KR20140068690A - 3차원 패키징 모듈 - Google Patents
3차원 패키징 모듈 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20140068690A KR20140068690A KR1020120136488A KR20120136488A KR20140068690A KR 20140068690 A KR20140068690 A KR 20140068690A KR 1020120136488 A KR1020120136488 A KR 1020120136488A KR 20120136488 A KR20120136488 A KR 20120136488A KR 20140068690 A KR20140068690 A KR 20140068690A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- circuit board
- printed circuit
- interposer
- inductor
- capacitor
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/58—Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
- H01L23/64—Impedance arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/16—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1532—Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
본 발명은 3차원 패키징 모듈에 대하여 개시한다. 본 발명의 일 면에 따른 3차원 패키징 모듈은, IC 및 상기 IC와 연결되는 인덕터가 내장되며, 연결 부재를 포함하는 인터포저; 및 상기 IC와 연결되는 커패시터가 내장되며, 실장용 패드(PAD)을 포함하는 인쇄회로기판을 포함하고, 상기 연결 부재와 상기 실장용 패드는 서로 대응되는 개수와 형상으로 구성되어, 솔더링(Soldering)을 통해서 상호 연결되면, 상기 인덕터 및 상기 커패시터 중 적어도 하나와 상기 IC를 전기적으로 연결하여 상기 IC와 상기 인덕터 및 상기 커패시터를 포함하는 상기 IC의 주변 회로를 하나의 모듈로 구성하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 전자 부품 배치에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 적은 공간에 많은 부품을 실장할 수 있는 3차원 패키징 모듈에 관한 것이다.
최근, 소형화 추세에 발맞추어, 전자 제품은 소형화 및 경량화되면서도 고성능화되고 있다.
이 중에서도, 복수의 반도체 칩들 또는 반도체 패키지들을 하나의 패키지로 구현하여 미세화 및 고집적화하는 반도체 장치 기술이 부각되고 있다.
본 발명은 전술한 바와 같은 기술적 배경에서 안출된 것으로서, 복수의 부품을 다층에 배치할 수 있는 3차원 패키징 모듈을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 면에 따른 3차원 패키징 모듈은, IC 및 상기 IC와 연결되는 인덕터가 내장되며, 연결 부재를 포함하는 인터포저; 및 상기 IC와 연결되는 커패시터가 내장되며, 실장용 패드(PAD)을 포함하는 인쇄회로기판을 포함하고, 상기 연결 부재와 상기 실장용 패드는 서로 대응되는 개수와 형상으로 구성되어, 솔더링(Soldering)을 통해서 상호 연결되면, 상기 인덕터 및 상기 커패시터 중 적어도 하나와 상기 IC를 전기적으로 연결하여 상기 IC와 상기 인덕터 및 상기 커패시터를 포함하는 상기 IC의 주변 회로를 하나의 모듈로 구성하는 것을 특징으로 한다. 여기서, 상기 연결 부재는 볼 범퍼(BGA; Ball Grid Array)를 포함한다.
여기서, 인쇄회로기판은 연결 수단을 더 포함하고, 상기 연결 수단을 통해서 연결되어 상기 IC와 그 주변 회로와 연결되어, 상기 IC의 기능을 사용하는 기기의 인쇄회로기판과 전기적으로 연결될 수 있다.
또한, 인쇄회로기판은 상기 커패시터가 형성되는 적어도 두 개의 층, 상기 실장용 패드가 형성되는 층, 상기 연결 수단이 형성되는 층, 및 상기 커패시터, 상기 실장용 패드와 상기 연결 수단 중 적어도 두 개를 상호 전기적으로 연결하는 적어도 하나의 층을 포함한다.
한편, 상기 인터포저는 상기 IC가 실장되는 층, 상기 인덕터가 실장되는 층, 및 상기 인덕터와 상기 IC 간을 연결하는 패턴이 형성되는 층을 포함한다.
그리고, 상기 인덕터는, 상기 인터포저의 제작 과정에서 전기적 결함이 시험 되며, 상기 커패시터는, 상기 인쇄회로기판의 제작 과정에서 전기적 결함이 시험 된다.
본 발명에 따르면, 전자기기의 소형화 및 전자부품의 효율적 배치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 3차원 패키징 모듈을 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 인덕터가 임베딩(Embedding)된 인터포저를 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 커패시터가 임베딩된 인쇄회로기판을 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 인덕터가 임베딩(Embedding)된 인터포저를 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 커패시터가 임베딩된 인쇄회로기판을 도시한 도면.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성소자, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성소자, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이제 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 3차원 패키징 모듈을 도시한 도면이며, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 인덕터가 임베딩(Embedding)된 인터포저를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 커패시터가 임베딩된 인쇄회로기판을 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 3차원 패키징 모듈(10)은 인터포저 모듈(100) 및 인쇄회로기판(200)을 포함한다.
