KR20140039170A - 레이저 장치 - Google Patents

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KR20140039170A
KR20140039170A KR1020137024538A KR20137024538A KR20140039170A KR 20140039170 A KR20140039170 A KR 20140039170A KR 1020137024538 A KR1020137024538 A KR 1020137024538A KR 20137024538 A KR20137024538 A KR 20137024538A KR 20140039170 A KR20140039170 A KR 20140039170A
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KR1020137024538A
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야스후미 가와스지
오사무 와카바야시
준이치 후지모토
히데오 아와세
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기가포톤 가부시키가이샤
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Abstract

레이저 장치가: 레이저 비임을 출력하도록 구성된 발진기 및 상기 발진기를 지지하기 위한 발진기 지지 부분을 포함하는 제1 모듈; 레이저 비임을 전송하기 위한 비임 전송 유닛 및 상기 비임 전송 유닛을 지지하기 위한 비임 전송 유닛 지지 부분을 포함하는 제2 모듈; 상기 레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 증폭기 지지 부분을 포함하는 제3 모듈; 그리고 상기 모듈이 상부에 배치되는 프레임으로서, 상기 프레임이 장착부를 포함하고, 상기 장착부 상에 상기 발진기 지지 부분, 상기 비임 전송 유닛 지지 부분, 및 상기 증폭기 지지 부분이 배치되는, 프레임을 포함한다.

Description

레이저 장치 {LASER APPARATUS}
관련 출원의 상호 참조
본원은 2011년 3월 30일자로 출원된 일본 특허출원 제2011-076294호, 2011년 7월 22일에 출원된 일본 특허출원 제2011-160656호, 및 2011년 11월 24일자로 출원된 일본 특허출원 제2011-256489호를 기초로 우선권을 주장한다.
본원 개시 내용은 레이저 장치에 관한 것이다.
최근 몇 년간, 포토리소그래피가 보다 미세한 제조를 향해서 빠른 속도로 발전됨에 따라, 반도체 생산 프로세스가 점점 더 미세한 피쳐(feature) 크기를 가지는 반도체 디바이스를 생산할 수 있게 되었다. 차세대 반도체 생산 프로세스에서, 피쳐 크기들이 60 ㎚ 내지 45 ㎚인 미세제조(microfabrication), 그리고 추가적으로, 피쳐 크기들이 32 ㎚ 또는 그 미만인 미세제조가 요구될 것이다. 예를 들어, 32 ㎚ 또는 그 미만의 미세제조를 위한 요구를 충족시키기 위해서, 파장이 약 13 ㎚인 극(extreme) 자외선(EUV) 광을 생성하기 위한 장치를 감소된 투사 반사 광학 시스템(reduced projection reflective optical system)과 조합시키는 노출 장치가 개발되었다.
레이저 비임으로 타겟 물질을 조사함으로써 플라즈마가 발생되는 레이저 생산된 플라즈마(LPP) 타입 장치, 전기 방전에 의해서 플라즈마가 발생되는 방전 생산된 플라즈마(DPP) 타입 장치, 및 궤도 방사를 이용하여 플라즈마를 발생시키는 싱크로트론(Synchrotron) 복사(SR) 타입 장치를 포함하는, EUV 광을 생성하기 위한 3가지 종류의 장치들이 일반적으로 알려져 있다.
본원 개시 내용의 하나의 양태에 따른 레이저 장치가, 레이저 비임을 출력하도록 구성된 발진기 및 상기 발진기를 지지하기 위한 발진기 지지 부분을 포함하는 제1 모듈과, 레이저 비임을 전송하기 위한 비임 전송 유닛 및 상기 비임 전송 유닛을 지지하기 위한 비임 전송 유닛 지지 부분을 포함하는 제2 모듈과, 상기 레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 증폭기 지지 부분을 포함하는 제3 모듈과, 상기 제1, 제2, 및 제3 모듈이 그 상에 배치되는 프레임으로서, 상기 프레임은 상기 발진기 지지 부분, 상기 비임 전송 유닛 지지 부분, 및 상기 증폭기 지지 부분이 그 상에 배치되는 장착부를 포함하는, 프레임을 포함할 수 있을 것이다.
본원 개시 내용의 다른 양태에 따른 레이저 장치는, 레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과, 상기 모듈이 그 상에 배치되는 프레임을 포함하고, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부를 포함하고, 상기 모듈은 입력 비임이 제1 외부 유닛으로부터 상기 모듈로 진입하는 입력 부분 및 출력 비임이 제2 외부 유닛을 향해서 출력되는 출력 부분을 더 포함하고, 상기 제1 지지 부분은 상기 모듈의 중심으로부터 볼 때 상기 입력 부분을 향해서 제1 위치에 제공되고, 상기 제2 지지 부분은 상기 제1 위치로부터 볼 때 입력 비임이 상기 모듈로 진입하는 방향을 향해서 제2 위치에 제공되고, 상기 제3 지지 부분은 제3 위치에 제공된다.
본원 개시 내용의 또 다른 양태에 따른 레이저 장치는, 레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과, 상기 모듈이 배치되는 프레임을 포함하고, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부를 포함하고, 상기 모듈은 출력 비임이 외부 유닛을 향해서 출력되는 출력 부분을 더 포함하고, 상기 제1 지지 부분은 상기 모듈의 중심으로부터 볼 때 상기 출력 부분을 향해서 제1 위치에 제공되고, 상기 제2 지지 부분은 상기 제1 위치로부터 볼 때 출력 비임이 상기 모듈로부터 출력되는 방향에 반대로 제2 위치에 제공되며, 그리고 상기 제3 지지 부분이 제3 위치에 제공된다.
본원 개시 내용의 또 다른 양태에 따른 레이저 장치는, 레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과, 상기 모듈이 그 상에 배치되는 프레임을 포함하고, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부를 포함하고, 상기 모듈은 입력 비임이 제1 외부 유닛으로부터 통과하여 상기 모듈로 진입하는 입력 부분 및 출력 비임이 제2 외부 유닛을 향해서 출력되는 출력 부분을 더 포함하고, 상기 제1 지지 부분은 상기 모듈의 중심으로부터 볼 때 상기 입력 부분을 향해서 제1 위치에 제공되고, 상기 제2 지지 부분은 상기 모듈의 중심으로부터 볼 때 출력 부분을 향해서 제2 위치에 제공되며, 그리고 상기 제3 지지 부분이 제3 위치에 제공된다.
본원 개시 내용의 또 다른 양태에 따른 레이저 장치는, 레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과, 상기 모듈이 그 상에 배치되는 프레임을 포함하고, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부, 그리고 상기 제1, 제2, 및 제3 장착부가 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 설치 부분을 포함하고, 상기 제1 장착부가 상기 프레임의 미리 결정된 위치에서 상기 제1 지지 부분을 위치결정하고, 상기 제2 장착부는 상기 제2 설치 부분 상에 형성된 단차부(step)를 따라 이동될 수 있도록 상기 제2 설치 부분 상에 배치되며, 상기 제2 설치 부분은 수평 평면에 대해서 경사지고, 그에 따라 상기 제2 장착부가 상기 단차부에 대항하여 가압되고, 그리고 상기 제2 지지 부분이 상기 프레임에 대해서 상기 단차부를 따라서 일 방향으로 이동될 수 있도록 상기 제2 장착부가 상기 제2 지지 부분을 지지하고 상기 제2 지지 부분을 상기 제2 장착부의 미리 결정된 위치에 위치결정하며, 그리고 상기 제3 지지 부분이 수평 평면 내에서 상기 프레임에 대해서 이동될 수 있도록 상기 제3 장착부가 상기 제3 지지 부분을 지지한다.
본원 개시 내용의 또 다른 양태에 따른 레이저 장치는, 레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과, 상기 모듈이 그 상에 배치되는 프레임을 포함하고, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부, 그리고 상기 제1, 제2, 및 제3 장착부가 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 설치 부분을 포함하고, 상기 제1 장착부가 상기 프레임의 미리 결정된 위치에서 상기 제1 지지 부분을 위치결정하고, 상기 제2 장착부는 상기 제2 설치 부분 상에 형성된 단차부를 따라 이동될 수 있도록 상기 제2 설치 부분 상에 배치되며, 상기 제2 설치 부분 및 상기 제2 장착부 중 하나가 탄성 부재를 구비하며, 그에 따라 상기 제2 장착부가 상기 단차부에 대항하여 가압되고, 그리고 상기 제2 지지 부분이 상기 프레임에 대해서 상기 단차부를 따라서 일 방향으로 이동될 수 있도록 상기 제2 장착부가 상기 제2 지지 부분을 지지하고 상기 제2 지지 부분을 상기 제2 장착부의 미리 결정된 위치에 위치결정하고, 상기 제3 지지 부분이 수평 평면 내에서 상기 프레임에 대해서 이동될 수 있도록 상기 제3 장착부가 상기 제3 지지 부분을 지지한다.
본원 개시 내용의 또 다른 양태에 따른 레이저 장치는, 레이저 비임을 전송하기 위한 비임 전송 유닛 및 상기 비임 전송 유닛을 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과, 상기 모듈이 그 상에 배치되는 프레임을 포함하고, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부를 포함하고, 상기 제1 및 제2 장착부가 상기 프레임의 제1 표면 상에 제공되고, 상기 제3 장착부가 상기 프레임의 제2 표면 상에 제공되며, 상기 제2 표면이 상기 제1 표면과 교차하고, 상기 제1 장착부는 상기 제1 지지 부분을 미리 결정된 위치에 위치결정하고, 상기 제2 지지 부분이 상기 제1 장착부를 향해서 이동가능하도록 상기 제2 장착부가 상기 제2 지지 부분을 지지하고, 그리고 상기 제3 지지 부분이 상기 제2 표면을 따라서 이동가능하도록 상기 제3 장착부가 상기 제3 지지 부분을 지지한다.
본원 개시 내용의 또 다른 양태에 따른 프레임이 장착부를 포함할 수 있을 것이고, 상기 장착부 상에는 제1, 제2, 및 제3 모듈의 지지 부분이 각각 배치되고, 상기 제1 모듈은 레이저 비임을 출력하도록 구성된 발진기 및 상기 발진기를 지지하기 위한 발진기 지지 부분을 포함하고, 상기 제2 모듈은 레이저 비임을 전송하기 위한 비임 전송 유닛 및 상기 비임 전송 유닛을 지지하기 위한 비임 전송 유닛 지지 부분을 포함하며, 그리고 상기 제3 모듈은 상기 레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 증폭기 지지 부분을 포함한다.
이하에서, 첨부 도면들을 참조하여 본원 개시 내용의 선택된 실시예를 설명할 것이다.
도 1은 예시적인 LPP 타입의 EUV 광 발생 시스템의 구성을 개략적으로 도시한다.
도 2는 본원 개시 내용의 제1 실시예에 따른 EUV 광 발생 시스템의 구성을 도시한 블록도이다.
도 3a는 제1 실시예에 따른 레이저 장치를 구성하는 모듈의 특정 배열을 도시한 사시도이다.
도 3b는 도 3a에서 하부 레벨에 배치된 모듈의 배열을 도시한 사시도이다.
도 3c는 도 3a의 프레임을 도시한 사시도이다.
도 4는 제1 실시예에 따른 레이저 장치를 구성하는 모듈의 특정 배열을 도시한 평면도이다.
도 5는 제1 메인 증폭기를 도시한 사시도이다.
도 6은, 화살표(VI)의 방향을 따라서 본, 도 5에 도시된 제1 메인 증폭기의 평면도이다.
도 7a는, 화살표(VIIA)의 방향을 따라서 본, 도 5에 도시된 제1 메인 증폭기의 정면도이다.
도 7b는 연장 기구가 연장된 상태에서 메인 증폭기를 도시한 정면도이다.
도 8은, 화살표(VIII)의 방향에서 본, 도 5에 도시된 제1 메인 증폭기의 측면도이다.
도 9a는 제2 및 제3 예비증폭기들(preamplifiers)의 사시도이다.
도 9b는, 화살표(IXB)의 방향에서 본, 도 9a에 도시된 제2 및 제3 예비증폭기들의 평면도이다.
도 10a는 제3 비임 전송 유닛의 사시도이다.
도 10b는, 화살표(XB) 방향에서 본, 도 10a에 도시된 제3 비임 전송 유닛의 평면도이다.
