JP2009029584A - Parts feeding device - Google Patents

Parts feeding device Download PDF

Info

Publication number
JP2009029584A
JP2009029584A JP2007196025A JP2007196025A JP2009029584A JP 2009029584 A JP2009029584 A JP 2009029584A JP 2007196025 A JP2007196025 A JP 2007196025A JP 2007196025 A JP2007196025 A JP 2007196025A JP 2009029584 A JP2009029584 A JP 2009029584A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
urging
urging means
adjustment
fixed
movable plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007196025A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5194610B2 (en
Inventor
Shuichi Narukawa
修一 成川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Electric Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinko Electric Co Ltd filed Critical Shinko Electric Co Ltd
Priority to JP2007196025A priority Critical patent/JP5194610B2/en
Publication of JP2009029584A publication Critical patent/JP2009029584A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5194610B2 publication Critical patent/JP5194610B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Jigging Conveyors (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a parts feeding device, capable of easily and correctly carrying out position adjustment to a device main body part. <P>SOLUTION: The parts feeding device 1 is provided with a device main body 3 having a carrying means 5 to carry parts, and a frame 2 to support the device main body 3. The frame 2 is provided with a fixed part 10 fixed on a floor surface F, a movable part 11 disposed above the fixed part 10, with the device main body 3 fixed on it, a first energization means 16 to energize the movable part 11 vertically to the fixed part 10, and a first adjusting means 17 to adjust the vertical position of the movable part 11 in a state of being pressed against the first energization means 16. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、部品の供給を行う部品供給装置に関する。   The present invention relates to a component supply apparatus that supplies components.

従来から、電子部品等の各種部品を供給する部品供給装置としては、振動を発生させることによって部品を搬送する搬送手段を備えるものがある(例えば、特許文献1参照)。このような部品供給装置は、上記搬送手段が内蔵された装置本体と、装置本体を床面上で支持する架台とによって構成される。また、架台には、高さを調整する複数のアジャストボルトが取り付けられている。そして、各アジャストボルトに螺合されている一対の上部ナット及び下部ナットの内、下部ナットを進退させることで高さを調整するとともに、上部ナットを締め付けることによって、調整した高さで固定された状態にすることが可能となっている。
特開平4−256615号公報
2. Description of the Related Art Conventionally, as a component supply device that supplies various components such as electronic components, there is a device that includes a conveyance unit that conveys a component by generating vibration (for example, see Patent Document 1). Such a component supply apparatus includes an apparatus main body in which the conveying means is incorporated, and a gantry that supports the apparatus main body on the floor surface. A plurality of adjustment bolts for adjusting the height are attached to the gantry. And among the pair of upper and lower nuts screwed to each adjustment bolt, the height is adjusted by advancing and retracting the lower nut, and the upper nut is tightened to fix the adjusted height. It is possible to be in a state.
JP-A-4-256615

しかしながら、特許文献1の部品供給装置によれば、装置本体の高さを調整するには、全てのアジャストボルトについて、上部ナットを緩めた後に、下部ナットの高さ調整を行い、再度上部ナットを締め付ける必要があり、一連の調整作業に時間を要し、調整時間の短縮が望まれていた。特に、装置本体の高さ及び水平度を正確に調整するには、上部ナットを締め付けた後に装置本体の状態を確認し、最適な状態となるまで複数回繰り返す必要があった。また、アジャストボルトに螺合された下部ナットは、上部に位置する装置本体等の荷重を支持している。このため、下部ナットの高さ調整を行うに際しては、作業者が装置本体等による負荷を支えるなどした状態で下部ナットを回転させる必要があり、作業者にとって負担であり、正確な高さ調整を行うのは困難を極めていた。     However, according to the component supply device of Patent Document 1, in order to adjust the height of the device main body, after adjusting the height of the lower nut after loosening the upper nut for all the adjusting bolts, the upper nut is again mounted. It was necessary to tighten, and it took time for a series of adjustment work, and it was desired to shorten the adjustment time. In particular, in order to accurately adjust the height and level of the apparatus main body, it is necessary to check the state of the apparatus main body after tightening the upper nut, and to repeat the operation several times until the optimum state is obtained. Further, the lower nut screwed to the adjustment bolt supports the load of the apparatus main body located at the upper part. For this reason, when adjusting the height of the lower nut, it is necessary for the operator to rotate the lower nut while supporting the load of the apparatus body, etc., which is a burden on the operator, and accurate height adjustment is required. It was extremely difficult to do.

この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、装置本体部分の位置調整、特に高さ調整を容易かつ正確に行うことが可能な部品供給装置を提供するものである。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and provides a component supply apparatus that can easily and accurately adjust the position of the apparatus main body, particularly the height.

上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の部品供給装置は、部品を搬送する搬送手段を有する装置本体と、該装置本体を支持する架台とを備え、該架台は、床面上に固定される固定部と、該固定部の上方に配置され、前記装置本体が固定された可動部と、前記固定部に対して前記可動部を鉛直方向に付勢する第一の付勢手段と、該第一の付勢手段に抗して前記可動部を押圧した状態で、鉛直方向に位置を調整することが可能な第一の調整手段とを備えることを特徴としている。
In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means.
A component supply apparatus according to the present invention includes an apparatus main body having a conveying means for conveying a component, and a gantry that supports the apparatus main body. The gantry includes a fixing unit that is fixed on a floor surface, and A movable part disposed above and fixed to the apparatus main body; a first urging means for urging the movable part in a vertical direction with respect to the fixed part; and the first urging means against the first urging means. And a first adjusting means capable of adjusting the position in the vertical direction while pressing the movable portion.

この構成によれば、装置本体と、架台の内、装置本体が固定された可動部とは、第一の付勢手段または第一の調整手段の一方によって、床面上に固定された固定部上に支持されている。そして、可動部が、第一の付勢手段または第一の調整手段の他方によって、一方に抗して付勢または押圧されていることで、装置本体と可動部とは、所定の高さで安定した状態に保たれている。また、第一の調整手段を第一の付勢手段に抗して鉛直方向に進退させると、可動部は、第一の付勢手段の付勢力に従って、または、第一の付勢手段の付勢力に抗して、第一の調整手段に追従しつつ鉛直方向へ移動することとなる。このため、第一の調整手段の鉛直方向の位置を調整するだけで、容易に可動部の鉛直方向の位置調整を行うことができ、調整後は、第一の付勢手段による付勢力と第一の調整手段による押圧力とによって可動部を安定した状態に保ち、正確に位置決め保持することができる。   According to this configuration, the device main body and the movable portion of the gantry in which the device main body is fixed are the fixed portion fixed on the floor surface by one of the first biasing means or the first adjusting means. Supported on top. The movable part is biased or pressed against the other by the other of the first biasing means or the first adjusting means, so that the apparatus main body and the movable part are at a predetermined height. It is kept stable. Further, when the first adjusting means is advanced and retracted in the vertical direction against the first urging means, the movable portion is moved according to the urging force of the first urging means or by the first urging means. It will move in the vertical direction against the force while following the first adjusting means. For this reason, the vertical position of the movable portion can be easily adjusted only by adjusting the vertical position of the first adjusting means. After the adjustment, the biasing force by the first biasing means and the first biasing force can be adjusted. The movable portion can be kept in a stable state and accurately positioned and held by the pressing force of one adjusting means.

また、前記第一の付勢手段が鉛直方向上方へ可動部を付勢するとともに、前記第一の調整手段が前記第一の付勢手段に抗して鉛直方向下方へ前記可動部を押圧していることがより好ましい。   The first urging means urges the movable part upward in the vertical direction, and the first adjustment means presses the movable part downward in the vertical direction against the first urging means. More preferably.

この構成によれば、可動部は、第一の付勢手段の付勢力によって固定部に対して支持されることとなり、第一の調整手段には、反力として、第一の付勢手段の付勢力から可動部の自重及び可動部に固定された装置本体の重量を控除した力のみが作用することとなる。このため、第一の調整手段を、第一の付勢手段の付勢力に従い、または、第一の付勢手段の付勢力に抗して容易に鉛直方向に進退させることが可能であり、より容易に可動部の位置調整を行うことが可能となる。   According to this configuration, the movable part is supported with respect to the fixed part by the urging force of the first urging means, and the first adjusting means has the reaction force of the first urging means as the reaction force. Only the force obtained by subtracting the weight of the movable part and the weight of the apparatus main body fixed to the movable part from the urging force acts. For this reason, the first adjusting means can be easily advanced and retracted in the vertical direction according to the urging force of the first urging means or against the urging force of the first urging means, It becomes possible to easily adjust the position of the movable part.

また、前記固定部に対して前記可動部を、水平面上の交差する二方向のそれぞれに付勢する第二の付勢手段及び第三の付勢手段と、前記第二の付勢手段及び前記第三の付勢手段のそれぞれに抗して前記可動部を押圧した状態で、前記二方向の対応するいずれかの方向に位置を調整することが可能な第二の調整手段及び第三の調整手段とを備えることが好ましい。   Further, the second urging means and the third urging means for urging the movable part with respect to the fixed part in each of two intersecting directions on a horizontal plane, the second urging means, and the Second adjustment means and third adjustment capable of adjusting the position in any one of the two directions in a state where the movable portion is pressed against each of the third urging means. Means.

この構成によれば、第二の付勢手段と第二の調整手段とによって、また、第三の付勢手段と第三の調整手段とによって、水平面上においても安定した状態に保たれている。また、第二の調整手段及び第三の調整手段を水平面上の二方向のそれぞれに進退させることで、第二の付勢手段及び第三の付勢手段によって付勢した状態のまま、可動部を水平面上で位置調整することが可能である。   According to this configuration, the second urging unit and the second adjusting unit, and also the third urging unit and the third adjusting unit maintain a stable state on the horizontal plane. . Further, by moving the second adjustment means and the third adjustment means forward and backward in two directions on the horizontal plane, the movable part remains in the state of being urged by the second urging means and the third urging means. Can be adjusted on the horizontal plane.

また、前記第一の付勢手段、前記第二の付勢手段、及び、前記第三の付勢手段は、前記可動部を摺動可能な状態で付勢していることが好ましい。   The first urging means, the second urging means, and the third urging means preferably urge the movable part in a slidable state.

この構成によれば、第一の付勢手段及び第一の調整手段によって鉛直方向に位置調整するに際して、第二の付勢手段及び第三の付勢手段に対して可動部が摺動することで、鉛直方向に沿って可動部を円滑に移動させて位置調整することができる。同様に、第二の付勢手段及び第二の調整手段によって、また、第三の付勢手段及び第三の調整手段によって水平面上で位置調整するに際して、第一の付勢手段に対して可動部が摺動することで、水平面上で可動部を円滑に移動させて位置調整することができる。   According to this configuration, when the position is adjusted in the vertical direction by the first urging means and the first adjusting means, the movable portion slides with respect to the second urging means and the third urging means. Thus, the position can be adjusted by smoothly moving the movable portion along the vertical direction. Similarly, when the position is adjusted on the horizontal plane by the second urging means and the second adjusting means, and by the third urging means and the third adjusting means, it is movable with respect to the first urging means. By sliding the part, it is possible to adjust the position by smoothly moving the movable part on the horizontal plane.

また、前記第一の付勢手段は、複数設けられているとともに、前記第一の調整手段は、前記第一の付勢手段のそれぞれと対向して複数設けられていることが好ましい。
この構成によれば、複数の第一の付勢手段及び第一の調整手段によって可動部をより安定的した状態に保持し、また、位置調整することができる。
Preferably, a plurality of the first urging means are provided, and a plurality of the first adjusting means are provided to face each of the first urging means.
According to this configuration, the movable portion can be held in a more stable state and the position can be adjusted by the plurality of first biasing means and the first adjusting means.

また、前記第二の調整手段と前記第三の調整手段とは、一方が二つ設けられているとともに、他方が一つ設けられていることが好ましい。
この構成によれば、第二の調整手段と第三の調整手段との一方の二つを均等に調整することにより、可動部を回転させてしまうことなく、水平面上の二方向の内、対応する一方向上に位置決めすることができる。このため、二方向の内の他方向に位置調整するに際しては、一方向上に位置決めされた状態で、第二の調整手段と第三の調整手段との他方の一つにより、他方向上の位置調整を容易に行うことができる。
In addition, it is preferable that one of the second adjustment unit and the third adjustment unit is provided, and the other is provided.
According to this configuration, by adjusting two of the second adjusting means and the third adjusting means equally, the corresponding portion of the two directions on the horizontal plane can be handled without rotating the movable part. While improving positioning. For this reason, when the position is adjusted in the other direction of the two directions, the other improved position is determined by one of the second adjusting means and the third adjusting means in the state of being positioned to be improved. Adjustment can be performed easily.

