KR20140033433A - Method for peeling glass substrate, and apparatus for peeling glass substrate - Google Patents

Method for peeling glass substrate, and apparatus for peeling glass substrate Download PDF

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KR20140033433A KR1020137033600A KR20137033600A KR20140033433A KR 20140033433 A KR20140033433 A KR 20140033433A KR 1020137033600 A KR1020137033600 A KR 1020137033600A KR 20137033600 A KR20137033600 A KR 20137033600A KR 20140033433 A KR20140033433 A KR 20140033433A
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adsorption
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마코토 후쿠다
나오타케 마루야마
아츠시 기야마
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아사히 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 흡착 시트에 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지된 유리 기판을 당해 흡착 시트로부터 박리하는 박리 수단을 구비하는 유리 기판 박리 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the glass substrate peeling apparatus provided with the peeling means which peels the glass substrate hold | maintained by adsorption holding | maintenance through the liquid on an adsorption sheet from the said adsorption sheet.

Description

유리 기판의 박리 방법 및 유리 기판 박리 장치 {METHOD FOR PEELING GLASS SUBSTRATE, AND APPARATUS FOR PEELING GLASS SUBSTRATE}Glass substrate peeling method and glass substrate peeling apparatus {METHOD FOR PEELING GLASS SUBSTRATE, AND APPARATUS FOR PEELING GLASS SUBSTRATE}

본 발명은 유리 기판의 박리 방법 및 유리 기판 박리 장치에 관한 것이다.This invention relates to the peeling method of a glass substrate, and a glass substrate peeling apparatus.

유리 기판이 연마될 때, 유리 기판은, 유리 기판 보유 지지 정반에 접착된 흡착 시트에 흡착 보유 지지되어 연마 라인을 반송되는 경우가 있다. 이 경우, 연마 가공이 종료된 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하여 다음 공정, 예를 들어 세정 장치의 적재대에 이동 탑재해야 한다.When the glass substrate is polished, the glass substrate is sometimes adsorbed and held by an adsorption sheet bonded to the glass substrate holding plate and conveyed the polishing line. In this case, the glass substrate after the grinding | polishing process is complete should be peeled from an adsorption sheet, and it must move-mount to the next process, for example, the mounting table of a washing | cleaning apparatus.

종래에는 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리할 때, 예를 들어 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 유리 기판과 흡착 시트의 경계부를 향하여 압축 에어를 분출함으로써, 유리 기판의 테두리부의 적어도 일부분을 흡착 시트로부터 이격시킴과 함께, 이격된 유리 기판과 흡착 시트 사이의 간극에 물을 공급하여 흡착 시트에 대한 유리 기판의 흡착을 해제하고, 유리 기판의 흡착 시트와는 반대의 면을 복수의 흡착 패드에 의해 흡착 보유 지지하여 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리시켰다.Conventionally, when peeling a glass substrate from an adsorption sheet, as described in patent document 1, at least one part of the edge part of a glass substrate is blown off by blowing compressed air toward the boundary part of a glass substrate and an adsorption sheet. While spaced apart from the water supply, water is supplied to the gap between the spaced glass substrate and the adsorption sheet to release adsorption of the glass substrate to the adsorption sheet, and the surface opposite to the adsorption sheet of the glass substrate is formed by a plurality of adsorption pads. Adsorption holding was carried out and the glass substrate was peeled off from the adsorption sheet.

일본 특허 공개 제2007-185725호 공보Japanese Patent Publication No. 2007-185725

그러나, 종래에는 연마 종료 후, 유리 기판을 보유 지지하고 있던 보유 지지 흡착 부재로부터 유리 기판을 제거할 때, 유리 기판에 깨짐이나 흠집 등이 발생하거나, 박리하는 데 시간이 걸려 생산성이 떨어지는 등의 문제가 있었다. 특히, 종래 유리 기판을 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트에 부착할 때, 액체를 개재하지 않고 부착한 경우에는, 연마 후의 유리 기판의 흡착력이 매우 커져 박리하는 것이 곤란해지는 경우가 있었다.However, when removing a glass substrate from the holding | maintenance adsorption member which hold | maintained the glass substrate after completion | finish of grinding | polishing conventionally, problems, such as a crack, a flaw, etc. generate | occur | produce in a glass substrate, take time to peel, and fall productivity. There was. In particular, when the glass substrate is conventionally attached to the adsorption sheet of the glass substrate holding plate, in the case where the glass substrate is attached without a liquid therebetween, the adsorption force of the glass substrate after polishing becomes very large and peeling may be difficult.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 유리 기판을 그 보유 지지 부재로부터 박리할 때, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고, 안정하게 단시간에 박리할 수 있는 유리 기판의 박리 방법 및 유리 기판 박리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a situation, and when peeling a glass substrate from the holding member, the peeling method and glass substrate peeling apparatus of the glass substrate which can peel stably in a short time, without a crack and a scratch generate | occur | producing, It aims to provide.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리 기판 박리 장치는, 흡착 시트에 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지된 유리 기판을 당해 흡착 시트로부터 박리하는 박리 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the said objective, the glass substrate peeling apparatus of this invention is provided with the peeling means which peels the glass substrate hold | maintained by adsorption | suction holding | maintenance through the liquid on the adsorption sheet from the said adsorption sheet.

이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착하도록 함으로써, 연마 후에도 유리 기판의 흡착력이 그다지 커지지 않아, 용이하게 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하는 것이 가능하게 된다.Thus, by adhering a glass substrate to an adsorption sheet via a liquid, the adsorption force of a glass substrate does not become very large even after grinding | polishing, and it becomes possible to peel a glass substrate easily from an adsorption sheet.

또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 박리 수단은, 상기 흡착 시트에 상기 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지된 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트와는 반대의 면을 보유 지지하는 복수의 흡착 패드와, 상기 유리 기판에 대하여 접근 및 이격 중 하나의 동작을 행하도록, 상기 복수의 흡착 패드를 각각 독립적으로 승강 동작시키는 승강 기구와, 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리할 때에는, 상기 유리 기판의 단부를 흡착하는 상기 흡착 패드로부터, 서서히 상기 흡착 시트로부터 퇴피하는 방향으로 들어올려, 상기 유리 기판 전체를 상기 흡착 시트로부터 박리시키도록 상기 승강 기구를 제어하는 제어 수단과, 상기 복수의 흡착 패드 전체를 상기 유리 기판에 대하여 접근 또는 이격시켜, 상기 유리 기판의 면 내 방향으로 평행 이동시키는 흡착 패드 이동 수단을 구비하는 것이 바람직하다.Moreover, as one Embodiment, the said peeling means is a some adsorption pad which hold | maintains the surface opposite to the said adsorption sheet of the said glass substrate which adsorbed and held through the said liquid by the said adsorption sheet, and the said glass An elevating mechanism for independently lifting and lowering the plurality of adsorption pads so as to perform one of the approach and the separation with respect to the substrate, and the end of the glass substrate is adsorbed when the glass substrate is peeled off from the adsorption sheet. Control means for lifting the lifting mechanism from the suction pad in a direction to retract from the suction sheet gradually to release the entire glass substrate from the suction sheet; and the entirety of the plurality of suction pads to the glass substrate. Adsorption pads approaching or spaced apart to move in parallel in the in-plane direction of the glass substrate It is preferably provided with a driving means.

이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착하도록 하였기 때문에, 연마 후에도 유리 기판의 흡착력이 그다지 커지지 않아, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.Thus, since the glass substrate was made to adhere to an adsorption sheet via a liquid, the adsorption force of a glass substrate does not become large after grinding | polishing, and it can peel in a short time stably without a crack and a scratch.

또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 박리 수단은, 상기 액체를 개재시켜 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하고, 당해 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역에 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트와, 상기 흡착 시트를 적재하고, 상기 흡착 시트를 적재하는 영역에 상기 복수의 관통 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반과, 상기 복수의 구멍 내에 배치되고, 상기 흡착 시트의 관통 구멍으로부터 돌출되도록 승강 동작하는 핀과, 상기 핀을 상기 흡착 시트로부터 돌출되도록 승강 동작시키는 승강 기구와, 상기 핀을 승강 동작시켜 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리시키도록 상기 승강 기구를 제어하는 제어 수단을 구비하는 것이 바람직하다.Moreover, as one Embodiment, the said peeling means is the adsorption sheet by which the said glass substrate was adsorbed-held through the said liquid, and the some adsorption sheet in which the through-hole was formed in the area | region which adsorbs-holds the said glass substrate, and the said adsorption sheet And a glass substrate holding plate having a plurality of holes formed in the area in which the suction sheet is stacked to coincide with the opening surfaces of the plurality of through holes, and disposed in the plurality of holes, from the through holes of the suction sheet. A pin for lifting and lowering to protrude, a lifting mechanism for lifting and lowering the pin to protrude from the suction sheet, and a control means for controlling the lifting mechanism to lift and lower the pin to peel the glass substrate from the suction sheet. It is preferable to provide.

이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착함과 함께, 연마 후의 유리 기판을 비연마면으로부터 핀으로 밀어올려 박리하도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.As described above, the glass substrate is attached to the adsorption sheet via a liquid, and the polished glass substrate is pushed up from the non-abrasive surface to the pin to be peeled off. Thus, the glass substrate can be peeled stably in a short time without cracking or scratching. have.

또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되는 것이 바람직하다.Moreover, as one Embodiment, the said some glass through hole and the said some hole hold | maintain the said glass substrate so that it may face the center part of the said glass substrate from the said end in the edge part of the area | region which adsorbs and holds the said glass substrate. It is formed obliquely with respect to the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of a surface plate, and in the center part of the area | region which carries out the adsorption holding of the said glass substrate, it is formed parallel to the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of the said glass substrate holding plate. desirable.

이에 의해, 유리 기판을 흡착 시트로부터 보다 용이하게 박리할 수 있다.Thereby, a glass substrate can be peeled more easily from an adsorption sheet.

또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 박리 수단은, 상기 액체를 개재시켜 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하고, 당해 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역에 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트와, 상기 흡착 시트를 적재하고, 상기 흡착 시트를 적재하는 영역에 상기 복수의 관통 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반과, 상기 복수의 구멍 안에 에어를 공급하고, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면에 상기 에어를 분사하는 에어 공급 수단을 구비하는 것이 바람직하다.Moreover, as one Embodiment, the said peeling means is the adsorption sheet by which the said glass substrate was adsorbed-held through the said liquid, and the some adsorption sheet in which the through-hole was formed in the area | region which adsorbs-holds the said glass substrate, and the said adsorption sheet And a glass substrate holding plate having a plurality of holes formed in a region in which the adsorption sheet is stacked so as to coincide with the opening surfaces of the plurality of through holes, and supplying air into the plurality of holes, It is preferable to provide the air supply means which injects the said air into the surface hold | maintained by adsorption | suction adsorption sheet.

이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착함과 함께, 연마 후의 유리 기판을 비연마면으로부터 에어로 밀어올려 박리하도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.As described above, the glass substrate is attached to the adsorption sheet via a liquid, and the polished glass substrate is pushed up by air from the non-abrasive surface to be peeled off. Thus, the glass substrate can be peeled stably in a short time without cracking or scratching. .

또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되는 것이 바람직하다.Moreover, as one Embodiment, the said some glass through hole and the said some hole hold | maintain the said glass substrate so that it may face the center part of the said glass substrate from the said end in the edge part of the area | region which adsorbs and holds the said glass substrate. It is formed obliquely with respect to the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of a surface plate, and in the center part of the area | region which carries out the adsorption holding of the said glass substrate, it is formed parallel to the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of the said glass substrate holding plate. desirable.

이에 의해, 유리 기판을 흡착 시트로부터 보다 용이하게 박리할 수 있다.Thereby, a glass substrate can be peeled more easily from an adsorption sheet.

또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 박리 수단은, 상기 흡착 시트의 상면에 연마한 유리 기판을 상기 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 유리 기판 보유 지지 정반과, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전하는 수단을 구비하며, 연마 후의 유리 기판을 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전하여, 중력 방향 상방에 상기 흡착 시트, 하방에 상기 유리 기판이 위치하도록 하여, 상기 유리 기판이 자중에 의해 상기 흡착 시트로부터 박리되도록 한 것이 바람직하다.Moreover, as one embodiment, the said peeling means reverses the upper and lower sides of the glass substrate holding surface plate which adsorbs and holds the glass substrate polished on the upper surface of the said adsorption sheet via the said liquid, and the said glass substrate holding surface plate. A means for inverting is provided, and the glass substrate after polishing is inverted upside down of the glass substrate holding plate, so that the adsorption sheet and the glass substrate are positioned below the gravity direction, so that the glass substrate is caused by its own weight. It is preferable to make it peel from the said adsorption sheet.

이와 같이, 상하를 역회전하여 유리 기판의 자중에 의해 박리되도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 박리할 수 있다.In this way, the top and bottom are reversely rotated to be peeled off by the weight of the glass substrate, so that cracking and scratching do not occur, and the peeling can be stably performed.

또한, 마찬가지로 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리 기판의 박리 방법은, 유리 기판을 흡착 시트에 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하여 연마한 유리 기판의 상기 흡착 시트와는 반대의 면을 복수의 흡착 패드로 흡착하는 공정과, 상기 복수의 흡착 패드 중 상기 유리 기판의 단부를 흡착하는 상기 흡착 패드로부터, 서서히 상기 흡착 시트로부터 퇴피하는 방향으로 들어올려, 상기 유리 기판 전체를 상기 흡착 시트로부터 박리시켜 가는 공정과, 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 이격시키고, 상기 유리 기판의 면 내 방향으로 평행 이동시켜, 상기 유리 기판을 다음 작업 공정으로 이동 탑재하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.Moreover, in order to achieve the said object similarly, in the peeling method of the glass substrate of this invention, the surface opposite to the said adsorption sheet of the glass substrate which carried out the adsorption holding and polishing of the glass substrate through the liquid on the adsorption sheet, The step of adsorbing with the adsorption pad and the adsorption pad for adsorbing the end of the glass substrate among the plurality of adsorption pads are gradually lifted in the direction to retract from the adsorption sheet, and the entire glass substrate is separated from the adsorption sheet. And a step of separating the thin substrate from the adsorption sheet, moving the glass substrate in the in-plane direction of the glass substrate, and moving the glass substrate to the next working step.

이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착하도록 하였기 때문에, 연마 후에도 유리 기판의 흡착력이 그다지 커지지 않아, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.Thus, since the glass substrate was made to adhere to an adsorption sheet via a liquid, the adsorption force of a glass substrate does not become large after grinding | polishing, and it can peel in a short time stably without a crack and a scratch.

또한, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리 기판의 박리 방법은, 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된, 상기 복수의 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과, 상기 복수의 구멍 내에 배치되고, 상기 흡착 시트의 관통 구멍으로부터 돌출되도록 승강 동작하는 핀을 승강 동작시켜, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면을 상기 핀으로 밀어올려 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.Moreover, in order to achieve the said objective, in the peeling method of the glass substrate of this invention, the some through-hole was formed so that it may correspond with the opening surface of the said some hole, and was mounted on the glass substrate holding plate with a some hole. Adsorption holding of the polished glass substrate via a liquid via a liquid, and a pin disposed in the plurality of holes and lifting and lowering so as to protrude from the through hole of the adsorption sheet, by elevating operation of the glass substrate. And removing the glass substrate from the adsorption sheet by pushing the surface held by the adsorption sheet onto the fin with the fin.

이에 의해, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착함과 함께, 연마 후의 유리 기판을 비연마면으로부터 핀으로 밀어올려 박리하도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.As a result, the glass substrate is attached to the adsorption sheet via a liquid, and the polished glass substrate is pushed off from the non-polishing surface with a pin so that the glass substrate can be peeled off stably in a short time without cracking or scratching. have.

또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 핀을 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 상기 유리 기판의 중앙부를 향하여 비스듬하게 상승시키고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 핀을 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 바로 위로 상승시키는 것이 바람직하다.Moreover, as one Embodiment, the said some glass through hole and the said some hole hold | maintain the said glass substrate so that it may face the center part of the said glass substrate from the said end in the edge part of the area | region which adsorbs and holds the said glass substrate. It is formed obliquely with respect to the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of a surface plate, At the center part of the area | region which adsorbs and holds the said glass substrate, it is formed in parallel with the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of the said glass substrate holding plate, At the end of the region holding the glass substrate by suction, the pin is raised obliquely along the through hole and the hole toward the center of the glass substrate, and in the center portion of the region holding the glass substrate by suction. Raise the pin directly above the through hole and along the hole. It is desirable.

이에 의해, 유리 기판을 흡착 시트로부터 보다 용이하게 박리할 수 있다.Thereby, a glass substrate can be peeled more easily from an adsorption sheet.

또한, 마찬가지로 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리 기판의 박리 방법은, 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된, 상기 복수의 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과, 상기 복수의 구멍을 통하여, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면에 에어를 분사하여 상기 유리 기판을 밀어올려, 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.In addition, similarly, in order to achieve the above object, in the peeling method of the glass substrate of the present invention, a plurality of through holes are formed so as to coincide with the opening surfaces of the plurality of holes, which are stacked on a glass substrate holding plate with a plurality of holes. Adsorption holding of the polished glass substrate via a liquid through the formed adsorption sheet, and air is injected onto the surface of the glass substrate adsorbed and held by the adsorption sheet through the plurality of holes, thereby adsorbing the glass substrate. It is characterized by including the step of pushing up and peeling the glass substrate from the adsorption sheet.

이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착함과 함께, 연마 후의 유리 기판을 비연마면으로부터 에어로 밀어올려 박리하도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.As described above, the glass substrate is attached to the adsorption sheet via a liquid, and the polished glass substrate is pushed up by air from the non-abrasive surface to be peeled off. Thus, the glass substrate can be peeled stably in a short time without cracking or scratching. .

또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 에어를 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 상기 유리 기판의 중앙부를 향하여 비스듬하게 분사하고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 에어를 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 바로 위로 분사하는 것이 바람직하다.Moreover, as one Embodiment, the said some glass through hole and the said some hole hold | maintain the said glass substrate so that it may face the center part of the said glass substrate from the said end in the edge part of the area | region which adsorbs and holds the said glass substrate. It is formed obliquely with respect to the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of a surface plate, At the center part of the area | region which adsorbs and holds the said glass substrate, it is formed in parallel with the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of the said glass substrate holding plate, At the end of the region that adsorbs and holds the glass substrate, the air is blown obliquely toward the center of the glass substrate along the through hole and the hole, and in the center of the region that adsorbs and holds the glass substrate. Spraying the air directly along the through hole and the hole; It is desirable.

이에 의해, 유리 기판을 흡착 시트로부터 보다 용이하게 박리할 수 있다.Thereby, a glass substrate can be peeled more easily from an adsorption sheet.

또한, 마찬가지로 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리 기판의 박리 방법은, 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된 흡착 시트의 상면에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전함으로써, 상기 흡착 시트 및 상기 유리 기판의 상하를 반대로 반전하는 공정을 구비하며, 상기 유리 기판과 상기 흡착 시트의 상하를 반대로 반전하여, 중력 방향 상방에 상기 흡착 시트, 하방에 상기 유리 기판이 위치하도록 하여, 상기 유리 기판이 자중에 의해 상기 흡착 시트로부터 박리되도록 한 것을 특징으로 한다.Moreover, in order to achieve the said objective similarly, the peeling method of the glass substrate of this invention is the process of carrying out adsorption holding of the polished glass substrate via a liquid on the upper surface of the adsorption sheet mounted on the glass substrate holding plate, and And inverting the upper and lower sides of the glass substrate holding plate by inverting, thereby inverting the upper and lower sides of the adsorption sheet and the glass substrate, and inverting the upper and lower sides of the glass substrate and the adsorption sheet and upwards in the gravity direction. The glass substrate is positioned below the adsorption sheet, so that the glass substrate is separated from the adsorption sheet by its own weight.

이와 같이, 상하를 역회전하여 유리 기판의 자중에 의해 박리되도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 박리할 수 있다.In this way, the top and bottom are reversely rotated to be peeled off by the weight of the glass substrate, so that cracking and scratching do not occur, and the peeling can be stably performed.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착하였기 때문에, 연마 후에도 유리 기판의 흡착력이 그다지 커지지 않아, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다. 또한, 유리 기판의 비연마면측으로부터 핀으로 밀어올리거나, 유리 기판의 비연마면에 에어를 분사함으로써, 유리 기판의 박리가 한층 더 촉진되어 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.As described above, according to the present invention, since the glass substrate is attached to the adsorption sheet via a liquid, the adsorption force of the glass substrate does not become very large even after polishing, and it can be peeled off stably in a short time without cracking or scratching. . Moreover, peeling of a glass substrate is further accelerated | stimulated by pushing up to a fin from the non-abrasive surface side of a glass substrate, or spraying air to a non-abrasive surface of a glass substrate, and can be peeled stably in a short time.

도 1은 본 발명에 관한 유리 기판 박리 장치의 제1 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 사시도이다.
도 2는 유리 기판 박리 장치가 흡착 시트로부터 유리 기판을 박리하는 모습을 도시하는 단면도이다.
도 3은 낱장식 연마 장치의 일례를 도시하는 사시도이다.
도 4는 낱장식 연마 장치의 다른 예를 도시하는 사시도이다.
도 5는 도 3의 연마 장치에 의해 연마한 후의 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하는 모습을 도시하는 설명도이다.
도 6은 제2 실시 형태에 관한 유리 기판 박리 장치의 주요부의 단면도이다.
도 7은 제2 실시 형태의 작용을 도시하는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시 형태를 도시하는 단면도이다.
도 9는 제3 실시 형태의 작용을 도시하는 단면도이다.
도 10은 제4 실시 형태에 관한 유리 기판 박리 장치의 주요부의 단면도이다.
도 11은 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하는 모습을 도시하는 설명도이다.
도 12는 제4 실시 형태에 제1 실시 형태를 병용한 모습을 도시하는 단면도이다.
도 13은 본 발명의 제5 실시 형태를 도시하는 단면도이다.
도 14는 제5 실시 형태의 작용을 도시하는 단면도이다.
도 15는 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 평행하게 핀을 상승시키는 경우의 문제점을 도시하는 단면도이다.
도 16은 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬한 방향으로 핀을 상승시키는 모습을 도시하는 단면도이다.1: is a perspective view which shows schematic structure of 1st Embodiment of the glass substrate peeling apparatus which concerns on this invention.
It is sectional drawing which shows a mode that a glass substrate peeling apparatus peels a glass substrate from an adsorption sheet.
3 is a perspective view illustrating an example of a sheet polishing apparatus.
4 is a perspective view showing another example of the sheet polishing apparatus.
FIG. 5: is explanatory drawing which shows the mode which peels the glass substrate after grinding | polishing by the polishing apparatus of FIG. 3 from an adsorption sheet.
It is sectional drawing of the principal part of the glass substrate peeling apparatus which concerns on 2nd Embodiment.
7 is a cross-sectional view showing the operation of the second embodiment.
8 is a cross-sectional view showing the third embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view showing the operation of the third embodiment.
It is sectional drawing of the principal part of the glass substrate peeling apparatus which concerns on 4th Embodiment.
It is explanatory drawing which shows the mode which peels a glass substrate from an adsorption sheet.
It is sectional drawing which shows the mode which combined 1st Embodiment with 4th Embodiment.
It is sectional drawing which shows 5th Embodiment of this invention.
14 is a cross-sectional view showing the operation of the fifth embodiment.
It is sectional drawing which shows the problem at the time of raising a pin parallel with respect to the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of a glass substrate holding plate.
It is sectional drawing which shows the state which raises a pin in an oblique direction with respect to the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of a glass substrate holding surface plate.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명에 관한 유리 기판의 박리 방법 및 유리 기판 박리 장치에 대하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, with reference to an accompanying drawing, the peeling method of the glass substrate and glass substrate peeling apparatus which concern on this invention are demonstrated in detail.

도 1은 본 발명에 관한 유리 기판 박리 장치의 제1 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 사시도이다.1: is a perspective view which shows schematic structure of 1st Embodiment of the glass substrate peeling apparatus which concerns on this invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 유리 기판 박리 장치(10)는, 유리 기판 보유 지지 정반(12) 상의 흡착 시트(예를 들어, 다공질 우레탄 시트)(14) 상에 흡착 보유 지지된 상태로 연속식 연마 장치에 의해 연마되어 화살표(X)의 방향으로 반송되어 온, 연마 종료된 유리 기판(G)을 유리 기판 보유 지지 정반(12) 상의 흡착 시트(14)로부터 박리하여 다음 공정의 장치, 예를 들어 세정 장치의 적재대에 이동 탑재하기 위한 장치이다.As shown in FIG. 1, the glass substrate peeling apparatus 10 of this embodiment is adsorbed-held on the adsorption sheet (for example, porous urethane sheet) 14 on the glass substrate holding base 12. As shown in FIG. The polished glass substrate G, which has been polished by the continuous polishing apparatus in the state and conveyed in the direction of the arrow X, is peeled from the adsorption sheet 14 on the glass substrate holding plate 12 to be subjected to the next step. Apparatus, for example, a device for moving on a mounting table of a cleaning device.

또한, 본 실시 형태를 포함하는 모든 실시 형태에 있어서, 유리 기판(G)의 흡착 시트에 흡착 보유 지지되어 있는 측의 면을 비연마면이라고도 한다.In addition, in all embodiment containing this embodiment, the surface of the side adsorbed-held by the adsorption | suction sheet | seat of glass substrate G is also called non-grinding surface.

