KR20210041977A - Device for changing scribing wheel and scribing apparatus including the same - Google Patents

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Abstract

According to an embodiment of the present invention, a device for changing a scribing wheel comprises: a scribing wheel holder storage module mounted with a plurality of scribing wheel holders; a code reader arranged to be adjacent to the scribing wheel holder storage module and configured to read a code displayed on the scribing wheel holder; and a rotation module rotating the scribing wheel holder storage module so that the code of the scribing wheel holder faces the code reader.

Description

스크라이빙 휠 교체 장치 및 이를 포함하는 스크라이빙 장치{DEVICE FOR CHANGING SCRIBING WHEEL AND SCRIBING APPARATUS INCLUDING THE SAME}Scribing wheel replacement device and scribing device including the same TECHNICAL FIELD [DEVICE FOR CHANGING SCRIBING WHEEL AND SCRIBING APPARATUS INCLUDING THE SAME}

본 발명은 기판을 절단하기 위해 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치와, 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠을 교체하도록 구성되는 스크라이빙 휠 교체 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing device configured to form a scribing line on a substrate to cut a substrate, and to a scribing wheel replacement device configured to replace a scribing wheel provided in the scribing device. .

일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(기판)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(단위 기판)을 사용한다.In general, a liquid crystal display panel, an organic electroluminescent display panel, an inorganic electroluminescent display panel, a transmissive projector substrate, a reflective projector substrate, etc. used in flat panel displays are formed from a brittle mother glass panel (substrate) such as glass to a predetermined size. Use the cut unit glass panel (unit substrate).

기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 절단하여 단위 기판을 얻는 브레이킹 공정을 포함한다.The process of cutting the substrate includes a scribing process of forming a scribing line by moving a scribing wheel made of a material such as diamond along a planned cutting line to be cut to form a scribing line, and a substrate along the scribing line. It includes a braking step of cutting the substrate by pressing to obtain a unit substrate.

스크라이빙 공정에서는, 기판의 이송 방향을 기준으로 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부가 지지된 상태에서, 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부 사이의 영역 내에서 스크라이빙 휠이 이동하면서 기판에 스크라이빙 라인을 형성하게 된다.In the scribing process, while the front end and the rear end of the substrate are supported with respect to the transfer direction of the substrate, the scribing wheel moves within the area between the front and rear ends of the substrate and the substrate To form a scribing line.

한편, 다수의 기판에 다수의 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서 스크라이빙 휠이 마모되므로, 스크라이빙 라인을 형성하는 공정을 원활하게 수행하기 위해, 마모된 스크라이빙 휠을 새로운 스크라이빙 휠로 교체할 필요가 있다.Meanwhile, since the scribing wheel is worn in the process of forming a plurality of scribing lines on a plurality of substrates, in order to smoothly perform the process of forming the scribing line, the worn scribing wheel is replaced with a new scribing wheel. It needs to be replaced with a bing wheel.

따라서, 스크라이빙 장치에는 스크라이빙 휠을 자동으로 교체하도록 구성되는 스크라이빙 휠 교체 장치가 구비된다. 스크라이빙 휠 교체 장치는, 스크라이빙 휠을 유지하는 스크라이빙 휠 홀더를 보관하는 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈과, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈에 보관된 스크라이빙 휠 홀더를 파지하여 상부 스크라이빙 휠 모듈 및 하부 스크라이빙 휠 모듈에 장착하는 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛을 포함한다.Accordingly, the scribing device is provided with a scribing wheel replacement device configured to automatically replace the scribing wheel. The scribing wheel replacement device grips the scribing wheel holder storage module that stores the scribing wheel holder that holds the scribing wheel, and the scribing wheel holder stored in the scribing wheel holder storage module. And a scribing wheel holder replacement unit mounted on the upper scribing wheel module and the lower scribing wheel module.

스크라이빙 휠 홀더의 일측에는 스크라이빙 휠에 관한 데이터가 기록된 코드가 표시된다.On one side of the scribing wheel holder, a code in which data related to the scribing wheel is recorded is displayed.

한편, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈의 상부에는 하부 스크라이빙 휠 모듈로부터 분리된 스크라이빙 휠 홀더 및 하부 스크라이빙 휠 모듈에 장착될 스크라이빙 휠 홀더가 보관된다. 그리고, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈의 하부에는 상부 스크라이빙 휠 모듈로부터 분리된 스크라이빙 휠 홀더 및 상부 스크라이빙 휠 모듈에 장착될 스크라이빙 휠 홀더가 보관된다.Meanwhile, a scribing wheel holder separated from the lower scribing wheel module and a scribing wheel holder to be mounted on the lower scribing wheel module are stored in the upper part of the scribing wheel holder storage module. Further, a scribing wheel holder separated from the upper scribing wheel module and a scribing wheel holder to be mounted on the upper scribing wheel module are stored under the scribing wheel holder storage module.

따라서, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈의 상부에 보관된 스크라이빙 휠 홀더에 표시된 코드가 향하는 방향과 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈의 하부에 보관된 스크라이빙 휠 홀더에 표시된 코드가 향하는 방향이 서로 반대된다.Therefore, the direction in which the code indicated on the scribing wheel holder stored in the upper part of the scribing wheel holder storage module faces and the direction in which the code indicated on the scribing wheel holder stored in the lower part of the scribing wheel holder storage module faces are They are opposite to each other.

이로 인하여, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈의 상부에 보관된 스크라이빙 휠 홀더에 표시된 코드를 판독하기 위한 상부 코드 리더 및 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈의 하부에 보관된 스크라이빙 휠 홀더에 표시된 코드를 판독하기 위한 하부 코드 리더가 각각 개별적으로 구비되어야 하는 문제가 있다.Due to this, the upper code reader for reading the code displayed on the scribing wheel holder stored in the upper part of the scribing wheel holder storage module and the scribing wheel holder stored in the lower part of the scribing wheel holder storage module. There is a problem that a lower code reader for reading a code must be separately provided.

