KR20140010025A - Spacing adjustment device and conveying apparatus using same - Google Patents

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KR20140010025A
KR20140010025A KR1020137019805A KR20137019805A KR20140010025A KR 20140010025 A KR20140010025 A KR 20140010025A KR 1020137019805 A KR1020137019805 A KR 1020137019805A KR 20137019805 A KR20137019805 A KR 20137019805A KR 20140010025 A KR20140010025 A KR 20140010025A
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히데오 오자와
고이치 쓰노다
다카히로 야스다
도시유키 이케다
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오일레스고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 레벨링 장치(3)는, 베이스 프레임(1) 상에서 에어 레일(air rail:2)을 지지하고, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이를 조정한다. 레벨링 장치(3)는, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이 방향으로 신축하는 접시스프링군과, 한쪽 단면(端面)으로부터 다른 쪽 단면(323)으로 향하여 볼트(4)를 삽입하기 위한 제 1의 관통구멍(324)이 형성되며, 외측으로 향하여 제 1의 테두리부가 한쪽 단면 측에 형성된 원기둥 형상의 압자(壓子)와, 한쪽 단면(端面)으로부터 다른 쪽 단면으로 향하여 볼트(4)를 삽입하기 위한 제 2의 관통구멍(334)이 형성되고, 외측으로 향하여 플랜지부가 한쪽 단면 측에 형성된 원기둥 형상의 스프링 가이드와, 내측으로 향하여 제 2의 테두리부가 한쪽 개구부에 형성된 통 형상의 하우징을 가진다. 본 발명은, 이러한 구성에 의해, 2개의 부재간(베이스 프레임(1)과 에어 레일(2))의 이간 거리 조정 작업의 작업성 향상을 도모한다.The leveling device 3 of the present invention supports an air rail 2 on the base frame 1, and adjusts the height of the air rail 2 with respect to the base frame 1. The leveling device 3 inserts the bolt 4 in the height direction of the air rail 2 with respect to the base frame 1 and the bolt 4 from one end face to the other end face 323. A first through hole 324 is formed to form a cylindrical indenter having a first edge portion on one end face side toward the outside, and a bolt from one end face to the other end face. 4) A second through hole 334 for inserting is formed, a cylindrical spring guide having a flange portion at one end face side toward the outside, and a cylindrical shape having a second edge portion at one opening toward the inside. Has a housing. This invention aims at improving the workability of the separation distance adjustment work between two members (base frame 1 and air rail 2) by such a structure.

Description

이간 거리 조정 장치 및 그 장치를 이용한 반송 장치{SPACING ADJUSTMENT DEVICE AND CONVEYING APPARATUS USING SAME}Separation distance adjusting device and conveying device using the device {SPACING ADJUSTMENT DEVICE AND CONVEYING APPARATUS USING SAME}

본 발명은, 이간 거리 조정 장치에 관한 것이며, 특히, 반송물을 부상(浮上)시켜 반송하는 부상 반송 장치에 적합한 레벨링(leveling) 장치의 구조에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to a separation distance adjustment apparatus. Specifically, It is related with the structure of the leveling apparatus suitable for the floating conveyance apparatus which floats and conveys a conveyed object.

플랫 패널 디스플레이(FPD)에 이용되는 기판 등을 반송면으로부터 부상시켜 반송하는 부상반송장치로서, 특허 문헌 1에 기재된 기판 반송 장치가 알려져 있다.The substrate conveyance apparatus of patent document 1 is known as a floating conveyance apparatus which floats and conveys the board | substrate etc. which are used for a flat panel display (FPD) from a conveyance surface.

이 부상 반송 장치는, 배열된 복수의 부상 블록의 반송면으로부터 압축 공기를 분출시킴으로써 반송 대상의 기판을 부상시키면서, 이 기판을 반송 방향으로 반송한다. 여기서, 각 부상 블록의 반송면의 높이 및 평면도를 조정 가능하게 하기 위해, 각 부상 블록은 개별의 가동 플레이트 상에 나사로 고정되어 있고, 이들 가동 플레이트와 고정 플레이트와의 간격이 각각 3점으로 조정할 수 있도록 되어 있다.This floating conveying apparatus conveys this board | substrate to a conveyance direction, making the board | substrate of a conveyance object float by blowing compressed air from the conveyance surface of several arranged floating blocks. Here, in order to be able to adjust the height and flatness of the conveying surface of each floating block, each floating block is screwed on an individual movable plate, and the space | interval of these movable plates and a fixed plate can be adjusted to three points, respectively. It is supposed to be.

구체적으로는, 부상 블록의 바닥부 양측으로부터 튀어나온 가동 플레이트에는 합계 3개소에 암나사가 형성되어 있고, 고정 플레이트에는, 각 가동 플레이트의 암나사에 대향하는 위치에, 그들 암나사와는 피치가 다른 암나사가 형성되어 있다. 그리고, 가동 플레이트의 암나사와 고정 플레이트의 암나사에 맞물리는 수나사부를 가지는 조정 나사가, 가동 플레이트와 고정 플레이트와의 사이에 개재하는 스프링 내에 삽입된 상태로, 대향하는 각 조(組)의 암나사에 체결되어 있다. 작업자는, 서로 이웃하는 부상 블록 사이에 공구를 넣어 조정 나사를 회전시킴으로써, 가동 플레이트와 고정 플레이트와의 간격을, 양 플레이트의 암나사의 피치 차이 분량에 상당하는 거리씩 증감시켜, 조절할 수 있다.Specifically, female screws are formed in a total of three places on the movable plates protruding from both sides of the bottom of the floating block, and the fixed plates have female screws different in pitch from those female screws at positions opposite to the female screws of the movable plates. Formed. And the adjusting screw which has the male screw part which engages the female screw of a movable plate and the female screw of a fixed plate is fastened to the female screw of each nail | claw which opposes in the state inserted in the spring interposed between the movable plate and the fixed plate. It is. The operator can adjust the distance between the movable plate and the fixed plate by a distance corresponding to the pitch difference amount of the female threads of both plates by inserting a tool between adjacent floating blocks and rotating the adjustment screw.

일본 공개특허공보 2009－229258호Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-229258

그러나, 특허 문헌 1에 기재된 기판 반송 장치에서는, 가동 플레이트를 고정 플레이트에 부착할 때, 작업자는, 가동 플레이트의 각 암나사에 틀어박은 조정 나사에 각각 스프링을 삽입하고, 이들 스프링이 빠지지 않도록 유지하면서, 각 조정 나사의 선단을, 고정 플레이트의 대응하는 암나사에 위치시킬 필요가 있다. 이 때문에, 작업성이 좋지 않다.However, in the board | substrate conveying apparatus of patent document 1, when attaching a movable plate to a fixed plate, an operator inserts spring into the adjustment screw which screwed in each female screw of a movable plate, respectively, and keeps these springs from falling out, It is necessary to position the tip of each adjustment screw to the corresponding female screw of the fixing plate. For this reason, workability is not good.

또, 작업자가 조정 나사를 죄고ㆍ느슨하게 하는 작업을 행하기 위한 공간을 부상 블록의 양측에 확보해 둘 필요가 있기 때문에, 서로 이웃하는 부상 블록의 간격을 더욱 좁게 하거나, 서로 이웃하는 부상 블록을 밀착시키거나 할 수 없다. 이 때문에, 서로 이웃하는 부상 블록의 빈틈의 위치에서, 반송 대상으로 양호한 상태로 압축 공기를 내뿜을 수 없어, 반송 대상의 부상 상태가 불안정하게 될 가능성이 있다.In addition, it is necessary for a worker to secure space on both sides of the floating block for tightening and loosening the adjusting screw, so that the space between adjacent floating blocks is further narrowed or adjacent floating blocks are in close contact with each other. You can't or can't. For this reason, compressed air cannot be blown out in the favorable state to the conveyance object in the position of the space of the floating block which adjoins mutually, and there exists a possibility that the floating state of a conveyance object may become unstable.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 2개의 부재간의 이간 거리 조정 작업의 작업성을 향상시키는 기술을 제공하는 것에 있다.This invention is made | formed in view of the said situation, The objective is to provide the technique which improves the workability of the separation distance adjustment work between two members.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 2개의 부재간의 이간 거리를 조정하는 이간 거리 조정 장치에 있어서, 탄성체 등을 포함하는 복수의 구성부품을 유닛화 가능한 구조로 함과 함께, 한쪽 부재의 다른 쪽 부재로의 부착 및 이간 거리의 조정을 볼트 한 개로 행할 수 있도록 했다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, in this invention, in the separation distance adjustment apparatus which adjusts the separation distance between two members, while making into a structure which can unite the some component containing an elastic body etc., it is the other of one member. The attachment to the side member and adjustment of the separation distance can be performed with one bolt.

예를 들면, 본 발명은, 2개 부재의 사이에 위치하고, 상기 2개 부재간의 이간 거리를 조정하는 이간 거리 조정 장치로서, For example, the present invention is a separation distance adjusting device which is located between two members and adjusts the separation distance between the two members.

상기 이간 거리 방향으로 신축하는 탄성체와,An elastic body that stretches in the separation distance direction;

한쪽 단면(端面:end face))으로부터 다른 쪽 단면으로 향하여 제 1의 관통구멍이 형성되고, 외측으로 향하여 제 1의 테두리부(edge portion)가 상기 한쪽 단면 측에 형성된 통 형상의 압자와,A cylindrical indenter having a first through hole formed from one end face to the other end face and a first edge portion formed on the one end face toward the outside;

한쪽 단면으로부터 다른 쪽 단면으로 향하여 제 2의 관통구멍이 형성되며, 외측으로 향하여 플랜지부가 상기 한쪽 단면 측에 형성된 통 형상의 가이드 부재와,A second through hole is formed from one end face to the other end face, and a cylindrical guide member having a flange portion formed on the one end face side toward the outside;

내측으로 향하여 제 2의 테두리부가 한쪽 개구부에 형성된 통 형상의 하우징을 가지고, Has a tubular housing formed in one opening with a second rim portion inwardly,

상기 하우징은, The housing includes:

상기 한쪽 개구부와 반대측의 다른 쪽 개구부가 상기 2개의 부재 중 한쪽 부재와 대향하도록, 상기 2개 부재의 사이에 배치되며, Disposed between the two members such that the other opening opposite to the one opening faces the one of the two members,

상기 압자는, The indenter,

상기 제 1의 테두리부가 상기 제 2의 테두리부와 접하고, 상기 압자의 상기 다른 쪽 단면이 상기 하우징의 한쪽 개구부로부터 돌출하도록, 상기 하우징 내에 수용되고, The first edge portion is in contact with the second edge portion and is accommodated in the housing such that the other end face of the indenter protrudes from one opening of the housing,

상기 가이드 부재는, The guide member,

상기 제 2의 관통구멍의 축심이 상기 제 1의 관통구멍의 축심과 일치하도록, 상기 압자가 수용된 상기 하우징 내에 수용되고, 상기 하우징의 내면, 상기 가이드 부재의 측면, 상기 제 1의 테두리부 및 상기 플랜지부에 의해 통 형상의 중공부가 형성되며,The indenter is accommodated in the housing in which the indenter is accommodated so that the axis of the second through hole coincides with the axis of the first through hole, the inner surface of the housing, the side of the guide member, the first edge portion and the The hollow hollow portion is formed by the flange portion,

상기 탄성체는, The elastic body,

상기 가이드 부재를, 상기 하우징의 다른 쪽 개구부로부터 나오는 방향으로 힘을 가하여, 상기 2개의 부재 중 한쪽 부재에 압접(壓接)시키도록, 상기 중공부에 설치된다.It is provided in the said hollow part so that the said guide member may be pressed against one of the said two members by applying a force in the direction from the other opening part of the said housing.

본 발명에 의하면, 2개의 부재간의 이간 거리 조정 작업의 작업성을 향상시킬 수 있다.According to this invention, the workability of the separation distance adjustment work between two members can be improved.

도 1은, 본 발명의 일실시의 형태에 따른 부상 반송 장치의 반송대(100)의 개략 구성을 나타내는 외관도이다.
도 2(a)는, 베이스 프레임(1)의 외관도이며, 도 2(b)는, 도 2(a)에 나타내는 베이스 프레임(1)의 A－A단면도이다.
도 3(a)은, 에어 레일(2)의 외관도이며, 도 3(b)은, 도 3(a)에 나타내는 에어 레일(2)의 B－B단면 확대도이다.
도 4(a)는, 레벨링 장치(3)의 외관도이며, 도 4(b)는, 도 4(a)에 나타내는 레벨링 장치(3)의 C－C단면도이다.
도 5(a)는, 육각구멍붙이 볼트(hexagon socket head bolt:4)의 외관도이며, 도 5(b)는, T너트(5)의 단면도이다.
도 6(a)은, 레벨링 장치(3)의 조립 작업을 설명하기 위한 단면도이며, 도 6(b)은, 에어 레일(2)에의 레벨링 장치(3)의 부착 작업을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은, 베이스 프레임(1)에의 에어 레일(2)의 부착 작업을 설명하기 위한 단면도이다.1: is an external view which shows schematic structure of the conveyance stand 100 of the floating conveyance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.
Fig. 2A is an external view of the base frame 1, and Fig. 2B is a cross-sectional view A-A of the base frame 1 shown in Fig. 2A.
FIG. 3A is an external view of the air rail 2, and FIG. 3B is an enlarged B-B cross-sectional view of the air rail 2 shown in FIG. 3A.
FIG. 4A is an external view of the leveling device 3, and FIG. 4B is a C-C cross-sectional view of the leveling device 3 shown in FIG. 4A.
Fig. 5A is an external view of a hexagon socket head bolt 4, and Fig. 5B is a sectional view of the T nut 5. Figs.
FIG. 6: (a) is sectional drawing for demonstrating the assembling work of the leveling device 3, and FIG. 6 (b) is sectional drawing for demonstrating the attachment work of the leveling device 3 to the air rail 2. As shown in FIG.
FIG. 7: is sectional drawing for demonstrating the attachment | attachment operation of the air rail 2 to the base frame 1. FIG.

이하, 본 발명의 일실시의 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one Embodiment of this invention is described.

도 1은, 본 발명의 일실시의 형태에 따른 부상 반송 장치의 반송대(100)의 개략 구성을 나타내는 외관도이다.1: is an external view which shows schematic structure of the conveyance stand 100 of the floating conveyance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.

도시하는 바와 같이, 본 실시의 형태에 따른 부상 반송 장치는, FPD, 태양전지 패널 등에 이용되는 유리기판 등의 반송물을 반송면(21)으로부터 부상시켜 반송하는 반송대(100)를 구비하고 있다. 이 반송대(100)는, 소정의 간격을 두고 늘어놓은 2개의 각기둥 형상의 베이스 프레임(예를 들면 알루미늄 프레임)(1)과 2개의 베이스 프레임(1) 사이에 걸쳐진 판 형상의 에어 레일(2)과, 베이스 프레임(1) 상에서 에어 레일(2)을 지지하기 위해, 베이스 프레임(1)마다 2개(합계 4개)의 레벨링 장치(3)(일부 도시하지 않음)를 가진다. 한편, 본 실시의 형태에서는, 2개의 베이스 프레임(1)의 사이에 1개의 에어 레일(2)이 걸쳐진 경우를 예시하고 있지만, 실제로는, 예를 들면 반송 거리 분의 길이를 가지는 2개의 베이스 프레임(1)의 사이에, 복수 라인의 에어 레일(2)이 베이스 프레임(1)의 길이방향(도 1의 Y방향)으로 나란하게 걸쳐진다. 또, 본 실시의 형태에서는, 1개의 에어 레일(2)을 4개의 레벨링 장치(3)로 지지하고 있지만, 에어 레일(2)을 안정하게 지지 가능한 개수의 레벨링 장치(3)를 이용하면 좋다.As shown, the floating conveying apparatus which concerns on this embodiment is equipped with the conveyance base 100 which floats and conveys conveyed objects, such as a glass substrate used for FPD, a solar cell panel, etc. from the conveyance surface 21. As shown in FIG. The carrier table 100 is a plate-shaped air rail 2 spanned between two prismatic base frames (for example, aluminum frames) 1 and two base frames 1 arranged at predetermined intervals. And two (four in total) leveling devices 3 (not shown) for each base frame 1 to support the air rails 2 on the base frame 1. On the other hand, in this embodiment, although the case where one air rail 2 was interposed between two base frames 1 is illustrated, in reality, two base frames which have length for conveyance distance, for example. Between (1), the air rail 2 of several lines hangs side by side in the longitudinal direction (Y direction of FIG. 1) of the base frame 1. As shown in FIG. Moreover, in this embodiment, although one air rail 2 is supported by four leveling devices 3, the number of leveling devices 3 which can support the air rail 2 stably may be used.

또, 도 1에는 도시하고 있지 않지만, 반송대(100)는, 또한, 에어 레일(2)에 레벨링 장치(3)를 고정하는 볼트(6)와, 레벨링 장치(3)를 통하여 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 고정하기 위한 육각구멍붙이 볼트(4) 및 T너트(5)를 가진다. 볼트(6)는, 레벨링 장치(3)마다 2개 설치되어 있다. 또, 육각구멍붙이 볼트(4) 및 T너트(5)는, 레벨링 장치(3)마다 한 쌍(합계 4대) 설치되어 있다.In addition, although not shown in FIG. 1, the carrier table 100 further includes an air rail 2 through a bolt 6 for fixing the leveling device 3 to the air rail 2 and the leveling device 3. Has a hexagon socket head bolt 4 and a T-nut 5 for fixing to the base frame 1. Two bolts 6 are provided for each leveling device 3. The hexagon socket head bolt 4 and the T nut 5 are provided in pairs (four in total) for each leveling device 3.

도 2(a)는, 베이스 프레임(1)의 외관도이며, 도 2(b)는, 도 2(a)에 나타내는 베이스 프레임(1)의 A－A단면도이다.Fig. 2A is an external view of the base frame 1, and Fig. 2B is a cross-sectional view A-A of the base frame 1 shown in Fig. 2A.

도시하는 바와 같이, 베이스 프레임(1) 4개의 외면(상면(12A), 좌측면(12B), 하면(12C) 및 우측면(12D))의 각각에는, 베이스 프레임(1)의 길이방향의 원하는 위치에 T너트(5)를 배치하기 위한 T자 형상 홈(11)이 형성되어 있다. T자 형상 홈(11)은, 홈 가장자리(112)로부터 홈 바닥(111)까지의 사이에 있어서 홈 폭(s1)으로부터 홈 폭(s2)(＞s1)으로 바뀌는 단차(113)를 포함하는 T자 형상의 단면(斷面) 형상을 가지고, 베이스 프레임(1)의 한쪽 단면(端面)(길이방향으로 수직인 면)(13)으로부터 다른 쪽 단면(端面)(14)까지 연속하고 있다. 이 T자 형상 홈(11)에 의해, 베이스 프레임(1)의 양 단면(13, 14)에는 T자 형상의 개구가 형성되며, 4개의 외면(12A~12D)의 각각에도, 한쪽 단면(13)에서 다른 쪽 단면(14)까지 연속하는 홈 폭(s1)의 개구가 형성된다.As shown, each of the four outer surfaces of the base frame 1 (upper surface 12A, left surface 12B, lower surface 12C, and right surface 12D) has a desired position in the longitudinal direction of the base frame 1. T-shaped grooves 11 for arranging the T nuts 5 are formed in the grooves. The T-shaped groove 11 includes a step 113 that is changed from the groove width s1 to the groove width s2 (> s1) between the groove edge 112 and the groove bottom 111. It has the shape of a cross section of a shape of a base and is continuous from one end face (surface perpendicular to the longitudinal direction) 13 of the base frame 1 to the other end face 14. By this T-shaped groove 11, T-shaped openings are formed in both end surfaces 13 and 14 of the base frame 1, and one end surface 13 is also provided in each of the four outer surfaces 12A to 12D. ), An opening of the groove width s1 continuous from the other end face 14 is formed.