本発明の部品供給装置によれば、架台に第一の付勢手段及び第一の調整手段を備えることで、安定した状態に保ちつつ、装置本体部分の位置調整を容易かつ正確に行うことが可能である。   According to the component supply apparatus of the present invention, the first urging means and the first adjustment means are provided on the gantry, so that the position adjustment of the apparatus main body can be easily and accurately performed while maintaining a stable state. Is possible.

(第1の実施形態)
図1から図3は、この発明に係る第1の実施形態を示している。図1に示すように、本実施形態の部品供給装置1は、床面F上に固定された架台2と、架台2上に固定された装置本体であるパーツフィーダ3とを備える。パーツフィーダ3は、電子部品等の部品が投入されるボウル4と、ボウル4の下部に設けられてボウル4上の部品を周方向に搬送させる振動を起振する搬送手段である振動部5と、振動部5の下部に設けられ、架台2に固定ボルト6aによって固定された支持部6とを有する。
(First embodiment)
1 to 3 show a first embodiment according to the present invention. As shown in FIG. 1, the component supply device 1 of the present embodiment includes a gantry 2 fixed on a floor surface F, and a parts feeder 3 that is an apparatus main body fixed on the gantry 2. The parts feeder 3 includes a bowl 4 into which parts such as electronic parts are placed, and a vibration unit 5 that is provided at a lower portion of the bowl 4 and that is a conveying unit that vibrates the parts on the bowl 4 in the circumferential direction. And a support portion 6 provided at a lower portion of the vibration portion 5 and fixed to the gantry 2 by a fixing bolt 6a.

架台2は、床面F上に固定ボルト10aによって固定された固定部である固定板10と、固定板10の上方に配置された可動部である可動板11とを備える。固定板10及び可動板11は、略矩形の部材であり、それぞれ上面及び下面が鉛直方向であるZ方向に対して略直交し、略水平な面を形成するように配設されている。なお、本実施形態では、略水平な面上において、互いに略直交する固定板10及び可動板11の二辺と対応する二方向をX方向及びY方向としている。また、固定板10の上面10bには、可動板11の各辺に沿うようにしてブロック体12、13、14、15がそれぞれ固定ボルト12a、13a、14a、15aによって固定されている。なお、ブロック体13は、可動板11の縁端から中央部に向かって凹部状に形成された切欠き部11aに収容されている。   The gantry 2 includes a fixed plate 10 that is a fixed portion fixed on the floor surface F by a fixing bolt 10 a and a movable plate 11 that is a movable portion disposed above the fixed plate 10. The fixed plate 10 and the movable plate 11 are substantially rectangular members, and are arranged so that the upper surface and the lower surface thereof are substantially perpendicular to the Z direction, which is the vertical direction, and form a substantially horizontal surface. In the present embodiment, the two directions corresponding to the two sides of the fixed plate 10 and the movable plate 11 that are substantially orthogonal to each other on the substantially horizontal surface are the X direction and the Y direction. In addition, block bodies 12, 13, 14, and 15 are fixed to the upper surface 10b of the fixed plate 10 by fixing bolts 12a, 13a, 14a, and 15a, respectively, along each side of the movable plate 11. In addition, the block body 13 is accommodated in the notch part 11a formed in the recessed part shape from the edge of the movable plate 11 toward the center part.

また、可動板11は、固定板10との間にZ方向に配設された第一の付勢手段である第一のコイルバネ16(16A、16B、16C)によって固定板10に支持されている。本実施形態の場合、第一のコイルバネ16は三つ設けられていて、それぞれ下端部が固定板10の上面10bに固定されている。また、可動板11の下面11b側には、各第一のコイルバネ16と対応して凹部11cが形成されている。第一のコイルバネ16の上端部は、凹部11cに隙間を有して収容されていて、ワッシャ16aを介して摺動可能に可動板11に当接している。   The movable plate 11 is supported on the fixed plate 10 by first coil springs 16 (16A, 16B, 16C) which are first biasing means disposed in the Z direction between the movable plate 11 and the fixed plate 10. . In the case of the present embodiment, three first coil springs 16 are provided, and the lower ends thereof are fixed to the upper surface 10 b of the fixing plate 10. A concave portion 11 c is formed on the lower surface 11 b side of the movable plate 11 so as to correspond to each first coil spring 16. The upper end portion of the first coil spring 16 is accommodated in the recess 11c with a gap, and is in contact with the movable plate 11 so as to be slidable through the washer 16a.

また、可動板11の上方において、第一のコイルバネ16と対向する位置には、それぞれ、第一の調整手段である第一の調整ボルト17(17A、17B、17C)が配設されている。第一の調整ボルト17は、先端が凸面状に形成された雄ネジ部17aと、雄ネジ部17aの基端に設けられた頭部17bとで構成されている。一の第一の調整ボルト17Aは、ブロック体12に固定ボルト18aによって固定されて可動板11の上方へ張り出す固定部材18に形成されたネジ孔18bに、雄ネジ部17aが螺合され、Z方向に配設されている。そして、第一の調整ボルト17Aは、第一のコイルバネ16Aと対向する位置で、凸面状の先端が可動板11の上面11dに当接し、第一のコイルバネ16Aの付勢力に抗して下方に押圧している。   Further, above the movable plate 11, first adjustment bolts 17 (17 </ b> A, 17 </ b> B, 17 </ b> C), which are first adjustment means, are disposed at positions facing the first coil spring 16, respectively. The first adjustment bolt 17 is composed of a male screw portion 17a having a convex tip formed at the tip, and a head portion 17b provided at the base end of the male screw portion 17a. One first adjusting bolt 17A is fixed to the block body 12 by a fixing bolt 18a, and a male screw portion 17a is screwed into a screw hole 18b formed in a fixing member 18 protruding above the movable plate 11. Arranged in the Z direction. The first adjustment bolt 17A has a convex tip abutted against the upper surface 11d of the movable plate 11 at a position facing the first coil spring 16A, and moves downward against the urging force of the first coil spring 16A. Pressing.

