KR20140070141A - 열 방출 부를 갖는 반도체 패키지 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판과 상기 기판의 상면에 부착된 반도체 칩과 상기 반도체 칩의 측면을 감싸는 몰딩재, 및 상기 반도체 칩 상에 배치된 열 방출 부를 포함하되, 상기 열 방출 부는 일체형으로 형성된 방열 판(heat slug)과 열 전도 필름(thermal conductive film)을 포함하는 반도체 패키지가 제안된다.
Description
본 발명은 열 전도 필름(thermal conductive film)과 방열 판(heat slug)이 일체형으로 결합된 열 방출 부(heat spreading part)를 갖는 반도체 패키지에 관한 것이다.
최근의 모바일 제품은 얇고 균일한 두께를 가진 반도체 패키지를 요구한다. 따라서, 반도체 패키지를 얇고 균일하게 제작할 수 있고 및 방열 효과 또한 극대화 할 수 있는 다양한 열 방출 부들이 제안되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 얇고 균일한 두께를 가진 반도체 패키지를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 열 전도도가 우수한 열 방출 부를 가지는 반도체 패키지를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 열 전도 필름(thermal conductive film)과 방열 판(heat slug)이 일체형으로 결합된 열 방출 부(heat spreading part)를 가지는 반도체 패키지를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당 업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지는 기판과 상기 기판의 상면에 부착된 반도체 칩과 상기 반도체 칩의 측면을 감싸는 몰딩재, 및 상기 반도체 칩 상에 배치된 열 방출 부를 포함하되, 상기 열 방출 부는 일체형으로 형성된 방열 판과 열 전도 필름을 포함할 수 있다.
상기 열 전도 필름은 상기 방열 판과 부착되지 않은 열 전도 필름의 타면이 상기 반도체 칩과 몰딩재의 상면에 부착될 수 있다. 상기 열 전도 필름과 방열 판은 동일한 크기로 형성될 수 있다.
상기 열 방출 부와 몰딩재와 기판의 양 측면들이 수직 정렬될 수 있다.
상기 열 방출 부의 양 측면과, 열 방출 부와 근접한 몰딩재의 일부 양 측면이 제 1 수직 정렬되고, 상기 몰딩재의 나머지 양 측면과 이에 근접한 상기 기판의 양 측면이 제 2 수직 정렬된 반도체 패키지에 있어서, 상기 제 1 수직 정렬된 측면들과, 제 2 수직 정렬된 측면들은 서로 수직 정렬되지 않을 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 기술적 사상에 의한 열 방출 부는 열전달 물질 대신 열 전도 필름을 사용하였기 때문에 반도체 패키지의 두께를 얇고 균일하게 구현할 수 있다.
또한, 상기 열 전도 필름을 방열 판에 부착하여 일체형으로 형성하였기 때문에, 열 방출 물질을 별도로 도포하고 경화하는 공정을 생략할 수 있으므로, 공정 시간을 단축할 수 있다.
또한, 열 방출 부의 두께가 얇기 때문에 방열 효과를 극대화할 수 있다.
또한, 균일한 두께로 인해 몰딩재의 표면과 열 방출 부 사이에 발생하는 들뜸 현상을 최소화 할 수 있다.
도 1a 와 1b는 본 발명의 기술적 사상의 제 1 실시예와 제 2 실시예에 따른 반도체 패키지들을 개략적으로 도시한 측 단면도들이다.
도 2a와 2b는 본 발명의 기술적 사상의 제 3 실시예와 제 4 실시예에 따른 반도체 패키지들을 개략적으로 도시한 측 단면도들이다.
도 3은 본 발명의 기술적 사상에 일 실시예 의한 반도체 패키지들을 형성하는 방법을 개념적으로 설명하는 플로우 차트이다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 패키지를 형성하는 방법을 설명하는 개념적인 측면도들이다.
도 5는 본 발명의 기술적 사상의 제 2 실시예에 따른 반도체 패키지를 형성하는 방법을 설명하는 개념적인 측 단면도이다.
도 6은 본 발명의 기술적 사상의 제 3 실시예에 따른 반도체 패키지를 형성하는 방법을 설명하는 개념적인 측 단면도이다.
도 7은 본 발명의 기술적 사상의 제 4 실시예에 따른 반도체 패키지를 형성하는 방법을 설명하는 개념적인 측 단면도이다.