도 11a는 마스터 발진기의 정면도이다.
도 11b는, 화살표(XIB) 방향에서 본, 도 11a에 도시된 마스터 발진기의 평면도이다.
도 12는 본원 개시 내용의 제2 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 정면도이다.
도 13은 본원 개시 내용의 제3 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 정면도이다.
도 14는 본원 개시 내용의 제4 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 사시도이다.
도 15는 본원 개시 내용의 제5 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 정면도이다.
도 16은 본원 개시 내용의 제6 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 측면도이다.
도 17은 본원 개시 내용의 제7 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 측면도이다.
도 18a는 본원 개시 내용의 제8 실시예에 따른 모듈 지지용 구조물의 분해 사시도이다.
도 18b는 본원 개시 내용의 제8 실시예에 따른 모듈 지지용 구조물의 분해 사시도이다.
도 19는 본원 개시 내용의 제9 실시예에 따른 모듈 지지를 위한 제2 장착부의 단면도이다.
도 20a는 본원 개시 내용의 제10 실시예에 따른 모듈 지지를 위한 구조물의 분해 사시도이다.
도 20b는 제10 실시예에 따른 모듈을 지지하기 위한 구조물의 사시도이다.
도 20c는, 화살표(XXC) 방향에서 본, 도 20b에 도시된 구조물의 부분 단면도이다.
도 21은 본원 개시 내용의 제11 실시예에 따른 EUV 광 발생 시스템의 구성을 도시한 블록도이다.
도 22a는 제11 실시예에 따른 레이저 장치를 구성하는 모듈의 특정 배열을 도시한 사시도이다.
도 22b는 도 22a에서 하부 레벨에 배치된 모듈의 배열을 도시한 사시도이다.
도 22c는 도 22a의 프레임을 도시한 사시도이다.
이하에서, 첨부 도면들을 참조하여 본원 개시 내용의 선택된 실시예를 구체적으로 설명할 것이다. 이하에서 설명되는 실시예는 단지 그 본질을 설명하는 것이고 본원 개시 내용의 범위를 제한하는 것이 아니다. 또한, 각각의 실시예에서 설명되는 구성들 및 동작들은 본원 개시 내용의 구현에 있어서 본질적인 것 전부가 아니다. 본원에서 유사한 구성요소들이 유사한 참조 심볼들로 표기되었고 그리고 그에 대한 중복 설명은 생략할 것임을 주목하여야 한다.
목차
1. 개관
2. 용어들
3. EUV 광 발생 시스템의 개관
3.1 구성
3.2 동작
4. 제1 실시예
4.1 레이저 장치의 구성
4.2 모듈의 배열
4.3 메인 증폭기를 위한 지지 기구
4.4 예비증폭기를 위한 지지 기구
4.5 비임 전송 유닛을 위한 지지 기구
4.6 마스터 발진기를 위한 지지 기구
5. 제2 실시예
6. 제3 실시예
7. 제4 실시예
8. 제5 실시예
9. 제6 실시예
10. 제7 실시예
11. 제8 실시예
12. 제9 실시예
13. 제10 실시예
14. 제11 실시예
1. 개관
본원 개시 내용의 일부 실시예에서, 레이저 비임을 증폭하기 위한 메인 증폭기와 같은 모듈이 레그(leg) 부분을 포함할 수 있을 것이고, 상기 레그 부분이 프레임 상의 미리 결정된 위치들에 배치될 수 있을 것이며, 그에 따라 모듈이 배치될 수 있을 것이다. 또한, 모듈이 휘일을 가지는 연장 기구를 구비할 수 있을 것이다. 연장 기구의 연장에 의해서 레그 부분이 프레임으로부터 거리를 둘 수 있을 것이고, 그에 따라 모듈이 프레임에 대해서 이동될 수 있을 것이다. 또한, 연장 기구를 수축시키고 레그 부분을 프레임 상의 미리 결정된 위치들에 배치함으로써, 모듈이 프레임 상의 미리 결정된 위치에 배치될 수 있을 것이다.
2. 용어들
본원에서 사용된 용어들은 이하와 같이 규정될 것이다. 레이저 비임의 비임 경로에서의 "상류" 및 "하류"라는 용어들은 레이저 비임이 이동하는 방향과 관련하여 규정된다. 즉, "상류"는 레이저 비임의 발생원으로서의 역할을 하는 마스터 발진기에 보다 근접한 측부(side)이고, 그리고 "하류"는 플라즈마 발생 영역에 보다 근접한 측부이다.
3. EUV 광 발생 시스템의 개관
3.1 구성
도 1은 예시적인 LPP 타입 EUV 광 발생 장치(1)의 구성을 개략적으로 도시한다. EUV 광 발생 장치(1)는 적어도 하나의 레이저 장치(3)와 함께 이용될 수 있을 것이다. 본원에서, EUV 광 발생 장치(1) 및 레이저 장치(3)를 포함하는 시스템이 EUV 광 발생 시스템(11)으로서 지칭될 수 있을 것이다. 도 1에 도시된 바와 같이 그리고 이하에서 구체적으로 설명되는 바와 같이, EUV 광 발생 시스템(1)이 밀봉형 챔버(2), 타겟 공급 유닛(예를 들어, 액적 발생기(26)), 등을 포함할 수 있을 것이다. 예를 들어, 챔버(2)의 벽을 통과하도록, 타겟 공급 유닛이 챔버(2)에 장착될 수 있을 것이다. 타겟 공급 유닛으로 공급하고자 하는 타겟 물질이 주석, 테르븀, 가돌리늄, 리튬, 크세논, 또는 이들의 임의 조합을 포함할 수 있으나, 이러한 것으로 제한되는 것은 아니다.
챔버(2)가 그 벽 내에 형성된 관통-홀을 가질 수 있을 것이고, 그리고 펄스형 레이저 비임(32)이 상기 관통-홀을 통해서 이동될 수 있을 것이다. 그 대신에, 챔버(2)가 적어도 하나의 윈도우(21)를 구비할 수 있을 것이고, 그러한 윈도우를 통해서 펄스형 레이저 비임(32)이 챔버(2) 내로 이동될 수 있을 것이다. 회전타원체형(spheroidal) 표면을 가지는 EUV 수집기 거울(23)이, 예를 들어, 챔버(2) 내부에 배치될 수 있을 것이다. EUV 수집기 거울(23)은 회전타원체형 표면 상에 형성된 다중-층 반사 필름을 가질 수 있을 것이고, 상기 반사 필름이, 예를 들어, 교번적으로 라미네이트된(laminated) 몰리브덴 및 실리콘을 포함할 수 있을 것이다. EUV 수집기 거울(23)이 제1 및 제2 포커스들을 가질 수 있을 것이다. 제1 포커스가 플라즈마 발생 영역(25) 내에 놓이고 제2 포커스가 노출 장치의 재원(specification)에 의해서 규정되는 중간 포커스(IF) 영역(292) 내에 놓이도록, EUV 수집기 거울(23)이 바람직하게 배치될 수 있을 것이다. EUV 수집기 거울(23)이 그 중심에 형성된 관통-홀(24)을 가질 수 있을 것이다.
도 1을 다시 참조하면, EUV 광 발생 장치(1)가 EUV 광 발생 제어기(5)에 연결될 수 있을 것이다. 타겟 센서(4)가 이미징 기능을 구비할 수 있을 것이고 그리고 타겟의 존재, 궤적, 및 위치 중 적어도 하나를 검출할 수 있을 것이다.
또한, EUV 광 발생 장치(1)는, 챔버(2)의 내부 및 노출 장치(6)의 내부가 서로 소통할 수 있게 허용하기 위한 연결 파트(29)를 포함할 수 있을 것이다. 개구를 구비하는 벽(291)이 연결 파트(29) 내측에 배치될 수 있을 것이다. EUV 수집기 거울(23)의 제2 포커스가 벽(291) 내에 형성된 개구 내에 놓이도록 벽(291)이 배치될 수 있을 것이다.
EUV 광 발생 시스템(11)이 레이저 비임 방향 제어 유닛(34), 레이저 비임 포커싱 광학 시스템(22), 및 타겟들(27)을 수집하기 위한 타겟 수집 유닛(28)을 더 포함할 수 있을 것이다. 레이저 비임이 이동하는 방향을 규정하기 위한 광학적 요소 및 상기 광학적 요소의 위치 및/또는 자세(배향)를 조정하기 위한 액추에이터를 레이저 비임 방향 제어 유닛(34)이 포함할 수 있을 것이다.
3.2 동작
도 1을 참조하면, 레이저 장치(3)로부터 출력되는 펄스형 레이저 비임(31)이 레이저 비임 방향 제어 유닛(34)을 통과할 수 있을 것이고, 그리고, 펄스형 레이저 비임(32)으로서, 윈도우(21)를 통해서 이동하고 챔버(2)로 진입할 수 있을 것이다. 펄스형 레이저 비임(32)이 챔버(2) 내부로 이동할 수 있고, 레이저 비임 포커싱 광학 시스템(22)에 의해서 반사될 수 있고, 그리고 펄스형 레이저 비임(33)으로서, 적어도 하나의 타겟(27)을 타격할 수 있을 것이다.
액적 발생기(26)가 챔버(2) 내부의 플라즈마 발생 영역(25)을 향해서 타겟(27)을 출력할 수 있을 것이다. 타겟(27)이 펄스형 레이저 비임(33) 내에 포함된 적어도 하나의 펄스로 조사(照射)될 수 있을 것이다. 펄스형 레이저 비임(33)으로 조사된 타겟(27)이 플라즈마로 전환될 수 있을 것이고, 그리고 EUV 광(252)을 포함하는 광선들이 플라즈마로부터 방출될 수 있을 것이다. EUV 광(252)이 EUV 수집기 거울(23)에 의해서 선택적으로 반사될 수 있을 것이다. EUV 수집기 거울(23)에 의해서 반사된 EUV 광(252)이 중간 포커스 영역(292)을 통해서 이동할 수 있을 것이고 노출 장치(6)로 출력될 수 있을 것이다. 타겟(27)이 펄스형 레이저 비임(33)에 포함된 복수의 펄스로 조사될 수 있을 것이다.
EUV 광 발생 제어기(5)가 EUV 광 발생 시스템(11)을 통합적으로 제어할 수 있을 것이다. EUV 광 발생 제어기(5)가 타겟 센서(4)에 의해서 캡쳐된 타겟들(27)의 이미지 데이터를 프로세스할 수 있을 것이다. 또한, EUV 광 발생 제어기(5)가, 예를 들어, 타겟(27)이 출력되는 타이밍 및 타겟(27)이 출력되는 방향 중 적어도 하나를 제어할 수 있을 것이다. 또한, EUV 광 발생 제어기(5)가, 레이저 장치(3)가 발진하는 타이밍, 펄스형 레이저 비임(32)이 이동하는 방향, 및 펄스형 레이저 비임(33)이 포커스되는 위치 중 적어도 하나를 제어할 수 있을 것이다. 전술한 여러 가지 제어들은 단지 예들이고, 그리고 다른 제어들이 필요에 따라 부가될 수 있을 것이다.
4. 제1 실시예
4.1 레이저 장치의 구성
도 2는 본원 개시 내용의 제1 실시예에 따른 EUV 광 발생 시스템의 구성을 도시한 블록도이다. EUV 광 발생 시스템(11)에 포함된 레이저 장치(3)가 마스터 발진기(300), 제1, 제2, 및 제3 예비증폭기들(301, 302, 및 303), 제1 및 제2 메인 증폭기들(304 및 305), 프리-펄스(pre-pulse) 레이저 장치(306), 및 비임 경로 조정 유닛(307)을 포함할 수 있을 것이다.
마스터 발진기(300)(발진기)가, 예를 들어, CO2 레이저 장치로 구성될 수 있을 것이다. 마스터 발진기(300)가 메인 펄스 레이저 비임의 시드(seed) 비임을 생성하도록 구성될 수 있을 것이다. 메인 펄스 레이저 비임이 타겟 물질을 타격할 수 있을 것이고, 그에 의해 타겟 물질이 플라즈마로 전환될 수 있을 것이다.
제1 예비증폭기(301), 제2 예비증폭기(302), 제3 예비증폭기(303), 제1 메인 증폭기(304), 및 제2 메인 증폭기(305)가, 이러한 순서로, 마스터 발진기(300)의 하류에 배치될 수 있을 것이다. 제1 예비증폭기(301), 제2 예비증폭기(302), 제3 예비증폭기(303), 제1 메인 증폭기(304), 및 제2 메인 증폭기(305)가 메인 펄스 레이저 비임의 시드 비임을 순차적으로 증폭하도록 구성될 수 있을 것이고, 그리고 증폭된 메인 펄스 레이저 비임이 비임 경로 조정 유닛(307)을 향해서 출력될 수 있을 것이다. 제1 예비증폭기(301), 제2 예비증폭기(302), 및 제3 예비증폭기(303)가 예를 들어 슬라브(slab) 증폭기일 수 있을 것이다. 제1 증폭기(304) 및 제2 증폭기(305)의 각각이, 예를 들어, 고속-축류형(fast-axial-flow) 증폭기일 수 있을 것이다.
제1 및 제2 비임 조정 유닛(BF)(311 및 312)이 제2 예비증폭기(302)의 상류 및 하류에 각각 배치될 수 있을 것이다. 제3 및 제4 비임 조정 유닛(BF)(313 및 314)이 제3 예비증폭기(303)의 상류 및 하류에 각각 배치될 수 있을 것이다.
제1 비임 전송 유닛(BD)(321)이 제1 예비증폭기(301)와 제1 비임 조정 유닛(311) 사이에 배치될 수 있을 것이다. 제1 비임 전송 유닛(321)이 제1 예비증폭기(301)로부터 제1 비임 조정 유닛(311)으로 레이저를 유도(guide)할 수 있을 것이다.
제2 및 제3 비임 전송 유닛(322 및 323)이 제4 비임 조정 유닛(314)과 제1 메인 증폭기(304) 사이에 배치될 수 있을 것이다. 제2 및 제3 비임 전송 유닛(322 및 323)이 제4 비임 조정 유닛(314)으로부터 제1 메인 증폭기(304)로 레이저 비임을 유도할 수 있을 것이다.
제3 및 제4 비임 전송 유닛(323 및 324)이 제1 메인 증폭기(304)와 제2 메인 증폭기(305) 사이에 배치될 수 있을 것이다. 제3 및 제4 비임 전송 유닛(323 및 324)이 제1 메인 증폭기(304)로부터 제2 메인 증폭기(305)로 레이저 비임을 유도할 수 있을 것이다.
제4 및 제5 비임 전송 유닛(324 및 325)이 제2 메인 증폭기(305)와 비임 경로 조정 유닛(307) 사이에 배치될 수 있을 것이다. 제4 및 제5 비임 전송 유닛(324 및 325)이 제2 메인 증폭기(305)로부터 비임 경로 조정 유닛(307)으로 레이저 비임을 유도할 수 있을 것이다.
프리-펄스 레이저 장치(306)가 프리-펄스 레이저 비임을 출력하도록 구성될 수 있을 것이다. 프리-펄스 레이저 비임이 타겟(27)을 타격할 수 있을 것이고(도 1 참조), 그에 의해서 타겟(27)이 확산될 수 있을 것이다. 이로써, 확산된 타겟 물질에 의한 메인 펄스 레이저 비임의 흡수율(absorptivity)이 개선될 수 있을 것이다. 프리-펄스 레이저 장치(306)로부터 출력된 프리-펄스 레이저 비임이 비임 경로 조정 유닛(307)으로 진입될 수 있을 것이다. 이어서, 비임 경로 조정 유닛(307) 내로 진입된 메인 펄스 레이저 비임 및 프리-펄스 레이저 비임이 제6 비임 전송 유닛(326)을 통해서 EUV 광 발생 장치(1)로 출력될 수 있을 것이다.
4.2 모듈의 배열
도 3a는 제1 실시예에 따른 레이저 장치를 구성하는 모듈의 특정 배열을 도시한 사시도이다. 도 3b는 도 3a에서 하부 레벨에 배치된 모듈의 배열을 도시한 사시도이다. 도 3c는 도 3a의 프레임을 도시한 사시도이다. 도 3c에 도시된 바와 같이, 프레임이 복수의 컬럼, 비임들 등으로 구성될 수 있을 것이다. 마스터 발진기(300), 제1, 제2, 및 제3 예비증폭기들(301, 302, 및 303), 제1 및 제2 메인 증폭기들(304 및 305), 프리-펄스 레이저 장치(306), 비임 경로 조정 유닛(307), 제1, 제2, 제3, 및 제4 비임 조정 유닛(311, 312, 313, 및 314), 그리고 제1, 제2, 제3, 제4, 및 제5 비임 전송 유닛(321, 322, 323, 324, 및 325)이 프레임(330)에 의해서 지지될 수 있을 것이다. 여기에서, 제6 비임 전송 유닛(326) 및 EUV 광 발생 장치(1)(도 2 참조)가 도 3a에 도시된 모듈로부터 거리를 두도록 배치될 수 있을 것이고; 그에 따라, 제6 비임 전송 유닛(326)이 도 3a에는 도시되지 않았다. 도 3a에서, 3개의 직교 축들(XYZ)이 규정되고, 그리고 이러한 좌표 시스템은 후속 도면들에서 사용될 것이다. 여기에서, XY 평면이 수평 평면이고, 그리고 Z-방향이 중력 방향에 반대가 된다.
프레임(330)이 적어도 3개의 프레임 지지 유닛: 예를 들어, 제1, 제2, 및 제3 프레임 지지 유닛(331, 332, 및 333)에 의해서 바닥(floor)에서 지지될 수 있을 것이다. 프레임 지지 유닛(331, 332, 및 333)의 각각이, 예를 들어, 에어 서스펜션으로 구성될 수 있을 것이다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 제1 예비증폭기(301) 및 제1 비임 전송 유닛(321)이 단일 하우징 내에 수용될 수 있을 것이다. 제5 비임 전송 유닛(325), 프리-펄스 레이저 장치(306), 및 비임 경로 조정 유닛(307)이 다른 하우징 내에 수용될 수 있을 것이다.
마스터 발진기(300), 제1 예비증폭기(301), 제1 비임 전송 유닛(321), 제2 비임 전송 유닛(322), 제5 비임 전송 유닛(325), 프리-펄스 레이저 장치(306), 및 비임 경로 조정 유닛(307)이 레이저 장치(3)의 상부 레벨에 배치될 수 있을 것이다. 도 3b에 도시된 바와 같이, 제2 및 제3 예비증폭기들(302 및 303), 제1 및 제2 메인 증폭기들(304 및 305), 그리고 제1, 제2, 제3, 및 제4 비임 조정 유닛(311, 312, 313, 및 314)이 레이저 장치(3)의 하부 레벨에 배치될 수 있을 것이다. 일부 실시예에서, 하부(제2) 레벨에 배치된 유닛 또는 모듈의 전체 중량이 상부(제1) 레벨에 배치된 유닛 또는 모듈의 전체 중량 보다 무거울 수 있을 것이다.
제1 예비증폭기(301) 및 제1 비임 전송 유닛(321)을 위한 하우징이 마스터 발진기(300)에 인접하여 배치될 수 있을 것이다. 도 3b에 도시된 제1 비임 조정 유닛(311)이 제1 예비증폭기(301) 및 제1 비임 전송 유닛(321)을 위한 하우징의 아래에 배치될 수 있을 것이다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 제2 예비증폭기(302)가 제1 비임 조정 유닛(311)에 인접하여 배치될 수 있을 것이다. 제2 비임 조정 유닛(312)이 제2 예비증폭기(302)에 인접하여 배치될 수 있을 것이다. 제3 비임 조정 유닛(313)이 제2 비임 조정 유닛(312)에 인접하여 배치될 수 있을 것이다. 제3 예비증폭기(303)가 제3 비임 조정 유닛(313)에 인접하여 배치될 수 있을 것이다. 제4 비임 조정 유닛(314)이 제3 예비증폭기(303)에 인접하여 배치될 수 있을 것이다. 도 3a에 도시된 제2 비임 전송 유닛(322)이 제4 비임 조정 유닛(314) 위에 배치될 수 있을 것이다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 제3 비임 전송 유닛(323)이 제2 비임 전송 유닛(322)에 인접하여 배치될 수 있을 것이다. 제1 메인 증폭기(304)가 제3 비임 전송 유닛(323)에 인접하여 그리고 제2 비임 전송 유닛(322) 아래에 배치될 수 있을 것이다. 제4 비임 전송 유닛(324)이 제3 비임 전송 유닛(323)에 인접하여 배치될 수 있을 것이다. 제2 메인 증폭기(305)가 제4 비임 전송 유닛(324)에 인접하여 배치될 수 있을 것이다. 또한, 제5 비임 전송 유닛(325)을 위한 하우징, 프리-펄스 레이저 장치(306), 및 비임 경로 조정 유닛(307)이 제4 비임 전송 유닛(324)에 인접하여 그리고 제2 메인 증폭기(305) 위에 배치될 수 있을 것이다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 제2 및 제3 예비증폭기(302 및 303)의 각각이 수평 평면(XY) 평면에 대해서 미리 결정된 각도(θ)(예를 들어, θ = 45도) 만큼 경사지도록 배치될 수 있을 것이다. 수평 평면에 대해서 경사지도록 배치된 예비증폭기로 진입하는 메인 펄스 레이저 비임은, 상기 예비증폭기가 경사진 방향을 따라서 실질적으로 세장형인 단면의 타원형을 가질 수 있을 것이다. 따라서, 제1 실시예에서, 단면이 실질적으로 원형인 메인 펄스 레이저 비임이 제1 비임 조정 유닛(311)을 통한 세장형의 단면을 가지는 레이저 비임으로 변환될 수 있을 것이다. 또한, 세장형 단면을 가지는 상기 변환된 메인 펄스 레이저 비임이, 상기 메인 펄스 레이저 비임의 길이 방향이 상기 제2 예비증폭기(302)가 경사진 방향과 실질적으로 일치되는 상태로, 상기 제2 예비증폭기(302)로 진입하게 되도록, 상기 제1 비임 조정 유닛(311)이 배치될 수 있을 것이다.
제2 예비증폭기(302)로부터의 메인 펄스 레이저 비임을 단면이 실질적으로 원형인 레이저 비임으로 변환시키도록 제2 비임 조정 유닛(312)이 구성될 수 있을 것이다. 단면이 실질적으로 원형인 메인 펄스 레이저 비임을 일 방향으로 세장형인 단면을 가지는 레이저 비임으로 변환시키도록 제3 비임 조정 유닛(313)이 구성될 수 있을 것이다. 그 대신에, 메인 펄스 레이저 비임을 세장형 단면을 가지는 레이저 비임으로 유지하면서, 제2 예비증폭기(302)로부터 출력된 메인 펄스 레이저 비임이 제3 비임 조정 유닛(313)으로 진입할 수 있게 허용하도록 상기 제2 비임 조정 유닛(312)이 구성될 수 있을 것이다. 이러한 지점에서, 메인 펄스 레이저 비임의 발산성(divergence), 및 비임 프로파일 등이 조정될 수 있을 것이다. 이어서, 메인 펄스 레이저 비임의 길이 방향이 제3 예비증폭기(303)가 경사진 방향과 실질적으로 일치되는 상태로 세장형 단면을 가지는 메인 펄스 레이저 비임이 이 제3 예비증폭기(303)로 진입하게 되도록, 제3 비임 조정 유닛(313)이 배치될 수 있을 것이다. 제3 예비증폭기(303)로부터의 메인 펄스 레이저 비임을 단면이 실질적으로 원형인 레이저 비임으로 변환시키도록 제4 비임 조정 유닛(314)이 구성될 수 있을 것이다.
제2 및 제3 예비증폭기(302 및 303) 그리고 제1 및 제2 메인 증폭기들(304 및 305)이 메인 펄스 레이저 비임에 대한 보다 큰 이득(gain)을 요구할 수 있을 것이다. 그에 따라, 이러한 장치들의 크기 및 중량이 마스터 발진기(300) 및 제1 예비증폭기(301)에 비하여 증대되는 경향이 있을 수 있을 것이다. 따라서, 제2 및 제3 예비증폭기들(302 및 303) 그리고 제1 및 제2 메인 증폭기들(304 및 305)이 레이저 장치(3)의 하부 레벨에 배치하여, 이러한 장치들에 보다 용이하게 접근할 수 있게 하고 그리고 이러한 장치들의 유지보수 작업을 도울 수 있을 것이다.
도 4는 제1 실시예에 따른 레이저 장치를 구성하는 모듈의 특정 배열을 도시한 평면도이다. 마스터 발진기(300), 제1, 제2, 및 제3 예비증폭기들(301, 302, 및 303), 제1 및 제2 메인 증폭기들(304 및 305), 프리-펄스 레이저 장치(306), 비임 경로 조정 유닛(307), 제1, 제2, 제3, 및 제4 비임 조정 유닛(311, 312, 313, 및 314), 그리고 제1, 제2, 제3, 제4, 및 제5 비임 전송 유닛(321, 322, 323, 324, 및 325)과 같은 유닛의 각각이, 유지보수 작업을 위해서 프레임(330)으로부터 제거될 수 있도록 구성될 수 있을 것이다. 예를 들어, 마스터 발진기(300), 제2 및 제3 예비증폭기들(302 및 303), 그리고 제1 및 제2 메인 증폭기들(304 및 305)이 설치 표면을 따라서(예를 들어, 도 4의 XY 평면을 따라서) 이동될 수 있게 구성될 수 있을 것이다. 이하에서, 프레임(330)에 대한 이러한 모듈의 배치를 위한 또는 프레임(330)으로부터 이러한 모듈을 제거하기 위한 구성을 설명할 것이다.
4.3 메인 증폭기를 위한 지지 기구
도 5는 제1 메인 증폭기를 도시한 사시도이다. 도 6은, 화살표(VI) 방향을 따라서 본, 도 5에 도시된 제1 메인 증폭기의 사시도적인 평면도이다. 도 7a는, 화살표(VIIA) 방향을 따라서 본, 도 5에 도시된 제1 메인 증폭기의 사시도적인 정면도이다. 도 8은, 화살표(VIII) 방향에서 본, 도 5에 도시된 제1 메인 증폭기의 사시도적인 측면도이다.
도 5 내지 8에 도시된 바와 같이, 단일 모듈을 구성할 수 있는 제1 메인 증폭기가, 예를 들어, 고속-축류형 증폭기일 수 있을 것이다. 고속-축류형 증폭기가 입력 윈도우(401), 방전 튜브들(411, 412, 413, 414, 415, 416, 417, 및 418), 거울들(421, 422, 423, 424, 425, 426, 427, 및 428), 그리고 출력 윈도우(402)를 포함할 수 있을 것이다. 입력 윈도우(401)가 투명한 윈도우일 수 있을 것이고, 그러한 윈도우를 통해서, X-방향을 따라 이동하는 제3 비임 전송 유닛(323)(도 3a 참조)으로부터의 레이저 비임이 고속-축류형 증폭기로 진입할 수 있을 것이다. 출력 윈도우(402)가 투명한 윈도우일 수 있을 것이고, 그러한 윈도우를 통해서, 레이저 비임이 X-방향을 따라 제3 비임 전송 유닛(323)을 향해서 출력될 수 있을 것이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 고속-축류형 증폭기가 방전 튜브들(411, 412, 413, 414, 415, 416, 417, 및 418)의 각각의 둘레를 따라서 배치된 전극들(433 및 434)의 쌍을 포함할 수 있을 것이다. 또한, 레이저 매체로서 CO2 가스를 포함하는 혼합 가스가 방전 튜브들(411, 412, 413, 414, 415, 416, 417, 및 418)의 각각으로 공급될 수 있을 것이다.
방전 튜브들(411, 412, 413, 414, 415, 416, 417, 및 418)의 각각에서, RF 전원(미도시)에 의해서 고주파 전압이 전극들(433 및 434) 사이로 인가될 수 있을 것이다. 이러한 것에서, CO2 가스를 포함하는 혼합 가스가 여기될 수 있을 것이고, 그리고 여기된 혼합 가스를 가지는 영역 내에서 이동하는 레이저 비임이 증폭될 수 있을 것이다. 레이저 비임이 입력 윈도우(401)를 통해서 방전 튜브(411)로 진입할 수 있고, 각각의 거울들(421, 422, 423, 424, 425, 426, 427, 및 428)(도 5 참조)에 의해서 반사되어 방전 튜브들(412, 413, 414, 415, 416, 417, 및 418) 내부로 순차적으로 이동될 수 있을 것이다. 이러한 것에서, 레이저 비임이 증폭될 수 있을 것이고, 그리고 증폭된 레이저 비임이 X-방향을 따라서 출력 윈도우(402)를 통해 출력될 수 있을 것이다.
제1 메인 증폭기(304)가 제1 메인 증폭기(304)의 하단부 표면 상에 제공된 레그 부분(지지 부분)(441, 442, 및 443)을 더 포함할 수 있을 것이다. 레그 부분이 적어도 3개의 지점들에서 제공될 수 있을 것이고, 그리고 3 지점들에서 제1 메인 증폭기(304)를 지지할 수 있을 것이다. 바람직하게, 입력 윈도우(401) 및 출력 윈도우(402)가 제공되는 측부에 반대되는 측부를 향해서 지지 부분(441)이 제공될 수 있을 것이다. 입력 윈도우(401)를 통해서 제1 메인 증폭기(304)로 진입한 레이저 비임이 내부로 이동하는 측부에 레그 부분(422)이 제공될 수 있을 것이다. 또한, 레그 부분(441 및 442)이 따라서(along) 제공되는 측부에 반대되는 측부를 향해서 레그 부분(443)이 제공될 수 있을 것이다.
도 7a에 도시된 바와 같이, 프레임(330)이 장착부(341, 342, 및 343)을 포함할 수 있을 것이고, 상기 장착부 상에는 레그 부분(441, 442, 및 443)이 각각 배치된다. 레그 부분(441, 442, 및 443)이 각각의 장착부(341, 342, 및 343) 상에 배치될 수 있을 것이고, 그에 따라 제1 메인 증폭기(304)가 프레임(330)에 의해서 지지될 수 있을 것이다.
원뿔형 리세스(341a)가 장착부(341)의 상부 표면 상에 형성될 수 있을 것이다. V-형상의 홈(342a)이 장착부(342)의 상부 표면 상에 형성될 수 있을 것이다. 입력 윈도우(401)를 통해서 진입하는 레이저 비임이 이동하는 방향에 그리고 또한 출력 윈도우(402)를 통해서 출력되는 레이저 비임이 이동하는 방향(X-방향)에 평행한 방향으로 홈(342a)이 형성될 수 있을 것이다. 장착부(343)의 상부 표면이 평면형일 수 있을 것이다.
레그 부분(441)이 장착부(341) 상에 배치될 수 있을 것이고, 그에 따라 XY 평면을 따른 레그 부분(441)의 이동이 제한될 수 있을 것이다. 레그 부분(442)이 장착부(342) 상에 배치될 수 있고, 그에 따라 레그 부분(442)은 홈(342a)을 따른 방향으로 이동될 수 있도록 지지될 수 있을 것이다. 즉, 레그 부분(442)은 입력 윈도우(401)를 통해서 진입하는 레이저 비임이 이동하는 방향에 그리고 또한 출력 윈도우(402)를 통해서 출력되는 레이저 비임이 이동하는 방향에 평행한 방향으로 이동될 수 있도록 지지될 수 있다. 레그 부분(443)이 장착부(343) 상에 배치될 수 있고, 그에 따라 레그 부분(443)이 장착부(343)의 상부 표면을 따라서 이동가능하도록 지지될 수 있을 것이다. 즉, 레그 부분(443)이 수평 평면을 따라서 이동가능하도록 지지될 수 있을 것이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 입력 윈도우(401)를 통해서 진입하는 레이저 비임의 그리고 출력 윈도우(402)를 통해서 출력되는 레이저 비임의 축들의 연장선을 따라서 제1 메인 증폭기(304)의 하단부 표면 상에 레그 부분(441 및 442)이 제공될 수 있을 것이다. 레그 부분(441)은 입력 윈도우(401) 및 출력 윈도우(402)가 제공되는 측부를 향해서 제공될 수 있을 것이고, 그리고 프레임(330)에 대해서 제1 메인 증폭기(304)를 위치시키는 역할을 할 수 있을 것이다.
전술한 구성으로, 제1 메인 증폭기(304)가 열적 변형을 일으킨 경우에도, 입력 윈도우(401) 및 출력 윈도우(402)의 공간적 변위가 억제될 수 있을 것이다. 또한, 상기 구성은, 레이저 비임이 제1 메인 증폭기(304)로 진입하는 방향에 대한 레이저 비임이 제1 메인 증폭기(304)로부터 출력되는 방향의 상대적인 변위를 억제할 수 있을 것이다.
도 6 및 7a에 도시된 바와 같이, 제1 메인 증폭기(304)가 복수의 연장 기구(승강 기구)(461, 462, 463, 및 464)을 구비할 수 있을 것이고, 그리고 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)이 휘일들(가이드 종동부)(451, 452, 453, 및 454) 각각을 구비할 수 있을 것이다. 여기에서, 도 7a에서, 연장 기구들(463 및 464) 및 휘일들(453 및 454) 및 상기 연장 기구들에 제공된 휘일들(453 및 454) 각각이 연장 기구들(461 및 462) 그리고 휘일들(451 및 452) 뒤에 은폐될 수 있을 것이고, 그에 따라 도면에는 도시되지 않았다. 프레임(330)은 서로 평행하게 배치된 2개의 레일들(가이드)(351 및 352)을 구비할 수 있을 것이다. 전술한 구성에서, 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)이 연장될 수 있고, 그에 의해서 제1 메인 증폭기(304)가 도 7b 및 8에 도시된 상태가 될 수 있을 것이다.
도 7b는, 레그 부분(441, 442, 및 443)이 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)의 연장에 의해서 프레임(330)으로부터 거리를 둔 상태로, 메인 증폭기를 도시한 정면도이다. 메인 증폭기(304)와 휘일들(451, 452, 453, 및 454) 사이의 거리가 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)의 연장에 의해서 증가될 수 있을 것이고, 그에 의해서 제1 메인 증폭기(304)에 고정된 레그 부분이 프레임(330)에 고정된 장착부(341, 342, 및 343)로부터 거리를 둘 수 있을 것이다. 이러한 것에서, 휘일들(451, 452, 453, 및 454)이 레일들(351 및 352)을 따라서 이동할 수 있게 허용될 수 있고, 그에 따라 제1 메인 증폭기(304)가 프레임(330)에 대해서 이동될 수 있을 것이다.
또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 캐리지(7)가 프레임(330)에 근접하여 배열될 수 있을 것이다. 캐리지(7)는, 예를 들어, 서로에 대해서 평행하게 배치된 2개의 레일들(751 및 752)을 구비할 수 있을 것이다. 이러한 것에서, 제1 메인 증폭기(304)가 프레임(330)으로부터 캐리지(7) 상으로 제거될 수 있을 것이고 그리고 희망하는 유지보수 구역으로 이송될 수 있을 것이다.
또한, 캐리지(7)는 유사하게 장착부(341, 342, 및 343)에 대해서 배열된 장착부(761, 762, 및 763)을 구비할 수 있을 것이다. 제1 메인 증폭기(304)가 캐리지(7)에 대해서 배치될 수 있도록, 장착부(761, 762, 및 763)이 배열된다. 휘일들(451, 452, 453, 및 454)이 레일들(751 및 752)을 따라서 이동하도록 만들어질 수 있을 것이고, 그에 따라 레그 부분(441, 442, 및 443)이 각각의 장착부(761, 762, 및 763) 위에 배치되도록 제1 메인 증폭기(304)가 캐리지(7) 상으로 이동될 수 있을 것이다. 이러한 구성하에서 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)이 수축하는 것에 의해서, 휘일들(451, 452, 453, 및 454)이 제1 메인 증폭기(304)에 보다 더 근접할 수 있을 것이다. 이러한 것에서, 레그 부분(441, 442, 및 443)이 각각의 장착부(761, 762, 및 763) 상에 배치될 수 있을 것이고, 제1 메인 증폭기(304)가 캐리지(7) 상에서 안정적으로 배치될 수 있을 것이다.
4.4 예비증폭기를 위한 지지 기구
도 9a는 제2 및 제3 예비증폭기들의 사시도이다. 도 9b는, 화살표(IXB)의 방향에서 본, 도 9a에 도시된 제2 및 제3 예비증폭기들의 평면도이다. 도 9a 및 9b에서, 제3 예비증폭기(303)가 사시도로 도시되어 있고, 그리고 제2 예비증폭기(302)의 내부가 도시되지 않았으나; 이러한 예비증폭기들은 구성이 서로 유사할 수 있을 것이다.
단일 모듈일 수 있는 제3 예비증폭기(303)가, 예를 들어, 슬라브 증폭기일 수 있을 것이다. 슬라브 증폭기가 입력 윈도우(501), 출력 윈도우(502), 오목한 거울들(503 및 504)의 쌍, 및 방전 전극들(505 및 506)의 쌍을 포함할 수 있을 것이다.
입력 윈도우(501)가 투명한 윈도우일 수 있을 것이고, 그러한 윈도우를 통해서 제3 비임 조정 유닛(313)(도 3b 참조)으로부터의 레이저 비임이 슬라브 증폭기로 진입될 수 있을 것이다. 출력 윈도우(502)가 투명 윈도우일 수 있을 것이고, 그러한 윈도우를 통해서 레이저 비임이 제4 비임 조정 유닛(314)을 향해서 출력될 수 있을 것이다. 고전압이 전원(미도시)에 의해서 방전 전극들(505 및 506) 사이로 인가될 수 있을 것이다. 기체 레이저 매체로 충진된 레이저 챔버(미도시)가 방전 전극들(505 및 506) 사이에 배치될 수 있을 것이고, 상기 레이저 챔버가 레이저 매체를 대기(atmosphere)로부터 격리시킨다.
레이저 비임을 반사시키도록 그리고 레이저 비임이 방전 전극들(505 및 506) 사이의 영역 내에서 지그재그 방식으로 이동할 수 있게 허용하도록 오목한 거울들(503 및 504)의 쌍이 배치될 수 있을 것이고, 그에 따라 복수통과(multipass) 비임 경로가 형성될 수 있을 것이다. 고전압이 방전 전극들(505 및 506) 사이로 인가됨에 따라 기체 레이저 매체가 여기될 수 있을 것이다. 입력 윈도우(501)를 통해서 진입하는 메인 펄스 레이저 비임이 오목한 거울들(503 및 504)에 의해서 반사될 수 있을 것이고, 그에 따라 여기된 레이저 매체로 충진된 영역을 통해서 지그재그 방식으로 이동할 수 있고, 증폭될 수 있고, 그리고 출력 윈도우(502)를 통해서 출력될수 있을 것이다. 레이저 비임이 입력 윈도우(501)를 통해서 슬라브 증폭기로 진입하는 방향은 레이저 비임이 슬라브 증폭기로부터 출력 윈도우(502)를 통해서 출력되는 방향과 실질적으로 일치될 수 있을 것이다.
도 5 내지 8을 참조하여 설명된 제1 메인 증폭기(304)와 같이, 제3 예비증폭기(303)가 하단부 표면 상에 제공된 레그 부분(541, 542, 및 543)을 더 포함할 수 있을 것이다. 레그 부분(541)은, 출력 윈도우(502)가 제공된 측부를 향해서 제공될 수 있을 것이다. 레그 부분(542)은, 입력 윈도우(501)가 제공된 측부를 향해서 제공될 수 있을 것이다. 레그 부분(543)은, 레그 부분(541 및 542)이 따라서(along) 제공된 측부에 반대되는 측부를 향해서 제공될 수 있을 것이다.
프레임(330)이 장착부(341, 342, 및 343)을 포함할 수 있을 것이고, 그러한 장착부 상에는 레그 부분(541, 542, 및 543)이 각각 배치된다. 장착부(341, 342, 및 343)의 구성이 도 5 내지 8을 참조하여 설명한 구성과 유사할 수 있을 것이다. 여기에서, 장착부(342)의 홈(342a)은, 입력 윈도우(501)를 통해서 진입하는 레이저 비임이 이동하는 방향과 그리고 또한 출력 윈도우(502)를 통해서 출력되는 레이저 비임이 이동하는 방향과 실질적으로 일치되는 방향을 따라서 형성될 수 있을 것이다. 장착부(341 및 342)의 배치가 교환될(switched) 수 있다는 것을 주목하여야 한다.
도 9b에 도시된 바와 같이, 레그 부분(541 및 542)이 출력 윈도우(502)를 통해서 출력되는 레이저 비임의 그리고 입력 윈도우(501)를 통해서 진입하는 레이저 비임의 축들의 연장선을 따라서 제3 예비증폭기(303)의 하단부 표면 상에 제공될 수 있을 것이다. 상기 구성에서, 제3 예비증폭기(303)가 열적으로 변형되는 경우에도, 입력 윈도우(501)와 출력 윈도우(502)의 공간적 변위가 억제될 수 있을 것이다. 또한, 전술한 구성은, 제3 예비증폭기(303)로 진입하는 레이저 비임이 이동하는 방향에 대한 제3 예비증폭기(303)로부터 출력되는 레이저 비임이 이동하는 방향의 상대적인 변위를 억제할 수 있을 것이다.
도 9a에 도시된 바와 같이, 제3 예비증폭기(303)가 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)을 구비할 수 있을 것이고, 그리고 그러한 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)이 휘일들(451, 452, 453, 및 454)을 각각 구비할 수 있을 것이다. 프레임(330)은, 서로 평행하게 배치된 2개의 레일들(351, 352)을 구비할 수 있을 것이다. 이러한 구성 요소들의 구성은 도 5 내지 8을 참조하여 설명한 구성과 유사할 수 있을 것이다. 또한, 도 8을 참조하여 설명된 구성에서와 같이, 제3 예비증폭기(303)가, 캐리지 상에 배치되는 동안, 이송가능하게 만들어질 수 있을 것이다.
4.5 비임 전송 유닛을 위한 지지 기구
도 10a는 제3 비임 전송 유닛의 사시도이다. 도 10b는, 화살표(XB) 방향에서 본, 도 10a에 도시된 제3 비임 전송 유닛의 평면도이다.
단일 모듈을 구성할 수 있는 제3 비임 전송 유닛(323)이 제1 입력 윈도우(601), 제1 출력 윈도우(602), 제2 입력 윈도우(603), 제2 출력 윈도우(604), 그리고 제1, 제2, 및 제3 고반사 거울들(605, 606, 및 607)을 포함할 수 있을 것이다.
입력 윈도우(601)가 투명 윈도우일 수 있고, 그러한 윈도우를 통해서 제2 비임 전송 유닛(322)(도 3a 참조)으로부터의 레이저 비임이 제3 비임 전송 유닛(323)으로 진입할 수 있을 것이다. 제1 출력 윈도우(602)가 투명 윈도우일 수 있고, 그러한 윈도우를 통해서 레이저 비임이 제1 메인 증폭기(304)를 향해서 출력된다. 제2 입력 윈도우(603)가 투명 윈도우일 수 있고, 그러한 윈도우를 통해서 제1 메인 증폭기(304)로부터의 레이저 비임이 제3 비임 전송 유닛(323)으로 진입한다. 제2 출력 윈도우(604)가 투명 윈도우일 수 있고, 그러한 윈도우를 통해서 레이저 비임이 제4 비임 전송 유닛(324)을 향해 출력된다.
제1 입력 윈도우(601)를 통해서 진입하는 메인 펄스 레이저 비임을 반사시키고 반사된 메인 펄스 레이저 비임을 제1 출력 윈도우(602)를 통해서 출력시키도록, 제1 및 제2 고반사 거울들(605 및 606)이 배치될 수 있을 것이다. 제2 입력 윈도우(603)를 통해서 진입하는 메인 펄스 레이저 비임을 반사시키고 반사된 메인 펄스 레이저 비임을 제2 출력 윈도우(604)를 통해서 출력하도록, 제3 고반사 거울(607)이 배치될 수 있을 것이다.
제1 입력 윈도우(601)를 통해서 진입하는 레이저 비임이 이동하는 방향, 제1 출력 윈도우(602)를 통해서 출력되는 레이저 비임이 이동하는 방향, 및 제2 입력 윈도우(603)를 통해서 진입하는 레이저 비임이 이동하는 방향이 서로 실질적으로 평행할 수 있을 것이다. 제2 입력 윈도우(603)를 통해서 진입하는 레이저 비임이 이동하는 방향 및 제2 출력 윈도우(604)를 통해서 출력되는 레이저 비임이 이동하는 방향이 서로에 대해서 실질적으로 수직이 될 있을 것이다. 이러한 방식에서, 레이저 비임이, 45도로, 입사되고 각각의 거울들에 의해서 반사되도록, 제1, 제2, 및 제3 고반사 거울들(605, 606, 및 607)이 배치될 수 있을 것이다.
도 5 내지 8을 참조하여 설명된 제1 메인 증폭기(304)에서와 같이, 제3 비임 전송 유닛(323)은, 그 하단부 표면 상에 제공된 레그 부분(641, 642, 및 643)을 더 포함할 수 있을 것이다. 레그 부분(641)은, 제2 입력 윈도우(603)를 통해서 진입하는 레이저 비임의 축의 연장선이 제2 출력 윈도우(604)를 통해서 출력되는 레이저 비임의 축의 연장선과 교차하는 지점 아래에 제공될 수 있을 것이다. 예를 들어, 레그 부분(641)이 고반사 거울(607) 아래에 제공될 수 있을 것이다. 제2 출력 윈도우(604)를 통해서 출력되는 레이저 비임의 축의 연장선을 따라서, 제2 출력 윈도우(604)가 제공되는 측부에 반대되는 측부를 향해서 레그 부분(642)이 제공될 수 있을 것이다. 레그 부분(641 및 642)이 따라서(along) 제공되는 측부에 반대되는 측부에 레그 부분(643)이 제공될 수 있을 것이다.
프레임(330)(도 3a 참조)이 장착부(341, 342, 및 343)을 포함할 수 있을 것이고, 그러한 장착부 상에 레그 부분(641, 642, 및 643)이 각각 배치될 수 있을 것이다. 장착부(341, 342, 및 343)의 구성은 도 5 내지 8을 참조하여 설명된 구성과 유사할 수 있을 것이다. 또한, 제2 출력 윈도우(604)를 통해서 출력되는 레이저 비임이 이동하는 방향에 대해서 평행한 방향을 따라 장착부(342)의 홈(342a)이 형성될 수 있을 것이다.
도 5 내지 8을 참조하여 설명된 구성에서와 같이, 제3 비임 전송 유닛(323)이 연장 기구들 및 휘일들을 구비할 수 있을 것이다. 또한, 도 8을 참조하여 설명된 구성에서와 같이, 제3 비임 전송 유닛(323)이, 캐리지 상에 배치되는 동안, 이송가능하도록 구성될 수 있을 것이다. 제3 비임 전송 유닛(323)이 휴대가능할 정도로 가벼운 경우에, 이송 기구가 제공될 필요는 없을 것이다.
여기에서, 레이저 비임이 진입하거나 비임 전송 유닛으로부터 출력될 때 통과하는 윈도우들(601, 602, 603, 및 604)을 구비하는 비임 전송 유닛의 실시예가 제공된다. 레이저 장치(3)의 설치 공간이 충분히 깨끗한 상태로 유지되는 경우에, 레이저 비임이 통과하여 이동하는 상기 윈도우들에 상응하는 위치들에서, 윈도우들 대신에, 관통-홀들이 제공될 수 있을 것이다. 또한, 윈도우들의 존재와 관계 없이, 안전 이유들로, 레이저 비임이 통과하여 이동하는 튜브들이 비임 전송 유닛과 기타 모듈 사이에 배치될 수 있을 것이다.
4.6 마스터 발진기를 위한 지지 기구
도 11a는 마스터 발진기의 사시도적인 정면도이다. 도 11b는, 화살표(XIB) 방향에서 본, 도 11a에 도시된 마스터 발진기의 사시도적인 평면도이다.
단일 모듈을 구성할 수 있는 마스터 발진기(300)가 출력 커플러(701), 고반사 거울(702), 방전 전극들(703 및 704)의 쌍, Q-스위치(705), 및 출력 윈도우(706)를 포함할 수 있을 것이다.
출력 윈도우(706)가 투명 윈도우일 수 있고, 그러한 윈도우를 통해서 레이저 비임이 제1 예비증폭기(301)(도 3a 참조)를 향해서 출력된다. 고전압이 전원(미도시)에 의해서 방전 전극들(703 및 704) 사이로 인가될 수 있을 것이다. 기체 매체로 충진된 레이저 챔버(미도시)가 방전 전극들(703 및 704) 사이에 배치될 수 있고, 상기 레이저 챔버는 레이저 매체를 대기로부터 격리시킨다.
고전압이 전원에 의해서 방전 전극(703)과 방전 전극(704) 사이로 인가될 때, 전기 방전이 방전 전극(703)과 방전 전극(704) 사이에서 발생될 수 있을 것이다. 이러한 방전으로부터의 에너지로, 레이저 매체가 여기될 수 있고 고에너지 준위로 전이될 수 있을 것이다. 여기된 레이저 매체가 낮은 에너지 준위로 다시 전이 될 때, 에너지 준위들의 차이에 상응하는 광이 방출될 수 있을 것이다.
여기된 레이저 매체로부터 방출된 광은, 집합적으로 광학적 공진기를 구성하는, 출력 커플러(701)와 고-반사 거울(702) 사이에서 전후로 이동될 수 있을 것이고, 그리고 방전 전극(703)과 방전 전극(704) 사이의 영역(레이저 이득 영역) 내에서 광이 이동할 때마다 증폭될 수 있을 것이다. Q-스위치(705)는, 레이저 매체를 구성하는 원자들의 대부분(large portion)이 여기될 때까지 광학적 손실이 큰 상태를 유지하면서 발진을 억제하도록, 그리고 레이저 매체를 구성하는 원자들의 대부분이 여기되었을 때 광학적 손실을 감소시키도록 구성될 수 있을 것이다. Q-스위치(705)를 제공하는 것에 의해서, 레이저 비임이 펄스들로 발생될 수 있을 것이다. 고에너지 준위로 증폭된 펄스형 레이저 비임의 일부가 출력 커플러(701)를 통해서 출력될 수 있을 것이다. 출력 커플러(701)를 통해서 출력된 펄스형 레이저 비임이 출력 윈도우(706)를 통해서 제1 증폭기(301)를 향해서 출력될 수 있을 것이다.
도 5 내지 8을 참조하여 설명된 제1 메인 증폭기(304)에서와 같이, 마스터 발진기(300)가, 그 하단부 표면 상에 제공된 레그 부분(741, 742, 및 743)을 더 포함할 수 있을 것이다. 레그 부분(741)은, 출력 윈도우(706)가 제공되는 측부를 향해서 제공될 수 있을 것이다. 레그 부분(742)은 출력 윈도우(706)가 제공되는 측부에 반대되는 측부로 제공될 수 있을 것이다. 그 대신에, 레그 부분(741)이 출력 커플러(701) 아래에 제공될 수 있고, 레그 부분(742)이 고-반사 거울(702) 아래에 제공될 수 있을 것이다. 레그 부분(743)은, 레그 부분(741 및 742)이 따라서 제공되는 측부에 반대되는 측부에 제공될 수 있을 것이다.
프레임(330)이 장착부(341, 342, 및 343)을 포함할 수 있을 것이고, 그러한 장착부 상에 레그 부분(741, 742, 및 743)이 각각 배치될 수 있을 것이다. 장착부(341, 342, 및 343)의 구성은 도 5 내지 8을 참조하여 설명된 구성과 유사할 수 있을 것이다. 여기에서, 출력 윈도우(706)를 통해서 출력되는 레이저 비임이 이동하는 방향에 대해서 평행한 방향을 따라 장착부(342)의 홈(342a)이 형성될 수 있을 것이다.
도 11b에 도시된 바와 같이, 레그 부분(741 및 742)이 출력 윈도우(706)를 통해서 출력되는 레이저 비임의 축의 연장선을 따라서 제공될 수 있을 것이다. 레그 부분(741)이, 출력 윈도우(706)가 제공되는 측부로 제공될 수 있고, 그에 따라 프레임(330)에 대해서 마스터 발진기(300)를 배치시키는 역할을 할 수 있을 것이다.
상기 구성에서, 마스터 발진기(300)가 열 변형 되는 경우에도, 레이저 비임이 출력 윈도우(706)를 통해서 이동하는 방향의 변위가 억제될 수 있을 것이다.
마스터 발진기(300)가 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464) 및 휘일들(451, 452, 453, 및 454)을 구비할 수 있을 것이다. 프레임(330)은 서로 평행하게 배치된 2개의 레일들(351, 352)을 구비할 수 있을 것이다. 이러한 구성 요소들의 구성은 도 5 내지 8을 참조하여 설명된 구성과 유사할 수 있을 것이다.
5. 제2 실시예
도 12는 본원 개시 내용의 제2 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 사시도적인 정면도이다. 제2 실시예에서, 제1 메인 증폭기(304)가 지지 부분(344, 345, 및 346)을 포함할 수 있을 것이다. 원뿔형 리세스(341a)가 지지 부분(344)의 하단부 표면 상에 형성될 수 있을 것이다. V-형상의 홈(342a)이 지지 부분(345)의 하단부 표면 상에 형성될 수 있을 것이다. 입력 윈도우(401)를 통해서 진입하는 레이저 비임이 이동하는 방향 및 출력 윈도우(402)를 통해서 출력되는 레이저 비임이 이동하는 방향에 대해서 평행한 방향으로 홈(342a)이 형성될 수 있을 것이다. 지지 부분(346)의 하단부 표면이 평면형일 수 있을 것이다.
한편, 프레임(330)이 레그 부분(장착부)(444, 445, 및 446)을 포함할 수 있을 것이고, 그러한 레그 부분 상에는 지지 부분(344, 345, 및 346)이 각각 배치될 수 있을 것이다. 레그 부분(444, 445, 및 446)이 프레임(330)의 하단부 파트의 상부 표면으로부터 상향 돌출하도록 형성될 수 있을 것이다.
이러한 방식에서, 지지 부분과 장착부 사이의 관계가 반대라는 점에서, 제2 실시예가 도 7a를 참조하여 설명된 제1 실시예와 상이할 수 있을 것이다. 다른 점들은 도 7a를 참조하여 설명된 제1 실시예의 것들과 유사할 수 있을 것이다.
6. 제3 실시예
도 13은 본원 개시 내용의 제3 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 사시도적인 정면도이다. 도 13은, 레그 부분(441, 442, 및 443)이 프레임(330)으로부터 거리를 둔 상태를 도시한다. 제3 실시예에서, 플레이트(465)가 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)(여기에서, 연장 기구들(463 및 464)은 도면에 도시되지 않았다)에 고정될 수 있고, 그리고 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)에 의해서 플레이트(465)가 휘일들(451 및 452)과 함께 하향 가압될 수 있을 것이다. 플레이트(465)가 내부에 형성된 관통-홀들을 가질 수 있고, 그러한 관통-홀들을 통해서 레그 부분(441, 442, 및 443)이 통과할 수 있을 것이다. 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)에 의해서 제1 메인 증폭기(304)와 휘일들(451, 452, 453, 및 454)(여기에서, 휘일들(453 및 454)은 도면에 도시되지 않았다) 사이의 거리가 증가될 수 있을 것이다. 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)에 고정된 플레이트(465)를 제공하는 것에 의해서, 연장 기구들의 각각이 다른 속도로 연장되는 경우에도, 제1 메인 증폭기(304)가 실질적인 수평으로 유지될 수 있을 것이다. 다른 점들은 도 7b를 참조하여 설명된 제1 실시예의 것들과 유사할 수 있을 것이다.
7. 제4 실시예
도 14는 본원 개시 내용의 제4 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 사시도이다. 제4 실시예에서, 레일들(351, 352)을 따라서 이동하기 위한 휘일들이 제공될 필요가 없다. 연장 기구들(461, 462, 463, 및 464)(여기에서, 연장 기구(464)은 도면에 도시되지 않았다)이 가이드 종동부(455, 456, 457, 및 458)(여기에서, 가이드 종동부(458)는 도면에 도시되지 않았다)을 각각 구비할 수 있을 것이다. 가이드 종동부(455, 456, 457, 및 458)이 레일들(351, 352)을 따라서 이동하도록 구성이 이루어질 수 있을 것이다. 다른 점들은 도 5를 참조하여 설명된 제1 실시예의 것들과 유사할 수 있을 것이다.
8. 제5 실시예
도 15는 본원 개시 내용의 제5 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 정면도이다. 제5 실시예에서, 레일들이 제공되지 않도록 그리고 휘일들(451, 452, 453, 및 454)(여기에서 휘일들(453 및 454)은 도면에 도시되지 않았다)이 프레임(330)의 주어진 표면을 따라서 이동할 수 있게 허용하도록, 구성이 이루어질 수 있을 것이다.
도 15에 도시된 바와 같이, 프레임(330)이 단일 가이드(359)를 구비할 수 있을 것이고, 제1 메인 증폭기(304)는 상기 가이드(359)를 따라서 이동할 수 있는 가이드 종동부(459)를 구비할 수 있을 것이다. 가이드(359)가 U-형상 단면을 가질 수 있을 것이고, 그리고 가이드 종동부(459)가 가이드(359)에 의해서 끼워지는(pinched) 상태에서 가이드(359)를 따라서 이동하도록 가이드 종동부(459)가 구성될 수 있을 것이다. 다른 점들은 도 7a를 참조하여 설명된 제1 실시예의 것들과 유사할 수 있을 것이다.
9. 제6 실시예
도 16은 본원 개시 내용의 제6 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 측면도이다. 제6 실시예에서, 프레임(330)이, 레일들 대신에, 휘일들(371, 372, 및 373)을 구비할 수 있을 것이다. 휘일들(371, 372, 및 373)은 프레임(330) 상의 미리 결정된 위치들에서 회전가능하게 구성될 수 있을 것이다. 한편, 제1 메인 증폭기(304)의 연장 기구들(461 및 463) 및 연장 기구들(462 및 464)(미도시)이 그에 고정된 레일들(471)을 각각 구비할 수 있을 것이다. 레일들(471)이 휘일들(371, 372, 및 373) 상에 배치될 수 있을 것이다. 휘일들(371, 372, 및 373)이 회전될 때 제1 메인 증폭기(304)가 레일들(471)과 함께 이동될 수 있도록 구성이 이루어질 수 있을 것이다.
또한, 캐리지(7)가 휘일들(771, 772, 및 773)을 구비할 수 있을 것이다. 이러한 것으로, 제1 메인 증폭기(304)가 프레임(330)으로부터 캐리지(7) 상으로 제거될 수 있고 그리고 희망하는 유지보수 구역으로 이송될 수 있을 것이다.
이러한 방식에서, 레일들과 휘일들 사이의 관계가 반대라는 점에서, 제6 실시예는 도 8을 참조하여 설명된 제1 실시예와 상이할 수 있을 것이다. 다른 점들은 도 8를 참조하여 설명된 제1 실시예의 것들과 유사할 수 있을 것이다.
10. 제7 실시예
도 17은 본원 개시 내용의 제7 실시예에 따른 제1 메인 증폭기의 측면도이다. 제7 실시예에서, 레일들(가이드) 및 휘일들(가이드 종동부)이 제공될 필요가 없다. 도 17에 도시된 바와 같이, 에어 서스펜션(승강 기구)(475)이 제1 메인 증폭기(304)의 하단부 표면 상에 제공될 수 있을 것이다. 스커트(476)가 에어 서스펜션(475) 주위로 제공될 수 있을 것이다. 고압 가스를 에어 서스펜션(475)으로부터 송풍하는 것은 스커트 내부의 가스 압력을 대기압보다 높게 증가시킬 수 있을 것이고, 그에 의해서 제1 메인 증폭기(304)가 상승될 수 있을 것이다. 이러한 것으로, 제1 메인 증폭기(304)가 프레임(330)으로부터 캐리지(7)로 약간의 힘으로 제거될 수 있을 것이다. 다른 점들은 도 8을 참조하여 설명된 제1 실시예의 것들과 유사할 수 있을 것이다.
11. 제8 실시예
도 18a는 본원 개시 내용의 제8 실시예에 따른 모듈을 지지하기 위한 구조물의 분해 사시도이다. 도 18b는 제8 실시예에 따른 모듈을 지지하기 위한 구조물의 사시도이다. 도 18a 및 18b에서, 모듈의 레그 부분(441, 442, 및 443)만이 도시되어 있다.
제8 실시예에서, 원뿔형 리세스들(361a, 362a, 및 363a)이 장착부(361, 362, 및 363)의 상부 표면들 상에 각각 형성될 수 있을 것이다. 여기에서, 각각의 리세스들이, 원뿔형 대신에, 반구 형상을 가질 수 있을 것이다. 장착부(361)가 핀들(361c) 또는 볼트들에 의해서 프레임(330)의 설치 부분(361b) 상에 고정될 수 있을 것이다. 이러한 것으로, 레그 부분(441)의 수평 운동이 제한되도록 모듈이 배치될 수 있을 것이다.
배치 테이블(362d)이 핀들(362c) 또는 볼트들에 의해서 프레임(330) 상에 고정될 수 있을 것이다. 장착부(362)가 배치 테이블(362d) 상에 배치될 수 있을 것이다. 단차부(362e) 및 경사부(slant)를 가지는 설치 부분(362b)이 배치 테이블(362d)의 상부 표면 상에 형성될 수 있을 것이다. 단차부(362e)에 상응하는 단차부(362f)가 장착부(362)의 하단부 표면 상에 형성될 수 있을 것이다. 단차부들(362e 및 362f)이 입방형 키이 및 상응하는 형상의 키이웨이(keyway)에 의해서 형성될 수 있을 것이다. 장착부(362)가 배치 테이블(362d) 상으로 고정될 필요가 없다.
장착부(362)가 배치 테이블(362d)의 설치 부분(362b) 상에 배치될 때, 장착부(362)가 중력에 의해서 설치 부분(362b)의 경사부를 따라서 슬라이딩될 수 있을 것이고, 그에 의해서 단차부(362f)가 단차부(362e)에 대항하여 가압될 수 있을 것이다. 설치 부분(362b)이 바람직하게 마찰 각도 보다 더 큰 각도로 틸트될(tilted) 수 있을 것이다. 단차부(362f)가 단차부(362e)에 대항하여 가압되는 상태에서, 장착부(362)가 단차부(362e)를 따라서 이동될 수 있을 것이다. 이러한 것으로, 모듈의 레그 부분(442)이 단차부(362e)를 따라서 이동하도록 허용될 수 있을 것이다.
장착부(363)가 프레임(330)의 설치 부분(363b) 상에 배치될 수 있고 그리고 설치 부분(363b) 상에 고정될 필요는 없다. 즉, 장착부(363)가 설치 부분(363b)의 표면을 따라서 이동될 수 있을 것이다. 이러한 것으로, 레그 부분(443)이 수평 평면 내에서 장착부(363)와 함께 이동될 수 있도록 지지될 수 있을 것이다.
제8 실시예에 따라서, 레그 부분(441, 442, 및 443)이 장착부(361, 362, 및 363) 내에 형성된 원뿔형 리세스들(361a, 362a, 및 363a)에 의해서 지지될 수 있을 것이고; 그에 따라 장착부(361, 362, 및 363)과 개별적인 레그 부분(441, 442, 및 443) 사이의 접촉 부분이, 점들이 아니라, 선형적일 수 있고, 그에 따라 하중(load)이 분산될 수 있을 것이다. 따라서, 장착부(361, 362, 및 363) 및 레그 부분(441, 442, 및 443)이 모듈의 큰 하중을 견딜 수 있을 것이다. 여기에서, 레그 부분(441, 442, 및 443)의 각각의 선단부가 둥글 필요는 없고, 그리고 리세스의 내측 표면과 접촉을 이루는 크기 및 형상을 가지는 임의 형상이 될 수 있을 것이다.
또한, 제8 실시예에 따라서, 장착부(362)가 상부에 배치되는 배치 테이블(362d)의 상부 표면이 경사지고, 그리고 단차부(362e)가 그 상부에 형성되며; 그에 따라 장착부(362)가 단차부(362e)에 대항하여 가압될 수 있을 것이다. 따라서, 장착부(362)가 단차부(362e)를 따라서 정밀하게 배치될 수 있을 것이다. 다른 점들은 도 8을 참조하여 설명된 제1 실시예의 것들과 유사할 수 있을 것이다.
12. 제9 실시예
도 19는 본원 개시 내용의 제9 실시예에 따른 모듈의 지지를 위한 장착부의 구성을 도시한 단면도이다. 제9 실시예에서, 제8 실시예의 장착부(362) 및 배치 테이블(362d)(도 18a 참조) 대신에, 경사부를 가지지 않는 설치 부분(382b) 상에 배치된 장착부(382)가 이용될 수 있을 것이다.
단차부(382e)가 설치 부분(382b) 상에 형성될 수 있을 것이다. 단차부(382e)에 상응하는 단차부(382f)가 장착부(382)의 하단부 표면 상에 형성될 수 있을 것이다. 단차부들(382e 및 382f)이 핀들(382c) 또는 볼트들에 의해서 상기 설치 부분(382b) 상에 고정된 키이(382g) 및 상기 키이(382g)에 상응하는 형상을 가지는 키이웨이(382h)에 의해서 형성될 수 있을 것이다.
장착부(382)가 키이웨이(382h)의 내부를 향해서 탄성 부재에 의해서 바이어스된 플런저(382i)를 구비할 수 있을 것이다. 장착부(382)가 설치 부분(382b) 상에 배치됨에 따라, 플런저(382i)가 키이(382g)에 대항하여 가압될 수 있을 것이다. 이러한 것으로, 단차부(382f)가 단차부(382e)에 대항하여 가압될 수 있을 것이다. 단차부(382f)가 단차부(382e)에 대항하여 가압되는 상태로, 장착부(382)가 단차부(382e)를 따라서(도 19의 깊이 방향) 이동될 수 있을 것이다. 이러한 것으로, 모듈의 레그 부분(442)이 단차부(382e)를 따르는 방향으로 이동될 수 있도록 지지될 수 있을 것이다. 다른 점들은 도 18a 및 18b를 참조하여 설명된 제8 실시예의 것들과 유사할 수 있을 것이다.
13. 제10 실시예
도 20a는 본원 개시 내용의 제10 실시예에 따른 모듈 지지를 위한 구조물의 분해 사시도이다. 도 20b는 제10 실시예에 따른 모듈을 지지하기 위한 구조물의 사시도이다. 도 20c는, 화살표(XXC) 방향에서 본, 도 20b에 도시된 구조물의 부분 단면도이다. 도 20a 내지 20c에서, 레이저 비임이 통과하여 이동하는 모듈 내부의 광학적 요소들 및 윈도우 또는 튜브가 도시되어 있지 않다.
제10 실시예에서, 프레임(330)이 플레이트-형상의 부분을 더 포함할 수 있을 것이다. 제3 비임 전송 유닛(323)과 같은 모듈이 프레임(330)의 플레이트-형상의 부분의 측부에 배치될 수 있을 것이다. 제3 비임 전송 유닛(323)의 길이 방향이 중력의 방향과 일치되도록 제3 비임 전송 유닛(323)이 배치될 수 있을 것이다. 제10 실시예에서, 제3 비임 전송 유닛(323)이, 도 10a 및 10b를 참조하여 설명된 바와 같이, 프레임(330)의 하단부 부분의 상부 표면에 의해서 지지되는 대신에, 프레임(330)의 측부에 의해서 지지될 수 있을 것이다.
제3 비임 전송 유닛(323)의 레그 부분(641 및 642)이 상부에 각각 배치될 수 있는 장착부(391 및 392)이 프레임(330)의 플레이트-형상의 부분의 상부 표면 상에 제공될 수 있을 것이다. 레그 부분(641)이 장착부(391) 상에 배치될 수 있을 것이고, 그에 의해서 레그 부분(641)의 수평 평면을 따른 이동이 제한되도록 레그 부분(641)이 배치될 수 있을 것이다. 레그 부분(642)이 장착부(392) 상에 배치될 수 있을 것이고, 그에 의해서 레그 부분(642)이 Y-방향으로 이동가능하도록 배치될 수 있을 것이다.
장착부(393)가 프레임(330)의 플레이트-형상의 부분의 측부 상에 형성될 수 있을 것이다. 장착부(393)가 프레임(330)의 플레이트-형상의 부분 내에 형성된 리세스일 수 있을 것이다. 제3 비임 전송 유닛(323)의 레그 부분(643)이 상기 프레임(330)의 플레이트-형상의 부분과 대향하는 제3 비임 전송 유닛(323)의 표면 상에 제공될 수 있을 것이다. 프레임(330)의 플레이트-형상의 부분의 측부 표면을 따르는 방향으로 이동될 수 있도록, 레그 부분(643)이 장착부(393)에 대항하여 가압될 수 있을 것이다. 상기 레그 부분(643)이 대항하여 가압되는 장착부(393)의 평면형 표면(393b)이 바람직하게, 도 20c에 도시된 바와 같이, 장착부(391 및 392)의 중심들을 포함하는 평면을 따른 평면 상에 형성될 수 있을 것이다.
볼트들(643a)이 제3 비임 전송 유닛(323)의 벽 내에 형성된 각각의 관통-홀들(각각 큰 지름 부분(643b) 및 작은 지름 부분(643c)을 포함한다) 내로 삽입될 수 있고 그리고 프레임(330) 내로 나사체결될(screwed) 수 있을 것이며, 그에 따라 레그 부분(643)이 장착부(393)에 대항하여 가압된다. 스프링과 같은 탄성 부재(643e)가 볼트(643a)의 헤드(643d)와 큰 지름 부분(643b)의 하단부 표면 사이에 배치될 수 있고, 그에 의해서 제3 비임 전송 유닛(323)이 장착부(393)에 대항하여 가압될 수 있을 것이다. 제3 비임 전송 유닛(323)을 장착부(393)에 대항하여 가압하기 위해서, 볼트들(643a) 대신에, 자석 등이 또한 이용될 수 있을 것이다. 갭이 볼트(643a)와 작은 지름 부분(643c) 사이에 형성될 수 있을 것이고, 그에 따라 제3 비임 전송 유닛(323)이 프레임(330)의 플레이트-형상의 부분의 측부 표면을 따라서 용이하게 이동할 수 있을 것이다.
제10 실시예에 따라서, 모듈이 모듈의 하단부 표면의 치수들과 대비하여 키가 큰 경우에도 그리고 모듈이 하단부 표면에서만 지지될 때 낙하(fall)되는 경우에도, 그 모듈이 안정적으로 지지될 수 있을 것이다. 다른 점들은 도 8을 참조하여 설명된 제1 실시예의 것들과 유사할 수 있을 것이다.
14. 제11 실시예
도 21은 본원 개시 내용의 제11 실시예에 따른 EUV 광 발생 시스템의 구성을 도시한 블록도이다. EUV 광 발생 시스템(11a)에 포함된 레이저 장치(3a)가 마스터 발진기(300a), 제1, 제2, 및 제3 예비증폭기들(301a, 302a, 및 303a), 제1 및 제2 메인 증폭기들(304 및 305), 프리-펄스 레이저 장치(306), 및 비임 경로 조정 유닛(307)을 포함할 수 있을 것이다.
도 22a는 제11 실시예에 따른 레이저 장치를 구성하는 모듈의 특정 배열을 도시한 사시도이다. 도 22b는 도 22a에서 하부 레벨에 배치된 모듈의 배열을 도시한 사시도이다. 도 22c는 도 22a의 프레임을 도시한 사시도이다.
마스터 발진기(300a) 및 제1 예비증폭기(301a)가 단일 하우징 내에 수용될 수 있을 것이다. 제11 실시예에서, 제2 및 제3 예비증폭기들(302a 및 303a)의 각각이, 제1 및 제2 메인 증폭기들(304 및 305)에서와 같이, 고속-축류형 증폭기들일 수 있을 것이다. 따라서, 제1 실시예의 제1, 제2, 제3, 및 제4 비임 조정 유닛(311, 312, 313, 및 314)을 제공할 필요가 없다.
제11 실시예에서, 제7 비임 전송 유닛(327)이 제1 및 제2 예비증폭기들(301a 및 302a) 사이에 제공될 수 있을 것이다. 제7 및 제8 비임 전송 유닛(327 및 328)이 제2 및 제3 예비증폭기들(302a 및 303a) 사이에 제공될 수 있을 것이다. 제8, 제2, 및 제3 비임 전송 유닛(328, 322, 및 323)이 제3 예비증폭기(303a)와 제1 메인 증폭기(304) 사이에 제공될 수 있을 것이다.
제11 실시예에 따라서, 레이저 장치(3a)의 크기가 감소될 수 있을 것이다. 제11 실시예의 모듈의 지지 기구들이 제1 실시예에서의 지지 기구와 유사할 수 있을 것이다.
전술한 실시예 및 그 변형예들은 본원 개시 내용의 구현을 위한 단순한 예들이고, 그리고 본원 개시 내용은 그러한 것으로 제한되지 않는다. 명세서 등에 따라서 다양한 변형예들을 만드는 것이 본원 개시 내용의 범위에 포함되고, 그리고 전술한 설명으로부터 다른 여러 가지 실시예가 본원 개시 내용의 범위 내에서 이루어질 수 있다는 것을 명확하게 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예의 각각에 대해서 설명된 변형예가 다른 실시예에 대해서도 적용될 수 있을 것이다.
본원 명세서 및 첨부된 청구항들에서 사용된 용어들은 "비-제한적"으로 해석되어야 한다. 예를 들어, "포함한다" 및 "포함된다"라는 용어들은 "기술된 요소들로 제한되지 않는다"는 것으로 해석되어야 한다. "가진다"라는 용어는 "기술된 요소들로 제한되지 않는다"로서 해석되어야 한다. 또한, "하나(one)(a/an)"라는 수식어는 "적어도 하나" 또는 "하나 이상"으로 해석되어야 한다.

Claims (17)

  1. 레이저 장치이며,
    레이저 비임을 출력하도록 구성된 발진기 및 상기 발진기를 지지하기 위한 발진기 지지 부분을 포함하는 제1 모듈과,
    레이저 비임을 전송하기 위한 비임 전송 유닛 및 상기 비임 전송 유닛을 지지하기 위한 비임 전송 유닛 지지 부분을 포함하는 제2 모듈과,
    상기 레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 증폭기 지지 부분을 포함하는 제3 모듈과,
    상기 제1, 제2, 및 제3 모듈이 그 상에 배치되는 프레임으로서, 상기 프레임은 상기 발진기 지지 부분, 상기 비임 전송 유닛 지지 부분, 및 상기 증폭기 지지 부분이 그 상에 배치되는 장착부를 포함하는, 프레임을 포함하는, 레이저 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1, 제2, 및 제3 모듈의 각각이, 상기 장착부에 대해서 상기 모듈의 각각을 승강시키기 위한 승강 기구를 더 포함하는, 레이저 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 프레임 상에 제공된 적어도 2개의 가이드와,
    제1, 제2, 및 제3 모듈의 각각을 지지하기 위한 적어도 2개의 그룹의 가이드 종동부를 더 포함하고,
    상기 가이드 종동부는, 적어도 2개의 가이드를 따라서 이동함으로써, 상기 모듈이 이동되는 것을 허용하는, 레이저 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 모듈의 각각은, 상기 모듈과 상기 적어도 2개의 그룹의 가이드 종동부 사이의 거리를 연장 또는 수축시킴으로써 상기 모듈을 승강시키기 위한 승강 기구를 더 포함하는, 레이저 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1, 제2, 및 제3 모듈이 제1 및 제2 레벨에서 배치되고, 상기 제2 레벨이 상기 제1 레벨 아래에 위치되는, 레이저 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2 레벨에 배치된 모듈의 전체 중량이 상기 제1 레벨에 배치된 모듈의 전체 중량보다 큰, 레이저 장치.
  7. 레이저 장치이며,
    레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기, 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과,
    상기 모듈이 그 상에 배치되는 프레임으로서, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부를 포함하는, 프레임을 포함하고,
    상기 모듈은 입력 비임이 제1 외부 유닛으로부터 상기 모듈로 진입하는 입력 부분 및 출력 비임이 제2 외부 유닛을 향해서 출력되는 출력 부분을 더 포함하고,
    상기 제1 지지 부분은 상기 모듈의 중심으로부터 볼 때 상기 입력 부분을 향해서 제1 위치에 제공되고,
    상기 제2 지지 부분은 상기 제1 위치로부터 볼 때 입력 비임이 상기 모듈로 진입하는 방향을 향해서 제2 위치에 제공되고,
    상기 제3 지지 부분은 제3 위치에 제공되는, 레이저 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 장착부는 상기 제1 지지 부분을 미리 결정된 위치에서 위치결정하고,
    상기 제2 장착부는, 상기 입력 비임이 상기 모듈로 진입하는 방향을 따라서 상기 제2 지지 부분이 이동할 수 있도록, 상기 제2 지지 부분을 지지하고,
    상기 제3 장착부는, 상기 제3 지지 부분이 수평 평면 내에서 이동할 수 있도록, 상기 제3 지지 부분을 지지하는, 레이저 장치.
  9. 레이저 장치이며,
    레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기, 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과,
    상기 모듈이 그 상에 배치되는 프레임으로서, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부를 포함하는, 프레임을 포함하고,
    상기 모듈은 출력 비임이 외부 유닛을 향해서 출력되는 출력 부분을 더 포함하고,
    상기 제1 지지 부분은 상기 모듈의 중심으로부터 볼 때 상기 출력 부분을 향해서 제1 위치에 제공되고,
    상기 제2 지지 부분은 상기 제1 위치로부터 볼 때 출력 비임이 상기 모듈로부터 출력되는 방향에 대향하는 제2 위치에 제공되고,
    상기 제3 지지 부분은 제3 위치에 제공되는, 레이저 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 장착부는 상기 제1 지지 부분을 미리 결정된 위치에서 위치결정하고,
    상기 제2 장착부는, 상기 출력 비임이 상기 모듈로부터 출력되는 방향으로 상기 제2 지지 부분이 이동할 수 있도록, 상기 제2 지지 부분을 지지하고,
    상기 제3 장착부는, 상기 제3 지지 부분이 수평 평면 내에서 이동할 수 있도록, 상기 제3 지지 부분을 지지하는, 레이저 장치.
  11. 레이저 장치이며,
    레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기, 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과,
    상기 모듈이 그 상에 배치되는 프레임으로서, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부를 포함하는, 프레임을 포함하고,
    상기 모듈은 입력 비임이 제1 외부 유닛으로부터 상기 모듈로 진입하는 입력 부분, 및 출력 비임이 제2 외부 유닛을 향해서 출력되는 출력 부분을 더 포함하고,
    상기 제1 지지 부분은 상기 모듈의 중심으로부터 볼 때 상기 입력 부분을 향해서 제1 위치에 제공되고,
    상기 제2 지지 부분은 상기 모듈의 중심으로부터 볼 때 출력 부분을 향해서 제2 위치에 제공되고,
    상기 제3 지지 부분은 제3 위치에 제공되는, 레이저 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1 장착부는 상기 제1 지지 부분을 미리 결정된 위치에서 위치결정하고,
    상기 제2 장착부는, 상기 출력 비임이 상기 모듈로부터 출력되는 방향으로 상기 제2 지지 부분이 이동할 수 있도록, 상기 제2 지지 부분을 지지하고,
    상기 제3 장착부는, 상기 제3 지지 부분이 수평 평면 내에서 이동할 수 있도록, 상기 제3 지지 부분을 지지하는, 레이저 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제1 장착부는 상기 제2 지지 부분을 미리 결정된 위치에서 위치결정하고,
    상기 제2 장착부는, 상기 입력 비임이 상기 모듈로 진입하는 방향으로 상기 제1 지지 부분이 이동할 수 있도록, 상기 제1 지지 부분을 지지하고,
    상기 제3 장착부는, 상기 제3 지지 부분이 수평 평면 내에서 이동할 수 있도록, 상기 제3 지지 부분을 지지하는, 레이저 장치.
  14. 레이저 장치이며,
    레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기, 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과,
    상기 모듈이 그 상에 배치되는 프레임으로서, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부, 그리고 상기 제1, 제2, 및 제3 장착부가 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 설치 부분을 포함하는, 프레임을 포함하고,
    상기 제1 장착부는 상기 제1 지지 부분을 상기 프레임의 미리 결정된 위치에서 위치결정하고,
    상기 제2 장착부는 상기 제2 설치 부분 상에 형성된 단차부를 따라 이동될 수 있도록 상기 제2 설치 부분 상에 배치되며, 상기 제2 설치 부분은 수평 평면에 대해서 경사지고, 그에 따라 상기 제2 장착부가 상기 단차부에 대항하여 가압되고, 그리고 상기 제2 지지 부분이 상기 프레임에 대해서 상기 단차부를 따라서 일 방향으로 이동될 수 있도록 상기 제2 장착부가 상기 제2 지지 부분을 지지하고 상기 제2 지지 부분을 상기 제2 장착부의 미리 결정된 위치에 위치결정하고,
    상기 제3 장착부는, 상기 제3 지지 부분이 수평 평면 내에서 상기 프레임에 대해서 이동될 수 있도록, 상기 제3 지지 부분을 지지하는, 레이저 장치.
  15. 레이저 장치이며,
    레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기, 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과,
    상기 모듈이 그 상에 배치되는 프레임으로서, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부, 그리고 상기 제1, 제2, 및 제3 장착부가 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 설치 부분을 포함하는, 프레임을 포함하고,
    상기 제1 장착부는 상기 제1 지지 부분을 상기 프레임의 미리 결정된 위치에서 위치결정하고,
    상기 제2 장착부는 상기 제2 설치 부분 상에 형성된 단차부를 따라 이동될 수 있도록 상기 제2 설치 부분 상에 배치되며, 상기 제2 설치 부분 및 상기 제2 장착부 중 하나가 탄성 부재를 구비하며, 그에 따라 상기 제2 장착부가 상기 단차부에 대항하여 가압되고, 그리고 상기 제2 지지 부분이 상기 프레임에 대해서 상기 단차부를 따라서 일 방향으로 이동될 수 있도록 상기 제2 장착부가 상기 제2 지지 부분을 지지하고 상기 제2 지지 부분을 상기 제2 장착부의 미리 결정된 위치에 위치결정하고,
    상기 제3 장착부는, 상기 제3 지지 부분이 수평 평면 내에서 상기 프레임에 대해서 이동될 수 있도록, 상기 제3 지지 부분을 지지하는, 레이저 장치.
  16. 레이저 장치이며,
    레이저 비임을 전송하기 위한 비임 전송 유닛, 및 상기 비임 전송 유닛을 지지하기 위한 제1, 제2, 및 제3 지지 부분을 포함하는 모듈과,
    상기 모듈이 그 상에 배치되는 프레임으로서, 상기 프레임은 상기 제1, 제2, 및 제3 지지 부분이 각각 그 상에 배치되는 제1, 제2, 및 제3 장착부를 포함하고,
    상기 제1 및 제2 장착부는 상기 프레임의 제1 표면 상에 제공되고,
    상기 제3 장착부는 상기 프레임의 제2 표면 상에 제공되며, 상기 제2 표면은 상기 제1 표면과 교차하고,
    상기 제1 장착부는 상기 제1 지지 부분을 미리 결정된 위치에서 위치결정하고,
    상기 제2 장착부는, 상기 제2 지지 부분이 상기 제1 장착부를 향해서 이동가능하도록, 상기 제2 지지 부분을 지지하고,
    상기 제3 장착부는, 상기 제3 지지 부분이 상기 제2 표면을 따라서 이동가능하도록, 상기 제3 지지 부분을 지지하는, 레이저 장치.
  17. 프레임이며,
    장착부를 포함하고, 상기 장착부 상에는 제1, 제2, 및 제3 모듈의 지지 부분이 각각 배치되고, 상기 제1 모듈은 레이저 비임을 출력하도록 구성된 발진기 및 상기 발진기를 지지하기 위한 발진기 지지 부분을 포함하고, 상기 제2 모듈은 레이저 비임을 전송하기 위한 비임 전송 유닛 및 상기 비임 전송 유닛을 지지하기 위한 비임 전송 유닛 지지 부분을 포함하고, 상기 제3 모듈은 상기 레이저 비임을 증폭하기 위한 증폭기 및 상기 증폭기를 지지하기 위한 증폭기 지지 부분을 포함하는, 프레임.
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