한편, 본 실시의 형태에서는, 베이스 프레임(1)으로서 4개의 외면(12A~12D) 전부에 T자 형상 홈(11)이 형성된 4면 홈 타입의 프레임을 사용하고 있지만, 적어도, 에어 레일(2) 측으로 향해진 상면(12A)에 T자 형상 홈(11)이 형성된 프레임이면 좋다.On the other hand, in this embodiment, although the four-sided groove-type frame in which the T-shaped groove | channel 11 was formed in all four outer surfaces 12A-12D as the base frame 1 is used, at least the air rail 2 What is necessary is just a frame in which the T-shaped groove 11 was formed in 12 A of upper surfaces toward the () side.

도 3(a)은, 에어 레일(2)의 외관도이며, 도 3(b)은, 도 3(a)에 나타내는 에어 레일(2)의 B－B 단면 확대도이다.FIG. 3A is an external view of the air rail 2, and FIG. 3B is an enlarged B-B cross-sectional view of the air rail 2 shown in FIG. 3A.

에어 레일(2)은, 외부로부터 에어 공급구(도시하지 않음)로 공급된 압축 공기를, 내부의 에어 공급로(도시하지 않음)를 통하여, 반송면(21)의 복수의 에어 송풍구멍(도시하지 않음)으로부터 분출된다.The air rail 2 carries out the compressed air supplied from the outside to the air supply port (not shown) through the inside air supply path (not shown), and the several air blowing hole of the conveyance surface 21 (not shown) Not used).

도시하는 바와 같이, 이 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)에의 부착 위치(본 실시의 형태에서는 4개소)에는, 각각, 반송면(21)으로부터 이면(반송면(21)과는 반대측 면)(24)을 향하여 육각구멍붙이 볼트(4)를 삽입하기 위한 단차를 가지는 관통구멍(23)이 형성되어 있다. 단차를 가지는 관통구멍(23)에는, 이 단차를 가지는 관통구멍(23)에 반송면(21)측으로부터 삽입되는 육각구멍붙이 볼트(4)의 좌면(座面)(412)(도 5 참조)이 접촉하는 단차(25)가 형성되어 있다. 반송면(21)으로부터 단차(25)까지의 영역(대경부(大徑部))(28)에 있어서의 직경(r1)은, 단차(25)로부터 이면(24)까지의 영역(소경부(小徑部))(27)에 있어서의 직경(r2) 보다 크다.As shown in the figure, the air rail 2 is attached to the base frame 1 (four locations in the present embodiment) from the back surface (the side opposite to the back surface 21) from the transport surface 21, respectively. A through hole 23 having a step for inserting the hexagon socket head bolt 4 toward the head 24 is formed. In the through hole 23 having the step, the seat surface 412 of the hexagonal socket head bolt 4 inserted into the through hole 23 having the step from the conveying surface 21 side (see Fig. 5). The step 25 which contacts this is formed. The diameter r1 in the area | region (large diameter part) 28 from the conveyance surface 21 to the step | step 25 is the area | region (small diameter part () from the step | step 25 to the back surface 24. It is larger than the diameter r2 in 27).

또, 에어 레일(2)의 이면(24)에는, 단차를 가지는 관통구멍(23)의 양측에, 볼트(6)가 체결되는 나사구멍(26)이 형성되어 있다.Moreover, the screw hole 26 to which the bolt 6 is fastened is formed in the back surface 24 of the air rail 2 at the both sides of the through hole 23 which has a level | step difference.

한편, 본 실시의 형태에서는, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착 위치에 단차를 가지는 관통구멍(23)을 형성하고 있지만, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착 위치가 조정 가능해지도록, 예를 들면 에어 레일(2)의 길이방향으로, 단차를 가지는 관통구멍(23)의 단면(斷面) 형상과 같은 단면(斷面) 형상의 단차를 가지는 장공(長孔)을 임의의 길이로 형성해도 좋다.On the other hand, in this embodiment, although the through-hole 23 which has a level | step difference is formed in the attachment position of the air rail 2 to the base frame 1, the air rail 2 to the base frame 1 is provided. A long hole having a step shape having a cross-sectional shape, such as a cross-sectional shape of a through hole 23 having a step, in the longitudinal direction of the air rail 2 so that the attachment position can be adjusted. Iii) may be formed in any length.

도 4(a)는, 레벨링 장치(3)의 외관도이며, 도 4(b)는, 도 4(a)에 나타내는 레벨링 장치(3)의 C－C단면도이다.FIG. 4A is an external view of the leveling device 3, and FIG. 4B is a C-C cross-sectional view of the leveling device 3 shown in FIG. 4A.

레벨링 장치(3)는, 베이스 프레임(1) 상에서 에어 레일(2)을 지지하고, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이를 조정한다.The leveling device 3 supports the air rail 2 on the base frame 1, and adjusts the height of the air rail 2 with respect to the base frame 1.

도시하는 바와 같이, 레벨링 장치(3)는, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이 방향(도 1의 Z방향)으로 신축하는 접시스프링군(31)과, 접시스프링군(31)에 의하여 가압되어 베이스 프레임(1)의 상면(12A)에 눌려 접촉되는 테두리부를 구비한 원통 형상의 압자(32)와, 접시스프링군(31)에 의하여 가압되어 에어 레일(2)의 이면(24)에 눌려 접촉되는 플랜지부를 구비한 원통 형상의 스프링 가이드(33)와, 이들 부품(31~33)을 수용하는 플랜지부 및 테두리부를 구비한 원통 형상의 하우징(34)을 가진다.As shown in the drawing, the leveling device 3 includes a disc spring group 31 which expands and contracts in the height direction (Z direction in FIG. 1) of the air rail 2 with respect to the base frame 1, and a disc spring group 31. The indenter 32 having a cylindrical shape having an edge portion pressed by the upper surface 12A of the base frame 1 and pressed by the plate spring group 31, and the back surface of the air rail 2 The cylindrical spring guide 33 provided with the flange part pressed against and contacted with the 24, and the cylindrical housing 34 provided with the flange part and the edge part which accommodate these components 31-33 are provided.

하우징(34)은, 원통부(343)와 원통부(343)의 내측으로 향하여 원통부(343)의 한쪽 단면(하우징(34)의 바닥면(348))측의 개구부(341)에 형성된 제 2의 테두리부(342)와, 원통부(343)의 외주로부터 외측으로 튀어나오도록 원통부(343)의 다른 쪽 단면(하우징(34)의 상면(346))측에 형성된 플랜지부(349)를 가지고 있다.The housing 34 is formed in the opening portion 341 on one end face (bottom surface 348 of the housing 34) of the cylindrical portion 343 toward the inner side of the cylindrical portion 343 and the cylindrical portion 343. Flange 349 formed on the other end surface (upper surface 346 of housing 34) of cylindrical portion 343 so as to protrude outward from the outer periphery of cylindrical portion 343 and cylindrical portion 343 Have

이 하우징(34)은, 상면(346)측의 개구부(344)가 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)에 대향하는 상태로 상면(346)이 에어 레일(2)의 이면(24)과 접하도록, 베이스 프레임(1)과 에어 레일(2)과의 사이에 배치된다. 또, 플랜지부(349)에는, 에어 레일(2)의 이면(24)의 나사구멍(26)에 대응하는 위치에, 볼트(6)가 삽입되는 제３의 관통구멍(347)이 형성되어 있다.The housing 34 has an upper surface 346 of the rear surface of the air rail 2 with the opening 344 on the upper surface 346 side facing the through hole 23 having a step of the air rail 2. It is arranged between the base frame 1 and the air rail 2 so as to be in contact with 24. In the flange portion 349, a third through hole 347 into which the bolt 6 is inserted is formed at a position corresponding to the screw hole 26 of the rear surface 24 of the air rail 2. .

압자(32)는, 하우징(34)의 바닥면(348)측의 개구부(341)로부터 베이스 프레임(1)측으로 돌출하는 원기둥부(325)와, 원기둥부(325)의 외주로부터 외측으로 튀어나오도록 원기둥부(325)의 한쪽 단면(압자(32)의 상면(321))측에 형성된 제 1의 테두리부(322)를 가진다. 원기둥부(325)에는, 상면(321)으로부터 다른 쪽 단면(압자(32)의 바닥면(323))으로 향하여 육각구멍붙이 볼트(4)를 삽입하기 위한 제 1의 관통구멍(324)이 형성되어 있다.The indenter 32 protrudes outward from the outer periphery of the cylindrical portion 325 and the cylindrical portion 325 protruding from the opening portion 341 on the bottom surface 348 side of the housing 34 to the base frame 1 side. 1st edge part 322 formed in the one end surface (upper surface 321 of the indenter 32) side of the cylindrical part 325 so that it may become. In the cylindrical portion 325, a first through hole 324 for inserting the hexagon socket head bolt 4 is formed from the upper surface 321 to the other end surface (the bottom surface 323 of the indenter 32). It is.

