KR20140085858A - 박막 증착장치의 선형 증발원 - Google Patents

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    • H10K71/164—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using vacuum deposition

Abstract

본 발명은 박막 증착장치의 선형 증발원에 관한 것으로, 도가니를 수평방향으로 길게 구성하면서 도가니와 분배기 간의 결합을 삽입형 끼움방식으로 하고, 상부에 복수의 분사 노즐 또는 분배공을 갖는 분배기를 가열하기 위한 히터를 블록화함으로써, 챔버의 높이를 크게 낮추고 히터의 설치를 용이하게 할 뿐 아니라, 히터 블록 내에 설치되는 히터의 개수를 줄일 수 있는 효과가 있다.

Description

박막 증착장치의 선형 증발원{A Linear Type Evaporator for Thin Layers Deposition Apparatus}
본 발명은 박막 증착장치의 선형 증발원에 관한 것으로, 보다 상세하게는 분배기를 가열하기 위한 히터 블록이 포함되고, 도가니를 수평방향으로 길게 구성하면서 도가니와 분배기 간의 결합을 삽입형 끼움방식으로 함으로써, 히터의 설치를 용이하게 할 뿐 아니라 히터 개수를 줄이고, 챔버의 높이를 크게 낮출 수 있는 박막 증착장치의 선형 증발원에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 소자(OLED: Organic Light Emitted Device)를 제작하는데 있어서, 가장 중요한 공정은 유기박막을 형성하는 공정이며, 이러한 유기 박막을 형성하기 위해서는 진공 증착이 주로 사용된다.
이러한 진공 증착은 챔버 내에 글라스(glass)와 같은 기판과 파우더(powder) 형태의 원료 물질이 담긴 포인트 소스(point source) 또는 점 증발원과 같은 증발원을 대향 배치하고, 증발원 내에 담긴 파우더 형태의 원료 물질을 증발시켜 증발된 원료 물질을 분사함으로써 기판의 일면에 유기 박막을 형성한다. 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라, 포인트 소스 또는 점 증발원으로 알려진 증발원 대신 길이가 더욱 긴 선형 증발원이 사용되는 추세이다.
상기 선형 증발원은 대면적 기판에 높은 균일도를 유지하며 박막을 증착하도록 증발물이 분출되는 다수의 원형 분출구를 선형으로 배열하게 된다.
이와 관련한 종래의 기술로서, 한국등록특허 제10-1097593호에는 양 측방으로 길이를 가지며 복수의 개구가 형성된 분배관과, 상기 분배관의 개구와 중통하고, 증착 물질을 분사하는 복수의 분사 노즐과, 박막 두께 측정을 위해 상기 분배관의 양 끝단 측면에 형성되고, 상기 분사 노즐과 타방향으로 증착 물질을 분사하는 하나 이상의 측정 노즐과, 각 구성요소를 가열하는 복수의 히터를 포함하는 박막 증착 장치가 개시되어 있다.
이러한 종래 문헌의 상기 히터는 파이프 열선을 감아서 구비되는 것으로, 상기 분배관, 분사노즐, 이송관 및 측정 노즐을 개별적으로 가열하도록 각각의 구성요소마다 히터를 감아 설치하여야 했다.
따라서, 히터를 설치하는 방법 및 구조가 복잡하고, 히터의 설치 개수도 많은 단점이 있었다.
통상 선형 증발원을 가열하는 히터는 도가니에서 연결되는 이송관, 물질을 확산시키는 분배관 및 각각의 분사 노즐을 가열하도록 3개의 히터로 이루어지는데, 이와 같은 종래의 기술에서는 히터가 파이프 열선으로 이루어져 각 구성요소에 감아 설치하였으므로, 히터가 구성요소에 고정설치되고, 히터의 개수가 많은 단점이 있는 것이다.
한편, 기판이 대면적화됨에 따라, 도가니의 크기가 커지는 추세인데, 종래의 일반적인 도가니는 원통형상으로 이루어지며, 도가니의 체결부에는 나사산을 형성하여 나사결합으로 분배기와 연결하였다.
이와 같은 나사 결합의 도가니는 원통형의 형상이었기 때문에 원료 물질을 많이 저장하기 위해서는 도가니의 크기 또는 길이가 길어지고, 이에 따라 챔버의 크기 또는 높이가 높아지는 단점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 히터를 블록화하여 분배기의 외부에 설치함으로써, 히터의 설치방법 및 설치구조를 간소화할 수 있는 박막 증착장치의 선형 증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 히터를 구성함에 있어서, 분사 노즐을 가열하는 상부 히터와, 분배관 및 유도관을 가열하는 하부 히터로 구성함으로써, 히터의 개수를 3개에서 2개로 줄일 수 있는 박막 증착장치의 선형 증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 대면적 기판을 증착하기 위해 도가니를 수평방향으로 길게 구성하면서 도가니와 분배기 간의 결합을 삽입형 끼움방식으로 함으로써, 낮은 높이의 도가니 사용으로 챔버의 높이를 크게 낮출 수 있는 박막 증착장치의 선형 증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 수평방향으로 길게 구성되는 도가니와, 상기 도가니와 연통되고 상부에 복수의 분사 노즐 또는 분배공을 갖는 분배기와, 상기 분배기의 외부에 장착되는 히터 블록을 포함하는 선형 증발원을 제공한다.
상기 분배기는 상기 도가니와 연통되도록 형성되는 유도관과, 상기 유도관과 연통되어 내부에 확산 공간을 가지며, 상기 분사 노즐 또는 분배공이 형성되는 분배관으로 이루어질 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 도가니와 유도관은 억지끼워 맞춤으로 체결되도록 그 연결부위에 삽입형 체결부가 형성될 수 있다.
여기서, 상기 도가니의 연결부가 상기 유도관의 하단부에 내삽되는 경우, 상기 삽입형 체결부는 상기 도가니의 연결부 외주면에 형성되는 제1 요철부와, 상기 유도관의 하단부 내주면에 형성되며, 상기 제1 요철부의 형상에 대응되는 형상의 제2 요철부로 구성될 수 있다.
한편, 상기 도가니의 연결부가 상기 유도관의 하단부에 외삽되는 경우, 상기 삽입형 체결부는 상기 도가니의 연결부 내주면에 형성되는 제1 요철부와, 상기 유도관의 하단부 외주면에 형성되며, 상기 제1 요철부의 형상에 대응되는 형상의 제2 요철부로 구성될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 요철부 및 제2 요철부는 링(ring)형상으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 도가니와 유도관은 각각 결합플랜지가 형성되고, 상기 결합플랜지에 상하로 관통된 암나사홀이 형성되어, 상기 암나사홀에 볼트를 체결함으로써, 상기 도가니와 유도관이 결합되도록 구성할 수 있다.
더 나아가, 상기 도가니와 유도관의 외주면에 수나사가 형성되고, 상기 수나사와 체결가능한 암나사가 내주면에 형성된 결합링을 이용하여 상기 도가니와 유도관이 결합될 수 있다.
한편, 상기 도가니는 상기 분배기와 연결되는 연결부와, 상기 연결부와 직교되며 원료 물질이 저장되는 본체로 이루어지어 '┴'자 형태로 형성될 수 있다.
이와 같은 도가니의 형상으로 인해 챔버의 높이를 크게 낮출 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 히터 블록은 상기 분배기의 외부에 박스 형태로 설치되는 히터 고정 플레이트와, 상기 히터 고정 플레이트의 내측면에 설치되는 히터와, 상기 히터를 상기 히터 고정 플레이트의 내측면에 고정하기 위한 히터 지지대와, 상기 히터 고정 플레이트의 외측면에 설치되는 반사판으로 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 히터는 상기 분배기의 분사 노즐을 가열하기 위한 상부 히터와, 상기 분배기의 분배관과 유도관을 가열하기 위한 하부 히터로 구성될 수 있다.
또한, 상기 히터 지지대는 상부 히터를 고정시키기 위한 상부 히터 지지대와, 하부 히터를 고정시키기 위한 하부 히터 지지대로 구성되며, 각각의 히터 지지대는 상하 방향으로 2줄이 일정 간격으로 나란하게 형성되며, 상기 히터를 지그재그 형태로 설치하도록 형성될 수 있다.
본 발명에서, 상기 히터 고정 플레이트는 상부와 하부가 개방된 형태의 직육각형 형상으로 이루어질 수 있다.
이상에서 살펴본 본 발명에 의하면, 히터를 블록화하여 분배기의 외부에 설치함으로써, 히터의 설치방법 및 설치구조를 간소화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 히터를 구성함에 있어서, 분사 노즐을 가열하는 상부 히터와, 분배관 및 유도관을 가열하는 하부 히터로 구성함으로써, 히터의 개수를 3개에서 2개로 줄임으로써, 제조 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 도가니를 수평방향으로 길게 구성하면서 도가니와 분배기 간의 결합을 삽입형 끼움방식으로 함으로써, 낮은 높이의 도가니 사용으로 챔버의 높이를 크게 낮출 수 있으면서도 대면적 기판 증착에 사용할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 박막 증착장치의 선형 증발원의 구성을 도시한 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 분배기와 그 외부에 설치되는 히터 블록을 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 분배기와 도가니의 연결을 위한 제1 실시예를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 분배기와 도가니의 연결을 위한 제2 실시예를 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 분배기와 도가니의 연결을 위한 제3 실시예를 도시한 단면도이다.
이하에서는 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 박막 증착장치의 선형 증발원의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 박막 증착장치의 선형 증발원의 구성을 도시한 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 분배기와 그 외부에 설치되는 히터 블록을 도시한 단면도이고, 도 3은 본 발명의 분배기와 도가니의 연결부위를 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 선형 증발원은 증착 물질을 수용하는 도가니(100)와, 상기 도가니(100)와 연통되고 상부에 복수의 분사 노즐(204) 또는 분배공을 갖는 분배기(200)와, 상기 분배기(200)의 외부에 장착되는 히터 블록(300)을 포함한다.
상기 도가니(100)는 대면적 기판의 증착이 가능하도록 많은 양의 원료 물질을 담을 수 있는 크기로 이루어짐이 바람직한데, 본 발명에서는 상기 도가니(100)가 수평방향으로 길게 구성되는 형상을 갖는다.
구체적으로, 본 발명의 도가니(100)는 상기 분배기(200)와 연결되는 연결부(104)와, 상기 연결부(104)와 직교되며 원료 물질이 저장되는 본체(102)로 이루어지어 '┴'자 형태로 형성된다.
이와 같이 '┴'자 형태로 형성된 도가니(100)의 형상으로 인해 많은 양의 원료 물질을 담으면서도 도가니(100)가 설치되는 챔버(도시안함)의 높이는 크게 낮출 수 있다.
한편, 상기 분배기(200)는 상기 도가니(100)와 연통되도록 형성되는 유도관(206)과, 상기 유도관(206)과 연통되어 내부에 확산 공간을 가지며, 상기 분사 노즐(204) 또는 분배공이 형성되는 분배관(202)으로 이루어진다.
상기 분배기(200)는 공정이 진행되는 챔버(도시안함) 내의 하부에 마련되고, 구체적으로는 박막이 증착될 기판(도시안함)의 일면과 대향하도록 이격 배치되는 것으로, 그 상측에 복수의 분사 노즐(204) 또는 분배공이 형성되어 상기 도가니(100)에서의 증착 물질을 기판(도시안함) 상에 분사한다.
이러한 분배기(200)는 상기 분사 노즐(204) 또는 분배공을 통해 기판의 일면에 증발된 원료 물질 예컨대, 유기물을 다수의 경로로 균일하게 분배하여 공급한다. 이를 위해, 상기 분배기(200)는 그 하부에 상기 기판에 증착되는 원료물질이 공급되는 유도관(206)이 구비된다.
본 발명에서는 상기 유도관(206)이 중앙에 형성된 분배기(200)를 예로 들어 설명하지만, 상기 유도관(206)이 분배기(200)의 일측에 형성되어 "┐"자 형태의 단면구조를 가지는 분배관에도 본 발명이 적용될 수 있음은 물론이다.
이 경우, 상기 도가니(100)의 형태도 일측에 연결부(104)가 형성된 "┘"자 형태로 되어야 할 것이다.
