JP5756642B2 - Separation distance adjusting device and transport device using the same - Google Patents

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Description

本発明は、離間距離調整装置に関し、特に、搬送物を浮上させて搬送する浮上搬送装置に好適なレベリング装置の構造に関する。   The present invention relates to a separation distance adjusting device, and more particularly to a structure of a leveling device suitable for a levitation conveyance device that levitates and conveys a conveyed product.

フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる基板等を搬送面から浮上させて搬送する浮上搬送装置として、特許文献１記載の基板搬送装置が知られている。   As a levitation conveyance device that levitates and conveys a substrate or the like used in a flat panel display (FPD) from a conveyance surface, a substrate conveyance device described in Patent Document 1 is known.

この浮上搬送装置は、配列された複数の浮上ブロックの搬送面から圧縮空気を噴出させることによって搬送対象の基板を浮上させながら、この基板を搬送方向に搬送する。ここで、各浮上ブロックの搬送面の高さおよび平面度を調整可能とするため、各浮上ブロックは個別の可動プレート上にネジで固定されており、これらの可動プレートと固定プレートとの間隔がそれぞれ３点で調整できるようになっている。   This levitation conveyance device conveys the substrate in the conveyance direction while levitation of the substrate to be conveyed by ejecting compressed air from the conveyance surfaces of the plurality of arranged floating blocks. Here, in order to make it possible to adjust the height and flatness of the conveying surface of each floating block, each floating block is fixed on an individual movable plate with a screw, and the distance between these movable plate and fixed plate is Each can be adjusted with 3 points.

具体的には、浮上ブロックの底部両側からはり出す可動プレートには合計３ケ所に雌ネジが切られており、固定プレートには、各可動プレートの雌ネジに対向する位置に、それらの雌ネジとはピッチの異なる雌ネジが切られている。そして、可動プレートの雌ネジと固定プレートの雌ネジとにかみあう雄ネジ部を有する調整ネジが、可動プレートと固定プレートとの間に介在するバネ内に挿入された状態で、対向する各組の雌ネジに締結されている。作業者は、隣り合う浮上ブロックの間に工具を差し入れて調整ネジを回転させることにより、可動プレートと固定プレートとの間隔を、両プレートの雌ネジのピッチ差分に相当する距離ずつ増減させ、調節することができる。   Specifically, the movable plate protruding from both sides of the bottom of the floating block has a total of three female screws, and the fixed plate has a female screw at a position facing the female screw of each movable plate. Female threads with different pitches are cut off. Then, an adjustment screw having a male screw portion that meshes with the female screw of the movable plate and the female screw of the fixed plate is inserted into a spring interposed between the movable plate and the fixed plate, and each of the opposing sets Fastened to female thread. The operator inserts a tool between adjacent floating blocks and rotates the adjustment screw to increase or decrease the distance between the movable plate and the fixed plate by a distance corresponding to the pitch difference between the female screws on both plates. can do.

特開２００９−２２９２５８号公報JP 2009-229258 A

しかし、特許文献１に記載の基板搬送装置では、可動プレートを固定プレートに取り付ける際、作業者は、可動プレートの各雌ネジにねじ込んだ調整ネジにそれぞれバネを挿入し、これらのバネが抜け落ちないように保持しながら、各調整ネジの先端を、固定プレートの対応する雌ネジに位置付ける必要がある。このため、作業性がよくない。   However, in the substrate transfer apparatus described in Patent Document 1, when attaching the movable plate to the fixed plate, the operator inserts springs into the adjusting screws screwed into the female screws of the movable plate, and these springs do not fall off. In this way, it is necessary to position the tip of each adjustment screw on the corresponding female screw of the fixing plate. For this reason, workability is not good.

また、作業者が調整ネジの締め・緩め作業を行うための空間を浮上ブロックの両側に確保しておく必要があるため、隣り合う浮上ブロックの間隔をさらに狭くしたり、隣り合う浮上ブロックを密着させたりすることができない。このため、隣り合う浮上ブロックの隙間の位置で、搬送対象に良好な状態で圧縮空気を吹き付けることができず、搬送対象の浮上状態が不安定になる可能性がある。   In addition, since it is necessary to secure space on both sides of the floating block for the operator to tighten and loosen the adjustment screw, the interval between adjacent floating blocks is further reduced, and adjacent floating blocks are closely attached. I can not let you. For this reason, compressed air cannot be blown to the conveyance target in a good state at the gap between adjacent floating blocks, and the floating state of the conveyance target may become unstable.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、二つの部材間の離間距離調整作業の作業性を向上させる技術を提供することにある。   This invention is made | formed in view of the said situation, The objective is to provide the technique which improves the workability | operativity of the separation distance adjustment work between two members.

上記課題を解決するために、本発明は、二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置において、弾性体等を含む複数の構成部品をユニット化可能な構造とするとともに、一方の部材の他方の部材への取付け、および離間距離の調整をボルト一本で行えるようした。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a separation distance adjusting device for adjusting a separation distance between two members, and has a structure in which a plurality of components including an elastic body can be unitized and one member. The other member can be attached to the other member and the distance can be adjusted with a single bolt.

例えば、本発明は、二つの部材の間に位置して、当該二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置であって、
前記離間距離方向に伸縮する弾性体と、
一方の端面から他方の端面に向けて第一の貫通孔が形成され、外側に向けて第一の縁部が前記一方の端面側に形成された筒状の圧子と、
一方の端面から他方の端面に向けて第二の貫通孔が形成され、外側に向けてフランジ部が前記一方の端面側に形成された筒状のガイド部材と、
内側に向けて第二の縁部が一方の開口部に形成された筒状のハウジングと、を有し、
前記ハウジングは、
前記一方の開口部と反対側の他方の開口部が前記二つの部材のうちの一方の部材と対向するように、前記二つの部材の間に配置され、
前記圧子は、
前記第一の縁部が前記第二の縁部と接して、当該圧子の前記他方の端面が前記ハウジングの一方の開口部から突出するように、前記ハウジング内に収容され、
前記ガイド部材は、
前記第二の貫通孔の軸心が前記第一の貫通孔の軸心と一致するように、前記圧子が収容された前記ハウジング内に前記ガイド部材の他方の端面側から収容されて、前記ハウジングの内面、前記ガイド部材の側面、前記第一の縁部、および前記フランジ部により筒状の中空部が形成され、
前記弾性体は、
前記ガイド部材を、前記ハウジングの他方の開口部から押し出す方向に付勢して、前記二つの部材のうちの一方の部材に圧接させるように、前記中空部に設けられ、
前記離間距離調整装置は、
前記二つの部材のうちの一方の部材に設けられた貫通孔を介して前記第二の貫通孔および前記第一の貫通孔に挿入されたボルトが、前記二つの部材のうちの他方の部材あるいは当該他方の部材に取り付けられた部材にネジ止めされることにより、当該離間距離調整装置を介して前記二つの部材を固定するとともに、当該ボルトの前記他方の部材あるいは当該他方の部材に取り付けられた部材へのネジ止め量が調整されることにより、前記弾性体が前記離間距離方向に伸縮する。 For example, the present invention is a separation distance adjusting device that is located between two members and adjusts the separation distance between the two members,
An elastic body that expands and contracts in the distance direction;
A cylindrical indenter in which a first through hole is formed from one end surface toward the other end surface, and a first edge is formed on the one end surface side toward the outside,
A cylindrical guide member in which a second through hole is formed from one end surface toward the other end surface, and a flange portion is formed on the one end surface side toward the outside,
A cylindrical housing having a second edge formed in one opening toward the inside;
The housing is
The other opening opposite to the one opening is disposed between the two members so as to face one of the two members,
The indenter is
The first edge is in contact with the second edge, and the other end surface of the indenter is accommodated in the housing so as to protrude from one opening of the housing,
The guide member is
The housing is accommodated from the other end face side of the guide member in the housing in which the indenter is accommodated so that the axis of the second through hole coincides with the axis of the first through hole. A cylindrical hollow portion is formed by the inner surface of the guide member, the side surface of the guide member, the first edge portion, and the flange portion,
The elastic body is
The guide member is provided in the hollow portion so as to urge the guide member in a direction of pushing out from the other opening of the housing and press-contact with one of the two members .
The separation distance adjusting device includes:
A bolt inserted into the second through hole and the first through hole through a through hole provided in one of the two members is the other member of the two members or The two members are fixed via the separation distance adjusting device by being screwed to a member attached to the other member, and attached to the other member or the other member of the bolt. By adjusting the screwing amount to the member, the elastic body expands and contracts in the separation distance direction .

本発明によれば、二つの部材間の離間距離調整作業の作業性を向上させることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the workability | operativity of the separation distance adjustment work between two members can be improved.

図１は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置の搬送台１００の概略構成を示す外観図である。FIG. 1 is an external view showing a schematic configuration of a transport table 100 of a levitation transport apparatus according to an embodiment of the present invention. 図２（Ａ）は、ベースフレーム１の外観図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示すベースフレーム１のＡ−Ａ断面図である。FIG. 2A is an external view of the base frame 1, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line AA of the base frame 1 shown in FIG. 図３（Ａ）は、エアレール２の外観図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）に示すエアレール２のＢ−Ｂ断面拡大図である。3A is an external view of the air rail 2, and FIG. 3B is an enlarged cross-sectional view of the air rail 2 taken along the line BB in FIG. 3A. 図４（Ａ）は、レベリング装置３の外観図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示すレベリング装置３のＣ−Ｃ断面図である。4A is an external view of the leveling device 3, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line C-C of the leveling device 3 shown in FIG. 4A. 図５（Ａ）は、六角穴付きボルト４の外観図であり、図５（Ｂ）は、Ｔナット５の断面図である。FIG. 5A is an external view of the hexagon socket head cap bolt 4, and FIG. 5B is a cross-sectional view of the T-nut 5. 図６（Ａ）は、レベリング装置３の組立て作業を説明するための断面図であり、図６（Ｂ）は、エアレール２へのレベリング装置３の取付け作業を説明するための断面図である。FIG. 6A is a cross-sectional view for explaining the assembly work of the leveling device 3, and FIG. 6B is a cross-sectional view for explaining the work of attaching the leveling device 3 to the air rail 2. 図７は、ベースフレーム１へのエアレール２の取付け作業を説明するための断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining the mounting operation of the air rail 2 to the base frame 1.

以下、本発明の一実施の形態を説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described.

図１は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置の搬送台１００の概略構成を示す外観図である。   FIG. 1 is an external view showing a schematic configuration of a transport table 100 of a levitation transport apparatus according to an embodiment of the present invention.

図示するように、本実施の形態に係る浮上搬送装置は、ＦＰＤ、太陽電池パネル等に用いられるガラス基板等の搬送物を搬送面２１から浮上させて搬送する搬送台１００を備えている。この搬送台１００は、所定の間隔をおいて並べられた２本の角柱状のベースフレーム（例えばアルミフレーム）１と、２本のベースフレーム１の間にかけ渡された板状のエアレール２と、ベースフレーム１上でエアレール２を支えるための、ベースフレーム１毎に２本（合計４本）のレベリング装置３（一部不図示）と、を有する。なお、本実施の形態では、２本のベースフレーム１の間に１本のエアレール２がかけ渡された場合を例示しているが、実際には、例えば搬送距離分の長さを有する２本のベースフレーム１の間に、複数本のエアレール２がベースフレーム１の長手方向（図１のＹ方向）に並べてかけ渡される。また、本実施の形態では、１本のエアレール２を４本のレベリング装置３で支持しているが、エアレール２を安定に支持可能な本数のレベリング装置３を用いればよい。   As shown in the figure, the levitation conveyance apparatus according to the present embodiment includes a conveyance table 100 that floats and conveys a conveyance object such as a glass substrate used for an FPD, a solar battery panel, or the like from a conveyance surface 21. The carriage 100 includes two prismatic base frames (for example, an aluminum frame) 1 arranged at a predetermined interval, and a plate-shaped air rail 2 spanned between the two base frames 1, There are two (four in total) leveling devices 3 (partially not shown) for each base frame 1 for supporting the air rail 2 on the base frame 1. In the present embodiment, the case where one air rail 2 is bridged between two base frames 1 is illustrated, but in reality, for example, two pieces having a length corresponding to the conveyance distance. A plurality of air rails 2 are arranged in the longitudinal direction of the base frame 1 (Y direction in FIG. 1). In the present embodiment, one air rail 2 is supported by four leveling devices 3, but the number of leveling devices 3 that can stably support the air rail 2 may be used.

また、図１には図示していないが、搬送台１００は、さらに、エアレール２にレベリング装置３を固定するボルト６と、レベリング装置３を介してエアレール２をベースフレーム１に固定するための六角穴付きボルト４およびＴナット５と、を有する。ボルト６は、レベリング装置３毎に２本設けられている。また、六角穴付きボルト４およびＴナット５は、レベリング装置３毎に１対（合計４対）設けられている。   Although not shown in FIG. 1, the transport table 100 further includes a bolt 6 for fixing the leveling device 3 to the air rail 2 and a hexagon for fixing the air rail 2 to the base frame 1 via the leveling device 3. A bolt 4 with a hole and a T-nut 5. Two bolts 6 are provided for each leveling device 3. Further, one pair of hexagon socket head bolts 4 and T nuts 5 are provided for each leveling device 3 (four pairs in total).

図２（Ａ）は、ベースフレーム１の外観図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示すベースフレーム１のＡ−Ａ断面図である。   FIG. 2A is an external view of the base frame 1, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line AA of the base frame 1 shown in FIG.

図示するように、ベースフレーム１の４つの外面（上面１２Ａ、左側面１２Ｂ、下面１２Ｃおよび右側面１２Ｄ）の各々には、ベースフレーム１の長手方向の所望の位置にＴナット５を配置するためのＴ字状溝１１が形成されている。Ｔ字状溝１１は、溝縁１１２から溝底１１１までの間において溝幅ｓ１から溝幅ｓ２（＞ｓ１）に変わる段差１１３を含むＴ字状の断面形状を有し、ベースフレーム１の一方の端面（長手方向に垂直な面）１３から他方の端面１４まで連続している。このＴ字状溝１１により、ベースフレーム１の両端面１３、１４にはＴ字状の開口が形成され、４つの外面１２Ａ〜１２Ｄの各々にも、一方の端面１３から他方の端面１４まで連続する溝幅ｓ１の開口が形成される。   As shown in the drawing, a T-nut 5 is disposed at a desired position in the longitudinal direction of the base frame 1 on each of the four outer surfaces (the upper surface 12A, the left side surface 12B, the lower surface 12C, and the right side surface 12D) of the base frame 1. The T-shaped groove 11 is formed. The T-shaped groove 11 has a T-shaped cross-section including a step 113 that changes from the groove width s1 to the groove width s2 (> s1) between the groove edge 112 and the groove bottom 111. From one end surface (surface perpendicular to the longitudinal direction) 13 to the other end surface 14. The T-shaped groove 11 forms T-shaped openings on both end faces 13 and 14 of the base frame 1, and each of the four outer faces 12 </ b> A to 12 </ b> D continues from one end face 13 to the other end face 14. An opening having a groove width s1 is formed.

なお、本実施の形態では、ベースフレーム１として、４つの外面１２Ａ〜１２ＤのすべてにＴ字状溝１１が形成された４面溝タイプのフレームを使用しているが、少なくとも、エアレール２側に向けられる上面１２ＡにＴ字状溝１１が形成されたフレームであればよい。   In the present embodiment, as the base frame 1, a four-surface groove type frame in which T-shaped grooves 11 are formed on all four outer surfaces 12A to 12D is used, but at least on the air rail 2 side. Any frame may be used as long as the T-shaped groove 11 is formed on the upper surface 12A to be directed.

図３（Ａ）は、エアレール２の外観図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）に示すエアレール２のＢ−Ｂ断面拡大図である。   3A is an external view of the air rail 2, and FIG. 3B is an enlarged cross-sectional view of the air rail 2 taken along the line BB in FIG. 3A.

エアレール２は、外部からエア供給口（不図示）に供給された圧縮空気を、内部のエア供給路（不図示）を介して、搬送面２１の複数のエア吹き出し穴（不図示）から噴出する。   The air rail 2 ejects compressed air supplied from the outside to an air supply port (not shown) from a plurality of air blowing holes (not shown) on the transport surface 21 via an internal air supply path (not shown). .