이 압자(32)는, 제 1의 테두리부(322)의 하면(326)이 하우징(34)의 제 2의 테두리부(342)의 상면(350)과 접하고, 바닥면(323)이 하우징(34)의 바닥면(348)측의 개구부(341)로부터 베이스 프레임(1)측으로 돌출한 상태에서 하우징(34) 내에 수용된다.The indenter 32 has a lower surface 326 of the first edge portion 322 in contact with an upper surface 350 of the second edge portion 342 of the housing 34, and a bottom surface 323 of the housing ( It is accommodated in the housing 34 in the state which protruded toward the base frame 1 side from the opening part 341 on the bottom surface 348 side of 34. As shown in FIG.

스프링 가이드(33)는, 하우징(34) 내의 접시스프링군(31)에 삽입되는 원기둥부(335)와, 원기둥부(335)의 외주로부터 튀어나오도록 원기둥부(335)의 한쪽 단면(스프링 가이드(33)의 상면(331))측에 형성되고, 하우징(34) 내의 압자(32)의 상면(321)과의 사이에서 접시스프링군(31)을 누르는 플랜지부(332)를 가진다. 원기둥부(335)에는, 상면(331)으로부터 바닥면(333)을 향하여 육각구멍붙이 볼트(4)를 삽입하기 위한 제 2의 관통구멍(334)이 형성되어 있다.The spring guide 33 has a cylindrical portion 335 inserted into the dish spring group 31 in the housing 34 and one end face of the cylindrical portion 335 to protrude from the outer periphery of the cylindrical portion 335 (spring guide). It is formed in the upper surface 331 side of 33, and has the flange part 332 which presses the plate spring group 31 between the upper surface 321 of the indenter 32 in the housing 34. As shown in FIG. The cylindrical portion 335 is formed with a second through hole 334 for inserting the hexagon socket head bolt 4 from the top surface 331 toward the bottom surface 333.

이 스프링 가이드(33)가, 제 2의 관통구멍(334)의 축심이 압자(32)의 제 1의 관통구멍(324)의 축심과 일치하도록 하우징(34) 내에 수용되면, 원기둥부(335)의 외주면(339), 플랜지부(332)의 하면(336), 하우징(34)의 내면(345) 및 압자(32)의 상면(321)에 의해 통 형상의 중공부(337)가 형성된다.When the spring guide 33 is accommodated in the housing 34 so that the shaft center of the second through hole 334 coincides with the shaft center of the first through hole 324 of the indenter 32, the cylindrical portion 335 A cylindrical hollow portion 337 is formed by the outer circumferential surface 339, the lower surface 336 of the flange portion 332, the inner surface 345 of the housing 34, and the upper surface 321 of the indenter 32.

한편, 스프링 가이드(33)의 원기둥부(335)의 바닥면(333)으로부터 플랜지부(332)의 하면(336)까지의 길이(k1)는, 접시스프링군(31)의 자유 높이보다 작고, 또, 스프링 가이드(33)의 상면(331) 위치를 하우징(34)의 상면(346) 위치에 일치시켰을 때에, 스프링 가이드(33)의 바닥면(333)과 압자(32)의 상면(321)과의 사이에 에어 레일(2)의 높이 조정대(調整代) 이상의 빈틈이 형성되는 치수로 설정되어 있다.On the other hand, the length k1 from the bottom surface 333 of the cylindrical portion 335 of the spring guide 33 to the lower surface 336 of the flange portion 332 is smaller than the free height of the disc spring group 31, Moreover, when the position of the upper surface 331 of the spring guide 33 is matched with the position of the upper surface 346 of the housing 34, the bottom surface 333 of the spring guide 33 and the upper surface 321 of the indenter 32 are shown. It is set to the dimension by which the clearance gap more than the height adjustment stand of the air rail 2 is formed between and.

접시스프링군(31)은, 통 형상의 중공부(337) 내에서 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)에 대한 높이 방향으로 겹쳐 쌓여진 복수매의 접시스프링(311)에 의해 구성되어 있다. 본 실시의 형태에서는, 서로 이웃하는 접시스프링(311)의 방향이 거꾸로 되도록 복수매의 접시스프링(311)을 서로 겹치게 하였지만, (이른바 직렬 조합 방식), 서로 이웃하는 접시스프링(311)의 방향이 같게 되도록 복수매의 접시스프링(311)을 서로 겹쳐도(이른바 병렬 조합 방식), 혹은 이른바 직렬방식과 병렬방식과의 조합이라도 좋다. 또, 본 실시의 형태에서는, 6매의 접시스프링(311)을 겹쳐 쌓고 있지만, 실시형태에 의하여, 사용하는 접시스프링의 매수는 적당히 변경 가능하다.The disc spring group 31 is comprised by the several plate spring 311 piled up in the height direction with respect to the base frame 1 of the air rail 2 in the cylindrical hollow part 337. As shown in FIG. In this embodiment, a plurality of plate springs 311 are overlapped with each other such that the directions of the plate springs 311 adjacent to each other are reversed (so-called series combination method), but the directions of the plate springs 311 adjacent to each other The plurality of disc springs 311 may be superimposed on one another (so-called parallel combination method) or a combination of a so-called series method and a parallel method. In addition, in this embodiment, although the six plate springs 311 are piled up, the number of the plate springs to be used can be changed suitably by embodiment.

이 접시스프링군(31)은, 압자(32)를 하우징(34)의 바닥면(348)측의 개구부(341)로부터 밀어내는 방향으로 가압하여, 압자(32)를 베이스 프레임(1)의 상면(12A)에 압접시킴과 함께, 스프링 가이드(33)를 하우징(34)의 상면(346)측의 개구부(344)로부터 밀어내는 방향으로 가압하여, 스프링 가이드(33)를 에어 레일(2) 이면(24)에 압접시킨다. 또, 접시스프링군(31)은, 반송 대상의 반송중에 받는 하중(반송 대상, 에어 레일(2) 등에 의해 레벨링 장치(3) 한 개당에 걸리는 하중 등)을 안정하게 지지 가능한 허용 하중 및 스프링 정수(定數)를 가지고 있다. 이와 같은 탄성을 가지고 있는 것이면, 접시스프링군(31) 대신에, 통 형상의 중공부(337) 내에 배치하는 것이 가능한 형상을 가지는 다른 탄성체(코일 스프링, 통 형상의 고무등)를 이용해도 좋다.The disc spring group 31 presses the indenter 32 in a direction to push the indenter 32 out of the opening 341 on the bottom surface 348 side of the housing 34, and presses the indenter 32 to the upper surface of the base frame 1. While pressing against 12A, the spring guide 33 is pushed in the direction of pushing out the opening 344 on the upper surface 346 side of the housing 34 to press the spring guide 33 to the rear surface of the air rail 2. It is pressed against (24). In addition, the disc spring group 31, the allowable load and the spring constant that can stably support the load (load applied to each leveling device 3 by the transfer target, air rail 2, etc.) received during the transfer of the transfer target Have (定 數) If it has such elasticity, you may use other elastic bodies (coil spring, cylindrical rubber, etc.) which have a shape which can be arrange | positioned in the cylindrical hollow part 337 instead of the disc spring group 31. As shown in FIG.

한편, 본 실시의 형태에 있어서는, 플랜지부를 구비한 원통 형상의 스프링 가이드(33)와, 테두리부를 구비한 원통 형상의 압자(32)와, 플랜지부 및 테두리부를 가지는 원통 형상의 하우징(34)을 이용하고 있지만, 접시스프링군(31)의 축심이 어긋나지 않는 다른 입체 형상의 스프링 가이드(33), 압자(32) 및 하우징(34)을 이용해도 좋다.In addition, in this embodiment, the cylindrical spring guide 33 provided with a flange part, the cylindrical indenter 32 provided with an edge part, and the cylindrical housing 34 which has a flange part and an edge part are provided. Although is used, another three-dimensional spring guide 33, indenter 32 and housing 34 in which the shaft center of the disc spring group 31 does not shift may be used.

도 5(a)는, 육각구멍붙이 볼트(4)의 외관도이다.5 (a) is an external view of the hexagon socket head bolt 4.

도시하는 바와 같이, 육각구멍붙이 볼트(4)는, 머리부(41)의 상면(411)에 육각 렌치용의 육각구멍(43)이 형성되어 있다. 육각구멍붙이 볼트(4)의 머리부(41)의 직경(r3)은, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 대경부(28)의 직경(r1) 보다 작고, 또 소경부(27)의 직경(r2) 보다 크다. 또, 육각구멍붙이 볼트(4)의 머리부(41)의 두께(k2)는, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 대경부(28)의 길이(k3)(도 3(b)참조) 보다 작다. 이 때문에, 육각구멍붙이 볼트(4)는, 에어 레일(2)의 반송면(21)측으로부터 단차를 가지는 관통구멍(23)에 삽입되었을 때, 머리부(41)가 반송면(21) 보다 아래 쪽에 온 위치에서 좌면(412)이 단차를 가지는 관통구멍(23)의 단차(25)에 접촉하고, 단차를 가지는 관통구멍(23)의 대경부(28) 내에 머리부(41)가 완전히 수용된다.As shown in the figure, in the hexagon socket head bolt 4, the hexagon hole 43 for a hexagon wrench is formed in the upper surface 411 of the head part 41. As shown in FIG. The diameter r3 of the head portion 41 of the hexagon socket head bolt 4 is smaller than the diameter r1 of the large diameter portion 28 of the through hole 23 having the step of the air rail 2. It is larger than the diameter r2 of the neck portion 27. In addition, the thickness k2 of the head portion 41 of the hexagon socket head bolt 4 is the length k3 of the large-diameter portion 28 of the through hole 23 having the step of the air rail 2 (FIG. 3). (see (b)). For this reason, when the hexagon socket head bolt 4 is inserted into the through-hole 23 which has a level | step difference from the conveyance surface 21 side of the air rail 2, the head part 41 is more than the conveyance surface 21. In the position on the lower side, the seat surface 412 contacts the step 25 of the through hole 23 having the step, and the head 41 is completely accommodated in the large diameter portion 28 of the through hole 23 having the step. do.

또, 육각구멍붙이 볼트(4)의 좌면(412)으로부터 나사부(42)까지의 길이(k4)는, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 소경부(27)의 길이(k5)(도 3(b)참조)와, 레벨링 장치(3)의 하우징(34)의 높이(한쪽 개구부(341)로부터 다른 쪽 개구부(344)까지의 길이)(k6)(도 4(b)참조)와의 합계보다 작다. 또, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 압자(32)의 제 1의 테두리부(322)가 하우징(34)의 제 2의 테두리부(342)와 접촉하고, 압자(32)의 바닥면(323)이 하우징(34)의 개구부(341)로부터 돌출되어 있는 상태에 있어서, 육각구멍붙이 볼트(4)의 좌면(412)으로부터 나사부(42)의 선단(421)까지의 길이(k7)는, 압자(32)의 바닥면(323)에서 하우징(34)의 상면(346)까지의 길이(k8), 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 소경부(27)의 길이(k5) 및 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)에서 단차(113)까지의 깊이(k10)(도 2(b)참조)의 합계보다 크고, 또, 상술한 k8, k5 및 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)에서 홈 바닥(111)까지의 깊이(k11)(도 2(b)참조)의 합계보다 작은 치수로 되어 있다.The length k4 from the seat surface 412 of the hexagon socket head bolt 4 to the threaded portion 42 is the length of the small diameter portion 27 of the through hole 23 having the step of the air rail 2. k5 (see FIG. 3 (b)) and the height of the housing 34 of the leveling device 3 (length from one opening 341 to the other opening 344) k6 (FIG. 4 (b)). It is less than the sum with). In addition, as shown in FIG. 4B, the first edge portion 322 of the indenter 32 is in contact with the second edge portion 342 of the housing 34 and the bottom surface of the indenter 32. In a state where the 323 protrudes from the opening 341 of the housing 34, the length k7 from the seat surface 412 of the hexagon socket head bolt 4 to the tip 421 of the threaded portion 42 is , The length k8 from the bottom surface 323 of the indenter 32 to the top surface 346 of the housing 34, and the length of the small diameter portion 27 of the through hole 23 having the step of the air rail 2. (k5) and greater than the sum of the depth k10 (see FIG. 2 (b)) from the groove edge 112 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1 to the step 113, and described above. A dimension smaller than the sum of the depth k11 (see Fig. 2 (b)) from the groove edge 112 of the T-shaped groove 11 of the k8, k5 and the base frame 1 to the groove bottom 111; It is.

도 5(b)는, T너트(5)의 단면도이다.5B is a cross-sectional view of the T nut 5.

도시하는 바와 같이, T너트(5)는, 한쪽 단면(상면(51))에서 다른 쪽 단면(바닥면(53))까지의 사이에 있어서, 폭이 s3에서 s4(＞s3)로 바뀌는 단차(52)를 포함하는 T자 형상의 단면(斷面) 형상을 가지고 있고, 상면(51)에서 바닥면(53)까지 관통한, 육각구멍붙이 볼트(4)의 나사부(42)와 나사 결합하는 나사구멍(54)이 형성되어 있다. 상면(51)에서 단차(52)까지에 있어서의 폭(s3)은, 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)에서 단차(113)까지에 있어서의 홈 폭(s1)(도 2(b)참조) 보다 작다. 단차(52)로부터 바닥면(53)까지에 있어서의 폭(s4)은, 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)로부터 단차(113)까지에 있어서의 홈 폭(s1) 보다 크고, 또 T자 형상 홈(11)의 단차(113)로부터 홈 바닥(111)까지에 있어서의 홈 폭(s2)(도 2(b)참조) 보다 작다. 또, 단차(52)로부터 상면(51)까지의 높이(k9)는, 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)로부터 단차(113)까지의 깊이(k10)(도 2(b)참조) 이하의 치수이다. 이 때문에, T너트(5)는, 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11) 내의 원하는 위치에 배치할 수 있고, 또, 육각구멍붙이 볼트(4)의 나사부(42)와 나사구멍(54)의 체결에 의해 T자 형상 홈(11)의 홈 바닥(111)으로부터 홈 가장자리(112)의 방향으로 힘이 더해지면, 단차(52)가 T자 형상 홈(11)의 단차(113)에 접촉하여, 베이스 프레임(1)에 고정된다.As shown in the drawing, the T nut 5 has a step whose width changes from s3 to s4 (> s3) from one end face (top face 51) to the other end face (bottom face 53). A screw having a T-shaped cross-section shape including a 52, and screwed to the threaded portion 42 of the hexagonal socket head bolt 4 that has penetrated from the upper surface 51 to the bottom surface 53. The hole 54 is formed. The width s3 of the upper surface 51 to the step 52 is the groove width (from the groove edge 112 to the step 113 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1). s1) (see Fig. 2 (b)). The width s4 from the step 52 to the bottom surface 53 is the groove width from the groove edge 112 to the step 113 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1. It is larger than (s1) and smaller than the groove width s2 (see FIG. 2 (b)) from the step 113 of the T-shaped groove 11 to the groove bottom 111. FIG. The height k9 from the step 52 to the upper surface 51 is the depth k10 from the groove edge 112 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1 to the step 113 ( It is the following dimensions. For this reason, the T nut 5 can be arrange | positioned in the desired position in the T-shaped groove 11 of the base frame 1, Moreover, the screw part 42 and the screw hole ( When force is added in the direction of the groove edge 112 from the groove bottom 111 of the T-shaped groove 11 by the fastening of the 54, the step 52 is the step 113 of the T-shaped groove 11 Is fixed to the base frame 1.

다음에, 베이스 프레임(1)으로의 에어 레일(2)의 부착 작업에 대하여 설명한다.Next, the attaching operation of the air rail 2 to the base frame 1 is demonstrated.

도 6(a)은, 레벨링 장치(3)의 조립 작업을 설명하기 위한 단면도이며, 도 6(b)은, 에어 레일(2)로의 레벨링 장치(3)의 부착 작업을 설명하기 위한 단면이다. 또, 도 7은, 베이스 프레임(1)으로의 에어 레일(2)의 부착 작업을 설명하기 위한 단면도이다.FIG. 6: (a) is sectional drawing for demonstrating the assembly operation of the leveling apparatus 3, and FIG. 6 (b) is sectional drawing for demonstrating the attachment operation of the leveling apparatus 3 to the air rail 2. As shown in FIG. 7 is sectional drawing for demonstrating the attachment | attachment operation of the air rail 2 to the base frame 1. As shown in FIG.

(1) 레벨링 장치(3)의 조립(1) Assembly of leveling device (3)

베이스 프레임(1)으로의 에어 레일(2)의 부착에 필요한 개수(본 실시의 형태에서는 4개)의 레벨링 장치(3)를 미리 조립해 둔다. 구체적으로는, 이하와 같다.The number (3 in this embodiment) leveling apparatus 3 required for attachment of the air rail 2 to the base frame 1 is assembled previously. Specifically, it is as follows.

도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 압자(32)를 바닥면(323)측으로부터 하우징(34) 내로 삽입하고, 압자(32)의 제 1의 테두리부(322)를 하우징(34)의 제 2의 테두리부(342)에 접촉시킨다. 다음에, 서로 이웃하는 접시스프링(311)의 방향이 거꾸로 되도록, 복수매의 접시스프링(311)을, 하우징(34) 내에 수용된 압자(32) 상에 겹쳐 쌓는다. 그리고 나서, 스프링 가이드(33)를 바닥면(333)측으로부터 하우징(34) 내로 삽입하고, 스프링 가이드(33)의 원기둥부(335)를 접시스프링군(31)에 삽입한다. 이것에 의해, 압자(32), 접시스프링군(31) 및 스프링 가이드(33)가 차례로 하우징(34) 내로 수용되고, 도 4(a), (b)에 나타내는 레벨링 장치(3)가 완성된다.As shown in FIG. 6 (a), the indenter 32 is inserted into the housing 34 from the bottom surface 323 side, and the first edge portion 322 of the indenter 32 is formed in the housing 34. It comes in contact with the edge part 342 of 2. Next, a plurality of plate springs 311 are stacked on the indenter 32 accommodated in the housing 34 so that the directions of the plate springs 311 adjacent to each other are reversed. Then, the spring guide 33 is inserted into the housing 34 from the bottom surface 333 side, and the cylindrical portion 335 of the spring guide 33 is inserted into the dish spring group 31. Thereby, the indenter 32, the disc spring group 31, and the spring guide 33 are accommodated in the housing 34 one by one, and the leveling apparatus 3 shown to FIG. 4 (a), (b) is completed. .

(2) 에어 레일(2)으로의 레벨링 장치(3)의 부착 (2) Attachment of the leveling device 3 to the air rail 2

도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 레벨링 장치(3)마다, 2개의 볼트(6)를, 하우징(34)의 제３의 관통구멍(347)을 통하여, 에어 레일(2) 이면(24)의 나사구멍(26)에 나사 고정한다. 이것에 의해, 스프링 가이드(33)의 제 2의 관통구멍(334) 및 압자(32)의 제 1의 관통구멍(324)의 축심이 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 축심과 일치한 상태로 하우징(34)의 상면(346)이 에어 레일(2)의 이면(24)과 접촉하고, 레벨링 장치(3)가 에어 레일(2)의 이면(24)에 부착된다.As shown in FIG. 6 (b), two bolts 6 are provided for each leveling device 3 through the third through-hole 347 of the housing 34 and the rear surface 24 of the air rail 2. To the screw hole (26). Thereby, the shaft center of the 2nd through hole 334 of the spring guide 33 and the 1st through hole 324 of the indenter 32 of the through hole 23 which has the level | step difference of the air rail 2 is carried out. The upper surface 346 of the housing 34 is in contact with the rear surface 24 of the air rail 2 in a state coinciding with the shaft center, and the leveling device 3 is attached to the rear surface 24 of the air rail 2.

이것에 의해, 스프링 가이드(33)의 상면(331)이, 하우징(34)의 상면(346)과 같은 위치로 올 때까지, 스프링 가이드(33)가 하우징(34) 내로 밀어넣어져 접시스프링군(31)에 프리로드(preload)가 걸린다. 이때 압자(32)의 하우징(34) 바닥면(348)으로부터의 돌출부분의 길이를 c1로 하고, 스프링 가이드(33)의 바닥면(333)으로부터 압자(32)의 상면(321)까지의 길이를 c2로 한다.As a result, the spring guide 33 is pushed into the housing 34 until the upper surface 331 of the spring guide 33 comes to the same position as the upper surface 346 of the housing 34, and the dish spring group (31) is preloaded. At this time, the length of the protruding portion from the bottom surface 348 of the housing 34 of the indenter 32 is set to c1, and the length from the bottom surface 333 of the spring guide 33 to the top surface 321 of the indenter 32. Let c2 be.

(3) 베이스 프레임(1)으로의 에어 레일(2)의 부착과 높이 조정 (3) Attachment and height adjustment of the air rail 2 to the base frame 1

에어 레일(2)을 2개의 베이스 프레임(1)의 사이에 걸치도록 배치한다. 베이스 프레임(1)의 상면(12A)측의 T자 형상 홈(11)에 2개의 T너트(5)를 삽입하고, 이들 T너트(5)를, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)에 대응하는 위치에 배치한다. 다음에, 도 7에 나타내는 바와 같이, 육각구멍붙이 볼트(4)를, 에어 레일(2)의 반송면(21)측으로부터, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23), 스프링 가이드(33)의 제 2의 관통구멍(334), 압자(32)의 제 1의 관통구멍(324)에 삽입하며, 육각 렌치(7)를 사용하여 육각구멍붙이 볼트(4)의 나사부(42)를 T너트(5)의 나사구멍(54)에 나사 고정한다. 이것에 의해, 하우징(34)의 바닥면(348)측의 개구부(341)로부터 베이스 프레임(1)측으로 돌출하고 있는 압자(32)의 바닥면(323)이 베이스 프레임(1)의 상면(12A)과 접촉한 상태로, 에어 레일(2)이 레벨링 장치(3)를 통하여 베이스 프레임(1)에 부착된다.The air rail 2 is arrange | positioned so that it may span between two base frames 1. Two T-nuts 5 are inserted into the T-shaped grooves 11 on the upper surface 12A side of the base frame 1, and these T-nuts 5 are through holes having a step of the air rail 2. It arrange | positions at the position corresponding to (23). Next, as shown in FIG. 7, the hexagon socket head bolt 4 has a through hole 23 having a step of the air rail 2 from the conveying surface 21 side of the air rail 2, and a spring guide. Inserted into the second through hole 334 of (33) and the first through hole 324 of the indenter 32, and the threaded portion 42 of the hexagon socket head bolt 4 using the hexagon wrench 7 To the threaded hole (54) of the T nut (5). As a result, the bottom surface 323 of the indenter 32 protruding from the opening portion 341 on the bottom surface 348 side of the housing 34 toward the base frame 1 side is provided with an upper surface 12A of the base frame 1. ), The air rail 2 is attached to the base frame 1 via the leveling device 3.

상술한 바와 같이, 육각구멍붙이 볼트(4)의 머리부(41)의 좌면(412)으로부터 나사부(42)까지의 길이(k4)(도 5(a)참조)는, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 소경부(27)의 길이(k5)(도 3(b)참조)와, 레벨링 장치(3)의 하우징(34)의 높이(한쪽 개구부(341)로부터 다른 쪽 개구부(344)까지의 길이)(k6)(도 4(b)참조)와의 합계보다 작다. 또, 압자(32)의 제 1의 테두리부(322)가 하우징(34)의 제 2의 테두리부(342)와 접촉하고, 압자(32)의 바닥면(323)이 하우징(34)의 개구부(341)로부터 돌출하고 있는 상태에서, 육각구멍붙이 볼트(4)의 좌면(412)으로부터 나사부(42)의 선단(421)까지의 길이(k7)(도 5(a)참조)는, 압자(32)의 단면(323)으로부터 하우징(34)의 상면(346)까지의 길이(k8)(도 4(b)참조), 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)의 소경부(27)의 길이(k5)(도 3(b)참조) 및 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)로부터 단차(113)까지의 깊이(k10)(도 2(b)참조)의 합계보다 크고, 또 상술의 k8, k5 및 베이스 프레임(1)의 T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리(112)로부터 홈 바닥(111)까지의 깊이(k11)(도 2(b)참조)의 합계보다 작다.As mentioned above, the length k4 (refer FIG. 5 (a)) from the seat surface 412 of the head part 41 of the hexagon socket head bolt 4 to the threaded part 42 is [of FIG. The length k5 (see FIG. 3 (b)) of the small diameter portion 27 of the through hole 23 having a step and the height of the housing 34 of the leveling device 3 (the other from one opening 341). It is smaller than the sum with the length to the opening part 344) k6 (refer FIG. 4 (b)). Further, the first edge portion 322 of the indenter 32 is in contact with the second edge portion 342 of the housing 34, and the bottom surface 323 of the indenter 32 is an opening of the housing 34. In the state which protrudes from 341, the length k7 (refer FIG. 5 (a)) from the seat surface 412 of the hexagonal bolt 4 to the tip 421 of the threaded part 42 is an indenter ( The small diameter part of the through hole 23 which has the length k8 (refer FIG. 4 (b)) from the end surface 323 of 32 to the upper surface 346 of the housing 34, and the step | step of the air rail 2 ( 27, the length k5 (see FIG. 3 (b)) and the depth k10 from the groove edge 112 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1 to the step 113 (FIG. 2 ( b) larger than the sum of the reference) and the depth k11 from the groove edge 112 of the T-shaped groove 11 of the k8, k5 and the base frame 1 to the groove bottom 111 (FIG. 2). is less than the sum of (b).

이 때문에, T너트(5)로의 육각구멍붙이 볼트(4)의 조이는 상태를 조절함으로써, 높이 조정대(도 6(b)에 나타내는 c1, c2 및 접시스프링군(31)의 최대 수축량 중 가장 작은 길이)의 범위 내에서, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이를 조정할 수 있다. 이 높이 조절 작업을, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착에 이용되는 4개의 레벨링 장치(3)의 각각에 대하여 행함으로써, 에어 레일(2)의 반송면(21)의 레벨링을 행한다.For this reason, by adjusting the tightening state of the hexagonal socket head bolt 4 to the T nut 5, the smallest length among the maximum shrinkage amounts of c1, c2 and the disc spring group 31 shown in Fig. 6 (b). Within the range of), the height of the air rail 2 with respect to the base frame 1 can be adjusted. Leveling of the conveying surface 21 of the air rail 2 by performing this height adjustment operation with respect to each of the four leveling apparatus 3 used for attachment of the air rail 2 to the base frame 1. Is done.

이상, 본 발명의 일실시의 형태를 설명했다.In the above, one Embodiment of this invention was described.

본 실시의 형태에 따른 레벨링 장치(3)는, 접시스프링군(31), 압자(32) 및 스프링 가이드(33)가 하우징(34) 내로 수용되고, 접시스프링군(31), 압자(32), 스프링 가이드(33), 하우징(34)을 포함하는 복수의 구성부품이 유닛화 되어 있기 때문에, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착 작업에 앞서, 미리 필요 개수를 조립해 두는 것이 가능하다. 이 때문에, 작업자는, 일부 부품의 낙하 등을 신경쓰지 않고 간단하게, 레벨링 장치(3)를 에어 레일(2)에 부착할 수 있어, 작업 효율이 향상된다.In the leveling device 3 according to the present embodiment, the plate spring group 31, the indenter 32, and the spring guide 33 are accommodated in the housing 34, and the plate spring group 31 and the indenter 32 are provided. Since a plurality of component parts including the spring guide 33 and the housing 34 are unitized, the required number is assembled in advance before attaching the air rail 2 to the base frame 1. It is possible. For this reason, an operator can attach the leveling device 3 to the air rail 2 easily, without worrying about falling of some components, etc., and work efficiency improves.

또, 레벨링 장치(3)를 에어 레일(2)에 부착함으로써, 레벨링 장치(3)의 접시스프링군(31)에 프리로드가 걸리기 때문에, 접시스프링군(31)이 프리로드되어 있지 않은 경우와 비교하여 적은 회수, 육각구멍붙이 볼트(4)를 T너트(5)에 단단히 조이는 것만으로, 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 부착할 수 있다.In addition, since the leveling device 3 is attached to the air rail 2, the plate spring group 31 of the leveling device 3 is preloaded, so that the plate spring group 31 is not preloaded. In comparison, the air rail 2 can be attached to the base frame 1 only by fastening the hexagon socket head bolts 4 firmly to the T nuts 5.

또, 레벨링 장치(3)를 에어 레일(2)에 부착함으로써, 스프링 가이드(33)의 상면(331)이 하우징(34)의 상면(346)과 동일한 위치까지 밀어넣어져 접시스프링군(31)에 프리로드가 걸리므로, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착 작업에 사용하는 4개의 레벨링 장치(3)에 대하여, 번거로운 프리로드 조정을 행하지 않아도, 균등한 프리로드를 걸어둘 수 있다.Moreover, by attaching the leveling device 3 to the air rail 2, the upper surface 331 of the spring guide 33 is pushed to the same position as the upper surface 346 of the housing 34, and the dish spring group 31 is provided. The preload is applied to the four leveling devices 3 used for attaching the air rail 2 to the base frame 1, so that even preloading is not required even if cumbersome preload adjustment is performed. Can be.