한편, 상기 분사 노즐(204) 또는 분배공은 상기 분배기(200)의 상면을 관통하도록 형성되어, 기판 방향으로 증발된 원료 물질을 공급하는 역할을 한다. 이때, 기판의 중심부뿐만 아니라 기판의 주변부에도 원료 물질이 균일하게 도달되도록, 분배기(200)의 중심부에 위치된 분사 노즐(204)은 기판면과 수직을 이루도록 형성되고, 분배기(200)의 양 측방으로 갈수록 상기 분사 노즐(204)은 기판면의 외측을 향해 더욱 경사지게 형성될 수 있으며, 분사 노즐(204) 간 간격도 분배기(200)의 양 측방으로 갈수록 가깝게 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 도가니(100)는 상기 유도관(206)과 억지끼워 맞춤으로 체결될 수 있다. 이를 위해, 도가니(100)의 연결부(104)와 상기 유도관(206)의 연결부위에는 삽입형 체결부가 형성된다.
도 3은 본 발명의 분배기와 도가니의 연결을 위한 제1 실시예를 도시한 단면도로서, 상기 삽입형 체결부의 실시예를 도시한 단면도이다.
본 발명에서, 상기 도가니(100)와 분배기(200)의 연결은 도가니(100)의 연결부(104)가 상기 유도관(206)의 하단부에 내삽되는 경우와, 상기 도가니(100)의 연결부(104)가 상기 유도관(206)의 하단부에 외삽되는 경우의 2가지로 구성될 수 있다.
먼저, 상기 도가니(100)의 연결부(104)가 상기 유도관(206)의 하단부에 내삽되는 경우에는 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 삽입형 체결부는 상기 도가니(100)의 연결부(104) 외주면에 형성되는 제1 요철부(104a)와, 상기 유도관(206)의 하단부 내주면에 형성되며, 상기 제1 요철부(104a)의 형상에 대응되는 형상의 제2 요철부(206a)로 구성된다.
상기 제1 요철부(104a)는 적어도 하나 이상의 돌기 또는 홈으로 이루어지며, 돌기와 홈이 연속적으로 형성된 형상이 가능하다. 또한, 제2 요철부(206a)는 상기 제1 요철부(104a)에 끼워지어 결합되도록 제1 요철부(104a)의 형상에 대응되는 형상으로 이루어진다.
여기서, 상기 제1 요철부(104a) 및 제2 요철부(206a)는 상기 도가니(100)의 연결부(104) 외주면 또는 상기 유도관(206)의 하단부 내주면을 둘러가며 형성되는 링(ring)형상으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 도가니(100) 연결부(104)의 상단과, 상기 유도관(206)의 하단은 상기 도가니(100)와 분배기(200)가 연결될 때 그 삽입이 용이하도록 그 접촉면, 예를 들어, 본 발명의 일실시예의 경우, 상기 연결부(104)의 외주면과 유도관(206)의 내주면의 단부는 소정의 각도로 경사지는 경사면으로 형성되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 연결부(104)의 외주면은 유도관(206)에 삽입이 용이하도록 상협하광의 형태로 형성되며, 상기 유도관(206)의 내주면 역시 상협하광의 형태로 형성되어, 상기 연결부(104)가 유도관(206)에 용이하게 삽입되도록 한다.
이와 같은 본 발명의 삽입형 체결부는 기존의 나사체결이 아닌 억지끼움의 방식으로 도가니(100)를 결합시킴으로써, 본 발명의 실시예에서와 같이 '┴'자 형태의 도가니(100)를 적용할 경우, 챔버 내에서 도가니(100)의 설치를 용이하게 한다.
또한, 상기 도가니(100)의 연결부(104) 외주면에 형성되는 제1 요철부(104a)와, 상기 유도관(206)의 하단부 내주면에 형성되는 제2 요철부(206a)가 서로 대응되는 요철(凹凸)구조로 형성됨으로써, 상기 유도관(206)에 연결부(104)가 삽입되면 그 결합을 견고하게 유지할 수 있다.
한편, 상기 도가니(100)의 연결부(104)가 상기 유도관(206)의 하단부에 외삽되는 경우에는, 상기 도가니(100)의 연결부 내주면에 제1 요철부(도시안함)이 형성되고, 상기 유도관(206)의 하단부 외주면에 상기 제1 요철부의 형상에 대응되는 형상의 제2 요철부(도시안함)이 형성될 수 있다. 이 경우에도 앞서 설명한 바와 같이, 제1 요철부와 제2 요철부의 형상에 따라 도가니(100)를 분배기(200)에 억지끼움의 방식으로 결합시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 분배기와 도가니의 연결을 위한 제2 실시예를 도시한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 분배기와 도가니의 연결을 위한 제3 실시예를 도시한 단면도이다.
본 발명의 도가니(100)와 상기 유도관(206)을 결합시키는 구조로서, 하기의 2가지 실시예가 가능하다.
먼저, 상기 도가니(100)의 연결부(114)와 유도관(216)에 각각 결합플랜지(114a)(216a)를 형성하고, 상기 결합플랜지(114a)(216a)에는 상하로 관통된 암나사홀이 형성되어, 상기 암나사홀에 볼트를 체결함으로써, 상기 도가니(100)와 유도관(216)을 결합시킬 수 있다.
또한, 도 5에서 보는 바와 같이, 상기 도가니(100)의 연결부(124)와 유도관(226)의 외주면에 수나사(124a)(226a)가 형성되고, 상기 수나사(124a)(226a)와 체결가능한 암나사가 내주면에 형성된 결합링(230)을 이용하여 상기 도가니(100)와 유도관(226)을 결합시킬 수 있다.
한편, 본 발명에서는 상기 분배기(200)를 가열하기 위한 히터로서, 상기 분배기(200)의 외부에 장착되는 히터 블록(300)이 구비되는데, 상기 히터 블록(300)은 상기 분배기(200)의 외부에 박스 형태로 설치되는 히터 고정 플레이트(302)와, 상기 히터 고정 플레이트(302)의 내측면에 설치되는 히터(304)와, 상기 히터(304)를 상기 히터 고정 플레이트(302)의 내측면에 고정하기 위한 히터 지지대(306)와, 상기 히터 고정 플레이트(302)의 외측면에 설치되는 반사판(308)으로 이루어진다.
상기 히터(304)와 히터 지지대(306)는 상기 히터 고정 플레이트(302)의 양 측면에 고정설치되며, 분배기(200)의 길이방향으로 위치한다.
여기서, 상기 히터(304)는 도 2에서 보는 바와 같이, 상기 분배기(200)의 분사 노즐(204)을 가열하기 위한 상부 히터(304a)와, 상기 분배기(200)의 분배관(202)과 유도관(206)을 가열하기 위한 하부 히터(304b)로 구성된다.
상기 상부 히터(304a)는 상기 분배기(200)의 분사 노즐(204)을 가열하도록 분사 노즐(204)의 양 측면에 위치하도록 설치되고, 상기 하부 히터(304b)는 분배관(202)과 유도관(206)을 동시에 가열하기 위한 것이므로, 상부 히터(304a)의 하부에 상부 히터(304a) 보다 길게 형성된다.
상기 히터(304)는 상기 히터 지지대(306)에 지지되어 지그재그 형태로 설치되는데, 이를 위해, 상기 히터 지지대(306)는 상부 히터(304a)를 고정시키기 위한 상부 히터 지지대(306a)와, 상기 하부 히터(304b)를 고정시키기 위한 하부 히터 지지대(306b)로 구성된다.
각각의 히터 지지대(306a)(306b)는 상하 방향으로 2줄이 일정 간격으로 나란하게 형성되어, 상기 히터(304)를 각각의 히터 지지대(306a)(306b)에 차례대로 감으면 히터(304)를 지그재그 형태로 설치할 수 있다.
이와 같이 지그재그 형태로 설치된 히터(304)는 외부의 전원(미도시)에 연결되어 전원이 인가됨으로써, 상기 분배기(200)를 가열하도록 한다.
