CN108842134B - 一种油屏蔽挥发装置 - Google Patents
一种油屏蔽挥发装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108842134B CN108842134B CN201810996531.9A CN201810996531A CN108842134B CN 108842134 B CN108842134 B CN 108842134B CN 201810996531 A CN201810996531 A CN 201810996531A CN 108842134 B CN108842134 B CN 108842134B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- oil
- evaporation
- groove
- shallow groove
- shallow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 45
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 44
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000011104 metalized film Substances 0.000 description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Fats And Perfumes (AREA)
Abstract
本发明提供了一种油屏蔽挥发装置，包括舟式加热板、电加热管、供油管和微流控制泵，所述舟式加热板上表面设置有蒸发浅槽，所述蒸发浅槽的底面为水平平直结构，所述电加热管内嵌在所述舟式加热板内，所述电加热管设置在所述蒸发浅槽下方，所述供油管的进油端连接所述微流控制泵的出油口，所述供油管的出油端连通所述蒸发浅槽。该油屏蔽挥发装置具有设计科学、油量稳定、油压均匀、产品质量好的优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种金属化薄膜蒸镀油屏蔽装置，具体的说，涉及了一种油屏蔽挥发装置。
背景技术
薄膜电容器所使用的金属化薄膜，需要通过真空卷绕镀膜机蒸发沉积金属，在蒸发沉积金属之前，整幅膜面需要根据下游客户薄膜电容器的技术指标要求被隔离成指定的宽度，并且隔离带也要达到指定宽度，需要蒸镀金属的区域被称为金属层，隔离带区域被称为留白。这时就需要一种工艺及材料来事先在基膜上涂覆一种隔离层来阻止金属沉积，并且保证该留白区保持原始基膜的性能，且没有二次“污染”材料介入，以免影响后期薄膜电容器性能。
屏蔽油是目前常用的隔离材料，但现有的油屏蔽挥发装置由于屏蔽油挥发残留率、残留量以及残留后不可控的温度调节点等多个因素，导致很难控制提供定量、匀压的屏蔽油蒸汽，屏蔽油蒸汽的不稳定性会影响留白区的效果，进而影响薄膜电容器成品的质量。
为了解决以上存在的问题，人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足，从而提供一种设计科学、油量稳定、油压均匀、产品质量好的油屏蔽挥发装置。
为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种油屏蔽挥发装置，包括舟式加热板、电加热管、供油管和微流控制泵，所述舟式加热板上表面设置有蒸发浅槽，所述蒸发浅槽的底面为水平平直结构，所述电加热管内嵌在所述舟式加热板内，所述电加热管设置在所述蒸发浅槽下方，所述供油管的进油端连接所述微流控制泵的出油口，所述供油管的出油端连通所述蒸发浅槽。
基于上述，所述蒸发浅槽的形状为横条形，所述蒸发浅槽包括平行设置的两侧边和连接两侧边端部的弧形过渡部。
基于上述，所述蒸发浅槽的深度为0.5-2mm。
基于上述，所述蒸发浅槽的深度为1mm。
基于上述，它还包括盖在所述蒸发浅槽上方的喷嘴板，所述喷嘴板上开设有多个喷射口，多个所述喷射口横向布置在所述喷嘴板上，每个所述喷射口外侧的左右两侧均设置有竖向挡壁，每个所述喷射口外侧的前后两侧均为敞开结构。
基于上述，所述喷嘴板包括横向平板和设置在所述横向平板中部的蒸汽凹槽，所述蒸汽凹槽设置在所述蒸发浅槽的正上方，所述蒸汽凹槽呈各处均匀的横条形，所述蒸汽凹槽的截面为向上弯曲的圆弧形，多个所述喷射口均开设在所述蒸汽凹槽的槽底。
基于上述，所述蒸汽凹槽的左右两端与所述横向平板通过弧面平滑连接。
基于上述，它还包括基架，所述基架顶部设置有容纳腔，所述舟式加热板设置在所述容纳腔内，所述横向平板的前后两侧均开设有多个卡槽，多个所述卡槽对称地分布在所述蒸汽凹槽两侧，每侧的所述卡槽等间距设置，所述基架前后两侧对应多个所述卡槽分别设置有卡扣。
基于上述，所述竖向挡壁的高度为0.5-1.5cm。
基于上述，所述竖向挡壁的高度为1cm。
