KR20140010887A - Insulation inspection method and insulation inspection apparatus - Google Patents
Insulation inspection method and insulation inspection apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- KR20140010887A KR20140010887A KR1020130077051A KR20130077051A KR20140010887A KR 20140010887 A KR20140010887 A KR 20140010887A KR 1020130077051 A KR1020130077051 A KR 1020130077051A KR 20130077051 A KR20130077051 A KR 20130077051A KR 20140010887 A KR20140010887 A KR 20140010887A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- inspection
- contactor
- insulation
- wiring pattern
- terminal
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
- G01R31/2808—Holding, conveying or contacting devices, e.g. test adapters, edge connectors, extender boards
Abstract
Description
본 발명은, 복수의 배선이 형성되는 기판의 절연 검사 방법 및 그 절연 검사 장치에 관한 것이고, 특히 접촉자와 배선 패턴 사이에 개재되는 접촉 저항의 영향을 받지 않고, 정확한 스파크 불량을 검출할 수 있는 절연 검사 방법 및 절연 검사 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an insulation inspection method for a substrate on which a plurality of wirings are formed and an insulation inspection apparatus thereof, and in particular, an insulation capable of detecting accurate spark defects without being affected by the contact resistance interposed between the contact and the wiring pattern. An inspection method and an insulation inspection apparatus.
종래, 복수의 배선 패턴을 갖는 기판의 절연 검사는, 배선 패턴 간에 있어서의 절연 상태의 양부 (충분한 절연성이 확보되어 있는지의 여부) 를 판정함으로써, 이 기판이 양품인지 불량품인지가 판정된다.Conventionally, the insulation inspection of the board | substrate which has a some wiring pattern determines whether the board | substrate is a good quality goods or a defective product by judging whether the insulation state between wiring patterns (enough insulation is ensured).
이와 같은 절연 검사 장치에서는, 검사 대상이 되는 2 개의 배선 패턴 간에, 비교적 높은 전압 (예를 들어, 200 V) 을 인가함으로써, 배선 패턴 간의 저항값을 산출하고, 이 저항값을 기초로 절연 상태의 양부를 판정하고 있다.In such an insulation inspection apparatus, by applying a relatively high voltage (for example, 200 V) between two wiring patterns to be inspected, the resistance value between the wiring patterns is calculated and based on the resistance value, Judging whether or not.
본 발명자는, 이와 같은 절연 검사 장치로서, 예를 들어, 특허 문헌 1 에 기재되는 절연 검사 장치를 제안하고 있다. 이 절연 검사 장치에서는, 절연 검사 중에 배선 패턴 간에 스파크 (방전) 가 발생한 경우라 하더라도, 이 스파크를 검출하여 정확하게 배선 패턴 간의 불량을 검출할 수 있다.This inventor proposes the insulation inspection apparatus described in patent document 1 as such an insulation inspection apparatus. In this insulation inspection apparatus, even if a spark (discharge) occurs between the wiring patterns during the insulation inspection, the sparks can be detected to accurately detect a defect between the wiring patterns.
그러나, 기판이 미세화 및 복잡화되는 것에 수반하여, 배선 패턴 자체의 미세화나 복잡화가 진행되어, 배선 패턴 간의 절연 상태의 양부를 판정하는 것도 어려운 것이 되었다. 예를 들어, 특허 문헌 1 의 절연 검사 방법에서는, 절연 검사를 실시하기 위한 전압 인가를 공급하는 전압원 (2) 과 스파크를 검출하기 위한 전압계 (3) 를, 공통의 프로브를 통해 배선 패턴에 도통 접촉시키고 있다. 이 때문에, 프로브와 배선 패턴의 접촉 저항이 발생하게 되는데, 이 접촉 저항으로 인해 배선 패턴 간의 전압을 정확하게 검출하지 못하는 경우가 발생하고 있다.However, with the miniaturization and complexity of the substrate, the miniaturization and complexity of the wiring patterns themselves have progressed, and it has become difficult to determine the quality of the insulation state between the wiring patterns. For example, in the insulation inspection method of Patent Literature 1, the voltage source 2 for supplying voltage application for conducting insulation inspection and the voltmeter 3 for detecting spark are conducting contact with the wiring pattern through a common probe. I'm making it. For this reason, the contact resistance of a probe and a wiring pattern generate | occur | produces, but the case where the voltage between wiring patterns cannot be detected correctly by this contact resistance has arisen.
보다 구체적으로는, 상기 서술한 바와 같이, 배선 패턴 간의 검사 전압이 프로브를 통해 공급되게 되는데, 검사 전압이 공급되는 과정에 있어서 접촉 저항에도 이 검사 전압이 인가되게 되고, 이 영향을 받아 접촉 저항값이 변화되게 된다. 이 때문에, 접촉 저항값이 검사 전압 공급 전과 검사 전압 공급시에 상이해지고, 그 변화를 전압계가 측정해 버려, 특히 접촉 저항값이 작아진 경우에는 스파크와 동일한 전압 변화를 검출하여, 의사 (擬似) 불량으로서 판단해 버리는 문제를 갖고 있었다.More specifically, as described above, the test voltage between the wiring patterns is supplied through the probe, and the test voltage is also applied to the contact resistance in the process of supplying the test voltage. Will change. For this reason, the contact resistance value is different before the test voltage supply and at the test voltage supply, and the change is measured by the voltmeter. In particular, when the contact resistance value becomes small, the same voltage change as the spark is detected, and the pseudo It had a problem of judging as defective.
상기 서술한 바와 같이, 배선 패턴 간의 절연 검사시에 있어서, 의사 스파크를 검출하지 않고, 정확하게 스파크 불량을 검출하는 기판 검사 방법 및 기판 검사 장치의 제안이 요구되고 있다.As mentioned above, the proposal of the board | substrate inspection method and board | substrate inspection apparatus which detect a spark defect correctly, without detecting a pseudo spark at the time of the insulation inspection between wiring patterns is calculated | required.
청구항 1 에 기재된 발명은, 배선 패턴 상에 미리 설정되는 검사점에 압접되는 도전성의 접촉자를 통해 전기 신호의 송수신을 실시하여, 복수의 배선 패턴을 갖는 기판의 절연 검사를 실시하는 절연 검사 장치로서, 상기 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 1 개의 배선 패턴을 제 1 검사부로서 선출함과 함께, 그 제 1 검사부 이외의 검사 대상이 되는 모든 배선 패턴을 병렬 배치하여 제 2 검사부로서 선출하는 선출 수단과, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이에 소정의 전위차를 설정하기 위하여, 일방 단자가 접촉자를 통해 상기 제 1 검사부와 도통 접속됨과 함께, 타방 단자가 접촉자를 통해 상기 제 2 검사부와 도통 접속되는 전원 수단과, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이의 전압값을 측정하기 위하여, 일방 단자가 접촉자를 통해 상기 제 1 검사부와 도통 접속됨과 함께, 타방 단자가 접촉자를 통해 상기 제 2 검사부와 도통 접속되는 전압 검출 수단과, 상기 전압 검출 수단의 검출 결과를 기초로 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이의 절연 상태의 양부를 판정하는 판정 수단을 구비하여 이루어지고, 상기 전원 수단의 일방 단자와 도통 접속되는 접촉자와, 상기 전압 검출 수단의 일방 단자와 도통 접속되는 접촉자가, 상이한 접촉자인 것을 특징으로 하는 절연 검사 장치를 제공한다.Invention of Claim 1 is an insulation inspection apparatus which performs the insulation test of the board | substrate which has a some wiring pattern by transmitting / receiving an electric signal through the electrically-conductive contact | contact_contacted to the test point set previously on a wiring pattern, Selecting means for selecting one wiring pattern to be an inspection object from the plurality of wiring patterns as a first inspection portion, and arranging all wiring patterns to be inspection objects other than the first inspection portion in parallel and electing the second inspection portion; In order to set a predetermined potential difference between the first inspection unit and the second inspection unit, one terminal is electrically connected to the first inspection unit through a contactor, and the other terminal is electrically connected to the second inspection unit through a contactor. In order to measure the voltage value between the power supply means and the first inspection unit and the second inspection unit, one terminal is connected via a contactor. Between the first inspection unit and the second inspection unit on the basis of the detection result of the voltage detection means and the voltage detection means connected to the first inspection unit and the other terminal to be conductively connected to the second inspection unit through a contactor. It is provided with the determination means for determining the quality of an insulated state, The contactor electrically connected with the one terminal of the said power supply means, and the contactor electrically connected with the one terminal of the said voltage detection means are different contactors, It is characterized by the above-mentioned. Provide an inspection device.
청구항 2 에 기재된 발명은, 청구항 1 에 기재된 절연 검사 장치에 있어서, 상기 전원 수단의 일방 단자와 도통 접속되는 접촉자와, 상기 전압 검출 수단의 일방 단자와 도통 접속되는 접촉자를 사용하여, 상기 제 1 검사부의 도통 검사가 실시되는 것을 특징으로 하는 절연 검사 장치를 제공한다.Invention of Claim 2 is an insulation test | inspection apparatus of Claim 1 WHEREIN: The said 1st test part uses the contactor connected to one terminal of the said power supply means, and the contactor connected to one terminal of the said voltage detection means. It provides an insulation inspection apparatus characterized in that the conduction inspection of the.
청구항 3 에 기재된 발명은, 배선 패턴 상에 미리 설정되는 검사점에 압접되는 도전성의 접촉자를 통해 전기 신호의 송수신을 실시하여, 복수의 배선 패턴이 형성되는 기판의 절연 검사를 실시하는 절연 검사 방법으로서, 상기 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 1 개의 배선 패턴을 제 1 검사부로서 선출함과 함께, 그 제 1 검사부 이외의 검사 대상이 되는 모든 배선 패턴을 제 2 검사부로서 선출하고, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이에 절연 검사를 실시하기 위한 전력을 공급하기 위하여, 상기 제 1 검사부와 접속되는 접촉자를 통해, 그 전력을 공급하고, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이의 전압을 검출하기 위하여, 상기 제 1 검사부와 접속됨과 함께 상기 전력을 공급하기 위한 접촉자와는 상이한 접촉자를 통해, 그 전압을 검출하고, 상기 전력의 검출 결과를 기초로, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이의 절연 상태를 판정하는 것을 특징으로 하는 절연 검사 방법을 제공한다.Invention of Claim 3 is an insulation inspection method which performs the insulation test of the board | substrate with which the some wiring pattern is formed by transmitting and receiving an electrical signal through the electrically conductive contact | contact_contacted to the inspection point preset on a wiring pattern. And selecting one wiring pattern to be inspected from the plurality of wiring patterns as the first inspection unit, and selecting all the wiring patterns to be inspection other than the first inspection unit as the second inspection unit, and selecting the first inspection unit. In order to supply electric power for conducting an insulation test between the first test part and the second test part, the electric power is supplied through a contactor connected to the first test part, and a voltage between the first test part and the second test part is detected. In order to check the voltage through a contact different from the contact for connecting the first inspection unit and supplying the electric power, And an insulation state between the first inspection unit and the second inspection unit is determined based on the detection result of the electric power.
청구항 1 및 3 에 기재된 발명에 의하면, 제 1 검사부와 제 2 검사부 사이의 절연 검사에 사용되는 전원 공급용의 접촉자에, 전압 측정용의 접촉자와 상이한 접촉자를 사용하여, 제 1 검사부와 제 2 검사부의 절연 상태의 검사가 실시되게 되기 때문에, 배선 패턴과 접촉자의 접촉 저항의 영향을 받지 않고, 절연 검사를 실시할 수 있다. 따라서, 절연 검사를 실시하기 위하여 검사 대상 간에 검사 전압을 인가하여, 이 검사 전압의 변화에 따라 접촉 저항값이 변화된 경우라 하더라도, 측정계의 전압 검출 수단에 영향을 주지 않고, 정확하게 전압의 변화를 검출할 수 있다.According to invention of Claim 1 and 3, a 1st test part and a 2nd test part are used for the contact for power supply used for the insulation test between a 1st test part and a 2nd test part, using a different contactor from the contact for voltage measurement. Since the inspection of the insulation state is carried out, insulation inspection can be performed without being influenced by the wiring pattern and the contact resistance of the contactor. Therefore, a test voltage is applied between the test targets to perform the insulation test, and even if the contact resistance value changes according to the change of the test voltage, the voltage change is accurately detected without affecting the voltage detecting means of the measuring system. can do.
청구항 2 에 기재된 발명에 의하면, 제 1 검사부를 도통 검사가 실시된 2 개의 접촉자를 각각 사용하게 되므로, 도통 검사가 양호한 상태에서 절연 검사를 실시할 수 있어, 보다 정확하게 절연 검사를 실시할 수 있다.According to the invention described in claim 2, since each of the two contacts subjected to the conduction inspection to the first inspection unit is used, the insulation inspection can be performed in a state where the conduction inspection is good, and the insulation inspection can be performed more accurately.
도 1 은, 본 발명에 관련된 절연 검사 장치의 일 실시형태를 나타내는 개략 구성도이다.
도 2 는, 본 발명에 관련된 절연 검사 장치의 동작 상태를 나타내는 일 실시형태이다.
도 3 은, 본 발명에 관련된 절연 검사 장치의 동작 상태를 나타내는 다른 실시형태이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic block diagram which shows one Embodiment of the insulation inspection apparatus which concerns on this invention.
2 is an embodiment showing an operating state of the insulation inspection apparatus according to the present invention.
3 is another embodiment showing an operating state of the insulation inspection apparatus according to the present invention.
본 발명에 관련된 절연 검사 장치 및 절연 검사 방법에 대하여, 첨부된 도면을 참조하면서 설명한다.The insulation inspection apparatus and insulation inspection method which concern on this invention are demonstrated, referring an accompanying drawing.
이 출원 서류에 기재되는 용어 「기판」은, 프린트 배선 기판에 한정되지 않고, 예를 들어, 플렉시블 기판, 다층 배선 기판, 부품 내장 기판, 액정 디스플레이나 플라스마 디스플레이용의 전극판 및 반도체 패키지용의 패키지 기판이나 필름 캐리어 등 여러 가지 배선이 형성되는 기판을 총칭하고 있다. 즉, 기판에는, 절연 검사의 대상이 될 수 있는 모든 기판이 포함된다.The term "substrate" described in this application document is not limited to a printed wiring board, but is, for example, a flexible board, a multilayer wiring board, a component embedded board, an electrode plate for a liquid crystal display or a plasma display, and a package for a semiconductor package. The board | substrate with which various wiring, such as a board | substrate and a film carrier, is formed generically. That is, the board | substrate includes all the board | substrates which can be a target of insulation test.
도 1 은, 본 발명에 관련된 절연 검사 장치의 일 실시형태의 개략 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of an embodiment of an insulation inspection apparatus according to the present invention.
본 발명에 관련된 절연 검사 장치 (1) 는, 전원 수단 (2), 전압 검출 수단 (3), 전류 검출 수단 (4), 제어 수단 (6), 전환 수단 (7), 전류 공급 단자 (8), 전압 검출 단자 (9), 표시 수단 (10) 을 구비하여 이루어진다.The insulation inspection apparatus 1 which concerns on this invention is the power supply means 2, the voltage detection means 3, the current detection means 4, the control means 6, the switching means 7, and the
도 1 로 나타내는 실시형태에서는, 본 발명의 절연 검사 장치 (1) 와, 검사 대상이 되는 배선 패턴이 형성되는 기판 (CB) 과, 절연 검사 장치 (1) 와 기판 (CB) 을 전기적으로 접속시키는 접촉자 (CP) 가 나타내어져 있다. 접촉자 (CP) 는, 미리 설정되는 배선 패턴 (P) 의 검사점과 도통 접속되도록 압접되어 있고, 복수의 검사점에 대하여 각각의 접촉자 (CP) 가 배치된다. 이들 접촉자 (CP) 는, 절연 검사 장치 (1) 와 기판 (CB) 을 전기적으로 도통 가능하게 접속시킨다.In embodiment shown by FIG. 1, the insulation inspection apparatus 1 of this invention, the board | substrate CB in which the wiring pattern used as the test object is formed, and the insulation inspection apparatus 1 and the board | substrate CB are electrically connected. Contactor CP is shown. The contactor CP is press-contacted so that it may be electrically connected with the inspection point of the wiring pattern P which is preset, and each contactor CP is arrange | positioned with respect to a some inspection point. These contacts CP connect the insulation inspection apparatus 1 and the board | substrate CB so that it can electrically conduct.
도 1 에 나타내는 기판 (CB) 은, 3 개의 배선 패턴 (P1 ∼ P3) 을 갖고 있다. 또한, 이 기판 (CB) 이 갖는 배선 패턴은, 설계되는 기판 (CB) 에 따라 그 수 및 형상이 적절히 설정된다.The board | substrate CB shown in FIG. 1 has three wiring patterns P1-P3. In addition, the number and shape of the wiring patterns which this board | substrate CB has are set suitably according to the board | substrate CB to be designed.
도 1 의 기판 (CB) 의 3 개의 배선 패턴은, 1 자상의 배선 패턴 (P1) 과, T 자상의 배선 패턴 (P2) 과, 一 자상의 배선 패턴 (P3) 이 나타내어져 있다. 이 도 1 에서는, 각 배선 패턴 (P1 ∼ P3) 에 전기적으로 접촉되는 7 개의 접촉자 (CP) 가 나타내어져 있다. 도 1 의 실시형태에서는, 배선 패턴 (P1) 의 양단을 검사점으로서 설정하고, 배선 패턴 (P2) 의 3 개의 단점 (端点) 을 검사점으로서 설정하며, 배선 패턴 (P3) 의 양단을 검사점으로서 설정하고 있는 상태를 나타내고 있다. 또한, 배선 패턴 (P2 와 P3) 에서는, 설명의 형편상, 1 개의 접촉자 (CP) 만 절연 검사 장치에 접속되어 있는 상태가 나타내어져 있고, 다른 접촉자 (CP) 의 접속은 생략하고 있다. 또한, 각 접촉자 (CP) 는, 모두 후술하는 상류측 전류 공급 단자 (81), 하류측 전류 공급 단자 (82) 와 상류측 전압 검출 단자 (91) 에 접속되는 구성을 갖고 있다.As for the three wiring patterns of the board | substrate CB of FIG. 1, the single-shaped wiring pattern P1, the T-shaped wiring pattern P2, and the one-shaped wiring pattern P3 are shown. In this FIG. 1, the seven contactor CP which electrically contacts each wiring pattern P1-P3 is shown. In the embodiment of FIG. 1, both ends of the wiring pattern P1 are set as inspection points, three shortcomings of the wiring pattern P2 are set as inspection points, and both ends of the wiring pattern P3 are checked points. The state which is set as follows is shown. In addition, in the wiring patterns P2 and P3, the state which only one contactor CP is connected to the insulation inspection apparatus is shown for convenience of description, and the connection of the other contactor CP is abbreviate | omitted. Moreover, each contactor CP has the structure connected with the upstream
전원 수단 (2) 은, 검사 대상이 되는 배선 패턴과 다른 배선 패턴 사이 (이하, 검사 대상 간) 에, 절연 검사를 실시하기 위한 소정의 전압을 인가시킨다. 이 전원 수단 (2) 은, 예를 들어, 커런트·컨트롤러 (Current Controller) 를 사용할 수 있지만 특별히 한정되는 것은 아니고, 검사 대상 간에 소정의 전압을 인가시킬 수 있는 것이면 모두 사용할 수 있다. 커런트·컨트롤러를 사용하는 경우에서는, 커런트·컨트롤러인 전원 수단 (2) 에 의해, 소정의 배선 패턴에 전류를 공급하여, 검사 대상 간에 소정의 전압을 인가하게 된다. 이 전원 수단 (2) 이 인가하게 되는 전압은, 예를 들어, 200 ∼ 250 V 로 설정된다.The power supply means 2 applies a predetermined voltage for performing the insulation inspection between the wiring pattern to be inspected and the other wiring pattern (hereinafter, between the inspection objects). The power supply means 2 can use, for example, a current controller, but is not particularly limited and can be used as long as a predetermined voltage can be applied between inspection objects. In the case of using the current controller, the power supply means 2, which is the current controller, supplies a current to a predetermined wiring pattern and applies a predetermined voltage between inspection objects. The voltage applied by the power supply means 2 is set to 200 to 250 V, for example.
이 전원 수단 (2) 은, 후술하는 스위치 소자 (SW1) 와 스위치 소자 (SW3) 의 동작에 의해, 검사 대상 간에 소정의 전압을 인가시킬 수 있다. 도 1 에서는, 전원 수단 (2) 의 상류측 (플러스측) 의 일방 단자 (플러스측의 단자) 가, 스위치 소자 (SW1) 의 ON/OFF 동작에 의해, 지정되는 접촉자 (CP) 를 통해, 지정된 배선 패턴과 도통 접속되게 된다. 또한, 전원 수단 (2) 의 하류측 (마이너스측) 의 타방 단자 (마이너스 단자) 가, 스위치 소자 (SW3) 의 ON/OFF 동작에 의해, 지정되는 접촉자 (CP) 를 통해, 지정된 배선 패턴과 도통 접속되게 된다. 또한, 도 1 에서는, 전원 수단 (2) 의 타방 단자가, 접지되어 전류 검출 수단 (4) 을 통해 스위치 소자 (SW3) 에 접속되어 있지만, 스위치 소자 (SW3) 에 직접 접속해도 된다.This power supply means 2 can apply a predetermined voltage between inspection objects by the operation of the switch element SW1 and the switch element SW3 described later. In Fig. 1, one terminal (plus terminal) on the upstream side (plus side) of the power supply means 2 is designated via a contactor CP designated by ON / OFF operation of the switch element SW1. The conductive pattern is connected to the wiring pattern. In addition, the other terminal (negative terminal) on the downstream side (negative side) of the power supply means 2 conducts with the designated wiring pattern through the contactor CP designated by the ON / OFF operation of the switch element SW3. Will be connected. In addition, although the other terminal of the power supply means 2 is grounded and connected to the switch element SW3 via the current detection means 4 in FIG. 1, you may connect directly to the switch element SW3.
전압 검출 수단 (3) 은, 검사 대상 간의 전압을 검출한다. 이 전압 검출 수단 (3) 은, 예를 들어, 전압계를 사용할 수 있지만 특별히 한정되는 것은 아니고, 검사 대상 간의 전압을 검출할 수 있는 것이면 된다. 이 전압 검출 수단 (3) 이 검출하는 전압값과, 전원 수단 (2) 에 의해 공급되는 전류값을 사용함으로써, 검사 대상 간의 저항값을 산출할 수 있다. 또한, 이 저항값을 사용함으로써, 검사 대상 간의 절연성을 검사할 수 있다. 또한, 이 전압 검출 수단 (3) 이 검출하는 전압값에 의해, 전원 수단 (2) 의 동작 제어를 실시하도록 설정된다.The voltage detection means 3 detects the voltage between inspection objects. Although this voltage detection means 3 can use a voltmeter, it does not specifically limit, for example, What is necessary is just to be able to detect the voltage between test objects. By using the voltage value detected by this voltage detection means 3 and the current value supplied by the power supply means 2, the resistance value between inspection objects can be calculated. In addition, by using this resistance value, the insulation between inspection objects can be inspected. Further, the voltage value detected by the voltage detecting means 3 is set so as to perform operation control of the power supply means 2.
이 전압 검출 수단 (3) 은, 스위치 소자 (SW2) 와 스위치 소자 (SW3) 의 동작에 의해, 검사 대상 간의 전압값을 측정할 수 있다. 도 1 에서는, 전압 검출 수단 (3) 의 상류측 (플러스측) 의 일방 단자 (플러스측 단자) 가, 스위치 소자 (SW2) 의 ON/OFF 동작에 의해, 지정되는 접촉자 (CP) 를 통해, 지정된 배선 패턴과 도통 접속되게 된다. 또한, 전압 검출 수단 (3) 의 하류측 (마이너스측) 타방 단자 (마이너스측 단자) 가, 스위치 소자 (SW3) 의 ON/OFF 동작에 의해, 지정되는 접촉자 (CP) 를 통해, 지정된 배선 패턴과 도통 접속되게 된다. 또한, 도 1 에서는, 전압 검출 수단 (3) 의 타방 단자가, 접지되어 전류 검출 수단 (4) 을 통해 스위치 소자 (SW3) 에 접속되어 있지만, 스위치 소자 (SW3) 에 직접 접속해도 된다.The voltage detection means 3 can measure the voltage value between inspection objects by the operation of the switch element SW2 and the switch element SW3. In Fig. 1, one terminal (plus side terminal) on the upstream side (plus side) of the voltage detecting means 3 is designated via a contactor CP designated by ON / OFF operation of the switch element SW2. The conductive pattern is connected to the wiring pattern. In addition, the other side terminal (minus side) of the downstream side of the voltage detecting means 3 (minus side terminal) is connected to the designated wiring pattern through the contactor CP designated by the ON / OFF operation of the switch element SW3. It will be connected electrically. In addition, although the other terminal of the voltage detection means 3 is grounded and connected to the switch element SW3 via the current detection means 4 in FIG. 1, you may connect directly to the switch element SW3.
제 1 검사부로서 1 개의 배선 패턴이 선출된 경우에는, 이 배선 패턴에 대하여, 전원 수단 (2) 의 일방 단자 (플러스측 단자) 와 전압 검출 수단 (3) 의 일방 단자 (플러스측 단자) 가, 접촉자를 통해 도통 접속되게 된다. 이 경우, 전원 수단 (2) 의 일방 단자는, 스위치 소자 (SW1) 가 ON 으로 되어, 제 1 검사부로서 선출된 배선 패턴과 도통 접속되게 된다. 또한, 전압 검출 수단 (3) 의 일방 단자는, 스위치 소자 (SW2) 가 ON 으로 되어, 제 1 검사부로서 선출된 배선 패턴과 도통 접속되게 되지만, 이 때, 전원 수단 (2) 의 일방 단자와 도통 접속되어 있는 접촉자를 이용하지 않고, 별개의 접촉자를 통해 이 배선 패턴과 도통 접속되게 된다.When one wiring pattern is elected as the first inspection unit, one terminal (plus side terminal) of the power supply means 2 and one terminal (plus side terminal) of the voltage detecting means 3 are connected to the wiring pattern. The contact is made through the contactor. In this case, one terminal of the power supply means 2 is connected to the wiring pattern elected as a 1st inspection part, and the switch element SW1 turns ON. In addition, although one terminal of the voltage detecting means 3 is connected to the conductive pattern with the wiring pattern selected as the first inspection unit when the switch element SW2 is ON, at this time, the conductive element is connected to one terminal of the power supply means 2. The contact pattern is electrically connected to the wiring through a separate contact without using the contactor.
전류 검출 수단 (4) 은, 검사 대상 간의 전류를 검출한다. 이 전류 검출 수단 (4) 은, 예를 들어, 전류계를 사용할 수 있지만 특별히 한정되는 것은 아니고, 검사 대상 간에 흐르는 전류값을 검출할 수 있으면 된다. 또한, 전원 수단 (2) 에 의해 공급되는 전류값을 결정할 수도 있지만, 이 전류 검출 수단 (4) 을 사용하는 것에 의해서도, 검사 대상 간의 전류값을 검출할 수도 있다. 이 전류 검출 수단 (4) 이 검출하는 전류값을 기초로, 검사 대상 간의 저항값을 산출한다. 또한, 이 검출되는 저항값을 기초로, 검사 대상 간의 절연 상태의 양부가 판정된다.The current detection means 4 detects a current between inspection objects. The current detection means 4 can use an ammeter, for example, but it is not specifically limited, What is necessary is just to be able to detect the electric current value which flows between test objects. In addition, although the current value supplied by the power supply means 2 can also be determined, the current value between inspection objects can also be detected by using this current detection means 4. Based on the current value detected by this current detection means 4, the resistance value between inspection objects is calculated. Moreover, based on this detected resistance value, pass / fail of the insulation state between test objects is determined.
전압 검출 수단 (3) 과 전류 검출 수단 (4) 이 검출하는 전압값이나 전류값은, 후술하는 제어 수단 (6) 에 송신되게 된다. 또한, 이 때, 이 전압값이나 전류값 정보에 더하여, 경과 시간 정보 등이 부여되어 (시계열적인 정보로서) 송신된다.The voltage value and current value detected by the voltage detecting means 3 and the current detecting means 4 are transmitted to the control means 6 described later. At this time, in addition to the voltage value and current value information, elapsed time information or the like is provided and transmitted (as time series information).
전류 공급 단자 (8) 는, 검사 대상 간의 전류를 공급하기 위하여, 각 배선 패턴 (P) 과 접촉자 (CP) 를 통해 접속된다. 이 전류 공급 단자 (8) 는, 전원 수단 (2) 의 일방 단자와 배선 패턴을 접속시키는 상류측 전류 공급 단자 (81) 와, 전원 수단 (2) 의 타방 단자 또는 전류 검출 수단 (4) 과 배선 패턴 (P) 을 접속시키는 하류측 전류 공급 단자 (82) 를 갖고 있다. 도 1 로 나타내는 바와 같이, 이 전류 공급 단자 (8) 의 상류측 전류 공급 단자 (81) 및 하류측 전류 공급 단자 (82) 는, 각각의 배선 패턴 (P) 에 대하여 형성되어 있다. 이들 상류측 전류 공급 단자 (81) 와 하류측 전류 공급 단자 (82) 는, 각각에 전환 수단 (7) 의 스위치 소자 (SW) 를 갖고 있고, 이 전환 수단 (7) 의 스위치 소자 (SW) 의 ON/OFF 동작에 의해, 접속 상태/미접속 상태가 설정되게 된다.The
또한, 도 1 에서는, 이 전류 공급 단자 (8) 가, 정전기 방전 (electro-static discharge) 보호용의 저항을 갖고 배치되어 있다.In addition, in FIG. 1, this
전압 검출 단자 (9) 는, 검사 대상 간의 전압을 검출하기 위하여, 각 배선 패턴 (P) 과 접촉자 (CP) 를 통해 접속된다. 이 전압 검출 단자 (9) 는, 전압 검출 수단 (3) 의 일방 단자와 배선 패턴 (P) 을 접속시키는 상류측 전압 검출 단자 (91) 를 갖고 있다. 또한, 도 1 에서는, 도시하고 있지 않지만, 전압 검출 수단 (3) 의 타방 단자를 배선 패턴 (P) 과 접속시키는 하류측 전압 검출 단자를 가져도 된다. 도 1 에서는, 이 전압 검출 단자 (9) 의 상류측 전압 검출 단자 (91) 가, 각각의 배선 패턴 (P) 에 대하여 형성되어 있다. 이 상류측 전압 검출 단자 (91) 와 도시되지 않은 하류측 전압 검출 단자는, 전류 공급 단자 (8) 와 마찬가지로, 각각에 전환 수단 (7) 의 스위치 소자 (SW) 를 갖고 있고, 이 전환 수단 (7) 의 스위치 소자 (SW) 의 ON/OFF 동작에 의해, 접속 상태/미접속 상태가 설정되게 된다.The voltage detection terminal 9 is connected through each wiring pattern P and the contactor CP in order to detect the voltage between inspection objects. This voltage detection terminal 9 has an upstream voltage detection terminal 91 for connecting one terminal of the voltage detection means 3 and the wiring pattern P. As shown in FIG. In addition, although not shown in FIG. 1, you may have the downstream voltage detection terminal which connects the other terminal of the voltage detection means 3 with the wiring pattern P. As shown in FIG. In FIG. 1, the upstream voltage detection terminal 91 of this voltage detection terminal 9 is formed with respect to each wiring pattern P. As shown in FIG. This upstream side voltage detection terminal 91 and the downstream side voltage detection terminal which are not shown have the switch element SW of the switching means 7 in the same way as the
전류 공급 단자 (8) 와 전압 검출 단자 (9) 는, 도 1 로 나타내는 바와 같이, 배선 패턴 (P) 에 도통 접촉되는 1 개의 접촉자 (CP) 에 대하여, 3 개의 단자가 배치되게 됨과 함께, 각 단자의 ON/OFF 제어를 실시하는 3 개의 스위치 소자 (SW) 가 구비되게 된다. 또한, 도 1 에서는, 상류측 전류 공급 단자 (81) 의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW1 로 하고, 상류측 전압 검출 단자 (91) 의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW2 로 하며, 하류측 전류 공급 단자 (82) 의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW3 으로 하여 나타내고 있다.As shown in FIG. 1, the
전환 수단 (7) 은, 상기한 각 접촉자 (CP) 에 도통 접속되는 복수의 스위치 소자 (SW) 로 구성되어 있다. 이 전환 수단 (7) 은, 후술하는 제어 수단 (6) 으로부터의 동작 신호에 의해, ON/OFF 의 동작이 제어되게 된다.The switching means 7 is comprised by the some switch element SW electrically connected to each said contactor CP. This switching means 7 controls the operation | movement of ON / OFF by the operation signal from the control means 6 mentioned later.
제어 수단 (6) 은, 검사 대상이 되는 배선 패턴 (P) 을 선출하거나, 전원 수단 (2) 으로부터의 전압 검출 수단 (3) 으로부터의 전압값을 기초로 스파크를 검출하거나, 전환 수단 (7) 의 동작의 지시 신호를 송신한다.The control means 6 selects the wiring pattern P to be inspected, detects the spark on the basis of the voltage value from the voltage detection means 3 from the power supply means 2, or the switching means 7. Send an instruction signal of the operation of.
이 제어 수단 (6) 은, 도 1 로 나타내는 바와 같이, 선출 수단 (61), 판정 수단 (62), 기억 수단 (63) 을 구비하고 있다.This control means 6 is equipped with the selection means 61, the determination means 62, and the storage means 63, as shown in FIG.
기억 수단 (63) 은, 기판 (CB) 의 배선 패턴 (P) 에 관한 정보, 이 배선 패턴 (P) 의 검사점에 관한 정보, 검출되는 검출값의 정보가 기억된다. 이 기억 수단 (63) 에 절연 검사에 필요한 정보가 격납되고, 이들 정보를 사용함으로써, 절연 검사가 실시되게 됨과 함께, 검출되는 각 검출값이 격납된다.The memory | storage means 63 memorize | stores the information about the wiring pattern P of the board | substrate CB, the information about the inspection point of this wiring pattern P, and the information of the detected detection value. Information necessary for insulation inspection is stored in this storage means 63. By using these information, insulation inspection is performed, and each detected value detected is stored.
선출 수단 (61) 은, 기판 (CB) 의 복수의 배선 패턴 (P) 으로부터 검사 대상이 되는 배선 패턴 (P) 을 선출하여, 검사 대상인 배선 패턴 (P) 을 특정한다. 이 선출 수단 (61) 이 검사 대상인 배선 패턴 (P) 을 특정함으로써, 순차적으로, 절연 검사가 실시되는 배선 패턴이 선출된다.The electoral means 61 selects the wiring pattern P to be inspected from the plurality of wiring patterns P of the substrate CB, and specifies the wiring pattern P to be inspected. By selecting the wiring pattern P which is the inspection object, the selection means 61 selects a wiring pattern to be subjected to insulation inspection sequentially.
이 선출 수단 (61) 이 실시하는 검사 대상인 배선 패턴의 선출 방법은, 미리 기억 수단 (63) 에 검사 대상이 되는 배선 패턴의 순번이 설정되고, 이 순번에 따라 검사 대상인 배선 패턴이 선출되는 방법을 예시할 수 있다. 이 선출 방법은, 상기와 같은 방법을 채용할 수도 있지만, 검사 대상이 되는 배선 패턴이 순서대로 선출되는 방법이면 특별히 한정되지 않는다.As a method of selecting a wiring pattern to be inspected by the selecting
이 선출 수단 (61) 이 실시하는 구체적인 배선 패턴의 선출은, 전환 수단 (7) 을 사용함으로써 실시된다. 예를 들어, 전환 수단 (7) 의 각 스위치 소자 (SW) 의 ON/OFF 제어를 실시함으로써, 검사 대상이 되는 배선 패턴을 선출할 수 있다. 이 절연 검사 장치에서는, 검사 대상이 되는 배선 패턴이 전원 수단 (2) 과 접속되기 위한 상류측 전류 공급 단자 (81) 와 접속되도록, 스위치 소자 (SW1) 가 ON 되게 된다. 또 동시에, 이 스위치 소자 (SW1) 가 도통 접속되는 접촉자 (CP) 와는 상이하며, 또한, 이 배선 패턴과 도통 접속되는 다른 접촉자 (CP) 의 상류측 전압 검출 단자 (91) 와 접속되도록 스위치 소자 (SW2) 가 ON 되게 된다. 이 때문에, 제 1 검사부의 배선 패턴은, 전원 수단 (2) 의 일방 단자와 전압 검출 수단 (3) 의 일방 단자가 도통 접속되는 상태가 되지만, 각각 상이한 접촉자 (CP) 를 통해 도통 접속되게 된다.Election of the specific wiring pattern implemented by this selecting means 61 is performed by using the switching means 7. For example, by performing ON / OFF control of each switch element SW of the switching means 7, it is possible to select a wiring pattern to be inspected. In this insulation inspection apparatus, the switch element SW1 is turned ON so that the wiring pattern to be inspected is connected to the upstream
또한, 이 때, 선출 수단 (61) 은, 제 2 검사부가 되는 배선 패턴군을 선출하고 있고, 이 제 2 검사부로서 선출된 배선 패턴은, 스위치 소자 (SW3) 가 ON 되어, 전원 수단 (2) 의 타방단 (및 전압 검출 수단 (3) 의 타방단) 과 전류 검출 수단 (4) 과 직렬 접속되게 된다.At this time, the selection means 61 selects a group of wiring patterns to be the second inspection unit. As for the wiring pattern selected as the second inspection unit, the switch element SW3 is turned ON, and the power supply means 2 is selected. The other end of (and the other end of the voltage detecting means 3) and the current detecting means 4 are connected in series.
예를 들어, 도 1 로 나타내는 실시형태에서는, 배선 패턴 (P1) 을 검사 대상으로 하는 경우, 선출 수단 (61) 이, 배선 패턴 (P1) 에 접속되는 상류측 전류 공급 단자 (81) 와, 이 상류측 전류 공급 단자 (81) 와 도통 접속되지 않는 접촉자와 도통 접속되는 상류측 전압 검출 단자 (91) 를 선출하고, 이들 단자 (81, 91) 의 스위치 소자 (SW1) 와 스위치 소자 (SW2) 를 ON 시키도록 재촉하는 신호를 송신한다. 이 신호를 전환 수단 (7) 이 수신함으로써, 스위치 소자 (SW1) 와 스위치 소자 (SW2) 가 동작하게 된다. 또한, 이 경우, 검사 대상인 배선 패턴 이외의 배선 패턴 (나머지 배선 패턴) 에 대응하는 스위치 소자 (SW3) 가 ON 되도록 재촉하는 신호가 송신된다.For example, in the embodiment shown in FIG. 1, when the wiring pattern P1 is the inspection object, the
상기의 설명과 같이, 선출 수단 (61) 에 의해, 기판 (CB) 의 복수의 배선 패턴 (P) 으로부터 검사 대상이 되는 배선 패턴 (P) 이 선택되게 된다. 이 실시형태로 나타내는 절연 검사 장치 (1) 의 선출 수단 (61) 이 선출하는 배선 패턴 (P) 은, 기판 (CB) 상에 형성된 복수의 배선 패턴으로부터 1 개의 배선 패턴 (P) 이 선출된다. 요컨대, 선출 수단 (61) 에 의해 선출된 1 개의 배선 패턴 (P) 과, 나머지 모든 배선 패턴 (P) 사이에서 절연 검사가 실시된다. 이와 같이, 배선 패턴 (P) 이 선출됨으로써, 절연 검사를 효율적으로 처리할 수 있다.As described above, the
판정 수단 (62) 은, 전압 검출 수단 (3) 으로부터의 전압값 정보를 수신하고, 이 전압값 정보를 기초로 스파크의 발생을 판정한다. 이 판정 수단 (62) 이 실시하는 스파크의 판정 방법은, 전원 수단 (2) 에 의해 전압이 인가되기 시작하고 나서부터 소정의 타이밍까지의 동안, 전압값을 검출하고, 이 전압값이 스파크에서 기인하여 전압 강하가 발생하는지의 여부에 의해 판정할 수 있다.The determination means 62 receives voltage value information from the voltage detection means 3, and determines the generation of a spark based on this voltage value information. The spark determination method performed by this judging means 62 detects a voltage value from the time when the voltage starts being applied by the power supply means 2 to a predetermined timing, and the voltage value originates from the spark. Can be determined by whether or not a voltage drop occurs.
판정 수단 (62) 은, 검사 대상 간의 절연 상태의 판정을 실시하도록 설정할 수도 있다. 이 경우, 판정 수단 (62) 은, 기억 수단 (63) 에 격납되는 검사 대상 간의 검출된 전류값 정보와 인가되는 전압값 정보를 기초로, 검사 대상 간의 저항값을 산출하고, 이 산출 결과를 기초로 판정을 실시한다. 이 경우, 판정 수단 (62) 은, 예를 들어, 소정의 기준값 정보를 기억 수단 (63) 에 기억시켜 두어, 상기의 산출 결과 정보와 이 기준값 정보를 비교함으로써, 검사 대상 간의 절연 상태의 판정을 실시한다. 또한, 이 판정 결과는, 기억 수단 (63) 에 격납된다.The determination means 62 may be set so as to determine the insulation state between inspection objects. In this case, the determination means 62 calculates the resistance value between the inspection objects based on the detected current value information and the applied voltage value information between the inspection objects stored in the storage means 63, and based on this calculation result. The determination is made. In this case, the determination means 62 stores the predetermined reference value information in the storage means 63, for example, and compares the calculation result information with the reference value information to determine the insulation state between the inspection objects. Conduct. In addition, this determination result is stored in the storage means 63.
표시 수단 (10) 은, 절연 검사 상태를 표시한다. 이 표시 수단 (10) 은, 스파크의 발견이 표시되게 된다.The display means 10 displays the insulation inspection state. This display means 10 displays the discovery of a spark.
이상이 본 발명에 관련된 제 1 실시형태의 절연 검사 장치 (1) 의 구성의 설명이다.The above is description of the structure of the insulation inspection apparatus 1 of 1st Embodiment which concerns on this invention.
이 제 1 실시형태의 절연 검사 장치 (1) 의 동작을 설명한다.The operation of the insulation inspection apparatus 1 of the first embodiment will be described.
먼저, 검사 대상이 되는 기판 (CB) 의 배선 패턴 (P) 의 정보 등이 기억 수단 (63) 에 격납된다. 다음으로, 기판 (CB) 이 소정의 검사 위치에 배치되고, 기판 (CB) 상에 형성되는 배선 패턴 (P) 상의 검사점에 접촉자 (CP) 가 배치된다.First, the information and the like of the wiring pattern P of the substrate CB to be inspected are stored in the storage means 63. Next, the board | substrate CB is arrange | positioned at a predetermined | prescribed inspection position, and the contactor CP is arrange | positioned at the test | inspection point on the wiring pattern P formed on the board | substrate CB.
여기서, 기판 (CB) 은, 통상, 배선 패턴 (P) 의 도통 검사가 실시된다. 이 배선 패턴 (P) 의 도통 검사란, 배선 패턴 (P) 상에 미리 설정되는 검사점 간의 저항값을 산출하고, 이 산출 결과를 기초로, 이 검사점 간의 도통 상태의 양부를 판정하는 것이다. 기판 (CB) 은, 미리 설정되는 도통 검사가 실시되는 복수의 배선 패턴의 검사가 모두 종료된 후에, 절연 검사가 실시되게 된다.Here, the conduction inspection of the wiring pattern P is normally performed for the board | substrate CB. The conduction test of this wiring pattern P calculates the resistance value between inspection points set previously on the wiring pattern P, and determines the quality of the conduction state between these inspection points based on this calculation result. The board | substrate CB becomes an insulation test | inspection after all the test | inspection of the some wiring pattern in which the conduction | conduction test | inspection set in advance is performed.
모든 배선 패턴 (P) 의 도통 검사가 종료되면, 다음으로, 기판 (CB) 의 절연 검사가 개시된다. 이 경우, 선출 수단 (61) 이, 검사 대상이 되는 제 1 검사부인 배선 패턴 (P) 을 선출한다. 선출 수단 (61) 이 검사 대상이 되는 제 1 검사부의 배선 패턴 (P) 을 선출하면, 이 선출 수단 (61) 은 전환 수단 (7) 에 이 검사 대상으로서 선출된 배선 패턴 (P) 의 상류측 전류 공급 단자 (81) 가 특정된다. 또한, 동시에, 이 배선 패턴 (P) 의 그 상류측 전류 공급 단자 (81) 와 도통 접속되어 있지 않으며 또한 이 배선 패턴 (P) 과 도통되는 접촉자 (CP) 를 특정하고, 이 접촉자 (CP) 와 접속 가능한 상류측 전압 검출 단자 (91) 가 특정된다. 그리고, 이 특정된 상류측 전류 공급 단자 (81) 와 상류측 전압 검출 단자 (91) 를 접속 상태로 하기 위한 스위치 소자 (SW1, SW2) 가 ON 되도록, 선출 수단 (61) 으로부터 동작 신호가 전환 수단 (7) 에 송신된다. 이 때, 제 2 검사부로서, 제 1 검사부의 배선 패턴 (P) 이외의 배선 패턴 (P) 이 선출되고, 이들 배선 패턴 (P) 의 스위치 소자 (SW3) 가 특정된다. 그리고, 이들 스위치 소자 (SW3) 가 ON 되도록, 선출 수단 (61) 으로부터 동작 신호가 전환 수단 (7) 에 송신되게 된다.When the conduction inspection of all the wiring patterns P is complete | finished, the insulation inspection of the board | substrate CB is started next. In this case, the selection means 61 selects the wiring pattern P which is the 1st inspection part used as a test object. When the selection means 61 elects the wiring pattern P of the first inspection unit to be inspected, the selection means 61 is an upstream side of the wiring pattern P elected to the switching means 7 as the inspection object. The
전환 수단 (7) 은, 선출 수단 (61) 으로부터의 스위치 소자의 ON/OFF 동작에 관한 신호를 수신하면, 이 신호에 따라 스위치 소자 (SW) 의 ON/OFF 제어가 실시된다.When the switching means 7 receives a signal relating to the ON / OFF operation of the switch element from the selection means 61, the ON / OFF control of the switch element SW is performed in accordance with this signal.
예를 들어, 배선 패턴 (P1) 이 검사 대상의 제 1 검사부의 배선 패턴이 되는 경우, 배선 패턴 (P1) 의 일단에 대응하는 검사점과 도통 접속되는 접촉자 (CP) 와 접속되는 상류측 전류 공급 단자 (81) 가 배선 패턴 (P1) 과 도통하도록 스위치 소자 (SW1) 가 선출되고, 배선 패턴 (P1) 의 타단에 대응하는 검사점과 도통 접속되는 접촉자 (CP) (상류측 전류 공급 단자 (81) 가 도통 접속되는 접촉자 (CP) 와 상이한 접촉자 (CP)) 의 상류측 전압 검출 단자 (91) 가 배선 패턴 (P1) 과 도통하도록 스위치 소자 (SW2) 가 선출된다. 그리고, 이 선출된 스위치 소자 (SW1) 와 스위치 소자 (SW2) 가 ON 으로 된다.For example, when the wiring pattern P1 becomes the wiring pattern of the 1st test | inspection part of a test object, the upstream current supply connected with the contact point CP electrically connected with the test point corresponding to the one end of the wiring pattern P1. The switch element SW1 is selected so that the terminal 81 conducts with the wiring pattern P1, and the contactor CP (upstream side
또 이 때 동시에, 이 배선 패턴 (P1) 이외의 배선 패턴 (P2) 과 배선 패턴 (P3) 에 접촉되는 접촉자 (CP) 가, 각각 하류측 전류 공급 단자 (82) 와 접속 상태가 되기 위하여, 각각의 하류측 전류 공급 단자 (82) 의 스위치 소자 (SW3) 가 ON 으로 되도록 선출되고, 동작 제어된다 (도 2 참조). 또한, 도 2 에서는, 상기의 배선 패턴 (P2) 과 배선 패턴 (P3) 이외의 검사점에 대응하는 접촉자 (CP) 는 모두 스위치 소자 (SW) 가 OFF 로 되어 있다.At this time, at the same time, in order for the contacts CP contacting the wiring pattern P2 and the wiring pattern P3 other than the wiring pattern P1 to be connected with the downstream
도 2 로 나타내는 제 1 검사부로서 배선 패턴 (P1) 이 선출된 경우의 절연 검사가 실시되면, 다음의 배선 패턴 (P2) 이 제 1 검사부로서 선출되고, 다음의 절연 검사가 실시된다. 이 경우, 제 1 검사부로서 배선 패턴 (P2) 이 선출되고, 제 2 검사부로서 배선 패턴 (P1) 과 배선 패턴 (P3) 이 선출되게 된다.When the insulation inspection when the wiring pattern P1 is selected as the first inspection unit shown in FIG. 2 is performed, the next wiring pattern P2 is elected as the first inspection unit, and the following insulation inspection is performed. In this case, the wiring pattern P2 is selected as the first inspection unit, and the wiring pattern P1 and the wiring pattern P3 are selected as the second inspection unit.
이 때, 제 1 검사부로서 배선 패턴 (P2) 이 선출되기 때문에, 예를 들어, T 자상의 배선 패턴 (P2) 의 좌단의 검사점에 도통 접속되는 접촉자 (CP) 에 대응하는 스위치 소자 (SW1) 가 ON 되어, 전원 수단 (2) 의 일방 단자와 도통 접속된다. 또한, T 자상의 배선 패턴 (P2) 의 우단의 검사점에 도통 접속되는 접촉자 (CP) 에 대응하는 스위치 소자 (SW2) 가 ON 되어, 전압 검출 수단 (3) 의 일방 단자와 도통 접속된다. 이 경우에도, 전원 수단 (2) 과 전압 검출 수단 (3) 이 각각 상이한 접촉자 (CP) 를 통해, 도통 접속되게 된다. 또한, 이와 같은 조건을 만족시키면, T 자상의 배선 패턴 (P2) 의 하단의 검사점에 도통 접속되는 접촉자 (CP) 에 대응하는 스위치 소자 (SW) 가 ON 제어되어도 된다.At this time, since the wiring pattern P2 is selected as the first inspection portion, for example, the switch element SW1 corresponding to the contactor CP electrically connected to the inspection point at the left end of the T-shaped wiring pattern P2. Is turned on, and is electrically connected with one terminal of the power supply means 2. Moreover, the switch element SW2 corresponding to the contactor CP which is electrically connected to the test point at the right end of the T-shaped wiring pattern P2 is turned on, and is electrically connected to one terminal of the voltage detecting means 3. Also in this case, the power supply means 2 and the voltage detection means 3 are electrically connected via different contactors CP. Moreover, if such conditions are satisfied, the switch element SW corresponding to the contactor CP electrically connected to the inspection point of the lower end of the T-shaped wiring pattern P2 may be ON-controlled.
제 1 검사부로서 배선 패턴 (P2) 이 선출되면, 제 2 검사부로서 배선 패턴 (P1) 과 배선 패턴 (P3) 이 선출된다. 이 때, 배선 패턴 (P1) 과 배선 패턴 (P3) 은, 각각에 설정되는 검사점에 대응하는 접촉자 (CP) 의 적어도 1 개가 하류측 전류 공급 단자 (82) 와 접속되도록 스위치 소자 (SW3) 가 ON 된다. 도 3 에서는, 배선 패턴 (P1) 의 상단의 검사점에 대응하는 접촉자 (CP) 에 접속되는 스위치 소자 (SW3) 가 ON 되어 있고, 배선 패턴 (P3) 의 좌단의 검사점에 대응하는 접촉자 (CP) 에 접속되는 스위치 소자 (SW3) 가 ON 되어 있다.When the wiring pattern P2 is selected as the first inspection unit, the wiring pattern P1 and the wiring pattern P3 are selected as the second inspection unit. At this time, the wiring element P1 and the wiring pattern P3 are each connected to the switch element SW3 such that at least one of the contacts CP corresponding to the inspection point set at each of them is connected to the downstream
이와 같이 순서대로, 제 1 검사부와 제 2 검사부가 설정되고, 모든 배선 패턴 (P) 이 제 1 검사부에 선출되어 검사가 종료된다.In this way, the first inspection unit and the second inspection unit are set, all the wiring patterns P are selected to the first inspection unit, and the inspection is finished.
본 발명에 의하면, 검사 대상 간을 형성하는 제 1 검사부와 제 2 검사부가 선출되고, 스위치 소자 (SW) 가 설정되면, 절연 검사가 실시된다. 이 때, 접촉자 (CP) 와 배선 패턴 (P) 에는 접촉 저항이 존재하고 있지만, 본 발명과 같이, 전원 수단 (2) 의 일방 단자와 전압 검출 수단 (3) 의 일방 단자가 제 1 검사부가 되는 배선 패턴 (P) 에 접속될 때에, 상이한 접촉자 (CP) 를 통해 도통 접속되어 있기 때문에, 전원 수단 (2) 의 일방 단자로부터 전력이 공급되어 접촉 저항이 변화된 경우라 하더라도, 전압 검출 수단 (3) 에 영향을 주는 경우가 없다. 이 때문에, 절연 검사 중에 전압의 변화를 관측하여 스파크를 검출하고자 한 경우, 전압 검출 수단 (3) 이 전류 공급에 의한 접촉 저항의 영향을 받지 않고 정확하게 전압 측정을 실시할 수 있다.According to this invention, when the 1st test | inspection part and the 2nd test | inspection part which form the space between test objects are selected, and the switch element SW is set, insulation test | inspection is performed. At this time, although the contact resistance exists in the contactor CP and the wiring pattern P, one terminal of the power supply means 2 and one terminal of the voltage detection means 3 become a 1st inspection part like this invention. When connected to the wiring pattern P, since it is electrically connected through different contacts CP, even if electric power is supplied from one terminal of the power supply means 2 and the contact resistance changes, the voltage detection means 3 It does not affect the case. For this reason, when the spark is detected by observing the change of the voltage during the insulation inspection, the voltage detecting means 3 can accurately measure the voltage without being affected by the contact resistance caused by the current supply.
1 : 절연 검사 장치
2 : 전원 수단
3 : 전압 검출 수단
4 : 전류 검출 수단
61 : 선출 수단
CP : 배선 패턴1: insulation inspection device
2: power means
3: voltage detection means
4: current detection means
61: means of election
CP: Wiring Pattern
Claims (3)
상기 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 1 개의 배선 패턴을 제 1 검사부로서 선출함과 함께, 상기 제 1 검사부 이외의 검사 대상이 되는 모든 배선 패턴을 병렬 배치하여 제 2 검사부로서 선출하는 선출 수단과,
상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이에 소정의 전위차를 설정하기 위하여, 일방 단자가 접촉자를 통해 상기 제 1 검사부와 도통 접속됨과 함께, 타방 단자가 접촉자를 통해 상기 제 2 검사부와 도통 접속되는 전원 수단과,
상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이의 전압값을 측정하기 위하여, 일방 단자가 접촉자를 통해 상기 제 1 검사부와 도통 접속됨과 함께, 타방 단자가 접촉자를 통해 상기 제 2 검사부와 도통 접속되는 전압 검출 수단과,
상기 전압 검출 수단의 검출 결과를 기초로 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이의 절연 상태의 양부를 판정하는 판정 수단을 구비하여 이루어지고,
상기 전원 수단의 일방 단자와 도통 접속되는 접촉자와, 상기 전압 검출 수단의 일방 단자와 도통 접속되는 접촉자가, 상이한 접촉자인 것을 특징으로 하는 절연 검사 장치.An insulation inspection apparatus for performing electrical insulation transmission and reception of a substrate having a plurality of wiring patterns by transmitting and receiving an electrical signal through a conductive contact press-contacted to an inspection point set in advance on a wiring pattern,
Selecting means for selecting one wiring pattern to be an inspection object from the plurality of wiring patterns as a first inspection portion, and arranging all the wiring patterns to be inspection objects other than the first inspection portion in parallel and electing the second inspection portion; ,
In order to set a predetermined potential difference between the first inspecting section and the second inspecting section, one terminal is electrically connected to the first inspecting section through the contactor, and the other terminal is electrically connected to the second inspecting section through the contactor. Sudan,
In order to measure the voltage value between the first inspection section and the second inspection section, one terminal is electrically connected to the first inspection section via a contactor, and the other terminal is electrically connected to the second inspection section through the contactor. Sudan,
And determining means for determining whether the insulation state is between the first inspecting portion and the second inspecting portion based on the detection result of the voltage detecting means,
A contactor electrically connected to one terminal of the power supply means and a contactor electrically connected to one terminal of the voltage detecting means are different contactors.
상기 전원 수단의 일방 단자와 도통 접속되는 접촉자와, 상기 전압 검출 수단의 일방 단자와 도통 접속되는 접촉자를 사용하여, 상기 제 1 검사부의 도통 검사가 실시되는 것을 특징으로 하는 절연 검사 장치.The method of claim 1,
The conduction inspection of the said 1st inspection part is performed using the contactor electrically connected with the one terminal of the said power supply means, and the contactor electrically connected with the one terminal of the said voltage detection means, The insulation inspection apparatus characterized by the above-mentioned.
상기 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 1 개의 배선 패턴을 제 1 검사부로서 선출함과 함께, 상기 제 1 검사부 이외의 검사 대상이 되는 모든 배선 패턴을 제 2 검사부로서 선출하고,
상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이에 절연 검사를 실시하기 위한 전력을 공급하기 위하여, 상기 제 1 검사부와 접속되는 접촉자를 통해, 상기 전력을 공급하고,
상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이의 전압을 검출하기 위하여, 상기 제 1 검사부와 접속됨과 함께 상기 전력을 공급하기 위한 접촉자와는 상이한 접촉자를 통해, 상기 전압을 검출하고,
상기 전력의 검출 결과를 기초로, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부 사이의 절연 상태를 판정하는 것을 특징으로 하는 절연 검사 방법.An insulation inspection method for performing an insulation inspection of a substrate on which a plurality of wiring patterns are formed by transmitting and receiving an electrical signal through a conductive contact press-contacted to an inspection point preset on a wiring pattern.
From the plurality of wiring patterns, one wiring pattern to be inspected is selected as the first inspection unit, and all wiring patterns to be inspected other than the first inspection unit are selected as the second inspection unit,
Supplying the electric power through a contactor connected with the first inspection unit to supply electric power for conducting an insulation inspection between the first inspection unit and the second inspection unit,
In order to detect the voltage between the first inspection unit and the second inspection unit, the voltage is detected through a contactor connected to the first inspection unit and different from the contactor for supplying power,
And an insulation state between the first inspection unit and the second inspection unit is determined based on the detection result of the electric power.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2012-158272 | 2012-07-17 | ||
JP2012158272A JP2014020858A (en) | 2012-07-17 | 2012-07-17 | Insulation inspection method and insulation inspection device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20140010887A true KR20140010887A (en) | 2014-01-27 |
Family
ID=49967021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020130077051A KR20140010887A (en) | 2012-07-17 | 2013-07-02 | Insulation inspection method and insulation inspection apparatus |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014020858A (en) |
KR (1) | KR20140010887A (en) |
CN (1) | CN103543389A (en) |
TW (1) | TW201405146A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190079118A (en) * | 2017-12-27 | 2019-07-05 | 주식회사 경동원 | Electronic device having display and inspection method of the same |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6421463B2 (en) * | 2014-06-02 | 2018-11-14 | 日本電産リード株式会社 | Substrate inspection apparatus and substrate inspection method |
JP6592885B2 (en) * | 2014-10-08 | 2019-10-23 | 日本電産リード株式会社 | Substrate inspection method and substrate inspection apparatus |
JP2021169952A (en) * | 2020-04-15 | 2021-10-28 | ヤマハファインテック株式会社 | Inspection device and inspection method |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2829296Y (en) * | 2005-09-02 | 2006-10-18 | 上海环达计算机科技有限公司 | Circuit board with testing structure |
JP4925042B2 (en) * | 2006-11-14 | 2012-04-25 | 日本電産リード株式会社 | Insulation inspection equipment |
JP2009264736A (en) * | 2008-04-21 | 2009-11-12 | Nidec-Read Corp | Substrate inspecting apparatus |
JP5496620B2 (en) * | 2009-11-25 | 2014-05-21 | 日置電機株式会社 | Insulation inspection device and insulation inspection method |
CN202256446U (en) * | 2011-09-06 | 2012-05-30 | 汉柏科技有限公司 | Electronic element test device |
-
2012
- 2012-07-17 JP JP2012158272A patent/JP2014020858A/en active Pending
-
2013
- 2013-05-21 TW TW102117878A patent/TW201405146A/en unknown
- 2013-07-02 KR KR1020130077051A patent/KR20140010887A/en not_active Application Discontinuation
- 2013-07-12 CN CN201310292496.XA patent/CN103543389A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190079118A (en) * | 2017-12-27 | 2019-07-05 | 주식회사 경동원 | Electronic device having display and inspection method of the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014020858A (en) | 2014-02-03 |
CN103543389A (en) | 2014-01-29 |
TW201405146A (en) | 2014-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102050123B1 (en) | Insulation inspection method and insulation inspection device | |
CN105510798B (en) | Substrate inspection method and substrate inspection apparatus | |
KR20090027610A (en) | Substrate inspecting apparatus and substrate inspecting method | |
TWI434050B (en) | Substrate inspection device and substrate inspection method | |
KR20020001752A (en) | Tester and testing method, and testing unit | |
KR20140010887A (en) | Insulation inspection method and insulation inspection apparatus | |
JP2011007687A (en) | Substrate inspection method | |
KR20140146535A (en) | Circuit board inspection apparatus | |
JP2008122274A (en) | Insulation inspection device and insulation inspection method | |
US10197616B2 (en) | Insulation inspection method and insulation inspection apparatus | |
JP4928316B2 (en) | Insulation inspection equipment | |
KR101471802B1 (en) | Method of inspecting test jig | |
JP4999143B2 (en) | Board inspection equipment | |
JP2011247788A (en) | Insulation inspection device and insulation inspection method | |
JP6255833B2 (en) | Substrate inspection method and substrate inspection apparatus | |
JP2009250659A (en) | Tool tester and tool testing method | |
KR20230089427A (en) | Insulation inspection device and method | |
JP5828697B2 (en) | Circuit board inspection apparatus and circuit board inspection method | |
JP2008076266A (en) | Apparatus and method for inspecting substrate | |
KR20230089428A (en) | Insulation inspection device | |
JP2013257195A (en) | Substrate checkup jig and substrate checkup apparatus | |
JP2002122632A (en) | Semiconductor inspection device | |
JP2014106179A (en) | Substrate inspection device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |