KR20140028859A - 멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법 - Google Patents
멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20140028859A KR20140028859A KR1020120096125A KR20120096125A KR20140028859A KR 20140028859 A KR20140028859 A KR 20140028859A KR 1020120096125 A KR1020120096125 A KR 1020120096125A KR 20120096125 A KR20120096125 A KR 20120096125A KR 20140028859 A KR20140028859 A KR 20140028859A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- light
- channel
- wavelength band
- amount
- light source
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 77
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0488—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts with spectral filtering
- G01J1/0492—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts with spectral filtering using at least two different filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/40—Measuring the intensity of spectral lines by determining density of a photograph of the spectrum; Spectrography
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/029—Multi-channel photometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J2001/4247—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors for testing lamps or other light sources
Abstract
본 발명은 멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법에 관한 것이다. 본 발명의 하나의 실시예에 따라, 광원으로부터 조사된 빛의 양을 센싱하는 광량 센싱 유닛에 있어서, 보드; 보드에 배열되되, 광원으로부터 조사된 빛 중에서 적어도 2 이상의 서로 다른 대역의 채널 광을 센싱하는 복수의 광센서 모듈; 을 포함하는, 멀티채널 광량 센싱 유닛이 제안된다. 또한, 그를 포함하는 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법이 제안된다.
Description
본 발명은 멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법에 관한 것이다. 구체적으로는 노광 광원의 스펙트럼 에너지의 다양한 종류의 파장 대역 피크를 정밀하게 측정할 수 있는 멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법에 관한 것이다.
본 발명은 UV(Ultra Violet), VIS(Visible), IR(Infrared radiation) 광원을 이용하여 광 개시제를 포함한 노광 경화용 드라이필름 또는 SR 잉크 등과 같은 반응체에 반응시키는 노광 공정에서 사용되는 노광기 내의 스펙트럼을 분석하고 적산 에너지를 멀티 채널로 정밀하게 측정하는 멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법에 관한 것이다.
노광기 내에서 사용되는 광원에는 다양한 종류의 파장 대역을 형성하는 가스, 메탈 소스들이 포함되어있으며 이러한 소스들에 의하여 고유의 에너지 피크가 정해지게 된다.
종래의 광 조도 측정기기의 경우에는 센서 및 광학 빔 경로에서 다양한 차이점과 다양한 측정 영역을 지지고 있다. 그러나 특정 파장 대역의 메인 피크 에너지를 정밀하게 측정하기 어려운 감도를 가지는 경우가 많이 있다. 이러한 이유는 UV 전 영역을 측정 대상으로 하거나 필요 이상으로 측정 대역폭을 넓게 가져가기 때문이다. 또한 센서 센싱 부분의 파장에 따른 응답 히스테리시스(response hysterises)가 주 영향을 미치기 때문이다. 이것은 광학 센서의 반응도(sensor sensitivity)가 특정 파장 대역에서 특화되지 못하고 둔감하게 측정됨을 의미한다. 또한 기존의 노광량을 관리하는 기준이 I 라인(365 nm)에서만 국한되어 있어, 솔더레지스트(SR)나 회로 등의 경화도에 영향을 미치는 다른 피크들의 요인을 측정하지 못하고 있었다.
전술한 문제를 해결하고자, 노광기 내의 광원 스펙트럼의 에너지를 정밀하게 측정할 수 있는 멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법을 제안하고자 한다.
전술한 문제를 해결하기 위하여, 본 발명의 제1 실시예에 따라, 광원으로부터 조사된 빛의 양을 센싱하는 광량 센싱 유닛에 있어서, 보드; 보드에 배열되되, 광원으로부터 조사된 빛 중에서 적어도 2 이상의 서로 다른 대역의 채널 광을 센싱하는 복수의 광센서 모듈; 을 포함하는, 멀티채널 광량 센싱 유닛이 제안된다.
이때, 하나의 예에서, 광센서 모듈 각각은: 광원으로부터 조사된 빛의 양을 감소시키는 ND 필터; ND 필터를 통과한 빛 중에서 특정 대역의 채널 광을 통과시키는 밴드패스필터(BPF); 및 BPF를 통과한 특정 대역의 채널 광의 광량을 센싱하는 광센서; 를 포함할 수 있다.
또한, 이때, 광센서 모듈 각각은: 광원으로부터 조사된 빛을 통과시키는 윈도우; 및 윈도우를 통과한 빛을 확산시켜 ND 필터로 제공하는 디퓨저; 를 더 포함할 수 있다.
또한, 하나의 예에 있어서, 복수의 광센서 모듈은: 보드에 배열되되, 광원으로부터 조사된 빛 중에서 365nm의 피크를 포함하는 제1 파장대역의 제1 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제1 광센서 모듈; 보드에 배열되되, 광원으로부터 조사된 빛 중에서 405nm의 피크를 포함하되 제1 파장대역과 이웃하는 제2 파장대역의 제2 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제2 광센서 모듈; 및 보드에 배열되되, 광원으로부터 조사된 빛 중에서 436nm의 피크를 포함하되 제2 파장대역과 이웃하는 제3 파장대역의 제3 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제3 광센서 모듈; 을 포함할 수 있다.
이때, 하나의 예에서, 제1 광센서 모듈의 수가 제2 및 제3 광센서 모듈의 수보다 많을 수 있다.
또한, 이때, 하나의 예에 따르면, 제1 채널 광의 제1 파장대역은 345 ~ 385nm이고, 제2 채널 광의 제2 파장대역은 385 ~ 425nm이고, 제3 채널 광의 제3 파장대역은 426 ~ 446nm일 수 있다.
또한, 하나의 예에 있어서, 광원으로부터 조사된 빛 중에서 335nm의 피크를 포함하되 제1 파장대역과 이웃하는 제4 파장대역의 제4 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제4 광센서 모듈 및 광원으로부터 조사된 빛 중에서 315nm의 피크를 포함하되 제4 파장대역과 이웃하는 제5 파장대역의 제5 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제5 광센서 모듈 중 적어도 하나 이상의 광센서 모듈을 더 포함할 수 있다.
이때, 제4 채널 광의 제4 파장대역은 325 ~ 345nm이고, 제5 채널 광의 제5 파장대역은 305 ~ 325nm일 수 있다.
또 하나의 예에서, 보드에 배열되되, 광원으로부터 조사된 빛의 열을 측정하는 적어도 하나 이상의 열전쌍 모듈을 더 포함할 수 있다.
이때, 하나의 예에서, 열전쌍 모듈은 열을 측정하는 열전쌍 센서와 습도를 측정하는 습도센서를 포함하여 이루어질 수 있다.
또한, 다른 하나의 예에서, 보드에 배열되되, 습도를 측정하는 습도센서 모듈을 더 포함할 수 있다.
다음으로, 전술한 문제를 해결하기 위하여, 본 발명의 제2 실시예에 따라, 노광기의 광원의 스펙트럼 에너지를 측정하는 측정 장치에 있어서, 노광기의 광원으로부터 조사된 빛의 채널별 에너지를 측정하는 전술한 제1 실시예들 중 어느 하나에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛을 포함하는, 노광기의 광원 에너지 측정 장치가 제안된다.
이때, 하나의 예에 있어서, 멀티채널 광량 센싱 유닛은 보드에 배열되며 광원으로부터 조사된 빛의 열을 측정하는 적어도 하나 이상의 열전쌍 모듈을 더 포함할 수 있다.
다음으로, 전술한 문제를 해결하기 위하여, 본 발명의 제3 실시예에 따라, 광원으로부터 조사된 빛의 에너지를 채널별로 측정하는 방법에 있어서, 특정 채널 광의 광량을 센싱하는 광센서 모듈이 특정 채널별로 배열된 보드로 조사된 빛 중에서, 적어도 2 이상의 서로 다른 대역의 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계; 및 일정 시간 동안 센싱된 광량으로부터 채널별로 적산 에너지를 산출하는 단계; 를 포함하는, 채널별 광원 에너지 측정 방법이 제안된다.
이때, 하나의 예에서, 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계는: 광원으로부터 조사된 빛의 양을 감소시키는 단계; 감소된 빛의 특정 대역의 채널 광을 동시에 채널별로 통과시키는 단계; 및 통과된 특정 대역의 채널 광의 광량을 동시에 센싱하는 단계; 를 포함할 수 있다.
또한, 하나의 예에 있어서, 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계에서, 365nm의 피크를 포함하는 제1 파장대역의 제1 채널 광, 405nm의 피크를 포함하되 제1 파장대역과 이웃하는 제2 파장대역의 제2 채널 광 및 436nm의 피크를 포함하되 제2 파장대역과 이웃하는 제3 파장대역의 제3 채널 광의 광량을 채널별로 동시에 센싱할 수 있다.
이때, 하나의 예에서, 제1 채널 광의 제1 파장대역은 345 ~ 385nm이고, 제2 채널 광의 제2 파장대역은 385 ~ 425nm이고, 제3 채널 광의 제3 파장대역은 426 ~ 446nm일 수 있다.
또한, 이때, 하나의 예에서, 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계에서는, 광원으로부터 조사된 빛 중에서, 335nm의 피크를 포함하되 제1 파장대역과 이웃하는 제4 파장대역의 제4 채널 광 및 315nm의 피크를 포함하되 제4 파장대역과 이웃하는 제5 파장대역의 제5 채널 광 중에서 적어도 하나 이상의 채널 광의 광량을 동시에 더 센싱할 수 있다.
이때, 제4 채널 광의 제4 파장대역은 325 ~ 345nm이고, 제5 채널 광의 제5 파장대역은 305 ~ 325nm일 수 있다.
또한, 하나의 예에서, 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계와 동시에, 광원으로부터 보드로 조사된 빛의 열을 측정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따라, 노광기 내의 광원 스펙트럼의 에너지를 정밀하게 측정할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따라, 노광기 내에서 발산되는 UV, 가시광(visable) 영역에서 정밀하게 원하는 대역의 에너지를 얻을 수 있다. 이에 따라, 각 노광기마다 시간에 따른 광원 효율 및 반사계 및 미러계를 통합한 시스템의 영향을 측정할 수 있다.
또한, 각 장비간 노광 타입간 차이에 의한 스텍트럼 변화를 측정할 수 있다. 본 발명에서, 솔더레지스트(SR) 공정 등에 영향을 미치는 주요 인자인 노광 에너지 차이 및 I, H, G의 비율 차이를 알 수 있으므로, 미세 공정 관리가 가능해질 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예에 따라 직접적으로 언급되지 않은 다양한 효과들이 본 발명의 실시예들에 따른 다양한 구성들로부터 당해 기술분야에서 통상의 지식을 지닌 자에 의해 도출될 수 있음은 자명하다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛을 이용하여 센싱되는 채널 대역을 표시한 Hg 아크 방전 스펙트럼 그래프이다.
도 2a 및 2b는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛을 개략적으로 나타낸 도면들이다.
도 3은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛의 광센서 모듈을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2a 및 2b는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛을 개략적으로 나타낸 도면들이다.
도 3은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛의 광센서 모듈을 개략적으로 나타낸 도면이다.
전술한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명될 것이다. 본 설명에 있어서, 동일부호는 동일한 구성을 의미하고, 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 이해를 도모하기 위하여 부차적인 설명은 생략될 수도 있다.
본 명세서에서 하나의 구성요소가 다른 구성요소와 연결, 결합 또는 배치 관계에서 '직접'이라는 한정이 없는 이상, '직접 연결, 결합 또는 배치'되는 형태뿐만 아니라 그들 사이에 또 다른 구성요소가 개재됨으로써 연결, 결합 또는 배치되는 형태로도 존재할 수 있다.
본 명세서에 비록 단수적 표현이 기재되어 있을지라도, 발명의 개념에 반하거나 명백히 다르거나 모순되게 해석되지 않는 이상 복수의 구성 전체를 대표하는 개념으로 사용될 수 있음에 유의하여야 한다. 본 명세서에서 '포함하는', '갖는', '구비하는', '포함하여 이루어지는' 등의 기재는 하나 또는 그 이상의 다른 구성요소 또는 그들의 조합의 존재 또는 부가 가능성이 있는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 참조되는 도면들은 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 예시로써, 모양, 크기, 두께 등은 기술적 특징의 효과적인 설명을 위해 과장되게 표현된 것일 수 있다.
우선, 본 발명의 하나의 실시예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법를 도면을 참조하여 구체적으로 살펴볼 것이다. 이때, 참조되는 도면에 기재되지 않은 도면부호는 동일한 구성을 나타내는 다른 도면에서의 도면부호일 수 있다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛을 이용하여 센싱되는 채널 대역을 표시한 Hg 아크 방전 스펙트럼 그래프이다. 도 2a 및 2b는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛을 개략적으로 나타낸 도면들이고, 도 3은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛의 광센서 모듈을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2a, 2b 및 3을 참조하면, 하나의 예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)은 광원(1)으로부터 조사된 빛의 양을 센싱한다. 이때, 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)은 보드 및 보드에 배열되되 광원(1)으로부터 조사된 빛 중에서 적어도 2 이상의 서로 다른 대역의 채널 광을 센싱하는 복수의 광센서 모듈(100)을 포함한다. 이때, 적어도 2 이상의 서로 다른 대역은 서로 이웃하는 대역일 수 있고, 예컨대, 연속하도록 이웃하는 대역일 수 있다. 예컨대, 적어도 2 이상의 서로 다른 대역이 연속하도록 이웃됨에 따라 전체 구간에서 누락되는 파장 구간이 없이 각 대역별로 정밀한 광량을 측정할 수 있게 된다. 따라서 하나의 특정 대역만이 아니라 SR이나 회로 등의 경화도에 영향을 미치는 다른 피크를 포함하는 대역에 대해서도 정밀한 광량 측정이 가능하게 된다.
또한, 도 2a 및 2b를 참조하면, 또 하나의 예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)은 적어도 하나 이상의 열전쌍 모듈(101)을 더 포함할 수도 있다.
도 3을 참조하여 하나의 예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)을 구체적으로 살펴본다. 이때, 하나의 예에서, 보드에 배열된 각각의 광센서 모듈(100)은 ND 필터(140), 밴드패스필터(BPF)(150) 및 광센서(110)를 포함할 수 있다. 또한, 하나의 예에서, 도 3을 참조하면, 각각의 광센서 모듈(100)은 윈도우(120) 및 디퓨저(130)를 더 포함할 수도 있다.
도 3을 참조하면, ND(Neutral Density) 필터(140)는 광원(1)으로부터 조사된 빛의 양을 감소시킨다. 예컨대, 윈도우(120)를 통해 들어온 빛이 디퓨저(130)를 통해 확산된 후 ND 필터(140)로 들어오고 ND 필터(140)에서 빛의 세기가 감소된다. 본 실시예에서, ND 필터(140)를 구비함으로써, 스펙트럼 강도(spectrum intensity)를 먼저 낮추고 해당 영역을 필터링하게 되어, 하이 레졸루션(high resolution)의 정밀 측정이 가능하게 된다.
다음, 도 3에서 광센서 모듈(100)의 BPF(150)는 ND 필터(140)를 통과한 빛 중에서 특정 대역의 채널 광을 통과시킨다. BPF(150)의 통과 대역에 따라 광센서 모듈(100)에서 센싱하고자 하는 파장 대역이 정해진다.
다음으로, 도 3에서 광센서(110)는 BPF(150)를 통과한 특정 대역의 채널 광의 광량을 센싱할 수 있다.
또한, 하나의 예에 따르면, 도 3에서, 광센서 모듈(100)의 윈도우(120)는 광원(1)으로부터 조사된 빛을 통과시킨다. 도 3에서 도면부호 120은 광원(1)으로부터 조사된 빛을 통과시키는 윈도우를 나타낸다.
다음, 도 3에서, 광센서 모듈(100)의 디퓨저(130)는 윈도우(120)를 통과한 빛을 확산시켜 ND 필터(140)로 제공한다.
다음으로, 도 2a 및 2b를 참조하여, 하나의 예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)을 구체적으로 살펴본다. 이때, 복수의 광센서 모듈(100)은 적어도 하나 이상의 제1 광센서 모듈(100a), 적어도 하나 이상의 제2 광센서 모듈(100b) 및 적어도 하나 이상의 제3 광센서 모듈(100c)을 포함하여 이루어질 수 있다. 또한, 명시적으로 도시되지 않았으나, 도 1을 더 참조하면, 하나의 예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)은 적어도 하나 이상의 제4 광센서 모듈(도시되지 않음) 및 적어도 하나 이상의 제5 광센서 모듈(도시되지 않음) 중의 어느 하나 이상을 더 포함할 수 있다.
이때, 각 광센서 모듈(100)의 배치는 광원(1)의 수에 따라 달라질 수도 있다. 예컨대, 도 2a는 하나의 광원(1)으로부터 조사된 빛의 광량을 센싱하기 위한 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)을 나타내는 것으로 각각의 광센서 모듈들(100)이 보드에 가능한 고르게 분포되도록 배치되어 있다. 또한, 예컨대, 도 2b는 일렬로 연속 배치된 8개의 광원(1)으로부터 조사된 빛의 광량을 센싱하기 위한 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)을 나타내는 것으로, 각각의 광센서 모듈들(100)이 보드에 8열(column)로 배치되어 있다.
도 2a 및 2b를 참조하면, 적어도 하나 이상의 제1 광센서 모듈(100a)은 보드에 배열된다. 이때, 제1 광센서 모듈(100a)은 광원(1)으로부터 조사된 빛 중에서 365nm의 피크를 포함하는 제1 파장대역의 제1 채널 광의 광량을 센싱한다. 예컨대, 제1 파장대역은 다음에 언급될 제2 파장대역과 이웃할 수 있다.
예컨대, 제1 채널 광의 제1 파장대역은 345 ~ 385nm일 수 있다. 즉, 365nm의 피크를 중심으로 ±20nm의 필터 윈도우 폭을 가질 수 있다. 이에 따라, 365nm의 피크를 중심으로 ±20nm의 필터 윈도우 폭을 통과한 채널 광이 센싱될 수 있다.
하나의 예에서, 제1 광센서 모듈(100a)의 수가 제2 및 제3 광센서 모듈(100b, 100c)의 수보다 많을 수 있다.
다음, 도 2a 및 2b를 참조하면, 적어도 하나 이상의 제2 광센서 모듈(100b)은 보드에 배열된다. 이때, 제2 광센서 모듈(100b)은 광원(1)으로부터 조사된 빛 중에서 405nm의 피크를 포함하는 제2 파장대역의 제2 채널 광의 광량을 센싱한다. 이때, 제2 파장대역은 제1 파장대역 및 다음에 언급될 제3 파장대역과 이웃할 수 있다. 예컨대, 제2 파장대역은 제1 파장대역 및 제3 파장대역과 중첩되지 않도록 이웃할 수 있다. 다만, 제2 파장대역이 제1 파장대역 및 제3 파장대역과 이웃하는 경우에, 파장대역을 결정하는 필터의 오차 등에 의하여 실질적으로 일부가 중첩되더라도 본 발명의 범위를 벗어나지 않는다.
하나의 예에 따르면, 제2 채널 광의 제2 파장대역은 385 ~ 425nm일 수 있다. 즉, 405nm의 피크를 중심으로 ±20nm의 필터 윈도우 폭을 가질 수 있다.
계속하여, 도 2a 및 2b를 참조하면, 적어도 하나 이상의 제3 광센서 모듈(100c)은 보드에 배열된다. 이때, 제3 광센서 모듈(100c)은 광원(1)으로부터 조사된 빛 중에서 436nm의 피크를 포함하는 제3 파장대역의 제3 채널 광의 광량을 센싱한다. 예컨대, 제3 파장대역은 제2 파장대역과 중첩되지 않도록 이웃할 수 있다. 비록, 본 명세서에서 파장대역이 중첩되지 않도록 이웃하는 것으로 기재된 경우에도, 파장대역을 결정하는 필터는 수 nm, 예컨대 2 ~ 3nm의 오차를 가질 수 있으므로, 실질적으로 일부가 중첩되는 경우를 완전히 배제하는 것으로 해석되지 않아야 한다.
하나의 예에 따르면, 제3 채널 광의 제3 파장대역은 426 ~ 446nm일 수 있다. 즉, 436nm의 피크를 중심으로 ±10nm의 필터 윈도우 폭을 가질 수 있다. 또는, 제2 파장대역과의 연속성 또는/및 필터 오차를 고려하여 제3 파장대역을 425 ~ 445nm로 할 수도 있다.
다음으로, 명시적으로 도시되지 않았으나, 도 1을 참조하면, 또 하나의 예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)은 적어도 하나 이상의 제4 광센서 모듈(도시되지 않음) 및 적어도 하나 이상의 제5 광센서 모듈(도시되지 않음) 중의 어느 하나 이상의 광센서 모듈을 더 포함할 수 있다.
이때, 제4 광센서 모듈(도시되지 않음)은 광원(1)으로부터 조사된 빛 중에서 335nm의 피크를 포함하되 제1 파장대역과 이웃하는 제4 파장대역의 제4 채널 광의 광량을 센싱할 수 있다. 예컨대, 제4 파장대역은 제1 파장대역과 중첩되지 않도록 이웃할 수 있다.
이때, 하나의 예에서, 제4 채널 광의 제4 파장대역은 325 ~ 345nm일 수 있다.
다음으로, 제5 광센서 모듈(도시되지 않음)은 광원(1)으로부터 조사된 빛 중에서 315nm의 피크를 포함하되 제4 파장대역과 이웃하는 제5 파장대역의 제5 채널 광의 광량을 센싱할 수 있다. 예컨대, 제5 파장대역은 제4 파장대역과 중첩되지 않도록 이웃할 수 있다.
이때, 하나의 예에서, 제5 채널 광의 제5 파장대역은 305 ~ 325nm일 수 있다.
또한, 도시되지 않았으나, 하나의 예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)은 기타 작은 피크를 포함하는 파장대역을 갖는 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 광센서 모듈을 더 포함할 수 있다. 예컨대, 550nm의 피크를 포함하는 대역 또는/및 580nm의 피크를 포함하는 대역을 갖는 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 광센서 모듈을 더 포함할 수 있다.
또한, 도 2a 및 2b를 참조하면, 또 하나의 예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)은 적어도 하나 이상의 열전쌍 모듈(101)을 더 포함할 수도 있다.
도 2a 및 2b에서, 열전쌍 모듈(101)은 보드에 배열되되, 광원(1)으로부터 조사된 빛의 열을 측정할 수 있다.
이때, 하나의 예에서, 열전쌍 모듈(101)은 열을 측정하는 열전쌍 센서와 습도를 측정하는 습도센서를 포함하여 이루어질 수 있다.
또한, 도시되지 않았으나, 다른 하나의 예에서, 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)은 습도센서 모듈을 더 포함할 수 있다. 이때, 습도센서 모듈은 보드에 배열되되, 습도를 측정할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 제2 실시예에 따른 노광기의 광원 에너지 측정 장치를 구체적으로 살펴본다. 이때, 전술한 제1 실시예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)이가 참조될 수 있고, 그에 따라 중복되는 설명들은 생략될 수도 있다.
노광기에서 사용하는 광원(1)의 주 스펙트럼은 다양한 종류를 가지고 있고, 예컨대 고압의 Hg 아크방전 램프를 사용함으로써 경화에 필요한 UV 에너지를 얻을 수 있다. 도 1은 일반적인 Hg 아크방전 램프의 스텍트럼을 나타내는데, 노광기의 광원 에너지 측정 장치의 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)을 이용하여 센싱되는 채널 대역이 표시되어 있다.