本发明相对现有技术具有突出的实质性特点和显著的进步，具体的说，本发明通过所述微流控制泵的设置，可定时定量地将屏蔽油输入所述蒸发浅槽内，由于所述蒸发浅槽深度很浅，屏蔽油可大面积地展开，铺设在所述蒸发浅槽内，内嵌在所述舟式加热板内的电加热管，可将热量均匀地传递给所述蒸发浅槽内的屏蔽油，从而使各个位置的屏蔽油保持稳定的压力均匀挥发，提供定量、匀压的屏蔽油蒸汽，为产品质量提供基础，其具有设计科学、油量稳定、油压均匀、产品质量好的优点。
附图说明
图1是本发明中油屏蔽挥发装置的原理图。
图2是本发明中油屏蔽挥发装置的外部结构图。
图3是本发明中喷嘴板的主视图。
图4是图3的仰视图。
图中：1. 舟式加热板；2. 蒸发浅槽；3. 电加热管；4. 供油管；5. 微流控制泵；6.屏蔽油容器；7. 喷嘴板；8. 卡扣；9. 基架；41. 供油管的进油端；71. 横向平板；72. 蒸汽凹槽；73. 卡槽；74. 喷射口；75. 竖向挡壁。
具体实施方式
下面通过具体实施方式，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
实施例1
如图1-4所示，一种油屏蔽挥发装置，包括舟式加热板1、电加热管3、供油管4和微流控制泵5，所述舟式加热板1上表面设置有蒸发浅槽2，所述蒸发浅槽2的底面为水平平直结构，所述电加热管3内嵌在所述舟式加热板1内，所述电加热管3设置在所述蒸发浅槽2下方，所述供油管4的进油端41连接所述微流控制泵5的出油口，所述供油管4的出油端连通所述蒸发浅槽2。所述蒸发浅槽2的形状具体为横条形，所述蒸发浅槽2包括平行设置的两侧边和连接两侧边端部的弧形过渡部，所述蒸发浅槽2的深度为0.5-2mm。
工作原理：将所述微流控制泵5的进油口连通屏蔽油容器6，微流控制泵5可定时定量地将屏蔽油输入所述蒸发浅槽2内，由于所述蒸发浅槽2深度很浅，屏蔽油可大面积地展开，铺设在所述蒸发浅槽2内，内嵌在所述舟式加热板1内的电加热管3通电后，可将热量均匀地传递给所述蒸发浅槽2内的屏蔽油，从而使各个位置的屏蔽油保持稳定的压力均匀挥发，提供定量、匀压的屏蔽油蒸汽。
它还包括盖在所述蒸发浅槽2上方的喷嘴板7，所述喷嘴板7上开设有多个喷射口74，多个所述喷射口74横向布置在所述喷嘴板7上，每个所述喷射口74外侧的左右两侧均设置有竖向挡壁75，每个所述喷射口74外侧的前后两侧均为敞开结构。所述喷嘴板7包括横向平板71和设置在所述横向平板71中部的蒸汽凹槽72，所述蒸汽凹槽72设置在所述蒸发浅槽2的正上方，所述蒸汽凹槽72呈各处均匀的横条形，所述蒸汽凹槽72的截面（与图3纸面垂直的方向）为向上弯曲的圆弧形，多个所述喷射口74均开设在所述蒸汽凹槽72的槽底。所述蒸汽凹槽72的左右两端与所述横向平板71通过弧面平滑连接。所述竖向挡壁75的高度为0.5-1.5cm。
喷嘴板7工作原理：喷嘴板7作为油蒸汽的最后一道定向导流装置，当油蒸汽挥发至蒸汽凹槽72内，由于蒸汽凹槽72的槽壁呈均匀的圆弧形，油蒸汽会被均匀地引流至各喷射口74处，当油蒸汽从所述喷射口74喷出时，左右两侧的竖向挡壁75限制油蒸汽横向的扩散，引导油蒸汽沿纵向（垂直于图3纸面的方向）发散，使油蒸汽在纵向上的宽度尺寸多倍于其横向上的宽度尺寸，随着基膜的纵向行进，油蒸汽类似于复涂性（即油蒸汽不断地覆盖在已附着的油屏蔽层上）地喷涂在基膜上，油屏蔽层中间厚边缘薄，在张力的作用下，边缘的油膜毛刺会被“拉”成直线，从而提高留白区域屏蔽油边缘界线的直线性和清晰度，避免在金属层边缘留下毛刺，发生“局放”和“间隙放电”，影响薄膜电容器的寿命。
为了方便喷嘴板7的拆装，它还包括基架9，所述基架9顶部设置有容纳腔，所述舟式加热板1设置在所述容纳腔内，所述横向平板71的前后两侧均开设有多个卡槽73，多个所述卡槽73对称地分布在所述蒸汽凹槽72两侧，每侧的所述卡槽73等间距设置，所述基架9前后两侧对应多个所述卡槽73分别设置有卡扣8；使用时，通过所述卡扣8将卡槽73锁紧或者打开，方便所述喷嘴板7的拆装。
实施例2
本实施例与实施例1的区别在于：优选地将蒸发浅槽2的深度设置为1mm，竖向挡壁75的高度设置为1cm。
经检测，采用原有工艺、原有设备的屏蔽油留白区油膜厚度平均值为60纳米，偏差范围:60%，膜层之间局部有流动油膜。采用本实施例中的油屏蔽挥发装置后，屏蔽油留白区油膜厚度平均值为30纳米，偏差范围:10%。经对比，本实施例中的油屏蔽挥发装置具有油膜厚度一致性强、更加均匀等特点，更为金属蒸汽沉积时有效清理油膜提供了方便，并且使成品金属化薄膜油残余达到痕量，提高了金属化薄膜利用率，拓展了其应用领域。
最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其限制；尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本发明的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本发明技术方案的精神，其均应涵盖在本发明请求保护的技术方案范围当中。
Claims (8)
1.一种油屏蔽挥发装置，其特征在于：包括舟式加热板、电加热管、供油管和微流控制泵，所述舟式加热板上表面设置有蒸发浅槽，所述蒸发浅槽的底面为水平平直结构，所述电加热管内嵌在所述舟式加热板内，所述电加热管设置在所述蒸发浅槽下方，所述供油管的进油端连接所述微流控制泵的出油口，所述供油管的出油端连通所述蒸发浅槽；所述蒸发浅槽的形状为横条形，所述蒸发浅槽包括平行设置的两侧边和连接两侧边端部的弧形过渡部；还包括盖在所述蒸发浅槽上方的喷嘴板，所述喷嘴板上开设有多个喷射口，多个所述喷射口横向布置在所述喷嘴板上，每个所述喷射口外侧的左右两侧均设置有竖向挡壁，每个所述喷射口外侧的前后两侧均为敞开结构。
2.根据权利要求1所述的油屏蔽挥发装置，其特征在于：所述蒸发浅槽的深度为0.5-2mm。
3.根据权利要求2所述的油屏蔽挥发装置，其特征在于：所述蒸发浅槽的深度为1mm。
4.根据权利要求3所述的油屏蔽挥发装置，其特征在于：所述喷嘴板包括横向平板和设置在所述横向平板中部的蒸汽凹槽，所述蒸汽凹槽设置在所述蒸发浅槽的正上方，所述蒸汽凹槽呈各处均匀的横条形，所述蒸汽凹槽的截面为向上弯曲的圆弧形，多个所述喷射口均开设在所述蒸汽凹槽的槽底。
5.根据权利要求4所述的油屏蔽挥发装置，其特征在于：所述蒸汽凹槽的左右两端与所述横向平板通过弧面平滑连接。
6.根据权利要求5所述的油屏蔽挥发装置，其特征在于：它还包括基架，所述基架顶部设置有容纳腔，所述舟式加热板设置在所述容纳腔内，所述横向平板的前后两侧均开设有多个卡槽，多个所述卡槽对称地分布在所述蒸汽凹槽两侧，每侧的所述卡槽等间距设置，所述基架前后两侧对应多个所述卡槽分别设置有卡扣。
7.根据权利要求1所述的油屏蔽挥发装置，其特征在于：所述竖向挡壁的高度为0.5-1.5cm。
8.根据权利要求7所述的油屏蔽挥发装置，其特征在于：所述竖向挡壁的高度为1cm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810996531.9A CN108842134B (zh) | 2018-08-29 | 2018-08-29 | 一种油屏蔽挥发装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810996531.9A CN108842134B (zh) | 2018-08-29 | 2018-08-29 | 一种油屏蔽挥发装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108842134A CN108842134A (zh) | 2018-11-20 |
| CN108842134B true CN108842134B (zh) | 2024-01-16 |
Family
ID=64233905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810996531.9A Active CN108842134B (zh) | 2018-08-29 | 2018-08-29 | 一种油屏蔽挥发装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108842134B (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020132782A1 (zh) * | 2018-12-24 | 2020-07-02 | 六和电子（江西）有限公司 | 一种金属化安全薄膜的屏蔽油移印装置及其移印方法 |
| CN112210751B (zh) * | 2020-09-24 | 2022-12-06 | 铜陵市超越电子有限公司 | 金属化薄膜蒸镀用喷油式隔离装置 |
| CN113737136B (zh) * | 2021-08-24 | 2023-09-22 | 安徽赛福电容有限公司 | 电容器用金属化薄膜蒸镀方法及蒸镀用等离子预处理装置 |
Citations (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN202405114U (zh) * | 2011-11-29 | 2012-08-29 | 安徽赛福电子有限公司 | 半幅面金属化安全薄膜 |
| KR20130016485A (ko) * | 2011-08-08 | 2013-02-18 | 지제이엠 주식회사 | 복수의 증발특성을 갖는 점증발원의 노즐 |
| KR20140085858A (ko) * | 2012-12-28 | 2014-07-08 | 주식회사 선익시스템 | 박막 증착장치의 선형 증발원 |
| KR20140127978A (ko) * | 2013-04-26 | 2014-11-05 | 지제이엠 주식회사 | 유기재료 사용효율 증대를 위한 증발원 |
| KR20150081008A (ko) * | 2014-01-03 | 2015-07-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착원 |
| CN204589287U (zh) * | 2015-04-10 | 2015-08-26 | 安徽铜峰电子股份有限公司 | 用于形成金属化薄膜屏带的喷涂装置挡板 |
| WO2015139777A1 (en) * | 2014-03-21 | 2015-09-24 | Applied Materials, Inc. | Evaporation source for organic material |
| CN105177507A (zh) * | 2015-09-08 | 2015-12-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀坩埚及蒸镀设备 |
| CN205282294U (zh) * | 2016-01-04 | 2016-06-01 | 昆山泓电隆泰电子材料有限公司 | 一种抗老化的油屏蔽装置 |
| CN206033865U (zh) * | 2016-08-27 | 2017-03-22 | 王军友 | 纯铝加厚镀膜纵流道模具板 |
| CN106637088A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-10 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种喷嘴挡板及蒸镀装置 |
| WO2017121491A1 (en) * | 2016-01-15 | 2017-07-20 | Applied Materials, Inc. | Evaporation source, apparatus and method for depositing organic material |
| CN108048805A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-05-18 | 中国航发动力股份有限公司 | 一种涡轮叶片复合涂层及其制备方法 |
| CN108103442A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-01 | 上海升翕光电科技有限公司 | 一种oled线性蒸发源结构 |
| CN208949384U (zh) * | 2018-08-29 | 2019-06-07 | 郑州华晶新能源科技有限公司 | 一种油屏蔽挥发装置 |
-
2018
- 2018-08-29 CN CN201810996531.9A patent/CN108842134B/zh active Active
Patent Citations (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130016485A (ko) * | 2011-08-08 | 2013-02-18 | 지제이엠 주식회사 | 복수의 증발특성을 갖는 점증발원의 노즐 |
| CN202405114U (zh) * | 2011-11-29 | 2012-08-29 | 安徽赛福电子有限公司 | 半幅面金属化安全薄膜 |
| KR20140085858A (ko) * | 2012-12-28 | 2014-07-08 | 주식회사 선익시스템 | 박막 증착장치의 선형 증발원 |
| KR20140127978A (ko) * | 2013-04-26 | 2014-11-05 | 지제이엠 주식회사 | 유기재료 사용효율 증대를 위한 증발원 |
| KR20150081008A (ko) * | 2014-01-03 | 2015-07-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착원 |
| WO2015139777A1 (en) * | 2014-03-21 | 2015-09-24 | Applied Materials, Inc. | Evaporation source for organic material |
| CN204589287U (zh) * | 2015-04-10 | 2015-08-26 | 安徽铜峰电子股份有限公司 | 用于形成金属化薄膜屏带的喷涂装置挡板 |
| CN105177507A (zh) * | 2015-09-08 | 2015-12-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀坩埚及蒸镀设备 |
| CN205282294U (zh) * | 2016-01-04 | 2016-06-01 | 昆山泓电隆泰电子材料有限公司 | 一种抗老化的油屏蔽装置 |
| WO2017121491A1 (en) * | 2016-01-15 | 2017-07-20 | Applied Materials, Inc. | Evaporation source, apparatus and method for depositing organic material |
| CN206033865U (zh) * | 2016-08-27 | 2017-03-22 | 王军友 | 纯铝加厚镀膜纵流道模具板 |
| CN106637088A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-10 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种喷嘴挡板及蒸镀装置 |
| CN108048805A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-05-18 | 中国航发动力股份有限公司 | 一种涡轮叶片复合涂层及其制备方法 |
| CN108103442A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-01 | 上海升翕光电科技有限公司 | 一种oled线性蒸发源结构 |
| CN208949384U (zh) * | 2018-08-29 | 2019-06-07 | 郑州华晶新能源科技有限公司 | 一种油屏蔽挥发装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108842134A (zh) | 2018-11-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108842134B (zh) | 一种油屏蔽挥发装置 | |
| CN102176978B (zh) | 用于向基体上施加液体薄膜的涂覆工具 | |
| DE60201383T2 (de) | Dosierrohr für Gasabgabe | |
| KR101841346B1 (ko) | 비뉴튼성 코팅액의 균일 분포를 위한 슬롯 다이 내의 심 및 이를 포함하는 슬롯 다이 코터 | |
| US8899173B2 (en) | Nozzle for adhesive coater | |
| CN103429809B (zh) | 丝条的加压蒸汽处理装置与碳纤维前驱体丝条的制造方法 | |
| KR102192500B1 (ko) | 진공증착장치용 매니폴드 | |
| TW201509540A (zh) | 用於原子層沈積之噴射頭 | |
| DE112011103584T5 (de) | Plasma-CVD-Gerät | |
| KR101710944B1 (ko) | 기판처리장치 | |
| WO2009062460A2 (de) | Breitschlitzdüse und anlage zum beschichten mit thermoplastischem beschichtungsmaterial | |
| WO2021181968A1 (ja) | スリットダイ | |
| CN106917132B (zh) | 一种电镀装置 | |
| ITMI982595A1 (it) | Procedimento ed apparecchiatura per la cromatura in continuo di barree relativa struttura di anodo | |
| KR102062061B1 (ko) | Smc 제조용 히팅 슬롯다이 | |
| JP2015176822A (ja) | 電池用極板の製造装置 | |
| KR20000015915A (ko) | 블로워 노즐 | |
| KR20140038070A (ko) | 가스 분사 장치 및 이에 사용되는 인젝터 파이프 | |
| KR100795487B1 (ko) | 층류유동제어장치 및 이를 구비한 화학기상증착반응기 | |
| CN101347774B (zh) | 狭缝式涂布模具及其制造方法 | |
| CN208949384U (zh) | 一种油屏蔽挥发装置 | |
| CN210647071U (zh) | 涂布模具及涂布设备 | |
| US7820247B2 (en) | Curtain-type coater | |
| KR102171175B1 (ko) | 기판처리장치 | |
| KR20150037160A (ko) | 균일한 흐름을 형성하기 위한 유체 분배기 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |