KR20140025517A - Alignment device, and alignment method - Google Patents

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KR20140025517A
KR20140025517A KR1020137033207A KR20137033207A KR20140025517A KR 20140025517 A KR20140025517 A KR 20140025517A KR 1020137033207 A KR1020137033207 A KR 1020137033207A KR 20137033207 A KR20137033207 A KR 20137033207A KR 20140025517 A KR20140025517 A KR 20140025517A
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substrate
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야스히로 다키모토
히로아키 즈키모토
다이스케 후지타
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다즈모 가부시키가이샤
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Abstract

얼라인먼트 대상물의 변형을 억제하고, 고정밀도의 얼라인먼트를 저부하에서 행한다. 본 발명의 얼라인먼트 장치(100)는, 스핀 척(110) 및 지지부(130)를 구비한다. 스핀 척(110)은, 얼라인먼트 대상물(10)을 흡착하여 회전한다. 지지부(130)는, 스핀 척(110)이 흡착하고 있는 위치와는 상이한 위치에서 불활성 가스를 분출하고, 회전하는 얼라인먼트 대상물(10)을 분출되는 불활성 가스에 의해 지지한다. The deformation of the alignment object is suppressed, and the highly accurate alignment is performed at low load. The alignment device 100 of the present invention includes a spin chuck 110 and a support part 130. The spin chuck 110 attracts and rotates the alignment target object 10. The support part 130 ejects an inert gas at a position different from the position which the spin chuck 110 adsorb | sucks, and supports the rotating alignment object 10 with the inert gas which blows out.

Description

얼라인먼트 장치 및 얼라인먼트 방법{ALIGNMENT DEVICE, AND ALIGNMENT METHOD}Alignment device and alignment method {ALIGNMENT DEVICE, AND ALIGNMENT METHOD}

본 발명은, 얼라인먼트 장치 및 얼라인먼트 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 흡착 회전 수단을 구비하는 얼라인먼트 장치, 및 흡착 회전 수단을 이용한 얼라인먼트 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an alignment device and an alignment method, and more particularly, to an alignment device having an adsorption rotation means, and an alignment method using the adsorption rotation means.

기판 등에 정밀한 가공을 행할 때, 가공 전에 가공 대상의 기판 등의 얼라인먼트(위치의 조정)를 해 두는 것은 유용하다. 예를 들면, 특허문헌 1의 기재와 같은 다이싱 테이프가 붙여진 기판에 대하여, 다이싱 전에 얼라인먼트함으로써, 순조롭게 다이싱을 행할 수 있다. When performing a precise process etc. in a board | substrate etc., it is useful to make alignment (adjustment of a position) of the board | substrate etc. of a process object before processing. For example, dicing can be performed smoothly by aligning before dicing with respect to the board | substrate with which the dicing tape like the description of patent document 1 was affixed.

얼라인먼트를 위한 얼라인먼트 장치에는 몇 가지 종류가 있다. 그 중의 하나로서, 얼라인먼트 대상물(예를 들면, 기판)을 회전시켜, 회전 중의 얼라인먼트 대상물의 위치를 검출하고, 목적으로 하는 위치와 검출한 위치의 차이에 의거하여 얼라인먼트 대상물을 이동시킴으로써, 얼라인먼트를 행하는 얼라인먼트 장치가 있다. There are several types of alignment devices for alignment. As one of them, an alignment object (for example, a substrate) is rotated, the position of the alignment object during rotation is detected, and alignment is performed by moving the alignment object based on the difference between the target position and the detected position. There is an alignment device.

상기 얼라인먼트 장치에 대하여 상세하게 설명한다. 상기 얼라인먼트 장치에서는, 먼저, 기판(얼라인먼트 대상물)의 중앙 부근을 스핀 척이 흡착하여, 당해 기판을 회전시킨다. 그리고, 상기 기판에 대하여, 기판의 표면측으로부터 광을 조사하고, 이면측에 있어서 광을 검출함으로써, 광을 조사한 위치에 기판이 존재하는지 여부를 판정한다. 상기 기판은 회전하고 있으므로, 상술의 광의 조사 및 검출을 계속하여 행함으로써, 상기 기판 전체의 위치를 확인할 수 있다. 상기 얼라인먼트 장치는, 이상과 같이, 상기 기판의 위치를 검출하여, 목적으로 하는 위치와 검출한 위치의 차이에 의거하여 얼라인먼트 대상물을 이동시킴으로써, 얼라인먼트를 행한다. The alignment device will be described in detail. In the alignment device, the spin chuck first adsorbs near the center of the substrate (alignment object) to rotate the substrate. And it irradiates light to the said board | substrate from the front surface side of a board | substrate, and detects light in a back surface side, and determines whether a board | substrate exists in the position to which light was irradiated. Since the said board | substrate is rotating, the position of the said whole board | substrate can be confirmed by continuing irradiating and detecting the above-mentioned light. As described above, the alignment apparatus detects the position of the substrate and performs alignment by moving the alignment target object based on the difference between the target position and the detected position.

그러나, 상술한 얼라인먼트 장치에 있어서, 얼라인먼트의 정밀도가 저하되는 경우가 있다. However, in the above-mentioned alignment apparatus, the accuracy of alignment may fall.

즉, 스핀 척은, 통상, 얼라인먼트 대상물의 중앙 부근만을 흡착하므로, 얼라인먼트 대상물의 외주 부분에 있어서 자중에 의한 휘어짐 등의 변형이 발생하는 경우가 있다. 이 경우에는, 상기 변형에 따라 얼라인먼트 대상물의 단부의 위치 등이 어긋나기 때문에, 상술한 얼라인먼트 장치로는 상기 기판의 위치를 정확하게 검출할 수 없다. 이 때문에, 얼라인먼트의 정밀도가 저하된다. That is, since the spin chuck normally only adsorbs the vicinity of the center of the alignment target object, deformation such as bending due to its own weight may occur in the outer peripheral portion of the alignment target object. In this case, since the position etc. of the edge part of an alignment target object shift | deviate according to the said deformation | transformation, the position of the said board | substrate cannot be detected correctly with the above-mentioned alignment apparatus. For this reason, the precision of alignment falls.

특히, 특허문헌 1에 기재와 같은, 다이싱 테이프가 붙여진 기판은, 다이싱 테이프만으로 이루어지는 부분이 자중으로 휘어지기 쉬워, 이 문제가 현저해진다. 여기에서, 특허문헌 2에는, 다이싱 테이프의 외주부를 이면으로부터 지지하는 지지 수단을 설치하는 것이 제안되어 있다. In particular, in the board | substrate with a dicing tape like description of patent document 1, the part which consists only of a dicing tape tends to bend to self weight, and this problem becomes remarkable. Here, it is proposed in patent document 2 to provide the support means which supports the outer peripheral part of a dicing tape from a back surface.

그러나, 특허문헌 2의 지지 수단은 다이싱 테이프의 이면에 접촉하고 있으므로, 얼라인먼트 대상물의 회전시에 마찰이 작용하여, 스핀 척에 부하가 걸려, 소비 전력이 커지는 문제가 있다. However, since the support means of patent document 2 is in contact with the back surface of a dicing tape, friction acts at the time of rotation of an alignment object, a load is applied to a spin chuck, and there exists a problem that power consumption becomes large.

일본국 특허공개 2006-135272호 공보Japanese Patent Publication No. 2006-135272 일본국 특허공개 2011-3837호 공보Japanese Patent Publication No. 2011-3837

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 얼라인먼트 대상물의 변형을 억제하고, 고정밀도의 얼라인먼트를 저부하에서 행하는 얼라인먼트 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다. This invention is made | formed in view of the said subject, and an object of this invention is to provide the alignment technique which suppresses the deformation | transformation of the alignment object, and performs alignment of a high precision at low load.

본 발명의 얼라인먼트 장치는, 흡착 회전 수단 및 지지 수단을 구비한다. 흡착 회전 수단은, 얼라인먼트 대상물을 흡착하여 회전한다. 지지 수단은, 흡착 회전 수단이 흡착하고 있는 위치와는 상이한 위치에서 불활성 가스를 분출하고, 회전하는 상기 얼라인먼트 대상물을 분출되는 상기 불활성 가스에 의해 지지한다. The alignment apparatus of this invention is equipped with a suction rotation means and a support means. The suction rotating means sucks and rotates the alignment object. The support means ejects an inert gas at a position different from the position where the adsorption rotation means is adsorbed, and supports the rotating alignment object by the inert gas ejected.

또한, 본 발명의 얼라인먼트 방법은, 얼라인먼트 대상물을 흡착 회전 수단에 의해 흡착시키는 흡착 공정과, 상기 흡착 회전 수단을 회전시킴으로써, 상기 얼라인먼트 대상물을 회전시키는 회전 공정과, 회전하는 상기 얼라인먼트 대상물의 위치를 검출하는 위치 검출 공정과, 상기 얼라인먼트 대상물을 이동시키는 위치 조정 공정을 포함한다. 그리고, 본 발명의 얼라인먼트 방법은, 상기 회전 공정에서는, 상기 흡착 회전 수단이 흡착하고 있는 위치와는 상이한 위치에서 불활성 가스를 분출하고, 상기 얼라인먼트 대상물을 분출되는 불활성 가스에 의해 지지하는 것을 특징으로 하고 있다. Moreover, the alignment method of this invention detects the adsorption process which makes an alignment object adsorb | suck by an adsorption rotation means, the rotation process which rotates the said alignment object by rotating the said adsorption rotation means, and detects the position of the said alignment object rotated. And a position adjusting step for moving the alignment object. The alignment method of the present invention is characterized in that, in the rotation step, the inert gas is ejected at a position different from the position where the adsorption rotation means is adsorbed, and the alignment object is supported by the inert gas that is ejected. have.

본 발명에 의하면, 지지 수단에 의해 얼라인먼트 대상물에 있는 흡착 회전 수단이 흡착되지 않은 부분을 지지하고, 그 부분에 있어서의 얼라인먼트 대상물의 자중에 의한 휘어짐 등의 변형을 억제할 수 있다. 또한, 지지 수단은 분출되는 불활성 가스에 의해 얼라인먼트 대상물이 부상하도록 지지하기 때문에, 얼라인먼트 대상물에 작용하는 마찰이 거의 없어, 흡착 회전 수단에 걸리는 부하가 경감된다. 또한, 얼라인먼트 대상물에 고형물이 접촉하는 것에 의한 얼라인먼트 대상물의 손상도 방지할 수 있다. According to this invention, the support means can support the part to which the adsorption | suction rotation means in the alignment object is not adsorbed, and can suppress deformation | transformation, such as curvature by the self-weight of the alignment object in that part, can be suppressed. In addition, since the support means supports the alignment object to float by the inert gas that is ejected, there is almost no friction acting on the alignment object, and the load on the suction rotating means is reduced. In addition, damage to the alignment object due to the contact of the solid object with the alignment object can also be prevented.

본 발명에 의하면, 얼라인먼트 대상물의 변형을 억제하고, 고정밀도의 얼라인먼트를 저부하에서 행할 수 있다. According to the present invention, deformation of the alignment object can be suppressed, and high-precision alignment can be performed at low load.

도 1은 본 발명의 일실시 형태에 관련된 얼라인먼트 장치의 개략적 구성을 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시 형태에 관련된 얼라인먼트 장치의 개략적 구성을 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 3(A), 도 3(B)는 본 발명의 일실시 형태에 관련된 얼라인먼트 장치에 얼라인먼트 대상물을 반송하는 개략적 동작을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시 형태에 관련된 얼라인먼트 장치의 스핀 척 위치 조정부의 개략적 구성을 모식적으로 나타내는 상면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시 형태에 관련된 얼라인먼트 장치의 개략적 기능을 모식적으로 설명하는 블록도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing which shows schematic structure of the alignment apparatus which concerns on one Embodiment of this invention typically.
It is a perspective view which shows typically schematic structure of the alignment apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.
3 (A) and 3 (B) are cross-sectional views schematically showing schematic operations of conveying an alignment object to the alignment device according to one embodiment of the present invention.
It is a top view which shows typically schematic structure of the spin chuck position adjustment part of the alignment apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.
5 is a block diagram schematically illustrating a schematic function of an alignment device according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일실시 형태에 관련된 얼라인먼트 장치에 대하여, 도 1∼도 5를 참조하여 설명한다. 얼라인먼트 장치(100)는, 얼라인먼트 대상물(10)의 얼라인먼트(위치 맞춤)를 행하는 장치이다. 도 1은, 얼라인먼트 장치(100)의 개략적 구성을 모식적으로 도시하는 단면도이다. 본 발명의 일실시 형태에 관련된 얼라인먼트 장치의 개략적 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 2는, 본 발명의 일실시 형태에 관련된 얼라인먼트 장치의 개략적 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다. The alignment apparatus which concerns on one Embodiment of this invention is demonstrated with reference to FIGS. The alignment device 100 is a device that performs alignment (positioning) of the alignment target object 10. FIG. 1: is sectional drawing which shows schematic structure of the alignment apparatus 100 typically. It is a perspective view which shows typically schematic structure of the alignment apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. FIG. 2: is a perspective view which shows typically schematic structure of the alignment apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. FIG.

도 1에 도시하는 바와 같이, 얼라인먼트 장치(100)의 하우징(101)은, 얼라인먼트 대상물(10)을 흡착하여 회전시키는 스핀 척(흡착 회전 수단)(110)을 구비하고 있다. As shown in FIG. 1, the housing 101 of the alignment device 100 includes a spin chuck (adsorption rotation means) 110 that sucks and rotates the alignment target object 10.

하우징(101)에는 또한, 촬상부(120)를 지지하는 구조체인 브릿지(102)가 설치되어 있다. 촬상부(120)는, 하우징(101) 내에 설치된 주제어부(150)(도시하지 않음)의 화상 인식부(156)의 얼라인먼트 대상물(10)(엄밀히는, 기판(11))의 위치 검출 수단을 구성하고 있다. 화상 인식부(156)는, 촬상부(120)가 촬상한 화상을 인식하여, 얼라인먼트 대상물(10)의 위치를 검출한다. The housing 101 is further provided with a bridge 102, which is a structure that supports the imaging unit 120. The imaging unit 120 detects the position detection means of the alignment object 10 (strictly, the substrate 11) of the image recognition unit 156 of the main control unit 150 (not shown) provided in the housing 101. It consists. The image recognition unit 156 recognizes the image picked up by the imaging unit 120 and detects the position of the alignment target object 10.

얼라인먼트 장치(100)는 또한, 스핀 척(110)이 흡착하고 있는 위치와는 상이한 위치에서, 회전하는 얼라인먼트 대상물(10)을 분출되는 불활성 가스에 의해 지지하는 지지부(지지 수단)(130)를 구비하고 있다. The alignment apparatus 100 also includes a support (supporting means) 130 that supports the rotating alignment object 10 by the inert gas that is ejected at a position different from the position at which the spin chuck 110 is adsorbed. Doing.

얼라인먼트 장치(100)는, 이러한 지지부(130)를 구비하고 있으므로, 회전하는 얼라인먼트 대상물(10)에 있어서의 스핀 척(110)에 의해 흡착되지 않은 외주 부분을 지지하고, 그 부분에 있어서의 얼라인먼트 대상물(10)의 자중에 의한 휘어짐 등의 변형을 억제할 수 있다. 이에 따라, 얼라인먼트 장치(100)는, 얼라인먼트 대상물의 변형에 기인하는 얼라인먼트 대상물(10)의 위치 검출에 있어서의 정밀도의 저하를 회피하여, 고정밀도의 얼라인먼트를 행할 수 있다. Since the alignment apparatus 100 is provided with such a support part 130, it supports the outer peripheral part which is not adsorbed by the spin chuck 110 in the rotating alignment object 10, and the alignment object in that part. Deformation, such as curvature by the self weight of (10), can be suppressed. Thereby, the alignment apparatus 100 can perform the high precision alignment, avoiding the fall of the precision in the position detection of the alignment target object resulting from the deformation of the alignment target object.

도 1에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 관련된 얼라인먼트 대상물(10)은, 기판(11)이, 기판(11)보다도 큰 다이싱 테이프(필름)(12)에 붙여진 구성을 가지고 있고, 다이싱 테이프(12)는, 외측 프레임인 다이싱 프레임(13)에 의해 유지되어 있다(이상, 도 1 및 도 2 참조). 따라서, 도 2에 도시하는 바와 같이, 지지부(130)는, 다이싱 테이프(12)에 있어서의 기판(11)이 붙여지지 않은 부분을 적어도 지지하고, 다이싱 프레임(13)은 그 지지 부분을 누르도록 되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 유연하여 변형이 일어나기 쉬운 다이싱 테이프(12)를 지지하여 얼라인먼트 대상물(10)의 변형을 억제하는 것이 가능해진다. As shown in FIG. 1, the alignment object 10 according to the present embodiment has a configuration in which the substrate 11 is attached to a dicing tape (film) 12 larger than the substrate 11, and dicing. The tape 12 is held by the dicing frame 13 which is an outer frame (refer to FIG. 1 and FIG. 2 above). Therefore, as shown in FIG. 2, the support part 130 supports at least the part in which the board | substrate 11 in the dicing tape 12 is not stuck, and the dicing frame 13 supports the support part. It is preferable to press. Thereby, it becomes possible to support the dicing tape 12 which is flexible and tends to deform | transform, and can suppress deformation of the alignment target object 10. FIG.

상기와 같이, 얼라인먼트 장치(100)는, 위치 검출 수단에 촬상부(120) 및 화상 인식부(156)를 채용함으로써, 위치 검출 대상인 기판(11)의 소재가 유리거나 실리콘이어도(경우에 따라서는 유리와 실리콘의 적층 기판이라도) 대응가능하다. 또한, 광학적인 위치 검출이 아니므로, 다이싱 테이프(12)가 불투광인 소재나 색이어도 된다. As described above, the alignment apparatus 100 employs the image capturing unit 120 and the image recognition unit 156 as the position detecting means, so that even if the material of the substrate 11 to be the position detecting object is free or silicon (in some cases, Even a laminated substrate of glass and silicon). In addition, since optical position detection is not carried out, the dicing tape 12 may be an opaque material or color.

스핀 척(110)은, 진공 펌프 등의 기구에 의해 얼라인먼트 대상물(10)을 진공 흡착하고, 흡착된 상태의 얼라인먼트 대상물(10)을 흡착면의 면내 방향으로 회전시킬 수 있는 것이면 된다. 예를 들면, 일반적인 진공 척 및 모터로 구성되는 스핀 척을 이용할 수 있다. The spin chuck 110 may vacuum-suck the alignment target object 10 by a mechanism such as a vacuum pump, and may rotate the alignment target object 10 in the adsorbed state in the in-plane direction of the suction surface. For example, a spin chuck composed of a general vacuum chuck and a motor can be used.

또한, 얼라인먼트 장치(100)는, 스핀 척(110)을 상기 흡착면의 면내 방향으로 이동시키는 스핀 척 위치 조정부(111)를 구비하고 있다. 얼라인먼트 장치(100)는, 위치 검출 수단이 검출한 얼라인먼트 대상물(10)의 위치에 의거하여, 스핀 척 위치 조정부(111)에 의해 스핀 척(110)을 이동시킴으로써, 얼라인먼트 대상물(10)을 원하는 위치에 얼라인먼트한다.Moreover, the alignment apparatus 100 is equipped with the spin chuck position adjustment part 111 which moves the spin chuck 110 in the in-plane direction of the said adsorption surface. The alignment apparatus 100 moves the spin chuck 110 by the spin chuck position adjusting unit 111 based on the position of the alignment target object 10 detected by the position detecting means, thereby positioning the alignment target object 10. Align to.

지지부(130)는, 스핀 척(110)이 흡착하고 있는 위치와는 상이한 위치에서, 회전하는 얼라인먼트 대상물(10)을 분출되는 불활성 가스에 의해 지지하는 것이다. The support part 130 supports the rotating alignment object 10 with the inert gas which blows in the position different from the position which the spin chuck 110 adsorb | sucks.

이러한 지지부(130)는, 예를 들면, 얼라인먼트 대상물(10)에 상기 상이한 위치에서 불활성 가스를 분출하는 노즐(131)을 구비하고 있고, 노즐(131)로부터 불활성 가스가 분출되는 방향이 중력 방향과는 반대 방향인 것이 바람직하다. 이와 같이, 지지부(130)는, 얼라인먼트 대상물(10)에 있어서의 스핀 척(110)에 의해 흡착되지 않은 부분에 대하여, 중력 방향과는 반대 방향의 벡터 성분을 가지는 힘을 노즐(131)로부터 분출되는 불활성 가스에 의해 더하여, 그 부분에 있어서의 얼라인먼트 대상물(10)의 자중에 의한 휘어짐 등의 변형을 억제할 수 있다. This support part 130 is equipped with the nozzle 131 which ejects inert gas in the said alignment object 10 at the said different position, for example, The direction in which the inert gas is ejected from the nozzle 131 is a gravity direction, Is preferably in the opposite direction. Thus, the support part 130 ejects the force which has a vector component of the direction opposite to the gravity direction from the nozzle 131 with respect to the part which is not adsorbed by the spin chuck 110 in the alignment target object 10. In addition to the inert gas, the deformation of the warpage due to the weight of the alignment target object 10 in the portion can be suppressed.

상기 노즐(131)의 형상은 한정되지 않는다. 또한, 노즐(131)을 복수 설치하는 경우는, 그 수 및 배치는 한정되지 않는다. 본 실시의 형태에서는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 노즐(131)은 상자 형상을 나타내고, 그 수는 4개이다. 4개의 노즐(131)은, 스핀 척(110)의 외측에, 원주 방향으로 90°의 간격으로 배치되어 있다. 노즐(131)의 상면에는, 얼라인먼트 대상물(10)의 외주부에 대응하는 개소에 미소한 분출 구멍이 다수 형성되어 있다. The shape of the nozzle 131 is not limited. In addition, when providing more than one nozzle 131, the number and arrangement are not limited. In this embodiment, as shown in FIG. 2, the nozzle 131 shows the box shape, and the number is four. Four nozzles 131 are disposed outside the spin chuck 110 at intervals of 90 ° in the circumferential direction. On the upper surface of the nozzle 131, a plurality of minute ejection holes are formed at locations corresponding to the outer peripheral portion of the alignment target object 10.

노즐(131)에는, 가스 공급부(도시하지 않음)(133)가 설치된다. 가스 공급부(133)는, 예를 들면, 불활성 가스를 수용하는 가스 봄베(도시하지 않음), 가스 봄베와 노즐(131)의 사이를 접속하고, 가스 봄베로부터 토출되는 불활성 가스를 노즐(131)에 공급하는 가스관(도시하지 않음), 및 가스관을 유통하는 불활성 가스의 유량을 조정하는 유량 조정기(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 또한, 유량 조정기는, 전자 밸브로 구성해도 된다. 가스 공급부(133)는, 가스 공급 제어부(151)(도 5 참조)의 지령에 의거하여, 불활성 가스를 매우 큰 유속으로 노즐(131)에 공급하도록 구성된다. The gas supply part (not shown) 133 is provided in the nozzle 131. The gas supply part 133 connects between the gas cylinder (not shown) which accommodates an inert gas, a gas cylinder, and the nozzle 131, for example, and supplies the inert gas discharged from a gas cylinder to the nozzle 131, for example. A gas pipe (not shown) to supply and a flow regulator (not shown) which adjusts the flow volume of the inert gas which distributes a gas pipe are provided. In addition, you may comprise a flow regulator with a solenoid valve. The gas supply part 133 is comprised so that the inert gas may be supplied to the nozzle 131 at a very large flow rate based on the command of the gas supply control part 151 (refer FIG. 5).

지지부(130)는 또한, 노즐(131)을 얼라인먼트 대상물(10)로부터 이접하는 방향으로 이동시키는 승강 스테이지(132)를 구비하고 있다. 본 실시 형태에 있어서, 노즐(131)은, 승강 스테이지(132) 상에 설치되어 있으므로, 승강 스테이지(132)가 상하로 이동하는데 따라, 상하 방향, 바꿔 말하면, 얼라인먼트 대상물(10)에 대하여 이접하는 방향으로 이동한다. 승강 스테이지(132)는, 예를 들면, 일반적인 전동 스테이지 등에 의해 구성할 수 있다. The support part 130 is further provided with the elevating stage 132 which moves the nozzle 131 in the direction which contacts the alignment object 10. As shown in FIG. In the present embodiment, since the nozzle 131 is provided on the elevating stage 132, as the elevating stage 132 moves up and down, the nozzle 131 is brought into contact with the alignment target object 10 in other words. Move in the direction of The lifting stage 132 can be configured by, for example, a general transmission stage.

도 3(A), (B)는, 승강 스테이지(132)의 동작을 모식적으로 설명하는 단면도이다. 얼라인먼트 장치(100)에 대한 얼라인먼트 대상물(10)의 반송은, 로봇 아암(50)을 이용하여 행해진다. 로봇 아암(50)은, 흡반 등에 의해 얼라인먼트 대상물(10)의 끝의 다이싱 프레임(13) 부분을 유지하고, 전(前) 공정의 처리 장치로부터 얼라인먼트 장치(100)에 얼라인먼트 대상물(10)을 반송한다. 3A and 3B are cross-sectional views schematically illustrating the operation of the elevating stage 132. The conveyance of the alignment target object 10 with respect to the alignment apparatus 100 is performed using the robot arm 50. The robot arm 50 holds a portion of the dicing frame 13 at the end of the alignment target object 10 by a sucker or the like, and moves the alignment target object 10 to the alignment device 100 from the pretreatment processing device. Return.

이때, 도 3(A)에 도시하는 바와 같이, 스핀 척(110) 및 얼라인먼트 대상물(10)이 접하는 위치와, 노즐(131)의 상면이 동일 평면 내에 있으면(동일한 높이면), 얼라인먼트 대상물(10)(의 다이싱 테이프(12))이 자중에 의해 휘어지는 등의 변형이 생겼을 때, 얼라인먼트 대상물(10)(의 기판(11)이 겹치는 부분)의 스핀 척(110)으로의 재치가 원활하게 행해지지 않는 경우가 있고, 그 경우는, 얼라인먼트 대상물(10)을 스핀 척(110)에 순조롭게 흡착시킬 수 없다. At this time, as shown in FIG. 3A, when the position where the spin chuck 110 and the alignment object 10 contact and the upper surface of the nozzle 131 are in the same plane (the same height), the alignment object 10 When deformation | transformation, such as (dicing tape 12) bent by self-weight, arises, the mounting object 10 (part of the board | substrate 11 overlapping) of the alignment object to the spin chuck 110 is performed smoothly. In some cases, the alignment object 10 cannot be adsorbed to the spin chuck 110 smoothly.

한편, 도 3(B)에 도시하는 바와 같이, 얼라인먼트 대상물(10)의 반송 전에, 승강 스테이지(132)가, 노즐(131)을 얼라인먼트 대상물(10)로부터 떨어지는 방향으로 이동시켜 둠으로써, 얼라인먼트 대상물(10)(의 기판(11)이 겹치는 부분)을 스핀 척(110)에 순조롭게 흡착시킬 수 있다. On the other hand, as shown to FIG. 3 (B), before the conveyance of the alignment target object 10, the elevating stage 132 moves the nozzle 131 in the direction falling from the alignment target object 10, and the alignment target object 10 (part where the substrate 11 overlaps) can be adsorbed to the spin chuck 110 smoothly.

이와 같이, 승강 스테이지(132)가, 노즐(131)을 얼라인먼트 대상물(10)에 대하여 이접하는 방향으로 이동함으로써, 얼라인먼트 대상물(10)을, 순조롭게 얼라인먼트 장치(100) 내에 반송할 수 있다. In this way, the lifting and lowering stage 132 moves the nozzle 131 in the direction of contacting the alignment target object 10, so that the alignment target object 10 can be smoothly conveyed in the alignment apparatus 100.

또한, 얼라인먼트 대상물(10)이 얼라인먼트 장치(100) 내에 반송되고, 스핀 척(110)이 얼라인먼트 대상물(10)을 흡착하여 회전될 때에는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 스핀 척(110) 및 얼라인먼트 대상물(10)이 접하는 위치보다도, 노즐(131)의 상면이 약간 낮아지도록, 승강 스테이지(132)가 노즐(131)을 이동시키는 것이 바람직하다. 이는, 얼라인먼트 대상물(10)의 자중에 의한 변형을, 노즐(131)로부터 분출되는 불활성 가스의 공기층에 의해 해소하여, 얼라인먼트 대상물(10)을 거의 수평으로 유지하기 위함이다. In addition, when the alignment target object 10 is conveyed in the alignment apparatus 100 and the spin chuck 110 attracts and rotates the alignment target object 10, as shown in FIG. 1, the spin chuck 110 and alignment are shown. It is preferable that the lifting stage 132 moves the nozzle 131 so that the upper surface of the nozzle 131 is slightly lower than the position where the object 10 contacts. This is because the deformation caused by the self-weight of the alignment target object 10 is eliminated by the air layer of the inert gas blown out from the nozzle 131, so that the alignment target object 10 is kept almost horizontal.

도 4는, 스핀 척 위치 조정부(111)의 개략적 구성을 모식적으로 나타내는 상면도이다. 스핀 척 위치 조정부(111)로는, 예를 들면, 도 4에 도시하는 바와 같이, 스핀 척(110)을 지지하는 트레이(115), 트레이(115)를 수평으로 지지하는 L자형의 가동판(114), 가동판(114)을 상기 흡착면의 면내 방향(지면을 따르는 방향)에 있어서의 제1 방향(x축 방향)으로 직선 이동시키는 제1 직선 이동 수단(112), 및 가동판(114)을 제2 방향(y축 방향)으로 이동시키는 제2 직선 이동 수단(113)을 구비한 구성을 들 수 있다. 이러한 스핀 척 위치 조정부(111)에 의하면, 제1 직선 이동 수단(112) 및 제2 직선 이동 수단(113)에 의해 가동판(114)을 x축 방향 및 y축 방향으로 직선 이동시킴으로써, 가동판(114)의 움직임에 동기하여 그 이동 거리에 따라서 트레이(115)에 지지된 스핀 척(110)이 흡착면의 면내 방향으로 이동한다. 4 is a top view schematically showing the schematic configuration of the spin chuck position adjusting unit 111. As the spin chuck position adjusting unit 111, for example, as shown in FIG. 4, the tray 115 supporting the spin chuck 110 and the L-shaped movable plate 114 supporting the tray 115 horizontally. ), The first linear movement means 112 for linearly moving the movable plate 114 in the first direction (x-axis direction) in the in-plane direction (direction along the surface) of the suction surface, and the movable plate 114. The structure provided with the 2nd linear movement means 113 which moves a to a 2nd direction (y-axis direction) is mentioned. According to such a spin chuck position adjusting unit 111, the movable plate 114 is linearly moved in the x-axis direction and the y-axis direction by the first linear movement means 112 and the second linear movement means 113. In synchronization with the movement of the 114, the spin chuck 110 supported by the tray 115 moves in the in-plane direction of the suction surface in accordance with the movement distance.

상술한 바와 같이, 얼라인먼트 대상물(10)의 위치를 검출하는 위치 검출 수단은, 촬상부(120) 및 화상 인식부(156)를 포함하여 구성된다. 촬상부(120)는 브릿지(102)에 설치되어 있고, 얼라인먼트 대상물(10)을 상방으로부터 촬상한다. As described above, the position detecting means for detecting the position of the alignment target object 10 includes the imaging unit 120 and the image recognition unit 156. The imaging unit 120 is provided in the bridge 102, and images the alignment object 10 from above.

본 실시 형태에 있어서는, 촬상부(120)는, 얼라인먼트 대상물(10)의 기판(11)의 단부를 포함하는 영역을 촬상한다. 또한, 촬상부(120)는, 기판(11)에 설치된 오리엔테이션 플랫 등의 각도 검출용의 표시를 촬상한다. 화상 인식부(156)는, 촬상부(120)가 촬상한 화상에 의거하여, 얼라인먼트 대상물(10)의 중심과, 회전 중심(즉, 스핀 척(110)의 회전 중심)의 어긋남, 및 회전 각도를 산출한다. 이에 따라, 얼라인먼트 대상물(10)의 위치를 검출할 수 있다.In this embodiment, the imaging part 120 image | photographs the area | region containing the edge part of the board | substrate 11 of the alignment target object 10. FIG. The imaging unit 120 also captures an image for angle detection such as an orientation flat provided on the substrate 11. The image recognition unit 156 shifts the center of the alignment target object 10 from the center of rotation of the alignment object 10 (that is, the center of rotation of the spin chuck 110) and the rotation angle based on the image picked up by the imaging unit 120. Calculate Thereby, the position of the alignment target object 10 can be detected.

얼라인먼트 장치(100)의 개략적 동작을 이하에 설명한다. 도 5는, 얼라인먼트 장치의 개략적 기능을 모식적으로 설명하는 블록도이다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 얼라인먼트 장치(100)의 주제어부(150)는, 가스 공급 제어부(151), 승강 스테이지 제어부(152), 스핀 척 제어부(154) 및 화상 인식부(156)를 구비하고 있다. A schematic operation of the alignment device 100 will be described below. 5 is a block diagram schematically illustrating a schematic function of an alignment device. As shown in FIG. 5, the main controller 150 of the alignment apparatus 100 includes a gas supply control unit 151, a lift stage control unit 152, a spin chuck control unit 154, and an image recognition unit 156. Doing.

먼저, 얼라인먼트 장치(100)에, 얼라인먼트 대상물(10)이 반입되면, 스핀 척 제어부(154)는, 스핀 척(110)에 얼라인먼트 대상물(10)을 흡착시켜, 회전시킨다. 이때, 가스 공급 제어부(151)가, 가스 공급부(133)를 제어함으로써, 화살표 134(도 1 참조)로 표시하는 바와 같이 불활성 가스가 노즐(131)에 공급되고, 그 분출 구멍에서 화살표 135(도 1 참조)에 표시하는 바와 같이 불활성 가스가 상방으로 분출된다. 분출되는 불활성 가스에 의해 얼라인먼트 대상물(10)의 외주부가 지지되어, 얼라인먼트 대상물(10)이 변형하는 것을 막는다. 또한, 얼라인먼트 대상물(10)은 부상되도록 지지되므로, 얼라인먼트 대상물(10)에 작용하는 마찰이 거의 없어, 스핀 척(110)에 걸리는 부하가 경감된다. First, when the alignment target object 10 is carried in the alignment apparatus 100, the spin chuck control unit 154 sucks the alignment target object 10 to the spin chuck 110, and rotates the alignment target object 10. At this time, the gas supply control unit 151 controls the gas supply unit 133 so that the inert gas is supplied to the nozzle 131 as indicated by arrow 134 (see FIG. 1), and the arrow 135 (FIG. As shown in 1), an inert gas is blown upwards. The outer peripheral part of the alignment target object 10 is supported by the inert gas which blows off, and the alignment target object 10 is prevented from deforming. In addition, since the alignment object 10 is supported to float, there is almost no friction acting on the alignment object 10, and the load on the spin chuck 110 is reduced.

계속하여, 화상 인식부(156)는, 촬상부(120)에 의해 기판(11)을 촬상한다. 화상 인식부(156)는, 촬상부(120)가 촬상한 화상을 취득하고, 당해 화상의 의거하여, 얼라인먼트 대상물(10)의 위치와, 주제어부(150)에 미리 입력된 얼라인먼트의 원하는 위치의 차이를 산출하고, 당해 차이를 나타내는 정보를 스핀 척 제어부(154)에 송신한다. 스핀 척 제어부(154)는, 수신한 상기 차이가 해소되도록, 스핀 척(110) 및 스핀 척 위치 조정부(111)를 제어한다. 이상에 의해, 얼라인먼트 장치(100)는, 얼라인먼트 대상물(10)의 얼라인먼트를 행할 수 있다. Subsequently, the image recognition unit 156 picks up the substrate 11 by the imaging unit 120. The image recognition unit 156 acquires an image captured by the imaging unit 120, and based on the image, the position of the alignment target object 10 and the desired position of the alignment previously input to the main control unit 150. The difference is calculated and information indicating the difference is transmitted to the spin chuck control unit 154. The spin chuck control unit 154 controls the spin chuck 110 and the spin chuck position adjusting unit 111 so that the received difference is eliminated. By the above, the alignment apparatus 100 can align the alignment target object 10.

얼라인먼트 장치(100)의 주제어부(150)는, 하드웨어 로직에 의해 구성하면 된다. 또는, 다음과 같이, CPU(Central Processing Unit)를 이용하여 소프트웨어에 의해 실현해도 된다. The main controller 150 of the alignment apparatus 100 may be configured by hardware logic. Alternatively, the software may be implemented using a CPU (Central Processing Unit) as follows.

즉, 주제어부(150)는, 각 기능을 실현하는 프로그램의 명령을 실행하는 MPU 등의 CPU, 이 프로그램을 저장한 ROM(Read Only Memory), 상기 프로그램을 실행가능한 형식으로 전개하는 RAM(Random Access Memory), 및, 상기 프로그램 및 각종 데이터를 저장하는 메모리 등의 기억 장치(기억 매체)를 구비하고 있다. That is, the main controller 150 includes a CPU such as an MPU that executes instructions of a program that realizes each function, a ROM (Read Only Memory) storing the program, and a RAM (Random Access) that expands the program into an executable format. Memory) and a storage device (storage medium) such as a memory for storing the program and various data.

그리고, 본 발명의 목적은, 주제어부(150)의 프로그램 메모리에 고정적으로 담지되어 있는 경우에 한정되지 않고, 상기 프로그램의 프로그램 코드(실행 형식 프로그램, 중간 코드 프로그램, 또는, 소스 프로그램)를 기록한 기록 매체를 장치에 공급하고, 장치가 상기 기록 매체에 기록되어 있는 상기 프로그램 코드를 독출하여 실행함으로써도, 달성가능하다. Incidentally, the object of the present invention is not limited to the case where it is fixedly supported in the program memory of the main control unit 150, and records the program code (executable program, intermediate code program, or source program) of the program. It is also attainable by supplying a medium to the apparatus, and the apparatus reading out and executing the program code recorded on the recording medium.

상술의 실시 형태의 설명은, 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것이 아니라고 생각해야 한다. 본 발명의 범위는, 상술의 실시 형태가 아니라, 특허청구의 범위에 의해 나타난다. 또한, 본 발명의 범위에는, 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다. The description of the above-described embodiments is considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above embodiment but by the scope of the claims. In addition, the scope of the present invention is intended to include the meaning equivalent to a claim, and all the changes within a range.

10: 얼라인먼트 대상물 11: 기판
12: 다이싱 테이프(필름) 13: 다이싱 프레임
50: 로봇 아암 100: 얼라인먼트 장치
101: 하우징 102: 브릿지
110: 스핀 척(흡착 회전 수단) 111: 스핀 척 위치 조정부
120: 촬상부 130: 지지부(지지 수단)
133: 가스 공급부 150: 주제어부
151: 가스 공급 제어부 152: 승강 스테이지 제어부
154: 스핀 척 제어부 156: 화상 인식부 10: alignment object 11: substrate
12: dicing tape (film) 13: dicing frame
50: robot arm 100: alignment device
101: housing 102: bridge
110: spin chuck (suction rotation means) 111: spin chuck position adjustment unit
120: imaging part 130: support part (support means)
133: gas supply unit 150: main control unit
151: gas supply control unit 152: elevating stage control unit
154: spin chuck control unit 156: image recognition unit

Claims (5)

얼라인먼트 대상물을 흡착하여 회전하는 흡착 회전 수단과,
상기 흡착 회전 수단이 흡착하고 있는 위치와는 상이한 위치에서 불활성 가스를 분출하고, 회전하는 상기 얼라인먼트 대상물을 분출되는 상기 불활성 가스에 의해 지지하는 지지 수단을 구비하는 얼라인먼트 장치. Adsorption rotation means for adsorbing and rotating the alignment object,
And a support means for ejecting an inert gas at a position different from the position at which the adsorption rotation means is adsorbed, and for supporting the rotating alignment object by the inert gas ejected. 청구항 1에 있어서,
상기 지지 수단을 얼라인먼트 대상물에 대하여 이접(離接)하는 방향으로 이동시키는 승강 수단을 구비하고 있는 얼라인먼트 장치. The method according to claim 1,
Alignment apparatus provided with the lifting means which moves the said support means to the direction which adjoins with respect to the alignment object. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 얼라인먼트 대상물은 기판이 해당 기판보다도 큰 필름에 붙여진 구성을 가지고 있고, 상기 지지 수단은, 상기 필름에 있어서의 기판이 붙여지지 않은 부분을 적어도 지지하도록 되어 있는, 얼라인먼트 장치. The method according to claim 1 or 2,
The said alignment object has the structure by which the board | substrate was stuck to the film larger than the said board | substrate, and the said support means is an alignment apparatus which supports at least the part in which the board | substrate in the said film is not stuck. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 얼라인먼트 대상물의 위치를 검출하는 위치 검출 수단을 구비하고 있는 얼라인먼트 장치. The method according to claim 1 or 2,
And an alignment detecting device for detecting a position of the alignment object. 얼라인먼트 대상물을 흡착 회전 수단에 의해 흡착시키는 흡착 공정과,
상기 흡착 회전 수단을 회전시킴으로써, 상기 얼라인먼트 대상물을 회전시키는 회전 공정과,
회전하는 상기 얼라인먼트 대상물의 위치를 검출하는 위치 검출 공정과,
상기 얼라인먼트 대상물을 이동시키는 위치 조정 공정을 포함하는 얼라인먼트 방법으로서,
상기 회전 공정에서는, 상기 흡착 회전 수단이 흡착하고 있는 위치와는 상이한 위치에서 불활성 가스를 분출하고, 상기 얼라인먼트 대상물을 분출되는 불활성 가스에 의해 지지하는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 방법. An adsorption step of adsorbing the alignment object by the adsorption rotation means,
A rotating step of rotating the alignment object by rotating the suction rotating means,
A position detection step of detecting a position of the alignment object to rotate;
An alignment method comprising a position adjustment step of moving the alignment object,
In the said rotation process, inert gas is ejected in the position different from the position which the said adsorption rotation means adsorb | sucks, and the alignment object is supported by the inert gas which blows out, The alignment method characterized by the above-mentioned.
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