図示するように、このエアレール２のベースフレーム１への取付け位置（本実施の形態では４ヶ所）には、それぞれ、搬送面２１から裏面（搬送面２１とは反対側の面）２４に向けて六角穴付きボルト４を挿入するための段付き貫通孔２３が形成されている。段付き貫通孔２３には、この段付き貫通孔２３に搬送面２１側から挿入される六角穴付きボルト４の座面４１２（図５参照）が接触する段差２５が形成されている。搬送面２１から段差２５までの領域（大径部）２８における直径ｒ１は、段差２５から裏面２４までの領域（小径部）２７における直径ｒ２より大きい。   As shown in the drawing, the air rail 2 is attached to the base frame 1 at four positions (four positions in the present embodiment) from the transport surface 21 toward the back surface (surface opposite to the transport surface 21) 24, respectively. A stepped through hole 23 for inserting the hexagon socket head bolt 4 is formed. In the stepped through hole 23, a step 25 is formed in which the seat surface 412 (see FIG. 5) of the hexagon socket head bolt 4 inserted into the stepped through hole 23 from the conveying surface 21 side comes into contact. The diameter r1 in the region (large diameter portion) 28 from the conveyance surface 21 to the step 25 is larger than the diameter r2 in the region (small diameter portion) 27 from the step 25 to the back surface 24.

また、エアレール２の裏面２４には、段付き貫通孔２３の両側に、ボルト６が締結されるネジ穴２６が形成されている。   Further, on the back surface 24 of the air rail 2, screw holes 26 to which the bolts 6 are fastened are formed on both sides of the stepped through hole 23.

なお、本実施の形態では、エアレール２のベースフレーム１への取付け位置に段付き貫通孔２３を形成しているが、エアレール２のベースフレーム１への取付け位置が調整可能となるように、例えばエアレール２の長手方向に、段付き貫通孔２３の断面形状と同様な断面形状の段付き長穴を任意の長さで形成してもよい。   In the present embodiment, the stepped through hole 23 is formed at the position where the air rail 2 is attached to the base frame 1, but the position where the air rail 2 is attached to the base frame 1 can be adjusted, for example, In the longitudinal direction of the air rail 2, a stepped long hole having a cross-sectional shape similar to the cross-sectional shape of the stepped through hole 23 may be formed with an arbitrary length.

図４（Ａ）は、レベリング装置３の外観図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示すレベリング装置３のＣ−Ｃ断面図である。   4A is an external view of the leveling device 3, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line C-C of the leveling device 3 shown in FIG. 4A.

レベリング装置３は、ベースフレーム１上でエアレール２を支持し、ベースフレーム１に対するエアレール２の高さを調整する。   The leveling device 3 supports the air rail 2 on the base frame 1 and adjusts the height of the air rail 2 with respect to the base frame 1.

図示するように、レベリング装置３は、ベースフレーム１に対するエアレール２の高さ方向（図１のＺ方向）に伸縮する皿バネ群３１と、皿バネ群３１に付勢されてベースフレーム１の上面１２Ａに押し当てられる縁部付円筒状の圧子３２と、皿バネ群３１に付勢されてエアレール２の裏面２４に押し当てられるフランジ部付円筒状のスプリングガイド３３と、これらの部品３１〜３３を収容するフランジ部および縁部付円筒状のハウジング３４と、を有する。   As shown, the leveling device 3 includes a disc spring group 31 that expands and contracts in the height direction of the air rail 2 with respect to the base frame 1 (the Z direction in FIG. 1), and an upper surface of the base frame 1 that is biased by the disc spring group 31. A cylindrical indenter 32 with an edge that is pressed against 12A, a cylindrical spring guide 33 with a flange that is urged by the disc spring group 31 and pressed against the back surface 24 of the air rail 2, and these components 31 to 33 A cylindrical housing 34 with a flange portion and an edge portion.

ハウジング３４は、円筒部３４３と、円筒部３４３の内側に向けて円筒部３４３の一方の端面（ハウジング３４の底面３４８）側の開口部３４１に形成された第二の縁部３４２と、円筒部３４３の外周から外側にはりだすように円筒部３４３の他方の端面（ハウジング３４の上面３４６）側に形成されたフランジ部３４９と、を有している。   The housing 34 includes a cylindrical portion 343, a second edge portion 342 formed in the opening 341 on the one end face (the bottom surface 348 of the housing 34) side of the cylindrical portion 343 toward the inside of the cylindrical portion 343, and the cylindrical portion. And a flange portion 349 formed on the other end face (the upper surface 346 of the housing 34) side of the cylindrical portion 343 so as to protrude outward from the outer periphery of the 343.

このハウジング３４は、上面３４６側の開口部３４４がエアレール２の段付き貫通孔２３に対向する状態で上面３４６がエアレール２の裏面２４と接するように、ベースフレーム１とエアレール２との間に配置される。また、フランジ部３４９には、エアレール２の裏面２４のネジ穴２６に対応する位置に、ボルト６が挿入される第三の貫通孔３４７が形成されている。   The housing 34 is disposed between the base frame 1 and the air rail 2 so that the upper surface 346 contacts the back surface 24 of the air rail 2 with the opening 344 on the upper surface 346 side facing the stepped through hole 23 of the air rail 2. Is done. Further, a third through hole 347 into which the bolt 6 is inserted is formed in the flange portion 349 at a position corresponding to the screw hole 26 on the back surface 24 of the air rail 2.

圧子３２は、ハウジング３４の底面３４８側の開口部３４１からベースフレーム１側に突出する円柱部３２５と、円柱部３２５の外周から外側にはりだすように円柱部３２５の一方の端面（圧子３２の上面３２１）側に形成された第一の縁部３２２と、を有する。円柱部３２５には、上面３２１から他方の端面（圧子３２の底面３２３）に向けて六角穴付きボルト４を挿入するための第一の貫通孔３２４が形成されている。   The indenter 32 includes a cylindrical portion 325 that protrudes from the opening 341 on the bottom surface 348 side of the housing 34 to the base frame 1 side, and one end surface of the cylindrical portion 325 so as to protrude outward from the outer periphery of the cylindrical portion 325 (the indenter 32 And a first edge 322 formed on the upper surface 321) side. A first through hole 324 for inserting the hexagon socket head cap bolt 4 from the upper surface 321 toward the other end surface (the bottom surface 323 of the indenter 32) is formed in the cylindrical portion 325.

この圧子３２は、第一の縁部３２２の下面３２６がハウジング３４の第二の縁部３４２の上面３５０と接し、底面３２３がハウジング３４の底面３４８側の開口部３４１からベースフレーム１側に突出した状態でハウジング３４内に収容される。   In the indenter 32, the lower surface 326 of the first edge 322 is in contact with the upper surface 350 of the second edge 342 of the housing 34, and the bottom surface 323 protrudes from the opening 341 on the bottom surface 348 side of the housing 34 to the base frame 1 side. In this state, it is accommodated in the housing 34.

スプリングガイド３３は、ハウジング３４内の皿バネ群３１に挿入される円柱部３３５と、円柱部３３５の外周からはりだすように円柱部３３５の一方の端面（スプリングガイド３３の上面３３１）側に形成され、ハウジング３４内の圧子３２の上面３２１との間で皿バネ群３１を押圧するフランジ部３３２と、を有する。円柱部３３５には、上面３３１から底面３３３に向けて六角穴付きボルト４を挿入するための第二の貫通孔３３４が形成されている。   The spring guide 33 is formed on the cylindrical portion 335 inserted into the disc spring group 31 in the housing 34, and on one end surface (the upper surface 331 of the spring guide 33) side of the cylindrical portion 335 so as to protrude from the outer periphery of the cylindrical portion 335. And a flange portion 332 that presses the disc spring group 31 between the upper surface 321 of the indenter 32 in the housing 34. A second through hole 334 for inserting the hexagon socket head bolt 4 from the upper surface 331 toward the bottom surface 333 is formed in the cylindrical portion 335.

このスプリングガイド３３が、第二の貫通孔３３４の軸心が圧子３２の第一の貫通孔３２４の軸心と一致するようにハウジング３４内に収容されると、円柱部３３５の外周面３３９、フランジ部３３２の下面３３６、ハウジング３４の内面３４５、および圧子３２の上面３２１により筒状の中空部３３７が形成される。   When the spring guide 33 is accommodated in the housing 34 such that the axis of the second through hole 334 coincides with the axis of the first through hole 324 of the indenter 32, the outer peripheral surface 339 of the cylindrical portion 335, A cylindrical hollow portion 337 is formed by the lower surface 336 of the flange portion 332, the inner surface 345 of the housing 34, and the upper surface 321 of the indenter 32.

なお、スプリングガイド３３の円柱部３３５の底面３３３からフランジ部３３２の下面３３６までの長さｋ１は、皿バネ群３１の自由高さよりも小さく、かつ、スプリングガイド３３の上面３３１の位置をハウジング３４の上面３４６の位置に揃えたときに、スプリングガイド３３の底面３３３と圧子３２の上面３２１との間にエアレール２の高さ調整代以上の隙間が形成される寸法に設定されている。   The length k1 from the bottom surface 333 of the cylindrical portion 335 of the spring guide 33 to the lower surface 336 of the flange portion 332 is smaller than the free height of the disc spring group 31, and the position of the upper surface 331 of the spring guide 33 is set to the housing 34. When the upper surface 346 is aligned with the upper surface 346, the clearance is set so that a gap more than the height adjustment allowance of the air rail 2 is formed between the bottom surface 333 of the spring guide 33 and the upper surface 321 of the indenter 32.

皿バネ群３１は、筒状の中空部３３７内でエアレール２のベースフレーム１に対する高さ方向に積み重ねられた複数枚の皿バネ３１１により構成されている。本実施の形態では、隣り合う皿バネ３１１の向きが逆になるように複数枚の皿バネ３１１を重ね合わせているが（いわゆる直列組合せ方式）、隣り合う皿バネ３１１の向きが同じになるように複数枚の皿バネ３１１を重ね合わせても（いわゆる並列組合せ方式）、あるいはいわゆる直列方式と並列方式との組合せでもよい。また、本実施の形態では、６枚の皿バネ３１１を積み重ねているが、実施の形態によって、使用する皿バネの枚数は適宜変更可能である。   The disc spring group 31 includes a plurality of disc springs 311 stacked in a height direction with respect to the base frame 1 of the air rail 2 in a cylindrical hollow portion 337. In the present embodiment, a plurality of disc springs 311 are overlapped so that the directions of adjacent disc springs 311 are reversed (so-called serial combination method), but the directions of adjacent disc springs 311 are the same. A plurality of disc springs 311 may be overlapped (so-called parallel combination method), or a combination of a so-called series method and parallel method may be used. In the present embodiment, six disc springs 311 are stacked, but the number of disc springs to be used can be changed as appropriate according to the embodiment.

この皿バネ群３１は、圧子３２をハウジング３４の底面３４８側の開口部３４１から押し出す方向に付勢し、圧子３２をベースフレーム１の上面１２Ａに圧接するとともに、スプリングガイド３３をハウジング３４の上面３４６側の開口部３４４から押し出す方向に付勢し、スプリングガイド３３をエアレール２の裏面２４に圧接する。また、皿バネ群３１は、搬送対象の搬送中に受ける荷重（搬送対象、エアレール２等によりレベリング装置３一本あたりにかかる荷重等）を安定に支持可能な許容荷重およびばね定数を有している。このような弾性を有しているものであれば、皿バネ群３１の代わりに、筒状の中空部３３７内に配置することが可能な形状を有する他の弾性体（コイルバネ、筒状のゴム等）を用いてもよい。   The disc spring group 31 urges the indenter 32 in a direction to push out from the opening 341 on the bottom surface 348 side of the housing 34, presses the indenter 32 against the upper surface 12 </ b> A of the base frame 1, and attaches the spring guide 33 to the upper surface of the housing 34. The spring guide 33 is urged in the direction of pushing out from the opening 344 on the 346 side, and the spring guide 33 is pressed against the back surface 24 of the air rail 2. In addition, the disc spring group 31 has an allowable load and a spring constant capable of stably supporting a load received during conveyance of the conveyance target (a conveyance target, a load applied to one leveling device 3 by the air rail 2 or the like). Yes. If it has such elasticity, instead of the disc spring group 31, another elastic body (coil spring, cylindrical rubber) having a shape that can be disposed in the cylindrical hollow portion 337. Etc.) may be used.

なお、本実施の形態においては、フランジ部付円筒状のスプリングガイド３３と、縁部付円筒状の圧子３２と、フランジ部および縁部付円筒状のハウジング３４とを用いているが、皿バネ群３１の軸心がずれない他の立体形状のスプリングガイド３３、圧子３２およびハウジング３４を用いてもよい。   In the present embodiment, a cylindrical spring guide 33 with a flange portion, a cylindrical indenter 32 with an edge portion, and a cylindrical housing 34 with a flange portion and an edge portion are used. Other three-dimensional spring guides 33, indenters 32, and housings 34 in which the axis of the group 31 is not displaced may be used.

図５（Ａ）は、六角穴付きボルト４の外観図である。   FIG. 5A is an external view of the hexagon socket head cap screw 4.

図示するように、六角穴付きボルト４は、頭部４１の上面４１１に六角レンチ用の六角穴４３が形成されている。六角穴付きボルト４の頭部４１の直径ｒ３は、エアレール２の段付き貫通孔２３の大径部２８の直径ｒ１よりも小さく、かつ小径部２７の直径ｒ２よりも大きい。また、六角穴付きボルト４の頭部４１の厚さｋ２は、エアレール２の段付き貫通孔２３の大径部２８の長さｋ３（図３（Ｂ）参照）よりも小さい。このため、六角穴付きボルト４は、エアレール２の搬送面２１側から段付き貫通孔２３に挿入されたとき、頭部４１が搬送面２１より下側にきた位置で座面４１２が段付き貫通孔２３の段差２５に接触して、段付き貫通孔２３の大径部２８内に頭部４１が完全に収容される。   As illustrated, the hexagon socket head cap bolt 4 has a hexagon socket 43 for a hexagon wrench formed on the upper surface 411 of the head 41. The diameter r3 of the head portion 41 of the hexagon socket head bolt 4 is smaller than the diameter r1 of the large diameter portion 28 of the stepped through hole 23 of the air rail 2 and larger than the diameter r2 of the small diameter portion 27. Further, the thickness k2 of the head 41 of the hexagon socket head cap bolt 4 is smaller than the length k3 of the large diameter portion 28 of the stepped through hole 23 of the air rail 2 (see FIG. 3B). For this reason, when the hexagon socket head cap bolt 4 is inserted into the stepped through hole 23 from the conveying surface 21 side of the air rail 2, the seat surface 412 penetrates the stepped surface at a position where the head 41 comes below the conveying surface 21. The head 41 is completely accommodated in the large-diameter portion 28 of the stepped through hole 23 in contact with the step 25 of the hole 23.

また、六角穴付きボルト４の座面４１２からネジ部４２までの長さｋ４は、エアレール２の段付き貫通孔２３の小径部２７の長さｋ５（図３（Ｂ）参照）と、レベリング装置３のハウジング３４の高さ（一方の開口部３４１から他方の開口部３４４までの長さ）ｋ６（図４（Ｂ）参照）との合計より小さい。また、図４（Ｂ）に示すように、圧子３２の第一の縁部３２２がハウジング３４の第二の縁部３４２と接触して、圧子３２の底面３２３がハウジング３４の開口部３４１から突出している状態において、六角穴付きボルト４の座面４１２からネジ部４２の先端４２１までの長さｋ７は、圧子３２の底面３２３からハウジング３４の上面３４６までの長さｋ８、エアレール２の段付き貫通孔２３の小径部２７の長さｋ５、およびベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から段差１１３までの深さｋ１０（図２（Ｂ）参照）の合計より大きく、かつ、上述のｋ８、ｋ５、およびベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から溝底１１１までの深さｋ１１（図２（Ｂ)参照）の合計より小さい寸法とされている。   The length k4 from the seating surface 412 of the hexagon socket head cap bolt 4 to the screw portion 42 is equal to the length k5 of the small diameter portion 27 of the stepped through hole 23 of the air rail 2 (see FIG. 3B) and the leveling device. 3 (the length from one opening 341 to the other opening 344) k6 (see FIG. 4B) is smaller than the total. 4B, the first edge 322 of the indenter 32 contacts the second edge 342 of the housing 34, and the bottom surface 323 of the indenter 32 protrudes from the opening 341 of the housing 34. In this state, the length k7 from the seat surface 412 of the hexagon socket head cap bolt 4 to the tip 421 of the screw portion 42 is the length k8 from the bottom surface 323 of the indenter 32 to the top surface 346 of the housing 34, and the step of the air rail 2 is stepped. It is larger than the sum of the length k5 of the small diameter portion 27 of the through hole 23 and the depth k10 (see FIG. 2B) from the groove edge 112 to the step 113 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1 and the above-mentioned. And a depth k11 (see FIG. 2 (B)) from the groove edge 112 to the groove bottom 111 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1 is smaller than the total.