본 발명의 목적은 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈의 두 대향측에 보관된 스크라이빙 휠 홀더에 표시된 코드를 하나의 코드 리더를 사용하여 판독할 수 있는 스크라이빙 휠 교체 장치 및 이를 포함하는 스크라이빙 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is a scribing wheel replacement device capable of reading a code displayed on a scribing wheel holder stored on two opposite sides of a scribing wheel holder storage module using a single code reader, and a scribing wheel replacement device including the same. It is to provide a cribbing device.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 휠 교체 장치는, 복수의 스크라이빙 휠 홀더가 탑재되는 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈; 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈에 인접하게 배치되고 스크라이빙 휠 홀더에 표시된 코드를 판독하도록 구성되는 코드 리더; 및 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈에 탑재된 스크라이빙 휠 홀더의 코드가 코드 리더에 대향하도록 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈을 회전시키는 회전 모듈을 포함할 수 있다.A scribing wheel replacement apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes: a scribing wheel holder storage module in which a plurality of scribing wheel holders are mounted; A code reader disposed adjacent to the scribing wheel holder storage module and configured to read a code displayed on the scribing wheel holder; And a rotation module for rotating the scribing wheel holder storage module so that the code of the scribing wheel holder mounted on the scribing wheel holder storage module faces the code reader.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 휠 교체 장치는, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈에 탑재된 스크라이빙 휠 홀더의 코드가 코드 리더에 대향하도록 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈을 이동시키는 구동 모듈을 더 포함할 수 있다.A scribing wheel replacement apparatus according to an embodiment of the present invention is a drive module for moving the scribing wheel holder storage module so that the code of the scribing wheel holder mounted on the scribing wheel holder storage module faces the code reader. It may further include.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 휠 교체 장치는, 스크라이빙 휠 홀더를 파지하도록 구성되는 한 쌍의 파지 부재를 포함하는 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛을 더 포함하고, 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛은 한 쌍의 파지 부재가 스크라이빙 휠 홀더를 파지하는지 여부를 검출하는 검출 모듈을 포함할 수 있다.The scribing wheel replacement apparatus according to an embodiment of the present invention further comprises a scribing wheel holder replacement unit including a pair of gripping members configured to grip the scribing wheel holder, and the scribing wheel holder The replacement unit may include a detection module that detects whether the pair of gripping members grips the scribing wheel holder.

또한, 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 상술한 스크라이빙 휠 교체 장치를 포함할 수 있다.In addition, the scribing apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object may include the above-described scribing wheel replacement apparatus.

또한, 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 상술한 스크라이빙 휠 교체 장치; 및 스크라이빙 휠 홀더가 장착되는 스크라이빙 헤드를 포함할 수 있고, 스크라이빙 휠 교체 장치는 스크라이빙 휠 홀더를 이송하도록 구성되는 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛을 더 포함할 수 있으며, 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛 및 스크라이빙 헤드는 일체로 연결될 수 있다.In addition, the scribing apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, the above-described scribing wheel replacement device; And a scribing head to which a scribing wheel holder is mounted, and the scribing wheel replacement device may further include a scribing wheel holder replacement unit configured to transfer the scribing wheel holder, The scribing wheel holder replacement unit and the scribing head may be integrally connected.

본 발명의 실시예에 따르면, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈의 두 대향측에 보관된 스크라이빙 휠 홀더에 표시된 코드를 하나의 코드 리더를 사용하여 판독할 수 있는 스크라이빙 휠 교체 장치를 제공함으로써, 부품의 수를 줄일 수 있고, 스크라이빙 휠 교체 장치의 구조 및 제어 방법을 단순화할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a scribing wheel replacement device capable of reading a code displayed on a scribing wheel holder stored on two opposite sides of a scribing wheel holder storage module using a single code reader is provided. By doing so, the number of parts can be reduced, and the structure and control method of the scribing wheel replacement device can be simplified.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠 교체 장치의 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈 및 코드 리더가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 휠 교체 장치가 스크라이빙 휠 홀더를 교체하는 과정을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 휠 교체 장치의 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛의 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 휠 교체 장치의 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛의 또 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 다른 예가 개략적으로 도시된 측면도이다.1 is a plan view schematically illustrating a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic side view of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram schematically illustrating a scribing wheel holder storage module and a code reader of a scribing wheel replacement device provided in a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 and 5 are views schematically illustrating a process of replacing the scribing wheel holder by the scribing wheel replacement apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 is a view schematically showing another example of a scribing wheel holder replacement unit of the scribing wheel replacement apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 is a view schematically showing another example of a scribing wheel holder replacement unit of the scribing wheel replacement apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is a side view schematically showing another example of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 휠 교체 장치 및 이를 포함하는 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a scribing wheel replacement apparatus and a scribing apparatus including the same according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

이하, 스크라이빙 라인이 형성될 기판이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.Hereinafter, the direction in which the substrate on which the scribing line is to be formed is transported is defined as the Y-axis direction, and the direction perpendicular to the direction in which the substrate is transported (Y-axis direction) is defined as the X-axis direction. In addition, the direction perpendicular to the X-Y plane on which the substrate is placed is defined as the Z-axis direction.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 유닛(30)과, 기판을 스크라이빙 유닛(30)으로 이송하는 제1 이송 유닛(20)과, 기판을 스크라이빙 유닛(30)으로부터 후속 공정으로 이송하는 제2 이송 유닛(40)과, 스크라이빙 휠 교체 장치(70)를 포함할 수 있다.1 and 2, a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a scribing unit 30 configured to form a scribing line on a substrate, and a scribing unit on the substrate. A first transfer unit 20 transferring to 30, a second transfer unit 40 transferring a substrate from the scribing unit 30 to a subsequent process, and a scribing wheel replacement device 70. can do.