본 실시 형태의 유리 기판 박리 장치(10)가 대상으로 하는 것은, 액정 디스플레이용 등에 사용되는 FPD(Flat Panel Display)용 유리 기판이며, 두께 약 0.1 내지 1.1mm의 박판이고, 그 크기는 예를 들어 730mm×920mm이지만, 이것에 한정되는 것이 아니며, 이보다 큰 크기의 것이어도 된다.The object of the glass substrate peeling apparatus 10 of this embodiment is a glass substrate for flat panel displays (FPD) used for liquid crystal displays, etc., It is a thin plate of about 0.1-1.1 mm in thickness, The magnitude | size, for example Although it is 730 mm x 920 mm, it is not limited to this, A thing of larger size may be sufficient.

유리 기판 박리 장치(10)는, 유리 기판 보유 지지 정반(12) 상의 흡착 시트(14)로부터 유리 기판(G)을 박리하여 다음 공정으로 이동 탑재하기 위한 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)(박리 수단)를 구비하고 있다. 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)는, 유리 기판(G)을 흡착하는 다수의 흡착 패드(20)를 갖는 지지판(22) 및 지지판(22)을 유리 기판에 대하여 접근 및 이격시킴(승강시킴)과 함께 다음 공정으로 이동시키기 위한 가이드(흡착 패드 이동 수단)(24)를 구비하고 있다.The glass substrate peeling apparatus 10 peels the glass substrate G from the adsorption sheet 14 on the glass substrate holding surface plate 12, and moves to the next process, The glass substrate peeling movement mounting apparatus 18 (peeling) Means). The glass substrate peeling movement mounting apparatus 18 approaches and spaces (lifts) the support plate 22 and the support plate 22 having a plurality of adsorption pads 20 that adsorb the glass substrate G with respect to the glass substrate. And a guide (adsorption pad moving means) 24 for moving to the next step.

도 1에 도시하는 지지판(22)에는 12개의 흡착 패드(20)가 설치되어 있지만, 지지판(22)에 설치되는 흡착 패드(20)의 개수는 이것에 한정되는 것은 아니다.Although 12 suction pads 20 are provided in the support plate 22 shown in FIG. 1, the number of the suction pads 20 provided in the support plate 22 is not limited to this.

흡착 패드(20)는, 독립의 에어 실린더(26)에 의해 각각이 독립적으로 승강 이동 가능하게 되어 있다. 각 에어 실린더(26)는, 도시하지 않은 제어 수단에 의해 그 승강 동작이 제어된다. 흡착 패드(20)의 하강 동작에 의해 흡착 패드(20)가 유리 기판(G)의 연마면에 가압 접촉되어 흡착 패드(20)에 유리 기판(G)이 흡착되고, 흡착 패드(20)의 상승 동작에 의해 유리 기판(G)이 흡착 시트(14)로부터 박리된다.The suction pads 20 are each capable of raising and lowering independently by an independent air cylinder 26. The lifting operation of each air cylinder 26 is controlled by control means (not shown). Due to the lowering operation of the suction pad 20, the suction pad 20 is brought into pressure contact with the polishing surface of the glass substrate G to adsorb the glass substrate G onto the suction pad 20, thereby raising the suction pad 20. By the operation, the glass substrate G is peeled off from the adsorption sheet 14.

본 실시 형태의 유리 기판 박리 장치(10)가 흡착 시트(14)로부터 유리 기판(G)을 박리하는 방법을, 도 2를 사용하여 설명한다.The method by which the glass substrate peeling apparatus 10 of this embodiment peels glass substrate G from the adsorption sheet 14 is demonstrated using FIG.

유리 기판(G)을 연속식 연마 장치(도시 생략)로 연마하기에 앞서, 유리 기판 보유 지지 정반(12) 상의 흡착 시트(14)에 유리 기판(G)을 부착할 때, 유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 액체를 개재시킨다. 이 액체로서는 통상 물이 사용되지만, 물 이외의 액체이어도 된다.Prior to polishing the glass substrate G with a continuous polishing apparatus (not shown), when attaching the glass substrate G to the adsorption sheet 14 on the glass substrate holding plate 12, the glass substrate G And a liquid are interposed between the adsorption sheet 14. Water is usually used as this liquid, but a liquid other than water may be used.

물 이외의 액체로서 다가 알코올을 들 수 있다. 다가 알코올이면, 유리 기판(G)을 흡착 시트(14)로부터 용이하게 박리할 수 있을 뿐만 아니라, 물보다 건조되기 어려워진다. 다가 알코올의 종류는 특별히 한정되지 않으며, 구체적으로는 글리세린, 폴리에틸렌글리콜, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디에틸렌글리콜 등이 예시된다. 또한, 2종 이상의 다가 알코올을 포함해도 되고, 다가 알코올과 물을 혼합시켜 다가 알코올 수용액으로 하여도 된다.Polyhydric alcohol is mentioned as liquid other than water. If it is a polyhydric alcohol, not only glass substrate G can be peeled easily from the adsorption sheet 14, but it will become more difficult to dry than water. The kind of polyhydric alcohol is not specifically limited, Specifically, glycerol, polyethylene glycol, ethylene glycol, propylene glycol, diethylene glycol, etc. are illustrated. Moreover, 2 or more types of polyhydric alcohol may be included, and polyhydric alcohol and water may be mixed and it may be set as aqueous polyhydric alcohol.

종래에는 물 등의 액체를 개재시키지 않고 유리 기판(G)을 직접 흡착 시트(14)에 부착하였으므로, 부착 초기는 흡착력은 그다지 강하지 않지만, 유리 기판(G)의 연마시에 있어서의 연마 패드로부터의 가압에 의해, 연마 후에는 그 흡착력이 매우 커져 있으므로, 연마 후에 유리 기판(G)을 흡착 시트(14)로부터 박리하는 것이 곤란하였다. 따라서, 유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 액체를 개재시켜 부착 초기의 흡착력을 높임과 함께, 연마 후의 흡착력을 그다지 강하게 하지 않아, 연마 후의 유리 기판(G)의 흡착 시트(14)로부터의 박리를 용이하게 행할 수 있다.Conventionally, since the glass substrate G was directly attached to the adsorption sheet 14 without interposing a liquid such as water, the adsorption force was not very strong at the initial stage of attachment, but from the polishing pad at the time of polishing the glass substrate G, By the pressurization, since the adsorption force became very large after polishing, it was difficult to peel the glass substrate G from the adsorption sheet 14 after polishing. Therefore, the adsorption sheet 14 of the glass substrate G after grinding | polishing is not carried out so that the adsorption force of an initial stage of adhesion | attachment may be made high through the liquid between glass substrate G and the adsorption sheet 14, and the adsorption force after grinding | polishing is not so strong. Peeling from can be performed easily.

유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 개재시키는 액체의 양은 0.01㎕/cm2 내지 0.001㎖/cm2가 바람직하다. 액체의 양이 0.001㎖/cm2를 초과하면 유리 기판(G)이 어긋나 버려, 연마 중에 유리 기판(G)이 파손될 우려가 있다. 또한, 반대로 액체의 양이 0.01㎕/cm2 미만이면 액체를 도포하지 않은 경우와 동일하여 초기의 흡착력이 떨어져 버리기 때문에, 연마 중에 유리 기판(G)이 파손될 우려가 있다. 따라서, 적당한 양의 액체가 흡착 시트(14) 표면에 도포된다.The amount of liquid interposed between the glass substrate G and the adsorption sheet 14 is 0.01 μl / cm 2 To 0.001 ml / cm 2 is preferred. When the amount of the liquid exceeds 0.001 ml / cm 2 , the glass substrate G is displaced, and the glass substrate G may be damaged during polishing. On the other hand, the amount of liquid is 0.01 μl / cm 2 If it is less than the same as in the case where no liquid is applied, the initial adsorption force is dropped, so that the glass substrate G may be damaged during polishing. Thus, an appropriate amount of liquid is applied to the surface of the adsorption sheet 14.

유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 액체를 개재시키는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 유리 기판(G) 및 흡착 시트 중, 한쪽 부재의 다른 쪽 부재와 접하는 면(도포면)에 액체를 도포할 때, 도포면을 향하여 노즐로 액체를 분무하여도 되고, 액체를 흡수한 롤러를 도포면에 접촉시켜 액체를 도포하여도 되며, 적당한 도포 수단을 이용할 수 있다. 유리 기판(G) 및 흡착 시트 중 어느 한쪽에 액체를 도포한 후, 흡착 시트(14) 상에 유리 기판(G)이 적재된다.The method of interposing a liquid between the glass substrate G and the adsorption sheet 14 is not specifically limited. For example, when apply | coating liquid to the surface (coating surface) which contact | connects the other member of one member among glass substrate G and the adsorption sheet, you may spray liquid with a nozzle toward an application surface, and the roller which absorbed the liquid May be applied to a coating surface to apply a liquid, and suitable coating means may be used. After apply | coating a liquid to either of the glass substrate G and the adsorption sheet, the glass substrate G is mounted on the adsorption sheet 14.

이렇게 유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 액체를 개재시키면, 초기의 흡착력도 어느 정도 강하고, 또한 연마 후의 흡착력도 액체를 도포하지 않는 경우와 같이 커지는 일이 없이 박리하기 쉽게 되어 있다.Thus, when a liquid is interposed between the glass substrate G and the adsorption sheet 14, the initial adsorption force is also strong to some extent, and the adsorption force after polishing is also easy to peel off without becoming large as in the case where no liquid is applied.

유리 기판 보유 지지 정반(12) 상의 흡착 시트(14) 상에 적재되어, 흡착 보유 지지된 유리 기판(G)은 연속식 연마 장치(도시 생략)로 연마된 후, 유리 기판 박리 장치(10)의 소정 위치까지 반송된다.The glass substrate G loaded on the adsorption sheet 14 on the glass substrate holding plate 12 and adsorbed and held is polished by a continuous polishing apparatus (not shown), and then the glass substrate peeling apparatus 10 It is conveyed to a predetermined position.

유리 기판(G)이 유리 기판 박리 장치(10)의 소정 위치까지 반송되면, 가이드(24)에 의해 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)의 지지판(22)이 유리 기판(G) 위까지 이동하고, 소정의 높이까지 강하한다.When the glass substrate G is conveyed to the predetermined position of the glass substrate peeling apparatus 10, the support plate 22 of the glass substrate peeling movement mounting apparatus 18 is moved to the glass substrate G by the guide 24, , Descends to a predetermined height.

그러면, 도시하지 않은 제어 수단에 의해 동작하는 각 에어 실린더(26)의 작용에 의해 흡착 패드(20)가 유리 기판(G)을 향하여 하강하여 유리 기판(G)의 연마면에 접촉한다. 이어서, 제어 수단에 의해, 유리 기판(G)의 단부에 위치하는 흡착 패드(20)를 유리 기판(G)으로부터 이격하도록 상승시켜, 도 2에 화살표(Y)로 나타낸 바와 같이 유리 기판(G)을 단부로부터 박리해 간다.Then, by the action of each air cylinder 26 operated by the control means which is not shown in figure, the adsorption pad 20 descends toward glass substrate G, and contacts the polishing surface of glass substrate G. As shown in FIG. Next, by the control means, the suction pad 20 located at the end of the glass substrate G is raised to be spaced apart from the glass substrate G, and as shown by the arrow Y in FIG. 2, the glass substrate G is shown. Is peeled off from the end.

또한, 여기에서는 흡착 패드(20)가 유리 기판(G)을 향하여 하강하였지만, 반대로 유리 기판(G)의 쪽이 흡착 패드(20)를 향하여 이동하여 유리 기판(G)이 흡착 패드(20)에 접촉하여도 된다.In addition, although the adsorption pad 20 descended toward the glass substrate G here, the glass substrate G moved to the adsorption pad 20 on the contrary, and the glass substrate G is moved to the adsorption pad 20 here. You may contact.

이때, 유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 액체를 개재시키고 있기 때문에, 유리 기판(G)과 흡착 시트(14)의 흡착력은 그다지 강하지 않아, 유리 기판(G)의 단부를 흡착 시트(14)로부터 용이하게 박리할 수 있다.At this time, since the liquid is interposed between the glass substrate G and the adsorption sheet 14, the adsorption force of the glass substrate G and the adsorption sheet 14 is not so strong, and the edge part of the glass substrate G is carried out by the adsorption sheet. It can peel easily from (14).

그리고, 유리 기판(G)의 단부를 흡착 시트(14)로부터 완전히 박리하면, 중앙부의 흡착 패드(20)를, 단부의 흡착 패드와 마찬가지로 유리 기판(G)으로부터 이격하도록 상승시켜 유리 기판(G) 전체를 흡착 시트(14)로부터 박리한다.And when the edge part of glass substrate G is completely peeled from the adsorption sheet 14, the adsorption pad 20 of a center part will be raised so that it may be spaced apart from the glass substrate G similarly to the adsorption pad of an edge part, and the glass substrate G may be The whole is peeled from the adsorption sheet 14.

유리 기판(G) 전체를 흡착 시트(14)로부터 박리하면, 가이드(24)에 의해 지지판(22)을 또한 유리 기판(G)으로부터 이격하도록 상승시켜, 흡착 패드(20)로 유리 기판(G)을 보유 지지한 채로 다음 공정의 장치로 이동 탑재된다.When the whole glass substrate G is peeled off from the adsorption sheet 14, the support plate 22 is raised so that it may be spaced apart from the glass substrate G further by the guide 24, and the glass substrate G is carried out by the adsorption pad 20. FIG. It is moved and mounted to the apparatus of the next process, holding it.

이와 같이, 복수의 흡착 패드를 구비한 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)는, 도시하지 않은 제어 수단에 의해 유리 기판(G)에 대하여 접근 또는 이격됨과 함께 유리 기판(G)의 면 내 방향에 있어서 평행 이동되고, 유리 기판(G)을 흡착 시트(14)로부터 박리하여 다음 공정으로 반송한다.Thus, the glass substrate peeling movement mounting apparatus 18 provided with the some adsorption pad is approached or spaced apart from the glass substrate G by the control means which is not shown in figure, and is in the in-plane direction of the glass substrate G. It moves in parallel, peels glass substrate G from the adsorption sheet 14, and conveys it to the next process.

또한, 이상 설명한 것은, 연속식 연마 장치로 연마한 유리 기판을 연속식 연마 장치로부터 반송한 후, 유리 기판 박리 장치(10)로 유리 기판(G)을 흡착 시트(14)로부터 박리한 것이지만, 연마 장치는 연속식의 것에 한정되는 것은 아니다.In addition, although what demonstrated above is what peeled glass substrate G from the adsorption sheet 14 with the glass substrate peeling apparatus 10, after conveying the glass substrate polished with the continuous polishing apparatus from the continuous polishing apparatus, polishing is carried out. The apparatus is not limited to the continuous one.

도 3에 유리 기판(G)을 1매씩 연마하는 방식인 배치식(낱장식) 연마 장치의 일례를 도시한다.3 shows an example of a batch (single) polishing apparatus which is a method of polishing the glass substrate G one by one.

도 3에 도시하는 낱장식 연마 장치(30)는, 유리 기판(G)을 1매씩 연마하는 장치의 일례이다. 낱장식 연마 장치(30)는, 유리 기판(G)을 흡착 보유 지지하는 흡착 시트(34)를 구비한 유리 기판 보유 지지 정반(32)과, 유리 기판 보유 지지 정반(32)의 상방에 배치된 연마 정반(35)과 그 하면에 설치된 연마 패드(36) 및 연마 정반(35)을 승강 및 요동시키는 요동 기구(38)와, 도시하지 않은 유리 기판 보유 지지 정반(32)을 회전시키는 회전 기구를 갖고 있다.The sheet polishing apparatus 30 shown in FIG. 3 is an example of an apparatus for polishing the glass substrate G one by one. The sheet polishing apparatus 30 is disposed above the glass substrate holding plate 32 provided with the adsorption sheet 34 for holding and holding the glass substrate G, and the glass substrate holding plate 32. A rocking mechanism 38 for lifting and swinging the polishing plate 36, the polishing pad 36 and the polishing plate 35 provided on the lower surface thereof, and a rotating mechanism for rotating the glass substrate holding plate 32 (not shown). Have

유리 기판(G)을 연마할 때에는, 유리 기판 보유 지지 정반(32) 상의 흡착 시트(34)의 유리 기판(G)의 흡착면, 또는 유리 기판(G)의 비연마면에 소정량의 액체를 도포하여, 흡착 시트(34)에 유리 기판(G)을 부착한다. 그리고, 유리 기판 보유 지지 정반(32)을 회전시키고, 연마 정반(35)을 강하시켜, 연마 패드(36)를 유리 기판(G)의 연마면에 가압하고, 유리 기판 보유 지지 정반(32)을 회전시키면서 연마 패드(36)를 요동시켜 유리 기판(G)의 연마를 행한다.When polishing the glass substrate G, a predetermined amount of liquid is applied to the adsorption surface of the glass substrate G of the adsorption sheet 34 on the glass substrate holding surface plate 32 or the non-polishing surface of the glass substrate G. It apply | coats and attaches the glass substrate G to the adsorption sheet 34. FIG. Then, the glass substrate holding plate 32 is rotated, the polishing plate 35 is lowered, the polishing pad 36 is pressed against the polishing surface of the glass substrate G, and the glass substrate holding plate 32 is pressed. The polishing pad 36 is rocked while rotating, and the glass substrate G is polished.

또한, 요동을 행하는 경우, 연마 패드(36)를 요동시키지 않고, 유리 기판 보유 지지 정반(32)을 연마 패드(36)에 대하여 요동시켜도 되고, 유리 기판 보유 지지 정반(32) 및 연마 패드(36)의 양쪽을 요동시켜도 된다.In addition, when rocking, the glass substrate holding surface plate 32 may be rocked with respect to the polishing pad 36 without rocking the polishing pad 36, and the glass substrate holding surface plate 32 and the polishing pad 36 may be rocked. You may rock both sides.

도 4에 다른 낱장식 연마 장치의 예를 도시한다.4 shows an example of another sheet polishing apparatus.

도 4에 도시하는 낱장식 연마 장치(70)는 1매의 유리 기판(G)을 연마하는 장치이다.The sheet polishing device 70 shown in FIG. 4 is a device for polishing one glass substrate G. As shown in FIG.

이 낱장식 연마 장치(70)는, 원기둥 형상의 연마 정반(72) 상에 원형의 연마 패드(74)가, 연마 패드(74)의 중심을 회전 중심으로 하여 회전 가능하게 배치되어 있고, 연마 패드(74)는, 연마 정반(72)에 설치된, 도시하지 않은 모터에 의해 도면 중 화살표(A) 방향으로 회전된다. 연마 패드(74)는 유리 기판(G)의 크기보다 크게 구성되어 있다.In the sheet polishing apparatus 70, a circular polishing pad 74 is rotatably disposed on a cylindrical polishing plate 72 with the center of rotation of the polishing pad 74 as a rotation center. The 74 is rotated in the direction of an arrow A in the figure by the motor (not shown) provided in the polishing platen 72. The polishing pad 74 is configured to be larger than the size of the glass substrate G.

또한, 연마 정반(72)에는 힌지(76)를 개재하여 원반 형상의 유리 기판 보유 지지 정반(78)이, 연마 패드(74)에 대하여 기복 가능하게 구성됨과 함께, 도시하지 않은 요동 구동부에 의해 도면 중 화살표(B) 방향으로 요동된다.In addition, the polishing platen 72 has a disk-shaped glass substrate holding plate 78 that is swivelable with respect to the polishing pad 74 via a hinge 76 and is illustrated by a swing driver not shown. It swings in the direction of the arrow B.

유리 기판 보유 지지 정반(78)의 하면에는, 흡착 시트(80)가 고착되어 있다. 또한, 흡착 시트(80)의 중앙부에는, 직사각 형상의 유리 기판(G)이 흡착 보유 지지되어 있다.The adsorption sheet 80 is fixed to the lower surface of the glass substrate holding surface plate 78. In addition, the rectangular glass substrate G is hold | maintained by the center part of the adsorption sheet 80. As shown in FIG.

낱장식 연마 장치(70)에 있어서, 유리 기판(G)이 흡착 시트(80)에 도 4와 같이 흡착 보유 지지되면, 유리 기판 보유 지지 정반(78)을 도복시켜 유리 기판(G)을 연마 패드(74)의 표면에 가압 접촉시킨다. 그리고, 연마 패드(74)를 도면 중 화살표(A) 방향으로 회전시킴과 함께, 유리 기판 보유 지지 정반(78)을 도면 중 화살표(B) 방향으로 요동시켜 유리 기판(G)의 연마를 개시한다.In the sheet polishing apparatus 70, when the glass substrate G is adsorbed-held by the adsorption sheet 80 as shown in FIG. 4, the glass substrate holding base 78 is covered and the glass substrate G is polished. Pressure contact with the surface of (74). Then, the polishing pad 74 is rotated in the direction of the arrow A in the drawing, and the glass substrate holding plate 78 is swung in the direction of the arrow B in the drawing to start polishing of the glass substrate G. .

이어서, 도 3에 도시한 바와 같은 낱장식 연마 장치(30)에서의 연마 후의 유리 기판(G)을 박리하는 방법을 설명한다.Next, the method of peeling the glass substrate G after grinding | polishing in the sheet-like grinding | polishing apparatus 30 as shown in FIG. 3 is demonstrated.

도 5에 낱장식 연마 장치(30)에 의해 연마한 후의 유리 기판(G)을 흡착 시트(34)로부터 박리하는 모습을 도시한다.The state which peels the glass substrate G after grind | polishing by the sheet polishing apparatus 30 from FIG. 5 from the adsorption sheet 34 is shown.

낱장식 연마 장치(30)에 의해 유리 기판(G)을 연마한 후, 연마 정반(35)은 소정의 퇴피 위치로 퇴피시키고, 그 대신에 도 1의 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)와 마찬가지의 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(40)를 유리 기판 보유 지지 정반(32) 상의 흡착 시트(34)에 흡착 보유 지지되어 있는 유리 기판(G) 상으로 이동시킨다.After polishing the glass substrate G by the sheet polishing apparatus 30, the polishing surface 35 is retracted to a predetermined retracted position, and instead is similar to the glass substrate peeling movement mounting apparatus 18 in FIG. The glass substrate peeling movement mounting apparatus 40 is moved onto the glass substrate G that is adsorbed and held by the adsorption sheet 34 on the glass substrate holding plate 32.

유리 기판 박리 이동 탑재 장치(40)는, 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)와 마찬가지로, 유리 기판(G)을 흡착하는 다수의 흡착 패드(44)를 갖는 지지판(42) 및 지지판(42)을 승강시켜, 다음 공정으로 이동시키기 위한 가이드(48)를 구비하고 있다.The glass substrate peeling movement mounting apparatus 40 is similar to the glass substrate peeling movement mounting apparatus 18, and supports the support plate 42 and the support plate 42 which have many adsorption pads 44 which adsorb | suck the glass substrate G. As shown in FIG. A guide 48 for moving up and down and moving to the next step is provided.

또한, 흡착 패드(44)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로 독립의 각 에어 실린더(46)에 의해 각각이 독립적으로 승강 이동 가능하게 되어 있다.In addition, like the first embodiment, the suction pads 44 are each capable of lifting and lowering independently by the independent air cylinders 46.

이러한 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(40)에 의해 흡착 시트(34) 상으로부터 유리 기판(G)을 박리하는 경우에는, 도 2에 도시하는 것과 마찬가지로, 모든 흡착 패드(44)를 유리 기판(G)의 연마면에 흡착시킨 후, 우선 유리 기판(G)의 단부의 흡착 패드(44)를 상승시켜, 유리 기판(G)의 단부로부터 박리해 간다.When peeling glass substrate G from the adsorption sheet 34 with such a glass substrate peeling movement mounting apparatus 40, similarly to the case shown in FIG. 2, all the adsorption pads 44 are glass substrates G. FIG. After adsorb | sucking to the polishing surface of this, first, the adsorption pad 44 of the edge part of glass substrate G is raised, and it peels from the edge part of glass substrate G.

이 경우에도 유리 기판(G)과 흡착 시트(34) 사이에 액체를 개재시키고 있으므로, 연마 후의 유리 기판(G)과 흡착 시트(34)의 흡착력은 그다지 강하지 않으므로 용이하게 박리할 수 있다.Also in this case, since liquid is interposed between the glass substrate G and the adsorption sheet 34, since the adsorption force of the glass substrate G and the adsorption sheet 34 after grinding | polishing is not so strong, it can peel easily.

그리고, 유리 기판(G)의 단부를 흡착 시트(34)로부터 완전히 박리하면, 중앙부의 흡착 패드(44)를, 단부의 흡착 패드와 마찬가지로 유리 기판(G)으로부터 이격하도록 상승시켜 유리 기판(G) 전체를 흡착 시트(34)로부터 박리한다.And when the edge part of glass substrate G is completely peeled from the adsorption sheet 34, the adsorption pad 44 of a center part will be raised so that it may be spaced apart from the glass substrate G similarly to the adsorption pad of an edge part, and the glass substrate G may be The whole is peeled off from the adsorption sheet 34.

이어서, 본 발명의 유리 기판 박리 장치의 제2 실시 형태에 대하여 설명한다.Next, 2nd Embodiment of the glass substrate peeling apparatus of this invention is described.

