JP6566352B2 - ローラーハース炉およびローラーハース炉による熱処理品の製造方法 - Google Patents

ローラーハース炉およびローラーハース炉による熱処理品の製造方法 Download PDF

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本発明は、ローラーハース炉、およびそのローラーハース炉を用いた熱処理品の製造方法に関する。
一般に、ワークに焼結などの熱処理を施す連続炉として、ローラーハース炉が知られている(例えば特許文献1)。特許文献1のローラーハース炉は、不活性ガス又は還元性ガスの雰囲気中でワークを加熱する加熱室と、その加熱室内でワークを搬送する搬送ローラとを有する。ローラーハース炉の天井壁には不活性ガス又は還元性ガスのガス供給口が設けられ、この天井壁のガス供給口から加熱室の内部に不活性ガス又は還元性ガスが供給されるようになっている。
ここで、特許文献1の搬送ローラは、加熱室の側壁に形成したローラ挿通孔を軸端部が挿通して加熱室の外側に突出するように設けられている。そして、この加熱室の外側に突出した搬送ローラの軸端部に、搬送ローラを回転可能に支持する転がり軸受と、搬送ローラに回転を伝達するチェーンスプロケットとが取り付けられている。これにより、転がり軸受やチェーンスプロケット等が加熱室の高温(例えば1100℃以上)に晒されるのを防止して、その耐久性を確保することが可能となっている。
また、特許文献1の搬送ローラは、加熱室内のワークを搬送する部分がカーボンで形成されている。これは、搬送ローラのワークを搬送する部分は、加熱室内でワークと共に加熱されて高温となる部分であり、この部分をステンレススチール等の金属製とした場合、搬送ローラの耐熱性を確保することができないからである。
特開2002−277167号公報
ところで、本願の発明者は、カーボン製の搬送ローラを使用したローラーハース炉を使用して、長期にわたり熱処理品(例えば焼結品)を製造したところ、搬送ローラが次第に減肉する問題があることに気付いた。搬送ローラの減肉は、例えば、直径で1mm/月程度の速度で進行する。そして、搬送ローラが減肉すると、搬送ローラの直径の変化に伴って、ワークの搬送速度が変化してしまい、その結果、加熱室におけるワークの実際の加熱時間が、予め設定した目標の時間からずれるという問題がある。
カーボン製の搬送ローラが減肉する原因は、加熱室内の不活性ガス又は還元性ガスにわずかな酸素が混入し、搬送ローラのカーボンがその酸素に反応して一酸化炭素に変化するためだと考えられる。
そしてさらに、発明者は、搬送ローラの減肉の態様について調査したところ、搬送ローラの一端側と他端側とで減肉の程度が異なり、チェーンスプロケットが取り付けられた軸端部に近い側が、その反対側よりも大きく減肉することが分かった。
このような減肉の偏りが生じる原因は、次のように考えられる。すなわち、チェーンスプロケットが取り付けられた軸端部には、電動モータおよび回転伝達機構(チェーンスプロケットおよびチェーン)が設けられており、この電動モータおよび回転伝達機構は大気中に設置される。そのため、チェーンスプロケットが取り付けられた軸端部は、大気から完全に遮断した状態とするのが難しい。そのため、チェーンスプロケットが取り付けられた軸端部に近い側が、その反対側よりも大きく減肉するものと考えられる。
本発明は、カーボンで形成された搬送ローラの減肉が生じにくいローラーハース炉を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係るローラーハース炉は、
不活性ガス又は還元性ガスの雰囲気中でワークを加熱する加熱室を外部から区画する側壁と、
前記側壁を貫通して設けられたローラ挿通孔と、
前記加熱室内のワークを搬送する部分がカーボンで形成され、前記側壁のローラ挿通孔を軸端部が挿通して前記加熱室の外側に突出するように設けられた搬送ローラと、
前記搬送ローラの軸端部を覆って密閉するように前記側壁の外面に取り付けられたパージカバーと、
前記パージカバー内に外部から不活性ガス又は還元性ガスを供給するガス供給部と、
前記パージカバー内の不活性ガス又は還元性ガスを前記加熱室に導入するガス導入路と、
を有するローラーハース炉である。
上記によれば、カーボンで形成された搬送ローラの減肉を効果的に防止することができる。
本発明の実施形態にかかるローラーハース炉を示す断面図である。 図1の加熱室の側壁の外面に取り付けられたパージカバーを破断した状態を示す断面図である。 図2のIII−III線に沿った断面図である。
[本発明の実施形態の説明]
(1)本発明の一態様に係るローラーハース炉は、
不活性ガス又は還元性ガスの雰囲気中でワークを加熱する加熱室を外部から区画する側壁と、
前記側壁を貫通して設けられたローラ挿通孔と、
前記加熱室内のワークを搬送する部分がカーボンで形成され、前記側壁のローラ挿通孔を軸端部が挿通して前記加熱室の外側に突出するように設けられた搬送ローラと、
前記搬送ローラの軸端部を覆って密閉するように前記側壁の外面に取り付けられたパージカバーと、
前記パージカバー内に外部から不活性ガス又は還元性ガスを供給するガス供給部と、
前記パージカバー内の不活性ガス又は還元性ガスを前記加熱室に導入するガス導入路と、
を有するローラーハース炉である。
このようにすると、搬送ローラの軸端部をパージカバーで覆って密閉し、そのパージカバー内に外部から不活性ガス又は還元性ガスを供給する構成なので、搬送ローラの軸端部とローラ挿通孔の隙間から加熱室内に酸素が侵入するのが防止され、カーボンで形成された搬送ローラが酸素と反応して減肉するのを効果的に防止することが可能となる。
また、パージカバー内に供給された不活性ガス又は還元性ガスは、加熱室に導入される前に、加熱室の側壁から放出される熱によって予熱される。そのため、加熱室の側壁から放出される熱を有効に利用することができ、省エネルギーである。
(2)上記のローラーハース炉は、以下の構成を加えることができる。
電動モータと、
前記電動モータの回転を前記搬送ローラの軸端部に伝達する回転伝達機構とを更に有し、
前記パージカバーは、前記電動モータと前記回転伝達機構とを前記搬送ローラの軸端部と一緒に密閉するように形成されている。
このようにすると、搬送ローラの軸端部だけでなく、電動モータおよび回転伝達機構も一緒にパージカバー内に密閉された状態となるので、大気中の酸素がパージカバー内に侵入するのを効果的に防止することができ、その結果、搬送ローラの軸端部とローラ挿通孔の隙間から加熱室内に酸素が侵入するのを極めて効果的に防止することが可能となる。
(3)また、本発明の一態様に係るローラーハース炉による熱処理品の製造方法として、以下の構成のものを提供する。
不活性ガス又は還元性ガスの雰囲気中でワークを加熱する加熱室を外部から区画する側壁と、前記側壁を貫通して設けられたローラ挿通孔と、前記加熱室内のワークを搬送する部分がカーボンで形成され、前記側壁のローラ挿通孔を軸端部が挿通して前記加熱室の外側に突出するように設けられた搬送ローラと、前記搬送ローラの軸端部を覆って密閉するように前記側壁の外面に取り付けられたパージカバーとを有するローラーハース炉を使用し、
前記パージカバー内に外部から不活性ガス又は還元性ガスを供給するとともに、前記パージカバー内の不活性ガス又は還元性ガスを前記加熱室に導入しながら前記ワークの加熱を行なう、
ローラーハース炉による熱処理品の製造方法。
[本発明の実施形態の詳細]
本発明の実施形態にかかるローラーハース炉およびこのローラーハース炉を用いた熱処理品の製造方法を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
図1に、本発明の実施形態にかかるローラーハース炉を示す。このローラーハース炉は、鉄系の粉末材料を圧縮成形して得られるワークWを、1100℃以上(好ましくは1200℃以上)の焼結温度に加熱して焼結する連続焼結炉である。このローラーハース炉は、上流側から下流側に向かって順に、脱ワックス室2、予熱室3、加熱室4、徐冷室5、第1冷却室6、第2冷却室7を有する。
これら各室2〜7には、複数のワークWを載せたカーボントレイ1を上流側から下流側に移動させる搬送ローラ8〜13が設けられている。搬送ローラ8〜13は、各室2〜7にワークWの搬送方向に間隔をおいて複数設けられている。脱ワックス室2の搬送ローラ8、予熱室3の搬送ローラ9、徐冷室5の搬送ローラ11、第1冷却室6の搬送ローラ12、第2冷却室7の搬送ローラ13は、いずれも金属(例えばステンレススチール)で形成されている。一方、加熱室4の搬送ローラ10は、耐熱性を確保するために、ワークWを搬送する部分10a(図3参照)がカーボンで形成されている。
脱ワックス室2の入口、脱ワックス室2と予熱室3の間、予熱室3と加熱室4の間、加熱室4と徐冷室5の間、徐冷室5と第1冷却室6の間、第1冷却室6と第2冷却室7の間、第2冷却室7の出口には、それぞれシャッター14〜20が設けられている。これらのシャッター14〜20は個々に開閉駆動される。
脱ワックス室2、予熱室3、加熱室4、徐冷室5には、それぞれの室内雰囲気を加熱するヒータ21〜24が設けられている。加熱室4は、不活性ガス又は還元性ガス(例えば窒素ガス、水素ガス)の雰囲気で満たされており、その不活性ガス又は還元性ガスの雰囲気中でワークWを加熱する。加熱室4内の不活性ガス又は還元性ガスは、後述のパージカバー40(図3参照)の内部からガス導入路44を通って加熱室4内に供給されるものであり、それ以外に加熱室4内への不活性ガス又は還元性ガスの供給源は存在しない(つまり加熱室4の天井壁29に、従来のような不活性ガス又は還元性ガスの供給口は存在しない)。
第1冷却室6には送風ファン25が接続され、第1冷却室6と送風ファン25の間で冷却ガスが循環するようになっている。冷却ガスは不活性ガス又は還元性ガス(例えば窒素ガス、水素ガス)である。第1冷却室6と送風ファン25の間の冷却ガスの循環経路の途中には、冷却ガスを冷却する熱交換器(図示せず)が設けられている。
第2冷却室7には、室内雰囲気を冷却するクーラー26と、室内雰囲気を循環させる循環ファン27とが設けられている。
図3に示すように、加熱室4を外部から区画する側壁30には、ローラ挿通孔31が貫通して設けられている。搬送ローラ10は、加熱室4内のワークWを搬送する部分10aがカーボンで形成されている。搬送ローラ10の軸端部10bは、金属で形成されており、ローラ挿通孔31を挿通して加熱室4の外側に突出している。搬送ローラ10の軸端部10bには、搬送ローラ10を回転可能に支持する転がり軸受32と、チェーンスプロケット33が取り付けられている。
図2に、搬送ローラ10を駆動する電動モータ34と、電動モータ34の回転を搬送ローラ10の軸端部10bに伝達する回転伝達機構35とを示す。電動モータ34は、側壁30の外面にモータブラケット36を介して取り付けられている。電動モータ34は減速機(図示せず)を内蔵しており、この減速機で減速した回転をモータ軸34aに出力する。モータ軸34aには、チェーンスプロケット37が取り付けられている。チェーンスプロケット37は、各搬送ローラ10の軸端部10bに取り付けられた複数のチェーンスプロケット33に、チェーン38を介して連結されている。ここで、チェーンスプロケット37、チェーン38、チェーンスプロケット33は、電動モータ34の回転を搬送ローラ10の軸端部10bに伝達する回転伝達機構35を構成している。
側壁30の外面には、各搬送ローラ10の軸端部10bを覆って密閉するようにパージカバー40が取り付けられている。このパージカバー40は、電動モータ34と回転伝達機構35とを搬送ローラ10の軸端部10bと一緒に密閉するように形成されている。パージカバー40は、電動モータ34と回転伝達機構35とを一緒に囲む周壁部40aと、周壁部40aの側壁30の側の端部に形成されたフランジ部40bと、周壁部40aの側壁30とは反対側の端部開口を塞ぐように形成された端板40c(図3参照)とを有する。
図3に示すように、パージカバー40のフランジ部40bは、ガスケット41を介して側壁30の外面にボルト42で締め付けられている。また、パージカバー40には、パージカバー40内に外部から不活性ガス又は還元性ガスを供給するガス供給部43が設けられている。ガス供給部43は、パージカバー40に形成された配管接続口43aと、この配管接続口43aと不活性ガス又は還元性ガスボンベ(図示せず)の間を連通する配管43bとで構成されている。また、転がり軸受32の内部の隙間と、軸端部10bの外周とローラ挿通孔31の内周の隙間には、パージカバー40内の不活性ガス又は還元性ガスを、加熱室4に導入するガス導入路44が形成されている。ここでは、ガス導入路44として、転がり軸受32の内部を通るものを採用したが、側壁30のパージカバー40に覆われた部分にローラ挿通孔31とは別個の貫通孔を形成し、その貫通孔をガス導入路44としてもよい。
次に、このローラーハース炉でワークWを加熱し、焼結品を製造する工程を説明する。図1に示すように、ワークWが脱ワックス室2に入ると、ワークWは500〜700℃程度の温度になるまで加熱される。このとき、ワークWに存在するワックス成分が燃焼し、ワックス成分が除去される。その後、ワークWが脱ワックス室2から予熱室3に搬送される。予熱室3では、ワークWが焼結温度よりも低い800〜1000℃程度の温度に加熱される。その後、ワークWは、予熱室3から加熱室4に搬送される。加熱室4では、ワークWが1100〜1300℃程度の焼結温度になるまで加熱され、所定時間、焼結温度に保持される。これにより、ワークWを構成する粉末が焼結して一体化する。その後、ワークWは、徐冷室5、第1冷却室6、第2冷却室7を順に経て冷却される。このようにして、ワークWは焼結品となる。
ローラーハース炉を運転している間、図3に示すように、パージカバー40内には、ガス供給部43から不活性ガス又は還元性ガスが供給されるとともに、パージカバー40内の不活性ガス又は還元性ガスがガス導入路44を通って加熱室4に導入される。このパージカバー40内から加熱室4に導入される不活性ガス又は還元性ガスにより、加熱室4の内部は、不活性ガス又は還元性ガスの雰囲気に保たれる。
上述のローラーハース炉は、搬送ローラ10の軸端部10bをパージカバー40で覆って密閉し、そのパージカバー40内に外部から不活性ガス又は還元性ガスを供給する構成なので、搬送ローラ10の軸端部10bとローラ挿通孔31の隙間から加熱室4内に酸素が侵入するのが防止され、カーボンで形成された搬送ローラ10が酸素と反応して減肉するのを効果的に防止することが可能である。
また、ガス供給部43からパージカバー40内に供給された不活性ガス又は還元性ガスは、加熱室4に導入される前に、加熱室4の側壁30から放出される熱によって予熱される。そのため、上述のローラーハース炉は、加熱室4の側壁30から放出される熱を有効に利用することが可能であり、省エネルギーである。
また、上述のローラーハース炉は、搬送ローラ10の軸端部10bだけでなく、電動モータ34および回転伝達機構35も一緒にパージカバー40内に密閉しているので、大気中の酸素がパージカバー40内に侵入するのを効果的に防止することができ、その結果、搬送ローラ10の軸端部10bとローラ挿通孔31の隙間から加熱室4内に酸素が侵入するのを極めて効果的に防止することが可能となっている。
上記実施形態では、ローラーハース炉として粉末成形体を焼結する連続焼結炉を例に挙げて説明したが、この発明は、例えば電子部品の焼成用のローラーハース炉等にも適用することが可能である。
1 カーボントレイ
2 脱ワックス室
3 予熱室
4 加熱室
5 徐冷室
6 第1冷却室
7 第2冷却室
8〜10 搬送ローラ
10a ワークを搬送する部分
10b 軸端部
11〜13 搬送ローラ
14〜20 シャッター
21〜24 ヒータ
25 送風ファン
26 クーラー
27 循環ファン
29 天井壁
30 側壁
31 ローラ挿通孔
32 転がり軸受
33 チェーンスプロケット
34 電動モータ
34a モータ軸
35 回転伝達機構
36 モータブラケット
37 チェーンスプロケット
38 チェーン
40 パージカバー
40a 周壁部
40b フランジ部
40c 端板
41 ガスケット
42 ボルト
43 ガス供給部
43a 配管接続口
43b 配管
44 ガス導入路
W ワーク

Claims (2)

  1. 不活性ガス又は還元性ガスの雰囲気中でワークを加熱する加熱室を外部から区画する側壁と、
    前記側壁を貫通して設けられたローラ挿通孔と、
    前記加熱室内のワークを搬送する部分がカーボンで形成され、前記側壁のローラ挿通孔を軸端部が挿通して前記加熱室の外側に突出するように設けられた搬送ローラと、
    電動モータと、
    前記電動モータの回転を前記搬送ローラの軸端部に伝達する回転伝達機構と、
    前記搬送ローラの軸端部を覆って密閉するように前記側壁の外面に取り付けられたパージカバーと、
    前記パージカバー内に外部から不活性ガス又は還元性ガスを供給するガス供給部と、
    前記パージカバー内の不活性ガス又は還元性ガスを前記加熱室に導入するガス導入路と、
    を有し、
    前記搬送ローラは、前記搬送ローラの軸端部の外周と前記ローラ挿通孔の内周との間の環状隙間を塞ぐように前記側壁に取り付けられた転がり軸受で回転可能に支持され、
    前記転がり軸受の内部の隙間と、前記搬送ローラの軸端部の外周と前記ローラ挿通孔の内周の環状隙間とでガス導入路を形成し、
    前記パージカバーは、前記電動モータと前記回転伝達機構とを前記搬送ローラの軸端部と一緒に密閉するように形成されている、
    ローラーハース炉。
  2. 不活性ガス又は還元性ガスの雰囲気中でワークを加熱する加熱室を外部から区画する側壁と、前記側壁を貫通して設けられたローラ挿通孔と、前記加熱室内のワークを搬送する部分がカーボンで形成され、前記側壁のローラ挿通孔を軸端部が挿通して前記加熱室の外側に突出するように設けられた搬送ローラと、電動モータと、前記電動モータの回転を前記搬送ローラの軸端部に伝達する回転伝達機構と、前記搬送ローラの軸端部を覆って密閉するように前記側壁の外面に取り付けられたパージカバーとを有するローラーハース炉を使用し、
    前記パージカバー内に外部から不活性ガス又は還元性ガスを供給するとともに、前記パージカバー内の不活性ガス又は還元性ガスを前記加熱室に導入しながら前記ワークの加熱を行ない、
    前記搬送ローラは、前記搬送ローラの軸端部の外周と前記ローラ挿通孔の内周との間の環状隙間を塞ぐように前記側壁に取り付けられた転がり軸受で回転可能に支持され、
    前記転がり軸受の内部の隙間と、前記搬送ローラの軸端部の外周と前記ローラ挿通孔の内周の環状隙間とでガス導入路を形成し、
    前記パージカバーは、前記電動モータと前記回転伝達機構とを前記搬送ローラの軸端部と一緒に密閉するように形成されている、
    ローラーハース炉による熱処理品の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0694370A (ja) * 1992-09-14 1994-04-05 Murata Mfg Co Ltd 連続炉における駆動ローラ端部のシール構造
JP2804221B2 (ja) * 1993-09-28 1998-09-24 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 熱処理炉におけるシール装置
JP2000055564A (ja) * 1999-08-20 2000-02-25 Ngk Insulators Ltd ロ―ラ―ハ―スキルン
JP3442043B2 (ja) * 2000-10-11 2003-09-02 中外炉工業株式会社 熱処理炉用黒鉛製ハースローラ
JP2002156188A (ja) * 2000-11-17 2002-05-31 Daido Steel Co Ltd ローラハース式雰囲気炉
ITMO20020269A1 (it) * 2002-09-26 2004-03-27 Ipeg Spa Dell Ing Mauro Poppi Forno a rulli.
WO2006061903A1 (ja) * 2004-12-09 2006-06-15 International Customer Service ガス雰囲気熱処理装置
JP4938410B2 (ja) * 2006-10-24 2012-05-23 関東冶金工業株式会社 アルミニウム製品のろう付け用連続炉
JP6185863B2 (ja) * 2013-04-24 2017-08-23 日本碍子株式会社 熱処理方法及び熱処理装置

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