また、他の第一の調整ボルト17B、17Cは、ブロック体13において、可動板11の上方に張り出す張出部13aにそれぞれ形成されたネジ孔13bに、雄ネジ部17aが螺合され、Z方向に配設されている。そして、第一の調整ボルト17B、17Cは、それぞれ対応する第一のコイルバネ16B、16Cと対向する位置で、凸面状の先端が可動板11の上面11dに当接し、第一のコイルバネ16B、16Cのそれぞれの付勢力に抗して下方に押圧している。   The other first adjustment bolts 17B and 17C are threaded into the screw holes 13b formed in the overhanging portions 13a of the block body 13 that protrude above the movable plate 11, respectively. Arranged in the Z direction. Then, the first adjustment bolts 17B and 17C are respectively opposed to the corresponding first coil springs 16B and 16C, and the convex tips contact the upper surface 11d of the movable plate 11, and the first coil springs 16B and 16C. It pushes downward against each urging force.

また、ブロック体13と可動板11との間には、第二の付勢手段である第二のコイルバネ19(19A、19B)がX方向に配設されている。本実施形態の場合、第二のコイルバネ19はY方向に二つ配列していて、それぞれ一端部がブロック体13に形成された凹部13cに収容されて固定されている。また、第二のコイルバネ19の他端部は、可動板11のY方向に沿う縁端に、ワッシャ19aを介して摺動可能に当接している。   Further, between the block body 13 and the movable plate 11, second coil springs 19 (19 </ b> A, 19 </ b> B) that are second urging means are disposed in the X direction. In the case of the present embodiment, two second coil springs 19 are arranged in the Y direction, and each one end is housed and fixed in a recess 13 c formed in the block body 13. The other end of the second coil spring 19 is slidably in contact with the edge of the movable plate 11 along the Y direction via a washer 19a.

また、可動板11を挟んで、第二のコイルバネ19と対向する側には、第二の調整手段である第二の調整ボルト20(20A、20B)が配設されている。本実施形態では、第二の調整ボルト20は、二つ設けられ、Y方向に配列している。第二の調整ボルト20は、先端が凸面状に形成された雄ネジ部20aと、雄ネジ部20aの基端に設けられた頭部20bとで構成されている。第二の調整ボルト20のそれぞれは、ブロック体12に形成されたネジ孔12bに、雄ネジ部20aが螺合され、X方向に配設されている。そして、第二の調整ボルト20は、凸面状の先端が可動板11のY方向に沿う縁端に当接し、第二のコイルバネ19の付勢力に抗してX方向に押圧している。なお、二つの第二のコイルバネ19及び二つの第二の調整ボルト20のそれぞれは、可動板11のY方向の中心軸に対して略対称となるように配置されている。   A second adjustment bolt 20 (20A, 20B), which is a second adjustment means, is disposed on the side facing the second coil spring 19 with the movable plate 11 interposed therebetween. In the present embodiment, two second adjustment bolts 20 are provided and arranged in the Y direction. The second adjustment bolt 20 includes a male screw portion 20a having a convex tip formed at the tip, and a head portion 20b provided at the base end of the male screw portion 20a. Each of the second adjustment bolts 20 is disposed in the X direction with a male screw portion 20 a screwed into a screw hole 12 b formed in the block body 12. The second adjustment bolt 20 has a convex tip abutted against the edge of the movable plate 11 along the Y direction and is pressed in the X direction against the urging force of the second coil spring 19. Each of the two second coil springs 19 and the two second adjustment bolts 20 is disposed so as to be substantially symmetric with respect to the central axis of the movable plate 11 in the Y direction.

また、ブロック体15と可動板11との間には、第三の付勢手段である第三のコイルバネ21(21A、21B)がY方向に配設されている。本実施形態の場合、第三のコイルバネ21はX方向に二つ配列していて、それぞれ一端部がブロック体15に形成された凹部15bに収容されて固定されている。また、第二のコイルバネ21の他端部は、可動板11のX方向に沿う縁端に、ワッシャ21aを介して摺動可能に当接している。   Further, a third coil spring 21 (21A, 21B), which is a third urging means, is disposed between the block body 15 and the movable plate 11 in the Y direction. In the case of the present embodiment, two third coil springs 21 are arranged in the X direction, and each one end is housed and fixed in a recess 15 b formed in the block body 15. The other end of the second coil spring 21 is slidably abutted on the edge of the movable plate 11 along the X direction via a washer 21a.

また、可動板11を挟んで、第三のコイルバネ21と対向する側には、第三の調整手段である第三の調整ボルト22が配設されている。本実施形態では、第二の調整ボルト22は、一つ設けられている。第三の調整ボルト22は、先端が凸面状に形成された雄ネジ部22aと、雄ネジ部22aの基端に設けられた頭部22bとで構成されている。第二の調整ボルト22は、ブロック体14に形成されたネジ孔14bに雄ネジ部22aが螺合され、Y方向に配設されている。そして、第三の調整ボルト22は、凸面状の先端が可動板11のX方向に沿う縁端に当接し、第三のコイルバネ21の付勢力に抗してY方向に押圧している。なお、第三の調整ボルト22のX方向の位置は、二つの第三のコイルバネ21の略中間位置となるように設定されている。   A third adjustment bolt 22 as a third adjustment means is disposed on the side facing the third coil spring 21 across the movable plate 11. In the present embodiment, one second adjustment bolt 22 is provided. The third adjustment bolt 22 includes a male screw portion 22a having a convex tip formed at the tip and a head portion 22b provided at the base end of the male screw portion 22a. The second adjustment bolt 22 is disposed in the Y direction with a male screw portion 22 a screwed into a screw hole 14 b formed in the block body 14. The third adjustment bolt 22 has a convex tip abutted against the edge of the movable plate 11 along the X direction and is pressed in the Y direction against the urging force of the third coil spring 21. Note that the position of the third adjustment bolt 22 in the X direction is set to be approximately the middle position between the two third coil springs 21.

次に、この実施形態の部品供給装置1の作用について説明する。
図1から図3に示すように、架台2の可動板11は、第一のコイルバネ16によってZX方向上方へ付勢されるとともに、この付勢力に抗して第一の調整ボルト17によって下方へ押圧されていることで、所定の高さで、Z方向に変位したり、傾斜したりすること無く安定した状態に保たれている。また、第二のコイルバネ19によってX方向一方側へ付勢されるとともに、この付勢力に抗して第二の調整ボルト20によってX方向他方側へ押圧されていることで、X方向の所定位置で、変位すること無く安定した状態に保たれている。同様に、第三のコイルバネ21によってY方向一方側へ付勢されるとともに、この付勢力に抗して第三の調整ボルト22によってY方向他方側へ押圧されていることで、Y方向の所定位置で、変位すること無く安定した状態に保たれている。このため、Z方向、X方向及びY方向に正確に位置決めされた状態で、パーツフィーダ3の振動部5を駆動させ、ボウル4上の部品を選別し搬送することができる。
Next, the operation of the component supply device 1 of this embodiment will be described.
As shown in FIGS. 1 to 3, the movable plate 11 of the gantry 2 is urged upward in the ZX direction by the first coil spring 16, and downward by the first adjusting bolt 17 against this urging force. By being pressed, it is maintained in a stable state at a predetermined height without being displaced in the Z direction or tilted. In addition, the second coil spring 19 is urged to one side in the X direction, and the second adjustment bolt 20 is pressed against the urging force to the other side in the X direction. Therefore, it is kept stable without being displaced. Similarly, it is urged to the Y direction one side by the third coil spring 21 and pressed against the other side in the Y direction by the third adjusting bolt 22 against this urging force. The position is kept stable without displacement. For this reason, the vibration part 5 of the parts feeder 3 can be driven in the state positioned correctly in a Z direction, an X direction, and a Y direction, and the components on the bowl 4 can be selected and conveyed.

また、パーツフィーダ3のZ方向、X方向及びY方向の各位置を調整するには、以下のように行う。まず、Z方向に位置調整するには、各第一の調整ボルト17A、17B、17Cを回転させ、Z方向に進退させる。すなわち、パーツフィーダ3をZ方向下方に位置調整するには、第一の調整ボルト17を軸回りに回転させてZ方向下方へ進出させる。この際、可動板11は、第一のコイルバネ16によってZ方向上方へ付勢された状態に保たれていて、常に第一の調整ボルト17の先端に当接した状態である。これにより、第一の調整ボルト17をZ方向下方に進出させることで、可動板11は、第一のコイルバネ16の付勢力に抗して、第一の調整ボルト17に追従しながらZ方向下方へ移動することとなる。   Moreover, in order to adjust each position of the Z direction of the parts feeder 3, an X direction, and a Y direction, it carries out as follows. First, in order to adjust the position in the Z direction, the first adjustment bolts 17A, 17B, and 17C are rotated and moved forward and backward in the Z direction. That is, in order to adjust the position of the parts feeder 3 downward in the Z direction, the first adjusting bolt 17 is rotated around the axis and advanced downward in the Z direction. At this time, the movable plate 11 is maintained in a state of being biased upward in the Z direction by the first coil spring 16, and is always in contact with the tip of the first adjustment bolt 17. Thus, by moving the first adjustment bolt 17 downward in the Z direction, the movable plate 11 moves downward in the Z direction while following the first adjustment bolt 17 against the biasing force of the first coil spring 16. Will be moved to.

また、パーツフィーダ3をZ方向上方に位置調整するには、第一の調整ボルト16をZ方向上方へ後退させる。そして、可動部11は、上記のように第一のコイルバネ16の付勢力により常に第一の調整ボルト17の先端に当接した状態であるから、第一のコイルバネ16の付勢力に従って、第一の調整ボルト17に追従しながらZ方向上方へ移動することとなる。このため、第一の調整ボルト17のZ方向の位置を調整するだけで、可動板11を安定した状態に保ちつつ容易かつ正確にZ方向に位置調整することができ、調整後は、第一のコイルバネ16による付勢力と第一の調整ボルト17による押圧力とによって可動板11を安定した状態に保ち、正確に位置決め保持することができる。特に、各第一の調整ボルト17は、第一のコイルバネ16のそれぞれと対向配置されていることで、可動板11をより安定した状態に保持し、また、位置調整することができる。   Further, in order to adjust the position of the parts feeder 3 upward in the Z direction, the first adjustment bolt 16 is retracted upward in the Z direction. Since the movable portion 11 is always in contact with the tip of the first adjustment bolt 17 by the urging force of the first coil spring 16 as described above, the first moving portion 11 is in accordance with the urging force of the first coil spring 16. It will move upward in the Z direction while following the adjustment bolt 17. For this reason, it is possible to easily and accurately adjust the position in the Z direction while maintaining the movable plate 11 in a stable state by simply adjusting the position of the first adjustment bolt 17 in the Z direction. The movable plate 11 can be kept in a stable state and accurately positioned and held by the urging force of the coil spring 16 and the pressing force of the first adjusting bolt 17. In particular, each first adjustment bolt 17 is disposed opposite to each of the first coil springs 16 so that the movable plate 11 can be held in a more stable state and can be adjusted in position.

また、X方向に調整するには、各第二の調整ボルト20A、20Bを回転させ、X方向に進退させる。そして、同様に第二のコイルバネ19による付勢により、第二の調整ボルト20を進退させるのみで、可動板11を安定した状態に保ちつつ容易かつ正確にX方向に位置調整することができる。なお、第二の調整ボルト20A、20Bのそれぞれに目盛りを設けて進退量を目視できるようにすることで、互いの進退量を等しくし、可動板11が水平面上で回転移動しないように調整することができる。   Further, in order to adjust in the X direction, the second adjusting bolts 20A and 20B are rotated and moved forward and backward in the X direction. Similarly, the position of the movable plate 11 can be easily and accurately adjusted in the X direction while keeping the movable plate 11 in a stable state only by advancing and retracting the second adjustment bolt 20 by urging by the second coil spring 19. In addition, by providing a scale on each of the second adjustment bolts 20A and 20B so that the advance / retreat amount can be visually observed, the advance / retreat amount is made equal, and the movable plate 11 is adjusted so as not to rotate and move on the horizontal plane. be able to.

また、Y方向に調整する際も同様に、第三の調整ボルト22をY方向に進退させることで、第三のコイルバネ21による付勢により、可動板11を安定した状態に保ちつつ容易かつ正確にY方向に位置調整することができる。ここで、調整するY方向には、直交するX方向を調整するための二つの第二の調整ボルト20によってガイドされている。このため、Y方向への調整は、一つの第三の調整ボルト22により、可動板11を水平面上で回転移動させること無く、容易かつ正確に位置調整することができる。   Similarly, when adjusting in the Y direction, the third adjusting bolt 22 is advanced and retracted in the Y direction, so that the movable plate 11 can be easily and accurately maintained in a stable state by the urging by the third coil spring 21. The position can be adjusted in the Y direction. Here, the Y direction to be adjusted is guided by two second adjustment bolts 20 for adjusting the orthogonal X direction. For this reason, the adjustment in the Y direction can be easily and accurately adjusted by one third adjusting bolt 22 without rotating the movable plate 11 on the horizontal plane.

ここで、第一のコイルバネ16、第二のコイルバネ19及び第三のコイルバネ21は、ワッシャ16a、19a、21aを介してそれぞれ可動板11に当接し、摺動可能としている。また、第一の調整ボルト17、第二の調整ボルト20及び第三の調整ボルト22も可動板11に当接するのみである。このため、第一の調整ボルト17によって、Z方向に位置調整するに際して、可動板11を円滑に移動させることができる。同様に、第二の調整ボルト20及び第三の調整ボルト22のそれぞれによって、X方向及びY方向のそれぞれに調整するに際して、可動板11を円滑に移動させることができる。特に、本実施形態では、第一のコイルバネ16、第二のコイルバネ19及び第三のコイルバネ21ともに、可動板11との間にワッシャ16a、19a、21aが介装されていることで、可動板11の移動をより円滑なものとしている。なお、ワッシャ16a、19a、21aと可動板11との間にグリース等を充填させることで、可動板11の移動をより円滑なものとすることができる。   Here, the first coil spring 16, the second coil spring 19, and the third coil spring 21 are in contact with the movable plate 11 via washers 16a, 19a, and 21a, respectively, so that they can slide. Further, the first adjustment bolt 17, the second adjustment bolt 20, and the third adjustment bolt 22 also only come into contact with the movable plate 11. For this reason, the movable plate 11 can be smoothly moved when the position is adjusted in the Z direction by the first adjustment bolt 17. Similarly, the movable plate 11 can be smoothly moved when the second adjustment bolt 20 and the third adjustment bolt 22 are adjusted in the X direction and the Y direction, respectively. In particular, in this embodiment, the first coil spring 16, the second coil spring 19, and the third coil spring 21 are provided with washers 16a, 19a, and 21a between the movable plate 11, so that the movable plate 11 movement is made smoother. The movable plate 11 can be moved more smoothly by filling grease or the like between the washers 16a, 19a, 21a and the movable plate 11.

以上のように、本実施形態の部品供給装置1においては、第一のコイルバネ16及び第一の調整ボルト17を備えることで、少ない部品点数で、装置重量を増大させること無く、Z方向への調整を容易かつ正確に行うことができる。また、第二のコイルバネ19及び第二の調整ボルト20、また、第三のコイルバネ21及び第三の調整ボルト22を備えることで、少ない部品点数で、装置重量を増大させること無く水平面上での調整を容易かつ正確に行うことができる。   As described above, in the component supply device 1 of the present embodiment, the first coil spring 16 and the first adjustment bolt 17 are provided, so that the number of components can be reduced in the Z direction without increasing the device weight. Adjustment can be performed easily and accurately. Further, by providing the second coil spring 19 and the second adjustment bolt 20, and the third coil spring 21 and the third adjustment bolt 22, it is possible to reduce the number of parts on the horizontal plane without increasing the apparatus weight. Adjustment can be performed easily and accurately.

ここで、第一のコイルバネ16がZ方向上方へ可動板11を付勢し、第一の調整ボルト17が可動板11をZ方向下方へ押圧する構成となっていることで、可動板11は、第一のコイルバネ16に支持されることとなる。これにより、第一の調整ボルト17には、反力として、第一のコイルバネ16の付勢力から可動板11の自重及び可動板11に固定されたパーツフィーダ3の重量を控除した力のみが作用することとなる。このため、第一のコイルバネ16がZ方向下方に付勢し、第一の調整ボルト17がZ方向上方へ押圧する構成と比較して、より容易に第一の調整ボルト17を進退させて可動板11のZ方向への調整を行うことができる。   Here, the first coil spring 16 urges the movable plate 11 upward in the Z direction, and the first adjustment bolt 17 presses the movable plate 11 downward in the Z direction. The first coil spring 16 is supported. As a result, only the force obtained by subtracting the weight of the movable plate 11 and the weight of the parts feeder 3 fixed to the movable plate 11 from the biasing force of the first coil spring 16 acts on the first adjustment bolt 17 as a reaction force. Will be. For this reason, compared with the structure in which the first coil spring 16 is biased downward in the Z direction and the first adjustment bolt 17 is pressed upward in the Z direction, the first adjustment bolt 17 is moved forward and backward more easily. Adjustment of the plate 11 in the Z direction can be performed.

(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図4及び図5は、本発明の第2の実施形態を示したものである。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. 4 and 5 show a second embodiment of the present invention. In this embodiment, members that are the same as those used in the above-described embodiment are assigned the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.

図4及び図5に示すように、この実施形態の部品供給装置30において、架台31は、床面Fに固定される固定板32と、固定板32の上方に配置される可動板33とを備える。そして、可動板33は、第一のコイルバネ16(16A、16B、16C)によって固定板32に支持されている。各第一のコイルバネ16の上端部は、可動板33の下面33a側に対応して形成された凹部33bに隙間を有して収容されていて、貫通孔34aを有するワッシャ34を介して摺動可能に可動板33に当接している。また、可動板33において、凹部33bには、上面33c側から下面33a側まで連通する貫通孔33dが形成されている。そして、各貫通孔33dには、第一の調整手段である第一の調整ボルト35(35A、35B、35C)がそれぞれ挿通されている。第一の調整ボルト35は、雄ネジ部35aと、雄ネジ部35aの基端に設けられた頭部35bとで構成されている。第一の調整ボルト35の雄ネジ部35aは、可動板33の上面33cに配置されたワッシャ36の貫通孔36a、可動板11の貫通孔33d、ワッシャ34の貫通孔34a、及び、凹部33bに挿通され、固定板32の上面32aに対応して形成されたネジ孔32bに螺合されている。そして、第一の調整ボルト35は、頭部35bが可動板11との間でワッシャ36を挟み込んだ状態となるまで締め付けられている。   As shown in FIGS. 4 and 5, in the component supply device 30 of this embodiment, the gantry 31 includes a fixed plate 32 that is fixed to the floor surface F and a movable plate 33 that is disposed above the fixed plate 32. Prepare. The movable plate 33 is supported on the fixed plate 32 by the first coil spring 16 (16A, 16B, 16C). The upper end of each first coil spring 16 is accommodated in a recess 33b formed corresponding to the lower surface 33a side of the movable plate 33 with a gap, and slides through a washer 34 having a through hole 34a. It is in contact with the movable plate 33 as possible. In the movable plate 33, a through hole 33d that communicates from the upper surface 33c side to the lower surface 33a side is formed in the recess 33b. A first adjustment bolt 35 (35A, 35B, 35C), which is a first adjustment means, is inserted into each through hole 33d. The first adjustment bolt 35 includes a male screw part 35a and a head part 35b provided at the base end of the male screw part 35a. The male screw portion 35a of the first adjustment bolt 35 is inserted into the through hole 36a of the washer 36 disposed on the upper surface 33c of the movable plate 33, the through hole 33d of the movable plate 11, the through hole 34a of the washer 34, and the concave portion 33b. It is inserted and screwed into a screw hole 32 b formed corresponding to the upper surface 32 a of the fixing plate 32. The first adjustment bolt 35 is tightened until the head portion 35b is in a state where the washer 36 is sandwiched between the first adjustment bolt 35 and the movable plate 11.

この実施形態の部品供給装置30の架台31においても、可動板33は、第一のコイルバネ16によって上方へ付勢されているとともに、第一の調整ボルト35の頭部35bによって、ワッシャ36を介して、第一のコイルバネ16の付勢力に抗してして下方に押圧されている。このため、所定の高さで安定した状態に保たれている。また、第一の調整ボルト35を回転させて、Z方向に進退させることで、可動板33を第一のコイルバネ16によって付勢されて安定した状態に保ちつつ容易かつ正確にZ方向に位置調整することができる。   Also in the gantry 31 of the component supply device 30 of this embodiment, the movable plate 33 is urged upward by the first coil spring 16 and also through the washer 36 by the head 35b of the first adjustment bolt 35. Thus, the first coil spring 16 is pressed downward against the urging force. For this reason, it is kept in a stable state at a predetermined height. Further, the first adjustment bolt 35 is rotated and moved forward and backward in the Z direction, so that the movable plate 33 is urged by the first coil spring 16 and kept in a stable state, and the position is adjusted easily and accurately in the Z direction. can do.

以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。   As mentioned above, although embodiment of this invention was explained in full detail with reference to drawings, the concrete structure is not restricted to this embodiment, The design change etc. of the range which does not deviate from the summary of this invention are included.

なお、上記実施形態では、第一のコイルバネと第一の調整ボルトとを複数組として説明したが、これに限るものでは無い。例えば、固定板に対して可動板をZ方向に案内するガイドを有し、第一のコイルバネと第一の調整ボルトとを一組とする構成としても良い。また、X方向及びY方向を調整する構成についても同様である。また、上記実施形態では、第一の付勢手段、第二の付勢手段、及び、第三の付勢手段として、コイルバネを挙げたが、これに限ることは無く、ゴムなどの弾性体を使用するなど、公知の様々な付勢手段を適用可能である。
また、上記実施形態では、装置本体の一例として、パーツフィーダを例に挙げたが、これに限るものでは無く、例えばリニアフィーダなどにも適用可能であり、少なくとも部品を搬送するための搬送手段を有する様々な装置に対して適用可能である。
In the above embodiment, the first coil spring and the first adjustment bolt are described as a plurality of sets, but the present invention is not limited to this. For example, it is good also as a structure which has a guide which guides a movable plate to a Z direction with respect to a fixed plate, and makes a 1st coil spring and a 1st adjustment bolt into 1 set. The same applies to the configuration for adjusting the X direction and the Y direction. Moreover, in the said embodiment, although the coil spring was mentioned as a 1st biasing means, a 2nd biasing means, and a 3rd biasing means, it is not restricted to this, Elastic bodies, such as rubber | gum, are used. Various known urging means such as use can be applied.
In the above embodiment, the parts feeder is taken as an example of the apparatus main body. However, the present invention is not limited to this, and can be applied to, for example, a linear feeder. It can be applied to various devices.

この発明の実施形態の部品供給装置の上面図である。It is a top view of the component supply apparatus of embodiment of this invention. この発明の実施形態の部品供給装置の正面図である。It is a front view of the components supply apparatus of embodiment of this invention. この発明の実施形態の部品供給装置の側面図である。It is a side view of the component supply apparatus of embodiment of this invention. この発明の他の実施形態の部品供給装置の正面図である。It is a front view of the components supply apparatus of other embodiment of this invention. この発明の他の実施形態の部品供給装置の側面図である。It is a side view of the components supply apparatus of other embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1、30 部品供給装置
2、31 架台
3 パーツフィーダ(装置本体)
5 振動部(搬送手段)
10、32 固定板(固定部)
11、33 可動板(可動部)
16、16A、16B、16C 第一のコイルバネ(第一の付勢手段)
17、17A、17B、17C、35、35A、35B、35C 第一の調整ボルト(第一の調整手段)
19、19A、19B 第二のコイルバネ(第二の付勢手段)
20、20A、20B 第二の調整ボルト(第二の調整手段)
21、21A、21B 第三のコイルバネ(第三の付勢手段)
22 第三の調整ボルト(第三の調整手段)
1, 30 Parts supply device 2, 31 Base 3 Parts feeder (device main body)
5 Vibration part (conveying means)
10, 32 Fixed plate (fixed part)
11, 33 Movable plate (movable part)
16, 16A, 16B, 16C First coil spring (first biasing means)
17, 17A, 17B, 17C, 35, 35A, 35B, 35C First adjustment bolt (first adjustment means)
19, 19A, 19B Second coil spring (second biasing means)
20, 20A, 20B Second adjustment bolt (second adjustment means)
21, 21A, 21B Third coil spring (third biasing means)
22 Third adjustment bolt (third adjustment means)

Claims (6)

部品を搬送する搬送手段を有する装置本体と、
該装置本体を支持する架台とを備え、
該架台は、床面上に固定される固定部と、
該固定部の上方に配置され、前記装置本体が固定された可動部と、
前記固定部に対して前記可動部を鉛直方向に付勢する第一の付勢手段と、
該第一の付勢手段に抗して前記可動部を押圧した状態で、鉛直方向に位置を調整することが可能な第一の調整手段とを備えることを特徴とする部品供給装置。
An apparatus main body having a conveying means for conveying parts;
A gantry for supporting the apparatus body,
The gantry includes a fixed portion fixed on the floor surface;
A movable part disposed above the fixed part, to which the apparatus main body is fixed;
First urging means for urging the movable part in the vertical direction with respect to the fixed part;
A component supply apparatus comprising: a first adjusting unit capable of adjusting a position in a vertical direction in a state where the movable portion is pressed against the first urging unit.
請求項1に記載の部品供給装置において、
前記第一の付勢手段が鉛直方向上方へ可動部を付勢するとともに、前記第一の調整手段が前記第一の付勢手段に抗して鉛直方向下方へ前記可動部を押圧していることを特徴とする部品供給装置。
The component supply apparatus according to claim 1,
The first urging means urges the movable part upward in the vertical direction, and the first adjustment means presses the movable part downward in the vertical direction against the first urging means. A component supply device.
請求項1または請求項2に記載の部品供給装置において、
前記固定部に対して前記可動部を、水平面上の交差する二方向のそれぞれに付勢する第二の付勢手段及び第三の付勢手段と、
前記第二の付勢手段及び前記第三の付勢手段のそれぞれに抗して前記可動部を押圧した状態で、前記二方向の対応するいずれかの方向に位置を調整することが可能な第二の調整手段及び第三の調整手段とを備えることを特徴とする部品供給装置。
In the component supply apparatus according to claim 1 or 2,
A second urging means and a third urging means for urging the movable part with respect to the fixed part in each of two intersecting directions on a horizontal plane;
A position that can be adjusted in one of the two corresponding directions while pressing the movable portion against each of the second urging means and the third urging means. A component supply apparatus comprising: a second adjustment unit and a third adjustment unit.
請求項3に記載の部品供給装置において、
前記第一の付勢手段、前記第二の付勢手段、及び、前記第三の付勢手段は、前記可動部を摺動可能な状態で付勢していることを特徴とする部品供給装置。
In the component supply apparatus according to claim 3,
The first urging means, the second urging means, and the third urging means urge the movable part in a slidable state. .
請求項1から請求項4のいずれかに記載の部品供給装置において、
前記第一の付勢手段は、複数設けられているとともに、
前記第一の調整手段は、前記第一の付勢手段のそれぞれと対向して複数設けられていることを特徴とする部品供給装置。
In the components supply apparatus in any one of Claims 1-4,
A plurality of the first urging means are provided,
The component supply apparatus according to claim 1, wherein a plurality of the first adjusting means are provided to face each of the first urging means.
請求項3または請求項4に記載の部品供給装置において、
前記第二の調整手段と前記第三の調整手段とは、一方が二つ設けられているとともに、他方が一つ設けられていることを特徴とする部品供給装置。
In the component supply apparatus according to claim 3 or 4,
One of the second adjusting means and the third adjusting means is provided, and the other is provided with one other.
JP2007196025A 2007-07-27 2007-07-27 Parts supply device Expired - Fee Related JP5194610B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007196025A JP5194610B2 (en) 2007-07-27 2007-07-27 Parts supply device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007196025A JP5194610B2 (en) 2007-07-27 2007-07-27 Parts supply device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009029584A true JP2009029584A (en) 2009-02-12
JP5194610B2 JP5194610B2 (en) 2013-05-08

Family

ID=40400526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007196025A Expired - Fee Related JP5194610B2 (en) 2007-07-27 2007-07-27 Parts supply device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5194610B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010001720A1 (en) 2009-02-12 2010-08-19 Denso Corporation, Kariya-City Single-crystal SiC substrate, single-crystal epitaxial SiC wafer and SiC semiconductor device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02113774U (en) * 1989-02-27 1990-09-12
JP2005343600A (en) * 2004-06-01 2005-12-15 Daishin:Kk Vibrating type parts feeder

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02113774U (en) * 1989-02-27 1990-09-12
JP2005343600A (en) * 2004-06-01 2005-12-15 Daishin:Kk Vibrating type parts feeder

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010001720A1 (en) 2009-02-12 2010-08-19 Denso Corporation, Kariya-City Single-crystal SiC substrate, single-crystal epitaxial SiC wafer and SiC semiconductor device
US8470091B2 (en) 2009-02-12 2013-06-25 Denso Corporation SiC single crystal substrate, SiC single crystal epitaxial wafer, and SiC semiconductor device

Also Published As

Publication number Publication date
JP5194610B2 (en) 2013-05-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202752880U (en) Clamping device for cylindrical workpiece
US20170118843A1 (en) Mounting apparatus
JP2014223717A (en) Workpiece holding device
JP2018171654A (en) Gantry table with adjustable rails
KR101625364B1 (en) Vice device
JP6266404B2 (en) Guide rail fixture
US20110062643A1 (en) Apparatus for mounting workpieces to be measured
KR20160129901A (en) Tool slide
JP5194610B2 (en) Parts supply device
CN105127630A (en) Jig for assisting adjustment of multiple pressure heads in welding equipment and application method of jig
US10525558B2 (en) Chuck body, machine center, and method for gripping a work object to be processed
JP5184051B2 (en) Position adjustment mechanism for movable platform
CN103358658A (en) Dispensing and applying system
JP2021019145A (en) Blade spacing adjustment device
KR20110037725A (en) Movable apparatus for machining
KR101600778B1 (en) Clamping apparatus for laminated workpieces
US11534846B2 (en) Wire electrical discharge machine
CN102508350B (en) Adjusting module capable of conveniently and quickly adjusting positions of detection tools
CN202330833U (en) Mechanically adjusting module
US10166656B2 (en) Hold-down clamping apparatus
CN202330829U (en) Adjustment module capable of well adjusting position of testing tool conveniently and rapidly
JP2009113141A (en) Workpiece supporter for vice
CN102654628A (en) Mechanical adjustment module
KR102137627B1 (en) Contactor positioning device for display panel inspection
JP2018176216A (en) Work-piece placement stand device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100623

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20101201

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120323

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120327

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120525

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20120525

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130108

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130121

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees