KR20140146535A - Circuit board inspection apparatus - Google Patents

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KR20140146535A
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무네히로 야마시타
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니혼덴산리드가부시키가이샤
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Abstract

The present invention provides a circuit board inspection apparatus for accurately detecting a spark phenomenon between wire patterns generated during insulation inspection. A circuit board inspection apparatus for inspecting insulation between a plurality of wire patterns formed on a circuit board, includes: a power unit connected to a second inspection unit to apply a voltage to the second inspection unit in order to set a predetermined potential difference between a first inspection unit and the second inspection unit; a detecting unit to detect a voltage between the first inspection unit and the second inspection unit; a determining unit to determine that failure occurs in the first inspection unit and the second inspection unit when a voltage detected by the detecting unit is dropped. A selecting unit includes a switch to turn on/off a conducting state, and a voltage drop unit serially connected to the switch. The detecting unit includes one terminal conductively connected between the first inspection unit and the voltage drop unit.

Description

기판검사장치{CIRCUIT BOARD INSPECTION APPARATUS}{CIRCUIT BOARD INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 기판에 형성되는 복수의 배선패턴(配線pattern) 상호간의 절연검사(絶緣檢査)에 관한 것으로서, 특히 절연검사 시에 있어서 발생하는 배선패턴 사이의 스파크 현상(spark 現象)을 정확하게 검출하는 기판검사장치(基板檢査裝置)에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to insulation inspection between a plurality of wiring patterns (wiring patterns) formed on a substrate, and more particularly to a substrate inspection apparatus for accurately detecting a spark phenomenon between wiring patterns And a substrate inspection apparatus.

기판 상에 형성되는 배선패턴은, 이 기판에 재치(載置)되는 IC나 반도체 부품 또는 기타의 전자부품에 전기신호를 송수신하기 위하여 이용된다. 이러한 배선패턴은 그 기판의 용도에 따라 다양하게 형성되어 있다. 이 때문에 배선패턴이 정확하고 또한 양호한 상태로 형성되는 것을 확인하는 전기적 검사가 실시되고 있다.A wiring pattern formed on a substrate is used for transmitting and receiving an electric signal to an IC, a semiconductor component, or other electronic component placed on the substrate. Such a wiring pattern is formed variously according to the use of the substrate. For this reason, electrical inspection is carried out to confirm that the wiring pattern is formed accurately and in a good state.

이러한 배선패턴의 검사에는, 도통검사(導通檢査)와 절연검사가 보통 실시된다. 도통검사는 배선패턴이 소정의 2점 사이를 전기적으로 접속하고 있는 것을 확인하는 검사이며, 절연검사는 배선패턴 상호간이 단락(短絡)하지 않고 있는 상태를 확인하는 검사이다.For inspection of such wiring patterns, conduction inspection and insulation inspection are usually carried out. The conduction inspection is an inspection to confirm that the wiring pattern is electrically connected between two predetermined points, and the insulation inspection is an inspection to check a state in which the wiring patterns are not short-circuited.

특히 절연검사에서는, 배선패턴 상호간의 절연성을 검사하기 위하여 배선패턴 사이에 소정의 전압을 인가하여 배선패턴 사이의 저항값을 산출함으로써 배선패턴 사이의 절연성을 검사한다.Particularly, in the insulation inspection, a predetermined voltage is applied between the wiring patterns to check the insulation between the wiring patterns, and the resistance between the wiring patterns is calculated to inspect the insulation between the wiring patterns.

이러한 절연검사에서는, 상기와 같은 배선패턴 사이의 저항값을 산출하기 위하여 배선패턴 사이에 전위차를 발생시키도록 전력을 공급하게 되지만, 배선패턴 자체의 얇음이나 두터움 또는 구리가루 등의 이물질(異物質)이 존재하는 경우에는, 배선패턴 사이의 저항값을 측정하기 전에 일방(一方)의 배선패턴으로부터 타방(他方)의 배선패턴으로 전하의 방전(스파크 현상)이 발생하는 경우가 있다. 이러한 스파크 현상은 배선패턴 사이의 불량으로서 알려져 있다.In such insulation inspection, electric power is supplied to generate a potential difference between the wiring patterns in order to calculate the resistance value between the wiring patterns as described above. However, when the wiring pattern itself is made thin or thick, or foreign matters such as copper dust, (Spark phenomenon) may occur from one wiring pattern to the other wiring pattern before measuring the resistance value between the wiring patterns in some cases. Such a spark phenomenon is known as a defect between wiring patterns.

이러한 스파크 현상 불량을 검출하기 위하여 예를 들면 특허문헌1의 기술이 알려져 있다. 이 특허문헌1에 개시되어 있는 기술에서는, 배선패턴 사이의 전압을 전압인가시작으로부터 검사측정을 실시하는 소정의 타이밍까지 검출함과 아울러, 스파크 현상에 기인하는 전압강하의 발생의 유무를 검출함으로써 스파크 현상을 파악하려고 하는 것이다.In order to detect such defective spark phenomenon, for example, the technique of Patent Document 1 is known. According to the technique disclosed in Patent Document 1, the voltage between the wiring patterns is detected from the start of voltage application to the predetermined timing at which the inspection measurement is performed, and the presence or absence of the voltage drop due to the spark phenomenon is detected, It is trying to grasp the phenomenon.

한편 지금의 기판은 매우 작고 또한 복잡하게 제조되도록 되어 있다. 이 때문에 배선패턴 자체도 복잡하고 또한 미세하게 형성됨과 아울러 그 피치도 좁게 형성된다. 또한 이와 같이 배선패턴이 복잡하고 또한 미세하게 형성됨으로써 배선패턴 상에 설정되는 검사점도 증대하게 된다. 이 때문에 기판검사장치는, 검사점의 증가에 따라 기판과 기판검사장치를 전기적으로 접속하는 기판검사치구 등의 부유용량(浮遊容量)이 커지게 되는 문제를 가지고 있었다.On the other hand, current substrates are made to be very small and complicated. For this reason, the wiring pattern itself is complicated and finely formed, and its pitch is also narrowed. Also, since the wiring pattern is complicated and finely formed as described above, the check point set on the wiring pattern also increases. For this reason, the substrate inspection apparatus has a problem that the stray capacitance (stray capacitance) such as a substrate inspection tool or the like for electrically connecting the substrate and the substrate inspection apparatus with the increase of the inspection point becomes large.

상기와 같이 기판의 배선패턴의 복잡화와 미세화가 진행함에 따라 이 기판의 절연검사의 정밀도 향상도 요구된다. 이러한 경우에도 배선패턴 사이의 절연검사를 하기 위해서는 배선패턴 사이의 스파크 현상이 문제가 된다.As the wiring pattern of the substrate is complicated and miniaturized as described above, it is also required to improve the accuracy of insulation inspection of the substrate. Even in such a case, a spark phenomenon between the wiring patterns becomes a problem in order to inspect the insulation between the wiring patterns.

그러나 특허문헌1에 개시되어 있는 기술에서는, 배선패턴 사이의 전압이 소정의 전압이 될 때까지의 전압인가시작으로부터 검사전압에 도달하기까지 사이의 스파크 검사는 문제없이 검출할 수 있지만, 배선패턴 사이의 전압이 검사전압에 도달한 후에 소정의 검사 타이밍이 되기까지 사이(전압이 정상상태(定常狀態)인 경우)의 배선패턴 사이의 스파크 현상을 확실하고 또한 정확하게 파악할 수 없는 경우가 있었다.However, in the technique disclosed in Patent Document 1, the spark inspection between the start of voltage application until the voltage between the wiring patterns reaches a predetermined voltage and the time of reaching the inspection voltage can be detected without any problem, The spark phenomenon between the wiring patterns in the period between the predetermined inspection timing (when the voltage is in a steady state) after the voltage of the power supply voltage reaches the inspection voltage can not be reliably and accurately grasped.

이것은, 기판의 배선패턴의 복잡화 또한 미세화에 따라 스파크 현상의 전압강하가 작은 경우에 발생하고 있으며, 이러한 작은 전압강하에서는 스파크 현상에 의한 전압강하인지 다른 요인에 의한 전압강하인지를 정확하게 판정할 수 없다는 문제가 발생하고 있다.
This phenomenon occurs when the voltage drop of the spark phenomenon is small due to complication or miniaturization of the wiring pattern of the substrate. In such a small voltage drop, the voltage drop due to the spark phenomenon or the voltage drop due to other factors can not be accurately determined There is a problem.

（특허문헌1）일본국 공개특허 특개2003-172757호 공보(Patent Document 1) Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-172757

본 발명은 이러한 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 미세화 및 복잡화된 기판의 배선패턴의 절연검사를 실시하는 경우이더라도 배선패턴 사이의 스파크 현상을 정확하게 검출할 수 있는 기판검사장치를 제공한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances and provides a substrate inspection apparatus capable of accurately detecting a spark phenomenon between wiring patterns even in the case of inspecting insulated wiring patterns of complicated substrates.

청구항1에 기재된 발명은, 기판에 형성되는 복수의 배선패턴 사이의 절연검사를 하는 기판검사장치로서, 상기 복수의 배선패턴으로부터 검사대상이 되는 하나의 배선패턴을 제1검사부로서 선출함과 아울러 상기 제1검사부 이외의 검사대상이 되는 모든 배선패턴을 제2검사부로서 선출하는 선출수단과, 상기 제1검사부와 상기 제2검사부의 사이에 소정의 전위차를 설정하기 위하여 상기 제2검사부에 접속됨과 아울러 상기 제2검사부에 전압을 인가하는 전원수단과, 상기 제1검사부와 제2검사부 사이의 전압을 검출하는 검출수단과, 상기 검출수단이 검출하는 전압에 전압강하가 발생한 경우에 상기 제1검사부와 제2검사부에 불량이 존재한다고 판정하는 판정수단을 구비하고, 상기 선출수단은, 도통상태를 ON/OFF로 하는 절체부와, 상기 절체부와 직렬로 접속되는 전압강하부를 구비하여 이루어지고, 상기 검출수단은, 일방단이 상기 제1검사부와 상기 전압강하부의 사이에서 도통하도록 접속되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치를 제공한다.
According to a first aspect of the present invention, there is provided a substrate inspection apparatus for inspecting insulation between a plurality of wiring patterns formed on a substrate, wherein one wiring pattern to be inspected is selected as a first inspection unit from the plurality of wiring patterns, A selection section for selecting all the wiring patterns to be inspected other than the first inspection section as a second inspection section and a second inspection section for connecting the first inspection section and the second inspection section to the second inspection section for setting a predetermined potential difference, A detecting unit detecting a voltage between the first inspecting unit and the second inspecting unit, and a second inspecting unit inspecting the first inspecting unit and the second inspecting unit when a voltage drop occurs in the voltage detected by the detecting unit. And a determination unit that determines that there is a defect in the second inspection unit, wherein the selection unit includes: a transfer unit for turning ON / OFF the conduction state; Wherein the detecting means is connected such that one end thereof is electrically connected between the first inspection portion and the voltage drop portion.

청구항1에 기재된 발명에 의하면, 제1검사부와 제2검사부의 사이(검사대상 사이)에 소정의 전위차를 설정하고, 제1검사부와 제2검사부 사이의 전압을 검출하는 검출수단을 설치함으로써, 검출수단이 검출하는 전압강하가 발생한 경우에 검사대상 사이에 스파크 현상이 발생한 것을 검출할 수 있다. 특히 이 검출수단의 일방단이 제1검사부와 전압강하부의 사이에서 도통하도록 접속되어 있기 때문에, 스파크 현상이 발생하였을 경우에 흐르는 전류는 이 전압강하부를 통하여 검사대상 사이를 흐르게 된다. 즉 이 전압강하부의 양단에 전압강하가 발생하게 됨과 아울러, 검출수단은 이 전압강하를 확실하게 검출할 수 있다. 따라서 검사시간을 길게 할 필요도 없이 스파크 현상을 확실하게 파악할 수 있다.
According to the invention as set forth in claim 1, since a predetermined potential difference is set between the first inspection unit and the second inspection unit (between the inspection object) and the detection unit that detects the voltage between the first inspection unit and the second inspection unit is provided, It is possible to detect that a spark phenomenon occurs between the objects to be inspected when a voltage drop detected by the means occurs. Particularly, since one end of the detecting means is connected to conduct between the first checking portion and the voltage drop portion, a current flowing when a spark phenomenon occurs flows through the voltage drop portion between the inspection targets. That is, a voltage drop occurs at both ends of the voltage drop portion, and the detection means can reliably detect the voltage drop. Therefore, the spark phenomenon can be reliably grasped without having to lengthen the inspection time.

도1은 본 발명에 관한 기판검사장치의 개략적인 구성도로서, 기판과의 관계를 나타내고 있다.
도2는, 본 발명에 관한 기판검사장치의 동작을 나타내는 개략도이다.
도3은, 본 발명에 관한 기판검사장치가 검출하는 전압의 변화를 시계열로 나타내는 도면이다.1 is a schematic configuration diagram of a substrate inspection apparatus according to the present invention, showing the relationship with a substrate.
2 is a schematic view showing the operation of the substrate inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 3 is a time series diagram showing changes in the voltage detected by the substrate inspection apparatus according to the present invention. FIG.

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 설명한다.Best mode for carrying out the present invention will be described.

본 발명은, 기판 상에 형성되는 복수의 배선패턴(配線pattern)의 절연검사(絶緣檢査)를 하는 경우에 발생하는 스파크 현상(spark現象)을 검출하기 위한 기판검사장치(基板檢査裝置) 및 그 방법에 관한 것이다. 도1은, 본 발명에 관한 기판검사장치의 1실시형태의 개략적인 구성도이다. 본 발명에 관한 실시형태의 기판검사장치(1)는, 전력공급수단(電力供給手段)(2), 전압검출수단(電壓檢出手段)(3), 전류검출수단(電流檢出手段)(4), 제어수단(制御手段)(6), 절체수단(切替手段)(7), 전류공급단자(電流供給端子), 전압검출단자(電壓檢出端子), 표시수단(表示手段)(10)을 구비하여 이루어진다. 도1에 나타내는 1실시형태에서는, 본 발명의 기판검사장치(1)와, 검사대상이 되는 기판(CB)과, 기판검사장치(1)와 기판(CB)을 전기적으로 접속하는 콘택트 프로브(contact probe)(CP)가 나타나 있다.The present invention relates to a substrate inspection apparatus for detecting a spark phenomenon that occurs when an insulation inspection of a plurality of wiring patterns (wiring patterns) formed on a substrate is performed, and a substrate inspection apparatus ≪ / RTI > 1 is a schematic configuration diagram of an embodiment of a substrate inspection apparatus according to the present invention. A substrate inspecting apparatus 1 according to an embodiment of the present invention includes a power supply means 2, a voltage detecting means 3, a current detecting means (current detecting means) 4), a control means 6, a switching means 7, a current supply terminal (current supply terminal), a voltage detection terminal (voltage detection terminal), a display means (display means) 10 . 1, a substrate inspection apparatus 1 of the present invention, a substrate CB to be inspected, and a contact probe (not shown) for electrically connecting the substrate inspection apparatus 1 and the substrate CB probe (CP).

본 발명의 기판검사장치(1)에서는, 후술하는 전류 저항부(R1∼R4)(도면부호R1∼R4는, 도1 및 도2에서는 도면부호5로 기재되어 있음)를 사용함으로써 전압검출수단(3)이 검출하는 전압정보가 기판검사장치(1)의 내부 부유용량(浮遊容量)이나 내부 부품 등의 영향을 받지 않고 검사대상 사이의 전압변화를 확실하게 파악할 수 있다.In the substrate inspecting apparatus 1 of the present invention, by using the current detecting sections R1 to R4 (reference numerals R1 to R4 are described as reference numeral 5 in Figs. 1 and 2) to be described later, 3 can reliably grasp the voltage change between the inspection object without being influenced by the internal stray capacitance (stray capacitance) of the substrate inspection apparatus 1, internal parts, or the like.

도1에 나타내는 기판(CB)은 4개의 배선패턴(P1∼P4)을 구비하고 있다. 이 기판(CB)이 구비하는 배선패턴은, 설계되는 기판(CB)에 따라 그 수 및 형상이 적절하게 설정된다. 도1의 기판(CB)에서는, 일자(一字) 모양의 배선패턴(P1)과, T자 모양의 배선패턴(P2)과, 십자(十字) 모양의 배선패턴(P3과 P4)이 나타나 있다.The substrate CB shown in Fig. 1 has four wiring patterns P1 to P4. The number and the shape of the wiring pattern included in the substrate CB are appropriately set according to the designed substrate CB. 1, a wiring pattern P1 of a one letter shape, a wiring pattern P2 of a T shape, and wiring patterns P3 and P4 of a cross shape are shown .

도1에서는, 각 배선패턴(P1∼P4)에 전기적으로 접촉하는 4개의 콘택트 프로브(CP)가 나타나 있다. 이 콘택트 프로브(CP)는, 기판검사장치(1)와 기판(CB)을 전기적으로 도통(導通)할 수 있도록 접속한다. 또한 이 콘택트 프로브(CP)의 배치위치나 배치개수는 기판(CB)에 형성되는 배선패턴에 따라 적절하게 설정된다. 한편 도1의 실시형태에서는, 후술하는 상류측 및 하류측 전류공급단자와 상류측 및 하류측 전압검출단자를 1개의 콘택트 프로브(CP)에 의하여 배선패턴 상에 형성되는 소정의 검사위치에 도통할 수 있도록 접촉시키고 있지만, 전류공급단자와 전압검출단자의 각각을 별개의 2개의 콘택트 프로브(CP)에 의하여 소정의 검사위치에 도통할 수 있도록 접촉시켜도 좋다.In Fig. 1, four contact probes CP which are in electrical contact with the respective wiring patterns P1 to P4 are shown. The contact probe CP is connected so that the substrate inspecting apparatus 1 and the substrate CB can be electrically connected to each other. The arrangement position and the number of arrangement of the contact probes CP are appropriately set in accordance with the wiring pattern formed on the substrate CB. On the other hand, in the embodiment of Fig. 1, the upstream and downstream current supply terminals and the upstream and downstream voltage detection terminals, which will be described later, are connected to a predetermined inspection position formed on the wiring pattern by one contact probe CP However, the current supply terminal and the voltage detection terminal may be brought into contact with each other at a predetermined inspection position by two separate contact probes (CP).

전력공급수단(2)은, 검사대상이 되는 배선패턴과 다른 배선패턴의 사이(이하, 검사대상 사이)에 절연검사를 하기 위한 소정의 전압을 인가시킨다.The power supply means 2 applies a predetermined voltage for inspecting insulation between a wiring pattern to be inspected and another wiring pattern (hereinafter, referred to as an inspection object).

이 전력공급수단(2)은 직류전원 또는 교류전원을 사용할 수 있으며, 특별하게 한정되는 것이 아니라 검사대상 사이에 소정의 전압을 인가시킬 수 있는 것이면 모두 사용할 수 있다. 또한 전력공급수단(2)은 예를 들면 커런트·컨트롤러(Current·Controller)를 이용할 수도 있다. 커런트·컨트롤러를 이용하는 경우에는, 커런트·컨트롤러에 의하여 소정의 배선패턴에 전류를 공급하여 검사대상 사이에 소정의 전압을 인가하게 된다. 이 전력공급수단(2)이 인가하게 되는 전압은, 상기의 설명과 같이 200∼250V로 설정된다.The power supply means 2 can be a direct current power source or an alternating current power source, and is not particularly limited, and any power source that can apply a predetermined voltage between inspection targets can be used. Further, the power supply means 2 may use, for example, a current controller. In the case of using a current controller, a current is supplied to a predetermined wiring pattern by a current controller to apply a predetermined voltage between inspection targets. The voltage to which the power supply means 2 is applied is set to 200 to 250 V as described above.

전압검출수단(3)은 검사대상 사이의 전압을 검출한다. 이 전압검출수단(3)은 예를 들면 전압계를 사용할 수 있지만, 특별하게 한정되는 것이 아니라 검사대상 사이의 전압을 검출할 수 있는 것이면 된다. 이 전압검출수단(3)은, 검사대상 사이에 전력공급수단(2)에 의하여 소정의 전위차가 발생하도록 전력이 인가되기 시작한 후부터, 검사대상 사이가 소정의 전위차에 도달한 후인 소정의 시간 경과 후(소정의 타이밍)까지의 사이, 검사대상 사이의 전위를 검출할 수 있다. 이 전압검출수단(3)이 파악하는 전압의 변화량에 의하여 검사대상 사이의 스파크 현상의 유무를 판정할 수 있게 된다.The voltage detecting means (3) detects the voltage between the objects to be inspected. The voltage detecting means 3 can use, for example, a voltmeter, but is not particularly limited, as long as it can detect the voltage between the inspection targets. The voltage detecting means 3 detects a voltage difference between the object to be inspected after a predetermined time elapsed after the electric power is applied to the object to be inspected so that a predetermined potential difference is generated by the electric power supply means 2, (The predetermined timing), the potential between the inspection object can be detected. It is possible to judge the presence or absence of a spark phenomenon between the objects to be inspected by the amount of change in the voltage that the voltage detecting means 3 grasps.

전류검출수단(4)은 검사대상 사이의 전류를 검출한다. 이 전류검출수단(4)은 예를 들면 전류계를 사용할 수 있지만, 특별하게 한정되는 것이 아니라 검사대상 사이에 흐르는 전류값을 검출할 수 있으면 된다. 이 전류검출수단(4)의 전류값과 검사대상 사이의 전압값에 의하여 검사대상 사이의 저항값을 산출할 수 있다. 또한 이 저항값에 의하여 검사대상 사이의 절연상태의 양부를 판정하게 된다.The current detecting means (4) detects the current between the objects to be inspected. The current detecting means 4 can use, for example, an ammeter, but is not particularly limited, and it is only required to be able to detect the current value flowing between the inspection targets. The resistance value between the object to be inspected can be calculated from the current value of the current detecting means 4 and the voltage value between the inspection object. In addition, this resistance value determines whether the insulation state between the objects to be inspected is positive or negative.

전류공급단자는, 검사대상 사이의 전류를 공급하기 위하여 각 배선패턴과 콘택트 프로브(CP)를 통하여 접속된다. 이 전류공급단자는, 전력공급수단(2)의 상류측(정극측(正極側))과 배선패턴을 접속하는 상류측 전류공급단자(81)와, 전력공급수단(2)의 하류측(부극측(負極側)) 또는 전류검출수단(4)과 배선패턴을 접속하는 하류측 전류공급단자(82)를 구비하고 있다.The current supply terminals are connected to the respective wiring patterns through the contact probes (CP) in order to supply a current between the objects to be inspected. This current supply terminal has an upstream side current supply terminal 81 for connecting the wiring pattern to the upstream side (positive side) of the power supply means 2 and a downstream side And a downstream-side current supply terminal 82 for connecting the current detection means 4 and the wiring pattern.

도1에 나타내는 바와 같이 이 전류공급단자의 상류측 전류공급단자(81) 및 하류측 전류공급단자(82)는 각각의 배선패턴에 설치되어 있다. 이들의 상류측 전류공급단자(81)와 하류측 전류공급단자(82)는, 각각에 절체수단(7)의 스위치 소자를 구비하고 있고, 이 절체수단(7)의 스위치 소자의 ON/OFF 동작에 의하여 접속상태/미접속상태가 설정된다.As shown in Fig. 1, the upstream-side current supply terminal 81 and the downstream-side current supply terminal 82 of the current supply terminal are provided in the respective wiring patterns. Each of the upstream side current supply terminal 81 and the downstream side current supply terminal 82 is provided with a switching element of the switching means 7. The ON / OFF operation of the switching element of the switching means 7 The connection state / non-connection state is set.

이 전류공급단자는, 스위치 소자와 직렬로 접속되는 저항부(R1) 또는 저항부(R4)를 구비하고 있다. 특히 상류측 전류공급단자(81)에 저항부(R1)를 구비함으로써 스파크 현상이 발생하였을 경우의 과전류(過電流)가 반드시 이 저항부(R1)를 경유하여 검사대상 사이를 흐르게 되어, 이 때에 발생하는 전압강하를 전압검출수단(3)이 확실하게 검출할 수 있게 된다. 이 저항부(R1)는 예를 들면 10∼100Ω 정도의 저항값을 구비하는 저항을 채용할 수 있다.The current supply terminal includes a resistor R1 or a resistor R4 connected in series with the switch element. In particular, since the resistor R1 is provided in the upstream-side current supply terminal 81, the overcurrent (overcurrent) when a spark phenomenon occurs necessarily flows between the objects to be inspected via the resistor R1, The voltage detection means 3 can reliably detect the voltage drop that occurs. The resistor R1 may be a resistor having a resistance value of, for example, about 10 to 100 [Omega].

전압검출단자는 검사대상 사이의 전압을 검출하기 위하여 각 배선패턴과 콘택트 프로브(CP)를 통하여 접속된다. 이 전압검출단자는, 전압검출수단(3)의 상류측(정극측)과 배선패턴을 접속하는 상류측 전압검출단자(91)와, 전압검출수단(3)의 하류측(부극측)과 배선패턴을 접속하는 하류측 전압검출단자(92)를 구비하여 이루어진다. 도1에 나타내는 바와 같이 이 전압검출단자의 상류측 전압검출단자(91) 및 하류측 전압검출단자(92)는 각각의 배선패턴에 설치되어 있다. 이들의 상류측 전압검출단자(91)와 하류측 전압검출단자(92)는, 전류공급단자와 같이 각각에 절체수단(7)의 스위치 소자를 구비하고 있고, 이 절체수단(7)의 스위치 소자의 ON/OFF 동작에 의하여 접속상태/미접속상태가 설정된다. 전압검출단자에는, 스위치 소자와 직렬로 접속되는 저항부(R2) 또는 저항부(R3)를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 이 저항부(R2) 또는 저항부(R3)는, 상기의 저항부(R1) 또는 저항부(R4)와 동일한 구성을 채용할 수 있다.The voltage detecting terminals are connected to the respective wiring patterns through the contact probes (CP) in order to detect the voltage between the objects to be inspected. This voltage detecting terminal is connected to the upstream side voltage detecting terminal 91 connecting the upstream side (positive side) of the voltage detecting means 3 and the wiring pattern, the downstream side (negative side) of the voltage detecting means 3, And a downstream voltage detecting terminal 92 for connecting the pattern. As shown in Fig. 1, the upstream-side voltage detection terminal 91 and the downstream-side voltage detection terminal 92 of the voltage detection terminal are provided in the respective wiring patterns. The upstream-side voltage detection terminal 91 and the downstream-side voltage detection terminal 92 are provided with switching elements of the switching means 7 like the current supply terminals, The connection / non-connection state is set by the ON / OFF operation of the ON / OFF switch. It is preferable that the voltage detecting terminal is provided with a resistance portion R2 or a resistance portion R3 which is connected in series with the switching element. The resistance portion R2 or the resistance portion R3 may adopt the same configuration as the resistance portion R1 or the resistance portion R4.

전류공급단자와 전압검출단자는, 도1에 나타내는 바와 같이 배선패턴에 도통하도록 접촉하는 1개의 콘택트 프로브(CP)에 대하여, 4개의 단자가 배치됨과 아울러 각 단자의 ON/OFF 제어를 하는 4개의 스위치 소자가 구비되어 이루어진다.As shown in Fig. 1, the current supply terminal and the voltage detecting terminal are connected to four contact probes (CP) which are in contact with the wiring pattern so as to be conductive, four terminals And a switch element.

한편 도1에서는, 상류측 전류공급단자(81)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW1이라고 하고, 상류측 전압검출단자(91)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW2라고 하고, 하류측 전압검출단자(92)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW3이라고 하고, 하류측 전류공급단자(82)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW4로 하여 나타내고 있다.1, a switch element for controlling the operation of the upstream-side current supply terminal 81 is denoted by SW1, a switch element for controlling the operation of the upstream-side voltage detection terminal 91 is denoted by SW2, A switch element for controlling the operation of the detection terminal 92 is denoted by reference symbol SW3 and a switch element for controlling the operation of the downstream side current supply terminal 82 is denoted by reference numeral SW4.

절체수단(7)은, 상기한 각 콘택트 프로브(CP)에 도통하도록 접속되는 복수의 스위치 소자로 구성되어 있다. 이 절체수단(7)은, 후술하는 제어수단(6)으로부터의 동작신호에 의하여 ON/OFF의 동작이 제어된다.The transfer means 7 is constituted by a plurality of switch elements connected to each of the contact probes CP described above. The ON / OFF operation of the transfer means 7 is controlled by an operation signal from the control means 6, which will be described later.

전압검출수단(3)과 전류검출수단(4)이 검출하는 전압값이나 전류값은, 후술하는 제어수단(6)으로 경과시간정보가 부여되어(시계열(時系列)적인 정보로서) 송신된다.Voltage values and current values detected by the voltage detecting means 3 and the current detecting means 4 are transmitted with time-lapse information (as time-series information) to the control means 6 described later.

제어수단(6)은, 검사대상이 되는 배선패턴을 선출하거나 전압검출수단(3)으로부터의 전압값을 기초로 스파크 현상을 검출하거나 절체수단(7)의 동작의 지시신호를 송신한다. 이 제어수단(6)은, 도1에 나타내는 바와 같이 선출수단(選出手段)(61), 판정수단(判定手段)(62), 기억수단(記憶手段)(63)을 구비하고 있는 것이 바람직하다.The control means 6 selects a wiring pattern to be inspected or detects a spark phenomenon based on the voltage value from the voltage detecting means 3 or transmits an instruction signal of the operation of the switching means 7. [ It is preferable that the control means 6 includes a selection means 61, a determination means 62 and a storage means 63 as shown in Fig. 1 .

기억수단(63)은, 기판(CB)의 배선패턴에 관한 정보, 이 배선패턴의 검사점에 관한 정보, 검출되는 검출값의 정보가 기억된다. 이 기억수단(63)에 절연검사에 필요한 정보가 저장되고, 이들의 정보를 사용함으로써 절연검사가 이루어짐과 아울러 검출되는 각 검출값이 저장된다.The storage means 63 stores information on the wiring pattern of the substrate CB, information on the inspection point of the wiring pattern, and information on the detected value to be detected. Information necessary for inspecting is stored in the memory means 63. By using these pieces of information, insulation inspection is performed and each detected value to be detected is stored.

선출수단(61)은, 기판(CB)의 복수의 배선패턴으로부터 검사대상이 되는 배선패턴을 선출하여 검사대상의 배선패턴을 특정한다. 이 선출수단(61)이 검사대상의 배선패턴을 특정함으로써 순차적으로 절연검사가 이루어지는 배선패턴이 선출된다. 이 선출수단(61)이 하는 검사대상의 배선패턴의 선택방법은, 미리 기억수단(63)에 검사대상이 되는 배선패턴의 순서가 설정되고, 이 순서에 따라 검사대상의 배선패턴이 선출되는 방법을 예시할 수 있다. 이 선택방법은 상기와 같은 방법을 채용할 수도 있지만, 검사대상이 되는 배선패턴이 순서대로 선출되는 방법이면 특별하게 한정되지 않는다.The selection means 61 selects a wiring pattern to be inspected from a plurality of wiring patterns on the substrate CB to specify a wiring pattern to be inspected. The wiring pattern in which insulation inspection is sequentially performed is selected by specifying the wiring pattern to be inspected by the selection means 61. The selection method of the wiring pattern to be inspected provided by the selection means 61 is such that the order of the wiring pattern to be inspected is set in advance in the storage means 63 and the wiring pattern to be inspected is selected in accordance with this order Can be exemplified. This selection method may employ the same method as described above, but it is not particularly limited as long as the wiring pattern to be inspected is selected in order.

이 선출수단(61)이 하는 구체적인 배선패턴의 선출은 절체수단(7)을 사용함으로써 실시된다. 예를 들면 절체수단(7)의 각 스위치 소자의 ON/OFF 제어를 함으로써 검사대상이 되는 배선패턴을 선출할 수 있다. 이 실시형태의 기판검사장치(1)에서는, 검사대상이 되는 배선패턴이 전력공급수단(2)과 접속되기 위한 상류측 전류공급단자(81)와 접속되도록 스위치 소자가 ON 된다. 또한 동시에 상류측 전압검출단자(91)와 이 배선패턴이 접속되도록 스위치 소자가 ON 된다.The selection of the specific wiring pattern to be performed by the selection means 61 is carried out by using the transfer means 7. [ For example, the wiring pattern to be inspected can be selected by performing ON / OFF control of each switch element of the switching means 7. In the substrate inspecting apparatus 1 of this embodiment, the switch element is turned ON so that the wiring pattern to be inspected is connected to the upstream side current supply terminal 81 to be connected to the power supply means 2. [ At the same time, the switch element is turned ON so that the wiring pattern is connected to the upstream-side voltage detecting terminal 91.

예를 들면 도1에 나타내는 실시형태에서는, 배선패턴(P1)을 검사대상으로 하는 경우에 선출수단(61)이 배선패턴(P1)에 접속하는 상류측 전류공급단자(81)와 상류측 전압검출단자(91)를 선출하고, 이들 단자(81, 91)의 스위치 소자(SW1)와 스위치 소자(SW2)를 ON 시키도록 촉진하는 신호를 송신한다. 이 신호를 절체수단(7)이 수신함으로써 스위치 소자(SW1)와 스위치 소자(SW2)가 동작하게 된다. 또한 이 경우에 검사대상의 배선패턴 이외의 배선패턴(나머지의 배선패턴)에 대응하는 스위치 소자(SW3)와 스위치 소자(SW4)가 ON 되도록 촉진하는 신호가 송신된다.For example, in the embodiment shown in FIG. 1, in the case where the wiring pattern P1 is to be inspected, the selection circuit 61 is connected to the upstream-side current supply terminal 81 connected to the wiring pattern P1 and the upstream- A terminal 91 is selected and a signal for promoting the switch element SW1 and the switch element SW2 of these terminals 81 and 91 to be turned ON is transmitted. The switch element (SW1) and the switch element (SW2) operate by receiving this signal by the switching means (7). In this case, a signal for promoting the switch element SW3 and the switch element SW4 corresponding to the wiring pattern (remaining wiring pattern) other than the wiring pattern to be inspected to be turned ON is transmitted.

상기의 설명과 같이 선출수단(61)에 의하여 기판(CB)의 복수의 배선패턴으로부터 검사대상이 되는 배선패턴이 선택된다. 이 제1실시형태에 나타내는 기판검사장치(1)의 선출수단(61)이 선출하는 배선패턴은, 기판(CB) 상에 형성된 복수의 배선패턴으로부터 1개의 배선패턴이 선출된다. 즉 선출수단(61)에 의하여 선출된 1개의 배선패턴과, 나머지 모든 배선패턴과의 사이에서 절연검사가 실시된다. 이와 같이 배선패턴이 선출됨으로써 절연검사를 효율적으로 처리할 수 있다.The wiring pattern to be inspected is selected from the plurality of wiring patterns on the substrate CB by the selection means 61 as described above. A wiring pattern selected by the selection means 61 of the substrate inspection apparatus 1 according to the first embodiment is selected from a plurality of wiring patterns formed on the substrate CB. That is, insulation inspection is performed between one wiring pattern selected by the selection means 61 and all the remaining wiring patterns. By selecting the wiring pattern in this manner, it is possible to efficiently process the insulation inspection.

판정수단(62)은, 전압검출수단(3)으로부터의 전압값을 기초로 하여 스파크 현상의 발생을 판정한다. 이 판정수단(62)이 하는 판정은, 시계열적으로 기억되는 전압값이 전압강하(전압값이 시계열에 대하여 마이너스의 변화)를 파악한 경우에 스파크 현상이 발생하고 있다고 판정하도록 설정되어 있다. 즉 이 판정수단(62)은, 전압값의 시간적 변화량이 마이너스가 된 경우에 스파크 현상이 발생한다고 인식하도록 설정된다. 한편 스파크 현상이 검출되면, 후술하는 표시수단(10)으로 그 취지가 연락된다.The determination means (62) determines the occurrence of the spark phenomenon based on the voltage value from the voltage detection means (3). The determination made by the determination means 62 is set so as to determine that a spark phenomenon occurs when a voltage value stored in a time-series manner is a voltage drop (a negative change in voltage value versus time series). That is, the determination means 62 is set to recognize that a spark phenomenon occurs when the temporal change amount of the voltage value becomes negative. On the other hand, when the spark phenomenon is detected, the display means 10, which will be described later, notifies the effect.

본 발명의 전압검출수단(3)은, 저항부(R1)보다 배선패턴에 가까운 위치에서 일방단(一方端)이 도통하도록 접속되어 있다. 종래의 절연검사 중에 스파크 현상을 검출하는 경우에 비하여, 저항부(R1)의 양단에 스파크 현상에 기인하는 전압강하가 나타나게 된다. 이 때문에 검사대상 사이의 전위차가 소정의 전위차에 도달한 후부터 실제의 절연검사를 하기 위하여 전류값을 검출하는 소정의 타이밍까지, 확실하게 전압의 변화를 검출할 수 있게 된다.The voltage detecting means 3 of the present invention is connected so that one end (one end) of the voltage detecting means 3 becomes conductive at a position closer to the wiring pattern than the resistance portion R1. A voltage drop due to a spark phenomenon appears at both ends of the resistance portion R1 compared with the case where the spark phenomenon is detected during the conventional insulation inspection. Therefore, it is possible to reliably detect the change in voltage from the time when the potential difference between the objects to be inspected reaches the predetermined potential difference to the predetermined timing for detecting the current value for the actual insulation inspection.

표시수단(10)은 절연검사의 상태를 표시한다. 이 표시수단(10)은 스파크 현상의 발견이 표시된다.The display means (10) displays the state of the insulation inspection. The display means 10 displays the detection of the spark phenomenon.

이상이 본 발명에 관한 제1실시형태의 기판검사장치(1)의 구성에 대한 설명이다.The configuration of the substrate inspection apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention has been described above.

본 제1실시형태의 기판검사장치(1)의 동작을 설명한다.The operation of the substrate inspection apparatus 1 of the first embodiment will be described.

우선 검사대상이 되는 기판(CB)의 배선패턴의 정보 등이 기억수단(63)에 저장된다. 또 기판(CB)이 소정의 검사위치에 배치되고, 기판(CB) 상에 형성되는 배선패턴 상의 검사점에 콘택트 프로브(CP)가 배치된다.The information of the wiring pattern of the board CB to be inspected and the like are stored in the memory means 63. [ The substrate CB is disposed at a predetermined inspection position and the contact probe CP is disposed at a check point on the wiring pattern formed on the substrate CB.

기판(CB)이 준비되면 절연검사가 시작된다. 우선 선출수단(61)이, 검사대상이 되는 배선패턴을 선출한다. 선출수단(61)이 검사대상이 되는 배선패턴을 선출하면, 이 선출수단(61)은 절체수단(7)에 의하여, 이 검사대상으로서 선출된 배선패턴의 상류측 전류공급단자(81)와 상류측 전압검출단자(91)를 특정한다. 그리고 이 특정된 상류측 전류공급단자(81)와 상류측 전압검출단자(91)를 접속상태로 하기 위한 스위치 소자(SW1, SW2)가 ON 되도록 선출수단(61)으로부터 동작신호가 절체수단(7)으로 송신된다.When the substrate CB is prepared, an insulation test is started. The first selection means 61 selects a wiring pattern to be inspected. When the selection means 61 selects a wiring pattern to be inspected, the selection means 61 causes the switching means 7 to switch the upstream side current supply terminal 81 of the wiring pattern selected as the inspection target, Side voltage detection terminal 91 is specified. The switching means SW1 and SW2 for bringing the specified upstream side current supply terminal 81 and the upstream side voltage detection terminal 91 into a connected state are turned on so that an operation signal is outputted from the selection means 61 to the switching means 7 ).

절체수단(7)은 선출수단(61)으로부터의 스위치 소자의 ON/OFF 동작에 관한 신호를 수신하면, 이 신호에 따라 스위치 소자의 ON/OFF 제어가 이루어진다.When the switching means 7 receives a signal relating to ON / OFF operation of the switching element from the selecting means 61, ON / OFF control of the switching element is performed in accordance with this signal.

예를 들면 배선패턴(P1)이 검사대상의 배선패턴으로 되는 경우에, 배선패턴(P1)에 대응하는 상류측 전류공급단자(81)와 상류측 전압검출단자(91)에 접속되는 스위치 소자(SW1, SW2)가 ON으로 된다. 또한 이와 동시에 이 배선패턴(P1) 이외의 배선패턴(P2) 내지 배선패턴(P4)에 접촉되는 콘택트 프로브(CP)가 각각 하류측 전류공급단자(82)와 접속상태로 되기 때문에, 각각의 하류측 전류공급단자(82)의 스위치 소자(SW4)가 각각 ON으로 되도록 제어된다.When the wiring pattern P1 is the wiring pattern to be inspected, the switching element P1 is connected to the upstream-side current supply terminal 81 corresponding to the wiring pattern P1 and the switching element SW1, and SW2 are turned ON. At the same time, since the contact probes CP that are in contact with the wiring patterns P2 to P4 other than the wiring pattern P1 are connected to the downstream side current supply terminals 82, And the switch element SW4 of the side current supply terminal 82 are respectively turned ON.

도2는, 본 발명에 관한 기판검사장치의 동작상태를 나타내는 1실시형태이다. 이 도2에 나타내는 동작상태에서는, 상기의 설명과 같이 배선패턴(P1)이 검사대상으로서 선출되어 있다. 이 때문에 배선패턴(P1)은, 스위치 소자(SW1)와 스위치 소자(SW2)가 ON 되어 있어, 상류측 전류공급단자(81)와 상류측 전압검출단자(91)에 접속되어 있다. 이 때에 검사대상 이외의 배선패턴(P2) 내지 배선패턴(P4)은, 스위치 소자(SW4)가 ON 되어 하류측 전류공급단자(82)가 각각 접속되어 있다. 한편 스위치 소자(SW3)는 OFF 상태 그대로이다.2 is an embodiment showing an operation state of the substrate inspection apparatus according to the present invention. In the operation state shown in Fig. 2, the wiring pattern P1 is selected as an object to be inspected as described above. The switch element SW1 and the switch element SW2 are turned ON in the wiring pattern P1 and connected to the upstream side current supply terminal 81 and the upstream side voltage detection terminal 91. [ At this time, in the wiring patterns P2 to P4 other than the inspection object, the switch element SW4 is turned on and the downstream side current supply terminals 82 are connected, respectively. On the other hand, the switch element SW3 remains OFF.

상기와 같은 스위치 소자가 ON 또는 OFF 제어되면, 검사대상 사이의 전위차가 소정의 전위차가 되도록 검사대상의 배선패턴(P1)에 전류가 인가된다.When the above switch element is ON or OFF controlled, a current is applied to the wiring pattern P1 to be inspected so that the potential difference between the objects to be inspected has a predetermined potential difference.

이 때에 전압검출수단(3)은, 전력공급수단(2)으로부터 전력이 공급되고 있는 사이에 검출하는 전압값을 제어수단(6)으로 송신하고 있다. 제어수단(6)은 전압값을 받으면, 판정수단(62)에 있어서 전압강하가 발생하고 있는가 아닌가를 판정한다. 이 때에 전압값이 시계열적으로 감소하고 있으면, 판정수단(62)은 스파크 현상이 발생하였다고 판정을 하고, 그 취지가 표시수단(10)으로 보내져서 표시된다.At this time, the voltage detecting means 3 transmits the voltage value detected while the power is supplied from the power supply means 2 to the control means 6. When the control means 6 receives the voltage value, it judges whether or not a voltage drop has occurred in the judging means 62. At this time, if the voltage value decreases in a time-dependent manner, the determination means 62 determines that a spark phenomenon has occurred, and the effect is displayed on the display means 10.

도3에서는 스파크 현상이 발생하였을 경우의 예를 나타내고 있으며, 전압강하가 발생한 장소(A)에 있어서 스파크 현상이 발생하고 있다. 도3에서는, 시간(t0)에 있어서, 본 발명의 기판검사장치(1)의 전력공급수단(2)이 검사대상 사이에 소정의 전위차를 인가하기 위한 전력을 공급한다. 더 구체적으로는 예를 들면 전력공급수단(2)이 전류를 공급함으로써 검사대상 사이의 전위차를 크게 할 수 있다. 또 도3에서는, 전압검출수단(3)이 검출하는 전압값을 부호(Vp)로 나타내고 있고, 전력공급수단(2)이 공급하는 전압값을 부호(Vs)로서 참고로 기재하고 있다.Fig. 3 shows an example of a case where a spark phenomenon occurs, and a spark phenomenon occurs in a place A where a voltage drop occurs. In Fig. 3, at time t0, the power supply means 2 of the substrate inspection apparatus 1 of the present invention supplies electric power for applying a predetermined potential difference between the objects to be inspected. More specifically, for example, the electric potential difference between the objects to be inspected can be increased by supplying electric current to the electric power supply means 2. 3, the voltage value detected by the voltage detecting means 3 is indicated by the reference numeral Vp, and the voltage value supplied by the power supply means 2 is represented by reference numeral Vs.

이 때에 전압인가시작 시간(t0)에서부터 시간(t1)까지는 검사대상 사이의 전압이 소정의 전압에 도달할 때까지의 기간이며, 시간(t3)에서 절연검사가 실시된다. 이 시간(t1)에서부터 시간(t3)까지는, 검사대상 사이의 전압이 소정의 전압에 도달되고 나서 소정의 시간이 경과한 후에 절연검사가 실시되도록 설정되어 있다. 이 기간에 있어서, 본 발명은 정확하게 스파크 현상을 검출할 수 있다. 이 기간에 있어서 예를 들면 커런트 리미트 회로(current limit 回路)에 의하여 전류값이 제한되고 있는 경우에는, 이 회로의 존재에 의하여 종래에는 검출할 수 없었던 작은 과전류의 스파크 현상이 발생하였을 경우이더라도 전압강하부(5)를 작은 과전류가 통과함으로써 확실하게 검출할 수 있기 때문이다.
At this time, the period from the voltage application start time t0 to the time t1 is a period until the voltage between the objects to be inspected reaches a predetermined voltage, and the insulation inspection is performed at time t3. From the time t1 to the time t3, the insulation inspection is set to be performed after a predetermined time has elapsed since the voltage between the objects to be inspected reaches a predetermined voltage. In this period, the present invention can accurately detect the spark phenomenon. In this period, for example, when the current value is limited by the current limit circuit, even if a spark phenomenon of a small overcurrent that can not be detected by the presence of this circuit occurs, This is because the lower portion 5 can be reliably detected by passing a small overcurrent.

1 : 기판검사장치
2 : 전력공급수단
3 : 전압검출수단
5(R1∼R4) : 전압강하부(저항부)
6 : 제어수단
7 : 절체수단
CB : 단위기판1: substrate inspection device
2: power supply means
3: voltage detection means
5 (R1 to R4): Voltage lower part (resistance part)
6: Control means
7: Transfer means
CB: Unit substrate

Claims (1)

기판에 형성되는 복수의 배선패턴(配線pattern) 사이의 절연검사를 하는 기판검사장치(基板檢査裝置)로서,
상기 복수의 배선패턴으로부터 검사대상이 되는 하나의 배선패턴을 제1검사부로서 선출함과 아울러, 상기 제1검사부 이외의 검사대상이 되는 모든 배선패턴을 제2검사부로서 선출하는 선출수단(選出手段)과,
상기 제1검사부와 상기 제2검사부의 사이에 소정의 전위차를 설정하기 위하여 상기 제2검사부에 접속됨과 아울러 상기 제2검사부에 전압을 인가하는 전원수단(電源手段)과,
상기 제1검사부와 제2검사부 사이의 전압을 검출하는 검출수단(檢出手段)과,
상기 검출수단이 검출하는 전압에 전압강하가 발생한 경우에, 상기 제1검사부와 제2검사부에 불량이 존재한다고 판정하는 판정수단(判定手段)을
구비하고,
상기 선출수단은, 도통상태(導通狀態)를 ON/OFF로 하는 절체부(切替部)와, 상기 절체부와 직렬로 접속되는 전압강하부(電壓降下部)를 구비하여 이루어지고,
상기 검출수단은, 일방단(一方端)이 상기 제1검사부와 상기 전압강하부의 사이에서 도통하도록 접속되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.1. A substrate inspection apparatus for inspecting insulation between a plurality of wiring patterns (wiring patterns) formed on a substrate,
(Selection means) for selecting one wiring pattern to be inspected from the plurality of wiring patterns as a first checking unit and selecting all the wiring patterns to be inspected other than the first checking unit as a second checking unit, and,
A power supply unit (power supply unit) connected to the second test unit and applying a voltage to the second test unit to set a predetermined potential difference between the first test unit and the second test unit,
Detection means (detection means) for detecting a voltage between the first inspection unit and the second inspection unit,
(Determination means) for determining that there is a failure in the first inspection unit and the second inspection unit when a voltage drop occurs in the voltage detected by the detection unit
Respectively,
Wherein the selection means comprises a switching portion for turning ON / OFF the conduction state and a voltage lowering portion connected in series with the switching portion,
Wherein the detecting means is connected such that one end thereof is electrically connected between the first inspection portion and the voltage drop portion.
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