도 8a 내지 도 8b는 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 따른 반도체 패키지를 형성하는 방법을 설명하는 개념적인 측 단면도들이다.
도 9는 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 의한 반도체 패키지를 포함하는 반도체 모듈을 개념적으로 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 의한 반도체 패키지를 포함하는 전자 시스템을 개념적으로 도시한 블록도이다.
도 11은 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 의한 반도체 패키지를 포함하는 전자 시스템을 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 12는 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 의한 반도체 패키지를 포함하는 모바일 무선 폰을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a와 2b는 본 발명의 기술적 사상의 제 3 실시예와 제 4 실시예에 따른 반도체 패키지들을 개략적으로 도시한 측 단면도들이다.
도 3은 본 발명의 기술적 사상에 일 실시예 의한 반도체 패키지들을 형성하는 방법을 개념적으로 설명하는 플로우 차트이다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 패키지를 형성하는 방법을 설명하는 개념적인 측면도들이다.
도 5는 본 발명의 기술적 사상의 제 2 실시예에 따른 반도체 패키지를 형성하는 방법을 설명하는 개념적인 측 단면도이다.
도 6은 본 발명의 기술적 사상의 제 3 실시예에 따른 반도체 패키지를 형성하는 방법을 설명하는 개념적인 측 단면도이다.
도 7은 본 발명의 기술적 사상의 제 4 실시예에 따른 반도체 패키지를 형성하는 방법을 설명하는 개념적인 측 단면도이다.
도 8a 내지 도 8b는 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 따른 반도체 패키지를 형성하는 방법을 설명하는 개념적인 측 단면도들이다.
도 9는 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 의한 반도체 패키지를 포함하는 반도체 모듈을 개념적으로 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 의한 반도체 패키지를 포함하는 전자 시스템을 개념적으로 도시한 블록도이다.
도 11은 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 의한 반도체 패키지를 포함하는 전자 시스템을 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 12는 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 의한 반도체 패키지를 포함하는 모바일 무선 폰을 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명의 기술적 사상에 의한 발명의 구성 및 그것들을 통해서 달성하고자 하는 목적들은 아래에 기술되어 있는 실시예들과 도면들을 통해서 명확해질 것이다. 본 발명의 명세서에서 설명된 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 기술적 사상이 쉽게 전달되고 실시될 수 있도록 제공되는 것이다. 그러므로, 본 발명의 기술적 사상은 아래에 기술되어 있는 실시예들에 한정되지 않고 다양한 형태로 변형될 수 있다. 본 발명의 명세서에 첨부된 도면들에 표시된 영역들의 모양과 크기 등은 본 발명을 쉽게 이해할 수 있도록 예시한 것에 불과하며 편의를 위해 과장되어 표현될 수 있다. 따라서 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며 발명의 범주를 제한하지 않는다. 본 발명의 명세서에 있는 부호들은 동일 구성 요소를 지칭한다. 따라서, 동일한 참조 부호 또는 유사한 참조 부호들은 해당 도면에서 언급 또는 설명되지 않더라도, 다른 도면을 참조하여 설명될 수 있다. 또한, 참조 부호가 표시되지 않았더라도, 다른 도면들을 참조하여 설명될 수 있다.
도 1a 및 1b는 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 의한 반도체 패키지들을 개략적으로 도시한 측 단면도(sectional views)이다.
도 1a를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 패키지(100a)는 기판(110), 기판(110)의 상면에 부착된 반도체 칩(120), 상기 반도체 칩을 감싸는 몰딩재(124a), 상기 몰딩재(124a)와 반도체 칩(120)의 상면에 배치된 열 방출 부(130)를 포함할 수 있다. 상기 반도체 패키지(100a)는 상기 반도체 칩(120)과 기판(110)을 전기적으로 연결하는 칩 범프 들(122)과, 상기 기판(110)의 하부에 부착된 솔더볼 들(112)을 더 포함할 수 있다.
상기 기판(110)은 경성 인쇄 회로 기판(rigid printed circuit board), 연성 인쇄 회로 기판(flexible printed circuit board), 또는 경-연성 인쇄 회로 기판(rigid-flexible printed circuit board)을 포함할 수 있다.