図５（Ｂ）は、Ｔナット５の断面図である。   FIG. 5B is a cross-sectional view of the T nut 5.

図示するように、Ｔナット５は、一方の端面（上面５１）から他方の端面（底面５３）までの間において、幅がｓ３からｓ４（＞ｓ３）に変わる段差５２を含むＴ字状の断面形状を有しており、上面５１から底面５３まで貫通した、六角穴付きボルト４のネジ部４２と螺合するネジ穴５４が形成されている。上面５１から段差５２までにおける幅ｓ３は、ベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から段差１１３までにおける溝幅ｓ１（図２（Ｂ）参照）よりも小さい。段差５２から底面５３までにおける幅ｓ４は、ベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から段差１１３までにおける溝幅ｓ１より大きく、かつＴ字状溝１１の段差１１３から溝底１１１までにおける溝幅ｓ２（図２（Ｂ）参照）より小さい。また、段差５２から上面５１までの高さｋ９は、ベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から段差１１３までの深さｋ１０（図２（Ｂ）参照）以下の寸法である。このため、Ｔナット５は、ベースフレーム１のＴ字状溝１１内の所望の位置に配置でき、また、六角穴付きボルト４のネジ部４２とネジ穴５４との締結によりＴ字状溝１１の溝底１１１から溝縁１１２の方向に力が加えられると、段差５２がＴ字状溝１１の段差１１３に接触し、ベースフレーム１に固定される。   As shown in the figure, the T-nut 5 has a T-shaped cross section including a step 52 whose width changes from s3 to s4 (> s3) from one end surface (upper surface 51) to the other end surface (bottom surface 53). A screw hole 54 having a shape and penetrating from the upper surface 51 to the bottom surface 53 and screwed with the screw portion 42 of the hexagon socket head bolt 4 is formed. The width s3 from the upper surface 51 to the step 52 is smaller than the groove width s1 (see FIG. 2B) from the groove edge 112 to the step 113 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1. The width s4 from the step 52 to the bottom surface 53 is larger than the groove width s1 from the groove edge 112 to the step 113 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1 and from the step 113 to the groove bottom 111 of the T-shaped groove 11. It is smaller than the groove width s2 (see FIG. 2B). Further, the height k9 from the step 52 to the upper surface 51 is not more than the depth k10 (see FIG. 2B) from the groove edge 112 to the step 113 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1. For this reason, the T-nut 5 can be arranged at a desired position in the T-shaped groove 11 of the base frame 1, and the T-shaped groove 11 is fastened by fastening the screw portion 42 and the screw hole 54 of the hexagon socket head bolt 4. When a force is applied from the groove bottom 111 to the groove edge 112, the step 52 comes into contact with the step 113 of the T-shaped groove 11 and is fixed to the base frame 1.

つぎに、ベースフレーム１へのエアレール２の取付け作業について説明する。   Next, an operation for attaching the air rail 2 to the base frame 1 will be described.

図６（Ａ）は、レベリング装置３の組立て作業を説明するための断面図であり、図６（Ｂ）は、エアレール２へのレベリング装置３の取付け作業を説明するための断面図である。また、図７は、ベースフレーム１へのエアレール２の取付け作業を説明するための断面図である。   FIG. 6A is a cross-sectional view for explaining the assembly work of the leveling device 3, and FIG. 6B is a cross-sectional view for explaining the work of attaching the leveling device 3 to the air rail 2. FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining the mounting operation of the air rail 2 to the base frame 1.

（１）レベリング装置３の組立て
ベースフレーム１へのエアレール２の取付けに必要な本数（本実施の形態では４本）のレベリング装置３をあらかじめ組み立てておく。具体的には、以下の通りである。 (1) Assembly of leveling device 3 The number of leveling devices 3 (four in the present embodiment) necessary for mounting the air rail 2 to the base frame 1 is assembled in advance. Specifically, it is as follows.

図６（Ａ）に示すように、圧子３２を底面３２３側からハウジング３４内に挿入し、圧子３２の第一の縁部３２２をハウジング３４の第二の縁部３４２に当接させる。つぎに、隣り合う皿バネ３１１の向きが逆になるように、複数枚の皿バネ３１１を、ハウジング３４内に収容された圧子３２上に積み重ねる。それから、スプリングガイド３３を底面３３３側からハウジング３４内に挿入して、スプリングガイド３３の円柱部３３５を皿バネ群３１に挿入する。これにより、圧子３２、皿バネ群３１、およびスプリングガイド３３が順番にハウジング３４内に収容され、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すようなレベリング装置３が完成する。   As shown in FIG. 6A, the indenter 32 is inserted into the housing 34 from the bottom surface 323 side, and the first edge 322 of the indenter 32 is brought into contact with the second edge 342 of the housing 34. Next, a plurality of disc springs 311 are stacked on the indenter 32 accommodated in the housing 34 so that the directions of the adjacent disc springs 311 are reversed. Then, the spring guide 33 is inserted into the housing 34 from the bottom surface 333 side, and the cylindrical portion 335 of the spring guide 33 is inserted into the disc spring group 31. Thereby, the indenter 32, the disc spring group 31, and the spring guide 33 are accommodated in the housing 34 in order, and the leveling apparatus 3 as shown to FIG. 4 (A) and (B) is completed.

（２）エアレール２へのレベリング装置３の取付け
図６（Ｂ）に示すように、レベリング装置３ごとに、２本のボルト６を、ハウジング３４の第三の貫通孔３４７を介して、エアレール２の裏面２４のネジ穴２６にネジ止めする。これにより、スプリングガイド３３の第二の貫通孔３３４および圧子３２の第一の貫通孔３２４の軸心がエアレール２の段付き貫通孔２３の軸心と一致した状態でハウジング３４の上面３４６がエアレール２の裏面２４と当接し、レベリング装置３がエアレール２の裏面２４に取り付けられる。 (2) Attaching the leveling device 3 to the air rail 2 As shown in FIG. 6B, for each leveling device 3, two bolts 6 are connected to the air rail 2 through the third through hole 347 of the housing 34. Are screwed into the screw holes 26 on the back surface 24 of the plate. As a result, the upper surface 346 of the housing 34 is moved to the air rail in a state where the axes of the second through hole 334 of the spring guide 33 and the first through hole 324 of the indenter 32 coincide with the axis of the stepped through hole 23 of the air rail 2. The leveling device 3 is attached to the back surface 24 of the air rail 2.

これにより、スプリングガイド３３の上面３３１が、ハウジング３４の上面３４６と同じ位置にくるまで、スプリングガイド３３がハウジング３４内に押し込まれ、皿バネ群３１にプリロードがかかる。このときの圧子３２のハウジング３４の底面３４８からの突出部分の長さをｃ１とし、スプリングガイド３３の底面３３３から圧子３２の上面３２１までの長さをｃ２とする。   As a result, the spring guide 33 is pushed into the housing 34 until the upper surface 331 of the spring guide 33 is at the same position as the upper surface 346 of the housing 34, and the disc spring group 31 is preloaded. At this time, the length of the protruding portion of the indenter 32 from the bottom surface 348 of the housing 34 is c1, and the length from the bottom surface 333 of the spring guide 33 to the upper surface 321 of the indenter 32 is c2.