도 6에 제2 실시 형태에 관한 유리 기판 박리 장치(50)의 주요부의 단면도를 도시한다.The sectional drawing of the principal part of the glass substrate peeling apparatus 50 which concerns on FIG. 6 at FIG. 6 is shown.

도 6에 도시한 바와 같이, 유리 기판 박리 장치(50)의 유리 기판 보유 지지 정반(52) 상에는 유리 기판(G)을 흡착 보유 지지하기 위한 흡착 시트(54)가 설치되어 있다.As shown in FIG. 6, the adsorption sheet 54 for carrying out adsorption holding of the glass substrate G is provided on the glass substrate holding plate 52 of the glass substrate peeling apparatus 50. As shown in FIG.

본 실시 형태에서는 흡착 시트(54)에 소정의 구멍(관통 구멍)(56)이 형성되고, 또한 유리 기판 보유 지지 정반(52)에도 흡착 시트(54)와 동일한 배치가 되도록 동일한 직경의 구멍(58)이 형성되어 있다.In this embodiment, predetermined | prescribed hole (through hole) 56 is formed in the adsorption sheet 54, and also the hole 58 of the same diameter so that it may become the same arrangement as the adsorption sheet 54 also in the glass substrate holding plate 52. ) Is formed.

이 흡착 시트(54)의 구멍(56)의 비연마면측의 개구면과, 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 구멍(58)의 흡착 시트(54)측의 개구면은 마찬가지로 동일한 배치가 되도록 형성되어 있으며, 흡착 시트(54)를 유리 기판 보유 지지 정반(52) 상에 위치 정렬하여 구멍(56)과 구멍(58)이 연통되어 하나의 구멍이 된다. 그리고, 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 구멍(58) 내에는, 도시하지 않은 승강 기구에 의해 승강 가능한 핀(60)이 배치되어 있다.The opening surface of the non-polishing surface side of the hole 56 of this adsorption sheet 54, and the opening surface of the adsorption sheet 54 side of the hole 58 of the glass substrate holding platen 52 are formed in the same arrangement similarly. The suction sheet 54 is aligned on the glass substrate holding plate 52 so that the hole 56 and the hole 58 communicate with each other to form one hole. In the hole 58 of the glass substrate holding plate 52, a pin 60 that can be lifted and lowered by a lifting mechanism (not shown) is disposed.

또한, 핀(60)의 승강 기구는, 상기 실시 형태와 동일하게 도시하지 않은 제어 수단에 의해 제어된다. 핀(60)의 승강 기구로서는, 예를 들어 잘 알려진 피니언 랙 등의 기계적 기구에 의해 승강시키는 기구나, 공기 등의 기체 혹은 물이나 기름 등의 유체의 압력을 이용하여 승강시키는 기구나, 자기에 의한 척력/인력을 이용하여 승강시키는 기구 등의 공지된 기구를 채용할 수 있다.In addition, the lifting mechanism of the pin 60 is controlled by the control means which is not shown similarly to the said embodiment. As the lifting mechanism of the pin 60, for example, a mechanism for lifting up and down by a well-known mechanical mechanism such as a pinion rack, a mechanism for lifting up and down using a gas such as air or a fluid such as water or oil, or magnetic A well-known mechanism, such as a mechanism which raises and lowers using repulsion force / human force, can be employ | adopted.

이 핀(60)은, 상승하여 유리 기판(G)의 비연마면측으로부터 유리 기판(G)을 위로 밀어올려 유리 기판(G)을 흡착 시트(54)로부터 박리하기 위한 것이다. 그로 인해, 핀(60)의 선단은 유리 기판(G)의 손상 방지를 위하여 라운딩이 형성되어 있다.This pin 60 is for raising and pushing up the glass substrate G from the non-abrasive surface side of glass substrate G, and peeling glass substrate G from the adsorption sheet 54. As shown in FIG. Therefore, rounding is formed in the front-end | tip of the pin 60 in order to prevent damage of the glass substrate G. As shown in FIG.

또한, 이 구멍(56, 58) 및 핀(60)의 위치는, 도 6에 도시한 바와 같이 유리 기판(G)의 단부에 대응하는 부분에 배치하여 유리 기판(G)의 단부로부터 박리하는 것이 바람직하다. 단, 구멍 및 핀의 수는 도 6에 도시한 것에 한정되는 것이 아니며, 예를 들어 유리 기판(G)의 크기 등에 따라 수를 더 증가시켜도 된다.In addition, the position of these holes 56 and 58 and the pin 60 is arrange | positioned at the part corresponding to the edge part of the glass substrate G, as shown in FIG. 6, and peeling from the edge part of the glass substrate G. desirable. However, the number of holes and pins is not limited to that shown in FIG. 6, and the number may be further increased depending on the size of the glass substrate G, for example.

도 7에 본 실시 형태의 작용을 도시한다.7 shows the operation of the present embodiment.

도 7에 도시한 바와 같이, 도시하지 않은 승강 기구에 의해 핀(60)을 도면 중 화살표(C)의 방향으로 상승시키고, 연마가 종료된 유리 기판(G)의 비연마면을 핀(60)에 의해 가압하여 유리 기판(G)을 흡착 시트(54)로부터 들어올려 흡착 시트(54)로부터 박리해 간다.As shown in FIG. 7, the pin 60 is raised in the direction of arrow C in the figure by the lifting mechanism not shown, and the non-polished surface of the glass substrate G with which grinding | polishing is complete is pin 60 It pressurizes by pressure, and the glass substrate G is lifted from the adsorption sheet 54, and it peels from the adsorption sheet 54. FIG.

이때, 핀(60)을 상승시키는 속도는, 전술한 바와 같이 유리 기판(G)은 매우 얇은 것이므로, 유리 기판(G)에 흠집이 생기지 않을 정도로 천천히, 바람직하게는 30mm/초 이하의 속도로 상승시키는 것이 바람직하다.At this time, since the speed of raising the pin 60 is very thin as described above, the glass substrate G is so slow that the glass substrate G is not scratched, and preferably rises at a speed of 30 mm / sec or less. It is preferable to make it.

또한, 이렇게 유리 기판(G)의 비연마면을 핀에 의해 가압하여 유리 기판(G)을 흡착 시트로부터 들어올려 유리 기판(G)을 흡착 시트로부터 박리하는 방법은, 도 1에 도시한 유리 기판 박리 장치(10)에 대해서도 적용할 수 있다.In addition, the method of pressing the non-polished surface of glass substrate G with a pin in this way and lifting glass substrate G from an adsorption sheet, and peeling glass substrate G from an adsorption sheet is the glass substrate shown in FIG. The same applies to the peeling apparatus 10.

또한, 핀(60)은, 유리 기판(G)의 비연마면의 단부에 대응하는 부분에만 설치하는 것이 아니라, 유리 기판(G)의 비연마면의 중앙부에 대응하는 부분에도 설치하여도 된다. 중앙부에 대응하는 부분에도 핀(60)을 설치한 경우에는, 먼저 단부에 대응하는 핀(60)을 상승시켜, 유리 기판(G)의 단부를 먼저 흡착 시트(54)로부터 박리시키고, 그 후에 유리 기판(G)의 중앙부에 대응하는 핀(60)을 상승시켜, 유리 기판(G)의 중앙부를 흡착 시트(54)로부터 박리하면 된다.In addition, the pin 60 may not be provided only in the part corresponding to the edge part of the non-polished surface of glass substrate G, but may be provided also in the part corresponding to the center part of the non-polished surface of glass substrate G. As shown in FIG. When the pin 60 is provided also in the part corresponding to a center part, the pin 60 corresponding to an edge part is first raised, the edge part of glass substrate G is first peeled from the adsorption sheet 54, and thereafter, glass What is necessary is just to raise the pin 60 corresponding to the center part of the board | substrate G, and to peel the center part of the glass substrate G from the adsorption sheet 54. FIG.

이어서, 도 4에 도시한 바와 같은 낱장식 연마 장치(70)에서의 연마 후의 유리 기판(G)을 박리하는 방법을 설명한다.Next, the method of peeling the glass substrate G after grinding | polishing in the sheet-like grinding | polishing apparatus 70 as shown in FIG. 4 is demonstrated.

도 8에 본 발명의 제3 실시 형태를 도시한다.8 shows a third embodiment of the present invention.

제3 실시 형태는, 도 4에 도시하는 낱장식 연마 장치(70)와 같이, 하측에 연마 패드(74)가 있고 상측의 유리 기판 보유 지지 정반(78)의 흡착 시트(80)에 유리 기판(G)이 흡착 보유 지지되어 있는 경우에, 도 6에 도시한 바와 같은 제2 실시 형태의 핀을 적용하여 유리 기판(G)을 흡착 시트(80)로부터 박리하는 유리 기판 박리 장치(71)이다.In the third embodiment, like the sheet polishing apparatus 70 illustrated in FIG. 4, the polishing pad 74 is disposed on the lower side, and the glass substrate (eg, the suction sheet 80 of the glass substrate holding plate 78 on the upper side) is provided. When G is hold | maintained by adsorption, it is the glass substrate peeling apparatus 71 which peels glass substrate G from the adsorption sheet 80 by applying the fin of 2nd Embodiment as shown in FIG.

도 8에 도시한 바와 같이, 유리 기판 보유 지지 정반(78)의 하면의 흡착 시트(80)에 유리 기판(G)이 흡착 보유 지지되어 있다. 이때, 유리 기판 보유 지지 정반(78) 및 흡착 시트(80)에 소정의 구멍(82)이 복수 형성되어 있다. 그리고, 구멍(82) 내에는, 도시하지 않은 승강 기구에 의해 승강 동작 가능한 핀(84)이 배치되어 있다.As illustrated in FIG. 8, the glass substrate G is adsorbed and held on the adsorption sheet 80 on the lower surface of the glass substrate holding plate 78. At this time, a plurality of predetermined holes 82 are formed in the glass substrate holding plate 78 and the adsorption sheet 80. In the hole 82, a pin 84 capable of lifting and lowering by a lifting mechanism (not shown) is disposed.

이 핀(84)에 의해 유리 기판(G)의 비연마면을 눌러 유리 기판(G)을 흡착 시트(80)로부터 박리한다.By the pin 84, the non-polishing surface of the glass substrate G is pressed, and the glass substrate G is peeled from the adsorption sheet 80. FIG.

도 9에 본 실시 형태의 작용을 도시한다.Fig. 9 shows the operation of this embodiment.

도 9에 도시한 바와 같이, 도시하지 않은 승강 기구에 의해 핀(84)을 도면 중 화살표(D)의 방향으로 강하시켜, 연마가 종료된 유리 기판(G)의 비연마면을 핀(84)에 의해 가압하고, 유리 기판(G)의 비연마면을 흡착 시트(80)로부터 박리해 간다. 이때, 도 9에 도시한 바와 같이 핀(84)이 유리 기판(G)의 단부에 닿도록 배치되어 있으므로, 유리 기판(G)은 그 단부로부터 박리된다.As shown in FIG. 9, the pin 84 is lowered in the direction of the arrow D in the figure by the lifting mechanism not shown, and the non-polished surface of the glass substrate G on which polishing was completed is pin 84 Is pressed, and the non-abrasive surface of the glass substrate G is peeled off from the adsorption sheet 80. At this time, since the fin 84 is arrange | positioned so that it may contact the edge part of the glass substrate G, as shown in FIG. 9, glass substrate G is peeled from the edge part.

유리 기판(G)의 비연마면을 핀(84)으로 누르면, 그것이 계기가 되어 유리 기판(G)의 단부가 핀(84)에 의해 박리되고, 유리 기판(G)의 자중에 의해 단부로부터 중앙부를 향하여 박리가 촉진된다. 그 결과, 유리 기판(G) 전체가 흡착 시트(80)로부터 박리되어, 유리 기판(G)이 낙하한다.When the non-abrasive surface of the glass substrate G is pressed with the pin 84, it becomes an instrument, and the edge part of the glass substrate G is peeled off by the pin 84, and it is center part from the edge part by the weight of the glass substrate G. Peeling is promoted toward the. As a result, the whole glass substrate G peels from the adsorption sheet 80, and glass substrate G falls.

이때, 핀(84)을 하강시키는 속도는, 얇은 유리 기판(G)에 흠집이 나지 않을 정도로 천천히, 바람직하게는 30mm/초 이하의 속도로 하강시키는 것이 바람직하다. 또한, 핀(84)으로 유리 기판(G)의 비연마면을 누름과 함께, 이 면에 에어를 분사하여 박리를 촉진시켜도 된다. 또한, 박리하여 낙하해 오는 유리 기판(G)을 수취하는 수단을 유리 기판(G)의 낙하 방향에 배치하여 유리 기판(G)을 수취하고, 다음 공정으로 이동 탑재하는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the speed of lowering the pins 84 is lowered slowly so as not to scratch the thin glass substrate G, and preferably lowered at a speed of 30 mm / sec or less. In addition, while pressing the non-abrasive surface of the glass substrate G with the pin 84, air may be sprayed on this surface and the peeling may be accelerated. Moreover, it is preferable to arrange | position the means which receives the glass substrate G which peels and falls in the fall direction of the glass substrate G, receives the glass substrate G, and moves and mounts to the next process.

또한, 핀(84)은, 유리 기판(G)의 비연마면의 단부에 대응하는 부분에만 설치하는 것이 아니라, 유리판(G)의 비연마면의 중앙부에 대응하는 부분에도 설치하여도 된다. 중앙부에 대응하는 부분에도 핀(84)을 설치한 경우에는, 먼저 단부에 대응하는 부분의 핀(84)을 하강시켜 유리판(G)의 단부를 먼저 흡착 시트(80)로부터 박리시키고, 그 후에 중앙부에 대응하는 부분의 핀(84)을 하강시켜 유리판(G)의 중앙부를 흡착 시트(80)로부터 박리하면 된다.In addition, the pin 84 may not be provided only in the part corresponding to the edge part of the non-polished surface of glass substrate G, but may be provided also in the part corresponding to the center part of the non-polished surface of glass plate G. When the pin 84 is provided also in the part corresponding to a center part, the pin 84 of the part corresponding to an edge part is first lowered, and the edge part of the glass plate G is peeled off from the adsorption sheet 80 first, and then the center part What is necessary is to lower the pin 84 of the part corresponding to this, and to peel the center part of glass plate G from the adsorption sheet 80. FIG.

이어서, 본 발명의 유리 기판 박리 장치의 제4 실시 형태에 대하여 설명한다.Next, 4th Embodiment of the glass substrate peeling apparatus of this invention is described.

도 10에 제4 실시 형태에 관한 유리 기판 박리 장치(90)의 주요부의 단면도를 도시한다.FIG. 10 is a sectional view of principal parts of the glass substrate peeling apparatus 90 according to the fourth embodiment.

도 10에 도시한 바와 같이, 유리 기판 박리 장치(90)의 유리 기판 보유 지지 정반(52) 상에는 유리 기판(G)을 흡착 보유 지지하기 위한 흡착 시트(54)가 설치되어 있다.As shown in FIG. 10, on the glass substrate holding surface 52 of the glass substrate peeling apparatus 90, the adsorption sheet 54 for carrying out adsorption holding of the glass substrate G is provided.

전술한 제2 실시 형태와 마찬가지로, 본 실시 형태의 흡착 시트(54)에 구멍(관통 구멍)(56)이, 또한 유리 기판 보유 지지 정반(52)에는 구멍(56)과 동일한 직경의 구멍(58)이 형성되어 있다. 이 흡착 시트(54)의 구멍(56)의 비연마면측의 개구면과, 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 구멍(58)의 흡착 시트(54)측의 개구면은 제2 실시 형태와 마찬가지로 동일한 배치가 되도록 형성되어 있으며, 흡착 시트(54)를 유리 기판 보유 지지 정반(52) 상에 위치 정렬하여 구멍(56)과 구멍(58)이 연통되어 하나의 구멍이 된다.As in the second embodiment described above, the hole (through hole) 56 is formed in the adsorption sheet 54 of the present embodiment, and the hole 58 having the same diameter as the hole 56 is formed in the glass substrate holding plate 52. ) Is formed. The opening surface of the non-polishing surface side of the hole 56 of this adsorption sheet 54, and the opening surface of the adsorption sheet 54 side of the hole 58 of the glass substrate holding surface plate 52 are similar to 2nd Embodiment. It is formed so that it may become the same arrangement, and the adsorption sheet 54 is aligned on the glass substrate holding plate 52, and the hole 56 and the hole 58 communicate with each other, and it becomes one hole.

본 실시 형태에서는, 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 흡착 시트(54) 설치면의 대향면인 저면에 형성된 구멍(58)의 개구면에 튜브(62)의 일단부가 접속되어 있고, 튜브(62)의 타단부는 도시하지 않은 에어 펌프(에어 공급 수단)에 접속되어 있다. 에어 펌프는 도시하지 않은 에어 펌프 제어 수단이 접속되고, 에어 펌프 제어 수단에 의해 압력이 제어된 에어가 에어 펌프로부터 구멍(56, 58)에 공급된다.In this embodiment, one end of the tube 62 is connected to the opening surface of the hole 58 formed in the bottom surface which is the opposite surface of the adsorption sheet 54 installation surface of the glass substrate holding surface plate 52, and the tube 62 The other end of) is connected to an air pump (air supply means) not shown. An air pump control means (not shown) is connected to the air pump, and the air whose pressure is controlled by the air pump control means is supplied from the air pump to the holes 56 and 58.

본 실시 형태는, 이 구멍(56, 58)으로부터 에어를 유리 기판(G)의 비연마면에 분사하여, 유리 기판(G)을 흡착 시트(54)로부터 박리하는 것이다.In this embodiment, air is blown from the holes 56 and 58 to the non-abrasive surface of the glass substrate G, and the glass substrate G is peeled from the adsorption sheet 54.

도 11에 유리 기판(G)을 흡착 시트(54)로부터 박리하는 모습을 도시한다.The state which peels glass substrate G from the adsorption sheet 54 is shown in FIG.

연마가 종료된 유리 기판(G)을 흡착 시트(54)로부터 박리할 때에는, 도 11에 도시한 바와 같이, 튜브(62)로부터 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 구멍(58) 및 흡착 시트(54)의 구멍(56)을 통하여, 유리 기판(G)의 비연마면에 대하여 에어를 분사한다. 이 에어의 압력에 의해, 유리 기판(G)은 흡착 시트(54)로부터 박리된다.When peeling the glass substrate G after completion | finish of grinding | polishing from the adsorption sheet 54, as shown in FIG. 11, the hole 58 of the glass substrate holding plate 52 from the tube 62, and the adsorption sheet ( Air is blown to the non-abrasive surface of the glass substrate G through the hole 56 of 54. As shown in FIG. By the pressure of this air, glass substrate G is peeled from the adsorption sheet 54. As shown in FIG.

또한, 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 유리 기판 보유 지지 정반(52)에 형성한 에어를 분사하는 구멍은 유리 기판(G)의 단부에 대응하는 부분에 형성하여, 유리 기판(G)을 단부로부터 박리하는 것이 바람직하다. 단, 구멍의 위치나 개수는 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 유리 기판(G)의 크기 등에 따라 수를 더 증가시켜도 된다. 또한, 구멍(56, 58)은, 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이 유리 기판(G)의 단부에 대응하는 부분에만 형성하는 것이 아니라 중앙부에도 형성하여도 된다. 중앙부에도 구멍을 형성한 경우에는, 먼저 단부의 구멍으로부터 유리 기판(G)에 대하여 에어를 분사하여 유리 기판(G)의 단부를 먼저 박리시키고, 그 후에 중앙부의 구멍으로부터 에어를 분출하여 중앙부를 박리하면 된다.In addition, as shown in FIG. 10 and FIG. 11, the hole which inject | pours the air formed in the glass substrate holding surface plate 52 is formed in the part corresponding to the edge part of the glass substrate G, and the glass substrate G It is preferable to peel off from an edge part. However, the position and number of holes are not limited to this. For example, you may increase the number further according to the magnitude | size of glass substrate G, etc. In addition, the holes 56 and 58 may be formed not only in the part corresponding to the edge part of glass substrate G, but may also be formed in the center part, as shown to FIG. 10 and FIG. In the case where a hole is also formed in the center portion, air is first sprayed from the hole at the end portion to the glass substrate G to exfoliate the end portion of the glass substrate G first, and then the air is ejected from the hole in the center portion to exfoliate the center portion. Just do it.

또한, 도 12에 도시한 바와 같이, 유리 기판(G)의 비연마면에 에어를 분사함과 함께, 전술한 제1 실시 형태의 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)에 설치된 흡착 패드를 함께 사용하여도 된다. 즉, 튜브(62)로부터 공급된 에어를 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 구멍(58) 및 흡착 시트(54)의 구멍(56)을 통하여 유리 기판(G)의 비연마면에 분사하여 유리 기판(G)의 단부를 흡착 시트(54)로부터 부상시킴과 함께, 유리 기판(G)의 연마면에 흡착 보유 지지시킨 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)의 흡착 패드(20)에 의해 유리 기판(G)을 들어올림으로써, 유리 기판(G)을 보다 간단하고 빠르게 흡착 시트(54)로부터 박리할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 12, while spraying air to the non-polishing surface of glass substrate G, the adsorption pad provided in the glass substrate peeling movement mounting apparatus 18 of 1st Embodiment mentioned above is used together. You may also do it. That is, the air supplied from the tube 62 is sprayed on the non-polishing surface of the glass substrate G through the hole 58 of the glass substrate holding plate 52 and the hole 56 of the adsorption sheet 54, and glass The glass substrate is lifted by the adsorption pad 20 of the glass substrate peeling movement mounting apparatus 18 which raises the edge part of the board | substrate G from the adsorption sheet 54, and adsorb | sucks and hold | maintains on the grinding | polishing surface of the glass substrate G. By lifting (G), glass substrate G can be peeled from the adsorption sheet 54 more easily and quickly.

또한, 물론 도 7에 도시하는 제2 실시 형태에 대해서도 제1 실시 형태의 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)를 조합하여도 된다. 즉, 유리 기판(G)의 비연마면을 핀(60)으로 밀어올림과 함께, 유리 기판(G)의 연마면에 흡착 보유 지지시킨 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)의 흡착 패드(20)에 의해 유리 기판(G)을 들어올림으로써, 유리 기판(G)을 보다 간단하고 빠르게 흡착 시트(54)로부터 박리할 수 있다.In addition, of course, you may combine the glass substrate peeling movement mounting apparatus 18 of 1st Embodiment also about 2nd Embodiment shown in FIG. That is, the suction pad 20 of the glass substrate peeling movement mounting apparatus 18 which pushed the non-polished surface of the glass substrate G to the pin 60, and was adsorbed-held on the polishing surface of the glass substrate G was carried out. By lifting up the glass substrate G by this, glass substrate G can be peeled from the adsorption sheet 54 more easily and quickly.

또한, 이들 실시 형태를 모두 조합하여 유리 기판(G)의 비연마면을 핀으로 밀어올림과 함께, 유리 기판(G)의 비연마면으로부터 에어를 분사하여 유리 기판(G)을 흡착 시트로부터 부상시키고, 또한 유리 기판(G)의 연마면에 흡착 보유 지지시킨 위에서부터 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)의 흡착 패드(20)에 의해 유리 기판(G)을 들어올려도 된다.In addition, by combining all of these embodiments, the non-polished surface of the glass substrate G is pushed up with a pin, air is blown from the non-polished surface of the glass substrate G, and the glass substrate G is floated from the adsorption sheet. In addition, the glass substrate G may be lifted by the adsorption pad 20 of the glass substrate peeling movement mounting apparatus 18 from the upper side which carried out adsorption holding on the grinding | polishing surface of glass substrate G.

이 경우, 에어를 분출하는 구멍은 핀의 구멍을 이용하여도 되고, 핀의 구멍과는 별도로 구멍을 형성하여도 된다.In this case, the hole which blows out air may use the hole of a pin, and may form a hole separately from the hole of a pin.

또한, 여기에서 상기 각 실시 형태를 조합할 때, 유리 기판(G)을 흡착 시트에 흡착 보유 지지할 때, 유리 기판(G)과 흡착 시트 사이에 물 혹은 다가 알코올 등의 액체를 개재시켜 부착하면 된다. 이렇게 유리 기판(G)과 흡착 시트 사이에 액체를 개재시킴으로써, 당초의 흡착력을 강하게 함과 함께, 연마 후의 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하기 쉬워진다.In addition, when combining said each embodiment here, when adhering and holding a glass substrate G to an adsorption sheet, when a glass, such as water or a polyhydric alcohol, adheres between glass substrate G and an adsorption sheet, do. By interposing a liquid between the glass substrate G and the adsorption sheet in this manner, the initial adsorption force is strengthened and the glass substrate after polishing is easily peeled off from the adsorption sheet.

또한, 핀의 구멍의 직경 및 에어를 분출하는 구멍의 직경은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 구멍의 직경은 바람직하게는 10mm 이하, 보다 바람직하게는 5mm 이하, 더욱 바람직하게는 1mm 이하, 가장 바람직하게는 0.1mm 이하이다.In addition, the diameter of the hole of the pin and the diameter of the hole for blowing air are not particularly limited, but the diameter of the hole is preferably 10 mm or less, more preferably 5 mm or less, even more preferably 1 mm or less, most preferably 0.1 mm or less.

핀의 구멍의 직경 및 에어를 분출하는 구멍의 직경이 10mm 이하이면, 핀의 구멍 및 에어를 분출하는 구멍에 있어서, 박판의 유리 기판이 자중에 의해 오목형으로 변형되어 파손될 우려가 없다. 또한, 에어를 분출하는 구멍의 직경이 10mm 이하이면, 에어를 분출하는 압력을 강하게 할 수 있으므로 유리 기판(G)을 박리하기 쉬워진다. 또한, 유리 기판의 두께가 0.7mm 이하, 바람직하게는 0.5mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.3mm 이하, 가장 바람직하게는 0.1mm 이하에 있어서, 오목형의 변형 방지, 에어의 분출 압력 향상의 효과를 발휘한다.If the diameter of the hole of the pin and the diameter of the hole which blows out air are 10 mm or less, in the hole of the pin and the hole which blows out air, there is no possibility that the thin glass substrate deforms concave by self-weight and breaks. Moreover, since the pressure which blows out air can be made strong that the diameter of the hole which blows out air is 10 mm or less, it becomes easy to peel glass substrate G. Moreover, when the thickness of a glass substrate is 0.7 mm or less, Preferably it is 0.5 mm or less, More preferably, it is 0.3 mm or less, Most preferably, it is 0.1 mm or less WHEREIN: The effect of preventing deformation of a concave type | formula and improving the blowing pressure of air is Exert.

이어서, 본 발명의 제5 실시 형태에 대하여 설명한다.Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.

도 13에 본 실시 형태의 유리 기판 박리 기구를 도시한다.The glass substrate peeling mechanism of this embodiment is shown in FIG.

도 13에 도시한 바와 같이, 유리 기판 박리 장치(98)의 유리 기판 보유 지지 정반(92) 상에는 유리 기판(G)을 흡착 보유 지지하기 위한 흡착 시트(94)가 설치되고, 물 등의 액체를 개재하여 유리 기판(G)이 흡착 시트(94)에 부착되어 있다. 그리고, 유리 기판 보유 지지 정반(92)에는, 유리 기판 보유 지지 정반(92)을 회전하는 회전 기구(96)가 설치되어 있다.As shown in FIG. 13, on the glass substrate holding surface plate 92 of the glass substrate peeling apparatus 98, the adsorption sheet 94 for adsorption-holding and holding the glass substrate G is provided, and liquids, such as water, The glass substrate G is affixed to the adsorption sheet 94 through the interposition. And the rotation mechanism 96 which rotates the glass substrate holding surface plate 92 is provided in the glass substrate holding surface plate 92.

유리 기판(G)을 흡착 시트(94)로부터 박리할 때에는, 도 14에 도시한 바와 같이, 유리 기판 보유 지지 정반(92)에 설치한 회전 기구(96)에 의해 유리 기판 보유 지지 정반(92)을 화살표(E)의 방향으로 회전하여 유리 기판 보유 지지 정반(92)을 상하로 반전시켜, 유리 기판(G)을 유리 기판 보유 지지 정반(92)의 하측으로 한다. 이에 의해, 유리 기판(G)을 화살표(F)의 방향으로 자중에 의해 낙하시켜 흡착 시트(94)로부터 박리시킨다.When peeling glass substrate G from the adsorption sheet 94, as shown in FIG. 14, the glass substrate holding surface 92 by the rotating mechanism 96 provided in the glass substrate holding surface 92 Is rotated in the direction of the arrow E to invert the glass substrate holding plate 92 up and down, so that the glass substrate G is lower than the glass substrate holding plate 92. Thereby, glass substrate G falls by the weight in the direction of arrow F, and it peels from the adsorption sheet 94. FIG.

이 경우에도, 유리 기판(G)의 비연마면을 유리 기판 보유 지지 정반에 설치한 핀으로 누르거나, 유리 기판(G)의 비연마면에, 유리 기판 보유 지지 정반에 형성한 구멍으로부터 에어를 분사하거나 하여, 유리 기판(G)의 흡착 시트로부터의 박리를 촉진시켜도 된다. 이때, 핀이나 에어는 유리 기판(G)의 단부부터 먼저 대어 유리 기판(G)을 단부부터 먼저 박리시키면 된다. 또한, 흡착 시트(94)로부터 박리되어 떨어지는 유리 기판(G)을 수취하는 수단을 유리 기판(G)의 낙하 방향에 배치하여 유리 기판(G)을 수취한 후, 다음 공정으로 이동 탑재하는 것이 바람직하다.Also in this case, the non-polished surface of the glass substrate G is pressed with the pin provided in the glass substrate holding plate, or air is blown from the hole formed in the glass substrate holding plate at the non-polished surface of the glass substrate G. You may spray, and the peeling from the adsorption sheet of the glass substrate G may be accelerated. At this time, a fin or air may be first applied to the end of the glass substrate G, and the glass substrate G may be peeled first from the end. Moreover, it is preferable to arrange | position a means which receives the glass substrate G which peels off from the adsorption sheet 94 in the fall direction of the glass substrate G, receives the glass substrate G, and then moves and mounts to the next process. Do.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 각 실시 형태에 있어서는, 흡착 시트에 액체를 개재시켜 유리 기판을 부착하여 고정하기 때문에, 연마한 후에도 유리 기판의 흡착력이 커지지 않는다. 따라서, 유리 기판의 연마면을 흡착 보유 지지하기 위하여 흡착 패드를 사용하거나, 유리 기판의 비연마면을 핀으로 밀어올리거나, 유리 기판의 비연마면으로부터 에어를 분사하거나, 또는 유리 기판과 보유 지지 부재의 위치 관계를 역회전시키기 위하여 상하를 반전시키거나 함으로써 유리 기판을 흡착 시트로부터 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.As explained above, in each embodiment of this invention, since a glass substrate is affixed and fixed through a liquid to an adsorption sheet, the adsorption force of a glass substrate does not become large even after grinding | polishing. Thus, an adsorption pad is used to adsorb and hold the polished surface of the glass substrate, the non-grinded surface of the glass substrate is pushed up with a pin, or air is jetted from the non-polished surface of the glass substrate, or the glass substrate and the holding substrate are supported. The glass substrate can be stably peeled from the adsorption sheet in a short time by reversing the top and bottom in order to reverse the positional relationship of the members.

이상, 본 발명에 관한 유리 기판의 박리 방법 및 유리 기판 박리 장치에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 이상의 예에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 각종 개량이나 변형을 행해도 되는 것은 물론이다.As mentioned above, although the peeling method of the glass substrate which concerns on this invention, and the glass substrate peeling apparatus were demonstrated in detail, this invention is not limited to the above example, Various improvement and deformation are performed in the range which does not deviate from the summary of this invention, Of course.

또한, 유리 기판과 흡착 시트의 계면을 향하여 에어(압축 에어) 및 물(고압수) 중 적어도 한쪽을 분사하여도 된다. 이렇게 함으로써, 상기 계면에 박리의 계기를 부여하게 되어 더 박리하기 쉬워진다.Moreover, you may inject at least one of air (compressed air) and water (high pressure water) toward the interface of a glass substrate and an adsorption sheet. By doing in this way, the interface of peeling is provided to the said interface, and it becomes easy to peel further.

또한, 실시 형태 2 내지 5에 있어서, 박판의 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하는 경우, 핀의 구멍 각도 및 에어를 분출하는 구멍 각도를, 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 유리 기판(G)의 단부에 대응하는 핀의 각도는 유리 기판의 중앙부를 향하여 비스듬하며, 유리 기판의 중앙부에 대응하는 핀의 각도는 비연마면의 직교 방향에 대하여 평행한 것이 바람직하다.In addition, in Embodiment 2-5, when peeling a glass substrate of a thin plate from an adsorption sheet, the hole angle of a pin and the hole angle which blows air are made with respect to the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of a glass substrate holding platen. It is preferable to make it oblique. Specifically, the angle of the pin corresponding to the end of the glass substrate G is oblique toward the center portion of the glass substrate, and the angle of the pin corresponding to the center portion of the glass substrate is preferably parallel to the orthogonal direction of the non-polishing surface. Do.

도 15에 도시한 바와 같이, 유리 기판 보유 지지 정반(100)의 유리 기판(G)을 적재하는 흡착 시트(102)를 설치하는 흡착 시트 설치면(100a)의 직교 방향에 대하여 평행하게 형성된 구멍(104)을 따라 바로 위에 핀(106)을 상승시키거나, 혹은 구멍(104)으로부터 에어를 분출한 경우에는, 유리 기판(G)이 국소적으로 휘어 버려 도면에 부호 108로 나타낸 바와 같이 파손될 우려가 있다.As shown in FIG. 15, the hole formed parallel to the orthogonal direction of the adsorption sheet attachment surface 100a which installs the adsorption sheet 102 which mounts the glass substrate G of the glass substrate holding surface plate 100 ( If the pin 106 is raised directly along the 104 or the air is blown out from the hole 104, the glass substrate G may be bent locally and be damaged as indicated by reference numeral 108 in the drawing. have.

이에 반하여, 도 16에 도시한 바와 같이, 유리 기판 보유 지지 정반(100)의 단부에 있어서는, 단부로부터 유리 기판(G)의 중앙부를 향하도록, 흡착 시트 설치면(100a)의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 구멍(104)을 형성하고, 구멍(104)을 따라 비스듬하게 핀(106)을 상승시키거나 혹은 에어를 분출한다. 또한, 유리 기판 보유 지지 정반(100)의 중앙부에 있어서는 흡착 시트 설치면(100a)의 직교 방향에 평행하게 구멍(104)을 형성하고, 구멍(104)을 따라 바로 위에 핀(106)을 상승시키거나 혹은 에어를 분출한다. 이 경우에는 유리 기판(G)의 단부가 중앙부를 향하여 국소적으로 변형되므로 파손될 우려가 없다.On the other hand, as shown in FIG. 16, in the edge part of the glass substrate holding surface plate 100, it is oblique with respect to the orthogonal direction of the adsorption sheet attachment surface 100a so that it may face from the edge part to the center part of glass substrate G. As shown in FIG. The hole 104 is formed, and the pin 106 is raised obliquely along the hole 104 or the air is blown out. In addition, in the center part of the glass substrate holding surface plate 100, the hole 104 is formed in parallel with the orthogonal direction of the adsorption | suction sheet installation surface 100a, and the pin 106 is raised just above the hole 104. Or bleed air. In this case, since the edge part of glass substrate G deforms locally toward a center part, there is no possibility that it will be damaged.

또한, 유리 기판(G)의 두께가 0.7mm 이하, 바람직하게는 0.5mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.3mm 이하, 가장 바람직하게는 0.1mm 이하에 있어서, 국소적인 변형을 방지하는 효과를 발휘한다.Moreover, when the thickness of glass substrate G is 0.7 mm or less, Preferably it is 0.5 mm or less, More preferably, it is 0.3 mm or less, Most preferably, it is 0.1 mm or less, and exhibits the effect which prevents local deformation.

본 발명을 상세하게 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 범위와 정신을 일탈하지 않고 여러 가지 수정이나 변경을 가할 수 있는 것은, 당업자에게 있어서 명확하다.Although the present invention has been described in detail with reference to specific embodiments thereof, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and changes may be made without departing from the scope and spirit of the present invention.

본 출원은 2011년 7월 4일에 출원된 일본 특허 출원 제2011-148552호에 기초하는 것이며, 그의 내용은 여기에 참조로서 포함된다.This application is based on the JP Patent application 2011-148552 of an application on July 4, 2011, The content is taken in here as a reference.

10: 유리 기판 박리 장치
12: 유리 기판 보유 지지 정반
14: 흡착 시트
18: 유리 기판 박리 이동 탑재 장치
20: 흡착 패드
22: 지지판
24: 가이드
26: 에어 실린더
30: 낱장식 연마 장치
32: 유리 기판 보유 지지 정반
34: 흡착 시트
35: 연마 정반
36: 연마 패드
38: 요동 기구
40: 유리 기판 박리 이동 탑재 장치
42: 지지판
44: 흡착 패드
50: 유리 기판 박리 장치
52: 유리 기판 보유 지지 정반
54: 흡착 시트
56, 58: 구멍
60: 핀
62: 튜브
70: 낱장식 연마 장치
71: 유리 기판 박리 장치
72: 연마 정반
74: 연마 패드
76: 힌지
78: 유리 기판 보유 지지 정반
80: 흡착 시트
82: 구멍
84: 핀
90: 유리 기판 박리 장치
92: 유리 기판 보유 지지 정반
94: 흡착 시트
96: 회전 기구
98: 유리 기판 박리 장치
100: 유리 기판 보유 지지 정반
100a: 흡착 시트 설치면
102: 흡착 시트
104: 구멍
106: 핀10: glass substrate peeling apparatus
12: glass substrate holding plate
14: adsorption sheet
18: glass substrate peeling movement mounting apparatus
20: adsorption pad
22: support plate
24: Guide
26: air cylinder
30: Single Polishing Device
32: glass substrate holding plate
34: adsorption sheet
35: polishing table
36: polishing pad
38: swinging mechanism
40: glass substrate peeling movement mounting apparatus
42: support plate
44: adsorption pad
50: glass substrate peeling apparatus
52: glass substrate holding plate
54: adsorption sheet
56, 58: hole
60: pin
62: tubes
70: single-piece polishing device
71: glass substrate peeling apparatus
72: polishing table
74: polishing pad
76: hinge
78: glass substrate holding plate
80: adsorption sheet
82: hole
84: pin
90: glass substrate peeling apparatus
92: glass substrate holding plate
94: adsorption sheet
96: rotary mechanism
98: glass substrate peeling apparatus
100: glass substrate holding surface plate
100a: adsorption sheet mounting surface
102: adsorption sheet
104: hole
106: pin

Claims (13)

흡착 시트에 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지된 유리 기판을 당해 흡착 시트로부터 박리하는 박리 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 박리 장치.The glass substrate peeling apparatus characterized by including the peeling means which peels the glass substrate hold | maintained by adsorption holding | maintenance through a liquid to an adsorption sheet from the said adsorption sheet. 제1항에 있어서, 상기 박리 수단은,
상기 흡착 시트에 상기 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지된 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트와는 반대의 면을 보유 지지하는 복수의 흡착 패드와,
상기 유리 기판에 대하여 접근 및 이격 중 하나의 동작을 행하도록, 상기 복수의 흡착 패드를 각각 독립적으로 승강 동작시키는 승강 기구와,
상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리할 때에는, 상기 유리 기판의 단부를 흡착하는 상기 흡착 패드로부터, 서서히 상기 흡착 시트로부터 퇴피하는 방향으로 들어올려, 상기 유리 기판 전체를 상기 흡착 시트로부터 박리시키도록 상기 승강 기구를 제어하는 제어 수단과,
상기 복수의 흡착 패드 전체를 상기 유리 기판에 대하여 접근 또는 이격시켜, 상기 유리 기판의 면 내 방향으로 평행 이동시키는 흡착 패드 이동 수단
을 구비하는 유리 기판 박리 장치.The method according to claim 1,
A plurality of adsorption pads holding a surface opposite to the adsorption sheet of the glass substrate adsorbed and held by interposing the liquid in the adsorption sheet;
An elevating mechanism for independently lifting and lowering the plurality of adsorption pads so as to perform one of approach and separation with respect to the glass substrate;
When peeling the said glass substrate from the said adsorption sheet, it raises from the said adsorption pad which adsorb | sucks the edge part of the said glass substrate to the direction which retracts from the said adsorption sheet gradually, and peels the said whole glass substrate from the said adsorption sheet, Control means for controlling the lifting mechanism;
Adsorption pad shifting means for moving the entire plurality of adsorption pads to or away from the glass substrate to move in parallel with the in-plane direction of the glass substrate
Glass substrate peeling apparatus provided with. 제1항에 있어서, 상기 박리 수단은,
상기 액체를 개재시켜 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하고, 당해 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역에 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트와,
상기 흡착 시트를 적재하고, 상기 흡착 시트를 적재하는 영역에 상기 복수의 관통 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반과,
상기 복수의 구멍 내에 배치되고, 상기 흡착 시트의 관통 구멍으로부터 돌출되도록 승강 동작하는 핀과,
상기 핀을 상기 흡착 시트로부터 돌출되도록 승강 동작시키는 승강 기구와,
상기 핀을 승강 동작시켜 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리시키도록 상기 승강 기구를 제어하는 제어 수단
을 구비하는 유리 기판 박리 장치.The method according to claim 1,
An adsorption sheet for adsorbing and holding the glass substrate via the liquid, and having a plurality of through holes formed in the region for adsorbing and holding the glass substrate;
A glass substrate holding plate on which the adsorption sheet is loaded and in which a plurality of holes are formed so as to coincide with the opening surfaces of the plurality of through holes in a region in which the adsorption sheet is stacked;
A pin disposed in the plurality of holes and configured to move up and down to protrude from the through hole of the suction sheet;
A lifting mechanism for lifting and lowering the pin to protrude from the suction sheet;
Control means for controlling the lifting mechanism to lift and lower the pin to release the glass substrate from the suction sheet
Glass substrate peeling apparatus provided with. 제3항에 있어서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되는 유리 기판 박리 장치.4. The glass substrate holding plate according to claim 3, wherein the plurality of through holes and the plurality of holes are disposed at an end portion of a region that adsorbs and holds the glass substrate from the end portion to a central portion of the glass substrate. 5. Glass substrate peeling formed obliquely with respect to the orthogonal direction of an adsorption sheet installation surface, and formed in parallel with the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of the said glass substrate holding surface plate in the center part of the area | region which adsorbs and holds the said glass substrate. Device. 제1항에 있어서, 상기 박리 수단은,
상기 액체를 개재시켜 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하고, 당해 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역에 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트와,
상기 흡착 시트를 적재하고, 상기 흡착 시트를 적재하는 영역에 상기 복수의 관통 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반과,
상기 복수의 구멍 내에 에어를 공급하고, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면에 상기 에어를 분사하는 에어 공급 수단
을 구비하는 유리 기판 박리 장치.The method according to claim 1,
An adsorption sheet for adsorbing and holding the glass substrate via the liquid, and having a plurality of through holes formed in the region for adsorbing and holding the glass substrate;
A glass substrate holding plate on which the adsorption sheet is loaded and in which a plurality of holes are formed so as to coincide with the opening surfaces of the plurality of through holes in a region in which the adsorption sheet is stacked;
Air supply means for supplying air into the plurality of holes and injecting the air to a surface which is adsorbed and held by the adsorption sheet of the glass substrate;
Glass substrate peeling apparatus provided with. 제5항에 있어서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되는 유리 기판 박리 장치.The said plurality of through-holes and the said some hole are the edges of the area | region which hold | maintain and hold | maintain the said glass substrate, The said glass substrate holding surface plate of Claim 5 so that it may face toward the center part of the said glass substrate from the said end. Glass substrate peeling formed obliquely with respect to the orthogonal direction of an adsorption sheet installation surface, and formed in parallel with the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of the said glass substrate holding surface plate in the center part of the area | region which adsorption-holds the said glass substrate. Device. 제1항에 있어서, 상기 박리 수단은,
상기 흡착 시트의 상면에 연마한 유리 기판을 상기 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 유리 기판 보유 지지 정반과,
상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전하는 수단
을 구비하며, 연마 후의 유리 기판을 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전하여, 중력 방향 상방에 상기 흡착 시트, 하방에 상기 유리 기판이 위치하도록 하여, 상기 유리 기판이 자중에 의해 상기 흡착 시트로부터 박리되도록 한 유리 기판 박리 장치.The method according to claim 1,
A glass substrate holding plate for adsorbing and holding the glass substrate polished on the upper surface of the adsorption sheet via the liquid;
Means for inverting the top and bottom of the glass substrate holding table reversely
And a glass substrate after polishing is reversed upside down of the glass substrate holding plate, so that the adsorption sheet is positioned above the gravitational direction and the glass substrate is located below, and the glass substrate is self-weighted by the adsorption sheet. A glass substrate peeling apparatus which made it peel from the inside. 유리 기판을 흡착 시트에 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하여 연마한 유리 기판의 상기 흡착 시트와는 반대의 면을 복수의 흡착 패드로 흡착하는 공정과,
상기 복수의 흡착 패드 중 상기 유리 기판의 단부를 흡착하는 상기 흡착 패드로부터, 서서히 상기 흡착 시트로부터 퇴피하는 방향으로 들어올려, 상기 유리 기판 전체를 상기 흡착 시트로부터 박리시켜 가는 공정과,
상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 이격시키고, 상기 유리 기판의 면 내 방향으로 평행 이동시켜, 상기 유리 기판을 다음 작업 공정으로 이동 탑재하는 공정
을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 박리 방법.Adsorb | sucking the surface opposite to the said adsorption sheet of the glass substrate which the glass substrate adsorbed, hold | maintained, and grind | polished the liquid through the adsorption sheet with the some adsorption pad,
A step of gradually lifting the glass substrate from the adsorption sheet by lifting in the direction of retraction from the adsorption sheet from the adsorption pad that adsorbs an end of the glass substrate among the plurality of adsorption pads;
The glass substrate is spaced apart from the adsorption sheet and moved in parallel in the in-plane direction of the glass substrate to transfer the glass substrate to the next working step.
A peeling method of the glass substrate characterized by the above-mentioned. 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된, 상기 복수의 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과,
상기 복수의 구멍 내에 배치되고, 상기 흡착 시트의 관통 구멍으로부터 돌출되도록 승강 동작하는 핀을 승강 동작시켜, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면을 상기 핀으로 밀어올려 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리하는 공정
을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 박리 방법.Adsorbing and retaining the polished glass substrate via a liquid in an adsorption sheet having a plurality of through holes formed on the glass substrate holding surface with a plurality of holes formed thereon to coincide with the opening surfaces of the plurality of holes; ,
A pin, which is disposed in the plurality of holes and moves up and down so as to protrude from the through hole of the adsorption sheet, is moved up and down, and the surface held by the adsorption sheet on the adsorption sheet of the glass substrate is pushed up by the pins to lift the glass substrate. Peeling from the adsorption sheet
A peeling method of the glass substrate characterized by the above-mentioned. 제9항에 있어서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 핀을 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 상기 유리 기판의 중앙부를 향하여 비스듬하게 상승시키고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 핀을 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 바로 위로 상승시키는 유리 기판의 박리 방법.The said plurality of through-holes and the said some hole are the edges of the area | region which adsorbs and hold | maintain the said glass substrate, The said glass substrate holding plate of Claim 9 so that it may face toward the center part of the said glass substrate from the said end. It is formed obliquely with respect to the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface, and is formed in the center part of the area | region which adsorbs-holds the said glass substrate, and is formed in parallel with the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of the said glass substrate holding surface plate, The said glass At the end of the region for holding and holding the substrate, the pin is raised obliquely toward the center portion of the glass substrate along the through hole and the hole, and in the middle portion of the region for holding and holding the glass substrate, Glass substrate for raising pins directly along the through holes and the holes Separation method. 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된, 상기 복수의 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과,
상기 복수의 구멍을 통하여, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면에 에어를 분사하여 상기 유리 기판을 밀어올려, 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리하는 공정
을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 박리 방법.Adsorbing and retaining the polished glass substrate via a liquid in an adsorption sheet having a plurality of through holes formed on the glass substrate holding surface with a plurality of holes formed thereon to coincide with the opening surfaces of the plurality of holes; ,
A step of blowing up the glass substrate by blowing air onto a surface adsorbed and held by the adsorption sheet of the glass substrate through the plurality of holes, and peeling the glass substrate from the adsorption sheet.
A peeling method of the glass substrate characterized by the above-mentioned. 제11항에 있어서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 에어를 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 상기 유리 기판의 중앙부를 향하여 비스듬하게 분사하고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 에어를 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 바로 위로 분사하는 유리 기판의 박리 방법.12. The glass substrate holding plate according to claim 11, wherein the plurality of through holes and the plurality of holes are arranged at an end portion of a region that adsorbs and holds the glass substrate from the end portion to a central portion of the glass substrate. It is formed obliquely with respect to the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface, and is formed in the center part of the area | region which adsorbs-holds the said glass substrate, and is formed in parallel with the orthogonal direction of the adsorption sheet installation surface of the said glass substrate holding surface plate, The said glass At the end of the region for holding and holding the substrate, the air is blown obliquely toward the center portion of the glass substrate along the through hole and the hole, and in the center portion of the region for holding and holding the glass substrate, A glass substrate for injecting air directly above the through hole and along the hole Separation method. 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된 흡착 시트의 상면에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과,
상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전함으로써, 상기 흡착 시트 및 상기 유리 기판의 상하를 반대로 반전하는 공정
을 구비하며, 상기 유리 기판과 상기 흡착 시트의 상하를 반대로 반전하여, 중력 방향 상방에 상기 흡착 시트, 하방에 상기 유리 기판이 위치하도록 하여, 상기 유리 기판이 자중에 의해 상기 흡착 시트로부터 박리되도록 한 것을 특징으로 하는 유리 기판의 박리 방법.Adsorption holding of the polished glass substrate via a liquid on the upper surface of the adsorption sheet loaded on the glass substrate holding plate;
A process of reversely inverting the top and bottom of the adsorption sheet and the glass substrate by inverting the top and bottom of the glass substrate holding plate.
And inverting the upper and lower sides of the glass substrate and the adsorption sheet in reverse, so that the adsorption sheet and the glass substrate are positioned below the gravity direction so that the glass substrate is peeled from the adsorption sheet by its own weight. The peeling method of a glass substrate characterized by the above-mentioned.
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