본 발명에서, 상기 히터 고정 플레이트(302)는 상부와 하부가 개방된 형태의 직육각형 형상으로 이루어지는데, 이와 같은 히터 블록(300)은 분배기(200)의 외부에 박스 형태로 설치됨으로써, 히터의 설치 방법 및 구조가 간단하며, 분배기(200)에 직접 히터를 감아 설치하지 않으므로, 분배기(200)의 교체 시 호환이 가능하다.
또한, 히터(304)를 구성함에 있어서, 분사 노즐(204)을 가열하는 상부 히터(304a)와, 분배관(202) 및 유도관(206)을 가열하는 하부 히터(304b)로 구성함으로써, 히터의 개수를 3개에서 2개로 줄일 수 있다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
100 : 도가니 102 : 본체
104 : 연결부 104a : 제1 요철부
200 : 분배기 202 : 분배관
204 : 분사 노즐 206 : 유도관
206a : 제2 요철부 300 : 히터 블록
302 : 히터 고정 플레이트 304 : 히터
304a : 상부 히터 304b : 하부 히터
306 : 히터 지지대 308 : 반사판

Claims (13)

  1. 수평방향으로 길게 구성되는 도가니;
    상기 도가니와 연통되고 상부에 복수의 분사 노즐 또는 분배공을 갖는 분배기; 및
    상기 분배기의 외부에 장착되는 히터 블록;
    을 포함하는 선형 증발원.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 분배기는 상기 도가니와 연통되도록 형성되는 유도관과,
    상기 유도관과 연통되어 내부에 확산 공간을 가지며, 상기 분사 노즐 또는 분배공이 형성되는 분배관으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 도가니와 유도관은 억지끼워 맞춤으로 체결되도록 그 연결부위에 삽입형 체결부가 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 도가니의 연결부가 상기 유도관의 하단부에 내삽되는 경우,
    상기 삽입형 체결부는 상기 도가니의 연결부 외주면에 형성되는 제1 요철부와,
    상기 유도관의 하단부 내주면에 형성되며, 상기 제1 요철부의 형상에 대응되는 형상의 제2 요철부로 구성되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 도가니의 연결부가 상기 유도관의 하단부에 외삽되는 경우,
    상기 삽입형 체결부는 상기 도가니의 연결부 내주면에 형성되는 제1 요철부와,
    상기 유도관의 하단부 외주면에 형성되며, 상기 제1 요철부의 형상에 대응되는 형상의 제2 요철부로 구성되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  6. 청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,
    상기 제1 요철부 및 제2 요철부는 링(ring)형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 도가니와 유도관은 각각 결합플랜지가 형성되고,
    상기 결합플랜지에 상하로 관통된 암나사홀이 형성되어, 상기 암나사홀에 볼트를 체결함으로써, 상기 도가니와 유도관이 결합되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  8. 청구항 2에 있어서,
    상기 도가니와 유도관의 외주면에 수나사가 형성되고,
    상기 수나사와 체결가능한 암나사가 내주면에 형성된 결합링을 이용하여 상기 도가니와 유도관이 결합되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 도가니는 상기 분배기와 연결되는 연결부와, 상기 연결부와 직교되며 원료 물질이 저장되는 본체로 이루어지어 '┴'자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 히터 블록은 상기 분배기의 외부에 박스 형태로 설치되는 히터 고정 플레이트;
    상기 히터 고정 플레이트의 내측면에 설치되는 히터;
    상기 히터를 상기 히터 고정 플레이트의 내측면에 고정하기 위한 히터 지지대; 및
    상기 히터 고정 플레이트의 외측면에 설치되는 반사판;
    으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 히터는 상기 분배기의 분사 노즐을 가열하기 위한 상부 히터와,
    상기 분배기의 분배관과 유도관을 가열하기 위한 하부 히터로 구성되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  12. 청구항 10에 있어서,
    상기 히터 지지대는 상부 히터를 고정시키기 위한 상부 히터 지지대와,
    하부 히터를 고정시키기 위한 하부 히터 지지대로 구성되며,
    각각의 히터 지지대는 상하 방향으로 2줄이 일정 간격으로 나란하게 형성되며, 상기 히터를 지그재그 형태로 설치하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  13. 청구항 9에 있어서,
    상기 히터 고정 플레이트는 상부와 하부가 개방된 형태의 직육각형 형상인 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
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