인터포저 모듈(100)은 인덕터(111)가 실장된 인터포저(110), IC(120), TMV(140) 및 볼 범퍼(130)를 포함한다.
인터포저 모듈(100)은 IC 실장을 위한 층, 인덕터 배치를 위한 층과 인덕터 배선을 위한 층을 포함하는 적어도 3개의 층으로 구성된다.
인터포저(110)는 인덕터(111), TSV(Through Silicon Via)(113) 및 패턴(112)을 포함한다.
인터포저(110)의 상층 또는 하층(Top or Bottom Layer)에는 GPS 모듈이나, 블루투스(Bluetooth) 모듈 등을 포함하는 IC(120)가 실장 된다. 여기서, IC(120)는 다양한 종류의 통합 회로일 수 있으나, 도 1에서는 GPS 모듈 및 블루투스 모듈이 실장된 경우를 예로 들어 도시하였다.
TSV(113) 및 패턴(112)은 인터포저(200)에 실장된 IC(120)의 핀을 재배열하고, IC(120)와 인덕터(111) 및 볼 범퍼(130)를 전기적으로 연결한다. 여기서, 패턴(112)은 인터포저(200)의 복수의 층에 형성되어, IC(120)와 인덕터(111), IC(120) 및 인덕터(111) 중 하나와 TMV(140)를 연결한다.
도 2와 같이, 인덕터(111)는 인터포저(200)의 복수의 층에서, IC(120)가 실장된 층과 다른 층 예컨대, 내층, 상층, 또는 하층에 패턴 형태로 임베딩(Embedding)된다.
여기서, 인덕터(111)는 인터포저(200)에 실장된 IC(120)와 연결되며, 인터포저(200)는 실리콘 재질로 구현되어, 용이하게 인덕터를 내장할 수 있다.
볼 범퍼(130)는 인터포저(200)에 형성된 패턴(112)과 인쇄회로기판(200)의 형성된 패턴을 연결한다. 이때, 볼 범퍼(130)는 TMV(140)를 통해 인터포저(200)의 패턴과 연결될 수 있다. 또한, 볼 범퍼(130)는 적어도 인터포저(200)의 패턴에서 인쇄회로기판(200)과 연결되는 패턴의 종류에 대응되는 개수만큼 구비된다.
인쇄회로기판(200)은 인터포저 실장용 패드(220) 및 내장형 커패시터(210)를 포함한다.
인쇄회로기판(200)은 내장형 커패시터(210)가 형성되는 적어도 두 개의 층, 인터포저 실장용 패드(220)가 구비되는 적어도 하나의 층, 및 패턴 라우팅을 위한 적어도 하나의 층을 포함한다. 도 1에서는 인쇄회로기판(200)이 인터포저 실장용 패드가 구비된 상층(Top), 서브 보드와 연결되는 하층(Bottom), 패턴 라우팅을 위한 네 개의 층(Sig1~4) 및 커패시터가 형성되는 두 개의 층(Cav1, Cav2)을 포함하는 경우를 예로 들어 도시하였다. 여기서, 서브 보드는 인터포저(200) 및 인쇄회로기판(200)에 실장된 IC(120) 및 그 주변 회로(인덕터 및 커패시터)를 해당 IC의 기능을 사용하는 기기(예컨대, 스마트폰 등)의 인쇄회로기판일 수 있다.
인터포저 실장용 패드(220)는 인쇄회로기판(200)의 상층 또는 하층에 형성되어, 인터포저(200)의 볼 범퍼(130)들과 전기적으로 연결된다. 이때, 인터포저 실장용 패드(220)는 인쇄회로기판(200) 내 커패시터(210)와 전기적으로 연결될 수 있다. 여기서, 인터포저 실장용 패드(220)는 인터포저(200)의 볼 범퍼(130)의 개수, 형상 및 위치에 대응되도록 구성됨은 물론이다.
인쇄회로기판(200)의 내층(Cav1, Cav2)에는 내장형 커패시터(210)가 내장된다.
도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 내장형 커패시터(210)는 인쇄회로기판(200)의 내층 2개 층에 복수 개 임베딩되어, 인터포저(200)의 패턴(112)과 전기적으로 연결된다. 도 3은 인쇄회로기판(200)의 Sig3 층의 패턴이며, 점선 처리된 네모들이 내장형 커패시터(210)의 패드들이다.
한편, 인터포저(200)는 인터포저의 제작 과정에서 전기적 결함(즉, Open&Short)이 시험 되며, 커패시터(210)는 인쇄회로기판(200)의 제작 과정에서 전기적 결함이 시험 된다.
전술한 바와 같이 구성된, 3차원 패키징 모듈(10)은 인터포저(200) 및 인쇄회로기판(200)에 실장된 IC(120)의 기능을 사용하는 기기(예컨대, 스마트폰 등)의 인쇄회로기판(도 1의 서브 보드)에 실장된다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 3차원 패키징 모듈은 IC의 기능을 사용하는 기기의 인쇄회로기판의 적은 공간에 IC와 그 주변 회로를 구성할 수 있도록 지원한다.
인쇄회로기판(200)은 인터포저(200)가 실장 되지 않는 상층 또는 하층에, 기기의 인쇄회로기판과 연결되는 연결 수단(230)을 더 포함한다. 따라서, SMT 공정을 통해서 연결 수단(230)을 기기의 인쇄회로기판에 솔더링하여 IC의 기능을 사용할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예는 IC 및 IC와 연결될 인덕터를 각기 인터포저에 형성하고, IC와 연결되는 커패시터를 인쇄회로기판 내부에 실장할 수 있어, IC 및 그 주변회로의 실장 공간을 줄일 수 있고, IC와 인덕터 또는 커패시터 간의 패턴 길이를 줄일 수 있어, 라우팅에 의한 잡음을 줄일 수 있고 RF 성능을 향상시킬 수 있다.
뿐만 아니라, 본 발명의 실시예는 인터포저를 제조하는 업체에서는 인덕터가 내장된 인터포저를 제조 및 성능 확인하고, 인쇄회로기판을 제조하는 업체에서는 커패시터가 내장된 인쇄회로기판을 제조 및 성능 확인한 후 솔더링 공정을 통해서 이들을 전기적으로 연결하므로, 각기 전문가 공정을 수행하여 3차원 패키징 모듈을 생산하므로, 불량률을 줄일 수 있으며, 공정 편의성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 각 전문가 공정에서 하나의 장비를 사용하여 인덕터와 커패시터의 불량 여부를 테스트하므로, 테스트 편의성을 향상시킬 수 있으며, 동일 종류의 부품들을 각기 다른 공정의 기판에 배치함에 따라 불량 확률을 줄일 수 있다.
더 나아가, 본 발명의 실시예는 인덕터와 커패시터를 하나의 3차원 모듈로 구현함에 따라 안정된 성능을 보장할 수 있으며, 3차원 패키징 모듈을 적용하는 업체는 해당 제품의 성능을 그대로 실장하여 사용하면 되므로, 엔지니어의 편의성을 높일 수 있다.
이상, 본 발명의 구성에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술분야에 통상의 지식을 가진자라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 변형과 변경이 가능함은 물론이다. 따라서 본 발명의 보호 범위는 전술한 실시예에 국한되어서는 아니되며 이하의 특허청구범위의 기재에 의하여 정해져야 할 것이다.
Claims (6)
- IC 및 상기 IC와 연결되는 인덕터가 내장되며, 연결 부재를 포함하는 인터포저; 및
상기 IC와 연결되는 커패시터가 내장되며, 실장용 패드(PAD)을 포함하는 인쇄회로기판을 포함하고,
상기 연결 부재와 상기 실장용 패드는 서로 대응되는 개수와 형상으로 구성되어, 솔더링(Soldering)을 통해서 상호 연결되면, 상기 인덕터 및 상기 커패시터 중 적어도 하나와 상기 IC를 전기적으로 연결하여 상기 IC와 상기 인덕터 및 상기 커패시터를 포함하는 상기 IC의 주변 회로를 하나의 모듈로 구성하는 3차원 패키징 모듈. - 제1항에 있어서, 상기 인쇄회로기판은,
연결 수단을 더 포함하고, 상기 연결 수단을 통해서 연결되어 상기 IC와 그 주변 회로와 연결되어, 상기 IC의 기능을 사용하는 기기의 인쇄회로기판과 전기적으로 연결되는 것인 3차원 패키징 모듈. - 제2항에 있어서, 상기 인쇄회로기판은,
상기 커패시터가 형성되는 적어도 두 개의 층, 상기 실장용 패드가 형성되는 층, 상기 연결 수단이 형성되는 층, 및 상기 커패시터, 상기 실장용 패드와 상기 연결 수단 중 적어도 두 개를 상호 전기적으로 연결하는 적어도 하나의 층을 포함하는 것인 3차원 패키징 모듈. - 제1항에 있어서, 상기 인터포저는,
상기 IC가 실장되는 층, 상기 인덕터가 실장되는 층, 및 상기 인덕터와 상기 IC 간을 연결하는 패턴이 형성되는 층
을 포함하는 것인 3차원 패키징 모듈. - 제1항에 있어서, 상기 연결 부재는,
볼 범퍼(BGA; Ball Grid Array)를 포함하는 것인 3차원 패키징 모듈. - 제1항에 있어서, 상기 인덕터는, 상기 인터포저의 제작 과정에서 전기적 결함이 시험되며,
상기 커패시터는, 상기 인쇄회로기판의 제작 과정에서 전기적 결함이 시험되는 것인 3차원 패키징 모듈.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120136488A KR101404014B1 (ko) | 2012-11-28 | 2012-11-28 | 3차원 패키징 모듈 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120136488A KR101404014B1 (ko) | 2012-11-28 | 2012-11-28 | 3차원 패키징 모듈 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20140068690A true KR20140068690A (ko) | 2014-06-09 |
KR101404014B1 KR101404014B1 (ko) | 2014-06-27 |
Family
ID=51124388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020120136488A KR101404014B1 (ko) | 2012-11-28 | 2012-11-28 | 3차원 패키징 모듈 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101404014B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016137095A1 (ko) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | 엘지이노텍 주식회사 | 인터포저 패키지 및 이를 구비하는 전자 모듈 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001102479A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-13 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
