KR20140002490A - Substrate processing system and mounting method of tip holder using therein - Google Patents

Substrate processing system and mounting method of tip holder using therein Download PDF

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KR20140002490A
KR20140002490A KR1020130060367A KR20130060367A KR20140002490A KR 20140002490 A KR20140002490 A KR 20140002490A KR 1020130060367 A KR1020130060367 A KR 1020130060367A KR 20130060367 A KR20130060367 A KR 20130060367A KR 20140002490 A KR20140002490 A KR 20140002490A
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holder
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기요시 다카마츠
요시타카 미우라
게이스케 도미나가
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

The task of the present invention is to provide a substrate processing system which can exclude an error of installing a wheel tip, which shouldn't be installed, in a fault manner and a method of installing tip holder used for the substrate processing system which comprises: a step of setting up a scribe recipe SD for each type of processes, wherein the scribe recipe SD is memorized by making the operation information, which determines the operational content of scribe processing, to be related to the allowed-format information (26), which specifies a wheel tip (12e) usable for the scribe processing to be remembered, in a computer (19) contacting a processing device (A); a step of selecting the scribe recipe SD; a step of determining the wheel tip (12e) appropriate for the allowed format information (26) included in the selected scribe recipe SD; and a step of decoding the code (12i) of a tip holder (12) loaded on a predetermined loading place, extracting the corresponding tip holder (12), and installing the tip holder (12) on the substrate processing device (A). [Reference numerals] (AA) Start; (S1) Selecting a scribe recipe; (S2) Wheel tip appropriate for the selected recipe is determined; (S3) Robot goes to take a tip holder on a loading shelf; (S4) Appropriate tip holder is determined by the reader of the robot which detects a code; (S5) Robot pulls out the tip holder from a tip holder storage; (S6) Robot installs the tip holder on a holder joint; (S7) Scribe like the recipe is automatically started

Description

기판 가공 시스템 및 이것에 사용하는 팁 홀더의 설치 방법 {SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND MOUNTING METHOD OF TIP HOLDER USING THEREIN}Substrate processing system and how to install the tip holder used for it {SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND MOUNTING METHOD OF TIP HOLDER USING THEREIN}

본 발명은 팁 홀더에 휠 팁(커터 휠, 또는 스크라이빙 휠이라고도 함)이 설치되어 있고, 휠 팁을 사용할 때에는 팁 홀더마다 설치하여 사용되는 기판 가공 장치에 있어서의 팁 홀더의 설치 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for installing a tip holder in a substrate processing apparatus in which a wheel tip (also referred to as a cutter wheel or a scribing wheel) is provided at a tip holder and is used for each tip holder when the wheel tip is used. will be.

또한, 본 발명은 상기의 기판 가공 장치와, 당해 기판 가공 장치에 팁 홀더의 설치를 행하는 팁 홀더 설치 로봇을 구비한 기판 가공 시스템에 관한 것이다.Moreover, this invention relates to the board | substrate processing system provided with said board | substrate processing apparatus and the tip holder mounting robot which installs a tip holder in the said board | substrate processing apparatus.

여기서, 휠 팁이라 함은, 원주 능선에 단면 V자형의 날끝이 형성되고, 테이블 상에 적재한 기판의 표면에 날끝을 압접한 상태에서 구름 이동함으로써 기판을 가공하는 가공 공구를 말한다. 또한, 스크라이브 가공이라 함은, 기판에 줄무늬 형상의 절결 홈을 형성하는 가공을 말하지만, 날끝에 일정 피치로 절결이 형성된 홈이 형성된 휠 팁을 사용하여 깊은 절결 홈을 가공함으로써 한번에 분단하는 경우도 스크라이브 가공에 포함된다.Here, the wheel tip refers to a machining tool for processing a substrate by rolling a blade edge having a cross-sectional V-shape in the circumferential ridge, and rolling the blade tip in contact with the surface of the substrate loaded on the table. In addition, scribing refers to a process of forming a stripe notch groove in a substrate, but scribing is also performed by processing a deep notch groove at once by using a wheel tip having a groove formed with a notch at a constant pitch at the edge of the blade. It is included in processing.

종래부터, 글래스, 실리콘, 세라믹, 반도체 등의 취성 재료로 이루어지는 기판이나 접합 기판(이하, 단순히 「기판」이라고 함)의 표면에, 휠 팁으로 스크라이브 예정 라인을 따른 스크라이브 라인(분단용 홈)을 형성하거나, 혹은 분단 예정 라인으로부터 완전 분단되는 기판 가공 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1, 특허문헌 2, 특허문헌 3 참조).Conventionally, a scribe line (a groove for dividing) along a scribe line to be scribed with a wheel tip is formed on the surface of a substrate made of brittle material such as glass, silicon, ceramic, semiconductor, or bonded substrate (hereinafter simply referred to as "substrate"). The substrate processing apparatus which forms or fully divides from the division planned line is known (for example, refer patent document 1, patent document 2, patent document 3).

도 18은 상기 특허 문헌 등에 개시되어 있는 종래의 기판 가공 장치의 일례를 도시하는 개략적인 사시도이다. 이 기판 가공 장치 B는 가공 대상이 되는 기판(W)을 적재하여 보유 지지하는 수평한 테이블(31)을 구비하고 있다. 테이블(31)은 모터를 내장하는 회전 구동부(32)에 의해 수평면 내에서 회전할 수 있도록 되어 있고, 또한 수평한 레일(33)을 따라서 Y방향으로 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 이 Y방향의 이동은 모터(34)에 의해 회전하는 나사 축(35)에 의해 행해진다.It is a schematic perspective view which shows an example of the conventional board | substrate processing apparatus disclosed by the said patent document etc. This substrate processing apparatus B is equipped with the horizontal table 31 which mounts and hold | maintains the board | substrate W used as a process object. The table 31 can be rotated in a horizontal plane by the rotation drive part 32 which incorporates a motor, and is comprised so that it may move to a Y direction along the horizontal rail 33. As shown in FIG. This Y-direction movement is performed by the screw shaft 35 rotating by the motor 34.

기판 가공 장치 B에는 한 쌍의 지주(36, 36)와, 이들 지주(36, 36)를 연결하도록 X방향으로 수평으로 연장되는 가이드 바(37)를 구비한 브리지(38)가, 테이블(31)을 걸치도록 하여 설치되어 있다. 가이드 바(37)에는 X방향으로 수평으로 연장되는 가이드(39)가 설치되어, 스크라이브 헤드(40)가 가이드(39)를 따라서 X방향으로 이동할 수 있도록 배치되어 있다. 스크라이브 헤드(40)의 X방향으로의 이동은 모터(41)의 구동에 의해 행해진다. 스크라이브 헤드(40)에는 휠 팁(42e)을 구비한 팁 홀더(42)가 홀더 조인트(43)를 통해 착탈 가능하게 설치된다. 스크라이브 헤드(40)의 내부에는 홀더 조인트(43)의 승강을 가능하게 하는 승강 기구가 조립되어 있다.In the substrate processing apparatus B, a bridge 38 having a pair of struts 36 and 36 and a guide bar 37 extending horizontally in the X direction to connect the struts 36 and 36 is a table 31. Installed). The guide bar 37 is provided with a guide 39 extending horizontally in the X direction, and the scribe head 40 is arranged to move in the X direction along the guide 39. The movement of the scribe head 40 in the X direction is performed by the driving of the motor 41. The scribe head 40 is detachably attached to the tip holder 42 having the wheel tip 42e via the holder joint 43. Inside the scribe head 40, an elevating mechanism that enables elevating of the holder joint 43 is assembled.

이와 같은 구성을 기초로, 테이블(31) 상에 적재한 기판(W)에 휠 팁(42e)을 누르면서 휠 팁(42e)과 테이블(31)의 한쪽 또는 양쪽을 이동시킴으로써, 기판(W)을 X-Y방향으로 스크라이브하여 스크라이브 홈을 형성하거나 분단할 수 있도록 되어 있다.Based on such a structure, the board | substrate W is moved by moving one or both of the wheel tip 42e and the table 31, pressing the wheel tip 42e to the board | substrate W mounted on the table 31. As shown in FIG. It can be scribed in the XY direction to form or divide a scribe groove.

도 19 및 도 20은 종래의 팁 홀더(42) 및 홀더 조인트(43)의 구성을 도시하는 것이다. 팁 홀더(42)는 대략 원기둥 형상의 통체부(42a)와, 통체부(42a)의 일단부(하단부)에서 통체부(42a)의 축심에 대해 평행하고 또한 서로 대칭으로 형성된 한 쌍의 평탄면(42b, 42b)을 구비하고, 또한 이들 한 쌍의 평탄면(42b, 42b) 사이에, 상기 평탄면(42b)과 평행하게 형성된 절결 홈(42c)이 통체부(42a)의 축심을 따라서 형성되어 있다. 이 절결 홈(42c)에, 통체부(42a)의 축심에 대해 직교하는 휠 축(42d)을 통해 휠 팁(42e)이 회전 가능하게 설치되어 있다. 한 쌍의 평탄면(42b)의 한쪽에는 이 팁 홀더(42)에 설치되어 있는 휠 팁(42e)을 종류마다 식별하기 위한 형식 정보나, 팁 홀더마다 부여되는 관리 번호(고체의 식별 정보) 등의 관리상 유용한 데이터를 코드화하여 기록한 코드(42i)가 인쇄되어 있다.19 and 20 show the configuration of the conventional tip holder 42 and the holder joint 43. The tip holder 42 is a pair of flat surfaces that are formed in a substantially cylindrical cylindrical portion 42a and parallel to the axis of the cylindrical portion 42a at one end (lower end) of the cylindrical portion 42a and symmetrically with each other. (42b, 42b) and between these pair of flat surfaces 42b and 42b, the notch groove 42c formed in parallel with the said flat surface 42b is formed along the axis of the cylinder part 42a. It is. The wheel tip 42e is rotatably provided in this notch groove 42c via the wheel shaft 42d orthogonal to the shaft center of the cylinder part 42a. On one side of the pair of flat surfaces 42b, type information for identifying the wheel tip 42e provided in the tip holder 42 for each type, control number (solid identification information) assigned to each tip holder, and the like. A code 42i which codes and records data useful for the management of the data is printed.

예를 들어, 특허문헌 3에서는 장치의 제어부에, 사용하는 팁 홀더(관리 번호가 부여되어 있음)마다 휠 팁의 누적 주행 거리를 기록ㆍ갱신하기 위한 관리 테이블을 준비해 두고, 특정한 관리 번호의 팁 홀더를 사용하면, 그 휠 팁의 누적 주행 거리를 갱신하여 팁 홀더의 교환 시기를 관리하는 기술이 개시되어 있다.For example, in Patent Literature 3, a control table for recording and updating the cumulative traveling distance of a wheel tip is prepared in the control unit of the apparatus for each tip holder (managed number is assigned), and a tip holder having a specific management number. Is disclosed, a technique is disclosed in which the cumulative travel distance of the wheel tip is updated to manage the tip holder replacement timing.

또한, 통체부(42a)의 타단부(상단부)에는 홀더 조인트(43)에 설치할 때의 위치 결정용 설치부(42f)가 설치되어 있다. 설치부(42f)는 통체부(42a)를 절결하여 형성된 평면부(42g)와 경사면(42h)을 구비하고 있다. 평면부(42g)는 통체부(42a)의 축심과는 평행하고, 하방에 있는 한 쌍의 평탄면(42b)과는 직교하고 있다. 또한, 통체부(42a)는 철 등의 자성체 금속으로 구성되어 있다.Moreover, the positioning mounting part 42f at the time of attaching to the holder joint 43 is provided in the other end part (upper end part) of the cylinder part 42a. The mounting portion 42f includes a flat portion 42g and an inclined surface 42h formed by cutting off the cylindrical portion 42a. The flat portion 42g is parallel to the axis of the cylindrical portion 42a and orthogonal to the pair of flat surfaces 42b below. In addition, the cylinder part 42a is comprised from magnetic metals, such as iron.

홀더 조인트(43)는 상부에 베어링(43a)을 구비하고 있고, 하부가 팁 홀더(42)를 보유 지지하는 보유 지지부(43b)로 되어 있다. 보유 지지부(43b)에는 하방을 향해 개방되는 단면 대략 원형의 개구부(43c)가 형성되어 있고, 그 안측부에 자석(43j)이 설치되어 있다. 또한, 개구부(43c)의 내부에는 개구부의 축심과는 이격된 개소에서 상기 축심에 수직인 방향으로 연장되는 위치 결정용 평행 핀(43d)이 설치되어 있다. 이 평행 핀(43d)은 팁 홀더(42)가 개구부(43c)에 삽입되었을 때에, 팁 홀더(42)의 경사면(42h)에 접촉하여 팁 홀더(42)의 방향이나 자세가 일정해지도록 위치 결정하는 것이다.The holder joint 43 is provided with the bearing 43a in the upper part, and becomes the holding part 43b which hold | maintains the tip holder 42 in the lower part. The holding portion 43b is formed with an opening 43c having a substantially circular cross section that opens downward, and a magnet 43j is provided in the inner side thereof. Moreover, the positioning parallel pin 43d extended in the direction perpendicular | vertical to the said shaft center is provided in the inside of the opening part 43c apart from the axis center of the opening part. The parallel pin 43d is positioned so that when the tip holder 42 is inserted into the opening 43c, it contacts the inclined surface 42h of the tip holder 42 so that the direction or attitude of the tip holder 42 becomes constant. It is.

팁 홀더(42)를 홀더 조인트(43)에 설치할 때에는, 도 18에 도시한 바와 같이 홀더 조인트(43)의 개구부(43c)에 팁 홀더(42)를, 그 설치부(42f)로부터 삽입하여 행한다. 설치부(42f)가 홀더 조인트(43)의 개구부(43c)에 삽입되면, 팁 홀더(42)의 경사면(42h)에 평행 핀(43d)이 접촉하여 위치 결정되는 동시에, 팁 홀더(42)의 상단부가 자석(43j)에 자기 흡착되어 보유 지지된다. 이에 의해, 팁 홀더(42)의 자세가 일정 방향을 향한 상태에서 간단하게 홀더 조인트(43)에 설치할 수 있다. 휠 팁(42e)을 교체할 때에는, 홀더 조인트(43)의 개구부(43c)로부터 팁 홀더(42)를 자석의 자력에 저항하여 인발하여 팁 홀더마다 교환한다. 새롭게 설치되는 팁 홀더(42)는 평탄면(42b)에 인쇄되어 있는 팁 고유의 데이터를 기록한 코드(42i)를 별도로 설치한 리더로 판독함으로써 선택된다.When installing the tip holder 42 to the holder joint 43, as shown in FIG. 18, the tip holder 42 is inserted in the opening part 43c of the holder joint 43 from the installation part 42f, and is performed. . When the mounting portion 42f is inserted into the opening 43c of the holder joint 43, the parallel pin 43d contacts and positions the inclined surface 42h of the tip holder 42, and at the same time, The upper end is magnetically attracted to and held by the magnet 43j. Thereby, the posture of the tip holder 42 can be easily attached to the holder joint 43 in the state which turned to the fixed direction. When replacing the wheel tip 42e, the tip holder 42 is drawn out from the opening 43c of the holder joint 43 against the magnetic force of the magnet and replaced for each tip holder. The newly installed tip holder 42 is selected by reading a code 42i which records data specific to the tip printed on the flat surface 42b with a reader provided separately.

국제 공개 번호 WO2007/063979 공보International publication number WO2007 / 063979 publication 일본 특허 출원 공개 제2011-218815호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-218815 국제 공개 번호 WO2008/149515 공보International publication number WO2008 / 149515 publication

휠 팁이 소정의 주행 거리를 달려 교환 시기에 도달했을 때나, 다른 사양의 휠 팁을 필요로 할 때에는, 기판 가공 장치 B를 정지시킨 후, 팁 홀더의 교환이 행해진다. 구체적으로는, 팁 홀더를 스크라이브 헤드의 홀더 조인트로부터 제거한 후, 보관되어 있는 팁 홀더 중으로부터 리더로 코드를 판독함으로써 원하는 팁 홀더를 선택하고, 이 선택된 팁 홀더를 홀더 조인트에 설치한다. 이와 같은 설치 작업은 오퍼레이터가 수작업으로 행하면 수고가 들기 때문에, 로봇으로 자동적으로 행하는 것이 좋다.When the wheel tip reaches a replacement time along a predetermined travel distance or when wheel tips of different specifications are required, the tip holder is replaced after the substrate processing apparatus B is stopped. Specifically, after removing the tip holder from the holder joint of the scribe head, the desired tip holder is selected by reading the code from the stored tip holder with the reader, and the selected tip holder is installed in the holder joint. Such installation work is troublesome if the operator performs it manually, and it is better to perform it automatically with a robot.

로봇으로 설치 작업을 행하는 경우, 복수의 팁 홀더로부터 희망하는 팁 홀더를 선택하는 데도, 코드를 구비한 팁 홀더의 평탄면을 리더로 판독하기 쉽도록, 또한 로봇으로 인출하기 쉽도록 배치할 필요가 있다. 이 경우, 팁 홀더는 직경 약 2 내지 3㎜의 작은 휠 팁을 구비하고 있으므로, 코드면을 노출시킨 상태에서 휠 팁이 손상되지 않도록, 예를 들어 적재대 등에 안정적으로 적재하는 것이 요구된다. 또한, 로봇으로 팁 홀더를 선택하여 파지하고, 그대로 스크라이브 헤드의 홀더 조인트까지 운반하여 장착하기 위해서는, 적재대와 로봇의 상관적인 조립에 배려해야만 한다.When carrying out the installation work with a robot, even when selecting a desired tip holder from a plurality of tip holders, it is necessary to arrange the flat surface of the tip holder with a code so that the reader can easily read the reader and also withdraw the robot. have. In this case, since the tip holder is provided with a small wheel tip having a diameter of about 2 to 3 mm, it is required to stably load it on a mounting table or the like so that the wheel tip is not damaged while the cord surface is exposed. In addition, in order to select and grip the tip holder with the robot, and to carry and mount the holder joint of the scribe head as it is, consideration must be given to the relative assembly of the mounting table and the robot.

그러나, 종래에는 이와 같은 로봇에 의한 팁 홀더의 자동 설치에 적합한 시스템 구성은 개시되어 있지 않고, 미해결의 상태였다.However, conventionally, the system configuration suitable for the automatic installation of the tip holder by such a robot is not disclosed, and it is an unsolved state.

또한, 로봇에 의한 팁 홀더의 자동 설치를 행할 때의 문제 중 하나로, 오퍼레이터가 설치 시에 잘못하여 다른 팁 홀더를 선택하는 입력을 로봇에 행한다고 하는 문제를 들 수 있다.In addition, one of the problems in the automatic installation of the tip holder by the robot is a problem in that the robot makes an input to the robot to select another tip holder by mistake.

즉, 미리 테이블 근방에 저장되어 있는 복수의 팁 홀더 중으로부터 설치하는 팁 홀더를 결정할 때에, 설치하려고 하는 팁 홀더를 특정하는 코드의 정보를 정확하게 입력하기만 하면, 로봇이 리더로 코드를 판독함으로써 정확한 팁 홀더를 취출할 수 있지만, 오퍼레이터에 의한 입력 자체가 잘못되어 있으면, 가령 로봇에 의한 자동 설치가 행해지는 것으로 해도, 잘못된 팁 홀더를 선택하여 설치해 버리게 된다.That is, when determining the tip holder to be installed from among a plurality of tip holders stored near the table in advance, the robot simply reads the code with the reader by inputting the information of the code specifying the tip holder to be installed. Although the tip holder can be taken out, if the input itself by the operator is wrong, even if automatic installation by the robot is performed, the wrong tip holder is selected and installed.

따라서, 본 발명은 오퍼레이터의 오입력에 의한 설치 작업이 행해지지 않도록 하여, 본래 사용해서는 안되는 휠 팁에 의한 스크라이브를 배제할 수 있는 팁 홀더의 설치 방법 및 이 설치 방법을 사용한 기판 가공 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, the present invention provides a tip holder installation method and a substrate processing system using the installation method which can prevent the installation work due to an incorrect input of an operator and can eliminate a scribe by a wheel tip which should not be used inherently. For the purpose of

또한, 본 발명은 제품 불량을 일으킬 가능성이 있는 휠 팁의 사용을 지금까지 이상으로 확실하게 회피할 수 있어, 휠 팁의 설치를 효율적으로 행할 수 있는 설치 방법 및 기판 가공 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.Moreover, an object of this invention is to provide the installation method and board | substrate processing system which can reliably avoid the use of the wheel tip which may cause a product defect more than ever before, and can install wheel tip efficiently. do.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구하였다. 즉, 본 발명의 기판 가공 시스템은 휠 팁을 보유 지지하는 동시에 당해 휠 팁의 종류를 식별하는 형식을 기록한 코드가 부여된 팁 홀더가, 당해 팁 홀더의 착탈이 가능한 스크라이브 헤드의 홀더 조인트에 설치된 상태에서 스크라이브 가공을 행하는 기판 가공부와, 소정의 적재 장소에 적재된 복수의 팁 홀더의 내로부터 상기 스크라이브 가공에 사용하는 팁 홀더를 취출하여 상기 홀더 조인트에 설치하는 팁 홀더 설치 로봇과, 상기 기판 가공부에 의한 스크라이브 가공의 제어 및 상기 팁 홀더 설치 로봇에 의한 팁 홀더의 홀더 조인트로의 설치의 제어를 행하는 제어부를 구비한 기판 가공 시스템이며, 스크라이브 가공의 종류마다, 스크라이브 가공의 동작 내용을 정한 작업 정보와 당해 스크라이브 가공에 사용 가능한 형식의 휠 팁을 특정하는 허용 형식 정보를 관련시킨 스크라이브 레시피를 기억하는 데이터 보유 지지부와, 상기 스크라이브 레시피를 작성할 때의 입력을 행하는 입력부와, 기억된 스크라이브 레시피 중 어느 하나를 선택하는 레시피 선택부와, 상기 팁 홀더에 부여된 코드를 판독하는 리더를 구비하고, 상기 제어부는 선택된 스크라이브 레시피의 허용 형식 정보에 기초하여, 적합한 휠 팁을 보유 지지한 팁 홀더를 결정하는 동시에, 상기 리더로 적재 장소의 팁 홀더에 부여된 코드를 판독하여 적합한 팁 홀더를 상기 팁 홀더 설치 로봇에 의해 상기 홀더 조인트에 설치하는 제어를 행하도록 하고 있다.In order to solve the said subject, the following technical means took the following invention. That is, in the substrate processing system of the present invention, a tip holder with a code holding a wheel tip and recording a type for identifying the type of the wheel tip is attached to the holder joint of the scribe head, which is detachable from the tip holder. A substrate holder for performing scribing in the mold, a tip holder mounting robot for extracting a tip holder to be used for the scribing from the plurality of tip holders loaded at a predetermined loading place and installing the tip holder in the holder joint; A substrate processing system having a control unit for controlling the scribing process by a part and controlling the installation of the tip holder to the holder joint by the tip holder mounting robot, and the work which defines the operation contents of the scribing process for each type of scribing process. Permission to specify information and wheel tips in the format available for the scribe A data holding unit for storing scribe recipes associated with expression information, an input unit for inputting when creating the scribe recipe, a recipe selecting unit for selecting any one of stored scribe recipes, and a code provided to the tip holder And a reader for reading a code, wherein the controller determines a tip holder holding a suitable wheel tip based on the allowable format information of the selected scribe recipe, and at the same time reads the code given to the tip holder of the loading place by the reader. To control the tip holder mounting robot to the holder joint.

여기서, 상기 허용 형식 정보에, 복수의 휠 팁의 형식이 포함되도록 해도 좋다.Here, the format of the plurality of wheel tips may be included in the allowable format information.

또한, 상기 리더는 팁 홀더 설치 로봇의 팁 홀더를 보유 지지하는 기구의 근방에 설치되어도 좋다.The reader may be provided near the mechanism that holds the tip holder of the tip holder mounting robot.

또한, 다른 관점으로부터 이루어진 본 발명의 팁 홀더의 설치 방법은 기판을 스크라이브 가공하기 위한 휠 팁을 보유 지지하는 동시에, 보유 지지하는 휠 팁의 형식을 기록한 코드를 갖는 팁 홀더의 기판 가공 장치로의 설치 방법이며, (a) 상기 기판 가공 장치에 접속된 컴퓨터에, 스크라이브 가공의 동작 내용을 정한 작업 정보와, 당해 스크라이브 가공에 사용 가능한 형식의 휠 팁을 특정하는 허용 형식 정보를 관련시켜 기억시킨 스크라이브 레시피를, 스크라이브 가공의 종류마다 설정하는 스텝과, (b) 스크라이브 가공의 실행 시에 상기 스크라이브 레시피를 선택하는 스텝과, (c) 선택된 스크라이브 레시피에 포함되는 허용 형식 정보에 적합한 휠 팁을 결정하는 스텝과, (d) 소정의 적재 장소에 적재된 팁 홀더의 상기 코드를 리더로 판독하여, 상기 스텝 (c)에서 결정된 휠 팁을 보유 지지하는 팁 홀더를 취출하여 상기 기판 가공 장치에 설치하는 스텝으로 이루어진다.Further, the installation method of the tip holder of the present invention made from another viewpoint is to install a tip holder having a cord that records the type of the wheel tip to hold, while holding the wheel tip for scribing the substrate to the substrate processing apparatus. Method (a) A scribe recipe in which a computer connected to the substrate processing apparatus stores work information in which operation contents of scribing processing are determined and allowable format information specifying wheel tips of a format usable in the scribing process are stored. (B) selecting the scribe recipe at the time of scribing, and (c) determining a wheel tip suitable for the allowable format information included in the selected scribe recipe. And (d) the code of the tip holder loaded at a predetermined loading place is read by a reader, It takes out the tip holder for holding a wheel chip determined in (c) comprises a step of installation on the substrate processing apparatus.

여기서, 허용 형식 정보에는 복수의 휠 팁의 형식이 포함되어 있어도 좋다.Here, the allowable format information may include the format of a plurality of wheel tips.

본 발명에 따르면, 미리 동작 내용이 다른 스크라이브 레시피마다 그 스크라이브 레시피에서 사용 가능한 휠 팁의 형식이 등록되어 있고, 스크라이브 레시피를 선택하면 사용 가능한 휠 팁이 결정되어, 로봇 등의 자동화 수단으로 그 휠 팁을 보유 지지하는 팁 홀더를 픽업하여 장치에 설치하므로, 오퍼레이터의 오입력에 의한 설치 작업을 방지할 수 있어, 본래 사용해서는 안되는 휠 팁에 의한 스크라이브를 배제할 수 있다.According to the present invention, the type of wheel tip that can be used in the scribe recipe is registered for each scribe recipe having different operation contents in advance, and when the scribe recipe is selected, the available wheel tip is determined, and the wheel tip is determined by an automation means such as a robot. By picking up the tip holder holding the tool and installing the tip holder in the apparatus, it is possible to prevent the installation work due to an erroneous input of the operator and to eliminate the scribe by the wheel tip which should not be used inherently.

도 1은 본 발명을 실시할 때에 사용되는 기판 가공 장치의 일례를 도시하는 사시도.
도 2는 본 발명에 관한 팁 홀더의 일례를 도시하는 도면.
도 3은 본 발명에 관한 팁 홀더와, 이것을 설치하는 홀더 조인트를 도시하는 사시도.
도 4는 본 발명에 관한 팁 홀더와 홀더 조인트를 도시하는 일부 단면 정면도.
도 5는 팁 홀더 수납체의 일례를 도시하는 분해 사시도.
도 6은 팁 홀더 수납체에 팁 홀더를 수납한 상태의 단면도.
도 7은 도 5에 도시하는 팁 홀더 수납체에 있어서의 탄성 스토퍼의 동작을 도시하는 설명도.
도 8은 팁 홀더 수납체의 다른 실시예를 도시하는 단면도.
도 9는 팁 홀더 수납체의 또 다른 실시예를 도시하는 단면도.
도 10은 도 1에 도시하는 기판 가공 장치에 있어서의 로봇과 적재 선반을 도시하는 사시도.
도 11은 적재 선반의 다른 실시예를 도시하는 사시도.
도 12는 적재 선반의 또 다른 실시예를 도시하는 사시도.
도 13은 도 1에 도시하는 기판 가공 장치에 있어서, CCD 카메라로 얼라인먼트 마크를 촬상한 상태를 도시하는 설명도.
도 14는 도 1에 도시하는 기판 가공 장치의 제어계의 구성을 도시하는 블록도.
도 15는 외절단, 내절단의 스크라이브 방법의 설명도.
도 16은 스크라이브 레시피를 선택하여 스크라이브를 개시할 때까지의 공정을 도시하는 흐름도.
도 17은 컴퓨터에 기억된 스크라이브 레시피의 일례를 도시하는 도면.
도 18은 종래의 기판 가공 장치의 일례를 도시하는 사시도.
도 19는 종래의 팁 홀더를 도시하는 사시도.
도 20은 종래의 팁 홀더와 홀더 조인트를 도시하는 일부 단면 정면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The perspective view which shows an example of the substrate processing apparatus used when implementing this invention.
2 shows an example of a tip holder according to the present invention;
3 is a perspective view showing a tip holder and a holder joint for mounting the tip holder according to the present invention;
4 is a partial cross-sectional front view showing the tip holder and the holder joint according to the present invention;
5 is an exploded perspective view illustrating an example of a tip holder housing;
6 is a cross-sectional view of the tip holder housing in the tip holder housing;
FIG. 7 is an explanatory diagram showing the operation of the elastic stopper in the tip holder housing shown in FIG. 5. FIG.
8 is a sectional view showing another embodiment of the tip holder housing;
Fig. 9 is a sectional view showing yet another embodiment of the tip holder housing.
FIG. 10 is a perspective view illustrating a robot and a mounting shelf in the substrate processing apparatus shown in FIG. 1. FIG.
11 is a perspective view showing another embodiment of the loading shelf.
12 is a perspective view showing another embodiment of a loading shelf.
13 is an explanatory diagram showing a state in which an alignment mark is captured by a CCD camera in the substrate processing apparatus shown in FIG. 1.
FIG. 14 is a block diagram showing the configuration of a control system of the substrate processing apparatus shown in FIG. 1. FIG.
15 is an explanatory diagram of a scribe method of external cutting and internal cutting;
Fig. 16 is a flowchart showing a process until selecting a scribe recipe to start scribing.
17 is a diagram showing an example of a scribe recipe stored in a computer.
18 is a perspective view illustrating an example of a conventional substrate processing apparatus.
19 is a perspective view showing a conventional tip holder.
20 is a partial cross-sectional front view showing a conventional tip holder and holder joint.

이하에 있어서, 본 발명의 상세를 그 실시 형태를 도시하는 도면에 기초하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, the detail of this invention is described based on drawing which shows the embodiment.

도 1은 본 발명 방법을 실시할 때에 사용되는 기판 가공 장치(기판 가공 시스템)의 일례를 도시하는 개략적인 사시도이다. 이 기판 가공 장치 A는 가공 대상이 되는 기판(W)을 적재하여 보유 지지하는 수평한 테이블(1)을 구비하고 있다. 테이블(1)은 모터를 내장하는 회전 구동부(2)에 의해 수평면 내에서 회전할 수 있도록 되어 있고, 또한 수평한 레일(3)을 따라서 Y방향으로 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 이 Y방향의 이동은 모터(4)에 의해 회전하는 나사 축(5)으로부터 행해진다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic perspective view which shows an example of the substrate processing apparatus (substrate processing system) used when implementing the method of this invention. This substrate processing apparatus A is equipped with the horizontal table 1 which loads and hold | maintains the board | substrate W used as a process object. The table 1 can be rotated in a horizontal plane by the rotation drive part 2 which embeds a motor, and is comprised so that it may move to a Y direction along the horizontal rail 3. This Y-direction movement is performed from the screw shaft 5 rotating by the motor 4.

기판 가공 장치 A에는 한 쌍의 지주(6, 6)와, 이들 지주(6, 6)를 연결하도록 X방향으로 수평으로 연장되는 가이드 바(7)를 구비한 브리지(8)가, 테이블(1)을 걸치도록 하여 설치되어 있다. 가이드 바(7)에는 X방향으로 수평으로 연장되는 가이드(9)가 설치되어, 스크라이브 헤드(10)가 가이드(9)를 따라서 X방향으로 이동할 수 있도록 배치되어 있다. 스크라이브 헤드(10)의 X방향으로의 이동은 모터(11)의 구동에 의해 행해진다. 스크라이브 헤드(10)에는 휠 팁(12e)을 구비한 팁 홀더(12)가 홀더 조인트(13)를 통해 착탈 가능하게 설치된다. 스크라이브 헤드(10)의 내부에는 팁 홀더(12)의 승강을 가능하게 하는 승강 기구가 조립되어 있다. 또한, 브리지(8)의 상부에는 기판(W)의 얼라인먼트 마크를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(18, 18)가 설치되어 있다.In the substrate processing apparatus A, a bridge 8 having a pair of struts 6 and 6 and a guide bar 7 extending horizontally in the X direction to connect the struts 6 and 6 is provided with a table 1. Installed). The guide bar 7 is provided with a guide 9 extending horizontally in the X direction, and the scribe head 10 is arranged to move in the X direction along the guide 9. The movement of the scribe head 10 in the X direction is performed by the driving of the motor 11. The scribe head 10 is detachably installed through the holder joint 13 with a tip holder 12 having a wheel tip 12e. An elevating mechanism for allowing the tip holder 12 to elevate is assembled inside the scribe head 10. Moreover, two CCD cameras 18 and 18 which image the alignment mark of the board | substrate W are provided in the upper part of the bridge 8.

이와 같은 구성을 기초로, 테이블(1) 상에 적재한 기판(W)에 휠 팁(12e)을 누르면서 휠 팁(12e)과 테이블(1)의 한쪽 또는 양쪽을 이동시킴으로써, 기판(W)을 X-Y방향으로 스크라이브하여 스크라이브 홈을 형성하거나 분단할 수 있도록 되어 있다.Based on such a structure, the board | substrate W is moved by moving one or both of the wheel tip 12e and the table 1, pressing the wheel tip 12e to the board | substrate W mounted on the table 1. It can be scribed in the XY direction to form or divide a scribe groove.

또한, 기판 가공 장치 A의 테이블(1)의 근방에, 팁 홀더(12)를 수납하는 복수의 팁 홀더 수납체(15)를 적재하는 적재 선반(16)과, 팁 홀더(12)를 팁 홀더 수납체(15)로부터 발출하여 스크라이브 헤드(10)의 홀더 조인트(13)에 설치하거나, 혹은 홀더 조인트(13)로부터 팁 홀더(12)를 제거하는 로봇(17)(팁 홀더 설치 로봇)이 설치되어 있다.Moreover, in the vicinity of the table 1 of the substrate processing apparatus A, the loading shelf 16 which mounts the some tip holder storage body 15 which accommodates the tip holder 12, and the tip holder 12 are tip holders. A robot 17 (tip holder mounting robot) is mounted to the holder joint 13 of the scribe head 10 to be removed from the housing 15 or to remove the tip holder 12 from the holder joint 13. It is.

도 2는 팁 홀더(12)의 일례를 도시하는 것이며, 도 2의 (a)는 정면도이고, 도 2의 (b)는 측면 종단면도이고, 도 2의 (c)는 사시도이다. 팁 홀더(12)는 대략 원기둥 형상의 통체부(12a)와, 통체부(12a)의 일단부(하단부)에서 통체부(12a)의 축심에 대해 평행하고 또한 서로 대칭으로 형성된 한 쌍의 평탄면(12b, 12b)을 구비하고, 또한 이들 한 쌍의 평탄면(12b, 12b) 사이에, 상기 평탄면(12b)과 평행하게 형성된 절결 홈(12c)이 통체부(12a)의 축심을 따라서 형성되어 있다. 이 절결 홈(12c)에, 통체부(12a)의 축심에 대해 직교하는 휠 축(12d)을 통해 휠 팁(12e)이, 그 일부를 통체부(12a)의 하단부면으로부터 노출시킨 상태에서 회전 가능하게 설치되어 있다. 평탄면(12b)의 한쪽에는, 후술하는 바와 같이 이 팁 홀더(12)에 보유 지지되어 있는 휠 팁(12e)의 종류를 식별하기 위한 형식의 정보나, 개개의 팁 홀더를 식별하기 위한 관리 번호(고체 식별 번호) 등의, 관리상 유용한 데이터를 기록한 코드(12i)가 인쇄되어 있다.FIG. 2 shows an example of the tip holder 12, FIG. 2A is a front view, FIG. 2B is a side longitudinal cross-sectional view, and FIG. 2C is a perspective view. The tip holder 12 is a pair of flat surfaces that are formed in a substantially cylindrical cylindrical portion 12a and parallel to the axis of the cylindrical portion 12a at one end (lower end) of the cylindrical portion 12a and symmetrically with each other. The notch groove 12c provided with 12b, 12b and formed in parallel with the said flat surface 12b between these pair of flat surfaces 12b and 12b is formed along the axis of the cylinder part 12a. It is. The wheel tip 12e rotates in this notch groove 12c through a wheel shaft 12d orthogonal to the shaft center of the cylinder portion 12a in a state in which part thereof is exposed from the lower end surface of the cylinder portion 12a. It is possibly installed. On one side of the flat surface 12b, as described later, information in the form for identifying the type of the wheel tip 12e held by the tip holder 12, and a management number for identifying the individual tip holders. A code 12i which records management useful data such as (solid identification number) is printed.

또한, 통체부(12a)의 타단부(상단부)에는 홀더 조인트(13)에 설치할 때의 위치 결정용 설치부(12f)가 설치되어 있다. 설치부(12f)는 통체부(12a)를 절결하여 형성된 평면부(12g)와 경사면(12h)을 구비하고 있다. 평면부(12g)는 통체부(12a)의 축심과는 평행하고, 하방에 있는 한 쌍의 평탄면(12b)과는 직교하고 있다. 또한, 설치부(12f)는 철 등의 자성체 금속으로 구성되어 있다.Moreover, the positioning installation part 12f at the time of attaching to the holder joint 13 is provided in the other end part (upper end part) of the cylinder part 12a. The mounting portion 12f includes a flat portion 12g and an inclined surface 12h formed by cutting the cylindrical portion 12a. The flat portion 12g is parallel to the axis of the cylindrical portion 12a and orthogonal to the pair of flat surfaces 12b below. In addition, the mounting portion 12f is made of a magnetic metal such as iron.

또한, 한 쌍의 평탄면(12b, 12b)의 하단부 부분에는 평탄면(12b)으로부터 돌출되는 1개의 핀(12j)이 각각 설치되어 있다. 이 핀(12j)은 평탄면(12b, 12b)에 있어서 회전 대칭 위치 혹은 좌우 대칭 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 핀(12j)은, 후술하는 바와 같이, 로봇(17)으로 팁 홀더(12)를 팁 홀더 수납체(15)로부터 발출할 때의 걸림으로서 작용한다. 또한, 핀(12j)은 각각의 평탄면에 있어서 1개씩 설치되어 있지만, 복수개 설치해도 좋다. 또한, 어느 한쪽의 평탄면(12b)의 핀(12j)을 생략하는 것도 가능하다. 또한, 팁 홀더(12)를 팁 홀더 수납체(15)에 수납한 것을 「팁 홀더 수납 세트」라고 한다.Moreover, one pin 12j which protrudes from the flat surface 12b is provided in the lower end part of a pair of flat surfaces 12b and 12b, respectively. It is preferable that this pin 12j is arrange | positioned at the rotationally symmetrical position or the left-right symmetrical position in the flat surface 12b, 12b. The pin 12j acts as a latch when the tip holder 12 is pulled out from the tip holder housing 15 by the robot 17 as described later. In addition, although one pin 12j is provided in each flat surface, you may provide multiple pins. In addition, it is also possible to omit the pin 12j of either flat surface 12b. The tip holder 12 accommodated in the tip holder accommodating body 15 is referred to as a " tip holder accommodating set ".

통체부(12a)의 외주면에서 설치부(12f)의 반대측에는 통체부(12a)의 축심 방향으로 연장되는 슬라이드 홈(12k)이 형성되어 있다. 이 슬라이드 홈(12k)은 후술하는 팁 홀더 수납체(15)의 수납 구멍 내면에 형성된 볼록조(15s)에 끼워 맞추도록 되어 있다. 이 슬라이드 홈(12k)의 일단부는 절결 홈(12c)에 연결되어 있다.A slide groove 12k extending in the axial direction of the cylinder portion 12a is formed on the opposite side of the mounting portion 12f on the outer circumferential surface of the cylinder portion 12a. The slide groove 12k is fitted to the convex tub 15s formed on the inner surface of the storage hole of the tip holder housing 15 described later. One end of the slide groove 12k is connected to the notch groove 12c.

스크라이브 헤드(10)에 설치된 홀더 조인트(13)는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 상부에 베어링(13a)을 구비하고 있고, 하부가 팁 홀더(12)를 보유 지지하는 보유 지지부(13b)로 되어 있다. 보유 지지부(13b)에는 하방을 향해 개방되는 단면 대략 원형의 개구부(13c)가 형성되어 있고, 그 안측부에 자석(13e)이 설치되어 있다. 또한, 개구부(13c)의 내부에는 개구부(13c)의 축심과는 이격된 개소에서 상기 축심에 수직인 방향으로 연장되는 위치 결정용 평행 핀(13d)이 설치되어 있다. 이 평행 핀(13d)은 팁 홀더(12)가 개구부(13c)에 삽입되었을 때에, 팁 홀더(12)의 경사면(12h)(도 2 참조)에 접촉하여 팁 홀더(12)의 자세를 일정 방향으로 위치 결정하는 것이다. 본 발명의 경우, 휠 팁(12e)의 회전 주행 방향이 스크라이브 방향과 일치하도록 위치 결정되어 있다.The holder joint 13 provided in the scribe head 10 is provided with the bearing 13a in the upper part as shown in FIG. 3 and FIG. 4, and the holding part 13b in which the lower part holds the tip holder 12. As shown in FIG. ) The holding portion 13b is formed with an opening 13c having a substantially circular cross section that opens downward, and a magnet 13e is provided in the inner side thereof. Moreover, inside the opening part 13c, the positioning parallel pin 13d extended in the direction perpendicular | vertical to the said shaft center is provided in the position spaced apart from the shaft center of the opening part 13c. This parallel pin 13d contacts the inclined surface 12h (refer FIG. 2) of the tip holder 12 when the tip holder 12 is inserted into the opening part 13c, and moves the posture of the tip holder 12 in a fixed direction. To position. In the case of the present invention, the rotational running direction of the wheel tip 12e is positioned to coincide with the scribe direction.

팁 홀더(12)를 홀더 조인트(13)에 설치할 때에는, 도 3에 도시한 바와 같이 홀더 조인트(13)의 개구부(13c)에 팁 홀더(12)를, 그 설치부(12f)로부터 삽입하여 행한다. 설치부(12f)가 홀더 조인트(13)의 개구부(13c)에 삽입되면, 팁 홀더(12)의 경사면(12h)에 접촉하여 위치 결정되는 동시에, 팁 홀더(12)의 상단부가 자석(13e)에 자기 흡착되어 보유 지지된다. 이에 의해, 팁 홀더(12)의 자세가 일정 방향을 향한 상태에서 간단하게 홀더 조인트(13)에 설치할 수 있다. 휠 팁(12e)을 교체할 때에는, 팁 홀더(12)를 자석(13e)의 자력에 저항하여 인발하고, 팁 홀더마다 교환한다.When installing the tip holder 12 to the holder joint 13, as shown in FIG. 3, the tip holder 12 is inserted in the opening part 13c of the holder joint 13 from the installation part 12f, and is performed. . When the mounting portion 12f is inserted into the opening 13c of the holder joint 13, it is positioned in contact with the inclined surface 12h of the tip holder 12, and at the same time, the upper end of the tip holder 12 is magnet 13e. It is self-adsorbed and held by. Thereby, the posture of the tip holder 12 can be easily attached to the holder joint 13 in the state which turned to the fixed direction. When replacing the wheel tip 12e, the tip holder 12 is pulled out by resisting the magnetic force of the magnet 13e and replaced for each tip holder.

도 5는 팁 홀더(12)를 수납하는 팁 홀더 수납체(15)의 일례를 도시하는 분해 사시도이고, 도 6은 팁 홀더(12)를 수납한 상태의 단면도이다. 팁 홀더 수납체(15)는 전후로 관통하는 단면 대략 원형의 수납 구멍(15a)을 구비하고, 또한 평평한 저면(15y)을 갖는 돔 형상 본체(15b)와, 수납 구멍(15a)의 전방 개구부를 폐쇄하는 전방부 캡(15c)과, 후방 개구부를 폐쇄하는 후방부 캡(15d)으로 이루어진다. 수납 구멍(15a)은 그 축심이 저면(15y)과 평행하게 형성되어 있다. 돔 형상 본체(15b)에는 수납 구멍(15a)의 전방 개구부의 하부 테두리에 연결되어 전방으로 연장되는 평평한 플랜지부(15e)가 설치되어 있다.FIG. 5 is an exploded perspective view showing an example of the tip holder housing 15 containing the tip holder 12, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the tip holder 12 stored therein. The tip holder housing 15 has a substantially circular storage hole 15a having a cross section penetrating back and forth, and closes the dome-shaped body 15b having a flat bottom face 15y and the front opening of the storage hole 15a. It consists of a front part cap 15c and the rear part cap 15d which closes a rear opening part. The storage hole 15a is formed with the shaft center parallel to the bottom face 15y. The dome-shaped main body 15b is provided with a flat flange portion 15e which is connected to the lower edge of the front opening of the storage hole 15a and extends forward.

팁 홀더(12)를 팁 홀더 수납체(15)의 수납 구멍(15a)에 수납할 때에는, 수납 구멍(15a)의 후방 개구부로부터 휠 팁(12e)을 선두로 하여 삽입한다. 이 삽입 시, 팁 홀더(12)의 코드(12i)를 설치한 평탄면(12b)이 돔 형상 본체(15b)의 저면(15y)과 평행하고 항상 상향의 자세가 되도록, 팁 홀더(12)의 슬라이드 홈(12k)이 끼워 맞추어지는 볼록조(15s)가 수납 구멍(15a)의 내면에 형성되어 있다. 팁 홀더(12)의 슬라이드 홈(12k)의 일단부는 절결 홈(12c)에 연결되어 형성되어 있으므로, 팁 홀더(12)를 수납 구멍(15a)에 삽입할 때, 절결 홈(12c)이 가이드로 되어 볼록조(15s)에 끼워 넣을 수 있어, 삽입 조작이 용이해진다. 또한, 팁 홀더(12)를 수납 구멍(15a)에 손으로 삽입하는 경우에는, 설치부(12f)의 평면부(12g)를 위로 향한 상태에서, 평면부(12g)에 엄지 손가락을 붙이고, 180° 반대측의 슬라이드 홈(12k)의 근방에 집게 손가락을 붙여, 양 손가락에 끼우도록 팁 홀더(12)를 파지하여 수납 구멍(15a)에 삽입하면, 작업 효율이 향상된다.When storing the tip holder 12 in the storage hole 15a of the tip holder housing 15, the wheel tip 12e is inserted from the rear opening of the storage hole 15a as a head. At the time of insertion, the flat surface 12b on which the cord 12i of the tip holder 12 is installed is parallel to the bottom surface 15y of the dome-shaped body 15b and is always in an upward position of the tip holder 12. A projection 15s into which the slide groove 12k is fitted is formed in the inner surface of the storage hole 15a. Since one end of the slide groove 12k of the tip holder 12 is formed in connection with the notch groove 12c, when the tip holder 12 is inserted into the storage hole 15a, the notch groove 12c is guided. It can be inserted in 15s of protrusions, and insertion operation becomes easy. In addition, when inserting the tip holder 12 into the storage hole 15a by hand, a thumb is attached to the flat part 12g with the flat part 12g of the mounting part 12f facing upwards, and 180 When the index finger is attached to the vicinity of the slide groove 12k on the opposite side, the tip holder 12 is gripped and inserted into the storage hole 15a so as to be fitted to both fingers, thereby improving work efficiency.

전방부 캡(15c)은 탄성이 있는 합성 수지재로 일체 성형되고, 돔 형상 본체(15b)의 저면(15y)에 면접하는 평평한 판형상부(15f)와, 돔 형상 본체(15b)의 정상부 주위면에 면접하는 원호 형상 상부 커버(15g)를 구비하고 있고, 판형상부(15f)와 원호 형상 상부 커버(15g)는 전방벽(15h)으로 연결되어 있다. 판형상부(15f)의 상면에는 우산 형상 헤드부(15k)를 갖는 탄성 스토퍼(15i)가 상방을 향해 돌출되어 설치되어 있고, 돔 형상 본체(15b)의 전방 개구부의 근방에는 탄성 스토퍼(15i)를 저면(15y)으로부터 삽입 관통시키기 위한 관통 구멍(15j)이 형성되어 있다.The front cap 15c is integrally molded with elastic synthetic resin material, and has a flat plate-shaped portion 15f that is in contact with the bottom surface 15y of the dome-shaped body 15b, and a circumferential surface of the top portion of the dome-shaped body 15b. 15 g of circular-shaped upper covers and the circular-shaped upper cover 15g are connected by the front wall 15h. An elastic stopper 15i having an umbrella-shaped head portion 15k protrudes upward on the upper surface of the plate-shaped portion 15f, and an elastic stopper 15i is provided near the front opening of the dome-shaped main body 15b. The through hole 15j for penetrating through the bottom face 15y is formed.

탄성 스토퍼(15i)를 관통 구멍(15j)에 삽입 관통할 때에는, 우선 도 7의 (a)에 도시한 바와 같이 우산 형상 헤드부(15k)가 압축되어 진입하고, 관통 구멍(15j)을 빠지면 도 7의 (b)에 도시한 바와 같이 우산 형상 헤드부(15k)가 원형으로 복원되어 확대되고, 관통 구멍(15j)으로부터 빠져나오지 않도록 되어 있다. 이 자세에 있어서, 탄성 스토퍼(15i)의 우산 형상 헤드부(15k)는 돔 형상 본체(15b)의 수납 구멍(15a)의 내주면으로부터 내측으로 약간 돌출되도록 그 치수가 미리 설정되어 있다. 또한, 탄성 스토퍼(15i)를 관통 구멍(15j)에 삽입 관통한 후, 이 탄성 스토퍼(15i)를 남기고 전방부 캡(15c)을 제거할 수 있도록, 탄성 스토퍼(15i) 근방의 판형상부(15f)에 취약한 절취선(15n)이 형성되어 있다. 또한, 원호 형상 상부 커버(15g)의 하면에는 돔 형상 본체(15b)의 상부 주위면에 설치된 결합 홈(15p)에 탄성 결합하는 돌기(15q)(도 6 참조)가 형성되어 있고, 돌기(15q)의 반대측, 즉 원호 형상 상부 커버(15g)의 상면에는 돌기(15q)의 결합을 해제하기 위한 손잡이편(15r)이 설치되어 있다.When inserting the elastic stopper 15i into the through hole 15j, first, the umbrella head 15k is compressed and enters as shown in Fig. 7A, and when the through hole 15j is removed, As shown in Fig. 7B, the umbrella head 15k is restored to a circular shape and enlarged so as not to escape from the through hole 15j. In this posture, the umbrella head portion 15k of the elastic stopper 15i is set in advance so that the umbrella head portion 15k slightly protrudes inward from the inner circumferential surface of the storage hole 15a of the dome-shaped main body 15b. Moreover, after penetrating the elastic stopper 15i into the through hole 15j, the plate-shaped part 15f in the vicinity of the elastic stopper 15i can be removed so that the front cap 15c can be removed leaving this elastic stopper 15i. The cut line 15n which is vulnerable to) is formed. Moreover, the projection 15q (refer FIG. 6) which elastically couples to the engagement groove 15p provided in the upper peripheral surface of the dome-shaped main body 15b is formed in the lower surface of the circular arc top cover 15g, and projection 15q is provided. A handle piece 15r for releasing the engagement of the projection 15q is provided on the opposite side of the), that is, on the upper surface of the arc-shaped upper cover 15g.

절취선(15n)으로부터 절취되어 돔 형상 본체(15b)에 남겨진 탄성 스토퍼(15i)는, 도 6에 도시한 바와 같이 수납 구멍(15a)에 수납된 팁 홀더(12)의 평탄면(12b)이 수납 구멍(15a)의 전방 개구부로부터 노출된 위치에서, 팁 홀더(12)의 전진을 일시적으로 제지하는 스토퍼로서 기능한다. 즉, 팁 홀더(12)의 평탄면(12b)에 인접하는 견부(12m)가 탄성 스토퍼(15i)의 우산 형상 헤드부(15k)에 접촉하여 탄성 스토퍼(15i)의 탄성 변형의 범위 내에서 전진이 제지된다. 그리고, 도 7의 (d)에 도시한 바와 같이, 탄성 스토퍼(15i)의 탄성력에 저항하여 팁 홀더(12)를 전방 개구부로부터 인출 방향으로 강하게 잡아당기면, 탄성 스토퍼(15i)는 비스듬히 쓰러져 팁 홀더(12)의 진행을 허용하도록 형성되어 있다. 이 경우, 탄성 스토퍼(15i)를 비스듬히 쓰러뜨릴 수 있도록, 관통 구멍(15j)은 여유를 갖게 하여 형성한다. 또한, 견부(12m)는 도면에 도시한 바와 같은 경사면이나 원호가 바람직하지만, 우산 형상 헤드부(15k)를 탄력에 저항하여 견딜 수 있으면, 대략 직각인 엣지여도 좋다.As for the elastic stopper 15i cut out from the cutting line 15n and left in the dome-shaped main body 15b, as shown in FIG. 6, the flat surface 12b of the tip holder 12 accommodated in the accommodation hole 15a is accommodated. At the position exposed from the front opening of the hole 15a, it functions as a stopper for temporarily restraining the advancement of the tip holder 12. That is, the shoulder 12m adjacent to the flat surface 12b of the tip holder 12 contacts the umbrella head portion 15k of the elastic stopper 15i to move forward within the range of elastic deformation of the elastic stopper 15i. This is restrained. And, as shown in Fig. 7D, when the tip holder 12 is strongly pulled in the withdrawal direction from the front opening in response to the elastic force of the elastic stopper 15i, the elastic stopper 15i falls down at an angle to the tip holder. It is formed to allow the progress of (12). In this case, the through hole 15j is formed with a margin so that the elastic stopper 15i can be knocked down at an angle. Incidentally, the shoulder 12m is preferably an inclined surface or an arc as shown in the drawing. However, as long as it can withstand the umbrella-shaped head portion 15k against elasticity, it may be an approximately right edge.

후방부 캡(15d)은 탄성이 있는 합성 수지재로 일체 성형되고, 캡 내면의 상하에 형성된 돌기(15t)가, 돔 형상 본체(15b)의 외주면의 상하에 형성된 결합 홈(15u)에 탄성적으로 결합하여 착탈 가능하게 설치되어 있다.The rear cap 15d is integrally molded with elastic synthetic resin material, and the projections 15t formed on the upper and lower sides of the cap inner surface are elastic to the engaging groove 15u formed above and below the outer circumferential surface of the dome-shaped main body 15b. It is installed detachably by combining.

전방부 캡(15c)은 팁 홀더 수납체(15)에 팁 홀더(12)를 수납했을 때에, 전방 개구부로부터의 팁 홀더(12)의 탈락을 방지하는 동시에, 휠 팁(12e)의 날끝을 보호하기 위한 것이고, 전방벽(15h)의 내면에는 휠 팁(12e)의 날끝이 끼워 넣어지는 오목부가 형성되어 있다(도 6 참조). 또한, 후방부 캡(15d)은 팁 홀더(12)가 수납 구멍(15a)의 후방 개구부로부터 탈락하는 것을 방지하기 위한 것이다.The front cap 15c prevents the tip holder 12 from falling off from the front opening when the tip holder 12 is accommodated in the tip holder housing 15 while protecting the blade tip of the wheel tip 12e. The inner surface of the front wall 15h is provided with a recess in which the blade tip of the wheel tip 12e is fitted (see Fig. 6). In addition, the rear cap 15d is for preventing the tip holder 12 from falling off from the rear opening of the accommodation hole 15a.

도 8의 (a)는 스토퍼의 다른 실시예를 도시한다. 이 실시예에서는, 상기한 탄성 스토퍼(15i) 대신에, 탄성 걸림 갈고리(15v)로 팁 홀더(12)의 전진을 규제하는 스토퍼를 형성하고 있다. 탄성 걸림 갈고리(15v)는 스프링(15w)에 의해 밀어올림 방향으로 탄력을 받은 상태에서 팁 홀더 수납체(15)의 돔 형상 본체(15b)에 설치되어 있다. 탄성 걸림 갈고리(15v)의 선단은 팁 홀더(12)의 견부(12m)에 경사면을 향하게 한 경사면으로 형성되어 있지만, 원호여도 좋다. 이 실시예에 있어서의 전방부 캡(15c')은 앞의 실시예에서 나타낸 전방부 캡(15c)으로부터 탄성 스토퍼(15i)를 없앤 구조이며, 서로 탄성적으로 끼워 맞추는 결합 홈(15p') 및 돌기(15q')에 의해 수납 구멍(15a)의 전방 개구부에 착탈 가능하게 설치되어 있다. 또한, 전방벽(15h)의 내면에는 전방부 캡(15c)과 마찬가지로, 휠 팁(12e)의 날끝이 끼워 넣어지는 오목부가 형성되어 있다. 또한, 수납 구멍(15a)의 후방 개구부에는 앞의 실시예와 마찬가지로 후방부 캡(15d)이 착탈 가능하게 설치되어 있다.Fig. 8A shows another embodiment of the stopper. In this embodiment, instead of the above-mentioned elastic stopper 15i, a stopper for restricting the advance of the tip holder 12 is formed by the elastic hook 15v. The elastic hook 15v is provided in the dome-shaped main body 15b of the tip holder housing 15 in a state in which the elastic hook 15v is elastically pushed up by the spring 15w. The tip of the elastic locking hook 15v is formed in the inclined surface facing the inclined surface at the shoulder 12m of the tip holder 12, but may be an arc. The front cap 15c 'in this embodiment has a structure in which the elastic stopper 15i is removed from the front cap 15c shown in the previous embodiment, and an engaging groove 15p' that elastically fits with each other and The protrusion 15q 'is detachably attached to the front opening of the storage hole 15a. In addition, in the inner surface of the front wall 15h, similarly to the front cap 15c, a concave portion into which the blade tip of the wheel tip 12e is fitted is formed. In addition, the rear cap 15d is detachably attached to the rear opening of the storage hole 15a in the same manner as in the previous embodiment.

또한, 상기한 후방부 캡(15d) 대신에, 도 8의 (b)에 도시한 바와 같이, 탄성 걸림 갈고리(15v)와 동일한 구성을 갖는 탄성 걸림 갈고리(15x)를 수납 구멍(15a)의 후방 개구부 부근에 설치하여, 팁 홀더(12)가 수납 구멍(15a)의 후방 개구부로부터 탈락하지 않도록 해도 좋다. 탄성 걸림 갈고리(15x)의 선단도 팁 홀더(12)를 삽입하기 쉽고, 또한 빠지기 어렵도록, 후방 개구부에 경사면을 향하게 한 경사면으로 형성되어 있지만, 원호여도 좋다.Instead of the rear cap 15d described above, as shown in Fig. 8B, the elastic hook 15x having the same configuration as the elastic hook 15v is provided at the rear of the storage hole 15a. It may be provided near the opening, so that the tip holder 12 does not fall off from the rear opening of the storage hole 15a. The tip of the elastic hook 15x is also formed with an inclined surface facing the inclined surface in the rear opening so that the tip holder 12 can be easily inserted and difficult to be pulled out, but may be an arc.

상기한 실시예에 있어서는, 각 팁 홀더 수납체(15)에 1개의 팁 홀더(12)를 수납한 예를 나타냈지만, 도 9에 도시한 바와 같이, 복수개, 예를 들어 5 내지 10개의 팁 홀더(12)를 수납할 수도 있다. 이 경우, 선행의 팁 홀더(12)의 꼬리부에 후속의 팁 홀더(12)의 휠 팁(12e)이 닿아 날끝이 파손되는 것을 방지하기 위해, 팁 홀더(12)의 꼬리부(도 2에 있어서의 상단부면)에 날끝이 끼워 넣어지는 오목부(12p)를 형성하는 것이 좋다.In the above-described embodiment, an example in which one tip holder 12 is stored in each tip holder housing 15 is shown. However, as shown in FIG. 9, a plurality of tip holders, for example, 5 to 10 tip holders are illustrated. (12) can also be accommodated. In this case, in order to prevent the tip of the tip holder 12 from contacting the tip of the tip 12 with the wheel tip 12e of the subsequent tip holder 12 and breaking the blade tip, the tail of the tip holder 12 (see FIG. 2). It is good to form the recessed part 12p in which the blade tip is fitted in the upper end surface).

상기 팁 홀더 수납체(15)는 복수개 준비되어, 종류가 다른 휠 팁(12e)을 구비한 팁 홀더(12)를 종류마다 구분하여 각각의 팁 홀더 수납체(15)에 수납하고, 공장 내 등에서 보관된다. 그리고 사용 시에, 전방부 캡(15c)을 제거한 상태에서 기판 가공 장치 A의 적재 선반(16)에 정렬하여 배치한다.A plurality of tip holder housings 15 are prepared, the tip holders 12 having different types of wheel tips 12e are classified for each type, and stored in the tip holder housings 15, respectively. Are kept. At the time of use, it arrange | positions and arrange | positions to the loading shelf 16 of the substrate processing apparatus A in the state which removed the front part cap 15c.

도 10은 복수의, 예를 들어 3개의 팁 홀더 수납체(15)를 정렬하여 적재하는 적재 선반(16)과, 상기 적재 선반의 근방에 설치된 로봇(17)을 도시하는 사시도이다.FIG. 10 is a perspective view showing a stacking shelf 16 for arranging a plurality of, for example, three tip holder housings 15, and a robot 17 provided in the vicinity of the stacking shelf.

이 실시예에 있어서, 적재 선반(16)은 팁 홀더 수납체(15)의 평평한 저면(15y)을 적재면으로 하여 적재하는 3매의 선반판(16a)을 구비하고 있다. 각 선반판(16a)에는 팁 홀더 수납체(15)에 수납된 팁 홀더(12)의 평탄면(12b)이, 선반판(16a)의 전단부 테두리(16b)로부터 돌출된 상태에서 보유 지지되도록, 선반판 주연부에 주위 프레임(16c)이 설치되어 있다. 또한, 각 선반판(16a)은 전단부 테두리(16b)측에서 볼 때 계단 형상으로 조립되어 있다.In this embodiment, the stacking shelf 16 is provided with three shelves 16a for loading the flat bottom surface 15y of the tip holder housing 15 as a stacking surface. Each shelf plate 16a is held such that the flat surface 12b of the tip holder 12 accommodated in the tip holder housing 15 is held in the state protruding from the front end edge 16b of the shelf plate 16a. The peripheral frame 16c is provided in the periphery of the shelf board. In addition, each shelf board 16a is assembled in a staircase shape when viewed from the front end 16b side.

로봇(17)은 선단에 협착 갈고리(17b)를 갖는 로봇 아암(17a)과, 이 로봇 아암(17a)에 설치되어 팁 홀더(12)의 평탄면(12b)에 설치된 코드(12i)를 판독하는 리더(17c)를 구비하고 있다. 로봇 아암(17a)은 그 선단의 협착 갈고리(17b)가, 팁 홀더 수납체(15)로부터 노출된 팁 홀더(12)의 한 쌍의 평탄면(12b, 12b)을 옆으로부터 끼워 인출할 수 있도록 구성되어 있다. 이때, 각 선반판(16a)은 계단 형상으로 조립되어 있으므로, 다른 팁 홀더(12)에 방해되는 일 없이, 원하는 팁 홀더(12)를 파지하여 인출할 수 있는 동시에, 각 팁 홀더(12)의 코드(12i)가 평면상에서 겹치는 일이 없으므로, 상방으로부터 리더(17c)로 각 팁 홀더(12)의 코드(12i)를 용이하고 또한 정확하게 판독할 수 있다.The robot 17 reads a robot arm 17a having a squeezing hook 17b at its tip and a cord 12i provided on the robot arm 17a and installed on the flat surface 12b of the tip holder 12. The leader 17c is provided. The robotic arm 17a is able to pull out the pair of flat surfaces 12b and 12b of the tip holder 12 exposed from the tip holder housing 15 by the narrowing hook 17b at its tip. Consists of. At this time, since each shelf plate 16a is assembled in a staircase shape, the desired tip holder 12 can be grasped and pulled out without being disturbed by other tip holders 12, and at the same time, Since the cords 12i do not overlap on the plane, the cords 12i of each tip holder 12 can be easily and accurately read from the reader 17c from above.

또한, 협착 갈고리(17b)로 한 쌍의 평탄면(12b, 12b)을 옆으로부터 끼워 인출할 때에, 각 평탄면(12b)의 핀(12j, 12j)이 인발 방향에 대한 협착 갈고리(17b)로의 걸림이 되어, 확실하고 또한 원활하게 인출할 수 있다. 이때, 핀(12j)이 각 평탄면(12b, 12b)에 배치되어 있으므로, 협착 갈고리(17b)를 인출 방향에 대해 밸런스 좋게 걸 수 있어, 원활하게 팁 홀더(12)를 인출할 수 있다. 또한, 스크라이브 헤드의 홀더 조인트(13)(도 3 참조)로부터 발출하는 경우도 마찬가지이다.In addition, when the pair of flat surfaces 12b and 12b are pulled out from the side by the narrowing hook 17b, the pins 12j and 12j of each flat surface 12b are directed to the narrowing hook 17b in the drawing direction. It becomes a jam and can draw out reliably and smoothly. At this time, since the pin 12j is arrange | positioned at each flat surface 12b, 12b, the clamping hook 17b can be hooked | balanced with respect to the extraction direction, and the tip holder 12 can be taken out smoothly. The same applies to the case of extracting from the holder joint 13 (see FIG. 3) of the scribe head.

적재 선반(16)에 있어서의 복수의 선반판(16a)은, 도 11에 도시한 바와 같이 동일 평면상에서 로봇(17)에 가까운 측에 있는 선반판(16a)일수록, 전단부 테두리(16b)가 후퇴하도록 각각 후방으로 어긋나게 하여 형성해도 좋다. 이에 의해, 앞의 계단 형상으로 조립한 실시예와 마찬가지로, 로봇 아암(17a)의 협착 갈고리(17b)로 팁 홀더(12)를 인출할 때에, 다른 팁 홀더(12)에 방해되는 일 없이, 원하는 팁 홀더(12)를 파지하여 인출할 수 있는 동시에, 상방으로부터 로봇 아암(17a)의 리더(17c)로 각 팁 홀더(12)의 코드(12i)를 판독하는 것이 용이해진다.As for the several shelf board 16a in the stacking shelf 16, as shown in FIG. 11, as for the shelf board 16a located in the side near to the robot 17 on the same plane, the front-end edge 16b becomes Each may be shifted backward so as to retreat. As a result, when the tip holder 12 is pulled out by the squeezing hook 17b of the robot arm 17a, similarly to the embodiment assembled in the step shape described above, the desired tip is not disturbed. The tip holder 12 can be grasped and pulled out, and the code 12i of each tip holder 12 can be easily read by the reader 17c of the robot arm 17a from above.

상기한 적재 선반(16)의 선반판(16a)은, 도 12에 도시한 바와 같이 전단부 테두리(16b)가 하방으로 되도록 경사지게 하여 형성하는 것이 좋다. 이에 의해, 팁 홀더 수납체(15)로부터 팁 홀더(12)를 로봇 아암(17a)에 의해 인발할 때에, 자중에 의한 미끄럼 효과로 가볍게 인출할 수 있다. 특히, 도 9에서 도시한 복수의 팁 홀더(12)를 수납하는 팁 홀더 수납체(15)를 선반판(16a)에 적재하는 경우, 팁 홀더(12)가 자중에 의해 전진하는 정도의 경사각을 선반판(16a)에 형성해 두는 것이 좋다. 이에 의해, 선행의 팁 홀더(12)가 인출되면, 후속의 팁 홀더(12)가 자중에 의해 전진하여 스토퍼 위치에서 다음의 인출을 위해 대기시킬 수 있다.It is preferable to form the shelf board 16a of the above-described loading shelf 16 by inclining the front end edge 16b downward as shown in FIG. 12. Thereby, when drawing out the tip holder 12 from the tip holder housing 15 with the robot arm 17a, it can take out lightly by the sliding effect by self weight. In particular, when the tip holder housing 15 for storing the plurality of tip holders 12 shown in FIG. 9 is mounted on the shelf plate 16a, the inclination angle of the tip holder 12 is advanced by its own weight. It is good to form in the shelf board 16a. Thus, when the preceding tip holder 12 is pulled out, the subsequent tip holder 12 can be advanced by its own weight to stand by for the next withdrawal at the stopper position.

도 1의 기판 가공 장치에 의해 스크라이브를 개시하는 데 있어서는, 우선 기판(W)을 테이블(1) 상에 적재 보유 지지시킨다. 그리고, 브리지(8) 상에 설치된 2대의 CCD 카메라(18, 18)로, 도 13에 도시한 바와 같이 기판 상의 좌우 2개소의 위치 결정용 얼라인먼트 마크(M1, M2)를 검출한다. 이때의 얼라인먼트 마크를 연결하는 직선 S가, 2대의 CCD 카메라(18, 18)를 연결하는 기준 직선 L에 대해 기울어져 있는 경우에는, 테이블(1)을 회전 구동부(2)에서 회전시켜 경사각이 0으로 되도록 수정한다. 또한, 미리 설정된 스크라이브 개시 위치에 대한 휠 팁(12e)의 어긋남도 CCD 카메라(18)에 의해 검출된다. 만약, Y방향으로 어긋나 있으면, 그 어긋남량에 상당하는 분만큼 테이블(1)을 이동시킨다. 또한, X방향으로 어긋나 있으면, 스크라이브 헤드(10)를 그 어긋남량에 상당하는 분만큼 X방향으로 이동시킨다. 이 X-Y방향의 어긋남의 보정이나 기판의 경사각의 수정은, 도 14의 블록도에 도시한 바와 같이, 부대하는 컴퓨터(19)의 제어부(20)에 의해 행해진다.In starting scribing by the substrate processing apparatus of FIG. 1, the board | substrate W is first hold | maintained on the table 1. Then, two CCD cameras 18 and 18 provided on the bridge 8 detect two alignment marks M1 and M2 for positioning on the substrate, as shown in FIG. 13. When the straight line S connecting the alignment marks at this time is inclined with respect to the reference straight line L connecting the two CCD cameras 18 and 18, the table 1 is rotated by the rotation driving unit 2 so that the inclination angle is zero. Modify to be In addition, the shift of the wheel tip 12e with respect to the preset scribe start position is also detected by the CCD camera 18. If the shift is in the Y direction, the table 1 is moved by the amount corresponding to the shift amount. Moreover, if it shifts in the X direction, the scribe head 10 will be moved in the X direction by the amount corresponding to the shift amount. Correction of the misalignment in the X-Y direction and correction of the inclination angle of the substrate are performed by the control unit 20 of the computer 19, as shown in the block diagram of FIG.

도 14의 블록도에 있어서, 2대의 CCD 카메라(18)로부터의 출력은 컴퓨터(19)의 제어부(20)에 부여된다. 제어부(20)는 보정값에 기초하여 테이블 회전 구동부(2)를 동작하여 테이블(1)을 회전하고, 상기 경사각이 0으로 되도록 수정한다. 또한, X-Y방향의 어긋남의 보정도 각각의 구동부(21, 22)를 구동함으로써 행해진다. 보정 완료 후, 팁 홀더 승강 구동부(23)를 구동하여 팁 홀더(12)를 하강시키고, 기판(W)에 휠 팁(12e)을 누르면서 휠 팁(12e)과 테이블(1)의 한쪽 또는 양쪽을 이동시킴으로써, 기판(W)을 X-Y방향으로 스크라이브하여 스크라이브 홈을 형성한다. 이때에 사용되는 휠 팁(12e)의 주행 거리는 데이터 보유 지지부(24)에 기록되어, 휠 팁(12e)의 교환 시기가 되면 알람 등으로 표시된다.In the block diagram of FIG. 14, outputs from two CCD cameras 18 are provided to the control unit 20 of the computer 19. The control unit 20 operates the table rotation driving unit 2 based on the correction value to rotate the table 1 and corrects the inclination angle to zero. In addition, correction of misalignment in the X-Y direction is also performed by driving the respective driving units 21 and 22. After the completion of the calibration, the tip holder elevating drive unit 23 is driven to lower the tip holder 12, and one or both of the wheel tip 12e and the table 1 are pressed while pressing the wheel tip 12e against the substrate W. By moving, the substrate W is scribed in the XY direction to form a scribe groove. The travel distance of the wheel tip 12e used at this time is recorded in the data holding part 24, and when it is time to replace the wheel tip 12e, it is displayed with an alarm or the like.

팁 홀더(12)의 코드(12i)에는 1차원 코드, 예를 들어 바코드를 사용해도 되지만, 좁은 면적에서 많은 정보를 입력할 수 있는 2차원 코드[예를 들어, QR 코드(등록 상표)]가 바람직하다. 2차원 코드는 직접 인쇄하여 형성되지만, 라벨을 부착하도록 해도 좋다. 코드(12i)에는 팁 홀더(12)에 설치되어 있는 휠 팁(12e)의 형식의 정보나, 개개의 팁 홀더(12)를 고체 식별하기 위한 관리 번호 등이 텍스트 정보로서 기록되어 있다.Although the code 12i of the tip holder 12 may use a one-dimensional code, for example, a barcode, a two-dimensional code (for example, a QR code (registered trademark)) capable of inputting a lot of information in a small area is provided. desirable. The two-dimensional code is formed by printing directly, but a label may be attached. In the code 12i, information in the form of the wheel tip 12e provided in the tip holder 12, a management number for solidly identifying the individual tip holder 12, and the like are recorded as text information.

구체적으로는, 이하와 같은 서식으로 기록되어 있다.Specifically, it is recorded in the following format.

(형식을 나타내는 문자열)/(관리 번호를 나타내는 문자열)/(초기 보정 정보를 나타내는 문자열)(String indicating format) / (string indicating control number) / (string indicating initial calibration information)

이 중, 「형식」은 휠 팁(12e)의 종류마다의 사이즈(외경, 내경, 두께, 날끝 각도, 날끝 형상 등)나 재질을, 특정한 규칙에 따라서 문자열화한 것이다.Among these, the "form" is a string of the size (outer diameter, inner diameter, thickness, blade tip angle, blade tip shape, etc.) and the material for each kind of the wheel tip 12e according to a specific rule.

또한, 「관리 번호」는 각각의 휠 팁(12e)마다 똑같이 부여된 번호이다.In addition, a "management number" is a number similarly given to each wheel tip 12e.

「초기 보정 정보」는 팁 홀더(12)에 대한 휠 팁(12e)의 설치 오차에 기인한 스크라이브 위치의 어긋남을 캔슬하기 위해, 개개의 휠 팁(12e)마다 설치 오차를 계측하여, 미리 기록하도록 한 교정용 정보이다.The "initial correction information" measures the installation error for each wheel tip 12e and records it in advance in order to cancel the shift of the scribe position caused by the installation error of the wheel tip 12e with respect to the tip holder 12. One calibration information.

이들 정보는 코드(12i)가 코드 리더(17c)에 의해 판독되었을 때에 복원된다(디코드).These information are recovered (decode) when the code 12i is read by the code reader 17c.

또한, 기판 가공 장치 A에서 스크라이브 가공을 행할 때의 동작 내용을 기술한 스크라이브 레시피 SD가, 스크라이브 가공의 종류마다 작성되어, 컴퓨터(19)의 데이터 보유 지지부(24)(하드 디스크 등의 기록 매체)에 기록되어 있다.In addition, a scribe recipe SD describing the operation content when performing scribing in the substrate processing apparatus A is created for each type of scribing process, and the data holding unit 24 (recording medium such as a hard disk) of the computer 19 is prepared. It is recorded in

스크라이브 레시피 SD는 앞으로 실행하려고 하는 스크라이브 가공에 적합한 레시피 중 하나가 선택되면, 제어부(20)가 그것을 판독함으로써, 스크라이브 레시피 SD에 기술된 내용에 기초하여 장치의 각 부에 처리 명령이 이송되어, 기술 내용에 따른 스크라이브 처리가 실행되게 된다.When one of the recipes suitable for scribing processing to be executed in the future is selected, the scribe recipe SD is read by the control unit 20 so that the processing instruction is transferred to each part of the apparatus based on the contents described in the scribe recipe SD, The scribe process according to the contents is executed.

도 17은 컴퓨터(19)에 기억된 스크라이브 레시피 SD의 일례를 도시하는 도면이다. 각 스크라이브 레시피 SD에는 레시피 No.1∼No.4와 같이 레시피마다 식별하기 위한 번호가 부여되어 있다. 각각의 스크라이브 레시피 SD에는 스크라이브 가공에서 실행하는 동작 내용을 정한 작업 정보를 스크라이브 데이터(27)로서 기술하고 있고, 또한 그 스크라이브 가공에 사용 가능한 휠 팁의 형식을 특정하는 허용 형식 정보(26)를 스크라이브 데이터(27)에 관련지어 기억시키고 있다.FIG. 17 is a diagram showing an example of the scribe recipe SD stored in the computer 19. As shown in FIG. Each scribe recipe SD is assigned a number for identifying each recipe, such as recipe Nos. 1 to 4. In each scribing recipe SD, the scribing data 27 describes job information that defines the operation contents to be executed in scribing, and scribes allowable format information 26 that specifies the type of wheel tip that can be used for scribing. It is stored in association with the data 27.

구체적으로는, 허용 형식 정보(26)로서, 사용 가능한 휠 팁(12e)의 형식의 데이터가 1개(혹은 복수) 기술되어 있다. 도 17에서 예시한 허용 형식 정보 「D3.0T1.1H1.4」에서는 직경 3.0㎜, 두께 1.1㎜, 내경 1.4㎜인 휠 팁(12e)이 당해 스크라이브 레시피에 적합한 것을 나타내고 있다.Specifically, as the allowable format information 26, one (or more) data of the format of the usable wheel tip 12e is described. In the allowable type information "D3.0T1.1H1.4" illustrated in FIG. 17, the wheel tip 12e having a diameter of 3.0 mm, a thickness of 1.1 mm, and an inner diameter of 1.4 mm is suitable for the scribe recipe.

허용 형식 정보(26)에 기술된 형식과, 팁 홀더(12)에 부여된 코드(12i)에 「형식의 정보」로서 포함되어 있는 데이터는 동일 형식의 정보이다. 따라서, 코드(12i)를 판독함으로써, 허용 형식 정보(26)에 합치하는 형식의 휠 팁(12e)을 찾아낼 수 있도록 되어 있다. 이들 이외에도 날끝의 각도나 날끝의 형상(홈이 형성된 날끝, 홈이 없는 날끝, 홈 피치 등), 재료 등을 허용 형식 정보(26)에 포함시켜도 좋다.The format described in the acceptable format information 26 and the data contained in the code 12i given to the tip holder 12 as "form information" are information of the same format. Therefore, by reading the code 12i, it is possible to find the wheel tip 12e in a form that conforms to the allowable format information 26. In addition to these, the angle of the blade tip, the shape of the blade tip (blade tip with grooves, blade tip without grooves, groove pitch, etc.), materials, and the like may be included in the allowable type information 26.

또한, 스크라이브 데이터(27)에는 스크라이브 가공 시에 날끝을 어디부터 자르기 시작할지를 특정하는 위치 정보(「외절단」 「내절단」의 구별과 개시 위치의 정보)나, 기판 사이즈의 정보, 기판을 테이블에 적재하여 위치 정렬할 때에 필요한 얼라인먼트 위치 정보 등이 기술되어 있다. 이들 이외에도, 1개의 기판에 스크라이브 라인을 복수개 병행하여 형성할 때에는 그들의 피치, 개수 등이 필요에 따라서 기술되어 있다.In addition, the scribe data 27 includes positional information (information of the distinction between "external cutting" and "internal cutting" and starting position), substrate size information, and substrate, which specify where to start cutting the blade edge during scribing. Alignment position information and the like necessary for stacking and aligning the position are described. In addition to these, when forming a plurality of scribe lines in one substrate in parallel, their pitches, numbers, and the like are described as necessary.

여기서, 스크라이브 데이터(27) 중 1개로서 기술되어 있는(「외절단」과 「내절단」에 의한) 개시 위치의 정보에 대해 설명한다. 「외절단」은, 도 15의 (a)에 도시한 바와 같이, 휠 팁(12e)의 최하단부를 기판(W)의 표면(상면)보다 약간 하방까지 강하시킨 상태에서, 기판(W)의 단부 테두리의 외측 위치(스크라이브 개시 위치)에 세트한다. 그리고, 세트한 위치로부터 수평 이동시켜, 기판 단부에 충돌시켜 얹혀지고, 또한 소정의 스크라이브압으로 압박하면서 수평 이동시켜 스크라이브를 행한다. 한편, 「내절단」은, 도 15의 (b)에 도시한 바와 같이, 기판의 단부 테두리로부터 내측(스크라이브 개시 위치)에서 휠 팁(12e)을 상방으로부터 하강시켜 기판에 소정의 스크라이브 압력으로 접촉시키고, 압박하면서 수평 이동시켜 스크라이브를 행한다. 이 「외절단」과 「내절단」은 각각 장단점을 갖고, 기판의 종류나 두께, 용도에 따라서 구분지어 사용되고 있다.Here, the information of the start position (by "external cutting" and "internal cutting") described as one of the scribe data 27 will be described. As shown in FIG. 15A, the "external cutting" is an end of the substrate W in a state where the lowermost end of the wheel tip 12e is lowered slightly below the surface (upper surface) of the substrate W. FIG. It is set in the outer position (scribe start position) of an edge. Then, the substrate is moved horizontally from the set position, collided with the substrate end, and horizontally moved while being pressed at a predetermined scribe pressure to perform scribing. On the other hand, as shown in (b) of FIG. 15, "internal cutting" lowers the wheel tip 12e from the upper side from the inner side (scribing start position) from the edge of the board | substrate, and contacts a board | substrate with predetermined | prescribed scribe pressure. Scribe by horizontally moving while pressing. These "external cutting" and "internal cutting" have advantages and disadvantages, respectively, and are used depending on the type, thickness, and use of the substrate.

새롭게 스크라이브 데이터(27)를 작성할 때에는, 우선 「외절단」인지 「내절단」인지의 스크라이브 방식을 결정하여, 「외절단」의 경우에는 기판의 단부 테두리로부터 스크라이브 개시 위치까지의 거리를 「＋」값으로 하여 그 수치를, 또한 「내절단」의 경우에는 기판의 단부 테두리로부터 스크라이브 개시 위치까지의 거리를 「－」값으로 하여 그 수치를 입력하고, 스크라이브 데이터(27)에 기술한다. 스크라이브 데이터(27)가 기술되면, 그 「외절단」 또는 「내절단」에 적합한 휠 팁이 정해지므로, 그 휠 팁의 형식이 허용 형식 정보(26)로서 기술되게 된다. 이와 같이 하여 허용 형식 정보(26)와 스크라이브 데이터(27)가 관련된 1개의 스크라이브 레시피 SD가 작성된다.When the scribe data 27 is newly created, the scribing method of "external cutting" or "internal cutting" is first determined, and in the case of "external cutting", the distance from the edge of the substrate to the scribe start position is "+". The numerical value is set as the value, and in the case of "inner cutting", the numerical value is inputted as the "-" value from the edge of the board | substrate to the scribe start position, and it describes in the scribe data 27. As shown in FIG. When the scribe data 27 is described, a wheel tip suitable for the "external cutting" or "internal cutting" is determined, so that the format of the wheel tip is described as the allowable format information 26. In this way, one scribe recipe SD associated with the allowed format information 26 and the scribe data 27 is created.

그리고 가공 시에는 레시피 선택 버튼(25)(도 14 참조)으로, 이미 데이터 보유 지지부(24)에 기억되어 있는 복수의 스크라이브 레시피로부터 희망하는 레시피 번호를 선택할 수 있도록 하고 있다. 또한, 여기서는 레시피의 선택 수단으로서 선택 버튼(25)을 도시하였지만, 그 밖의 방법, 예를 들어 컴퓨터(19)의 모니터상에 각종 레시피를 표시시켜 이것을 선택하는 등의 방법으로 선택하는 것도 물론 가능하다.At the time of processing, the recipe selection button 25 (refer to FIG. 14) allows a desired recipe number to be selected from a plurality of scribe recipes already stored in the data holding section 24. In addition, although the selection button 25 is shown here as a means of selecting a recipe, it is of course possible to select it by other methods, for example, by displaying various recipes on the monitor of the computer 19 and selecting them. .

계속해서, 팁 홀더(12)의 설치 동작에 대해 설명한다.Subsequently, the installation operation of the tip holder 12 will be described.

사용 중인 휠 팁(12e)의 누적 주행 거리가 교환 시기에 도달했을 때나 다른 사양의 휠 팁(12e)으로 교환할 때에는, 기판 가공 장치 A가 정지된 후, 로봇(17)에 의해 휠 팁(12e)의 교환이 행해진다. 그때, 제어부(20)는 스크라이브 레시피 SD에 기술된 허용 형식 정보(26)를 참조하여, 사용 가능한 휠 팁의 형식에 관한 신호를 로봇으로 송출한다. 그러면, 로봇(17)은 부대의 리더(17c)에 의해 적재대(16)의 팁 홀더 수납체(15)에 저장되어 있는 팁 홀더(12)의 코드(12i)를 판독하여, 형식이 합치하는 휠 팁을 갖는 팁 홀더(12)를 선택하여 발출하여, 홀더 조인트(13)에 설치한다.When the cumulative traveling distance of the wheel tip 12e in use reaches the replacement time or when replacing the wheel tip 12e with another specification, the wheel processing tool 12e is stopped by the robot 17 after the substrate processing apparatus A is stopped. ) Is exchanged. At that time, the control unit 20 transmits a signal relating to the available wheel tip format to the robot with reference to the allowed format information 26 described in the scribe recipe SD. Then, the robot 17 reads the code 12i of the tip holder 12 stored in the tip holder housing 15 of the loading table 16 by the leader 17c of the unit, and the form matches. The tip holder 12 having the wheel tip is selected and taken out to be installed in the holder joint 13.