또, 육각구멍붙이 볼트(4)를, 에어 레일(2)의 반송면(21)측으로부터 단차를 가지는 관통구멍(23)으로 삽입하고, T너트(5)에 나사 고정함으로써, 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 부착함과 함께, 육각구멍붙이 볼트(4)의 조이는 상태를 조절함으로써, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)에 대한 높이를 조정하므로, 특허 문헌 1에 기재된 기판 반송 장치와 달리, 높이 조정용의 빈틈을 에어 레일(2)의 길이방향(도 1의 X방향)의 양측으로 확보해 둘 필요가 없다. 따라서, 복수의 에어 레일(2)을 배열한 경우, 서로 이웃하는 에어 레일(2)을 밀착시키는 등, 복수의 에어 레일(2)의 간격 치수를, 반송 대상의 부상 안정성 등을 고려하여 유연하게 설정할 수 있다. 이 때문에, 반송 대상을 보다 안정하게 부상시켜 반송할 수 있다.In addition, the hexagon socket head bolt 4 is inserted into the through hole 23 having a step from the conveying surface 21 side of the air rail 2 and screwed to the T nut 5 to thereby fix the air rail 2. ) Is attached to the base frame 1 and the height of the air rail 2 relative to the base frame 1 is adjusted by adjusting the tightening state of the hexagon socket head bolts 4, Unlike the board | substrate conveying apparatus, the clearance gap for height adjustment does not need to be secured in the both sides of the longitudinal direction (X direction of FIG. 1) of the air rail 2. As shown in FIG. Therefore, in the case where the plurality of air rails 2 are arranged, the gap dimensions of the plurality of air rails 2 may be flexibly adjusted in consideration of the floating stability of the object to be conveyed, such as bringing adjacent air rails 2 into close contact with each other. Can be set. For this reason, the conveying object can be floated more stably and conveyed.

또, 레벨링 장치(3)의 하우징(34)에 형성된 제３의 관통구멍(347)을 통하여, 볼트(6)를, 에어 레일(2)의 이면(24)에 형성된 나사구멍(26)에 나사 고정함으로써, 접시스프링군(31)에 프리로드를 건 상태로, 레벨링 장치(3)를 에어 레일(2)에 부착하므로, 에어 레일(2)의 베이스 프레임(1)으로의 부착 작업에 앞서, 필요 개수의 에어 레일(2)로의 레벨링 장치(3)의 부착 및 프리로드 작업을 미리 행해두는 것이 가능하게 된다. 이 때문에, 작업 효율이 한층 더 향상된다.Moreover, the bolt 6 is screwed into the screw hole 26 formed in the rear surface 24 of the air rail 2 through the third through hole 347 formed in the housing 34 of the leveling device 3. By fixing, the leveling device 3 is attached to the air rail 2 in a state where the plate spring group 31 is preloaded, and therefore, prior to the attachment operation of the air rail 2 to the base frame 1, Attachment and preloading of the leveling device 3 to the required number of air rails 2 can be performed in advance. For this reason, work efficiency improves further.

한편, 본 실시의 형태에서는, 육각구멍붙이 볼트(4) 및 T너트(5)를 이용하고, 레벨링 장치(3)를 통하여 베이스 프레임(1)에 에어 레일(2)을 부착하고 있지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 베이스 프레임(1)의 상면(12A)의, 에어 레일(2)의 단차를 가지는 관통구멍(23)에 대응하는 위치에, 육각구멍붙이 볼트(4)의 나사부(42)와 나사 결합하는 나사구멍을 형성함으로써, T너트(5)를 이용하지 않고 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 부착되도록 해도 좋다.On the other hand, in the present embodiment, the air rail 2 is attached to the base frame 1 via the leveling device 3 using the hexagon socket head bolt 4 and the T nut 5, but the present invention. Is not limited to this. Screw hole screwed with the threaded portion 42 of the hexagon socket head bolt 4 at a position corresponding to the through hole 23 having a step of the air rail 2 on the upper surface 12A of the base frame 1. The air rail 2 may be attached to the base frame 1 without using the T nut 5.

또, 본 실시의 형태에서는, 육각 렌치(7)를 사용하여, 에어 레일(2)의 반송면(21)측으로부터, 베이스 프레임(1)으로의 에어 레일(2)의 부착 및 반송면(21)의 레벨링을 행할 수 있도록 하기 위해서, 육각구멍붙이 볼트(4)를 이용하고 있지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 사용하는 공구에 따라, 예를 들면, 십자구멍, 슬릿형 홈(slitting groove) 등이 머리부 상면에 형성된 볼트를 이용하면 좋다.Moreover, in this embodiment, the hexagon rail 7 is used and the attachment of the air rail 2 to the base frame 1 from the conveyance surface 21 side of the air rail 2, and a conveyance surface 21 is carried out. In order to be able to perform leveling, the hexagon socket head bolt 4 is used, but the present invention is not limited to this. According to the tool to be used, for example, a cross hole, a slitting groove or the like may be used as the bolt formed on the upper surface of the head.

또, 본 실시의 형태에서는, 소정의 간격을 두고 배열된 2개의 각기둥 형상의 베이스 프레임(1) 상에 걸쳐 지도록 하여, 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 부착하고 있지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 1장의 판 형상의 베이스 프레임 상에 실리도록 하고, 에어 레일(2)을 베이스 프레임(1)에 부착하여도 좋다.Moreover, in this embodiment, although the air rail 2 is attached to the base frame 1 so that it may span on the two prismatic base frames 1 arrange | positioned at predetermined intervals, this invention It is not limited to this. For example, the air rail 2 may be attached to the base frame 1 so as to be mounted on one plate-shaped base frame.

또, 본 실시의 형태에서는, 반송대(100)를 가지는 부상 반송 장치로의 적용을 예로 설명했지만, 본 발명은, 레벨링 대상면을 가지는 테이블이 베이스재에 고정되어 있는 다른 장치에도 적용 가능하다.In addition, in this embodiment, although application to the floating conveying apparatus which has the conveyance stand 100 was demonstrated to the example, this invention is applicable also to the other apparatus in which the table which has a leveling target surface is fixed to a base material.

또, 본 실시의 형태에서는, 베이스 프레임(1) 상에서 에어 레일(2)을 지지하고, 베이스 프레임(1)에 대한 에어 레일(2)의 높이를 조정하는 레벨링 장치(3)를 설명했지만, 본 발명은, 2개의 부재간의 이간 거리를 조정하는 이간 거리 조정장치에 널리 적용할 수 있다.Moreover, in this embodiment, although the leveling apparatus 3 which supports the air rail 2 on the base frame 1, and adjusts the height of the air rail 2 with respect to the base frame 1 was demonstrated, The invention can be widely applied to a separation distance adjusting device for adjusting the separation distance between two members.

산업상의 이용 가능성Industrial availability

본 발명은, 예를 들면, 레벨링 대상의 반송면을 가지는 레일이 베이스재에 고정되어 있는 반송 장치, 레벨링 대상면을 가지는 테이블이 베이스재에 고정되어 있는 장치 등과 같은, 레벨링 대상면을 가지는 부재가 다른 부재에 고정되어 있는 장치에 있어서의 레벨링 등, 2개의 부재간의 이간 거리를 작업성 좋게 조정하는 것이 필요한 용도에 적용 가능하다.According to the present invention, there is provided a member having a leveling target surface, such as a conveying apparatus in which a rail having a conveying surface to be leveled is fixed to the base member, an apparatus in which a table having a leveling target surface is fixed to the base member, and the like. It is applicable to the use which needs to adjust workability | distance between two members to good workability, such as leveling in the apparatus fixed to the other member.

1：베이스 프레임
2：에어 레일
3：레벨링 장치
4：육각구멍붙이 볼트
5：T너트
6：볼트
7：육각 렌치
11：T자 형상 홈
12A~12D：베이스 프레임(1)의 외면
13, 14：베이스 프레임(1)의 단면(端面)
21：반송면
23：단차를 가지는 관통구멍
24：에어 레일(2)의 이면
25：단차
26：나사구멍
27：단차를 가지는 관통구멍(23)의 소경부
28：단차를 가지는 관통구멍(23)의 대경부
31：접시스프링군
32：압자
33：스프링 가이드
34：하우징
41：머리부
42：나사부
43：육각구멍
51, 53：T너트(5)의 단면(端面)
52：단차
54：나사구멍
100：반송대
111：T자 형상 홈(11)의 홈 바닥
112：T자 형상 홈(11)의 홈 가장자리
113：단차
311：접시스프링
321：압자(32)의 상면
322：제 1의 테두리부
323：압자(32)의 바닥면
324：제 1의 관통구멍
325：원기둥부
326：제 1의 테두리부(322)의 하면
331：스프링 가이드(33)의 상면
332：스프링 가이드(33)의 플랜지부
333：스프링 가이드(33)의 바닥면
334：제 2의 관통구멍
335：스프링 가이드(33)의 원기둥부
336：플랜지부(332)의 하면
337：통 형상의 중공부
339：원기둥부(335)의 외주면
341, 344：하우징(34)의 개구부
342：하우징(34)의 제 2의 테두리부
343：하우징(34)의 원통부
345：하우징(34)의 내면
346：하우징(34)의 상면
347：제３의 관통구멍
348：하우징(34)의 바닥면
349：하우징(34)의 플랜지부
350：제 2의 테두리부(342)의 상면
411：육각구멍붙이 볼트(4)의 머리부(41)의 상면
412：육각구멍붙이 볼트(4)의 좌면
421：나사부(42)의 선단1 ： Base frame
2: Air rail
3: leveling device
4: Hexagon socket head bolt
5: T nut
6: Bolt
7: Hex wrench
11: T-shaped groove
12A-12D: The outer surface of the base frame 1
13 and 14: end surface of the base frame 1
21: Return surface
23: through-hole with step
24: The back side of air rail (2)
25: step
26: Screw hole
27: Small diameter part of the through-hole 23 which has a level | step difference
28 large diameter part of through-hole 23 having step
31: Closed spring spring group
32: Indenter
33: Spring guide
34: Housing
41: Head
42: Screw part
43 ： Hexagonal hole
51, 53: end surface of the T nut 5
52: step
54: Screw hole
100: Carrier
111: Groove bottom of T-shaped groove 11
112: groove edge of T-shaped groove 11
113 ： step
311 ： Contact seal spring
321: The upper surface of the indenter 32
322: The first frame part
323: bottom surface of indenter 32
324 ： First through hole
325 ： Cylinder
326: Lower surface of the 1st edge part 322
331: Upper surface of the spring guide 33
332: flange portion of the spring guide 33
333: Bottom surface of the spring guide 33
334 ： the second through hole
335: Cylinder part of spring guide 33
336: lower surface of flange portion 332
337: cylindrical hollow part
339: outer peripheral surface of the cylinder part 335
341 and 344: opening of the housing 34
342: Second frame part of the housing 34
343: Cylindrical part of housing (34)
345: The inner surface of the housing 34
346: The upper surface of the housing 34
347: third through hole
348: bottom surface of the housing (34)
349: flange portion of housing 34
350: upper surface of the second edge portion 342
411: Upper surface of head 41 of hexagon socket head bolt 4
412: Seating surface of the hexagon socket head bolt 4
421: Tip of screw part 42

Claims (6)

2개 부재의 사이에 위치하고, 그 2개의 부재간의 이간(離間) 거리를 조정하는 이간 거리 조정 장치로서,
상기 이간 거리 방향으로 신축하는 탄성체와,
한쪽 단면(端面)으로부터 다른 쪽 단면으로 향하여 제 1의 관통구멍이 형성되고, 외측으로 향하여 제 1의 테두리부가 상기 한쪽 단면 측에 형성된 통 형상의 압자(壓子:pressor)와,
한쪽 단면으로부터 다른 쪽 단면으로 향하여 제 2의 관통구멍이 형성되며, 외측으로 향하여 플랜지부가 상기 한쪽 단면 측에 형성된 통 형상의 가이드 부재와,
내측으로 향하여 제 2의 테두리부가 한쪽 개구부에 형성된 통 형상의 하우징을 가지고,
상기 하우징은,
상기 한쪽 개구부와 반대측의 다른 쪽 개구부가 상기 2개의 부재 중 한쪽 부재와 대향하도록, 상기 2개 부재 사이에 배치되며,
상기 압자는,
상기 제 1의 테두리부가 상기 제 2의 테두리부와 접하고, 상기 압자의 상기 다른 쪽 단면(端面)이 상기 하우징의 한쪽 개구부로부터 돌출하도록, 상기 하우징 내에 수용되고,
상기 가이드 부재는,
상기 제 2의 관통구멍의 축심이 상기 제 1의 관통구멍의 축심과 일치하도록, 상기 압자가 수용된 상기 하우징 내로 수용되고, 상기 하우징의 내면, 상기 가이드 부재의 측면, 상기 제 1의 테두리부 및 상기 플랜지부에 의해 통 형상의 중공부가 형성되며,
상기 탄성체는,
상기 가이드 부재를, 상기 하우징의 다른 쪽 개구부로부터 밀어내는 방향으로 힘을 가하여, 상기 2개의 부재 중 한쪽 부재에 압접(壓接)시키도록, 상기 중공부에 설치되는 것을 특징으로 하는 이간 거리 조정 장치.As a separation distance adjusting device which is located between two members and adjusts the separation distance between these two members,
An elastic body that stretches in the separation distance direction;
A cylindrical presser having a first through hole formed from one end face to the other end face, the first edge portion being formed on the one end face side toward the outside;
A second through hole is formed from one end face to the other end face, and a cylindrical guide member having a flange portion formed on the one end face side toward the outside;
Has a tubular housing formed in one opening with a second rim portion inwardly,
The housing includes:
Disposed between the two members such that the other opening opposite the one opening faces the one of the two members,
The indenter,
The first edge portion is in contact with the second edge portion and is accommodated in the housing such that the other end face of the indenter protrudes from one opening of the housing,
The guide member
The indenter is accommodated into the housing in which the indenter is accommodated so that the axis of the second through hole coincides with the axis of the first through hole, the inner surface of the housing, the side of the guide member, the first edge portion and the The hollow hollow portion is formed by the flange portion,
The elastic body may be,
It is provided in the said hollow part so that the said guide member may be pressed against one of the said two members by applying a force in the direction which pushes out from the other opening part of the said housing, The separation distance adjusting apparatus characterized by the above-mentioned. . 제 1 항에 있어서,
상기 2개의 부재 중 한쪽 부재는, 지지 대상이고,
상기 2개의 부재 중 다른 쪽 부재는, 베이스이며,
상기 이간 거리 조정 장치는,
상기 베이스 상에서 상기 지지 대상을 지지하고, 상기 베이스에 대한 상기 지지 대상의 높이를 조정하는 레벨링 장치인 것을 특징으로 하는 이간 거리 조정 장치.The method of claim 1,
One member of the two members is a support object,
The other member of the two members is a base,
The separation distance adjusting device,
And a leveling device that supports the supporting object on the base and adjusts a height of the supporting object with respect to the base. 제 2 항에 있어서,
상기 지지 대상에는 단차를 가지는 관통구멍(stepped through-hole)이 형성되어 있고,
상기 이간 거리 조정 장치는,
상기 지지 대상의 상기 이간 거리 조정 장치가 위치하는 측과 반대측 면인 반송면측으로부터, 상기 단차를 가지는 관통구멍, 상기 제 2의 관통구멍 및 상기 제 1의 관통구멍에 삽입되며, 상기 베이스에 나사 고정됨으로써, 상기 지지 대상을 상기 베이스에 고정하고, 또한 상기 지지 대상의 높이를 조정하기 위한 볼트를 가지는 것을 특징으로 하는 이간 거리 조정 장치.3. The method of claim 2,
The support object is formed with a stepped through-hole having a step,
The separation distance adjusting device,
The screw is inserted into the through-hole having the step, the second through-hole and the first through-hole from the conveying surface side, which is the surface opposite to the side where the separation distance adjusting device of the supporting object is located, and is screwed to the base. And a bolt for fixing the supporting object to the base and further adjusting a height of the supporting object. 제 3 항에 있어서,
상기 하우징에는, 상기 이간 거리 조정 장치를, 상기 지지 대상의 상기 반송면측과 반대측 면인 이면(裏面)에 나사 고정하기 위한 제３의 관통구멍이 형성되어 있고,
상기 이간 거리 조정 장치는,
상기 지지 대상의 이면에 나사 고정됨으로써, 상기 가이드 부재가 상기 하우징 내로 밀어넣어져, 상기 탄성체에 프리로드(preload)가 걸리는 것을 특징으로 하는 이간 거리 조정 장치.The method of claim 3, wherein
The said housing is provided with the 3rd through hole for screwing the said separation distance adjustment apparatus to the back surface which is the surface opposite to the said conveyance surface side of the said support object,
The separation distance adjusting device,
The guide member is pushed into the housing by being screwed to the rear surface of the supporting object, so that the preload is applied to the elastic body. 제 4항에 있어서,
상기 볼트에 의한 상기 지지 대상의 높이 조정대(調整代:adjustment range)는,
상기 탄성체에 프리로드가 걸린 상태에 있어서의, 상기 하우징의 상기 한쪽 개구부로부터 상기 압자의 상기 다른 쪽 단면까지의 길이, 상기 상태에 있어서의, 상기 가이드 부재의 상기 다른 쪽 단면으로부터 상기 압자의 상기 한쪽 단면까지의 길이 및 상기 탄성체의 최대 수축량 중 가장 작은 길이의 범위 내인 것을 특징으로 하는 이간 거리 조정 장치.5. The method of claim 4,
The height adjustment range of the said support object by the said bolt is,
The length from the one opening of the housing to the other end face of the indenter in the state where the elastic body is preloaded, the one end of the indenter from the other end face of the guide member in the state. The separation distance adjusting device characterized in that it is in the range of the smallest length among the length to a cross section and the largest shrinkage amount of the said elastic body. 반송면으로부터 반송물을 부상(浮上)시키는 부상 반송 장치로서,
베이스와,
상기 반송면을 구비하고, 상기 반송면으로부터 그 반송면의 반대측 면으로 향하여 볼트를 삽입하고, 상기 볼트의 머리를, 상기 반송면과 그 반송면의 반대측 면과의 사이의 위치에서 고정하기 위한 관통구멍이 형성된 에어 레일(air rail)과,
지지 대상으로서 상기 에어 레일을 상기 베이스 상에서 지지하는 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 이간 거리 조정 장치를 가지는 것을 특징으로 하는 부상 반송 장치.A floating conveying device which floats a conveyed object from a conveying surface,
A base,
The through surface is provided, and a bolt is inserted from the conveying surface toward the opposite side of the conveying surface, and a through hole for fixing the head of the bolt at a position between the conveying surface and the opposite side of the conveying surface is provided. An air rail with a hole,
The floating conveyance apparatus of Claim 2 which has the separation distance adjusting apparatus in any one of Claims 2-5 which support the said air rail on the said base as a support object.
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