KR20140005649U

KR20140005649U - 열처리 장치

Info

Publication number: KR20140005649U
Application number: KR2020130007786U
Authority: KR
Inventors: 다카히코 하시모토; 마코토 아라이
Original assignee: 엔지케이 인슐레이터 엘티디; 엔지케이 킬른 테크 가부시키가이샤
Priority date: 2013-04-24
Filing date: 2013-09-17
Publication date: 2014-11-03
Also published as: KR200483965Y1

Abstract

본 고안은 노체의 내부에서 외부 공간으로 분위기가 유출되는 것을 보다 억제하는 것을 과제로 한다.
본 고안에 따른 열처리 장치에 상당하는 롤러 하스 킬른은, 제1 공간(11a)을 형성하는 노체(11)와, 제1 공간(11a)에 연통되는 제2 공간(30a)을 내부에 형성하며, 제1 벽부(31)와, 제2 벽부(32)를 갖는 벽체(30)를 구비하고 있다. 또한, 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 반송할 수 있는 회전체(60)가 제1 공간(11a) 측으로부터 외부 공간을 향하여 제1 벽부(31), 제2 공간(30a), 제2 벽부(32)를 이 순서로 관통하여 일단이 제2 벽부(32)로부터 돌출되어 있다. 제1 벽부(31)에는, 회전체(60)를 회전 가능하게 지지하면서 회전체(60)의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극(44a, 45a)을 갖는 제1 베어링(40)이 설치되어 있다. 또한 제2 벽부(32)에는 회전체(60)를 회전 가능하게 지지하면서 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높은 제2 베어링(50)이 설치되어 있다.

Description

열처리 장치{HEAT TREATMENT APPARATUS}

본 고안은 열처리 장치에 관한 것이다.

종래, 세라믹스 제품 등의 피처리물을 롤러에 의해 반송하면서 피처리물을 열처리하는 열처리 장치가 알려져 있다. 예컨대, 특허문헌 1에는, 터널형의 노체(爐體)와, 노체의 내부 공간에 설치된 다수의 롤러와, 피처리물을 소성하기 위한 가스 버너를 구비한 롤러 하스 킬른(roller hearth kiln)(롤러 하스 연속로)이 기재되어 있다.

특허문헌 1: 일본 특허 공개 평성04-270884호 공보

그런데, 통상 이러한 열처리 장치에 있어서, 롤러 등을 포함하는 회전체는 노체를 관통하고 있어, 노체 외부에 배치된 모터의 구동축과 접속되어 있다. 모터를 노체 외부에 배치하는 이유는, 노체의 내부가 예컨대 고온으로 되는 경우가 있는 등, 노체 내부의 환경이 모터를 배치하기에 알맞지 않기 때문이다. 이 때문에, 노체에는 회전체가 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 그리고, 이러한 관통 구멍이 존재함으로써, 회전체의 축 방향을 따라서 노체 내부의 분위기가 노 밖으로 유출되어 버리는 경우가 있었다.

본 고안은 이러한 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 노체의 내부에서 외부 공간으로 분위기가 유출되는 것을 보다 억제하는 것을 주된 목적으로 한다.

본 고안의 열처리 장치는,

처리 공간 내에서 피처리물에 대한 열처리를 행하는 열처리 장치로서,

상기 처리 공간으로서의 제1 공간을 형성하는 노체와,

상기 제1 공간에 연통되는 제2 공간을 내부에 형성하며, 제1 벽부와, 제2 벽부와, 상기 제2 공간 내에 외부로부터 가스를 공급할 수 있는 제2 공간 공급구를 갖는 벽체와,

상기 제1 공간 내에서 상기 피처리물을 반송할 수 있으며, 상기 제1 공간 측으로부터 외부 공간을 향하여 상기 제1 벽부, 상기 제2 공간, 상기 제2 벽부를 이 순서로 관통하여 일단이 상기 제2 벽부로부터 돌출되어 있는 회전체와,

상기 회전체의 상기 일단측과 접속되어 상기 회전체를 회전 구동할 수 있는 구동 수단과,

상기 제1 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련되고, 상기 회전체를 회전 가능하게 지지하면서 상기 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을 갖는 구름 베어링인 제1 베어링과,

상기 제2 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련되고, 상기 제1 베어링과 비교하여 시일성이 높은 시일 부재를 포함하는 것이다.

이 본 고안의 열처리 장치는, 처리 공간으로서의 제1 공간을 형성하는 노체와, 상기 제1 공간에 연통하는 제2 공간을 내부에 형성하며, 제1 벽부와, 제2 벽부와, 상기 제2 공간 내에 외부로부터 가스를 공급할 수 있는 제2 공간 공급구를 갖는 벽체를 포함하고 있다. 또한, 제1 공간 내에서 피처리물을 반송할 수 있는 회전체가, 제1 공간 측으로부터 외부 공간을 향하여 제1 벽부, 제2 공간, 제2 벽부를 이 순서로 관통하여 일단이 제2 벽부로부터 돌출되어 있다. 그리고, 이 회전체의 일단측과 접속된 구동 수단이 회전체를 회전 구동시킴으로써, 제1 공간 내에서 회전체에 의해 피처리물을 반송하면서 제1 공간 내에서 피처리물의 열처리를 행할 수 있다. 이때, 회전체가 제1 벽부를 관통하는 부분에는, 회전체를 회전 가능하게 지지하면서 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을 갖는 구름 베어링인 제1 베어링이 마련되어 있다. 또한, 회전체가 제2 벽부를 관통하는 부분에는, 제1 베어링과 비교하여 시일성이 높은 시일 부재가 마련되어 있다. 이 때문에, 예컨대 열처리 중에 있어서, 제1 공간의 분위기와 비교하여 고압의 가스를 제2 공간 공급구를 통해 상기 제2 공간 내에 공급함으로써, 제2 공간에 공급된 가스는 시일 부재보다도 시일성이 낮은 제1 베어링의 간극으로부터 제1 공간 측을 향하려고 한다. 이 때문에, 제1 공간으로부터 제1 베어링의 간극을 지나 분위기 가스가 유출되는 것을, 제2 공간으로부터 제1 공간을 향하려고 하는 가스가 억누르게 된다. 따라서, 노체의 내부에서 외부 공간으로 분위기가 유출되는 것을 보다 억제할 수 있다.

여기서, 시일 부재가 「제1 베어링과 비교하여 시일성이 높다」란, 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극이, 제1 베어링과 비교하여 시일 부재 쪽이 작은 것을 의미한다. 또한, 시일 부재가 「제1 베어링과 비교하여 시일성이 높다」란, 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을 시일 부재가 갖지 않는 (밀봉되어 있는) 경우도 포함한다. 「제1 공간에 연통되는 제2 공간」은 제1 공간과 제2 공간이 바로 연통되어 있는 경우나, 제1 공간과 제2 공간이 다른 공간(단, 외부 공간 이외의 공간)을 통해 연통되어 있는 경우를 포함한다.

본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 제1 베어링보다도 상기 회전체의 상기 일단측을 회전 가능하게 지지하는 일단측 베어링을 구비하고, 상기 시일 부재는, 축 시일일 수 있다. 이 경우에, 상기 일단측 베어링은, 상기 제2 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련될 수 있다. 또한, 상기 일단측 베어링은, 외부 공간에서 상기 회전체를 지지할 수 있다.

본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 시일 부재는, 상기 제2 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련되고, 상기 회전체를 회전 가능하게 지지하면서 상기 제1 베어링과 비교하여 시일성이 높은 구름 베어링인 제2 베어링일 수 있다. 이와 같이 함으로써, 전술한 축 시일의 역할과 일단측 베어링의 역할을 제2 베어링이 겸할 수 있다.

본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 제2 베어링은, 내륜과, 외륜과, 상기 내륜 및 상기 외륜의 사이에 수납된 복수의 전동체(轉動體)와, 상기 내륜의 축 방향으로 상기 복수의 전동체로부터 어긋난 위치에서 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 배치된 차폐 부재를 갖고 있고, 상기 제2 베어링의 차폐 부재는, 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 상기 제1 베어링의 상기 간극과 비교하여 작은 간극을 형성하고 있거나, 또는 상기 내륜과 상기 외륜의 사이를 밀봉하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제2 베어링에 있어서 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을, 차폐 부재를 이용하여 용이하게 작게 하거나 또는 밀봉할 수 있다. 이 때문에, 제2 공간의 분위기(예컨대 제2 공간 공급구로부터 공급된 가스)가 제2 베어링의 간극을 지나 외부 공간으로 유출되는 것을 보다 억제할 수 있다. 한편, 제2 베어링의 차폐 부재는 제2 베어링의 내륜과 외륜의 사이를 밀봉하고 있는 것이 바람직하다.

제2 베어링이 차폐 부재를 갖는 양태의 본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 제1 베어링은, 내륜과, 외륜과, 상기 내륜 및 상기 외륜의 사이에 수납된 복수의 전동체와, 상기 내륜의 축 방향으로 상기 복수의 전동체로부터 어긋난 위치에서 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 배치된 차폐 부재를 갖고 있고, 상기 제1 베어링의 차폐 부재는, 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 상기 간극을 형성하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제1 베어링에 있어서 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을, 차폐 부재를 이용하여 용이하게 작게 할 수 있다. 이에 따라, 가스가 제2 공간으로부터 제1 공간을 향하게 하도록 하면서, 제1 베어링의 간극을 통해 제2 공간으로부터 제1 공간으로 먼지 등의 미립자가 침입하는 것을 억제하기 쉽다.

본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 제1 베어링 및 상기 제2 베어링은, 볼 베어링으로 하여도 좋다. 즉, 상기 제1 베어링 및 상기 제2 베어링의 각각은, 내륜과, 외륜과, 상기 내륜 및 상기 외륜의 사이에 수납된 복수의 구형의 전동체를 갖는 것으로 하더라도 좋다. 한편, 제1 베어링 및 상기 제2 베어링은 볼 베어링에 한정되지 않고, 예컨대 전동체가 원기둥형인 것으로 하여도 좋다. 전동체는, 자신이 회전함으로써 내륜이 회전하는 등, 외륜과 내륜과의 상대적인 위치 어긋남을 가능하게 하는 부재이면 된다.

본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 열처리는, 상기 피처리물의 가열 처리를 포함하고 있더라도 좋다. 여기서, 제1 공간에 있어서 가열 처리를 포함하는 처리가 행해지는 경우, 노체 내에서 회전체가 가열되는 등에 의해 제1 베어링이 가열되는 경우가 있다. 이러한 경우에, 제2 공간 공급구로부터 제2 공간에 가스를 공급하고, 제2 공간으로부터 제1 베어링의 간극을 통해 제1 공간을 향하는 흐름을 생기게 함으로써, 이 가스의 흐름에 의해 제1 베어링을 냉각하여 가열을 억제할 수 있다.

본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 노체는, 상기 제1 공간 내의 분위기를 배기할 수 있는 배기구를 갖고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제2 공간 공급구, 제2 공간 및 제1 베어링의 간극을 통해 제1 공간 내에 가스를 공급하는 경우에, 배기구로부터 분위기를 배기함으로써 제1 공간 내의 분위기의 압력을 조정하기 쉽다. 이 경우에 있어서, 상기 배기구는 상기 노체의 외부에서 배기 밸브에 접속되어 있더라도 좋다. 또한, 본 고안의 열처리 장치는, 배기구에 접속되어 제1 공간 내의 분위기를 흡인하는 배기 수단을 구비하고 있더라도 좋다.

본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 노체는, 상기 제1 공간 내에 가스를 공급할 수 있는 제1 공간 공급구를 갖고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제2 공간 및 제1 베어링의 간극을 통하지 않고서 제1 공간에 가스를 공급할 수 있기 때문에, 제1 공간 내의 분위기(분위기 가스의 조성이나 기압 등)를 조정하기 쉽다. 한편, 제1 공간 공급구로부터 제1 공간에 공급하는 가스와, 제2 공간 공급구로부터 제2 공간에 공급하는 가스는, 조성 및 압력이 같더라도 좋고, 조성 및 압력 중 적어도 한쪽이 다르더라도 좋다.

본 고안의 열처리 장치는, 상기 제1 공간 공급구에 접속된 제1 배관과, 상기 제2 공간 공급구에 접속된 제2 배관과, 상기 제1 배관 및 상기 제2 배관에 접속된 공통 배관을 구비하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제1 공간 공급구를 통한 제1 공간으로의 가스 공급과, 제2 공간 공급구를 통한 제2 공간으로의 가스 공급 모두를, 공통 배관에 가스를 공급함으로써 함께 행할 수 있다. 한편, 제1 배관은, 공통 배관 이외의 경로로부터의 가스도 유통할 수 있는 것으로 하더라도 좋다. 이렇게 하면, 공통 배관에 가스를 공급함으로써 제1 공간과 제2 공간 모두에 가스를 공급할 수 있게 하면서, 제1 배관에 다른 경로로부터의 가스도 유통(공통 배관으로부터의 가스와 혼합)시킴으로써, 제1 공간 공급구를 통해 공급하는 가스와 제2 공간 공급구를 통해 공급하는 가스의 조성을 다르게 할 수 있다.

본 고안의 열처리 장치는, 상기 제1 배관에 접속되어 상기 제1 배관의 유량을 조정하는 제1 유량 조정 밸브와, 상기 제2 배관에 접속되어 상기 제2 배관의 유량을 조정하는 제2 유량 조정 밸브를 구비하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제1 공간 및 제2 공간으로 유입되는 가스의 유량을 조정할 수 있다.

본 고안의 열처리 장치는, 상기 공통 배관과 상기 제1 배관 중 적어도 한쪽에 설치되고 상기 제1 유량 조정 밸브보다도 상류 측에 설치된 제1 감압 밸브와, 상기 제2 배관 중 상기 제2 유량 조정 밸브보다도 상류 측에 설치된 제2 감압 밸브를 구비하며, 상기 제1 감압 밸브는, 하류 측의 가스의 압력을 상기 제1 공간의 분위기보다도 고압인 제1 압력까지 감압하고, 상기 제2 감압 밸브는, 하류 측의 가스의 압력을 상기 제1 공간의 분위기보다도 고압인 제2 압력까지 감압하더라도 좋다. 이렇게 하면, 감압 후의 압력(제1 압력 및 제2 압력)보다도 고압의 가스를 공통 배관으로부터 공급할 수 있다. 이 때문에, 제1 감압 밸브보다 상류 측이나 제2 감압 밸브보다 상류 측의 배관을 가늘게 하더라도 필요한 가스의 유량을 확보할 수 있다.

본 고안의 열처리 장치는, 상기 제1 공간과 상기 제2 공간과의 사이에 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간과 연통되는 제3 공간을 형성하고, 상기 회전체에 관통되어 있는 제3 공간 형성 부재를 구비하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 제1 공간과 제2 공간 사이에 제3 공간이 존재함으로써, 예컨대 노체로부터의 열전도에 의해 벽체의 제1 베어링, 시일 부재의 온도가 변화되는 등의, 노체로부터 벽체로의 영향을 보다 억제할 수 있다. 또한, 이 경우에 있어서, 본 고안의 열처리 장치는, 상기 제3 공간 내에서 상기 회전체를 회전 가능하게 지지하는 지지 수단을 더 구비하고 있더라도 좋다.

제3 공간 형성 부재를 구비하는 양태의 본 고안의 열처리 장치에 있어서, 상기 회전체는, 상기 제1 공간 내에서 상기 피처리물을 반송할 수 있는 반송 롤러와, 상기 구동 수단에 의해 회전 구동되고 상기 벽체를 관통하는 구동축과, 상기 구동축 중 상기 반송 롤러 측의 단부가 삽입되어 이 단부와 접속된 중공 파이프형의 홀더와, 상기 반송 롤러 중 상기 구동축 측에 고정된 롤러 캡과, 상기 홀더와 상기 롤러 캡에 삽입되어 상기 홀더 및 상기 롤러 캡에 접속된 연결 샤프트를 구비하며, 상기 홀더, 상기 롤러 캡 및 상기 연결 샤프트는 상기 제3 공간 내에 배치되어 있고, 상기 롤러 캡의 내주면과 상기 연결 샤프트와의 사이에는 클리어런스가 있으며, 상기 연결 샤프트는 상기 롤러 캡에 대하여 상기 클리어런스에 의해 축 오프셋 가능하게 접속되어 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 연결 샤프트가 롤러 캡에 대하여 축 오프셋 가능하게 접속되어 있음으로써, 반송 롤러와 구동축에 편심(축 오프셋)이 생기더라도, 구동축을 통해 반송 롤러에 구동 수단으로부터의 회전 구동력을 전달할 수 있다. 이 경우에 있어서, 본 고안의 열처리 장치는, 상기 제3 공간 내에서 상기 롤러 캡을 회전 가능하게 지지하는 지지 수단을 더 구비하고 있더라도 좋다.

본 고안의 열처리 장치는, 상기 제1 공간의 분위기와 비교하여 고압의 가스를 상기 제2 공간 내에 공급하는 가스 공급 수단을 구비하고 있더라도 좋다. 이렇게 하면, 가스 공급 수단으로부터의 가스에 의해, 제2 공간으로부터 제1 베어링의 간극을 지나 제1 공간을 향하는 가스의 흐름을 생기게 할 수 있다.

본 고안의 열처리 장치는, 상기 제1 공간 내에 배치된 가열 수단을 구비하고 있더라도 좋다. 또한, 본 고안의 열처리 장치는, 제1 공간 내에서 상기 피처리물을 반송할 수 있는 복수의 회전체를 갖고 있더라도 좋다. 이 경우, 복수의 회전체 중 하나 이상이 「제1 공간 측으로부터 외부 공간을 향하여 제1 벽부, 제2 공간, 제2 벽부를 이 순서로 관통하여 일단이 제2 벽부로부터 돌출되어 있는」 것이면 된다. 또한, 벽체는 하나의 회전체가 관통하고 있는 것으로 하여, 본 고안의 열처리 장치가 복수의 벽체를 갖고 있더라도 좋다. 복수의 회전체에 관통되어 있는 벽체가 있더라도 좋다.

도 1은 롤러 하스 킬른(10)의 종단면도이다.
도 2는 도 1의 A-A 단면도이다.
도 3은 도 2의 구동측 커버(26) 및 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다.
도 4는 변형예의 롤러 하스 킬른에 있어서 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다.
도 5는 변형예의 롤러 하스 킬른에 있어서 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다.

이어서, 본 고안의 실시형태에 관해서 도면을 이용하여 설명한다. 도 1은 본 고안의 열처리 장치의 일 실시형태인 롤러 하스 킬른(10)의 종단면도이다. 도 2는 도 1의 A-A 단면도이다. 도 3은 도 2의 구동측 커버(26) 및 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다. 롤러 하스 킬른(10)은, 노체(11)의 제1 공간(11a) 내에서 복수의 피처리물(96)을 배치한 트레이(95)를 반송하면서 피처리물(96)에 대한 열처리를 행하는 장치이다. 롤러 하스 킬른(10)은, 노체(11)와, 종동측 커버(22)와, 구동측 커버(26)와, 벽체(30)와, 반송 롤러(61)를 포함하는 복수의 회전체(60)와, 가스 공급 장치(70)와, 배기 장치(86)를 구비하고 있다(도 1, 도 2 참조).

노체(11)는 대략 직방체로 형성된 단열 구조체이며, 내부에서 피처리물(96)의 열처리를 행하는 처리 공간인 제1 공간(11a)과, 노체의 전단면(12)(도 1의 좌단면) 및 후단면(13)(도 1의 우단면)에 각각 형성되고 외부로부터 제1 공간(11a)으로의 출입구가 되는 개구(14, 15)를 갖고 있다(도 1). 이 노체(11)는, 전단면(12)에서부터 후단면(13)까지의 길이가 예컨대 2 m~15 m이다. 제1 공간(11a) 내에는, 복수의 반송 롤러(61)가 반송 방향(도 1의 전후 방향)을 따라서 개구(14)에서부터 개구(15)에 걸쳐 배치되어 있다. 이 반송 롤러(61)가 회전함으로써, 복수의 피처리물(96)이 놓인 트레이(95)는, 개구(14)에서부터 제1 공간(11a) 안을 통과하여 개구(15)까지 반송된다. 한편, 반송 롤러(61)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 반송 방향과 직교하는 방향(도 2의 좌우 방향)으로 노체(11)를 관통하고 있다. 노체(11)는 좌우 방향으로 관통 구멍(16), 관통 구멍(17)을 갖고 있고, 반송 롤러(61)의 일단(도 2의 좌단)이 노체(11)의 관통 구멍(16)을 관통하여 구동측 커버(26) 내까지 도달하며, 타단(도 2의 우단)이 노체(11)의 관통 구멍(17)을 관통하여 종동측 커버(22) 내까지 도달하고 있다. 또한, 제1 공간(11a) 내에는, 복수의 반송 롤러(61)를 상하로 사이에 두도록, 노체(11)의 천장 및 바닥부에 복수의 히터(20)가 배치되어 있다. 히터(20)는, 길이 방향이 반송 방향에 직교하도록 배치되어 있으며, 반송 방향을 따라서 복수 배치되어 있다. 히터(20)는 제1 공간(11a) 안을 통과하는 피처리물(96)을 가열하는 것으로, 예컨대 SiC 히터 등의 세라믹스 히터로서 구성되어 있다. 한편, 히터(20)에 한정되지 않고, 가스 버너 등, 피처리물(96)의 열처리를 행할 수 있는 가열 장치이면 된다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 노체(11)의 천장 부분에는, 배기 장치(86)와 접속되어 제1 공간(11a)의 분위기를 배기할 수 있는 배기구(19)가 형성되어 있다. 또한, 노체(11)의 바닥부에는, 가스 공급 장치(70)와 접속되어 제1 공간(11a)에 가스를 공급할 수 있는 제1 공간 공급구(18)가 형성되어 있다. 한편, 노체(11)는, 개구(14, 15), 관통 구멍(16, 17), 제1 공간 공급구(18), 배기구(19)를 제외하고는 기밀한 구조를 하고 있고, 이들 부분 이외에서는, 외부 공간 등의 다른 공간과의 기체의 유출입이 거의 일어나지 않게 되어 있다. 또한, 개구(14), 개구(15)는 기밀 구조의 도시하지 않는 치환실 내에 개구되어 있더라도 좋다.

종동측 커버(22)는 노체(11)의 우측(도 2의 우측)에 배치된 대략 직방체의 구조체이다. 이 종동측 커버(22)는, 관통 구멍(17)을 관통한 반송 롤러(61)의 타단이 롤러 하스 킬른(10)의 외부 공간에 노출되지 않도록 반송 롤러(61)의 타단을 덮고 있다. 종동측 커버(22)는, 노체(11) 측의 관통 구멍(17)에 연속해 있는 개구를 제외하고 기밀한 구조를 하고 있어, 종동측 커버(22) 내의 공간과 외부 공간에서 기체의 유출입이 거의 일어나지 않게 되어 있다. 또한, 종동측 커버(22) 내에는, 반송 롤러(61)를 하측으로부터 지지하는 종동측 지지 롤러(24)가 배치되어 있다. 종동측 지지 롤러(24)는, 예컨대 반송 롤러(61)의 하측 및 반송 롤러(61)의 중심축으로부터 전후(도 2의 지면 바로 앞 및 안쪽)로 어긋난 위치에 2개의 롤러를 나란히 놓은 것으로, 이 복수의 롤러에 의해서 반송 롤러(61)를 회전 가능하게 지지하고 있다.

구동측 커버(26)는, 노체(11)의 좌측(도 2의 좌측)에 배치된 대략 직방체의 구조체이며, 내부에 제3 공간(26a)을 형성하고 있다. 구동측 커버(26)는 노체(11)측(도 2의 우측)이 개구되어 있고, 제3 공간(26a)은 관통 구멍(16)을 통해 제1 공간(11a)과 연통되어 있다. 제3 공간(26a) 내에는, 관통 구멍(16)을 관통한 반송 롤러(61)의 일단이 도달하고 있고, 구동측 커버(26)는 반송 롤러(61)의 일단을 덮고 있다. 또한, 구동측 커버(26)의 좌측에는 제3 공간(26a)에 연통되는 개구(27)가 형성되어 있고, 반송 롤러(61)에 접속된 구동축(65)이 개구(27)를 관통하고 있다(도 3 참조). 구동측 커버(26)는, 개구(27)나 노체(11) 측의 관통 구멍(16)에 연속해 있는 개구를 제외하고 기밀한 구조를 하고 있고, 이들 부분 이외에서는, 제3 공간(26a)과 제1 공간(11a), 제2 공간(30a), 외부 공간과의 사이에서 기체의 유출입이 거의 일어나지 않게 되어 있다. 제3 공간(26a) 내에는 회전체(60)[롤러 캡(62)]를 하측으로부터 지지하는 구동측 지지 롤러(28)가 배치되어 있다. 구동측 지지 롤러(28)는 종동측 지지 롤러(24)와 같은 식의 구성이며, 회전체(60)[롤러 캡(62)]를 회전 가능하게 지지하고 있다.

벽체(30)는 구동측 커버(26)의 좌측(도 2의 좌측)에 배치된 대략 직방체의 구조체이다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 벽체(30)는 판형의 부재인 제1 벽부(31)와 제2 벽부(32)를 갖고 있고, 이들을 포함하는 복수의 판형 부재를 접착제나 볼트 체결 등에 의해 조합하여 대략 직방체의 구조체로 만든 것이다. 이에 따라 벽체(30)의 내부에는 제2 공간(30a)이 형성되어 있다. 제1 벽부(31) 및 제2 벽부(32)는 회전체(60)의 축 방향(도 3의 좌우 방향)을 따라서 제2 공간(30a)을 사이에 두도록 대향하여 배치되어 있다. 제1 벽부(31)는, 노체(11) 측(도 3의 우측)의 면이 구동측 커버(26)의 벽체(30) 측(도 3의 좌측)의 면과 접하고 있고, 구동측 커버(26)의 개구(27)를 막도록 배치되어 있다. 이에 따라, 제1 벽부(31)는, 노체(11) 측의 면이 제1 공간(11a)에 연속해 있는 제3 공간(26a)에 면하고 있고, 노체(11)와는 반대쪽의 면이 제2 공간(30a)에 면하고 있다. 즉, 제1 벽부(31)는 제3 공간(26a)과 제2 공간(30a)을 구획하고 있다. 또한, 제2 벽부(32)는, 노체(11) 측의 면이 제2 공간(30a)에 면하고 있고, 노체(11)와는 반대쪽의 면이 외부 공간에 면하고 있다. 즉, 제2 벽부(32)는 제2 공간(30a)과 외부 공간을 구획하고 있다. 벽체(30)의 천장(도 3의 상부)에는, 가스 공급 장치(70)와 접속되어 제2 공간(30a)에 가스를 공급할 수 있는 제2 공간 공급구(33)가 형성되어 있다. 또한, 제1 벽부(31)는 구동축(65)에 의해서 관통되어 있고, 이 관통 부분에는 제1 베어링(40)이 부착되어 있다. 마찬가지로, 제2 벽부(32)는 구동축(65)에 의해서 관통되어 있고, 이 관통 부분에는 제2 베어링(50)이 부착되어 있다. 한편, 벽체(30)는, 제2 공간 공급구(33), 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)(도 3의 확대 부분 참조)을 제외하고 기밀한 구조를 하고 있고, 이들 부분 이외에서는, 외부 공간이나 제3 공간(26a)과의 기체의 유출입이 거의 일어나지 않게 되어 있다.

제1 베어링(40)은 볼 베어링으로서 구성된 구름 베어링이며, 회전체(60)[구동축(65)]를 회전 가능하게 지지하는 것이다. 제1 베어링(40)은 내륜(41)과, 외륜(42)과, 복수의 구체(43)와, 차폐 부재(44, 45)를 갖고 있다. 내륜(41)은, 중심을 구동축(65)이 관통하고 있으며, 구동축(65)과 일체로 회전 가능하게 구성되어 있다. 외륜(42)은, 내륜(41)과 동심원형으로 배치된 부재이다. 외륜(42)의 외주면은 제1 벽부(31)에 부착되어 고정되어 있다. 외륜(42)의 외주면과 제1 벽부(31)의 관통 부분의 내주면과의 사이는, 예컨대 밀봉재 등에 의해 밀봉되어 있다. 구체(43)는 내륜(41)과 외륜(42)의 사이에서 회전 가능하게 배치된 부재이다. 이 구체(43)는, 내륜(41)의 외주면 및 외륜(42)의 내주면을 따라서 원주 방향으로 등간격으로 복수 배치되어 있다. 구동축(65)의 회전에 따라 내륜(41)이 회전하면, 회전하는 내륜(41)과 고정된 외륜(42)과의 상대적인 위치 어긋남을 구체(43)가 회전함으로써 흡수한다. 이에 따라, 제1 베어링(40)은 구동축(65)을 회전 가능하게 지지한다. 차폐 부재(44, 45)는, 내륜(41)의 축 방향(도 3의 좌우 방향)으로 복수의 구체(43)로부터 어긋난 위치에서 내륜(41)과 외륜(42)과의 사이에 배치된 링 형상의 부재이다. 한편, 차폐 부재(44)는 구체(43)보다도 제1 공간(11a) 측에 배치되고, 차폐 부재(45)는 구체(43)보다도 제2 공간(30a) 측에 배치되어 있다. 차폐 부재(44, 45)는, 예컨대 강판의 표면에 합성고무 등의 탄성체를 고착시킨 부재이며, 외륜(42)의 내주면에 형성된 홈에 차폐 부재(44, 45)의 외주면의 링 형상 돌기가 끼워져 들어감으로써 외륜(42)에 고정되어 있다. 또한, 차폐 부재(44, 45)의 내주면에도 링 형상의 돌기가 형성되어 있고, 이 돌기는 내륜(41)의 외주면의 홈과의 사이에 간극(44a, 45a)을 각각 형성하고 있다. 즉, 차폐 부재(44, 45)는 간극(44a, 45a)을 남기고 내륜(41)과 외륜(42) 사이의 간극을 막고 있다. 이 간극(44a, 45a)은, 내륜(41)의 홈과 차폐 부재(44, 45)의 돌기의 사이에 놓이고 라비린스(labyrinth) 형상을 하고 있다. 간극(44a)과 간극(45a)은 복수의 구체(43) 사이의 간극을 통해 연통되어 있다. 이 때문에, 제1 베어링(40)은 제2 공간(30a)으로부터, 간극(45a), 복수의 구체(43) 사이의 간극, 간극(44a)을 경유하여 제3 공간(26a)에 도달하는 가스의 유로를 형성하고 있고, 이에 따라 제2 공간(30a)과 제3 공간(26a)은 연통되어 있다.

제2 베어링(50)은 볼 베어링으로서 구성된 구름 베어링이며, 회전체(60)[구동축(65)]를 회전 가능하게 지지하는 것이다. 제2 베어링(50)은 내륜(51)과, 외륜(52)과, 복수의 구체(53)와, 차폐 부재(54, 55)를 갖고 있다. 내륜(51)은, 중심을 구동축(65)이 관통하고 있으며, 구동축(65)과 일체로 회전 가능하게 구성되어 있다. 외륜(52)은, 내륜(51)과 동심원형으로 배치된 부재이다. 외륜(52)의 외주면은, 제2 벽부(32)에 부착되어 고정되어 있다. 외륜(52)의 외주면과 제2 벽부(32)의 관통 부분의 내주면과의 사이는, 예컨대 밀봉재 등에 의해 밀봉되어 있다. 구체(53)는, 내륜(51)과 외륜(52)과의 사이에서 회전 가능하게 배치된 부재이다. 이 구체(53)는 내륜(51)의 외주면 및 외륜(52)의 내주면을 따라서 원주 방향으로 등간격으로 복수 배치되어 있다. 구동축(65)의 회전에 따라 내륜(51)이 회전하면, 회전하는 내륜(51)과 고정된 외륜(52)과의 상대적인 위치 어긋남을 구체(53)가 회전함으로써 흡수한다. 이에 따라, 제2 베어링(50)은 구동축(65)을 회전 가능하게 지지한다. 차폐 부재(54, 55)는, 내륜(51)의 축 방향(도 3의 좌우 방향)으로 복수의 구체(53)로부터 어긋난 위치에서 내륜(51)과 외륜(52)과의 사이에 배치된 링 형상의 부재이다. 한편, 차폐 부재(54)는 구체(53)보다도 제2 공간(30a) 측에 배치되고, 차폐 부재(55)는 구체(53)보다도 외부 공간 측에 배치되어 있다. 차폐 부재(54, 55)는, 예컨대 강판의 표면에 합성고무 등의 탄성체를 고착시킨 부재이며, 외륜(52)의 내주면에 형성된 홈에 차폐 부재(54, 55)의 외주면의 링 형상 돌기가 끼워져 들어감으로써 외륜(52)에 고정되어 있다. 또한, 제1 베어링(40)의 차폐 부재(44, 45)와는 달리, 차폐 부재(54, 55)의 내주면에 형성된 링 형상의 돌기는 내륜(51)의 외주면의 홈 안에 끼워져 들어가 홈의 바닥부와 접촉하고 있다. 이 때문에, 차폐 부재(54, 55)와 내륜(51)과의 사이에 간극이 없고, 차폐 부재(54, 55)는 내륜(51)과 외륜(52) 사이를 밀봉하고 있다.

회전체(60)는 반송 롤러(61)와, 롤러 캡(62)과, 연결 샤프트(63)와, 홀더(64)와, 구동축(65)을 갖고 있다. 이 회전체(60)는, 반송 롤러(61)에 의해 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 반송할 수 있고, 제1 공간(11a) 측으로부터 외부 공간을 향하여 구동측 커버(26)[제3 공간(26a)], 제1 벽부(31), 제2 공간(30a), 제2 벽부(32)를 이 순서로 관통하여 일단(도 3의 좌단)이 제2 벽부(32)로부터 외부 공간으로 돌출되어 있다. 보다 구체적으로는, 반송 롤러(61)가 제1 공간(11a)으로부터 관통 구멍(16)을 관통하여 제3 공간(26a) 내에 도달하고, 제1 공간(11a) 측으로부터 제2 공간(30a) 측을 향하여 롤러 캡(62), 연결 샤프트(63), 홀더(64)가 이 순서로 제3 공간(26a) 내에 배치되어 있다. 또한, 구동축(65)은 제3 공간(26a) 내에서부터 개구(27), 제1 벽부(31)[제1 베어링(40)], 제2 공간(30a), 제2 벽부(32)[제2 베어링(50)]를 이 순서로 관통하여 제2 벽부(32)에서 외부 공간으로 돌출되어 있다. 구동축(65)의 일단측에는 스프로켓(66)이 형성되어 있고, 이 스프로켓(66)에는 롤러 체인(92)이 걸쳐져 있다. 롤러 체인(92)은, 외부 공간에 배치된 모터(90)의 구동축(91)과 스프로켓(66)을 걸치도록 배치되어 있으며, 회전체(60)와 모터(90)를 접속하고 있다. 모터(90)는 구동축(91), 롤러 체인(92)을 통해 스프로켓(66)에 회전 구동력을 전달한다. 스프로켓(66)이 회전 구동함으로써 회전체(60) 전체가 회전하고, 반송 롤러(61)가 피처리물(96)을 반송한다.

회전체(60)의 각 구성 요소와 그 접속에 관해서 설명한다. 반송 롤러(61)는, 예컨대 세라믹스제의 중공 파이프이며, 일단(도 3의 좌단) 측에 외경이 작은 원기둥형의 돌출부(61a)를 갖고 있다. 롤러 캡(62)은, 축 방향의 양단이 개구된 통 형상의 부재이다. 롤러 캡(62)의 반송 롤러(61) 측의 단부의 개구 내에는 돌출부(61a)가 삽입되어 있고, 도시하지 않는 볼트 등에 의해 돌출부(61a)와 롤러 캡(62)은 고정되어 있다. 이에 따라, 반송 롤러(61)와 롤러 캡(62)은 동축으로 고정되어 있다.

연결 샤프트(63)는, 롤러 캡(62)의 양단의 개구 직경보다도 작은(예컨대 2분의 1 등) 외경을 갖고, 또한 홀더(64)의 양단의 개구 직경보다도 작은 외경을 갖는 원기둥형의 부재이다. 홀더(64)는, 축 방향의 양단이 개구된 중공 파이프형의 부재이다. 연결 샤프트(63)의 노체(11) 측의 단부는, 롤러 캡(62)의 벽체(30) 측의 단부의 개구 내에 삽입되어 있다. 또한, 연결 샤프트(63)의 노체(11) 측의 단부 부근에서는, 삽입 핀(67a)이 연결 샤프트(63)의 중심축과 수직으로 연결 샤프트(63)를 관통하고 있다. 연결 샤프트(63)와 삽입 핀(67a)은, 삽입 핀(67a)과 수직으로 연결 샤프트(63)를 관통하는 멈춤 나사(68a)에 의해 고정되어 있다. 이 삽입 핀(67a)은, 롤러 캡(62)의 외경보다도 긴 부재이며, 롤러 캡(62)의 벽체(30) 측의 단부에 형성된 한 쌍의 절결부(62a, 62b)를 관통하고 있다. 절결부(62a, 62b)는, 롤러 캡(62)의 벽체(30) 측의 단부면으로부터 축 방향을 따라서 롤러 캡(62)의 통 형상 부분을 절결하여 형성된, 축 방향을 따르는 홈(깊이 방향이 축 방향인 홈)이다. 이 때문에, 연결 샤프트(63)와 삽입 핀(67a)을 멈춤 나사(68a)로 고정한 상태에서, 연결 샤프트(63)를 롤러 캡(62)의 내부에 삽입하고, 롤러 캡(62)의 벽체(30) 측의 단부면으로부터 절결부(62a, 62b) 내에 삽입 핀(67a)을 삽입할 수 있게 되고 있다. 또한, 삽입 핀(67a)보다도 롤러 캡(62)의 좌단부 측[절결부(62a, 62b)의 개구 측]에는 C형 멈춤 링(69a)이 부착되어 있고, 이에 의해 삽입 후의 삽입 핀(67a)이 절결부(62a, 62b)로부터 축 방향으로 빠지는 것을 방지하고 있다. 이와 같이, 삽입 핀(67a), 절결부(62a, 62b), C형 멈춤 링(69a)에 의해서 롤러 캡(62)과 연결 샤프트(63)가 접속되어 있다. 연결 샤프트(63)의 벽체(30) 측의 단부는, 노체(11) 측의 단부와 마찬가지로 삽입 핀(67b)에 관통되고 멈춤 나사(68b)에 의해 삽입 핀(67b)이 고정되어 있다. 이에 의해, 전술한 롤러 캡(62)과 연결 샤프트(63)의 접속과 마찬가지로, 홀더(64)의 노체(11) 측의 절결부(64a, 64b)와, 삽입 핀(67b)과, C형 멈춤 링(69b)에 의해서, 원통형의 홀더(64) 내에 연결 샤프트(63)가 삽입되면서 양자(兩者)가 접속되어 있다.

구동축(65)은, 홀더(64)의 양단의 개구 직경보다도 작은 외경[예컨대, 연결 샤프트(63)와 같은 외경]을 갖는 원기둥형의 부재이다. 구동축(65)의 노체(11) 측의 단부는, 연결 샤프트(63)와 마찬가지로 삽입 핀(67c)에 관통되어 멈춤 나사(68c)에 의해 삽입 핀(67c)이 고정되어 있다. 이에 따라, 전술한 홀더(64)와 연결 샤프트(63)의 접속과 마찬가지로, 홀더(64)의 벽체(30) 측의 절결부(64c, 64d)와, 삽입 핀(67c)과, C형 멈춤 링(69c)에 의해서, 원통형의 홀더(64) 내에 구동축(65)이 삽입되면서 양자가 접속되어 있다.

한편, 본 실시형태에서는, 홀더(64)의 내경과 연결 샤프트(63) 및 구동축(65)의 외경과의 차가 비교적 작고(예컨대 1 ㎜ 미만 등), 롤러 캡(62)의 내경과 연결 샤프트(63)의 외경의 차가 비교적 큰[예컨대 십수(十數) ㎜ 등] 것으로 했다. 이에 따라, 홀더(64)의 내경과 연결 샤프트(63) 및 구동축(65)의 외경과의 클리어런스는 비교적 작지만, 롤러 캡(62)의 내경과 연결 샤프트(63)의 외경과의 클리어런스는 비교적 크다. 이 때문에, 홀더(64)와 연결 샤프트(63) 및 구동축(65)이 거의 동축으로 유지되어 접속되어 있는 데 비하여, 연결 샤프트(63)와 롤러 캡(62)은 이 클리어런스에 의해 삽입 핀(67a)의 길이 방향(도 3의 상하 방향)으로 축 오프셋 가능하게 접속되어 있다. 한편, 삽입 핀(67a)은, 연결 샤프트(63)와 롤러 캡(62)이 축 오프셋되더라도 절결부(62a, 62b)로부터 빠지지 않는 충분한 길이를 갖는 것으로 했다. 이와 같이, 삽입 핀(67a~67c)을 이용하여 롤러 캡(62), 연결 샤프트(63), 홀더(64), 구동축(65)을 접속하는 구성은, 예컨대 일본 특허 공개 평성09-26264호 공보(또는 일본 특허 제3556739호 공보)에 기재되어 있다.

가스 공급 장치(70)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 제1 가스를 공급하는 제1 가스 공급원(71)과, 제2 가스를 공급하는 제2 가스 공급원(72)을 구비하고 있다. 또한, 가스 공급 장치(70)는, 제2 가스 공급원(72)에서부터 접속부(76a)까지의 제1 가스의 유로가 되는 공통 배관(73)과, 접속부(76a)에서부터 접속부(76b)를 경유하여 제1 공간 공급구(18)까지의 가스의 유로가 되는 제1 배관(74)과, 접속부(76a)에서부터 제2 공간 공급구(33)까지의 가스의 유로가 되는 제2 배관(75)을 구비하고 있다. 공통 배관(73)의 가스 유로의 도중에는, 제2 가스 공급원(72)으로부터 접속부(76a)를 향하여, 필터(80)와, 유량계(81)와, 제1 감압 밸브(82)가 이 순서로 부착되어 있다. 또한, 제1 배관(74)의 가스 유로의 도중에는, 접속부(76b)보다도 하류 측[제1 공간 공급구(18) 측]에 제1 유량 조정 밸브(84)가 부착되어 있다. 제2 배관(75)의 가스 유로의 도중에는, 접속부(76a)로부터 제2 공간 공급구(33)를 향하여, 제2 감압 밸브(83)와, 제2 유량 조정 밸브(85)가 이 순서로 부착되어 있다.

제1 가스 공급원(71)은, 제1 배관(74)의 접속부(76b)에 제1 가스를 공급하는 장치이다. 이 제1 가스는, 접속부(76b)로부터 제1 배관(74), 제1 공간 공급구(18)를 통해 제1 공간(11a) 내에 도달한다. 제2 가스 공급원(72)은, 공통 배관(73)에 제2 가스를 공급하는 장치이다. 이 제2 가스는, 공통 배관(73)으로부터 제1 배관(74) 안을 유통하고, 접속부(76b)에서 제1 가스와 혼합된 뒤에 제1 공간 공급구(18)로부터 제1 공간(11a) 내에 도달한다. 또한, 제2 가스는, 공통 배관(73)으로부터 제2 배관(75) 안을 유통하고, 제2 공간 공급구(33)를 통해 제2 공간(30a) 내에 도달한다. 여기서, 제2 가스는, 피처리물(96)의 열처리시에 있어서 제1 공간(11a) 내의 분위기 성분의 적어도 일부를 포함하는 가스이다. 본 실시형태에서는, 열처리시에 있어서 제1 공간(11a) 내의 분위기는 환원 분위기로 하고, 구체적으로는 질소에 미량의 수소를 혼합한 분위기(예컨대 분위기 속의 수소 농도가 수% 등)로 했다. 그리고, 제2 가스는 질소로 했다. 또한, 제1 가스는, 열처리시에 있어서 제1 공간(11a) 내의 분위기 중 제2 가스에 포함되지 않는 성분을 적어도 포함하는 것으로, 본 실시형태에서는 수소로 했다.

필터(80)는, 제2 가스 공급원(72)으로부터 공급된 제2 가스에서 먼지 등의 미립자를 제거하는 장치이다. 유량계(81)는, 공통 배관(73)을 흐르는 제2 가스의 유량을 측정하는 장치이다. 제1 감압 밸브(82)는, 제1 유량 조정 밸브(84)보다도 가스의 상류 측에 설치되어 있으며, 자신의 상류 측에 제2 가스 공급원(72)으로부터 공급된 가스의 압력을, 소정의 제1 압력까지 감압하여, 자신의 하류 측으로 흘린다. 이 제1 압력은, 피처리물(96)의 열처리시에 있어서 제1 공간(11a)의 분위기보다도 고압의 압력[예컨대 제1 공간(11a)의 분위기의 십수배의 압력]으로서 미리 정해져 있다. 특별히 한정하는 것은 아니지만, 제1 압력은, 제2 가스 공급원(72)이 공급하는 제2 가스의 압력의 반 이하로 하여도 좋다. 제2 감압 밸브(83)는, 제2 유량 조정 밸브(85)보다도 가스의 상류 측에 설치되어 있고, 자신의 상류 측에 공급된 가스의 압력을, 소정의 제2 압력까지 감압하여, 자신의 하류 측으로 흘린다. 한편, 도 2로부터도 알 수 있는 것과 같이, 제1 감압 밸브(82)는 제2 감압 밸브(83)의 상류 측에 설치되어 있기 때문에, 제2 감압 밸브(83)의 상류 측에는 제1 압력으로 가스가 공급된다. 즉, 제2 감압 밸브(83)는 제1 압력의 가스를 제2 압력까지 감압하여 하류 측으로 흘리게 된다. 이 제2 압력은, 피처리물(96)의 열처리시에 있어서 제1 공간(11a)의 분위기보다도 고압의 압력[예컨대 제1 공간(11a)의 분위기의 수배의 압력]으로서 미리 정해져 있다. 특별히 한정하는 것은 아니지만, 제2 압력은 제1 압력의 100분의 1 이하로 하여도 좋다. 제1 유량 조정 밸브(84)는, 자신을 통과하는 가스(제1 가스와 제2 가스가 혼합된 가스)의 유량이 소정의 제1 유량이 되도록(제1 유량을 넘지 않도록) 조정하는 장치이다. 제2 유량 조정 밸브(85)는, 자신을 통과하는 제2 가스의 유량이 소정의 제2 유량이 되도록(제2 유량을 넘지 않도록) 조정하는 장치이다.

배기 장치(86)는, 배기구(19)에 접속되어 제1 공간(11a) 내의 분위기를 흡인하여 배기하는 장치이다. 이 배기 장치(86)는 배기 밸브(87)와, 흡기 밸브(88)와, 배기 팬(89)을 갖고 있다. 배기 밸브(87)는, 밸브의 개방도를 조정함으로써, 제1 공간(11a)으로부터 배기구(19)를 통해 흐르는 분위기 가스의 유량을 조정하는 장치이다. 흡기 밸브(88)는, 예컨대 주위의 대기 등을 흡기함으로써, 제1 공간(11a)으로부터 흘러온 분위기 가스를 냉각하는 장치이다. 배기 팬(89)은 배기구(19), 배기 밸브(87), 흡기 밸브(88)를 통해 제1 공간(11a) 내의 분위기를 흡인하여, 이것을 배기한다. 배기 팬(89)은 단위시간당 배기량을 조정할 수 있더라도 좋다.

피처리물(96)은, 노체(11) 안을 통과할 때에 히터(20)로부터의 열에 의해, 예컨대 소성 등의 열처리를 행하는 것이다. 특별히 한정하는 것은 아니지만, 본 실시형태에서는, 피처리물(96)은 세라믹스제의 유전체와 전극을 적층한 적층체(치수는 예컨대 종횡이 1 ㎜ 이내)이며, 소성 후에 세라믹스 콘덴서의 칩으로 되는 것으로 했다.

이상 도 1~도 3을 이용하여 롤러 하스 킬른(10)의 구성을 설명했는데, 도 2, 도 3에서는, 하나의 회전체(60)와, 그 회전체(60)가 관통하는 하나의 구동측 커버(26) 및 하나의 벽체(30) 등을 도시했다. 본 실시형태에서는, 제1 공간(11a) 내에 배치된 복수의 회전체(60)의 어느 것이나 도 2, 도 3과 같은 구성을 갖는 것으로 했다. 즉, 롤러 하스 킬른(10)은, 제1 공간(11a) 내에 배치된 회전체(60)의 개수와 동일한 수만큼 구동측 커버(26), 벽체(30), 모터(90), 종동측 커버(22) 등을 갖는다. 또한, 제2 배관(75)은, 제2 유량 조정 밸브(85)의 하류에서 벽체(30)와 같은 수만큼 분기되어 있는 것으로 하고, 분기 대상이 복수의 제2 공간 공급구(33)의 각각에 접속되어 있는 것으로 했다.

이어서, 이렇게 구성된 롤러 하스 킬른(10)을 이용하여 피처리물(96)을 열처리하는 모습에 관해서 설명한다. 우선, 모터(90)를 동작시켜 복수의 회전체(60)를 회전 구동시키고, 히터(20)에 통전하여 히터(20)를 발열시킨다. 회전체(60)로부터 회전체(60)로의 구동력은, 본 실시형태에서는 열처리에 필요한 시간에 기초하여 미리 정하여 두는 것으로 했다. 히터(20)의 출력은, 제1 공간(11a) 내에서의 피처리물(96)의 열처리시의 온도(예컨대 1000℃ 전후 등)에 기초하여 미리 정하여 두는 것으로 했다. 이어서, 복수의 피처리물(96)을 배치하는 트레이(95)를 복수 준비하고, 개구(14) 측의 단부의 회전체(60)[반송 롤러(61)] 상에 순차적으로 놓아 간다. 트레이(95)는, 반송 방향과 수직인 방향(도 2의 좌우 방향)으로 복수 열 배치되더라도 좋다. 반송 롤러(61)에 놓인 트레이(95)는, 복수의 반송 롤러(61)의 회전에 의해 노체(11) 안으로 반입되어 반송 방향으로 순차적으로 반송되어 간다. 그리고, 트레이(95)는 제1 공간(11a)을 통과하여 개구(15) 측으로부터 반출된다. 이와 같이, 롤러 하스 킬른(10)에서는, 모터(90)가 회전체(60)를 회전 구동시킴으로써 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 순차적으로 반송하면서, 히터(20)에 의해 열처리를 행한다.

그리고, 피처리물(96)을 반송하고 있는 사이, 즉 열처리를 하고 있는 동안은, 제1 가스 공급원(71) 및 제2 가스 공급원(72)으로부터 제1 가스 및 제2 가스를 각각 공급하고, 배기 팬(89)에 의해 제1 공간(11a) 내의 분위기를 흡인하여 배기한다. 이하, 가스의 흐름에 관해서 설명한다.

제2 가스 공급원(72)은, 제1 압력 및 제2 압력을 초과하는 압력의 제2 가스를 공통 배관(73)에 공급한다. 공통 배관(73)에 공급된 제2 가스는 필터(80), 유량계(81)를 통과하고, 제1 감압 밸브(82)에 의해 제1 압력까지 감압된다. 제1 감압 밸브(82)에 의해 감압된 제2 가스는, 접속부(76a)에서 제1 배관(74)과 제2 배관(75)으로 분기되어 흐른다. 제1 배관(74)을 흐르는 제2 가스는, 접속부(76b)에서 제1 가스 공급원(71)이 공급하는 제1 가스와 혼합된다. 한편, 제1 가스 공급원(71)은, 예컨대 제1 압력과 같거나 조금 높은 압력으로 제1 가스를 접속부(76b)에 공급한다. 제1 가스와 제2 가스가 혼합된 가스는, 접속부(76b)의 하류의 제1 유량 조정 밸브(84)에 의해 유량이 제1 유량이 되도록 조정되고, 이 제1 유량으로 제1 공간 공급구(18)에서 제1 공간(11a) 내로 유입된다.

한편, 접속부(76a)에서 제2 배관(75)으로 분기된 제2 가스는, 제2 감압 밸브(83)에 의해 제2 압력까지 감압되고, 제2 유량 조정 밸브(85)에 의해 유량이 제2 유량이 되도록 조정되어, 이 제2 유량으로 제2 공간 공급구(33)에서 제2 공간(30a) 내로 유입된다. 여기서, 제2 압력은, 열처리시의 제1 공간(11a)의 분위기의 압력보다 높은 값으로 하고 있고, 제2 공간(30a) 내에 공급되는 제2 가스의 압력이 제1 공간(11a)[및 이에 연통되는 제3 공간(26a)]의 분위기의 압력보다 높은 값으로 되도록 조정되고 있다. 또한, 벽체(30)는, 제2 공간(30a)이 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통해 제3 공간(26a)과 연통하고 있는데, 그 이외에는 기밀하게 유지되어 있다. 이로써, 제2 공간(30a)에 공급된 제2 가스는, 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)으로부터 제1 공간(11a) 측을 향하려고 한다. 이 때문에, 제2 공간(30a) 내의 제2 가스는 간극(44a, 45a)으로부터 제3 공간(26a) 안을 경유하여 제1 공간(11a) 내로 유입된다.

이와 같이, 제1 공간 공급구(18)를 경유하여 제1 가스 및 제2 가스가 제1 공간(11a)에 공급되며, 제2 공간 공급구(33)를 경유하여 제2 가스가 제1 공간(11a)에 공급되고, 이들 가스가 혼합된 것이 제1 공간(11a) 내의 분위기 가스로 된다. 본 실시형태에서는, 열처리시에 있어서 제1 공간(11a) 내의 분위기가 원하는 조성(예컨대 수소 농도가 수 %인 질소 분위기)으로 되도록, 제1 가스 공급원(71)으로부터의 제1 가스의 공급량 및 제2 가스 공급원(72)으로부터의 제2 가스의 공급량을 미리 실험에 의해 정해 두는 것으로 했다. 또한, 배기 팬(89)에 의해 제1 공간(11a)의 분위기는 배기된다. 이 때문에, 제1 가스 공급원(71) 및 제2 가스 공급원(72)으로부터의 가스 공급과, 배기 팬(89)으로부터의 가스 배기의 밸런스에 의해, 제1 공간(11a) 내의 압력을 조정할 수 있다. 본 실시형태에서는, 열처리시에 있어서 제1 공간(11a) 내의 분위기가 원하는 압력(예컨대, 수백 Pa 등의 감압 분위기)으로 유지되도록, 제1 압력, 제2 압력, 제1 유량, 제2 유량, 배기 밸브(87)의 개방도, 배기 팬(89)의 배기량 등을 미리 실험에 의해 정해 두는 것으로 했다. 한편, 예컨대 제1 공간(11a), 제2 공간(30a)에 압력계를 배치하고, 컴퓨터에 압력계가 검출한 값을 입력하여, 압력이 원하는 압력에 근접하도록 컴퓨터가 제1 압력, 제2 압력, 제1 유량, 제2 유량, 배기 밸브(87)의 개방도, 배기 팬(89)의 배기량을 제어하는 것으로 하더라도 좋다.

한편, 열처리의 시작 시에 제1 공간(11a)의 분위기가 대기 분위기로 되어 있는 등의 경우에는, 제1 가스 공급원(71) 및 제2 가스 공급원(72)으로부터의 가스 공급과 배기 팬(89)에 의한 배기를 처음에 시작하고, 제1 공간(11a)의 분위기가 열처리시의 원하는 분위기로 된 후에 피처리물(96)의 반송을 시작하더라도 좋다.

여기서, 본 실시형태의 구성 요소와 본 고안의 구성 요소와의 대응 관계를 밝힌다. 본 실시형태의 롤러 하스 킬른(10)이 본 고안의 열처리 장치에 상당하고, 노체(11)가 노체에 상당하며, 제1 벽부(31)가 제1 벽부에 상당하고, 제2 벽부(32)가 제2 벽부에 상당하며, 벽체(30)가 벽체에 상당하고, 회전체(60)가 회전체에 상당하며, 모터(90)가 구동 수단에 상당하고, 제1 베어링(40)이 제1 베어링에 상당하며, 제2 베어링(50)이 제2 베어링에 상당하고, 제2 공간 공급구(33)가 제2 공간 공급구에 상당한다. 또한, 구체(43, 53)가 회전체에 상당하고, 구동측 커버(26)가 제3 공간 형성 부재에 상당하며, 구동측 지지 롤러(28)가 지지 수단에 상당하고, 제2 가스 공급원(72)이 가스 공급 수단에 상당하며, 배기 팬(89)이 배기 수단에 상당한다.

이상 설명한 본 실시형태의 롤러 하스 킬른(10)은, 처리 공간으로서의 제1 공간(11a)을 형성하는 노체(11)와, 제1 공간(11a)에 연통되는 제2 공간(30a)을 내부에 형성하며, 제1 벽부(31)와, 제2 벽부(32)와, 제2 공간(30a) 내에 외부로부터 가스를 공급할 수 있는 제2 공간 공급구(33)를 갖는 벽체(30)를 구비하고 있다. 또한, 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 반송할 수 있는 회전체(60)가, 제1 공간(11a) 측으로부터 외부 공간을 향하여 제1 벽부(31), 제2 공간(30a), 제2 벽부(32)를 이 순서로 관통하여 일단이 제2 벽부(32)로부터 돌출되어 있다. 그리고, 이 회전체(60)의 일단측과 접속된 모터(90)가 회전체(60)를 회전 구동시킴으로써, 제1 공간(11a) 내에서 회전체(60)에 의해 피처리물(96)을 반송하면서 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 열처리할 수 있다. 이때, 회전체(60)가 제1 벽부(31)를 관통하는 부분에는, 회전체(60)를 회전 가능하게 지지하면서 회전체(60)의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극(44a, 45a)을 갖는 구름 베어링인 제1 베어링(40)이 설치되어 있다. 또한, 회전체(60)가 제2 벽부(32)를 관통하는 부분에는, 회전체(60)를 회전 가능하게 지지하면서 제1 베어링(40)에 비해서 시일성이 높은 구름 베어링인 제2 베어링(50)이 설치되어 있다. 이 때문에, 예컨대 열처리 중에 있어서, 제1 공간(11a)의 분위기와 비교하여 고압의 가스를 제2 공간 공급구(33)를 통해 제2 공간(30a) 내에 공급함으로써, 제2 공간(30a)에 공급된 가스는, 제2 베어링(50)보다도 시일성이 낮은 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)으로부터 제1 공간(11a) 측을 향하려고 한다. 이 때문에, 제1 공간(11a)으로부터 관통 구멍(16), 제3 공간(26a), 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 지나 분위기 가스가 유출되는 것을, 제2 공간(30a)으로부터 제1 공간(11a)을 향하려고 하는 가스가 억누르게 된다. 따라서, 노체(11)의 내부에서 외부 공간으로의 분위기의 유출을 보다 억제할 수 있다. 한편, 회전체(60)는 노체(11), 구동측 커버(26), 벽체(30)를 관통하여 외부 공간으로 돌출되어 있어, 회전체(60)가 회전하는 이상, 예컨대 부시(bushing) 등을 이용했다고 해도, 회전체(60)의 주위 사이의 간극을 완전히 밀봉하기는 어렵다. 본 실시형태의 롤러 하스 킬른(10)에서는, 벽체(30)가 제1 공간(11a)으로부터의 분위기의 유출구가 되는 구동측 커버(26)의 개구(27)를 막고 회전체(60)의 주위에 굳이 간극(44a, 45a)을 형성하고 있다. 이에 의해, 회전체(60)의 관통 부분을 경유하여 제1 공간(11a) 내에 가스를 적극적으로 유입시키도록 하여, 간극을 밀봉하는 것이 아니라 가스의 흐름에 의해서 제1 공간(11a)의 분위기의 유출을 억제하고 있다. 한편, 롤러 하스 킬른(10)에서는, 열처리시의 제1 공간(11a)의 분위기에 수소가 포함되기 때문에, 이 분위기가 외부 공간으로 유출되는 것을 억제하는 의의가 크다.

또한, 제2 베어링(50)은, 내륜(51)과, 외륜(52)과, 내륜(51) 및 외륜(52)의 사이에 수납된 복수의 구체(53)와, 내륜(51)의 축 방향으로 복수의 구체(53)로부터 어긋난 위치에서 내륜(51)과 외륜(52)의 사이에 배치된 차폐 부재(54, 55)를 갖고 있다. 그리고, 제2 베어링(50)의 차폐 부재(54, 55)는 내륜(51)과 외륜(52)의 사이를 밀봉하고 있다. 이에 의해, 제2 베어링(50)에 있어서 회전체(60)의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을 차폐 부재(54, 55)를 이용하여 밀봉할 수 있다. 이 때문에, 제2 공간(30a)의 분위기[예컨대 제2 공간 공급구(33)로부터 공급된 제2 가스]가 제2 베어링(50)의 간극을 지나 외부 공간으로 유출되는 것을 보다 억제할 수 있다.

또한, 제1 베어링(40)은, 내륜(41)과, 외륜(42)과, 내륜(41) 및 외륜(42)의 사이에 수납된 복수의 구체(43)와, 내륜(41)의 축 방향으로 상기 복수의 구체(43)로부터 어긋난 위치에서 내륜(41)과 외륜(42) 사이에 배치된 차폐 부재(44, 45)를 갖고 있다. 그리고, 제1 베어링(40)의 차폐 부재(44, 45)는 내륜(41)과 외륜(42)의 사이에 간극(44a, 45a)을 형성하고 있다. 이에 따라, 제1 베어링(40)에 있어서 회전체(60)의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극(44a, 45a)을, 차폐 부재(44, 45)를 이용하여 용이하게 작게 할 수 있다. 이에 따라, 가스가 제2 공간(30a)으로부터 제1 공간(11a)을 향하게 하도록 하면서, 제1 베어링(40)의 간극을 통해 제2 공간(30a)으로부터 제1 공간(11a)으로 먼지 등의 미립자가 침입하는 것을 억제하기 쉽다.

또한, 롤러 하스 킬른(10)은, 피처리물(96)의 가열 처리를 포함하는 열처리를 행한다. 여기서, 제1 공간(11a)에 있어서 가열 처리를 포함하는 처리가 행해지는 경우, 노체(11) 내에서 회전체(60)가 가열되는 등에 의해 제1 베어링(40)이 가열되는 경우가 있다. 이러한 경우에, 제2 공간 공급구(33)로부터 제2 공간(30a)에 가스를 공급하고, 제2 공간(30a)으로부터 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통해 제1 공간(11a)을 향하는 흐름을 생기게 함으로써, 이 가스의 흐름에 의하여 제1 베어링(40)을 냉각하여 가열을 억제할 수 있다.

그리고, 노체(11)는 제1 공간(11a) 내의 분위기를 배기할 수 있는 배기구(19)를 갖고 있다. 이 때문에, 제2 공간 공급구(33), 제2 공간(30a) 및 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통해 제1 공간(11a) 내에 가스를 공급하는 경우에, 배기구(19)로부터 분위기를 배기함으로써 제1 공간(11a) 내의 분위기의 압력을 조정하기 쉽다. 또한, 노체(11)는 제1 공간(11a) 내에 가스를 공급할 수 있는 제1 공간 공급구(18)를 갖고 있다. 이 때문에, 제2 공간(30a) 및 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통하지 않고서 제1 공간(11a)에 가스를 공급할 수 있어, 제1 공간(11a) 내의 분위기를 조정하기 쉽다.

그리고, 롤러 하스 킬른(10)은, 제1 공간 공급구(18)에 접속된 제1 배관(74)과, 제2 공간 공급구(33)에 접속된 제2 배관(75)과, 제1 배관(74) 및 제2 배관(75)에 접속된 공통 배관(73)을 구비하고 있다. 이에 따라, 제1 공간 공급구(18)를 통한 제1 공간(11a)으로의 가스 공급과, 제2 공간 공급구(33)를 통한 제2 공간(30a)으로의 가스 공급 모두를, 공통 배관(74)에 가스를 공급함으로써 함께 행할 수 있다. 또한, 제1 배관(74)은, 공통 배관 이외의 경로로부터 제1 가스 공급원(71)이 공급하는 제1 가스도 유통할 수 있다. 이 때문에, 공통 배관(73)에 가스를 공급함으로써 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a) 모두에 가스를 공급할 수 있게 하면서, 제1 배관(74)에 다른 경로로부터의 가스도 유통[공통 배관(73)으로부터의 가스와 혼합]시킴으로써, 제1 공간 공급구(18)를 통해 공급하는 가스와 제2 공간 공급구(33)를 통해 공급하는 가스의 조성을 다르게 할 수 있다.

그리고, 롤러 하스 킬른(10)은, 제1 배관(74)에 접속되어 제1 배관(74)의 유량을 조정하는 제1 유량 조정 밸브(84)와, 제2 배관(75)에 접속되어 제2 배관(75)의 유량을 조정하는 제2 유량 조정 밸브(85)를 구비하고 있다. 이에 따라, 제1 공간(11a) 및 제2 공간(30a)에 유입되는 가스의 유량을 조정할 수 있다.

그리고, 롤러 하스 킬른(10)은, 공통 배관(73)에 설치되고, 또한 제1 유량 조정 밸브(84)보다도 상류 측에 설치된 제1 감압 밸브(82)와, 제2 배관(75) 중 제2 유량 조정 밸브(85)보다도 상류 측에 설치된 제2 감압 밸브(83)를 구비하며, 제1 감압 밸브(82)는, 하류 측의 가스의 압력을 제1 공간(11a)의 분위기보다도 고압인 제1 압력까지 감압하고, 제2 감압 밸브(83)는, 하류 측의 가스의 압력을 제1 공간(11a)의 분위기보다도 고압인 제2 압력까지 감압한다. 이에 따라, 감압 후의 압력(제1 압력 및 제2 압력)보다도 고압의 가스를 공통 배관으로부터 공급할 수 있다. 이 때문에, 제1 감압 밸브보다 상류 측이나 제2 감압 밸브보다 상류 측의 배관을 가늘게 하더라도 필요한 가스의 유량을 확보할 수 있다. 배관을 가늘게 할 수 있으므로, 예컨대 롤러 하스 킬른(10)의 설치 면적을 줄이는 등 구성을 컴팩트하게 하거나 제조 비용을 저감시키거나 할 수 있다.

그리고, 롤러 하스 킬른(10)은, 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a)의 사이에 제1 공간(11a) 및 제2 공간(30a)과 연통되는 제3 공간(26a)을 형성하며, 회전체(60)에 관통되어 있는 구동측 커버(26)를 구비하고 있다. 이에 따라, 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a)의 사이에 제3 공간(26a)이 존재함으로써, 예컨대 노체(11)로부터의 열전도에 의해 벽체(30)의 제1 베어링(40), 제2 베어링(50)의 온도가 변화되는 등의, 노체(11)로부터 벽체(30)로의 영향을 보다 억제할 수 있다.

그리고, 회전체(60)는, 제1 공간(11a) 내에서 피처리물(96)을 반송할 수 있는 반송 롤러(61)와, 모터(90)에 의해 회전 구동되고 벽체(30)를 관통하는 구동축(65)과, 구동축(65) 중 반송 롤러(61) 측의 단부가 삽입되어 그 단부와 접속된 중공 파이프형의 홀더(64)와, 반송 롤러(61) 중 구동축(65) 측에 고정된 롤러 캡(62)과, 홀더(64)와 롤러 캡(62)에 삽입되어 홀더(64) 및 롤러 캡(62)에 접속된 연결 샤프트(63)를 구비하고 있다. 그리고, 홀더(64), 롤러 캡(62) 및 연결 샤프트(63)는 제3 공간(26a) 내에 배치되어 있고, 롤러 캡(62)의 내주면과 연결 샤프트(63)의 사이에는 클리어런스가 있으며, 연결 샤프트(63)는 롤러 캡(62)에 대하여 클리어런스에 의해 축 오프셋 가능하게 접속되어 있다. 이에 따라, 연결 샤프트(63)가 롤러 캡(62)에 대하여 축 오프셋 가능하게 접속되어 있음으로써, 반송 롤러(61)와 구동축(65)에 편심(축 오프셋)이 생기더라도, 구동축(65)을 통해 반송 롤러(61)에 모터(90)로부터의 회전 구동력을 전달할 수 있다. 한편, 롤러 캡(62)과 연결 샤프트(63)가 축 오프셋 가능하지 않은 경우에, 반송 롤러(61)와 구동축(65)에 축 오프셋이 생기면, 회전체(60) 중 어느 부분에 무리한 힘이 가해져, 회전체(60)가 파손되는 경우가 있다. 연결 샤프트(63)가 롤러 캡(62)에 대하여 축 오프셋 가능하게 접속되어 있음으로써, 이와 같은 회전체(60)의 파손을 보다 억제할 수 있다. 한편, 롤러 하스 킬른(10)은 피처리물(96)의 열처리를 행하는 것으로, 제1 공간(11a) 내와 외부 공간과의 온도차에 의해서 반송 롤러(61)와 구동축(65)의 축 오프셋이 생기기 쉽기 때문에, 본 고안을 적용하는 의의가 크다.

그리고, 롤러 하스 킬른(10)은, 제1 공간(11a)의 분위기와 비교하여 고압의 가스를 제2 공간(30a) 내에 공급하는 가스 공급 장치(70)를 구비하고 있기 때문에, 제2 공간(30a)에서부터 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 지나 제1 공간(11a)을 향하는 가스의 흐름을 생기게 할 수 있다.

한편, 본 고안은 전술한 실시형태에 하등 한정되지 않으며, 본 고안의 기술적 범위에 속하는 한 여러 가지 양태로 실시할 수 있음은 물론이다.

예컨대, 전술한 실시형태에서는, 제2 베어링(50)의 차폐 부재(54, 55)는 내륜(51)과 외륜(52)의 사이를 밀봉하고 있는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않고, 제1 베어링(40)과 비교하여 제2 베어링(50)의 시일성이 높으면 된다. 예컨대, 제2 베어링(50)의 차폐 부재(54, 55)가 제1 베어링(40)의 차폐 부재(44, 45)와 마찬가지로 내륜(51)과의 사이에 간극을 형성하고 있는 것으로 하더라도 좋다. 이 경우, 제2 베어링(50)의 간극이 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)보다도 작은 등, 제1 베어링(40)과 비교하여 제2 베어링(50)의 시일성이 높은[가스가 제2 베어링(50)보다도 제1 베어링(40)을 통과하기 쉬운] 것으로 하면 된다. 혹은, 제1 베어링(40)이 차폐 부재(44, 45) 중 적어도 한쪽을 구비하지 않는 것으로 하더라도 좋고, 제2 베어링(50)이 차폐 부재(54, 55) 중 적어도 한쪽을 구비하지 않는 것으로 하더라도 좋다. 제1 베어링(40), 제2 베어링(50)이 함께 차폐 부재를 구비하지 않더라도 좋다. 이 경우, 제1 베어링(40)에서의 내륜(41)의 외경과 외륜(42)의 내경과의 차가 제2 베어링(50)에서의 내륜(51)의 외경과 외륜(52)의 내경과의 차보다 크게 되도록 하여, 제2 베어링(50)의 시일성을 제1 베어링(40)보다도 높게 하더라도 좋다. 혹은, 구체(43)나 구체(53)의 수(數)나 구경(球徑)을 조정하여, 제2 베어링(50)의 시일성을 제1 베어링(40)보다도 높게 하더라도 좋다. 또한, 제1 베어링(40)의 차폐 부재(44, 45)가 차폐 부재(54, 55)와 마찬가지로 내륜(51)의 외주면과의 간극을 형성하지 않는 것으로 하고, 대신에 차폐 부재(44, 45)에 별도의 구멍을 형성함으로써 가스의 유로가 되는 간극을 형성하더라도 좋다. 한편, 제2 베어링(50)의 차폐 부재(54, 55)가 내륜(51)과 외륜(52)의 사이에 간극을 형성하고 있는 경우 등, 제2 베어링(50)의 내륜(51)과 외륜(52)과의 사이에 간극이 있는 경우에는, 제2 공간 공급구(33)로부터 제2 공간(30a)으로 공급된 가스가 외부 공간으로 유출되는 경우가 있다. 그러나, 본 실시형태에서는 제2 공간(30a)에 공급되는 제2 가스는 질소로 했기 때문에, 외부 공간으로 유출되더라도 문제는 없다. 한편, 제2 공간 공급구(33)로부터 제2 공간(30a)으로 공급하는 가스는 질소에 한정되지 않고, 불활성 가스 등의 유출되더라도 문제가 없는 가스로 하는 것이 바람직하다.

전술한 실시형태에서는, 제1 공간(11a) 내에 배치된 회전체(60)의 개수와 동일한 수만큼 구동측 커버(26)나 벽체(30)를 갖는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않고, 복수의 회전체(60)에서 구동측 커버(26)나 벽체(30)를 공용으로 하여도 좋다. 다만, 하나의 벽체(30)를 하나의 회전체(60)가 관통하는 구성으로 함으로써, 제2 공간(30a)을 되도록 용적이 작은 공간으로 하여 제2 공간 공급구(33)에 공급하는 가스의 유량을 적게 할 수 있다.

전술한 실시형태에서는, 노체(11), 구동측 커버(26), 벽체(30)를 회전체(60)가 일직선으로 관통하고 있는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 구동축(65)이, 도 3의 좌우 방향의 축을 갖고 제1 벽부(31)를 관통하는 제1 부재와, 도 3의 상하 방향의 축을 갖고 제1 부재와 베벨 기어를 통해 제2 공간(30a) 내에서 접속되어 있으며 벽체(30)를 아래 방향으로 관통하는 제2 부재를 갖는 경우 등, 회전체(60)의 축이 일직선이 아니더라도 좋다. 이 경우, 제2 부재가 벽체(30)를 아래 방향으로 관통하는 부분에 제2 베어링(50)을 배치하면 된다. 이러한 구성에서도, 전술한 실시형태와 마찬가지로, 회전체(60)의 축 방향을 따라서 제1 공간(11a)의 분위기가 외부 공간으로 유출되는 것을 억제할 수 있다.

전술한 실시형태에서는, 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a)의 사이에 제3 공간(26a)이 형성되어 있는 것으로 했지만, 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a)이 연통되어 있으면 된다. 예컨대, 롤러 하스 킬른(10)이 구동측 커버(26)를 구비하지 않고, 제3 공간(26a)이 형성되어 있지 않더라도 좋다. 이 경우, 벽체(30)의 제1 벽부(31)와 노체(11)가 접촉하고 있는 등에 의해, 제1 공간(11a)과 제2 공간(30a)이 관통 구멍(16) 및 간극(44a, 45a)을 통해 연통되어 있는 것으로 하더라도 좋다. 이 경우, 롤러 캡(62), 연결 샤프트(63), 홀더(64) 등은 제2 공간(30a) 내에 배치하더라도 좋다.

전술한 실시형태에서는, 구동축(65)과 반송 롤러(61)는 롤러 캡(62), 연결 샤프트(63), 홀더(64)를 통해 접속되어 있는 것으로 했지만, 이들 구성 요소 중의 하나 이상을 생략하더라도 좋다. 또한, 롤러 캡(62), 연결 샤프트(63), 홀더(64), 구동축(65) 사이의 접속은 삽입 핀(67a~67c)을 이용하는 것에 한정되지 않는다.

전술한 실시형태에서는, 제1 베어링(40), 제2 베어링(50)은 볼 베어링인 것으로 했지만, 내륜과, 외륜과, 내륜 및 외륜의 사이에 수납된 복수의 전동체를 구비한 구름 베어링이면 된다. 예컨대 제1 베어링(40) 및 제2 베어링(50) 중 적어도 한쪽이, 전동체로서 구체(43, 53) 대신에 원기둥형의 부재를 갖는 구성으로 하여도 좋다.

전술한 실시형태에서는, 피처리물(96)에 대하여 히터(20)에 의한 가열 처리를 하는 것으로 했지만, 열처리를 하는 것이면 된다. 예컨대 냉각 처리를 하는 것으로 하더라도 좋고, 가열 처리와 냉각 처리를 소정의 순서로 행하는 것으로 하더라도 좋다.

전술한 실시형태에서는, 제1 감압 밸브(82)를 공통 배관(73)에 설치하는 것으로 했지만, 제1 배관(74)에 설치하더라도 좋다. 예컨대 제1 감압 밸브(82)를 접속부(76b)와 제1 유량 조정 밸브(84)의 사이에 설치하는 등, 제1 감압 밸브(82)를 제1 유량 조정 밸브(84)보다 상류의 제1 배관(74)에 설치하더라도 좋다. 또한, 제1 감압 밸브(82), 제2 감압 밸브(83) 중 어느 하나 이상을 구비하지 않는 것으로 하더라도 좋다.

전술한 실시형태에서는, 가스 공급 장치(70)는 제1 유량 조정 밸브(84) 및 제2 유량 조정 밸브(85)를 구비하는 것으로 했지만, 제1 유량 조정 밸브(84) 및 제2 유량 조정 밸브(85) 중 어느 하나 이상을 구비하지 않는 것으로 하더라도 좋다.

전술한 실시형태에서는, 제1 배관(74)과 제2 배관(75)이 공통 배관(73)에 접속되어 있는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 공통 배관(73)을 구비하지 않는 것으로 하며, 제1 가스 공급원(71)이 제1 배관(74) 및 제1 공간 공급구(18)를 통해 제1 공간(11a)에 제1 가스를 공급하고, 제2 가스 공급원(72)이 제2 배관(75) 및 제2 공간 공급구(33)를 통해 제2 공간(30a)에 제2 가스를 공급하더라도 좋다. 이 경우, 예컨대 제1 가스를 질소와 수소의 혼합 기체로 하고, 제2 가스를 질소로 하여도 좋다. 혹은, 제1 공간 공급구(18)를 구비하지 않는 것으로 하여, 가스 공급 장치(70)는 제2 배관(75)으로부터 제2 공간 공급구(33)를 통해 제2 공간(30a)에 가스를 공급하고, 제2 공간(30a)을 통해 제1 공간(11a)에 가스를 공급하는 것으로 하더라도 좋다.

전술한 실시형태에서는, 배기 장치(86)의 배기 팬(89)이 배기구(19)를 통해 제1 공간(11a)의 분위기를 배기하는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 배기 팬(89)을 구비하지 않고 제1 공간(11a)의 분위기를 흡인하지 않는 것으로 하더라도 좋다. 혹은 배기구(19)를 구비하지 않는 것으로 하더라도 좋다.

전술한 실시형태에서는, 열처리시의 제1 공간(11a)의 분위기는 질소와 수소를 포함하는 환원 분위기로 했지만, 이것에 한정되지 않고 어떠한 분위기로 하여도 좋다. 열처리하는 피처리물에 따라서, 열처리시의 분위기의 조성, 온도, 압력 등을 적절하게 결정하면 된다.

전술한 실시형태에서는, 벽체(30)는, 제1 벽부(31) 및 제2 벽부(32)를 포함하는 복수의 판형 부재를 조합한 구조체로 하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 벽부(31) 및 제2 벽부(32)는 벽체(30)의 일부이어도 좋고, 독립된 부재가 아니어도 좋다. 예컨대, 벽체(30)는 일체 형성된 구조체이어도 좋다.

전술한 실시형태에서는, 회전체(60)가 제2 벽부(32)를 관통하는 부분에는, 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높은 제2 베어링(50)이 마련되어 있는 것으로 하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 회전체(60)가 제2 벽부(32)를 관통하는 부분에는, 제2 베어링(50)만이 아니라, 제1 베어링(40)에 비해서 시일성이 놓은 시일 부재가 마련되어 있으면 된다. 도 4는, 이러한 경우의 변형예의 롤러 하스 킬른에 있어서 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다. 한편, 도 4에서는, 전술한 롤러 하스 킬른(10)과 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명을 생략한다. 도 4에서는, 벽체(30)의 제2 벽부(132)는 구동축(65)에 의해 관통되어 있고, 이 관통 부분에는 일단측 베어링(150)과 축 시일(156)이 부착되어 있다. 일단측 베어링(150)은, 회전체(60)[구동축(65)]를 회전 가능하게 지지하는 볼 베어링이며, 제1 베어링(40) 및 축 시일(156)보다도 구동축(65)의 일단측(도 4의 좌측)에 배치되어 있다. 이 일단측 베어링(150)은, 차폐 부재(54, 55)를 구비하지 않는 점 이외에는, 전술한 제2 베어링(50)과 동일한 구성을 하고 있다. 축 시일(156)은, 링형의 부재이며, 중심을 구동축(65)이 관통하고 있다. 축 시일(156)은, 오일 시일이며, 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높은 시일 부재로서 구성되어 있다. 이 축 시일(156)은, 본체부(157)와, 금속 고리(158)와, 스프링(159)을 구비한다. 본체부(157)는, 고무 등의 탄성체로 이루어지는 링형의 부재이며, 외주면 및 제2 공간(30a)측(도 4의 우측)의 면이 제2 벽부(132)에 접촉하여 고정되어 있다. 본체부(157)에는, 자신의 내주면측에 시일 립부(157a), 더스트 립부(157b)가 형성되어 있다. 시일 립부(157a)는, 구동축(65)의 축 방향의 단면에서 보았을 때, 구동축(65)을 향하여 선단이 가늘어지는 형상을 하고 있고, 그 선단에서 구동축(65)과 접촉해 있다. 더스트 립부(157b)는, 구동축(65)을 향해 돌출해 있고, 선단이 구동축(65)의 외주면과 접촉해 있다. 더스트 립부(157b)는, 외주 공간으로부터의 더스트 등의 침입을 막는 역할을 담당한다. 금속 고리(158)는, 구동축(65)의 주위를 둘러싸도록 배치된 링형의 부재이며, 본체부(157)를 제2 벽부(132)에 밀어붙인다. 이 때문에, 본체부(157)와 제2 벽부(132)의 사이에는 간극이 없고, 축 시일(156)과 제2 벽부(132)의 사이는 밀봉되어 있다. 스프링(159)은, 시일 립부(157a)의 주위를 둘러싸도록 마련된 링형의 탄성체이다. 스프링(159)의 탄성력에 의해, 시일 립부(157a)의 선단은 구동축(65)의 외주면에 밀어붙여진다. 이 때문에, 구동축(65)과 본체부(157)의 사이에는 간극이 없고, 구동축(65)과 축 시일(156)의 사이는 밀봉되어 있다. 이와 같이 구성된 변형예의 롤러 하스 킬른에서는, 회전체(60)가 제2 벽부(132)를 관통하는 부분에, 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높은 축 시일(156)이 마련되어 있다. 이 때문에, 전술한 실시형태와 마찬가지로, 제2 공간(30a)에 공급된 가스가 제1 공간(11a)측을 향하게 되어, 제1 공간(11a)으로부터 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통하여 분위기 가스가 유출되는 것을 억누를 수 있다. 한편, 도 4에 도시한 변형예의 롤러 하스 킬른에서는, 구동축(65)을 지지하는 역할을 일단측 베어링(150)이 담당하고 있고, 제1 베어링(40)과 비교하여 높은 시일성을 발휘하는 역할을 축 시일(156)이 담당하고 있다. 이에 비해, 전술한 실시형태의 제2 베어링(50)은, 일단측 베어링(150)의 역할과 축 시일(156)의 역할을 겸하고 있다. 한편, 도 4에 도시한 변형예의 롤러 하스 킬른에 있어서, 축 시일(156)과 제2 벽부(132)의 사이나, 축 시일(156)과 구동축(65)의 사이에는 간극이 없고 밀봉되어 있는 것으로 하였지만, 제1 베어링(40)과 비교하여 축 시일(156)의 시일이 높으면, 간극이 형성되어 있어도 좋다. 또한, 축 시일(156)은 오일 시일로 하였지만, 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높으면, 어떠한 축 시일을 사용하여도 좋다. 또한, 도 4에 도시하는 바와 같이, 일단측 베어링(150)은 축 시일(156)보다도 구동축(65)의 일단측(도 4의 좌측)에 배치되어 있는 것으로 하였지만, 일단측 베어링(150)을 축 시일(156)보다도 구동축(65)의 타단측(도 4의 우측)에 배치하여도 된다. 예컨대 도 4에 있어서의 일단측 베어링(150)과 축 시일(156)의 배치를 반대로 하여도 된다. 또한, 도 4에서는, 일단측 베어링(150)은 차폐 부재(54, 55)를 구비하지 않아, 일단측 베어링(150)은 제1 베어링(40)보다도 시일성이 낮은 것으로 하였지만, 제1 베어링(40)보다도 시일성이 높은 것으로 하여도 된다. 또한, 도 4의 일단측 베어링(150)은 볼 베어링으로 하였지만, 이에 한정되지 않고, 내륜과, 외륜과, 내륜 및 외륜의 사이에 수납된 복수의 전동체를 구비한 구름 베어링이어도 된다.

도 4에 도시한 변형예의 롤러 하스 킬른에서는, 회전체(60)가 제2 벽부(132)를 관통하는 부분에 일단측 베어링(150)이 마련되어 있는 것으로 하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 일단측 베어링(150)이 외부 공간에서 회전체(60)을 지지하여도 된다. 도 5는, 이러한 경우의 변형예의 롤러 하스 킬른에 있어서 벽체(30) 주변의 확대 단면도이다. 한편, 도 5에서는, 전술한 롤러 하스 킬른(10)이나 도 4의 롤러 하스 킬른과 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명을 생략한다. 도 5에서는, 벽체(30)의 제2 벽부(232)는 구동축(65)에 의해 관통되어 있다. 이 관통 부분에는, 축 시일(156)이 부착되어 있다. 또한, 회전체(60)[구동축(65)]의 일단측(도 5의 좌측)은, 외부 공간에서 지지부(294)를 관통하고 있다. 구동축(65)이 지지부(294)를 관통하는 부분에는, 일단측 베어링(250)이 마련되어 있다. 일단측 베어링(250)은, 외부 공간에서 회전체(60)[구동축(65)]을 회전 가능하게 지지하는 볼 베어링이며, 도 4의 일단측 베어링(150)과 동일한 구성을 하고 있다. 또한, 벽체(30)와 지지부(294)의 사이에는, 캠 클러치(293a, 293b)가 마련되어 있다. 캠 클러치(293a)는, 캠 클러치(293b)와 벽체(30)의 사이에 배치되어 있다. 캠 클러치(293a, 293b)는, 도시는 생략하지만, 내륜과 외륜을 갖고 있고, 외륜으로부터의 구동력을 내륜에 전달하는 한편, 내륜으로부터의 구동력은 외륜에 전달되지 않도록[외륜에 대하여 내륜이 공전(空轉)하도록] 구성된 기계식 클러치이다. 캠 클러치(293a, 293b)의 내륜은, 각각 구동축(65)의 외주면에 접속되어 있다. 캠 클러치(293a, 293b)의 외륜은, 각각 스프로켓(266a, 266b)에 동축으로 접속되어 있다. 스프로켓(266a, 266b)에는, 각각 롤러 체인(292a, 292b)이 걸쳐져 있다. 롤러 체인(292a)은, 스프로켓(266a)과, 외부 공간에 배치된 도시하지 않은 저속 모터의 구동축을 걸치도록 배치되어 있다. 롤러 체인(292b)은, 스프로켓(266b)과, 외부 공간에 배치된 도시하지 않은 고속 모터의 구동축을 걸치도록 배치되어 있다. 저속 모터로부터 출력된 회전 구동력은, 캠 클러치(293a)를 통해 구동축(65)에 전달되어 회전체(60) 전체를 저속으로 회전시킨다. 또한, 저속 모터에 의해 구동축(65)이 회전하여도, 캠 클러치(293b)의 내륜은 공전하므로 고속 모터에는 회전 구동력은 전달되지 않는다. 마찬가지로, 고속 모터로부터 출력된 회전 구동력은, 캠 클러치(293b)를 통해 구동축(65)에 전달되어 회전체(60) 전체를 고속으로 회전시킨다. 또한, 고속 모터에 의해 구동축(65)이 회전하여도, 캠 클러치(293a)의 내륜은 공전하므로 저속 모터에는 회전 구동력은 전달되지 않는다. 이와 같이, 도 5의 회전체(60)는, 저속 모터 및 고속 모터에 의해 다른 속도로 회전 가능하다. 이 때문에, 회전체(60)에 의한 피처리물(96)의 반송 속도의 전환이 가능해진다. 이와 같이 구성된 변형예의 롤러 하스 킬른에서는, 회전체(60)가 제2 벽부(232)를 관통하는 부분에, 제1 베어링(40)과 비교하여 시일성이 높은 축 시일(156)이 마련되어 있다. 이 때문에, 전술한 실시형태나 도 4의 롤러 하스 킬른과 마찬가지로, 제2 공간(30a)에 공급된 가스가 제1 공간(11a)측을 향하게 되어, 제1 공간(11a)으로부터 제1 베어링(40)의 간극(44a, 45a)을 통해 분위기가 유출되는 것을 억누를 수 있다. 한편, 도 5의 일단측 베어링(250)은 볼 베어링으로 하였지만, 이에 한정되지 않는 임의의 베어링을 이용하여도 된다. 예컨대 볼 베어링 이외의 구름 베어링으로 하여도 된다. 예컨대, 전술한 실시형태의 종동측 지지 롤러(24)나 구동측 지지 롤러(28)와 같이 구동축(65)을 하측으로부터 회전 가능하게 지지하는 구름 베어링으로 하여도 된다. 혹은, 일단측 베어링(250)은 미끄럼 베어링으로 하여도 된다.

한편, 도 4에서의 일단측 베어링(150)을 생략해도 좋고, 도 5에서의 일단측 베어링(250)을 생략해도 좋다. 이 경우에도, 제1 베어링(40)과 1 이상의 베어링[예컨대 종동측 지지 롤러(24), 구동측 지지 롤러(28) 등]이 있으면, 구동축(65)을 회전 가능하게 지지할 수 있다.

산업상 이용가능성

본 고안은 피처리물을 반송하면서 소성 등의 열처리를 행할 필요가 있는 산업, 예컨대 세라믹스 컨덴서 등의 세라믹스 제품의 제조 산업 등에 이용할 수 있다.

10: 롤러 하스 킬른 11: 노체
11a: 제1 공간 12: 전단면
13: 후단면 14, 15: 개구
16, 17: 관통 구멍 18: 제1 공간 공급구
19: 배기구 20: 히터
22: 종동측 커버 24: 종동측 지지 롤러
26: 구동측 커버 26a: 제3 공간
27: 개구 28: 구동측 지지 롤러
30: 벽체 30a: 제2 공간
31: 제1 벽부 32: 제2 벽부
33: 제2 공간 공급구 40: 제1 베어링
41: 내륜 42: 외륜
43: 구체 44, 45: 차폐 부재
44a, 45a: 간극 50: 제2 베어링
51: 내륜 52: 외륜
53: 구체 54, 55: 차폐 부재
60: 회전체 61: 반송 롤러
61a: 돌출부 62: 롤러 캡
62a, 62b: 절결부 63: 연결 샤프트
64: 홀더 64a~64d: 절결부
65: 구동축 66: 스프로켓
67a~67c: 삽입 핀 68a~68c: 멈춤 나사
69a~69c: C형 멈춤 링 70: 가스 공급 장치
71; 제1 가스 공급원 72: 제2 가스 공급원
73: 공통 배관 74: 제1 배관
75: 제2 배관 76a, 76b: 접속부
80: 필터 81: 유량계
82: 제1 감압 밸브 83: 제2 감압 밸브
84: 제1 유량 조정 밸브 85: 제2 유량 조정 밸브
86: 배기 장치 87: 배기 밸브
88: 흡기 밸브 89: 배기 팬
90: 모터 91: 구동축
92: 롤러 체인 95: 트레이
96: 피처리물 150, 250: 일단측 베어링
156: 축 시일 157: 본체부
157a: 시일 립부 157b: 더스트 립부
158: 금속 고리 259: 스프링
266a, 266b: 스프로켓 292a, 292b: 롤러 체인
293a, 293b: 캠 클러치 294: 지지부

Claims

처리 공간 내에서 피처리물에 대한 열처리를 행하는 열처리 장치로서,
상기 처리 공간으로서의 제1 공간을 형성하는 노체와,
상기 제1 공간에 연통되는 제2 공간을 내부에 형성하며, 제1 벽부와, 제2 벽부와, 상기 제2 공간 내에 외부로부터 가스를 공급할 수 있는 제2 공간 공급구를 갖는 벽체와,
상기 제1 공간 내에서 상기 피처리물을 반송할 수 있고, 상기 제1 공간 측으로부터 외부 공간을 향하여 상기 제1 벽부, 상기 제2 공간, 상기 제2 벽부를 이 순서로 관통하여 일단이 상기 제2 벽부로부터 돌출되어 있는 회전체와,
상기 회전체의 상기 일단측과 접속되어 상기 회전체를 회전 구동할 수 있는 구동 수단과,
상기 제1 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련되고, 상기 회전체를 회전 가능하게 지지하면서 상기 회전체의 관통 방향으로 가스가 유통 가능한 간극을 갖는 구름 베어링인 제1 베어링과,
상기 제2 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련되고, 상기 제1 베어링과 비교하여 시일성이 높은 시일 부재
를 포함하는 열처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 베어링보다도 상기 회전체의 상기 일단측을 회전 가능하게 지지하는 일단측 베어링을 구비하고,
상기 시일 부재는 축 시일인 것인 열처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 시일 부재는, 상기 제2 벽부를 상기 회전체가 관통하는 부분에 마련되고, 상기 회전체를 회전 가능하게 지지하면서 상기 제1 베어링과 비교하여 시일성이 높은 구름 베어링인 제2 베어링인 것인 열처리 장치.
제3항에 있어서, 상기 제2 베어링은, 내륜과, 외륜과, 상기 내륜 및 상기 외륜의 사이에 수납된 복수의 전동체(轉動體)와, 상기 내륜의 축 방향으로 상기 복수의 전동체로부터 어긋난 위치에서 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 배치된 차폐 부재를 갖고,
상기 제2 베어링의 차폐 부재는, 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 상기 제1 베어링의 상기 간극과 비교하여 작은 간극을 형성하거나, 또는 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이를 밀봉하는 것인 열처리 장치.
제4항에 있어서, 상기 제1 베어링은, 내륜과, 외륜과, 상기 내륜 및 상기 외륜의 사이에 수납된 복수의 전동체와, 상기 내륜의 축 방향으로 상기 복수의 전동체로부터 어긋난 위치에서 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 배치된 차폐 부재를 갖고,
상기 제1 베어링의 차폐 부재는, 상기 내륜과 상기 외륜과의 사이에 상기 간극을 형성하는 것인 열처리 장치.
제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 제1 베어링 및 상기 제2 베어링은 볼 베어링인 것인 열처리 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 열처리는 상기 피처리물의 가열 처리를 포함하는 것인 열처리 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 노체는 상기 제1 공간 내의 분위기를 배기할 수 있는 배기구를 갖는 것인 열처리 장치.
제8항에 있어서, 상기 노체는 상기 제1 공간 내에 가스를 공급할 수 있는 제1 공간 공급구를 갖는 것인 열처리 장치.
제9항에 있어서, 상기 제1 공간 공급구에 접속된 제1 배관과,
상기 제2 공간 공급구에 접속된 제2 배관과,
상기 제1 배관 및 상기 제2 배관에 접속된 공통 배관을 구비하는 것인 열처리 장치.
제10항에 있어서, 상기 제1 배관에 접속되어 상기 제1 배관의 유량을 조정하는 제1 유량 조정 밸브와,
상기 제2 배관에 접속되어 상기 제2 배관의 유량을 조정하는 제2 유량 조정 밸브를 구비하는 것인 열처리 장치.
제11항에 있어서, 상기 공통 배관과 상기 제1 배관 중의 적어도 한쪽에 설치되고, 상기 제1 유량 조정 밸브보다도 상류 측에 설치된 제1 감압 밸브와,
상기 제2 배관 중 상기 제2 유량 조정 밸브보다도 상류 측에 설치된 제2 감압 밸브를 구비하며,
상기 제1 감압 밸브는, 하류 측의 가스의 압력을 상기 제1 공간의 분위기보다도 고압인 제1 압력까지 감압하고,
상기 제2 감압 밸브는, 하류 측의 가스의 압력을 상기 제1 공간의 분위기보다도 고압인 제2 압력까지 감압하는 것인 열처리 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 공간과 상기 제2 공간의 사이에 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간과 연통되는 제3 공간을 형성하고, 상기 회전체에 관통되어 있는 제3 공간 형성 부재를 구비하는 것인 열처리 장치.
제13항에 있어서, 상기 회전체는, 상기 제1 공간 내에서 상기 피처리물을 반송할 수 있는 반송 롤러와, 상기 구동 수단에 의해 회전 구동되고 상기 벽체를 관통하는 구동축과, 상기 구동축 중 상기 반송 롤러 측의 단부가 삽입되어 상기 단부와 접속된 중공 파이프형의 홀더와, 상기 반송 롤러 중 상기 구동축 측에 고정된 롤러 캡과, 상기 홀더와 상기 롤러 캡에 삽입되어 상기 홀더 및 상기 롤러 캡에 접속된 연결 샤프트를 구비하고,
상기 홀더, 상기 롤러 캡 및 상기 연결 샤프트는, 상기 제3 공간 내에 배치되며,
상기 롤러 캡의 내주면과 상기 연결 샤프트의 사이에는 클리어런스가 있고, 상기 연결 샤프트는 상기 롤러 캡에 대하여 상기 클리어런스에 의해 축 오프셋 가능하게 접속되어 있는 것인 열처리 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 공간의 분위기와 비교하여 고압의 가스를 상기 제2 공간 내에 공급하는 가스 공급 수단을 구비하는 것인 열처리 장치.