JP2022151664A

JP2022151664A - ガスセンサ

Info

Publication number: JP2022151664A
Application number: JP2022030424A
Authority: JP
Inventors: エジソンカマルゴ; Camargo Edson; 翔太一色; Shota Isshiki
Original assignee: Asahi Kasei Electronics Co Ltd
Current assignee: Asahi Kasei Electronics Co Ltd
Priority date: 2021-03-25
Filing date: 2022-02-28
Publication date: 2022-10-07

Abstract

【課題】測定対象ガスに加えて干渉ガスが存在する場合であっても高精度なガス濃度測定が可能なガスセンサが提供される。【解決手段】ガスセンサ（１０００）は、赤外線を出力する第１、第２の発光部（１０１、２０１）と、入射した赤外線に応じた出力信号を出力する第１、第２の受光部（１０２、２０２）と、第１の発光部から出射した光が第１の受光部に入射するまでに通過する第１の光路領域（１０）と、第２の発光部から出射した光が第２の受光部に入射するまでに通過する第２の光路領域（２０）と、を備え、光路領域に共通領域（３０）を有し、第１の光路領域の光路長は第２の光路領域の光路長よりも長く、第１の受光部の測定対象ガスに対する出力信号の変化率は第２の受光部より大きく、第２の受光部の干渉ガスに対する出力信号の変化率は第１の受光部より大きく、前記第２の受光部の感度ピーク波長は、水蒸気の吸収波長と重なる。【選択図】図１

Description

本発明はガスセンサに関する。

ＮＤＩＲ（ＮｏｎＤｉｓｐｅｒｓｉｖｅＩｎｆｒａＲｅｄ）方式のガスセンサは、高い信頼性及び長期間における測定再現性という観点から、高精度のガス濃度測定装置に一般的に用いられる。

例えば、特許文献１では、１つの光源と２つの光検出器を用いたガスセンサが開示されている。

特開２００４－１３８４９９号公報

特許文献１に開示されるような従来のガスセンサでは、測定対象ガスの吸収波長付近に他のガス（以下、干渉ガスと称することがある）の吸収がある場合に高精度なガス濃度測定が困難である。

例えば、測定対象ガスがメタンガスの場合、メタンガスの吸収波長は３．１～３．５μｍにある。また、一般的な環境に少なからず存在する水蒸気の吸収波長は２．７～３．３μｍ付近にある。そのため、測定対象ガス（メタンガス）と水蒸気との吸収波長の干渉が生じ、高精度なメタンガスの濃度測定が困難になる。

本発明は、測定対象ガスに加えて干渉ガスが存在する場合であっても高精度なガス濃度測定が可能なガスセンサを提供することを課題とする。

本発明の第１の態様におけるガスセンサは、
それぞれ赤外線を出力する第１の発光部及び第２の発光部と、
それぞれ入射した赤外線に応じた出力信号を出力する第１の受光部及び第２の受光部と、
前記第１の発光部から出射した光が前記第１の受光部に入射するまでに通過する第１の光路領域と、
前記第２の発光部から出射した光が前記第２の受光部に入射するまでに通過する第２の光路領域と、を備え、
前記第１の光路領域と前記第２の光路領域は少なくとも一部に共通領域を有し、
前記第１の光路領域の光路長は、第２の光路領域の光路長よりも長く、
前記第１の受光部の所定量の測定対象ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率は、前記第２の受光部の前記所定量の測定対象ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率よりも大きく、
前記第２の受光部の所定量の干渉ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率は、前記第１の受光部の前記所定量の干渉ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率よりも大きく、
前記第２の受光部の感度ピーク波長は、水蒸気の吸収波長と重なる。

本発明によれば、測定対象ガスに加えて干渉ガスが存在する場合であっても高精度なガス濃度測定が可能なガスセンサを提供することができる。

図１は、本発明の一実施形態のガスセンサを説明するための概略図である。図２は、本発明の一実施形態のガスセンサを説明するための模式図である。図３は、使用環境温度が６０℃、かつ、メタンガス濃度が０ｐｐｍでの各相対湿度における、第１の受光部の出力信号レベルと、第２の受光部の出力信号レベルの相関関係を示したグラフである。図４は、第２の受光部の信号による湿度補正を適用しなかった場合の出力変動値を示したグラフである。図５は、第２の受光部の信号による湿度補正を適用した場合の出力変動値を示したグラフである。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

＜ガスセンサ＞
本実施形態のガスセンサは、それぞれ赤外線を出力する第１の発光部及び第２の発光部と、それぞれ入射した赤外線に応じた出力信号を出力する第１の受光部及び第２の受光部と、第１の発光部から出射した光が第１の受光部に入射するまでに通過する第１の光路領域と、第２の発光部から出射した光が第２の受光部に入射するまでに通過する第２の光路領域と、を備える。

第１の光路領域の光路長は、第２の光路領域の光路長よりも長い。ここで、光路長とは光路領域を通過する光の密度がもっとも高い経路の長さ（あるいは、発光部から発せられた光が受光部まで到達するまでの光学的最短距離）を意味する。

第１の受光部の所定量の測定対象ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率は、第２の受光部の所定量の測定対象ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率よりも大きい。また、第２の受光部の所定量の干渉ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率は、第１の受光部の所定量の干渉ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率よりも大きい。また、第２の受光部の感度ピーク波長は、水蒸気の吸収波長と重なる。ここで、第２の受光部の感度ピーク波長が水蒸気の吸収波長と重なるとは、第２の受光部の感度ピーク波長が水蒸気の吸収波長の少なくとも一部に含まれることを意味する。

詳細は後述するが、上記構成要件を備えることにより、干渉ガスと測定対象ガスの検出性能（例えばＳＮＲ：ｓｉｇｎａｌｔｏｎｏｉｓｅｒａｔｉｏ）を所望の性能に最適化することが可能となり、それぞれの受光部の出力信号を用いることで、干渉ガスの影響を低減し、測定対象ガスの有無の判定及び高精度な濃度の測定が可能になる。さらに、第２の受光部の感度ピーク波長は、水蒸気の吸収波長と重なることで、干渉ガスのうち影響の大きい水蒸気の影響を低減することができるため、測定対象ガスの有無の判定及び高精度な濃度の測定が可能になる。

＜受光部＞
本実施形態のガスセンサにおける第１の受光部及び第２の受光部は、それぞれ入射した赤外線の強度に応じた出力信号を出力する。第１の光路領域及び第２の光路領域に発光部から出力された赤外線を吸収するガスが存在すると、赤外線は減衰して第１の受光部及び第２の受光部のそれぞれに入射する。受光部の一例としては、焦電センサ、サーモパイル、フォトトランジスタ、フォトダイオードなどが挙げられる。受光部は、高い応答性を実現する観点から、フォトトランジスタ及びフォトダイオードに代表される量子型赤外線センサであるであることが好ましく、フォトダイオードであることがより好ましい場合がある。

測定対象ガス及び干渉ガスの濃度変化に対する第１の受光部及び第２の受光部の出力信号の変化率の大小関係が上述した条件を充足するようにするため、第１の受光部と第２の受光部の分光感度特性が異なるものとすることが好ましい場合がある。

ここで分光感度特性とは、入射する光の各波長に対する感度特性を意味する。

分光感度特性を所望のものにする方法は特に制限されないが、例えば受光部がフォトダイオードの場合、活性層の材料及び組成比を調整することで、それぞれ所望のバンドギャップにする方法、光路領域に光学フィルタを設ける方法などが挙げられる。

測定対象ガス及び干渉ガスの濃度変化に対する第１の受光部及び第２の受光部の出力信号の変化率の大小関係が上述した条件を充足するようにするために光学フィルタを用いることができる。光学フィルタを用いる場合、第１の光路領域又は第２の光路領域の領域中のいずれか一方に光学フィルタを設ける形態であってよいし、第１の光路領域及び第２の光路領域の領域中のそれぞれに、それぞれ波長透過特性が異なる光学フィルタを設ける形態であってよい。

また、ガスセンサの精度を保ちながら、長期間の信頼性を高める方法として、第１の受光部と第２の受光部の応答速度を異なるものとし、低消費化を実現することが好ましい場合がある。特に測定対象ガスがメタンガスに代表される可燃性ガスであり、干渉ガスが環境中に一般的に存在する水蒸気である場合、環境中に一般的に存在しないメタンガス若しくは可燃性ガスの濃度変化は、保管場所等からの漏洩による突発的な変化である。これに対して、環境中に一般的に存在する水蒸気濃度の変化は非常に緩やかである。そのため、第１の受光部と第２の受光部の応答速度を異なるようにすることで、低消費かつ十分な精度を確保し、長期間の信頼性を高めることができる。

測定対象ガスがメタンガスに代表される可燃性ガスの場合、波長が３～４μｍ及び７～８．５μｍの赤外線に対して吸収波長を示し、特に３．３μｍ前後の赤外線に対して高い吸収波長を示す。干渉ガスとして環境中に一般的に存在する水蒸気は、波長が、２～３μｍ及び５～８μｍの赤外線に対して吸収波長を示し、２．７～３．３μｍ前後の赤外線に対して高い吸収波長を示す。

したがって、第２の受光部の感度ピーク波長は、水蒸気の吸収波長と重なればよく、２～３μｍ又は５～８μｍにあることが好ましい。また、可燃性ガスの影響を受けにくくするため、第２の受光部の感度ピーク波長は、可燃性ガスの吸収波長と重ならない２～３μｍ又は５～７μｍにあることが好ましい。一方で、第１の受光部の感度ピーク波長は、測定対象ガスの吸収波長に重なればよく、波長が３～４μｍ又は７～８．５μｍにあることが好ましい。

ここで、第１の受光部の感度ピーク波長を、第２の受光部の感度ピーク波長よりも３．３μｍに近いものとすることにより、所定量の測定対象ガスの濃度変化に対し、第１の受光部の出力信号の変化率を、第２の受光部の出力信号の変化率よりも大きくすることが可能となる。

また、第２の受光部の感度ピーク波長は、第１の受光部の感度ピーク波長よりも２．７μｍに近いものとすることにより、所定量の干渉ガスの濃度変化に対し、第１の受光部の出力信号の変化率よりも、第２の受光部の出力信号の変化率を大きくすることが可能となる。

＜発光部＞
本実施形態のガスセンサにおける第１の発光部、第２の発光部は、測定対象ガスの吸収波長の赤外線を出力できる光源であれば、特に制限されない。一例としては、電球及びＭＥＭＳヒータ等の熱型光源、ＬＡＳＥＲ光源及びＬＥＤ等の量子型光源が挙げられる。応答速度の観点から赤外線ＬＥＤが好ましい場合がある。また、測定対象ガス又は干渉ガスが可燃性のガスの場合は、発熱量が少なく、より安全な量子型光源が好ましい場合がある。

測定対象ガス及び干渉ガスの濃度変化に対する第１の受光部及び第２の受光部の出力信号の変化率の大小関係が上述した条件を充足するようにするために、第１の発光部と第２の発光部の発光スペクトルが異なるものとすることが好ましい場合がある。

ここで発光スペクトルとは、発光する光の各波長に対する光の強度分布を意味する。

赤外線ＬＥＤの場合、発光層の材料及び組成比を調整することにより、発光スペクトル（中心発光波長及び波長帯域等）を所望のものにすることができるため好ましい場合がある。

＜光路領域＞
本発明における光路領域は発光部から受光部までの空間を意味する。すなわち、第１の光路領域は第１の発光部から出射した光が第１の受光部に入射するまでに通過する空間を意味する。また、第２の光路領域は第２の発光部から出射した光が第２の受光部に入射するまでに通過する空間を意味する。第１の光路領域と第２の光路領域を併せて「光路領域」と称する場合がある。

この光路領域に測定対象ガス及び干渉ガスが侵入することにより、その測定対象ガス及び干渉ガスによる光の吸収が生じ、受光部が受ける光量が変化し、測定対象ガス及び干渉ガスの濃度に応じた出力信号が得られる。図１では、第１の発光部１０１から発せられた光線Ｌ１（光の経路であって「第１光路」と称することがある）を一点破線にて概略的に示している。また、図１では、第２の発光部２０１から発せられた光線Ｌ２（光の経路であって「第２光路」と称することがある）を別の一点破線にて概略的に示している。

また、図２に示すように、第１光路と第２光路とは交差してよい。省スペース化の観点から、第１光路と第２光路との交差が好ましい場合がある。

さらに、第１光路と第２光路を交差させることは、第１光路と第２光路を分離させる場合と比較し、測定対象ガスと干渉ガスの光路空間中における濃度分布の違いによる測定結果への影響が少ないため、好ましい場合がある。

典型的には、光路領域は、発光部から発せられた光が受光部に到達するように反射率の高い部材（ミラーとも称される）を配置することで形成される。あるいは発光部の発光面と受光部の受光面が対向するように配置することで形成されてよい。

＜本実施形態のガスセンサの具体的な構成の一例＞
図１は、本発明の一実施形態のガスセンサ１０００の概略図である。

図１で示すガスセンサは、それぞれ赤外線を出力する第１の発光部１０１及び第２の発光部２０１と、それぞれ入射した赤外線に応じた出力信号を出力する第１の受光部１０２及び第２の受光部２０２と、第１の発光部１０１から出射した光が第１の受光部１０２に入射するまでに通過する第１の光路領域１０と、第２の発光部２０１から出射した光が第２の受光部２０２に入射するまでに通過する第２の光路領域２０を備える。

第１の光路領域１０と第２の光路領域２０は、一方の一部が他方の一部と空間的に共通となる共通領域３０を有している。

第１の受光部１０２及び第２の受光部２０２は、第１の受光部の所定量の測定対象ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率が、第２の受光部の所定量の測定対象ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率よりも大きく、第２の受光部の所定量の干渉ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率が、第１の受光部の所定量の干渉ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率よりも大きくなるように設計されている。

また、第１の光路領域の光路長（第１の発光部１０１から出射した光が第１の受光部１０２に入射するまでの光線Ｌ１で示される光路長）は、第２の光路領域の光路長（第２の発光部２０１から出射した光が第２の受光部２０２に入射するまでの光線Ｌ２で示される光路長）よりも長い。

発光駆動部４００は第１の発光部１０１と第２の発光部２０１を駆動するために設けられる。発光駆動部４００は定電流のパルス又は定電圧のパルスを第１の発光部１０１及び第２の発光部２０１に供給してよい。

また濃度演算部５００は第１の受光部１０２と第２の受光部２０２からの出力信号及び温度センサ３００からの出力信号を利用して、測定対象ガス濃度を算出してよい。高精度な測定の観点から、温度センサからの出力を用いて、温度補正を実行することが好ましい場合がある。

また、発光駆動部４００と濃度演算部５００を同期させて第１の受光部１０２と第２の受光部２０２の出力信号が検出されてよい。第１の発光部１０１から光を放射させ、第１の受光部１０２にて信号を検出する周波数と、第２の発光部２０１から光を放射させ、第２の受光部２０２にて信号を検出する周波数を異なる周波数で動作し、同時に光を放射し、信号を検出することがないようにする、若しくは同じ周波数でも各発光部から光を放射させて各受光部から信号を検出するタイミングを時間的にずらすことによって、両受光部のクロストークを除去できる。このクロストーク除去は量子型の発光部と受光部を利用することによって、効率よく行うことができるため、好ましい場合がある。また発光部が熱型光源であり、光源からの熱放射の影響を受光部が受ける場合、信号検出のタイミングでの受光部が受けている熱放射の影響を個別に検出することできるため、この熱放射の影響を正確に検出し、信号処理にて影響を抑制することが可能となる。

また、第１光学フィルタ１０３と第２光学フィルタ２０３は干渉ガスと測定対象ガスの吸収波長帯の光をそれぞれ透過させるバンドパスフィルタであってよい。

第１の光路領域と第２の光路領域は省スペース且つ長くしたい場合、図２に示す構成であってよい。また、図２に示すように、第１の光路領域と第２の光路領域が共通領域を設けることによって、第１光路と第２光路中の測定対象ガスと干渉ガスの濃度分布の違いの影響を抑制し、高い精度での干渉ガスの影響除去が可能となるので、好ましい場合がある。

また、発光駆動部４００と濃度演算部５００は、光路領域内に設けてよい。このことによって、さらなる小型化が実現できる。

＜実施例＞
図２に示したように、第１の発光部からの光線と第２の発光部からの光線が略直交するように第１の発光部、第１の受光部、第２の発光部、第２の受光部、第１の光路領域及び第２の領域を形成するための複数のミラーをそれぞれ配置し、ガスセンサを作製した。

＜第１の発光部、受光部、及び第１の光路領域＞
第１の発光部と第１の受光部はＧａＡｓ基板上に形成されたＰ層／活性層／Ｎ層の積層構造から成るチップサイズ０．７×０．７μｍ２のＬＥＤとフォトダイオードである。活性層は厚みが１．３４μｍのＡｌＩｎＳｂを利用して、Ａｌの組成を８．９％にした。

ＬＥＤが７段、フォトダイオードが７３段にエッチングプロセスにより分割され、最後に電気的に直列接続されるように、金属配線層が設けられた。

光の入射口及び出射口はＧａＡｓ基板の積層構造が形成されていない面側に設けられ、ＳＭＴ（Ｓｕｒｆａｃｅ―ｍｏｕｎｔＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）樹脂封止された。また、フォトダイオードのパッケージ上部に中心透過波長が３．３μｍの光学フィルタが設けられ、ＬＥＤとフォトダイオードはそれぞれ回路との接続を行うために、ＰＣＢ（ＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔＢｏａｒｄ）が利用された。高いＳＮＲを実現するため、信号処理回路はフォトダイオード付近に設けられた。

また、第１の発光部（ＬＥＤ）からの光線は、反射面がアルミの薄膜である１７個の凹面鏡により多重反射し、第１の受光部（フォトダイオード）に到達する。光路長は１ｍの長さであり、発光部から放出された光の１５％以上が受光部に到達するように設計された。

ＬＥＤを１００ｍＡの電流値で間欠駆動し、メタン濃度換算で数ｐｐｍ程度の分解能が実現できた。

＜第２の発光部、受光部、及び光路領域＞
第２の発光部、第２の受光部、及び第２の光路領域は、上述した第１の発光部、第１の受光部、及び第１の光路領域と下記の項目が異なるように構成された。
活性層の厚み：１μｍ
活性層のＡｌの組成：１４％
フォトダイオード段数：４１段
ＬＥＤ段数：６段
光学フィルタ中心波長：２．７μｍ
凹面鏡：５個
光路長：８０ｍｍ
ＬＥＤを１００ｍＡの電流値で間欠駆動し、水蒸気濃度換算で５００ｐｐｍ程度の分解能が実現できた。

＜水蒸気影響を除去する補正＞
上記で得られた第２の受光部からの出力Ｓ２と第１の受光部からの出力Ｓ１との相関関数をｆとすると、メタン濃度が０ｐｐｍの条件下において、下記の式（１）が得られる。

Ｓ１＝ｆ（Ｓ２）｜_０ｐｐｍ … （１）

水蒸気の影響を補正し、第１の受光部からメタンによる信号変化のみを取り出した出力変動率Ｓ１_ａｄｊは式（２）のように算出できる。

Ｓ１_ａｄｊ＝（Ｓ１―ｆ（Ｓ２）｜_０ｐｐｍ）／ｆ（Ｓ２）｜_０ｐｐｍ … （２）

ここで、式（１）及び式（２）における「｜_０ｐｐｍ」は、測定対象ガス（メタンガス）が０ｐｐｍの条件下で得られた相関関数ｆであることを示す。

式（２）ではメタンが０ｐｐｍの場合、水蒸気の濃度が０ｐｐｍ以上であっても、出力変動率Ｓ１_ａｄｊは０ｐｐｍとなる。つまり、水蒸気の濃度が変化しても、メタン濃度が変化しない場合、出力変動率Ｓ１_ａｄｊは変化しない。式（２）では、メタン濃度が変動したときのみ、出力変動率Ｓ１_ａｄｊがメタン濃度の変動に応じて変化する。

図３は本実施例において、上記式（１）で示した相関関数ｆ（Ｓ２）の導出に用いた測定結果である。メタン濃度が０ｐｐｍでかつ６０℃の環境下において、相対湿度を０％、４０％、６０％、８０％と変化させたときの第１の受光部からの出力Ｓ１と第２の受光部からの出力Ｓ２の測定結果をプロットし、相関関数ｆ（Ｓ２）を導出した。また相関関数ｆ（Ｓ２）の導出には、第１の受光部からの出力Ｓ１と第２の受光部からの出力Ｓ２に対し、温度センサの温度情報を用い、温度補正を行った後の値を用いてよい。そうすることで温度補正機能も備えた相関関数ｆ（Ｓ２）を導出することができる。

図４では水蒸気補正をせずに（第１の受光部からの出力Ｓ１のみを用いて）、水蒸気が温度６０℃での相対湿度ＲＨ４０％、６０％、８０％相当のそれぞれの環境下における、メタン濃度変化に応じた第１の受光部からの出力変動率「（Ｓ１－Ｓ１（０））／Ｓ１（０）」を示す。出力変動率は、メタン及び水蒸気が０ｐｐｍの時の、第１の受光部からの出力信号「Ｓ１（０）」を基準にし、信号減衰量「Ｓ１―Ｓ１（０）」を出力変動率「Ｓ１―Ｓ１（０）／Ｓ１（０）」で表したものである。図４から明らかな通り、相対湿度が変化すると、同じメタン濃度であっても出力信号が異なるため、出力信号からメタン濃度を高精度に特定することができない。

他方、図５は第１の受光部からの出力信号に加えて、第２の受光部からの出力Ｓ２も用いて、上記式（１）（２）に示した関数から水蒸気の影響を補正し、メタンによる信号変化のみを取り出した出力変動率Ｓ１_ａｄｊを示す。

図５に示されたとおり、相対湿度ＲＨが変化しても各メタン濃度で補正された出力信号変動率は略一致しており、当該補正された出力信号からメタン濃度を高精度に特定することが可能であることが理解できる。

ここで、出力変動率Ｓ１_ａｄｊに対し、濃度演算テーブル又は指数関数のフィッティングを適用することで、測定対象ガスの濃度を演算することができる。例えば、一定の水蒸気濃度下で、測定対象ガスの濃度Ｃを変更させた場合の出力変動率Ｓ１_ａｄｊとの相関を示す関数をｇとした場合、測定対象ガスの濃度Ｃは、下記の式（３）より得られる。

Ｃ＝ｇ（Ｓ１_ａｄｊ） … （３）

ここで、測定対象ガスの濃度を算出することに用いられる式（２）及び式（３）は多項式であることが好ましい。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特に、本実施形態の説明では湿度（水蒸気）による影響を除去することを中心に説明したが、他の精度誤差要因による影響を除去することも可能である。一例としては温度特性（測定時の温度による出力変化）による影響を除去することが可能である。

１０第１の光路領域
２０第２の光路領域
３０共通領域
１０１第１の発光部
１０２第１の受光部
２０１第２の発光部
２０２第２の受光部
１０３第１の光学フィルタ
２０３第２の光学フィルタ
３００温度センサ
４００発光駆動部
５００濃度演算部
１０００ガスセンサ
Ｌ１第１の発光部からの光線
Ｌ２第２の発光部からの光線

Claims

それぞれ赤外線を出力する第１の発光部及び第２の発光部と、
それぞれ入射した赤外線に応じた出力信号を出力する第１の受光部及び第２の受光部と、
前記第１の発光部から出射した光が前記第１の受光部に入射するまでに通過する第１の光路領域と、
前記第２の発光部から出射した光が前記第２の受光部に入射するまでに通過する第２の光路領域と、を備え、
前記第１の光路領域と前記第２の光路領域は少なくとも一部に共通領域を有し、
前記第１の光路領域の光路長は、第２の光路領域の光路長よりも長く、
前記第１の受光部の所定量の測定対象ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率は、前記第２の受光部の前記所定量の測定対象ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率よりも大きく、
前記第２の受光部の所定量の干渉ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率は、前記第１の受光部の前記所定量の干渉ガスの濃度変化に対する出力信号の変化率よりも大きく、
前記第２の受光部の感度ピーク波長は、水蒸気の吸収波長と重なるガスセンサ。
前記第１の受光部と前記第２の受光部の分光感度特性が異なる請求項１に記載のガスセンサ。
前記第１の受光部と前記第２の受光部の応答速度が異なる請求項１又は２に記載のガスセンサ。
前記第１の受光部及び前記第２の受光部は量子型赤外線センサである請求項１から３のいずれか一項に記載のガスセンサ。
前記第１の光路領域又は前記第２の光路領域のいずれか一方の領域中に光学フィルタを更に備える請求項１から４のいずれか一項に記載のガスセンサ。
前記第１の光路領域及び前記第２の光路領域のそれぞれの領域中に、それぞれ波長透過特性が異なる光学フィルタを更に備える請求項１から４のいずれか一項に記載のガスセンサ。
前記第１の発光部と前記第２の発光部の発光スペクトルが異なる請求項１から６のいずれか一項に記載のガスセンサ。
前記第１の発光部及び前記第２の発光部は赤外線ＬＥＤである請求項１から７のいずれか一項に記載のガスセンサ。
前記第２の受光部の感度ピーク波長は２～３μｍ又は５～８μｍに重なる、請求項１から８のいずれか一項に記載のガスセンサ。
前記第１の受光部の感度ピーク波長は、前記第２の受光部の感度ピーク波長よりも３．３μｍに近い請求項１から９のいずれか一項に記載のガスセンサ。
前記第２の受光部の感度ピーク波長は、前記第１の受光部の感度ピーク波長よりも２．７μｍに近い請求項１から１０のいずれか一項に記載のガスセンサ。
前記第１の受光部の出力信号と前記第２の受光部の出力信号から、前記干渉ガスの影響を除去した式を算出し、前記式を用いて前記測定対象ガスの濃度を算出する、請求項１から１１のいずれか一項に記載のガスセンサ。
前記式は多項式であることを特徴とする、請求項１２に記載のガスセンサ。