제1 이송 유닛(20)은 기판을 지지하는 제1 스테이지(21)와, 제1 스테이지(21) 상에 지지된 기판의 후행단을 파지하는 파지 부재(22)와, 파지 부재(22)와 연결되며 X축 방향으로 연장되는 지지바(23)와, 지지바(23)와 연결되며 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(24)을 포함할 수 있다.The first transfer unit 20 includes a first stage 21 supporting a substrate, a gripping member 22 gripping a trailing end of the substrate supported on the first stage 21, and a gripping member 22 It may include a support bar 23 that is connected and extends in the X-axis direction, and a guide rail 24 that is connected with the support bar 23 and extends in the Y-axis direction.

일 예로서, 제1 스테이지(21)는 X축 방향으로 서로 이격된 복수의 벨트로서 구성될 수 있다. 다른 예로서, 도시되지 않았지만, 제1 스테이지(21)는 가스 공급원과 연결되어 가스를 분사하는 복수의 가스 분사홀을 구비하며, 기판의 하면을 향하여 가스를 분사하여 기판을 부양시키는 부양 테이블로서 구성될 수 있다. 또 다른 예로서, 도시되지 않았지만, 제1 스테이지(21)는 하나의 벨트로서 구성될 수 있다.As an example, the first stage 21 may be configured as a plurality of belts spaced apart from each other in the X-axis direction. As another example, although not shown, the first stage 21 has a plurality of gas injection holes connected to a gas supply source for injecting gas, and is configured as a flotation table for buoying the substrate by injecting gas toward the lower surface of the substrate. Can be. As another example, although not shown, the first stage 21 may be configured as one belt.

지지바(23)와 가이드 레일(24) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 부재(22)가 기판을 파지한 상태에서 지지바(23)가 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 제1 스테이지(21)(예를 들면, 벨트)는 파지 부재(22)의 이동과 함께 회전하면서 기판을 안정적으로 지지할 수 있다.Between the support bar 23 and the guide rail 24, an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be provided. Accordingly, as the support bar 23 is moved in the Y-axis direction by the linear movement mechanism while the holding member 22 holds the substrate, the substrate can be transferred in the Y-axis direction. At this time, the first stage 21 (eg, a belt) may stably support the substrate while rotating with the movement of the gripping member 22.

파지 부재(22)는 기판을 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다른 예로서, 파지 부재(22)는 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판을 흡착하도록 구성될 수 있다.The gripping member 22 may be a clamp that presses and holds the substrate. As another example, the holding member 22 may include a vacuum hole connected to a vacuum source and may be configured to adsorb a substrate.

제2 이송 유닛(40)은 기판을 지지하여 이송하는 제2 스테이지(41)를 포함할 수 있다.The second transfer unit 40 may include a second stage 41 that supports and transfers a substrate.

일 예로서, 제2 스테이지(41)는 X축 방향으로 서로 이격된 복수의 벨트로서 구성될 수 있다. 다른 예로서, 도시되지 않았지만, 제2 스테이지(41)는 하나의 벨트로서 구성될 수 있다.As an example, the second stage 41 may be configured as a plurality of belts spaced apart from each other in the X-axis direction. As another example, although not shown, the second stage 41 may be configured as one belt.

스크라이빙 유닛(30)은, X축 방향으로 연장되는 제1 프레임(31)과, 제1 프레임(31)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제1 스크라이빙 헤드(51)와, 제1 프레임(31)의 아래에서 제1 프레임(31)과 평행하게 배치되고 X축 방향으로 연장되는 제2 프레임(32)과, 제2 프레임(32)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제2 스크라이빙 헤드(52)를 포함할 수 있다.The scribing unit 30 includes a first frame 31 extending in the X-axis direction, a first scribing head 51 installed on the first frame 31 so as to be movable in the X-axis direction, A second frame 32 disposed in parallel with the first frame 31 under the first frame 31 and extending in the X-axis direction, and a second frame 32 installed to be movable in the X-axis direction. A second scribing head 52 may be included.

제1 스크라이빙 헤드(51) 및 제1 프레임(31) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비되며, 이러한 직선 이동 기구에 의해 제1 스크라이빙 헤드(51)가 X축 방향으로 이동될 수 있다.Between the first scribing head 51 and the first frame 31, a linear movement mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism is provided. , The first scribing head 51 may be moved in the X-axis direction by this linear movement mechanism.

제2 스크라이빙 헤드(52) 및 제2 프레임(32) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비되며, 이러한 직선 이동 기구에 의해 제2 스크라이빙 헤드(52)가 X축 방향으로 이동될 수 있다.Between the second scribing head 52 and the second frame 32, a linear movement mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism is provided. , The second scribing head 52 may be moved in the X-axis direction by this linear movement mechanism.

제1 스크라이빙 헤드(51) 및 제2 스크라이빙 헤드(52)는 Z축 방향으로 서로 대향하게 배치될 수 있다.The first scribing head 51 and the second scribing head 52 may be disposed to face each other in the Z-axis direction.

제1 스크라이빙 헤드(51)는, 스크라이빙 휠(61)을 유지하는 스크라이빙 휠 홀더(62)를 구비하는 제1 스크라이빙 휠 모듈(511)과, 제1 스크라이빙 휠 모듈(511)을 Z축 방향으로 이동시키도록 구성되는 제1 스크라이빙 휠 이동 모듈(512)을 포함할 수 있다.The first scribing head 51 includes a first scribing wheel module 511 including a scribing wheel holder 62 for holding the scribing wheel 61, and a first scribing wheel A first scribing wheel moving module 512 configured to move the module 511 in the Z-axis direction may be included.