도 16은 사용하는 스크라이브 레시피를 선택하여 스크라이브를 개시할 때까지의 공정을 도시하는 흐름도이다. 우선, 컴퓨터(19)의 선택 버튼(25)으로 희망하는 스크라이브 레시피 SD를 선택(S1)하면, 선택된 스크라이브 레시피 SD에 기술된 허용 형식 정보(26)가 참조되어, 그 레시피에 사용 가능한 휠 팁(12e)의 형식이 결정된다(S2). 휠 팁(12e)이 결정되면, 로봇 아암(17a)이, 홀더 조인트(13)에 전회 사용한 팁 홀더가 설치되어 있으면 이것을 제거하여 별도로 준비한 수납 박스로 옮긴 후, 적재대(16)에 팁 홀더(12)를 취하러 간다(S3). 그리고, 리더(17c)로 팁 홀더(12)의 코드(12i)를 판독한다. 판독된 코드(12i)에는 휠 팁(12e)의 종류를 특정하는 형식 정보가 포함되어 있으므로, 만약 판독된 코드(12i)에 포함되는 형식 정보가 스크라이브 레시피 SD에 기술된 허용 형식 정보(26)와 다르면, 다음의 팁 홀더(12)로 이동하여 다시 코드(12i)를 판독하는 동작을 반복한다. 이와 같이 하여, 스크라이브 레시피 SD에 기술된 허용 형식 정보(26)에 일치하는 형식 정보를 갖는 팁 홀더(12)를 찾아내어 선택한다(S4). 계속해서, 선택된 팁 홀더(12)를, 로봇 아암(17a)으로 팁 홀더 수납체(15)로부터 빼낸다(S5). 빼낸 팁 홀더(12)를 스크라이브 헤드(10)까지 운반하여 홀더 조인트(13)에 설치한다(S6). 이 후, 스크라이브 레시피 SD의 스크라이브 데이터(27)에 기술된 작업 정보에 따라서 스크라이브 가공이 자동적으로 개시된다(S7).Fig. 16 is a flowchart showing a process until selecting a scribe recipe to be used to start scribing. First, when the desired scribe recipe SD is selected (S1) by the select button 25 of the computer 19, the permission type information 26 described in the selected scribe recipe SD is referred to, and the wheel tip ( 12e) is determined (S2). When the wheel tip 12e is determined, the robot arm 17a removes the tip holder used in the holder joint 13, if it is installed, and moves it to a separately prepared storage box, and then the tip holder ( 12) go to take (S3). Then, the code 12i of the tip holder 12 is read by the reader 17c. Since the read code 12i includes format information specifying the type of the wheel tip 12e, the format information included in the read code 12i is not equal to the allowed format information 26 described in the scribe recipe SD. If different, the operation of moving to the next tip holder 12 and reading the code 12i again is repeated. In this way, the tip holder 12 having the format information corresponding to the allowed format information 26 described in the scribe recipe SD is found and selected (S4). Subsequently, the selected tip holder 12 is taken out of the tip holder housing 15 by the robot arm 17a (S5). The removed tip holder 12 is transported to the scribe head 10 and installed in the holder joint 13 (S6). Thereafter, scribing is automatically started in accordance with the job information described in the scribe data 27 of the scribe recipe SD (S7).

이와 같은 처리를 행함으로써, 스크라이브 레시피 SD의 허용 형식 정보에 적합한 휠 팁을 갖는 팁 홀더만이 로봇에 의해 선택되어 설치되므로, 잘못된 팁 홀더(12)가 설치된다고 하는 문제를 방지할 수 있다.By performing such a process, since only the tip holder having a wheel tip suitable for the allowable format information of the scribe recipe SD is selected and installed by the robot, the problem that the wrong tip holder 12 is installed can be prevented.

이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대해 설명하였지만, 본 발명은 반드시 상기한 실시 형태로 특정되는 것은 아니고, 그 목적을 달성하여, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절하게 수정, 변경하는 것이 가능하다.As mentioned above, although the typical Example of this invention was described, this invention is not necessarily identified by the above-mentioned embodiment, Comprising: It is suitably corrected and changed within the range which does not deviate from a Claim, and achieves the objective. It is possible.

예를 들어, 스크라이브 레시피 SD의 허용 형식 정보(26)에 복수의 형식이 포함되도록 해도 좋다. 그 경우, 리더(17c)로 팁 홀더(12)의 코드(12i)를 판독할 때에, 적재대(16)에 놓여져 있는 각 팁 홀더 수납체(15)를 일순하도록 이동하여 모든 팁 홀더(12)의 코드(12i)를 판독한 후, 다음의 가공에 사용하는 1개의 팁 홀더를 결정하도록 하면 된다. 이 경우에는, 허용 형식 정보에 포함시키는 복수의 형식에 우선 순위를 설정해 둘 수도 있다.For example, the plurality of formats may be included in the allowed format information 26 of the scribe recipe SD. In that case, when reading the cord 12i of the tip holder 12 with the reader 17c, each tip holder housing 15 placed on the mounting table 16 is moved in order to move all the tip holders 12 to one another. After reading the code 12i, one tip holder to be used for the next processing may be determined. In this case, priority can be set to a plurality of formats included in the allowed format information.

본 발명은 기판의 표면에 휠 팁을 누르면서 스크라이브함으로써, 기판에 분단용 스크라이브 라인을 가공하거나 분단하는 기판 가공 장치에 이용할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICATION This invention can be used for the board | substrate processing apparatus which processes or divides the scribe line for dividing into a board | substrate by scribing, pressing a wheel tip on the surface of a board | substrate.

A : 기판 가공 장치
W : 기판
1 : 테이블
10 : 스크라이브 헤드
12 : 팁 홀더
12b : 평탄부
12i : 코드
12e : 휠 팁
13 : 홀더 조인트
15 : 팁 홀더 수납체
16 : 적재 선반
17 : 로봇
19 : 컴퓨터
25 : 레시피 선택 버튼A: Substrate Processing Equipment
W: substrate
1: Table
10: scribe head
12: tip holder
12b: flat part
12i: Code
12e: Wheel Tip
13: holder joint
15: tip holder housing
16: loading lathe
17: robot
19: computer
25: Recipe Selection Button

Claims (5)

휠 팁을 보유 지지하는 동시에 당해 휠 팁의 종류를 식별하는 형식을 기록한 코드가 부여된 팁 홀더가, 당해 팁 홀더의 착탈이 가능한 스크라이브 헤드의 홀더 조인트에 설치된 상태에서 스크라이브 가공을 행하는 기판 가공부와,
소정의 적재 장소에 적재된 복수의 팁 홀더의 내로부터 상기 스크라이브 가공에 사용하는 팁 홀더를 취출하여 상기 홀더 조인트에 설치하는 팁 홀더 설치 로봇과,
상기 기판 가공부에 의한 스크라이브 가공의 제어 및 상기 팁 홀더 설치 로봇에 의한 팁 홀더의 홀더 조인트로의 설치의 제어를 행하는 제어부를 구비한 기판 가공 시스템이며,
스크라이브 가공의 종류마다, 스크라이브 가공의 동작 내용을 정한 작업 정보와 당해 스크라이브 가공에 사용 가능한 형식의 휠 팁을 특정하는 허용 형식 정보를 관련시킨 스크라이브 레시피를 기억하는 데이터 보유 지지부와,
상기 스크라이브 레시피를 작성할 때의 입력을 행하는 입력부와,
기억된 스크라이브 레시피 중 어느 하나를 선택하는 레시피 선택부와,
상기 팁 홀더에 부여된 코드를 판독하는 리더를 구비하고,
상기 제어부는, 선택된 스크라이브 레시피의 허용 형식 정보에 기초하여, 적합한 휠 팁을 보유 지지한 팁 홀더를 결정하는 동시에, 상기 리더로 적재 장소의 팁 홀더에 부여된 코드를 판독하여 적합한 팁 홀더를 상기 팁 홀더 설치 로봇에 의해 상기 홀더 조인트에 설치하는 제어를 행하는 것을 특징으로 하는, 기판 가공 시스템.A substrate processing portion for performing scribing in a state in which a tip holder, which holds a wheel tip and is provided with a code which records a type for identifying the type of the wheel tip, is attached to a holder joint of a scribe head which is detachable of the tip holder; ,
A tip holder mounting robot for taking out a tip holder for use in the scribing process from a plurality of tip holders loaded at a predetermined loading place and installing the tip holder in the holder joint;
It is a board | substrate processing system provided with the control part which performs control of scribe processing by the said board | substrate processing part, and control of installation of the tip holder by the said tip holder installation robot to a holder joint,
A data holding unit for storing a scribe recipe associated with each type of scribing operation, the operation information which defines the operation contents of the scribing process and the allowable format information specifying the wheel tip of the format usable for the scribing process;
An input unit for performing input when creating the scribe recipe;
Recipe selection unit for selecting any one of the memorized scribe recipes,
A reader for reading the code given to the tip holder,
The control unit determines a tip holder holding a suitable wheel tip based on the allowable format information of the selected scribe recipe, and simultaneously reads the code given to the tip holder of the loading place with the reader so that a suitable tip holder is read. A substrate processing system, characterized in that the control is provided to the holder joint by a holder mounting robot. 제1항에 있어서, 상기 허용 형식 정보에 복수의 휠 팁의 형식이 포함되는, 기판 가공 시스템.The substrate processing system of claim 1, wherein the allowable format information includes a plurality of wheel tips. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 리더는 팁 홀더 설치 로봇의 팁 홀더를 보유 지지하는 기구의 근방에 설치되는, 기판 가공 시스템.The substrate processing system according to claim 1 or 2, wherein the leader is installed near a mechanism that holds a tip holder of the tip holder mounting robot. 기판을 스크라이브 가공하기 위한 휠 팁을 보유 지지하는 동시에, 보유 지지하는 휠 팁의 형식을 기록한 코드를 갖는 팁 홀더의 기판 가공 장치로의 설치 방법이며,
(a) 상기 기판 가공 장치에 접속된 컴퓨터에, 스크라이브 가공의 동작 내용을 정한 작업 정보와, 당해 스크라이브 가공에 사용 가능한 형식의 휠 팁을 특정하는 허용 형식 정보를 관련시켜 기억시킨 스크라이브 레시피를, 스크라이브 가공의 종류마다 설정하는 스텝과,
(b) 스크라이브 가공의 실행 시에 상기 스크라이브 레시피를 선택하는 스텝과,
(c) 선택된 스크라이브 레시피에 포함되는 허용 형식 정보에 적합한 휠 팁을 결정하는 스텝과,
(d) 소정의 적재 장소에 적재된 팁 홀더의 상기 코드를 리더로 판독하여, 상기 스텝 (c)에서 결정된 휠 팁을 보유 지지하는 팁 홀더를 취출하여 상기 기판 가공 장치에 설치하는 스텝으로 이루어지는, 팁 홀더의 설치 방법.A method of installing a tip holder having a cord, which holds a wheel tip for scribing a substrate, and which records a type of the wheel tip to be held, to a substrate processing apparatus,
(a) Scribing the scribe recipe stored in the computer connected to the substrate processing apparatus in association with the operation information in which the operation content of the scribing operation is determined, and the permissible format information specifying the wheel tip of the format usable in the scribing process. Step to set for each type of processing,
(b) selecting the scribe recipe at the time of scribing;
(c) determining wheel tips suitable for accepted format information included in the selected scribe recipe;
(d) a step of reading the code of the tip holder loaded at a predetermined loading place with a reader, taking out the tip holder holding the wheel tip determined in the step (c) and installing the tip holder in the substrate processing apparatus; How to install the tip holder. 제4항에 있어서, 상기 허용 형식 정보에 복수의 휠 팁의 형식이 포함되는, 팁 홀더의 설치 방법.The tip holder installation method according to claim 4, wherein the allowable type information includes a plurality of wheel tips.
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