JP2005252040A (ja) | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Sony Corp | 光電変換装置、インターポーザ、及び光情報処理装置 |
US7290315B2 (en) * | 2004-10-21 | 2007-11-06 | Intel Corporation | Method for making a passive device structure |
KR101817159B1 (ko) * | 2011-02-17 | 2018-02-22 | 삼성전자 주식회사 | Tsv를 가지는 인터포저를 포함하는 반도체 패키지 및 그 제조 방법 |
-
2012
- 2012-11-28 KR KR1020120136488A patent/KR101404014B1/ko active IP Right Grant
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016137095A1 (ko) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | 엘지이노텍 주식회사 | 인터포저 패키지 및 이를 구비하는 전자 모듈 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101404014B1 (ko) | 2014-06-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8120024B2 (en) | Semiconductor package having test pads on top and bottom substrate surfaces and method of testing same | |
WO2017040714A1 (en) | Integrated circuit (ic) module comprising an integrated circuit (ic) package and an interposer with embedded passive components | |
JP4934022B2 (ja) | モジュール基板 | |
US20070184680A1 (en) | Socket board and test board system having the same | |
KR20110041115A (ko) | 비지에이 패키지의 전원 노이즈 개선 방법 및 장치 | |
WO2013107305A1 (zh) | 集成模块、集成系统板和电子设备 | |
US8338941B2 (en) | Semiconductor packages and methods of fabricating the same | |
US9869697B2 (en) | Wiring substrate with filled vias to accommodate custom terminals | |
US20100025682A1 (en) | Interface device for wireless testing, semiconductor device and semiconductor package including the same, and method for wirelessly testing using the same | |
EP2962535B1 (en) | Package substrate with testing pads on fine pitch traces | |
US20130092935A1 (en) | Probe Pad Design for 3DIC Package Yield Analysis | |
KR20120096754A (ko) | 인터포저를 이용한 웨이퍼 칩의 3차원 스택 구조 | |
KR101404014B1 (ko) | 3차원 패키징 모듈 | |
KR20180111840A (ko) | 집적 회로(ic) 패키지들 사이의 플렉시블 커넥터를 포함하는 통합 디바이스 | |
WO2018063414A1 (en) | Module installation on printed circuit boards with embedded trace technology | |
US7858402B2 (en) | Integrated circuit package having reversible ESD protection | |
US9627224B2 (en) | Semiconductor device with sloped sidewall and related methods | |
US7420206B2 (en) | Interposer, semiconductor chip mounted sub-board, and semiconductor package | |
KR20160065061A (ko) | Ic 패키징을 위한 실리콘 스페이스 트랜스포머 | |
US7586320B2 (en) | Plunger and chip-testing module applying the same | |
KR20150014282A (ko) | 반도체 칩 패키지 모듈 및 그 제조방법 | |
US20230123340A1 (en) | Test apparatus and jumper thereof | |
US20160343648A1 (en) | Interposer and semiconductor module for use in automotive applicatons | |
KR101476772B1 (ko) | 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법 | |
US7064421B2 (en) | Wire bonding package |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171226 Year of fee payment: 4 |
|
R401 | Registration of restoration | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180326 Year of fee payment: 5 |