도 1에서 메인 피크는 I, H, G로 표시된 중심 피크가 365, 405, 436nm에 해당하며, 315nm와 345nm에서 서브 피크가 존재한다. 본 발명에서는 드라이필름 및 솔더레지스트(SR) 잉크에 직접적인 영향을 미치는 복수의 메인 피크, 예컨대 I, H, G 3개의 메인 피크, 또는 I, H, G 3개의 메인 피크 외에 추가적인 서브 피크의 적산 에너지를 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)에서 한번에 구할 수 있다. 또한, 대면적에서 광량뿐만 아니라 온도, 또는 온도 및 습도를 측정할 수 있다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 노광기의 광원 에너지 측정 장치는 노광기의 광원(1)의 스펙트럼 에너지를 측정한다. 이때, 노광기의 광원 에너지 측정 장치는 노광기의 광원(1)으로부터 조사된 빛의 채널별 에너지를 측정하는 전술한 제1 실시예들 중 어느 하나에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)을 포함하여 이루어진다. 이때, 노광기의 광원 에너지 측정 장치의 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)은 보드 및 보드에 배열되되 광원(1)으로부터 조사된 빛 중에서 적어도 2 이상의 서로 다른 대역의 채널 광을 센싱하는 복수의 광센서 모듈(100)을 포함하여 이루어질 수 있다. 이때, 적어도 2 이상의 서로 다른 대역은 서로 이웃하는 대역일 수 있고, 예컨대, 연속하도록 이웃하는 대역일 수 있다. 예컨대, 적어도 2 이상의 서로 다른 대역이 연속하도록 이웃됨에 따라 전체 구간에서 누락되는 파장 구간이 없이 각 대역별로 정밀한 광량을 측정할 수 있게 된다.
이때, 하나의 예에서, 보드에 배열된 각각의 광센서 모듈(100)은 ND 필터(140), 밴드패스필터(BPF)(150) 및 광센서(110)를 포함할 수 있다. 또한, 하나의 예에서, 각각의 광센서 모듈(100)은 윈도우(120) 및 디퓨저(130)를 더 포함할 수도 있다.
또한, 하나의 예에서, 복수의 광센서 모듈(100)은 적어도 하나 이상의 제1 광센서 모듈(100a), 적어도 하나 이상의 제2 광센서 모듈(100b) 및 적어도 하나 이상의 제3 광센서 모듈(100c)을 포함하여 이루어질 수 있다.
이때, 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)의 제1 광센서 모듈(100a)은 광원(1)으로부터 조사된 빛 중에서 365nm의 피크를 포함하는 제1 파장대역의 제1 채널 광의 광량을 센싱할 수 있다. 예컨대, 제1 채널 광의 제1 파장대역은 345 ~ 385nm일 수 있다.
또한, 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)의 제2 광센서 모듈(100b)은 광원(1)으로부터 조사된 빛 중에서 405nm의 피크를 포함하는 제2 파장대역의 제2 채널 광의 광량을 센싱할 수 있고, 이때, 하나의 예에서, 제2 채널 광의 제2 파장대역은 385 ~ 425nm일 수 있다.
계속하여, 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)의 제3 광센서 모듈(100c)은 광원(1)으로부터 조사된 빛 중에서 436nm의 피크를 포함하는 제3 파장대역의 제3 채널 광의 광량을 센싱할 수 있고, 하나의 예에서, 제3 채널 광의 제3 파장대역은 426 ~ 446nm일 수 있다.
또한, 하나의 예에 따른 노광기의 광원 에너지 측정 장치에서, 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)은 335nm의 피크를 포함하되 제1 파장대역과 이웃하는 제4 파장대역의 제4 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제4 광센서 모듈(도시되지 않음) 및 315nm의 피크를 포함하되 제4 파장대역과 이웃하는 제5 파장대역의 제5 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제5 광센서 모듈(도시되지 않음) 중의 어느 하나 이상의 광센서 모듈을 더 포함할 수 있다. 이때, 하나의 예에서, 제4 채널 광의 제4 파장대역은 325~ 345nm일 수 있고, 제5 채널 광의 제5 파장대역은 305 ~ 325nm일 수 있다.
하나의 예에 있어서, 노광기의 광원 에너지 측정 장치의 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)은 보드에 배열되며 광원(1)으로부터 조사된 빛의 열을 측정하는 적어도 하나 이상의 열전쌍 모듈(101)을 더 포함할 수 있다. 이때, 하나의 예에서, 열전쌍 모듈(101)은 열을 측정하는 열전쌍 센서와 습도를 측정하는 습도센서를 포함하여 이루어질 수 있다.
다음으로, 본 발명의 제3 실시예에 따른 채널별 광원 에너지 측정 방법을 구체적으로 살펴본다. 이때, 전술한 제1 실시예에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛(10) 및 전술한 제2 실시예에 따른 노광기의 광원 에너지 측정 장치가 참조될 수 있고, 그에 따라 중복되는 설명들은 생략될 수도 있다.
도 1에서 메인 피크는 I, H, G로 표시된 중심 피크가 365, 405, 436nm에 해당하며, 추가적으로 315nm와 345nm에서 서브 피크가 존재한다. 메인 피크과 서브 피크의 에너지는 해당 적산면적에 해당되며, 이것을 다시 시간의 합으로 표시하면 적산 에너지로 계산될 수 있다. 본 발명에서는 드라이필름 및 솔더레지스트(SR) 잉크에 직접적인 영향을 미치는 복수의 메인 피크, 예컨대 I, H, G 3개의 메인 피크, 또는 I, H, G 3개의 메인 피크 외에 추가적인 서브 피크의 적산 에너지를 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)을 이용하여 한번에 구할 수 있다. 예컨대, 도 1에서 A는 회로 노광시 광량 측정범위를 나타내고, B는 UV 노광 측정범위를 나타낸다.
또한, 대면적에서 광량뿐만 아니라 온도, 또는 온도 및 습도를 측정할 수 있다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 채널별 광원 에너지 측정 방법은 광원(1)으로부터 조사된 빛의 에너지를 채널별로 측정하는 방법에 관한 것으로, 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계 및 적산 에너지 산출 단계를 포함하여 이루어질 수 있다. 이때, 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계에서는, 특정 채널 광의 광량을 센싱하는 광센서 모듈(100)이 특정 채널별로 배열된 보드로 조사된 빛 중에서, 적어도 2 이상의 서로 다른 대역의 채널 광을 채널별로 동시에 센싱할 수 있다. 이때, 적어도 2 이상의 서로 다른 대역은 서로 이웃하는 대역일 수 있고, 예컨대, 연속하도록 이웃하는 대역일 수 있다. 예컨대, 적어도 2 이상의 서로 다른 대역이 연속하도록 이웃됨에 따라 전체 구간에서 누락되는 파장 구간이 없이 각 대역별로 정밀한 광량을 측정할 수 있게 된다.
이때, 하나의 예에서, 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계는 광원(1)으로부터 조사된 빛의 양을 감소시키는 단계, 감소된 빛의 특정 대역의 채널 광을 동시에 채널별로 통과시키는 단계 및 통과된 특정 대역의 채널 광의 광량을 동시에 센싱하는 단계를 포함할 수 있다. 이때, 각각의 단계는 각 채널 별로 수행될 수 있다. 예컨대, 광원(1)으로부터 조사된 빛의 양은 ND 필터(140)를 사용하여 감소시킬 수 있고, BPF(150)를 사용하여 감소된 빛의 특정 대역의 채널 광을 동시에 채널별로 통과시킬 수 있다. 또한, BPF(150)를 통과한 특정 대역의 채널 광의 광량은 다수의 광센서(110)를 사용하여 동시에 센싱할 수 있다.
또한, 채널별 광원 에너지 측정 방법의 하나의 예를 살펴보면, 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계에서는, 365nm 피크(I 피크)를 포함하는 제1 파장대역의 제1 채널 광, 405nm 피크(H 피크)를 포함하되 제1 파장대역과 이웃하는 제2 파장대역의 제2 채널 광 및 436nm 피크(G 피크)를 포함하되 제2 파장대역과 이웃하는 제3 파장대역의 제3 채널 광의 광량을 채널별로 동시에 센싱할 수 있다. 예컨대, 도 2a 및/또는 2b에 도시된 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)을 이용하여 채널별로 제1, 제2 및 제3 채널 광을 동시에 센싱할 수 있다.
이때, 하나의 예에서, 제1 채널 광의 제1 파장대역은 345 ~ 385nm일 수 있다. 제2 채널 광의 제2 파장대역은 385 ~ 425nm일 수 있다. 또한, 제3 채널 광의 제3 파장대역은 426 ~ 446nm일 수 있다. 이에 따라, I, H, G 피크를 포함하며, 실질적으로 누락되는 파장대역없이 측정하고자 하는 전체 구간의 파장대역에서 각 채널별로 정밀한 광량 측정이 가능할 수 있다.
또한, 하나의 예에 따른 채널별 광원 에너지 측정 방법을 살펴보면, 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계에서는, 광원(1)으로부터 조사된 빛 중에서, 제1, 제2 및 제3 채널 광과 동시에 제4 및 제5 채널 광 중의 적어도 하나 이상의 채널 광의 광량을 더 센싱할 수 있다.
이때, 제4 채널 광은 335nm 피크를 포함하되 제1 파장대역과 이웃하는 제4 파장대역을 갖는다. 예컨대, 제4 채널 광의 제4 파장대역은 325 ~ 345nm일 수 있다.
또한, 제5 채널 광은 315nm 피크를 포함하되 제4 파장대역과 이웃하는 제5 파장대역을 갖는다. 예컨대, 제5 채널 광의 제5 파장대역은 305 ~ 325nm일 수 있다.
예컨대, 제4 및 제5 채널 광을 더 센싱함에 따라, I, H, G 피크뿐만 아니라 315nm 및 335nm 피크를 포함하며, 실질적으로 누락되는 파장대역없이 측정하고자 하는 전체 구간의 파장대역에서 각 채널별로 정밀한 광량 측정이 가능할 수 있다.
또 하나의 예에 따른 채널별 광원 에너지 측정 방법을 살펴보면, 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계와 동시에, 광원(1)으로부터 보드로 조사된 빛의 열을 측정하는 단계를 더 포함할 수 있다. 예컨대, 적어도 하나 이상의 열전쌍 모듈(101)을 더 포함하는 멀티채널 광량 센싱 유닛(10)을 이용하여 광원(1)으로부터 보드로 조사된 빛의 열을 측정할 수 있다.
다음으로, 적산 에너지 산출 단계에서는 일정 시간 동안 센싱된 광량으로부터 채널별로 적산 에너지를 산출한다. 적산에너지는 조도와 시간의 곱으로 구할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따라, 노광기 내에서 발산되는 UV, 가시광(visable) 영역에서 정밀하게 원하는 대역의 에너지를 얻을 수 있다. 이에 따라, 각 노광기마다 시간에 따른 광원 효율 및 반사계 및 미러계를 통합한 시스템의 영향을 측정할 수 있다. 또한, 각 장비간 노광 타입간 차이에 의한 스텍트럼 변화를 측정할 수 있다. 본 발명에서, 솔더레지스트(SR) 공정 등에 영향을 미치는 주요 인자인 노광 에너지 차이 및 I, H, G의 비율 차이를 알 수 있으므로, 미세 공정 관리가 가능해질 수 있다.
이상에서, 전술한 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 범주를 제한하는 것이 아니라 본 발명에 대한 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자의 이해를 돕기 위해 예시적으로 설명된 것이다. 또한, 전술한 구성들의 다양한 조합에 따른 실시예들이 앞선 구체적인 설명들로부터 당업자에게 자명하게 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명의 다양한 실시예는 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 범위는 특허청구범위에 기재된 발명에 따라 해석되어야 하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의한 다양한 변경, 대안, 균등물들을 포함하고 있다.
1 : 광원 10 : 멀티채널 광량 센싱 유닛
100 : 광센서 모듈 100a : 제1 광센서 모듈
100b : 제2 광센서 모듈 100c : 제3 광센서 모듈
101 : 열전쌍 모듈 110 : 광센서
120 : 윈도우 130 : 디퓨저
140 : ND 필터 150 : BPF
100 : 광센서 모듈 100a : 제1 광센서 모듈
100b : 제2 광센서 모듈 100c : 제3 광센서 모듈
101 : 열전쌍 모듈 110 : 광센서
120 : 윈도우 130 : 디퓨저
140 : ND 필터 150 : BPF
Claims (20)
- 광원으로부터 조사된 빛의 양을 센싱하는 광량 센싱 유닛에 있어서,
보드;
상기 보드에 배열되되, 상기 광원으로부터 조사된 빛 중에서 적어도 2 이상의 서로 다른 대역의 채널 광을 센싱하는 복수의 광센서 모듈; 을 포함하는,
멀티채널 광량 센싱 유닛.
- 청구항 1에 있어서,
상기 광센서 모듈 각각은:
상기 광원으로부터 조사된 빛의 양을 감소시키는 ND 필터;
상기 ND 필터를 통과한 빛 중에서 특정 대역의 채널 광을 통과시키는 밴드패스필터(BPF); 및
상기 BPF를 통과한 상기 특정 대역의 채널 광의 광량을 센싱하는 광센서; 를 포함하는,
멀티채널 광량 센싱 유닛.
- 청구항 2에 있어서,
상기 광센서 모듈 각각은:
상기 광원으로부터 조사된 빛을 통과시키는 윈도우; 및
상기 윈도우를 통과한 빛을 확산시켜 상기 ND 필터로 제공하는 디퓨저; 를 더 포함하는,
멀티채널 광량 센싱 유닛.
- 청구항 1에 있어서,
상기 복수의 광센서 모듈은:
상기 보드에 배열되되, 상기 광원으로부터 조사된 빛 중에서 365nm의 피크를 포함하는 제1 파장대역의 제1 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제1 광센서 모듈;
상기 보드에 배열되되, 상기 광원으로부터 조사된 빛 중에서 405nm의 피크를 포함하되 상기 제1 파장대역과 이웃하는 제2 파장대역의 제2 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제2 광센서 모듈; 및
상기 보드에 배열되되, 상기 광원으로부터 조사된 빛 중에서 436nm의 피크를 포함하되 상기 제2 파장대역과 이웃하는 제3 파장대역의 제3 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제3 광센서 모듈; 을 포함하는,
멀티채널 광량 센싱 유닛.
- 청구항 4에 있어서,
상기 제1 광센서 모듈의 수가 상기 제2 및 제3 광센서 모듈의 수보다 많은,
멀티채널 광량 센싱 유닛.
- 청구항 4에 있어서,
상기 제1 채널 광의 제1 파장대역은 345 ~ 385nm이고,
상기 제2 채널 광의 제2 파장대역은 385 ~ 425nm이고,
상기 제3 채널 광의 제3 파장대역은 426 ~ 446nm인,
멀티채널 광량 센싱 유닛.
- 청구항 4에 있어서,
상기 광원으로부터 조사된 빛 중에서 335nm의 피크를 포함하되 상기 제1 파장대역과 이웃하는 제4 파장대역의 제4 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제4 광센서 모듈 및 상기 광원으로부터 조사된 빛 중에서 315nm의 피크를 포함하되 상기 제4 파장대역과 이웃하는 제5 파장대역의 제5 채널 광의 광량을 센싱하는 적어도 하나 이상의 제5 광센서 모듈 중 적어도 하나 이상의 광센서 모듈을 더 포함하는,
멀티채널 광량 센싱 유닛.
- 청구항 7에 있어서,
상기 제4 채널 광의 제4 파장대역은 325 ~ 345nm이고,
상기 제5 채널 광의 제5 파장대역은 305 ~ 325nm인,
멀티채널 광량 센싱 유닛.
- 청구항 1 내지 8 중의 어느 하나에 있어서,
상기 보드에 배열되되, 상기 광원으로부터 조사된 빛의 열을 측정하는 적어도 하나 이상의 열전쌍 모듈을 더 포함하는,
멀티채널 광량 센싱 유닛.
- 청구항 9에 있어서,
상기 열전쌍 모듈은 상기 열을 측정하는 열전쌍 센서와 습도를 측정하는 습도센서를 포함하여 이루어지는,
멀티채널 광량 센싱 유닛.
- 청구항 9에 있어서,
상기 보드에 배열되되, 습도를 측정하는 습도센서 모듈을 더 포함하는,
멀티채널 광량 센싱 유닛.
- 노광기의 광원의 스펙트럼 에너지를 측정하는 측정 장치에 있어서,
상기 노광기의 상기 광원으로부터 조사된 빛의 채널별 에너지를 측정하는 청구항 1 내지 8 중의 어느 하나에 따른 멀티채널 광량 센싱 유닛을 포함하는,
노광기의 광원 에너지 측정 장치.
- 청구항 12에 있어서,
상기 멀티채널 광량 센싱 유닛은 상기 보드에 배열되며 상기 광원으로부터 조사된 빛의 열을 측정하는 적어도 하나 이상의 열전쌍 모듈을 더 포함하는,
노광기의 광원 에너지 측정 장치.
- 광원으로부터 조사된 빛의 에너지를 채널별로 측정하는 방법에 있어서,
특정 채널 광의 광량을 센싱하는 광센서 모듈이 특정 채널별로 배열된 보드로 조사된 빛 중에서, 적어도 2 이상의 서로 다른 대역의 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계; 및
일정 시간 동안 센싱된 광량으로부터 상기 채널별로 적산 에너지를 산출하는 단계; 를 포함하는,
채널별 광원 에너지 측정 방법.
- 청구항 14에 있어서,
상기 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계는:
상기 광원으로부터 조사된 빛의 양을 감소시키는 단계;
상기 감소된 빛의 특정 대역의 채널 광을 동시에 채널별로 통과시키는 단계; 및
상기 통과된 상기 특정 대역의 채널 광의 광량을 동시에 센싱하는 단계; 를 포함하는,
채널별 광원 에너지 측정 방법.
- 청구항 14에 있어서,
상기 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계에서, 365nm의 피크를 포함하는 제1 파장대역의 제1 채널 광, 405nm의 피크를 포함하되 상기 제1 파장대역과 이웃하는 제2 파장대역의 제2 채널 광 및 436nm의 피크를 포함하되 상기 제2 파장대역과 이웃하는 제3 파장대역의 제3 채널 광의 광량을 채널별로 동시에 센싱하는,
채널별 광원 에너지 측정 방법.
- 청구항 16에 있어서,
상기 제1 채널 광의 제1 파장대역은 345 ~ 385nm이고,
상기 제2 채널 광의 제2 파장대역은 385 ~ 425nm이고,
상기 제3 채널 광의 제3 파장대역은 426 ~ 446nm인,
채널별 광원 에너지 측정 방법.
- 청구항 16에 있어서,
상기 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계에서는, 상기 광원으로부터 조사된 빛 중에서, 335nm의 피크를 포함하되 상기 제1 파장대역과 이웃하는 제4 파장대역의 제4 채널 광 및 315nm의 피크를 포함하되 상기 제4 파장대역과 이웃하는 제5 파장대역의 제5 채널 광 중에서 적어도 하나 이상의 채널 광의 광량을 동시에 더 센싱하는,
채널별 광원 에너지 측정 방법.
- 청구항 18에 있어서,
상기 제4 채널 광의 제4 파장대역은 325 ~ 345nm이고,
상기 제5 채널 광의 제5 파장대역대역 ~ 325nm인,
채널별 광원 에너지 측정 방법.
- 청구항 14 내지 19 중의 어느 하나에 있어서,
상기 채널 광을 채널별로 동시에 센싱하는 단계와 동시에, 상기 광원으로부터 상기 보드로 조사된 빛의 열을 측정하는 단계를 더 포함하는,
채널별 광원 에너지 측정 방법.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120096125A KR20140028859A (ko) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법 |
| DE102013109026.5A DE102013109026A1 (de) | 2012-08-31 | 2013-08-21 | Multikanal Lichtmengenerfassungsmodul, Lichtmengenerfassungseinrichtung zur Messung der Lichtmenge einer Belichtungseinrichtung und Verfahren zur kanalaufgelösten Messung einer Lichtmenge |
| US14/012,969 US20140061448A1 (en) | 2012-08-31 | 2013-08-28 | Multi-channel luminous energy sensing unit, apparatus for measuring light energy of exposure device and method for measuring light energy by channel |
| JP2013179828A JP2014048296A (ja) | 2012-08-31 | 2013-08-30 | マルチチャンネル光量検知ユニット、露光器の光源エネルギ測定装置及びチャネル別光源エネルギ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120096125A KR20140028859A (ko) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20140028859A true KR20140028859A (ko) | 2014-03-10 |
Family
ID=50098551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020120096125A KR20140028859A (ko) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20140061448A1 (ko) |
| JP (1) | JP2014048296A (ko) |
| KR (1) | KR20140028859A (ko) |
| DE (1) | DE102013109026A1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160073451A (ko) * | 2014-12-16 | 2016-06-27 | 광전자 주식회사 | Pcb를 이용한 다채널 광센서 및 제조 방법 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6647622B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2020-02-14 | 株式会社Ｓｕｂａｒｕ | 爆発性スパーク評価システム及び爆発性スパーク評価方法 |
| JP2020016758A (ja) * | 2018-07-25 | 2020-01-30 | 株式会社オーク製作所 | 紫外線照射装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007327923A (ja) | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Olympus Corp | 分光測定装置および分光測定装置の調整方法 |
| US8675077B2 (en) * | 2008-07-23 | 2014-03-18 | Flir Systems, Inc. | Alignment metrology and resolution measurement system for imaging arrays |
| KR101287167B1 (ko) | 2011-02-22 | 2013-07-16 | 한국화학연구원 | ２，３－부탄디올로부터 １，３－부타디엔 및 ２－부탄온을 제조하는 방법 |
-
2012
- 2012-08-31 KR KR1020120096125A patent/KR20140028859A/ko not_active Application Discontinuation
-
2013
- 2013-08-21 DE DE102013109026.5A patent/DE102013109026A1/de not_active Withdrawn
- 2013-08-28 US US14/012,969 patent/US20140061448A1/en not_active Abandoned
- 2013-08-30 JP JP2013179828A patent/JP2014048296A/ja not_active Abandoned
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160073451A (ko) * | 2014-12-16 | 2016-06-27 | 광전자 주식회사 | Pcb를 이용한 다채널 광센서 및 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2014048296A (ja) | 2014-03-17 |
| US20140061448A1 (en) | 2014-03-06 |
| DE102013109026A1 (de) | 2014-03-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8699023B2 (en) | Reflectivity measuring device, reflectivity measuring method, membrane thickness measuring device, and membrane thickness measuring method | |
| US5771094A (en) | Film measurement system with improved calibration | |
| WO2013147038A1 (ja) | 物質特性測定装置 | |
| US7859668B2 (en) | Apparatus and method for illuminator-independent color measurements | |
| TWI633294B (zh) | Concentration measuring device | |
| KR20140028859A (ko) | 멀티채널 광량 센싱 유닛, 노광기의 광원 에너지 측정 장치 및 채널별 광원 에너지 측정 방법 | |
| JP2010133833A (ja) | 測光装置 | |
| CN103698005A (zh) | 自校准光源光谱调谐器 | |
| JP2011107114A (ja) | 測光装置 | |
| US20120307240A1 (en) | Spectrophotometer and method for determining performance thereof | |
| JP2010266421A (ja) | 車両用ヘッドライトの照射光測定方法とその装置 | |
| US8476574B1 (en) | Method of deconvolution of spectral data | |
| JP2010112808A (ja) | 光パワーメータ | |
| JP5556362B2 (ja) | 分光特性測定装置およびその校正方法 | |
| KR101239573B1 (ko) | 측광 장치 | |
| JP2022151664A (ja) | ガスセンサ | |
| CN103383347A (zh) | 非线性误差的绝对测量方法及装置 | |
| CN103460137B (zh) | 测光装置和曝光装置 | |
| JP2013088263A (ja) | 分光装置校正方法 | |
| CN111323121A (zh) | 一种紫外光谱遥感仪器大量程线性性测试装置及方法 | |
| JP2013160701A (ja) | 波長可変単色光光源 | |
| JP2013171007A (ja) | 光パワーメータ | |
| JP5483161B2 (ja) | レーザ式ガス分析装置のゼロ・スパン調整方法 | |
| CN110031190A (zh) | 一种透过率测量准确性标定方法 | |
| CN210488026U (zh) | 一种多通道滤光片 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| WITB | Written withdrawal of application |