제2 스크라이빙 헤드(52)는, 스크라이빙 휠(61)을 유지하는 스크라이빙 휠 홀더(62)를 구비하는 제2 스크라이빙 휠 모듈(521)과, 제2 스크라이빙 휠 모듈(521)을 Z축 방향으로 이동시키도록 구성되는 제2 스크라이빙 휠 이동 모듈(522)을 포함할 수 있다.The second scribing head 52 includes a second scribing wheel module 521 including a scribing wheel holder 62 for holding the scribing wheel 61, and a second scribing wheel A second scribing wheel movement module 522 configured to move the module 521 in the Z-axis direction may be included.

제1 스크라이빙 휠 모듈(511)에 구비되는 스크라이빙 휠(61) 및 제2 스크라이빙 휠 모듈(521)에 구비되는 스크라이빙 휠(61)은 Z축 방향으로 서로 대향하도록 배치될 수 있다.The scribing wheel 61 provided in the first scribing wheel module 511 and the scribing wheel 61 provided in the second scribing wheel module 521 are arranged to face each other in the Z-axis direction Can be.

제1 스크라이빙 휠 이동 모듈(512)에 의해 제1 스크라이빙 휠 모듈(511)이 기판을 향하여 이동됨에 따라, 스크라이빙 휠(61)이 기판에 가압될 수 있다. 스크라이빙 휠(61)이 기판을 가압하는 정도에 따라 기판에 대한 스크라이빙 휠(61)의 절삭 깊이가 조절될 수 있다.As the first scribing wheel module 511 is moved toward the substrate by the first scribing wheel moving module 512, the scribing wheel 61 may be pressed against the substrate. The cutting depth of the scribing wheel 61 with respect to the substrate may be adjusted according to the degree to which the scribing wheel 61 presses the substrate.

제2 스크라이빙 휠 이동 모듈(522)에 의해 제2 스크라이빙 휠 모듈(521)이 기판을 향하여 이동됨에 따라, 스크라이빙 휠(61)이 기판에 가압될 수 있다. 스크라이빙 휠(61)이 기판을 가압하는 정도에 따라 기판에 대한 스크라이빙 휠(61)의 절삭 깊이가 조절될 수 있다.As the second scribing wheel module 521 is moved toward the substrate by the second scribing wheel moving module 522, the scribing wheel 61 may be pressed against the substrate. The cutting depth of the scribing wheel 61 with respect to the substrate may be adjusted according to the degree to which the scribing wheel 61 presses the substrate.

제1 스크라이빙 휠 이동 모듈(512) 및/또는 제2 스크라이빙 휠 이동 모듈(522)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.The first scribing wheel moving module 512 and/or the second scribing wheel moving module 522 may be a pneumatic or hydraulic actuator, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism. It can be configured with a linear movement mechanism such as.

스크라이빙 휠 교체 장치(70)는, 제1 스크라이빙 휠 모듈(511)에 스크라이빙 휠 홀더(62)를 장착하도록 구성되는 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71)과, 제2 스크라이빙 휠 모듈(521)에 스크라이빙 휠 홀더(62)를 장착하도록 구성되는 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)과, 복수의 스크라이빙 휠 홀더(62)를 보관하도록 구성되는 스크라이빙 휠 홀더 보관 유닛(73)을 포함할 수 있다.The scribing wheel replacement device 70 includes a first scribing wheel holder replacement unit 71 configured to mount the scribing wheel holder 62 to the first scribing wheel module 511, and 2 To store a second scribing wheel holder replacement unit 72 configured to mount the scribing wheel holder 62 on the scribing wheel module 521 and a plurality of scribing wheel holders 62 It may include a scribing wheel holder storage unit 73 configured.

제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71)은 스크라이빙 휠 홀더(62)를 파지하여 이송하도록 구성될 수 있다. 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71)은 제2 프레임(32)에 장착될 수 있다. 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71)은 제2 프레임(32)을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다. 이를 위해, 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71) 및 제2 프레임(32) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비되며, 이러한 직선 이동 기구에 의해 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71)이 X축 방향으로 이동될 수 있다.The first scribing wheel holder replacement unit 71 may be configured to grip and transport the scribing wheel holder 62. The first scribing wheel holder replacement unit 71 may be mounted on the second frame 32. The first scribing wheel holder replacement unit 71 may be moved along the second frame 32 in the X-axis direction. To this end, between the first scribing wheel holder replacement unit 71 and the second frame 32, such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism. A linear movement mechanism is provided, and the first scribing wheel holder replacement unit 71 may be moved in the X-axis direction by this linear movement mechanism.

따라서, 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71)이 제2 프레임(32)을 따라 X축 방향으로 이동하여 스크라이빙 휠 홀더 보관 유닛(73)에 인접하게 위치될 수 있다. 또한, 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71)이 제2 프레임(32)을 따라 X축 방향으로 이동하여 제1 스크라이빙 휠 모듈(511)에 인접하게 위치될 수 있다.Accordingly, the first scribing wheel holder replacement unit 71 may be located adjacent to the scribing wheel holder storage unit 73 by moving in the X-axis direction along the second frame 32. In addition, the first scribing wheel holder replacement unit 71 may be located adjacent to the first scribing wheel module 511 by moving in the X-axis direction along the second frame 32.

제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71)은 스크라이빙 휠 홀더(62)를 파지하는 한 쌍의 파지 부재(711)와, 한 쌍의 파지 부재(711)를 서로 인접하는 방향 및 서로로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 파지 부재 구동 모듈(712)과, 한 쌍의 파지 부재(711)를 Z축 방향으로 이동시키는 파지 부재 승강 모듈(713)을 포함할 수 있다.The first scribing wheel holder replacement unit 71 includes a pair of gripping members 711 for gripping the scribing wheel holder 62 and a pair of gripping members 711 in a direction adjacent to each other and from each other. A gripping member driving module 712 that moves in a direction separated from each other, and a gripping member lifting module 713 that moves the pair of gripping members 711 in the Z-axis direction may be included.

파지 부재 구동 모듈(712) 및/또는 파지 부재 승강 모듈(713)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다.The gripping member driving module 712 and/or the gripping member lifting module 713 may be configured as a linear movement mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism. I can.

제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)은 스크라이빙 휠 홀더(62)를 파지하여 이송하도록 구성될 수 있다. 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)은 제1 프레임(31)에 장착될 수 있다. 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)은 제1 프레임(31)을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다. 이를 위해, 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72) 및 제1 프레임(31) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비되며, 이러한 직선 이동 기구에 의해 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)이 X축 방향으로 이동될 수 있다.The second scribing wheel holder replacement unit 72 may be configured to grip and transport the scribing wheel holder 62. The second scribing wheel holder replacement unit 72 may be mounted on the first frame 31. The second scribing wheel holder replacement unit 72 may be moved along the first frame 31 in the X-axis direction. To this end, between the second scribing wheel holder replacement unit 72 and the first frame 31, such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism. A linear movement mechanism is provided, and the second scribing wheel holder replacement unit 72 may be moved in the X-axis direction by this linear movement mechanism.

따라서, 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)이 제1 프레임(31)을 따라 X축 방향으로 이동하여 스크라이빙 휠 홀더 보관 유닛(73)에 인접하게 위치될 수 있다. 또한, 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)이 제1 프레임(31)을 따라 X축 방향으로 이동하여 제2 스크라이빙 휠 모듈(521)에 인접하게 위치될 수 있다.Accordingly, the second scribing wheel holder replacement unit 72 may be located adjacent to the scribing wheel holder storage unit 73 by moving in the X-axis direction along the first frame 31. In addition, the second scribing wheel holder replacement unit 72 may be located adjacent to the second scribing wheel module 521 by moving in the X-axis direction along the first frame 31.

제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)은 스크라이빙 휠 홀더(62)를 파지하는 한 쌍의 파지 부재(721)와, 한 쌍의 파지 부재(721)를 서로 인접하는 방향 및 서로로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 파지 부재 구동 모듈(722)과, 한 쌍의 파지 부재(721)를 Z축 방향으로 이동시키는 파지 부재 승강 모듈(723)을 포함할 수 있다.The second scribing wheel holder replacement unit 72 includes a pair of gripping members 721 for gripping the scribing wheel holder 62 and a pair of gripping members 721 in a direction adjacent to each other and from each other. A gripping member driving module 722 moving in a direction separated from each other, and a gripping member lifting module 723 moving a pair of gripping members 721 in the Z-axis direction may be included.

파지 부재 구동 모듈(722) 및/또는 파지 부재 승강 모듈(723)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다.The gripping member driving module 722 and/or the gripping member lifting module 723 may be configured as a linear movement mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism. I can.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠 홀더 보관 유닛(73)은, 복수의 스크라이빙 휠 홀더(62)가 탑재되는 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)과, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)에 인접하게 배치되고 스크라이빙 휠 홀더(62)에 표시된 코드(63)를 판독하도록 구성되는 코드 리더(732)와, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)에 탑재된 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)가 코드 리더(732)에 대향하도록 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)을 회전시키는 회전 모듈(733)을 포함할 수 있다.1 to 3, the scribing wheel holder storage unit 73 includes a scribing wheel holder storage module 731 on which a plurality of scribing wheel holders 62 are mounted, and The code reader 732 disposed adjacent to the bing wheel holder storage module 731 and configured to read the code 63 displayed on the scribing wheel holder 62, and the scribing wheel holder storage module 731 A rotation module 733 for rotating the scribing wheel holder storage module 731 so that the code 63 of the mounted scribing wheel holder 62 faces the code reader 732 may be included.

스크라이빙 휠 홀더(62)의 일측에는 코드(63)가 표시된다. 코드(63)는 스크라이빙 휠(61)에 관한 데이터가 기록된 바코드 또는 QR코드로서 구성될 수 있다. 스크라이빙 휠(61)에 관한 데이터는 스크라이빙 휠(61)의 종류, 두께, 지름 등을 포함할 수 있다.A cord 63 is displayed on one side of the scribing wheel holder 62. The code 63 may be configured as a barcode or QR code on which data related to the scribing wheel 61 is recorded. Data on the scribing wheel 61 may include the type, thickness, and diameter of the scribing wheel 61.

코드 리더(732)는 스크라이빙 휠 홀더(62)에 표시된 코드(63)를 판독하도록 구성된다.The code reader 732 is configured to read the code 63 displayed on the scribing wheel holder 62.

회전 모듈(733)은 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 일측에 연결되는 회전 모터로서 구성될 수 있다. 예를 들면, 회전 모듈(733)은 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)을 180도 회전시키도록 구성될 수 있다.The rotation module 733 may be configured as a rotation motor connected to one side of the scribing wheel holder storage module 731. For example, the rotation module 733 may be configured to rotate the scribing wheel holder storage module 731 by 180 degrees.

스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)은 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71) 및 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)이 접근할 수 있는 위치에 설치된다. 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)은 제1 스크라이빙 휠 모듈(511) 및 제2 스크라이빙 휠 모듈(521)로부터 분리된 스크라이빙 휠 홀더(62)와, 제1 스크라이빙 휠 모듈(511) 및 제2 스크라이빙 휠 모듈(521)에 끼워질 스크라이빙 휠 홀더(62)를 보관하는 역할을 한다. 예를 들면, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)은 스크라이빙 휠 홀더(62)를 수용하는 복수의 수용홈을 구비할 수 있다. 예를 들면, 수용홈에는 자석이 내장될 수 있으며, 자석의 자력에 의해 스크라이빙 휠 홀더(62)가 수용홈에 장착될 수 있다.The scribing wheel holder storage module 731 is installed at a position in which the first scribing wheel holder replacement unit 71 and the second scribing wheel holder replacement unit 72 can be accessed. The scribing wheel holder storage module 731 includes a scribing wheel holder 62 separated from the first scribing wheel module 511 and the second scribing wheel module 521, and a first scribing It serves to store the scribing wheel holder 62 to be fitted to the wheel module 511 and the second scribing wheel module 521. For example, the scribing wheel holder storage module 731 may include a plurality of receiving grooves for accommodating the scribing wheel holder 62. For example, a magnet may be embedded in the receiving groove, and the scribing wheel holder 62 may be mounted in the receiving groove by magnetic force of the magnet.

도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)은 제1 측 및 제1 측에 반대되는 제2 측을 구비하며, 복수의 스크라이빙 휠 홀더(62)는 제1 측 및 제2 측에 각각 나뉘어 보관된다.3, the scribing wheel holder storage module 731 has a first side and a second side opposite to the first side, and the plurality of scribing wheel holders 62 is a first side And stored separately on the second side.

스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제1 측에 보관되는 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)가 향하는 방향 및 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제2 측에 보관되는 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)가 향하는 방향은 서로 반대된다.The direction in which the cord 63 of the scribing wheel holder 62 stored on the first side of the scribing wheel holder storage module 731 faces and stored on the second side of the scribing wheel holder storage module 731 The directions in which the cord 63 of the scribing wheel holder 62 is directed are opposite to each other.

본 발명의 실시예에 따르면, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)이 회전 모듈(733)에 의해 회전될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the scribing wheel holder storage module 731 may be rotated by the rotation module 733.

이와 같은 구성에 따르면, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)이 회전됨에 따라 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제1 측에 보관되는 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)가 코드 리더(732)를 향할 수 있다. 따라서, 코드 리더(732)가 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제1 측에 보관되는 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)를 판독할 수 있다.According to this configuration, as the scribing wheel holder storage module 731 is rotated, the cord 63 of the scribing wheel holder 62 stored on the first side of the scribing wheel holder storage module 731 May face the code reader 732. Accordingly, the code reader 732 can read the code 63 of the scribing wheel holder 62 stored on the first side of the scribing wheel holder storage module 731.

또한, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)이 회전 모듈(733)에 의해 회전됨에 따라, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제2 측에 보관되는 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)가 코드 리더(732)를 향할 수 있다. 따라서, 코드 리더(732)가 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제2 측에 보관되는 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)를 판독할 수 있다.In addition, as the scribing wheel holder storage module 731 is rotated by the rotation module 733, the scribing wheel holder 62 stored on the second side of the scribing wheel holder storage module 731 Code 63 can be directed towards code reader 732. Accordingly, the code reader 732 can read the code 63 of the scribing wheel holder 62 stored on the second side of the scribing wheel holder storage module 731.

이와 같이, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)이 회전 모듈(733)에 의해 회전될 수 있으므로, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제1 측에 보관되는 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63) 및 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제2 측에 보관되는 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)가 하나의 코드 리더(732)에 의해 판독될 수 있다. 따라서, 복수의 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)를 판독하는 데에 요구되는 부품의 수를 줄일 수 있고, 스크라이빙 휠 교체 장치(70)의 구조 및 제어 방법을 단순화할 수 있다.In this way, since the scribing wheel holder storage module 731 can be rotated by the rotation module 733, the scribing wheel holder 62 stored on the first side of the scribing wheel holder storage module 731 ) Of the code 63 and the code 63 of the scribing wheel holder 62 stored on the second side of the scribing wheel holder storage module 731 can be read by one code reader 732 have. Accordingly, the number of parts required to read the codes 63 of the plurality of scribing wheel holders 62 can be reduced, and the structure and control method of the scribing wheel replacement device 70 can be simplified. have.

또한, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)이 회전됨에 따라, 코드 리더(732)가 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제1 측에 보관되는 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63) 및 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제2 측에 보관되는 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)를 판독할 수 있으므로, 코드 리더(732)가 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 회전 중심축의 둘레의 임의의 위치에 위치될 수 있다. 따라서, 코드 리더(732)의 설치 위치와 관련된 제약을 줄일 수 있다.In addition, as the scribing wheel holder storage module 731 is rotated, the code reader 732 is stored in the first side of the scribing wheel holder storage module 731, the code of the scribing wheel holder 62 (63) and the code 63 of the scribing wheel holder 62 stored on the second side of the scribing wheel holder storage module 731 can be read, the code reader 732 The holder storage module 731 may be located at any position around the rotational center axis. Accordingly, it is possible to reduce restrictions related to the installation location of the code reader 732.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠 홀더 보관 유닛(73)은, 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71) 및 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)이 이동되는 방향으로 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)을 이동시키는 구동 모듈(734)을 포함할 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 1, the scribing wheel holder storage unit 73, the first scribing wheel holder replacement unit 71 and the second scribing wheel holder replacement unit 72 is moved It may include a driving module 734 that moves the scribing wheel holder storage module 731 in the direction.

구동 모듈(734)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다.The drive module 734 may be configured as a pneumatic or hydraulic actuator, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism.

한편, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)에는 복수의 스크라이빙 휠 홀더(62)가 X축 방향으로 배치될 수 있다. 그리고, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)이 구동 모듈(734)에 의해 X축 방향으로 이동됨에 따라, X축 방향으로 배치된 복수의 스크라이빙 휠 홀더(62) 중 어느 하나의 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)가 코드 리더(732)를 향할 수 있다.Meanwhile, in the scribing wheel holder storage module 731, a plurality of scribing wheel holders 62 may be disposed in the X-axis direction. And, as the scribing wheel holder storage module 731 is moved in the X-axis direction by the driving module 734, any one of the plurality of scribing wheel holders 62 disposed in the X-axis direction The code 63 of the Bing wheel holder 62 may face the code reader 732.

이와 같이, 구동 모듈(734)에 의해 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)이 X축 방향으로 이동될 수 있으므로, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)에 X축 방향으로 배치된 복수의 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)가 하나의 코드 리더(732)에 의해 판독될 수 있다. 따라서, 복수의 스크라이빙 휠 홀더(62)의 코드(63)를 판독하는 데에 요구되는 부품의 수를 줄일 수 있고, 스크라이빙 휠 교체 장치(70)의 구조 및 제어 방법을 단순화할 수 있다.In this way, since the scribing wheel holder storage module 731 can be moved in the X-axis direction by the driving module 734, a plurality of scrolls disposed in the X-axis direction in the scribing wheel holder storage module 731 The code 63 of the climbing wheel holder 62 can be read by a single code reader 732. Accordingly, the number of parts required to read the codes 63 of the plurality of scribing wheel holders 62 can be reduced, and the structure and control method of the scribing wheel replacement device 70 can be simplified. have.

또한, 구동 모듈(734)에 의해 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)이 X축 방향으로 이동할 수 있으므로, 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71) 및 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)이 스크라이빙 휠 홀더(62)를 교체하는 과정에서 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)이 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71) 및 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)에 보다 용이하게 접근할 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 홀더(62)를 교체하는 과정이 보다 용이하게 수행될 수 있다.In addition, since the scribing wheel holder storage module 731 can be moved in the X-axis direction by the driving module 734, the first scribing wheel holder replacement unit 71 and the second scribing wheel holder replacement unit (72) In the process of replacing the scribing wheel holder 62, the scribing wheel holder storage module 731 is the first scribing wheel holder replacement unit 71 and the second scribing wheel holder replacement unit. (72) can be accessed more easily. Therefore, the process of replacing the scribing wheel holder 62 can be performed more easily.

상술한 바와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71)이 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제1 측에 보관된 스크라이빙 휠 홀더(62)를 파지하여 제1 스크라이빙 휠 모듈(511)에 장착할 수 있다. 또한, 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71)이 제1 스크라이빙 휠 모듈(511)로부터 스크라이빙 휠 홀더(62)를 분리한 다음, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제1 측에 장착할 수 있다.According to the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention configured as described above, as shown in FIG. 4, the first scribing wheel holder replacement unit 71 is provided with the scribing wheel holder storage module 731 ) Can be mounted on the first scribing wheel module 511 by gripping the scribing wheel holder 62 stored on the first side of the ). In addition, after the first scribing wheel holder replacement unit 71 separates the scribing wheel holder 62 from the first scribing wheel module 511, the scribing wheel holder storage module 731 It can be attached to the first side.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)이 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제2 측에 보관된 스크라이빙 휠 홀더(62)를 파지하여 제2 스크라이빙 휠 모듈(521)에 장착할 수 있다. 또한, 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)이 제2 스크라이빙 휠 모듈(521)로부터 스크라이빙 휠 홀더(62)를 분리한 다음, 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈(731)의 제2 측에 장착할 수 있다.In addition, as shown in Figure 5, the second scribing wheel holder replacement unit 72 grips the scribing wheel holder 62 stored on the second side of the scribing wheel holder storage module 731 Thus, it can be mounted on the second scribing wheel module 521. In addition, after the second scribing wheel holder replacement unit 72 separates the scribing wheel holder 62 from the second scribing wheel module 521, the scribing wheel holder storage module 731 It can be attached to the second side.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 휠 교체 장치(70)의 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71, 72)의 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.6 is a view schematically showing another example of the scribing wheel holder replacement units 71 and 72 of the scribing wheel replacement apparatus 70 according to an embodiment of the present invention.

도 6에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71, 72)은 한 쌍의 파지 부재(711, 721)가 스크라이빙 휠 홀더(62)를 파지하는지 여부를 검출하는 검출 유닛(81)을 포함할 수 있다.6, the scribing wheel holder replacement unit 71, 72 is a detection unit that detects whether a pair of gripping members 711, 721 grips the scribing wheel holder 62 ( 81).

검출 유닛(81)은 한 쌍의 파지 부재(711, 721) 중 어느 하나에 구비되는 발광부(811) 및 한 쌍의 파지 부재(711, 721) 중 다른 하나에 구비되는 수광부(812)를 포함할 수 있다. 따라서, 발광부(811)로부터 발광된 광이 수광부(812)에 수광되는지 여부를 감지하는 것에 의해, 한 쌍의 파지 부재(711, 721)가 스크라이빙 휠 홀더(62)를 파지하는지 여부를 검출할 수 있다.The detection unit 81 includes a light emitting part 811 provided in any one of a pair of gripping members 711 and 721 and a light receiving part 812 provided in the other of the pair of gripping members 711 and 721 can do. Therefore, by detecting whether the light emitted from the light emitting unit 811 is received by the light receiving unit 812, it is determined whether or not the pair of gripping members 711 and 721 grip the scribing wheel holder 62. Can be detected.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 휠 교체 장치(70)의 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71, 72)의 또 다른 예가 개략적으로 도시된 도면이다.7 is a view schematically illustrating another example of the scribing wheel holder replacement units 71 and 72 of the scribing wheel replacement apparatus 70 according to an embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71, 72)은 한 쌍의 파지 부재(711, 721)가 스크라이빙 휠 홀더(62)를 파지하는지 여부를 검출하는 검출 유닛(82)을 포함할 수 있다.7, the scribing wheel holder replacement unit 71, 72 is a detection unit that detects whether a pair of gripping members 711, 721 grips the scribing wheel holder 62 ( 82).

검출 유닛(82)은 한 쌍의 파지 부재(711, 721)를 촬상하는 카메라로서 구성될 수 있다. 따라서, 검출 유닛(82)에 의해 촬상된 한 쌍의 파지 부재(711, 721)의 이미지를 분석하는 것에 의해, 한 쌍의 파지 부재(711, 721)가 스크라이빙 휠 홀더(62)를 파지하는지 여부를 검출할 수 있다.The detection unit 82 may be configured as a camera that captures an image of the pair of gripping members 711 and 721. Accordingly, by analyzing the image of the pair of gripping members 711 and 721 captured by the detection unit 82, the pair of gripping members 711 and 721 grip the scribing wheel holder 62 Whether or not it can be detected.

이와 같이, 한 쌍의 파지 부재(711, 721)가 스크라이빙 휠 홀더(62)를 파지하는지 여부를 검출하는 검출 유닛(81, 82)이 구비되므로, 스크라이빙 휠 홀더(62)를 보다 정확하게 파지하여 교체할 수 있다.In this way, since the detection units 81 and 82 that detect whether the pair of gripping members 711 and 721 grip the scribing wheel holder 62 are provided, the scribing wheel holder 62 It can be replaced by holding it accurately.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 다른 예가 개략적으로 도시된 측면도이다.8 is a side view schematically illustrating another example of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 8에 도시된 바와 같이, 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72)은 제1 스크라이빙 헤드(51)에 일체로 연결될 수 있다. 따라서, 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72) 및 제1 스크라이빙 헤드(51)가 제1 프레임(31)을 따라 X축 방향으로 함께 이동될 수 있다.As shown in FIG. 8, the second scribing wheel holder replacement unit 72 may be integrally connected to the first scribing head 51. Accordingly, the second scribing wheel holder replacement unit 72 and the first scribing head 51 may be moved together in the X-axis direction along the first frame 31.

또한, 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71)은 제2 스크라이빙 헤드(52)에 일체로 연결될 수 있다. 따라서, 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71) 및 제2 스크라이빙 헤드(52)가 제2 프레임(32)을 따라 X축 방향으로 함께 이동될 수 있다.In addition, the first scribing wheel holder replacement unit 71 may be integrally connected to the second scribing head 52. Accordingly, the first scribing wheel holder replacement unit 71 and the second scribing head 52 may be moved together along the second frame 32 in the X-axis direction.

이와 같이, 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(72) 및 제1 스크라이빙 헤드(51)가 일체로 구성되고, 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛(71) 및 제2 스크라이빙 헤드(52)가 일체로 구성되므로, 스크라이빙 장치의 구성을 보다 단순화할 수 있다.In this way, the second scribing wheel holder replacement unit 72 and the first scribing head 51 are integrally configured, and the first scribing wheel holder replacement unit 71 and the second scribing head Since 52 is integrally configured, the configuration of the scribing device can be further simplified.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described exemplarily, the scope of the present invention is not limited to such specific embodiments, and may be appropriately changed within the scope described in the claims.

51: 제1 스크라이빙 헤드
52: 제2 스크라이빙 헤드
71: 제1 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛
72: 제2 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛
73: 스크라이빙 휠 홀더 보관 유닛51: first scribing head
52: second scribing head
71: first scribing wheel holder replacement unit
72: second scribing wheel holder replacement unit
73: scribing wheel holder storage unit

Claims (5)

복수의 스크라이빙 휠 홀더가 탑재되는 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈;
상기 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈에 인접하게 배치되고 상기 스크라이빙 휠 홀더에 표시된 코드를 판독하도록 구성되는 코드 리더; 및
상기 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈에 탑재된 상기 스크라이빙 휠 홀더의 코드가 상기 코드 리더에 대향하도록 상기 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈을 회전시키는 회전 모듈을 포함하는 스크라이빙 휠 교체 장치.A scribing wheel holder storage module on which a plurality of scribing wheel holders are mounted;
A code reader disposed adjacent to the scribing wheel holder storage module and configured to read a code displayed on the scribing wheel holder; And
A scribing wheel replacement apparatus comprising a rotation module for rotating the scribing wheel holder storage module so that the code of the scribing wheel holder mounted on the scribing wheel holder storage module faces the code reader. 청구항 1에 있어서,
상기 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈에 탑재된 상기 스크라이빙 휠 홀더의 코드가 상기 코드 리더에 대향하도록 상기 스크라이빙 휠 홀더 보관 모듈을 이동시키는 구동 모듈을 더 포함하는 스크라이빙 휠 교체 장치.The method according to claim 1,
A scribing wheel replacement device further comprising a driving module for moving the scribing wheel holder storage module so that the code of the scribing wheel holder mounted on the scribing wheel holder storage module faces the code reader. 청구항 1에 있어서,
상기 스크라이빙 휠 홀더를 파지하도록 구성되는 한 쌍의 파지 부재를 포함하는 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛을 더 포함하고,
상기 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛은 상기 한 쌍의 파지 부재가 상기 스크라이빙 휠 홀더를 파지하는지 여부를 검출하는 검출 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 휠 교체 장치.The method according to claim 1,
Further comprising a scribing wheel holder replacement unit including a pair of gripping members configured to grip the scribing wheel holder,
The scribing wheel holder replacement unit comprises a detection module for detecting whether the pair of gripping members grip the scribing wheel holder. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 따른 스크라이빙 휠 교체 장치를 포함하는 스크라이빙 장치.A scribing device comprising the scribing wheel replacement device according to any one of claims 1 to 3. 청구항 1 또는 청구항 2에 따른 스크라이빙 휠 교체 장치; 및
상기 스크라이빙 휠 홀더가 장착되는 스크라이빙 헤드를 포함하는 스크라이빙 장치에 있어서,
상기 스크라이빙 휠 교체 장치는 상기 스크라이빙 휠 홀더를 이송하도록 구성되는 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛을 더 포함하며,
상기 스크라이빙 휠 홀더 교체 유닛 및 상기 스크라이빙 헤드는 일체로 연결되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치. The scribing wheel replacement device according to claim 1 or 2; And
In the scribing apparatus comprising a scribing head to which the scribing wheel holder is mounted,
The scribing wheel replacement device further comprises a scribing wheel holder replacement unit configured to transfer the scribing wheel holder,
The scribing wheel holder replacement unit and the scribing head is a scribing apparatus, characterized in that connected integrally.
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