（３）ベースフレーム１へのエアレール２の取付けと高さ調整
エアレール２を２本のベースフレーム１の間にかけ渡すように配置する。ベースフレーム１の上面１２Ａ側のＴ字状溝１１に２つのＴナット５を挿入し、これらのＴナット５を、エアレール２の段付き貫通孔２３に対応する位置に配置する。つぎに、図７に示すように、六角穴付きボルト４を、エアレール２の搬送面２１側から、エアレール２の段付き貫通孔２３、スプリングガイド３３の第二の貫通孔３３４、圧子３２の第一の貫通孔３２４に挿入し、六角レンチ７を使って六角穴付きボルト４のネジ部４２をＴナット５のネジ穴５４にネジ止めする。これにより、ハウジング３４の底面３４８側の開口部３４１からベースフレーム１側に突出している圧子３２の底面３２３がベースフレーム１の上面１２Ａと当接した状態で、エアレール２がレベリング装置３を介してベースフレーム１に取り付けられる。 (3) Attachment of the air rail 2 to the base frame 1 and height adjustment The air rail 2 is arranged so as to be spanned between the two base frames 1. Two T nuts 5 are inserted into the T-shaped groove 11 on the upper surface 12 </ b> A side of the base frame 1, and these T nuts 5 are arranged at positions corresponding to the stepped through holes 23 of the air rail 2. Next, as shown in FIG. 7, the hexagon socket head cap bolt 4 is connected to the stepped through hole 23 of the air rail 2, the second through hole 334 of the spring guide 33, and the indenter 32 of the indenter 32 from the conveying surface 21 side of the air rail 2. The screw portion 42 of the hexagon socket head bolt 4 is screwed into the screw hole 54 of the T nut 5 using the hexagon wrench 7. As a result, the air rail 2 passes through the leveling device 3 while the bottom surface 323 of the indenter 32 protruding from the opening 341 on the bottom surface 348 side of the housing 34 to the base frame 1 side is in contact with the top surface 12A of the base frame 1. Attached to the base frame 1.

上述したように、六角穴付きボルト４の頭部４１の座面４１２からネジ部４２までの長さｋ４（図５（Ａ）参照）は、エアレール２の段付き貫通孔２３の小径部２７の長さｋ５（図３（Ｂ）参照）と、レベリング装置３のハウジング３４の高さ（一方の開口部３４１から他方の開口部３４４までの長さ）ｋ６（図４（Ｂ）参照）との合計より小さい。また、圧子３２の第一の縁部３２２がハウジング３４の第二の縁部３４２と接触して、圧子３２の底面３２３がハウジング３４の開口部３４１から突出している状態において、六角穴付きボルト４の座面４１２からネジ部４２の先端４２１までの長さｋ７（図５（Ａ）参照）は、圧子３２の端面３２３からハウジング３４の上面３４６までの長さｋ８（図４（Ｂ）参照）、エアレール２の段付き貫通孔２３の小径部２７の長さｋ５（図３（Ｂ）参照）、およびベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から段差１１３までの深さｋ１０（図２（Ｂ）参照）の合計より大きく、かつ上述のｋ８、ｋ５、およびベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から溝底１１１までの深さｋ１１（図２（Ｂ)参照）の合計より小さい。   As described above, the length k4 (see FIG. 5A) from the seating surface 412 of the head portion 41 of the hexagon socket head cap bolt 4 to the screw portion 42 is the length of the small diameter portion 27 of the stepped through hole 23 of the air rail 2. The length k5 (see FIG. 3B) and the height of the housing 34 of the leveling device 3 (the length from one opening 341 to the other opening 344) k6 (see FIG. 4B) Less than total. In addition, the hexagon socket head bolt 4 in a state where the first edge 322 of the indenter 32 is in contact with the second edge 342 of the housing 34 and the bottom surface 323 of the indenter 32 protrudes from the opening 341 of the housing 34. The length k7 (see FIG. 5A) from the seating surface 412 to the tip 421 of the screw portion 42 is the length k8 from the end surface 323 of the indenter 32 to the upper surface 346 of the housing 34 (see FIG. 4B). The length k5 of the small diameter portion 27 of the stepped through hole 23 of the air rail 2 (see FIG. 3B) and the depth k10 from the groove edge 112 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1 to the step 113 (see FIG. 2 (see FIG. 2 (B)), and a depth k11 from the groove edge 112 to the groove bottom 111 of the T-shaped groove 11 of the base frame 1 (see FIG. 2 (B)). Less than total.

このため、Ｔナット５への六角穴付きボルト４の締め具合を調節することにより、高さ調整代（図６（Ｂ）に示すｃ１、ｃ２、および皿バネ群３１の最大縮み量のうちの最も小さい長さ）の範囲内で、ベースフレーム１に対するエアレール２の高さを調整できる。この高さ調節作業を、エアレール２のベースフレーム１への取付けに用いる４本のレベリング装置３のそれぞれに対して行うことにより、エアレール２の搬送面２１のレベリングを行う。   For this reason, by adjusting the tightening degree of the hexagon socket head bolt 4 to the T-nut 5, the height adjustment allowance (of c1, c2 shown in FIG. 6B and the maximum amount of contraction of the disc spring group 31) The height of the air rail 2 relative to the base frame 1 can be adjusted within the range of the smallest length. By performing this height adjustment operation on each of the four leveling devices 3 used for attaching the air rail 2 to the base frame 1, the transport surface 21 of the air rail 2 is leveled.

以上、本発明の一実施の形態を説明した。   The embodiment of the present invention has been described above.

本実施の形態に係るレベリング装置３は、皿バネ群３１、圧子３２およびスプリングガイド３３がハウジング３４内に収容されて、皿バネ群３１、圧子３２、スプリングガイド３３、ハウジング３４を含む複数の構成部品がユニット化されているため、エアレール２のベースフレーム１への取付け作業に先だって、あらかじめ必要本数を組み立てておくことが可能である。このため、作業者は、一部の部品の落下等を気にすることなく簡単に、レベリング装置３をエアレール２に取り付けることができ、作業効率が向上する。   In the leveling device 3 according to the present embodiment, a disc spring group 31, an indenter 32, and a spring guide 33 are accommodated in a housing 34, and a plurality of configurations including the disc spring group 31, the indenter 32, the spring guide 33, and the housing 34 are included. Since the parts are unitized, it is possible to assemble the required number in advance prior to the work of attaching the air rail 2 to the base frame 1. For this reason, the operator can easily attach the leveling device 3 to the air rail 2 without worrying about dropping of some parts, and the working efficiency is improved.

また、レベリング装置３をエアレール２に取り付けることにより、レベリング装置３の皿バネ群３１にプリロードがかかるため、皿バネ群３１がプリロードされていない場合と比較して少ない回数、六角穴付きボルト４をＴナット５に締め付けるだけで、エアレール２をベースフレーム１に取り付けることができる。   Moreover, since the disc spring group 31 of the leveling device 3 is preloaded by attaching the leveling device 3 to the air rail 2, the hexagon socket head cap bolt 4 is attached less frequently than when the disc spring group 31 is not preloaded. The air rail 2 can be attached to the base frame 1 simply by tightening to the T-nut 5.

また、レベリング装置３をエアレール２に取り付けることにより、スプリングガイド３３の上面３３１がハウジング３４の上面３４６と同じ位置まで押し込まれて皿バネ群３１にプリロードがかかるので、エアレール２のベースフレーム１への取付け作業に使用する４本のレベリング装置３に対して、面倒なプリロード調整を行わなくても、均等なプリロードをかけておくことができる。   Further, by attaching the leveling device 3 to the air rail 2, the upper surface 331 of the spring guide 33 is pushed to the same position as the upper surface 346 of the housing 34, and the disc spring group 31 is preloaded, so that the air rail 2 is attached to the base frame 1. An equal preload can be applied to the four leveling devices 3 used for the mounting work without performing troublesome preload adjustment.

また、六角穴付きボルト４を、エアレール２の搬送面２１側から段付き貫通孔２３に挿入して、Ｔナット５にネジ止めすることにより、エアレール２をベースフレーム１に取り付けるとともに、六角穴付きボルト４の締め具合を調節することで、エアレール２のベースフレーム１に対する高さを調整するので、特許文献１に記載の基板搬送装置と異なり、高さ調整用の隙間をエアレール２の長手方向（図１のＸ方向）の両側に確保しておく必要がない。したがって、複数のエアレール２を並べた場合、隣り合うエアレール２を密着させる等、複数のエアレール２の間隔寸法を、搬送対象の浮上安定性等を考慮して柔軟に設定することができる。このため、搬送対象をより安定に浮上させて搬送できる。   Further, the hexagon socket head cap bolt 4 is inserted into the stepped through hole 23 from the air rail 2 conveying surface 21 side and screwed to the T-nut 5 so that the air rail 2 is attached to the base frame 1 and the hexagon socket head is provided. Since the height of the air rail 2 with respect to the base frame 1 is adjusted by adjusting the tightening degree of the bolt 4, unlike the substrate transfer device described in Patent Document 1, the height adjustment gap is formed in the longitudinal direction of the air rail 2 ( It is not necessary to secure them on both sides in the X direction in FIG. Therefore, when a plurality of air rails 2 are arranged, the distance between the plurality of air rails 2 can be set flexibly in consideration of the floating stability of the object to be transported, such as adhering adjacent air rails 2. For this reason, it is possible to convey the object to be conveyed more stably.

また、レベリング装置３のハウジング３４に形成された第三の貫通孔３４７を介して、ボルト６を、エアレール２の裏面２４に形成されたネジ穴２６にネジ止めすることにより、皿バネ群３１にプリロードをかけた状態で、レベリング装置３をエアレール２に取り付けるので、エアレール２のベースフレーム１への取付け作業に先だって、必要本数のエアレール２へのレベリング装置３の取付けおよびプリロード作業をあらかじめ行っておくことが可能となる。このため、作業効率がさらに向上する。   Further, the bolt 6 is screwed into the screw hole 26 formed in the back surface 24 of the air rail 2 through the third through hole 347 formed in the housing 34 of the leveling device 3, thereby allowing the disc spring group 31 to be fixed. Since the leveling device 3 is attached to the air rail 2 with the preload applied, the leveling device 3 is attached to the required number of air rails 2 and preloaded in advance before the air rail 2 is attached to the base frame 1. It becomes possible. For this reason, work efficiency further improves.

なお、本実施の形態では、六角穴付きボルト４およびＴナット５を用いて、レベリング装置３を介してベースフレーム１にエアレール２を取り付けているが、本発明はこれに限定されない。ベースフレーム１の上面１２Ａの、エアレール２の段付き貫通孔２３に対応する位置に、六角穴付きボルト４のネジ部４２と螺合するネジ穴を形成することで、Ｔナット５を用いずにエアレール２をベースフレーム１に取り付けられるようにしてもよい。   In the present embodiment, the air rail 2 is attached to the base frame 1 via the leveling device 3 using the hexagon socket head bolt 4 and the T-nut 5, but the present invention is not limited to this. By forming a screw hole to be screwed into the screw portion 42 of the hexagon socket head bolt 4 at a position corresponding to the stepped through hole 23 of the air rail 2 on the upper surface 12A of the base frame 1, without using the T nut 5. The air rail 2 may be attached to the base frame 1.

また、本実施の形態では、六角レンチ７を使って、エアレール２の搬送面２１側から、ベースフレーム１へのエアレール２の取付けおよび搬送面２１のレベリングを行えるようにするために、六角穴付きボルト４を用いているが、本発明はこれに限定されない。使用する工具を応じて、例えば、十字穴、すり割り溝等が頭部の上面に形成されたボルトを用いればよい。   Further, in the present embodiment, a hexagon socket is used to enable the mounting of the air rail 2 to the base frame 1 and the leveling of the transport surface 21 from the transport surface 21 side of the air rail 2 using the hexagon wrench 7. Although the bolt 4 is used, the present invention is not limited to this. Depending on the tool to be used, for example, a bolt having a cross hole, a slit groove or the like formed on the upper surface of the head may be used.

また、本実施の形態では、所定の間隔をおいて並べられた２本の角柱状のベースフレーム１上にかけ渡すようにして、エアレール２をベースフレーム１に取り付けているが、本発明はこれに限定されない。例えば、１枚の板状のベースフレーム上に載せるようにして、エアレール２をベースフレーム１に取り付けてもよい。   Further, in the present embodiment, the air rail 2 is attached to the base frame 1 so as to be passed over the two prismatic base frames 1 arranged at a predetermined interval. It is not limited. For example, the air rail 2 may be attached to the base frame 1 so as to be placed on a single plate-like base frame.

また、本実施の形態では、搬送台１００を有する浮上搬送装置への適用を例に説明したが、本発明は、レベリング対象面を有するテーブルがベース材に固定されている他の装置にも適用可能である。   In the present embodiment, the application to the levitating conveyance apparatus having the conveyance table 100 has been described as an example. However, the present invention is also applicable to other apparatuses in which the table having the leveling target surface is fixed to the base material. Is possible.

また、本実施の形態では、ベースフレーム１上でエアレール２を支持し、ベースフレーム１に対するエアレール２の高さを調整するレベリング装置３を説明したが、本発明は、二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置に広く適用できる。   Moreover, in this Embodiment, although the leveling apparatus 3 which supports the air rail 2 on the base frame 1 and adjusts the height of the air rail 2 with respect to the base frame 1 was demonstrated, this invention is the separation distance between two members. The present invention can be widely applied to a separation distance adjusting device that adjusts.

１：ベースフレーム、２：エアレール、３：レベリング装置、４：六角穴付きボルト、５：Ｔナット、６：ボルト、７：六角レンチ、１１：Ｔ字状溝、１２Ａ〜１２Ｄ：ベースフレーム１の外面、１３，１４：ベースフレーム１の端面、２１：搬送面、２３：段付き貫通孔、２４：エアレール２の裏面、２５：段差、２６：ネジ穴、２７：段付き貫通孔２３の小径部、２８：段付き貫通孔２３の大径部、３１：皿バネ群、３２：圧子、３３：スプリングガイド、３４：ハウジング、４１：頭部、４２：ネジ部、４３：六角穴、５１，５３：Ｔナット５の端面、５２：段差、５４：ネジ穴、１００：搬送台、１１１：Ｔ字状溝１１の溝底、１１２：Ｔ字状溝１１の溝縁、１１３：段差、３１１：皿バネ、３２１：圧子３２の上面、３２２：第一の縁部、３２３：圧子３２の底面、３２４：第一の貫通孔、３２５：円柱部、３２６：第一の縁部３２２の下面、３３１：スプリングガイド３３の上面、３３２：スプリングガイド３３のフランジ部、３３３：スプリングガイド３３の底面、３３４：第二の貫通孔、３３５：スプリングガイド３３の円柱部、３３６：第二の縁部３３２の下面、３３７：筒状の中空部、３３９：円柱部３３５の外周面、３４１，３４４：ハウジング３４の開口部、３４２：ハウジング３４の第二の縁部、３４３：ハウジング３４の円筒部、３４５：ハウジング３４の内面、３４６：ハウジング３４の上面、３４７：第三の貫通孔、３４８：ハウジング３４の底面、３４９：ハウジング３４のフランジ部、３５０：第二の縁部３４２の上面、４１１：六角穴付きボルト４の頭部４１の上面、４１２：六角穴付きボルト４の座面、４２１：ネジ部４２の先端 1: Base frame, 2: Air rail, 3: Leveling device, 4: Hex socket head bolt, 5: T nut, 6: Bolt, 7: Hex wrench, 11: T-shaped groove, 12A-12D: Base frame 1 Outer surface, 13, 14: End surface of base frame 1, 21: Transport surface, 23: Stepped through hole, 24: Back surface of air rail 2, 25: Step, 26: Screw hole, 27: Small diameter portion of stepped through hole 23 28: Large diameter part of the stepped through hole 23, 31: Disc spring group, 32: Indenter, 33: Spring guide, 34: Housing, 41: Head, 42: Screw part, 43: Hexagonal hole, 51, 53 : End face of T-nut 5, 52: step, 54: screw hole, 100: transport base, 111: groove bottom of T-shaped groove 11, 112: groove edge of T-shaped groove 11, 113: step, 311: dish Spring, 321: top surface of indenter 32, 322: first Edge portion, 323: bottom surface of indenter 32, 324: first through hole, 325: cylindrical portion, 326: lower surface of first edge portion 322, 331: upper surface of spring guide 33, 332: flange portion of spring guide 33 333: bottom surface of the spring guide 33, 334: second through hole, 335: a cylindrical portion of the spring guide 33, 336: a lower surface of the second edge portion 332, 337: a cylindrical hollow portion, 339: a cylindrical portion 335 341: the opening of the housing 34, 342: the second edge of the housing 34, 343: the cylindrical portion of the housing 34, 345: the inner surface of the housing 34, 346: the upper surface of the housing 34, 347: the first Three through holes, 348: bottom surface of housing 34, 349: flange portion of housing 34, 350: top surface of second edge 342, 411: with hexagonal hole Upper surface of the head portion 41 of the belt 4, 412: seat surface of the hexagon socket head bolts 4, 421: tip of the screw portion 42

Claims (6)

二つの部材の間に位置して、当該二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置であって、
前記離間距離方向に伸縮する弾性体と、
一方の端面から他方の端面に向けて第一の貫通孔が形成され、外側に向けて第一の縁部が前記一方の端面側に形成された筒状の圧子と、
一方の端面から他方の端面に向けて第二の貫通孔が形成され、外側に向けてフランジ部が前記一方の端面側に形成された筒状のガイド部材と、
内側に向けて第二の縁部が一方の開口部に形成された筒状のハウジングと、を有し、
前記ハウジングは、
前記一方の開口部と反対側の他方の開口部が前記二つの部材のうちの一方の部材と対向するように、前記二つの部材の間に配置され、
前記圧子は、
前記第一の縁部が前記第二の縁部と接して、当該圧子の前記他方の端面が前記ハウジングの一方の開口部から突出するように、前記ハウジング内に収容され、
前記ガイド部材は、
前記第二の貫通孔の軸心が前記第一の貫通孔の軸心と一致するように、前記圧子が収容された前記ハウジング内に前記ガイド部材の他方の端面側から収容されて、前記ハウジングの内面、前記ガイド部材の側面、前記第一の縁部、および前記フランジ部により筒状の中空部が形成され、
前記弾性体は、
前記ガイド部材を、前記ハウジングの他方の開口部から押し出す方向に付勢して、前記二つの部材のうちの一方の部材に圧接させるように、前記中空部に設けられ、
前記離間距離調整装置は、
前記二つの部材のうちの一方の部材に設けられた貫通孔を介して前記第二の貫通孔および前記第一の貫通孔に挿入されたボルトが、前記二つの部材のうちの他方の部材あるいは当該他方の部材に取り付けられた部材にネジ止めされることにより、当該離間距離調整装置を介して前記二つの部材を固定するとともに、当該ボルトの前記他方の部材あるいは当該他方の部材に取り付けられた部材へのネジ止め量が調整されることにより、前記弾性体が前記離間距離方向に伸縮する
ことを特徴とする離間距離調整装置。 A separation distance adjusting device that is located between two members and adjusts the separation distance between the two members,
An elastic body that expands and contracts in the distance direction;
A cylindrical indenter in which a first through hole is formed from one end surface toward the other end surface, and a first edge is formed on the one end surface side toward the outside,
A cylindrical guide member in which a second through hole is formed from one end surface toward the other end surface, and a flange portion is formed on the one end surface side toward the outside,
A cylindrical housing having a second edge formed in one opening toward the inside;
The housing is
The other opening opposite to the one opening is disposed between the two members so as to face one of the two members,
The indenter is
The first edge is in contact with the second edge, and the other end surface of the indenter is accommodated in the housing so as to protrude from one opening of the housing,
The guide member is
The housing is accommodated from the other end face side of the guide member in the housing in which the indenter is accommodated so that the axis of the second through hole coincides with the axis of the first through hole. A cylindrical hollow portion is formed by the inner surface of the guide member, the side surface of the guide member, the first edge portion, and the flange portion,
The elastic body is
The guide member is provided in the hollow portion so as to urge the guide member in a direction of pushing out from the other opening of the housing and press-contact with one of the two members .
The separation distance adjusting device includes:
A bolt inserted into the second through hole and the first through hole through a through hole provided in one of the two members is the other member of the two members or The two members are fixed via the separation distance adjusting device by being screwed to a member attached to the other member, and attached to the other member or the other member of the bolt. A separation distance adjusting device , wherein the elastic body expands and contracts in the separation distance direction by adjusting a screwing amount to a member . 請求項１に記載の離間距離調整装置であって、
前記二つの部材のうちの一方の部材は、支持対象であり、
前記二つの部材のうちの他方の部材は、ベースであり、
前記離間距離調整装置は、
前記ベース上で前記支持対象を支持し、前記ベースに対する前記支持対象の高さを調整するレベリング装置である
ことを特徴とする離間距離調整装置。 The separation distance adjusting device according to claim 1,
One of the two members is a support target,
The other member of the two members is a base,
The separation distance adjusting device includes:
It is a leveling apparatus which supports the said support object on the said base, and adjusts the height of the said support object with respect to the said base. The separation distance adjustment apparatus characterized by the above-mentioned. 請求項２に記載の離間距離調整装置であって、
前記支持対象には段付き貫通孔が形成されており、
当該離間距離調整装置は、
前記支持対象の当該離間距離調整装置が位置する側と反対側の面である搬送面側から、前記段付き貫通孔、前記第二の貫通孔、および前記第一の貫通孔に挿入されて、前記ベースあるいは当該ベースに取り付けられたナットにネジ止めされることで、前記支持対象を前記ベースに固定し、かつ前記支持対象の高さを調整するための前記ボルトをさらに有する
ことを特徴とする離間距離調整装置。 The separation distance adjusting device according to claim 2,
A stepped through hole is formed in the support object,
The separation distance adjusting device is
Inserted into the stepped through-hole, the second through-hole, and the first through-hole from the conveyance surface side that is the surface opposite to the side where the separation distance adjusting device of the support object is located, by being screwed into a nut attached to the base or the base, fixed to the supporting object to the base, and characterized by further having a bolt for adjusting the height of the supporting object Separation distance adjustment device. 請求項３に記載の離間距離調整装置であって、
前記ハウジングには、当該離間距離調整装置を、前記支持対象の前記搬送面側と反対側の面である裏面にネジ止めするための第三の貫通孔が形成されており、
当該離間距離調整装置は、
前記支持対象の裏面にネジ止めされることで、前記ガイド部材が前記ハウジング内に押し込まれ、前記弾性体にプリロードがかかる
ことを特徴とする離間距離調整装置。 The separation distance adjusting device according to claim 3,
The housing is formed with a third through-hole for screwing the separation distance adjusting device to the back surface that is the surface opposite to the conveying surface side of the support target,
The separation distance adjusting device is
The separation distance adjusting device, wherein the guide member is pushed into the housing by being screwed to the back surface of the support target, and the elastic body is preloaded. 請求項４に記載の離間距離調整装置であって、
前記ボルトによる前記支持対象の高さ調整代は、
前記弾性体にプリロードがかかった状態における、前記ハウジングの前記一方の開口部から前記圧子の前記他方の端面までの長さ、当該状態における、前記ガイド部材の前記他方の端面から前記圧子の前記一方の端面までの長さ、および前記弾性体の最大縮み量のうちの最も小さい長さの範囲内である
ことを特徴とする離間距離調整装置。 The separation distance adjusting device according to claim 4,
The height adjustment allowance of the support object by the bolt is
The length from the one opening of the housing to the other end surface of the indenter in a state where the elastic body is preloaded, and the one end of the indenter from the other end surface of the guide member in the state The distance adjustment device according to claim 1, wherein the distance is within the range of the smallest length of the length to the end surface of the elastic body and the maximum amount of contraction of the elastic body. 搬送面から搬送物を浮上させる浮上搬送装置であって、
ベースと、
前記搬送面を備え、当該搬送面から、当該搬送面の反対側の面に向けてボルトを挿入して、当該ボルトの頭を、当該搬送面と当該搬送面の反対側の面との間の位置で固定するための貫通孔が形成されたエアレールと、
支持対象として前記エアレールを前記ベース上で支持する請求項２ないし５のいずれか一項に記載の離間距離調整装置と、を有する
ことを特徴とする浮上搬送装置。 A levitation conveyance device for levitating a conveyance object from a conveyance surface,
Base and
The transport surface is provided, a bolt is inserted from the transport surface toward the surface opposite to the transport surface, and the head of the bolt is placed between the transport surface and the surface opposite to the transport surface. An air rail formed with a through hole for fixing at a position;
A floating distance adjusting device according to any one of claims 2 to 5, wherein the air rail is supported on the base as a support target.
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