상기 반도체 칩(120)은 마이크로프로세서 같은 로직 반도체 소자를 포함할 수 있다. 상기 칩 범프들(122)은 메사(mesa)형 금속 필라 또는 솔더 물질을 포함할 수 있다. 상기 반도체 칩(120)은 기판(110)상에 상기 칩 범프들(122)을 이용한 플립-칩 방법으로 부착 될 수 있다.
상기 몰딩재(124a)는 상기 반도체 칩(120)의 측면 및 칩 범프들(122)을 감쌀 수 있다. 상기 몰딩재(124a)는 EMC(Epoxy Molding Compound)를 포함할 수 있다.
상기 열 방출 부(130, heat spreading part)는 방열 판(130a, heat slug)과 열 전도 필름(130b, thermal conductive film)을 포함할 수 있다.
상기 방열 판(130a)은 평평한 형태이고, 상기 방열 판(130a)은 구리(Cu), 알루미늄(Al) 또는 합금 등과 같은 금속 재질을 포함할 수 있다.
상기 열 전도 필름(130b, thermal conductive film)은 상기 반도체 칩(120)의 상면과 몰딩재(124a)의 상면에 접촉할 수 있다. 상기 열 전도 필름(130a)은 상기 몰딩재(124a)와의 접착성이 뛰어난 에폭시 수지를 포함할 수 있다. 또한, 열 전도도가 우수한 필러(filler), 예를 들어, 산화 알루미늄(Al2O3), 실버(silver), 실리콘 다이옥사이드(SiO2), 화 알루미늄(AlN) 및 질화붕소(BN) 등을 포함할 수 있고, 강성을 유지하기 위해 1W/mk의 열전도(thermal conductivity)를 갖는 산화 알루미늄(Al2O3)을 70% 정도 포함할 수 있다. 상기 열 전도 필름(130a)은 자체적으로 접착 특성이 있거나, 별도의 열전도성 접착 테이프와 접착되어 제공될 수 있고, 접착 테이프는 양면 접착 테이프일 수 있다. 또한, 상기 열전도 필름은 5 ㎛~100㎛의 두께로 형성될 수 있다.
도 1b를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 반도체 패키지(100b)는 기판(110)과, 기판(110)의 상부에 배치된 반도체 칩(120)과, 상기 반도체 칩(120)의 측면과 하면을 감싸는 몰딩재(124b), 상기 반도체 칩(120)과 몰딩재(124b)의 상면을 덮고 일체형으로 형성된 방열 판(130a)과 열 전도 필름(130b)을 포함하는 열 방출 부(130)와, 상기 반도체 칩(120)과 기판(110) 사이에 충전된 언더필 물질(126)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 반도체 칩(120)과 기판(110)의 일면 사이에 구성되고, 이들을 전기적으로 연결하는 칩 범프들(122)과, 상기 기판(110)의 타면에 부착된 솔더 볼들(112)을 포함할 수 있다.
상기 칩 범프들(122)을 감싸는 언더필 물질(126)은 접착력을 갖는 수지를 포함할 수 있다. 상기 몰딩재(124b)는 언더필 물질(126)과 반도체 칩(120)의 측면을 감싸면서 형성될 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 의한 반도체 패키지들을 개략적으로 도시한 측 단면도들이다.
도 2a를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 패키지(100c)는 기판(110)과, 기판(110)의 상부에 배치된 반도체 칩(120)과, 상기 반도체 칩(120)의 측면과 하면을 감싸고 반도체 칩(120)의 상면을 덮는 몰딩재(124c), 상기 몰딩재(124c)의 상면을 덮고 일체형으로 구성된 방열 판(130a)과 열 전도 필름(130b)을 포함하는 열 방출 부(130)를 포함할 수 있다.
도 2b를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 패키지(100c)는 기판(110)과, 기판(110)의 상부에 배치된 반도체 칩(120)과, 상기 반도체 칩(120)과 상기 기판(110) 사이에 충전된 언더필 물질(126)과, 상기 언더필 물질(126)의 측면 과 상기 반도체 칩(120)의 측면을 감싸고 반도체 칩(120)의 상면을 덮는 몰딩재(124d)와, 상기 몰딩재(124d)의 상면을 덮고 방열 판(130a)과 열 전도 필름(130b)을 포함하는 열 방출 부(130)를 포함할 수 있다.
도 3은 본 발명의 기술적 사상의 실시예에 의한 반도체 장치들을 형성하는 방법을 개념적으로 설명한 플로우 차트이다. 도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 패키지를 형성하는 방법을 설명하는 개념적인 측면도들이다.
도 3 및 도 4a를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조 방법은, 반도체 칩들(120)을 대면적 기판(110`)의 상면에 부착하는 것을 포함할 수 있다. (S10) 상기 반도체 칩들(120)의 일면에는 이미 칩 범프들(122)이 부착된 상태이며, 리플로우 공정(reflow process)을 통해, 상기 반도체 칩들(120)의 칩 범프들(122)이 기판(110)의 상면에 물리적, 전기적으로 부착 및 연결될 수 있다.
도 3 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조 방법은, 반도체 칩(120)을 감싸는 몰딩재(124)를 형성하는 것을 포함할 수 있다. (S12) 상기 몰딩재(124)를 형성하는 방법은, 예를 들어, 몰딩 제어 필름(MCF)을 상기 반도체 칩들(120)의 상면들에 밀착시킨 후, 상기 몰딩 제어 필름(MCF)과 기판(110`) 사이에 몰딩재(124)를 충진하는 방법을 포함할 수 있다. 특히, 상기 몰딩재(124)는 상기 반도체 칩(120)의 측면 및 반도체 칩(120)의 하면에 부착된 상기 칩 범프들(122)을 감싸면서 형성될 수 있다.
도 3 및 도 4c를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예 따른 반도체 장치의 제조 방법은, 반도체 칩들(120)의 상면에 열 방출 부(130`)를 부착하는 것을 포함할 수 있다. (S14) 상기 열 방출 부(130`)는 상기 반도체 칩들(120)의 상면 및 몰딩재(124)의 상면에 밀착하도록 부착 될 수 있다. 열 방출 부(130`)는 상하로 일체화된 방열 판(130a`)과 열 전도 필름(130b`)을 포함할 수 있다. 상기 열 방출 부(130`)를 반도체 칩들(120)의 상면에 밀착 배치하는 방법은 열 압착 방법을 포함할 수 있다. 상기 열 압착 방법은 압착기(140)를 이용하여 상기 열 방출 부(130`)의 방열 판(130a`) 상면에 열 및 압력을 가하는 것이다. 상기 압착기(140)를 이용한 열 압착 방법을 통해 상기 열 전도 필름(130b`)이 상기 반도체 칩들(120)과 몰딩재(124)의 상면에 안정적으로 부착 될 수 있다. 따라서, 기판(110`)과 기판(110`)의 일면에 부착된 반도체 칩들(120), 상기 반도체 칩들(120)을 감싸는 몰딩재(124), 상기 몰딩재(124)의 상면에 부착된 열 방출 부(130`)를 포함하는 원판 반도체 패키지(100)를 형성할 수 있다.
도 3 및 도 4d를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조 방법은, 상기 원판 반도체 패키지(100)를 개별적으로 분리하기 위한 제 1 절단 공정을 수행하는 것을 포함할 수 있다. (S16) 상기 제 1 절단 공정은 두께의 일부만 절단하는 하프 컷팅 공정((half cutting process)을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 제 1 절단 공정은 상기 반도체 칩(120)과 반도체 칩 사이에 대응하는 상기 열 방출 부(130`)의 상면으로부터 상기 몰딩재(124)의 일부 두께까지만 절단하는 것을 포함할 수 있다. 이때, 상기 제 1 절단 공정을 통해, 상부 열 방출 부(130`)와 몰딩재(124)는 제 1 간격(a)으로 일부 절단 될 수 있다.
도 3 및 도 4e를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조 방법은 기판(110`)의 하면에 다수의 솔더 볼들(122)을 부착하는 것을 포함할 수 있다. (S18) 상기 기판(110`)의 하면이 위를 향하도록 원판 반도체 패키지(100)를 뒤집고, 기판(110)의 상면에 솔더 볼들(122)을 부착할 수 있다. 상기 솔더 볼들(122)은 솔더링 공정을 통해, 기판(110`)의 노출된 전면에 부착될 수 있다.
도 3 및 도 4f를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법은, 개별화 공정을 진행하기 위한 제 2 절단 공정을 수행하는 것을 포함 할 수 있다. (S20) 상기 제 2 절단 공정은 기판(110`)과 몰딩재(124)의 절단되지 않은 나머지 부분(CP2)을 컷팅하기 위한 것으로서, 앞서 제 1 절단 공정을 통해 절단된 부위(CP1)에서 수직으로 연장된 방향으로 절단하는 공정을 진행하는 것을 포함할 수 있다. 제2 절단 공정을 통해 원판 반도체 패키지(100)는 하나의 반도체 칩(120)을 포함하는 개별 반도체 패키지들(100a)로 분리될 수 있다. 이때, 제 2 절단 공정을 통한 절단 부위(CP2)의 제 2 간격(b)은 앞서 제 1 절단 공정을 통해 절단된 절단 부위(CP1)의 제 1 간격(a)과 동일할 수 있다.
따라서, 상기 열 방출부(130)와 몰딩재(124a)와 기판(110)의 양 측면들이 수직 정렬될 수 있다.
도 5는 본 발명의 기술적 사상의 제 2 실시예에 따른 반도체 패키지를 제조하는 방법을 설명하는 개념적인 측단면도이다. 이후에 설명하는 공정 이외에 나머지 공정들은 제 1 실시예의 공정들과 동일하므로 설명을 생략한다. 도 5를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 패키지를 제조하는 방법은, 몰딩재(124)를 형성하기 전, 칩 범프들(121)을 감싸는 언더필 물질(126)을 형성하는 것을 포함할 수 있다. 따라서, 몰딩재(124)는 반도체 칩(120)의 측면과 상기 언더필 물질(126)의 측면을 감싸면서 형성될 수 있다.
도 6은 본 발명의 기술적 사상의 제 3 실시예에 따른 반도체 패키지를 제조하는 방법을 설명하는 개념적인 측단면도이다. 이후에 설명하는 공정 이외에 나머지 공정들은 제 1 실시예의 공정들과 동일하므로 설명을 생략한다. 도 6을 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 의한 반도체 패키지를 제조하는 방법은, 몰딩재(124)를 형성할 때, 상기 반도체 칩(120)의 측면 및 상면을 덮는 몰딩재(124)를 형성하는 것을 포함할 수 있다. 상세히는, 상기 몰딩재(124)는 반도체 칩(120)의 측면 및 하부 칩 범프를 감싸는 동시에 반도체 칩(120)의 상면을 덮도록 형성될 수 있다.
이때, 앞서 제 1 실시예의 공정에서 언급한 몰딩 제어 필름은 반도체 칩의 상면에 부착되지 않고, 반도체 칩의 상면과 이격된 거리에 위치할 수 있다.
도 7은 본 발명의 기술적 사상의 제 4 실시예에 따른 반도체 패키지를 제조하는 방법을 설명하는 개념적인 측 단면도들이다. 이후에 설명하는 공정 이외에 나머지 공정들은 제 1 실시예의 공정들과 동일하므로 설명을 생략한다. 도 7을 참조하면, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 반도체 패키지를 제조하는 방법은 상기 몰딩재(124)를 형성하기 전, 칩 범프들(122)을 감싸는 언더필 물질(126)을 형성하는 것을 포함할 수 있다. 상세히는, 상기 언더필 물질(126)을 형성한 후, 상기 언더필 물질(126)의 측면과 상기 반도체 칩(120)의 측면 및 하부 칩 범프들(122)을 감싸고 및 반도체 칩(120)의 상면을 덮는 몰딩재(124)를 형성하는 것을 포함할 수 있다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 기술적 사상의 실시예 들에 따른 원판 반도체 패키지의 개별화를 위한 절단 방법들을 설명하기 위한 개념적인 측 단면도들이다.
도 8a를 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 반도체 패키지(100a, 100b, 100c, 100d)를 개별화 하기 위한 절단 방법은, 앞서 제 1 실시예의 도 4f를 참조한 내용과 달리 제 1 절단 공정을 통해 절단된 절단 부위(CP1)의 제 1 절단 간격(c)과, 제 2 절단 공정을 통해 절단된 절단 부위(CP2)의 제 2 절단 간격(d)이 다를 수 있다. 예를 들어, 제1 간격(c)이 제2 간격(d) 보다 좁게 절단되어 제2 절단 공정에 의해 분리된 반도체 패키지(100a, 100b, 100c, 100d)의 사이즈가 결정될 수 있다. 반대로, 도 8b를 참조하면, 제1 간격(c)이 제2 간격(d) 보다 넓게 절단되어 제2 절단 공정에 의해 분리된 반도체 패키지(100a, 100b, 100c, 100d)의 사이즈가 결정될 수 있다.
전술한 도 8a와 도 8b의 방법으로 개별화된 반도체 패키지(100a, 100b, 100c, 100d)는 상기 제 1 절단 공정에 의해 상기 열 방출 부(130)의 양 측면과 상기 몰딩재(124a)의 일부 양 측면이 제 1 수직 정렬될 수 있고, 상기 제 2 절단 공정에 의해 상기 몰딩재(124)의 나머지 부분의 양 측면과 상기 기판(110)의 양 측면이 제 2 수직 정렬될 수 있다. 이때, 상기 제 1 수직 정렬된 측면들(S1)과 제 2 수직 정렬된 측면들(S2)은 서로 수직 정렬되지 않을 수 있다.
도 9는 본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 의한 반도체 패키지를 포함하는 반도체 모듈을 개념적으로 도시한 도면이다. 도 9를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 모듈(2000)은, 모듈 기판(2010) 상에 반도체 소자(2030)를 포함하고, 반도체 소자(2030)는 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시예들에 의한 반도체 패키지들(100a, 100b, 100c, 100d) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 모듈(2000)은 모듈 기판(2010) 상에 실장된 마이크로프로세서(2020)를 더 포함할 수 있다. 모듈 기판(2010)의 적어도 한 변에는 입출력 터미널들(2040)이 배치될 수 있다. 반도체 소자(2030)는 모듈 기판(2010) 상에서 플립 칩 기술 등을 이용하여 실장 될 수 있다.
도 10은 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 반도체 패키지를 포함하는 전자 시스템(2100)을 개념적으로 도시한 블록도이다. 도 10을 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시예들에 의한 반도체 패키지들(100a, 100b, 100c, 100d) 중 적어도 하나가 전자 시스템(2100)에 적용될 수 있다. 시스템(2100)은 바디(Body; 2110), 마이크로 프로세서(Micro Processor; 2120), 파워 공급부(Power Supply; 2130), 기능 유닛(Functional Unit; 2140), 및/또는 디스플레이 컨트롤러(Display Controller; 2150)를 포함할 수 있다. 바디(2110)는 인쇄 회로 기판(PCB) 등을 갖는 시스템 보드 또는 마더 보드(Mother Board)일 수 있다. 마이크로 프로세서(2120), 파워 공급부(2130), 기능 유닛(2140), 및 디스플레이 컨트롤러(2150)는 바디(2110) 상에 실장 또는 장착될 수 있다. 바디(2110)의 상면 혹은 바디(2110)의 외부에 디스플레이 유닛(2160)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 디스플레이(2160)는 바디(2110)의 표면 상에 배치되어 디스플레이 컨트롤러(2150)에 의해 프로세싱된 이미지를 표시할 수 있다. 파워 공급부(2130)는 외부의 전원 등으로부터 일정 전압을 공급받아 이를 다양한 전압 레벨로 분기하여 마이크로 프로세서(2120), 기능 유닛(2140), 디스플레이 컨트롤러(2150) 등으로 공급할 수 있다. 마이크로 프로세서(2120)는 파워 공급부(2130)로부터 전압을 공급받아 기능 유닛(2140)과 디스플레이(2160)를 제어할 수 있다. 기능 유닛(2140)은 다양한 전자 시스템(2100)의 기능을 수행할 수 있다. 예를 들어, 전자 시스템(2100)이 휴대폰 같은 모바일 전자 제품인 경우 기능 유닛(2140)은 다이얼링, 또는 외부 장치(External Apparatus; 2170)와의 교신으로 디스플레이(2160)로의 영상 출력, 스피커로의 음성 출력 등과 같은 무선 통신 기능을 수행할 수 있는 여러 구성 요소들을 포함할 수 있으며, 카메라를 포함하는 경우, 이미지 프로세서(Image Processor)의 역할을 할 수 있다. 응용 실시예에서, 전자 시스템(2100)이 용량 확장을 위해 메모리 카드 등과 연결되는 경우, 기능 유닛(2140)은 메모리 카드 컨트롤러일 수 있다. 기능 유닛(2140)은 유선 혹은 무선의 통신 유닛(Communication Unit; 2180)을 통해 외부 장치(2170)와 신호를 주고 받을 수 있다. 또한, 전자 시스템(2100)이 기능 확장을 위해 유에스비(Universal Serial Bus; USB) 등을 필요로 하는 경우, 기능 유닛(2140)은 인터페이스 컨트롤러(Interface Controller)의 역할을 할 수 있다. 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시예들에 의한 반도체 패키지들 중 적어도 하나는 마이크로 프로세서(2120) 및 기능 유닛(2140) 중 적어도 어느 하나에 포함될 수 있다.
도 11은 본 발명의 기술적 사상이 적용된 일 실시예에 의한 반도체 패키지를 포함하는 전자 시스템을 개략적으로 도시한 블록도이다. 도 11을 참조하면, 전자 시스템(2200)은 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시예들에 의한 반도체 패키지들(100a, 100b, 100c, 100d) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 전자 시스템(2200)은 모바일 기기 또는 컴퓨터에 포함될 수 있다. 예를 들어, 전자 시스템(2200)은 메모리 시스템(2212), 마이크로프로세서(2214), 램(2216) 및 버스(2220)를 사용하여 데이터 통신을 수행하는 유저 인터페이스(2218)를 포함할 수 있다. 마이크로프로세서(2214)는 전자 시스템(2200)을 프로그램 및 컨트롤할 수 있다. 램(2216)은 마이크로프로세서(2214)의 동작 메모리로 사용될 수 있다. 예를 들어, 마이크로프로세서(2214) 또는 램(2216)은 본 발명의 실시예들에 의한 반도체 소자 또는 반도체 패키지(100a, 100b, 100c, 100d)를 포함할 수 있다. 마이크로프로세서(2214), 램(2216) 및/또는 다른 구성 요소들은 단일 패키지 내에 조립될 수 있다. 유저 인터페이스(2218)는 전자 시스템(2200)으로 데이터를 입력하거나 또는 전자 시스템(2200)으로부터 출력하는데 사용될 수 있다. 메모리 시스템(2212)은 마이크로프로세서(2214) 동작용 코드들, 마이크로프로세서(2214)에 의해 처리된 데이터, 또는 외부 입력 데이터를 저장할 수 있다. 메모리 시스템(2212)은 컨트롤러 및 메모리를 포함할 수 있다.
도 12는 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 모바일 무선 폰(2500)을 개략적으로 도시한 도면이다. 모바일 무선 폰(2500)은 태블릿 PC로 이해될 수도 있다. 부가하여, 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시예들에 의한 반도체 패키지들 중 적어도 하나는 태블릿 PC 외에도, 노트북 같은 휴대용 컴퓨터, mpeg-1 오디오 플레이어, MP3 플레이어, MP4 플레이어, 네비게이션 기기, 솔리드 스테이트 디스크(SSD), 테이블 컴퓨터, 자동차 및 가정용 가전 제품에 사용될 수 있다.
그 외, 도면에 참조 부호가 표시되지 않았거나, 참조 부호만 표시된 구성 요소들은 본 명세서의 다른 도면들 및 그 설명들로부터 그 이름과 기능 등이 쉽게 이해될 수 있을 것이다. 또한, 본 명세서에서는 대표적인 실시예들만이 한정적으로 설명되었으나, 어느 하나의 실시예의 특징적 부분이 다른 모든 실시예들에서도 조합, 구현될 수 있다는 것이 충분히 이해될 수 있을 것이다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 개략적으로 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해하여야 한다.
100a, 100b, 100c, 100d: 반도체 패키지
110: 기판 112: 솔더볼
120: 반도체 칩 122: 칩 범프
124a, 124b, 124c, 124d: 몰딩재
126: 언더필 물질 130: 열 방출 부
130a: 방열 판 130b: 열 전도 필름
110: 기판 112: 솔더볼
120: 반도체 칩 122: 칩 범프
124a, 124b, 124c, 124d: 몰딩재
126: 언더필 물질 130: 열 방출 부
130a: 방열 판 130b: 열 전도 필름
Claims (10)
- 기판,
상기 기판의 상면에 부착된 반도체 칩;
상기 반도체 칩의 측면을 감싸는 몰딩재; 및
상기 반도체 칩 상에 배치된 열 방출 부를 포함하되,
상기 열 방출 부는 동일한 수평 면적을 갖는 방열 판(heat slug)과 열 전도 필름(thermal conductive film)을 포함하는 반도체 패키지. - 제 1 항에 있어서,
상기 열 전도 필름은 상기 방열 판에 부착되지 않은 열 전도 필름의 타면이 상기 반도체 칩과 몰딩재의 상면들과 직접적으로 접촉하는 반도체 패키지. - 제 1 항에 있어서,
상기 열 전도 필름은 에폭시 수지를 포함하는 반도체 패키지 - 제 1 항에 있어서,
상기 열 전도 필름은 산화 알루미늄(Al2O3), 실버(silver), 실리콘 디옥사이드(SiO2), 질화알루미늄(AlN) 및 질화붕소(BN)를 포함하는 반도체 패키지. - 제 1 항에 있어서,
상기 몰딩재는 상기 반도체 칩의 측면을 감싸고 상면을 덮는 반도체 패키지. - 제 1 항에 있어서,
상기 열 전도 필름의 두께는 5㎛~100㎛인 반도체 패키지. - 제 1 항에 있어서,
상기 열 방출 부와 몰딩재와 기판의 양 측면들이 수직 정렬된 반도체 패키지. - 제 1 항에 있어서,
상기 열 방출 부의 양 측면과, 열 방출 부와 근접한 몰딩재의 일부분의 양 측면이 제 1 수직 정렬되고, 상기 몰딩재의 나머지 부분의 양 측면과 이에 근접한 상기 기판의 양 측면이 제 2 수직 정렬되고, 상기 제 1 수직 정렬된 측면들과 제 2 수직 정렬된 측면들은 서로 수직 정렬되지 않는 반도체 패키지. - 기판,
상기 기판의 상면에 부착된 반도체 칩,
상기 반도체 칩의 측면을 감싸는 몰딩재, 및
상기 반도체 칩 상에 배치되고, 일체형의 열 전도 필름과 열 절도 판을 포함하는 열 방출 부를 포함하고,
상기 열 방출 부와 이에 근접한 일부 몰딩재는 제 1 수직 정렬된 측면들을 가지며, 상기 나머지 부분의 몰딩재와 상기 기판은 제 2 수직 정렬된 측면들을 가지는 반도체 패키지. - 제 8 항에 있어서,
상기 제 1 수직 정렬된 측면들과 제 2 수직 정렬된 측면들은 서로 수직 정렬하는 반도체 패키지.
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Families Citing this family (1)
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Family Cites Families (11)
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US5930581A (en) * | 1996-12-24 | 1999-07-27 | The Dow Chemical Company | Method of preparing complex-shaped ceramic-metal composite articles and the products produced thereby |
US6646354B2 (en) * | 1997-08-22 | 2003-11-11 | Micron Technology, Inc. | Adhesive composition and methods for use in packaging applications |
US6111313A (en) * | 1998-01-12 | 2000-08-29 | Lsi Logic Corporation | Integrated circuit package having a stiffener dimensioned to receive heat transferred laterally from the integrated circuit |
JP4104032B2 (ja) * | 1999-03-19 | 2008-06-18 | 富士フイルム株式会社 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
JP2001228192A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-24 | Oht Inc | 検査装置及び検査装置の保持具 |
JP2003249607A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-05 | Seiko Epson Corp | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 |
US7061085B2 (en) * | 2003-09-19 | 2006-06-13 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor component and system having stiffener and circuit decal |
TWI237363B (en) * | 2003-12-31 | 2005-08-01 | Advanced Semiconductor Eng | Semiconductor package |
TWI249232B (en) * | 2004-10-20 | 2006-02-11 | Siliconware Precision Industries Co Ltd | Heat dissipating package structure and method for fabricating the same |
TWI246760B (en) * | 2004-12-22 | 2006-01-01 | Siliconware Precision Industries Co Ltd | Heat dissipating semiconductor package and fabrication method thereof |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160065676A (ko) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | 삼성전자주식회사 | 열전도 필름을 가진 반도체 패키지 |
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