가홀(422)에 대해 중점적으로 설명하기로 한다.
추가홀(422)은 몸체부(121) 상에 복수의 에어홀 그룹(122) 각각의 직선 라인(SL11, SL12, SL13)의 주변에 불규칙하게 배열되어 형성된다. 이러한 추가홀(422)은 세정바(420)에서 에어홀(VH)의 개수를 증가시켜 몸체부(121)의 회전시 에어홀(VH)을 통해 공급되는 에어의 양을 증가시킬 수 있다.
상기와 같이 본 발명의 또다른 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치는 복수의 에어홀 그룹(122) 각각의 직선 라인(SL11, SL12, SL13)과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도가 모두 동일한 예각이 되도록 복수의 에어홀 그룹(122)을 형성하고, 복수의 에어홀 그룹(122) 각각의 직선 라인(SL11, SL12, SL13)의 주변에 불규칙하게 배열되는 추가홀(422)을 형성함으로써, 몸체부(121)의 회전시 복수의 에어홀 그룹(122)의 에어홀(VH)을 통해 공급되는 에어가 많은 양으로 이동 부재(110)의 의해 이동하는 기판(S) 상에 여러 방향으로 제공되고 한 곳에 집중되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기판(S) 상에 존재하는 파티클을 제거하는 세정 능력을 높이고, 기판(S)이 플렉시블한 필름인 경우 기판(S)의 구김을 방지할 수 있다.
다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치(100)의 구동 방법에 대해 도 1 내지 도 3을 결부하여 설명하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치(100)의 구동 방법은 이동 부재를 이동시키는 단계, 세정바를 준비하는 단계, 및 에어를 공급하는 단계를 포함한다.
이동 부재를 이동시키는 단계는 파티클을 제거하기 위한 세정 공정을 수행할 기판(S)이 안착된 이동 부재(110)를 일 방향, 즉 파티클을 날리는 에어를 공급하는 세정바(120) 방향으로 이동시키는 단계이다. 이동 부재(110)는 이동을 가능하게 하는 구동 장치(미도시)와 연결되며, 별도의 제어부(미도시)에 의해 이동 부재(110)의 이동이 제어될 수 있다.
이동 부재(110) 및 기판(S)에 대해서는 앞에서 설명하였으므로 이에 대한 구체적인 설명을 생략하기로 한다.
세정바를 준비하는 단계는 이동 부재(110)의 이동 경로 상부에 에어를 공급하는 세정바(120)를 배치하는 단계이다. 세정바(120)는 몸체부(121)와, 몸체부(121)에 복수의 직선 라인(SL11, SL12, SL13)을 따라 배열되는 에어홀(AH)을 복수의 직선 라인(SL11, SL12, SL13)별로 정의하여 형성된 복수의 에어홀 그룹(120)을 포함한다. 세정바(120)는 복수의 에어홀 그룹(120) 중 적어도 하나의 직선 라인과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 예각이 되도록 준비된다. 여기서, 복수의 에어홀 그룹(120) 각각의 직선 라인과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축(C)이 이루는 각도가 모두 동일할 수 있다. 한편, 세정바를 준비하는 단계에서 도 4 내지 도 8의 세정바(220, 320, 420)를 이동 부재(110)의 이동 경로 상부에 배치하여 사용될 수 있다.
에어를 공급하는 단계는 몸체부(121)를 회전시키면서 에어홀(AH)을 통해 상기 일 방향으로 이동하는 이동 부재(110)의 기판(S)으로 에어를 공급하는 단계이다. 몸체부(121)의 회전은 별도의 제어부(미도시)에 의해 세정바(120)와 연결된 회전 구동 장치(미도시)의 동작에 의해 이루어질 수 있으며, 에어의 공급은 별도의 제어부(미도시)에 의해 세정바(120)와 연결된 에어 발생 장치의 동작에 의해 이루어질 수 있다. 여기서, 에어가 공급되는 동안 이동 부재(110)는 계속 이동하는 상태일 수 있다.
상기와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 세정바를 포함하는 세정 장치(100)의 구동 방법은 세정바(122)를 복수의 에어홀 그룹(120) 중 적어도 하나의 직선 라인과 몸체부(121)의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 예각이 되도록 형성하여, 몸체부(121)의 회전시 에어홀(AH)을 통해 공급되는 에어를 기판(S) 상에 여러 방향으로 제공하고 에어가 한 곳으로 집중되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기판(S) 상에 존재하는 파티클을 제거하는 세정 능력을 높아지고, 기판(S)이 플렉시블한 필름인 경우 기판(S)의 구김이 방지될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 세정바를 포함하는 세정 장치 110: 이동 부재
120, 220, 320, 420: 세정바 121: 몸체부
122, 222, 322: 복수의 에어홀 그룹 422: 추가홀
AH: 에어홀

Claims (15)

  1. 기판이 안착되는 공간을 제공하며, 일 방향으로 이동하는 이동 부재; 및
    상기 이동 부재의 이동 경로 상에 배치되고, 몸체부와 상기 몸체부 상에 복수의 직선 라인을 따라 배열되는 에어홀을 상기 복수의 직선 라인별로 정의하여 형성된 복수의 에어홀 그룹을 포함하며, 회전하면서 상기 에어홀을 통해 상기 기판으로 에어를 공급하는 세정바를 포함하고,
    상기 복수의 에어홀 그룹 중 적어도 하나의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 예각인 세정바를 포함하는 세정 장치.
  2. 제1 항에 있어서
    상기 몸체부는 원형 바 형태, 타원형 바 형태 및 다각형 바 형태 중 선택된 어느 하나의 형태를 가지는 세정바를 포함하는 세정 장치.
  3. 제1 항에 있어서
    상기 복수의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 모두 동일한 세정바를 포함하는 세정 장치.
  4. 제1 항에 있어서
    상기 복수의 에어홀 그룹 중 적어도 두개의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 동일하며,
    상기 두개의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가, 상기 두개의 에어홀 그룹을 제외한 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도와 상이한 세정바를 포함하는 세정 장치.
  5. 제1 항에 있어서
    상기 복수의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 모두 상이한 세정바를 포함하는 세정 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 세정바는 상기 몸체부 상에 상기 복수의 에어홀 각각의 직선 라인의 주변에 불규칙하게 배열되어 형성된 추가홀을 더 포함하는 세정바를 포함하는 세정 장치.
  7. 제1 항에 있어서
    상기 복수의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인에서 상기 에어홀들 간의 간격은 동일한 세정바를 포함하는 세정 장치.
  8. 제1 항에 있어서
    상기 몸체부는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하도록 구성된 세정바를 포함하는 세정 장치.
  9. 기판이 안착되는 이동 부재를 일 방향으로 이동시키는 단계;
    상기 이동 부재의 이동 경로 상에 배치되고, 몸체부와 상기 몸체부 상에 복수의 직선 라인을 따라 배열되는 에어홀을 상기 복수의 직선 라인별로 정의하여 형성된 복수의 에어홀 그룹을 포함하는 세정바를 준비하는 단계; 및
    상기 몸체부를 회전시키면서 상기 에어홀을 통해 상기 일 방향으로 이동하는 상기 이동 부재의 기판으로 에어를 공급하는 단계를 포함하며,
    상기 세정바를 준비하는 단계는 상기 세정바를 상기 복수의 에어홀 그룹 중 적어도 하나의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 예각이 되도록 준비하는 세정바를 포함하는 세정 장치의 구동 방법.
  10. 제9 항에 있어서
    상기 세정바를 준비하는 단계는 상기 세정바를 상기 복수의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 모두 동일하도록 준비하는 세정바를 포함하는 세정 장치의 구동 방법.
  11. 제9 항에 있어서
    상기 세정바를 준비하는 단계는 상기 세정바를 상기 복수의 에어홀 그룹 중 적어도 두개의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 동일하며, 상기 두개의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 상기 두개의 에어홀 그룹을 제외한 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도와 상이하도록 준비하는 세정바를 포함하는 세정 장치의 구동 방법.
  12. 제9 항에 있어서
    상기 세정바를 준비하는 단계는 상기 세정바를 상기 복수의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인과 상기 몸체부의 길이 방향 중심축이 이루는 각도가 모두 상이하도록 준비하는 세정바를 포함하는 세정 장치의 구동 방법.
  13. 제9 항에 있어서,
    상기 세정바를 준비하는 단계는 상기 세정바를 상기 몸체부 상에 상기 복수의 에어홀 각각의 직선 라인의 주변에 불규칙하게 배열되어 형성된 추가홀을 더 포함하도록 준비하는 세정바를 포함하는 세정 장치의 구동 방법.
  14. 제9 항에 있어서
    상기 세정바를 준비하는 단계는 상기 세정바를 상기 복수의 에어홀 그룹 각각의 직선 라인에서 상기 에어홀들 간의 간격이 동일하도록 준비하는 세정 장치.
  15. 제9 항에 있어서
    상기 에어를 공급하는 단계는 상기 몸체부를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전시키는 것을 포함하는 세정바를 포함하는 세정 장치의 구동 방법.
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